JP2013186066A - X-ray inspection device - Google Patents

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Kazuhiro Suhara
一浩 栖原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray inspection device that enables continuous acquisition of many pieces of information from a plurality of articles.SOLUTION: An X-ray inspection device 100 comprises a conveyor unit 11, an X-ray radiation part 12, an X-ray detection part 13 and a rotary mechanism 15. The conveyor unit conveys an article. The X-ray radiation part is placed on a first side of the conveyor unit and radiates the article from the first side with an X-ray. The X-ray radiation part is placed on a second side and detects a transmission X-ray. The second side is a side that is opposite the first side. The transmission X-ray is an X-ray that has passed through the article. The rotary mechanism rotates the article around a vertical shaft.

Description

本発明は、X線検査装置に関する。   The present invention relates to an X-ray inspection apparatus.

従来、物品にX線を照射し、物品を透過したX線(透過X線)に基づいて、物品に混入する異物を判定するX線検査装置が知られている。このようなX線検査装置では、例えば、特許文献1(特開2009−80031号公報)に示すように、物品は、コンベアユニットによって水平方向に搬送される。X線は、コンベアユニットの上方から照射され、透過X線はコンベアユニットの下方で検出される。X線検査装置は、透過X線に基づいて物品の二次元情報を生成し、二次元情報に基づいた異物の判定を行う。   2. Description of the Related Art Conventionally, X-ray inspection apparatuses that irradiate an article with X-rays and determine foreign matters mixed in the article based on X-rays transmitted through the article (transmitted X-rays) are known. In such an X-ray inspection apparatus, for example, as shown in Patent Document 1 (Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2009-80031), articles are conveyed in the horizontal direction by a conveyor unit. X-rays are irradiated from above the conveyor unit, and transmitted X-rays are detected below the conveyor unit. The X-ray inspection apparatus generates two-dimensional information of an article based on transmitted X-rays, and determines a foreign object based on the two-dimensional information.

ところで、上記のようなX線検査装置は、物品の種類に対応して設定された閾値と、二次元情報とを用いて異物の判定を行う。ここで、設定された閾値が適当な値でない場合には、異物の有無について誤った判定がされる場合がある。そこで、二次元情報に基づいて異物があると判定された場合であっても、再度、物品の情報を多角的に取得し、三次元情報に基づいてより詳細な検査を行うことが好ましい。しかし、上記のようなX線検査装置において、物品から多角的に情報を取得しようとした場合、物品を把持し、水平軸まわりに回転させるための把持部が必要である。また、検査対象となる物品を把持部によって把持させる必要があるため、複数の物品について詳細な検査を行うことは困難である。   Incidentally, the X-ray inspection apparatus as described above determines a foreign object using a threshold set corresponding to the type of article and two-dimensional information. Here, if the set threshold value is not an appropriate value, an erroneous determination may be made regarding the presence or absence of foreign matter. Therefore, even if it is determined that there is a foreign object based on the two-dimensional information, it is preferable to obtain information on the article from various angles and perform a more detailed inspection based on the three-dimensional information. However, in the X-ray inspection apparatus as described above, if information is to be acquired from an article in a multifaceted manner, a gripping unit for gripping the article and rotating it around a horizontal axis is necessary. In addition, since it is necessary to grip the article to be inspected by the gripping unit, it is difficult to perform a detailed inspection on a plurality of articles.

本発明の課題は、複数の物品についての詳細な検査を容易にするX線検査装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus that facilitates detailed inspection of a plurality of articles.

本発明に係るX線検査装置は、コンベアユニットと、X線照射部と、X線検出部と、回転機構と、を備える。コンベアユニットは、物品を搬送する。X線照射部は、コンベアユニットの第1の側方に配置され、物品に対し第1の側方からX線を照射する。X線検出部は、第2の側方に配置され、透過X線を検出する。第2の側方とは、第1の側方に対向する側である。また、透過X線は、物品を透過したX線である。回転機構は、物品を鉛直軸回りに回転させる。これにより、複数の物品についての詳細な検査を容易に行うことができる。   The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a conveyor unit, an X-ray irradiation unit, an X-ray detection unit, and a rotation mechanism. The conveyor unit conveys articles. The X-ray irradiation unit is disposed on the first side of the conveyor unit and irradiates the article with X-rays from the first side. The X-ray detection unit is disposed on the second side and detects transmitted X-rays. The second side is a side facing the first side. The transmitted X-ray is an X-ray that has passed through the article. The rotation mechanism rotates the article around the vertical axis. Thereby, the detailed test | inspection about a some article | item can be performed easily.

また、回転機構は、コンベアユニット上の物品を回転させることが好ましい。これにより、物品の搬送を止めることなく物品から多数の情報を取得することができる。   Moreover, it is preferable that a rotation mechanism rotates the article | item on a conveyor unit. Thereby, a lot of information can be acquired from an article, without stopping conveyance of an article.

また、回転機構は、コンベアユニット上の物品をさらに鉛直方向上方に移動させることが好ましい。これにより、物品全体から多数の情報を取得することができる。   Further, it is preferable that the rotating mechanism further moves the article on the conveyor unit upward in the vertical direction. Thereby, a lot of information can be acquired from the whole article.

さらに、X線照射部は、X線照射空間において物品にX線を照射し、回転機構は、物品がX線照射空間にあるとき、物品を回転させることが好ましい。これにより、物品についての三次元情報を取得することができる。   Furthermore, the X-ray irradiation unit irradiates the article with X-rays in the X-ray irradiation space, and the rotation mechanism preferably rotates the article when the article is in the X-ray irradiation space. Thereby, the three-dimensional information about the article can be acquired.

また、X線照射部は、X線照射空間において物品にX線を照射し、回転機構は、物品がX線照射空間にあるとき、物品を回転させながら鉛直方向上方に移動させることが好ましい。これにより、物品についての三次元情報を効率よく取得することができる。   Moreover, it is preferable that the X-ray irradiation unit irradiates the article with X-rays in the X-ray irradiation space, and the rotation mechanism moves the article upward in the vertical direction while rotating the article when the article is in the X-ray irradiation space. Thereby, the three-dimensional information about the article can be acquired efficiently.

また、コンベアユニットは、物品を載せるテーブルを有し、回転機構は、テーブルを回転させることが好ましい。これにより、物品を、姿勢を安定させた状態で回転させることができる。   Moreover, it is preferable that a conveyor unit has a table which mounts articles | goods and a rotation mechanism rotates a table. Thereby, the article can be rotated in a state in which the posture is stabilized.

また、X線検出部は、フラットパネルセンサであることが好ましい。これにより、短時間で多数の情報を取得することができる。   The X-ray detection unit is preferably a flat panel sensor. Thereby, a lot of information can be acquired in a short time.

本発明に係るX線検査装置によれば、複数の物品についての詳細な検査を容易に行うことができる。   According to the X-ray inspection apparatus according to the present invention, detailed inspection of a plurality of articles can be easily performed.

本発明の一の実施形態に係るX線検査装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the X-ray inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一の実施形態に係るX線検査装置の概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一の実施形態に係るX線検査装置の概略平面図である。1 is a schematic plan view of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一の実施形態に係るX線検査装置の概略側面図である。1 is a schematic side view of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一の実施形態に係るX線検査装置の概略側面図である。1 is a schematic side view of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一の実施形態に係るX線検査装置における処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of a process in the X-ray inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の変形例Dに係るX線検査装置の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the X-ray inspection apparatus which concerns on the modification D of this invention. 本発明の変形例Dに係るX線検査装置の概略平面図である。It is a schematic plan view of the X-ray inspection apparatus which concerns on the modification D of this invention. 本発明の変形例Dに係るX線検査装置の概略側面図である。It is a schematic side view of the X-ray inspection apparatus which concerns on the modification D of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るX線検査装置について説明する。   Hereinafter, an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(1)X線検査装置の概略説明
図1は、本発明の一実施形態に係るX線検査装置100の構成を説明するためのブロック図である。X線検査装置100は、連続して搬送される物品GにX線を照射して物品Gについての異物の混入の有無を判断する。具体的に、X線検査装置100は、複数の物品Gから各物品Gの透過X線を連続的に検出し、当該透過X線に関するデータに基づいて物品Gの三次元データ(サイノグラム、断層画像、および立体画像)を生成する。さらに、X線検査装置100は、物品Gのサイノグラム、断層画像、および立体画像に基づいて物品Gに混入される異物の有無を判定する。
(1) Schematic Description of X-ray Inspection Apparatus FIG. 1 is a block diagram for explaining the configuration of an X-ray inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. The X-ray inspection apparatus 100 determines whether or not foreign matter is mixed in the article G by irradiating the article G that is continuously conveyed with X-rays. Specifically, the X-ray inspection apparatus 100 continuously detects transmission X-rays of each article G from a plurality of articles G, and based on data relating to the transmission X-rays, three-dimensional data (sinogram, tomographic image) of the article G , And stereoscopic image). Furthermore, the X-ray inspection apparatus 100 determines the presence or absence of foreign matter mixed in the article G based on the sinogram, tomographic image, and stereoscopic image of the article G.

X線検査装置100は、図1に示すように、搬送機構(コンベアユニット)11、X線照射器(X線照射部)12、ラインセンサ(X線検出部)13、モニタ14、回転機構15、および制御装置16を備える。X線検査装置は、図示しないシールドボックスをさらに備える。以下、X線検査装置が備える各構成について詳細に説明する。   As shown in FIG. 1, the X-ray inspection apparatus 100 includes a transport mechanism (conveyor unit) 11, an X-ray irradiator (X-ray irradiator) 12, a line sensor (X-ray detector) 13, a monitor 14, and a rotating mechanism 15. And a control device 16. The X-ray inspection apparatus further includes a shield box (not shown). Hereafter, each structure with which an X-ray inspection apparatus is provided is demonstrated in detail.

(2)X線検査装置の詳細説明
(2−1)シールドボックス
シールドボックスは、搬送機構11、X線照射器12、ラインセンサ13、回転機構15、および制御装置16を収容するボックスである。シールドボックスは、外部へのX線の漏洩を防止する。シールドボックスの正面には、モニタ14が取り付けられる。さらに、シールドボックスの正面には、キーの差し込み口および電源スイッチ等が配置される。シールドボックスの側面には、扉が設けられる。扉は、シールドボックスに対して物品Gを出し入れするために用いられる。
(2) Detailed description of X-ray inspection apparatus (2-1) Shield box The shield box is a box that houses the transport mechanism 11, the X-ray irradiator 12, the line sensor 13, the rotation mechanism 15, and the control device 16. The shield box prevents leakage of X-rays to the outside. A monitor 14 is attached to the front of the shield box. Furthermore, a key insertion slot, a power switch, and the like are arranged on the front face of the shield box. A door is provided on the side of the shield box. The door is used to put in and out the article G with respect to the shield box.

(2−2)搬送機構
搬送機構11は、シールドボックス内で物品Gを搬送する機構である。具体的に、搬送機構11は、物品Gがシールドボックス内で旋回するように、物品Gを平面内で移動させる(図2参照)。
(2-2) Transport Mechanism The transport mechanism 11 is a mechanism that transports the article G within the shield box. Specifically, the transport mechanism 11 moves the article G in the plane so that the article G turns in the shield box (see FIG. 2).

搬送機構11は、図1に示すように、主として、平面移動部材11aと、回転テーブル11bと、搬送駆動モータ11cとから構成されている。   As shown in FIG. 1, the transport mechanism 11 is mainly composed of a plane moving member 11a, a rotary table 11b, and a transport drive motor 11c.

平面移動部材11aは、シールドボックスにおいて、物品Gを平面内で搬送する部材である。具体的に、平面移動部材11aは、物品Gを旋回させてX線の照射範囲Xに移動させ、さらに、照射範囲Xから遠ざける。平面移動部材11aは、物品Gの搬送経路を構成する環状の部材である(図2参照)。平面移動部材11aは、環状に連続する平面部を有する。平面移動部材11aは、搬送駆動モータ11cによって駆動され、平面内で旋回する。   The plane moving member 11a is a member that conveys the article G in a plane in the shield box. Specifically, the plane moving member 11a turns the article G to move to the X-ray irradiation range X, and further away from the irradiation range X. The plane moving member 11a is an annular member that constitutes the conveyance path of the article G (see FIG. 2). The planar moving member 11a has a planar portion that is continuous in an annular shape. The plane moving member 11a is driven by the transport drive motor 11c and turns in the plane.

回転テーブル11bは、平面移動部材11aによって照射範囲Xに移動させた物品Gを、照射範囲Xで回転させる部材である。回転テーブル11bは、物品Gを載せるためのテーブルである。回転テーブル11bは、平面移動部材11aの平面部の一部を構成する。したがって、回転テーブル11bは、平面移動部材11aの平面内の旋回に伴って、平面内を移動する。回転テーブル11bは、平面移動部材11aに複数配置される。複数の回転テーブル11bは、所定の間隔を空けて平面移動部材11aに配置される。回転テーブル11bは、側面に歯が切られている。回転テーブル11bの側面の歯は、後述する回転機構15の接触部材15aの側面と噛み合うような形状を有する。回転テーブル11bは、回転機構15の駆動により、回転テーブル11bの中心を基準に鉛直軸回りに回転し、かつ、鉛直軸方向に移動する(図3Bおよび図3C参照)。なお、回転テーブル11bが回転している間、搬送駆動モータ11cは平面移動部材11aの駆動を停止する。すなわち、回転テーブル11bは、平面内の位置を変えることなく、鉛直軸回りに物品Gを回転させる。   The turntable 11b is a member that rotates the article G, which has been moved to the irradiation range X by the plane moving member 11a, within the irradiation range X. The turntable 11b is a table on which the article G is placed. The turntable 11b constitutes a part of the plane portion of the plane moving member 11a. Therefore, the rotary table 11b moves in the plane as the plane moving member 11a turns in the plane. A plurality of rotary tables 11b are arranged on the plane moving member 11a. The plurality of turntables 11b are arranged on the plane moving member 11a with a predetermined interval. The rotary table 11b has teeth cut on the side surfaces. The teeth on the side surface of the rotary table 11b have a shape that meshes with the side surface of a contact member 15a of the rotation mechanism 15 described later. The rotation table 11b rotates around the vertical axis with the center of the rotation table 11b as a reference and moves in the vertical axis direction by driving the rotation mechanism 15 (see FIGS. 3B and 3C). In addition, while the turntable 11b is rotating, the conveyance drive motor 11c stops driving the planar moving member 11a. That is, the turntable 11b rotates the article G around the vertical axis without changing the position in the plane.

(2−3)X線照射器
X線照射器12は、物品GにX線を照射する。図2および図3A〜図3Cに示すように、X線照射器12は、物品Gの搬送経路の側方に配置される。すなわち、X線照射器12は、物品Gに対して、側方からX線を照射する。図3Aに示すように、X線の照射範囲Xは、平面視で、水平方向に扇状に広がる。
(2-3) X-ray irradiator The X-ray irradiator 12 irradiates the article G with X-rays. As shown in FIG. 2 and FIGS. 3A to 3C, the X-ray irradiator 12 is disposed on the side of the conveyance path of the article G. That is, the X-ray irradiator 12 irradiates the article G with X-rays from the side. As shown in FIG. 3A, the X-ray irradiation range X extends in a fan shape in the horizontal direction in plan view.

(2−4)ラインセンサ
ラインセンサ13は、X線照射器12から照射されたX線を検出する部材である。ラインセンサ13は、図2および図3A〜図3Cに示すように、物品Gの搬送経路の側方に配置される。具体的には、ラインセンサ13は、物品Gの搬送経路を挟んで、X線照射器12に対向する位置に配置される。ラインセンサ13は、主として、多数のX線検出素子13aから構成されている。具体的に、多数のX線検出素子13aは、図2および図3Aに示すように、水平方向に線状に並ぶ。各X線検出素子13aは、物品Gを透過したX線に基づいて、X線透過信号を出力する。言い換えると、X線透過信号は、透過したX線の強度に応じたX線透過信号を出力する。なお、透過したX線の強度は、透過したX線量(透過X線量)の大小に依存する。
(2-4) Line Sensor The line sensor 13 is a member that detects X-rays emitted from the X-ray irradiator 12. As shown in FIGS. 2 and 3A to 3C, the line sensor 13 is disposed on the side of the conveyance path of the article G. Specifically, the line sensor 13 is disposed at a position facing the X-ray irradiator 12 across the conveyance path of the article G. The line sensor 13 is mainly composed of a large number of X-ray detection elements 13a. Specifically, as shown in FIGS. 2 and 3A, a large number of X-ray detection elements 13a are arranged in a line in the horizontal direction. Each X-ray detection element 13a outputs an X-ray transmission signal based on the X-ray transmitted through the article G. In other words, the X-ray transmission signal outputs an X-ray transmission signal corresponding to the intensity of the transmitted X-ray. The intensity of the transmitted X-ray depends on the magnitude of the transmitted X-ray dose (transmitted X-ray dose).

さらに、ラインセンサ13は、検体である物品Gが扇状のX線の照射範囲Xを通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。すなわち、ラインセンサ13は、搬送機構11によって搬送される物品Gが、ラインセンサ13の前方位置(照射範囲X)に達したとき、所定の閾値以下の電圧を示すX線透過信号(第1信号)を出力する。また、ラインセンサ13は、物品Gが照射範囲Xを通過すると所定の閾値を上回る電圧を示すX線透過信号(第2信号)を出力する。第1信号および第2信号が後述の制御装置16に入力されることにより、照射範囲Xにおける製品Gの有無が検出される。   Further, the line sensor 13 also functions as a sensor for detecting the timing when the article G as a specimen passes through the fan-shaped X-ray irradiation range X. That is, when the article G conveyed by the conveyance mechanism 11 reaches the front position (irradiation range X) of the line sensor 13, the line sensor 13 transmits an X-ray transmission signal (first signal) indicating a voltage equal to or lower than a predetermined threshold. ) Is output. Further, when the article G passes the irradiation range X, the line sensor 13 outputs an X-ray transmission signal (second signal) indicating a voltage exceeding a predetermined threshold. The presence or absence of the product G in the irradiation range X is detected by inputting the first signal and the second signal to the control device 16 described later.

(2−5)モニタ
モニタ14は、液晶ディスプレイである。モニタ14は、検査時に必要となる検査パラメータ等の入力をオペレータに促す画面を表示する。モニタ14は、タッチパネル機能も有しており、オペレータからの検査パラメータ等の入力を受け付ける。
(2-5) Monitor The monitor 14 is a liquid crystal display. The monitor 14 displays a screen that prompts the operator to input inspection parameters and the like necessary for the inspection. The monitor 14 also has a touch panel function and accepts input of inspection parameters and the like from the operator.

(2−6)回転機構
回転機構15は、搬送機構11の回転テーブル11bを、照射範囲Xで回転させる機構である。回転機構15は、図1に示すように、主として、接触部材15aと、回転駆動モータ15bとを有する。接触部材15aは、回転テーブル11bの側面と接触する部材である。接触部材15aは、搬送経路の外側(側方)に配置される。接触部材15aの側面には、歯が切られている。接触部材15aの側面の歯は、上述したように、回転テーブル11bの側面の歯と噛み合うように構成されている。また、接触部材15aは、回転テーブル11bが照射範囲Xに到達したとき、回転テーブル11bの側面と噛み合うように配置されている。
(2-6) Rotation Mechanism The rotation mechanism 15 is a mechanism that rotates the rotation table 11b of the transport mechanism 11 within the irradiation range X. As shown in FIG. 1, the rotation mechanism 15 mainly includes a contact member 15a and a rotation drive motor 15b. The contact member 15a is a member that contacts the side surface of the turntable 11b. The contact member 15a is disposed outside (side) the transport path. Teeth are cut on the side surface of the contact member 15a. As described above, the teeth on the side surface of the contact member 15a are configured to mesh with the teeth on the side surface of the rotary table 11b. Further, the contact member 15a is arranged so as to mesh with the side surface of the turntable 11b when the turntable 11b reaches the irradiation range X.

接触部材15aは、回転駆動モータ15bにより駆動される。具体的には、図示しないセンサによって、接触部材15aと回転テーブル11bとの接触が検知されると、回転駆動モータ15bが、接触部材15aを駆動する。回転駆動モータ15bは、物品Gが照射範囲Xで鉛直軸回りに360°回転するように、接触部材15aを回転させる。さらに、回転駆動モータ15bは、接触部材15aを上下に移動させる。具体的に、回転駆動モータ15bは、物品Gの高さ方向全域にX線が照射されるように、接触部材15aを照射範囲Xで鉛直軸方向上方へ所定距離移動させる。すなわち、回転駆動モータ15bは、接触部材15aを鉛直軸周りに回転させながら上方位置へ移動させる。これにより、物品Gは、照射範囲Xにおいて360°回転しながらX線が拡がる方向を横切るように移動する(図3Bおよび図3C参照)。また、回転駆動モータ15bは、接触部材15aの回転と上方位置への移動とが同時に完了するように接触部材15aを制御する。すなわち、接触部材15aが物品Gを360°回転することにより、物品Gの下方位置から上方位置への移動も終わる。その後、回転駆動モータ15bは、接触部材15aを逆回転させながら、下方位置へと移動させる。   The contact member 15a is driven by a rotational drive motor 15b. Specifically, when contact between the contact member 15a and the turntable 11b is detected by a sensor (not shown), the rotation drive motor 15b drives the contact member 15a. The rotation drive motor 15b rotates the contact member 15a so that the article G rotates 360 ° around the vertical axis in the irradiation range X. Further, the rotation drive motor 15b moves the contact member 15a up and down. Specifically, the rotation drive motor 15b moves the contact member 15a by a predetermined distance upward in the vertical axis direction within the irradiation range X so that X-rays are irradiated to the entire height direction of the article G. That is, the rotation drive motor 15b moves the contact member 15a to the upper position while rotating it around the vertical axis. Thereby, the article G moves across the direction in which the X-rays spread while rotating 360 ° in the irradiation range X (see FIGS. 3B and 3C). The rotation drive motor 15b controls the contact member 15a so that the rotation of the contact member 15a and the movement to the upper position are completed at the same time. That is, when the contact member 15a rotates the article G by 360 °, the movement of the article G from the lower position to the upper position ends. Thereafter, the rotation drive motor 15b moves the contact member 15a to a lower position while rotating the contact member 15a in the reverse direction.

(2−7)制御装置
制御装置16は、主として、ROM、RAM、HDD(ハードディスク)、およびCPUによって構成されている。制御装置16は、図1に示すように、搬送駆動モータ11c、X線照射器12、ラインセンサ13、モニタ14、および回転駆動モータ15b等に接続されている。また、制御装置16は、図示しないエンコーダから搬送駆動モータ11cの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、物品Gの平面内における移動距離を把握する。さらに、制御装置16は、図示しないエンコーダから回転駆動モータ15bの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、回転テーブル11b(物品G)の鉛直軸回りの回転角度および鉛直軸方向の移動距離を把握する。また、制御装置16は、上述したように、ラインセンサ13から出力されたX線透過信号を受信することにより、照射範囲Xに物品Gが到達したタイミングおよび照射範囲Xを通過したタイミングを検出する。
(2-7) Control Device The control device 16 is mainly composed of ROM, RAM, HDD (hard disk), and CPU. As shown in FIG. 1, the control device 16 is connected to a transport drive motor 11c, an X-ray irradiator 12, a line sensor 13, a monitor 14, a rotation drive motor 15b, and the like. Further, the control device 16 acquires data related to the rotation speed of the transport drive motor 11c from an encoder (not shown), and grasps the moving distance of the article G in the plane based on the data. Furthermore, the control device 16 acquires data related to the rotation speed of the rotation drive motor 15b from an encoder (not shown), and based on the data, the rotation angle around the vertical axis of the rotary table 11b (article G) and the movement distance in the vertical axis direction. To figure out. In addition, as described above, the control device 16 receives the X-ray transmission signal output from the line sensor 13 to detect the timing when the article G reaches the irradiation range X and the timing when it passes through the irradiation range X. .

制御装置16は、ラインセンサ13で検出したX線(透過X線)に基づいて、物品Gの三次元データを生成する。具体的に、制御装置16は、透過X線に基づいて、物品Gのサイノグラム、断層画像、および立体画像を生成する。さらに、制御装置16は、物品Gのサイノグラム、断層画像、および立体画像に基づいて、物品Gの異物判定(異物の有無、混入されている異物の場所等)を行い、判定結果をモニタ14に表示する。   The control device 16 generates three-dimensional data of the article G based on the X-ray (transmission X-ray) detected by the line sensor 13. Specifically, the control device 16 generates a sinogram, a tomographic image, and a stereoscopic image of the article G based on the transmitted X-rays. Further, the control device 16 performs foreign matter determination (existence of foreign matter, location of mixed foreign matter, etc.) of the article G based on the sinogram, tomographic image, and stereoscopic image of the article G, and the determination result is displayed on the monitor 14. indicate.

(3)処理の流れ
次に、X線検査装置100における異物判定の処理の流れについて図4を用いて説明する。
(3) Process Flow Next, the process flow of foreign matter determination in the X-ray inspection apparatus 100 will be described with reference to FIG.

先ず、ステップS11で、照射範囲Xに物品Gが到達したか否かが判断される。具体的には、ラインセンサ13から物品Gを検出した旨の信号を受信したか否かが判断される。ステップS11では、物品Gが照射範囲Xに到達するまで待機し、物品Gが照射範囲Xに到達すると、ステップS12に進む。   First, in step S11, it is determined whether or not the article G has reached the irradiation range X. Specifically, it is determined whether or not a signal indicating that the article G has been detected is received from the line sensor 13. In step S11, the process waits until the article G reaches the irradiation range X. When the article G reaches the irradiation range X, the process proceeds to step S12.

ステップS12では、物品Gについての透過X線が検出される。また、回転駆動モータ15bが駆動される。具体的に、物品Gが照射範囲Xに到達すると、ラインセンサ13は、物品Gを透過したX線に基づくX線透過信号を出力する。また、回転駆動モータ15bが駆動され物品Gは照射範囲Xで鉛直軸回りに回転するとともに、鉛直軸方向上側に移動する。これにより、物品Gに対して多数の方向から照射したX線についての透過X線が検出される。その後、ステップS13に進む。   In step S12, transmitted X-rays about the article G are detected. Further, the rotation drive motor 15b is driven. Specifically, when the article G reaches the irradiation range X, the line sensor 13 outputs an X-ray transmission signal based on the X-rays transmitted through the article G. Further, the rotary drive motor 15b is driven, and the article G rotates around the vertical axis in the irradiation range X and moves upward in the vertical axis direction. As a result, transmitted X-rays for X-rays irradiated on the article G from many directions are detected. Thereafter, the process proceeds to step S13.

ステップS13では、回転テーブル11bが360°回転したかどうかが判断される。具体的には、エンコーダから回転駆動モータ15bの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、回転テーブル11bの鉛直軸回りの回転角度を把握する。ステップS13では、回転テーブル11bが360°回転するまで待機し、回転テーブル11bが360°回転すると、ステップS14に進む。   In step S13, it is determined whether or not the turntable 11b has rotated 360 °. Specifically, data relating to the rotational speed of the rotary drive motor 15b is acquired from the encoder, and the rotational angle around the vertical axis of the rotary table 11b is grasped based on the data. In step S13, the process waits until the turntable 11b rotates 360 °. When the turntable 11b rotates 360 °, the process proceeds to step S14.

ステップS14では、物品Gを360°回転させることによって得られた物品Gの透過X線に関するデータ(X線透過信号)に基づいて、三次元データが生成される。具体的には、上述したように、物品Gのサイノグラム、断層画像、および立体画像が生成される。その後、ステップS15に進む。   In step S14, three-dimensional data is generated based on the data (X-ray transmission signal) relating to the transmission X-rays of the article G obtained by rotating the article G by 360 °. Specifically, as described above, a sinogram, a tomographic image, and a stereoscopic image of the article G are generated. Thereafter, the process proceeds to step S15.

ステップS15では、物品Gの三次元データに基づいて、異物判定が行われる。具体的には、物品Gにおける異物の有無や、物品Gに異物が混入されている場合にその異物の場所等が判定される。その後、ステップS16に進む。   In step S15, foreign matter determination is performed based on the three-dimensional data of the article G. Specifically, the presence / absence of a foreign substance in the article G, and the location of the foreign substance when the foreign substance is mixed in the article G are determined. Thereafter, the process proceeds to step S16.

ステップS16では、物品Gについての異物判定の結果がモニタ14に表示される。例えば、モニタ14には、各物品Gが通過するたびに、物品Gの判定結果(「OK」または「NG」、NGの場合に混入異物の場所等)が表示される。   In step S <b> 16, the foreign substance determination result for the article G is displayed on the monitor 14. For example, as each article G passes, the monitor 14 displays the determination result of the article G (“OK” or “NG”, the location of the mixed foreign matter in the case of NG, etc.).

(4)特徴
(4−1)
上記実施形態に係るX線検査装置100では、物品Gは、搬送機構11によって搬送される。X線照射器12とラインセンサ13とは、搬送経路の幅方向において、対向する位置に配置される。具体的には、X線照射器12は、物品Gの搬送経路の幅方向において、第1の側部に配置され、ラインセンサ13は、第1の側部に対向する位置である第2の側部に配置される。X線照射器12は、水平軸方向に延びる扇状のX線を照射する(図3A〜図3C参照)。物品Gは、搬送機構11によってX線の照射範囲Xに搬送され、回転テーブル11bによって照射範囲Xで鉛直軸回りに360°回転しながら上昇する。
(4) Features (4-1)
In the X-ray inspection apparatus 100 according to the embodiment, the article G is transported by the transport mechanism 11. The X-ray irradiator 12 and the line sensor 13 are arranged at opposing positions in the width direction of the transport path. Specifically, the X-ray irradiator 12 is disposed on the first side in the width direction of the conveyance path of the article G, and the line sensor 13 is a second position that faces the first side. Located on the side. The X-ray irradiator 12 emits fan-shaped X-rays extending in the horizontal axis direction (see FIGS. 3A to 3C). The article G is transported to the X-ray irradiation range X by the transport mechanism 11, and ascends while rotating 360 ° around the vertical axis in the irradiation range X by the rotary table 11b.

従来のX線検査装置では、コンベアユニットによって搬送される物品に対して垂直方向上側からX線を照射し、垂直方向下側から物品の透過X線を検出していた。このようなX線検査装置では、物品の二次元データ(平面画像)を生成し、二次元データに基づいて異物判定を行っていた。X線検査装置による異物判定では、物品の種類に対応して異物判定の閾値が設定される。したがって、設定された閾値が適当でない場合には、物品に異物が混入されているものと誤って判断される可能性がある。そのため、より精確な異物判定を行うためには、物品Gの三次元情報を用いることが好ましい。ここで、従来のX線検査装置と同様に、物品に対し垂直方向上側からX線を照射し、垂直方向下側で物品の透過X線を検出するようなX線検査装置を用いて、物品の三次元データを生成しようとすると、物品を水平軸回りに回転させる必要がある。そのため、検査対象となる物品を、水平軸回りの回転を可能にする把持部に把持させる必要がある。すなわち、各物品の異物判定を行うたびに、検査対象となる物品を把持部に把持させる必要がある。したがって、多数の物品について三次元データを生成することが煩雑となる。   In the conventional X-ray inspection apparatus, X-rays are irradiated from the upper side in the vertical direction to the article conveyed by the conveyor unit, and transmitted X-rays of the article are detected from the lower side in the vertical direction. In such an X-ray inspection apparatus, two-dimensional data (planar image) of an article is generated, and foreign matter determination is performed based on the two-dimensional data. In foreign matter determination by the X-ray inspection apparatus, a threshold value for foreign matter determination is set corresponding to the type of article. Therefore, when the set threshold value is not appropriate, there is a possibility that it is erroneously determined that foreign matters are mixed in the article. Therefore, in order to perform more accurate foreign object determination, it is preferable to use the three-dimensional information of the article G. Here, similarly to the conventional X-ray inspection apparatus, the article is irradiated with X-rays from the upper side in the vertical direction and the transmitted X-rays of the article are detected on the lower side in the vertical direction. When generating the three-dimensional data, it is necessary to rotate the article around the horizontal axis. Therefore, it is necessary to grip the article to be inspected by a gripping part that enables rotation around the horizontal axis. That is, each time the foreign object determination of each article is performed, the article to be inspected needs to be held by the holding portion. Therefore, it becomes complicated to generate three-dimensional data for a large number of articles.

しかし、上記実施形態に係るX線検査装置100は、物品Gに対して側方からX線を照射する。また、物品Gの三次元データを生成するために、物品Gを鉛直軸方向移動させながら鉛直軸回りに回転させる。したがって、物品Gを把持部に把持させる必要がないため、複数の物品Gを詳細検査の対象とした場合であっても、異物判定を容易に行うことができる。   However, the X-ray inspection apparatus 100 according to the embodiment irradiates the article G with X-rays from the side. Further, in order to generate the three-dimensional data of the article G, the article G is rotated around the vertical axis while moving in the vertical axis direction. Therefore, since it is not necessary to cause the article G to be gripped by the gripping portion, foreign matter determination can be easily performed even when a plurality of articles G are targeted for detailed inspection.

(4−2)
上記実施形態に係るX線検査装置100では、回転テーブル11bが、平面移動部材11aの平面部の一部を構成する。また、回転テーブル11bは、平面移動部材11aに複数配置される。これにより、シールドボックス内に複数の物品Gを投入しておき、当該複数の物品Gの異物判定を連続して行うことが可能になる。
(4-2)
In the X-ray inspection apparatus 100 according to the above-described embodiment, the rotary table 11b constitutes a part of the plane portion of the plane moving member 11a. A plurality of rotary tables 11b are arranged on the plane moving member 11a. As a result, a plurality of articles G are put in the shield box, and foreign matter determination of the plurality of articles G can be performed continuously.

(4−3)
また、上記実施形態に係るX線検査装置100は、物品Gが回転テーブル11b上で360°回転する。例えば、物品Gが、包装材と内容物とからなり、内容物が包装材の内部で自由に移動する缶詰やスナック菓子などである場合、水平軸回りの回転により内容物は包装材の内部で移動し、精確な判定結果を得ることが困難である。しかし、上記実施形態に係るX線検査装置100は、物品Gが回転テーブル11bに載せられた状態で回転する。これにより、物品の姿勢が安定するため、包装材の内部で内容物が移動することを抑制し、精確な情報を取得することが可能になる。
(4-3)
In the X-ray inspection apparatus 100 according to the above-described embodiment, the article G rotates 360 ° on the turntable 11b. For example, when the article G is composed of a packaging material and contents, and the contents are canned foods or snacks that move freely inside the packaging material, the contents move inside the packaging material by rotation around the horizontal axis. However, it is difficult to obtain an accurate determination result. However, the X-ray inspection apparatus 100 according to the above embodiment rotates in a state where the article G is placed on the rotary table 11b. Thereby, since the attitude | position of goods is stabilized, it becomes possible to suppress that a content moves inside a packaging material, and to acquire exact information.

(5)変形例
(5−1)変形例A
上記実施形態に係るX線検査装置100では、複数の物品Gを予めシールドボックス内に投入しておき、当該複数の物品Gについて連続して異物判定を行なった。ここで、X線検査装置100は、他のコンベアユニットと連結可能な構成としてもよい。具体的には、X線検査装置100の正面視で、シールドボックスの左右方向に物品Gの搬入口および搬出口を形成する。搬入口および搬出口にはX線漏洩防止用の暖簾を取り付けるものとする。また、搬送機構11は、物品Gを搬入口から搬出口に向けて搬送するものとし、平面移動部材11aは、物品Gが搬入口から照射範囲Xを経て搬出口に移動しうるような搬送経路を構成する部材であるものとする。上流のコンベアユニットは、平面移動部材11aの搬入口側に連結され、上流のコンベアユニットは、所定の時間間隔または距離間隔で物品GをX線検査装置100に搬送し、自動的に当該物品Gが回転テーブル11bに載置される構成としてもよい。これにより、多数の物品Gについて三次元データに基づく異物判定を連続して行うことができる。
(5) Modification (5-1) Modification A
In the X-ray inspection apparatus 100 according to the above-described embodiment, a plurality of articles G are placed in advance in a shield box, and foreign matter determination is continuously performed on the plurality of articles G. Here, the X-ray inspection apparatus 100 may be configured to be connectable to other conveyor units. Specifically, when the X-ray inspection apparatus 100 is viewed from the front, a carry-in port and a carry-out port for the article G are formed in the left-right direction of the shield box. Warm for preventing X-ray leakage shall be attached to the carry-in port and the carry-out port. In addition, the transport mechanism 11 transports the article G from the carry-in port toward the carry-out port, and the planar moving member 11a has a transport path through which the product G can move from the carry-in port through the irradiation range X to the carry-out port. It shall be a member which comprises. The upstream conveyor unit is connected to the carry-in side of the planar moving member 11a, and the upstream conveyor unit conveys the article G to the X-ray inspection apparatus 100 at a predetermined time interval or distance interval, and automatically the article G May be configured to be placed on the rotary table 11b. Thereby, the foreign substance determination based on three-dimensional data can be continuously performed for many articles G.

さらに、X線検査装置100には、振り分け装置を接続してもよい。具体的に、振り分け装置は、平面移動部材11aの搬出口側に連結し、X線検査装置100による異物判定の結果に応じて物品Gを振り分ける構成とする。これにより、物品Gの振り分け処理を自動的に行うことができる。   Furthermore, a sorting device may be connected to the X-ray inspection apparatus 100. Specifically, the sorting device is configured to be connected to the carry-out side of the planar moving member 11a and sort the articles G according to the result of foreign matter determination by the X-ray inspection device 100. Thereby, the distribution process of the articles | goods G can be performed automatically.

(5−2)変形例B
上記実施形態では、接触部材15aが回転テーブル11bに接触したタイミングで、回転テーブル11bが回転駆動された。ここで、回転テーブル11bの回転駆動は、ラインセンサ13によって物品Gが検知されたタイミングであってもよい。
(5-2) Modification B
In the above embodiment, the rotary table 11b is rotationally driven at the timing when the contact member 15a contacts the rotary table 11b. Here, the rotational drive of the turntable 11b may be the timing when the article G is detected by the line sensor 13.

(5−3)変形例C
また、上記実施形態では、回転駆動モータ15bによって接触部材15aが回転駆動され、接触部材15aの回転により、接触部材15aと接触する回転テーブル11bが回転する。ここで、回転テーブル11bは、接触部材15aとは異なる構成によって回転されてもよい。すなわち、回転テーブル11bは、照射範囲Xで物品Gを360°回転させる構成であれば他の構成であってもよい。
(5-3) Modification C
Moreover, in the said embodiment, the contact member 15a is rotationally driven by the rotational drive motor 15b, and the rotation table 11b which contacts the contact member 15a rotates by rotation of the contact member 15a. Here, the rotary table 11b may be rotated by a configuration different from the contact member 15a. That is, the rotary table 11b may have another configuration as long as the article G is rotated 360 ° within the irradiation range X.

(5−4)変形例D
上記実施形態では、X線検査装置100がラインセンサ13を備えたが、ラインセンサ13に代えてフラットパネルセンサ23を備えてもよい(図5参照)。フラットパネルセンサ23は、多数のX線検出素子23aから構成されている。具体的に、フラットパネルセンサ23は、多数のX線検出素子23aが、図5に示すように、紙面の上下方向および奥行き方向に並ぶパネル状のセンサである。このとき、X線照射器12は、X線の照射範囲Xが、フラットパネルセンサ23の全域に拡がるように構成する。具体的に、X線の照射範囲Xは、図6Aに示すように、平面視でフラットパネルセンサ23の幅方向に拡がり、図6Bに示すように、側面視でフラットパネルセンサ23の高さ方向(垂直方向)にも拡がるものとする。さらに、接触部材15aを接触部材25に置き換える。接触部材25は、平面移動部材11aの側方位置であって、照射範囲Xに入る回転テーブル11bの側面に接触する位置に配置される。接触部材25には、回転テーブル11bの側面と接触する面(側面)に歯が切られている。当該歯は、回転テーブル11bの側面と噛み合うような形状である。接触部材25の側面は、フラットパネルセンサ23の長さ方向に延びる。平面移動部材11aによって物品Gを載せた回転テーブル11bがX線の照射範囲Xに到達すると、回転テーブル11bの側面が接触部材25の側面と噛み合う。回転テーブル11bは、側面を接触部材25の側面と噛み合わせた状態で、平面移動部材11aの移動に伴って平面内を移動する。すなわち、回転テーブル11bは、平面内を移動しながら鉛直軸回りに回転する。言い換えると、X線検査装置100では、平面移動部材11aによる物品Gの平面内の移動を止めることなく、物品Gを回転させ、物品Gについての三次元データを生成することができる。これにより、上記実施形態に係るX線検査装置と比較して、単位時間当たりの検査対象数を向上させることができる。
(5-4) Modification D
In the above-described embodiment, the X-ray inspection apparatus 100 includes the line sensor 13, but may include a flat panel sensor 23 instead of the line sensor 13 (see FIG. 5). The flat panel sensor 23 includes a large number of X-ray detection elements 23a. Specifically, the flat panel sensor 23 is a panel-shaped sensor in which a large number of X-ray detection elements 23a are arranged in the vertical direction and depth direction of the paper surface as shown in FIG. At this time, the X-ray irradiator 12 is configured such that the X-ray irradiation range X extends over the entire area of the flat panel sensor 23. Specifically, the X-ray irradiation range X extends in the width direction of the flat panel sensor 23 in plan view as shown in FIG. 6A, and the height direction of the flat panel sensor 23 in side view as shown in FIG. 6B. It also extends in the (vertical direction). Further, the contact member 15 a is replaced with the contact member 25. The contact member 25 is disposed at a side position of the plane moving member 11a and in contact with the side surface of the turntable 11b that enters the irradiation range X. The contact member 25 has teeth cut on a surface (side surface) that contacts the side surface of the rotary table 11b. The teeth are shaped to mesh with the side surface of the turntable 11b. The side surface of the contact member 25 extends in the length direction of the flat panel sensor 23. When the rotary table 11b on which the article G is placed by the plane moving member 11a reaches the X-ray irradiation range X, the side surface of the rotary table 11b meshes with the side surface of the contact member 25. The rotary table 11b moves in the plane with the movement of the plane moving member 11a in a state where the side surface meshes with the side surface of the contact member 25. That is, the rotary table 11b rotates around the vertical axis while moving in the plane. In other words, the X-ray inspection apparatus 100 can generate three-dimensional data about the article G by rotating the article G without stopping the movement of the article G in the plane by the plane moving member 11a. Thereby, the number of inspection objects per unit time can be improved as compared with the X-ray inspection apparatus according to the embodiment.

11 搬送機構(コンベアユニット)
11a 平面移動部材
11b 回転テーブル
11c 搬送駆動モータ
12 X線照射器(X線照射部)
13 ラインセンサ(X線検出部)
14 モニタ
15,25 回転機構
15a,25 接触部材
15b 回転駆動モータ
16 制御装置
23 フラットパネルセンサ(X線検出部)
100 X線検査装置
11 Transport mechanism (conveyor unit)
11a Plane moving member 11b Rotary table 11c Transport drive motor 12 X-ray irradiator (X-ray irradiator)
13 Line sensor (X-ray detector)
14 Monitor 15, 25 Rotating mechanism 15 a, 25 Contact member 15 b Rotation drive motor 16 Control device 23 Flat panel sensor (X-ray detector)
100 X-ray inspection equipment

特開2009−80031号公報JP 2009-80031 A

Claims (7)

物品を搬送するコンベアユニットと、
前記コンベアユニットの第1の側方に配置され、前記物品に対し前記第1の側方からX線を照射するX線照射部と、
前記第1の側方に対向する第2の側方に配置され、前記物品を透過した前記X線である透過X線を検出するX線検出部と、
前記物品を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、
を備える、
X線検査装置。
A conveyor unit for conveying articles;
An X-ray irradiation unit that is disposed on a first side of the conveyor unit and irradiates the article with X-rays from the first side;
An X-ray detector that is disposed on a second side opposite to the first side and detects transmitted X-rays that are the X-rays that have passed through the article;
A rotation mechanism for rotating the article around a vertical axis;
Comprising
X-ray inspection equipment.
前記回転機構は、前記コンベアユニット上の前記物品を回転させる、
請求項1に記載のX線検査装置。
The rotating mechanism rotates the article on the conveyor unit;
The X-ray inspection apparatus according to claim 1.
前記回転機構は、前記コンベアユニット上の前記物品をさらに鉛直方向上方に移動させる、
請求項2に記載のX線検査装置。
The rotating mechanism further moves the article on the conveyor unit vertically upward.
The X-ray inspection apparatus according to claim 2.
前記X線照射部は、X線照射空間において前記物品に前記X線を照射し、
前記回転機構は、前記物品が前記X線照射空間にあるとき、前記物品を回転させる、
請求項2に記載のX線検査装置。
The X-ray irradiation unit irradiates the article with the X-ray in an X-ray irradiation space,
The rotating mechanism rotates the article when the article is in the X-ray irradiation space.
The X-ray inspection apparatus according to claim 2.
前記X線照射部は、X線照射空間において前記物品に前記X線を照射し、
前記回転機構は、前記物品が前記X線照射空間にあるとき、前記物品を回転させながら鉛直方向上方に移動させる、
請求項3に記載のX線検査装置。
The X-ray irradiation unit irradiates the article with the X-ray in an X-ray irradiation space,
The rotating mechanism moves the article upward in the vertical direction while rotating the article when the article is in the X-ray irradiation space.
The X-ray inspection apparatus according to claim 3.
前記コンベアユニットは、前記物品を載せるテーブルを有し、
前記回転機構は、前記テーブルを回転させる、
請求項2から5のいずれかに記載のX線検査装置。
The conveyor unit has a table on which the article is placed,
The rotation mechanism rotates the table;
The X-ray inspection apparatus according to claim 2.
前記X線検出部は、フラットパネルセンサである、
請求項1から6のいずれかに記載のX線検査装置。
The X-ray detection unit is a flat panel sensor.
The X-ray inspection apparatus according to claim 1.
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WO2016141595A1 (en) * 2015-03-12 2016-09-15 罗艺 X-ray detection device

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