JP2013197514A - Solar cell - Google Patents

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JP2013197514A
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Takashi Ikuno
孝 生野
Naohiko Kato
直彦 加藤
Ryo Suzuki
涼 鈴木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve conversion efficiency of a solar cell including SnS.SOLUTION: A solar cell 10 comprises: a photoelectrode 12 that has a transparent conductive substrate 14 having conductivity, a buffer layer 16 which is adjacent to the transparent conductive substrate 14 and transports electrons, and a light absorption layer 18 which includes SnS, is adjacent to the buffer layer 16, and absorbs light; a counter electrode 20; and a hole transport layer 22 formed between the photoelectrode 12 and the counter electrode 20. In the solar cell 10, the outer peripheral side of the region between the transparent conductive substrate 14 and the counter electrode 20 is covered with sealing materials 24. In the solar cell 10, a conduction-band offset value is in a range of -0.2 eV or more but 0.1 eV or less, which is a difference between lower ends of conductive bands of the light absorption layer 18 and the buffer layer 16 when the lower end of the conductive band of the light absorption layer 18 is set as a reference.

Description

本発明は、太陽電池に関する。   The present invention relates to a solar cell.

従来、太陽電池としては、光吸収層で被覆されたバッファ層(電子輸送層)を透明導電性基板上に備えた光電極と、この光電極に向かい合うように配置される対極との間に、正孔輸送層が介在するものが提案されている。なかでも、光吸収層にSnSを用いたものが提案されている(例えば、非特許文献1〜3参照)。SnSは光吸収係数が105cm-1、バンドギャップが1.1〜1.4eVであり、光吸収層に用いるのに好適な光電子特性を有している。このようなSnS太陽電池は,バッファ層としてn型半導体を用いて作製されている。 Conventionally, as a solar cell, between a photoelectrode provided with a buffer layer (electron transport layer) covered with a light absorption layer on a transparent conductive substrate, and a counter electrode arranged to face this photoelectrode, A material in which a hole transport layer is interposed has been proposed. Especially, what used SnS for the light absorption layer is proposed (for example, refer nonpatent literatures 1-3). SnS has an optical absorption coefficient of 10 5 cm −1 and a band gap of 1.1 to 1.4 eV, and has suitable optoelectronic properties for use in the light absorption layer. Such SnS solar cells are manufactured using an n-type semiconductor as a buffer layer.

Thin Solid Film 515(2007)5771Thin Solid Film 515 (2007) 5771 Solar Energy Materials and Solar Cells 91(2007)774Solar Energy Materials and Solar Cells 91 (2007) 774 J.Phys.Chem.C 114(2010)3256J. et al. Phys. Chem. C 114 (2010) 3256

しかしながら、Cd系半導体であるCdSやCdZnSと、SnSとを組み合わせた太陽電池では、短絡電流密度Jscの最高値は、それぞれ6mA/cm2(非特許文献1)と9.6mA/cm2(非特許文献2)である。非Cd系半導体であるTiO2では、短絡電流密度Jscが0.3mA/cm2(非特許文献3)と低い。産業応用上、Cdの使用は好ましくなく、また、現状では非Cdのバッファ層では変換効率が低いことが問題であった。 However, in a solar cell in which CdS or CdZnS, which is a Cd-based semiconductor, and SnS are combined, the maximum values of the short circuit current density J sc are 6 mA / cm 2 (Non-patent Document 1) and 9.6 mA / cm 2 ( Non-Patent Document 2). In TiO 2 that is a non-Cd semiconductor, the short-circuit current density J sc is as low as 0.3 mA / cm 2 (Non-patent Document 3). For industrial applications, the use of Cd is not preferable, and the current problem is that the conversion efficiency is low in a non-Cd buffer layer.

本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、SnSを含むものにおいて、変換効率をより向上することができる太陽電池を提供することを主目的とする。   This invention is made | formed in view of such a subject, and it aims at providing the solar cell which can improve conversion efficiency more in the thing containing SnS.

上述した目的を達成するために鋭意研究したところ、本発明者らは、n型半導体であるバッファ層の伝導帯下端(コンダクションバンド)を好適な範囲とすると、SnSを含む太陽電池の変換効率をより向上することができることを見いだし、本発明を完成するに至った。   As a result of diligent research to achieve the above-described object, the present inventors have found that the conversion efficiency of a solar cell containing SnS is considered to be within a suitable range of the conduction band lower end (conduction band) of the buffer layer that is an n-type semiconductor. Has been found to be able to be further improved, and the present invention has been completed.

即ち、本発明の太陽電池は、
導電性を有する透明導電性基板と、前記透明導電性基板に隣接し電子を輸送するバッファ層と、SnSを含み前記バッファ層に隣接し光を吸収する光吸収層と、を有する光電極と、
対極と、
前記光電極と対極との間に形成された正孔輸送層と、を備え、
前記光吸収層の伝導帯下端を基準とし前記光吸収層と前記バッファ層との伝導帯下端の差であるコンダクションバンドオフセット値が−0.2eV以上0.1eV以下の範囲であるものである。
That is, the solar cell of the present invention is
A photoconductive electrode comprising: a conductive conductive transparent substrate; a buffer layer that is adjacent to the transparent conductive substrate and transports electrons; and a light absorption layer that includes SnS and is adjacent to the buffer layer and absorbs light;
With the counter electrode,
A hole transport layer formed between the photoelectrode and the counter electrode,
The conduction band offset value, which is the difference between the lower end of the conduction band of the light absorption layer and the buffer layer, with respect to the lower end of the conduction band of the light absorption layer is in the range of −0.2 eV to 0.1 eV. .

本発明の太陽電池は、変換効率をより向上することができる。このような効果が得られる理由は明らかではないが、以下のように推測される。例えば、この太陽電池では、透明導電性基板における電子と光吸収層であるSnSのホールとの再結合を防ぐ目的でバッファ層を利用している。SnSで光励起された電子が、バッファ層を介して透明導電性基板に輸送される際に、バッファ層と光吸収層(SnS)との伝導帯下端の差(コンダクションバンドオフセット,CBOとも称する)が、大きな負の値であると再結合しやすく特性が悪化するものと考えられる。一方、CBOが大きな正の値であると、SnSから透明導電性基板へ電子が輸送されにくくなり、特性が悪化するものと考えられる。本発明では、最適なCBOを有するバッファ層を採用することにより、変換効率をより向上することができるものと推察される。   The solar cell of this invention can improve conversion efficiency more. The reason why such an effect is obtained is not clear, but is presumed as follows. For example, in this solar cell, a buffer layer is used for the purpose of preventing recombination of electrons in a transparent conductive substrate and holes of SnS as a light absorption layer. When electrons photoexcited by SnS are transported through the buffer layer to the transparent conductive substrate, the difference between the lower end of the conduction band between the buffer layer and the light absorption layer (SnS) (also referred to as conduction band offset, CBO) However, if the value is a large negative value, it is considered that recombination easily occurs and the characteristics deteriorate. On the other hand, when CBO is a large positive value, it is considered that electrons are hardly transported from SnS to the transparent conductive substrate, and the characteristics are deteriorated. In the present invention, it is presumed that the conversion efficiency can be further improved by employing the buffer layer having the optimum CBO.

太陽電池10の構成を示す概略断面図。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of solar cell 10. Zn(1-X)MgXO及びSnSの伝導帯下端(CBM)とX値との関係の説明図。Zn (1-X) diagram of the relationship between the Mg X O and the bottom of the conduction band in SnS and (CBM) and the X value. 電池モジュール100の構成を示す概略断面図。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a battery module 100. Zn(1-X)MgXOのX値と光学バンドギャップとの関係図。Zn (1-X) graph showing the relationship between X values and the optical band gap of Mg X O. Zn(1-X)MgXOのX値とSnSに対するCBO値との関係図。Zn relationship diagram between CBO values for (1-X) X value and SnS of Mg X O. 実施例3及び比較例3の太陽電池の発電特性。The power generation characteristics of the solar cells of Example 3 and Comparative Example 3. Zn(1-X)MgXOのX値と太陽電池特性との関係図。Zn (1-X) relationship diagram between the X value and the solar cell characteristics of Mg X O.

以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。図1は、本実施形態の太陽電池10の構成を示す概略断面図である。本発明の太陽電池10は、導電性を有する透明導電性基板14と、透明導電性基板14に隣接し電子を輸送するバッファ層16と、SnSを含みバッファ層16に隣接し光を吸収する光吸収層18と、を有する光電極12と、対極20と、光電極12と対極20との間に形成された正孔輸送層22と、を備えている。この太陽電池10のうち、透明導電性基板14と対極20との間の領域の外周は、シール材24によって被覆されている。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the solar cell 10 of the present embodiment. The solar cell 10 of the present invention includes a transparent conductive substrate 14 having conductivity, a buffer layer 16 that is adjacent to the transparent conductive substrate 14 and transports electrons, and light that is adjacent to the buffer layer 16 and contains SnS and absorbs light. A photoelectrode 12 having an absorption layer 18, a counter electrode 20, and a hole transport layer 22 formed between the photoelectrode 12 and the counter electrode 20 are provided. In this solar cell 10, the outer periphery of the region between the transparent conductive substrate 14 and the counter electrode 20 is covered with a sealing material 24.

透明導電性基板14は、ガラス基板などの透明基板14aのうちバッファ層16側に透明導電膜14bを積層した構成となっている。この透明導電性基板14の材質としては、例えば、フッ素ドープSnO2コートガラス(FTO)、ITOコートガラス、ZnO:Alコートガラス、アンチモンドープ酸化スズ(SnO2−Sb)コートガラス、ガリウムドープ酸化亜鉛コートガラス(GZO)等が挙げられる。また、酸化スズや酸化インジウムに原子価の異なる陽イオン又は陰イオンをドープしたものや、メッシュ状、ストライプ状など光が透過できる構造にした金属電極をガラス基板上に設けたものも透明導電性基板14として使用できる。なお、透明基板14aとしては、透明なガラス基板のほか、ガラス基板表面を適当に荒らすなどして光の反射を防止したものやすりガラス状の半透明のガラス基板などの光を透過する基板、透明プラスチック板、透明プラスチック膜、無機物透明結晶体などを用いることもできるが、透明なガラス基板が好ましい。 The transparent conductive substrate 14 has a configuration in which a transparent conductive film 14b is laminated on the buffer layer 16 side in a transparent substrate 14a such as a glass substrate. Examples of the material of the transparent conductive substrate 14 include fluorine-doped SnO 2 coated glass (FTO), ITO coated glass, ZnO: Al coated glass, antimony doped tin oxide (SnO 2 —Sb) coated glass, and gallium doped zinc oxide. Coated glass (GZO) etc. are mentioned. In addition, tin oxide or indium oxide doped with cations or anions with different valences, or a metal electrode with a structure capable of transmitting light, such as a mesh or stripe, provided on a glass substrate is also transparent. It can be used as the substrate 14. As the transparent substrate 14a, in addition to a transparent glass substrate, a substrate that transmits light, such as a glass substrate semi-transparent glass substrate that prevents light reflection by appropriately roughening the surface of the glass substrate, transparent Although a plastic plate, a transparent plastic film, an inorganic transparent crystal body, etc. can be used, a transparent glass substrate is preferable.

バッファ層16は、光吸収層18で発生した電子を透明導電性基板14へ輸送する層である。このバッファ層16の材料としては、例えば、TiO2、ZnO、SnO2及びZn(1-X)MgXO(但し、0<X<1を満たす)などに代表されるn型半導体材料が挙げられ、これらのうちZn(1-X)MgXO(以下、ZMOとも称する)が好ましい。以下、ZMOを用いたものを主として太陽電池10を説明する。このバッファ層16のZMOは、例えば、Zn(1-X)MgXOのXが、0.1<X<0.2を満たすことがより好ましく、0.15≦X≦0.17を満たすことが更に好ましい。ここで、光吸収層(SnS)を基準としたバッファ層と光吸収層(SnS)との伝導帯下端の差をコンダクションバンドオフセット(CBOとも称する)と定義する。このとき、Xが0.1を超えると、CBOがより小さな負の値となり、透明導電性基板における電子と光吸収層であるSnSのホールとの再結合をより抑制することができ、好ましい。また、Xが0.2未満では、CBOがより小さな正の値となり、光吸収層18(SnS)から透明導電性基板14へ電子が輸送され易くなり、好ましい。 The buffer layer 16 is a layer that transports electrons generated in the light absorption layer 18 to the transparent conductive substrate 14. Examples of the material of the buffer layer 16 include n-type semiconductor materials typified by TiO 2 , ZnO, SnO 2, and Zn (1-X) Mg X O (where 0 <X <1). Of these, Zn (1-X) Mg X O (hereinafter also referred to as ZMO) is preferable. Hereinafter, the solar cell 10 using mainly ZMO will be described. The ZMO of the buffer layer 16 is, for example, that X of Zn (1-X) Mg X O preferably satisfies 0.1 <X <0.2, and satisfies 0.15 ≦ X ≦ 0.17. More preferably. Here, the difference between the lower end of the conduction band between the buffer layer and the light absorption layer (SnS) based on the light absorption layer (SnS) is defined as a conduction band offset (also referred to as CBO). At this time, when X exceeds 0.1, CBO becomes a smaller negative value, and recombination between electrons in the transparent conductive substrate and SnS holes as the light absorption layer can be further suppressed, which is preferable. Moreover, when X is less than 0.2, CBO becomes a smaller positive value, and electrons are easily transported from the light absorption layer 18 (SnS) to the transparent conductive substrate 14, which is preferable.

光吸収層18は、バッファ層16を被覆する層であり、可視光領域および/または赤外光領域に吸収を持つ金属硫化物であるSnSを含んでいる。SnSは、光吸収係数が105cm-1、バンドギャップが1.1〜1.4eVであり、太陽電池に用いる光吸収剤として好適な光電子特性を有している。 The light absorption layer 18 is a layer that covers the buffer layer 16 and includes SnS that is a metal sulfide having absorption in the visible light region and / or the infrared light region. SnS has a light absorption coefficient of 10 5 cm −1 and a band gap of 1.1 to 1.4 eV, and has optoelectronic properties suitable as a light absorber for use in solar cells.

本発明の太陽電池10は、光吸収層の伝導帯下端を基準とし光吸収層とバッファ層との伝導帯下端の差であるコンダクションバンドオフセット値CBOが−0.2eV以上0.1eV以下の範囲である。CBOが−0.2eV以上では、透明導電性基板14における電子と光吸収層18であるSnSのホールとの再結合をより抑制することができる。また、CBOが0.1eV以下では、光吸収層18(SnS)から透明導電性基板14へ電子が輸送され易くなり、好ましい。このCBOは、−0.1eV以上0eV以下の範囲であることがより好ましい。この範囲では、変換効率をより一層向上することができる。   In the solar cell 10 of the present invention, the conduction band offset value CBO, which is the difference between the lower end of the conduction band of the light absorption layer and the buffer layer, with respect to the lower end of the conduction band of the light absorption layer is −0.2 eV or more and 0.1 eV or less. It is a range. When CBO is −0.2 eV or more, recombination between electrons in the transparent conductive substrate 14 and holes of SnS as the light absorption layer 18 can be further suppressed. Moreover, when CBO is 0.1 eV or less, electrons are easily transported from the light absorption layer 18 (SnS) to the transparent conductive substrate 14, which is preferable. The CBO is more preferably in the range of −0.1 eV to 0 eV. In this range, the conversion efficiency can be further improved.

ここで、Zn(1-X)MgXOのXとCBOとの関係について説明する。図2は、Zn(1-X)MgXO及びSnSの伝導帯下端(CBM)とXとの関係の説明図である。光学バンドギャップは、UV−vis測定により得ることができる。例えば、SnS薄膜のイオン化ポテンシャルIPは、光電子分光装置(理研計器製AC−2)により測定可能であり、4.9eV(実測値)である。また、光学バンドギャップEgは、1.2eV(実測値)である。イオン化ポテンシャルIPが価電子帯上端に等しいとすると、SnSの伝導帯下端CBMは、−(IP−Eg)=−3.7eVである。ZnOの伝導帯下端は、−4.1eVと報告されており、かつZnOにMgをドープしても価電子帯上端位置はほとんど変化しないと報告されている。ここで、CBOは、SnSの伝導帯下端(CBM)を基準として、ZMOのCBMとの差と定義している。即ち、図2に示すように、X=0.25では、SnSのCBMよりもZn0.75Mg0.25OのCBMのほうが高いので、CBOは約+0.15eVである。一方、X=0のときは、CBOは−0.4eVである。また、X=0.17では、CBOは0eVである。このように、Zn(1-X)MgXOのX値と、SnSに対するCBOとの間には相関関係があり、Xが0.1<X<0.2を満たすこと、あるいは、CBOが−0.2eV以上0.1eV以下の範囲であることがより好ましいのである。 Here, the relationship between X of Zn (1-X) Mg X O and CBO will be described. FIG. 2 is an explanatory view of the relationship between X and the conduction band bottom (CBM) of Zn (1-X) Mg X O and SnS. The optical band gap can be obtained by UV-vis measurement. For example, the ionization potential IP of the SnS thin film can be measured by a photoelectron spectrometer (AC-2 manufactured by Riken Keiki), and is 4.9 eV (actual measurement value). The optical band gap Eg is 1.2 eV (actual measurement value). Assuming that the ionization potential IP is equal to the upper end of the valence band, the lower conduction band CBM of SnS is − (IP−Eg) = − 3.7 eV. The lower end of the conduction band of ZnO is reported to be -4.1 eV, and it is reported that the upper end position of the valence band hardly changes even when Mg is doped into ZnO. Here, CBO is defined as the difference from the CMO of ZMO with reference to the conduction band lower end (CBM) of SnS. That is, as shown in FIG. 2, when X = 0.25, the CBM of Zn 0.75 Mg 0.25 O is higher than the SnS CBM, so the CBO is about +0.15 eV. On the other hand, when X = 0, CBO is −0.4 eV. Further, when X = 0.17, CBO is 0 eV. Thus, there is a correlation between the X value of Zn (1-X) Mg X O and CBO for SnS, and X satisfies 0.1 <X <0.2, or CBO More preferably, it is in the range of −0.2 eV or more and 0.1 eV or less.

対極20は、電子が通過可能な導電層であり、例えばAu,Ptなどの金属薄膜や多孔質の炭素薄膜などを使用することができるほか、上述した透明導電性基板14と同じ構成のもの(この場合、透明導電膜が正孔輸送層22と接触するように配置する)を使用することもできる。   The counter electrode 20 is a conductive layer through which electrons can pass. For example, a metal thin film such as Au or Pt or a porous carbon thin film can be used, and the counter electrode 20 has the same configuration as the above-described transparent conductive substrate 14 ( In this case, the transparent conductive film is disposed so as to be in contact with the hole transport layer 22).

正孔輸送層22は、太陽電池10の両極に負荷を接続した状態で対極20から電子を受け取る一方、光を吸収することにより光吸収層18で発生した金属硫化物の陽イオンを対極20から受け取った電子で元の中和状態に戻す層である。この正孔輸送層22の材料としては、例えば、CuI、CuSCN、CuO、Cu2O及びCuなどの銅化合物や、LiドープしたNiOなどに代表されるp型半導体材料が挙げられる。 The hole transport layer 22 receives electrons from the counter electrode 20 in a state where loads are connected to both electrodes of the solar cell 10, while the metal sulfide cation generated in the light absorption layer 18 by absorbing light from the counter electrode 20. It is a layer that returns to the original neutralized state with the received electrons. Examples of the material of the hole transport layer 22 include copper compounds such as CuI, CuSCN, CuO, Cu 2 O, and Cu, and p-type semiconductor materials typified by Li-doped NiO.

シール材24は、バッファ層16や光吸収層18、正孔輸送層22が外気と接触するのを防止するためのものである。このシール材24としては、例えば、ポリエチレン等の熱可塑性樹脂フィルム、あるいはエポキシ系接着剤を使用することができる。   The sealing material 24 is for preventing the buffer layer 16, the light absorption layer 18, and the hole transport layer 22 from coming into contact with the outside air. For example, a thermoplastic resin film such as polyethylene or an epoxy adhesive can be used as the sealing material 24.

次に、太陽電池10の作用について説明する。太陽電池10の両極に負荷を接続した状態で光を透明導電性基板14へ照射すると、光吸収層18では、電子と正孔とが生成し、バッファ層16へ電子が伝導すると共に、正孔輸送層22へ正孔が伝導する。放出された電子はバッファ層16を経由して透明導電性基板14の透明導電膜14bに移動し、負荷へ流れていく。正孔輸送層22は、電子を対極20から受け取る一方、その受け取った電子で正孔を元の中和状態に戻す。このような一連の反応が起こることにより、太陽電池10に太陽光を照射すると負荷に電流が流れる。   Next, the operation of the solar cell 10 will be described. When light is applied to the transparent conductive substrate 14 with a load connected to both electrodes of the solar cell 10, electrons and holes are generated in the light absorption layer 18, electrons are conducted to the buffer layer 16, and holes are formed. Holes are conducted to the transport layer 22. The emitted electrons move to the transparent conductive film 14b of the transparent conductive substrate 14 via the buffer layer 16 and flow to the load. The hole transport layer 22 receives electrons from the counter electrode 20, and returns the holes to the original neutralized state with the received electrons. Due to such a series of reactions, when the solar cell 10 is irradiated with sunlight, a current flows through the load.

次に、太陽電池10の製法について説明する。まず、スプレーコート法等の公知の薄膜製造技術を用いてガラス基板などの透明基板14aに透明導電膜14bを形成することにより透明導電性基板14を得る。続いて、透明導電性基板14の透明導電膜14b上にバッファ層16を形成する。具体的には、所定の大きさ(例えば粒子径が20〜400nm程度)のn型半導体粒子を分散させた分散液を調製し、この分散液を透明導電膜14b上にバーコーター法や印刷法などにより塗布し、乾燥後焼成することによりバッファ層16を形成してもよい。あるいは、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着、スパッタ蒸着、クラスタイオンビーム蒸着等の物理蒸着法又はCVD(Chemical Vapor Deposition)等の化学蒸着法により透明導電膜14b上にn型半導体からなる薄膜状のバッファ層16を形成してもよい。このバッファ層16の形成では、コンダクションバンドオフセット値CBOが−0.2eV以上0.1eV以下の範囲のものを用いる。例えば、Zn(1-X)MgXO(但し、0.1<X<0.2を満たす)などを用いることが好ましい。ここで、X値の変更は、例えば、Zn(1-X)MgXOターゲットを用いたスパッタにより調整してもよいし、Zn(1-X)MgXOターゲット及びZnOターゲットを用いた二元同時スパッタなどにより調整するものとしてもよい。続いて、バッファ層16上に光吸収層18を形成する。具体的には、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着、スパッタ蒸着、クラスタイオンビーム蒸着等の物理蒸着法又はCVDやCBD(Chemical Bath Deposition)等の化学蒸着法によりバッファ層16上にSnSからなる薄膜を形成し、その後、180〜210℃の条件下で大気中で加熱することにより光吸収層18を形成する。なお、蒸着は複数回繰り返してもよい。 Next, the manufacturing method of the solar cell 10 is demonstrated. First, the transparent conductive substrate 14 is obtained by forming the transparent conductive film 14b on the transparent substrate 14a such as a glass substrate using a known thin film manufacturing technique such as spray coating. Subsequently, the buffer layer 16 is formed on the transparent conductive film 14 b of the transparent conductive substrate 14. Specifically, a dispersion liquid in which n-type semiconductor particles having a predetermined size (for example, a particle diameter of about 20 to 400 nm) are dispersed is prepared, and this dispersion liquid is applied to the transparent conductive film 14b by a bar coater method or a printing method. The buffer layer 16 may be formed by coating by drying, etc., and baking after drying. Alternatively, a thin-film buffer made of an n-type semiconductor on the transparent conductive film 14b by physical vapor deposition such as electron beam vapor deposition, resistance heating vapor deposition, sputter vapor deposition, or cluster ion beam vapor deposition, or chemical vapor deposition such as CVD (Chemical Vapor Deposition). Layer 16 may be formed. In the formation of the buffer layer 16, a conductive band offset value CBO having a range of −0.2 eV to 0.1 eV is used. For example, it is preferable to use Zn (1-X) Mg X O (provided that 0.1 <X <0.2). Here, changing the value of X, for example, may be adjusted by sputtering using Zn (1-X) Mg X O target was used Zn (1-X) Mg X O targets and ZnO targets two It may be adjusted by original simultaneous sputtering or the like. Subsequently, the light absorption layer 18 is formed on the buffer layer 16. Specifically, a thin film made of SnS is formed on the buffer layer 16 by physical vapor deposition such as electron beam vapor deposition, resistance heating vapor deposition, sputter vapor deposition, or cluster ion beam vapor deposition, or chemical vapor deposition such as CVD or CBD (Chemical Bath Deposition). Then, the light absorption layer 18 is formed by heating in the atmosphere under the condition of 180 to 210 ° C. The vapor deposition may be repeated a plurality of times.

続いて、光吸収層18上に正孔輸送層22を形成する。具体的には、所定の大きさ(例えば粒子径が20〜400nm程度)のp型半導体粒子を分散させた分散液を調製し、この分散液を光吸収層18上にバーコーター法や印刷法などにより塗布し、乾燥後焼成することにより正孔輸送層22を形成してもよい。あるいは、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着、スパッタ蒸着、クラスタイオンビーム蒸着等の物理蒸着法又はCVD等の化学蒸着法により光吸収層18上にp型半導体からなる薄膜状の正孔輸送層22を形成してもよい。その後、対極20を正孔輸送層22上に形成する。具体的には、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着、スパッタ蒸着、クラスタイオンビーム蒸着等の物理蒸着法又はCVD等の化学蒸着法により正孔輸送層22上にAuやPtなどの金属薄膜からなる対極20を形成してもよい。あるいは、上述した透明導電性基板14と同じ基板を用意し、透明導電膜14bが正孔輸送層22と接触するように積層してもよい。そして、最後にバッファ層16,光吸収層18及び正孔輸送層22のそれぞれの側面をシール材24で被覆し、太陽電池10が完成する。   Subsequently, the hole transport layer 22 is formed on the light absorption layer 18. Specifically, a dispersion in which p-type semiconductor particles having a predetermined size (for example, a particle diameter of about 20 to 400 nm) are dispersed is prepared, and this dispersion is applied to the light absorption layer 18 by a bar coater method or a printing method. Alternatively, the hole transport layer 22 may be formed by applying, for example, and baking after drying. Alternatively, a thin hole transport layer 22 made of a p-type semiconductor is formed on the light absorption layer 18 by physical vapor deposition such as electron beam vapor deposition, resistance heating vapor deposition, sputter vapor deposition, cluster ion beam vapor deposition, or chemical vapor deposition such as CVD. It may be formed. Thereafter, the counter electrode 20 is formed on the hole transport layer 22. Specifically, a counter electrode made of a metal thin film such as Au or Pt on the hole transport layer 22 by physical vapor deposition such as electron beam vapor deposition, resistance heating vapor deposition, sputter vapor deposition, or cluster ion beam vapor deposition, or chemical vapor deposition such as CVD. 20 may be formed. Or the same board | substrate as the transparent conductive substrate 14 mentioned above may be prepared, and it may laminate | stack so that the transparent conductive film 14b may contact the hole transport layer 22. FIG. Finally, the side surfaces of the buffer layer 16, the light absorption layer 18, and the hole transport layer 22 are covered with the sealing material 24 to complete the solar cell 10.

以上詳述した本実施形態の太陽電池10は、光吸収層18の伝導帯下端を基準とし光吸収層18とバッファ層16との伝導帯下端の差であるコンダクションバンドオフセット値CBOが−0.2eV以上0.1eV以下の範囲であるため、変換効率をより向上することができる。太陽電池では、一般に、SnSで光励起された電子がバッファ層16を介して透明導電性基板14に輸送される際に、CBOが大きな負の値であると電子と正孔とが再結合しやすく特性が悪化するものと考えられる。一方、CBOが大きな正の値であるとSnSから透明導電性基板14へ電子が輸送されにくくなり、特性が悪化するものと考えられる。本発明では、最適なCBOを有するバッファ層16を採用することにより、変換効率をより向上することができるのである。   In the solar cell 10 of the present embodiment described in detail above, the conduction band offset value CBO, which is the difference between the lower end of the conduction band between the light absorption layer 18 and the buffer layer 16, with the conduction band lower end of the light absorption layer 18 as a reference is -0. Since it is in the range of not less than 0.2 eV and not more than 0.1 eV, the conversion efficiency can be further improved. In a solar cell, in general, when electrons photoexcited with SnS are transported to the transparent conductive substrate 14 via the buffer layer 16, if CBO has a large negative value, electrons and holes are easily recombined. It is thought that the characteristics deteriorate. On the other hand, when CBO is a large positive value, it is considered that electrons are hardly transported from SnS to the transparent conductive substrate 14 and the characteristics are deteriorated. In the present invention, the conversion efficiency can be further improved by employing the buffer layer 16 having the optimum CBO.

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that the present invention can be implemented in various modes as long as it belongs to the technical scope of the present invention.

例えば、上述した実施形態では、一つの太陽電池10について説明したが、図3に示すように複数の太陽電池(以下、単セルという)110を直列に接続した電池モジュール100としてもよい。単セル110は、図3で一点鎖線で囲まれた部分である。この単セル110は、透明導電性基板114の透明導電膜114bと対極120との間に、上述した実施形態の太陽電池10のバッファ層16,光吸収層18及び正孔輸送層22と同様のバッファ層116,光吸収層118及び正孔輸送層122を有するものである。一つの単セル110の対極120は、セルの厚み方向に屈曲されて隣接する一方の単セル110の透明導電膜114bと電気的に接続されているが、隣接する他方の単セル110の透明導電膜114bや隣接する両方の単セル110の対極120とはシール材124により電気的に絶縁されている。透明導電性基板114のうち、透明基板114aはすべての単セル110に共通の部材であるが、透明導電膜114bは各単セル110ごとに形成されている。この電池モジュール100は、高出力が要求される場合に有効である。また、平面的なスペースに配置することが可能である。なお、電池を配置するスペースによっては、複数の太陽電池10を縦方向に積み上げて直列接続してもよい。もちろん並列接続することも可能である。   For example, although one solar cell 10 has been described in the above-described embodiment, a battery module 100 in which a plurality of solar cells (hereinafter referred to as single cells) 110 are connected in series as shown in FIG. 3 may be used. The single cell 110 is a portion surrounded by a one-dot chain line in FIG. This single cell 110 is similar to the buffer layer 16, the light absorption layer 18, and the hole transport layer 22 of the solar cell 10 of the above-described embodiment between the transparent conductive film 114 b of the transparent conductive substrate 114 and the counter electrode 120. The buffer layer 116, the light absorption layer 118, and the hole transport layer 122 are included. The counter electrode 120 of one single cell 110 is bent in the thickness direction of the cell and is electrically connected to the transparent conductive film 114b of one adjacent single cell 110, but the transparent conductive property of the other adjacent single cell 110 is transparent. The membrane 114b and the counter electrode 120 of both adjacent unit cells 110 are electrically insulated by a sealing material 124. Of the transparent conductive substrate 114, the transparent substrate 114 a is a member common to all the single cells 110, but the transparent conductive film 114 b is formed for each single cell 110. This battery module 100 is effective when high output is required. Further, it can be arranged in a planar space. Depending on the space in which the batteries are arranged, a plurality of solar cells 10 may be stacked in the vertical direction and connected in series. Of course, parallel connection is also possible.

以下には本発明の太陽電池(以下、素子ともいう)を具体的に作製した例を実施例として説明する。ここでは、光吸収層をSnSとし、バッファ層をZn(1-X)MgXOとした素子を作製し、その特性について検討した。 Hereinafter, an example in which the solar cell of the present invention (hereinafter also referred to as an element) is specifically manufactured will be described as examples. Here, an element in which the light absorption layer is SnS and the buffer layer is Zn (1-X) Mg X O is fabricated, and the characteristics thereof are examined.

[実施例1]
図1に示す積層型の素子を以下の手順にしたがって作製した。透明導電性基板としてのITO薄膜(140nm)/ガラス基板上に、RFマグネトロンスパッタ法により、バッファ層としてのZn(1-X)MgXO(ZMO,X=0.17)の薄膜(100nm)、光吸収層としてのSnS薄膜(50nm)、正孔輸送層としてのCu薄膜を順に成膜した。ただし、ZMO薄膜成膜後、Ar雰囲気中で300℃で熱処理を施し、SnS薄膜成膜後、大気中200℃で熱処理を施すことにより、それぞれ表面改質を行った。ZMO成膜は、Zn0.8Mg0.2OターゲットとZnOターゲットを用いた二元同時スパッタにより行った。Mg量は、ZnOターゲットへの印加電力によって制御した。ここでは、X=0.17となるように調整してスパッタリングを行った。得られた素子を実施例1とした。
[Example 1]
The multilayer element shown in FIG. 1 was produced according to the following procedure. ITO thin film (140 nm) as a transparent conductive substrate / Zn (1-X) Mg x O (ZMO, X = 0.17) thin film (100 nm) as a buffer layer on a glass substrate by RF magnetron sputtering Then, an SnS thin film (50 nm) as a light absorption layer and a Cu thin film as a hole transport layer were sequentially formed. However, after the ZMO thin film was formed, heat treatment was performed at 300 ° C. in an Ar atmosphere, and after the SnS thin film was formed, heat treatment was performed at 200 ° C. in the atmosphere, thereby performing surface modification. ZMO film formation was performed by binary simultaneous sputtering using a Zn 0.8 Mg 0.2 O target and a ZnO target. The amount of Mg was controlled by the power applied to the ZnO target. Here, sputtering was performed by adjusting so that X = 0.17. The obtained device was referred to as Example 1.

[実施例2]
バッファ層として、Zn(1-X)MgXO(X=0.15)の薄膜(100nm)を成膜した以外は実施例1と同様の工程を経て得られた素子を実施例2とした。
[Example 2]
An element obtained through the same process as in Example 1 except that a thin film (100 nm) of Zn (1-X) Mg X O (X = 0.15) was formed as the buffer layer was set as Example 2. .

[実施例3]
透明導電性基板を、ガリウムドープ酸化亜鉛コートガラスとした以外は実施例1と同様の工程を経て得られた素子を実施例3とした。
[Example 3]
An element obtained through the same steps as in Example 1 except that the transparent conductive substrate was gallium-doped zinc oxide coated glass was designated as Example 3.

[比較例1]
バッファ層として、ZnO(Zn(1-X)MgXO(X=0))の薄膜(100nm)を成膜した以外は実施例1と同様の工程を経て得られた素子を比較例1とした。
[Comparative Example 1]
A device obtained through the same steps as in Example 1 except that a thin film (100 nm) of ZnO (Zn (1-X) Mg X O (X = 0)) was formed as a buffer layer was compared with Comparative Example 1. did.

[比較例2]
バッファ層として、Zn(1-X)MgXO(X=0.25)の薄膜(100nm)を成膜した以外は実施例1と同様の工程を経て得られた素子を比較例2とした。
[Comparative Example 2]
A device obtained through the same process as in Example 1 except that a thin film (100 nm) of Zn (1-X) Mg X O (X = 0.25) was formed as the buffer layer was used as Comparative Example 2. .

[比較例3]
バッファ層として、TiO2の薄膜(100nm)を成膜した以外は実施例1と同様の工程を経て得られた素子を比較例3とした。
[Comparative Example 3]
A device obtained through the same steps as in Example 1 except that a TiO 2 thin film (100 nm) was formed as a buffer layer was used as Comparative Example 3.

(評価結果)
図4は、Zn(1-X)MgXOのXと光学バンドギャップとの関係図である。ここでは、X=0,0.025,0.06,0.07,0.17,0.25のZMOを作製し、UV−visにより光学バンドギャップの測定を行った。その結果、X値と光学バンドギャップとは直線関係が得られることがわかった。この関係及びZnOにMgをドープしても価電子帯の上端位置はほぼ変わらないとの特徴から、Zn(1-X)MgXO(X=0)における、光吸収層の伝導帯下端を基準とし光吸収層とバッファ層との伝導帯下端の差であるコンダクションバンドオフセット(CBO)値とX値との関係は、直線関係となる。図5は、Zn(1-X)MgXOのX値とSnSに対するCBO値との関係図である。また、図6は、実施例3及び比較例3の太陽電池の発電特性を示す図である。バッファ層をGZOとした実施例3の素子においても、短絡電流密度Jsc(mA/cm2)は変化せず、開放電圧Voc(V)とフィルファクターFFが向上した結果が得られた。比較例3の変換効率0.89%に対して、実施例3の変換効率は1.1%に向上した。
(Evaluation results)
FIG. 4 is a relationship diagram between X of Zn (1-X) Mg X O and the optical band gap. Here, ZMO of X = 0, 0.025, 0.06, 0.07, 0.17, 0.25 was produced, and the optical band gap was measured by UV-vis. As a result, it was found that a linear relationship was obtained between the X value and the optical band gap. From this relationship and the feature that the top position of the valence band does not change even if Mg is doped in ZnO, the bottom of the conduction band of the light absorption layer in Zn (1-X) Mg X O (X = 0) The relationship between the conduction band offset (CBO) value, which is the difference between the lower end of the conduction band between the light absorption layer and the buffer layer, and the X value is a linear relationship. FIG. 5 is a relationship diagram between the X value of Zn (1-X) Mg X O and the CBO value for SnS. FIG. 6 is a graph showing the power generation characteristics of the solar cells of Example 3 and Comparative Example 3. Even in the element of Example 3 in which the buffer layer was GZO, the short-circuit current density Jsc (mA / cm 2 ) did not change, and the result that the open circuit voltage Voc (V) and the fill factor FF were improved was obtained. While the conversion efficiency of Comparative Example 3 was 0.89%, the conversion efficiency of Example 3 was improved to 1.1%.

図7は、実施例1,2及び比較例1,2におけるZn(1-X)MgXOのX値と太陽電池特性との関係図であり、図7(a)がX値に対するJscの関係図、図7(b)がX値に対するVoc値の関係図、図7(c)がX値に対するFF値の関係図、図7(d)がX値に対する変換効率(%)の関係図である。図7に示すように、Jscは、X値が0.1<X<0.2を満たすと良好であり、0.15≦X≦0.17を満たすと、最も高かった。また、Vocは、X値が0.15以上で飽和し、FFは、X値に対して緩やかな増加傾向を示した。変換効率はJscとVocとFFとの積で定義されることから、変換効率はJscに大きく依存することが推察された。そして、X値が0.1<X<0.2を満たすと変換効率が良好であり、0.15≦X≦0.17を満たすと、変換効率が最も高かった。また、本実験結果から、CBO値が−0.2eV以上0.1eV以下の範囲で変換効率をより向上することができ、−0.1eV以上0eV以下の範囲で変換効率が最も高いことがわかった。 FIG. 7 is a graph showing the relationship between the X value of Zn (1-X) Mg X O and the solar cell characteristics in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, and FIG. FIG. 7B is a relationship diagram of the Voc value with respect to the X value, FIG. 7C is a relationship diagram of the FF value with respect to the X value, and FIG. 7D is a relationship diagram of the conversion efficiency (%) with respect to the X value. It is. As shown in FIG. 7, Jsc was good when the X value satisfied 0.1 <X <0.2, and highest when 0.15 ≦ X ≦ 0.17. Voc was saturated when the X value was 0.15 or more, and FF showed a moderate increasing trend with respect to the X value. Since the conversion efficiency is defined by the product of Jsc, Voc, and FF, it was inferred that the conversion efficiency largely depends on Jsc. When the X value satisfies 0.1 <X <0.2, the conversion efficiency is good. When the X value satisfies 0.15 ≦ X ≦ 0.17, the conversion efficiency is the highest. In addition, it can be seen from the results of this experiment that the conversion efficiency can be further improved when the CBO value is in the range of −0.2 eV to 0.1 eV, and the highest in the range of −0.1 eV to 0 eV. It was.

本発明の太陽電池は、例えば家庭用、オフィス用、工場用の各種電化製品の電源や電気自動車、ハイブリッド自動車、電動自転車などのバッテリのほか、ソーラーパネルなどに利用可能である。   The solar cell of the present invention can be used, for example, as a power source for various electric appliances for home use, office use, and factory use, batteries for electric vehicles, hybrid vehicles, electric bicycles, and solar panels.

10 太陽電池、12 光電極、14 透明導電性基板、14a 透明基板、14b 透明導電膜、16 バッファ層、18 光吸収層、20 対極、22 正孔輸送層、24 シール材、100 電池モジュール、110 単セル、114 透明導電性基板、114a 透明基板、114b 透明導電膜、116 バッファ層、118 光吸収層、120 対極、122 正孔輸送層、124 シール材。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Solar cell, 12 Photoelectrode, 14 Transparent conductive substrate, 14a Transparent substrate, 14b Transparent conductive film, 16 Buffer layer, 18 Light absorption layer, 20 Counter electrode, 22 Hole transport layer, 24 Sealing material, 100 Battery module, 110 Single cell, 114 transparent conductive substrate, 114a transparent substrate, 114b transparent conductive film, 116 buffer layer, 118 light absorption layer, 120 counter electrode, 122 hole transport layer, 124 sealing material.

Claims (6)

導電性を有する透明導電性基板と、前記透明導電性基板に隣接し電子を輸送するバッファ層と、SnSを含み前記バッファ層に隣接し光を吸収する光吸収層と、を有する光電極と、
対極と、
前記光電極と対極との間に形成された正孔輸送層と、を備え、
前記光吸収層の伝導帯下端を基準とし前記光吸収層と前記バッファ層との伝導帯下端の差であるコンダクションバンドオフセット値が−0.2eV以上0.1eV以下の範囲である、太陽電池。
A photoconductive electrode comprising: a conductive conductive transparent substrate; a buffer layer that is adjacent to the transparent conductive substrate and transports electrons; and a light absorption layer that includes SnS and is adjacent to the buffer layer and absorbs light;
With the counter electrode,
A hole transport layer formed between the photoelectrode and the counter electrode,
A solar cell having a conduction band offset value in a range of −0.2 eV or more and 0.1 eV or less, which is a difference between the conduction band lower ends of the light absorption layer and the buffer layer with reference to the lower end of the conduction band of the light absorption layer. .
前記バッファ層は、TiO2,ZnO、SnO2、及びZn(1-X)MgXO(但し、0<X<1を満たす)のうちいずれか1つからなる、請求項1に記載の太陽電池。 2. The sun according to claim 1, wherein the buffer layer is made of any one of TiO 2 , ZnO, SnO 2 , and Zn (1-X) Mg X O (where 0 <X <1 is satisfied). battery. 前記バッファ層は、Zn(1-X)MgXO(但し、0.1<X<0.2を満たす)である、請求項1又は2に記載の太陽電池。 The solar cell according to claim 1, wherein the buffer layer is Zn (1-X) Mg X O (provided that 0.1 <X <0.2 is satisfied). 前記バッファ層は、Zn(1-X)MgXO(但し、0.15≦X≦0.17を満たす)である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池。 The solar cell according to claim 1, wherein the buffer layer is Zn (1-X) Mg X O (provided that 0.15 ≦ X ≦ 0.17 is satisfied). 前記正孔輸送層は、CuI、CuSCN、CuO、Cu2O及びCuのうちいずれか1つからなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の太陽電池。 The solar cell according to claim 1, wherein the hole transport layer is made of any one of CuI, CuSCN, CuO, Cu 2 O, and Cu. 前記コンダクションバンドオフセット値が−0.1eV以上0eV以下の範囲である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の太陽電池。   The solar cell according to any one of claims 1 to 5, wherein the conduction band offset value is in a range of not less than -0.1 eV and not more than 0 eV.
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