JP2013149337A - Method of manufacturing optical recording medium - Google Patents

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誠喜 野尻
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an optical recording medium having plural intermediate layers, which can efficiently manufacture an optical recording medium having excellent recording reproduction characteristics with few defects.SOLUTION: A method of manufacturing an optical recording medium having three or more recording layers and plural intermediate layers disposed between the recording layers, made of a radiation-curable resin material and having an uneven shape, includes a step of forming the plural intermediate layers using plural stampers having, on its surface, an uneven shape for transfer corresponding to the uneven shape of the intermediate layers. The plural stampers have annular minute protrusions concentric with the center of each of the plural stampers, on the surface having the uneven shape for transfer. The radial position of a minute protrusion 205 on one stamper 204 of the plural stampers used for forming at least one of the plural intermediate layers differs from the radial position of a minute protrusion 208 on another stamper 207 of the plural stampers used for forming another intermediate layer of the plural intermediate layers.

Description

本発明は、光記録媒体の製造方法に関するものである。より詳しくは、複数の中間層を有する光記録媒体の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing an optical recording medium. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing an optical recording medium having a plurality of intermediate layers.

一般に、CDやDVDといった光記録媒体は、表面に所定の微細な凹凸パターンを有しており、これらの凹凸パターンは、通常、所定の凹凸パターンを有するスタンパを用い、このスタンパの形状を、基板もしくは中間層に転写することで形成される。   In general, an optical recording medium such as a CD or a DVD has a predetermined fine uneven pattern on the surface, and these uneven patterns usually use a stamper having a predetermined uneven pattern. Alternatively, it is formed by transferring to an intermediate layer.

ここで、一般的には、まず所定の凹凸形状を有するディスク原盤を作製し、ディスク原盤から凹凸パターンを転写する形でスタンパを製造する。さらにこのスタンパを用いて射出成型等により光記録媒体用の基板を形成し、光記録媒体を大量生産することが行われている。また、このようにして作製した基板上に記録層等の記録再生機能層を形成した後、透明樹脂材料等により中間層を形成し、この中間層に透明スタンパを用いて凹凸形状を転写し(フォトポリメリゼーション法(Photo Polymerization:以下、「2P法」と記すことがある。))、その上にさらに記録再生機能層を積層することにより、2層の記録層を有する積層型光記録媒体を作製すること等も行われている(例えば、特許文献1)。   Here, in general, a disk master having a predetermined uneven shape is first prepared, and a stamper is manufactured by transferring the uneven pattern from the disk master. Furthermore, mass production of optical recording media is performed by using this stamper to form a substrate for optical recording media by injection molding or the like. In addition, after forming a recording / reproducing functional layer such as a recording layer on the substrate thus produced, an intermediate layer is formed using a transparent resin material or the like, and a concavo-convex shape is transferred to the intermediate layer using a transparent stamper ( Photopolymerization method (Photo Polymerization: hereinafter sometimes referred to as “2P method”)), and a recording / reproducing functional layer further laminated thereon to form a laminated optical recording medium having two recording layers Has also been made (for example, Patent Document 1).

2P法では、上記透明樹脂材料をスピンコートにより基板上に塗布し、中間層を形成することが一般的である。この際、光記録媒体の中心孔近傍の中間層膜厚を制御するため、基板上の中心孔近傍に円環状の突起部を設けることにより樹脂材料を塞き止める技術が提案されている(特許文献2)。この技術は、中間層の内周側の端部をほぼ真円状に形成できる点でも、特に最表面にカバー層を形成するブルーレイディスクにおいて有望である。何故なら、カバー層も中間層と同様。透明樹脂材料をスピンコートによって塗布形成することが一般的であり、この際、中間層の内周側の端部に乱れが生じていると、カバー層材料を光記録媒体表面全体に均一に延伸する際に、気泡等がカバー層内に混入しやすくなり、カバー層の光学特性の均一性が損なわれてしまうからである。   In the 2P method, the transparent resin material is generally applied onto a substrate by spin coating to form an intermediate layer. At this time, in order to control the thickness of the intermediate layer in the vicinity of the center hole of the optical recording medium, a technique for blocking the resin material by providing an annular protrusion in the vicinity of the center hole on the substrate has been proposed (patent) Reference 2). This technique is promising particularly in a Blu-ray disc in which a cover layer is formed on the outermost surface in that the inner circumferential end of the intermediate layer can be formed in a substantially circular shape. Because the cover layer is the same as the middle layer. It is common to apply and form a transparent resin material by spin coating. At this time, if the end of the inner peripheral side of the intermediate layer is disturbed, the cover layer material is uniformly stretched over the entire surface of the optical recording medium. This is because bubbles and the like are easily mixed into the cover layer and the uniformity of the optical characteristics of the cover layer is impaired.

上記積層型光記録媒体を作製する目的は、記録層を複数設けることにより、光記録媒体1枚当りの記録容量を高めることが目的であり、より高密度記録が可能なブルーレイディスクにおいても採用され、2層の記録層を有するブルーレイディスクが既に実用化されている。また、更なる高容量記録媒体の実現に向けて、3層以上の記録層を有する光記録媒体の開発も盛んに行われている。   The purpose of producing the laminated optical recording medium is to increase the recording capacity per optical recording medium by providing a plurality of recording layers, and it is also used in Blu-ray discs capable of higher density recording. Blu-ray discs having two recording layers have already been put into practical use. In addition, an optical recording medium having three or more recording layers has been actively developed for realizing a higher capacity recording medium.

3層の記録層を有する光記録媒体の製造においては、前述の2P法による中間層の形成工程を、さらにもう1回繰り返すことにより、基板上に順次記録再生機能層及び中間層を形成することが一般的である。すなわち、N層以上の記録を有する光記録媒体においては、2P法をN−1回繰り返すによりN−1層の中間層を形成することとなる。   In the manufacture of an optical recording medium having three recording layers, the recording / reproducing functional layer and the intermediate layer are sequentially formed on the substrate by repeating the intermediate layer forming step by the 2P method described above once more. Is common. That is, in an optical recording medium having N or more layers, an intermediate layer of N-1 layers is formed by repeating the 2P method N-1 times.

特開2007−164967号公報JP 2007-164967 A 特開2007−115317号公報JP 2007-115317 A

しかしながら、2層以上の中間層を有する光記録媒体を製造するにあたっては、単に同じ工程を繰り返すだけでは、歩留まりよく光記録媒体を製造することが困難であることが、本発明者等の検討により判明してきている。例えば、前記特許文献2に記載の方法で2層の中間層を形成することを想定すると、最初に形成される中間層は中心孔近傍の基板上の円環状の突起を利用し、中心孔近傍の中間層膜厚等の制御が可能であるが、2層目の中間層形成時には、この突起部がすでに最初の中間層と一体化してしまっているため樹脂材料を塞き止める突起部が存在せず、中心孔近傍の中間層の膜厚均一性が悪化し、内周側の端部にも乱れが生じやすくなる。この結果、中間層形成時にスタンパの剥離不良が発生したり、均一な中間層を形成しにくくなる傾向が生じる。更には、光記録媒体の最表面に形成されるカバー層に、気泡が入り込んだり、膜厚分布に乱れが生じたりすることによって、欠陥の少ない十分な記録再生特性を有する光記録媒体を作製することが困難となるのである。従って、2層以上の中間層を有する光記録媒体の製造に当っては、より効率的な製造方法が求められているのが実情である。   However, when manufacturing an optical recording medium having two or more intermediate layers, it is difficult to manufacture an optical recording medium with a high yield by simply repeating the same process. It has become clear. For example, assuming that two intermediate layers are formed by the method described in Patent Document 2, the intermediate layer formed first uses an annular protrusion on the substrate in the vicinity of the central hole, It is possible to control the thickness of the intermediate layer, but when the second intermediate layer is formed, there is a protrusion that blocks the resin material because this protrusion is already integrated with the first intermediate layer. However, the film thickness uniformity of the intermediate layer in the vicinity of the center hole is deteriorated, and the end on the inner peripheral side is likely to be disturbed. As a result, when the intermediate layer is formed, there is a tendency that a stamper peeling failure occurs or it is difficult to form a uniform intermediate layer. Furthermore, an air recording medium having sufficient recording / reproduction characteristics with few defects is produced by bubbles entering the cover layer formed on the outermost surface of the optical recording medium or by disturbing the film thickness distribution. It becomes difficult. Accordingly, in the production of an optical recording medium having two or more intermediate layers, a more efficient production method is required.

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、複数の中間層を有する光記録媒体の製造方法において、欠陥の少ない優れた記録再生特性を有する光記録媒体を効率よく製造することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problem, and in an optical recording medium manufacturing method having a plurality of intermediate layers, an optical recording medium having excellent recording and reproducing characteristics with few defects is efficiently manufactured. Objective.

本発明の要旨は、中心孔を有する円板状の基板上に、3層以上の記録層と、前記記録層の間に介在し放射線硬化性樹脂原料からなる凹凸形状を有する複数の中間層とを有する光記録媒体の製造方法であって、円板状の形状を有し、表面に前記凹凸形状に対応した転写用凹凸形状を有してなる複数のスタンパを用いて前記複数の中間層を形成する工程において、前記複数のスタンパは、前記転写用凹凸形状を有する表面上に前記複数のスタンパの各々の中心と同心の円環状の微小突起を有し、前記複数の中間層のうち少なくとも1つの中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち1つのスタンパ上の微小突起の半径位置が、前記複数の中間層のうち他の中間層形成時に用いる前記複数のスタンパのうち他のスタンパ上の微小突起の半径位置と異なることを特徴とする光記録媒体の製造方法に存する。   The gist of the present invention is that there are three or more recording layers on a disc-shaped substrate having a central hole, and a plurality of intermediate layers having a concavo-convex shape made of a radiation curable resin raw material interposed between the recording layers. A method for producing an optical recording medium comprising: a plurality of intermediate layers using a plurality of stampers having a disk-like shape and having a concavo-convex shape for transfer corresponding to the concavo-convex shape on a surface thereof. In the forming step, the plurality of stampers have annular minute protrusions concentric with the center of each of the plurality of stampers on the surface having the uneven shape for transfer, and at least one of the plurality of intermediate layers. Among the plurality of stampers used when forming one intermediate layer, the radial position of the minute protrusion on one stamper is the same as that on the other stamper among the plurality of stampers used when forming another intermediate layer. Radius position of minute protrusion It is different consists in a method of manufacturing an optical recording medium characterized.

このとき、前記複数のスタンパが中心孔を有し、前記中心孔近傍に前記微小突起を有することが好ましい。
また、前記複数の中間層のうち一つの中間層を形成する工程において、前記複数のスタンパのうち一つのスタンパの前記微小突起を有する面と前記基板とを対向させ、前記複数のスタンパのうち一つのスタンパと前記基板の間隙に前記放射線硬化性樹脂原料を充填する工程と、前記放射線硬化性樹脂原料を延伸する工程と、放射線を照射して前記放射線硬化性樹脂原料を硬化させる工程とをこの順に有し、前記複数のスタンパのうち一つのスタンパと前記基板とを対向させた際に、前記基板の前記中心孔から、クランプエリアの内径までの領域に、前記複数のスタンパのうち一つのスタンパ上の前記微小突起が形成されることが好ましい。
At this time, it is preferable that the plurality of stampers have a center hole and have the minute protrusions in the vicinity of the center hole.
In the step of forming one intermediate layer of the plurality of intermediate layers, the surface of the stamper having one of the plurality of stampers and the substrate are opposed to each other, and one of the plurality of stampers. Filling the gap between the two stampers and the substrate with the radiation curable resin material, stretching the radiation curable resin material, and irradiating radiation to cure the radiation curable resin material. One stamper of the plurality of stampers is disposed in a region from the center hole of the substrate to the inner diameter of the clamp area when one of the plurality of stampers is opposed to the substrate. It is preferable that the microprotrusions above are formed.

また、前記複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち1つのスタンパ上の微小突起の半径位置が、前記複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち他のスタンパ上の微小突起よりも外周側にあることが好ましい。   In addition, the radial position of the minute protrusion on one stamper among the plurality of stampers used when forming the intermediate layer that is stacked first among the plurality of intermediate layers is an intermediate layer that is stacked after the plurality of intermediate layers. Of the plurality of stampers used when forming the layer, it is preferable to be on the outer peripheral side with respect to the minute protrusions on the other stampers.

また、前記複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち1つのスタンパ上の微小突起の半径位置が、前記複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち他のスタンパ上の微小突起よりも内周側にあることが好ましい。   In addition, the radial position of the minute protrusion on one stamper among the plurality of stampers used when forming the intermediate layer that is stacked first among the plurality of intermediate layers is an intermediate layer that is stacked after the plurality of intermediate layers. Of the plurality of stampers used when forming the layer, it is preferable that they are located on the inner peripheral side with respect to the minute protrusions on the other stampers.

また、前記基板が、前記複数の中間層が形成される表面に前記基板の中心と同心の円環状の微小突起を有し、かつ、前記基板上の前記微小突起が、前記複数の中間層のうち最後に積層される中間層の形成に用いる前記複数のスタンパのうち一つのスタンパ上の微小突起と略同一の半径位置に存在することが好ましい。   In addition, the substrate has annular minute protrusions concentric with the center of the substrate on a surface on which the plurality of intermediate layers are formed, and the minute protrusions on the substrate are formed on the plurality of intermediate layers. Among them, it is preferable that the plurality of stampers used for forming the last laminated intermediate layer are present at substantially the same radial position as the minute protrusions on one stamper.

また、前記基板上に形成された前記微小突起が、円周方向において断続的に形成されていることが好ましい。
また、前記複数のスタンパ上に形成された前記微小突起が、円周方向において断続的に形成されていることが好ましい。
Moreover, it is preferable that the minute protrusions formed on the substrate are intermittently formed in the circumferential direction.
Moreover, it is preferable that the micro protrusions formed on the plurality of stampers are intermittently formed in the circumferential direction.

本発明によれば、2層以上の中間層を有する光記録媒体において、欠陥の少ない、均一性に優れた中間層及びカバー層を実現可能である。   According to the present invention, it is possible to realize an intermediate layer and a cover layer with few defects and excellent uniformity in an optical recording medium having two or more intermediate layers.

本発明の光記録媒体の製造方法を説明するための模式的断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the optical recording medium of this invention. 本発明の製造方法の工程を示した、微小突起を含む光記録媒体の中心孔近傍の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the center hole vicinity of the optical recording medium containing a microprotrusion which showed the process of the manufacturing method of this invention. 従来の製造方法の工程を示した、微小突起を含む光記録媒体の中心孔近傍の模式的断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view in the vicinity of the center hole of an optical recording medium including minute protrusions, showing the steps of a conventional manufacturing method.

以下、本発明の実施形態について詳述する。しかしながら、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することができることはいうまでもない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the following embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

A.本発明の光記録媒体の製造方法の好ましい実施の形態
図1は、本発明の光記録媒体の製造方法の好ましい一例を説明するための図である。図1には、積層型多層光記録媒体の製造方法の例として、有機色素を含む3層の記録層を有する片面入射型の光記録媒体(3層BD−R)の製造方法が示されている。なお、図1では便宜的に、光記録媒体の記録領域の一部断面のみを拡大した図面としている。
A. Preferred Embodiment of Manufacturing Method of Optical Recording Medium of the Present Invention FIG. 1 is a diagram for explaining a preferred example of a manufacturing method of an optical recording medium of the present invention. FIG. 1 shows a method for producing a single-sided incident type optical recording medium (three-layer BD-R) having three recording layers containing an organic dye as an example of a method for producing a multilayer multilayer optical recording medium. Yes. In FIG. 1, for convenience, only a partial cross section of the recording area of the optical recording medium is enlarged.

図1に示される片面3層BD−Rに代表される片面3層の光記録媒体100は、中心孔を有する円板(ディスク)状の基板101と、第1記録再生機能層102と、放射線硬化性樹脂原料からなる光透過性の第1中間層103と、第2記録再生機能層104と、放射線硬化性樹脂原料からなる光透過性の第2中間層105と、第3記録再生機能層106と、光透過性のカバー層107とが、順番に積層された構造を有している。基板101、第1中間層103及び第2中間層105上にはそれぞれ凹凸が形成され、それぞれ記録トラックを構成している。片面3層BD−Rである光記録媒体100の光情報の記録・再生は、カバー層107側から第1記録再生機能層102、第2記録再生機能層104及び第3記録再生機能層106に照射されるレーザー光123により行われる。   A single-sided three-layer optical recording medium 100 represented by the single-sided three-layer BD-R shown in FIG. 1 includes a disc-shaped substrate 101 having a central hole, a first recording / reproducing functional layer 102, radiation A light transmissive first intermediate layer 103 made of a curable resin material, a second recording / reproducing functional layer 104, a light transmissive second intermediate layer 105 made of a radiation curable resin material, and a third recording / reproducing functional layer. 106 and a light-transmitting cover layer 107 are stacked in order. Concavities and convexities are formed on the substrate 101, the first intermediate layer 103, and the second intermediate layer 105, respectively, and constitute recording tracks. Optical information recording / reproduction of the optical recording medium 100 that is a single-sided three-layer BD-R is performed from the cover layer 107 side to the first recording / reproducing functional layer 102, the second recording / reproducing functional layer 104, and the third recording / reproducing functional layer 106. This is performed by the irradiated laser beam 123.

尚、本発明の実施の形態において、「光透過性」とは、第1記録再生機能層102、第2記録再生機能層104及び第3記録再生機能層106に光情報を記録・再生するために照射される光(レーザー光123)の波長に対する光透過性を意味するものとする。具体的には、記録・再生のための光の波長について、通常30%以上、好ましくは50%以上、より好ましくは60%以上の透過性があることを言う。一方、記録・再生のための光の波長に対する透過性の上限は、理想的には100%であるが、通常は、99.9%以下の値となる。   In the embodiment of the present invention, “light transmission” means recording / reproducing optical information on the first recording / reproducing functional layer 102, the second recording / reproducing functional layer 104, and the third recording / reproducing functional layer 106. It means the light transmittance with respect to the wavelength of the light (laser beam 123) irradiated on the surface. Specifically, the light wavelength for recording / reproduction is usually 30% or more, preferably 50% or more, more preferably 60% or more. On the other hand, the upper limit of the transmittance with respect to the wavelength of light for recording / reproduction is ideally 100%, but usually it is a value of 99.9% or less.

また、本発明の実施の形態において、「記録再生機能層」は、以下の如く定義する。光記録媒体において情報を記録するためには、色素材料や相変化材料に代表される、光の照射により光学的特性が変化する材料を含有する記録層の存在が必須である。また、一つの記録層(異なる材料を積層した2層以上の場合であっても、機能的に1つの記録層とみなせる場合を含む。以下の記載においても同様とする。)に対し、記録層への記録を補助するために、反射層や保護層等、種々の補助機能を持たせた層を更に積層させる形態が一般的である。本発明においては、一つの記録層を含む上記補助機能を有する種々の層全体を指して、「記録再生機能層」と呼ぶことにする。   In the embodiment of the present invention, the “recording / reproducing functional layer” is defined as follows. In order to record information on an optical recording medium, it is essential to have a recording layer containing a material whose optical characteristics change as a result of light irradiation, such as a dye material or a phase change material. Further, for one recording layer (including a case where two or more layers in which different materials are laminated includes a case where it can be regarded as one recording layer functionally, the same applies to the following description). In order to assist recording, a form in which a layer having various auxiliary functions such as a reflective layer and a protective layer is further laminated is common. In the present invention, the entire various layers having the auxiliary function including one recording layer are referred to as “recording / reproducing functional layer”.

ここで、本発明は、中心孔を有する円板状の基板上に、3層以上の記録再生機能層と、これらの記録再生機能層の間に介在し放射線硬化性樹脂原料からなる凹凸形状を有する複数の中間層とを有する光記録媒体の製造方法に関するものであり、前記基板形状及び前記複数の中間層を形成するために用いる前記複数のスタンパの形状に特徴を有するものである。前記複数のスタンパは、前記基板と同様中心孔を有する円板状の形状を有し、表面に前記複数の中間層の凹凸形状に対応した転写用凸形状を有してなる。さらに、前記複数のスタンパは、前記転写用凹凸形状を有する表面上に複数のスタンパの各々の中心(以降、スタンパ中心ともいう)と同心の円環状の微小突起を有し、前記複数の中間層のうち少なくとも1つの中間の層形成時に用いる前記複数のスタンパのうち1つのスタンパ上の微小突起の半径位置が、前記複数の中間層のうち他の中間層形成時に用いる前記複数のスタンパのうち他のスタンパ上の微小突起の半径位置と異なっている。   Here, the present invention has three or more recording / reproducing functional layers on a disc-shaped substrate having a central hole, and a concavo-convex shape made of a radiation curable resin material interposed between these recording / reproducing functional layers. The present invention relates to a method of manufacturing an optical recording medium having a plurality of intermediate layers, and is characterized by the shape of the substrate and the shapes of the plurality of stampers used to form the plurality of intermediate layers. The plurality of stampers have a disk shape having a central hole like the substrate, and have a transfer convex shape corresponding to the uneven shape of the plurality of intermediate layers on the surface. Further, the plurality of stampers have annular micro-projections concentric with the centers of the plurality of stampers (hereinafter also referred to as stamper centers) on the surface having the concavo-convex shape for transfer, and the plurality of intermediate layers Among the plurality of stampers used when forming the other intermediate layer among the plurality of intermediate layers, the radial position of the minute protrusion on one stamper among the plurality of stampers used when forming at least one intermediate layer among the plurality of stampers This is different from the radial position of the minute protrusion on the stamper.

基板上に放射線硬化性樹脂原料を介してスタンパを接着させ、放射線硬化性樹脂原料を放射線照射により硬化させることで凹凸形状が転写された中間層を形成し、その後、スタンパを剥離することで、所望の凹凸形状を有する中間層を実現することが可能である。   By attaching a stamper on a substrate via a radiation curable resin raw material, curing the radiation curable resin raw material by irradiation to form an intermediate layer to which the concavo-convex shape was transferred, and then peeling the stamper, It is possible to realize an intermediate layer having a desired uneven shape.

本発明の実施の形態においては、前記基板形状及び前記スタンパの形状を除く各層の材料及び製造方法について特に制限はなく、従来公知の技術によって適宜形成することができる。   In the embodiment of the present invention, the material and manufacturing method of each layer excluding the substrate shape and the stamper shape are not particularly limited, and can be appropriately formed by a conventionally known technique.

例えば、図1(a)に示すような、溝、ランド、及びプリピットが表面に凹凸で形成された基板101は、ポリカーボネート樹脂を原料として、ニッケル製スタンパ等を用いて射出成形すること等により作製することができる。また、第1記録再生機能層102については、記録層が有機色素を含有する場合は、有機色素を含有する塗布液を基板101の凹凸を有する側の表面にスピンコート等により塗布し、その後塗布液に使用した溶媒を除去するために加熱等を行うこと等により、記録層を成膜することができる。さらに、記録層を成膜した後、例えばAg合金等をスパッタまたは蒸着することにより、記録層上に反射層を成膜することができる。記録層が相変化材料等、無機材料である場合は、前記反射層と同様、スパッタまたは蒸着することにより成膜することができる。誘電体材料等からなる保護層等についても同様である。   For example, as shown in FIG. 1 (a), a substrate 101 having grooves, lands, and pre-pits formed on its surface is formed by injection molding using a nickel stamper or the like using a polycarbonate resin as a raw material. can do. For the first recording / reproducing functional layer 102, when the recording layer contains an organic dye, a coating solution containing the organic dye is applied to the surface of the substrate 101 having the unevenness by spin coating or the like, and then applied. The recording layer can be formed by heating to remove the solvent used in the liquid. Further, after forming the recording layer, the reflective layer can be formed on the recording layer by sputtering or vapor-depositing an Ag alloy or the like, for example. When the recording layer is an inorganic material such as a phase change material, it can be formed by sputtering or vapor deposition as in the case of the reflective layer. The same applies to a protective layer made of a dielectric material or the like.

上記基板101上に第1記録再生機能層102を形成した状態(以下、データ基板111と記載)を実現後(図1(a))、2P法により第1中間層103を形成する。   After realizing the state in which the first recording / reproducing functional layer 102 is formed on the substrate 101 (hereinafter referred to as the data substrate 111) (FIG. 1A), the first intermediate layer 103 is formed by the 2P method.

第1中間層103の形成方法は以下の通りである。まず、データ基板111の第1記録再生機能層102上に、第1中間層103の材料となる第1放射線硬化性樹脂原料103aを塗布する(図1(b))。更に、塗布した第1放射線硬化性樹脂原料103aに第1スタンパ112を貼り合わせ、放射線121を照射して第1放射線硬化性樹脂原料103aを硬化させる(図1(c))。その後、第1スタンパ112を剥離することで、所望の凹凸形状を有する第1中間層103が形成される。ここで、第1スタンパ112が放射線透過性材料からなる放射線透過性スタンパである場合は、第1スタンパ112側から放射線を照射して第1放射線硬化性樹脂原料103aを硬化させてもよいし、第1記録再生機能層が放射線照射により変質せず、十分な放射線透過性を有する場合は、第1スタンパ112としてメタルスタンパ等を用い、データ基板111側から放射線を照射してもよい。   The method for forming the first intermediate layer 103 is as follows. First, the first radiation curable resin material 103a, which is the material of the first intermediate layer 103, is applied on the first recording / reproducing functional layer 102 of the data substrate 111 (FIG. 1B). Furthermore, the 1st stamper 112 is bonded together to the apply | coated 1st radiation curable resin raw material 103a, the radiation 121 is irradiated, and the 1st radiation curable resin raw material 103a is hardened (FIG.1 (c)). Thereafter, the first stamper 112 is peeled off to form the first intermediate layer 103 having a desired uneven shape. Here, when the first stamper 112 is a radiation transmissive stamper made of a radiation transmissive material, the first radiation curable resin material 103a may be cured by irradiating radiation from the first stamper 112 side, When the first recording / reproducing functional layer is not deteriorated by radiation irradiation and has sufficient radiation transparency, a metal stamper or the like may be used as the first stamper 112 and radiation may be irradiated from the data substrate 111 side.

この際、データ基板111上に均一な膜厚で第1中間層103を形成することが望まれるため、種々の方法が用いられる。例えば、データ基板111上の内周部に第1放射線硬化性樹脂原料103aを滴下後、データ基板111を高速回転させることにより、第1放射線硬化性樹脂原料103aを延伸させて均一な第1中間層103を形成することが一般的である。また、データ基板111と第1スタンパ112を対向させ、その隙間に第1放射線硬化性樹脂原料103aを注入し、毛細管現象により第1放射線硬化性樹脂原料103aの延伸を促進するギャップディスペンス法も用いることができる。   At this time, since it is desired to form the first intermediate layer 103 with a uniform film thickness on the data substrate 111, various methods are used. For example, after the first radiation curable resin material 103a is dropped on the inner peripheral portion of the data substrate 111, the data substrate 111 is rotated at a high speed, thereby extending the first radiation curable resin material 103a to obtain a uniform first intermediate It is common to form layer 103. Further, a gap dispensing method is also used in which the data substrate 111 and the first stamper 112 are opposed to each other, the first radiation curable resin material 103a is injected into the gap, and the stretching of the first radiation curable resin material 103a is promoted by capillary action. be able to.

また、ここでは、第1中間層103が、単一の第1放射線硬化性樹脂原料103aからなる場合について記載したが、第1中間層103が2種以上の放射線硬化性樹脂原料からなる積層構造を有していてもよい。例えば、より凹凸形状の転写性に優れた第1転写層用放射線硬化性樹脂原料103b(図示せず)を準備し、上記第1放射線硬化性樹脂原料103aの塗布形成工程の前に、第1スタンパ112の凹凸形状を有する表面上に塗布、延伸し、放射線照射により第1転写層用放射線硬化性樹脂原料103bを硬化させ、第1スタンパ112の凹凸形状を有する表面上に第1転写層用放射線硬化性樹脂原料103bが硬化した層(以下、転写層と呼ぶことがある)が形成された状態で、前述の第1放射線硬化性樹脂原料103aの形成方法を行えばよい。第2中間層105についても同様である。   Here, the case where the first intermediate layer 103 is made of a single first radiation curable resin material 103a has been described, but the first intermediate layer 103 is a laminated structure made of two or more types of radiation curable resin materials. You may have. For example, a first transfer layer radiation curable resin raw material 103b (not shown) having a more excellent concavo-convex shape transferability is prepared, and before the first radiation curable resin raw material 103a coating and forming step, the first The stamper 112 is coated and stretched on the uneven surface of the stamper 112, and the radiation-curable resin raw material 103 b for the first transfer layer is cured by irradiation with radiation, and the first stamper 112 has the uneven surface for the first transfer layer. The formation method of the first radiation curable resin material 103a described above may be performed in a state in which a layer (hereinafter sometimes referred to as a transfer layer) formed by curing the radiation curable resin material 103b is formed. The same applies to the second intermediate layer 105.

次に、上記第1中間層103の形成工程後、第1中間層103上に、第1記録再生機能層102と同様に第2記録再生機能層104を形成する(図1(d))。この際、第2記録再生機能層104の層構成は、第1記録再生機能層102と同一であってもよいが、通常、異なる材料や層構成が適用される。   Next, after the step of forming the first intermediate layer 103, the second recording / reproducing functional layer 104 is formed on the first intermediate layer 103 in the same manner as the first recording / reproducing functional layer 102 (FIG. 1D). At this time, the layer configuration of the second recording / reproducing functional layer 104 may be the same as that of the first recording / reproducing functional layer 102, but usually different materials and layer configurations are applied.

次に、上記第2記録再生機能層104の形成工程後、第2記録再生機能層104上に、第1中間層103と同様に、第2放射線硬化性樹脂原料105aの塗布と、第2スタンパ113の貼り合わせと、放射線122の照射を行い、第2中間層105を形成する(図1(e)、(f))。この際、第2中間層105の材料、すなわち第2放射線硬化性樹脂原料105aについては、第1放射線硬化性樹脂原料103aと同一であってもよいが、異なる材料を用いてもよい。また、第1中間層103と同様に、より凹凸形状の転写性に優れた放射線硬化性樹脂原料105b(図示せず)を転写層として用いてもよい。   Next, after the step of forming the second recording / reproducing functional layer 104, the second radiation curable resin material 105 a is applied onto the second recording / reproducing functional layer 104 in the same manner as the first intermediate layer 103, and the second stamper is applied. The second intermediate layer 105 is formed by performing bonding of 113 and radiation 122 (FIGS. 1E and 1F). At this time, the material of the second intermediate layer 105, that is, the second radiation curable resin material 105a may be the same as the first radiation curable resin material 103a, but a different material may be used. Similarly to the first intermediate layer 103, a radiation curable resin material 105b (not shown) having a more concavo-convex shape and excellent transferability may be used as the transfer layer.

さらに、上記第2中間層105の形成工程後、第1記録再生機能層102及び第2記録再生機能層104と同様に、第2中間層105上に第3記録再生機能層106を形成する。この際、第3記録再生機能層106の層構成は、第1記録再生機能層102又は第2記録再生機能層104と同一であってもよいが、通常、異なる材料や層構成が適用される。   Further, after the step of forming the second intermediate layer 105, the third recording / reproducing functional layer 106 is formed on the second intermediate layer 105 in the same manner as the first recording / reproducing functional layer 102 and the second recording / reproducing functional layer 104. At this time, the layer configuration of the third recording / reproducing functional layer 106 may be the same as that of the first recording / reproducing functional layer 102 or the second recording / reproducing functional layer 104, but usually different materials and layer configurations are applied. .

さらに、上記第3記録再生機能層上に、放射線硬化性樹脂材料等をスピンコートにより塗布し、放射線照射により硬化させることにより、カバー層107を形成する(図1(g))。
以上の手順を行うことにより、光記録媒体100を完成させることができる。
Further, the cover layer 107 is formed by applying a radiation curable resin material or the like on the third recording / reproducing functional layer by spin coating and curing by radiation irradiation (FIG. 1 (g)).
By performing the above procedure, the optical recording medium 100 can be completed.

本願発明の特徴は、上記複数の中間層を有する光記録媒体の製造において、中間層の内周端近傍の形成状態を制御することにある。以下、中間層を2層有する光記録媒体の場合を例にとり、図2、図3を用いて中間層形成工程を含む製造方法について詳述する。   The feature of the present invention is that in the production of the optical recording medium having the plurality of intermediate layers, the formation state in the vicinity of the inner peripheral edge of the intermediate layer is controlled. Hereinafter, taking the case of an optical recording medium having two intermediate layers as an example, a manufacturing method including an intermediate layer forming step will be described in detail with reference to FIGS.

図2、3はいずれも、基板201、301上に第1記録再生機能層211、311を形成した状態(以下、データ基板と記載)にスタンパを貼り合わせた状態での、基板の中心孔203、303近傍の断面図である。図2、3において、図中右側が光記録媒体の中心孔側であり、図中左側が光記録媒体の外周側である。   2 and 3, the center hole 203 of the substrate in a state where the stamper is bonded to the state in which the first recording / reproducing functional layers 211 and 311 are formed on the substrates 201 and 301 (hereinafter referred to as a data substrate). , 303 is a cross-sectional view of the vicinity. 2 and 3, the right side in the figure is the center hole side of the optical recording medium, and the left side in the figure is the outer peripheral side of the optical recording medium.

図2では、基板201の中心孔203の近傍であって、光記録媒体の製造時にスタンパと向かい合う側の基板上の表面に、基板の中心(以降、基板中心ともいう)と同心の円環状の微小突起202が設けられている。また、スタンパ204、207の中心孔206、209の近傍であって、光記録媒体の製造時に基板と向かい合う側のスタンパ上の表面に、スタンパ中心と同心の円環状の微小突起205、208が設けられている。   In FIG. 2, an annular shape concentric with the center of the substrate (hereinafter also referred to as the substrate center) is formed on the surface of the substrate 201 in the vicinity of the center hole 203 of the substrate 201 and facing the stamper when the optical recording medium is manufactured. A minute protrusion 202 is provided. Also, annular minute projections 205 and 208 concentric with the stamper center are provided on the surface of the stamper 204 and 207 near the center holes 206 and 209 and on the surface of the stamper facing the substrate when the optical recording medium is manufactured. It has been.

図3では、基板301の中心孔303の近傍であって、光記録媒体の製造時にスタンパと向かい合う側の基板上の表面に、基板中心と同心の円環状の微小突起302が設けられている。また、スタンパ304、307の中心孔306、309の近傍であって、光記録媒体の製造時に基板と向かい合う側のスタンパ上の表面に、スタンパ中心と同心の円環状の微小突起305、308が設けられている。   In FIG. 3, an annular minute protrusion 302 concentric with the center of the substrate is provided on the surface of the substrate 301 in the vicinity of the center hole 303 and facing the stamper when the optical recording medium is manufactured. In addition, annular minute projections 305 and 308 concentric with the center of the stamper are provided on the surface of the stamper 304 and 307 near the center holes 306 and 309 and on the surface of the stamper facing the substrate when the optical recording medium is manufactured. It has been.

以下、図3により、従来技術の一例を詳細に説明する。
図3の(a)〜(d)は、基板上に形成される1層目の中間層(第1中間層)の形成工程(第1中間層形成工程)を示すものでもある。図3の(e)〜(h)は、基板上に形成される2層目の中間層(第2中間層)の形成工程(第2中間層形成工程)を示すものでもある。
Hereinafter, an example of the prior art will be described in detail with reference to FIG.
FIGS. 3A to 3D also show a step of forming a first intermediate layer (first intermediate layer) formed on the substrate (first intermediate layer forming step). FIGS. 3E to 3H also show a second intermediate layer (second intermediate layer) forming step (second intermediate layer forming step) formed on the substrate.

まず、第1記録再生機能層311を設けた基板301の微小突起302が設けられた面と、あらかじめ転写層312を設けた第1スタンパ304の微小突起305が設けられた面とを対向させる(図3(a))。ここでは、第1スタンパ上の微小突起305と基板上の微小突起302が略同一の半径位置に設けられている。   First, the surface of the substrate 301 provided with the first recording / reproducing functional layer 311 is provided with the surface provided with the fine protrusions 302 of the first stamper 304 provided with the transfer layer 312 in advance. FIG. 3 (a)). Here, the minute protrusions 305 on the first stamper and the minute protrusions 302 on the substrate are provided at substantially the same radial position.

次に、基板301と第1スタンパ304の間隙に、第1放射線硬化性樹脂原料313aをギャップディスペンス法により充填し、基板301と第1スタンパ304を捻るように低速回転させたり、荷重をかけること等により、第1放射線硬化性樹脂原料313aを基板面全体にある程度延伸させる(図3(b))。   Next, the gap between the substrate 301 and the first stamper 304 is filled with the first radiation curable resin raw material 313a by the gap dispensing method, and the substrate 301 and the first stamper 304 are rotated at a low speed or a load is applied. Etc., the first radiation curable resin raw material 313a is stretched to some extent over the entire substrate surface (FIG. 3B).

さらに、内周側より減圧吸引を行い、第1放射線硬化性樹脂原料313aを、基板上の微小突起302及び第1スタンパ上微小突起305で塞き止めることにより所望の半径位置まで形成したのち、基板301と第1スタンパ304を同時に高速回転させ、基板外周部まで第1放射線硬化性樹脂原料313aを延伸させ、その後、放射線331を照射して第1放射線硬化性樹脂原料313aを硬化させる(図3(c))。ここでは、第1スタンパ上の微小突起305と基板上の微小突起302が略同一の半径位置に設けられているため、第1放射線硬化性樹脂材料313aを十分塞き止めることができ、第1中間層313の内周側端部321の乱れが生じにくい。
次に、第1スタンパ304を基板301から剥離させ、基板上に第1中間層313の形成を完了する(図3(d))。
Furthermore, vacuum suction is performed from the inner peripheral side, and after forming the first radiation curable resin raw material 313a to a desired radial position by blocking with the microprojections 302 on the substrate and the microprojections 305 on the first stamper, The substrate 301 and the first stamper 304 are simultaneously rotated at a high speed to extend the first radiation curable resin material 313a to the outer periphery of the substrate, and then the radiation 331 is irradiated to cure the first radiation curable resin material 313a (FIG. 3 (c)). Here, since the minute protrusion 305 on the first stamper and the minute protrusion 302 on the substrate are provided at substantially the same radial position, the first radiation curable resin material 313a can be sufficiently blocked, and the first Disturbance of the inner peripheral side end 321 of the intermediate layer 313 hardly occurs.
Next, the first stamper 304 is peeled from the substrate 301 to complete the formation of the first intermediate layer 313 on the substrate (FIG. 3D).

上記図3(a)〜(d)は、1層の中間層を有する光記録媒体の場合の中間層形成工程を示すものでもあり、1層の中間層のみの形成では、特に問題は生じない。   FIGS. 3A to 3D show the intermediate layer forming step in the case of an optical recording medium having one intermediate layer, and no particular problem arises when only one intermediate layer is formed. .

その後、第1中間層上に第2記録再生機能層314を形成し、図3(a)と同様、第2記録再生機能層314が形成された基板301の微小突起302が設けられた面と、あらかじめ転写層315を設けた第2スタンパ307の微小突起308が設けられた面とを対向させる(図3(e))。   Thereafter, a second recording / reproducing functional layer 314 is formed on the first intermediate layer, and the surface of the substrate 301 on which the second recording / reproducing functional layer 314 is formed is provided with the fine protrusions 302 as in FIG. Then, the surface of the second stamper 307 provided with the transfer layer 315 in advance is opposed to the surface provided with the fine protrusions 308 (FIG. 3E).

次に、図3(b)と同様、基板301と第2スタンパ307の間隙に、第2放射線硬化性樹脂原料316aをギャップディスペンス法により充填し、第2放射線硬化性樹脂原料316aを内周側にある程度延伸させる(図3(f))。   Next, as in FIG. 3B, the gap between the substrate 301 and the second stamper 307 is filled with the second radiation curable resin material 316a by the gap dispensing method, and the second radiation curable resin material 316a is filled on the inner peripheral side. To some extent (FIG. 3 (f)).

そして、図3(c)と同様、内周側より減圧吸引を行い、第2放射線硬化性樹脂原料316aを、第2スタンパ上の微小突起308で塞き止めることにより所望の半径位置まで形成したのち、基板301と第2スタンパ307を同時に高速回転させ、基板外周部まで第2放射線硬化性樹脂原料を延伸させ、その後、放射線332を照射して第2放射線硬化性樹脂原料316aを硬化させる(図3(g))。   Then, similarly to FIG. 3C, vacuum suction is performed from the inner peripheral side, and the second radiation curable resin material 316a is formed to a desired radial position by blocking with the fine protrusions 308 on the second stamper. After that, the substrate 301 and the second stamper 307 are simultaneously rotated at high speed, the second radiation curable resin material is stretched to the outer periphery of the substrate, and then the radiation 332 is irradiated to cure the second radiation curable resin material 316a ( FIG. 3 (g)).

しかしながらこの際、基板上の微小突起302は第1中間層313と一体化してしまっているため、第2スタンパ上の微小突起308のみでは塞き止め効果が小さく、また、第1中間層313により形成された段差の近傍にまで第2放射線硬化性樹脂原料316aが延伸されるため、部分的には図3(g)に示すように第2放射線硬化性樹脂原料316aが第2スタンパ上の微小突起308の半径位置よりも内周側に漏れこんでしまう状態となりやすい。   However, at this time, since the minute protrusions 302 on the substrate are integrated with the first intermediate layer 313, only the minute protrusions 308 on the second stamper have a small blocking effect, and the first intermediate layer 313 Since the second radiation curable resin raw material 316a is stretched to the vicinity of the formed step, the second radiation curable resin raw material 316a is partially formed on the second stamper as shown in FIG. It tends to leak into the inner peripheral side of the radial position of the protrusion 308.

この後、図3(d)と同様、第2スタンパ307を基板301から剥離させ、基板上に第2中間層316の形成を完了するのであるが、上記部分的な樹脂材料の漏れ込みにより、基板301と第2スタンパ307の接着状態が不均一となるため、剥離後に基板上の第2中間層の内周側端部322に樹脂材料が一部残ってしまうなどの乱れが生じる傾向が強くなり(図3(h))、場合によっては剥離そのものが不可能となる場合が生じてしまう。   Thereafter, as in FIG. 3D, the second stamper 307 is peeled off from the substrate 301 to complete the formation of the second intermediate layer 316 on the substrate. However, due to the partial leakage of the resin material, Since the bonding state between the substrate 301 and the second stamper 307 is not uniform, there is a strong tendency to cause a disorder such as a part of the resin material remaining on the inner peripheral side end 322 of the second intermediate layer on the substrate after peeling. (FIG. 3 (h)), and in some cases, peeling may be impossible.

更にはこの後、第2中間層上に第3記録再生機能層を形成し、さらにカバー層をスピンコート等により形成することで、光記録媒体が完成するのであるが、第2中間層の内周側端部322の乱れは、カバー層の塗布状態にも悪影響を与え、カバー層の膜厚の不均一を引き起こし、カバー層内に気泡を発生させてしまう場合が生じる。   Further, after that, the third recording / reproducing functional layer is formed on the second intermediate layer, and the cover layer is further formed by spin coating or the like, whereby the optical recording medium is completed. Disturbance of the peripheral end 322 also adversely affects the application state of the cover layer, causes non-uniform film thickness of the cover layer, and may generate bubbles in the cover layer.

これに対し、本願発明の最も好ましい基本工程は図2によって説明される。すなわち、第1中間層213を形成するための第1スタンパ上の微小突起205の位置を、第2中間層216を形成するための第2スタンパ上の微小突起208の位置よりも外周側に設けることが従来技術(図3)との相違である。図2に示す通り、第1中間層213を形成するためにデータ基板と第1スタンパ204を貼り合わせた際には、微小突起の位置がずれており、第1スタンパ上の微小突起205がより外周側に存在する。従って、第1中間層の内周側端部221の形成位置は、第1スタンパ上の微小突起205の位置により決定され、基板上の微小突起202からは離れた位置となる。   In contrast, the most preferred basic process of the present invention is illustrated by FIG. That is, the position of the minute protrusion 205 on the first stamper for forming the first intermediate layer 213 is provided on the outer peripheral side with respect to the position of the minute protrusion 208 on the second stamper for forming the second intermediate layer 216. This is the difference from the prior art (FIG. 3). As shown in FIG. 2, when the data substrate and the first stamper 204 are bonded to form the first intermediate layer 213, the position of the minute protrusion is shifted, and the minute protrusion 205 on the first stamper is more Present on the outer periphery. Therefore, the formation position of the inner peripheral side end 221 of the first intermediate layer is determined by the position of the minute protrusion 205 on the first stamper, and is located away from the minute protrusion 202 on the substrate.

次に、第2中間層216を形成する際には、第1スタンパ204よりも内周側に微小突起208を設けた第2スタンパ207を使用する。このようにすることにより、第2中間層の内周側端部222がより乱れの少ない状態で形成可能となる。この際、第2スタンパ上の微小突起208と同じ半径位置に微小突起202を設けた基板を用いると、放射線硬化性樹脂原料の塞き止め効果が更に強くなり好ましい。   Next, when the second intermediate layer 216 is formed, the second stamper 207 provided with the minute protrusions 208 on the inner peripheral side of the first stamper 204 is used. By doing so, the inner peripheral end 222 of the second intermediate layer can be formed with less disturbance. At this time, it is preferable to use a substrate in which the minute protrusions 202 are provided at the same radial position as the minute protrusions 208 on the second stamper because the effect of blocking the radiation curable resin material is further strengthened.

第1中間層の内周側端部221は、図2(c)のように第1スタンパ上の微小突起205のみで放射線硬化性樹脂原料を塞き止めた場合、基板上にも同じ半径位置に微小突起が存在する場合に比べると、内周側端部が若干乱れる傾向にあるが、第1中間層の内周側端部221は、第2中間層216によって完全に覆われる形となるため、第2中間層や最表面のカバー層形成時に悪影響を与える可能性が低い。   When the radiation curable resin raw material is blocked by only the minute protrusions 205 on the first stamper as shown in FIG. 2C, the inner peripheral side end 221 of the first intermediate layer has the same radial position on the substrate. However, the inner peripheral side end 221 of the first intermediate layer is completely covered by the second intermediate layer 216, although the inner peripheral side end tends to be slightly disturbed. Therefore, there is a low possibility that the second intermediate layer or the outermost cover layer is adversely affected.

以下、図2を用いて、本発明の好ましい態様について詳細に説明する。ここでは、3層の記録再生機能層及び2層の中間層を有する光記録媒体の製造方法について詳述する。いずれの中間層も、スタンパにあらかじめ転写層を設けた2層構造の場合についてのものである。   Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. Here, a method for producing an optical recording medium having three recording / reproducing functional layers and two intermediate layers will be described in detail. Each of the intermediate layers is for a two-layer structure in which a transfer layer is provided in advance on a stamper.

図2の(a)〜(d)は、基板上に形成される1層目の中間層(第1中間層)の形成工程(第1中間層形成工程)を示すものでもある。図3の(e)〜(h)は、基板上に形成される2層目の中間層(第2中間層)の形成工程(第2中間層形成工程)を示すものでもある。
図2(a)〜(d)の第1中間層形成工程については、図3の場合とほぼ同様である。
2A to 2D also show a step of forming a first intermediate layer (first intermediate layer) formed on the substrate (first intermediate layer forming step). FIGS. 3E to 3H also show a second intermediate layer (second intermediate layer) forming step (second intermediate layer forming step) formed on the substrate.
The first intermediate layer forming step in FIGS. 2A to 2D is substantially the same as in FIG.

まず、第1記録再生機能層211を設けた基板201の微小突起202が設けられた面と、あらかじめ転写層212を設けた第1スタンパ204の微小突起205が設けられた面とを対向させる(図2(a))。ここでは、第1スタンパ上の微小突起205は、基板上の微小突起202よりも外周側の半径位置に設けられている。   First, the surface of the substrate 201 provided with the first recording / reproducing functional layer 211 provided with the fine protrusions 202 and the surface provided with the fine protrusions 205 of the first stamper 204 provided with the transfer layer 212 in advance are opposed to each other ( FIG. 2 (a)). Here, the minute protrusion 205 on the first stamper is provided at a radial position on the outer peripheral side of the minute protrusion 202 on the substrate.

次に、基板201と第1スタンパ204の間隙に、第1放射線硬化性樹脂原料213aをギャップディスペンス法により充填し、基板201と第1スタンパ204を捻るように低速回転させたり、荷重をかけること等により、第1放射線硬化性樹脂原料213aを基板面全体にある程度延伸させる(図2(b))。   Next, the gap between the substrate 201 and the first stamper 204 is filled with the first radiation curable resin raw material 213a by the gap dispensing method, and the substrate 201 and the first stamper 204 are rotated at a low speed or a load is applied. Etc., the first radiation curable resin raw material 213a is stretched to some extent over the entire substrate surface (FIG. 2B).

さらに、内周側より減圧吸引を行い、第1放射線硬化性樹脂原料213aを、第1スタンパ上微小突起205で塞き止めることにより所望の半径位置まで形成したのち、基板201と第1スタンパ204を同時に高速回転させ、基板外周部まで第1放射線硬化性樹脂原料を延伸させ、その後、放射線231を照射して第1放射線硬化性樹脂原料213aを硬化させる(図2(c))。ここでは、第1スタンパ上の微小突起205のみで樹脂材料を塞き止めることになる。この際、基板201と第1スタンパ204を高速回転させる前に、内周部近傍のみを先にマスク等を用いて放射線照射により硬化させておくと、高速回転時に内周側から気泡が混入することを抑制できるため好ましい。
次に、第1スタンパ204を基板201から剥離させ、基板上に第1中間層213の形成を完了する(図2(d))。
Further, vacuum suction is performed from the inner peripheral side, and the first radiation curable resin raw material 213a is blocked by the first protrusions on the first stamper 205 to form a desired radial position, and then the substrate 201 and the first stamper 204 are formed. Are simultaneously rotated at a high speed to extend the first radiation curable resin material to the outer periphery of the substrate, and then the radiation 231 is irradiated to cure the first radiation curable resin material 213a (FIG. 2C). Here, the resin material is blocked only by the minute protrusions 205 on the first stamper. At this time, before the substrate 201 and the first stamper 204 are rotated at high speed, if only the vicinity of the inner peripheral portion is first cured by radiation using a mask or the like, bubbles are mixed from the inner peripheral side during high-speed rotation. Since it can suppress that, it is preferable.
Next, the first stamper 204 is peeled off from the substrate 201 to complete the formation of the first intermediate layer 213 on the substrate (FIG. 2D).

その後、第1中間層213上に第2記録再生機能層214を形成し、図2(a)と同様、第2記録再生機能層214が形成された基板201の微小突起202が設けられた面と、あらかじめ転写層215を設けた第2スタンパ207の微小突起208が設けられた面とを対向させる(図2(e))。   After that, the second recording / reproducing functional layer 214 is formed on the first intermediate layer 213, and the surface on which the minute projections 202 of the substrate 201 on which the second recording / reproducing functional layer 214 is formed is provided as in FIG. And the surface of the second stamper 207 provided with the transfer layer 215 in advance with the surface provided with the fine protrusions 208 (FIG. 2E).

次に、図2(b)と同様、基板201と第2スタンパ207の間隙に、第2放射線硬化性樹脂原料216aをギャップディスペンス法により充填し、基板201と第2スタンパ207を捻るように低速回転させたり、荷重をかけること等により、第2放射線硬化性樹脂原料216aを基板面全体にある程度延伸させる(図2(f))。   Next, as in FIG. 2B, the gap between the substrate 201 and the second stamper 207 is filled with the second radiation curable resin raw material 216a by the gap dispensing method, and the substrate 201 and the second stamper 207 are twisted at a low speed. By rotating or applying a load, the second radiation curable resin material 216a is stretched to some extent over the entire substrate surface (FIG. 2 (f)).

そして、図2(c)と同様、内周側より減圧吸引を行い、第2放射線硬化性樹脂原料216aを、基板上の微小突起202及び第2スタンパ上の微小突起208で塞き止めることにより所望の半径位置まで形成したのち、基板201と第2スタンパ207を同時に高速回転させ、基板外周部まで第2放射線硬化性樹脂原料216aを延伸させ、その後、放射線232を照射して第2放射線硬化性樹脂原料216aを硬化させる(図2(g))。この際、基板上の微小突起202が、第2スタンパ上の微小突起208と略同一の半径位置に存在することで、より確実に第2放射線硬化性樹脂原料216aを塞き止めることが可能となる。従って、図3(g)のような第2中間層の内周側端部222の乱れが生じにくく、剥離不良やカバー層形成時の不良の発生確率を低くすることが可能となる。   Then, similarly to FIG. 2C, vacuum suction is performed from the inner peripheral side, and the second radiation curable resin raw material 216a is blocked by the micro protrusions 202 on the substrate and the micro protrusions 208 on the second stamper. After forming to a desired radius position, the substrate 201 and the second stamper 207 are simultaneously rotated at a high speed, the second radiation curable resin material 216a is stretched to the outer periphery of the substrate, and then the radiation 232 is irradiated to perform the second radiation curing. The functional resin material 216a is cured (FIG. 2 (g)). At this time, the minute projections 202 on the substrate are present at substantially the same radial position as the minute projections 208 on the second stamper, so that the second radiation curable resin material 216a can be more reliably blocked. Become. Therefore, the inner end 222 of the second intermediate layer is unlikely to be disturbed as shown in FIG. 3G, and it is possible to reduce the probability of occurrence of defective peeling or defective cover layer formation.

さらに、図2(d)と同様、第2スタンパ207を基板201から剥離させ、基板上に第2中間層216の形成を完了する(図2(h))。
この後、第2中間層上に第3記録再生機能層を形成し、さらにカバー層をスピンコート等により形成することで、光記録媒体が完成する。
Further, as in FIG. 2D, the second stamper 207 is peeled from the substrate 201, and the formation of the second intermediate layer 216 on the substrate is completed (FIG. 2H).
Thereafter, the third recording / reproducing functional layer is formed on the second intermediate layer, and the cover layer is formed by spin coating or the like, thereby completing the optical recording medium.

以上、図2を用いて、2層の中間層を有する光記録媒体の場合について、本願発明の特徴について説明したが、3層以上の中間層を有する光記録媒体においても、本願発明は有効である。すなわち、複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いるスタンパ上の微小突起が、複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる他のスタンパ上の微小突起よりも外周側に位置していることが重要であり、これにより、中間層の内周側端部の乱れが生じにくく、欠陥の少ない、均一性に優れた中間層及びカバー層を実現することが可能となる。また、基板上の微小突起が、複数の中間層のうち最後に積層される中間層の形成に用いるスタンパ上の微小突起と略同一の半径位置に存在することがより好ましい。このようにすることで、最後に積層される中間層の内周部での放射線硬化性樹脂原料の塞き止め効果がより効果的となる。   As described above, the characteristics of the present invention have been described with respect to the case of the optical recording medium having two intermediate layers with reference to FIG. 2. However, the present invention is also effective for an optical recording medium having three or more intermediate layers. is there. That is, the minute protrusion on the stamper used when forming the intermediate layer that is laminated first among the plurality of intermediate layers is smaller than the minute protrusion on the other stamper used when forming the intermediate layer that is laminated later among the plurality of intermediate layers. Also, it is important that the intermediate layer and the cover layer are less likely to be disturbed at the inner peripheral side end portion of the intermediate layer, have fewer defects, and have excellent uniformity. It becomes possible. More preferably, the microprotrusions on the substrate are present at substantially the same radial position as the microprotrusions on the stamper used for forming the last intermediate layer of the plurality of intermediate layers. By doing in this way, the blocking effect of the radiation curable resin raw material in the inner peripheral part of the intermediate | middle layer laminated | stacked last becomes more effective.

また、図2においては、複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いるスタンパ上の微小突起が、複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる他のスタンパ上の微小突起よりも外周側に位置している態様について説明したが、逆に、複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いるスタンパ上の微小突起が、複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる他のスタンパ上の微小突起よりも内周側に位置している態様も好ましい(図示せず)。このような態様とすることで、後に積層される中間層の内周側端部の形成位置が、先に積層される中間層によって形成される段差の近傍から離れるため、微小突起よりも内周側への放射線硬化性樹脂原料の漏れ込みが発生しにくくなるからである。   In FIG. 2, the minute protrusions on the stamper used when forming the intermediate layer that is laminated first among the plurality of intermediate layers are replaced with other stampers used when forming the intermediate layer that is laminated later among the plurality of intermediate layers. Although the aspect located on the outer peripheral side with respect to the upper microprotrusions has been described, conversely, the microprotrusions on the stamper used when forming the intermediate layer to be laminated first among the plurality of intermediate layers include the plurality of intermediate layers. Of these, an embodiment is also preferable (not shown) that is located on the inner peripheral side with respect to the minute protrusions on the other stamper used when forming the intermediate layer to be laminated later. By adopting such an aspect, the formation position of the inner peripheral side end portion of the intermediate layer to be laminated later is away from the vicinity of the step formed by the intermediate layer to be laminated first. This is because it is difficult for the radiation curable resin material to leak into the side.

すなわち、本発明においては、複数の中間層のうち少なくとも1つの中間層形成時に用いるスタンパ上の微小突起の半径位置が、複数の中間層のうち他の中間層形成時に用いる他のスタンパ上の微小突起の半径位置と異なることが重要であると言える。   That is, in the present invention, the radial position of the minute protrusion on the stamper used when forming at least one intermediate layer among the plurality of intermediate layers is the same as the minute position on the other stamper used when forming another intermediate layer among the plurality of intermediate layers. It can be said that it is important to be different from the radial position of the protrusion.

(微小突起について)
以下、微小突起に着目して、更に本発明について詳述する。
本発明に用いる基板は、中心孔を有する円板状であるが、一般に、情報が記録される情報記録領域は、基板面全面に設けられている訳ではない。光記録媒体の記録再生時は、中心孔をスピンドルに貫通させて光記録媒体を固定するため、光記録媒体の内周側には基板を固定するためのクランプエリアが設定されている。このクランプエリアは、略平面であることが要求されるため、本発明の微小突起を形成することは出来ない。すなわち、本発明において、基板上の微小突起が形成される中心孔近傍とは、基板の中心孔から、クランプエリアの内径までの領域を指す。ブルーレイディスクの場合を例に取ると、中心孔が半径7.5mmであり、クランプエリアが半径11.5mm〜16.5mmに設定されているため、基板上の微小突起が形成される中心孔近傍の半径位置は、半径7.5〜11.5mmの領域が好ましい。このことは、スタンパ上の微小突起においても同様である。中間層形成工程において、スタンパの微小突起を有する面と基板の微小突起を有する面とを対向させた際に、基板の中心孔から、クランプエリアの内径までの領域に、スタンパ上の微小突起が形成されることが好ましい。微小突起の形成される半径位置は、基板及びスタンパともに、好ましくは半径10.0mm〜11.0mmである。
(About minute protrusions)
Hereinafter, the present invention will be described in detail with a focus on minute protrusions.
The substrate used in the present invention has a disk shape having a central hole, but generally, an information recording area in which information is recorded is not provided on the entire surface of the substrate. At the time of recording / reproducing of the optical recording medium, a clamp area for fixing the substrate is set on the inner peripheral side of the optical recording medium in order to fix the optical recording medium by passing the center hole through the spindle. Since this clamp area is required to be substantially flat, it is not possible to form the microprojections of the present invention. That is, in the present invention, the vicinity of the center hole where the minute projections on the substrate are formed refers to a region from the center hole of the substrate to the inner diameter of the clamp area. Taking the case of a Blu-ray disc as an example, the center hole has a radius of 7.5 mm, and the clamp area is set to a radius of 11.5 mm to 16.5 mm. The radial position is preferably a region having a radius of 7.5 to 11.5 mm. The same applies to the minute protrusions on the stamper. In the intermediate layer forming step, when the surface of the stamper having the microprotrusions and the surface of the substrate having microprotrusions face each other, the microprotrusions on the stamper are formed in the region from the center hole of the substrate to the inner diameter of the clamp area. Preferably it is formed. The radius position where the microprotrusions are formed is preferably a radius of 10.0 mm to 11.0 mm for both the substrate and the stamper.

基板及びスタンパ上の微小突起は、それぞれの中心孔近傍に円環状に形成されるが、完全に連続しておらず、断続的に形成されていてもよい。放射線硬化性樹脂原料を塞き止める機能を発揮できる範囲内であれば、部分的に不連続であっても構わない。むしろ、前述の中心孔からの減圧吸引効果を高めるために、微小突起を断続的に形成することは好ましい。   The minute protrusions on the substrate and the stamper are formed in an annular shape in the vicinity of the respective center holes, but may not be completely continuous but may be formed intermittently. It may be partially discontinuous as long as the function of blocking the radiation curable resin raw material is exhibited. Rather, it is preferable to form the microprotrusions intermittently in order to enhance the vacuum suction effect from the center hole.

基板上及びスタンパ上の微小突起の半径方向の断面形状に特に制限はなく、方形状、台形状、三角状、半円状等が用いられる。微小突起の半径方向の断面における最大幅は、製造上都合のよい寸法を適宜選択可能であるが、通常0.05mm〜1.0mm程度である。基板表面あるいはスタンパ表面からの微小突起の高さは、得ようとする中間層の厚みにもよるが、5μm以上が好ましく、更に好ましくは10μm以上である。これより低いと、放射線硬化性樹脂原料の塞き止め効果が十分ではなくなる可能性がある。また、微小突起の高さの上限は、得ようとする中間層の厚みより低いことが好ましく、通常70μm以下、好ましくは50μm以下、更に好ましくは30μm以下である。   There is no particular limitation on the radial cross-sectional shape of the minute protrusions on the substrate and the stamper, and a square shape, a trapezoidal shape, a triangular shape, a semicircular shape, or the like is used. Although the maximum width in the radial cross section of the microprotrusions can be selected as appropriate in terms of manufacturing convenience, it is usually about 0.05 mm to 1.0 mm. The height of the minute protrusions from the substrate surface or stamper surface is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, although it depends on the thickness of the intermediate layer to be obtained. If it is lower than this, the blocking effect of the radiation curable resin material may not be sufficient. Further, the upper limit of the height of the fine protrusion is preferably lower than the thickness of the intermediate layer to be obtained, and is usually 70 μm or less, preferably 50 μm or less, and more preferably 30 μm or less.

ここで、基板上及びスタンパ上の微小突起の高さは、円周一周に渡って均一である必要は無い。高さに若干のバラツキがあっても構わないし、部分的に微小突起が存在しない領域が存在する、円周方向に断続的な形状であっても構わない。放射線硬化性樹脂の塞き止め効果としては、このような不均一な状態であっても十分機能するからである。また、このような不均一な状態の方が、内周側からの減圧吸引効果が高くなりむしろ好ましい。   Here, the heights of the minute protrusions on the substrate and the stamper do not need to be uniform over the entire circumference. There may be some variation in the height, or it may be an intermittent shape in the circumferential direction in which there is a region where there is no microprojection partially. This is because the blocking effect of the radiation curable resin functions sufficiently even in such a non-uniform state. In addition, such a non-uniform state is rather preferable because the reduced pressure suction effect from the inner peripheral side becomes higher.

微小突起を断続的に形成する場合は、部分的に微小突起を完全に除去してもよいが、部分的に微小突起の高さを低くする方が望ましい。完全に除去する場合、前記微小突起の塞き止め効果が十分に得られない状態となる領域の、円周方向の長さについては、使用する材料の粘度等にもよるが、1.0mm以下程度とすることが好ましい。この程度であれば、放射線硬化性樹脂原料が、微小突起の半径位置よりも内周側に漏れ出す可能性が低くなるからである。   When the minute protrusions are intermittently formed, the minute protrusions may be partially removed, but it is desirable to partially reduce the height of the minute protrusions. In the case of complete removal, the length in the circumferential direction of the region where the effect of blocking the microprotrusions cannot be sufficiently obtained is 1.0 mm or less, although it depends on the viscosity of the material used. It is preferable to set the degree. This is because the possibility that the radiation curable resin raw material leaks to the inner peripheral side from the radial position of the fine protrusions is reduced at this level.

中間層の膜厚については、光記録媒体の種類や記録層の層数により適宜設定されるが、3層BD−Rの場合、第1中間層の厚みは20μm〜30μm、第2中間層の厚みは13μm〜23μm程度である。   The thickness of the intermediate layer is appropriately set depending on the type of optical recording medium and the number of recording layers. In the case of a three-layer BD-R, the thickness of the first intermediate layer is 20 μm to 30 μm, The thickness is about 13 μm to 23 μm.

本発明において、複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いるスタンパ上の微小突起は、複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる他のスタンパ上の微小突起よりも外周側に位置していることが好ましいが、前記2つの微小突起の半径方向の距離は、近すぎると本発明の効果が得にくくなるため、0.2mm以上離れていることが好ましい。より好ましくは0.4mm以上である。上限は、光記録媒体の層数と中心孔近傍の幅によりおのずと決定される。   In the present invention, the minute protrusions on the stamper used when forming the intermediate layer to be laminated first among the plurality of intermediate layers are the minute protrusions on the other stampers used when forming the intermediate layer to be laminated later among the plurality of intermediate layers. Although it is preferable that it is located on the outer peripheral side of the protrusion, it is preferable that the distance between the two minute protrusions in the radial direction is 0.2 mm or more because it is difficult to obtain the effect of the present invention if the distance is too close. . More preferably, it is 0.4 mm or more. The upper limit is naturally determined by the number of layers of the optical recording medium and the width near the center hole.

また、複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いるスタンパ上の微小突起は、複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる他のスタンパ上の微小突起よりも内周側に位置している場合も、2つの微小突起の半径方向の距離については上述の通り、0.2mm以上離れていることが好ましく、より好ましくは0.4mm以上離れていることが好ましく、上限は、光記録媒体の層数と中心孔近傍の幅によりおのずと決定される。   Also, the fine protrusion on the stamper used when forming the intermediate layer that is laminated first among the plurality of intermediate layers is smaller than the fine protrusion on the other stamper that is used when forming the intermediate layer that is laminated later among the plurality of intermediate layers. As for the distance in the radial direction of the two microprotrusions, as described above, it is preferably 0.2 mm or more, more preferably 0.4 mm or more. Preferably, the upper limit is naturally determined by the number of layers of the optical recording medium and the width near the center hole.

本発明においては、スタンパ上の微小突起が、上述の関係を満たしていればよく、基板上に微小突起を有している必要はないが、基板上にもスタンパ上と同様の微小突起を有しており、複数の中間層のうち最後に積層される中間層の形成に用いるスタンパ上の微小突起と略同一の半径位置に、基板上の微小突起が存在することが好ましい。最後に積層される中間層用の放射線硬化性樹脂原料の塞き止め効果がより大きくなるからである。ここで、略同一とは、両微小突起の半径位置のずれが±0.2mm未満であることを指す。この範囲内であれば、中間層の内周側端部の乱れを効果的に抑えることが可能である。この場合、基板上の異なる半径位置に複数の微小突起を有しており、各スタンパ上の微小突起位置に対応した位置にあることが好ましい。このような基板を用いることで、放射線硬化性樹脂原料の塞き止め効果がより大きくなるからである。   In the present invention, the fine protrusions on the stamper need only satisfy the above-mentioned relationship, and it is not necessary to have the fine protrusions on the substrate, but the substrate has the same fine protrusions as on the stamper. In addition, it is preferable that the microprotrusions on the substrate exist at substantially the same radial position as the microprotrusions on the stamper used for forming the intermediate layer to be laminated last among the plurality of intermediate layers. This is because the blocking effect of the radiation curable resin raw material for the intermediate layer that is finally laminated is further increased. Here, “substantially the same” means that the deviation of the radial position of both microprotrusions is less than ± 0.2 mm. Within this range, it is possible to effectively suppress the disturbance at the inner peripheral side end of the intermediate layer. In this case, it is preferable that a plurality of minute protrusions are provided at different radial positions on the substrate, and the positions correspond to the minute protrusion positions on each stamper. This is because by using such a substrate, the blocking effect of the radiation curable resin material is further increased.

(スタンパについて)
本発明の実施の形態において使用されるスタンパは、ニッケル等の金属材料からなるメタルスタンパや、ガラスからなるガラススタンパ、樹脂材料からなる樹脂スタンパ等、従来公知のものが適宜使用可能である。樹脂スタンパの内、放射線透過性を有するスタンパを放射線透過性スタンパと呼ぶ。
(About stamper)
As the stamper used in the embodiment of the present invention, conventionally known ones such as a metal stamper made of a metal material such as nickel, a glass stamper made of glass, and a resin stamper made of a resin material can be appropriately used. Of the resin stampers, a stamper having radiation transparency is referred to as a radiation transmission stamper.

本発明の実施の形態において使用される放射線透過性スタンパの「放射線透過性」とは、放射線硬化性樹脂原料を硬化させる際の放射線に対する透過性をいうものとする。具体的には、上記放射線について、通常30%以上、好ましくは50%以上、より好ましくは60%以上の透過性があることを言う。一方、上記放射線に対する透過性は、理想的には100%であるが、通常は、99.9%以下の値となる。
なお、本発明においては、「放射線」を、電子線、紫外線、可視光、赤外線を含む意味で用いる。
The “radiation transparency” of the radiation transmission stamper used in the embodiment of the present invention refers to the radiation permeability when the radiation curable resin material is cured. Specifically, it means that the radiation has a transparency of usually 30% or more, preferably 50% or more, more preferably 60% or more. On the other hand, the transmittance with respect to the radiation is ideally 100%, but usually 99.9% or less.
In the present invention, “radiation” is used to include electron beams, ultraviolet rays, visible light, and infrared rays.

放射線透過性スタンパは、放射線の照射をスタンパから行うことが可能であるため、記録再生機能層、基板等の放射線透過率に影響を受けずに樹脂材料の硬化が可能であり、本発明に好ましく用いられる。   Since the radiation transmissive stamper can be irradiated with radiation from the stamper, the resin material can be cured without being affected by the radiation transmittance of the recording / reproducing functional layer, the substrate, etc., which is preferable for the present invention. Used.

放射線透過性スタンパとしては、従来公知の材料を用い、公知の製造方法により製造されるものを適宜用いることができる。放射線透過性スタンパの材料としては、例えば、ポリオレフィン系樹脂やポリスチレン系樹脂等の非極性材料、あるいはポリカーボネート系樹脂、アクリル系樹脂等の汎用で低コストの樹脂が使用可能である。なお、放射線透過性スタンパの材料は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   As the radiation transmissive stamper, a conventionally known material can be used as appropriate by using a known production method. As a material for the radiation transmissive stamper, for example, a nonpolar material such as a polyolefin resin or a polystyrene resin, or a general-purpose and low-cost resin such as a polycarbonate resin or an acrylic resin can be used. In addition, the material of a radiolucent stamper may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and ratios.

上記の中でも、低コストで精度の高い溝形状を実現可能なポリカーボネート系樹脂が好ましく、特には、光記録媒体の基板として従来公知のポリカーボネート系樹脂を用いることが好ましい。   Among these, a polycarbonate-based resin capable of realizing a highly accurate groove shape at low cost is preferable, and it is particularly preferable to use a conventionally known polycarbonate-based resin as a substrate of an optical recording medium.

放射線透過性スタンパは例えば、放射線透過性スタンパが有する転写用凹凸形状の逆(ネガ)の凹凸パターンを有する金属製スタンパ(例えば、ニッケル製スタンパ)を用いて、射出成形等により作製することができる。   The radiation transmissive stamper can be produced by injection molding or the like using, for example, a metal stamper (for example, a nickel stamper) having a concavo-convex pattern opposite to the transfer concavo-convex shape of the radiation transmissive stamper. .

さらに、放射線透過性スタンパは、通常、中央部に表裏を貫通する中心孔を形成された円板形状に形成される。本発明の実施の形態においても、放射線透過性スタンパは、表面に転写用凹凸形状を有し、中央部に中心孔を形成された円板形状のものを用いることが好ましい。   Furthermore, the radiation transmissive stamper is usually formed in a disc shape in which a central hole penetrating the front and back is formed in the central portion. Also in the embodiment of the present invention, it is preferable to use a radiolucent stamper having a disk-like shape having a concavo-convex shape for transfer on the surface and a central hole formed in the center.

本発明の実施の形態において使用する放射線透過性スタンパは、形状安定性及びハンドリングの容易さの点で、厚さは、通常、0.3mm以上とするのが望ましい。但し、通常5mm以下である。放射線透過性スタンパの厚さがこの範囲であれば、十分な放射線透過性を有するため、放射線透過性スタンパを介して放射線を照射しても、放射線硬化性樹脂原料を効率よく硬化させることができ、生産性を向上させることができる。   The thickness of the radiolucent stamper used in the embodiment of the present invention is preferably 0.3 mm or more in terms of shape stability and ease of handling. However, it is usually 5 mm or less. If the thickness of the radiation transmissive stamper is within this range, the radiation curable resin material can be efficiently cured even when irradiated with radiation through the radiation transmissive stamper because it has sufficient radiation transparency. , Productivity can be improved.

また、放射線透過性スタンパの外径は、基板の外径(光記録媒体の外径)より大きくすることが好ましい。放射線透過性スタンパの外径を基板の外径より予め大きく設計しておくと、射出成形の際に、光記録媒体の外径より外側の外周部にも余裕を持って凹凸形状を形成することが可能となり、放射線透過性スタンパの中間層形成に用いられる領域の全面にわたって良好な凹凸形状を形成することができる。   The outer diameter of the radiation transmissive stamper is preferably larger than the outer diameter of the substrate (the outer diameter of the optical recording medium). If the outer diameter of the radiation transparent stamper is designed to be larger than the outer diameter of the substrate in advance, the outer peripheral part outside the outer diameter of the optical recording medium will be formed with a margin in the injection molding. Therefore, it is possible to form a favorable concavo-convex shape over the entire region used for forming the intermediate layer of the radiation transmissive stamper.

また、基板の外径よりも放射線透過性スタンパの外径を大きくすることにより、中間層の外径よりも放射線透過性スタンパの外径が大きくなる。このようにすると、中間層の外周側端面の形状を良好にしやすくなる。具体的には、放射線透過性スタンパを放射線硬化性樹脂原料上に載置した際に、放射線透過性スタンパや中間層の外周端部に放射線硬化性樹脂原料層の樹脂が付着することがあり、この樹脂は、放射線透過性スタンパを剥離する際にバリとなる場合がある。そこで、中間層の外径よりも放射線透過性スタンパの外径を大きくすることにより、バリとなりやすい樹脂が、中間層の外径よりも外側、すなわち放射線透過性スタンパの外周端部に存在することとなる。その結果、バリが発生したとしても、中間層の端面に影響を与えることなく、バリ発生の部分を取り除くことができる。   Further, by making the outer diameter of the radiation transmissive stamper larger than the outer diameter of the substrate, the outer diameter of the radiation transmissive stamper becomes larger than the outer diameter of the intermediate layer. If it does in this way, it will become easy to make the shape of the outer peripheral side end face of an intermediate layer good. Specifically, when the radiation transmissive stamper is placed on the radiation curable resin material, the radiation curable resin material layer resin may adhere to the outer peripheral edge of the radiation transmissive stamper or the intermediate layer, This resin may become a burr when peeling off the radiation transmissive stamper. Therefore, by making the outer diameter of the radiation transmissive stamper larger than the outer diameter of the intermediate layer, the resin that tends to become burrs exists outside the outer diameter of the intermediate layer, that is, at the outer peripheral end of the radiation transmissive stamper. It becomes. As a result, even if burrs are generated, the burrs can be removed without affecting the end face of the intermediate layer.

放射線透過性スタンパの外径として具体的には、基板の外径より、直径で通常1.0mm以上大きくすることが好ましく、より好ましくは2.0mm以上である。但し、基板の外径との差は通常直径で15mm以下であり、好ましくは10mm以下である。   Specifically, the outer diameter of the radiation transmissive stamper is preferably larger by 1.0 mm or more in diameter than the outer diameter of the substrate, more preferably 2.0 mm or more. However, the difference from the outer diameter of the substrate is usually 15 mm or less in diameter, and preferably 10 mm or less.

放射線透過性スタンパの表面に円環状の微小突起は、射出形成時の金型及び金型治具の形状を制御することにより形成可能である。例えば、スタンパの内周部を固定する治具とスタンパの間にできる隙間の存在により発生する微小突起を、スタンパ内径や固定治具の調整によって所望の高さに形成することでも可能である。または、固定治具、或いはスタンパの表面に機械加工によって溝を形成し、ここに射出成型時に樹脂が充填されることにより、微小突起を形成することも可能である。   Annular minute protrusions can be formed on the surface of the radiation transmissive stamper by controlling the shape of the mold and the mold jig during injection molding. For example, it is possible to form minute projections generated by the presence of a gap formed between the jig for fixing the inner peripheral portion of the stamper and the stamper at a desired height by adjusting the stamper inner diameter and the fixing jig. Alternatively, it is also possible to form a microprojection by forming a groove on the surface of the fixing jig or stamper by machining and filling the resin with resin at the time of injection molding.

メタルスタンパ、ガラススタンパ等についても、従来公知の製造方法により適宜製造可能である。例えば、その表面に突起を直接形成するか、それが困難な場合、スタンパの内径(内径端に発生する機械加工時の変形を流用)、或いは内周部の固定治具に微小突起を施す等の対応が考えられる。   Metal stampers, glass stampers, and the like can also be appropriately manufactured by a conventionally known manufacturing method. For example, if the protrusion is formed directly on the surface, or if it is difficult to do so, the inner diameter of the stamper (the deformation during machining that occurs at the inner diameter end is diverted), or a minute protrusion is applied to the fixing jig on the inner periphery. Can be considered.

(放射線硬化性樹脂原料について)
中間層の形成に用いる放射線硬化性樹脂原料としては、放射線により硬化する放射線硬化性樹脂を含有するものであれば特に制限はない。放射線硬化性樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
(About radiation curable resin raw materials)
The radiation curable resin material used for forming the intermediate layer is not particularly limited as long as it contains a radiation curable resin that is cured by radiation. A radiation curable resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio.

放射線硬化性樹脂としては、例えば紫外線硬化性樹脂や電子線硬化性樹脂等、種々のものが挙げられるが、中でも紫外線硬化性樹脂が特に好ましい。紫外線硬化性樹脂の採用により、スタンパの凹凸形状の転写が行いやすくなる。   Examples of the radiation curable resin include various types such as an ultraviolet curable resin and an electron beam curable resin, and among them, an ultraviolet curable resin is particularly preferable. By adopting the ultraviolet curable resin, it becomes easy to transfer the uneven shape of the stamper.

紫外線硬化性樹脂としては、ラジカル系(ラジカル重合型の)紫外線硬化性樹脂とカチオン系(カチオン重合型の)紫外線硬化性樹脂が挙げられ、従来公知のこれらの材料を適宜使用することができる。   Examples of the ultraviolet curable resin include a radical type (radical polymerization type) ultraviolet curable resin and a cationic type (cation polymerization type) ultraviolet curable resin, and these conventionally known materials can be appropriately used.

ラジカル系紫外線硬化性樹脂を放射線硬化性樹脂原料に用いる場合には、例えば、紫外線硬化性化合物(ラジカル系紫外線硬化性化合物)と光重合開始剤とを必須成分として含む組成物を用いることができる。ラジカル系紫外線硬化性化合物としては、例えば、単官能(メタ)アクリレート及び多官能(メタ)アクリレートを重合性モノマー成分として用いることができる。これらは、各々、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。なお、ここで、アクリレートとメタアクリレートとを併せて(メタ)アクリレートと称する。   When using radical type ultraviolet curable resin for a radiation curable resin raw material, the composition which contains an ultraviolet curable compound (radical type ultraviolet curable compound) and a photoinitiator as an essential component can be used, for example. . As the radical ultraviolet curable compound, for example, monofunctional (meth) acrylate and polyfunctional (meth) acrylate can be used as the polymerizable monomer component. These may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio. Here, acrylate and methacrylate are collectively referred to as (meth) acrylate.

また、光重合開始剤に制限はないが、例えば、分子開裂型または水素引き抜き型のものが好ましい。本発明においては、ラジカル重合型のアクリル酸エステルを主体とする未硬化の放射線硬化性樹脂原料を用いて、これを硬化させて中間層を得ることが好ましい。
一方、カチオン系紫外線硬化性樹脂を放射線硬化性樹脂原料に用いる場合には、例えば、カチオン重合型の光開始剤を含むエポキシ樹脂を用いることができる。
Moreover, although there is no restriction | limiting in a photoinitiator, For example, a molecular cleavage type or a hydrogen abstraction type is preferable. In the present invention, it is preferable to obtain an intermediate layer by curing an uncured radiation curable resin material mainly composed of a radical polymerization type acrylic ester.
On the other hand, when a cationic ultraviolet curable resin is used as a radiation curable resin material, for example, an epoxy resin containing a cationic polymerization type photoinitiator can be used.

エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA−エピクロールヒドリン型、脂環式エポキシ、長鎖脂肪族型、臭素化エポキシ樹脂、グリシジルエステル型、グリシジルエーテル型、複素環式系等が挙げられる。エポキシ樹脂としては、遊離した塩素および塩素イオン含有率が少ないものを用いるのが好ましい。塩素の量は、1重量%以下が好ましく、より好ましくは0.5重量%以下である。
また、カチオン重合型の光開始剤としては、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、ジアゾニウム塩等が挙げられる。
Examples of the epoxy resin include bisphenol A-epichlorohydrin type, alicyclic epoxy, long chain aliphatic type, brominated epoxy resin, glycidyl ester type, glycidyl ether type, and heterocyclic type. As the epoxy resin, it is preferable to use a resin having a low content of free chlorine and chlorine ions. The amount of chlorine is preferably 1% by weight or less, more preferably 0.5% by weight or less.
Examples of the cationic polymerization type photoinitiator include sulfonium salts, iodonium salts, diazonium salts, and the like.

また、放射線硬化性樹脂原料は20℃〜40℃において液状であるものを用いることが好ましい。放射線硬化性樹脂原料を塗布する際に、溶媒を用いることなく塗布できるので、生産性が向上するためである。また、放射線硬化性樹脂原料の粘度は、常温で50cP以上、1000cP以下となるように、適宜調整することが好ましい。更に好ましくは100cP以上である。また、500cP以下が更に好ましく、特に好ましくは400cP以下である。放射線硬化性樹脂原料の粘度の調整は、放射線硬化性樹脂原料中のモノマーの含有率を適宜変更すること等により行なうことができる。   Moreover, it is preferable to use what is a liquid in 20 to 40 degreeC as a radiation curable resin raw material. This is because when the radiation curable resin material is applied, it can be applied without using a solvent, so that productivity is improved. Moreover, it is preferable to adjust suitably the viscosity of a radiation curable resin raw material so that it may become 50 cP or more and 1000 cP or less at normal temperature. More preferably, it is 100 cP or more. Moreover, 500 cP or less is still more preferable, Especially preferably, it is 400 cP or less. The viscosity of the radiation curable resin material can be adjusted by appropriately changing the monomer content in the radiation curable resin material.

(その他の層について)
ブルーレイディスクの場合、記録再生光の入射側の最表面に、光透過性の材料からなるカバー層を設ける。カバー層の形成方法については、スピンコート法等、従来公知の製造方法が適用可能である。カバー層材料としては、ウレタン、エポキシ、アクリル系の樹脂等を用い、スピンコート後、紫外線、電子線、放射線を照射し、ラジカル重合もしくは、カチオン重合を促進して硬化する。
(About other layers)
In the case of a Blu-ray disc, a cover layer made of a light transmissive material is provided on the outermost surface on the incident side of recording / reproducing light. As a method for forming the cover layer, a conventionally known manufacturing method such as a spin coating method can be applied. As the cover layer material, urethane, epoxy, acrylic resin, or the like is used, and after spin coating, it is cured by irradiating with ultraviolet rays, electron beams, or radiation to accelerate radical polymerization or cationic polymerization.

前記カバー層材料としては、光透過性、耐久性の観点から、アクリル系、メタクリレート系のオリゴマーおよび/またはモノマーからなる組成物が好ましい。より具体的には、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレートオリゴマー、n−ブチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、iso−オクチルアクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレートモノマーの1種または2種以上が均一に混合された組成物が好ましい。オリゴマーの分子量調整、モノマーの種類および混合量の調整により、ガラス転移温度Tg、タック性能(低い圧力で接触させたときに直ちに形成される接着力)、剥離強度、せん断保持力等の物性を制御することができる。   The cover layer material is preferably a composition comprising an acrylic or methacrylate oligomer and / or monomer from the viewpoints of light transmission and durability. More specifically, (meth) acrylate oligomers such as polyether (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, n-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, iso- One or more monofunctional (meth) acrylate monomers such as octyl acrylate, stearyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, and phenoxyethyl (meth) acrylate A uniformly mixed composition is preferred. Control of physical properties such as glass transition temperature Tg, tack performance (adhesive force immediately formed when contacted at low pressure), peel strength, shear holding force, etc. by adjusting the molecular weight of the oligomer and the type and amount of the monomer can do.

また、カバー層には、さらにその入射光側表面に耐擦傷性、耐指紋付着性といった機能を付与するために、表面に厚さ0.1μm〜50μm程度のハードコート層を別途設けることもある。カバー層の厚みは、記録層の層数等により適宜設定されるが、0.01mm以上が好ましく、0.03mm以上がさらに好ましく、また、0.3mm以下が好ましく、0.15mm以下がより好ましい。接着層やハードコート層等の厚みを含む全体の厚みが、光学的に許容される厚み範囲となるようにするのが好ましい。たとえば、3層BD−Rにおいては、57μm±5μm程度以下に制御するのが好ましい。   Further, the cover layer may be additionally provided with a hard coat layer having a thickness of about 0.1 μm to 50 μm on the surface in order to impart functions such as scratch resistance and fingerprint resistance to the incident light side surface. . The thickness of the cover layer is appropriately set depending on the number of recording layers and the like, but is preferably 0.01 mm or more, more preferably 0.03 mm or more, and preferably 0.3 mm or less, more preferably 0.15 mm or less. . It is preferable that the entire thickness including the thickness of the adhesive layer, the hard coat layer, and the like be in an optically acceptable thickness range. For example, in a three-layer BD-R, it is preferable to control to about 57 μm ± 5 μm or less.

記録層材料としても、通常の光記録媒体で適用可能なものであれば特に制限は無く、本発明の実施の形態の製造方法を適用することができる。例えば、有機色素材料だけでなく、相変化型の記録材料や部分窒化膜、部分酸化膜を用いることも可能である。相変化型記録材料の具体例としては、例えば、SbTe系、GeSbTe系、InSbTe系、AgSbTe系、AgInSbTe系、GeSbSn系、InGeSbTe系、InGeSbSnTe系等のSbを主成分とする組成を用いることが好ましい。部分窒化膜、部分酸化膜の具体例としては、BiGeN、SnNbNなどの部分窒化膜、TeOx、BiFOxなどの部分酸化膜が挙げられる。
この他、光記録媒体の設計上、反射層や保護層等、種々の機能を有する従来公知の層を設けて、記録再生機能層を構成しても構わない。
The recording layer material is not particularly limited as long as it can be applied to a normal optical recording medium, and the manufacturing method according to the embodiment of the present invention can be applied. For example, not only an organic dye material but also a phase change recording material, a partial nitride film, and a partial oxide film can be used. As a specific example of the phase change recording material, it is preferable to use a composition mainly composed of Sb such as SbTe, GeSbTe, InSbTe, AgSbTe, AgInSbTe, GeSbSn, InGeSbTe, or InGeSbSnTe. . Specific examples of the partial nitride film and partial oxide film include partial nitride films such as BiGeN and SnNbN, and partial oxide films such as TeOx and BiFOx.
In addition, in the design of the optical recording medium, a recording / reproducing functional layer may be configured by providing conventionally known layers having various functions such as a reflective layer and a protective layer.

B.本発明の光記録媒体の製造方法の他の好ましい形態
上記では、片面3層BD−Rディスクを例にとって、本発明の光記録媒体の製造方法について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。即ち、データ基板上に、直接又は他の層を介して放射線硬化性樹脂原料を塗布し、凹凸形状を有する放射線透過性スタンパを固着した後に剥離して、樹脂に放射線透過性スタンパの凹凸形状を転写して中間層を形成する工程を複数回含む製造方法によって製造される光記録媒体又は光記録媒体用積層体であれば、本発明の効果が良好に発揮される。つまり、他の構成の光記録媒体に対しても本発明の実施の形態の製造方法を適用することができる。
B. Other Preferred Forms of Manufacturing Method of Optical Recording Medium of the Present Invention In the above description, the manufacturing method of the optical recording medium of the present invention has been described by taking a single-sided three-layer BD-R disc as an example. However, the present invention is not limited to this. is not. That is, a radiation curable resin raw material is applied on the data substrate directly or via another layer, a radiation transmissive stamper having a concavo-convex shape is fixed, and then peeled off, so that the resin has a concavo-convex shape of the radiation transmissive stamper. If it is an optical recording medium or a laminated body for an optical recording medium manufactured by a manufacturing method including a step of transferring and forming an intermediate layer a plurality of times, the effect of the present invention is exhibited well. That is, the manufacturing method of the embodiment of the present invention can be applied to optical recording media having other configurations.

例えば、記録層を4層以上有し、中間層を3層以上有する光記録媒体に適用することもできる。この場合、3層以上の中間層のそれぞれを形成するのに本発明の実施の形態の製造方法を適用することができる。   For example, the present invention can be applied to an optical recording medium having four or more recording layers and three or more intermediate layers. In this case, the manufacturing method of the embodiment of the present invention can be applied to form each of the three or more intermediate layers.

以下に、本発明の具体的態様を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を逸脱しない限り、これらの実施例によって限定されるものではない。   Specific embodiments of the present invention will be described below in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples without departing from the gist thereof.

(実施例1)
本発明の方法を利用して、追記型3層ブルーレイディスクを作製した例を示す。
射出成型で作製した、表面にトラックピッチ0.32μm、深さ20nmの溝が転写された、厚さ1.1mm、直径120mm、中心孔直径15mmのポリカーボネート基板の表面に、複数のスパッタ製膜工程を経て無機膜からなる追記型の第1記録再生機能層を形成した(以下「データ基板」と記載)。これとは別に第1スタンパとして、射出成型により、表面にピッチ0.32μm、深さ20nmの溝が転写された、厚さ0.6mm、直径124mm、中心孔直径15mmのポリカーボネート基板を作製した(以下「放射線透過性スタンパA」と記載)。データ基板の表面の溝と、放射線透過性スタンパAの表面の溝は、射出成型に用いるニッケル製スタンパの溝の凹凸配向が逆のものを用いることにより、逆向きの凹凸配向とした。
Example 1
An example in which a write-once three-layer Blu-ray disc is manufactured using the method of the present invention will be described.
A plurality of sputter film forming steps on the surface of a polycarbonate substrate having a thickness of 1.1 mm, a diameter of 120 mm, and a center hole diameter of 15 mm, which is produced by injection molding and has a groove with a track pitch of 0.32 μm and a depth of 20 nm transferred to the surface. After that, a write-once first recording / reproducing functional layer made of an inorganic film was formed (hereinafter referred to as “data substrate”). Separately, as a first stamper, a polycarbonate substrate having a thickness of 0.6 mm, a diameter of 124 mm, and a center hole diameter of 15 mm, in which grooves having a pitch of 0.32 μm and a depth of 20 nm were transferred to the surface by injection molding, was produced ( Hereinafter, described as “radioactive stamper A”). The grooves on the surface of the data substrate and the grooves on the surface of the radiation transmissive stamper A were made to have a concave and convex orientation opposite to each other by using the concave and convex orientation of the grooves of the nickel stamper used for injection molding.

上記データ基板には、半径10.0mmの位置に、ニッケル製スタンパと、その内周固定治具の境界を調整することにより、高さ10〜15μm、半径方向の断面における最大幅100μmの、円周方向において連続的な円環状の微小突起を形成した。また、上記放射線透過性スタンパAには、半径11.0mmの位置に、ニッケル製スタンパと、その内周固定治具の境界を調整することにより、高さ10〜15μm、半径方向の断面における最大幅100μmの、円周方向において連続的な円環状の微小突起を形成した。   The data board has a circle with a height of 10 to 15 μm and a maximum width of 100 μm in the radial section by adjusting the boundary between the nickel stamper and the inner periphery fixing jig at a radius of 10.0 mm. A continuous annular microprojection was formed in the circumferential direction. In addition, the above-mentioned radiolucent stamper A has a height of 10 to 15 μm and a maximum in a radial cross section by adjusting the boundary between the nickel stamper and its inner periphery fixing jig at a radius of 11.0 mm. An annular microprotrusion that is substantially 100 μm and continuous in the circumferential direction was formed.

まず、放射線透過性スタンパAの凹凸形状面に、転写性に優れた紫外線硬化性樹脂材料V(アクリル系樹脂、粘度約400cP)をスピンコートで塗布し、紫外線照射により硬化させて転写層を形成した。紫外線照射量は76mJ/cmとした。 First, an ultraviolet curable resin material V (acrylic resin, viscosity of about 400 cP) having excellent transferability is applied to the concavo-convex shape surface of the radiation transmissive stamper A by spin coating, and cured by ultraviolet irradiation to form a transfer layer. did. The amount of ultraviolet irradiation was 76 mJ / cm 2 .

次に、転写層を形成した放射線透過性スタンパAとデータ基板とを、別個のターンテーブル上に固定した後、間隔3mmで同一の中心軸を中心孔に貫通させることにより対向させた。   Next, the radiation transmissive stamper A on which the transfer layer was formed and the data substrate were fixed on separate turntables, and then opposed by passing the same central axis through the central hole at an interval of 3 mm.

次に、データ基板と放射線透過性スタンパAの間隙に、紫外線硬化性樹脂原料W(アクリル系樹脂、粘度約410cP)をギャップディスペンス法により充填し、データ基板を固定し放射線透過性スタンパAのみを15rpmで180°回転させて捻り、基板全体に80gの荷重をかけて、紫外線硬化性樹脂原料Wをデータ基板面全体にある程度延伸させた。   Next, the gap between the data substrate and the radiation transmissive stamper A is filled with an ultraviolet curable resin raw material W (acrylic resin, viscosity of about 410 cP) by the gap dispense method, the data substrate is fixed, and only the radiation transmissive stamper A is provided. The UV curable resin material W was stretched to some extent over the entire data substrate surface by rotating 180 ° at 15 rpm and twisting, applying a load of 80 g to the entire substrate.

次に、データ基板と放射線透過性スタンパAの中心孔を貫通する中心軸の側面に設けた減圧吸引用の細孔から、−12kPaの圧力で減圧吸引することにより、紫外線硬化性樹脂原料Wの内周側の延伸端が、放射線透過性スタンパA上の半径11.0mmに設けられた微小突起によって塞き止められる状態を実現した。   Next, the ultraviolet curable resin raw material W of the ultraviolet curable resin raw material W is obtained by performing vacuum suction at a pressure of −12 kPa from the vacuum suction pores provided on the side surface of the central axis penetrating the data substrate and the central hole of the radiation transmissive stamper A. A state in which the extending end on the inner peripheral side is blocked by a minute protrusion provided at a radius of 11.0 mm on the radiolucent stamper A was realized.

次に、遮光マスクを用いて、半径12mm以内の内周部分にのみ、紫外線を180mJ/cm照射し、紫外線硬化性樹脂原料Wを内周部のみ硬化させた。そして、データ基板と放射線透過性スタンパAを一体のまま7800rpmで高速回転させ、データ基板全面に略均一な膜厚、ここでは25μmで第1中間層が形成されるようにした。 Next, using a light-shielding mask, ultraviolet rays were irradiated only to the inner peripheral portion within a radius of 12 mm at 180 mJ / cm 2 to cure the ultraviolet curable resin raw material W only to the inner peripheral portion. Then, the data substrate and the radiation transmissive stamper A were integrally rotated at a high speed of 7800 rpm so that the first intermediate layer was formed on the entire surface of the data substrate with a substantially uniform film thickness, here 25 μm.

この後、データ基板全面に紫外線を544mJ/cm照射し、紫外線硬化性樹脂原料Wを完全に硬化させてから、放射線透過性スタンパAを剥離し、データ基板上に第1中間層を形成した。
次に、第1中間層上に、第1記録再生機能層と同様に、追記型の第2記録再生機能層を形成した。
Thereafter, the entire surface of the data substrate was irradiated with ultraviolet rays at 544 mJ / cm 2 to completely cure the ultraviolet curable resin raw material W, and then the radiation transmissive stamper A was peeled off to form a first intermediate layer on the data substrate. .
Next, a write-once type second recording / reproducing functional layer was formed on the first intermediate layer in the same manner as the first recording / reproducing functional layer.

次に、放射線透過性スタンパAと同様に、第2スタンパとして放射線透過性スタンパBを作製した。ただし、放射線透過性スタンパB上の円環状の微小突起は、半径10.0mmの位置に、高さ10〜15μm、半径方向の断面における最大幅100μmで形成した。   Next, similarly to the radiation transmissive stamper A, a radiation transmissive stamper B was produced as a second stamper. However, the annular minute protrusions on the radiolucent stamper B were formed at a position of a radius of 10.0 mm with a height of 10 to 15 μm and a maximum width of 100 μm in the radial cross section.

更に、第1中間層の形成と同様にして、放射線透過性スタンパBを用いて第2中間層の形成を行った。第2中間層の膜厚は18μmとなるよう、作製条件を制御した。
ただし、放射線透過性スタンパBを用いているため、第2中間層の内周側の端部は半径10.0mm近傍に形成された。
Further, the second intermediate layer was formed using the radiation transmissive stamper B in the same manner as the formation of the first intermediate layer. The production conditions were controlled so that the film thickness of the second intermediate layer was 18 μm.
However, since the radiolucent stamper B was used, the inner peripheral end of the second intermediate layer was formed in the vicinity of a radius of 10.0 mm.

更に、第2中間層上に、同様に第3記録再生機能層を形成し、紫外線硬化性樹脂原料X(ウレタン系樹脂、粘度約1000cP)を用いて、データ基板最表面にカバー層を形成した。
カバー層の形成は、最大2000rpmの回転数でスピンコートを行い、600mJ/cmの紫外線を照射して硬化させ、膜厚を54μmとした。
Further, a third recording / reproducing functional layer was similarly formed on the second intermediate layer, and a cover layer was formed on the outermost surface of the data substrate using the ultraviolet curable resin raw material X (urethane resin, viscosity of about 1000 cP). .
The cover layer was formed by spin coating at a maximum rotation speed of 2000 rpm and irradiating with an ultraviolet ray of 600 mJ / cm 2 to be cured to a film thickness of 54 μm.

上記工程の最初の中間層形成工程である第1中間層形成工程に、データ基板5000枚を投入し、光記録媒体の製造を行った。ある工程で不良と判定されたものについては、その後の工程には投入しないこととした。   In the first intermediate layer forming step, which is the first intermediate layer forming step in the above steps, 5000 data substrates were introduced to manufacture an optical recording medium. Those determined to be defective in a certain process are not thrown into subsequent processes.

(比較例1)
第2中間層の形成時に、第2スタンパとして放射線透過性スタンパAを用いたこと以外は、実施例1と同様の工程にてデータ基板を1500枚投入し、光記録媒体の製造を行った。
(Comparative Example 1)
At the time of forming the second intermediate layer, 1500 data substrates were loaded in the same process as in Example 1 except that the radiation transmissive stamper A was used as the second stamper, and an optical recording medium was manufactured.

(光記録媒体の評価方法)
上記実施例1及び比較例1の光記録媒体の製造工程において、不良品の発生割合を調べることにより、本願発明の効果を示す。
第2記録再生機能層の形成までは、実施例1と比較例1の製造工程は同一であるので、第2中間層の形成以降の製造工程における不良品の発生割合を調べた。
評価項目は以下の通りである。
(Evaluation method of optical recording medium)
In the manufacturing process of the optical recording medium of Example 1 and Comparative Example 1, the effect of the present invention is shown by examining the generation ratio of defective products.
Since the manufacturing steps of Example 1 and Comparative Example 1 are the same up to the formation of the second recording / reproducing functional layer, the occurrence rate of defective products in the manufacturing steps after the formation of the second intermediate layer was examined.
The evaluation items are as follows.

(1)第2中間層剥離不良
第2中間層形成時に、第2スタンパを基板から剥離する際、完全に剥離できない場合が発生した。このケースを第2中間層剥離不良(不合格)とみなした。
(1) Poor peeling of the second intermediate layer When the second intermediate layer was formed, when the second stamper was peeled from the substrate, a case where the peeling could not be completely occurred occurred. This case was regarded as a second intermediate layer peeling failure (failed).

(2)第2中間層外観不良
第2スタンパが剥離できたものについて、インラインスキャナー(ドクターシェンク社製ISM.blue+)により第2中間層の欠陥検出を行った。第2中間層の欠陥判定基準については、過去の検討から適宜設定し、許容できない欠陥が1つでもある場合は不合格と判定した。
(2) Appearance defect of 2nd intermediate | middle layer About the thing which the 2nd stamper was able to peel, the defect detection of the 2nd intermediate | middle layer was performed with the in-line scanner (Doctor Schenck ISM.blue +). The defect determination criteria for the second intermediate layer were set as appropriate based on past examinations, and when there was even one unacceptable defect, it was determined to be unacceptable.

(3)カバー層欠陥不良、及びカバー層膜厚不良
上記第2中間層外観不良をPassしたものについて、インラインスキャナー(ドクターシェンク社製ISM.blue+)によりカバー層の欠陥検出及びカバー層の膜厚検査を行い、欠陥不良及び膜厚不良を評価した。カバー層の欠陥判定基準についても、過去の検討から適宜設定し、許容できない欠陥が1つでもある場合は不合格と判定した。カバー層の膜厚については、半径23.5mm〜58.3mmの範囲における7か所の半径位置において、それぞれ円周1周分の膜厚を測定し、全膜厚データにおいて、半径23.5mmの1周分の平均膜厚値から±2.5μmの範囲を越える場合が一点でもあった場合は不合格と判定した。
(3) Cover layer defect defect and cover layer film thickness defect About what passed the second intermediate layer external appearance defect, the defect detection of the cover layer and the film thickness of the cover layer by an inline scanner (Doctor Schenck ISM.blue +) Inspection was performed to evaluate defect defects and film thickness defects. The defect determination criteria for the cover layer were also set as appropriate based on past studies, and when there was even one unacceptable defect, it was determined to be unacceptable. Regarding the film thickness of the cover layer, the film thickness of one circumference is measured at each of the seven radial positions in the radius range of 23.5 mm to 58.3 mm. When the average film thickness for one round of the sample exceeded the range of ± 2.5 μm even at one point, it was judged as rejected.

(評価結果)
実施例1及び比較例1の評価結果を表1に示す。表中の不合格率は、第2中間層形成工程又はカバー層形成工程に投入した枚数に対する、不合格だった枚数の割合を百分率で示したものである。
(Evaluation results)
The evaluation results of Example 1 and Comparative Example 1 are shown in Table 1. The rejection rate in the table is a percentage of the number of rejected sheets with respect to the number of sheets input in the second intermediate layer forming step or the cover layer forming step.

Figure 2013149337
Figure 2013149337

表1から判る通り、実施例1の製造方法は、すべての評価項目において、比較例1よりも低い不良率を示しており、本願発明の光記録媒体の製造方法が、欠陥の少ない、均一性に優れた光記録媒体を効率よく製造できる方法であることが明らかである。   As can be seen from Table 1, the manufacturing method of Example 1 shows a defect rate lower than that of Comparative Example 1 in all evaluation items, and the manufacturing method of the optical recording medium of the present invention has few defects and uniformity. It is clear that this is a method capable of efficiently producing an excellent optical recording medium.

100 光記録媒体
101 基板
102 第1記録再生機能層
103 第1中間層
103a 第1放射線硬化性樹脂原料
104 第2記録再生機能層
105 第2中間層
105a 第2放射線硬化性樹脂原料
106 第3記録再生機能層
107 カバー層
111 データ基板
112 第1スタンパ
113 第2スタンパ
121、122 放射線
123 レーザー光
201、301 基板
202、302 基板上の微小突起
203、303 基板の中心孔
204、304 第1スタンパ
205、305 第1スタンパ上の微小突起
207、307 第2スタンパ
208、308 第2スタンパ上の微小突起
206、306 第1スタンパの中心孔
209、309 第2スタンパの中心孔
211、311 第1記録再生機能層
212、215、312、315 転写層
213、313 第1中間層
213a、313a 第1放射線硬化性樹脂原料
214、314 第2記録再生機能層
216、316 第2中間層
216a、316a 第2放射線硬化性樹脂原料
231、232、331、332 放射線
221、321 第1中間層の内周側端部
222、322 第2中間層の内周側端部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Optical recording medium 101 Substrate 102 1st recording / reproducing functional layer 103 1st intermediate | middle layer 103a 1st radiation curable resin raw material 104 2nd recording / reproducing functional layer 105 2nd intermediate | middle layer 105a 2nd radiation curable resin raw material 106 3rd recording Reproduction functional layer 107 Cover layer 111 Data substrate 112 First stamper 113 Second stamper 121, 122 Radiation 123 Laser light 201, 301 Substrate 202, 302 Minute protrusion 203 on substrate 203, 303 Central hole 204, 304 First stamper 205 , 305 Minute protrusions on the first stamper 207, 307 Second stamper 208, 308 Minute protrusions on the second stamper 206, 306 Central hole of the first stamper 209, 309 Central hole of the second stamper 211, 311 First recording / reproduction Functional layer 212, 215, 312, 315 Transfer 213, 313 First intermediate layer 213a, 313a First radiation curable resin raw material 214, 314 Second recording / reproducing functional layer 216, 316 Second intermediate layer 216a, 316a Second radiation curable resin raw material 231, 232, 331, 332 Radiation 221, 321 Inner peripheral end of the first intermediate layer 222, 322 Inner peripheral end of the second intermediate layer

Claims (8)

中心孔を有する円板状の基板上に、3層以上の記録層と、前記記録層の間に介在し放射線硬化性樹脂原料からなる凹凸形状を有する複数の中間層とを有する光記録媒体の製造方法であって、
円板状の形状を有し、表面に前記凹凸形状に対応した転写用凹凸形状を有してなる複数のスタンパを用いて前記複数の中間層を形成する工程において、
前記複数のスタンパは、前記転写用凹凸形状を有する表面上に前記複数のスタンパの各々の中心と同心の円環状の微小突起を有し、
前記複数の中間層のうち少なくとも1つの中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち1つのスタンパ上の微小突起の半径位置が、前記複数の中間層のうち他の中間層形成時に用いる前記複数のスタンパのうち他のスタンパ上の微小突起の半径位置と異なる
ことを特徴とする光記録媒体の製造方法。
An optical recording medium comprising a disc-shaped substrate having a central hole and three or more recording layers, and a plurality of intermediate layers having a concavo-convex shape made of a radiation curable resin material interposed between the recording layers. A manufacturing method comprising:
In the step of forming the plurality of intermediate layers using a plurality of stampers having a disk-like shape and having a concavo-convex shape for transfer corresponding to the concavo-convex shape on the surface,
The plurality of stampers have annular minute protrusions concentric with the center of each of the plurality of stampers on the surface having the uneven shape for transfer,
Among the plurality of intermediate layers, the plurality of stampers used in forming the plurality of stampers has a radial position of a minute protrusion on one stamper, and the plurality of intermediate layers used in forming another intermediate layer. A manufacturing method of an optical recording medium, characterized in that it differs from the radial position of the minute protrusions on the other stamper among the stampers.
前記複数のスタンパが中心孔を有し、前記中心孔近傍に前記微小突起を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の光記録媒体の製造方法。
2. The method of manufacturing an optical recording medium according to claim 1, wherein the plurality of stampers have a center hole, and the minute protrusions are provided in the vicinity of the center hole.
前記複数の中間層のうち一つの中間層を形成する工程において、
前記複数のスタンパのうち一つのスタンパの前記微小突起を有する面と前記基板とを対向させ、前記複数のスタンパのうち一つのスタンパと前記基板の間隙に前記放射線硬化性樹脂原料を充填する工程と、
前記放射線硬化性樹脂原料を延伸する工程と、
放射線を照射して前記放射線硬化性樹脂原料を硬化させる工程とをこの順に有し、
前記複数のスタンパのうち一つのスタンパと前記基板とを対向させた際に、前記基板の前記中心孔から、クランプエリアの内径までの領域に、前記複数のスタンパのうち一つのスタンパ上の前記微小突起が形成される
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光記録媒体の製造方法。
In the step of forming one intermediate layer among the plurality of intermediate layers,
A step of making the surface of the stamper of the stamper having the fine protrusions and the substrate face each other, and filling the gap between one stamper of the plurality of stampers and the substrate with the radiation curable resin material; ,
Stretching the radiation curable resin raw material;
A step of irradiating radiation to cure the radiation curable resin raw material in this order,
When one stamper of the plurality of stampers and the substrate face each other, the micrometer on one stamper of the plurality of stampers is disposed in a region from the center hole of the substrate to the inner diameter of the clamp area. 3. A method for manufacturing an optical recording medium according to claim 1, wherein protrusions are formed.
前記複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち1つのスタンパ上の微小突起の半径位置が、
前記複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち他のスタンパ上の微小突起よりも外周側にある
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の光記録媒体の製造方法。
Among the plurality of intermediate layers, the radial position of the microprojections on one stamper of the plurality of stampers used when forming the intermediate layer that is laminated first,
4. The method according to claim 1, wherein the plurality of stampers used at the time of forming an intermediate layer to be laminated later among the plurality of intermediate layers are located on an outer peripheral side with respect to minute protrusions on another stamper. The method for producing an optical recording medium according to Item.
前記複数の中間層のうち先に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち1つのスタンパ上の微小突起の半径位置が、
前記複数の中間層のうち後に積層される中間層の形成時に用いる前記複数のスタンパのうち他のスタンパ上の微小突起よりも内周側にある
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の光記録媒体の製造方法。
Among the plurality of intermediate layers, the radial position of the microprojections on one stamper of the plurality of stampers used when forming the intermediate layer that is laminated first,
4. The method according to claim 1, wherein the plurality of stampers used when forming an intermediate layer to be laminated later among the plurality of intermediate layers are located on an inner peripheral side with respect to minute protrusions on another stamper. 5. 2. A method for producing an optical recording medium according to item 1.
前記基板が、前記複数の中間層が形成される表面に前記基板の中心と同心の円環状の微小突起を有し、かつ、前記基板上の前記微小突起が、前記複数の中間層のうち最後に積層される中間層の形成に用いる前記複数のスタンパのうち一つのスタンパ上の微小突起と略同一の半径位置に存在する
ことを特徴とする、請求項1〜5の何れか1項に記載の光記録媒体の製造方法。
The substrate has an annular minute protrusion concentric with the center of the substrate on a surface where the plurality of intermediate layers are formed, and the minute protrusion on the substrate is the last of the plurality of intermediate layers. 6. The method according to claim 1, wherein the plurality of stampers used for forming the intermediate layer stacked on the substrate are present at substantially the same radial position as a minute protrusion on one stamper. Of manufacturing an optical recording medium.
前記基板上に形成された前記微小突起が、円周方向において断続的に形成されている
ことを特徴とする、請求項6に記載の光記録媒体の製造方法。
The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 6, wherein the minute protrusions formed on the substrate are intermittently formed in a circumferential direction.
前記複数のスタンパ上に形成された前記微小突起が、円周方向において断続的に形成されている
ことを特徴とする、請求項1〜7の何れか1項に記載の光記録媒体の製造方法。
The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 1, wherein the minute protrusions formed on the plurality of stampers are formed intermittently in a circumferential direction. .
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