JP2013182945A - 描画装置および物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子線によって基板に描画を行う描画装置は、鏡筒と、前記鏡筒の中に配置され、荷電粒子線を制御するための制御要素および前記制御要素の動作を制御するための信号を受信する受信部を有する制御デバイスと、前記受信部に前記信号を伝送するように前記受信部に接続されたケーブルと、前記鏡筒の中において、前記制御要素が配置された第1空間を前記ケーブルが配置された第2空間から分離するための隔壁と、を備える。
【選択図】図2A
Description
Claims (8)
- 荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
鏡筒と、
前記鏡筒の中に配置され、荷電粒子線を制御するための制御要素および前記制御要素の動作を制御するための信号を受信する受信部を有する制御デバイスと、
前記受信部に前記信号を伝送するように前記受信部に接続されたケーブルと、
前記鏡筒の中において、前記制御要素が配置された第1空間を前記ケーブルが配置された第2空間から分離するための隔壁と、
を備えることを特徴とする描画装置。 - 前記制御要素は、荷電粒子線を偏向させる偏向器を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の描画装置。 - 前記偏向器は、基板に対する荷電粒子線の照射および非照射を制御するためのブランカーとして構成されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の描画装置。 - 前記描画装置は、行列状に配列された複数の荷電粒子線によって基板に描画を行うように構成され、
前記制御デバイスは、複数の荷電粒子線を制御するために行列状に配列された複数の制御要素および前記複数の制御要素の動作を制御するための信号を受信する複数の受信部を有し、
前記ケーブルは、前記複数の受信部に接続された複数のケーブルを含み、
前記第1空間は、共通空間と、前記共通空間に接続された複数の行空間と、を含み、前記複数の行空間の各々は、その中に、前記複数の制御要素のうち対応する1つの行に属する制御要素が配置されて、前記隔壁によって前記第2空間から分離されている、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の描画装置。 - 前記第1空間を荷電粒子線の経路に直交する面で切断した断面が櫛歯形状を有する、
ことを特徴とする請求項4に記載の描画装置。 - 前記第1空間を減圧するための第1排気部と、
前記第2空間を減圧するための第2排気部と、
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の描画装置。 - 前記制御デバイスは、前記受信部で受信された信号に基づいて前記制御要素を駆動する回路を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の描画装置。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の描画装置によって基板に描画を行う工程と、
前記工程で描画を行われた前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
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JP2012044305A JP2013182945A (ja) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | 描画装置および物品製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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