JP2013131552A - Manufacturing method of electronic circuit module - Google Patents

Manufacturing method of electronic circuit module Download PDF

Info

Publication number
JP2013131552A
JP2013131552A JP2011278638A JP2011278638A JP2013131552A JP 2013131552 A JP2013131552 A JP 2013131552A JP 2011278638 A JP2011278638 A JP 2011278638A JP 2011278638 A JP2011278638 A JP 2011278638A JP 2013131552 A JP2013131552 A JP 2013131552A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit module
electronic circuit
resin
wall member
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011278638A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Asami
茂 浅見
Morikazu Tajima
盛一 田島
Kenichi Kawabata
賢一 川畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2011278638A priority Critical patent/JP2013131552A/en
Publication of JP2013131552A publication Critical patent/JP2013131552A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93Batch processes
    • H01L24/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L24/97Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an electronic circuit module component for suppressing resin flow in which the need for a mold according to the shape of an aggregate substrate is eliminated.SOLUTION: The manufacturing method of an electronic circuit module component includes: a wall member arranging step for preparing an aggregate substrate including an electronic circuit module region which includes a plurality of electronic components, and a peripheral region on the outline of the electronic circuit module region, and arranging a resin flow suppression wall member of an elastic body on the surface of the peripheral region of the electronic circuit module region of the aggregate substrate; a resin mounting step for mounting an insulation resin in the electronic circuit module region; and a press step for applying a molding press to the aggregate substrate, the insulation resin and the resin flow suppression wall member.

Description

本発明は、電子部品を覆った絶縁樹脂を含む電子回路モジュール部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an electronic circuit module component including an insulating resin covering an electronic component.

電子回路モジュール部品は、複数の電子部品、例えば、受動素子や能動素子、あるいはIC(Integrated Circuit)等を基板に実装して、一つあるいは複数の機能を持ったひとまとまりの電子部品としたものである。電子回路モジュール部品は、電子部品を覆った絶縁樹脂により樹脂封止されている。   Electronic circuit module parts are a group of electronic parts that have one or more functions by mounting multiple electronic parts, for example, passive elements, active elements, or ICs (Integrated Circuits) on a substrate. It is. The electronic circuit module component is resin-sealed with an insulating resin that covers the electronic component.

例えば、特許文献1には、半導体素子を搭載した基板を樹脂シートを用いて封止する半導体装置の製造方法において、該半導体素子を搭載した基板と離間して、該半導体素子の寸法に対応した所定の寸法に形成した凹形状のキャビティを有する金型を配置するとともに、該半導体素子と該金型の間に該樹脂シートを配置する配置工程と、該樹脂シートを加熱溶融させながら該基板と該金型を重ね合わせて加圧する溶融工程と、溶融した該樹脂シートを硬化させる硬化工程と、を有する半導体装置の製造方法が記載されている。   For example, in Patent Document 1, in a method for manufacturing a semiconductor device in which a substrate on which a semiconductor element is mounted is sealed using a resin sheet, the substrate is separated from the substrate on which the semiconductor element is mounted, and corresponds to the dimensions of the semiconductor element. An arrangement step of disposing a mold having a concave cavity formed in a predetermined dimension, disposing the resin sheet between the semiconductor element and the mold, and the substrate while heating and melting the resin sheet A method for manufacturing a semiconductor device is described, which includes a melting step in which the molds are stacked and pressed, and a curing step in which the melted resin sheet is cured.

また、特許文献2には、配線回路を有する基板上に半導体素子を、その主面を基板に対向させてフェイスダウンで実装する工程と、前記半導体素子が実装された基板および封止樹脂を金型内に収容し、前記封止樹脂に圧力を加えることで、前記封止樹脂を前記半導体素子と基板との隙間、半導体素子の側面および半導体素子の裏面に配置して樹脂封止する工程とを具備する樹脂封止型半導体装置の製造方法が記載されている。   Patent Document 2 discloses a step of mounting a semiconductor element on a substrate having a wiring circuit with its main surface facing the substrate in a face-down manner, a substrate on which the semiconductor element is mounted, and a sealing resin. Placing the sealing resin in a gap between the semiconductor element and the substrate, placing the sealing resin on the side surface of the semiconductor element and the back surface of the semiconductor element by applying pressure to the sealing resin, and sealing the resin A method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device comprising:

また、特許文献3には、多数の半導体素子がマウントされた半導体素子の多数個取り基板の底面に下板に取りつける工程と、該下板の上に、該基板の周囲を取囲む弾性材料からなる堰を形成する工程と、該堰の中に封止用液状樹脂を注入して樹脂の中に素子を埋没させる工程と、該注入した樹脂の液面に上板を被せ、加圧して堰を弾性変形させて、余分の樹脂をオーバーフローさせる工程と、該上板と基板と堰と下板を一体的に固定して反転後、該樹脂を硬化させる工程と、硬化後、該上板と基板と堰と下板を解体する工程と、解体後、該基板から個々の素子を分割する工程を備えてなる半導体素子の封止方法において、該堰の高さは、樹脂をオーバーフローさせる側の高さを他の部位よりも低くしてなる半導体素子の封止方法が記載されている。   Further, Patent Document 3 discloses a step of attaching a lower plate to the bottom surface of a multi-chip substrate of a semiconductor element on which a large number of semiconductor elements are mounted, and an elastic material surrounding the periphery of the substrate on the lower plate. A step of forming a weir, a step of injecting a sealing liquid resin into the weir to embed the element in the resin, and covering the liquid surface of the injected resin with an upper plate and pressurizing the weir Elastically deforming and overflowing excess resin, fixing the upper plate, the substrate, the weir, and the lower plate integrally, reversing and curing the resin, and after curing, the upper plate In a method for sealing a semiconductor element comprising a step of disassembling a substrate, a weir, and a lower plate, and a step of dividing individual elements from the substrate after disassembly, the height of the weir is on the side where the resin overflows A method for sealing a semiconductor element having a height lower than other parts is described. That.

特開2006−237275号公報JP 2006-237275 A 特開平10−275818号公報JP-A-10-275818 特開2002−124528号公報JP 2002-124528 A

特許文献1及び特許文献2に記載された技術は、樹脂に圧力を加える金型を封止する対象の基板寸法に対応した形状とする必要がある。このため、特許文献1及び特許文献2に記載された技術は、封止する対象の基板の大きさまたは形状が変わる都度、金型を変更する必要がある。また、特許文献3に記載の技術は、下板の上に基板の周囲を取囲む弾性材料からなる堰を封止用液状樹脂がオーバーフローすることを前提としており、オーバーフローした封止用液状樹脂が後工程において不具合となるおそれがある。   The technique described in Patent Document 1 and Patent Document 2 needs to have a shape corresponding to a target substrate size to be sealed with a mold that applies pressure to the resin. For this reason, the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2 require that the mold be changed whenever the size or shape of the substrate to be sealed changes. Further, the technique described in Patent Document 3 is based on the premise that the sealing liquid resin overflows the weir made of an elastic material surrounding the periphery of the substrate on the lower plate. There is a risk of problems in the subsequent processes.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、集合基板の形状に応じた金型を不用とし、絶縁樹脂の流動を抑制する電子回路モジュール部品の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an electronic circuit module component that does not require a mold according to the shape of the collective substrate and suppresses the flow of insulating resin. .

上述した課題を解決し目的を達成するために、電子回路モジュールの製造方法は、複数の電子部品を含む電子回路モジュール領域と、前記電子回路モジュール領域の外郭の周辺領域とを含む集合基板を用意し、弾性体の樹脂流動抑制壁部材を前記集合基板の前記電子回路モジュール領域の周辺領域に配設する壁部材配設工程と、前記電子回路モジュール領域に絶縁樹脂を載置する樹脂載置工程と、前記集合基板、前記絶縁樹脂及び前記樹脂流動抑制壁部材に成形圧力を加えるプレス工程と、を含むことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, an electronic circuit module manufacturing method provides an assembly board including an electronic circuit module region including a plurality of electronic components and a peripheral region outside the electronic circuit module region. A wall member disposing step of disposing an elastic resin flow suppression wall member in a peripheral region of the electronic circuit module region of the collective substrate, and a resin mounting step of disposing an insulating resin in the electronic circuit module region And a pressing step of applying a molding pressure to the aggregate substrate, the insulating resin, and the resin flow suppression wall member.

この電子回路モジュールの製造方法により、集合基板に応じた金型の交換を抑制することができる。また、電子回路モジュールの製造方法は、弾性体の樹脂流動抑制壁部材により絶縁樹脂の流れを抑制することができる。弾性体の樹脂流動抑制壁部材は、成形圧力を封じ込めて、樹脂流動抑制壁部材と電子部品との間、電子部品間または電子部品下等の空間の樹脂充填性を向上させることができる。   With this method of manufacturing an electronic circuit module, it is possible to suppress the replacement of the mold corresponding to the collective substrate. Moreover, the manufacturing method of an electronic circuit module can suppress the flow of insulating resin by the resin flow suppression wall member of an elastic body. The resin flow suppression wall member of the elastic body can contain the molding pressure and improve the resin filling property in the space between the resin flow suppression wall member and the electronic component, between the electronic components, or under the electronic component.

上記電子回路モジュールの製造方法により、集合基板の表面に樹脂流動抑制壁部材を直接形成するため、集合基板に反りがあっても、プレス工程と同時に集合基板の反りが矯正される。このため、プレス装置は、反り矯正用の治具を不要とし、電子回路モジュール部品を製造するコストを安価にし、製造の手間も低減する。そして、上記電子回路モジュールの製造方法は、電子回路モジュール部品の品質を向上することができる。   Since the resin flow suppression wall member is directly formed on the surface of the collective substrate by the method for manufacturing the electronic circuit module, even if the collective substrate is warped, the warpage of the collective substrate is corrected simultaneously with the pressing step. For this reason, the press apparatus eliminates the need for a warp correction jig, reduces the cost of manufacturing the electronic circuit module component, and reduces the manufacturing effort. And the manufacturing method of the said electronic circuit module can improve the quality of electronic circuit module components.

上記電子回路モジュールの製造方法のプレス工程において、プレス装置のプレス上盤及びプレス下盤の間隔を制御する場合、容易に電子回路モジュール領域上の絶縁樹脂の所定の厚みを得ることができる。   In the pressing step of the electronic circuit module manufacturing method, when the interval between the press upper plate and the press lower plate of the press device is controlled, the predetermined thickness of the insulating resin on the electronic circuit module region can be easily obtained.

本発明の望ましい態様として、前記樹脂載置工程において、前記絶縁樹脂は所定の厚みを有しているシート状であることが好ましい。   As a desirable aspect of the present invention, in the resin placing step, the insulating resin is preferably in the form of a sheet having a predetermined thickness.

絶縁樹脂は定まった形を有していることにより、絶縁樹脂量をあらかじめ規定できる。このため、集合基板に反りがあっても、液状樹脂または粉状樹脂と比較して、集合基板の反りによる集合基板面内の樹脂量のばらつきを抑制することができる。例えば、絶縁樹脂にシート状の樹脂を使用することにより、絶縁樹脂は樹脂流動抑制壁部材に囲まれる内側に容易に載置できる。   Since the insulating resin has a fixed shape, the amount of the insulating resin can be specified in advance. For this reason, even if there is warping in the aggregate substrate, it is possible to suppress variation in the amount of resin in the aggregate substrate surface due to warpage of the aggregate substrate, as compared with liquid resin or powder resin. For example, by using a sheet-like resin as the insulating resin, the insulating resin can be easily placed inside the resin flow suppression wall member.

本発明の望ましい態様として、前記電子回路モジュール領域は、平面視が多角形であり、前記樹脂流動抑制壁部材は、前記電子回路モジュール領域の外郭の各辺が交差する前記電子回路モジュール領域の周辺領域の角部において不連続となっていることが好ましい。   As a desirable mode of the present invention, the electronic circuit module region is polygonal in a plan view, and the resin flow suppression wall member is a periphery of the electronic circuit module region where each side of the outline of the electronic circuit module region intersects It is preferable that the corners of the region are discontinuous.

集合基板の中央から外側に圧力が加えられた絶縁樹脂は、集合基板の角部には流れ難い傾向にある。樹脂流動抑制壁部材を周辺領域の角部において不連続とすることにより、電子回路モジュール領域の外郭は、樹脂流動抑制壁部材がある部分と、樹脂流動抑制壁部材がない部分とに分けられる。樹脂流動抑制壁部材がない部分には、上記電子回路モジュールの製造方法のプレス工程において、軟化した絶縁樹脂が誘導され流れる。また、樹脂流動抑制壁部材は、集合基板の周辺領域の角部において不連続となっているため、樹脂流動抑制壁部材がない。このため、軟化した絶縁樹脂が角部に誘導され流れこむので、電子回路モジュールの製造方法は、角部に近い電子回路モジュール領域の樹脂充填性を向上することができる。   The insulating resin applied with pressure from the center to the outside of the collective substrate tends not to flow easily at the corners of the collective substrate. By making the resin flow suppression wall member discontinuous at the corners of the peripheral region, the outline of the electronic circuit module region is divided into a portion with the resin flow suppression wall member and a portion without the resin flow suppression wall member. In the portion without the resin flow suppression wall member, the softened insulating resin is induced and flows in the pressing step of the electronic circuit module manufacturing method. Moreover, since the resin flow suppression wall member is discontinuous at the corners of the peripheral region of the aggregate substrate, there is no resin flow suppression wall member. For this reason, since the softened insulating resin is induced to flow into the corner portion, the electronic circuit module manufacturing method can improve the resin filling property of the electronic circuit module region close to the corner portion.

本発明の望ましい態様として、前記壁部材配設工程において、液体吐出装置が前記電子回路モジュール領域の周辺領域に前記弾性体となる液状の原材料を吐出し、前記樹脂流動抑制壁部材を前記集合基板の表面に配設することが好ましい。   As a desirable aspect of the present invention, in the wall member disposing step, the liquid discharge device discharges a liquid raw material that becomes the elastic body to a peripheral region of the electronic circuit module region, and the resin flow suppression wall member is used as the collective substrate. It is preferable to arrange on the surface.

これにより、樹脂流動抑制壁部材の形状の自由度を高めることができる。液体吐出装置は、集合基板の大きさまたは形に応じた樹脂流動抑制壁部材の形状を容易かつ安価につくることができる。   Thereby, the freedom degree of the shape of the resin flow suppression wall member can be increased. The liquid ejection device can easily and inexpensively make the shape of the resin flow suppression wall member according to the size or shape of the aggregate substrate.

本発明の望ましい態様として、前記壁部材配設工程において、予め前記弾性体を枠状に成形した前記樹脂流動抑制壁部材を前記集合基板の表面に配設することが好ましい。   As a desirable aspect of the present invention, in the wall member disposing step, it is preferable to dispose the resin flow suppression wall member in which the elastic body is formed into a frame shape in advance on the surface of the collective substrate.

これにより、樹脂流動抑制壁部材を予め製造しておくことができるので、樹脂流動抑制壁部材を集合基板の表面上に配設する効率を高めることができる。その結果、壁部材配設工程の所要時間を短縮することができる。   Thereby, since the resin flow suppression wall member can be manufactured in advance, the efficiency of disposing the resin flow suppression wall member on the surface of the collective substrate can be increased. As a result, the time required for the wall member arranging step can be shortened.

本発明の望ましい態様として、前記プレス工程において、成形圧力規制部材が前記絶縁樹脂及び前記樹脂流動抑制壁部材に成形圧力を加える間隔を規制することが好ましい。   As a desirable aspect of the present invention, in the pressing step, it is preferable that a molding pressure regulating member regulates an interval at which a molding pressure is applied to the insulating resin and the resin flow suppression wall member.

これにより、プレス工程において、電子回路モジュール部品の高さを規制することができる。このため、プレス上盤及びプレス下盤の間隔を制御する制御装置を省いた簡易なプレス装置を使用することができる。   Thereby, in a press process, the height of an electronic circuit module component can be controlled. For this reason, the simple press apparatus which excluded the control apparatus which controls the space | interval of a press upper board and a press lower board can be used.

本発明によれば、集合基板の形状に応じた金型を不用とし、絶縁樹脂の流動を抑制する電子回路モジュール部品の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the electronic circuit module component which makes the metal mold | die according to the shape of an aggregate substrate unnecessary, and suppresses the flow of insulating resin can be provided.

図1は、本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法を示すフローチャートである。FIG. 1 is a flowchart showing a method for manufacturing an electronic circuit module component according to this embodiment. 図2は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板である。FIG. 2 is an assembly board of electronic circuit module components according to the first embodiment. 図3は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板の表面に樹脂流動抑制壁部材を配置する一例を説明する説明図である。FIG. 3 is an explanatory view illustrating an example in which a resin flow suppression wall member is disposed on the surface of the collective substrate of the electronic circuit module component according to the first embodiment. 図4は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板をプレス上盤及びプレス下盤の間に配置する状態を説明する概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the assembly board of electronic circuit module components according to the first embodiment is disposed between the press upper board and the press lower board. 図5は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板を加圧する状態を説明する概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the collective substrate of the electronic circuit module component according to the first embodiment is pressed. 図6は、樹脂流動抑制壁部材がない場合における樹脂の流動状態を説明する説明図である。FIG. 6 is an explanatory view for explaining the flow state of the resin when there is no resin flow suppression wall member. 図7は、実施形態1に係る樹脂流動抑制壁部材による樹脂の流動状態を説明する説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a resin flow state by the resin flow suppression wall member according to the first embodiment. 図8は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板の表面に樹脂流動抑制壁部材を配置する第1変形例を説明する説明図である。FIG. 8 is an explanatory view illustrating a first modification in which a resin flow suppression wall member is disposed on the surface of the collective substrate of the electronic circuit module component according to the first embodiment. 図9は、電子回路モジュール部品の集合基板の表面に樹脂流動抑制壁部材を配置する第2変形例を説明する説明図である。FIG. 9 is an explanatory view illustrating a second modification example in which a resin flow suppression wall member is disposed on the surface of an assembly board of electronic circuit module components. 図10は、実施形態1に係る樹脂流動抑制壁部材の第2変形例を説明する説明図である。FIG. 10 is an explanatory view illustrating a second modification of the resin flow suppression wall member according to the first embodiment. 図11は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板をプレス上盤及びプレス下盤の間に配置する状態を説明する概略構成図である。FIG. 11 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the electronic circuit module component assembly board according to the first embodiment is disposed between the press upper board and the press lower board. 図12は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板を加圧する状態を説明する概略構成図である。FIG. 12 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the electronic circuit module component assembly board according to the first embodiment is pressed.

以下、本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の実施形態は、本発明を限定するものではない。また、下記の実施形態で記載された構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, modes (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments do not limit the present invention. The constituent elements described in the following embodiments include those that can be easily assumed by those skilled in the art, those that are substantially the same, and those that are so-called equivalent ranges. Furthermore, the components described in the following embodiments can be combined as appropriate.

(実施形態1)
図1は、本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法を示すフローチャートである。図2は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板である。まず、図2に示す電子回路モジュールの集合基板1が用意される(ステップS1)。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a flowchart showing a method for manufacturing an electronic circuit module component according to this embodiment. FIG. 2 is an assembly board of electronic circuit module components according to the first embodiment. First, a collective substrate 1 for electronic circuit modules shown in FIG. 2 is prepared (step S1).

図2に示すように、電子回路モジュールの集合基板1は、複数の電子部品を集合基板1に実装して、一つあるいは複数の機能を持ったひとまとまりの機能を持つ電子部品とした電子回路モジュールを実装する電子回路モジュール領域1aと、電子回路モジュール領域1aの外郭の周辺領域1bとを含む。   As shown in FIG. 2, the collective substrate 1 of the electronic circuit module is an electronic circuit in which a plurality of electronic components are mounted on the collective substrate 1 to form an electronic component having a single function or a plurality of functions. An electronic circuit module area 1a for mounting the module and a peripheral area 1b outside the electronic circuit module area 1a are included.

電子回路モジュール領域1aは、平面視が長方形あるいは正方形等の四角形である。電子回路モジュール領域1aの各辺に沿って、電子回路モジュール領域1aの外郭の周辺領域1bも平面視が長方形あるいは正方形等の四角形である。電子回路モジュール領域1aは、平面視が多角形であればよく、五角形または六角形等であってもよい。電子回路モジュール領域1aの各辺に沿って、電子回路モジュール領域1aの外郭の周辺領域1bも平面視が相似形となる。周辺領域1bは、電子回路モジュール領域1aの外郭と集合基板1の外形(縁)との間で、電子回路モジュール領域1aを囲う枠状となる領域である。   The electronic circuit module region 1a is a rectangle such as a rectangle or a square in plan view. Along the respective sides of the electronic circuit module region 1a, the peripheral region 1b outside the electronic circuit module region 1a is also a rectangle such as a rectangle or a square in plan view. The electronic circuit module region 1a may be polygonal in plan view, and may be pentagonal or hexagonal. Along the respective sides of the electronic circuit module region 1a, the peripheral region 1b outside the electronic circuit module region 1a is similar in plan view. The peripheral region 1b is a frame-shaped region that surrounds the electronic circuit module region 1a between the outline of the electronic circuit module region 1a and the outer shape (edge) of the collective substrate 1.

本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法の後工程において、電子回路モジュール領域1aは、ダイシングライン1cで個々に切断されて、個別の電子回路モジュール部品とすることができる。電子回路モジュール領域1aにおいて、電子部品は、集合基板1の表面に実装されたり、集合基板1の内部に実装されたりする。本実施形態において、電子回路モジュール領域1aを構成する電子部品としては、例えば、コイル又はコンデンサ又は抵抗等の受動素子及びダイオード又はトランジスタ等の能動素子、あるいはIC(Integrated Circuit)がある。電子部品は、これらに限定されるものではない。   In the subsequent process of the method for manufacturing the electronic circuit module component according to the present embodiment, the electronic circuit module region 1a can be individually cut by the dicing line 1c to be an individual electronic circuit module component. In the electronic circuit module region 1 a, electronic components are mounted on the surface of the collective substrate 1 or mounted inside the collective substrate 1. In the present embodiment, examples of the electronic component constituting the electronic circuit module region 1a include a passive element such as a coil or a capacitor or a resistor, an active element such as a diode or a transistor, or an IC (Integrated Circuit). The electronic component is not limited to these.

周辺領域1bは、ダイシングライン1cの延長線上にダイシングラインマーカ1mを備えていることが好ましい。   The peripheral region 1b preferably includes a dicing line marker 1m on an extension line of the dicing line 1c.

次に、図1に示すように、集合基板1を用意したら、集合基板1の周辺領域1b上に弾性体で樹脂流動抑制壁部材11を配設する壁部材配設工程(ステップS2)に進む。図2に示す樹脂流動抑制壁部材11は、電子回路モジュール領域1aの周辺領域1b側に沿って、かつ周辺領域1bの角部11A間において連続的に形成された堰である。角部11Aは、電子回路モジュール領域1aの外郭の各辺が交差する領域である。樹脂流動抑制壁部材11は、例えばシリコーン樹脂、ウレタン樹脂等の弾性を示す弾性体であることが好ましい。次に、図3を用いて、壁部材配設工程を説明する。   Next, as shown in FIG. 1, when the collective substrate 1 is prepared, the process proceeds to a wall member disposing step (step S2) in which the resin flow suppression wall member 11 is disposed on the peripheral region 1b of the collective substrate 1 with an elastic body. . The resin flow suppression wall member 11 shown in FIG. 2 is a weir formed continuously along the peripheral region 1b side of the electronic circuit module region 1a and between the corners 11A of the peripheral region 1b. The corner portion 11A is a region where the sides of the outline of the electronic circuit module region 1a intersect. The resin flow suppression wall member 11 is preferably an elastic body that exhibits elasticity, such as a silicone resin or a urethane resin. Next, a wall member arrangement | positioning process is demonstrated using FIG.

図3は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板の表面に樹脂流動抑制壁部材を配置する一例を説明する説明図である。図3に示すように、ディスペンサ等の液体吐出装置31は、集合基板1の表面上に、例えば矢印の方向に、弾性体となる樹脂流動抑制壁部材11の原材料を吐出する。図2に示すように、樹脂流動抑制壁部材11の原材料が連続的に吐出され描画されるが、樹脂流動抑制壁部材11は、周辺領域1bの角部11Aにおいて不連続となっている。   FIG. 3 is an explanatory view illustrating an example in which a resin flow suppression wall member is disposed on the surface of the collective substrate of the electronic circuit module component according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, the liquid ejection device 31 such as a dispenser ejects the raw material of the resin flow suppression wall member 11 serving as an elastic body onto the surface of the collective substrate 1, for example, in the direction of the arrow. As shown in FIG. 2, the raw material of the resin flow suppression wall member 11 is continuously discharged and drawn, but the resin flow suppression wall member 11 is discontinuous at the corner portion 11A of the peripheral region 1b.

樹脂流動抑制壁部材11は、集合基板1に定着後、硬化処理を施すことが好ましい。硬化処理により、樹脂流動抑制壁部材11は、弾性体となるとともに形状を固定することができる。なお、硬化処理は、樹脂流動抑制壁部材11の材料により異なる。例えば、硬化処理は、熱硬化処理、光硬化処理及び湿気硬化処理のいずれでもよい。   The resin flow suppression wall member 11 is preferably subjected to a curing process after being fixed to the collective substrate 1. By the curing process, the resin flow suppression wall member 11 becomes an elastic body and can be fixed in shape. The curing process varies depending on the material of the resin flow suppression wall member 11. For example, the curing process may be any of a thermal curing process, a photo curing process, and a moisture curing process.

樹脂流動抑制壁部材11は、集合基板1の周辺領域1bにあるダイシングラインマーカ1mと重なり合わないように描画されることがより好ましい。ダイシングラインマーカ1mは、樹脂流動抑制壁部材11よりも集合基板1の縁側となることで、後述する絶縁樹脂に覆われるおそれを低減することができる。   More preferably, the resin flow suppression wall member 11 is drawn so as not to overlap the dicing line marker 1m in the peripheral region 1b of the collective substrate 1. Since the dicing line marker 1m is located on the edge side of the collective substrate 1 with respect to the resin flow suppression wall member 11, it is possible to reduce the possibility of being covered with an insulating resin described later.

次に、図1に示すように、壁部材配設工程(ステップS2)の後、電子回路モジュール領域1aに重なるように絶縁樹脂を集合基板1上に載置する樹脂載置工程(ステップS3)に進む。図4は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板をプレス上盤及びプレス下盤の間に配置する状態を説明する概略構成図である。図4に示すように、プレス装置20は、プレス上盤21と、プレス下盤22とを含み、プレス上盤21及びプレス下盤22の間隔を狭めることで、プレス上盤21及びプレス下盤22の間に被加工物を挟み込み圧力を加えることができる。   Next, as shown in FIG. 1, after the wall member disposing step (step S2), a resin placing step (step S3) for placing an insulating resin on the collective substrate 1 so as to overlap the electronic circuit module region 1a. Proceed to FIG. 4 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the assembly board of electronic circuit module components according to the first embodiment is disposed between the press upper board and the press lower board. As shown in FIG. 4, the press device 20 includes a press upper board 21 and a press lower board 22, and by reducing the interval between the press upper board 21 and the press lower board 22, the press upper board 21 and the press lower board. The workpiece can be sandwiched between 22 and pressure can be applied.

樹脂載置工程(ステップS3)では、被加工物として上述した集合基板1の表面に絶縁樹脂2を載置する。ここで、絶縁樹脂2は、液状樹脂または粉状樹脂でもよいが、シート状であることがより好ましい。シート状の絶縁樹脂2は、常温(25℃)において定まった形を有している。このため、絶縁樹脂2は、所定の厚みを確保した状態で集合基板1の表面に載置される。   In the resin placing step (step S3), the insulating resin 2 is placed on the surface of the collective substrate 1 described above as a workpiece. Here, the insulating resin 2 may be a liquid resin or a powder resin, but is more preferably a sheet. The sheet-like insulating resin 2 has a shape determined at room temperature (25 ° C.). For this reason, the insulating resin 2 is placed on the surface of the collective substrate 1 with a predetermined thickness secured.

絶縁樹脂2は定まった形を有していることにより、絶縁樹脂量をあらかじめ規定できる。このため、集合基板1に反りがあっても、液状樹脂または粉状樹脂と比較して、集合基板1の反りによる集合基板1面内の樹脂量のばらつきを抑制することができる。例えば、絶縁樹脂2にシート状の樹脂を使用することにより、絶縁樹脂2は樹脂流動抑制壁部材11に囲まれる内側に容易に載置できる。   Since the insulating resin 2 has a fixed shape, the amount of the insulating resin can be defined in advance. For this reason, even if the collective substrate 1 is warped, variation in the amount of resin in the collective substrate 1 surface due to the warp of the collective substrate 1 can be suppressed as compared with a liquid resin or a powdery resin. For example, by using a sheet-like resin for the insulating resin 2, the insulating resin 2 can be easily placed inside the resin flow suppression wall member 11.

絶縁樹脂2は、電気絶縁性を有する絶縁樹脂であり、電子回路モジュール領域1aの電子部品を集合基板1上に封止する機能を有する。絶縁樹脂2は、例えば、熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂であるが、これに限定されない)である。または絶縁樹脂2は、フィラー(例えば、シリカやアルミナ)を配合してもよい。   The insulating resin 2 is an insulating resin having electrical insulating properties and has a function of sealing the electronic components in the electronic circuit module region 1 a on the collective substrate 1. The insulating resin 2 is, for example, a thermosetting resin (for example, an epoxy resin, but is not limited thereto). Alternatively, the insulating resin 2 may contain a filler (for example, silica or alumina).

樹脂載置工程(ステップS3)では、プレス装置20がプレス下盤22上に絶縁樹脂2を載置した集合基板1を受け入れ、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11上に剥離部材23を介してプレス上盤21が位置する状態とする。   In the resin placing step (step S3), the press device 20 receives the collective substrate 1 on which the insulating resin 2 is placed on the press lower platen 22, and the insulating resin 2 and the resin flow suppression wall member 11 are interposed via the peeling member 23. The press upper board 21 is in a state of being positioned.

図1に示す樹脂載置工程(ステップS3)の後、集合基板1、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11に圧力を加えるプレス工程(ステップS4)に進む。図5は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板を加圧する状態を説明する概略構成図である。図5に示すように、プレス装置20は、プレス上盤21及びプレス下盤22の間に、集合基板1、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11を挟み込み圧力を加える。プレス工程(ステップS4)では、圧力と共に温度を高くすることがより好ましい。これにより、絶縁樹脂2が軟化して変形しやすくなる。   After the resin placement step (step S3) shown in FIG. 1, the process proceeds to a pressing step (step S4) in which pressure is applied to the collective substrate 1, the insulating resin 2, and the resin flow suppression wall member 11. FIG. 5 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the collective substrate of the electronic circuit module component according to the first embodiment is pressed. As shown in FIG. 5, the press device 20 sandwiches the aggregate substrate 1, the insulating resin 2, and the resin flow suppression wall member 11 between the press upper plate 21 and the press lower plate 22 and applies pressure. In the pressing step (step S4), it is more preferable to increase the temperature together with the pressure. Thereby, the insulating resin 2 is softened and easily deformed.

次に、絶縁樹脂2に加わる圧力について図6及び図7を用いて説明する。図6は、樹脂流動抑制壁部材がない場合における樹脂の流動状態を説明する説明図である。図7は、実施形態1に係る樹脂流動抑制壁部材による樹脂の流動状態を説明する説明図である。図6に示すように、樹脂流動抑制壁部材がない場合、上下方向の絶縁樹脂2への圧力は、左右方向の圧力P1、P2となる。このため、周辺領域1bにおいて集合基板1の外側に向いた圧力P3に従って絶縁樹脂2が流出し、電子回路モジュール領域1a上の絶縁樹脂2の厚みが不足するおそれがある。   Next, the pressure applied to the insulating resin 2 will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 6 is an explanatory view for explaining the flow state of the resin when there is no resin flow suppression wall member. FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a resin flow state by the resin flow suppression wall member according to the first embodiment. As shown in FIG. 6, when there is no resin flow suppression wall member, the pressure applied to the insulating resin 2 in the vertical direction is the pressures P1 and P2 in the horizontal direction. For this reason, the insulating resin 2 flows out according to the pressure P3 directed to the outside of the collective substrate 1 in the peripheral region 1b, and the thickness of the insulating resin 2 on the electronic circuit module region 1a may be insufficient.

図7に示すように、樹脂流動抑制壁部材11は、上下方向の絶縁樹脂2への圧力が左右方向の圧力P1、P2となっても、集合基板1の内側に向いた圧力P4に反転させることができる。これにより、電子回路モジュール領域1a上の絶縁樹脂2の厚みを確保し、電子部品間または電子部品下の樹脂充填性を高めることができる。その結果、本実施形態の電子回路モジュール部品の製造方法は、絶縁樹脂内部の空隙を低減することができる。   As shown in FIG. 7, the resin flow suppression wall member 11 reverses the pressure P4 directed toward the inside of the collective substrate 1 even when the pressure on the insulating resin 2 in the vertical direction becomes the pressures P1 and P2 in the horizontal direction. be able to. Thereby, the thickness of the insulating resin 2 on the electronic circuit module region 1a can be secured, and the resin filling property between the electronic components or under the electronic components can be improved. As a result, the electronic circuit module component manufacturing method of the present embodiment can reduce the voids inside the insulating resin.

上述したように本実施形態の樹脂流動抑制壁部材11は、周辺領域1bの角部11Aにおいて不連続となっている。このため、角部11Aは、絶縁樹脂2の流れを誘導し、余剰の絶縁樹脂2を角部11Aの周辺領域1bに集中する。そして、角部11Aは、樹脂流動抑制壁部材11をオーバーフローするおそれを低減することができる。その結果、オーバーフローした絶縁樹脂2がダイシングラインマーカ1mを隠すことがなくなり、本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法は、周辺領域1bを後工程で有効に活用することができる。   As described above, the resin flow suppression wall member 11 of the present embodiment is discontinuous at the corner portion 11A of the peripheral region 1b. Therefore, the corner portion 11A induces the flow of the insulating resin 2 and concentrates the excess insulating resin 2 in the peripheral region 1b of the corner portion 11A. And the corner | angular part 11A can reduce a possibility that the resin flow suppression wall member 11 may overflow. As a result, the overflowing insulating resin 2 does not hide the dicing line marker 1m, and the electronic circuit module component manufacturing method according to the present embodiment can effectively utilize the peripheral region 1b in a subsequent process.

上述したように、プレス装置20は、プレス上盤21及びプレス下盤22の間に、集合基板1、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11を挟み込み圧力を加える。そして、図5に示すように、樹脂流動抑制壁部材11は、弾性体であるので、加えられた圧力により変形することができる。このため、樹脂流動抑制壁部材11は、電子回路モジュール領域1a上の絶縁樹脂2の所定の厚みにする障害になるおそれはない。プレス装置20は、プレス上盤21及びプレス下盤22の間を電子回路モジュール領域1a上の絶縁樹脂2の所定の厚みとなる位置で停止するように制御すればよい。   As described above, the press device 20 sandwiches the aggregate substrate 1, the insulating resin 2, and the resin flow suppression wall member 11 between the press upper plate 21 and the press lower plate 22 and applies pressure. And since the resin flow suppression wall member 11 is an elastic body as shown in FIG. 5, it can deform | transform with the applied pressure. For this reason, the resin flow suppression wall member 11 is not likely to be an obstacle to the predetermined thickness of the insulating resin 2 on the electronic circuit module region 1a. The press device 20 may be controlled to stop between the press upper board 21 and the press lower board 22 at a position where the insulating resin 2 has a predetermined thickness on the electronic circuit module region 1a.

プレス工程(ステップS4)の終了後、集合基板1を樹脂封止が終了し、電子回路モジュール領域1aの電子部品を絶縁樹脂2で覆うことができる。本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法の後工程として、切断装置が上述したダイシングラインマーカ1mを目印にして、ダイシングライン1cを切断する。また、樹脂流動抑制壁部材11を目印として樹脂流動抑制壁部材11を切り落とすように切断する。その結果、個々の電子回路モジュール領域1aが電子回路モジュール部品となり、電子回路モジュール部品を製造することができる。   After completion of the pressing step (step S4), resin sealing of the collective substrate 1 is completed, and the electronic components in the electronic circuit module region 1a can be covered with the insulating resin 2. As a subsequent step of the method for manufacturing the electronic circuit module component according to the present embodiment, the cutting device cuts the dicing line 1c using the dicing line marker 1m described above as a mark. Moreover, it cut | disconnects so that the resin flow suppression wall member 11 may be cut off using the resin flow suppression wall member 11 as a mark. As a result, each electronic circuit module region 1a becomes an electronic circuit module component, and the electronic circuit module component can be manufactured.

以上説明したように、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の製造方法は、複数の電子部品を含む電子回路モジュール領域1aと、電子回路モジュール領域1aの外郭の周辺領域1bとを含む集合基板1を用意し(ステップS1)、弾性体の樹脂流動抑制壁部材11を集合基板1の周辺領域1bに配設する壁部材配設工程(ステップS2)と、電子回路モジュール領域1aに絶縁樹脂2を載置する樹脂載置工程(ステップS3)と、集合基板1、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11に成形圧力を加えるプレス工程(ステップS4)と、を含む。   As described above, the electronic circuit module component manufacturing method according to the first embodiment includes the collective substrate 1 including the electronic circuit module region 1a including a plurality of electronic components and the peripheral region 1b outside the electronic circuit module region 1a. (Step S1), a wall member disposing step (step S2) of disposing the elastic resin flow suppression wall member 11 in the peripheral region 1b of the collective substrate 1, and the insulating resin 2 in the electronic circuit module region 1a. A resin placing step (step S3) to be placed, and a pressing step (step S4) for applying a molding pressure to the collective substrate 1, the insulating resin 2, and the resin flow suppression wall member 11 are included.

従来の電子回路モジュールの製造方法では、プレス装置20は、プレス上盤21またはプレス下盤22を集合基板1の大きさまたは形状に応じた金型として、集合基板1の種類毎に複数の金型を製造して準備しておく必要があった。また、金型の製造の費用は、非常に高く、金型のメンテナンス費用も継続して必要となる。   In the conventional method of manufacturing an electronic circuit module, the press device 20 uses a press upper plate 21 or a press lower plate 22 as a mold corresponding to the size or shape of the collective substrate 1, and a plurality of molds for each type of the collective substrate 1. The mold had to be manufactured and prepared. In addition, the cost of manufacturing the mold is very high, and the maintenance cost of the mold is required continuously.

実施形態1に係る電子回路モジュールの製造方法は、集合基板1の大きさまたは形状に応じた金型を不用とすることができる。また、電子回路モジュールの製造方法は、弾性体の樹脂流動抑制壁部材11により絶縁樹脂2の流れを抑制することができる。これにより、樹脂流動抑制壁部材11をオーバーフローした絶縁樹脂2が後工程において不具合となるおそれを抑制することができる。また、弾性体の樹脂流動抑制壁部材11は、成形圧力を封じ込めて、樹脂流動抑制壁部材11と電子部品との間、電子部品間または電子部品下等の空間の樹脂充填性を向上させることができる。   The manufacturing method of the electronic circuit module according to the first embodiment can eliminate the use of a mold corresponding to the size or shape of the collective substrate 1. Moreover, the manufacturing method of an electronic circuit module can suppress the flow of the insulating resin 2 by the elastic resin flow suppression wall member 11. Thereby, the possibility that the insulating resin 2 overflowing the resin flow suppression wall member 11 becomes a problem in a subsequent process can be suppressed. Moreover, the resin flow suppression wall member 11 of an elastic body can contain the molding pressure and improve the resin filling property in the space between the resin flow suppression wall member 11 and the electronic component, between the electronic components, or under the electronic component. Can do.

また、集合基板1上に樹脂流動抑制壁部材11を直接形成するため、集合基板1に反りがあっても、プレス工程(ステップS4)と同時に集合基板1の反りが矯正される。このため、プレス装置20は、反り矯正用の治具を不要とし、電子回路モジュール部品を製造するコストを安価にし、製造の手間も低減する。そして、上記電子回路モジュールの製造方法は、電子回路モジュール部品の品質を向上することができる。   Further, since the resin flow suppression wall member 11 is directly formed on the collective substrate 1, even if the collective substrate 1 is warped, the warp of the collective substrate 1 is corrected simultaneously with the pressing step (step S4). For this reason, the press device 20 eliminates the need for a warp correction jig, reduces the cost of manufacturing the electronic circuit module component, and reduces the manufacturing effort. And the manufacturing method of the said electronic circuit module can improve the quality of electronic circuit module components.

(第1変形例)
図8は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板の表面に樹脂流動抑制壁部材を配置する第1変形例を説明する説明図である。以下の説明においては、上述した実施形態と同じ構成要素には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
(First modification)
FIG. 8 is an explanatory view illustrating a first modification in which a resin flow suppression wall member is disposed on the surface of the collective substrate of the electronic circuit module component according to the first embodiment. In the following description, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図8に示すように、樹脂流動抑制壁部材12は、図3に示すディスペンサ等の液体吐出装置31により、集合基板1の周辺領域1bにあるダイシングラインマーカ1mと重なり合わないように描画される。樹脂流動抑制壁部材12は、周辺領域1b上に配設され、周辺領域1bの角部12Aにおいて不連続となっている。なお、角部12Aは、電子回路モジュール領域1aの外郭の各辺が交差する領域である。   As shown in FIG. 8, the resin flow suppression wall member 12 is drawn by the liquid ejection device 31 such as a dispenser shown in FIG. 3 so as not to overlap the dicing line marker 1 m in the peripheral region 1 b of the collective substrate 1. . The resin flow suppression wall member 12 is disposed on the peripheral region 1b and is discontinuous at the corner 12A of the peripheral region 1b. The corner portion 12A is an area where the sides of the outline of the electronic circuit module area 1a intersect.

樹脂流動抑制壁部材12は、直線的に描画する壁部12aと、角部12Aにおいて、上述した絶縁樹脂2の流動方向を規制する規制部12bとを含む。壁部12aは、電子回路モジュール領域1aの周辺領域1b側に沿って、かつ周辺領域1bの角部12A間において連続的に形成された堰である。規制部12bは、壁部12aの延長方向と異なる方向、かつ集合基板の外側に屈曲する壁部12aの端部に接続する堰である。   The resin flow suppression wall member 12 includes a wall portion 12a that is drawn linearly, and a restriction portion 12b that restricts the flow direction of the insulating resin 2 described above at the corner portion 12A. The wall portion 12a is a weir formed continuously along the peripheral region 1b side of the electronic circuit module region 1a and between the corner portions 12A of the peripheral region 1b. The restricting portion 12b is a weir connected to the end portion of the wall portion 12a that is bent in the direction different from the extending direction of the wall portion 12a and to the outside of the collective substrate.

図1に示すプレス工程(ステップS4)において、図8の角部12Aは、規制部12b間の流路に沿って絶縁樹脂2の流れを誘導し、余剰の絶縁樹脂2を角部12Aの周辺領域1bに集中する。そして、角部12Aは、樹脂流動抑制壁部材12の壁部12aをオーバーフローするおそれを低減することができる。その結果、オーバーフローした絶縁樹脂2がダイシングラインマーカ1mを隠すことがなくなり、本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法は、周辺領域1bを後工程で有効に活用することができる。また、規制部12bは、余剰の絶縁樹脂2が周辺領域1bへ回り込む流れを規制することができる。   In the pressing step (step S4) shown in FIG. 1, the corner portion 12A in FIG. 8 induces the flow of the insulating resin 2 along the flow path between the restricting portions 12b, and the excess insulating resin 2 is moved around the corner portion 12A. Concentrate on region 1b. And the corner | angular part 12A can reduce a possibility that the wall part 12a of the resin flow suppression wall member 12 may overflow. As a result, the overflowing insulating resin 2 does not hide the dicing line marker 1m, and the electronic circuit module component manufacturing method according to the present embodiment can effectively utilize the peripheral region 1b in a subsequent process. Further, the restricting portion 12b can restrict the flow of the surplus insulating resin 2 around the peripheral region 1b.

これにより、電子回路モジュール領域1aの外郭は、樹脂流動抑制壁部材12がある部分と、樹脂流動抑制壁部材12がない部分(角部12A)とに分けられる。樹脂流動抑制壁部材がない部分(角部12A)には、上記電子回路モジュールの製造方法のプレス工程(ステップS4)において、軟化した絶縁樹脂2が誘導され流れる。集合基板1の中央から外側に圧力が加えられた絶縁樹脂2は、集合基板1の角部12Aには流れ難い傾向にある。また、樹脂流動抑制壁部材12は、集合基板1の周辺領域1bの角部12Aにおいて不連続となっているため、樹脂流動抑制壁部材12がない。このため、軟化した絶縁樹脂2が角部12Aに誘導され流れこむので、角部12Aに近い電子回路モジュール領域1aの樹脂充填性が向上する。   Thereby, the outline of the electronic circuit module region 1a is divided into a portion where the resin flow suppression wall member 12 is present and a portion where the resin flow suppression wall member 12 is not present (corner portion 12A). In the portion (corner portion 12A) where there is no resin flow suppression wall member, the softened insulating resin 2 is induced and flows in the pressing step (step S4) of the method for manufacturing the electronic circuit module. The insulating resin 2 applied with pressure from the center of the collective substrate 1 to the outside tends to hardly flow to the corner portion 12A of the collective substrate 1. Further, since the resin flow suppression wall member 12 is discontinuous at the corner 12A of the peripheral region 1b of the collective substrate 1, there is no resin flow suppression wall member 12. For this reason, since the softened insulating resin 2 is guided and flows into the corner portion 12A, the resin filling property of the electronic circuit module region 1a close to the corner portion 12A is improved.

(第2変形例)
図9は、電子回路モジュール部品の集合基板の表面に樹脂流動抑制壁部材を配置する第2変形例を説明する説明図である。図10は、実施形態1に係る樹脂流動抑制壁部材の第2変形例を説明する説明図である。以下の説明においては、上述した実施形態と同じ構成要素には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
(Second modification)
FIG. 9 is an explanatory view illustrating a second modification example in which a resin flow suppression wall member is disposed on the surface of an assembly board of electronic circuit module components. FIG. 10 is an explanatory view illustrating a second modification of the resin flow suppression wall member according to the first embodiment. In the following description, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図9に示すように、樹脂流動抑制壁部材13は、周辺領域1b上に配設され、電子回路モジュール領域1aを囲うように連続的な堰となっている。壁部材配設工程(ステップS2)において、図3に示すディスペンサ等の液体吐出装置31により、集合基板1の周辺領域1bにあるダイシングラインマーカ1mと重なり合わないように描画される。   As shown in FIG. 9, the resin flow suppression wall member 13 is disposed on the peripheral region 1b and is a continuous weir so as to surround the electronic circuit module region 1a. In the wall member disposing step (step S2), drawing is performed by the liquid ejection device 31 such as a dispenser shown in FIG. 3 so as not to overlap the dicing line marker 1m in the peripheral region 1b of the collective substrate 1.

または、壁部材配設工程(ステップS2)において、成形装置が図10に示す樹脂流動抑制壁部材13のような枠状に弾性体を成形して枠体を製造して準備する。そして、壁部材配設工程(ステップS2)においては、前述した枠体を集合基板1に接着剤または粘着剤を介して固定する。枠体の材料は、特に限定されないがシリコーンゴム、ウレタンゴム等が好ましい。成形装置が弾性体のシートを抜き加工することにより、前述した枠体を製造する。また、接着剤または粘着剤は、特に限定されないが熱または湿気により硬化する反応性硬化樹脂を使用することが好ましい。   Or in a wall member arrangement | positioning process (step S2), a shaping | molding apparatus shape | molds and prepares an elastic body in frame shape like the resin flow suppression wall member 13 shown in FIG. And in a wall member arrangement | positioning process (step S2), the frame mentioned above is fixed to the aggregate substrate 1 via an adhesive agent or an adhesive. The material of the frame is not particularly limited, but silicone rubber, urethane rubber and the like are preferable. The above-described frame body is manufactured by punching the elastic sheet by the molding apparatus. The adhesive or pressure-sensitive adhesive is not particularly limited, but it is preferable to use a reactive curable resin that is cured by heat or moisture.

以上説明したように壁部材配設工程(ステップS2)において、予め弾性体を枠状に成形した樹脂流動抑制壁部材13を集合基板1上に配設する。このため、同じ形の樹脂流動抑制壁部材13を予め製造しておくことができるので、樹脂流動抑制壁部材13を集合基板1の表面上に配設する効率を高めることができる。その結果、壁部材配設工程(ステップS2)の所要時間を短縮することができる。   As described above, in the wall member disposing step (step S2), the resin flow suppression wall member 13 in which an elastic body is previously formed into a frame shape is disposed on the collective substrate 1. For this reason, since the resin flow suppression wall member 13 having the same shape can be manufactured in advance, the efficiency of disposing the resin flow suppression wall member 13 on the surface of the collective substrate 1 can be increased. As a result, the time required for the wall member disposing step (step S2) can be shortened.

(実施形態2)
図11は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板をプレス上盤及びプレス下盤の間に配置する状態を説明する概略構成図である。図12は、実施形態1に係る電子回路モジュール部品の集合基板を加圧する状態を説明する概略構成図である。以下の説明においては、上述した実施形態と同じ構成要素には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
(Embodiment 2)
FIG. 11 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the electronic circuit module component assembly board according to the first embodiment is disposed between the press upper board and the press lower board. FIG. 12 is a schematic configuration diagram illustrating a state in which the electronic circuit module component assembly board according to the first embodiment is pressed. In the following description, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図11に示すように、プレス装置20は、プレス上盤21と、プレス下盤22とを含み、プレス上盤21及びプレス下盤22の間隔を狭めることで、プレス上盤21及びプレス下盤22の間に被加工物を挟み込み圧力を加えることができる。プレス装置20は、さらに、プレス上盤21またはプレス下盤22の少なくとも一方に、プレス上盤21及びプレス下盤22の間隔を規制する成形圧力規制部材24を備えている。成形圧力規制部材24いわゆるスペーサであり、プレス上盤21及びプレス下盤22により挟まれても変形しない程度の剛体である。   As shown in FIG. 11, the press device 20 includes a press upper board 21 and a press lower board 22, and by reducing the interval between the press upper board 21 and the press lower board 22, The workpiece can be sandwiched between 22 and pressure can be applied. The press device 20 further includes a molding pressure regulating member 24 that regulates the distance between the press upper plate 21 and the press lower plate 22 on at least one of the press upper plate 21 and the press lower plate 22. The molding pressure regulating member 24 is a so-called spacer, and is a rigid body that does not deform even when it is sandwiched between the press upper panel 21 and the press lower panel 22.

図11に示すように、成形圧力規制部材24は、集合基板1に重ならない位置にある。そして、図1に示す樹脂載置工程(ステップS3)では、図11に示すプレス装置20がプレス下盤22上に絶縁樹脂2を載置した集合基板1を受け入れ、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11上に剥離部材23を介してプレス上盤21が位置する状態とする。   As shown in FIG. 11, the molding pressure regulating member 24 is in a position that does not overlap the collective substrate 1. In the resin placing step (step S3) shown in FIG. 1, the press device 20 shown in FIG. 11 receives the aggregate substrate 1 on which the insulating resin 2 is placed on the press lower plate 22, and receives the insulating resin 2 and the resin flow suppression. The press upper board 21 is positioned on the wall member 11 via the peeling member 23.

樹脂載置工程(ステップS3)の後、集合基板1、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11に圧力を加えるプレス工程(ステップS4)に進む。図12に示すように、プレス装置20は、プレス上盤21及びプレス下盤22の間に、集合基板1、絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11を挟み込み圧力を加える。プレス工程(ステップS4)において、成形圧力規制部材24が絶縁樹脂2及び樹脂流動抑制壁部材11に成形圧力を加える間隔を規制する。このため、プレス装置20は、プレス上盤21及びプレス下盤22の間隔を精密に制御することが不要となり、前記間隔を制御する制御装置を省いた簡易なプレス装置を使用することができる。   After the resin placement step (step S3), the process proceeds to a pressing step (step S4) in which pressure is applied to the collective substrate 1, the insulating resin 2, and the resin flow suppression wall member 11. As shown in FIG. 12, the press device 20 sandwiches the aggregate substrate 1, the insulating resin 2, and the resin flow suppression wall member 11 between the press upper plate 21 and the press lower plate 22 and applies pressure. In the pressing step (step S4), the molding pressure regulating member 24 regulates the interval at which the molding pressure is applied to the insulating resin 2 and the resin flow suppression wall member 11. For this reason, it is not necessary for the press device 20 to precisely control the interval between the press upper plate 21 and the press lower plate 22, and a simple press device in which the control device for controlling the interval is omitted can be used.

成形圧力規制部材24の高さは、電子回路モジュール領域1a上の絶縁樹脂2の所定の厚みを考慮して決めておくことが好ましい。なお、樹脂流動抑制壁部材13の高さは、成形圧力規制部材24の高さよりも高くすることで、プレス工程(ステップS4)における絶縁樹脂2のオーバーフローを抑制することができる。本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法は、プレス上盤21及びプレス下盤22を平板な単純な構造とすることができる。そして、本実施形態に係る電子回路モジュール部品の製造方法は、集合基板1の大きさまたは形に合わせた金型を用意することなく、安価な治具である成形圧力規制部材24の高さを変更することで、電子回路モジュール領域1a上の絶縁樹脂2の所定の厚みを得ることができる。   The height of the molding pressure regulating member 24 is preferably determined in consideration of a predetermined thickness of the insulating resin 2 on the electronic circuit module region 1a. In addition, overflow of the insulating resin 2 in a press process (step S4) can be suppressed by making the height of the resin flow suppression wall member 13 higher than the height of the molding pressure regulating member 24. In the method of manufacturing an electronic circuit module component according to the present embodiment, the press upper board 21 and the press lower board 22 can have a simple flat structure. And the manufacturing method of the electronic circuit module component which concerns on this embodiment does not prepare the metal mold | die match | combined with the magnitude | size or the shape of the collective substrate 1, and the height of the shaping pressure control member 24 which is an inexpensive jig | tool is made. By changing, the predetermined thickness of the insulating resin 2 on the electronic circuit module region 1a can be obtained.

1 集合基板
1a 電子回路モジュール領域
1b 周辺領域
1c ダイシングライン
1m ダイシングラインマーカ
2 絶縁樹脂
11、12、13 樹脂流動抑制壁部材
11A、12A 角部
12a 壁部
12b 規制部
20 プレス装置
21 プレス上盤
22 プレス下盤
23 剥離部材
24 成形圧力規制部材
31 液体吐出装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Collective board 1a Electronic circuit module area | region 1b Peripheral area | region 1c Dicing line 1m Dicing line marker 2 Insulating resin 11, 12, 13 Resin flow suppression wall member 11A, 12A Corner | angular part 12a Wall part 12b Control part 20 Press apparatus 21 Press upper board 22 Press lower plate 23 Peeling member 24 Molding pressure regulating member 31 Liquid discharge device

Claims (6)

複数の電子部品を含む電子回路モジュール領域と、前記電子回路モジュール領域の外郭の周辺領域とを含む集合基板を用意し、弾性体の樹脂流動抑制壁部材を前記集合基板の前記電子回路モジュール領域の周辺領域に配設する壁部材配設工程と、
前記電子回路モジュール領域に絶縁樹脂を載置する樹脂載置工程と、
前記集合基板、前記絶縁樹脂及び前記樹脂流動抑制壁部材に成形圧力を加えるプレス工程と、
を含むことを特徴とする電子回路モジュールの製造方法。
A collective substrate including an electronic circuit module region including a plurality of electronic components and an outer peripheral region of the electronic circuit module region is prepared, and a resin flow suppression wall member of an elastic body is provided in the electronic circuit module region of the collective substrate. A wall member disposing step disposed in the peripheral region;
A resin placing step of placing an insulating resin in the electronic circuit module region;
A pressing step of applying a molding pressure to the aggregate substrate, the insulating resin, and the resin flow suppression wall member;
The manufacturing method of the electronic circuit module characterized by the above-mentioned.
前記樹脂載置工程において、前記絶縁樹脂は所定の厚みを有しているシート状であることを特徴とする請求項1に記載の電子回路モジュールの製造方法。   2. The method of manufacturing an electronic circuit module according to claim 1, wherein, in the resin placing step, the insulating resin is in a sheet shape having a predetermined thickness. 前記電子回路モジュール領域は、平面視が多角形であり、
前記樹脂流動抑制壁部材は、前記電子回路モジュール領域の外郭の各辺が交差する前記電子回路モジュール領域の周辺領域の角部において不連続となっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子回路モジュールの製造方法。
The electronic circuit module region is polygonal in plan view,
The said resin flow suppression wall member is discontinuous in the corner | angular part of the peripheral region of the said electronic circuit module area | region where each edge | side of the outline of the said electronic circuit module area | region cross | intersects. 3. A method for producing an electronic circuit module according to 2.
前記壁部材配設工程において、液体吐出装置が前記電子回路モジュール領域の周辺領域に前記弾性体となる液状の原材料を吐出し、前記樹脂流動抑制壁部材を前記集合基板の表面に配設することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の電子回路モジュールの製造方法。   In the wall member disposing step, the liquid ejecting apparatus ejects a liquid raw material serving as the elastic body to a peripheral region of the electronic circuit module region, and disposing the resin flow suppressing wall member on the surface of the collective substrate. The method for manufacturing an electronic circuit module according to any one of claims 1 to 3, wherein: 前記壁部材配設工程において、予め前記弾性体を枠状に成形した前記樹脂流動抑制壁部材を前記集合基板の表面に配設することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子回路モジュールの製造方法。   3. The electron according to claim 1, wherein, in the wall member disposing step, the resin flow suppression wall member in which the elastic body is formed in a frame shape in advance is disposed on the surface of the collective substrate. Circuit module manufacturing method. 前記プレス工程において、成形圧力規制部材が前記絶縁樹脂及び前記樹脂流動抑制壁部材に成形圧力を加える間隔を規制することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の電子回路モジュールの製造方法。   6. The electron according to claim 1, wherein in the pressing step, a molding pressure regulating member regulates an interval at which a molding pressure is applied to the insulating resin and the resin flow suppression wall member. Circuit module manufacturing method.
JP2011278638A 2011-12-20 2011-12-20 Manufacturing method of electronic circuit module Pending JP2013131552A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011278638A JP2013131552A (en) 2011-12-20 2011-12-20 Manufacturing method of electronic circuit module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011278638A JP2013131552A (en) 2011-12-20 2011-12-20 Manufacturing method of electronic circuit module

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013131552A true JP2013131552A (en) 2013-07-04

Family

ID=48908906

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011278638A Pending JP2013131552A (en) 2011-12-20 2011-12-20 Manufacturing method of electronic circuit module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013131552A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8842734B2 (en) 2009-08-14 2014-09-23 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for encoding video, and method and apparatus for decoding video
WO2015015956A1 (en) * 2013-07-31 2015-02-05 日東電工株式会社 Pressing device and resin sheet curing method
WO2015033867A1 (en) * 2013-09-09 2015-03-12 日東電工株式会社 Method for manufacturing semiconductor device
JP2017041603A (en) * 2015-08-21 2017-02-23 ルネサスエレクトロニクス株式会社 Semiconductor device
JP2018014454A (en) * 2016-07-22 2018-01-25 京セラ株式会社 Wiring board, electronic device, and electronic module

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8842734B2 (en) 2009-08-14 2014-09-23 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for encoding video, and method and apparatus for decoding video
US9307238B2 (en) 2009-08-14 2016-04-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for encoding video, and method and apparatus for decoding video
US9313490B2 (en) 2009-08-14 2016-04-12 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for encoding video, and method and apparatus for decoding video
US9374579B2 (en) 2009-08-14 2016-06-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for encoding video, and method and apparatus for decoding video
WO2015015956A1 (en) * 2013-07-31 2015-02-05 日東電工株式会社 Pressing device and resin sheet curing method
WO2015033867A1 (en) * 2013-09-09 2015-03-12 日東電工株式会社 Method for manufacturing semiconductor device
JP2017041603A (en) * 2015-08-21 2017-02-23 ルネサスエレクトロニクス株式会社 Semiconductor device
US10553558B2 (en) 2015-08-21 2020-02-04 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device
JP2018014454A (en) * 2016-07-22 2018-01-25 京セラ株式会社 Wiring board, electronic device, and electronic module

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101992005B1 (en) Position adjusting mechanism, resin sealing apparatus, resin sealing method and method for manufacturing resin-sealed component
CN107026107B (en) Electronic component manufacturing apparatus and manufacturing method, and electronic component
JP2013131552A (en) Manufacturing method of electronic circuit module
JP6804410B2 (en) Conveying mechanism, resin molding device, method of delivering the object to be molded to the molding mold, and method of manufacturing the resin molded product
KR102059738B1 (en) Molding die, resin molding apparatus, resin molding method and method for manufacturing resin-molded component
JP6444707B2 (en) Electronic component, manufacturing method and manufacturing apparatus
JP2010109246A (en) Semiconductor device, and method of manufacturing the same
KR20160113973A (en) Resin Sealing Apparatus and Resin Sealing Method
US9870947B1 (en) Method for collective (wafer-scale) fabrication of electronic devices and electronic device
JP5552548B2 (en) Image sensor manufacturing method for reducing inclination of optical unit
KR20050072421A (en) Production method for surface-mounted saw device
JP2016101743A5 (en)
JP2016101743A (en) Molded article manufacturing apparatus, and molded article manufacturing method
KR20180022626A (en) Fingerprint recognition module and manufacturing method thereof
US20090271980A1 (en) Method for controlling warpage in redistributed chip packaging panels
JP2015084388A (en) Mounted component housing tool, multi-component mounting device, and multi-component mounting method
TWI698940B (en) Semiconductor packaging method, image processing element, camera device and electronic equipment based on molding technology
US9691697B2 (en) Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device
KR100495644B1 (en) Method for manufacturing semiconductor devices
JP2017034161A (en) Electronic device manufacturing method
JP5542853B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device
US11712823B2 (en) Molding die for compression molding with resin leakage prevention member
KR20190133004A (en) Substrate fixing jig and manufacturing method of semiconductor device using the same
JP5516237B2 (en) Circuit module manufacturing method
JP3912348B2 (en) Manufacturing method of surface acoustic wave device

Legal Events

Date Code Title Description
RD05 Notification of revocation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425

Effective date: 20130614