JP2013166329A - Liquid ejecting apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid ejecting apparatus in which an environmental load is small and a displacement amount is high.SOLUTION: A liquid ejecting apparatus includes: a piezoelectric element provided with a piezoelectric layer and an electrode provided on the piezoelectric layer; and a driving unit supplying a driving waveform driving the piezoelectric element to the piezoelectric element, in which the piezoelectric layer is formed of a composite oxide being preferentially oriented to surface (110) or surface (111) and having a perovskite structure including bismuth, iron, barium and titanium, in which the driving waveform includes: an applying process of applying Vm that is an intermediate voltage applied in the waiting state of the piezoelectric element; a first voltage changing process of changing a voltage to a first voltage of opposite polarity to the intermediate voltage from the application state of the intermediate voltage; and a second voltage changing process of changing a voltage from the application state of the first voltage to a second voltage of the same polarity with the intermediate voltage and that is large, and the first voltage is -5.6 V/μ to -16.7 V/μm by the conversion of an electric field.

Description

本発明は、ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせる電極及び圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting apparatus including a piezoelectric element having an electrode and a piezoelectric layer that cause a pressure change in a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening.

液体噴射装置に搭載される液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴として吐出させるインクジェット式記録ヘッドがある。   As a typical example of a liquid ejecting head mounted on a liquid ejecting apparatus, for example, a part of a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting ink droplets is configured by a diaphragm, and the diaphragm is deformed by a piezoelectric element. There is an ink jet recording head that pressurizes ink in a pressure generating chamber and discharges the ink as ink droplets from a nozzle opening.

液体噴射ヘッドに用いられる圧電素子としては、電気的機械変換機能を呈する圧電材料、例えば、結晶化した誘電材料からなる圧電体層を、2つの電極で挟んで構成されたものがある。このような圧電素子は、例えば撓み振動モードのアクチュエーター装置として液体噴射ヘッドに搭載される。ここで、液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴として吐出させるインクジェット式記録ヘッドがある。   As a piezoelectric element used in a liquid ejecting head, there is a piezoelectric material that exhibits an electromechanical conversion function, for example, a piezoelectric layer made of a crystallized dielectric material and sandwiched between two electrodes. Such a piezoelectric element is mounted on the liquid ejecting head as an actuator device in a flexural vibration mode, for example. Here, as a typical example of the liquid ejecting head, for example, a part of the pressure generation chamber communicating with the nozzle opening for ejecting ink droplets is configured by a vibration plate, and the vibration plate is deformed by a piezoelectric element, and the pressure generation chamber is There is an ink jet recording head that pressurizes the ink and discharges it as ink droplets from a nozzle opening.

このような圧電素子を構成する圧電体層として用いられる圧電材料には高い圧電特性が求められており、圧電材料の代表例として、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)が挙げられるが、環境問題の観点から、非鉛又は鉛の含有量を抑えた圧電材料が求められている。鉛を含有しない圧電材料としては、例えば、Bi及びFeを含有するBiFeO系の圧電材料がある(例えば、特許文献1参照)。 A piezoelectric material used as a piezoelectric layer constituting such a piezoelectric element is required to have high piezoelectric characteristics, and a typical example of a piezoelectric material is lead zirconate titanate (PZT). From the viewpoint, there is a demand for a piezoelectric material with reduced lead or lead content. As a piezoelectric material not containing lead, for example, there is a BiFeO 3 -based piezoelectric material containing Bi and Fe (see, for example, Patent Document 1).

特開2007−287745号公報JP 2007-287745 A

しかしながら、このような非鉛又は鉛の含有量を抑えた複合酸化物からなる圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)と比較すると変位量が十分ではないので、変位量の向上が求められている。   However, since the piezoelectric layer made of a composite oxide with a reduced content of lead or lead is not sufficient in displacement compared to lead zirconate titanate (PZT), an improvement in displacement is required. It has been.

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在し、また、液体噴射ヘッド以外に用いられる圧電素子においても同様に存在する。   Such a problem exists not only in the ink jet recording head, but of course in other liquid ejecting heads that eject droplets other than ink, and also in piezoelectric elements used in other than liquid ejecting heads. Exist as well.

本発明はこのような事情に鑑み、環境負荷が小さく且つ変位量が高い液体噴射装置を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting apparatus with a small environmental load and a high displacement.

上記課題を解決する本発明の態様は、圧電体層および該圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子と、前記圧電素子を駆動する駆動波形を前記圧電素子に供給する駆動手段と、を有する液体噴射装置であって、前記圧電体層は、(110)面又は(111)面に優先配向した、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、前記駆動波形は、前記圧電素子の待機状態において印加される中間電圧であるVmを印加する工程と、前記中間電圧の印加状態から当該中間電圧とは逆極性の第1電圧まで電圧を変化させる第1の電圧変化工程と、前記第1電圧の印加状態から前記中間電圧と同極性で大きな第2電圧まで電圧を変化させる第2の電圧変化工程と、を有し、前記第1電圧が、電界に換算して、−5.6V/μm〜−16.7V/μmであることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、(110)面又は(111)面に優先配向している、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなる圧電体層を用い、中間電圧であるVmを印加する工程と、中間電圧の印加状態から逆極性の第1電圧まで電圧を変化させる第1の電圧変化工程と、第1電圧の印加状態から中間電圧と同極性で大きな第2電圧まで電圧を変化させる第2の電圧変化工程と、を有し、第1電圧が−5V〜−15Vである駆動波形を用いることにより、大きな変位量を得ることができる。また、圧電材料を、非鉛系、すなわち、鉛を含有しないまたは鉛含有の少ないものとしているため、環境への負荷が小さい。
An aspect of the present invention that solves the above problems includes a piezoelectric element including a piezoelectric layer and an electrode provided on the piezoelectric layer, and a driving unit that supplies a driving waveform for driving the piezoelectric element to the piezoelectric element. The piezoelectric layer is made of a complex oxide having a perovskite structure containing bismuth, iron, barium, and titanium preferentially oriented in a (110) plane or a (111) plane. Is a step of applying Vm, which is an intermediate voltage applied in the standby state of the piezoelectric element, and a first voltage for changing the voltage from the application state of the intermediate voltage to a first voltage having a polarity opposite to the intermediate voltage. And a second voltage changing step for changing the voltage from the application state of the first voltage to a second voltage having the same polarity as that of the intermediate voltage, and the first voltage is converted into an electric field. - A liquid ejecting apparatus which is a .6V / μm~-16.7V / μm.
In such an embodiment, a piezoelectric layer made of a composite oxide having a perovskite structure containing bismuth, iron, barium and titanium and preferentially oriented in the (110) plane or the (111) plane is used, and an intermediate voltage Vm is applied. A first voltage changing step for changing the voltage from the applied state of the intermediate voltage to the first voltage having the opposite polarity, and a change of the voltage from the applied state of the first voltage to the second voltage having the same polarity as the intermediate voltage and a large voltage And a second voltage changing step to be used, and a large displacement can be obtained by using a drive waveform in which the first voltage is −5 V to −15 V. In addition, since the piezoelectric material is non-lead, that is, contains no lead or contains little lead, the load on the environment is small.

本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す図。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an ink jet recording apparatus according to an embodiment of the present invention. 実施形態1に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a schematic configuration of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドの平面図。FIG. 3 is a plan view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドの断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係るインクジェット式記録装置の制御構成を示すブロック図。FIG. 2 is a block diagram illustrating a control configuration of the ink jet recording apparatus according to the first embodiment. 実施形態1に係る駆動信号(駆動波形)例を示す図。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a drive signal (drive waveform) according to the first embodiment. 試験例で用いた駆動波形を説明する図。The figure explaining the drive waveform used in the test example. 試験例1の結果を示す図。The figure which shows the result of the test example 1. FIG. 試験例2の結果を示す図。The figure which shows the result of Test Example 2.

(実施形態1)
図1は、本発明にかかる液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図1に示すように、インクジェット式記録装置IIにおいて、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of an ink jet recording apparatus that is an example of a liquid ejecting apparatus according to the invention. As shown in FIG. 1, in an ink jet recording apparatus II, recording head units 1A and 1B having an ink jet recording head are provided with cartridges 2A and 2B constituting an ink supply means in a detachable manner. 1B is mounted on a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4 so as to be movable in the axial direction. The recording head units 1A and 1B, for example, are configured to eject a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。   The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted is moved along the carriage shaft 5. The On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S that is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.

ここで、このようなインクジェット式記録装置IIに搭載されるインクジェット式記録ヘッドについて、図2〜図4を参照して説明する。なお、図2は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図3は、図2の平面図であり、図4は図3のA−A′線断面図である。   Here, an ink jet recording head mounted on such an ink jet recording apparatus II will be described with reference to FIGS. 2 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of an ink jet recording head which is an example of a liquid jet head according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 3 is a plan view of FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 3.

図2〜図4に示すように、本実施形態の流路形成基板10は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。   As shown in FIGS. 2 to 4, the flow path forming substrate 10 of the present embodiment is made of a silicon single crystal substrate, and an elastic film 50 made of silicon dioxide is formed on one surface thereof.

流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成され、連通部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14及び連通路15を介して連通されている。連通部13は、後述する保護基板のマニホールド部31と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるマニホールド100の一部を構成する。インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路14を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。本実施形態では、流路形成基板10には、圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15からなる液体流路が設けられていることになる。   A plurality of pressure generating chambers 12 are arranged in parallel in the width direction of the flow path forming substrate 10. In addition, a communication portion 13 is formed in a region outside the longitudinal direction of the pressure generation chamber 12 of the flow path forming substrate 10, and the communication portion 13 and each pressure generation chamber 12 are provided for each pressure generation chamber 12. Communication is made via a supply path 14 and a communication path 15. The communicating portion 13 communicates with a manifold portion 31 of a protective substrate, which will be described later, and constitutes a part of the manifold 100 that becomes a common ink chamber for each pressure generating chamber 12. The ink supply path 14 is formed with a narrower width than the pressure generation chamber 12, and maintains a constant flow path resistance of ink flowing into the pressure generation chamber 12 from the communication portion 13. In this embodiment, the ink supply path 14 is formed by narrowing the width of the flow path from one side. However, the ink supply path may be formed by narrowing the width of the flow path from both sides. Further, the ink supply path may be formed by narrowing from the thickness direction instead of narrowing the width of the flow path. In the present embodiment, the flow path forming substrate 10 is provided with a liquid flow path including the pressure generation chamber 12, the communication portion 13, the ink supply path 14, and the communication path 15.

また、流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート20は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。   Further, on the opening surface side of the flow path forming substrate 10, a nozzle plate 20 having a nozzle opening 21 communicating with the vicinity of the end of each pressure generating chamber 12 on the side opposite to the ink supply path 14 is provided with an adhesive. Or a heat-welded film or the like. The nozzle plate 20 is made of, for example, glass ceramics, a silicon single crystal substrate, stainless steel, or the like.

一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、例えば厚さ30〜50nm程度の酸化チタン等からなり、弾性膜50等の第1電極60の下地との密着性を向上させるための密着層56が設けられている。なお、弾性膜50上に、必要に応じて酸化ジルコニウム等からなる絶縁体膜が設けられていてもよい。   On the other hand, the elastic film 50 is formed on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10 as described above. On the elastic film 50, for example, titanium oxide having a thickness of about 30 to 50 nm or the like. An adhesion layer 56 for improving adhesion between the first electrode 60 such as the elastic film 50 and the like is provided. Note that an insulator film made of zirconium oxide or the like may be provided on the elastic film 50 as necessary.

さらに、この密着層56上には、第1電極60と、厚さが3μm以下、好ましくは0.3〜1.5μmの薄膜である圧電体層70と、第2電極80とが、積層形成されて、圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としての圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第1電極60を圧電素子300の共通電極とし、第2電極80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜50、密着層56、第1電極60及び必要に応じて設ける絶縁体膜が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50や密着層56を設けなくてもよい。また、圧電素子300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。   Further, on the adhesion layer 56, a first electrode 60, a piezoelectric layer 70 which is a thin film having a thickness of 3 μm or less, preferably 0.3 to 1.5 μm, and a second electrode 80 are laminated. Thus, a piezoelectric element 300 is configured as pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber 12. Here, the piezoelectric element 300 refers to a portion including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80. In general, one electrode of the piezoelectric element 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In the present embodiment, the first electrode 60 is a common electrode of the piezoelectric element 300, and the second electrode 80 is an individual electrode of the piezoelectric element 300. However, there is no problem even if this is reversed for the convenience of the drive circuit and wiring. Also, here, the piezoelectric element 300 and the diaphragm that is displaced by driving the piezoelectric element 300 are collectively referred to as an actuator device. In the above-described example, the elastic film 50, the adhesion layer 56, the first electrode 60, and the insulator film provided as necessary function as a vibration plate. However, the present invention is not limited to this. For example, the elastic film 50 and the adhesion layer 56 may not be provided. Further, the piezoelectric element 300 itself may substantially serve as a diaphragm.

そして、本実施形態においては、圧電体層70を構成する圧電材料は、ビスマス(Bi)、鉄(Fe)、バリウム(Ba)及びチタン(Ti)を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物である。ペロブスカイト構造、すなわち、ABO型構造のAサイトは酸素が12配位しており、また、Bサイトは酸素が6配位して8面体(オクタヘドロン)をつくっている。このAサイトにBi及びBaが、BサイトにFe及びTiが位置している。 In this embodiment, the piezoelectric material constituting the piezoelectric layer 70 is a complex oxide having a perovskite structure including bismuth (Bi), iron (Fe), barium (Ba), and titanium (Ti). In the A site of the perovskite structure, that is, the ABO 3 type structure, oxygen is 12-coordinated, and in the B site, oxygen is 6-coordinated to form an octahedron. Bi and Ba are located at the A site, and Fe and Ti are located at the B site.

このようなBi、Fe、Ba及びTiを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物は、鉄酸ビスマスとチタン酸バリウムとの混晶のペロブスカイト構造を有する複合酸化物、または、鉄酸ビスマスとチタン酸バリウムが均一に固溶した固溶体としても表される。なお、X線回折パターンにおいて、鉄酸ビスマスや、チタン酸バリウムは、単独では検出されないものである。   Such a composite oxide containing Bi, Fe, Ba and Ti and having a perovskite structure is a composite oxide having a perovskite structure of a mixed crystal of bismuth ferrate and barium titanate, or bismuth ferrate and barium titanate. Is also expressed as a solid solution in which the solid solution is uniformly dissolved. In the X-ray diffraction pattern, bismuth ferrate and barium titanate are not detected alone.

ここで、鉄酸ビスマスやチタン酸バリウムは、それぞれペロブスカイト構造を有する公知の圧電材料であり、それぞれ種々の組成のものが知られている。例えば、鉄酸ビスマスやチタン酸バリウムとして、BiFeOやBaTiO以外に、元素(Bi、Fe、Ba、TiやO)が一部欠損する又は過剰であったり、元素の一部が他の元素に置換されたものも知られているが、本発明で鉄酸ビスマス、チタン酸バリウムと表記した場合、欠損・過剰により化学量論の組成からずれたものや元素の一部が他の元素に置換されたものも、鉄酸ビスマス、チタン酸バリウムの範囲に含まれるものとする。また、鉄酸ビスマスとチタン酸バリウムとの比も、種々変更することができる。 Here, bismuth ferrate and barium titanate are known piezoelectric materials each having a perovskite structure, and those having various compositions are known. For example, as bismuth ferrate or barium titanate, in addition to BiFeO 3 or BaTiO 3 , some elements (Bi, Fe, Ba, Ti, O) are partially lost or excessive, or some of the elements are other elements However, in the present invention, when expressed as bismuth ferrate or barium titanate, a component deviating from the stoichiometric composition due to deficiency or excess or a part of the element is replaced by another element. Those substituted are also included in the ranges of bismuth ferrate and barium titanate. The ratio of bismuth ferrate to barium titanate can also be changed variously.

このようなペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層70の組成は、例えば、下記一般式(1)で表される混晶として表される。また、この式(1)は、下記一般式(1’)で表すこともできる。ここで、一般式(1)及び一般式(1’)の記述は化学量論に基づく組成表記であり、上述したように、ペロブスカイト構造を取り得る限りにおいて、格子不整合、酸素欠損等による不可避な組成のずれは勿論、元素の一部置換等も許容される。例えば、化学量論比が1とすると、0.85〜1.20の範囲内のものは許容される。また、下記のように一般式で表した場合は異なるものであっても、Aサイトの元素とBサイトの元素との比が同じものは、同一の複合酸化物とみなせる場合がある。
(1−x)[BiFeO]−x[BaTiO] (1)
(0<x<0.40)
(Bi1−xBa)(Fe1−xTi)O (1’)
(0<x<0.40)
The composition of the piezoelectric layer 70 made of a complex oxide having such a perovskite structure is represented, for example, as a mixed crystal represented by the following general formula (1). Moreover, this formula (1) can also be represented by the following general formula (1 ′). Here, the description of the general formula (1) and the general formula (1 ′) is a composition notation based on stoichiometry, and as described above, as long as a perovskite structure can be taken, it is inevitable due to lattice mismatch, oxygen deficiency, etc. Of course, a partial substitution of elements is allowed as well as a slight compositional deviation. For example, if the stoichiometric ratio is 1, the range of 0.85 to 1.20 is allowed. In addition, even when the general formulas are different as described below, those having the same ratio of the A-site element to the B-site element may be regarded as the same composite oxide.
(1-x) [BiFeO 3 ] -x [BaTiO 3 ] (1)
(0 <x <0.40)
(Bi 1-x Ba x ) (Fe 1-x Ti x ) O 3 (1 ′)
(0 <x <0.40)

また、本実施形態の圧電体層70を構成する複合酸化物は、Bi、Fe、Ba及びTi以外の元素をさらに含んでいてもよい。他の元素としては、例えば、Mn、Co、Crなどが挙げられる。これら他の元素を含む複合酸化物である場合も、ペロブスカイト構造を有することが好ましい。   Further, the composite oxide constituting the piezoelectric layer 70 of the present embodiment may further include an element other than Bi, Fe, Ba, and Ti. Examples of other elements include Mn, Co, and Cr. Also in the case of a complex oxide containing these other elements, it is preferable to have a perovskite structure.

圧電体層70が、Mn、CoやCrを含む場合、Mn、CoやCrはペロブスカイト構造のBサイトに位置した構造の複合酸化物である。例えば、Mnを含む場合、圧電体層70を構成する複合酸化物は、鉄酸ビスマスとチタン酸バリウムが均一に固溶した固溶体のFeの一部がMnで置換された構造、又は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムとの混晶のペロブスカイト構造を有する複合酸化物として表され、基本的な特性は鉄酸ビスマスとチタン酸バリウムとの混晶のペロブスカイト構造を有する複合酸化物と同じであるが、リーク特性が向上することがわかっている。また、CoやCrを含む場合も、Mnと同様にリーク特性が向上するものである。なお、X線回折パターンにおいて、鉄酸ビスマス、チタン酸バリウム、鉄酸マンガン酸ビスマス、鉄酸コバルト酸ビスマス、及び、鉄酸クロム酸ビスマスは、単独では検出されないものである。また、Mn、Co及びCrを例として説明したが、その他遷移金属元素の2元素を同時に含む場合にも同様にリーク特性が向上することがわかっており、これらも圧電体層70とすることができ、さらに、特性を向上させるため公知のその他の添加物を含んでもよい。   When the piezoelectric layer 70 contains Mn, Co, and Cr, Mn, Co, and Cr are complex oxides having a structure located at the B site of the perovskite structure. For example, when Mn is included, the composite oxide constituting the piezoelectric layer 70 has a structure in which part of Fe in a solid solution in which bismuth ferrate and barium titanate are uniformly dissolved, is substituted with Mn, or ferric acid It is expressed as a composite oxide having a perovskite structure of mixed crystals of bismuth manganate and barium titanate, and the basic characteristics are the same as those of a composite oxide having a perovskite structure of mixed crystals of bismuth ferrate and barium titanate. However, it has been found that the leakage characteristics are improved. Further, when Co or Cr is included, the leakage characteristics are improved in the same manner as Mn. In the X-ray diffraction pattern, bismuth ferrate, barium titanate, bismuth iron manganate, bismuth iron cobaltate, and bismuth iron chromate are not detected alone. Further, although Mn, Co, and Cr have been described as examples, it has been found that leakage characteristics are similarly improved when two other transition metal elements are included at the same time. In addition, other known additives may be included to improve the properties.

このようなBi、Fe、Ba及びTiに加えてMn、CoやCrも含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層70は、例えば、下記一般式(2)で表される混晶である。また、この式(2)は、下記一般式(2’)で表すこともできる。なお一般式(2)及び一般式(2’)において、Mは、Mn、CoまたはCrである。ここで、一般式(2)及び一般式(2’)の記述は化学量論に基づく組成表記であり、上述したように、ペロブスカイト構造を取り得る限りにおいて、格子不整合、酸素欠損等による不可避な組成ずれは許容される。例えば、化学量論が1であれば、0.85〜1.20の範囲内のものは許容される。また、下記のように一般式で表した場合は異なるものであっても、Aサイトの元素とBサイトの元素との比が同じものは、同一の複合酸化物とみなせる場合がある。
(1−x)[Bi(Fe1−y)O]−x[BaTiO] (2)
(0<x<0.40、0.01<y<0.10)
(Bi1−xBa)((Fe1−y1−xTi)O (2’)
(0<x<0.40、0.01<y<0.10)
The piezoelectric layer 70 made of a composite oxide having a perovskite structure including Mn, Co, and Cr in addition to Bi, Fe, Ba, and Ti is, for example, a mixed crystal represented by the following general formula (2). is there. Moreover, this formula (2) can also be represented by the following general formula (2 ′). In General Formula (2) and General Formula (2 ′), M is Mn, Co, or Cr. Here, the description of the general formula (2) and the general formula (2 ′) is a composition notation based on the stoichiometry, and as described above, as long as the perovskite structure can be taken, it is unavoidable due to lattice mismatch, oxygen deficiency, etc. Such a composition deviation is allowed. For example, if the stoichiometry is 1, one in the range of 0.85 to 1.20 is allowed. In addition, even when the general formulas are different as described below, those having the same ratio of the A-site element to the B-site element may be regarded as the same composite oxide.
(1-x) [Bi (Fe 1- y My ) O 3 ] -x [BaTiO 3 ] (2)
(0 <x <0.40, 0.01 <y <0.10)
(Bi 1-x Ba x) ((Fe 1-y M y) 1-x Ti x) O 3 (2 ')
(0 <x <0.40, 0.01 <y <0.10)

そして、圧電体層70は、(110)面又は(111)面に優先配向しているものである。ここで、本明細書において、「(110)面又は(111)面に優先配向している」とは、全ての結晶が(110)面又は(111)面に配向している場合と、ほとんどの結晶(例えば80%以上)が(110)面又は(111)面に配向している場合とを含むものである。具体的には、本実施形態の圧電体層70は、(110)面又は(111)面の配向度が0.80以上、好ましくは0.9以上である。なお、圧電体層70の(110)面又は(111)面の配向度は下記式で求められる。
圧電体層70の(110)面の配向度=[圧電体層70の(110)面に由来する回折ピークの面積]/[圧電体層70に由来する(100)面、(110)面及び(111)面の回折ピークの面積の総和]
圧電体層70の(111)面の配向度=[圧電体層70の(111)面に由来する回折ピークの面積]/[圧電体層70に由来する(100)面、(110)面及び(111)面の回折ピークの面積の総和]
The piezoelectric layer 70 is preferentially oriented in the (110) plane or the (111) plane. Here, in this specification, “preferentially oriented in the (110) plane or (111) plane” means almost all the crystals are oriented in the (110) plane or (111) plane. In which the crystal (for example, 80% or more) is oriented in the (110) plane or the (111) plane. Specifically, in the piezoelectric layer 70 of the present embodiment, the degree of orientation of the (110) plane or the (111) plane is 0.80 or more, preferably 0.9 or more. Note that the degree of orientation of the (110) plane or the (111) plane of the piezoelectric layer 70 is obtained by the following formula.
Degree of orientation of (110) plane of piezoelectric layer 70 = [area of diffraction peak derived from (110) plane of piezoelectric layer 70] / [(100) plane, (110) plane derived from piezoelectric layer 70, and Total area of diffraction peaks on (111) plane]
Degree of orientation of (111) plane of piezoelectric layer 70 = [area of diffraction peak derived from (111) plane of piezoelectric layer 70] / [(100) plane, (110) plane derived from piezoelectric layer 70, and Total area of diffraction peaks on (111) plane]

このような圧電素子300の個別電極である各第2電極80には、インク供給路14側の端部近傍から引き出され、弾性膜50上や必要に応じて設ける絶縁体膜上にまで延設される、例えば、金(Au)等からなるリード電極90が接続されている。   Each second electrode 80, which is an individual electrode of the piezoelectric element 300, is drawn from the vicinity of the end on the ink supply path 14 side and extends to the elastic film 50 or an insulator film provided as necessary. For example, a lead electrode 90 made of gold (Au) or the like is connected.

このような圧電素子300が形成された流路形成基板10上、すなわち、第1電極60、弾性膜50や必要に応じて設ける絶縁体膜及びリード電極90上には、マニホールド100の少なくとも一部を構成するマニホールド部31を有する保護基板30が接着剤35を介して接合されている。このマニホールド部31は、本実施形態では、保護基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるマニホールド100を構成している。また、流路形成基板10の連通部13を圧力発生室12毎に複数に分割して、マニホールド部31のみをマニホールドとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板10に圧力発生室12のみを設け、流路形成基板10と保護基板30との間に介在する部材(例えば、弾性膜50、必要に応じて設ける絶縁体膜等)にマニホールド100と各圧力発生室12とを連通するインク供給路14を設けるようにしてもよい。   At least a part of the manifold 100 is formed on the flow path forming substrate 10 on which such a piezoelectric element 300 is formed, that is, on the first electrode 60, the elastic film 50, the insulator film provided as necessary, and the lead electrode 90. A protective substrate 30 having a manifold portion 31 constituting the above is joined via an adhesive 35. In this embodiment, the manifold portion 31 penetrates the protective substrate 30 in the thickness direction and is formed across the width direction of the pressure generating chamber 12. As described above, the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10. The manifold 100 is configured as a common ink chamber for the pressure generation chambers 12. Alternatively, the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10 may be divided into a plurality of pressure generation chambers 12 and only the manifold portion 31 may be used as a manifold. Further, for example, only the pressure generation chamber 12 is provided in the flow path forming substrate 10 and a member (for example, an elastic film 50, an insulator film provided as necessary, etc.) interposed between the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 ) May be provided with an ink supply path 14 for communicating the manifold 100 and each pressure generating chamber 12.

また、保護基板30の圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。圧電素子保持部32は、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。   A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region of the protective substrate 30 that faces the piezoelectric element 300. The piezoelectric element holding part 32 only needs to have a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300, and the space may be sealed or unsealed.

このような保護基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。   As such a protective substrate 30, it is preferable to use substantially the same material as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10, for example, glass, ceramic material, etc. In this embodiment, the same material as the flow path forming substrate 10 is used. The silicon single crystal substrate was used.

また、保護基板30には、保護基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられている。そして、各圧電素子300から引き出されたリード電極90の端部近傍は、貫通孔33内に露出するように設けられている。   The protective substrate 30 is provided with a through hole 33 that penetrates the protective substrate 30 in the thickness direction. The vicinity of the end portion of the lead electrode 90 drawn from each piezoelectric element 300 is provided so as to be exposed in the through hole 33.

また、保護基板30上には、並設された圧電素子300を駆動するための駆動回路120が固定されている。この駆動回路120としては、例えば、回路基板や半導体集積回路(IC)等を用いることができる。そして、駆動回路120とリード電極90とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線121を介して電気的に接続されている。   A drive circuit 120 for driving the piezoelectric elements 300 arranged in parallel is fixed on the protective substrate 30. For example, a circuit board or a semiconductor integrated circuit (IC) can be used as the drive circuit 120. The drive circuit 120 and the lead electrode 90 are electrically connected via a connection wiring 121 made of a conductive wire such as a bonding wire.

また、このような保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。ここで、封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜41によってマニホールド部31の一方面が封止されている。また、固定板42は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板42のマニホールド100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、マニホールド100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。   In addition, a compliance substrate 40 including a sealing film 41 and a fixing plate 42 is bonded onto the protective substrate 30. Here, the sealing film 41 is made of a material having low rigidity and flexibility, and one surface of the manifold portion 31 is sealed by the sealing film 41. The fixing plate 42 is formed of a relatively hard material. Since the area of the fixing plate 42 facing the manifold 100 is an opening 43 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 100 is sealed only with a flexible sealing film 41. Has been.

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドIでは、図示しない外部のインク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路120からの記録信号(駆動信号)に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの第1電極60と第2電極80との間に電圧を印加し、弾性膜50、密着層56、第1電極60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。   In such an ink jet recording head I of this embodiment, ink is taken in from an ink introduction port connected to an external ink supply means (not shown), and the interior from the manifold 100 to the nozzle opening 21 is filled with ink, and then driven. In accordance with a recording signal (driving signal) from the circuit 120, a voltage is applied between the first electrode 60 and the second electrode 80 corresponding to the pressure generation chamber 12, and the elastic film 50, the adhesion layer 56, and the first electrode are applied. By bending and deforming 60 and the piezoelectric layer 70, the pressure in each pressure generating chamber 12 is increased and ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

図5は、このようなインクジェット式記録装置の制御構成例を示すブロック図である。図5を参照して、本実施形態のインクジェット式記録装置の制御について説明する。本実施形態のインクジェット式記録装置は、図5に示すように、プリンターコントローラー511とプリントエンジン512とから概略構成されている。プリンターコントローラー511は、外部インターフェース513(以下、外部I/F513という)と、各種データを一時的に記憶するRAM514と、制御プログラム等を記憶したROM515と、CPU等を含んで構成した制御部516と、クロック信号を発生する発振回路517と、インクジェット式記録ヘッドIへ供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路519と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ(ビットマップデータ)等をプリントエンジン512に送信する内部インターフェース520(以下、内部I/F520という)とを備えている。   FIG. 5 is a block diagram showing a control configuration example of such an ink jet recording apparatus. With reference to FIG. 5, the control of the ink jet recording apparatus of the present embodiment will be described. As shown in FIG. 5, the ink jet recording apparatus of the present embodiment is schematically configured by a printer controller 511 and a print engine 512. The printer controller 511 includes an external interface 513 (hereinafter referred to as an external I / F 513), a RAM 514 that temporarily stores various data, a ROM 515 that stores a control program, a control unit 516 that includes a CPU, and the like. , An oscillation circuit 517 that generates a clock signal, a drive signal generation circuit 519 that generates a drive signal to be supplied to the ink jet recording head I, and dot pattern data (bitmap) developed based on the drive signal and print data An internal interface 520 (hereinafter referred to as an internal I / F 520) for transmitting data) to the print engine 512.

外部I/F513は、例えば、キャラクターコード、グラフィック関数、イメージデータ等によって構成される印刷データを、図示しないホストコンピューター等から受信する。また、この外部I/F513を通じてビジー信号(BUSY)やアクノレッジ信号(ACK)が、ホストコンピューター等に対して出力される。RAM514は、受信バッファー521、中間バッファー522、出力バッファー523、及び、図示しないワークメモリーとして機能する。そして、受信バッファー521は外部I/F513によって受信された印刷データを一時的に記憶し、中間バッファー522は制御部516が変換した中間コードデータを記憶し、出力バッファー523はドットパターンデータを記憶する。なお、このドットパターンデータは、階調データをデコード(翻訳)することにより得られる印字データによって構成してある。   The external I / F 513 receives print data including, for example, a character code, a graphic function, image data, and the like from a host computer (not shown). Also, a busy signal (BUSY) and an acknowledge signal (ACK) are output to the host computer or the like through the external I / F 513. The RAM 514 functions as a reception buffer 521, an intermediate buffer 522, an output buffer 523, and a work memory (not shown). The reception buffer 521 temporarily stores print data received by the external I / F 513, the intermediate buffer 522 stores intermediate code data converted by the control unit 516, and the output buffer 523 stores dot pattern data. . This dot pattern data is constituted by print data obtained by decoding (translating) gradation data.

また、ROM515には、各種データ処理を行わせるための制御プログラム(制御ルーチン)の他に、フォントデータ、グラフィック関数等を記憶させてある。   The ROM 515 stores font data, graphic functions, and the like in addition to a control program (control routine) for performing various data processing.

制御部516は、受信バッファー521内の印刷データを読み出すと共に、この印刷データを変換して得た中間コードデータを中間バッファー522に記憶させる。また、中間バッファー522から読み出した中間コードデータを解析し、ROM515に記憶させているフォントデータ及びグラフィック関数等を参照して、中間コードデータをドットパターンデータに展開する。そして、制御部516は、必要な装飾処理を施した後に、この展開したドットパターンデータを出力バッファー523に記憶させる。さらに、制御部516は、波形設定手段としても機能し、駆動信号発生回路519を制御することにより、この駆動信号発生回路519から発生される駆動信号の波形形状を設定する。かかる制御部516は、後述する駆動回路(図示なし)などと共に本発明の駆動手段を構成する。また、インクジェット式記録ヘッドIを駆動する液体噴射駆動装置としては、この駆動手段を少なくとも具備するものであればよく、本実施形態では、プリンターコントローラー511を含むものとして例示してある。   The control unit 516 reads out the print data in the reception buffer 521 and stores the intermediate code data obtained by converting the print data in the intermediate buffer 522. Further, the intermediate code data read from the intermediate buffer 522 is analyzed, and the intermediate code data is developed into dot pattern data by referring to the font data and graphic functions stored in the ROM 515. Then, the control unit 516 stores the developed dot pattern data in the output buffer 523 after performing necessary decoration processing. Further, the control unit 516 also functions as a waveform setting unit, and controls the drive signal generation circuit 519 to set the waveform shape of the drive signal generated from the drive signal generation circuit 519. The control unit 516 constitutes drive means of the present invention together with a drive circuit (not shown) described later. In addition, the liquid jet driving device that drives the ink jet recording head I may be any device that includes at least the driving unit. In the present embodiment, the liquid jet driving device is exemplified as including the printer controller 511.

そして、インクジェット式記録ヘッドIの1行分に相当するドットパターンデータが得られたならば、この1行分のドットパターンデータは、内部I/F520を通じてインクジェット式記録ヘッドIに出力される。また、出力バッファー523から1行分のドットパターンデータが出力されると、展開済みの中間コードデータは中間バッファー522から消去され、次の中間コードデータについての展開処理が行われる。   If dot pattern data corresponding to one line of the ink jet recording head I is obtained, the dot pattern data for one line is output to the ink jet recording head I through the internal I / F 520. When dot pattern data for one line is output from the output buffer 523, the developed intermediate code data is erased from the intermediate buffer 522, and the development process for the next intermediate code data is performed.

プリントエンジン512は、インクジェット式記録ヘッドIと、紙送り機構524と、キャリッジ機構525とを含んで構成してある。紙送り機構524は、紙送りモーターとプラテン8等から構成してあり、記録紙等の印刷記憶媒体をインクジェット式記録ヘッドIの記録動作に連動させて順次送り出す。即ち、この紙送り機構524は、印刷記憶媒体を副走査方向に相対移動させる。   The print engine 512 includes an ink jet recording head I, a paper feed mechanism 524, and a carriage mechanism 525. The paper feed mechanism 524 includes a paper feed motor and a platen 8 and the like, and sequentially feeds a print storage medium such as a recording paper in conjunction with the recording operation of the ink jet recording head I. That is, the paper feeding mechanism 524 relatively moves the print storage medium in the sub-scanning direction.

キャリッジ機構525は、インクジェット式記録ヘッドIを搭載可能なキャリッジ3と、このキャリッジ3を主走査方向に沿って走行させるキャリッジ駆動部とから構成してあり、キャリッジ3を走行させることによりインクジェット式記録ヘッドIを主走査方向に移動させる。なお、キャリッジ駆動部は、上述したように駆動モーター6及びタイミングベルト7等で構成されている。   The carriage mechanism 525 includes a carriage 3 on which the ink jet recording head I can be mounted and a carriage driving unit that causes the carriage 3 to travel along the main scanning direction. The head I is moved in the main scanning direction. The carriage drive unit is composed of the drive motor 6 and the timing belt 7 as described above.

インクジェット式記録ヘッドIは、副走査方向に沿って多数のノズル開口21を有し、ドットパターンデータ等によって規定されるタイミングで各ノズル開口21から液滴を吐出する。そして、このようなインクジェット式記録ヘッドIの圧電素子300には、図示しない外部配線を介して電気信号、例えば、後述する駆動信号(COM)や記録データ(SI)等が供給される。このように構成されるプリンターコントローラー511及びプリントエンジン512では、プリンターコントローラー511と、駆動信号発生回路519から出力された所定の駆動波形を有する駆動信号を選択的に圧電素子300に入力するラッチ532、レベルシフター533及びスイッチ534等を有する駆動回路(図示なし)とが圧電素子300に所定の駆動信号を印加する駆動手段となる。   The ink jet recording head I has a large number of nozzle openings 21 along the sub-scanning direction, and ejects droplets from the nozzle openings 21 at a timing defined by dot pattern data or the like. The piezoelectric element 300 of the ink jet recording head I is supplied with an electrical signal, for example, a driving signal (COM) or recording data (SI) described later via an external wiring (not shown). In the printer controller 511 and the print engine 512 configured as described above, the printer controller 511 and a latch 532 that selectively inputs a drive signal having a predetermined drive waveform output from the drive signal generation circuit 519 to the piezoelectric element 300, A drive circuit (not shown) including a level shifter 533 and a switch 534 serves as a drive unit that applies a predetermined drive signal to the piezoelectric element 300.

なお、これらのシフトレジスター(SR)531、ラッチ532、レベルシフター533、スイッチ534及び圧電素子300は、それぞれ、インクジェット式記録ヘッドIの各ノズル開口21毎に設けられており、これらのシフトレジスター531、ラッチ532、レベルシフター533及びスイッチ534は、駆動信号発生回路519が発生した吐出駆動信号や緩和駆動信号から駆動パルスを生成する。ここで、駆動パルスとは実際に圧電素子300に印加される印加パルスのことである。   The shift register (SR) 531, the latch 532, the level shifter 533, the switch 534, and the piezoelectric element 300 are provided for each nozzle opening 21 of the ink jet recording head I, and these shift registers 531 are provided. The latch 532, the level shifter 533, and the switch 534 generate a drive pulse from the ejection drive signal and the relaxation drive signal generated by the drive signal generation circuit 519. Here, the drive pulse is an applied pulse that is actually applied to the piezoelectric element 300.

このようなインクジェット式記録ヘッドIでは、最初に発振回路517からのクロック信号(CK)に同期して、ドットパターンデータを構成する記録データ(SI)が出力バッファー523からシフトレジスター531へシリアル伝送され、順次セットされる。この場合、まず、全ノズル開口21の印字データにおける最上位ビットのデータがシリアル伝送され、この最上位ビットのデータシリアル伝送が終了したならば、上位から2番目のビットのデータがシリアル伝送される。以下同様に、下位ビットのデータが順次シリアル伝送される。   In such an ink jet recording head I, first, recording data (SI) constituting dot pattern data is serially transmitted from the output buffer 523 to the shift register 531 in synchronization with the clock signal (CK) from the oscillation circuit 517. Are set sequentially. In this case, first, the most significant bit data in the print data of all the nozzle openings 21 is serially transmitted. When the most significant bit data serial transmission is completed, the second most significant bit data is serially transmitted. . Similarly, the lower bit data is serially transmitted sequentially.

そして、当該ビットの記録データの全ノズル分が各シフトレジスター531にセットされたならば、制御部516は、所定のタイミングでラッチ532へラッチ信号(LAT)を出力させる。このラッチ信号により、ラッチ532は、シフトレジスター531にセットされた印字データをラッチする。このラッチ532がラッチした記録データ(LATout)は、電圧増幅器であるレベルシフター533に印加される。このレベルシフター533は、記録データが例えば「1」の場合に、スイッチ534が駆動可能な電圧値、例えば、数十ボルトまでこの記録データを昇圧する。そして、この昇圧された記録データは各スイッチ534に印加され、各スイッチ534は、当該記録データにより接続状態になる。   When all the nozzles of the recording data of the bit are set in each shift register 531, the control unit 516 causes the latch 532 to output a latch signal (LAT) at a predetermined timing. In response to this latch signal, the latch 532 latches the print data set in the shift register 531. The recording data (LATout) latched by the latch 532 is applied to a level shifter 533 that is a voltage amplifier. The level shifter 533 boosts the recording data to a voltage value that the switch 534 can drive, for example, several tens of volts when the recording data is “1”, for example. The boosted recording data is applied to each switch 534, and each switch 534 is connected by the recording data.

そして、各スイッチ534には、駆動信号発生回路519が発生した駆動信号(COM)も印加されており、スイッチ534が選択的に接続状態になると、このスイッチ534に接続された圧電素子300に選択的に駆動信号が印加される。このように、例示したインクジェット式記録ヘッドIでは、記録データによって圧電素子300に吐出駆動信号を印加するか否かを制御することができる。例えば、記録データが「1」の期間においてはラッチ信号(LAT)によりスイッチ534が接続状態となるので、駆動信号(COMout)を圧電素子300に供給することができ、この供給された駆動信号(COMout)により圧電素子300が変位(変形)する。また、記録データが「0」の期間においてはスイッチ534が非接続状態となるので、圧電素子300への駆動信号の供給は遮断される。この記録データが「0」の期間において、各圧電素子300は直前の電位を保持するので、直前の変位状態が維持される。   The drive signal (COM) generated by the drive signal generation circuit 519 is also applied to each switch 534. When the switch 534 is selectively connected, the piezoelectric element 300 connected to the switch 534 is selected. A driving signal is applied. As described above, in the illustrated ink jet recording head I, it is possible to control whether or not the ejection driving signal is applied to the piezoelectric element 300 based on the recording data. For example, since the switch 534 is connected by the latch signal (LAT) during the period when the recording data is “1”, the drive signal (COMout) can be supplied to the piezoelectric element 300, and the supplied drive signal ( The piezoelectric element 300 is displaced (deformed) by COMout). Further, since the switch 534 is in a disconnected state during a period in which the recording data is “0”, the supply of the drive signal to the piezoelectric element 300 is cut off. In the period in which the recording data is “0”, each piezoelectric element 300 holds the previous potential, so that the previous displacement state is maintained.

なお、上記の圧電素子300は、撓み振動モードの圧電素子300である。この、撓み振動モードの圧電素子300を用いると、圧電体層70が電圧印加に伴い電圧と垂直方向(31方向)に縮むことで、圧電素子300および振動板が圧力発生室12側に撓み、これにより圧力発生室12を収縮させる。一方電圧を減少させることにより圧電体層70が31方向に伸びることで、圧電素子300および振動板が圧力発生室12の逆側に撓み、これにより圧力発生室12を膨張させる。このようなインクジェット式記録ヘッドIでは、圧電素子300に対する充放電に伴って対応する圧力発生室12の容積が変化するので、圧力発生室12の圧力変動を利用してノズル開口21から液滴を吐出させることができる。   The piezoelectric element 300 is a flexural vibration mode piezoelectric element 300. When the piezoelectric element 300 in the flexural vibration mode is used, the piezoelectric layer 70 is contracted in the direction perpendicular to the voltage (31 direction) with the application of voltage, so that the piezoelectric element 300 and the vibration plate are bent toward the pressure generating chamber 12 side. Thereby, the pressure generation chamber 12 is contracted. On the other hand, by decreasing the voltage, the piezoelectric layer 70 extends in the 31 direction, so that the piezoelectric element 300 and the diaphragm are bent to the opposite side of the pressure generating chamber 12, thereby expanding the pressure generating chamber 12. In such an ink jet recording head I, since the volume of the corresponding pressure generation chamber 12 changes with charging / discharging of the piezoelectric element 300, a droplet is discharged from the nozzle opening 21 using the pressure fluctuation of the pressure generation chamber 12. Can be discharged.

ここで、圧電素子300に入力される本実施形態の駆動信号(COM)を表す駆動波形について説明する。なお、図6は、本実施形態の駆動信号を示す駆動波形である。   Here, a drive waveform representing the drive signal (COM) of this embodiment input to the piezoelectric element 300 will be described. FIG. 6 is a drive waveform showing the drive signal of this embodiment.

圧電素子300に入力される駆動波形は、共通電極(第1電極60)を基準電位(本実施形態ではVbs)として、個別電極(第2電極80)に印加されるものである。すなわち、駆動波形によって個別電極(第2電極80)に印加される電圧は、基準電位(Vbs)を基準としての電位として示される。   The drive waveform input to the piezoelectric element 300 is applied to the individual electrode (second electrode 80) using the common electrode (first electrode 60) as a reference potential (Vbs in this embodiment). That is, the voltage applied to the individual electrode (second electrode 80) by the driving waveform is shown as a potential with reference to the reference potential (Vbs).

本実施形態の基準となる駆動波形は、図6に示すように、駆動波形を入力する準備状態(駆動待機状態)となると、例えば、抗電圧より高い中間電位Vmが印加される状態となる。この中間電位Vmが印加される工程に続いて、中間電位Vmを維持した状態から中間電位Vmとは逆極性の最小電位である第1電位V1まで降下させると共に圧力発生室12を膨張させる第1の電圧変化工程P02と、第1電位V1を一定時間維持する第1のホールド工程P03と、第1電位V1から第1電位V1とは逆極性で中間電位Vmとは同極性で当該中間電位Vmより大きい最大電位である第2電位V2まで上昇させて圧力発生室12を収縮させる第2の電圧変化工程P04と、第2電位V2を一定時間維持する第2のホールド工程P05と、第2電位V2から中間電位Vmより小さな電位V3まで下降させて圧力発生室12を膨張させる第3の電圧変化工程P06と、電位V3を一定時間維持する第3のホールド工程P07と、電位V3から中間電位Vmまで電位を上昇させる第4の電圧変化工程P08と、中間電位Vmを維持する工程P09とで構成されるようにしてもよい。ここで、第2電位V2から中間電位Vmより少し低い電位V3まで下降させる第3の電圧変化工程P06と、電位V3を一定時間維持する第3のホールド工程P07と、電位V3から中間電位Vmまで電位を上昇させる第4の電圧変化工程P08とは、液滴を吐出した後のメニスカスを安定化させるためのものであり、従来より公知のものである。   As shown in FIG. 6, the reference drive waveform of the present embodiment is in a state in which an intermediate potential Vm higher than the coercive voltage is applied, for example, when the drive waveform is in a ready state (drive standby state). Subsequent to the step of applying the intermediate potential Vm, the first potential for expanding the pressure generating chamber 12 while lowering the intermediate potential Vm from the state in which the intermediate potential Vm is maintained to the first potential V1 that is the minimum potential opposite to the intermediate potential Vm Voltage change process P02, a first hold process P03 for maintaining the first potential V1 for a certain period of time, and the first potential V1 to the first potential V1 are opposite in polarity and have the same polarity as the intermediate potential Vm. A second voltage changing step P04 for contracting the pressure generating chamber 12 by raising the second potential V2, which is a higher maximum potential, a second holding step P05 for maintaining the second potential V2 for a certain period of time, and a second potential A third voltage changing step P06 for expanding the pressure generating chamber 12 by lowering the potential generating chamber 12 by lowering from V2 to a potential V3 smaller than the intermediate potential Vm; a third holding step P07 for maintaining the potential V3 for a predetermined time; A fourth voltage change process P08 for raising the potential from V3 to the intermediate potential Vm, may be constituted by a step P09 maintaining the intermediate potential Vm. Here, a third voltage changing step P06 for lowering the potential from the second potential V2 to a potential V3 slightly lower than the intermediate potential Vm, a third holding step P07 for maintaining the potential V3 for a certain time, and from the potential V3 to the intermediate potential Vm. The fourth voltage changing step P08 for increasing the potential is for stabilizing the meniscus after the droplets are ejected, and is conventionally known.

本発明のBi、Fe、Ba及びTiに加えてMn、CoやCrも含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる所定の圧電体層70は、電源オフの状態では、分極が維持されておらず、非分極状態(極一部は分極が維持されているが、実質的に非分極状態といえる場合を含む)であり、上述した駆動波形200が圧電素子300に出力される準備状態(駆動待機状態)になると、中間電位Vmが印加された状態となり、圧電体層70が分極状態となる。そして、上述した駆動波形が入力されると、第1の電圧変化工程P02によって中間電位Vmから逆極性の最小電位V1まで電位が変化し、圧電体層70の分極が緩和される。これと同時に圧電素子300が圧力発生室12の容積を膨張させる方向に変形して、ノズル開口21内のメニスカスが圧力発生室12側に引き込まれる。次いで、第2の電圧変化工程P04によって、圧電素子300が圧力発生室12の容積を収縮させる方向に変形することにより、ノズル開口21内のメニスカスが圧力発生室12側から大きく押し出され、ノズル開口21から液滴が吐出される。   The predetermined piezoelectric layer 70 made of a complex oxide having a perovskite structure containing Mn, Co, and Cr in addition to Bi, Fe, Ba, and Ti of the present invention is not maintained in polarization when the power is off. In a non-polarized state (a part of the pole is maintained in polarization but includes a case where it can be said that it is substantially non-polarized), and the above-described drive waveform 200 is output to the piezoelectric element 300 (drive standby) State), the intermediate potential Vm is applied, and the piezoelectric layer 70 is polarized. When the drive waveform described above is input, the potential changes from the intermediate potential Vm to the minimum potential V1 having the opposite polarity by the first voltage changing step P02, and the polarization of the piezoelectric layer 70 is relaxed. At the same time, the piezoelectric element 300 is deformed in a direction in which the volume of the pressure generating chamber 12 is expanded, and the meniscus in the nozzle opening 21 is drawn to the pressure generating chamber 12 side. Next, in the second voltage change process P04, the piezoelectric element 300 is deformed in a direction in which the volume of the pressure generating chamber 12 is contracted, whereby the meniscus in the nozzle opening 21 is largely pushed out from the pressure generating chamber 12 side, and the nozzle opening Droplets are ejected from 21.

ここで、第1電位V1は、マイナス電位であるが、−5V〜−15Vとしている。この電位は、電界に換算すると、−5.6V/μm〜−16.7V/μmである。これにより、詳細は後述するように、(110)面又は(111)面に優先配向している圧電体層70の変位を著しく高く維持することができる。   Here, the first potential V1 is a minus potential, but is -5V to -15V. This potential is −5.6 V / μm to −16.7 V / μm in terms of electric field. Thereby, as will be described in detail later, the displacement of the piezoelectric layer 70 preferentially oriented in the (110) plane or the (111) plane can be maintained extremely high.

本発明は、上述した所定の圧電材料からなる圧電体層70を具備する圧電素子300を駆動する場合、駆動波形が、抗電圧以上の中間電位Vmに保持して当該圧電素子を分極状態とする工程と、中間電位Vmの印加状態から当該中間電位Vmとは逆極性の最小電圧であるが、電界に換算して、−5.6V/μm〜−16.7V/μmの電位である第1電位V1を印加して前記圧電体層の分極を緩和させる工程と、第1電位V1の印加状態から前記中間電位Vmより大きな最大電圧である第2電位V2を印加して液体を吐出する工程とを有するようにすることで、大きな変位量を確保するという効果を奏するものである。ここで、抗電圧以上の中間電位Vmとは、低い周波数(例えば66Hz〜1kHz)で圧電体層70のヒステリシスカーブを描いたときの抗電圧の電圧以上の電圧のことを指すが、駆動波形が高周波化することで実質的な高電界は高い方向に変化することに留意が必要である。本実施形態では、10V以上であり、電界では11.1V/μm以上となる。   In the present invention, when the piezoelectric element 300 including the piezoelectric layer 70 made of the predetermined piezoelectric material described above is driven, the driving waveform is maintained at the intermediate potential Vm that is equal to or higher than the coercive voltage, so that the piezoelectric element is polarized. The intermediate voltage Vm is a minimum voltage having a reverse polarity from the application state of the process and the intermediate potential Vm, but is a first voltage which is a potential of −5.6 V / μm to −16.7 V / μm in terms of an electric field. A step of relaxing the polarization of the piezoelectric layer by applying a potential V1, and a step of discharging a liquid by applying a second potential V2, which is a maximum voltage greater than the intermediate potential Vm, from the application state of the first potential V1. By having the above, there is an effect of securing a large amount of displacement. Here, the intermediate potential Vm equal to or higher than the coercive voltage refers to a voltage equal to or higher than the coercive voltage when the hysteresis curve of the piezoelectric layer 70 is drawn at a low frequency (for example, 66 Hz to 1 kHz). It should be noted that a substantial high electric field changes in a higher direction when the frequency is increased. In the present embodiment, the voltage is 10 V or more, and the electric field is 11.1 V / μm or more.

かかる本発明を完成するにあたって、まず、Bi、Fe、Ba及びTiに加えてMn、CoやCrも含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる所定の圧電体層70は、分極状態を維持できず、電界を受けて分極して歪んだ状態から、電界が除去されると時間と共に分極緩和が生じて歪がない状態となり、分極状態から所定の電圧変化工程を付与すると、分極緩和が電界により促進され、短時間で分極緩和状態とし、その後、大きな変位が得られることを知見した。   In completing the present invention, first, the predetermined piezoelectric layer 70 made of a complex oxide having a perovskite structure including Mn, Co and Cr in addition to Bi, Fe, Ba and Ti cannot maintain a polarization state. When the electric field is removed from the state of polarization due to polarization due to the electric field, polarization relaxation occurs over time, and there is no distortion. When a predetermined voltage changing step is applied from the polarization state, polarization relaxation is promoted by the electric field. It has been found that a polarization relaxation state can be achieved in a short time, and then a large displacement can be obtained.

また、分極緩和状態とする際の条件は、圧電体層70の配向状態で大きく変化し、例えば、(110)面又は(111)面の配向状態では、分極緩和状態とするための最小電位の大きさが大きくなればなるほど、すなわち、マイナス電位が大きくなればなるほど、変位が大きくなることがわかった。一方、(100)配向の場合には、マイナス電位を大きくして変位が大きくなる割合が(110)面又は(111)面配向より著しく小さいことがわかった。よって、この知見により、(110)面又は(111)面に配向している圧電体層70を具備する場合には、最小電位である第1電位V1を−5〜−15Vとすると、大きな変位が得られることがわかった。   In addition, the conditions for the polarization relaxation state vary greatly depending on the orientation state of the piezoelectric layer 70. For example, in the orientation state of the (110) plane or the (111) plane, the minimum potential for achieving the polarization relaxation state It was found that the greater the magnitude, that is, the greater the negative potential, the greater the displacement. On the other hand, in the case of (100) orientation, it was found that the rate at which the displacement is increased by increasing the negative potential is significantly smaller than the (110) plane or (111) plane orientation. Therefore, according to this knowledge, when the piezoelectric layer 70 oriented in the (110) plane or the (111) plane is provided, if the first potential V1 that is the minimum potential is −5 to −15V, a large displacement Was found to be obtained.

本発明は、中間電位Vmを維持した工程P01の後に、中間電位Vmとは逆極性の最小電位である第1電位V1を、マイナス電位であるが−5V〜−15Vとする点に特徴がある。   The present invention is characterized in that after the step P01 in which the intermediate potential Vm is maintained, the first potential V1, which is the minimum potential having the opposite polarity to the intermediate potential Vm, is set to −5V to −15V, which is a negative potential. .

これは(110)面又は(111)面の圧電体層では、第1電位V1が−5V〜−15Vの範囲、好ましくは、−6V〜−14Vとすると、大きな変位が得られるからである。   This is because in the piezoelectric layer of the (110) plane or the (111) plane, a large displacement is obtained when the first potential V1 is in the range of −5V to −15V, preferably −6V to −14V.

なお、マイナス電圧であるV1は、共通電極である第2電極80に、例えば、Vbs=15Vを印加しておき、V1を2.5Vとすることで、V1=−12.5Vが実現できる。   Note that the negative voltage V1 can be realized by, for example, applying Vbs = 15V to the second electrode 80, which is a common electrode, and setting V1 to 2.5V so that V1 = −12.5V.

(試験例1)
下記実施例1、2の組成の圧電体層70を具備する圧電素子300に、図7に示す駆動波形を基本として用い、当該駆動波形のΔV=35Vと一定として、Vm及びVminを変化させた波形を、200ms間隔と十分なディレイタイムをとった状態で印加し、圧電素子300の変位量を求めた結果を図8に示す。変位量は、グラフテック社製のレーザードップラー振動計で計測した速度データを、デクロイ社製のオシロスコープにて時間積分することにより、算出している(25℃)。測定サンプルは図3の形状に加工され、キャビティーが形成されているセグメントを使用し、各駆動波形を印加して測定した。なお、各変位量は、VmおよびVmin=0の場合を100として規格化して表した。
(Test Example 1)
For the piezoelectric element 300 having the piezoelectric layer 70 having the composition of Examples 1 and 2 below, the drive waveform shown in FIG. 7 was used as a basis, and Vm and Vmin were changed with ΔV = 35 V being constant. FIG. 8 shows the result of obtaining the displacement amount of the piezoelectric element 300 by applying the waveform with a sufficient delay time of 200 ms interval. The amount of displacement is calculated by time-integrating the velocity data measured with a laser Doppler vibrometer manufactured by Graphtec Corp. using an oscilloscope manufactured by Decroy Corp. (25 ° C.). The measurement sample was processed into the shape shown in FIG. 3, and a segment in which a cavity was formed was used, and each drive waveform was applied for measurement. In addition, each displacement amount was normalized and represented as 100 when Vm and Vmin = 0.

この結果、実施例1、2の(110)面に配向、(111)面に優先配向している圧電体層70を具備する圧電素子300では、Vm=10、Vm=15V、Vm=20V、Vm=25Vでは、待機状態では分極状態となり、Vminがマイナス側に大きくなるほど、分極して歪んだ状態から、電界が除去されると時間と共に分極緩和が生じて歪がない状態となり、分極状態から所定の電圧変化工程を付与すると、分極緩和が電界により促進され、短時間で分極緩和状態とし、その後、大きな変位が得られるようになることを示している。   As a result, in the piezoelectric element 300 including the piezoelectric layer 70 oriented in the (110) plane of Examples 1 and 2 and preferentially oriented in the (111) plane, Vm = 10, Vm = 15V, Vm = 20V, When Vm = 25V, the standby state becomes a polarization state, and as Vmin increases to the minus side, the polarization is distorted as the electric field is removed from the polarization and distortion state. It is shown that when a predetermined voltage changing step is applied, the polarization relaxation is promoted by the electric field, the polarization relaxation state is achieved in a short time, and then a large displacement can be obtained.

よって、実施例1、2の(110)面に配向、(111)面に優先配向している圧電体層70を具備する圧電素子300では、第1電位V1に対応するVmimを−5V〜−15V、好ましくは、−6V〜−14Vとするのが好ましいことがわかった。電界に換算すると、−5.6V/μm〜−16.7V/μm、好ましくは、−6.7V/μm〜15.6V/μmである。   Therefore, in the piezoelectric element 300 including the piezoelectric layer 70 oriented in the (110) plane and preferentially oriented in the (111) plane in the first and second embodiments, Vmim corresponding to the first potential V1 is −5 V to − It has been found that 15V, preferably -6V to -14V is preferred. In terms of electric field, it is −5.6 V / μm to −16.7 V / μm, preferably −6.7 V / μm to 15.6 V / μm.

比較のため、(100)面に配向圧電体層を具備するもの(下記比較例)とした場合を同様に行った結果も同じく図8に示す。この結果、圧電材料が(100)面配向の場合には、Vmを−5Vを越えてマイナス側に大きくしても、変位量の大きな向上は見られないことがわかった。   For comparison, FIG. 8 also shows the result of a similar operation performed when the (100) plane is provided with an oriented piezoelectric layer (the following comparative example). As a result, it was found that when the piezoelectric material is (100) -plane oriented, even if Vm is increased beyond −5 V to the minus side, no significant improvement in displacement is observed.

(実施例1)(110)面配向
まず、(110)単結晶シリコン(Si)基板の表面に熱酸化により膜厚1200nmの酸化シリコン(SiO)膜を形成した。次に、SiO膜上にDCスパッター法により膜厚400nmのジルコニウム膜を作成し、これを酸素雰囲気下で熱処理(RTA)することによりジルコニア層を形成した。このジルコニア層に密着層としてDCスパッター法によりジルコニウムを40nmを形成した後、同じくDCスパッター法により(111)面に配向し厚さ100nmの白金膜(第1電極60)を形成した。
Example 1 (110) Planar Orientation First, a 1200 nm-thickness silicon oxide (SiO 2 ) film was formed on the surface of a (110) single crystal silicon (Si) substrate by thermal oxidation. Next, a 400 nm-thickness zirconium film was formed on the SiO 2 film by DC sputtering, and this was heat-treated (RTA) in an oxygen atmosphere to form a zirconia layer. After forming 40 nm of zirconium as an adhesion layer on this zirconia layer by DC sputtering, a platinum film (first electrode 60) having a thickness of 100 nm and oriented to the (111) plane was formed by DC sputtering as well.

次いで、第1電極60上に圧電体膜を積層し、圧電体層70とした。その手法は以下のとおりである。まず、2−エチルヘキサン酸ビスマス、2−エチルヘキサン酸鉄、2−エチルヘキサン酸マンガン、2−エチルヘキサン酸バリウム及び2−エチルヘキサン酸チタンの各n−オクタン溶液を、各元素がモル比でBi:Ba:Fe:Ti:Mn=75:25:71.25:25:3.75となるように混合して(BFO:BT=75:25)、前駆体溶液を調製した。   Next, a piezoelectric film was laminated on the first electrode 60 to form a piezoelectric layer 70. The method is as follows. First, each n-octane solution of bismuth 2-ethylhexanoate, iron 2-ethylhexanoate, manganese 2-ethylhexanoate, barium 2-ethylhexanoate and titanium 2-ethylhexanoate, each element in molar ratio A precursor solution was prepared by mixing Bi: Ba: Fe: Ti: Mn = 75: 25: 71.25: 25: 3.75 (BFO: BT = 75: 25).

そしてこの前駆体溶液を、第1電極が形成された基板上に滴下し、3000rpmで基板を回転させて圧電体前駆体膜を形成した(塗布工程)。次に、ホットプレート上で、180℃で2分間乾燥した(乾燥工程)。次いで、350℃で4分間脱脂を行った(脱脂工程)。次に、酸素雰囲気中で、RTA(Rapid Thermal Annealing)装置で、750℃で5分間焼成を行って圧電体膜を形成した(焼成工程)。この塗布工程、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程の一連の工程を12回繰り返し、12層の圧電体膜からなる、全体で厚さ900nmの圧電体層70を形成した。   And this precursor solution was dripped on the board | substrate with which the 1st electrode was formed, the board | substrate was rotated at 3000 rpm, and the piezoelectric precursor film | membrane was formed (application | coating process). Next, it was dried at 180 ° C. for 2 minutes on a hot plate (drying process). Subsequently, degreasing was performed at 350 ° C. for 4 minutes (degreasing step). Next, the film was baked at 750 ° C. for 5 minutes with an RTA (Rapid Thermal Annealing) apparatus in an oxygen atmosphere to form a piezoelectric film (firing step). A series of steps of the coating step, the drying step, the degreasing step, and the firing step was repeated 12 times to form a piezoelectric layer 70 having a total thickness of 900 nm composed of 12 layers of piezoelectric films.

その後、圧電体層70上に、第2電極80としてスパッター法により厚さ50nmのイリジウム膜(第2電極80)を形成することで、Bi、Fe、Mn、Ba及びTiを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物を圧電体層70とする圧電素子300を形成した。   Thereafter, an iridium film (second electrode 80) having a thickness of 50 nm is formed as a second electrode 80 on the piezoelectric layer 70 by a sputtering method, and has a perovskite structure including Bi, Fe, Mn, Ba, and Ti. The piezoelectric element 300 having the composite oxide as the piezoelectric layer 70 was formed.

(実施例2)(111)面配向
(110)単結晶シリコン(Si)基板の表面に熱酸化により膜厚1200nmの酸化シリコン(SiO)膜を形成した。次に、SiO膜上にDCスパッター法により膜厚400nmのジルコニウム膜を作成し、これを酸素雰囲気下で熱処理(RTA)することによりジルコニア層を形成した。このジルコニア層に密着層としてDCスパッター法によりジルコニウムを40nmを形成した後、同じくDCスパッター法により(111)面に配向し厚さ100nmの白金膜(第1電極60)を形成した。次いで、鉄酸コバルト産ビスマスとチタン酸バリウムの複合酸化物(BiFeCoO−BaTiO)をゾルゲル法にてコーティングし、725℃3分RTA焼成することにより、20nmの薄膜を形成した。この前述の層をシード層として、配向制御を行った。
Example 2 (111) Planar Orientation A silicon oxide (SiO 2 ) film having a thickness of 1200 nm was formed on the surface of a (110) single crystal silicon (Si) substrate by thermal oxidation. Next, a 400 nm-thickness zirconium film was formed on the SiO 2 film by DC sputtering, and this was heat-treated (RTA) in an oxygen atmosphere to form a zirconia layer. After forming 40 nm of zirconium as an adhesion layer on this zirconia layer by DC sputtering, a platinum film (first electrode 60) having a thickness of 100 nm and oriented to the (111) plane was formed by DC sputtering as well. Subsequently, a composite oxide of bismuth iron oxide and barium titanate (BiFeCoO 3 —BaTiO 3 ) was coated by a sol-gel method, and RTA firing was performed at 725 ° C. for 3 minutes to form a 20 nm thin film. The orientation control was performed using this layer as a seed layer.

次いで、第1電極60上に圧電体膜を積層し、圧電体層70とした。その手法は以下のとおりである。まず、2−エチルヘキサン酸ビスマス、2−エチルヘキサン酸鉄、2−エチルヘキサン酸マンガン、2−エチルヘキサン酸バリウム及び2−エチルヘキサン酸チタンの各n−オクタン溶液を、各元素がモル比でBi:Ba:Fe:Ti:Mn=75:25:71.25:25:3.75となるように混合して(BFO:BT=75:25)、前駆体溶液を調製した。   Next, a piezoelectric film was laminated on the first electrode 60 to form a piezoelectric layer 70. The method is as follows. First, each n-octane solution of bismuth 2-ethylhexanoate, iron 2-ethylhexanoate, manganese 2-ethylhexanoate, barium 2-ethylhexanoate and titanium 2-ethylhexanoate, each element in molar ratio A precursor solution was prepared by mixing Bi: Ba: Fe: Ti: Mn = 75: 25: 71.25: 25: 3.75 (BFO: BT = 75: 25).

そしてこの前駆体溶液を、第1電極が形成された基板上に滴下し、3000rpmで基板を回転させて圧電体前駆体膜を形成した(塗布工程)。次に、ホットプレート上で、180℃で2分間乾燥した(乾燥工程)。次いで、350℃で4分間脱脂を行った(脱脂工程)。次に、酸素雰囲気中で、RTA(Rapid Thermal Annealing)装置で、775℃で5分間焼成を行って圧電体膜を形成した(焼成工程)。この塗布工程、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程の一連の工程を10回繰り返し、10層の圧電体膜からなる、全体で厚さ900nmの圧電体層70を形成した。   And this precursor solution was dripped on the board | substrate with which the 1st electrode was formed, the board | substrate was rotated at 3000 rpm, and the piezoelectric precursor film | membrane was formed (application | coating process). Next, it was dried at 180 ° C. for 2 minutes on a hot plate (drying process). Subsequently, degreasing was performed at 350 ° C. for 4 minutes (degreasing step). Next, in an oxygen atmosphere, a piezoelectric film was formed by performing baking at 775 ° C. for 5 minutes using an RTA (Rapid Thermal Annealing) apparatus (firing step). A series of steps of the coating step, the drying step, the degreasing step, and the firing step was repeated 10 times to form a piezoelectric layer 70 having a total thickness of 900 nm composed of ten piezoelectric layers.

その後、圧電体層70上に、第2電極80としてスパッター法により厚さ50nmのイリジウム膜(第2電極80)を形成することで、Bi、Fe、Mn、Ba及びTiを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物を圧電体層70とする圧電素子300を形成した。   Thereafter, an iridium film (second electrode 80) having a thickness of 50 nm is formed as a second electrode 80 on the piezoelectric layer 70 by a sputtering method, and has a perovskite structure including Bi, Fe, Mn, Ba, and Ti. The piezoelectric element 300 having the composite oxide as the piezoelectric layer 70 was formed.

(比較例)(100)配向
まず、(110)単結晶シリコン(Si)基板の表面に熱酸化により膜厚1200nmの酸化シリコン(SiO)膜を形成した。次に、SiO膜上にDCスパッター法により膜厚400nmのジルコニウム膜を作成し、これを酸素雰囲気下で熱処理(RTA)することによりジルコニア層を形成した。このジルコニア層に密着層としてDCスパッター法によりジルコニウムを40nmを形成した後、同じくDCスパッター法により(111)面に配向し厚さ50nmの白金膜(第1電極60)を形成した。この白金膜上に、スパッター法もしくはゾルゲル法にてニッケル酸ランタン(LaNiO)を40nmの厚さで成膜し、配向制御のシード層とした。
(Comparative Example) (100) Orientation First, a silicon oxide (SiO 2 ) film having a thickness of 1200 nm was formed on the surface of a (110) single crystal silicon (Si) substrate by thermal oxidation. Next, a 400 nm-thickness zirconium film was formed on the SiO 2 film by DC sputtering, and this was heat-treated (RTA) in an oxygen atmosphere to form a zirconia layer. After forming 40 nm of zirconium as an adhesion layer on this zirconia layer by DC sputtering, a platinum film (first electrode 60) having a thickness of 50 nm and oriented to the (111) plane was also formed by DC sputtering. On this platinum film, lanthanum nickelate (LaNiO 3 ) was formed to a thickness of 40 nm by a sputtering method or a sol-gel method to form an orientation control seed layer.

次いで、第1電極60上に圧電体膜を積層し、圧電体層70とした。その手法は以下のとおりである。まず、2−エチルヘキサン酸ビスマス、2−エチルヘキサン酸鉄、2−エチルヘキサン酸マンガン、2−エチルヘキサン酸バリウム及び2−エチルヘキサン酸チタンの各n−オクタン溶液を、各元素がモル比でBi:Ba:Fe:Ti:Mn=75:25:71.25:25:3.75となるように混合して(BFO:BT=75:25)、前駆体溶液を調製した。   Next, a piezoelectric film was laminated on the first electrode 60 to form a piezoelectric layer 70. The method is as follows. First, each n-octane solution of bismuth 2-ethylhexanoate, iron 2-ethylhexanoate, manganese 2-ethylhexanoate, barium 2-ethylhexanoate and titanium 2-ethylhexanoate, each element in molar ratio A precursor solution was prepared by mixing Bi: Ba: Fe: Ti: Mn = 75: 25: 71.25: 25: 3.75 (BFO: BT = 75: 25).

そしてこの前駆体溶液を、第1電極が形成された基板上に滴下し、3000rpmで基板を回転させて圧電体前駆体膜を形成した(塗布工程)。次に、ホットプレート上で、180℃で2分間乾燥した(乾燥工程)。次いで、350℃で4分間脱脂を行った(脱脂工程)。次に、酸素雰囲気中で、RTA(Rapid Thermal Annealing)装置で、650℃で5分間焼成を行って圧電体膜を形成した(焼成工程)。この塗布工程、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程の一連の工程を12回繰り返し、12層の圧電体膜からなる、全体で厚さ900nmの圧電体層70を形成した。   And this precursor solution was dripped on the board | substrate with which the 1st electrode was formed, the board | substrate was rotated at 3000 rpm, and the piezoelectric precursor film | membrane was formed (application | coating process). Next, it was dried at 180 ° C. for 2 minutes on a hot plate (drying process). Subsequently, degreasing was performed at 350 ° C. for 4 minutes (degreasing step). Next, in an oxygen atmosphere, a piezoelectric film was formed by baking at 650 ° C. for 5 minutes with a RTA (Rapid Thermal Annealing) apparatus (baking step). A series of steps of the coating step, the drying step, the degreasing step, and the firing step was repeated 12 times to form a piezoelectric layer 70 having a total thickness of 900 nm composed of 12 layers of piezoelectric films.

その後、圧電体層70上に、第2電極80としてスパッター法により厚さ50nmのイリジウム膜(第2電極80)を形成することで、Bi、Fe、Mn、Ba及びTiを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物を圧電体層70とする圧電素子300を形成した。   Thereafter, an iridium film (second electrode 80) having a thickness of 50 nm is formed as a second electrode 80 on the piezoelectric layer 70 by a sputtering method, and has a perovskite structure including Bi, Fe, Mn, Ba, and Ti. The piezoelectric element 300 having the composite oxide as the piezoelectric layer 70 was formed.

(試験例2)
まず、(110)単結晶シリコン(Si)基板の表面に熱酸化により膜厚1200nmの酸化シリコン(SiO)膜を形成した。次に、SiO膜上にDCスパッター法により膜厚400nmのジルコニウム膜を作成し、これを酸素雰囲気下で熱処理(RTA)することによりジルコニア層を形成した。このジルコニア層に密着層としてDCスパッター法によりジルコニウムを40nmを形成した後、同じくDCスパッター法により(111)面に配向し厚さ100nmの白金膜(第1電極60)を形成した。
(Test Example 2)
First, a 1200 nm-thickness silicon oxide (SiO 2 ) film was formed on the surface of a (110) single crystal silicon (Si) substrate by thermal oxidation. Next, a 400 nm-thickness zirconium film was formed on the SiO 2 film by DC sputtering, and this was heat-treated (RTA) in an oxygen atmosphere to form a zirconia layer. After forming 40 nm of zirconium as an adhesion layer on this zirconia layer by DC sputtering, a platinum film (first electrode 60) having a thickness of 100 nm and oriented to the (111) plane was formed by DC sputtering as well.

次いで、第1電極60上に圧電体膜を積層し、圧電体層70とした。その手法は以下のとおりである。まず、2−エチルヘキサン酸ビスマス、2−エチルヘキサン酸鉄、2−エチルヘキサン酸マンガン、2−エチルヘキサン酸バリウム及び2−エチルヘキサン酸チタンの各n−オクタン溶液を、各元素がモル比下記組成となるように前駆体溶液を調製した。   Next, a piezoelectric film was laminated on the first electrode 60 to form a piezoelectric layer 70. The method is as follows. First, each n-octane solution of bismuth 2-ethylhexanoate, iron 2-ethylhexanoate, manganese 2-ethylhexanoate, barium 2-ethylhexanoate and titanium 2-ethylhexanoate, each element has the following molar ratio: A precursor solution was prepared so as to have a composition.

そしてこの前駆体溶液を、第1電極が形成された基板上に滴下し、3000rpmで基板を回転させて圧電体前駆体膜を形成した(塗布工程)。次に、ホットプレート上で、180℃で2分間乾燥した(乾燥工程)。次いで、350℃で4分間脱脂を行った(脱脂工程)。次に、酸素雰囲気中で、RTA(Rapid Thermal Annealing)装置で、750℃で5分間焼成を行って圧電体膜を形成した(焼成工程)。この塗布工程、乾燥工程、脱脂工程及び焼成工程の一連の工程を12回繰り返し、12層の圧電体膜からなる、全体で厚さ900nmの圧電体層70を形成した。   And this precursor solution was dripped on the board | substrate with which the 1st electrode was formed, the board | substrate was rotated at 3000 rpm, and the piezoelectric precursor film | membrane was formed (application | coating process). Next, it was dried at 180 ° C. for 2 minutes on a hot plate (drying process). Subsequently, degreasing was performed at 350 ° C. for 4 minutes (degreasing step). Next, the film was baked at 750 ° C. for 5 minutes with an RTA (Rapid Thermal Annealing) apparatus in an oxygen atmosphere to form a piezoelectric film (firing step). A series of steps of the coating step, the drying step, the degreasing step, and the firing step was repeated 12 times to form a piezoelectric layer 70 having a total thickness of 900 nm composed of 12 layers of piezoelectric films.

その後、圧電体層70上に、第2電極80としてスパッター法により厚さ50nmのイリジウム膜(第2電極80)を形成することで、Bi、Fe、Mn、Ba及びTiを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物を圧電体層70とする圧電素子300を形成した。なお、第2電極80を設ける前に圧電体層70のXRDを測定して配向状態を観察したところ、(110)面に配向したものであった。   Thereafter, an iridium film (second electrode 80) having a thickness of 50 nm is formed as a second electrode 80 on the piezoelectric layer 70 by a sputtering method, and has a perovskite structure including Bi, Fe, Mn, Ba, and Ti. The piezoelectric element 300 having the composite oxide as the piezoelectric layer 70 was formed. When the orientation state was observed by measuring XRD of the piezoelectric layer 70 before providing the second electrode 80, it was oriented in the (110) plane.

前駆体溶液を下記の組成としたサンプル1〜5の圧電素子について、試験例1と同様に測定した結果を図9に示す。   FIG. 9 shows the results of measuring the piezoelectric elements of Samples 1 to 5 having the following composition as the precursor solution in the same manner as in Test Example 1.

この結果、BFO−BT系の非鉛系圧電材料では、BFO比が大きいほどVmimの電位をマイナス側にした場合の変位量の向上が顕著であり、BFO/BT=79/21のサンプル1が一番顕著であった。また、このような組成で(110)面配向の圧電素子では、第1電圧に相当するVminは−6V〜−14V、電界に換算すると、−6.7V/μm〜15.6V/μmとするのが好ましいことがわかった。   As a result, in the BFO-BT-based lead-free piezoelectric material, the larger the BFO ratio, the more remarkable the improvement in displacement when the potential of Vmim is set to the minus side. Sample 1 with BFO / BT = 79/21 is It was the most remarkable. In the (110) plane oriented piezoelectric element having such a composition, Vmin corresponding to the first voltage is −6 V to −14 V, and −6.7 V / μm to 15.6 V / μm when converted into an electric field. It has been found that this is preferable.

<前駆体溶液>
ここで、BFOは、Ba:Fe=1:1の複合酸化物、BTは、Ba:Ti=1:1の複合酸化物を示す。
サンプル1:BFO/BT=79/21
サンプル2:BFO/BT=77/23
サンプル3:BFO/BT=75/25
サンプル4:BFO/BT=73/27
サンプル5:BFO/BT=71/29
<Precursor solution>
Here, BFO represents a complex oxide of Ba: Fe = 1: 1, and BT represents a complex oxide of Ba: Ti = 1: 1.
Sample 1: BFO / BT = 79/21
Sample 2: BFO / BT = 77/23
Sample 3: BFO / BT = 75/25
Sample 4: BFO / BT = 73/27
Sample 5: BFO / BT = 71/29

(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、以上説明した駆動波形については、正負を逆にしても効果は同じである。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.
For example, the driving waveform described above has the same effect even if the sign is reversed.

また、上述した実施形態では、流路形成基板10として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。   In the embodiment described above, a silicon single crystal substrate is exemplified as the flow path forming substrate 10, but the present invention is not particularly limited thereto, and for example, a material such as an SOI substrate or glass may be used.

さらに、上述した実施形態では、基板(流路形成基板10)上に第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を順次積層した圧電素子300を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を具備する液体噴射装置にも本発明を適用することができる。   Furthermore, in the above-described embodiment, the piezoelectric element 300 in which the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80 are sequentially stacked on the substrate (the flow path forming substrate 10) is illustrated, but the present invention is not particularly limited thereto. For example, the present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus including a longitudinal vibration type piezoelectric element in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked to expand and contract in the axial direction.

なお、上記各実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。   In each of the above embodiments, an ink jet recording head has been described as an example of a liquid ejecting head, and an ink jet recording apparatus has been described as an example of a liquid ejecting apparatus. However, the present invention covers a wide range of liquid ejecting apparatuses in general. Of course, the present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus that ejects liquid other than ink. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bio-organic matter ejection head used for biochip production, and the like, and can also be applied to a liquid ejection apparatus provided with such a liquid ejection head.

I インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 II インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 13 連通部、 14 インク供給路、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 30 保護基板、 31 マニホールド部、 32 圧電素子保持部、 40 コンプライアンス基板、 50 弾性膜、 60 第1電極、 70 圧電体層、 80 第2電極、 90 リード電極、 100 マニホールド、 120 駆動回路、 300 圧電素子   I ink jet recording head (liquid ejecting head), II ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 10 flow path forming substrate, 12 pressure generating chamber, 13 communicating portion, 14 ink supply path, 20 nozzle plate, 21 nozzle opening, 30 protective substrate, 31 manifold portion, 32 piezoelectric element holding portion, 40 compliance substrate, 50 elastic film, 60 first electrode, 70 piezoelectric layer, 80 second electrode, 90 lead electrode, 100 manifold, 120 drive circuit, 300 piezoelectric element

Claims (1)

圧電体層および該圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子と、
前記圧電素子を駆動する駆動波形を前記圧電素子に供給する駆動手段と、を有する液体噴射装置であって、
前記圧電体層は、(110)面又は(111)面に優先配向した、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、
前記駆動波形は、
前記圧電素子の待機状態において印加される中間電圧であるVmを印加する工程と、前記中間電圧の印加状態から当該中間電圧とは逆極性の第1電圧まで電圧を変化させる第1の電圧変化工程と、前記第1電圧の印加状態から前記中間電圧と同極性で大きな第2電圧まで電圧を変化させる第2の電圧変化工程と、を有し、
前記第1電圧が、電界に換算して、−5.6V/μm〜−16.7V/μmであることを特徴とする液体噴射装置。
A piezoelectric element including a piezoelectric layer and an electrode provided on the piezoelectric layer;
A liquid ejecting apparatus comprising: driving means for supplying a driving waveform for driving the piezoelectric element to the piezoelectric element;
The piezoelectric layer is made of a complex oxide having a perovskite structure including bismuth, iron, barium and titanium, preferentially oriented in the (110) plane or the (111) plane,
The drive waveform is
Applying Vm, which is an intermediate voltage applied in the standby state of the piezoelectric element, and a first voltage changing step for changing the voltage from the applied state of the intermediate voltage to a first voltage having a polarity opposite to the intermediate voltage. And a second voltage changing step for changing the voltage from the application state of the first voltage to a second voltage having the same polarity as the intermediate voltage and a large second voltage,
The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the first voltage is −5.6 V / μm to −16.7 V / μm in terms of an electric field.
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