JP2013113583A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013113583A5
JP2013113583A5 JP2011256775A JP2011256775A JP2013113583A5 JP 2013113583 A5 JP2013113583 A5 JP 2013113583A5 JP 2011256775 A JP2011256775 A JP 2011256775A JP 2011256775 A JP2011256775 A JP 2011256775A JP 2013113583 A5 JP2013113583 A5 JP 2013113583A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
slit
slit portion
spectroscopic
size
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011256775A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013113583A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011256775A priority Critical patent/JP2013113583A/ja
Priority claimed from JP2011256775A external-priority patent/JP2013113583A/ja
Publication of JP2013113583A publication Critical patent/JP2013113583A/ja
Publication of JP2013113583A5 publication Critical patent/JP2013113583A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2011256775A 2011-11-24 2011-11-24 分光器 Pending JP2013113583A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011256775A JP2013113583A (ja) 2011-11-24 2011-11-24 分光器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011256775A JP2013113583A (ja) 2011-11-24 2011-11-24 分光器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013113583A JP2013113583A (ja) 2013-06-10
JP2013113583A5 true JP2013113583A5 (fr) 2014-07-03

Family

ID=48709264

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011256775A Pending JP2013113583A (ja) 2011-11-24 2011-11-24 分光器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013113583A (fr)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105938013B (zh) * 2016-04-20 2019-12-17 杭州远方光电信息股份有限公司 一种光谱仪及其校正方法
CN112213272B (zh) * 2019-07-10 2024-01-12 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种光谱检测设备、终点检测系统和方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58190731A (ja) * 1982-04-30 1983-11-07 Shimadzu Corp パツシエンルンゲ形分光器
JP3035388B2 (ja) * 1991-09-02 2000-04-24 オリンパス光学工業株式会社 プラズマエッチャーのエンドポイント検出装置
JP3043129B2 (ja) * 1991-09-05 2000-05-22 オリンパス光学工業株式会社 プラズマエッチャーのエンドポイント検出装置
JPH06109538A (ja) * 1992-09-30 1994-04-19 Shimadzu Corp 分光分析装置
JP3912801B2 (ja) * 1994-06-27 2007-05-09 横河電機株式会社 光スペクトル測定装置
JP3193265B2 (ja) * 1995-05-20 2001-07-30 東京エレクトロン株式会社 プラズマエッチング装置
JP2003214951A (ja) * 2002-01-28 2003-07-30 Matsushita Electric Works Ltd 分光計測装置及び分光計測方法
JP2006201127A (ja) * 2005-01-24 2006-08-03 Maki Mfg Co Ltd 分光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017506531A5 (fr)
JP2011232186A5 (fr)
AU2010325963A8 (en) Fabry-Perot Fourier transform spectrometer
WO2015015493A3 (fr) Système et procédé de spectrométrie, dispositifs et systèmes spectroscopiques
JP2011232032A5 (fr)
EP4375631A3 (fr) Système d'imagerie à sulfure d'hydrogène
JP2011080980A5 (fr)
WO2013188520A3 (fr) Spectromètre à fibre optique multimode
IN2014CN03172A (fr)
WO2007135244A3 (fr) Spectromètre et procédé interférométrique
WO2014028380A3 (fr) Imagerie multispectrale utilisant des nanofils de silicium
JP2011028171A5 (ja) 回折光学素子、それを用いた分光測色装置および画像形成装置
JP2009300414A5 (fr)
EP3128301A3 (fr) Filtre optique et spectromètre
WO2014012095A3 (fr) Réseau de diffraction holographique en phase volumique (réseau vph) incurvé ayant des franges inclinées, et spectrographes utilisant ce réseau
JP2014095702A5 (fr)
WO2014014534A3 (fr) Surveillance d'infrarouge émis
JP2013007830A5 (fr)
WO2010086283A3 (fr) Ensemble spectromètre échelle à prédispersion interne
WO2019060348A3 (fr) Capteur d'image à semi-conducteurs à filtre sur puce et réponse spectrale étendue
JP2013185887A5 (fr)
WO2008018913A3 (fr) système spectroscopique couplé à réseau de détecteurs et réseau à angle blazé progressif
WO2014172195A3 (fr) Réseau de filtres ayant une lumière diffuse réduite
JP2009300419A5 (fr)
JP2013113583A5 (fr)