JP2013184414A - Pattern transfer apparatus and pattern transfer method - Google Patents

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長谷川　　満
Hajime Murakami
村上　　元
Akihiro Miyauchi
昭浩 宮内
Masahiko Ogino
雅彦 荻野
Daisuke Shimao
大輔 島尾
Toshio Ogata
利夫 緒形
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an annular mold type pattern transfer apparatus and a pattern transfer method more excellent in productivity of product than the past.SOLUTION: A pattern transfer apparatus 1A to transfer a minute concavo-convex shape pattern to a transferred surface includes: mold transport mechanisms 4a, 4d that transport a mold 2A that has the pattern; and a mold position correction mechanism 13 to regulate a relative position of the mold 2A to the transferred surface. The mold 2A is an annular mold that annularly connects a plurality of transfer units 3.

Description

本発明は、モールド（金型原器）に形成した微細な凹凸形状のパターンを、ナノインプリント法を用いて被転写材料の被転写面に転写するパターン転写技術に関する。   The present invention relates to a pattern transfer technique for transferring a fine concavo-convex pattern formed on a mold (die master) onto a transfer surface of a transfer material using a nanoimprint method.

近年、液晶ディスプレイの反射防止フィルム、導光板等の光学部品、細胞培養シート等のバイオデバイス、太陽電池、或いは発光装置等の電子デバイスの分野においては、製品の性能の向上を図り、また、所望の機能を発現させることを目的に、被転写材料の被転写面に微細な凹凸形状のパターンを形成することが行われている。   In recent years, in the field of antireflection films for liquid crystal displays, optical components such as light guide plates, biodevices such as cell culture sheets, solar cells, or electronic devices such as light emitting devices, the performance of products has been improved and desired For the purpose of exhibiting this function, a fine uneven pattern is formed on the transfer surface of the transfer material.

被転写材料の被転写面にこのようなパターンを形成する技術としては、ナノインプリント技術が知られている。ナノインプリント技術とは、ナノメートルオーダー（ナノサイズ）の凹凸形状のパターンを形成したモールドを、被転写材料の被転写面に設けた樹脂に型押しして転写する技術である。   A nanoimprint technique is known as a technique for forming such a pattern on a transfer surface of a transfer material. The nanoimprint technique is a technique in which a mold in which a pattern having a concavo-convex shape on the order of nanometers (nanosize) is impressed and transferred onto a resin provided on a transfer surface of a transfer material.

ナノインプリント技術では、いったんモールドを作製すると、ナノサイズのパターンを繰り返し成型できるので、前記のデバイスの製造コストを低減できる。また、有害な廃棄物・排出物が少ないので環境適合性にも優れる。このため、ナノインプリント技術は、さまざまな分野への応用が期待されている。
このナノインプリント技術には、微細な凹凸形状のパターンを形成した平板状のモールドを、樹脂材料からなる被転写面へスタンプ式に押し付けるもののほか、
ローラータイプのモールドを用いた転写技術がある。このローラータイプのモールドを用いた場合、連続回転するモールドに対して被転写材料を連続して供給することができる。このため、平板状のモールドを使用したスタンプ式の転写技術と比較して、転写工程を高速化することができる。 In the nanoimprint technique, once a mold is manufactured, a nano-sized pattern can be repeatedly formed, so that the manufacturing cost of the device can be reduced. In addition, because there are few harmful wastes and emissions, it is excellent in environmental compatibility. For this reason, the nanoimprint technology is expected to be applied to various fields.
In this nanoimprint technology, in addition to pressing a flat mold with a fine uneven pattern on the transfer surface made of a resin material in a stamped manner,
There is a transfer technique using a roller type mold. When this roller type mold is used, the material to be transferred can be continuously supplied to the continuously rotating mold. For this reason, the transfer process can be speeded up as compared with the stamp-type transfer technique using a flat mold.

さらに、本発明者らは、無端帯状の環状モールドを用いた転写技術を提案している（例えば、特許文献１参照）。この転写技術によれば、平板状のモールドを使用したスタンプ式の転写技術と比較して、転写工程の処理速度を高速化することができると共に、パターン転写精度が向上する。   Furthermore, the present inventors have proposed a transfer technique using an endless belt-shaped annular mold (see, for example, Patent Document 1). According to this transfer technology, the processing speed of the transfer process can be increased and the pattern transfer accuracy can be improved as compared with the stamp-type transfer technology using a flat mold.

ところで、無端帯状の環状モールドを用いたパターン転写技術（例えば、特許文献１参照）では、環状モールドと帯状の被転写材料とを回転するロール状の押圧機構で押圧しながら、被転写材料の搬送を停止することなく連続的にパターン転写することができる。
しかしながら、本発明者らが当該環状モールドを使用した転写技術における課題検証を進める過程において、前記デバイス等の製品の生産性をさらに向上させる要請がある。 By the way, in the pattern transfer technique using an endless belt-shaped annular mold (see, for example, Patent Document 1), the material to be transferred is conveyed while pressing the annular mold and the belt-shaped material to be transferred by a rotating pressing mechanism that rotates. The pattern can be transferred continuously without stopping.
However, there is a demand for further improving the productivity of the product such as the device in the process in which the present inventors proceed with the problem verification in the transfer technique using the annular mold.

次に参照する図１３（ａ）は、従来の環状モールドを装着したパターン転写装置を上方から見た様子を示す模式図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示すパターン転写装置において、帯幅方向の一端側が他端側よりも周長の長い環状モールドが装着されている様子を示す模式図である。なお、図１３（ｂ）における周長の違いは誇張して表している。   FIG. 13A to be referred to next is a schematic view showing a state in which a pattern transfer apparatus equipped with a conventional annular mold is viewed from above. FIG. 13B is a schematic diagram showing a state in which an annular mold having a longer circumferential length is attached to one end side in the band width direction than the other end side in the pattern transfer apparatus shown in FIG. Note that the difference in circumference in FIG. 13B is exaggerated.

図１３（ａ）のように、周長が全体に均一な無端帯状の環状モールド３１を、モールド搬送機構５０を構成するロール４０ａ、４０ｂに掛け渡して装着した場合、環状モールド３１は、初期の装着位置からずれることなく搬送され続ける。
これに対して、図１３（ｂ）のように、帯幅方向の両端で周長が互いに異なる環状モールド３１を、モールド搬送機構５０を構成するロール４０ａ、４０ｂに掛け渡して装着した場合には、環状モールド３１は、周長の短い図１３（ｂ）の紙面右側でより強くロール４０ａ、４０ｂと接触するために、図１３（ｂ）の紙面左側に向かって移動する。そのため、被転写材料のパターン転写領域が正規の位置からずれて製品の歩留まりを低下させることとなる。 As shown in FIG. 13 (a), when the endless belt-shaped annular mold 31 having a uniform peripheral length is mounted on the rolls 40a and 40b constituting the mold transport mechanism 50, the annular mold 31 It continues to be transported without shifting from the mounting position.
On the other hand, as shown in FIG. 13B, when the annular molds 31 having different circumferential lengths at both ends in the band width direction are mounted on the rolls 40a and 40b constituting the mold conveying mechanism 50, The annular mold 31 moves toward the left side of the sheet of FIG. 13B in order to more strongly contact the rolls 40a and 40b on the right side of the sheet of FIG. 13B with a short circumference. For this reason, the pattern transfer region of the material to be transferred is shifted from the normal position, and the yield of the product is lowered.

このような環状モールド３１の搬送時に生じたずれを補正する技術としては、例えば、画像印刷機等の環状ベルト部材のずれを防止するために、支持するロール群の一部に、環状ベルト部材に加わる張力を変化させる機能を付与する技術の応用が考えられる。
しかしながら、前記の環状モールドを用いたパターン転写技術（例えば、特許文献１参照）では、パターン転写時に数メガパスカルの大きな押圧力で環状モールドが挟み込まれるために、環状モールドの張力を変化させて環状モールドのずれを補正することは事実上困難となる。 As a technique for correcting such a deviation caused when the annular mold 31 is conveyed, for example, in order to prevent the deviation of the annular belt member of an image printing machine or the like, the annular belt member The application of a technology that gives a function of changing the applied tension can be considered.
However, in the pattern transfer technique using the annular mold (see, for example, Patent Document 1), the annular mold is sandwiched with a large pressing force of several megapascals at the time of pattern transfer. It is practically difficult to correct the mold displacement.

また、対になったロール同士を捩じるようにずらし、或いはロールの両端に加わる推力を調節することによってロールによる挟み幅（ニップ幅）を変えてずれを補正する技術が開示されている（例えば、特許文献２及び特許文献３参照）。   Further, a technique is disclosed in which a pair of rolls are shifted so as to be twisted, or the thrust applied to both ends of the rolls is adjusted to change the pinching width (nip width) by the rolls to correct the deviation ( For example, see Patent Document 2 and Patent Document 3).

特開２００８−１５５４１３号公報JP 2008-155413 A 特開２００８−１６９０４７号公報JP 2008-169047 A 特開２００２−０９９１６３号公報JP 2002-099163 A

しかしながら、前記の特許文献２及び特許文献３に開示される技術では、ロール状の押圧機構で押圧される領域において、押圧力及び押圧時間の分布が生じることになる。特に、前記の環状モールドを用いたパターン転写技術（例えば、特許文献１参照）では、被転写材料に対する環状モールドの押圧力や押圧時間に分布が生じると、パターン転写面内での被転写材料の流動状態にも分布が生じ、転写形状がばらつくことで製品の生産性が低下することとなる。   However, in the techniques disclosed in Patent Document 2 and Patent Document 3, the distribution of the pressing force and the pressing time occurs in the area pressed by the roll-shaped pressing mechanism. In particular, in the pattern transfer technique using the annular mold (see, for example, Patent Document 1), if distribution occurs in the pressing force and pressing time of the annular mold against the material to be transferred, the material to be transferred within the pattern transfer surface is Distribution also occurs in the flow state, and the product shape decreases due to variations in the transfer shape.

そこで、本発明の課題は、従来よりも製品の生産性に優れる環状モールド式のパターン転写装置及びパターン転写方法を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an annular mold type pattern transfer apparatus and a pattern transfer method that are more excellent in product productivity than conventional ones.

前記課題を解決する本発明のパターン転写装置は、微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写装置であって、前記パターンを有するモールドを搬送するモールド搬送機構と、前記被転写面を有する被転写材料を搬送する被転写材料搬送機構と、前記パターンの形成面と前記被転写面を対向させた状態で、前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する押圧機構と、前記モールド搬送機構によって前記モールドを前記押圧機構まで搬送する経路上において、前記被転写材料に対する前記モールドの相対位置を調整するためのモールド位置補正機構と、を備え、前記モールドが、複数の転写ユニットを環状に連結した環状モールドであることを特徴とする。   A pattern transfer apparatus of the present invention that solves the above problems is a pattern transfer apparatus for transferring a fine uneven pattern to a transfer surface, a mold transfer mechanism that transfers a mold having the pattern, and the transfer target. A transfer material transport mechanism for transporting a transfer material having a transfer surface; and a pressing mechanism for pressing the mold and the transfer material with each other in a state where the pattern formation surface and the transfer surface face each other. A mold position correcting mechanism for adjusting a relative position of the mold with respect to the material to be transferred on a path for transporting the mold to the pressing mechanism by the mold transport mechanism, and the mold includes a plurality of transfer It is an annular mold in which the units are connected in an annular shape.

また、前記課題を解決する本発明のパターン転写方法は、微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写方法であって、前記パターンを有するモールド及び前記被転写面を有する被転写材料を、所定の搬送経路に沿って搬送する工程と、前記パターンの形成面と前記被転写面を相互に対向させた状態で前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する工程と、前記モールドを前記押圧機構まで搬送する搬送経路上において、前記被転写面に対して前記モールドの前記パターンとの相対位置を補正する工程と、を含むことを特徴とする。   The pattern transfer method of the present invention for solving the above problems is a pattern transfer method for transferring a fine concavo-convex pattern to a transfer surface, the mold having the pattern and the transfer surface having the transfer surface. A step of conveying the transfer material along a predetermined conveyance path, a step of pressing the mold and the material to be transferred with each other in a state where the surface on which the pattern is formed and the surface to be transferred are opposed to each other, And a step of correcting a relative position of the mold with respect to the pattern on the transfer path for transferring the mold to the pressing mechanism.

本発明によれば、従来よりも製品の生産性に優れる環状モールド式のパターン転写装置及びパターン転写方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the cyclic mold type pattern transfer apparatus and pattern transfer method which are excellent in product productivity than before can be provided.

本発明の第１実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。It is explanatory drawing which represents typically the structure of the pattern transfer apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. （ａ）は、第１実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図、（ｂ）及び（ｃ）は、（ａ）の環状モールドの変形例を示す図である。(A) is structure explanatory drawing of the annular mold and mold position correction mechanism in 1st Embodiment, (b) And (c) is a figure which shows the modification of the annular mold of (a). 図３（ａ）から（ｃ）は、図２（ｃ）のモールド位置補正機構の変形例を示す構成説明図であり、図２（ｃ）に対応する部分平面図である。FIGS. 3A to 3C are configuration explanatory views showing a modified example of the mold position correcting mechanism of FIG. 2C, and are partial plan views corresponding to FIG. （ａ）から（ｄ）は、環状モールドの変形例を説明する部分模式図ある。(A)-(d) is a partial schematic diagram explaining the modification of an annular mold. （ａ）から（ｄ）は、環状モールドの変形例を説明する部分模式図である。(A)-(d) is a partial schematic diagram explaining the modification of an annular mold. （ａ）から（ｃ）は、パターン転写装置の押圧部材の変形例を示す側面模式図である。(A) to (c) is a schematic side view showing a modification of the pressing member of the pattern transfer device. 本発明の第２実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。It is explanatory drawing which represents typically the structure of the pattern transfer apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。It is explanatory drawing which represents typically the structure of the pattern transfer apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention. （ａ）及び（ｂ）は、第３実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図である。(A) And (b) is a structure explanatory drawing of the cyclic | annular mold and mold position correction mechanism in 3rd Embodiment. （ａ）及び（ｂ）は、第３実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の動作説明図である。(A) And (b) is operation | movement explanatory drawing of the cyclic | annular mold and mold position correction mechanism in 3rd Embodiment. 図９のモールド位置補正機構の変形例の構成説明図である。FIG. 10 is a configuration explanatory diagram of a modified example of the mold position correction mechanism of FIG. 9. 本発明の第４実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。It is explanatory drawing which represents typically the structure of the pattern transfer apparatus which concerns on 4th Embodiment of this invention. （ａ）は、従来の環状モールドを装着したパターン転写装置を上方から見た様子を示す模式図である。（ｂ）は、（ａ）に示すパターン転写装置において、帯幅方向の一端側が他端側よりも周長の長い環状モールドが装着されている様子を示す模式図である。(A) is a schematic diagram which shows a mode that the pattern transfer apparatus equipped with the conventional annular mold was seen from upper direction. (B) is a schematic diagram showing a state in which an annular mold having a longer circumferential length is attached to one end side in the band width direction than the other end side in the pattern transfer apparatus shown in (a).

次に、本発明の実施形態について適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
図１に示すように、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａは、環状モールド２Ａを予め定めたモールド搬送経路６に沿って搬送するモールド搬送機構５と、被転写材料９を予め定めた被転写材料搬送経路１１に沿って搬送する被転写材料搬送機構１２と、環状モールド２Ａと被転写材料９とを互いに押圧するための押圧機構７Ａとを備えている。本実施形態での環状モールド２Ａは、複数の転写ユニット３をモールド搬送経路６に沿って環状に連結配置した構成となっており、環状モールド２Ａはモールド搬送経路６上にあるモールド位置補正機構１３を経由してエンドレスに搬送されるようになっている。
ちなみに、本実施形態でのモールド位置補正機構１３は、図１に示すように、被転写材料９とその一部で接してモールド搬送経路６を周回する環状モールド２Ａの、当該被転写材料９と接する側の反対側に設けられている。このモールド位置補正機構１３は、モールド搬送経路６上で少なくとも１箇所設けられていればよい。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.
(First embodiment)
FIG. 1 is an explanatory view schematically showing the configuration of the pattern transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, a pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment includes a mold transport mechanism 5 that transports an annular mold 2A along a predetermined mold transport path 6, and a target material to be transferred 9 that is determined in advance. A transfer material transport mechanism 12 that transports along the transfer material transport path 11 and a pressing mechanism 7A for pressing the annular mold 2A and the transfer material 9 together are provided. The annular mold 2A in the present embodiment has a configuration in which a plurality of transfer units 3 are connected and arranged in a ring shape along the mold conveyance path 6. The annular mold 2A is a mold position correcting mechanism 13 on the mold conveyance path 6. It is designed to be transported endlessly.
Incidentally, as shown in FIG. 1, the mold position correcting mechanism 13 in the present embodiment includes the material to be transferred 9 of the annular mold 2A that makes contact with the material to be transferred 9 and partially circulates in the mold conveyance path 6. It is provided on the opposite side of the contact side. The mold position correction mechanism 13 may be provided at least at one place on the mold conveyance path 6.

環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３は、被転写材料９と接する面の側に、被転写材料９に転写する微細な凹凸形状のパターン（図示省略）を有している。図１に示す例では、被転写材料９に転写する凹凸形状のパターンは、転写ユニット３の表面のうち、モールド搬送経路６の外方側に位置している。ただし、転写する凹凸形状のパターンは、被転写材料の配置によっては、モールド搬送経路６の内方側にのみ、又は外方側及び内方側の両方に位置していてもよい。   The transfer unit 3 constituting the annular mold 2 </ b> A has a fine uneven pattern (not shown) to be transferred to the transfer material 9 on the side in contact with the transfer material 9. In the example shown in FIG. 1, the concavo-convex pattern to be transferred to the transfer material 9 is located on the outer side of the mold conveyance path 6 on the surface of the transfer unit 3. However, the concavo-convex pattern to be transferred may be located only on the inner side of the mold conveying path 6 or on both the outer side and the inner side depending on the arrangement of the material to be transferred.

この凹凸形状のパターンは、凹部と凸部とが繰り返して連続するパターンであり、凹部の深さ（又は凸部の高さ）、凹部の幅（又は凸部の幅）、及び凹部同士の間隔（又は凸部同士の間隔）のそれぞれは、数百マイクロメートル乃至数十ナノメートルサイズで形成されている。
ちなみに、その凹凸形状は、このパターン転写装置１Ａで得られる微細構造体の用途に応じて適宜に設定することができ、例えば、柱状、穴状、ラメラ状（襞状）等が挙げられる。また、凹凸形状のパターンは、環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３の全面に形成されていてもよいし、一部に形成されていてもよい。 The concave / convex pattern is a pattern in which a concave portion and a convex portion are continuously repeated, and the depth of the concave portion (or the height of the convex portion), the width of the concave portion (or the width of the convex portion), and the interval between the concave portions. Each (or the interval between the convex portions) is formed in a size of several hundred micrometers to several tens of nanometers.
Incidentally, the uneven shape can be appropriately set according to the use of the fine structure obtained by the pattern transfer apparatus 1A, and examples thereof include a columnar shape, a hole shape, and a lamellar shape (a bowl shape). Further, the uneven pattern may be formed on the entire surface of the transfer unit 3 constituting the annular mold 2A or may be formed on a part thereof.

本実施形態での環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３の材質としては、可撓性を有すると共に、要求される強度と加工精度を実現できるものであれば特に制限は無い。例えば、各種金属、各種樹脂等が挙げられる。   The material of the transfer unit 3 constituting the annular mold 2A in the present embodiment is not particularly limited as long as it has flexibility and can achieve the required strength and processing accuracy. For example, various metals, various resins, etc. are mentioned.

金属としては、ニッケルが望ましく、樹脂としては、ポリイミド樹脂及び光硬化性樹脂が望ましい。また、転写ユニット３は、前記した凹凸形状のパターンが形成されるニッケル等の金属やポリイミド樹脂等の樹脂からなる可撓性を有する金型部材（図示省略）と、これを支持する、例えば、ステンレス、芳香族ポリアミド樹脂（例えばケブラー（登録商標）樹脂）等の可撓性を有するベース部材が一体となった複合積層体とすることができる。
これらの金型部材とベース部材とは、その接触界面の少なくとも一部に接着層を介して接着された構成とすることができる。また、金型部材とベース部材とは、溶接や機械的部品で締め付け固定されたものであってもよい。
なお、ベース部材には、被転写材料９に対して、前記の金型部材以外に、パターン転写後の目印等となるマークを被転写材料に付与するなどの追加機能を更に有することができる。
この環状モールド２Ａについては、モールド位置補正機構１３と共に、後にさらに詳しく説明する。 The metal is preferably nickel, and the resin is preferably a polyimide resin or a photocurable resin. Further, the transfer unit 3 supports a flexible mold member (not shown) made of a metal such as nickel or a resin such as polyimide resin on which the above-described uneven pattern is formed, for example, It can be set as the composite laminated body which the base member which has flexibility, such as stainless steel and aromatic polyamide resin (for example, Kevlar (trademark) resin), was united.
The mold member and the base member can be configured to be bonded to at least a part of the contact interface via an adhesive layer. Further, the mold member and the base member may be clamped and fixed by welding or mechanical parts.
Note that the base member can further have an additional function for the material to be transferred 9 such as providing a mark to be transferred or the like after the pattern transfer to the material to be transferred in addition to the mold member.
The annular mold 2A will be described in detail later together with the mold position correcting mechanism 13.

本実施形態でのモールド搬送機構５は、環状モールド２Ａが掛け渡される複数のロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと、これらのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを予め定められた回転角度ごとに断続的に回転駆動するステッピングモータ等の駆動機構（図示省略）とで構成されている。本実施形態でのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、環状モールド２Ａの内側と接するように配置されている。   The mold conveyance mechanism 5 in this embodiment is configured to intermittently connect a plurality of rolls 4a, 4b, 4c, and 4d around which the annular mold 2A is stretched, and these rolls 4a, 4b, 4c, and 4d at predetermined rotation angles. And a drive mechanism (not shown) such as a stepping motor that is rotationally driven. The rolls 4a, 4b, 4c, and 4d in this embodiment are disposed so as to contact the inner side of the annular mold 2A.

前記した駆動機構は、各ロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを反時計回りに同期駆動し、所定の回転角度による回転駆動及び回転停止を交互に繰り返すことにより、環状モールド２Ａを間欠的（断続的）に搬送（左回転）させるように動作する。これにより、モールド搬送機構５は、後記する押圧機構７Ａへ環状モールド２Ａを、所定の長さごとに間欠的（断続的）に、かつ、エンドレスに送り込むようになっている。ロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの駆動機構（図示省略）の回転角度は、例えば、押圧機構７Ａへ送り込まれる環状モールド２Ａの長さが予め定められた長さとなるように設定されている。なお、図１中、符号Ｘを付した矢印は環状モールド２Ａの搬送方向を示している。   The drive mechanism described above synchronously drives the rolls 4a, 4b, 4c, and 4d counterclockwise, and alternately and repeatedly rotates and stops rotation at a predetermined rotation angle, thereby intermittently (intermittently) rotating the annular mold 2A. ) Is transported (rotated counterclockwise). Thereby, the mold conveyance mechanism 5 sends the annular mold 2A to the pressing mechanism 7A described later intermittently (intermittently) and endlessly for each predetermined length. The rotation angle of the drive mechanism (not shown) of the rolls 4a, 4b, 4c, and 4d is set so that, for example, the length of the annular mold 2A fed into the pressing mechanism 7A is a predetermined length. In addition, the arrow which attached | subjected the code | symbol X in FIG. 1 has shown the conveyance direction of 2 A of annular molds.

前記した所定の回転角度は、例えば、押圧機構７Ａへ送り込まれる環状モールド２Ａの搬送方向に沿う長さが、予め定められた長さ（具体的には、後記する上側押圧部材８ａ、及び下側押圧部材８ｂの搬送方向に沿う長さ）と一致するように設定されている。   The above-mentioned predetermined rotation angle is, for example, a length along the conveying direction of the annular mold 2A fed into the pressing mechanism 7A is a predetermined length (specifically, an upper pressing member 8a and a lower side described later) The length of the pressing member 8b along the conveying direction).

４つのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄのうち、図１の下側に位置する２つのロール４ｂ，４ｃは、後記する被転写材料搬送経路１１によって搬送される被転写材料９に対して、環状モールド２Ａを部分的に押し当てるように配置されている。
これにより、上流側のロール４ｂは搬送されてきた環状モールド２Ａを被転写材料９の被転写面に当接させるように送り込む一方、下流側のロール４ｃで環状モールド２Ａを被転写材料９から引き離すように機能している。なお、これらのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、この４つに限定されるものではなく、前記したロール４ｂ，４ｃの機能を有するものを少なくとも有していれば、３つ又は５以上であってもよい。 Among the four rolls 4a, 4b, 4c, and 4d, the two rolls 4b and 4c positioned on the lower side of FIG. 1 are annular with respect to the material to be transferred 9 conveyed by the material transfer path 11 to be transferred, which will be described later. It arrange | positions so that the mold 2A may be pressed partially.
As a result, the upstream roll 4b sends the conveyed annular mold 2A so as to contact the transfer surface of the transfer material 9, while the downstream roll 4c pulls the annular mold 2A away from the transfer material 9. Is functioning. These rolls 4a, 4b, 4c, 4d are not limited to these four, and if there are at least those having the functions of the rolls 4b, 4c, three or five or more There may be.

被転写材料搬送機構１２は、図１に示すように、長尺帯状の転写前の被転写材料９の一側を巻回してこれを送り出す送り出しリール１０ａと、パターン転写後の被転写材料９の他側を巻き取る巻取りリール１０ｂのほか、必要に応じて送り出しリール１０ａ及び巻取りリール１０ｂの回転をそれぞれ制御するための、図示しない回転駆動制御機構を含んで構成されている。図１中、符号Ｙを付した矢印は、被転写材料９の搬送方向を示している。   As shown in FIG. 1, the transfer material transport mechanism 12 includes a delivery reel 10 a that winds and feeds one side of the transfer material 9 before the transfer in the form of a long belt, and the transfer material 9 after the pattern transfer. In addition to the take-up reel 10b that winds the other side, it includes a rotation drive control mechanism (not shown) for controlling the rotation of the feed reel 10a and the take-up reel 10b as required. In FIG. 1, an arrow with a symbol Y indicates a conveyance direction of the transfer material 9.

被転写材料搬送機構１２は、被転写材料９を押圧機構７Ａへと送り込む機能と、転写後の被転写材料９を巻き取る機能とを有している。具体的には、被転写材料搬送機構１２は、モールド搬送機構５と同期して動作する。
これにより、被転写材料９を押圧機構７Ａへ送り込むタイミングと、環状モールド２Ａを押圧機構７Ａへ送り込むタイミングとを同期させると共に、押圧機構７Ａへ送り込む被転写材料９の長さと、押圧機構７Ａへ送り込む環状モールド２Ａの長さとを一致させている。要するに、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、図１に示すように、環状モールド２Ａと被転写材料９とを重ね合わせた状態を維持して、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を押圧機構７Ａへと送り込むようになっている。 The transfer material conveying mechanism 12 has a function of feeding the transfer material 9 to the pressing mechanism 7A and a function of winding up the transferred material 9 after transfer. Specifically, the transfer material transport mechanism 12 operates in synchronization with the mold transport mechanism 5.
Thereby, the timing at which the transfer material 9 is sent to the pressing mechanism 7A and the timing at which the annular mold 2A is sent to the pressing mechanism 7A are synchronized, and the length of the transfer material 9 to be sent to the pressing mechanism 7A and the pressing mechanism 7A are sent. The length of the annular mold 2A is matched. In short, in the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment, as shown in FIG. 1, the annular mold 2A and the material to be transferred 9 are maintained in an overlapped state, and the annular mold 2A and the material to be transferred 9 are pressed. It feeds into the mechanism 7A.

次に、被転写材料９について説明する。被転写材料９は、例えば、長尺帯状の熱可塑性樹脂フィルムにより構成されている。被転写材料９の幅は、例えば、環状モールド２Ａの幅と略同じ（異なっていてもよい）である。熱可塑性樹脂としては、製品の用途に応じて、適宜の素材を選択することができる。熱可塑性樹脂が有する特性としては、ガラス転移温度Ｔｇが１００〜１６０°Ｃ程度のものが好ましい。具体的には、例えば、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート等の熱可塑性樹脂を、被転写材料９として好適に用いることができる。   Next, the transfer material 9 will be described. The material 9 to be transferred is made of, for example, a long belt-like thermoplastic resin film. The width of the transfer material 9 is, for example, substantially the same as (or different from) the width of the annular mold 2A. As the thermoplastic resin, an appropriate material can be selected according to the use of the product. As a characteristic which a thermoplastic resin has, the thing whose glass transition temperature Tg is about 100-160 degreeC is preferable. Specifically, for example, a thermoplastic resin such as polystyrene, polycarbonate, or polymethyl methacrylate can be suitably used as the material to be transferred 9.

押圧機構７Ａは、ロール４ｂからロール４ｃに至る区間を搬送される環状モールド２Ａと、この区間の環状モールド２Ａに重ね合わせられて搬送される被転写材料９とを、共に挟み込んで押圧する機能を有する。この押圧は、図１に示すように、環状モールド２Ａに形成された凹凸形状パターンと被転写材料９の被転写面を相互に対向させた状態を維持して行われる。詳しく述べると、押圧機構７Ａは、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂと、これらを押圧するための推力を付加する、図示しない推力機構とを備えて構成されている。上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとの間は、相互に離間するように付勢されている。推力機構による押圧動作がない状態では、上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとは相互に離間するように位置している。   The pressing mechanism 7A has a function of sandwiching and pressing the annular mold 2A transported in the section from the roll 4b to the roll 4c and the transfer material 9 transported superimposed on the annular mold 2A in this section. Have. As shown in FIG. 1, this pressing is performed while maintaining a state in which the uneven pattern formed on the annular mold 2 </ b> A and the transfer surface of the transfer material 9 are opposed to each other. More specifically, the pressing mechanism 7A includes an upper pressing member 8a and a lower pressing member 8b, and a thrust mechanism (not shown) that adds a thrust for pressing them. The upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b are urged so as to be separated from each other. When there is no pressing operation by the thrust mechanism, the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b are positioned so as to be separated from each other.

上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂを組み合わせてなる押圧機構７Ａは、ロール４ｂからロール４ｃに至る区間に、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込むように対向して設けられている。推力機構は、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込ませた上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂに推力を付与して環状モールド２Ａ及び被転写材料９を押圧する構成となっている。なお、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、推力機構による押圧動作は、環状モールド２Ａ及び被転写材料９の搬送が停止している間に行われる。   The pressing mechanism 7A formed by combining the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b is provided to face the annular mold 2A and the material to be transferred 9 in a section from the roll 4b to the roll 4c. The thrust mechanism is configured to apply thrust to the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b sandwiching the annular mold 2A and the material to be transferred 9 to press the annular mold 2A and the material to be transferred 9. In the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment, the pressing operation by the thrust mechanism is performed while the conveyance of the annular mold 2A and the transfer material 9 is stopped.

上側押圧部材８ａには、図示していない加熱用ヒータが内蔵されている。この加熱用ヒータは、環状モールド２Ａを熱媒体として被転写材料９を加熱することで、熱可塑性樹脂からなる被転写材料９を、そのガラス転移温度Ｔｇ以上に昇温する。
なお、第１実施形態では、上側押圧部材８ａの側にのみ加熱用ヒータを設ける例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。すなわち、例えば、下側押圧部材８ｂの側にのみ加熱用ヒータを設けてもよいし、上側及び下側押圧部材８ｂ，８ｂの双方に加熱用ヒータを設けてもよい。 The upper pressing member 8a includes a heater for heating (not shown). This heating heater heats the material to be transferred 9 by using the annular mold 2A as a heat medium, and thereby raises the temperature of the material to be transferred 9 made of a thermoplastic resin to the glass transition temperature Tg or higher.
In the first embodiment, the example in which the heater is provided only on the upper pressing member 8a side has been described. However, the present invention is not limited to this example. That is, for example, a heating heater may be provided only on the lower pressing member 8b side, or a heating heater may be provided on both the upper and lower pressing members 8b and 8b.

次に、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａの動作（パターン転写方法）について説明する。
まず、押圧転写工程について説明する。押圧転写工程では、環状モールド２Ａに形成された凹凸形状パターンと被転写材料９の被転写面を相互に対向させた状態で、環状モールド２Ａ、及び、被転写材料９を、押圧機構７Ａを用いて相互に押圧させることにより、凹凸形状パターンを被転写材料の被転写面に転写する。 Next, the operation (pattern transfer method) of the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment will be described.
First, the press transfer process will be described. In the pressure transfer process, the annular mold 2A and the material to be transferred 9 are pressed using the pressing mechanism 7A in a state where the uneven pattern formed on the ring mold 2A and the surface to be transferred of the material 9 to be transferred are opposed to each other. By pressing each other, the concavo-convex pattern is transferred to the transfer surface of the transfer material.

具体的には、押圧機構７Ａにおいて、上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとが、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込んで押圧する。この際、上側押圧部材８ａに内蔵された加熱用ヒータによって、被転写材料９がガラス転移温度Ｔｇ以上となるように加熱されて可塑化（又は半流動化）する。その結果、環状モールド２Ａの凹凸形状パターンが被転写材料９に転写される。その後、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂが、環状モールド２Ａ及び被転写材料９から離れると、被転写材料９は、その温度がガラス転移温度Ｔｇよりも低下して硬化する。   Specifically, in the pressing mechanism 7A, the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b sandwich and press the annular mold 2A and the transfer material 9. At this time, the transfer material 9 is heated and plasticized (or semi-fluidized) by the heating heater built in the upper pressing member 8a so as to have a glass transition temperature Tg or higher. As a result, the uneven pattern of the annular mold 2 </ b> A is transferred to the transfer material 9. Thereafter, when the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b are separated from the annular mold 2A and the material to be transferred 9, the temperature of the material to be transferred 9 is lowered and lowers than the glass transition temperature Tg.

一方、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂが離れた状態で、モールド搬送機構５及び被転写材料搬送機構１２が、押圧機構７Ａの上流側に位置する環状モールド２Ａ及び被転写材料９を、押圧機構７Ａの直下へと送り込む。そして、前記した手順と同様に、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂが環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込んだ状態で押圧して、凹凸形状パターンを被転写材料９の被転写面に転写する。   On the other hand, in a state where the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b are separated from each other, the mold transport mechanism 5 and the transferred material transport mechanism 12 are arranged so that the annular mold 2A and the transferred material 9 positioned on the upstream side of the pressing mechanism 7A. It is fed directly under the pressing mechanism 7A. In the same manner as described above, the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b press the annular mold 2A and the material to be transferred 9 so as to sandwich the uneven pattern on the surface to be transferred of the material 9 to be transferred. Transcript.

第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、モールド搬送機構５及び被転写材料搬送機構１２による環状モールド２Ａ及び被転写材料９の搬送工程と、押圧機構７Ａによる被転写材料９への凹凸形状パターンの押圧転写工程とが、間欠的（断続的）に繰り返される。   In the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment, the annular mold 2A and the material to be transferred 9 are transferred by the mold transfer mechanism 5 and the transfer material transfer mechanism 12, and the uneven pattern on the transfer material 9 by the pressing mechanism 7A. The press transfer process is repeated intermittently (intermittently).

凹凸形状パターンが転写されてロール４ｃにまで到達した被転写材料９は、図１に示すように、巻取りリール１０ｂに向かって搬送される。この搬送動作と同期して、環状モールド２Ａは、ロール４ｃからロール４ｄに向かって搬送される。その後、環状モールド２Ａは、ロール４ｃによる屈曲位置において、被転写材料９から剥離される。つまり、第１実施形態に係るロール４ｃは、剥離ロールとしての機能を有する。   As shown in FIG. 1, the material 9 to be transferred, which has been transferred to the roll 4c after the uneven pattern is transferred, is conveyed toward the take-up reel 10b. In synchronization with this transport operation, the annular mold 2A is transported from the roll 4c toward the roll 4d. Thereafter, the annular mold 2A is peeled off from the transfer material 9 at a bending position by the roll 4c. That is, the roll 4c according to the first embodiment has a function as a peeling roll.

また、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、押圧機構７Ａとロール４ｃとは、所定の冷却区間を置いて設けられている。このため、凹凸形状パターンの転写時において、上側押圧部材８ａに内蔵された加熱用ヒータ（図示省略）から、環状モールド２Ａを熱媒体として被転写材料９に伝わった熱を、前記の冷却区間において冷ますことができる。すると、冷却区間において十分に冷却されて確実に硬化した被転写材料９から、環状モールド２Ａを円滑かつ適確に剥離することができる。   In the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment, the pressing mechanism 7A and the roll 4c are provided with a predetermined cooling section. For this reason, at the time of transferring the concavo-convex pattern, heat transferred from the heating heater (not shown) built in the upper pressing member 8a to the transfer material 9 using the annular mold 2A as a heat medium is transferred in the cooling section. Can be cooled. Then, the annular mold 2A can be smoothly and accurately peeled from the transfer material 9 that has been sufficiently cooled and reliably cured in the cooling section.

なお、前記の冷却区間に、不図示のエアブローや冷却ロール等の冷却機構を設ける構成としてもよい。このような構成によれば、生産性の向上を狙って、環状モールド２Ａ及び被転写材料９の搬送速度を増加させる場合であっても、前記の冷却区間において、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を十分に冷却でき、剥離動作を円滑かつ的確に行うことができる。   In addition, it is good also as a structure which provides cooling mechanisms, such as not shown air blow and a cooling roll, in the said cooling area. According to such a configuration, even when the conveyance speed of the annular mold 2A and the material to be transferred 9 is increased with the aim of improving productivity, the annular mold 2A and the material to be transferred 9 in the cooling section. Can be sufficiently cooled, and the peeling operation can be performed smoothly and accurately.

前記のロール４ｃにおいて環状モールド２Ａを被転写材料９から剥離させる工程の後、被転写材料９は、巻取りリール１０ｂに巻き取られる一方、環状モールド２Ａは、モールド搬送機構５によって再び押圧機構１７Ａへと送り込まれる。   After the step of peeling the annular mold 2A from the material to be transferred 9 in the roll 4c, the material to be transferred 9 is wound around the take-up reel 10b, while the annular mold 2A is again pressed by the mold transport mechanism 5 by the pressing mechanism 17A. It is sent to.

＜環状モールド及びモールド位置補正機構＞
次に、環状モールド２Ａ及びモールド位置補正機構１３について、さらに具体的に説明する。
図２（ａ）は、本実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図であり、図２（ｂ）及び（ｃ）は、図２（ａ）の環状モールドの変形例を示す図である。図２（ａ）及び（ｃ）は、図１の紙面上方から環状モールド周辺を見下ろした様子を示す部分平面図、図２（ｂ）は、環状モールドの内周側から転写ユニットの裏面を見た様子を表す部分裏面図である。 <Annular mold and mold position correction mechanism>
Next, the annular mold 2A and the mold position correction mechanism 13 will be described more specifically.
FIG. 2A is a configuration explanatory view of the annular mold and the mold position correcting mechanism in the present embodiment, and FIGS. 2B and 2C show modified examples of the annular mold of FIG. FIG. 2 (a) and 2 (c) are partial plan views showing a state where the periphery of the annular mold is looked down from the upper side of FIG. 1, and FIG. 2 (b) is a view of the back surface of the transfer unit from the inner peripheral side of the annular mold. FIG.

図２（ａ）に示すように、環状モールド２Ａは、外形が概ね六角形状の複数の転写ユニット３を、モールド搬送経路６（図１参照）に沿って相互に連結配置したものである。そして、隣接する転写ユニット３同士は、六角形状の角部（端部）が相互に重ね合わせられて回転ピン２１（軸部材）で軸支されている。つまり、転写ユニット３同士は、回転ピン２１を中心に回動可能となっている。図２（ａ）中、符号４ａ及び符号４ｄは、図１に示すロール４ａ及びロール４ｄに対応する。符号Ｘを付した白抜き矢印は、環状モールド２Ａの搬送方向を示している。
ちなみに、転写ユニット３同士の連結は、上流側に位置する転写ユニット３の端部は、下流側に位置する転写ユニット３の端部よりも、上又は下の何れかに、好ましくは下となるように環状モールド２Ａの全体に亘って統一されており、各転写ユニット３同士は瓦状に重なりあっている。 As shown in FIG. 2A, the annular mold 2A is configured such that a plurality of transfer units 3 having an approximately hexagonal outer shape are connected to each other along a mold conveyance path 6 (see FIG. 1). Adjacent transfer units 3 are pivotally supported by rotating pins 21 (shaft members) with hexagonal corners (ends) overlapped with each other. That is, the transfer units 3 can rotate around the rotation pin 21. In FIG. 2A, reference numerals 4a and 4d correspond to the roll 4a and the roll 4d shown in FIG. A white arrow with a symbol X indicates a conveyance direction of the annular mold 2A.
Incidentally, when the transfer units 3 are connected, the end of the transfer unit 3 located on the upstream side is either above or below the end of the transfer unit 3 located on the downstream side, preferably below. Thus, the entire annular mold 2A is unified, and the transfer units 3 are overlapped in a tile shape.

モールド位置補正機構１３は、図２（ａ）に示すように、転写ユニット３の両側（図２（ａ）の紙面左右の両側）にそれぞれ配置される一対のガイド部材４１を備えて構成されている。
ガイド部材４１同士は、その間に転写ユニット３が連なって形成される環状モールド２Ａを摺動可能に支持するようになっている。そして、ガイド部材４１は、Ｘ方向に環状モールド２Ａが搬送される際に、正規の位置からずれた転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ｄ側に位置する転写ユニット３）を、元の正規の位置の転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ａ側に位置する転写ユニット３）となるように、転写ユニット３を案内するように構成されている。
なお、このようなガイド部材４１の環状モールド２Ａの長手方向の長さは、ガイド部材４１から上流側のロール４ｄ、及び下流側のロール４ａの間隔と比べて短い。 As shown in FIG. 2A, the mold position correcting mechanism 13 includes a pair of guide members 41 disposed on both sides of the transfer unit 3 (on the left and right sides in FIG. 2A). Yes.
The guide members 41 are configured to slidably support an annular mold 2A formed between the transfer units 3 therebetween. When the annular mold 2A is conveyed in the X direction, the guide member 41 moves the transfer unit 3 (transfer unit 3 positioned on the roll 4d side in FIG. 2A) shifted from the normal position to the original position. The transfer unit 3 is guided so that the transfer unit 3 is located at the regular position (the transfer unit 3 located on the roll 4a side in FIG. 2A).
The length of the guide member 41 in the longitudinal direction of the annular mold 2A is shorter than the distance between the upstream roll 4d and the downstream roll 4a from the guide member 41.

本実施形態でのモールド位置補正機構１３は、転写ユニット３の正規の位置からのずれ幅を検出する転写ユニット３の位置センサ（図示省略）と、この位置センサからの信号に基づいてガイド部材４１における転写ユニット３の案内角度を調節するアクチュエータ（図示省略）と、を更に備えている。つまり、転写ユニット３は、角度可変のガイド部材４１により環状モールド２Ａの幅方向に移動可能となっている。   In the present embodiment, the mold position correction mechanism 13 includes a position sensor (not shown) of the transfer unit 3 that detects a deviation width from the normal position of the transfer unit 3, and a guide member 41 based on a signal from the position sensor. And an actuator (not shown) for adjusting the guide angle of the transfer unit 3. That is, the transfer unit 3 can be moved in the width direction of the annular mold 2A by the guide member 41 having a variable angle.

このような環状モールド２Ａ及びモールド位置補正機構１３の構成によれば、図２（ａ）のロール４ｄ側に位置する、正規の位置からずれた転写ユニット３が搬送される際に、ロール４ａから、図１に示すロール４ｂ及びロール４ｃを経由して、再びロール４ｄまで転写ユニット３が戻される。そのことで、モールド位置補正機構１３は、ガイド部材４１によって、転写ユニット３同士を、回転ピン２１を支点として回動させて、転写ユニット３を正規の位置へと導いていく。これにより、モールド位置補正機構１３は、転写ユニット３のずれを補正することができる。   According to such a configuration of the annular mold 2A and the mold position correcting mechanism 13, when the transfer unit 3 located on the roll 4d side in FIG. The transfer unit 3 is returned to the roll 4d again via the roll 4b and the roll 4c shown in FIG. Accordingly, the mold position correction mechanism 13 rotates the transfer units 3 with the guide member 41 around the rotation pin 21 as a fulcrum, and guides the transfer unit 3 to a normal position. Thereby, the mold position correcting mechanism 13 can correct the shift of the transfer unit 3.

＜モールド位置補正機構の変形例＞
次に、モールド位置補正機構１３の変形例について説明する。
図２（ｂ）に示すように、環状モールド２Ａは、転写ユニット３の裏面（転写パターンを有しない面）に任意の形状の突起４２を有している。そして、モールド位置補正機構１３を構成するガイド部材４１は、環状モールド２Ａが搬送される際に、正規の位置からずれた転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ｄ側に位置する転写ユニット３）を、元の正規の位置の転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ａ側に位置する転写ユニット３）となるように、突起４２を案内するように構成されている。また、モールド位置補正機構１３は、図示しないが、例えば、回転ピン２１を転写ユニット３の裏面側に突出させ、これをガイド部材４１で案内する構成とすることもできる。 <Modification of mold position correction mechanism>
Next, a modified example of the mold position correction mechanism 13 will be described.
As shown in FIG. 2B, the annular mold 2 </ b> A has a protrusion 42 having an arbitrary shape on the back surface (surface having no transfer pattern) of the transfer unit 3. The guide member 41 constituting the mold position correction mechanism 13 is moved from the normal position when the annular mold 2A is transported (the transfer unit 3 located on the roll 4d side in FIG. 2A). ) Is configured to guide the protrusions 42 so as to be the transfer unit 3 at the original regular position (the transfer unit 3 located on the roll 4a side in FIG. 2A). Although not shown, the mold position correcting mechanism 13 may be configured such that, for example, the rotation pin 21 protrudes from the back side of the transfer unit 3 and is guided by the guide member 41.

なお、図２（ｂ）中、符号２１は、回転ピンである。また、符号４２ａは、ロール４ａ，４ｄの周面に設けられ、環状モールド２Ａが搬送される際に、突起４２とロール４ａ，４ｄとの干渉を回避するための溝部（縮径部）である。ちなみに、この変形例では、図１に示すロール４ｂ，４ｃにも同様の溝部（図示省略）が設けられている。また、図１に示す上側押圧部材８ａにおいても、上側押圧部材８ａが転写ユニット３の裏面を押圧する際に、突起４２を回避する凹み（図示省略）を有している。   In FIG. 2B, reference numeral 21 denotes a rotation pin. Reference numeral 42a denotes a groove (reduced diameter portion) provided on the peripheral surfaces of the rolls 4a and 4d for avoiding interference between the protrusion 42 and the rolls 4a and 4d when the annular mold 2A is conveyed. . Incidentally, in this modified example, similar grooves (not shown) are also provided in the rolls 4b and 4c shown in FIG. The upper pressing member 8a shown in FIG. 1 also has a recess (not shown) that avoids the protrusion 42 when the upper pressing member 8a presses the back surface of the transfer unit 3.

また、環状モールド２Ａの転写ユニット３同士の連結は、回転ピン２１に限定されるものではなく、転写ユニット３の形状は、六角形に限定されるものでもない。つまり、転写ユニット３同士の連結は、転写ユニット３同士が当該連結部周りに相対的に回動可能であれば特に制限はない。また、転写ユニット３の形状は、平面視で円形、楕円形、多角形のいずれであってもよい。   Further, the connection between the transfer units 3 of the annular mold 2A is not limited to the rotation pin 21, and the shape of the transfer unit 3 is not limited to a hexagon. That is, the connection between the transfer units 3 is not particularly limited as long as the transfer units 3 can be relatively rotated around the connection portion. Further, the shape of the transfer unit 3 may be any of a circle, an ellipse, and a polygon in plan view.

図２（ｃ）に示すモールド位置補正機構１３のガイド部材４１は、互いに間隔を空けて配置された矩形の転写ユニット３同士がリンクピン４３（リンク部材）を介して連結された環状モールド２Ａを案内するように構成されている。つまり、ガイド部材４１で案内される環状モールド２Ａは、回転ピン２１で転写ユニット３同士が連結されるものと異なって、当該連結部で転写ユニット３同士が重なり合わないので、当該連結部が厚くならない。よって、ガイド部材４１は、環状モールド２Ａがモールド搬送経路６（図１参照）に沿って搬送される際に、より安定させてこれを案内することができる。   The guide member 41 of the mold position correcting mechanism 13 shown in FIG. 2 (c) includes an annular mold 2A in which rectangular transfer units 3 arranged at intervals are connected to each other via link pins 43 (link members). It is configured to guide. That is, the annular mold 2A guided by the guide member 41 is different from the one in which the transfer units 3 are connected by the rotation pin 21, and the transfer units 3 do not overlap each other at the connection portion. Don't be. Therefore, the guide member 41 can more stably guide the annular mold 2A when the annular mold 2A is conveyed along the mold conveyance path 6 (see FIG. 1).

＜モールド位置補正機構の他の変形例＞
図３（ａ）から（ｃ）は、図２（ｃ）のモールド位置補正機構の変形例を示す構成説明図であり、図２（ｃ）に対応する部分平面図である。
図２（ｃ）に示すモールド位置補正機構１３においては、前記のように、転写ユニット３の位置ずれを検出する位置センサ（図示省略）からの信号に基づいて角度可変のガイド部材４１が転写ユニット３の案内角度を自在に調節する構成となっているが、図３（ａ）に示すように、変形例に係るモールド位置補正機構１３のガイド部材４１，４１は、正規の環状モールド２Ａのモールド搬送経路６（図１参照）上で、転写ユニット３の幅で間隔を空けて角度不変で平行に開いて配置されている。つまり、図３（ａ）のガイド部材４１，４１は、図２（ｃ）に示す角度可変のガイド部材４１，４１と異なって、正規のモールド搬送経路６と平行となるように予め角度が固定されている。 <Other Modifications of Mold Position Correction Mechanism>
FIGS. 3A to 3C are configuration explanatory views showing a modified example of the mold position correcting mechanism of FIG. 2C, and are partial plan views corresponding to FIG.
In the mold position correcting mechanism 13 shown in FIG. 2C, as described above, the guide member 41 having a variable angle is provided on the transfer unit based on a signal from a position sensor (not shown) that detects the displacement of the transfer unit 3. However, as shown in FIG. 3A, the guide members 41 and 41 of the mold position correcting mechanism 13 according to the modification are molds of a regular annular mold 2A. On the transport path 6 (see FIG. 1), the transfer unit 3 is arranged in parallel with an angle invariable with a gap in the width of the transfer unit 3. That is, the guide members 41 and 41 in FIG. 3A are different from the variable angle guide members 41 and 41 shown in FIG. 2C in that the angle is fixed in advance so as to be parallel to the regular mold conveyance path 6. Has been.

このような図３（ａ）に示すモールド位置補正機構１３によれば、一対のガイド部材４１，４１の間を転写ユニット３が通過することで、環状モールド２Ａは、位置ずれが補正されることとなる。   According to the mold position correction mechanism 13 shown in FIG. 3A, the positional deviation of the annular mold 2A is corrected by the transfer unit 3 passing between the pair of guide members 41, 41. It becomes.

また、図３（ａ）に示す前記のモールド位置補正機構１３は、転写ユニット３同士を連結するリンクピン４３が１つであるものについて説明したが、リンクピン４３は、２つ以上とすることもできる。   Moreover, although the said mold position correction | amendment mechanism 13 shown to Fig.3 (a) demonstrated what has the one link pin 43 which connects transcription | transfer units 3, one link pin 43 shall be two or more. You can also.

図３（ｂ）に示すように、このモールド位置補正機構１３においては、転写ユニット３同士は、同じ長さの２本の平行なリンクピン４３，４３で連結されている。このような転写ユニット３同士は、モールド搬送経路６（図１参照）上で互いに平行を維持しながら、環状モールド２Ａの幅方向に位置ずれが補正されることとなる。これにより、転写ユニット３は、より確実にガイド部材４１，４１の間に受け入れられ、より円滑に位置ずれが補正されることとなる。   As shown in FIG. 3B, in the mold position correcting mechanism 13, the transfer units 3 are connected by two parallel link pins 43, 43 having the same length. Such transfer units 3 are corrected in positional deviation in the width direction of the annular mold 2A while maintaining parallel to each other on the mold conveyance path 6 (see FIG. 1). Thereby, the transfer unit 3 is more reliably received between the guide members 41 and 41, and the positional deviation is corrected more smoothly.

図３（ｂ）に示す前記のモールド位置補正機構１３においては、転写ユニット３同士は、同じ長さの２本の平行なリンクピン４３，４３で連結されているが、図３（ｃ）に示すように、転写ユニット３同士は、スライド手段７０によって互いに連結された構成とすることができる。   In the mold position correcting mechanism 13 shown in FIG. 3B, the transfer units 3 are connected to each other by two parallel link pins 43, 43 having the same length. As shown, the transfer units 3 can be connected to each other by the slide means 70.

このスライド手段７０は、互いに連結される一方の転写ユニット３の搬送方向の一端側に設けられるバー部材７１と、他方の転写ユニット３の搬送方法の他端側に設けられて、前記バー部材７１に対して摺動自在に係止される係止部材７２とで構成することができる。このようなスライド手段７０によれば、一方の転写ユニット３に対して連結される他方の転写ユニット３は、環状モールド２Ａの幅方向に移動可能となる。   The slide means 70 is provided on one end side in the transport direction of one transfer unit 3 connected to each other, and provided on the other end side in the transport method of the other transfer unit 3. It can comprise with the latching member 72 latched slidably with respect to. According to such a slide means 70, the other transfer unit 3 connected to one transfer unit 3 can move in the width direction of the annular mold 2A.

このような転写ユニット３同士は、図３（ｂ）に示す前記の転写ユニット３と同様に、モールド搬送経路６（図１参照）上で互いに平行を維持しながら、環状モールド２Ａの幅方向に位置ずれが補正されることとなる。これにより、転写ユニット３は、より確実にガイド部材４１，４１の間に受け入れられ、より円滑に位置ずれが補正されることとなる。   Such transfer units 3 are arranged in the width direction of the annular mold 2A while maintaining parallel to each other on the mold conveyance path 6 (see FIG. 1), similarly to the transfer unit 3 shown in FIG. The positional deviation is corrected. Thereby, the transfer unit 3 is more reliably received between the guide members 41 and 41, and the positional deviation is corrected more smoothly.

また、図３（ｂ）及び（ｃ）に示す転写ユニット３は、位置ずれが生じたとしても、モールド搬送経路６における周長の変化が殆ど無い。そのため、環状モールド２Ａの周長方向の張力の増加が防止されることとなり、パターン転写装置１Ａ（図１参照）の耐用年数が増加する。   Further, the transfer unit 3 shown in FIGS. 3B and 3C has almost no change in the circumferential length in the mold conveyance path 6 even if a positional deviation occurs. Therefore, an increase in the tension in the circumferential direction of the annular mold 2A is prevented, and the service life of the pattern transfer apparatus 1A (see FIG. 1) increases.

＜環状モールドの変形例＞
次に、環状モールド２Ａの変形例について説明する。
前記の図２（ｃ）、及び図３（ａ）から（ｃ）に示す環状モールド２Ａにおいては、相互に間隔を空けて配置された転写ユニット３同士がリンクピン４３で連結されるものについて説明したが、環状モールド２Ａは、相互に近接して配置された転写ユニット３同士が所定の接続部材で連結される構成とすることもできる。 <Modification of annular mold>
Next, a modification of the annular mold 2A will be described.
In the annular mold 2A shown in FIG. 2 (c) and FIGS. 3 (a) to 3 (c), the transfer unit 3 arranged with a space between each other is connected by a link pin 43. However, the annular mold 2A can also be configured such that the transfer units 3 arranged close to each other are connected by a predetermined connecting member.

次に参照する図４（ａ）から（ｄ）、及び図５（ａ）から（ｄ）は、環状モールドの変形例を説明する模式図であり、図１に示す環状モールド２Ａと同方向から見た様子を部分的に拡大して表す側面模式図である。なお、図４（ａ）から（ｄ）、及び図５（ａ）から（ｄ）に示す環状モールド２Ａにおいては、図示しないが、各図の紙面下側に微細な凹凸形状のパターンを有している。   Next, FIGS. 4 (a) to 4 (d) and FIGS. 5 (a) to 5 (d) to be referred to are schematic views for explaining modifications of the annular mold, and from the same direction as the annular mold 2A shown in FIG. It is a side surface schematic diagram which expands and shows a mode that it looked. In addition, in the annular mold 2A shown in FIGS. 4A to 4D and FIGS. 5A to 5D, although not shown, a fine uneven pattern is provided on the lower side of the drawing in each figure. ing.

図４（ａ）に示すように、この環状モールド２Ａは、転写ユニット３同士が接続部材４５を介して接続されている。また、環状モールド２Ａは、転写ユニット３の両端の一部が接続部材４５を覆うように張り出した張り出し部４６を有する構成となっている。
ちなみに、本実施形態での接続部材４５としては、転写ユニット３同士を連結できる構成であれば特に制限はなく、前記のリンクピン４３等のように剛性を有するものを含むほか、許容される範囲で弾性を有するバネ等の弾性部材であってもよい。
このような環状モールド２Ａによれば、そのパターン転写面（図４（ａ）の紙面下側の面）に被転写材料９（図１参照）が接する際に、接続部材４５が張り出し部４６で覆われているので、転写ユニット３同士の間の段差を低減することができる。また、転写ユニット３同士を互いに近接して配置することができるので、被転写材料９（図１参照）に対する凹凸形状のパターンの転写時に、被転写材料９が転写ユニット３同士の間に入り難くすることができる。 As shown in FIG. 4A, in the annular mold 2A, the transfer units 3 are connected to each other via a connecting member 45. The annular mold 2 </ b> A has a protruding portion 46 that protrudes so that both ends of the transfer unit 3 cover the connection member 45.
Incidentally, the connection member 45 in the present embodiment is not particularly limited as long as the transfer units 3 can be coupled to each other, and includes a member having rigidity such as the link pin 43 described above and an allowable range. It may be an elastic member such as a spring having elasticity.
According to such an annular mold 2A, when the material to be transferred 9 (see FIG. 1) is in contact with the pattern transfer surface (the surface on the lower side of FIG. 4A), the connecting member 45 is at the protruding portion 46. Since it is covered, the step between the transfer units 3 can be reduced. Further, since the transfer units 3 can be arranged close to each other, the transfer material 9 is difficult to enter between the transfer units 3 when transferring the uneven pattern to the transfer material 9 (see FIG. 1). can do.

また、図４（ｂ）に示すように、環状モールド２Ａは、図４（ｂ）の紙面上下の両側から接続部材４５を覆うように、上下２段で張り出し部４６を有する構成とすることもできる。
このような環状モールド２Ａによれば、上側押圧部材８ａ（図１参照）で押圧される側での段差をも低減することができる。 Further, as shown in FIG. 4B, the annular mold 2A may have a projecting portion 46 in two upper and lower stages so as to cover the connection member 45 from both the upper and lower sides of the sheet of FIG. it can.
According to such an annular mold 2A, the step on the side pressed by the upper pressing member 8a (see FIG. 1) can be reduced.

また、図４（ｃ）に示すように、環状モールド２Ａは、連結し合う一方の転写ユニット３に張り出し部４６が形成されていると共に、他方の転写ユニット３には、張り出し部４６を受け入れる窪み部７３が形成されている。
このような環状モールド２Ａによれば、張り出し部４６が窪み部７３に受け入れられることで、環状モールド２Ａがモールド搬送経路６（図１参照）に沿って搬送される際に、転写ユニット３同士の連結部における変動が低減されて搬送動作が安定する。 Further, as shown in FIG. 4C, the annular mold 2A has a protruding portion 46 formed in one transfer unit 3 to be connected, and a recess for receiving the protruding portion 46 in the other transfer unit 3. A portion 73 is formed.
According to such an annular mold 2A, when the overhanging portion 46 is received in the recessed portion 73, when the annular mold 2A is transported along the mold transport path 6 (see FIG. 1), the transfer units 3 are connected to each other. Fluctuations in the connecting portion are reduced and the transport operation is stabilized.

また、図４（ｄ）に示すように、環状モールド２Ａは、図４（ｂ）の紙面上下の両側に、張り出し部４６と窪み部７３が形成されている。
このような環状モールド２Ａによれば、前記図４（ｃ）に示すものと比較して、転写ユニット３同士の連結部における変動がさらに低減されて搬送動作がより安定する。 As shown in FIG. 4D, the annular mold 2A has overhanging portions 46 and depressions 73 formed on both the upper and lower sides of the sheet of FIG. 4B.
According to such an annular mold 2A, as compared with the one shown in FIG. 4C, the variation in the connecting portion between the transfer units 3 is further reduced, and the transport operation is more stable.

また、図５（ａ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図４（ａ）の張り出し部４６において、張り出し部４６同士が段差をもって噛み合う構成とすることもできる。そして、図５（ｂ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図４（ｂ）の張り出し部４６において、張り出し部４６同士が段差をもって噛み合う構成とすることもできる。
これらの環状モールド２Ａにおいても、転写ユニット３同士の連結部における変動をさらに低減して搬送動作をより安定させることができる。 Moreover, as shown to Fig.5 (a), the cyclic | annular mold 2A can also be set as the structure which the overhang | projection parts 46 mesh with a level | step difference in the overhang | projection part 46 of the said FIG. 4 (a). And as shown in FIG.5 (b), the annular mold 2A can also be set as the structure which the overhang | projection parts 46 mesh with a level | step difference in the overhang | projection part 46 of the said FIG.4 (b).
Also in these annular molds 2A, it is possible to further reduce fluctuations in the connecting portion between the transfer units 3 and further stabilize the conveying operation.

また、図５（ｃ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図５（ａ）の張り出し部４６同士の噛み合う構成を、テーパ面で摺り合せる構成とすることもできる。そして、図５（ｄ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図５（ｂ）の張り出し部４６同士の噛み合う構成を、テーパ面で摺り合せる構成とすることもできる。
これらの環状モールド２Ａにおいては、張り出し部４６同士がテーパ面で摺り合せる構成となっているので、転写ユニット３同士の連結部における、環状モールド２Ａの幅方向への変位の自由度が向上する。 Moreover, as shown in FIG.5 (c), the cyclic | annular mold 2A can also be set as the structure which slides together the structure which the overhang | projection part 46 of FIG. And as shown in FIG.5 (d), the cyclic | annular mold 2A can also be set as the structure which slides together the structure which the overhang | projection parts 46 of the said FIG.5 (b) mesh with each other.
In these annular molds 2A, since the overhanging portions 46 are slid on the tapered surfaces, the degree of freedom of displacement in the width direction of the annular mold 2A at the connecting portion between the transfer units 3 is improved.

また、図示しないが、環状モールド２Ａは、例えば、図の紙面上下の一方で、図４（ａ）に示すように、転写ユニット３同士の両方から張り出し部４６を設け、他方では図４（ｃ）に示すように、張り出し部４６と窪み部７３を設ける構成とすることもできる。また、張り出し部４６同士の重なり合いは、図５（ａ）に示す段差で形成されるものと、図５（ｃ）に示すテーパ面で形成されるものとを適宜に組み合わせて構成することもできる。   Although not shown, the annular mold 2A is provided with an overhanging portion 46 from both of the transfer units 3 as shown in FIG. 4A, for example, on the upper and lower sides of the drawing. As shown in FIG. 9, a configuration in which an overhanging portion 46 and a recessed portion 73 are provided can also be adopted. Further, the overlap between the overhang portions 46 can be configured by appropriately combining the one formed by the step shown in FIG. 5A and the one formed by the tapered surface shown in FIG. .

＜押圧部材の変形例＞
図１に示すパターン転写装置１Ａの上側押圧部材８ａとしては、環状モールド２Ａの押圧面が平坦に形成されているものを想定しているが、使用する環状モールド２Ａの構造に応じて上側押圧部材８ａを変形することができる。 <Modification of pressing member>
As the upper pressing member 8a of the pattern transfer apparatus 1A shown in FIG. 1, it is assumed that the pressing surface of the annular mold 2A is formed flat, but the upper pressing member depends on the structure of the annular mold 2A to be used. 8a can be deformed.

次に参照する図６（ａ）から（ｃ）は、パターン転写装置の押圧部材の変形例を示す模式図であり、図１に示す上側押圧部材８ａと同方向から見た様子を部分的に拡大して表す側面模式図である。   Next, FIGS. 6A to 6C to be referred to are schematic views showing modified examples of the pressing member of the pattern transfer apparatus, and partially show a state seen from the same direction as the upper pressing member 8a shown in FIG. It is a side surface schematic diagram expanded and expressed.

図６（ａ）に示すように、この上側押圧部材８ａは、環状モールド２Ａを押圧した際に、転写ユニット３同士の接続部との当接を避ける凹部５１が形成されている。
このような上側押圧部材８ａによれば、この凹部５１によって、上側押圧部材８ａと転写ユニット３同士の接続部との当接が避けられるので、当該接続部に押圧力が加わらないようにすることができる。その結果、環状モールド２Ａにおける転写ユニット３同士の接続部で段差が発生するのを防止することができる。 As shown in FIG. 6A, the upper pressing member 8a is formed with a recess 51 that avoids contact with the connecting portion between the transfer units 3 when the annular mold 2A is pressed.
According to such an upper pressing member 8a, the concave portion 51 avoids contact between the upper pressing member 8a and the connecting portion of the transfer unit 3, so that no pressing force is applied to the connecting portion. Can do. As a result, it is possible to prevent a step from being generated at the connecting portion between the transfer units 3 in the annular mold 2A.

図６（ｂ）に示すように、この上側押圧部材８ａは、環状モールド２Ａを押圧した際に、転写ユニット３同士の間に嵌入する突出部５２を有している。ちなみに、突出部５２は、例えば、図３（ａ）に示す環状モールド２Ａでは、リンクピン４３を挟んだ両側に形成される空間に、また、図３（ｂ）に示す環状モールド２Ａでは、一対のリンクピン４３の間の空間に嵌入することとなる。また、突出部５２の先端面は、上側押圧部材８ａが環状モールド２Ａを押圧した際に、転写ユニット３のパターン転写面（図６（ｂ）の紙面下側の面）と面一となるように形成されている。
このような上側押圧部材８ａによれば、環状モールド２Ａを押圧した際に、この突出部５２によって、転写ユニット３同士の間の空間を塞ぐと共に、突出部５２の先端面が、下側押圧部材８ｂ（図１参照）上に配置される被転写材料９（図１参照）に当接する。その結果、環状モールド２Ａにおける転写ユニット３同士の接続部で段差が発生するのを防止することができる。 As shown in FIG. 6B, the upper pressing member 8a has a protrusion 52 that fits between the transfer units 3 when the annular mold 2A is pressed. Incidentally, for example, in the annular mold 2A shown in FIG. 3A, the protrusion 52 is formed in a space formed on both sides of the link pin 43, and in the annular mold 2A shown in FIG. It will fit in the space between the link pins 43. Further, the front end surface of the protrusion 52 is flush with the pattern transfer surface of the transfer unit 3 (the lower surface in FIG. 6B) when the upper pressing member 8a presses the annular mold 2A. Is formed.
According to such an upper pressing member 8a, when the annular mold 2A is pressed, the protrusion 52 closes the space between the transfer units 3, and the front end surface of the protrusion 52 has a lower pressing member. It abuts on the transfer material 9 (see FIG. 1) disposed on 8b (see FIG. 1). As a result, it is possible to prevent a step from being generated at the connecting portion between the transfer units 3 in the annular mold 2A.

図６（ｃ）に示すように、この上側押圧部材８ａは、前記の図４（ａ）に示す環状モールド２Ａに適用される。そして、この上側押圧部材８ａは、環状モールド２Ａの背面（図６（ｃ）の紙面上側の面）を押圧する際に、転写ユニット３同士の間に張り出している張り出し部４６にも当接する突出部５２を有している。
このような上側押圧部材８ａによれば、環状モールド２Ａを押圧した際に、この突出部５２によって、張り出し部４６も押圧されるので、この張り出し部４６の表面（図６（ｃ）の紙面下側の面）にも微細な凹凸形状パターンを設けることで、より広い面積のパターン転写領域を得ることができる。 As shown in FIG. 6 (c), the upper pressing member 8a is applied to the annular mold 2A shown in FIG. 4 (a). The upper pressing member 8a protrudes in contact with the protruding portion 46 protruding between the transfer units 3 when pressing the back surface of the annular mold 2A (the upper surface in FIG. 6C). A portion 52 is provided.
According to such an upper pressing member 8a, when the annular mold 2A is pressed, the protruding portion 52 is also pressed by the projecting portion 52. Therefore, the surface of the protruding portion 46 (below the paper surface of FIG. 6C). A pattern transfer region having a larger area can be obtained by providing a fine uneven pattern on the side surface.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂについて、図７を参照して説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
なお、第１実施形態に係る前記のパターン転写装置１Ａ（図１参照）と、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂとでは、押圧機構の構造を除き、その他の構成は共通する。以下の説明において、パターン転写装置１Ａと同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。 (Second Embodiment)
Next, a pattern transfer apparatus 1B according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is an explanatory diagram schematically showing the configuration of the pattern transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention.
The pattern transfer apparatus 1A (see FIG. 1) according to the first embodiment and the pattern transfer apparatus 1B according to the second embodiment have the same configuration except for the structure of the pressing mechanism. In the following description, the same components as those in the pattern transfer apparatus 1A are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図１に示す第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａの押圧機構７Ａは、一対の平板状の上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂと、これらに推力を付与する、図示しない推力機構とを備えた構成となっている。また、推力機構による押圧動作がない状態では、上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとは相互に離間するように位置している。   The pressing mechanism 7A of the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment shown in FIG. 1 includes a pair of flat plate-like upper pressing member 8a and lower pressing member 8b, and a thrust mechanism (not shown) that applies thrust to these. It has a configuration with. Further, in a state where there is no pressing operation by the thrust mechanism, the upper pressing member 8a and the lower pressing member 8b are positioned so as to be separated from each other.

これに対し、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂの押圧機構７Ｂは、図７に示すように、一対の円筒状の上側及び下側ロール１５ｂ，１５ｂと、これらを相互に押圧又は離間させるように動作する推力機構（図示省略）と、を備える構成となっている。   In contrast, as shown in FIG. 7, the pressing mechanism 7B of the pattern transfer apparatus 1B according to the second embodiment presses or separates the pair of cylindrical upper and lower rolls 15b and 15b from each other. And a thrust mechanism (not shown) that operates as described above.

上側ロール１５ａには、図示しない加熱ヒータが内蔵されている。この加熱用ヒータは、環状モールド２Ａを熱媒体として被転写材料９を加熱することによって、熱可塑性樹脂からなる被転写材料９を、そのガラス転移温度Ｔｇ以上に昇温する。なお、第２実施形態では、上側ロール１５ａにのみ加熱ヒータを設ける例を挙げて説明したが、本発明はこの例に限定されない。すなわち、例えば、下側ロール１５ｂにのみ加熱ヒータを設けてもよいし、上側及び下側ロール１５ｂ，１５ｂの双方に加熱用ヒータを設けてもよい。   A heater (not shown) is built in the upper roll 15a. The heater for heating raises the material to be transferred 9 made of a thermoplastic resin to a temperature equal to or higher than the glass transition temperature Tg by heating the material to be transferred 9 using the annular mold 2A as a heat medium. In addition, in 2nd Embodiment, although the example which provides a heater only in the upper side roll 15a was given and demonstrated, this invention is not limited to this example. That is, for example, a heater may be provided only on the lower roll 15b, or a heater for heating may be provided on both the upper and lower rolls 15b and 15b.

第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂによれば、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａが奏する基本的な作用効果に加えて、次の作用効果を奏する。すなわち、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂでは、上側及び下側ロール１５ｂ，１５ｂを用いて押圧機構７Ｂを構成したので、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を連続して押圧機構７Ｂへと送り込んでパターン転写を行うことができる。
したがって、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂによれば、スタンプ式の押圧機構７Ａを備える第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａと比べて、パターン転写速度を高めて生産性を格段に向上することができる利点がある。 According to the pattern transfer apparatus 1B according to the second embodiment, in addition to the basic functions and effects exhibited by the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment, the following functions and effects are achieved. That is, in the pattern transfer apparatus 1B according to the second embodiment, since the pressing mechanism 7B is configured using the upper and lower rolls 15b and 15b, the annular mold 2A and the material to be transferred 9 are continuously transferred to the pressing mechanism 7B. The pattern can be transferred by feeding.
Therefore, according to the pattern transfer apparatus 1B according to the second embodiment, compared to the pattern transfer apparatus 1A according to the first embodiment including the stamp-type pressing mechanism 7A, the pattern transfer speed is increased and the productivity is remarkably improved. There are advantages that can be done.

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係るパターン転写装置１Ｃについて、図８を参照して説明する。図８は、本発明の第３実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
なお、前記の第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂ（図７参照）と、第３実施形態に係るパターン転写装置１Ｃとでは、環状モールド２Ａ及びモールド位置補正機構１３の構成を除き、その他の構成は共通する。以下の説明において、パターン転写装置１Ｂと同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。 (Third embodiment)
Next, a pattern transfer apparatus 1C according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an explanatory view schematically showing the configuration of the pattern transfer apparatus according to the third embodiment of the present invention.
In the pattern transfer apparatus 1B (see FIG. 7) according to the second embodiment and the pattern transfer apparatus 1C according to the third embodiment, other than the configurations of the annular mold 2A and the mold position correction mechanism 13, The configuration is common. In the following description, the same components as those of the pattern transfer apparatus 1B are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図７に示す前記の第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂでは、環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３が、モールド搬送経路６に沿って配置されたロール４ａとロール４ｄの間隔よりも短い構成であった。これに対し、第３実施形態に係るパターン転写装置１Ｃでは、図９に示すように、環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３が、モールド搬送経路６に沿って配置されたロール４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのいずれの間隔よりも長い構成となっている。ちなみに、本実施形態での、転写ユニット３は、一方向に長い矩形のものを想定している。   In the pattern transfer apparatus 1B according to the second embodiment shown in FIG. 7, the transfer unit 3 constituting the annular mold 2A is shorter than the distance between the roll 4a and the roll 4d arranged along the mold conveyance path 6. Met. On the other hand, in the pattern transfer apparatus 1C according to the third embodiment, as shown in FIG. 9, the transfer unit 3 that constitutes the annular mold 2A includes rolls 4a, 4b, and 4c arranged along the mold conveyance path 6. 4d is longer than any interval of 4d. Incidentally, the transfer unit 3 in this embodiment is assumed to be a rectangle that is long in one direction.

次に参照する図９は、第３実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図であり、図９（ａ）は、図８の紙面上方から環状モールド周辺を見下ろした様子を示す部分平面図、図９（ｂ）は、図８に示す環状モールド２Ａと同方向から見た様子を部分的に拡大して表す側面模式図である。   FIG. 9 to be referred to next is a configuration explanatory diagram of the annular mold and the mold position correcting mechanism in the third embodiment, and FIG. 9A shows a state in which the periphery of the annular mold is looked down from the upper side of FIG. A partial plan view, FIG. 9B, is a schematic side view showing a partially enlarged view of the annular mold 2A shown in FIG. 8 viewed from the same direction.

図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、第３実施形態でのモールド位置補正機構１３は、環状モールド２Ａの表裏に対してそれぞれ配置されたガイド部材６１ａ、６１ｂで構成されている。具体的には、ガイド部材６１ａ、６１ｂは、断面が三角形状の棒状部材であり、環状モールド２Ａの長手方向（搬送方向）と交差するように延在している。そして、ガイド部材６１ａ、６１ｂのそれぞれは、断面の三角形状の頂点に対応する稜線が、環状モールド２Ａの表裏のそれぞれに向き合っている。   As shown in FIGS. 9A and 9B, the mold position correcting mechanism 13 in the third embodiment is constituted by guide members 61a and 61b respectively arranged on the front and back of the annular mold 2A. Specifically, the guide members 61a and 61b are rod-shaped members having a triangular cross section, and extend so as to intersect the longitudinal direction (conveying direction) of the annular mold 2A. In each of the guide members 61a and 61b, the ridge line corresponding to the triangular apex of the cross section faces the front and back of the annular mold 2A.

ちなみに、ガイド部材６１ａ、６１ｂのそれぞれは、独立して環状モールド２Ａとの交差角度、及び上下位置（図９の紙面の上下方向の位置）が図示しないアクチュエータにより調節可能となっている。なお、図９（ａ）及び（ｂ）中、符号４ａ及び４ｄはそれぞれロールである。   Incidentally, each of the guide members 61a and 61b can be independently adjusted by an actuator (not shown) with respect to the angle of intersection with the annular mold 2A and the vertical position (position in the vertical direction on the paper surface of FIG. 9). In FIGS. 9A and 9B, reference numerals 4a and 4d denote rolls, respectively.

次に、この第３実施形態でのモールド位置補正機構１３の動作を説明する。
図１０（ａ）に示すように、ロール４ａ，４ｄにより搬送される環状モールド２Ａが、正規の位置（図９（ａ）参照）からずれようとする際に、前記のアクチュエータ（図示省略）は、ガイド部材６１ａ、６１ｂを八の字となるように角度を変えると共に、ガイド部材６１ｂと環状モールド２Ａとの接触位置が、ガイド部材６１ｂと環状モールド２Ａとの接触位置よりも高い位置になるように調整する。その結果、環状モールド２Ａは、図１０（ｂ）に示すように、仮想線（２点鎖線）で示される、ずれた位置から本来の位置（実線）に戻ることができる。 Next, the operation of the mold position correcting mechanism 13 in the third embodiment will be described.
As shown in FIG. 10 (a), when the annular mold 2A conveyed by the rolls 4a and 4d tries to deviate from the normal position (see FIG. 9 (a)), the actuator (not shown) is The angle of the guide members 61a and 61b is changed so as to be an eight shape, and the contact position between the guide member 61b and the annular mold 2A is higher than the contact position between the guide member 61b and the annular mold 2A. Adjust to. As a result, as shown in FIG. 10B, the annular mold 2A can return to the original position (solid line) from the shifted position indicated by the phantom line (two-dot chain line).

また、図１０（ｂ）のガイド部材６１ａ、６１ｂとは逆に、逆八の字となるようにガイド部材６１ａ、６１ｂを変位させることで、環状モールド２Ａを図１０（ｂ）とは逆の方向に移動させることもできる。つまり、このモールド位置補正機構１３によれば、ガイド部材６１ａ、６１ｂの少なくともいずれか１つが、環状モールド２Ａに対して斜めに交差しつつ、ロール４ａ，４ｄで設定されるに環状モールド２Ａの搬送平面内から離れるように環状モールド２Ａを逸脱させることで、環状モールド２Ａの搬送経路を変更することができる。   10B, the guide member 61a, 61b is displaced so that it has an inverted eight shape, so that the annular mold 2A is opposite to that of FIG. 10B. It can also be moved in the direction. That is, according to the mold position correcting mechanism 13, at least one of the guide members 61a and 61b crosses the annular mold 2A obliquely and is set by the rolls 4a and 4d to convey the annular mold 2A. By deviating the annular mold 2A away from the plane, the conveyance path of the annular mold 2A can be changed.

次に、第３実施形態でのモールド位置補正機構１３の変形例について説明する。
図１１は、図９に示すモールド位置補正機構の変形例の構成説明図である。
図１１に示すように、このモールド位置補正機構１３は、図９に示すモールド位置補正機構１３と異なって、ガイド部材６１ａが２分割されて、環状モールド２Ａの幅方向の両縁のそれぞれで環状モールド２Ａと接触する構成となっている。図１１中、符号４ａ及び４ｄはロールであり、符号６１ｂは、ガイド部材である。
このようなモールド位置補正機構１３によれば、環状モールド２Ａのパターン転写面を避けてガイド部材６１ａを配置することができる。 Next, a modification of the mold position correction mechanism 13 in the third embodiment will be described.
FIG. 11 is a configuration explanatory diagram of a modified example of the mold position correcting mechanism shown in FIG.
As shown in FIG. 11, unlike the mold position correction mechanism 13 shown in FIG. 9, the mold position correction mechanism 13 is divided into two guide members 61a, and is annular at both edges in the width direction of the annular mold 2A. The structure is in contact with the mold 2A. In FIG. 11, reference numerals 4a and 4d are rolls, and reference numeral 61b is a guide member.
According to such a mold position correction mechanism 13, the guide member 61 a can be disposed avoiding the pattern transfer surface of the annular mold 2 </ b> A.

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係るパターン転写装置１Ｄについて、図１２を参照して説明する。図１２は、本発明の第４実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。以下の説明において、パターン転写装置１Ｂ（図７参照）と同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
前記の図８に示すパターン転写装置１Ｃでは、環状モールド２Ａやモールド搬送機構５が被転写材料９の上方にのみ配置されているが、第４実施形態に係るパターン転写装置１Ｄは、図１２に示すように、環状モールド２Ａやモールド搬送機構５が被転写材料９に対して上下の両方にそれぞれ配置されている。
このようなパターン転写装置１Ｄによれば、被転写材料９の両面に凹凸形状のパターンを同時に転写することができる。 (Fourth embodiment)
Next, a pattern transfer apparatus 1D according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 is an explanatory view schematically showing the configuration of the pattern transfer apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. In the following description, the same components as those of the pattern transfer apparatus 1B (see FIG. 7) are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
In the pattern transfer apparatus 1C shown in FIG. 8, the annular mold 2A and the mold transport mechanism 5 are arranged only above the material 9 to be transferred, but the pattern transfer apparatus 1D according to the fourth embodiment is shown in FIG. As shown, the annular mold 2 </ b> A and the mold transport mechanism 5 are respectively arranged above and below the transfer material 9.
According to such a pattern transfer apparatus 1D, it is possible to simultaneously transfer a concavo-convex pattern onto both surfaces of the transfer material 9.

以上、第１実施形態から第４実施形態に基づいて本発明を具体的に説明したが、本発明はこれに限定されずに様々な形態で実施することができる。
例えば、前記実施形態では、環状モールド２Ａを搬送するための円筒状のロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（これらと同等の機能を有するものを含む）の数は、４つに限定されない。押圧機構７Ａ、７Ｂによる、被転写材料９への環状モールド２Ａの押し当て機能を発揮することができれば、３つ又は５以上、任意の数を設けることができる。 As mentioned above, although this invention was demonstrated concretely based on 4th Embodiment from 1st Embodiment, this invention is not limited to this, It can implement with a various form.
For example, in the above-described embodiment, the number of cylindrical rolls 4a, 4b, 4c, and 4d (including those having functions equivalent to these) for conveying the annular mold 2A is not limited to four. Any number of three or five or more can be provided as long as the pressing function of the annular mold 2A against the material 9 to be transferred can be exhibited by the pressing mechanisms 7A and 7B.

また、前記実施形態において、モールド搬送機構５は、環状モールド２Ａの張力を調整する張力調整機構を別途備えていてもよい。   Moreover, in the said embodiment, the mold conveyance mechanism 5 may be provided with the tension adjustment mechanism which adjusts the tension | tensile_strength of 2 A of annular molds separately.

また、前記実施形態において、被転写材料搬送機構１２は、送り出しリール１０ａ及び巻取りリール１０ｂの間に架け渡された長尺帯状の被転写材料９に弛みが生じないように張力を調整する張力調整機構を別途備えていてもよい。   In the embodiment, the transfer material transport mechanism 12 adjusts the tension so that the long belt-shaped transfer material 9 spanned between the delivery reel 10a and the take-up reel 10b does not loosen. An adjustment mechanism may be provided separately.

また、前記実施形態において、送り出しリール１０ａ及び巻取りリール１０ｂの双方に回転駆動制御機構を設ける例をあげて説明したが、被転写材料９の搬送に支障をきたすことが無ければ、送り出しリール１０ａと巻取りリール１０ｂのいずれかにのみ回転駆動制御機構を設けてもよい。   Further, in the embodiment, the example in which the rotation drive control mechanism is provided in both the delivery reel 10a and the take-up reel 10b has been described. However, if there is no problem in the conveyance of the transfer material 9, the delivery reel 10a. And a rotation drive control mechanism may be provided only on one of the take-up reels 10b.

また、前記実施形態において、被転写材料９は、熱可塑性樹脂で形成された単一層からなるフィルム材を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。被転写材料９は、少なくとも一方の最外層が熱可塑性樹脂で形成された多層構造体であってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the to-be-transferred material 9 illustrated and demonstrated the film material which consists of a single layer formed with the thermoplastic resin, this invention is not limited to this example. The transfer material 9 may be a multilayer structure in which at least one outermost layer is formed of a thermoplastic resin.

また、前記実施形態において、環状モールド２Ａの実施態様として、環状モールド２Ａを用いる例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。環状モールド２Ａの実施態様として、長尺帯状の環状モールド２Ａを採用してもよい。このようなパターン転写装置のモールド搬送機構としては、例えば、長尺帯状の環状モールド２Ａの一端側を巻き回してこれを送り出す送り出しリールと、その他端側を巻き取る巻取りリールとを含んで構成することができる。   Moreover, in the said embodiment, although the example using cyclic mold 2A was given and demonstrated as an embodiment of cyclic mold 2A, this invention is not limited to this example. As an embodiment of the annular mold 2A, a long belt-like annular mold 2A may be adopted. The mold transfer mechanism of such a pattern transfer apparatus includes, for example, a feed reel that winds and feeds one end of a long belt-shaped annular mold 2A, and a take-up reel that winds the other end. can do.

また、前記実施形態において、回転ピン２１、リンクピン４３、接続部材４５等は、例えば、ゴム状、繊維状の変形、伸縮、屈曲可能な材料で構成されてもよい。この場合、モールド搬送機構５を構成するロール４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが全て固定された状態で、転写ユニット３の位置ずれが生じた場合であったとしても、回転ピン２１やリンクピン４３の変形によって、環状モールド２Ａの周長の変化量を吸収し、張力の増加を抑制することができる。また、高い剛性を有する材料の場合と比べて比較的容易に転写ユニット３の位置を補正し易くなる。   Moreover, in the said embodiment, the rotation pin 21, the link pin 43, the connection member 45, etc. may be comprised with the material which can deform | transform rubber-like, a fiber form, can be expanded-contracted, and bend, for example. In this case, even if the transfer unit 3 is misaligned with all the rolls 4a, 4b, 4c, and 4d constituting the mold transport mechanism 5 fixed, the rotation pin 21 and the link pin 43 Due to the deformation, the amount of change in the circumference of the annular mold 2A can be absorbed, and the increase in tension can be suppressed. In addition, the position of the transfer unit 3 can be corrected relatively easily compared to the case of a material having high rigidity.

１Ａ パターン転写装置
１Ｂ パターン転写装置
１Ｃ パターン転写装置
１Ｄ パターン転写装置
２Ａ 環状モールド
３ 転写ユニット
５ モールド搬送機構
６ モールド搬送経路
７Ａ 押圧機構
７Ｂ 押圧機構
９ 被転写材料
１２ 被転写材料搬送機構
１３ モールド位置補正機構
２１ 回転ピン（軸部材）
４１ ガイド部材
４２ 突起
４３ リンクピン（リンク部材）
５１ 凹部
５２ 突出部
６１ａ ガイド部材
６１ｂ ガイド部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A Pattern transfer apparatus 1B Pattern transfer apparatus 1C Pattern transfer apparatus 1D Pattern transfer apparatus 2A Annular mold 3 Transfer unit 5 Mold transport mechanism 6 Mold transport path 7A Press mechanism 7B Press mechanism 9 Transfer material 12 Transfer material transport mechanism 13 Mold position correction Mechanism 21 Rotating pin (shaft member)
41 Guide member 42 Projection 43 Link pin (link member)
51 Concave part 52 Projection part 61a Guide member 61b Guide member

Claims (29)

微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写装置であって、
前記パターンを有するモールドを搬送するモールド搬送機構と、
前記被転写面を有する被転写材料を搬送する被転写材料搬送機構と、
前記パターンの形成面と前記被転写面を対向させた状態で、前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する押圧機構と、
前記モールド搬送機構によって前記モールドを前記押圧機構まで搬送する経路上において、前記被転写材料に対する前記モールドの相対位置を調整するためのモールド位置補正機構と、を備え、
前記モールドは、複数の転写ユニットを環状に連結した環状モールドであることを特徴とするパターン転写装置。 A pattern transfer apparatus for transferring a fine uneven pattern to a transfer surface,
A mold transport mechanism for transporting a mold having the pattern;
A transfer material transport mechanism for transporting a transfer material having the transfer surface;
A pressing mechanism that presses the mold and the material to be transferred with each other in a state where the formation surface of the pattern and the surface to be transferred are opposed to each other;
A mold position correcting mechanism for adjusting a relative position of the mold with respect to the material to be transferred on a path for transporting the mold to the pressing mechanism by the mold transport mechanism;
The pattern transfer apparatus, wherein the mold is an annular mold in which a plurality of transfer units are connected in an annular shape. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド位置補正機構は、前記転写ユニットの、前記モールド幅方向の変位を規制するガイド部材であることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The pattern transfer apparatus, wherein the mold position correction mechanism is a guide member that regulates displacement of the transfer unit in the mold width direction. 請求項２に記載のパターン転写装置において、
前記ガイド部材は、前記転写ユニットを、前記モールドを搬送する経路上に沿うように案内することを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 2,
The pattern transfer apparatus, wherein the guide member guides the transfer unit along a path for conveying the mold. 請求項２に記載のパターン転写装置において、
前記ガイド部材は、前記転写ユニットの前記パターンが形成される面と反対の面に設けられた突起に当接して、前記転写ユニットを、前記モールドを搬送する経路上に沿うように案内することを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 2,
The guide member abuts on a protrusion provided on a surface opposite to the surface on which the pattern of the transfer unit is formed, and guides the transfer unit along a path for transporting the mold. Characteristic pattern transfer device. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士の連結部は、前記モールド幅方向に変位可能となっていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The pattern transfer apparatus according to claim 1, wherein a connecting portion between the transfer units is displaceable in the mold width direction. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士は、互いにそれらの端部で重ね合わせると共に、当該重ね合わせ部分を貫通する軸部材で連結されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The pattern transfer device is characterized in that the transfer units are overlapped with each other at their end portions and are connected by a shaft member that penetrates the overlapped portion. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士は、リンク部材で連結されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The pattern transfer apparatus, wherein the transfer units are connected by a link member. 請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のパターン転写装置において、
前記モールドは、可撓性材料で形成されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer device according to any one of claims 1 to 7,
The pattern transfer apparatus, wherein the mold is made of a flexible material. 請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニットは、前記パターンを有する金型部材と、この金型部材を支持するベース部材からなることを特徴とするパターン転写装置。 In the pattern transfer device according to any one of claims 1 to 8,
The pattern transfer apparatus, wherein the transfer unit includes a mold member having the pattern and a base member that supports the mold member. 請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記ベース部材は、可撓性材料で形成されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 9,
The pattern transfer apparatus, wherein the base member is made of a flexible material. 請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記金型部材は、ニッケルを含む金属材料で構成されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 9,
The pattern transfer apparatus, wherein the mold member is made of a metal material containing nickel. 請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記金型部材は、ポリイミド及び光硬化性樹脂の少なくとも１つで構成されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 9,
The pattern transfer apparatus, wherein the mold member is composed of at least one of polyimide and photo-curing resin. 請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記金型部材と前記ベース部材とは、接着されて一体となっていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 9,
The pattern transfer apparatus, wherein the mold member and the base member are bonded and integrated. 請求項９に記載のパターン転写装置であって、
前記金型部材と前記ベース部材とは、溶接されて一体となっていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 9,
The pattern transfer apparatus, wherein the mold member and the base member are welded together. 請求項９に記載のパターン転写装置であって、
前記金型部材と前記ベース部材とは、機械的に締結されて一体となっていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 9,
The pattern transfer apparatus, wherein the mold member and the base member are mechanically fastened and integrated. 請求項９に記載のパターン転写装置であって、
前記ベース部材は、前記被転写材料の前記被転写面に追加加工を施すための機能を更に有していることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 9,
The pattern transfer apparatus, wherein the base member further has a function for performing additional processing on the transfer surface of the transfer material. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記押圧機構は、前記転写ユニット同士の連結部を避けて前記モールドを押圧することを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The pattern transfer apparatus, wherein the pressing mechanism presses the mold while avoiding a connecting portion between the transfer units. 請求項６に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士の連結は、上流側に位置する前記転写ユニットの端部が、下流側に位置する前記転写ユニットの端部よりも、上又は下の何れかになるように前記モールドの全体に亘って統一されて、各転写ユニット同士は瓦状に重なりあっていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 6,
The transfer units are connected to each other so that the end of the transfer unit located on the upstream side is either above or below the end of the transfer unit located on the downstream side. A pattern transfer apparatus characterized in that the transfer units are overlapped in a tile shape. 請求項１８に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士の連結は、上流側に位置する前記転写ユニットの端部が、下流側に位置する前記転写ユニットの端部よりも、下になるように前記モールドの全体に亘って統一されて、各転写ユニット同士は瓦状に重なりあっていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 18,
The connection between the transfer units is unified over the entire mold so that the end of the transfer unit located on the upstream side is below the end of the transfer unit located on the downstream side. The pattern transfer apparatus is characterized in that the transfer units overlap each other in a tile shape. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド搬送機構は、環状の前記モールドを内側で支持する複数のロールを備え、
前記モールドの長手方向における前記転写ユニットの長さは、
前記モールド位置補正機構から直近の上流側及び直近の下流側にそれぞれ位置する前記ロールの間隔と比べて短いことを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The mold transport mechanism includes a plurality of rolls that support the annular mold on the inside,
The length of the transfer unit in the longitudinal direction of the mold is
The pattern transfer apparatus, characterized in that it is shorter than the interval between the rolls located on the most upstream side and the nearest downstream side from the mold position correcting mechanism. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド搬送機構は、環状の前記モールドを内側で支持する複数のロールを備え、
前記ロール間の間隔を調節して前記モールドの張力を調節する間隔調整機構を備えることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The mold transport mechanism includes a plurality of rolls that support the annular mold on the inside,
A pattern transfer apparatus comprising an interval adjusting mechanism that adjusts an interval between the rolls to adjust a tension of the mold. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記押圧機構は、少なくとも一対の円筒状のロールであることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The pattern transfer device, wherein the pressing mechanism is at least a pair of cylindrical rolls. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド搬送機構は、環状の前記モールドを内側で支持する複数のロールを備え、
前記モールドの長手方向における前記転写ユニットの長さは、
前記モールド位置補正機構から直近の上流側及び直近の下流側にそれぞれ位置する前記ロールの間隔と比べて長いことを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The mold transport mechanism includes a plurality of rolls that support the annular mold on the inside,
The length of the transfer unit in the longitudinal direction of the mold is
A pattern transfer apparatus characterized in that it is longer than the interval between the rolls located on the nearest upstream side and the nearest downstream side from the mold position correcting mechanism. 請求項２３に記載のパターン転写装置において、
前記モールド位置補正機構は、前記モールドと交差するように配置される棒状部材と、
前記モールドとこの棒状部材との交差角度を所定の角度に維持しながら、この棒状部材を前記モールドに当接させるアクチュエータと、
を備えることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 23,
The mold position correction mechanism is a rod-shaped member arranged to intersect the mold;
An actuator for bringing the rod-shaped member into contact with the mold while maintaining a crossing angle between the mold and the rod-shaped member at a predetermined angle;
A pattern transfer apparatus comprising: 請求項２４に記載のパターン転写装置において、
前記棒状部材は、前記モールドを表裏から挟む位置に少なくとも一対配置されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 24, wherein
At least one pair of the rod-shaped members is disposed at a position where the mold is sandwiched from the front and back sides. 請求項２４に記載のパターン転写装置において、
前記ロール間の間隔を調節して前記モールドの張力を調節する間隔調整機構を備えることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 24, wherein
A pattern transfer apparatus comprising an interval adjusting mechanism that adjusts an interval between the rolls to adjust a tension of the mold. 請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士は、弾性部材を介して連結されていることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 1,
The pattern transfer apparatus, wherein the transfer units are connected via an elastic member. 請求項３に記載のパターン転写装置において、
前記モールドの位置を検出する検出機構と、
この検出機構の検出信号に基づいて前記ガイド部材を駆動するアクチュエータと、
を備えることを特徴とするパターン転写装置。 The pattern transfer apparatus according to claim 3,
A detection mechanism for detecting the position of the mold;
An actuator for driving the guide member based on a detection signal of the detection mechanism;
A pattern transfer apparatus comprising: 微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写方法であって、
前記パターンを有するモールド及び前記被転写面を有する被転写材料を、所定の搬送経路に沿って搬送する工程と、
前記パターンの形成面と前記被転写面を相互に対向させた状態で前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する工程と、
前記モールドを前記押圧機構まで搬送する搬送経路上において、前記被転写面に対して前記モールドの前記パターンとの相対位置を補正する工程と、
を含むことを特徴とするパターン転写方法。
A pattern transfer method for transferring a fine uneven pattern to a transfer surface,
Transporting the mold having the pattern and the material to be transferred having the surface to be transferred along a predetermined transport path;
Pressing the mold and the material to be transferred with each other in a state in which the formation surface of the pattern and the surface to be transferred are opposed to each other;
A step of correcting a relative position of the mold with respect to the transferred surface on a transfer path for transferring the mold to the pressing mechanism;
A pattern transfer method comprising:
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