JP2013090225A - Semiconductor device - Google Patents

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Kenichi Kuboyama
賢一 久保山
Yasuaki Hoshino
靖陽 星野
Atsunori Hirobe
厚紀 廣部
Muneaki Matsushige
宗明 松重
Tetsuo Fukushi
哲夫 福士
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the input/output clock skew of a semiconductor device.SOLUTION: A semiconductor device includes: a first buffer 1 and a second buffer 8 that are driven by an I/O voltage power supply; a voltage determination unit 5 that generates a voltage determination signal showing a voltage level of the I/O voltage power supply; an echo clock generator 7 that adjusts the phase of an output clock signal on the basis of an input clock signal inputted via the first buffer 1 and outputs the output clock signal to the second buffer; and a storage unit 6 that stores mode information for selecting the relationship between the voltage determination signal and the adjustment amount of the phase. The echo clock generator 7 determines the adjustment amount of the phase of the output clock signal on the basis of the voltage determination signal and the mode information.

Description

本発明は、半導体装置に関し、特に半導体装置で生じる入出力クロックスキューの抑制に関する。   The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly to suppression of input / output clock skew that occurs in a semiconductor device.

LSI(Large Scale Integration)技術の微細化による高速化が進むにつれて、半導体装置から出力されるエコークロック信号と、当該半導体装置を利用する外部装置(システム)の外部クロック信号との位相誤差に対する余裕が少なくなっている。そのため、位相誤差を補償するクロック同期回路の使用頻度が高まってきている。   As speeding up by miniaturization of LSI (Large Scale Integration) technology advances, there is a margin for a phase error between an echo clock signal output from a semiconductor device and an external clock signal of an external device (system) using the semiconductor device. It is running low. For this reason, the frequency of use of the clock synchronization circuit for compensating the phase error is increasing.

例えば、半導体メモリ装置では、近年メモリアクセスの高速化のため、動作周波数が高速化している。これに伴い、基準クロック信号に対するエコークロック信号のスキュー(以降適宜、「入出力クロックスキュー」ともいう)のばらつきに関して、要求される仕様が厳しくなり、スキュー抑制の対策が必要となっている。一例として、DDR SDRAM(Double Data Rate Synchronous DRAM)のような同期式の半導体メモリ装置を用いて具体的に説明する。   For example, in a semiconductor memory device, the operating frequency has recently been increased in order to increase the memory access speed. As a result, the required specifications have become severe with respect to variations in the skew of the echo clock signal with respect to the reference clock signal (hereinafter also referred to as “input / output clock skew” as appropriate), and countermeasures for suppressing the skew are required. As an example, a specific description will be given using a synchronous semiconductor memory device such as a DDR SDRAM (Double Data Rate Synchronous DRAM).

同期式の半導体メモリ装置は、外部装置(例えば、メモリコントローラ)から入力される外部クロック信号を基準クロック信号として、外部装置とのデータ伝送を行う。これは、半導体メモリ装置と外部装置との間で安定的にデータを伝送するために、外部装置から半導体メモリ装置に入力される外部クロック信号と、半導体メモリ装置から出力されるデータとの間の時間的な同期が重要となるからである。半導体メモリ装置から出力されるデータは、エコークロック信号に同期して出力される。エコークロック信号は、基準クロック信号が、半導体メモリ装置内の各素子を経ることから遅延が生じる。その結果、半導体メモリ装置から外部にデータが出力されるときには、出力されるデータが基準クロック信号と同期しない状態で出力される。   A synchronous semiconductor memory device performs data transmission with an external device using an external clock signal input from an external device (for example, a memory controller) as a reference clock signal. This is because between the external clock signal input from the external device to the semiconductor memory device and the data output from the semiconductor memory device in order to stably transmit data between the semiconductor memory device and the external device. This is because time synchronization is important. Data output from the semiconductor memory device is output in synchronization with the echo clock signal. The echo clock signal is delayed because the reference clock signal passes through each element in the semiconductor memory device. As a result, when data is output from the semiconductor memory device to the outside, the output data is output without being synchronized with the reference clock signal.

そこで、半導体メモリ装置から出力されるデータを安定的に外部装置へ伝送するために、半導体メモリ装置内の各素子を経て遅延したエコークロック信号を、基準クロック信号のエッジ、あるいはセンターに正確に位置させるために、データがバスにのせられる時間を基準クロック信号に逆補償して、エコークロック信号と基準クロック信号とを同期させなければならない。
このような機能を果たすクロック同期回路として、位相同期ループ(PLL:Phase Locked Loop)回路と、遅延同期ループ(DLL:Digital Locked Loop)回路とがある。PLL回路は、周波数の多重化(逓倍)機能を有するものもあることから、外部装置のクロック周波数と半導体装置のクロック周波数とが同一周波数でなく互いに異なる場合にも用いられる。DLL回路は、外部装置のクロック周波数と半導体装置のクロック周波数とが同一の場合に用いられる。スキュー抑制の対策として、PLL回路やDLL回路に関して、様々な改良がなされている。
Therefore, in order to stably transmit data output from the semiconductor memory device to an external device, the echo clock signal delayed through each element in the semiconductor memory device is accurately positioned at the edge or center of the reference clock signal. In order to achieve this, the echo clock signal and the reference clock signal must be synchronized by decompensating the reference clock signal with the time that data is placed on the bus.
As a clock synchronization circuit that performs such a function, there are a phase locked loop (PLL) circuit and a delay locked loop (DLL) circuit. Since some PLL circuits have a frequency multiplexing (multiplication) function, they are also used when the clock frequency of the external device and the clock frequency of the semiconductor device are not the same frequency but different from each other. The DLL circuit is used when the clock frequency of the external device and the clock frequency of the semiconductor device are the same. As measures for suppressing skew, various improvements have been made with respect to PLL circuits and DLL circuits.

例えば、特許文献1には、位相誤差を無視できるレベルに改善したPLL回路が開示されている。特許文献1のPLL回路では、図23に示すように、PLL部10Pと可変遅延線(VDL:Variable Delay Line、可変遅延調整回路)1IP、1RPとを使用して入出力クロックスキューを抑制する。この技術は年々高速化するクロック周波数に対してPLL部の半導体製造ばらつきで決定する位相誤差の割合が増加してしまうため、位相誤差を抑制することを目的としている。PLL回路では、入力クロック信号及び遅延帰還クロック信号を遅延させる二つのVDL(VDL1IP、VDL1RP)、入力クロック信号と遅延帰還クロック信号との位相差を判定する位相比較器(PD)3P、及び、位相比較結果からVDL1IP、1RPの遅延値を制御する制御ロジック回路2PをPLL部10Pの手前に追加する。これにより、PLL回路は、PLL部10Pの位相誤差が存在しても、位相比較器3Pが位相差をキャンセルすることによって、クロック周波数に対して入出力クロックスキューを無視できるレベルまで抑制することができる。   For example, Patent Document 1 discloses a PLL circuit improved to a level at which a phase error can be ignored. In the PLL circuit of Patent Document 1, as shown in FIG. 23, an input / output clock skew is suppressed by using a PLL unit 10P and variable delay lines (VDL: Variable Delay Adjustment circuits) 1IP and 1RP. This technique is intended to suppress the phase error because the ratio of the phase error determined by the semiconductor manufacturing variation of the PLL section increases with respect to the clock frequency that increases year by year. In the PLL circuit, two VDLs (VDL1IP, VDL1RP) for delaying the input clock signal and the delayed feedback clock signal, a phase comparator (PD) 3P for determining a phase difference between the input clock signal and the delayed feedback clock signal, and a phase From the comparison result, a control logic circuit 2P for controlling the delay values of VDL1IP and 1RP is added before the PLL unit 10P. Thereby, even if the phase error of the PLL unit 10P exists, the PLL circuit can suppress the input / output clock skew to a level at which the input / output clock skew can be ignored with respect to the clock frequency by the phase comparator 3P canceling the phase difference. it can.

また、特許文献2には、外部電源電圧のレベル変動とは関係なく安定的に遅延固定動作を行う遅延固定ループ(DLL)回路が開示されている。特許文献2の遅延固定ループ回路は、外部電源電圧のレベルを検出する電圧レベル検出部と、ソースクロック及びフィードバッククロックの位相を比較する位相比較部と、ソースクロックを遅延させて遅延固定クロックを出力するクロック遅延部とを備える。クロック遅延部は、電圧レベル検出部の出力信号に応じて、第1及び第2遅延ユニット単位のうちいずれか一方を開始遅延ユニット単位として、他方を連結遅延ユニット単位としてそれぞれ指定する。クロック遅延部は、位相比較部の出力信号に応答して、遅延量が、所定の遅延量までは開始遅延ユニット単位で、所定の遅延量以後には連結遅延ユニット単位でソースクロックを遅延させ、遅延固定クロックとして出力する。
特許文献2の遅延固定ループ回路では、外部電源電圧のレベル変動の検出結果に応じて、遅延量が互いに異なる複数の遅延ユニットのうち、少なくとも1つ以上の遅延ユニットを選択する。そして、選択された遅延ユニットを順に使用してソースクロックを遅延させて、遅延固定クロック信号として出力する。上述した遅延固定動作を行うことによって、外部電源電圧のレベル変動とは関係なく、安定的に遅延固定動作を行う。
Patent Document 2 discloses a delay locked loop (DLL) circuit that stably performs a delay locked operation regardless of the level fluctuation of the external power supply voltage. The delay-fixed loop circuit of Patent Document 2 outputs a voltage-fixed clock by delaying the source clock, a voltage level detector that detects the level of the external power supply voltage, a phase comparator that compares the phases of the source clock and the feedback clock A clock delay unit. The clock delay unit designates one of the first and second delay unit units as a start delay unit unit and the other as a connected delay unit unit according to the output signal of the voltage level detection unit. In response to the output signal of the phase comparison unit, the clock delay unit delays the source clock in units of a start delay unit until the predetermined delay amount, and after the predetermined delay amount in units of connected delay units, Output as a fixed delay clock.
In the delay locked loop circuit of Patent Document 2, at least one delay unit is selected from a plurality of delay units having different delay amounts according to the detection result of the level fluctuation of the external power supply voltage. Then, the source clock is delayed using the selected delay units in order, and output as a delay fixed clock signal. By performing the delay fixing operation described above, the delay fixing operation is stably performed regardless of the level fluctuation of the external power supply voltage.

特開2003−188720号公報JP 2003-188720 A 特開2011−15384号公報JP 2011-15384 A

しかしながら、特許文献1のPLL回路において、位相比較器3Pの精度がPLL部10Pの位相誤差精度より高くないと、入力クロック信号と遅延帰還クロック信号との位相誤差をキャンセルすることができない。加えて、外部電源電圧の変動により、PLL回路の遅延量が変動してしまうという問題が生じる。   However, in the PLL circuit of Patent Document 1, the phase error between the input clock signal and the delayed feedback clock signal cannot be canceled unless the accuracy of the phase comparator 3P is higher than the phase error accuracy of the PLL unit 10P. In addition, there is a problem that the delay amount of the PLL circuit varies due to the variation of the external power supply voltage.

特許文献2に開示された遅延固定ループ回路では、外部電源電圧によって遅延固定ループ回路内部の遅延量が変動してしまうことに対応して、外部電源電圧とは関係なく安定的に遅延固定動作を行う。このため、遅延固定ループ回路への外部電源電圧のレベル変動の影響を取り除くことは可能となる。しかしながら、遅延固定ループ回路内部の遅延調整に使用する遅延ユニットを切り替えるだけでは、基準クロック信号と半導体装置から出力されるエコークロック信号との位相を合わせることは極めて困難である。その理由は、当該半導体装置を搭載する外部装置(例えば、当該半導体装置を利用する顧客のシステム)毎に、入力されるクロック信号のスルーレートや、出力されるクロック信号への出力負荷が異なり、これが入出力クロックスキューに影響するためである。   In the delay locked loop circuit disclosed in Patent Document 2, in response to the delay amount inside the delay locked loop circuit fluctuating due to the external power supply voltage, the delay locked loop operation is stably performed regardless of the external power supply voltage. Do. For this reason, it is possible to remove the influence of the level fluctuation of the external power supply voltage on the delay locked loop circuit. However, it is extremely difficult to match the phase of the reference clock signal and the echo clock signal output from the semiconductor device only by switching the delay unit used for delay adjustment in the delay locked loop circuit. The reason is that the slew rate of the input clock signal and the output load on the output clock signal are different for each external device (for example, a customer system that uses the semiconductor device) on which the semiconductor device is mounted. This is because it affects the input / output clock skew.

従って、遅延固定ループ回路内において、外部電源電圧のレベル変動に起因する遅延量の変動をなくしたとしても、遅延ユニット回路における遅延量の変動を抑制するにすぎない。言い換えると、遅延固定ループ回路において、外部装置の信号スルーレートや出力負荷などの外部環境要因によって、半導体装置へ入力される外部クロック信号(基準クロック信号)や、半導体装置から出力されるエコークロック信号が遅れることに対して対策をとることにはならない。そのため、外部環境要因に起因する、基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューを抑制することができない。その結果、基準クロック信号とエコークロック信号との位相差が生じる。これは、特許文献1のPLL回路においても同様に生じる問題である。   Therefore, even if the variation in the delay amount due to the level variation of the external power supply voltage is eliminated in the delay locked loop circuit, the variation in the delay amount in the delay unit circuit is only suppressed. In other words, in a delay locked loop circuit, an external clock signal (reference clock signal) input to the semiconductor device or an echo clock signal output from the semiconductor device due to external environmental factors such as a signal slew rate of the external device or an output load. No measures will be taken against the delay. Therefore, the skew between the reference clock signal and the echo clock signal due to external environmental factors cannot be suppressed. As a result, a phase difference occurs between the reference clock signal and the echo clock signal. This is a problem that also occurs in the PLL circuit of Patent Document 1.

ここで、半導体装置に入力される外部クロック信号、すなわち、基準クロック信号と、半導体装置から出力されるエコークロック信号とが、外部装置や外部電源電圧から受ける影響の一例を説明する。   Here, an example of the influence of the external clock signal input to the semiconductor device, that is, the reference clock signal and the echo clock signal output from the semiconductor device, from the external device and the external power supply voltage will be described.

図24は、半導体装置における基準クロック信号の入力及びエコークロック信号の出力を示すイメージ図である。基準クロック信号(CK/CK#)は、入力バッファ(レシーバ回路)91を介して、半導体装置90の内部処理部94へ入力される。エコークロック信号(QK/QK#)は、出力バッファ(ドライバ回路)92、93を介して半導体装置90から出力される。内部処理部94は、半導体装置90が実現する機能を実施する回路である。内部処理部94は、基準クロック信号に対してエコークロック信号の位相を一致させるPLL回路941を含む。図25に基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューの発生例を示す。図25では、基準クロック信号が半導体装置90の内部処理部94に含まれる各素子を経ることから遅延が生じ、基準クロック信号に対してエコークロック信号に位相差(CK−QKスキュー)が生じる状態を示している。   FIG. 24 is an image diagram showing the input of the reference clock signal and the output of the echo clock signal in the semiconductor device. The reference clock signal (CK / CK #) is input to the internal processing unit 94 of the semiconductor device 90 via the input buffer (receiver circuit) 91. The echo clock signal (QK / QK #) is output from the semiconductor device 90 via the output buffers (driver circuits) 92 and 93. The internal processing unit 94 is a circuit that implements a function realized by the semiconductor device 90. The internal processing unit 94 includes a PLL circuit 941 that matches the phase of the echo clock signal with respect to the reference clock signal. FIG. 25 shows an example of occurrence of skew between the reference clock signal and the echo clock signal. In FIG. 25, a delay occurs because the reference clock signal passes through each element included in the internal processing unit 94 of the semiconductor device 90, and a phase difference (CK-QK skew) occurs in the echo clock signal with respect to the reference clock signal. Is shown.

一方、基準クロック信号の入力とエコークロック信号の出力とは、入出力のPAD191、パッケージLCR(PKG LCR)192成分、パッケージボール(PKG BALL)193、プリント基板LCR(PCB LCR)(図示せず)成分、あるいは、伝送線路の終端有無(図示せず)などの影響を受ける。これらが、基準クロック信号のスルーレートやエコークロック信号への出力負荷に影響を与えることから、基準クロック信号やエコークロック信号に対して、外部装置毎に異なる影響を与える。その結果、図25に一例として示す基準クロック信号及びエコークロック信号の波形が、外部装置毎に異なる波形となる。加えて、入力バッファ91及び出力バッファ92、93へI/O電圧電源から電源が供給されるが、信号スルーレートは、出力負荷やI/O電源電圧の電圧レベルの影響を受ける。図26を用いて具体的に示す。   On the other hand, the input of the reference clock signal and the output of the echo clock signal are input / output PAD 191, package LCR (PKG LCR) 192 component, package ball (PKG BALL) 193, printed circuit board LCR (PCB LCR) (not shown). It is affected by the component or presence / absence of transmission line termination (not shown). Since these influence the slew rate of the reference clock signal and the output load on the echo clock signal, the reference clock signal and the echo clock signal have different influences for each external device. As a result, the waveforms of the reference clock signal and the echo clock signal shown as an example in FIG. 25 are different for each external device. In addition, power is supplied to the input buffer 91 and the output buffers 92 and 93 from the I / O voltage power supply, but the signal slew rate is affected by the output load and the voltage level of the I / O power supply voltage. This will be specifically described with reference to FIG.

図26に基準クロック信号とエコークロック信号との波形がI/O電圧、入力スルーレートにより変化する一例を示す。図26は、図24に示す半導体装置90のイメージ図において、入力バッファ91へ基準クロック信号(CK/CK#)が入力され、出力バッファ92、93からエコークロック信号(QK/QK#)が出力される場合を示す。加えて、図26では、印加されるI/O電圧電源の電圧レベルが任意の基準電圧より高い場合と低い場合とに分けて示している。
図26中、符号VSSQ/VDDQは、I/O電圧電源から供給される電源を示す。基準クロック信号(CK/CK#)の波形は、電源VSSQ/VDDQより太い、実線(CK)と点線(CK#)で示す。エコークロック信号(QK/QK#)の波形は、電源VSSQ/VDDQより太く基準クロック信号(CK/CK#)より細い、実線(QK)と一点破線(QK#)で示す。CK−QKスキューは、基準クロック信号に対するエコークロック信号のスキューである。
FIG. 26 shows an example in which the waveforms of the reference clock signal and the echo clock signal change depending on the I / O voltage and the input slew rate. FIG. 26 is an image diagram of the semiconductor device 90 shown in FIG. 24. A reference clock signal (CK / CK #) is input to the input buffer 91, and an echo clock signal (QK / QK #) is output from the output buffers 92 and 93. Shows the case. In addition, FIG. 26 shows a case where the voltage level of the applied I / O voltage power supply is higher and lower than an arbitrary reference voltage.
In FIG. 26, reference sign VSSQ / VDDQ indicates power supplied from the I / O voltage power supply. The waveform of the reference clock signal (CK / CK #) is indicated by a solid line (CK) and a dotted line (CK #) that are thicker than the power supply VSSQ / VDDQ. The waveform of the echo clock signal (QK / QK #) is indicated by a solid line (QK) and a dashed line (QK #) that are thicker than the power supply VSSQ / VDDQ and thinner than the reference clock signal (CK / CK #). The CK-QK skew is a skew of the echo clock signal with respect to the reference clock signal.

I/O電圧電源の電圧レベルが任意の基準電圧より高い場合(HIGH I/O VOLTAGE)、基準クロック信号に対して、エコークロック信号が遅れる。このとき、外部装置の信号スルーレートの高低によって、CK−QKスキューの大きさが異なる。
一方、I/O電圧電源の電圧レベルが任意の基準電圧より低い場合(LOW I/O VOLTAGE)、基準クロック信号に対して、エコークロック信号が早くなる。
なお、CK−QKスキューの大きさは、さまざまな要因によって異なるものであるため、図26で示すCK−QKスキューの大小関係は、一例を示したに過ぎずない。
When the voltage level of the I / O voltage power supply is higher than an arbitrary reference voltage (HIGH I / O VOLTAGE), the echo clock signal is delayed with respect to the reference clock signal. At this time, the magnitude of the CK-QK skew differs depending on the signal slew rate of the external device.
On the other hand, when the voltage level of the I / O voltage power supply is lower than an arbitrary reference voltage (LOW I / O VOLTAGE), the echo clock signal becomes earlier than the reference clock signal.
Since the magnitude of the CK-QK skew varies depending on various factors, the magnitude relationship of the CK-QK skew shown in FIG. 26 is merely an example.

図26に示すように、CK−QKスキュー(入出力クロックスキュー)は、I/O電圧電源の電圧レベルと外部装置から生じる外部環境要因(信号スルーレートや出力負荷など)により変動する。そのため、特許文献1のPLL回路や特許文献2の遅延固定ループ回路のような、クロック同期回路内の遅延量の精度を向上させるだけでは、入出力クロックスキューの抑制が十分でないという課題がある。図24を参照して説明すると、特許文献1や特許文献2では、内部処理部94に含まれるPLL回路941に相当する機能の精度向上に着目しているに過ぎない。
加えて、近年、外部装置が採り得るI/O電源電圧の電圧レベルが広域化しており、半導体装置が従来より広い範囲の電圧レベルに適応して動作する必要性が生じている。
As shown in FIG. 26, the CK-QK skew (input / output clock skew) varies depending on the voltage level of the I / O voltage power supply and external environmental factors (signal slew rate, output load, etc.) generated from the external device. Therefore, there is a problem that the input / output clock skew is not sufficiently suppressed only by improving the accuracy of the delay amount in the clock synchronization circuit, such as the PLL circuit of Patent Document 1 and the delay locked loop circuit of Patent Document 2. Referring to FIG. 24, Patent Documents 1 and 2 merely focus on improving the accuracy of functions corresponding to the PLL circuit 941 included in the internal processing unit 94.
In addition, in recent years, the voltage level of the I / O power supply voltage that can be taken by the external device has become widespread, and there is a need for the semiconductor device to operate in a wider range of voltage levels than before.

このように、近年の半導体装置、特に半導体メモリ装置における高速化、及び、外部装置が採り得る電源電圧の電圧レベルの広域化によって、半導体装置の入出力クロックスキューを抑制するために、当該半導体装置を搭載する外部装置から生じる要因を取り除く必要が生じている。   As described above, in order to suppress the input / output clock skew of the semiconductor device by increasing the speed in the recent semiconductor device, in particular, the semiconductor memory device and widening the voltage level of the power supply voltage that can be adopted by the external device, There is a need to remove the factors that arise from external devices equipped with.

本発明の半導体装置では、基準クロック信号に基づいてエコークロック信号の位相を調整して出力するエコークロック生成部を有し、エコークロック生成部は、入力バッファ及び出力バッファを駆動するI/O電圧電源の電圧レベル及びI/O電圧電源の電圧レベルと位相の調整量との関係を示すモード情報とに基いて位相の調整量を決定する。   The semiconductor device of the present invention has an echo clock generation unit that adjusts and outputs the phase of the echo clock signal based on the reference clock signal, and the echo clock generation unit is an I / O voltage that drives the input buffer and the output buffer. The phase adjustment amount is determined based on the voltage level of the power supply and the mode information indicating the relationship between the voltage level of the I / O voltage power supply and the phase adjustment amount.

本発明によれば、半導体装置の入出力クロックスキューを抑制することが可能となる。   According to the present invention, input / output clock skew of a semiconductor device can be suppressed.

本発明の実施形態に係る半導体装置の概略構成例を示すブロック図である。1 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る半導体装置の作用・効果を説明する図である。It is a figure explaining the effect | action and effect of the semiconductor device which concerns on embodiment of this invention. 電圧判定信号及びモード情報と、遅延量との関係の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relationship between a voltage determination signal and mode information, and delay amount. 本発明の実施形態1に係る半導体装置の構成例を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a configuration example of a semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention. 図4に示す半導体装置をより具体的に実現した構成例を示す回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram illustrating a configuration example in which the semiconductor device illustrated in FIG. 4 is more specifically realized. 実施形態1のI/O電圧判定回路の一例を示す回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram illustrating an example of an I / O voltage determination circuit according to the first embodiment. I/O電圧判定回路のカウンタの一例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows an example of the counter of an I / O voltage determination circuit. VDL_Rの一例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows an example of VDL_R. VDL_Fの一例を示す回路図である。It is a circuit diagram showing an example of VDL_F. 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第1の変換テーブル(CODESTEP:0の場合)である。It is a 1st conversion table (in the case of CODESTEP: 0) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and a mode (CODESTP). 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第1の変換テーブル(CODESTEP:1の場合)である。It is a 1st conversion table (in the case of CODESTEP: 1) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and mode (CODESTP). 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第1の変換テーブル(CODESTEP:2の場合)である。It is a 1st conversion table (in the case of CODESTEP: 2) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and a mode (CODESTP). 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第1の変換テーブル(CODESTEP:3の場合)である。It is a 1st conversion table (in the case of CODESTEP: 3) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and a mode (CODESTP). 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第2の変換テーブル(CODESTEP:0の場合)である。It is a 2nd conversion table (in the case of CODESTEP: 0) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and a mode (CODESTP). 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第2の変換テーブル(CODESTEP:1の場合)である。It is a 2nd conversion table (in the case of CODESTEP: 1) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and a mode (CODESTP). 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第2の変換テーブル(CODESTEP:2の場合)である。It is a 2nd conversion table (in the case of CODESTEP: 2) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and a mode (CODESTP). 電圧判定信号(VDLCODE)とモード(CODESTP)との組合せから決定する遅延量の一例を示す第2の変換テーブル(CODESTEP:3の場合)である。It is a 2nd conversion table (in the case of CODESTEP: 3) which shows an example of the delay amount determined from the combination of a voltage determination signal (VDLCODE) and a mode (CODESTP). 図9A〜9Hに示すテーブルの情報を表したグラフである。It is the graph showing the information of the table shown to FIG. I/O電圧電源の電圧VDDQが基準電圧より低い場合の半導体装置の動作例を示すタイミングチャートである。6 is a timing chart illustrating an operation example of a semiconductor device when a voltage VDDQ of an I / O voltage power supply is lower than a reference voltage. I/O電圧電源の電圧VDDQが基準電圧より高い場合の半導体装置の動作例を示すタイミングチャートである。6 is a timing chart illustrating an operation example of a semiconductor device when a voltage VDDQ of an I / O voltage power supply is higher than a reference voltage. 従来技術の基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューのタイミングイメージを示す図である。It is a figure which shows the timing image of the skew of the reference clock signal and echo clock signal of a prior art. 本実施形態の半導体装置の基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューのタイミングイメージを示す図である。It is a figure which shows the timing image of the skew of the reference | standard clock signal and echo clock signal of the semiconductor device of this embodiment. 本発明の実施形態2に係る半導体装置の構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structural example of the semiconductor device which concerns on Embodiment 2 of this invention. 実施形態2のI/O電圧判定回路の一例を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an example of an I / O voltage determination circuit according to a second embodiment. 本発明の実施形態3に係る半導体装置を搭載したプリント基板の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the printed circuit board carrying the semiconductor device which concerns on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施形態3に係る半導体装置の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the semiconductor device which concerns on Embodiment 3 of this invention. 実施形態3のI/O電圧判定回路の一例を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an example of an I / O voltage determination circuit according to a third embodiment. 実施形態3のカウンタの一例を示す回路図である。FIG. 10 is a circuit diagram illustrating an example of a counter according to the third embodiment. 実施形態3における基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューを調整するイメージを示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an image for adjusting a skew between a reference clock signal and an echo clock signal in the third embodiment. メモリコントローラを含む半導体装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the semiconductor device containing a memory controller. 特許文献1に開示されたPLL回路の構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a configuration of a PLL circuit disclosed in Patent Document 1. FIG. 半導体装置における基準クロック信号の入力及びエコークロック信号の出力を示すイメージ図である。It is an image figure which shows the input of the reference clock signal in a semiconductor device, and the output of an echo clock signal. 基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューの発生例を示す図である。It is a figure which shows the example of generation | occurrence | production of the skew of a reference clock signal and an echo clock signal. 基準クロック信号とエコークロック信号との波形がI/O電圧、入力スルーレートにより変化する一例を示す図である。It is a figure which shows an example in which the waveform of a reference | standard clock signal and an echo clock signal changes with I / O voltage and an input slew rate.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。各図面において同一の構成または機能を有する構成要素および相当部分には、同一の符号を付し、その説明は省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. In the drawings, components having the same configuration or function and corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

入出力クロックスキューを抑制するためには、I/O電源電圧の電圧レベルの変化のみでなく、基準クロック信号のスルーレートや、帰還クロック信号の出量負荷などの外部環境要因に影響されること、かつ、外部環境要因が、多種多様な影響を及ぼすため、リニア変化あるいは、基準電圧まで遅延量を大きくする対応では不十分である。本発明は、これらに対応可能なクロック同期処理を実現する半導体装置を提供する。
本発明の実施形態の一態様では、半導体装置が用いる基準クロック信号と、当該半導体装置が出力するエコークロック信号とを同期させるときに、I/O電源電圧の電圧レベルと、外部環境の要因との組合せにより、基準クロック信号とエコークロック信号との遅延量を決定する。具体的には、I/O電源電圧の電圧レベルを示す電圧判定信号に加え、当該半導体装置への外部装置からの影響を付加するモード情報を用いて、遅延量を決定する。
本発明の半導体装置は、例えば、FPGA(Field Programmable Gate Array)などのメモリコントローラで制御されるネットワーク向けメモリ製品に適用することができる。
In order to suppress input / output clock skew, not only changes in the voltage level of the I / O power supply voltage, but also external environmental factors such as the slew rate of the reference clock signal and the output load of the feedback clock signal In addition, since external environmental factors have a variety of influences, it is not sufficient to cope with linear changes or increasing the delay amount to the reference voltage. The present invention provides a semiconductor device that realizes clock synchronization processing that can cope with these.
In one aspect of the embodiment of the present invention, when the reference clock signal used by the semiconductor device and the echo clock signal output from the semiconductor device are synchronized, the voltage level of the I / O power supply voltage and the factors of the external environment Thus, the delay amount between the reference clock signal and the echo clock signal is determined. Specifically, the delay amount is determined using mode information that adds an influence from the external device to the semiconductor device in addition to the voltage determination signal indicating the voltage level of the I / O power supply voltage.
The semiconductor device of the present invention can be applied to a network memory product controlled by a memory controller such as an FPGA (Field Programmable Gate Array).

図1は、本発明の実施形態に係る半導体装置の概略構成例を示すブロック図である。半導体装置100は、第1のバッファ1、電圧判定部5、記憶部6、エコークロック生成部7、及び第2のバッファ8を備える。エコークロック生成部7は、遅延調整部2、位相調整部3、及び、フィードバック部4を備える。
第1のバッファ1は、I/O電圧電源で駆動され、基準クロック信号を受けて自装置内へ入力クロック信号を出力する。
エコークロック生成部7は、第1のバッファ1を介して入力された入力クロック信号に基づいて出力クロック信号の位相を調整して第2のバッファ8へ出力する。
第2のバッファ8は、I/O電圧電源で駆動され、エコークロック生成部7から出力クロック信号を受けてエコークロック信号を外部へ出力する。
ここで、基準クロック信号は、外部装置から半導体装置100へ入力される外部クロック信号と一致し、半導体装置100が内部処理を実施するときに基準クロックとして用いられる信号である。エコークロック信号は、半導体装置100から外部装置へ出力される信号であり、内部クロックスキューを含む信号である。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration example of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention. The semiconductor device 100 includes a first buffer 1, a voltage determination unit 5, a storage unit 6, an echo clock generation unit 7, and a second buffer 8. The echo clock generation unit 7 includes a delay adjustment unit 2, a phase adjustment unit 3, and a feedback unit 4.
The first buffer 1 is driven by an I / O voltage power source, receives a reference clock signal, and outputs an input clock signal into its own device.
The echo clock generator 7 adjusts the phase of the output clock signal based on the input clock signal input via the first buffer 1 and outputs the adjusted signal to the second buffer 8.
The second buffer 8 is driven by an I / O voltage power supply, receives an output clock signal from the echo clock generation unit 7, and outputs the echo clock signal to the outside.
Here, the reference clock signal coincides with the external clock signal input from the external device to the semiconductor device 100, and is a signal used as the reference clock when the semiconductor device 100 performs internal processing. The echo clock signal is a signal output from the semiconductor device 100 to an external device, and includes an internal clock skew.

電圧判定部5は、I/O電圧電源の電圧レベルを判定して電圧判定信号を生成する。例えば、I/O電圧電源の電圧レベルを任意の基準電圧と比較した結果を電圧判定信号として生成する。I/O電圧電源は、半導体装置100の第1のバッファ1及び第2のバッファ8等に電源を供給する。半導体装置100では、少なくとも、第1のバッファ1、第2のバッファ8、及びフィードバック部4とは同じI/O電圧電源(VDDQ/VSSQ)を用いる。
記憶部6は、I/O電圧電源の電圧レベルに対して、自装置への外部環境の影響を付加するモード情報を記録する。言い換えると、モード情報は、エコークロック生成部7が調整する出力クロック信号の位相の調整量と、電圧判定信号との関係を選択する。加えて、記憶部6は、半導体装置100の利用者が、モード情報を外部から設定できるように構成される。
遅延調整部2は、入力クロック信号と帰還クロック信号を受け、電圧判定信号とモード情報とを用いて、入力クロック信号の遅延量を調整して入力クロック調整信号(第1のクロック信号)を生成し、帰還クロック信号の遅延量を調整して帰還クロック調整信号(第2のクロック信号)を生成する。帰還クロック信号は、フィードバック部4によって生成される信号であり、詳細にはフィードバック部4で説明する。
The voltage determination unit 5 determines the voltage level of the I / O voltage power supply and generates a voltage determination signal. For example, a result of comparing the voltage level of the I / O voltage power supply with an arbitrary reference voltage is generated as a voltage determination signal. The I / O voltage power supply supplies power to the first buffer 1 and the second buffer 8 of the semiconductor device 100. In the semiconductor device 100, at least the first buffer 1, the second buffer 8, and the feedback unit 4 use the same I / O voltage power supply (VDDQ / VSSQ).
The storage unit 6 records mode information for adding the influence of the external environment to the own device with respect to the voltage level of the I / O voltage power supply. In other words, the mode information selects the relationship between the voltage adjustment signal and the phase adjustment amount of the output clock signal adjusted by the echo clock generator 7. In addition, the storage unit 6 is configured so that a user of the semiconductor device 100 can set mode information from the outside.
The delay adjusting unit 2 receives the input clock signal and the feedback clock signal, adjusts the delay amount of the input clock signal using the voltage determination signal and the mode information, and generates an input clock adjustment signal (first clock signal). Then, the feedback clock adjustment signal (second clock signal) is generated by adjusting the delay amount of the feedback clock signal. The feedback clock signal is a signal generated by the feedback unit 4 and will be described in detail by the feedback unit 4.

位相調整部3は、入力クロック調整信号及び帰還クロック調整信号を受け、帰還クロック調整信号の位相を入力クロック調整信号の位相に合わせた遅延調整クロック信号(第3のクロック信号)を出力クロック信号として、第2のバッファ8とフィードバック部4へ出力する。第2のバッファ8では、出力クロック信号に基づいてエコークロック信号を出力する。
フィードバック部4は、出力クロック信号に基づく帰還クロック信号を遅延調整部2へ帰還させる。フィードバック部4は、帰還クロック信号が、エコークロック信号と同様の素子を経て遅延調整部2へ入力されるように構成される。
The phase adjustment unit 3 receives the input clock adjustment signal and the feedback clock adjustment signal, and uses a delay adjustment clock signal (third clock signal) in which the phase of the feedback clock adjustment signal matches the phase of the input clock adjustment signal as an output clock signal. To the second buffer 8 and the feedback unit 4. The second buffer 8 outputs an echo clock signal based on the output clock signal.
The feedback unit 4 feeds back a feedback clock signal based on the output clock signal to the delay adjustment unit 2. The feedback unit 4 is configured such that the feedback clock signal is input to the delay adjustment unit 2 through the same elements as the echo clock signal.

図1の半導体装置100の構成では、遅延調整部2が、I/O電源電圧の電圧レベルを示す電圧判定信号に加え、当該半導体装置100への外部装置からの影響を付加するモード情報を用いて、遅延量を決定することを実現する。
ここで、図2を用いて、半導体装置100の作用・効果を説明する。図2では、本発明を半導体装置109に適用した一態様を示す。
In the configuration of the semiconductor device 100 in FIG. 1, the delay adjustment unit 2 uses mode information that adds an influence from an external device to the semiconductor device 100 in addition to a voltage determination signal indicating the voltage level of the I / O power supply voltage. Thus, the delay amount is determined.
Here, the operation and effect of the semiconductor device 100 will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows one mode in which the present invention is applied to the semiconductor device 109.

図2の半導体装置109について、図1の半導体装置100との対応を含めて説明する。
バッファ(第1入力バッファ)11は、基準クロック信号を受けて入力クロック信号を出力する入力バッファである。バッファ(第1出力バッファ)12は、出力クロック信号を受けてエコークロック信号を出力し、バッファ(第2出力バッファ)13は、出力クロック信号を受けて反転したエコークロック信号を出力する出力バッファである。バッファ11は、図1の第1のバッファ1に対応し、バッファ12、13は、図1の第2のバッファ8に対応する。
処理部9−1は、半導体装置109に応じた内部処理を実施する回路である。
The semiconductor device 109 in FIG. 2 will be described including the correspondence with the semiconductor device 100 in FIG.
The buffer (first input buffer) 11 is an input buffer that receives a reference clock signal and outputs an input clock signal. A buffer (first output buffer) 12 receives the output clock signal and outputs an echo clock signal, and a buffer (second output buffer) 13 is an output buffer that receives the output clock signal and outputs an inverted echo clock signal. is there. The buffer 11 corresponds to the first buffer 1 in FIG. 1, and the buffers 12 and 13 correspond to the second buffer 8 in FIG.
The processing unit 9-1 is a circuit that performs internal processing in accordance with the semiconductor device 109.

バッファ(第2入力バッファ)41は、レプリカクロック信号と反転したレプリカクロック信号とを受け、帰還クロック信号を出力する入力バッファである。バッファ(第3出力バッファ)42は、出力クロック信号を受け、レプリカクロック信号を出力し、バッファ(第4出力バッファ)43は、出力クロック信号を受け、反転したレプリカクロック信号を出力する出力バッファである。バッファ41〜43及び処理部9−2は、フィードバック部4に対応する。フィードバック部4は、バッファ11〜13を模倣し、さらに、内部処理における各素子が同じになるように構成される。言い換えると、フィードバック部4は、バッファ11(第1のバッファ1)と同等の構成を有するバッファ41(第3のバッファ)と、バッファ12、13(第2のバッファ8)と同等の構成を有するバッファ42、43(第4のバッファ)とから構成される。ここで、同等とは、構造的に同等であること、あるいは電気的特性が同等であることを意味する。
処理部9−2は、処理部9−1と同じ構成を有する。半導体装置109では、処理部9−1に含まれる素子により、内部クロックスキューが生じる。このため、処理部9−1とバッファ12、13との間、及び、処理部9−2とバッファ42,43との間の遅延が同じになるに構成される。
The buffer (second input buffer) 41 is an input buffer that receives the replica clock signal and the inverted replica clock signal and outputs a feedback clock signal. A buffer (third output buffer) 42 receives the output clock signal and outputs a replica clock signal, and a buffer (fourth output buffer) 43 receives the output clock signal and outputs an inverted replica clock signal. is there. The buffers 41 to 43 and the processing unit 9-2 correspond to the feedback unit 4. The feedback unit 4 imitates the buffers 11 to 13 and is configured so that each element in the internal processing is the same. In other words, the feedback unit 4 has a configuration equivalent to the buffer 41 (third buffer) having the same configuration as the buffer 11 (first buffer 1) and the buffers 12 and 13 (second buffer 8). It is composed of buffers 42 and 43 (fourth buffer). Here, “equivalent” means that they are structurally equivalent or have the same electrical characteristics.
The processing unit 9-2 has the same configuration as the processing unit 9-1. In the semiconductor device 109, an internal clock skew occurs due to the elements included in the processing unit 9-1. For this reason, the delays between the processing unit 9-1 and the buffers 12 and 13 and between the processing unit 9-2 and the buffers 42 and 43 are the same.

図1に示す半導体装置100、あるいは図2に示す半導体装置109では、内部クロックスキューに限らず、ネットワークメモリなどの仕様として存在している基準クロック信号(CK/CK#)に対するエコークロック信号(QK/QK#)のスキュー(CK−QKスキュー)を抑制するために、位相調整部3として、例えば、PLL回路を利用する。位相調整部3は、基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューを抑制するため、フィードバックループを形成し、エコークロック信号を模倣した帰還クロック信号を作成して位相調整部3へ帰還させる。フィードバックループは、図1では、フィードバック部4に相当するが、例えば、レプリカのDriver回路(図2では、バッファ42、43)、及びReceiver回路(図2では、バッファ41)を挿入する回路構成を使用する。   In the semiconductor device 100 shown in FIG. 1 or the semiconductor device 109 shown in FIG. 2, not only the internal clock skew but also an echo clock signal (QK) with respect to a reference clock signal (CK / CK #) existing as a specification of a network memory or the like. / QK #), for example, a PLL circuit is used as the phase adjustment unit 3 in order to suppress the skew (CK-QK skew). In order to suppress the skew between the reference clock signal and the echo clock signal, the phase adjustment unit 3 forms a feedback loop, creates a feedback clock signal imitating the echo clock signal, and feeds it back to the phase adjustment unit 3. The feedback loop corresponds to the feedback unit 4 in FIG. 1, but has a circuit configuration in which, for example, a replica driver circuit (buffers 42 and 43 in FIG. 2) and a receiver circuit (buffer 41 in FIG. 2) are inserted. use.

フィードバックループが形成するレプリカ構成によって、図2に示す(A)+(B)のパスと、(C)のパスとは、基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューが一致することが好ましい。しかしながら、実際には、基準クロック信号及びエコークロック信号のパスを、半導体装置109のチップ内部に配置される、バッファ41〜43で再現できないため、ズレが生じる。これは、外部装置に依存する外部環境要因のあらゆる設定を、基準クロック信号及びエコークロック信号のパスとフィードバックループとの間で一致させることが困難であることによる。
具体的には、図26に示したように、バッファ11〜13で入出力する信号は、これらの設定の相違に起因する、信号スルーレートや出力負荷などに基づいて外部装置毎に異なった信号波形を形成する。一方、フィードバックループでは、外部装置から生じる外部環境要因に応じて信号波形を模倣することは困難である。加えて、振幅レベル、信号スルーレートなどの違いから基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューが発生してしまう。特に、基準クロック信号及びエコークロック信号のパスにおける信号波形と、フィードバックループにおける信号波形との違いによって、基準クロック信号とエコークロック信号との遅延差を大きくするパラメータの一つがI/O電圧電源の電圧レベルである。これについては、図26を参照して説明した通りである。
Depending on the replica configuration formed by the feedback loop, it is preferable that the paths (A) + (B) and (C) shown in FIG. 2 have the same skew between the reference clock signal and the echo clock signal. However, in reality, the paths of the reference clock signal and the echo clock signal cannot be reproduced by the buffers 41 to 43 arranged inside the chip of the semiconductor device 109, and thus a deviation occurs. This is because it is difficult to match all settings of external environmental factors depending on the external device between the reference clock signal and echo clock signal paths and the feedback loop.
Specifically, as shown in FIG. 26, the signals input and output by the buffers 11 to 13 are different signals for each external device based on the signal slew rate, output load, and the like due to the difference in these settings. Form a waveform. On the other hand, in the feedback loop, it is difficult to imitate the signal waveform according to external environmental factors generated from the external device. In addition, skew between the reference clock signal and the echo clock signal occurs due to differences in amplitude level, signal slew rate, and the like. In particular, one of the parameters for increasing the delay difference between the reference clock signal and the echo clock signal due to the difference between the signal waveform in the path of the reference clock signal and the echo clock signal and the signal waveform in the feedback loop is the I / O voltage power supply. Voltage level. This is as described with reference to FIG.

この課題を解決するため、図2に示す(A)+(B)のパスと、(C)のパスとに、I/O電圧電源の電圧レベルや外部環境要因に依存して、基準クロック信号とエコークロック信号との遅延差が発生した場合に、遅延調整部2が遅延差を補償する機能を果たす。具体的には、遅延調整部2は、外部装置の信号スルーレートや出力負荷を予想したモード情報と、I/O電圧電源の電圧レベルを示す電圧判定信号との組合せにより遅延量を決定し、遅延差を調整する。
このため、モード情報として、外部装置として想定される各種入力信号の信号スルーレートや、出力負荷をいくつか想定して、その電圧依存性を示す複数のモードを設定し、モード情報として記憶部6に予め格納する。
図3は、電圧判定信号及びモード情報と、遅延量との関係の一例を示す図である。図3に示すように、電圧判定信号と、記憶部6が保存するモード情報(具体的には、モード)との組合せに応じて遅延量が決定される。複数のモードは、I/O電圧電源の電圧レベルに対して、異なる遅延量を対応づけるように設定される。また、図3に示す例では、モード情報として、モード1〜6の6種類を示し、I/O電圧電源の電圧レベルに応じて変化する遅延量が、モード毎に異なる大きさとなっている。
In order to solve this problem, the reference clock signal depends on the voltage level of the I / O voltage power supply and external environmental factors in the paths (A) + (B) and (C) shown in FIG. When the delay difference between the signal and the echo clock signal occurs, the delay adjusting unit 2 functions to compensate the delay difference. Specifically, the delay adjustment unit 2 determines the delay amount by a combination of the mode information that predicts the signal slew rate and output load of the external device and the voltage determination signal that indicates the voltage level of the I / O voltage power source, Adjust the delay difference.
For this reason, as the mode information, a plurality of modes indicating the voltage dependency are set by assuming the signal slew rate of various input signals assumed as an external device and some output loads, and the storage unit 6 as the mode information. Stored in advance.
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the relationship between the voltage determination signal, the mode information, and the delay amount. As shown in FIG. 3, the delay amount is determined according to the combination of the voltage determination signal and the mode information (specifically, the mode) stored in the storage unit 6. The plurality of modes are set so that different delay amounts are associated with the voltage levels of the I / O voltage power supply. In the example shown in FIG. 3, six types of modes 1 to 6 are shown as mode information, and the amount of delay that changes according to the voltage level of the I / O voltage power supply is different for each mode.

例えば、I/O電圧電源の電圧レベルに比例して遅延量が変化するモード1,2,3や、線形特性でないモード4,5,6が設定される。線形特性でないモードでも、電圧レベルに応じた遅延量の変化量が、モード4が一番小さく、続いてモード5、モード6の順に大きくなるように設定されている。
半導体装置を外部装置と組み合わせてシステムを構成してシステムの評価をするときに、外部装置の特性に応じて、記憶部6に設定するモードを選択する。また、システムの運用に応じて、モードを選択しなおし、記憶部6に設定することができる。具体的なモードの選択としては、例えば、顧客の外部装置において、入出力端子の付加が大きい場合、遅延量の変化を大きくするモードを選択する。あるいは、半導体装置100内のフィードバック部4のトランジスタ特性が電圧に対して線形特性でない場合、遅延量の変化を単純線形のモードではなく、他のモードを選択する。
以下、本発明に係る半導体装置の具体的な構成例について図面を参照して説明する。
For example, modes 1, 2, and 3 in which the delay amount changes in proportion to the voltage level of the I / O voltage power supply, and modes 4, 5, and 6 that are not linear characteristics are set. Even in the non-linear characteristic mode, the amount of change in the delay amount according to the voltage level is set to be the smallest in mode 4 and subsequently increase in the order of mode 5 and mode 6.
When a system is configured by combining a semiconductor device with an external device and the system is evaluated, a mode set in the storage unit 6 is selected according to the characteristics of the external device. Further, the mode can be selected again and set in the storage unit 6 according to the operation of the system. As a specific mode selection, for example, when the input / output terminal addition is large in the customer's external device, the mode that increases the change in the delay amount is selected. Alternatively, when the transistor characteristic of the feedback unit 4 in the semiconductor device 100 is not a linear characteristic with respect to the voltage, a change in the delay amount is selected from another mode instead of the simple linear mode.
A specific configuration example of a semiconductor device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

実施形態1.
図4は、実施形態1に係る半導体装置の構成例を示すブロック図である。半導体装置101は、第1のバッファ1としてバッファ11、第2のバッファ8としてバッファ12、13、遅延調整部2として第1VDL(Variable Delay Line)部(第1の遅延調整部)21、第2VDL部(第2の遅延調整部)22、位相調整部3としてPLL部31、フィードバック部4としてバッファ41〜43、電圧判定部5、及び記憶部6を備える。説明を容易にするため、半導体装置101では、図2に示した処理部9−1、9−2を省略し、PLL部31から各バッファ12、13、42、43までの経路に配置されている素子等の記載を省略する。また、図4に示すように、少なくともバッファ11〜13、41〜43(二点破線で囲んだ構成要素)は、I/O電圧電源から電源VDDQ/VSSQが供給される。
Embodiment 1. FIG.
FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration example of the semiconductor device according to the first embodiment. The semiconductor device 101 includes a buffer 11 as the first buffer 1, buffers 12 and 13 as the second buffer 8, a first variable delay line (VDL) unit (first delay adjustment unit) 21 as the delay adjustment unit 2, and a second VDL. Unit (second delay adjustment unit) 22, phase adjustment unit 3 includes PLL unit 31, feedback unit 4 includes buffers 41 to 43, voltage determination unit 5, and storage unit 6. For ease of explanation, in the semiconductor device 101, the processing units 9-1 and 9-2 shown in FIG. 2 are omitted, and the processing unit 9-1 and 9-2 are arranged on a path from the PLL unit 31 to the buffers 12, 13, 42, and 43. Description of the elements etc. which are present is omitted. As shown in FIG. 4, at least the buffers 11 to 13, 41 to 43 (components surrounded by a two-dot broken line) are supplied with the power VDDQ / VSSQ from the I / O voltage power supply.

第1VDL部21は、バッファ11から入力クロック信号を受け、電圧判定信号とモード情報(モード)とに基づいて、I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧より低い場合、入力クロック信号の遅延を増やす第1の遅延量(入力クロック遅延量)を選択し、I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧以上の場合、第1の遅延量にゼロを選択する。第1VDL部21は、入力クロック信号を、選択した第1の遅延量を遅延させて、入力クロック調整信号を生成する。
第2VDL部22は、バッファ41から帰還クロック信号を受け、電圧判定信号とモード情報(モード)とに基づいて、I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧より高い場合、帰還クロック信号の遅延を増やす第2の遅延量(帰還クロック遅延量)を選択し、I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧以下の場合、第2の遅延量にゼロを選択する。第2VDL部22は、帰還クロック信号を、選択した第2の遅延量を遅延させて、帰還クロック調整信号を生成する。
The first VDL unit 21 receives the input clock signal from the buffer 11 and delays the input clock signal when the voltage level of the I / O voltage power supply is lower than the reference voltage based on the voltage determination signal and the mode information (mode). The first delay amount to be increased (input clock delay amount) is selected, and when the voltage level of the I / O voltage power source is equal to or higher than the reference voltage, zero is selected as the first delay amount. The first VDL unit 21 delays the input clock signal by the selected first delay amount to generate an input clock adjustment signal.
The second VDL unit 22 receives the feedback clock signal from the buffer 41, and delays the feedback clock signal when the voltage level of the I / O voltage power supply is higher than the reference voltage based on the voltage determination signal and the mode information (mode). The second delay amount to be increased (feedback clock delay amount) is selected, and when the voltage level of the I / O voltage power source is equal to or lower than the reference voltage, zero is selected as the second delay amount. The second VDL unit 22 delays the feedback clock signal by the selected second delay amount to generate a feedback clock adjustment signal.

図4では、遅延調整部2を第1VDL部21と第2VDL部22とから構成される例を説明するが、これに限られることはない。遅延調整部2は、電圧判定信号とモード情報とに基づいて、I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧より高い場合、帰還クロック信号の遅延を増やし、I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧より低い場合、入力クロック信号の遅延を増やす遅延量を、入力クロック信号及び帰還クロック信号それぞれの遅延量として選択するように構成されていれば、その他の構成であってもよい。
また、その他の構成要素については、図1,2で示した同じ符号の構成要素と同様であるため、説明を省略する。
In FIG. 4, an example in which the delay adjustment unit 2 includes the first VDL unit 21 and the second VDL unit 22 will be described, but the present invention is not limited to this. Based on the voltage determination signal and the mode information, the delay adjustment unit 2 increases the delay of the feedback clock signal when the voltage level of the I / O voltage power source is higher than the reference voltage, and the voltage level of the I / O voltage power source becomes the reference level. Other configurations may be used as long as the delay amount for increasing the delay of the input clock signal is selected as the delay amounts of the input clock signal and the feedback clock signal when the voltage is lower than the voltage.
The other components are the same as those shown in FIGS. 1 and 2 and will not be described.

図5に、図4に示す半導体装置101をより具体的に実現した構成例を示す。図5の半導体装置102は、バッファ11〜16、VDL_R23、VDL_R24、PLL32、バッファ41〜43、I/O電圧判定回路51、MRS(Mode Register Set)61、FUSE62、及びOR回路63を備える。図5では、処理部9−1、9−2を示す。バッファ11〜16、41〜43は、I/O電圧電源から電源VDDQ/VSSQが供給される。図5の半導体装置102の構成を図1の構成要素と対応づけると、第1のバッファ1として、バッファ11、14、15、第2のバッファ8としてバッファ12、13、16、遅延調整部2としてVDL_R23、VDL_R24、位相調整部3としてPLL32、フィードバック部4としてバッファ41〜43及び処理部9−2、電圧判定部5としてI/O電圧判定回路51、記憶部6としてMRS61、FUSE62、及びOR回路63、となる。   FIG. 5 shows a configuration example in which the semiconductor device 101 shown in FIG. 4 is more specifically realized. The semiconductor device 102 of FIG. 5 includes buffers 11 to 16, VDL_R 23, VDL_R 24, PLL 32, buffers 41 to 43, I / O voltage determination circuit 51, MRS (Mode Register Set) 61, FUSE 62, and OR circuit 63. FIG. 5 shows the processing units 9-1 and 9-2. The buffers 11 to 16 and 41 to 43 are supplied with power VDDQ / VSSQ from the I / O voltage power supply. When the configuration of the semiconductor device 102 in FIG. 5 is associated with the components in FIG. 1, the first buffer 1 is the buffers 11, 14, 15, the second buffer 8 is the buffers 12, 13, 16, and the delay adjustment unit 2. VDL_R23, VDL_R24, PLL 32 as phase adjustment unit 3, buffers 41-43 and processing unit 9-2 as feedback unit 4, I / O voltage determination circuit 51 as voltage determination unit 5, MRS 61, FUSE 62, and OR as storage unit 6 Circuit 63 is obtained.

バッファ14は、MRS61を活性化させるためのコマンドを入力する入力バッファである。バッファ15は、コマンドに応じた処理を実施するアドレスを入力する入力バッファである。バッファ16は、データを出力する出力バッファである。
VDL_R23は、バッファ11から入力クロック信号(RVCLK信号)を受け、入力クロック信号の遅延を調整したRPCLK信号(入力クロック調整信号、第1のクロック信号)を生成してPLL32へ出力する。VDL_R23は、図4の第1VDL部21に対応する。
VDL_F24は、バッファ41から帰還クロック信号(FVCLK信号)を受け、帰還クロック信号の遅延を調整したFPCLK信号(帰還クロック調整信号、第2のクロック信号)を生成してPLL32へ出力する。VDL_F24は、図4の第2VDL部22に対応する。
The buffer 14 is an input buffer for inputting a command for activating the MRS 61. The buffer 15 is an input buffer for inputting an address for performing processing according to the command. The buffer 16 is an output buffer that outputs data.
The VDL_R 23 receives the input clock signal (RVCLK signal) from the buffer 11, generates an RPCLK signal (input clock adjustment signal, first clock signal) in which the delay of the input clock signal is adjusted, and outputs it to the PLL 32. VDL_R23 corresponds to the first VDL unit 21 of FIG.
The VDL_F 24 receives the feedback clock signal (FVCLK signal) from the buffer 41, generates an FPCLK signal (feedback clock adjustment signal, second clock signal) in which the delay of the feedback clock signal is adjusted, and outputs the FPCLK signal to the PLL 32. VDL_F 24 corresponds to the second VDL unit 22 of FIG.

PLL32は、RPCLK信号、FPCLK信号を受け、位相を同期させたPCLK信号(出力クロック信号)を出力する。PLL32の回路構成は、上述した機能を実現できるPLL回路であればよい。ここでは回路構成自体は重要でないため、説明を省略する。
I/O電圧判定回路51は、I/O電圧電源から供給される電源VDDQ/VSSQ及び基準電圧となるリファレンスレベルVREFを用いて、I/O電圧電源の電圧レベルを判定してnビット(nはゼロより大きい整数)のVDLCODE(電圧判定信号)を生成し、VDLCODEをVDL_R23、VDL_F24へ出力する。I/O電圧判定回路51については、図6、7を用いて後述する。
The PLL 32 receives the RPCLK signal and the FPCLK signal, and outputs a PCLK signal (output clock signal) whose phase is synchronized. The circuit configuration of the PLL 32 may be any PLL circuit that can realize the functions described above. Since the circuit configuration itself is not important here, the description is omitted.
The I / O voltage determination circuit 51 uses the power supply VDDQ / VSSQ supplied from the I / O voltage power supply and the reference level VREF as the reference voltage to determine the voltage level of the I / O voltage power supply and to determine n bits (n Is an integer greater than zero), and VDLCODE is output to VDL_R23 and VDL_F24. The I / O voltage determination circuit 51 will be described later with reference to FIGS.

MRS61は、モード情報を保持する。MRS61は、予め決められたモード情報を保持してもよいし、外部から設定されるモード情報を保持してもよい。
FUSE62は、半導体装置102の初期設定を保持する。
OR回路63は、MRS61の保持するモードの値と、FUSE62が保持する値との論理積をCODESTP信号(モード、モード情報)として生成する。なお、図5では、OR回路63によってCODESTP信号を生成する例を示しているが、MRS61が保持する値をCODESTP信号として用いてもよい。
The MRS 61 holds mode information. The MRS 61 may hold predetermined mode information, or may hold mode information set from the outside.
The FUSE 62 holds the initial setting of the semiconductor device 102.
The OR circuit 63 generates a logical product of the mode value held by the MRS 61 and the value held by the FUSE 62 as a CODESTP signal (mode and mode information). Although FIG. 5 shows an example in which the CODESTP signal is generated by the OR circuit 63, a value held by the MRS 61 may be used as the CODESTP signal.

MRS61及び/またはFUSE62を用いることにより、モードの値を外部から設定できる機能を実現する。
図5の半導体装置102では、基準クロック信号CK/CK#とエコークロック信号QK/QK#の位相を調整する元となるPLL32、チップ内部のI/O電圧レベルを判定するI/O電圧判定回路51、I/O電圧判定結果により遅延量を調整するVDL_R23、VDL_F24、電圧判定結果とVDLの遅延量の設定を切り替えることのできる信号を出力するMRS61、およびFUSE62を有することを特徴としている。
By using the MRS 61 and / or the FUSE 62, a function capable of setting the mode value from the outside is realized.
In the semiconductor device 102 of FIG. 5, the PLL 32 that is a source for adjusting the phases of the reference clock signal CK / CK # and the echo clock signal QK / QK #, and the I / O voltage determination circuit that determines the I / O voltage level inside the chip. 51, VDL_R23 and VDL_F24 for adjusting the delay amount according to the I / O voltage determination result, MRS 61 for outputting a signal capable of switching the setting of the voltage determination result and the VDL delay amount, and FUSE 62.

次に、I/O電圧判定回路51について詳しく説明する。図6はI/O電圧判定回路の詳細な構成例を示す図である。I/O電圧判定回路51は、VDDQ分圧レベル発生回路511、アンプ回路512、アンプ判定ラッチ回路513、カウンタ514、パルス発生回路515、及び、分周切替回路516を備える。   Next, the I / O voltage determination circuit 51 will be described in detail. FIG. 6 is a diagram illustrating a detailed configuration example of the I / O voltage determination circuit. The I / O voltage determination circuit 51 includes a VDDQ voltage division level generation circuit 511, an amplifier circuit 512, an amplifier determination latch circuit 513, a counter 514, a pulse generation circuit 515, and a frequency division switching circuit 516.

VDDQ分圧レベル発生回路511は、直列抵抗出力部5111とスイッチ部5112とから構成される。直列抵抗出力部5111は、I/O電圧電源の電圧であるVDDQと、その基準レベルとなるVSSQを複数の抵抗で直列接続し、分圧レベルを発生させる。スイッチ部5112は、直列抵抗出力部5111を構成する複数の抵抗間にスイッチトランジスタを設け、カウンタ514が出力するVDLCODE[n−1:0]に応じてスイッチトランジスタを切り替え、スイッチトランジスタによって選択した電圧VDDQの分圧レベルVDDQRを取り出す。   The VDDQ voltage division level generation circuit 511 includes a series resistance output unit 5111 and a switch unit 5112. The series resistance output unit 5111 connects the VDDQ that is the voltage of the I / O voltage power supply and the VSSQ that is the reference level in series with a plurality of resistors, and generates a divided voltage level. The switch unit 5112 provides a switch transistor between a plurality of resistors constituting the series resistance output unit 5111, switches the switch transistor according to VDLCODE [n-1: 0] output from the counter 514, and selects a voltage selected by the switch transistor The voltage division level VDDQR of VDDQ is taken out.

アンプ回路512は、分圧レベルVDDQRと、リファレンスレベルVREFとを比較判定し、判定結果としてAMPLEV信号を発生させる。アンプ回路512は、分圧レベルVDDQRを用いて電圧判定信号を生成することから、リファレンスレベルVREFとして、基準電圧の半分の値を用いる。
アンプ判定ラッチ回路513は、アンプ回路512の判定結果であるAMPLEV信号を、PLL32から出力されるPCLK信号に基づいてタイミング制御されて生成されるパルスLATPLSでラッチしてDLAT信号を保持する。
The amplifier circuit 512 compares and determines the divided voltage level VDDQR and the reference level VREF, and generates an AMPLEV signal as a determination result. Since the amplifier circuit 512 generates the voltage determination signal using the divided voltage level VDDQR, the half value of the reference voltage is used as the reference level VREF.
The amplifier determination latch circuit 513 latches the AMPLEV signal, which is the determination result of the amplifier circuit 512, with a pulse LATPLS generated by timing control based on the PCLK signal output from the PLL 32, and holds the DLAT signal.

カウンタ514は、ラッチデータである、DLAT信号と、PCLK信号から生成されてタイミング制御されたパルスUPPLSによって、コード信号VDLCODE[n−1:0]をVDL_R23、VDL_F24、及びVDDQ分圧レベル発生回路511に転送する。
パルス発生回路515は、分周切替回路516が出力するDIVCLK信号に基づいて、パルスLATPLS、UPPLSを発生させる。
分周切替回路516は、PCLK信号を任意の分周に切り替えてDIVCLK信号として出力する。ここではPCLK信号を2分周に切り替える場合を一例として示す。
The counter 514 generates the code signal VDLCODE [n−1: 0] from the DLAT signal, which is latch data, and the pulse UPPLS generated from the PCLK signal and controlled in timing, to the VDL_R23, VDL_F24, and VDDQ voltage division level generation circuit 511. Forward to.
The pulse generation circuit 515 generates pulses LATPLS and UPPLS based on the DIVCLK signal output from the frequency division switching circuit 516.
The frequency division switching circuit 516 switches the PCLK signal to an arbitrary frequency division and outputs it as a DIVCLK signal. Here, a case where the PCLK signal is switched to frequency division by 2 is shown as an example.

図7にカウンタ514の詳細回路例を示す。カウンタ514では、加算器5141−0〜5141−(n−1)がDLAT信号のH/Lを検知して加減算され、UPDATEレジスタ5142−0〜5142−(n−1)が、パルスUPPLSをトリガとしてVDLCODE[n−1:0]を出力する。   FIG. 7 shows a detailed circuit example of the counter 514. In the counter 514, the adders 5141-0 to 5141- (n-1) detect the H / L of the DLAT signal and add / subtract, and the UPDATE registers 5142-0 to 5142- (n-1) trigger the pulse UPPLS. VDLCODE [n-1: 0] is output.

続いて、VDL_R23、VDL_F24について詳しく説明する。図8AにVDL_R24の一例を、図8BにVDL_F24の一例を示す。
VDL_R23は、第1のVDLセレクタ回路(VDL_Rセレクタ回路)231、第1の遅延選択回路(VDL_R遅延選択回路)232、及び、第1のコードセレクタ回路(VDL_Rコードセレクタ回路)233を備える。第1のVDLセレクタ回路231は、第1の変換テーブル2311を備える。VDL_F24は、第2のVDLセレクタ回路(VDL_Fセレクタ回路)241、第2の遅延選択回路(VDL_F遅延選択回路)242、及び、第2のコードセレクタ回路(VDL_Fコードセレクタ回路)243を備える。第2のVDLセレクタ回路241は、第2の変換テーブル2411を備える。
図9A〜9Dに、第1の変換テーブル2311の一例を示す。図9E〜9Hに、第2の変換テーブル2411の一例を示す。図10に、図9A〜9Hに示すテーブルの情報を表したグラフを示す。
Next, VDL_R23 and VDL_F24 will be described in detail. FIG. 8A shows an example of VDL_R24, and FIG. 8B shows an example of VDL_F24.
The VDL_R 23 includes a first VDL selector circuit (VDL_R selector circuit) 231, a first delay selection circuit (VDL_R delay selection circuit) 232, and a first code selector circuit (VDL_R code selector circuit) 233. The first VDL selector circuit 231 includes a first conversion table 2311. The VDL_F 24 includes a second VDL selector circuit (VDL_F selector circuit) 241, a second delay selection circuit (VDL_F delay selection circuit) 242, and a second code selector circuit (VDL_F code selector circuit) 243. The second VDL selector circuit 241 includes a second conversion table 2411.
9A to 9D show an example of the first conversion table 2311. 9E to 9H show an example of the second conversion table 2411. FIG. 10 shows a graph representing information of the tables shown in FIGS.

第1のVDLセレクタ回路231または第2のVDLセレクタ回路241は、I/O電圧判定回路51が判定したVDLCODE[3:0]を、I/O電圧電源の電圧レベルに応じた遅延量を選択するVDLSEL[7:0]RまたはVCLSEL[7:0]Fに変換する。図8A、8BのVDL_R23、VDL_F24は、図6,7に示すVDLCODEのビット数nが4ビットの場合を一例として示す。加えて、ここでは一例として、4ビットのVDLCODEを、8ビットのVDLSELに変換する場合を示す。
第1のVDLセレクタ回路231は、第1の変換テーブル2311を用いて、VDLCODE[3:0]をVDLSEL[7:0]Rに変換する。第2のVDLセレクタ回路241は、第2の変換テーブル2411を用いて、VDLCODE[3:0]をVDLSEL[7:0]Fに変換する。なお、図9A〜9Hでは、RVCLK側及びFVCLK側の遅延量を示しているが、第1の変換テーブル2311及び第2の変換テーブル2411には、遅延量を保持する必要はない。図8A、8Bの構成例では、VDLSEL[7:0]RまたはVCLSEL[7:0]Fと、CODESTP[1:0]とによって、第1の遅延選択回路232または第2の遅延選択回路242が備える複数の遅延パスから一の遅延パスを選択することにより、第1の遅延量または第2の遅延量が決定される。
The first VDL selector circuit 231 or the second VDL selector circuit 241 selects the delay amount corresponding to the voltage level of the I / O voltage power supply for VDLCODE [3: 0] determined by the I / O voltage determination circuit 51 To VDLSEL [7: 0] R or VCLSEL [7: 0] F. VDL_R23 and VDL_F24 in FIGS. 8A and 8B show an example in which the number of bits n of VDLCODE shown in FIGS. 6 and 7 is 4 bits. In addition, here, as an example, a case where 4-bit VDLCODE is converted into 8-bit VDLSEL is shown.
The first VDL selector circuit 231 uses the first conversion table 2311 to convert VDLCODE [3: 0] to VDLSEL [7: 0] R. The second VDL selector circuit 241 converts VDLCODE [3: 0] to VDLSEL [7: 0] F using the second conversion table 2411. 9A to 9H show the delay amounts on the RVCLK side and the FVCLK side, the first conversion table 2311 and the second conversion table 2411 do not need to hold the delay amount. In the configuration example of FIGS. 8A and 8B, the first delay selection circuit 232 or the second delay selection circuit 242 is determined by VDLSEL [7: 0] R or VCLSEL [7: 0] F and CODESTP [1: 0]. The first delay amount or the second delay amount is determined by selecting one delay path from among a plurality of delay paths included in.

第1の遅延選択回路232または第2の遅延選択回路242は、複数の遅延パスを備える。複数の遅延パスは、第1のVDLセレクタ回路231または第2のVDLセレクタ回路241が出力するVDLSEL[7:0]RまたはVCLSEL[7:0]Fに応じて、遅延量を選択する。具体的には複数の遅延パスの遅延素子の数を選択する。図8Aでは、第1の遅延選択回路232が備える複数の遅延パスの一例を示しているが、複数の遅延パスはこれに限られるわけではなく他の回路構成によって実現してもよい。また、第1の遅延量として採用する遅延量に応じて遅延パスの回路構成は異なる。第2の遅延選択回路242は、図8Bでは具体的に示していないが、第2の遅延量として採用する遅延量に応じた回路構成であればよい。第1の遅延選択回路232と第2の遅延選択回路242とが備える複数の遅延パスは、第1の遅延量及び第2の遅延量に依存するものであり、同じ回路構成によって実現する場合、異なる回路構成によって実現する場合がある。   The first delay selection circuit 232 or the second delay selection circuit 242 includes a plurality of delay paths. The plurality of delay paths select a delay amount according to VDLSEL [7: 0] R or VCLSEL [7: 0] F output from the first VDL selector circuit 231 or the second VDL selector circuit 241. Specifically, the number of delay elements of a plurality of delay paths is selected. Although FIG. 8A shows an example of a plurality of delay paths provided in the first delay selection circuit 232, the plurality of delay paths is not limited to this and may be realized by other circuit configurations. In addition, the circuit configuration of the delay path varies depending on the delay amount employed as the first delay amount. Although the second delay selection circuit 242 is not specifically shown in FIG. 8B, it may have a circuit configuration corresponding to the delay amount employed as the second delay amount. The plurality of delay paths included in the first delay selection circuit 232 and the second delay selection circuit 242 depend on the first delay amount and the second delay amount, and when realized by the same circuit configuration, It may be realized by a different circuit configuration.

第1のコードセレクタ回路233または第2のコードセレクタ回路243は、MRS61及びFUSE62によって決定されるCODESTP[1:0]を受け、CODESTP[1:0]の値に応じて遅延量を決定する。具体的には、第1のコードセレクタ回路233は、CODESTP[1:0]によって、第1の遅延選択回路232が備える複数の遅延パスのうち、一の遅延パスを選択することによって遅延量を決定する。第2の遅延選択回路242も同様である。
第1のコードセレクタ回路233は、RVCLK信号を受けると、RVCLK信号を、決定した第1の遅延量に応じて遅らせてRPCLK信号を生成して出力する。一方、第2のコードセレクタ回路243は、FVCLK信号を受けると、FVCLK信号を、決定した第2の遅延量に応じて遅らせてFPCLK信号を生成して出力する。
The first code selector circuit 233 or the second code selector circuit 243 receives CODESTP [1: 0] determined by the MRS 61 and the FUSE 62, and determines a delay amount according to the value of CODESTP [1: 0]. Specifically, the first code selector circuit 233 selects a delay path from among a plurality of delay paths included in the first delay selection circuit 232 by CODESTP [1: 0], thereby reducing the delay amount. decide. The same applies to the second delay selection circuit 242.
When the first code selector circuit 233 receives the RVCLK signal, the first code selector circuit 233 delays the RVCLK signal according to the determined first delay amount to generate and output the RPCLK signal. On the other hand, when the second code selector circuit 243 receives the FVCLK signal, the second code selector circuit 243 delays the FVCLK signal according to the determined second delay amount and generates and outputs the FPCLK signal.

図8Aに示すVDL_R23は電圧判定信号としてのVDLCODE信号、及び、外部ピンで制御されるMRS61あるいはFUSE62に基づくCODESTP信号との組合せから、第1の遅延量を選択する。このため、第1の遅延選択回路232は、インバータの段数で遅延値を変化させる構成である。遅延値の変更の手段としては、インバータ段数を用いることに限定されるものではなく、例えば負荷容量やFanout等の切り替えも考えられる。
CODESTP信号で選択できるVDLCODE信号と、VDL_R23及びVDL_F24それぞれの遅延量との関係の一例を、図9A〜9H、及び図10に示すように、複数のパターンをあらかじめ設計しておく。図9A〜9H中、"L"は"Low"、"H"は"High"を意味する。RVCLK信号側遅延量は、VDL_R23が用いる第1の遅延量であり、FVCLK信号側遅延量は、VDL_24が用いる第2の遅延量である。システムのテスタ評価によって、実物製品としてのシステムの特性確認結果を、モードを用いてフィードバックさせる。これにより、VDLCODE信号(電圧判定信号)とCODESTP信号(モード)との最適な関係を、システム構築後に設定することが可能となる。
8A selects a first delay amount from a combination of a VDLCODE signal as a voltage determination signal and a CODEST signal based on MRS 61 or FUSE 62 controlled by an external pin. For this reason, the first delay selection circuit 232 is configured to change the delay value according to the number of stages of inverters. The means for changing the delay value is not limited to using the number of inverter stages, and switching of load capacity, Fanout, etc., for example, can be considered.
As shown in FIGS. 9A to 9H and FIG. 10, a plurality of patterns are designed in advance as an example of the relationship between the VDLCODE signal that can be selected by the CODESTP signal and the respective delay amounts of VDL_R23 and VDL_F24. 9A to 9H, “L” means “Low” and “H” means “High”. The RVCLK signal side delay amount is a first delay amount used by VDL_R23, and the FVCLK signal side delay amount is a second delay amount used by VDL_24. Based on the tester evaluation of the system, the result of checking the characteristics of the system as a real product is fed back using the mode. This makes it possible to set the optimum relationship between the VDLCODE signal (voltage determination signal) and the CODESTP signal (mode) after system construction.

図9A〜9H、図10に示す例では、VDLCODE信号はデフォルト値8(VDLCODE:4'h8)とし、このときの遅延量をゼロとしている。VDLCODE信号が値0〜7までは、RVCLK信号側(VDL_R23)でゼロより大きい遅延量がCODESTP信号の値0〜3に応じて選択され、VDLCODE信号が値9〜15まではFVCLK側(VDL_F24)でゼロより大きい遅延量がCODESTP信号の値0〜3に応じて選択される。このように、予め設定した情報(例えば、図9A〜9H、図10)に基づいて、電圧判定信号としてのVDLCODE信号と、モードとしてのCODESTP信号との組合せによって、VDL_R23、VDL_F24において遅延量が選択される。図9A〜9Hでは、D1〜D6は、任意の数値であり、D5、D3、D1、D2(D5<D3<D1<D2)の順に大きい場合を想定している。   In the example shown in FIGS. 9A to 9H and FIG. 10, the VDLCODE signal has a default value of 8 (VDLCODE: 4′h8), and the delay amount at this time is zero. When the VDLCODE signal is 0 to 7, a delay amount greater than zero is selected on the RVCLK signal side (VDL_R23) according to the CODESTP signal values 0 to 3, and when the VDLCODE signal is 9 to 15, the FVCLK side (VDL_F24). The delay amount greater than zero is selected according to the values 0 to 3 of the CODESTP signal. Thus, based on preset information (for example, FIGS. 9A to 9H, FIG. 10), the delay amount is selected in VDL_R23 and VDL_F24 by the combination of the VDLCODE signal as the voltage determination signal and the CODESTP signal as the mode. Is done. 9A to 9H, D1 to D6 are arbitrary numerical values, and it is assumed that D5, D3, D1, and D2 (D5 <D3 <D1 <D2) are larger in this order.

なお、図8A、8B、及び図9A〜9Hでは、4ビットのVDLCODE信号(電圧判定信号)を8ビットのVDLSEL信号に対応づけて、多様な遅延量を選択できるような構成を示したが、これに限られるわけではない。電圧判定信号とモードとの組合せに、遅延量を対応づける場合であってもよい。例えば、図8A、8Bにおいて、電圧判定信号としての1ビットのVDLCODE信号と、モードとしての複数のビットのCODESTPとの組合せに対応づけることが可能な複数の遅延量を用いる場合を排除するものではない。この場合、第1のVDLセレクタ回路231または第2のVDLセレクタ回路241を介すことなく、電圧判定信号を第1の遅延選択回路232または第2の遅延選択回路242へ入力してもよい。
加えて、図8A、8Bで示す電圧判定信号及びモードのビット数は一例であり、他のビット数の電圧判定信号及びモードを用いてもよい。
8A, 8B, and FIGS. 9A to 9H show a configuration in which various delay amounts can be selected by associating the 4-bit VDLCODE signal (voltage determination signal) with the 8-bit VDLSEL signal. It is not limited to this. The delay amount may be associated with the combination of the voltage determination signal and the mode. For example, in FIGS. 8A and 8B, the case of using a plurality of delay amounts that can be associated with a combination of a 1-bit VDLCODE signal as a voltage determination signal and a plurality of bits CODESTP as a mode is excluded. Absent. In this case, the voltage determination signal may be input to the first delay selection circuit 232 or the second delay selection circuit 242 without passing through the first VDL selector circuit 231 or the second VDL selector circuit 241.
In addition, the number of bits of the voltage determination signal and the mode illustrated in FIGS. 8A and 8B is an example, and voltage determination signals and modes of other numbers of bits may be used.

図11、12は電圧VDDQが基準電圧より低い場合と高い場合における、半導体装置の動作例を示すタイミングチャートである。具体的には、I/O電圧判定回路の動作とその出力信号によりVDLの遅延値および基準クロックとエコークロックのスキューの変化を示したタイミングチャートの一例である。図11、12では、基準電圧をV1(V)(V1は正の数値)とし、I/O電圧判定回路51が用いるリファレンスレベルVREFが基準電圧V1の2分の1(V1/2)である場合を一例として説明する。VDL調整の一つのサイクルをチャートの下に矢印で示すとともに、何番目のVDL調整サイクルかを最上段に記載した。分圧レベルVDDQRに対するリファレンスレベルVREFの値を点線で示す。また、電圧判定信号は、4ビットのVDLCODE信号であり、図9A〜9H、図10に示す電圧判定信号とモードとの組合せを用いる。DIVCLK信号は、2分周モードである場合を示す。加えて、説明を容易にするため、図11、12では、一例として図9A、9Eに示す、CODESTP[1:0]の値がゼロである場合を用い、遅延量に示すD1の値を20psとしている。   11 and 12 are timing charts showing an example of the operation of the semiconductor device when the voltage VDDQ is lower and higher than the reference voltage. Specifically, it is an example of a timing chart showing a change in a VDL delay value and a reference clock and an echo clock skew according to the operation of the I / O voltage determination circuit and its output signal. 11 and 12, the reference voltage is V1 (V) (V1 is a positive value), and the reference level VREF used by the I / O voltage determination circuit 51 is one half (V1 / 2) of the reference voltage V1. The case will be described as an example. One cycle of VDL adjustment is indicated by an arrow at the bottom of the chart, and the number of VDL adjustment cycle is described at the top. The value of the reference level VREF with respect to the divided voltage level VDDQR is indicated by a dotted line. The voltage determination signal is a 4-bit VDLCODE signal and uses a combination of the voltage determination signal and the mode shown in FIGS. 9A to 9H and FIG. The DIVCLK signal indicates the case of the divide-by-2 mode. In addition, for ease of explanation, FIGS. 11 and 12 use, as an example, the case where the value of CODESTP [1: 0] shown in FIGS. 9A and 9E is zero, and the value of D1 shown in the delay amount is 20 ps. It is said.

図11では、電圧VDDQが基準電圧V1より低く、位相調整サイクル1のときのCK−QKスキューの値が−60psの場合の動作の一例を示す。I/O電圧判定回路51は、VDL調整の1番目のサイクルでは、VDLCODE信号の初期値としてデフォルト値8を出力する。2番目のサイクルでは、カウンタ514が一つ減算され、VDLCODE信号が値7、VDL_R23が決定する遅延量が+20psとなる。3番目のサイクルでは、カウンタ514がさらに一つ減算され、VDLCODE信号が値6、遅延量が+40psとなる。4番目のサイクルでは、カウンタ514がさらに一つ減算され、VDLCODE信号が値5、遅延量が+60psとなる。5番目のサイクルでは、カウンタ514が一つ加算され、VDLCODE信号が値6、遅延量が+40psとなる。6番目のサイクルでは、カウンタ514が一つ減算され、VDLCODE信号が値5、遅延量が+60psとなる。1番目から6番目までのVDL調整サイクルにおいて、VDL_F24が決定する遅延量は、常にゼロとなる。   FIG. 11 shows an example of the operation when the voltage VDDQ is lower than the reference voltage V1 and the value of the CK-QK skew is -60 ps in the phase adjustment cycle 1. In the first cycle of VDL adjustment, the I / O voltage determination circuit 51 outputs a default value 8 as the initial value of the VDLCODE signal. In the second cycle, the counter 514 is decremented by one, the value of the VDLCODE signal is 7, and the delay amount determined by VDL_R23 is +20 ps. In the third cycle, one more counter 514 is subtracted, the VDLCODE signal is 6 and the delay amount is +40 ps. In the fourth cycle, one more counter 514 is subtracted, the VDLCODE signal is value 5, and the delay amount is +60 ps. In the fifth cycle, one counter 514 is added, the value of the VDLCODE signal is 6, and the delay amount is +40 ps. In the sixth cycle, the counter 514 is decremented by 1, the VDLCODE signal becomes the value 5, and the delay amount becomes +60 ps. In the first to sixth VDL adjustment cycles, the delay amount determined by the VDL_F 24 is always zero.

図12では、電圧VDDQが基準電圧V1より高く、位相調整サイクル1のときのCK−QKスキューの値が+60psの場合の動作の一例を示す。I/O電圧判定回路51は、VDL調整の1番目のサイクルでは、VDLCODE信号の初期値としてデフォルト値8を出力する。2番目のサイクルでは、カウンタ514が一つ加算され、VDLCODE信号が値9、VDL_F24が決定する遅延量が+20psとなる。3番目のサイクルでは、カウンタ514がさらに一つ加算され、VDLCODE信号が値10、遅延量が+40psとなる。4番目のサイクルでは、カウンタ514がさらに一つ加算され、VDLCODE信号が値11、遅延量が+60psとなる。5番目のサイクルでは、カウンタ514が一つ減算され、VDLCODE信号が値10、遅延量が+40psとなる。6番目のサイクルでは、カウンタ514が一つ加算され、VDLCODE信号が値11、遅延量が+60psとなる。1番目から6番目までのVDL調整サイクルにおいて、VDL_R23が決定する遅延量は、常にゼロとなる。
図11、12ともに7番目以降のサイクルでは、分圧レベルVDDQRがリファレンスレベルVREFの前後の値を採ることを繰り返す。
FIG. 12 shows an example of the operation when the voltage VDDQ is higher than the reference voltage V1 and the value of the CK-QK skew is +60 ps in the phase adjustment cycle 1. In the first cycle of VDL adjustment, the I / O voltage determination circuit 51 outputs a default value 8 as the initial value of the VDLCODE signal. In the second cycle, one counter 514 is added, the value of the VDLCODE signal is 9, and the delay amount determined by VDL_F24 is +20 ps. In the third cycle, one more counter 514 is added, the value of the VDLCODE signal is 10, and the delay amount is +40 ps. In the fourth cycle, one more counter 514 is added, the value of the VDLCODE signal is 11, and the delay amount is +60 ps. In the fifth cycle, one counter 514 is subtracted, the VDLCODE signal is 10 and the delay amount is +40 ps. In the sixth cycle, one counter 514 is added, the VDLCODE signal is 11 and the delay amount is +60 ps. In the first to sixth VDL adjustment cycles, the delay amount determined by VDL_R23 is always zero.
11 and 12, in the seventh and subsequent cycles, the divided voltage level VDDQR repeatedly takes values before and after the reference level VREF.

図11、12に示すように、本実施形態の半導体装置101、102では、I/O電圧電源の電圧レベルに応じて自動的にVDLの遅延値が調整されて基準クロック信号CK/CK#とエコークロック信号QK/QK#のスキュー(CK−QKスキュー)を抑制する。この例ではI/O電圧電源の電圧VDDQが基準電圧より低い場合には帰還クロック信号のパスが入力クロック信号、出力クロック信号のパスに対して遅くなることを前提としており、入力クロック信号側(リファレンス側)のVDL_R23の遅延を増やして入力クロック信号に対する帰還クロック信号の位相の前倒しを抑制する。一方、I/O電圧電源の電圧VDDQが基準電圧より高い場合には帰還クロック信号側(フィードバック側)のVDL_F24の遅延量を増やして基準クロック信号に対するエコークロック信号の位相遅れを抑制する。   As shown in FIGS. 11 and 12, in the semiconductor devices 101 and 102 of this embodiment, the delay value of the VDL is automatically adjusted according to the voltage level of the I / O voltage power supply, and the reference clock signal CK / CK # and The skew (CK-QK skew) of the echo clock signal QK / QK # is suppressed. In this example, it is assumed that when the voltage VDDQ of the I / O voltage power supply is lower than the reference voltage, the path of the feedback clock signal becomes slower than the path of the input clock signal and the output clock signal. The delay of VDL_R23 on the reference side) is increased to suppress the advance of the phase of the feedback clock signal with respect to the input clock signal. On the other hand, when the voltage VDDQ of the I / O voltage power supply is higher than the reference voltage, the delay amount of VDL_F24 on the feedback clock signal side (feedback side) is increased to suppress the phase delay of the echo clock signal with respect to the reference clock signal.

図13に従来の回路の基準クロック信号(CK/CK#)とエコークロック信号(QK/QK#)とのスキューのタイミングイメージを示す。図14に本実施形態の半導体装置の基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューのタイミングイメージを示す。図13、14では、I/O電圧電源の電圧レベルに関して、上段に電圧VDDQが基準電圧より低い場合(低VDDQ時)、下段に電圧VDDQが基準電圧より高い場合(高VDDQ時)を示す。   FIG. 13 shows a skew timing image between the reference clock signal (CK / CK #) and the echo clock signal (QK / QK #) of the conventional circuit. FIG. 14 shows a timing image of the skew between the reference clock signal and the echo clock signal of the semiconductor device of this embodiment. 13 and 14, regarding the voltage level of the I / O voltage power supply, the upper stage shows the case where the voltage VDDQ is lower than the reference voltage (at the time of low VDDQ), and the lower stage shows the case where the voltage VDDQ is higher than the reference voltage (at the time of high VDDQ).

図13、14に示すように、従来の回路は、低VDDQ時では、エコークロック信号が基準クロック信号に対して遅れた状態で二つのクロック信号の位相を調整する。一方、高VDDQ時では、エコークロック信号が基準クロック信号に対して速くなった状態で二つのクロック信号の位相を調整する。図13では、低VDDQ時及び高VDDQ時それぞれのCK−QKスキューを合わせると、全CK−QKスキューは、例えば、それぞれのCK−QKスキューを合算した長さになる。言い換えると、従来の回路では、半導体装置が基準クロック信号を入力し、エコークロック信号を出力する場合に、外部装置に起因する外部環境要因の影響や、I/O電圧電源の電圧レベルの変動の影響を考慮していない。そのため、これらの影響によるエコークロック信号のずれを補償することができない。その結果、このずれが基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューに現れてしまう。   As shown in FIGS. 13 and 14, the conventional circuit adjusts the phases of the two clock signals while the echo clock signal is delayed with respect to the reference clock signal at the time of low VDDQ. On the other hand, at the time of high VDDQ, the phases of the two clock signals are adjusted while the echo clock signal is faster than the reference clock signal. In FIG. 13, when the CK-QK skews at the time of low VDDQ and at the time of high VDDQ are combined, the total CK-QK skew becomes, for example, a length obtained by adding the CK-QK skews. In other words, in the conventional circuit, when the semiconductor device inputs the reference clock signal and outputs the echo clock signal, the influence of external environmental factors caused by the external device or the fluctuation of the voltage level of the I / O voltage power supply The impact is not considered. Therefore, it is not possible to compensate for the deviation of the echo clock signal due to these effects. As a result, this shift appears in the skew between the reference clock signal and the echo clock signal.

これに対して、本実施形態の半導体装置は、低VDDQ時及び高VDDQ時に生じるエコークロック信号の遅れや速まりを補償するため、低VDDQ時及び高VDDQ時それぞれのCK−QKスキューを合わせた全CK−QKスキューは、図13に示す場合より短くなる。これは、遅延調整部2が、位相調整部3へ入力する入力クロック信号と帰還クロック信号とを、基準クロック信号に対するエコークロック信号の遅れや速まりを補償するように、遅延量を選択することによって実現している。   In contrast, in the semiconductor device of this embodiment, the CK-QK skews at the time of low VDDQ and at the time of high VDDQ are combined in order to compensate for the delay and speed of the echo clock signal generated at the time of low VDDQ and high VDDQ. The total CK-QK skew is shorter than that shown in FIG. This is because the delay adjusting unit 2 selects the delay amount so that the input clock signal and the feedback clock signal input to the phase adjusting unit 3 are compensated for the delay and speed of the echo clock signal with respect to the reference clock signal. It is realized by.

言い換えると、遅延調整部2は、I/O電圧電源の電圧レベル及び外部装置の外部環境要因によって、エコークロック信号が基準クロック信号に対して遅れたり、速まったりすることを取り除くため、I/O電圧電源の電圧レベル及び外部装置の外部環境要因に応じて選択する遅延量を用いる。より具体的には、入力クロック信号及び帰還クロック信号それぞれに、電圧判定信号とモード情報との組合せに対応する遅延量を付加する。その結果、位相調整部3が、基準クロック信号に対するエコークロック信号の遅れや速まりを補償した出力クロック信号を出力するため、基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューが抑制されることになる。
上述したように、図14では、I/O電源電圧の電圧レベルに応じて生じる、基準クロック信号とエコークロック信号との位相差をキャンセルするようにVDL調整することにより、全CK−QKスキューが抑制されることを表している。
In other words, the delay adjustment unit 2 eliminates the delay or speedup of the echo clock signal with respect to the reference clock signal due to the voltage level of the I / O voltage power supply and external environmental factors of the external device. A delay amount selected in accordance with the voltage level of the voltage power supply and external environmental factors of the external device is used. More specifically, a delay amount corresponding to the combination of the voltage determination signal and the mode information is added to each of the input clock signal and the feedback clock signal. As a result, the phase adjusting unit 3 outputs an output clock signal that compensates for the delay and speed of the echo clock signal with respect to the reference clock signal, and thus the skew between the reference clock signal and the echo clock signal is suppressed.
As described above, in FIG. 14, by adjusting the VDL so as to cancel the phase difference between the reference clock signal and the echo clock signal, which is generated according to the voltage level of the I / O power supply voltage, the total CK-QK skew is reduced. It represents being suppressed.

このように、本実施形態の半導体装置では、遅延調整部2、具体的には、第1VDL部21、第2VDL部22(VDL_R24、VDL_F24)によって、I/O電圧電源の電圧レベル及び当該半導体装置を搭載する外部装置に起因する外部環境要因に応じて、フィードバック部4によって構成されるパスと、入力クロック信号と帰還クロック信号とを入出力するパスとの遅延差変動をキャンセルするように調整する。言い換えると、遅延調整部2が位相調整部3へ入力する入力クロック信号と帰還クロック信号との遅延量を調整する。これにより、I/O電圧電源の電圧レベルの変動や、外部環境要因により生じる内部クロックスキューを抑制することが可能になる。加えて、モード情報を用いることにより、外部環境要因と電圧レベルとの関係を考慮できるため、外部環境要因により生じる内部クロックスキューがI/O電圧電源の電圧レベルにより大きくなることを抑制することができる。   As described above, in the semiconductor device according to the present embodiment, the delay adjustment unit 2, specifically, the first VDL unit 21 and the second VDL unit 22 (VDL_R 24, VDL_F 24) Is adjusted so as to cancel the delay difference fluctuation between the path constituted by the feedback unit 4 and the path for inputting / outputting the input clock signal and the feedback clock signal in accordance with the external environmental factor caused by the external device equipped with . In other words, the delay adjusting unit 2 adjusts the amount of delay between the input clock signal input to the phase adjusting unit 3 and the feedback clock signal. As a result, it is possible to suppress fluctuations in the voltage level of the I / O voltage power supply and internal clock skew caused by external environmental factors. In addition, since the relationship between the external environment factor and the voltage level can be considered by using the mode information, it is possible to suppress the internal clock skew caused by the external environment factor from increasing due to the voltage level of the I / O voltage power source. it can.

実施形態2.
実施形態2では、I/O電圧電源の電圧レベルを判定する判定周期を外部から変更できるように構成した一態様を説明する。図1または図4において、記憶部6が、外部から設定される判定周期を保存し、記憶部6から電圧判定部5へ判定周期が通知される構成となる。以下、具体的な回路図を用いて説明する。
Embodiment 2. FIG.
In the second embodiment, an aspect in which the determination cycle for determining the voltage level of the I / O voltage power supply can be changed from the outside will be described. In FIG. 1 or FIG. 4, the storage unit 6 stores a determination cycle set from the outside, and the determination cycle is notified from the storage unit 6 to the voltage determination unit 5. Hereinafter, description will be given using a specific circuit diagram.

図15は、本発明の実施形態2に係る半導体装置の構成例を示す回路図である。半導体装置103は、図5に示す半導体装置102に対して、MRS64とI/O電圧判定回路52との機能を変更し、OR回路65を追加した構成となっている。他の同じ符号の構成要素は図5と同様であるため説明を省略する。
MRS64は、外部から設定されるモードを保持することに加え、外部から設定される分周数を保持する。
OR回路65は、MRS64が保持する分周数と、FUSE62が保持する値との論理積をDIVSEL信号(判定周期)として生成する。なお、図15では、OR回路65によってDIVSEL信号を生成する例を示しているが、MRS64が保持する分周数をDIVSEL信号として用いてもよい。
図15において、MRS64、FUSE62、及びOR回路63、65が、図1または図4の記憶部6に対応する。
FIG. 15 is a circuit diagram showing a configuration example of a semiconductor device according to Embodiment 2 of the present invention. The semiconductor device 103 has a configuration in which the functions of the MRS 64 and the I / O voltage determination circuit 52 are changed and an OR circuit 65 is added to the semiconductor device 102 shown in FIG. The other components with the same reference numerals are the same as those in FIG.
The MRS 64 holds a frequency division number set from the outside in addition to holding a mode set from the outside.
The OR circuit 65 generates a logical product of the frequency division number held by the MRS 64 and the value held by the FUSE 62 as a DIVSEL signal (determination period). Although FIG. 15 shows an example in which the DIVSEL signal is generated by the OR circuit 65, the frequency division number held by the MRS 64 may be used as the DIVSEL signal.
15, MRS 64, FUSE 62, and OR circuits 63 and 65 correspond to the storage unit 6 in FIG. 1 or FIG.

図16に、I/O電圧判定回路の一例を示す。I/O電圧判定回路52は、OR回路65からDIVSEL信号を受け取る。
分周切替回路521は、OR回路65からDIVSEL信号を受け、PLL32からのPCLK信号をDIVSEL信号に応じて分周し、DIVCLK信号として出力する。図16に示す通り、半導体装置103の内部クロック信号である、PCLK信号をMRS64あるいはFuse62で制御されるDIVSEL信号により、1〜m分周(mは1より大きい数値)に切り替えてDIVCLK信号として出力する。これにより、I/O電圧判定回路52が電圧判定の更新頻度を切り替えることが可能になる。特に、MRS64を用いて外部から判定周期を設定可能にすることにより、初期設定時に判定周期を設定するとともに、半導体装置103の稼働後においても判定周期を変更することができる。そのため、半導体装置103を搭載したシステムの稼働状況に応じて、判定周期を変更することができる。これにより、I/O電圧電源の電圧レベルを適切なタイミングで判定することができる。
FIG. 16 shows an example of the I / O voltage determination circuit. The I / O voltage determination circuit 52 receives the DIVSEL signal from the OR circuit 65.
The frequency division switching circuit 521 receives the DIVSEL signal from the OR circuit 65, divides the PCLK signal from the PLL 32 according to the DIVSEL signal, and outputs it as the DIVCLK signal. As shown in FIG. 16, the PCLK signal, which is an internal clock signal of the semiconductor device 103, is switched to 1-m frequency division (m is a value larger than 1) by the DIVSEL signal controlled by the MRS 64 or Fuse 62, and output as the DIVCLK signal. To do. This allows the I / O voltage determination circuit 52 to switch the voltage determination update frequency. In particular, by making it possible to set the determination cycle from the outside using the MRS 64, it is possible to set the determination cycle at the time of initial setting and to change the determination cycle even after the semiconductor device 103 is operated. Therefore, the determination cycle can be changed according to the operating status of the system in which the semiconductor device 103 is mounted. Thereby, the voltage level of the I / O voltage power source can be determined at an appropriate timing.

実施形態3.
実施形態3では、半導体装置を搭載するシステム側で基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューを調整可能とする一態様を説明する。
図17は、本発明の実施形態2に係る半導体装置を搭載したプリント基板の構成例を示す図である。図17では、プリント基板200に、半導体装置103と、それを制御するメモリコントローラ201とを搭載した接続イメージ図を示す。
図17に示すように、半導体装置104は、チップ301とメモリコントローラ201との間に、PAD191、パッケージLCR192、パッケージボール193、プリント基板LCR291を介して接続される。
メモリコントローラ201と半導体装置103(メモリ)間のプリント基板上の配線は、システム毎に異なり、半導体装置102の入出力部で入力クロック信号と帰還クロック信号とのスキューを合わせこむことがシステムとして必ずしも最適ではない場合がある。
そこで、本実施形態では、システムに組み込んだ後にメモリコントローラ201から命令される信号によって、入力クロック信号と帰還クロック信号とのスキューをずらすことを可能にする一態様を説明する。
Embodiment 3. FIG.
In the third embodiment, an aspect in which the skew between the reference clock signal and the echo clock signal can be adjusted on the system side on which the semiconductor device is mounted will be described.
FIG. 17 is a diagram illustrating a configuration example of a printed board on which the semiconductor device according to the second embodiment of the present invention is mounted. FIG. 17 shows a connection image diagram in which the semiconductor device 103 and the memory controller 201 for controlling the semiconductor device 103 are mounted on the printed circuit board 200.
As shown in FIG. 17, the semiconductor device 104 is connected between the chip 301 and the memory controller 201 via a PAD 191, a package LCR 192, a package ball 193, and a printed circuit board LCR 291.
The wiring on the printed circuit board between the memory controller 201 and the semiconductor device 103 (memory) differs from system to system, and it is not always necessary for the system to match the skew between the input clock signal and the feedback clock signal at the input / output unit of the semiconductor device 102. It may not be optimal.
Therefore, in the present embodiment, an aspect will be described in which the skew between the input clock signal and the feedback clock signal can be shifted by a signal instructed from the memory controller 201 after being incorporated into the system.

図18は、本発明の実施形態3に係る半導体装置の構成例を示すブロック図である。半導体装置104は、図15の半導体装置103へ、メモリコントローラ201からの命令をMRS66が受け、I/O電圧判定回路53へ通知するように構成されている。半導体装置104は、図15の半導体装置103に対して、MRS66及びI/O電圧判定回路53の機能を変更し、OR回路67を追加している。他の同じ符号の構成要素は図15と同様であるため説明を省略する。   FIG. 18 is a block diagram illustrating a configuration example of a semiconductor device according to the third embodiment of the present invention. The semiconductor device 104 is configured such that the MRS 66 receives a command from the memory controller 201 and notifies the I / O voltage determination circuit 53 to the semiconductor device 103 of FIG. The semiconductor device 104 is different from the semiconductor device 103 of FIG. 15 in that the functions of the MRS 66 and the I / O voltage determination circuit 53 are changed and an OR circuit 67 is added. Other components with the same reference numerals are the same as those in FIG.

MRS66は、外部から設定されるモード及び分周数に加え、オフセット値を保持する。オフセット値は、メモリコントローラ201からMRS66へ設定される値である。
OR回路67は、MRS66の保持するオフセット値と、FUSE62が保持する値との論理積をCOFFSET信号(オフセット量)として生成する。なお、図18では、OR回路67によってCOFFSET信号を生成する例を示しているが、MRS66が保持するオフセット値をCOFFSET信号として用いてもよい。
図18において、MRS66、FUSE62、及びOR回路63、65、67が、図1または図4の記憶部6に対応する。
The MRS 66 holds an offset value in addition to the mode and frequency division number set from the outside. The offset value is a value set from the memory controller 201 to the MRS 66.
The OR circuit 67 generates a logical product of the offset value held by the MRS 66 and the value held by the FUSE 62 as a COFFSET signal (offset amount). Although FIG. 18 shows an example in which the COFFSET signal is generated by the OR circuit 67, the offset value held by the MRS 66 may be used as the COFFSET signal.
18, MRS 66, FUSE 62, and OR circuits 63, 65, 67 correspond to the storage unit 6 of FIG. 1 or FIG.

図19は、実施形態3のI/O電圧判定回路の一例を示す回路図である。図19では、I/O電圧判定回路53がCOFFSET信号を受け取る過程をMRS66等の構成要素とともに示している。図19のI/O電圧判定回路53は、図16のI/O電圧判定回路52に対して、カウンタ531の機能を変更した構成であり、他の同じ符号の構成要素は図16と同様であるため説明を省略する。
カウンタ531は、OR回路67からnビットのCOFFSET信号を受け、遅延量にオフセットを強制的に設定する。
図20に実施形態3のカウンタの回路図の一例を示す。カウンタ531は、UPDATEレジスタ5142−0〜5142−(n−1)の後段に加算器5311−0〜5311−(n−1)を追加し、COFFSET[n−1:0]を加算した、VDLCODE[n−1:0]を出力する
図18、図19に示すようにMRS66の出力信号としてnビットのCOFFSET信号を追加することによって、VDL_R23、VDL_F24の遅延値にオフセットを強制的に設定する。
FIG. 19 is a circuit diagram illustrating an example of an I / O voltage determination circuit according to the third embodiment. FIG. 19 shows a process in which the I / O voltage determination circuit 53 receives the COFFSET signal together with components such as the MRS 66. The I / O voltage determination circuit 53 in FIG. 19 has a configuration in which the function of the counter 531 is changed with respect to the I / O voltage determination circuit 52 in FIG. 16, and other components with the same reference numerals are the same as those in FIG. Since there is, explanation is omitted.
The counter 531 receives the n-bit COFFSET signal from the OR circuit 67 and forcibly sets an offset to the delay amount.
FIG. 20 shows an example of a circuit diagram of the counter according to the third embodiment. The counter 531 adds an adder 5311-0 to 5311- (n-1) to the subsequent stage of the UPDATE register 5142-0 to 5142- (n-1) and adds COFFSET [n-1: 0] to the VDLCODE. Output [n-1: 0] As shown in FIG. 18 and FIG. 19, by adding an n-bit COFFSET signal as an output signal of the MRS 66, an offset is forcibly set to the delay values of the VDL_R23 and VDL_F24.

図21に、実施形態3における基準クロック信号とエコークロック信号とのスキューを調整するイメージを示す。種々のオフセット値を設定する一連の動作により、図21に示すように入力クロック信号と帰還クロック信号とのスキューを抑制するとともに、deskewトレーニングのようにシステムセットとして入力クロック信号と帰還クロック信号とスキューの最適値を探索することも可能となる。一般的に、deskewトレーニングは、受け側の装置において、入力クロック信号と入力データ信号の位相関係を試験的にずらして、データを取り込むことができる最適な位相ポイントを見つけるシーケンスである。
本実施形態の半導体装置によれば、例えば、半導体装置(メモリ)とメモリコントローラとがセットになったシステムとして組み立てた後に、メモリコントローラが出力する信号によって最適な入出力クロックスキュー値を設定することが可能である。あるいは、半導体装置と他のシステムとをセットとして組み込んだ後に、セット全体として最適な入出力スキューを、システムから出力する信号によって設定することができる。
FIG. 21 shows an image for adjusting the skew between the reference clock signal and the echo clock signal in the third embodiment. A series of operations for setting various offset values suppresses the skew between the input clock signal and the feedback clock signal as shown in FIG. 21, and the input clock signal, the feedback clock signal, and the skew as a system set as in the case of deskew training. It is also possible to search for the optimum value of. In general, deskew training is a sequence for finding an optimal phase point at which data can be captured by shifting the phase relationship between an input clock signal and an input data signal on a test basis in a receiving apparatus.
According to the semiconductor device of this embodiment, for example, after assembling as a system in which a semiconductor device (memory) and a memory controller are combined, an optimal input / output clock skew value is set by a signal output from the memory controller. Is possible. Alternatively, after the semiconductor device and another system are assembled as a set, an optimal input / output skew for the entire set can be set by a signal output from the system.

なお、図18では、図15に示す半導体装置103へオフセット値を設定する機能を追加した構成例を示したが、図5に示す半導体装置102へ本実施形態の機能を追加することも可能である。さらには、図4に示す半導体装置101や図1に示す半導体装置100をプリント基板200へ本実施形態の機能を追加することもできる。
加えて、図17では、半導体装置104とメモリコントローラ201とをプリント基板200へ搭載する例を示したが、この構成に限られるものではない。本発明に係る半導体装置は、メモリコントローラを備えていてもよい。図22にメモリコントローラを含む半導体装置の構成例を示す。図22の半導体装置300は、メモリ302とメモリコントローラ303とを含む構成であってもよい。メモリ302は、図1に示す半導体装置100が備える各構成要素を含む。メモリコントローラ303は、図17に示すメモリコントローラ202と同様の機能を実現する。メモリ302とメモリコントローラ303とは、半導体装置105内でパッケージLCR192を備える各種信号線を介して信号を送受信する。
18 illustrates the configuration example in which the function of setting the offset value is added to the semiconductor device 103 illustrated in FIG. 15, the function of the present embodiment can be added to the semiconductor device 102 illustrated in FIG. 5. is there. Furthermore, the function of this embodiment can be added to the printed circuit board 200 in the semiconductor device 101 shown in FIG. 4 or the semiconductor device 100 shown in FIG.
In addition, FIG. 17 shows an example in which the semiconductor device 104 and the memory controller 201 are mounted on the printed circuit board 200, but the present invention is not limited to this configuration. The semiconductor device according to the present invention may include a memory controller. FIG. 22 shows a structural example of a semiconductor device including a memory controller. The semiconductor device 300 of FIG. 22 may include a memory 302 and a memory controller 303. The memory 302 includes components included in the semiconductor device 100 illustrated in FIG. The memory controller 303 realizes the same function as the memory controller 202 shown in FIG. The memory 302 and the memory controller 303 transmit and receive signals via various signal lines including the package LCR 192 in the semiconductor device 105.

その他の実施形態.
上記各実施形態では、図1の位相調整部3の一例としてとしてPLL部31あるいはPLL32を示しているが、これに限られるわけではない。例えば、基準クロック信号と、半導体装置100内の入力クロック信号との周波数が一致する場合、PLL部31あるいはPLL32に替えてDLL回路を用いることも可能である。
加えて、位相調整部3は、入力クロック信号と帰還クロック信号との位相を一致させる機能を有する回路であれば、PLL回路やDLL回路に限られることなく、他の回路によって実現してもよい。
Other embodiments.
In each of the above embodiments, the PLL unit 31 or the PLL 32 is shown as an example of the phase adjustment unit 3 in FIG. 1, but is not limited thereto. For example, when the frequencies of the reference clock signal and the input clock signal in the semiconductor device 100 match, a DLL circuit can be used instead of the PLL unit 31 or the PLL 32.
In addition, the phase adjustment unit 3 is not limited to the PLL circuit and the DLL circuit, and may be realized by other circuits as long as the phase adjustment unit 3 has a function of matching the phases of the input clock signal and the feedback clock signal. .

以上のように、本発明に係る好適な実施形態によれば、I/O電圧電源の電圧レベルと、外部装置から生じる外部環境要因(例えば、入力信号のスルーレート、出力信号への出力負荷)とに応じて、入力クロック信号と帰還クロック信号とを同期させる。言い換えると、図1の位相調整部3に入力する二つのクロック信号に対して、電源電圧レベル、外部環境要因の影響を取り除くように、遅延調整部2(例えば、VDL)によって遅延量を調整し、遅延量を調整した二つのクロック信号を位相調整部3へ入力することが可能となる。   As described above, according to the preferred embodiment of the present invention, the voltage level of the I / O voltage power supply and the external environmental factors (for example, the slew rate of the input signal, the output load on the output signal) generated from the external device In response, the input clock signal and the feedback clock signal are synchronized. In other words, the delay amount is adjusted by the delay adjustment unit 2 (for example, VDL) so as to remove the influence of the power supply voltage level and external environmental factors on the two clock signals input to the phase adjustment unit 3 of FIG. Thus, it becomes possible to input the two clock signals adjusted in the delay amount to the phase adjusting unit 3.

なお、本発明は上記に示す実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲において、上記実施形態の各要素を、当業者であれば容易に考えうる内容に変更、追加、変換することが可能である。   In addition, this invention is not limited to embodiment shown above. Within the scope of the present invention, it is possible to change, add, or convert each element of the above-described embodiment to a content that can be easily considered by those skilled in the art.

1 第1のバッファ
2 遅延調整部
3 位相調整部
4 フィードバック部
5 電圧判定部
6 記憶部
7 エコークロック生成部
8 第2のバッファ
9−1、9−2 処理部
11〜16、41〜43 バッファ
21 第1VDL部(第1の遅延調整部)
22 第2VDL部(第2の遅延調整部)
23 VDL_R
24 VDL_R
31 PLL回路
32 PLL
51 I/O電圧判定回路
61 MRS
62 FUSE
63、64 OR回路
100〜105、109 半導体装置
191 PAD
192 パッケージLCR
193 パッケージボール
201、303 メモリコントローラ
231 第1のVDLセレクタ回路
232 第1の遅延選択回路
233 第1のコードセレクタ回路
241 第2のVDLセレクタ回路
242 第2の遅延選択回路
243 第2のコードセレクタ回路
291 プリント基板LCR
301 チップ
302 メモリ
511 VDDQ分圧レベル発生回路
512 アンプ回路
513 アンプ判定ラッチ回路
514 カウンタ
515 パルス発生回路
516 分周切替回路
2311 第1の変換テーブル
2411 第2の変換テーブル
5111 直列抵抗出力部
5112 スイッチ部
5141−0〜5141−(n−1)、5311−0〜5311−(n−1) 加算器
5142−0〜5142−(n−1) UPDATEレジスタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st buffer 2 Delay adjustment part 3 Phase adjustment part 4 Feedback part 5 Voltage determination part 6 Storage part 7 Echo clock generation part 8 2nd buffer 9-1, 9-2 Processing part 11-16, 41-43 buffer 21 First VDL unit (first delay adjustment unit)
22 Second VDL unit (second delay adjustment unit)
23 VDL_R
24 VDL_R
31 PLL circuit 32 PLL
51 I / O voltage determination circuit 61 MRS
62 FUSE
63, 64 OR circuits 100-105, 109 Semiconductor device 191 PAD
192 Package LCR
193 Package balls 201 and 303 Memory controller 231 First VDL selector circuit 232 First delay selection circuit 233 First code selector circuit 241 Second VDL selector circuit 242 Second delay selection circuit 243 Second code selector circuit 291 Printed circuit board LCR
301 chip 302 memory 511 VDDQ voltage division level generation circuit 512 amplifier circuit 513 amplifier determination latch circuit 514 counter 515 pulse generation circuit 516 frequency division switching circuit 2311 first conversion table 2411 second conversion table 5111 series resistance output unit 5112 switch unit 5141-0 to 5141- (n-1), 5311-0 to 5311- (n-1) Adder 5142-0 to 5142- (n-1) UPDATE register

Claims (18)

I/O電圧電源で駆動される第1及び第2のバッファと、
前記I/O電圧電源の電圧レベルを示す電圧判定信号を生成する電圧判定部と、
前記第1のバッファを介して入力された入力クロック信号に基づいて出力クロック信号の位相を調整して前記第2のバッファへ出力するエコークロック生成部と、
前記電圧判定信号と前記位相の調整量との関係を選択するモード情報を記憶する記憶部と、
を有し、
前記エコークロック生成部は、前記電圧判定信号と前記モード情報とに基づいて前記出力クロック信号の前記位相の調整量を決定する半導体装置。
First and second buffers driven by an I / O voltage power supply;
A voltage determination unit that generates a voltage determination signal indicating a voltage level of the I / O voltage power supply;
An echo clock generator that adjusts the phase of the output clock signal based on the input clock signal input via the first buffer and outputs the signal to the second buffer;
A storage unit for storing mode information for selecting a relationship between the voltage determination signal and the phase adjustment amount;
Have
The echo clock generation unit is a semiconductor device that determines an adjustment amount of the phase of the output clock signal based on the voltage determination signal and the mode information.
前記エコークロック生成部は、
第1のクロック信号に第2のクロック信号の位相または遅延を同期させて第3のクロック信号を生成し出力する位相調整部と、
前記第3のクロック信号に基づいて帰還クロック信号を生成するフィードバック部と、
前記電圧判定信号と前記モード情報とに基づいて、前記入力クロック信号に第1の遅延量を付加して前記第1のクロック信号を生成すると共に前記帰還クロック信号に第2の遅延量を付加して前記第2のクロック信号を生成する遅延調整部と、
を有する請求項1に記載の半導体装置。
The echo clock generator is
A phase adjustment unit that generates and outputs a third clock signal by synchronizing the phase or delay of the second clock signal with the first clock signal;
A feedback unit for generating a feedback clock signal based on the third clock signal;
Based on the voltage determination signal and the mode information, a first delay amount is added to the input clock signal to generate the first clock signal, and a second delay amount is added to the feedback clock signal. A delay adjusting unit for generating the second clock signal;
The semiconductor device according to claim 1, comprising:
前記遅延調整部は、
前記電圧判定信号と第1の変換テーブルと前記モード情報とに基づいて遅延量が異なる複数の遅延パスの中から一の遅延パスを選択して前記第1の遅延量とし、
前記電圧判定信号と第2の変換テーブルと前記モード情報とに基づいて遅延量が異なる別の複数の遅延パスの中から別の一の遅延パスを選択して前記第2の遅延量とする請求項2に記載の半導体装置。
The delay adjustment unit
Based on the voltage determination signal, the first conversion table, and the mode information, one delay path is selected from a plurality of delay paths having different delay amounts, and is set as the first delay amount.
The second delay amount is selected by selecting another delay path from among a plurality of delay paths having different delay amounts based on the voltage determination signal, the second conversion table, and the mode information. Item 3. The semiconductor device according to Item 2.
前記遅延調整部は、前記第1のバッファに入力される基準クロック信号と前記第2のバッファから出力されるエコークロック信号とのクロックスキューを抑制するように前記第1及び第2の変換テーブルが構成されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。   The delay adjustment unit includes the first and second conversion tables so as to suppress a clock skew between a reference clock signal input to the first buffer and an echo clock signal output from the second buffer. The semiconductor device according to claim 3, wherein the semiconductor device is configured. 前記フィードバック部は、前記第1のバッファと同等の構成を有する第3のバッファと、前記第2のバッファと同等の構成を有する第4のバッファとから構成される請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置。   5. The feedback unit according to claim 1, wherein the feedback unit includes a third buffer having a configuration equivalent to that of the first buffer and a fourth buffer having a configuration equivalent to that of the second buffer. The semiconductor device according to one item. 前記モード情報は、前記I/O電圧電源の任意の電圧レベルに対して、異なる遅延量を対応づける複数のモードからなり、
前記記憶部は、前記モード情報として、前記複数のモードのうちの一のモードを記録し、
前記遅延調整部は、前記電圧判定信号と前記複数のモードとに対応づけられた複数の遅延量から、前記電圧判定信号と前記一のモードとの組合せに対応する前記第1の遅延量及び前記第2の遅延量を選択するように構成されていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置。
The mode information includes a plurality of modes that associate different delay amounts with arbitrary voltage levels of the I / O voltage power supply,
The storage unit records one mode of the plurality of modes as the mode information,
The delay adjustment unit includes the first delay amount corresponding to a combination of the voltage determination signal and the one mode, and a plurality of delay amounts associated with the voltage determination signal and the plurality of modes. 5. The semiconductor device according to claim 2, wherein the semiconductor device is configured to select a second delay amount. 6.
前記遅延調整部は、前記I/O電圧電源の電圧レベルに応じて変化する遅延量が、モード毎に異なる大きさとなるように構成されていることを特徴とする請求項6記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 6, wherein the delay adjustment unit is configured such that a delay amount that changes in accordance with a voltage level of the I / O voltage power supply has a different size for each mode. 前記電圧判定部は、前記I/O電圧電源の電圧レベルを基準電圧と比較した結果を前記電圧判定信号として生成し、
前記遅延調整部は、前記電圧判定信号と前記一のモードとに基づいて、前記I/O電圧電源の電圧レベルが前記基準電圧より高い場合、前記第2の遅延量を前記第1の遅延量より大きくし、前記I/O電圧電源の電圧レベルが前記基準電圧より低い場合、前記第1の遅延量を前記第2の遅延量より大きくするように構成されていることを特徴とする請求項6または7に記載の半導体装置。
The voltage determination unit generates a result of comparing the voltage level of the I / O voltage power supply with a reference voltage as the voltage determination signal,
When the voltage level of the I / O voltage power source is higher than the reference voltage based on the voltage determination signal and the one mode, the delay adjustment unit determines the second delay amount as the first delay amount. The first delay amount is configured to be larger than the second delay amount when the voltage level of the I / O voltage power supply is lower than the reference voltage. 8. The semiconductor device according to 6 or 7.
前記遅延調整部は、
前記入力クロック信号を受け、前記I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧より低い場合、前記電圧判定信号と前記一のモードとに基づいて前記第1の遅延量を選択し、前記I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧以上の場合、前記第1の遅延量をゼロにし、前記第1のクロック信号を生成する第1の遅延調整部と、
前記帰還クロック信号を受け、前記I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧より高い場合、前記電圧判定信号と前記一のモードとに基づいて前記第2の遅延量を選択し、前記I/O電圧電源の電圧レベルが基準電圧以下の場合、前記第2の遅延量をゼロにし、前記第2のクロック信号を生成する第2の遅延調整部と、を備えることを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
The delay adjustment unit
When the input clock signal is received and the voltage level of the I / O voltage power supply is lower than a reference voltage, the first delay amount is selected based on the voltage determination signal and the one mode, and the I / O A first delay adjustment unit configured to generate the first clock signal by setting the first delay amount to zero when the voltage level of the voltage power supply is equal to or higher than a reference voltage;
When the feedback clock signal is received and the voltage level of the I / O voltage power source is higher than a reference voltage, the second delay amount is selected based on the voltage determination signal and the one mode, and the I / O 9. A second delay adjustment unit configured to set the second delay amount to zero and generate the second clock signal when a voltage level of a voltage power source is equal to or lower than a reference voltage. Semiconductor device.
前記遅延調整部は、前記I/O電圧電源の電圧レベルに比例して前記第1の遅延量及び前記第2の遅延量が変化するモードに対応するように構成されていることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載の半導体装置。   The delay adjustment unit is configured to correspond to a mode in which the first delay amount and the second delay amount change in proportion to a voltage level of the I / O voltage power source. The semiconductor device according to claim 6. 前記遅延調整部は、前記I/O電圧電源の電圧レベルと基準電圧との差が大きくなるほど、前記電圧レベルに応じた前記第1の遅延量及び前記第2の遅延量の変化量が大きくなるモードに対応するように構成されていることを特徴とする請求項6乃至10のいずれか一項に記載の半導体装置。   The delay adjustment unit increases the amount of change in the first delay amount and the second delay amount according to the voltage level as the difference between the voltage level of the I / O voltage power supply and the reference voltage increases. The semiconductor device according to claim 6, wherein the semiconductor device is configured to correspond to a mode. 前記遅延調整部は、前記I/O電圧電源の電圧レベルに応じて変化する前記第1の遅延量及び前記第2の遅延量が、線形特性でないモードに対応するように構成されていることを特徴とする請求項6乃至11のいずれか一項に記載の半導体装置。   The delay adjustment unit is configured so that the first delay amount and the second delay amount that change according to a voltage level of the I / O voltage power supply correspond to a mode that is not linear characteristics. 12. The semiconductor device according to claim 6, wherein the semiconductor device is characterized in that: 前記遅延調整部は、前記記憶部が記録するモードと、前記判定された電圧レベルと応じて、遅延素子の数を選択するように構成されていることを特徴とする請求項6乃至12のいずれか一項に記載の半導体装置。   The delay adjustment unit is configured to select the number of delay elements according to a mode recorded by the storage unit and the determined voltage level. The semiconductor device according to claim 1. 前記遅延調整部は、前記電圧判定信号にオフセット量を加算し、前記オフセット量を加算した電圧判定信号と前記モード情報との組合せに対応づけられた前記第1の遅延量及び前記第2の遅延量を選択するように構成されていることを特徴とする請求項2乃至13のいずれか一項に記載の半導体装置。   The delay adjustment unit adds an offset amount to the voltage determination signal, and the first delay amount and the second delay associated with a combination of the voltage determination signal obtained by adding the offset amount and the mode information. The semiconductor device according to claim 2, wherein the semiconductor device is configured to select an amount. 前記電圧判定部は、任意の周期で前記電圧レベルを判定して電圧判定信号を生成し、
前記遅延調整部は、前記電圧判定信号の生成に応じて、前記第1のクロック信号と前記第2のクロック信号とを生成することを特徴とする請求項2乃至14のいずれか一項に記載の半導体装置。
The voltage determination unit determines the voltage level at an arbitrary cycle to generate a voltage determination signal,
The delay adjustment unit generates the first clock signal and the second clock signal according to the generation of the voltage determination signal. Semiconductor device.
前記記憶部は、前記任意の周期を特定する判定周期を記録し、
前記電圧判定部は、前記判定周期で前記電圧判定信号を生成することを特徴とする請求項15記載の半導体装置。
The storage unit records a determination period that identifies the arbitrary period,
The semiconductor device according to claim 15, wherein the voltage determination unit generates the voltage determination signal in the determination cycle.
前記位相調整部は、PLL(Phase-locked Loop)回路とDLL(Digital Locked Loop)回路とのいずれかであることを特徴とする請求項2乃至16のいずれか一項に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 2, wherein the phase adjustment unit is one of a PLL (Phase-locked Loop) circuit and a DLL (Digital Locked Loop) circuit. 前記半導体装置は、半導体メモリ装置であることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか一項に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductor device is a semiconductor memory device.
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