JP2013120856A

JP2013120856A - Division method

Info

Publication number: JP2013120856A
Application number: JP2011268284A
Authority: JP
Inventors: Makoto Kobayashi; 真小林; Ryoji Tanimoto; 亮治谷本
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2011-12-07
Filing date: 2011-12-07
Publication date: 2013-06-17
Anticipated expiration: 2031-12-07
Also published as: JP5911714B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a division method capable of improving throughput in dividing one sheet of workpiece while removing burrs produced in a workpiece W.SOLUTION: A division method which divides a workpiece W having a surface at least a part of which corresponding to a division schedule line is formed by a resin layer w2 along a division schedule line. The method comprises: a cutting step of dividing the workpiece W with a cutting blade 121; and a burr removal step of removing burrs w5, w6 by moving a byte tool 221 rotating in non-contact with an end of a cutting edge 223 of the byte tool 221 with the surface of the workpiece W and in a state where the tool 221 can contact the base of the burrs w5, w6 extended from the surface to an upper side produced at the cutting step in relatively a horizontal direction from an end of the workpiece W through the other for cutting the burrs w5, w6 with the end cutting blade 223 to remove the burrs w5, w6.

Description

本発明は、表面に樹脂層または金属層を有する被加工物の分割方法に関するものである。 The present invention relates to a method for dividing a workpiece having a resin layer or a metal layer on its surface.

通常、被加工物の分割は、高速回転する切削ブレードを用いた切削加工によって分割予定ラインに沿って行われている。切削ブレードを用いた切削加工では、被加工物の切削領域は切削除去されるが、表面のうち、少なくとも分割予定ラインに対応する部分が金属や樹脂等の延性材料で形成されていると、切削ブレードによって形成された切削溝と被加工物の表面との境界にバリが発生する。切削加工によりバリが発生すると、短絡などの製品特性不良や外観不良が発生したり、その後の生産工程におけるピックアップ不良やボンディング不良等の悪影響を及ぼしたりするので、大きな問題となる。 Usually, the workpiece is divided along a planned division line by cutting using a cutting blade rotating at high speed. In the cutting process using the cutting blade, the cutting area of the workpiece is cut and removed. However, if at least a portion corresponding to the planned dividing line is formed of a ductile material such as metal or resin, the cutting is performed. Burrs are generated at the boundary between the cutting groove formed by the blade and the surface of the workpiece. When burrs are generated by cutting, a product characteristic defect such as a short circuit or an appearance defect occurs, and a bad effect such as a pickup defect or a bonding defect in a subsequent production process is caused, which is a serious problem.

そこで、従来では、なるべく低速で切削加工を行い、発生するバリの大きさを小さくすることや、被加工物の分割後にバリを除去する分割方法などが提案されている。例えば、特許文献１では、切削ブレードにより被加工物を切削して切削溝を形成した後、逆回転させた切削ブレードを切削溝中を通過させてバリを除去することが提案されている。また、特許文献２では、被加工物を切削ブレードにより第１の方向に切削した際に、切削溝のエッジに発生したバリが第２の方向に切削する際に切削ブレードの進行方向に倣って伸びることによって交差点にバリが発生する点に着目し、第２の方向に切削した後、再度第１の方向に切削することで、交差点に発生したバリを除去することが提案されている。 Therefore, conventionally, there have been proposed a dividing method in which cutting is performed at as low a speed as possible to reduce the size of the generated burr, or the burr is removed after the workpiece is divided. For example, Patent Document 1 proposes that after cutting a workpiece with a cutting blade to form a cutting groove, the cutting blade rotated in reverse is passed through the cutting groove to remove burrs. In Patent Document 2, when a workpiece is cut in a first direction by a cutting blade, burrs generated at the edge of the cutting groove follow the traveling direction of the cutting blade when cutting in the second direction. It has been proposed to remove the burrs generated at the intersection by cutting in the second direction and then cutting again in the first direction, paying attention to the point at which the burr is generated at the intersection.

特開２００１−７７０５５号公報JP 2001-77055 A 特開２００６−４１２６１号公報JP 2006-41261 A

しかしながら、上記従来の方法では、切削ブレードによる切削時において切削加工送り速度（切削ブレードと被加工物との水平方向における相対移動速度）が低速となるか、切削ブレードによる切削後のバリの除去に時間を要するため、１枚の被加工物の分割に要する時間が長くなる虞があった。 However, in the above-described conventional method, the cutting feed rate (the relative movement speed in the horizontal direction between the cutting blade and the workpiece) is low during the cutting with the cutting blade, or burrs are removed after cutting with the cutting blade. Since time is required, there is a possibility that the time required to divide one workpiece becomes long.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被加工物に発生したバリを除去しつつ、１枚の被加工物の分割におけるスループット向上を図ることができる分割方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and provides a dividing method capable of improving throughput in dividing one workpiece while removing burrs generated on the workpiece. Objective.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、表面のうち、少なくとも分割予定ラインに対応する部分が樹脂層または金属層で形成される被加工物を前記分割予定ラインに沿って分割する分割方法であって、高速回転する切削ブレードによって前記分割予定ラインに沿って分割する切削ステップと、前記表面を露出させた状態で前記被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された前記被加工物を旋削する切れ刃を有するバイト工具と、鉛直方向を回転軸として前記バイト工具を回転可能に支持するスピンドルとを備えたバイト加工手段と、前記チャックテーブルと前記バイト加工手段とを相対的に水平方向に移動させる水平方向移動手段と、を備えたバイト切削装置を用い、前記切削ステップの後に、前記切れ刃の先端が前記表面と非接触で、且つ前記切削ステップで発生した前記表面から上方側に伸びるバリの根本に接触できる位置となる状態で、回転する前記バイト工具を前記被加工物の一端から他端に渡って相対的に水平方向に移動させて前記バリを除去するバリ除去ステップと、を含むことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a division in which a workpiece formed of a resin layer or a metal layer at least in a portion corresponding to the division line is divided along the division line. A cutting step for dividing the workpiece along the division line by a cutting blade rotating at high speed; a chuck table for holding the workpiece with the surface exposed; and the chuck table held by the chuck table A cutting tool having a cutting tool having a cutting edge for turning the workpiece, a spindle that rotatably supports the cutting tool with a vertical direction as a rotation axis, a chuck table, and the cutting tool. Using a cutting tool provided with a horizontal movement means for relatively moving in the horizontal direction, and after the cutting step, the cutting In a state where the tip of the blade is in non-contact with the surface and can come into contact with the root of a burr extending upward from the surface generated in the cutting step, the rotating tool bit is rotated from one end of the workpiece. And a burr removing step of removing the burr by moving in a relatively horizontal direction over the other end.

また、上記分割方法において、前記バリ除去ステップにおいては、前記バリの伸びる方向と対向する方向から回転する前記バイト工具を前記被加工物の一端から他端に渡って相対的に水平方向に移動させて前記バリを除去することが好ましい。 Further, in the dividing method, in the burr removing step, the bite tool rotating from a direction opposite to a direction in which the burr extends is moved in a relatively horizontal direction from one end of the workpiece to the other end. It is preferable to remove the burr.

本発明の分割方法は、切削ステップにおいて被加工物に発生したバリを、バリ除去ステップにおいてバイト切削装置により除去するので、分割ステップでバリの発生を抑制することなく、分割ステップにおける加工速度が向上することができ、バリ除去加工に要する時間も短縮することができ、被加工物に発生したバリを除去しつつ、１枚の被加工物の分割におけるスループット向上を図ることができるという効果を奏する。 In the dividing method of the present invention, burrs generated on the workpiece in the cutting step are removed by the cutting tool in the burr removing step, so that the machining speed in the dividing step is improved without suppressing the generation of burrs in the dividing step. It is possible to reduce the time required for the burr removal processing, and it is possible to improve the throughput in dividing one workpiece while removing the burrs generated on the workpiece. .

図１は、被加工物の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a workpiece. 図２は、被加工物の要部断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the workpiece. 図３は、ブレード切削装置の構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the blade cutting device. 図４は、バイト切削装置の構成例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of the cutting tool. 図５は、本実施形態に係る分割方法のフロー図である。FIG. 5 is a flowchart of the division method according to the present embodiment. 図６は、切削加工状態を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a cutting state. 図７は、切削加工前の被加工物を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a workpiece before cutting. 図８は、第１分割工程後の被加工物を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating the workpiece after the first dividing step. 図９は、第２分割工程後の被加工物を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating the workpiece after the second dividing step. 図１０は、バリ除去工程後の被加工物を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating the workpiece after the deburring process.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、被加工物の構成例を示す図である。図２は、被加工物の要部断面図である。図３は、ブレード切削装置の構成例を示す図である。図４は、バイト切削装置の構成例を示す図である。なお、図２は、図１に示す被加工物Ｗを軸方向（鉛直方向）を含み、かつ分割予定ラインに沿った平面における一部断面図である。 Embodiment
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a workpiece. FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the workpiece. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the blade cutting device. FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of the cutting tool. FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the workpiece W shown in FIG. 1 in a plane including the axial direction (vertical direction) and along the planned division line.

本実施形態に係る分割方法は、切削ブレードを有するブレード切削装置により被加工物を分割予定ラインに沿って分割する分割工程と、バイトを有するバイト切削装置により分割工程により被加工物の表面に発生したバリを除去するバリ除去工程とを含んでいる。 The dividing method according to this embodiment is generated on the surface of a workpiece by a dividing step of dividing a workpiece along a planned dividing line by a blade cutting device having a cutting blade, and by a dividing step of a cutting tool having a cutting tool. And a burr removing process for removing the generated burr.

図１および図２に示すように、被加工物Ｗは、ブレード切削装置により分割される対象であるとともに、バイト切削装置によるバリ除去の対象である。被加工物Ｗは、本実施形態では、複数のチップＣが形成されたベース層ｗ１と、延性材料である樹脂から構成される樹脂層ｗ２とを積層することで構成されている。つまり、被加工物Ｗの表面は、樹脂で形成されている。ベース層ｗ１は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材として、複数のチップＣが格子状に形成された半導体ウエーハである。ここで、隣り合うチップＣの方向は、第１方向Ｄ１と第１方向Ｄ１と直交する第２方向Ｄ２がある。分割予定ラインは、隣り合うチップＣの間に複数存在するものであり、本実施形態では、図１に示す矢印および図２に示す２点鎖線のように、第１方向Ｄ１と平行な複数の第１分割予定ラインｄ１と、第２方向Ｄ２と平行な複数の第２分割予定ラインｄ２とが存在する。樹脂層ｗ２は、保護・補強用フィルムをベース層ｗ１の表面に貼着したものであり、被加工物Ｗの表面のうち、各分割予定ラインｄ１，ｄ２に対応する部分が樹脂層ｗ２で形成されることとなる。被加工物Ｗは、表面と反対側の裏面がダイシングテープＴに貼着され、被加工物Ｗに貼着されたダイシングテープＴがフレームＦに貼着されることで、フレームＦに固定される。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the workpiece W is an object to be divided by a blade cutting device and a target to be deburred by a cutting tool. In the present embodiment, the workpiece W is configured by laminating a base layer w1 on which a plurality of chips C are formed and a resin layer w2 made of a resin that is a ductile material. That is, the surface of the workpiece W is made of resin. The base layer w1 is a semiconductor wafer in which a plurality of chips C are formed in a lattice shape using silicon, sapphire, gallium or the like as a base material. Here, the direction of the adjacent chip C includes a first direction D1 and a second direction D2 orthogonal to the first direction D1. There are a plurality of division lines between adjacent chips C. In the present embodiment, a plurality of lines that are parallel to the first direction D1 as indicated by the arrows shown in FIG. 1 and the two-dot chain line shown in FIG. There are a first planned division line d1 and a plurality of second division planned lines d2 parallel to the second direction D2. The resin layer w2 is obtained by sticking a protective / reinforcing film to the surface of the base layer w1, and a portion of the surface of the workpiece W corresponding to each of the division lines d1 and d2 is formed by the resin layer w2. Will be. The workpiece W is fixed to the frame F by attaching the back surface opposite to the front surface to the dicing tape T and attaching the dicing tape T attached to the workpiece W to the frame F. .

ブレード切削装置１００は、図３に示すように、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル１１０と、切削ブレード１２１を有するブレード加工手段１２０とを相対移動させることで、被加工物Ｗを各分割予定ラインｄ１，ｄ２に沿って切削し、各チップＣに分割する切削加工を行うものである。ブレード切削装置１００は、チャックテーブル１１０と、ブレード加工手段１２０と、図示しないＸ軸移動手段と、Ｙ軸移動手段１３０と、Ｚ軸移動手段１４０と、制御装置１５０とを含んで構成されている。 As shown in FIG. 3, the blade cutting apparatus 100 is configured to divide the workpiece W into each of the divided parts by relatively moving the chuck table 110 holding the workpiece W and the blade processing means 120 having the cutting blade 121. Cutting along the lines d1 and d2 is performed to divide each chip C. The blade cutting device 100 includes a chuck table 110, blade processing means 120, an X-axis moving means (not shown), a Y-axis moving means 130, a Z-axis moving means 140, and a control device 150. .

チャックテーブル１１０は、被加工物Ｗを保持するものである。チャックテーブル１１０は、表面に載置された被加工物Ｗを吸引することで、被加工物Ｗの表面を露出させた状態で保持するものである。なお、チャックテーブル１１０は、テーブル移動基台１０１に着脱可能に固定されている。また、チャックテーブル１１０の周囲には、クランプ部１１１が設けられており、クランプ部１１１がエアーアクチュエータにより駆動することで、被加工物Ｗの周囲のフレームＦを挟持する。 The chuck table 110 holds the workpiece W. The chuck table 110 holds the workpiece W in an exposed state by sucking the workpiece W placed on the surface. The chuck table 110 is detachably fixed to the table moving base 101. In addition, a clamp part 111 is provided around the chuck table 110, and the clamp part 111 is driven by an air actuator so as to sandwich the frame F around the workpiece W.

ブレード加工手段１２０は、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗに対して切削加工を行うものである。ブレード加工手段１２０は、切削ブレード１２１と、スピンドル１２２、ハウジング１２３とを含んで構成されている。切削ブレード１２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石であり、高速回転することで被加工物Ｗに切削加工を施すものである。切削ブレード１２１は、スピンドル１２２に着脱自在に装着される。スピンドル１２２は、円筒形状のハウジング１２３に回転自在に支持され、ハウジング１２３に連結されている図示しないブレード駆動源に連結されている。切削ブレード１２１は、ブレード駆動源により発生した回転力により高速回転（数千〜数万ｒｐｍ）する。 The blade processing unit 120 performs cutting on the workpiece W held on the chuck table 110. The blade processing means 120 includes a cutting blade 121, a spindle 122, and a housing 123. The cutting blade 121 is an extremely thin cutting grindstone having a substantially ring shape, and cuts the workpiece W by rotating at a high speed. The cutting blade 121 is detachably attached to the spindle 122. The spindle 122 is rotatably supported by a cylindrical housing 123 and is connected to a blade drive source (not shown) connected to the housing 123. The cutting blade 121 is rotated at a high speed (several thousand to several tens of thousands rpm) by the rotational force generated by the blade driving source.

Ｘ軸移動手段は、切削ブレード１２１に対してチャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗをブレード切削装置１００におけるＸ軸方向に相対移動させるものである。Ｘ軸移動手段は、図示しないＸ軸パルスモータにより発生した回転力により、テーブル移動基台１０１を図示しないＸ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体１０２に対してＸ軸方向に移動させる。ここで、テーブル移動基台１０１は、テーブル移動基台１０１の中心軸線を中心とするブレード切削装置１００におけるθ方向に回転自在に支持されている。テーブル移動基台１０１は、図示しない基台駆動源に連結されており、基台駆動源が発生した回転力により、θ方向に任意の角度、例えば９０度回転や連続回転することができ、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗを切削ブレード１２１に対してテーブル移動基台１０１の中心軸線を中心に任意の角度回転や連続回転などの回転駆動させることができる。 The X-axis moving means moves the workpiece W held on the chuck table 110 relative to the cutting blade 121 in the X-axis direction in the blade cutting apparatus 100. The X-axis moving means moves the table main body 101 in the X-axis direction while guiding the table moving base 101 with an X-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by an X-axis pulse motor (not shown). Here, the table moving base 101 is supported so as to be rotatable in the θ direction in the blade cutting device 100 around the central axis of the table moving base 101. The table moving base 101 is connected to a base driving source (not shown), and can be rotated at an arbitrary angle in the θ direction, for example, 90 degrees or continuous rotation by the rotational force generated by the base driving source. The workpiece W held on the table 110 can be driven to rotate at an arbitrary angular rotation or continuous rotation about the central axis of the table moving base 101 with respect to the cutting blade 121.

Ｙ軸移動手段１３０は、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗに対して切削ブレード１２１をブレード切削装置１００におけるＹ軸方向に相対移動させるものである。Ｙ軸移動手段１３０は、図示しないＹ軸パルスモータにより発生した回転力により、ブレード加工手段１２０を図示しないＹ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体１０２に対してＹ軸方向に移動させる。 The Y-axis moving unit 130 moves the cutting blade 121 relative to the workpiece W held on the chuck table 110 in the Y-axis direction of the blade cutting apparatus 100. The Y-axis moving means 130 moves the apparatus body 102 in the Y-axis direction while guiding the blade processing means 120 by a Y-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by a Y-axis pulse motor (not shown).

Ｚ軸移動手段１４０は、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗに対して切削ブレード１２１をブレード切削装置１００におけるＺ軸方向に相対移動させるものである。Ｚ軸移動手段１４０は、図示しないＺ軸パルスモータにより発生した回転力により、ブレード加工手段１２０を図示しないＺ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体１０２に対してＺ軸方向に移動させる。 The Z-axis moving unit 140 moves the cutting blade 121 relative to the workpiece W held on the chuck table 110 in the Z-axis direction of the blade cutting apparatus 100. The Z-axis moving unit 140 moves the blade processing unit 120 in the Z-axis direction while guiding the blade processing unit 120 by a Z-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by a Z-axis pulse motor (not shown).

制御装置１５０は、ブレード切削装置１００を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御するものである。制御装置１５０は、切削ブレード１２１を高速回転させ、チャックテーブル１１０と切削ブレード１２１とをＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、θ方向において相対移動させることで、被加工物Ｗに対する切削加工をブレード加工手段１２０に行わせるものである。なお、制御装置１５０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、ブレード切削装置１００の加工動作の状態を表示する表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる操作手段と接続されている。 The control device 150 controls the above-described components constituting the blade cutting device 100, respectively. The control device 150 rotates the cutting blade 121 at a high speed, and relatively moves the chuck table 110 and the cutting blade 121 in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, and the θ direction, thereby cutting the workpiece W. Is performed by the blade processing means 120. Note that the control device 150 is configured mainly by a processor (not shown) including an arithmetic processing device configured by a CPU or the like, a ROM, a RAM, and the like, and a display unit that displays a processing operation state of the blade cutting device 100. In addition, it is connected to operation means used when an operator registers machining content information and the like.

バイト切削装置２００は、図４に示すように、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル２１０と、切り刃２２３を有するバイト工具２２１とを相対移動させることで、ブレード切削装置１００による切削加工後の被加工物Ｗの表面に発生したバリを除去するバリ除去加工を行うものである。バイト切削装置２００は、チャックテーブル２１０と、バイト加工手段２２０と、図示しないＹ軸移動手段と、Ｚ軸移動手段２３０と、制御装置２４０とを含んで構成されている。 As shown in FIG. 4, the cutting tool 200 moves the chuck table 210 holding the workpiece W and the cutting tool 221 having the cutting blade 223 relative to each other, thereby performing cutting after the cutting by the blade cutting apparatus 100. Deburring is performed to remove burrs generated on the surface of the workpiece W. The cutting tool 200 includes a chuck table 210, a cutting tool 220, a Y-axis moving means (not shown), a Z-axis moving means 230, and a control device 240.

チャックテーブル２１０は、切削加工後の被加工物Ｗを保持するものである。チャックテーブル２１０は、表面に載置された被加工物Ｗを吸引することで、被加工物Ｗの表面を露出させた状態で保持するものである。なお、チャックテーブル２１０は、テーブル移動基台２０１に着脱可能に固定されている。また、チャックテーブル２１０の周囲には、図示しないクランプ部が設けられており、クランプ部がエアーアクチュエータにより駆動することで、被加工物Ｗの周囲のフレームＦを挟持する。 The chuck table 210 holds the workpiece W after cutting. The chuck table 210 holds the workpiece W in an exposed state by sucking the workpiece W placed on the surface. The chuck table 210 is detachably fixed to the table moving base 201. In addition, a clamp portion (not shown) is provided around the chuck table 210, and the clamp portion is driven by an air actuator so that the frame F around the workpiece W is sandwiched.

バイト加工手段２２０は、チャックテーブル２１０に保持された被加工物Ｗを旋削することで、被加工物Ｗの表面のバリを除去するものである。バイト加工手段２２０は、バイト工具２２１と、スピンドル２２２とを含んで構成されている。バイト工具２２１は、円盤形状であり、被加工物Ｗと対向する側に切り刃（バイト）２２３が回転方向に垂直に取り付けられている。バイト工具２２１は、回転することで、被加工物Ｗを旋削、本実施形態では切り刃２２３を被加工物Ｗの表面に発生したバリと接触させ、バリを切り刃２２３によりカットし、除去するものである。バイト工具２２１は、スピンドル２２２に着脱自在に装着される。スピンドル２２２は、鉛直方向を回転軸として円筒形状のハウジング２２４に回転自在に支持されることで、鉛直方向を回転軸としてバイト工具２２１を回転可能に支持するものであり、ハウジング２２４に配設されているサーボモータ２２５に連結されている。バイト工具２２１は、サーボモータ２２５により発生した回転力により回転駆動する。なお、バイト工具２２１の外径（切り刃２２３によりバリ除去加工ができる領域の外径）は、チャックテーブル２１０に保持される被加工物Ｗの外径以上に設定されている。 The bite machining means 220 removes burrs on the surface of the workpiece W by turning the workpiece W held on the chuck table 210. The cutting tool means 220 includes a cutting tool 221 and a spindle 222. The cutting tool 221 has a disk shape, and a cutting blade (cutting tool) 223 is attached to the side facing the workpiece W so as to be perpendicular to the rotation direction. The tool 221 rotates to turn the workpiece W. In this embodiment, the cutting blade 223 is brought into contact with the burr generated on the surface of the workpiece W, and the burr is cut by the cutting blade 223 and removed. Is. The bite tool 221 is detachably attached to the spindle 222. The spindle 222 is rotatably supported by a cylindrical housing 224 with the vertical direction as a rotation axis, and rotatably supports the tool 221 with the vertical direction as a rotation axis. The servo motor 225 is connected. The bite tool 221 is rotationally driven by the rotational force generated by the servo motor 225. The outer diameter of the cutting tool 221 (the outer diameter of the region where the burr removal process can be performed by the cutting blade 223) is set to be equal to or larger than the outer diameter of the workpiece W held on the chuck table 210.

Ｙ軸移動手段は、チャックテーブル２１０とバイト加工手段２２０とを相対的に水平方向に移動させる水平方向移動手段であり、バイト工具２２１に対してチャックテーブル２１０に保持された被加工物Ｗをバイト切削装置２００におけるＹ軸方向に相対移動させるものである。Ｙ軸移動手段は、図示しないＹ軸パルスモータにより発生した回転力により、テーブル移動基台２０１を図示しないＹ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体２０２に対してＹ軸方向に移動させる。ここで、テーブル移動基台２０１は、テーブル移動基台２０１の中心軸線を中心とするバイト切削装置２００におけるθ方向に回転自在に支持されている。テーブル移動基台２０１は、図示しない基台駆動源に連結されており、基台駆動源が発生した回転力により、θ方向に任意の角度、例えば９０度回転や連続回転することができ、チャックテーブル２１０に保持された被加工物Ｗをバイト加工手段２２０に対してテーブル移動基台２０１の中心軸線を中心に任意の角度回転や連続回転などの回転駆動させることができる。 The Y-axis moving unit is a horizontal moving unit that relatively moves the chuck table 210 and the bite machining unit 220 in the horizontal direction. The workpiece W held on the chuck table 210 with respect to the bite tool 221 is transferred to the bite. The cutting device 200 is relatively moved in the Y-axis direction. The Y-axis moving means moves the table main base 201 in the Y-axis direction while guiding the table moving base 201 with a Y-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by a Y-axis pulse motor (not shown). Here, the table moving base 201 is supported so as to be rotatable in the θ direction in the cutting tool 200 around the central axis of the table moving base 201. The table moving base 201 is connected to a base driving source (not shown), and can be rotated at an arbitrary angle in the θ direction, for example, 90 degrees or continuous rotation by the rotational force generated by the base driving source. The workpiece W held on the table 210 can be driven to rotate at an arbitrary angular rotation or continuous rotation around the central axis of the table moving base 201 with respect to the tool machining means 220.

Ｚ軸移動手段２３０は、チャックテーブル２１０に保持された被加工物Ｗに対してバイト工具２２１をバイト切削装置２００におけるＺ軸方向に相対移動させるものである。Ｚ軸移動手段２３０は、図示しないＺ軸パルスモータにより発生した回転力により、バイト加工手段２２０を図示しないＺ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体２０２に対してＺ軸方向に移動させる。 The Z-axis moving unit 230 moves the cutting tool 221 relative to the workpiece W held on the chuck table 210 in the Z-axis direction of the cutting tool 200. The Z-axis moving means 230 moves the tool machining means 220 in the Z-axis direction while guiding the tool machining means 220 by a Z-axis guide rail (not shown) by a rotational force generated by a Z-axis pulse motor (not shown).

制御装置２４０は、バイト切削装置２００を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御するものである。制御装置２４０は、バイト工具２２１を回転させ、チャックテーブル２１０とバイト工具２２１とをＹ軸方向、Ｚ軸方向、θ方向において相対移動させるもので、被加工物Ｗに対するバリ除去加工をバイト加工手段２２０に行わせるものである。なお、制御装置２４０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、バイト切削装置２００の加工動作の状態を表示する表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる操作手段と接続されている。 The control device 240 controls each of the above-described components constituting the cutting tool 200. The control device 240 rotates the cutting tool 221 to move the chuck table 210 and the cutting tool 221 relative to each other in the Y axis direction, the Z axis direction, and the θ direction. 220. The control device 240 is mainly composed of an arithmetic processing device constituted by, for example, a CPU, or a microprocessor (not shown) provided with a ROM, a RAM, etc., and a display means for displaying the state of the machining operation of the cutting tool 200. In addition, it is connected to operation means used when an operator registers machining content information and the like.

次に、本実施形態に係る分割方法について説明する。図５は、本実施形態に係る分割方法のフロー図である。図６は、切削加工状態を示す図である。図７は、切削加工前の被加工物を示す図である。図８は、第１分割工程後の被加工物を示す図である。図９は、第２分割工程後の被加工物を示す図である。図１０は、バリ除去工程後の被加工物を示す図である。 Next, the dividing method according to this embodiment will be described. FIG. 5 is a flowchart of the division method according to the present embodiment. FIG. 6 is a diagram illustrating a cutting state. FIG. 7 is a diagram illustrating a workpiece before cutting. FIG. 8 is a diagram illustrating the workpiece after the first dividing step. FIG. 9 is a diagram illustrating the workpiece after the second dividing step. FIG. 10 is a diagram illustrating the workpiece after the deburring process.

まず、図５に示すように、第１分割工程を実行する（ステップＳＴ１）。ここでは、ブレード切削装置１００により、第１分割予定ラインｄ１に沿って被加工物Ｗを切削加工する。具体的には、オペレータがブレード切削装置１００に、加工内容情報を登録し、チャックテーブル１１０に被加工物Ｗを保持させ、切削加工動作の開始指示があった場合に、切削加工動作を開始する。切削加工動作において、制御装置１５０は、図示しない撮像手段が撮像した画像に基づいてアライメント調整を行い、保持された被加工物Ｗのブレード加工手段１２０に対する相対位置を調整される。次に、制御装置１５０は、撮像位置の被加工物Ｗを保持したチャックテーブル１１０を加工位置（被加工物Ｗの外周近傍）までＸ軸方向に移動し、加工内容情報に基づいて、被加工物Ｗの切削加工を開始する。制御装置１５０は、図６に示すように、切削ブレード１２１をＲ１方向に高速回転させるとともに、切削ブレード１２１をＺ軸方向において被加工物Ｗを第１分割予定ラインｄ１に沿って分割できる位置に移動させ、Ｘ軸方向と平行である加工送り方向Ｌ１（第１方向Ｄ１と平行）に被加工物Ｗを移動させる。これにより、ブレード切削装置１００は、図７に示す切削加工前の被加工物Ｗにおけるすべての第１分割予定ラインｄ１に沿って、被加工物Ｗを高速回転する切削ブレード１２１により切削、すなわち１チャンネル分切削加工する。被加工物Ｗは、図８に示すように、第１分割予定ラインｄ１に沿って被加工物Ｗを切削したことで、各第１分割予定ラインｄ１に沿った第１切削溝ｗ３が形成される。ここで、被加工物Ｗの表面のうち、第１分割予定ラインｄ１に対応する部分が樹脂で形成されているため、表面と第１切削溝ｗ３との境界にバリｗ５が発生する。バリｗ５は、少なくとも上方側に伸び、その伸びる方向は切削ブレード１２１の回転方向と、加工送り方向、バリを発生させる被加工物Ｗの表面の材質によって変化する。本実施形態では、バリｗ５は、図６に示すように、上方側で、加工送り方向Ｌ１に伸びる、すなわちバリｗ５の先端が根本に対して、加工送り方向Ｌ１に位置するように発生するものとする。 First, as shown in FIG. 5, the first division step is executed (step ST1). Here, the workpiece W is cut by the blade cutting device 100 along the first scheduled division line d1. Specifically, the operator registers the machining content information in the blade cutting device 100, holds the workpiece W on the chuck table 110, and starts the cutting operation when there is an instruction to start the cutting operation. . In the cutting operation, the control device 150 performs alignment adjustment based on an image captured by an imaging unit (not shown), and adjusts the relative position of the workpiece W held with respect to the blade processing unit 120. Next, the control device 150 moves the chuck table 110 holding the workpiece W at the imaging position to the machining position (near the outer periphery of the workpiece W) in the X-axis direction, and performs machining based on the machining content information. Cutting of the object W is started. As shown in FIG. 6, the control device 150 rotates the cutting blade 121 at a high speed in the R1 direction, and at a position where the workpiece W can be divided along the first division planned line d1 in the Z-axis direction. The workpiece W is moved in the machining feed direction L1 (parallel to the first direction D1) parallel to the X-axis direction. Thereby, the blade cutting device 100 performs cutting with the cutting blade 121 that rotates the workpiece W at a high speed along all the first scheduled division lines d1 in the workpiece W before cutting shown in FIG. Cut by channel. As shown in FIG. 8, the workpiece W is cut along the first division planned line d1, so that the first cutting groove w3 along each first division planned line d1 is formed. The Here, of the surface of the workpiece W, the portion corresponding to the first division line d1 is formed of resin, so that a burr w5 is generated at the boundary between the surface and the first cutting groove w3. The burr w5 extends at least upward, and the extending direction varies depending on the rotation direction of the cutting blade 121, the processing feed direction, and the material of the surface of the workpiece W that generates burrs. In the present embodiment, as shown in FIG. 6, the burr w5 extends upward in the machining feed direction L1, that is, the burr w5 is generated so that the tip of the burr w5 is positioned in the machining feed direction L1 with respect to the root. And

次に、図５に示すように、第２分割工程を実行する（ステップＳＴ２）。ここでは、ブレード切削装置１００により、第２分割予定ラインｄ２に沿って被加工物Ｗを切削加工する。具体的には、上記ステップ１とほぼ同様であり、図６に示すように、制御装置１５０は、切削ブレード１２１をＲ１方向に高速回転させるとともに、切削ブレード１２１をＺ軸方向において被加工物Ｗを第２分割予定ラインｄ２に沿って分割できる位置に移動させ、Ｘ軸方向と平行である加工送り方向Ｌ２（第２方向Ｄ２と平行）に被加工物Ｗを移動させる。これにより、ブレード切削装置１００は、図８に示す複数の第１切削溝ｗ３が形成された被加工物Ｗにおけるすべての第２分割予定ラインｄ２に沿って、被加工物Ｗを高速回転する切削ブレード１２１により切削、すなわち１チャンネル分切削加工する。被加工物Ｗは、図９に示すように、第２分割予定ラインに沿って被加工物Ｗを切削したことで、各第２分割予定ラインｄ２に沿った第１切削溝ｗ３と直交する第２切削溝ｗ４が形成される。ここで、被加工物Ｗの表面のうち、第２分割予定ラインｄ２に対応する部分が樹脂で形成されているため、表面と第２切削溝ｗ４との境界にバリｗ６が発生する。バリｗ６は、図６に示すように、上方側で、かつ加工送り方向Ｌ２に伸びる、すなわちバリｗ６の先端が根本に対して、加工送り方向Ｌ２に位置するように発生するものとする。つまり、バリｗ５、ｗ６は、図９に示すように、各切削溝ｗ３、ｗ４に沿ってそれぞれ発生する。 Next, as shown in FIG. 5, the second dividing step is executed (step ST2). Here, the workpiece W is cut by the blade cutting device 100 along the second scheduled division line d2. Specifically, as shown in FIG. 6, the control device 150 rotates the cutting blade 121 at a high speed in the R1 direction and moves the cutting blade 121 in the Z-axis direction as shown in FIG. Is moved to a position where it can be divided along the second scheduled division line d2, and the workpiece W is moved in the machining feed direction L2 (parallel to the second direction D2) parallel to the X-axis direction. Thereby, the blade cutting device 100 performs cutting that rotates the workpiece W at a high speed along all the second scheduled division lines d2 in the workpiece W in which the plurality of first cutting grooves w3 illustrated in FIG. 8 are formed. Cutting with the blade 121, that is, cutting for one channel. As shown in FIG. 9, the workpiece W is cut along the second scheduled division line, so that the workpiece W is orthogonal to the first cutting groove w3 along each second scheduled division line d2. Two cutting grooves w4 are formed. Here, since the portion of the surface of the workpiece W corresponding to the second division planned line d2 is made of resin, a burr w6 is generated at the boundary between the surface and the second cutting groove w4. As shown in FIG. 6, the burr w6 extends on the upper side and extends in the machining feed direction L2, that is, the burr w6 is generated so that the tip of the burr w6 is positioned in the machining feed direction L2 with respect to the root. That is, the burrs w5 and w6 are generated along the cutting grooves w3 and w4, respectively, as shown in FIG.

次に、図５に示すように、バリ除去工程を実行する（ステップＳＴ３）。ここでは、バイト切削装置２００により、各切削溝ｗ３、ｗ４にそれぞれ対応するバリｗ５、ｗ６を除去する。具体的には、オペレータがバイト切削装置２００に、加工内容情報を登録し、チャックテーブル２１０にブレード切削装置１００による第１、第２分割予定ライン切削加工後の被加工物Ｗを保持させ、加工動作の開始指示があった場合に、バリ除去加工動作を開始する。バリ除去加工動作において、制御装置２４０は、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル２１０を加工位置（被加工物Ｗの外周近傍）までＹ軸方向に移動し、加工内容情報に基づいて、被加工物Ｗのバリ除去加工を開始する。制御装置２４０は、図９に示すように、バイト工具２２１をＲ２方向に回転させるとともに、切り刃２２３の先端が被加工物Ｗの表面と非接触で、バリｗ５の根本に接触できる位置（図６参照）となるようにバイト工具２２１をＺ軸方向に移動させ、被加工物Ｗの一端から他端に渡って水平方向、本実施形態ではＹ軸方向と平行である加工送り方向Ｌ３に被加工物Ｗを相対的に移動させる。ここで、本実施形態では、加工送り方向Ｌ３は、各切削溝ｗ３、ｗ４に対して４５度傾けた方向のうち、バリｗ５、ｗ６の伸びる方向と対向する方向とする。これにより、バイト切削装置２００は、図１０に示すように、各切削溝ｗ３、ｗ４に沿って発生しているすべてのバリｗ５、ｗ６を回転するバイト工具２２１の切り刃２２３により根本からカット、すなわち除去する。バイト工具２２１の外径が被加工物Ｗの外径以上に設定されているので、被加工物Ｗを１回加工送りすることで、第１分割工程および第２分割工程で発生したすべてのバリｗ５、ｗ６を除去することができる。ここで、バリｗ５、ｗ６の根本とは、被加工物Ｗの表面からバリｗ５の長さ（鉛直方向における長さ）の半分以下をいい、切り刃２２３が被加工物Ｗの表面と接触しない限界の位置であることが好ましい。 Next, as shown in FIG. 5, a deburring process is performed (step ST3). Here, the cutting tool 200 removes the burrs w5 and w6 corresponding to the cutting grooves w3 and w4, respectively. Specifically, the operator registers the machining content information in the cutting tool 200, holds the workpiece W after the first and second scheduled split lines by the blade cutting device 100 in the chuck table 210, and performs machining. When an operation start instruction is given, the burr removal processing operation is started. In the burr removal processing operation, the control device 240 moves the chuck table 210 holding the workpiece W in the Y-axis direction to the processing position (near the outer periphery of the workpiece W), and processes the workpiece based on the processing content information. Deburring processing of the object W is started. As shown in FIG. 9, the control device 240 rotates the cutting tool 221 in the R2 direction, and the tip of the cutting blade 223 is not in contact with the surface of the workpiece W and can contact the root of the burr w5 (see FIG. 9). 6), the tool 221 is moved in the Z-axis direction so that the workpiece W is moved in the horizontal direction from one end to the other end of the workpiece W in the machining feed direction L3 that is parallel to the Y-axis direction in this embodiment. The workpiece W is moved relatively. Here, in the present embodiment, the machining feed direction L3 is a direction opposite to the direction in which the burrs w5 and w6 extend among the directions inclined 45 degrees with respect to the respective cutting grooves w3 and w4. Thereby, as shown in FIG. 10, the cutting tool 200 cuts from the root by the cutting blade 223 of the cutting tool 221 that rotates all the burrs w5 and w6 generated along the cutting grooves w3 and w4. That is, it is removed. Since the outer diameter of the bite tool 221 is set to be greater than or equal to the outer diameter of the workpiece W, all the burrs generated in the first division step and the second division step can be obtained by feeding the workpiece W once. w5 and w6 can be removed. Here, the roots of the burrs w5 and w6 are not more than half of the length of the burr w5 (length in the vertical direction) from the surface of the workpiece W, and the cutting blade 223 does not contact the surface of the workpiece W. A limit position is preferred.

以上のように、本実施形態に係る分割方法は、各分割工程において被加工物Ｗに発生したバリｗ５、ｗ６を、バリ除去工程においてバイト切削装置２００により除去するので、各分割工程でバリの発生を抑制することがないため、各分割工程における加工速度（加工送り速度）を速くすることができる。また、ブレード切削装置１００を用いてバリｗ５、ｗ６を除去する場合、切削ブレード１２１を各切削溝ｗ３、ｗ４に沿わせて発生したバリｗ５、ｗ６を除去することとなり、切削溝ｗ３、ｗ４の数に応じてバリ除去加工の時間が長くなるが、本実施形態に係る分割方法では、切削溝ｗ３、ｗ４の本数にかかわらず、バイト切削装置２００により１回でまとめてバリｗ５、ｗ６を除去するので、ブレード切削装置１００を用いてバリｗ５、ｗ６を除去する場合と比較して、バリ除去加工に要する時間を短縮することができる。従って、本実施形態に係る分割方法によれば、被加工物Ｗに発生したバリを除去しつつ、１枚の被加工物の分割におけるスループット向上を図ることができる。 As described above, in the dividing method according to the present embodiment, the burrs w5 and w6 generated on the workpiece W in each dividing step are removed by the cutting tool 200 in the burr removing step. Since generation | occurrence | production is not suppressed, the process speed (process feed speed) in each division | segmentation process can be made quick. Further, when the burrs w5 and w6 are removed using the blade cutting device 100, the burrs w5 and w6 generated along the cutting grooves w3 and w4 of the cutting blade 121 are removed, and the cutting grooves w3 and w4 are removed. Although the burr removal time becomes longer depending on the number, the dividing method according to this embodiment removes the burrs w5 and w6 at once by the cutting tool 200 regardless of the number of the cutting grooves w3 and w4. Therefore, as compared with the case where the burrs w5 and w6 are removed using the blade cutting device 100, the time required for the burr removal processing can be shortened. Therefore, according to the dividing method according to the present embodiment, it is possible to improve throughput in dividing one workpiece while removing burrs generated on the workpiece W.

なお、上記実施形態において、バリ除去工程においては、バリｗ５、ｗ６の伸びる方向と対向する方向から回転するバイト工具２２１を被加工物Ｗの一端から他端に渡って相対的に水平方向に移動させる事が好ましい。バリ除去工程では、第１分割工程により発生したバリｗ５が加工送り方向Ｌ１に伸びるので、加工送り方向Ｌ３を加工送り方向Ｌ１と同一方向にすることが好ましく、第２分割工程により発生したバリｗ６が加工送り方向Ｌ２に伸びるので、加工送り方向Ｌ４を加工送り方向Ｌ２と同一方向にすることが好ましい。バリｗ５、ｗ６の伸びる方向と同一方向から回転するバイト工具２２１を被加工物Ｗと相対移動させる場合と比較し、切り刃２２３に対してバリｗ５、ｗ６が逃げにくくなり、バリｗ５、ｗ６を確実に除去することができる。従って、これを実現するために、例えば、まず、回転するバイト工具２２１を加工送り方向Ｌ１と同一方向の加工送り方向Ｌ３で被加工物Ｗの一端から他端に渡って相対的に水平方向に移動させることで、切削溝ｗ３のバリｗ５を積極的に除去し、移動後チャックテーブル２１０を回転するバイト工具２２１の送り方向Ｌｗが加工送り方向Ｌ２と同一方向となるように回転させ、バイト工具２２１が加工位置に戻る際に、回転するバイト工具２２１を加工送り方向Ｌ２と同一方向の加工送り方向Ｌ３で被加工物Ｗの一端から他端に渡って相対的に水平方向に移動させることで、切削溝ｗ４のバリｗ６を積極的に除去してもよい。 In the above-described embodiment, in the burr removing step, the bite tool 221 that rotates from the direction opposite to the direction in which the burrs w5 and w6 extend is moved relatively horizontally from one end to the other end of the workpiece W. It is preferable to make it. In the burr removing step, the burr w5 generated in the first dividing step extends in the processing feed direction L1, and therefore, it is preferable that the processing feeding direction L3 is the same as the processing feeding direction L1, and the burr w6 generated in the second dividing step. Therefore, the machining feed direction L4 is preferably the same as the machining feed direction L2. Compared with the case where the tool 221 rotating in the same direction as the direction in which the burrs w5 and w6 extend is moved relative to the workpiece W, the burrs w5 and w6 are less likely to escape from the cutting blade 223. It can be removed reliably. Accordingly, in order to realize this, for example, first, the rotating tool 221 is rotated in the horizontal direction from one end of the workpiece W to the other in the machining feed direction L3 in the same direction as the machining feed direction L1. By moving, the burr w5 of the cutting groove w3 is positively removed, and after moving, the chuck table 210 is rotated so that the feed direction Lw of the bite tool 221 is the same as the machining feed direction L2, and the bite tool When the 221 returns to the machining position, the rotating tool 221 is moved in the horizontal direction from one end of the workpiece W to the other in the machining feed direction L3 that is the same as the machining feed direction L2. The burr w6 in the cutting groove w4 may be positively removed.

また、上記実施形態においては、第１分割工程および第２分割工程後にバリ除去工程を実行したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各分割工程の後にバリ除去工程を実行しても良い。この場合は、第１分割工程後のバリ除去工程ではバイト工具２２１の加工送り方向Ｌ３を加工送り方向Ｌ１と同一方向とし、第２分割工程後のバリ除去工程ではバイト工具２２１の加工送り方向Ｌ３を加工送り方向Ｌ２と同一方向とする。これにより、各バリ除去工程において、バリｗ５、ｗ６の伸びる方向と対向する方向から回転するバイト工具２２１を被加工物Ｗの一端から他端に渡って相対的に水平方向に移動させる事ができ、バリｗ５、ｗ６を確実に除去することができる。 Moreover, in the said embodiment, although the burr | flash removal process was performed after the 1st division | segmentation process and the 2nd division | segmentation process, this invention is not limited to this, A burr | flash removal process is performed after each division | segmentation process. Also good. In this case, in the burr removal process after the first division process, the machining feed direction L3 of the cutting tool 221 is set to the same direction as the machining feed direction L1, and in the burr removal process after the second division process, the machining feed direction L3 of the cutting tool 221 is performed. Is the same direction as the machining feed direction L2. Thereby, in each burr removal process, the bite tool 221 rotating from the direction opposite to the direction in which the burrs w5 and w6 extend can be moved relatively horizontally from one end of the workpiece W to the other end. , Burrs w5 and w6 can be reliably removed.

また、上記実施形態では、被加工物Ｗとして、樹脂層付き半導体ウエーハとしたが本発明はこれに限定されるものではない。被加工物Ｗは、表面に延性材料で形成される樹脂層や金属層が形成されているものであればよく、ベース層ｗ１と、延性材料である金属（例えば、銅など）から構成される金属層ｗ２とを積層することで構成されている金属層付き半導体ウエーハや、樹脂からなるＤＡＦ（Die Attach Film）、ヒートシンク等に用いられる銅タングステン板やコーバル板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-Lead Package）基板を構成する銅等の金属板や、ＣＳＰ（Chip Scale Package）基板やチップＬＥＤ基板を構成する樹脂基板等であってもよい。 Moreover, in the said embodiment, although it was set as the semiconductor wafer with a resin layer as the to-be-processed object W, this invention is not limited to this. The workpiece W may be any material as long as a resin layer or a metal layer formed of a ductile material is formed on the surface, and is composed of a base layer w1 and a metal (for example, copper) that is a ductile material. A semiconductor wafer with a metal layer configured by laminating the metal layer w2, a DAF (Die Attach Film) made of resin, a copper tungsten plate or a cobalt plate used for a heat sink, QFN (Quad Flat Non-Lead Package) It may be a metal plate such as copper constituting the substrate, a resin substrate constituting a CSP (Chip Scale Package) substrate or a chip LED substrate.

また、上記実施形態では、チャックテーブル１１０，２１０による被加工物Ｗの保持をオペレータにより行うが、図示しない搬送手段が被加工物Ｗを保管するカセットエレベータから被加工物Ｗを搬出し、チャックテーブル１１０，２１０に被加工物Ｗを自動的に保持するようにしてもよい。また、ブレード切削装置１００とバイト切削装置２００とでの被加工物Ｗの受け渡しも、図示しない受け渡し手段により自動的に行ってもよい。 In the above embodiment, the workpiece W is held by the chuck tables 110 and 210 by the operator. However, the conveying means (not shown) carries the workpiece W out of the cassette elevator that stores the workpiece W, and the chuck table. The workpiece W may be automatically held at 110 and 210. Moreover, the workpiece W may be transferred automatically between the blade cutting device 100 and the cutting tool 200 by a transfer means (not shown).

１００ブレード切削装置
１１０チャックテーブル
１２０ブレード加工手段
１２１切削ブレード
１３０Ｙ軸移動手段
１４０Ｚ軸移動手段
１５０制御装置
２００バイト切削装置
２１０チャックテーブル
２２０バイト加工手段
２３０Ｚ軸移動手段
２４０制御装置
ｄ１第１分割予定ライン
ｄ２第２分割予定ライン
Ｗ被加工物
ｗ１ベース層
ｗ２樹脂層
ｗ３第１切削溝
ｗ４第２切削溝
ｗ５，ｗ６バリ DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Blade cutting device 110 Chuck table 120 Blade processing means 121 Cutting blade 130 Y-axis moving means 140 Z-axis moving means 150 Control device 200 Bite cutting device 210 Chuck table 220 Bite processing means 230 Z-axis moving means 240 Control device d1 1st division Scheduled line d2 Second scheduled split line W Workpiece w1 Base layer w2 Resin layer w3 First cutting groove w4 Second cutting groove w5, w6 Burr

Claims

A dividing method of dividing a workpiece formed of a resin layer or a metal layer at least at a portion corresponding to a planned division line on the surface along the planned division line,
A cutting step of dividing along the division line by a cutting blade rotating at high speed;
A chuck table for holding the workpiece with the surface exposed, a bite tool having a cutting edge for turning the workpiece held on the chuck table, and the bite tool with a vertical direction as a rotation axis A cutting tool including a spindle that rotatably supports the cutting tool, and a horizontal moving means that relatively moves the chuck table and the cutting tool in a horizontal direction. After the cutting step, the cutting tool rotating in a state where the tip of the cutting edge is in non-contact with the surface and can contact the root of the burr extending upward from the surface generated in the cutting step. A burr removing step of removing the burr by moving in a horizontal direction relatively from one end to the other end of the workpiece;
A dividing method characterized by including:

In the burr removing step, the burr is removed by moving the bite tool rotating from a direction opposite to a direction in which the burr extends from one end to the other end of the workpiece in a relatively horizontal direction. Item 2. The division method according to Item1.