JP2013077773A - Conveying device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、筐体内で被搬送物を搬送する装置に関するものである。 The present invention relates to an apparatus for conveying an object to be conveyed within a casing.
従来、真空排気可能な筐体内で、半導体ウェハ等の被搬送物を搬送する装置が知られている(例えば特許文献1,2参照。)。特許文献1記載の装置では、搬送ロボットを搭載した基台が案内レールにスライド動作可能に取り付けられている。基台は、モータによって駆動するボールスクリューと螺合されることでスライド動作可能とされている。また、基台には、その内部が大気圧状態のフレキシブルアームが接続されており、搬送ロボットを駆動させるモータ等の配線がフレキシブルアーム内に収容されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an apparatus for transporting an object to be transported such as a semiconductor wafer within a housing that can be evacuated is known (see, for example,
特許文献2記載の装置では、被搬送物を載置するステージが移動部材を介してガイド部材にスライド動作可能に取り付けられている。移動部材とガイド部材とは磁石の反発力により互いに接触しないように維持されている。そして、ステージ内部には、処理容器内部の雰囲気と遮断された空間部が形成され、当該空間部と処理容器外部との雰囲気を連通させるダクト部材が設けられている。移動機構の配線はダクト部材に配置される。 In the apparatus described in Patent Document 2, a stage on which an object is placed is attached to a guide member via a moving member so as to be slidable. The moving member and the guide member are maintained so as not to contact each other due to the repulsive force of the magnet. A space portion that is blocked from the atmosphere inside the processing vessel is formed inside the stage, and a duct member that communicates the atmosphere between the space portion and the outside of the processing vessel is provided. The wiring of the moving mechanism is arranged on the duct member.
ところで、真空容器内の搬送装置にあっては、被搬送物の大型化や処理室の搭載数の増加に伴い、被搬送物をより長い距離移動させることが要求されている。これに対して、電力を非接触で受電する受電部やバッテリー等を移動容器の内部に収容することで、外部からの電源供給用の配線を不要とし、電源系を独立させた自走式の移動容器を採用することが考えられる。 By the way, in the conveyance apparatus in a vacuum vessel, it is requested | required to move a to-be-conveyed object for a longer distance with the enlargement of a to-be-conveyed object, and the increase in the number of mounting of a process chamber. On the other hand, a power receiving unit that receives power in a contactless manner, a battery, and the like are housed inside the moving container, so that no external power supply wiring is required and the power system is independent. It is conceivable to adopt a moving container.
しかしながら、上記のような自走式の移動容器とした場合であっても、特許文献2に記載のように、移動容器内部の放熱のために、大気と連通されたダクト部材を移動容器へ取り付ける必要がある。当技術分野では、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが望まれている。 However, even if it is a case where it is set as the above self-propelled moving containers, as disclosed in Patent Document 2, a duct member communicated with the atmosphere is attached to the moving containers for heat radiation inside the moving containers. There is a need. In this technical field, it is desired to realize heat dissipation inside the moving container that moves in the vacuum container without hindering the movement of the moving container.
本発明の一側面は、真空排気可能な容器内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記容器内を移動可能に構成された移動容器と、前記容器内に固定配置され、気体を供給する気体供給部と、を備え、前記移動容器は、前記容器内の雰囲気と遮断された空間部と、前記空間部に連通する給気口が設けられ、前記移動容器が所定位置へ移動した際に前記気体供給部から前記給気口に供給される気体の圧力に応じて、前記給気口から前記空間部へ気体を導入する給気ユニットと、前記空間部に連通する排気口が設けられ、前記空間部の気圧に応じて前記空間部の気体を前記排気口から排出する排気ユニットと、を有する。 One aspect of the present invention is a transport device that transports an object to be transported in a container that can be evacuated, a movable container configured to be movable in the container, a fixed container disposed in the container, and a gas A gas supply unit for supplying the movable container, the moving container is provided with a space part that is blocked from the atmosphere in the container, and an air supply port that communicates with the space part, and the movable container moves to a predetermined position. An air supply unit that introduces gas from the air supply port to the space portion according to the pressure of the gas supplied from the gas supply portion to the air supply port and an exhaust port that communicates with the space portion are provided. And an exhaust unit that exhausts the gas in the space portion from the exhaust port in accordance with the atmospheric pressure of the space portion.
上記構成の装置では、内部に空間部を有する移動容器が移動し、気体供給部の配置位置まで移動すると、移動容器に設けられた給気ユニットへ気体供給部から気体が供給され、供給された気体の圧力に応じて給気口から空間部へ気体が導入される。そして、空間部の気圧に応じて気体が排気ユニットから移動容器外へ排出される。このように、移動容器の移動経路上の所定位置においてのみ、空間部へ気体が供給されるとともに空間部の気体が排出される。このため、移動容器に排気ダクト等を固定で取り付けることなく移動容器の空間部の熱を放熱させることができる。よって、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。 In the apparatus having the above configuration, when the moving container having the space portion moves and moves to the arrangement position of the gas supply unit, the gas is supplied from the gas supply unit to the air supply unit provided in the moving container, and is supplied. Gas is introduced into the space from the air supply port according to the pressure of the gas. And according to the atmospheric | air pressure of a space part, gas is discharged | emitted from an exhaust unit out of a moving container. As described above, the gas is supplied to the space portion and the gas in the space portion is discharged only at a predetermined position on the moving path of the moving container. For this reason, the heat of the space part of a moving container can be radiated without attaching an exhaust duct etc. to a moving container fixedly. Therefore, it is possible to realize heat dissipation inside the moving container that moves in the vacuum container without hindering the movement of the moving container.
ここで、前記気体供給部は、供給ノズルであり、前記給気ユニットは、先端が前記給気口となる第1管状部材を有し、前記供給ノズルの先端の軸線と前記第1管状部材の先端の軸線とが同一方向に延び、前記供給ノズル及び前記第1管状部材のうち一方の内径が他方の外径よりも大きく形成されており、前記供給ノズル及び前記第1管状部材は、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第1管状部材の内部に前記供給ノズルが挿通されるように、又は、前記供給ノズルの内部に前記第1管状部材が挿通されるように、前記容器内及び前記移動容器にそれぞれ設けられていてもよい。このように構成することで、移動容器が所定位置へ移動した場合には、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が、他方の先端を非接触で収容する状態となる。このため、供給ノズルから給気口に向けて適切に気体を供給することができるため、非接触状態で気体の受け渡しをすることが可能となる。 Here, the gas supply unit is a supply nozzle, and the air supply unit has a first tubular member whose tip is the air supply port, and the axis of the tip of the supply nozzle and the first tubular member The axis of the tip extends in the same direction, and one of the supply nozzle and the first tubular member has an inner diameter larger than the outer diameter of the other, and the supply nozzle and the first tubular member are moved. The container so that when the container moves to a predetermined position, the supply nozzle is inserted into the first tubular member, or so that the first tubular member is inserted into the supply nozzle. It may be provided in each of the inner container and the moving container. With this configuration, when the movable container moves to a predetermined position, either the supply nozzle or the bowl-shaped member is in a state of receiving the other tip in a non-contact manner. For this reason, since gas can be appropriately supplied from the supply nozzle toward the air supply port, the gas can be delivered in a non-contact state.
前記給気ユニットは、前記第1管状部材の内部に設けられた第1弁座と、前記第1弁座に前記空間部側から着座する第1弁体と、前記第1弁体を前記第1弁座に着座する方向に付勢する第1付勢手段と、を有してもよい。前記気体供給部は、前記第1付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で前記給気ユニットへ気体を供給してもよい。このように構成することで、気体供給部から供給された気体の気圧で第1弁体を開くことができる。そして、気体供給部から気体が供給されると、第1弁体が第1弁座から離れて空間部へ気体が流入し、気体供給部からの気体の供給を停止すると、第1弁体が第1弁座に着座して空間部への気体の流入が停止する。このように、気体の供給と大気雰囲気の維持を簡易な構成で実現することができる。 The air supply unit includes a first valve seat provided in the first tubular member, a first valve body seated on the first valve seat from the space portion side, and the first valve body in the first valve body. And a first urging unit that urges the valve seat in the direction of seating. The gas supply unit may supply gas to the air supply unit at a pressure larger than an urging force applied per unit area by the first urging unit. By comprising in this way, a 1st valve body can be opened with the atmospheric pressure of the gas supplied from the gas supply part. And if gas is supplied from a gas supply part, a 1st valve body will leave | separate from a 1st valve seat, gas will flow in into a space part, and if the supply of gas from a gas supply part is stopped, a 1st valve body will be Sitting on the first valve seat stops the inflow of gas into the space. Thus, the supply of gas and the maintenance of the atmospheric atmosphere can be realized with a simple configuration.
前記排気ユニットは、先端が前記排気口となる第2管状部材と、前記第2管状部材の内部に設けられた第2弁座と、前記第2弁座に前記空間部の外側から着座する第2弁体と、前記第2弁体を前記第2弁座に着座する方向に付勢する第2付勢手段と、を有してもよい。また、前記第2付勢手段は、前記第1付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で前記第2弁体を付勢してもよい。このように構成することで、気体供給部から気体が供給されると、第1弁体が第1弁座から離れて空間部へ気体が流入するとともに、第2弁体が第2弁座から離れて空間部から気体が流出する。このように、簡易な構成で真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。 The exhaust unit includes a second tubular member having a distal end serving as the exhaust port, a second valve seat provided inside the second tubular member, and a second seat seated on the second valve seat from the outside of the space portion. You may have a 2 valve body and the 2nd biasing means which urges | biases the said 2nd valve body to the direction which seats to the said 2nd valve seat. The second biasing means may bias the second valve body with a biasing force having the same magnitude as the biasing force applied per unit area by the first biasing means. By comprising in this way, when gas is supplied from a gas supply part, while a 1st valve body will leave | separate from a 1st valve seat and gas will flow in into a space part, a 2nd valve body will be from a 2nd valve seat. The gas flows out from the space part. In this way, it is possible to realize heat dissipation inside the moving container that moves in the vacuum container with a simple configuration without hindering the movement of the moving container.
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第1排気管を介して接続されており、前記気体供給部は、前記第1排気管と前記容器との接続箇所に配置されてもよい。このように構成することで、気体供給部から給気口へ供給された気体のうち空間部へ供給されなかった気体を適切に排気することができる。このため、容器内の真空度の低下を抑制しつつ空間部の放熱をすることが可能となる。 The container may be connected to a vacuum pump that exhausts the inside of the container via a first exhaust pipe, and the gas supply unit may be arranged at a connection point between the first exhaust pipe and the container. By comprising in this way, the gas which was not supplied to the space part among the gas supplied to the air inlet from the gas supply part can be discharged | emitted appropriately. For this reason, it becomes possible to radiate heat in the space while suppressing a decrease in the degree of vacuum in the container.
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第2排気管を介して接続されており、前記排気ユニットは、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第2排気管へ前記空間部の気体を排出してもよい。このように構成することで、空間部の気体を適切に排気することができる。このため、容器内の真空度の低下を抑制しつつ空間部の放熱をすることが可能となる。 The container is connected to a vacuum pump for exhausting the inside of the container via a second exhaust pipe, and the exhaust unit is connected to the second exhaust pipe when the movable container moves to a predetermined position. Part of the gas may be discharged. By comprising in this way, the gas of a space part can be exhausted appropriately. For this reason, it becomes possible to radiate heat in the space while suppressing a decrease in the degree of vacuum in the container.
前記移動容器は、直線状の案内レールに沿って移動可能に構成され、前記気体供給部は、前記移動容器の移動方向の正面に配置されてもよい。このように構成することで、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が、他方の先端を非接触で収容する状態を簡易に実現することができる。 The moving container may be configured to be movable along a linear guide rail, and the gas supply unit may be disposed in front of the moving container in the moving direction. By comprising in this way, the state in which any one of a supply nozzle and a bowl-shaped member accommodates the other front-end | tip in non-contact is easily realizable.
前記移動容器は、リニアモータを利用して移動してもよい。このように構成することで、移動容器と案内レールとの摩擦力を低減させて移動の効率を向上させることができる。 The moving container may move using a linear motor. By comprising in this way, the frictional force of a moving container and a guide rail can be reduced and the efficiency of movement can be improved.
前記移動容器の内部には、前記移動容器に載置する駆動機構の電源もしくは前記移動容器の移動機構の電源である蓄電池、又は、前記駆動機構もしくは前記移動機構への電力を非接触で受電する受電部が配置されていてもよい。このように構成することで、電源系統を内部に収容した自走式の移動容器において、電源系統によって発生した熱を適切に放出することができる。 Inside the moving container, a power source of a driving mechanism placed on the moving container or a storage battery that is a power source of the moving mechanism of the moving container, or power to the driving mechanism or the moving mechanism is received in a non-contact manner. A power receiving unit may be arranged. By comprising in this way, in the self-propelled movable container which accommodated the power supply system inside, the heat generated by the power supply system can be released appropriately.
前記容器は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記処理室と連通されており、前記移動容器には、前記ロードロックと前記処理室との間で被搬送物を搬送する搬送ロボットが載置され、前記気体供給部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器が停止する位置で、前記給気ユニットへ気体を供給するように配置されていてもよい。移動容器が被搬送物の搬送のために必ず停止する位置に気体供給部を備えることで、既存の搬送動作中に放熱することができる。 The container is in communication with a load lock provided to carry the object to / from the processing chamber and the processing chamber, and the movable container is provided between the load lock and the processing chamber. A transport robot for transporting the object to be transported is placed, and the gas supply unit is configured to stop the moving container at a position where the transport container stops in order to transport the object to and from the load lock by the transport robot. It may be arranged to supply gas to the gas unit. By providing the gas supply unit at a position where the moving container always stops for conveying the object to be conveyed, heat can be radiated during the existing conveying operation.
前記移動容器の移動機構の動作及び前記気体供給部からの気体の流量を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器を停止させたタイミングで、前記気体供給部から前記給気ユニットへ気体を供給するように流量を制御してもよい。このように構成することで、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が他方の先端を非接触で収容する状態となったタイミングで、供給ノズルから気体を放出させることができる。このため、容器内の真空度の低下を一層抑制しつつ空間部の熱を放熱することが可能となる。 A control unit that controls the operation of the moving mechanism of the moving container and the flow rate of the gas from the gas supply unit, and the control unit is configured to carry the object to and from the load lock by the transfer robot; The flow rate may be controlled so that gas is supplied from the gas supply unit to the air supply unit at the timing when the moving container is stopped. By comprising in this way, gas can be discharge | released from a supply nozzle at the timing when any one of a supply nozzle and a bowl-shaped member will be in the state which accommodates the other front-end | tip in non-contact. For this reason, it becomes possible to radiate the heat of the space while further suppressing the decrease in the degree of vacuum in the container.
本発明の種々の側面・種々の実施形態によれば、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。 According to various aspects and various embodiments of the present invention, it is possible to realize heat radiation inside a moving container that moves in a vacuum container without hindering movement of the moving container.
以下、実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. In addition, in this specification and drawing, about the component which has the substantially same function structure, duplication description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol. Further, the dimensional ratios in the drawings do not necessarily match those described.
図1は、本実施形態に係る搬送装置1を備える成膜装置100の構成ブロック図である。本実施形態に係る搬送装置1は、例えば、有機EL素子、太陽電池等のデバイスの一例である有機EL素子を製造する際に、採用されるものである。図1に示すように、成膜装置100は、収容ボックス10、第1搬送室11、パージストレージ12、ロードロック13、第2搬送室14、処理室15及び制御部16を備えている。
FIG. 1 is a configuration block diagram of a
収容ボックス10は、処理前の基板及び処理後のウェハ(被搬送物)を収容する。収容ボックス10は、例えばロードポートに載置され、開閉ドア機構を介して第1搬送室11と連通されている。第1搬送室11は、大気と連通されており、その内部に搬送装置1の構成要素である搬送アームが配置されている。第1搬送室11は、パージストレージ12と連通されている。パージストレージ12は、一時的にウェハを載置させる載置台を有し、処理後のウェハを一時的に収容する。さらに、第1搬送室11は、例えば開閉可能なゲートバルブを介してロードロック13と連通されている。ロードロック13は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。ロードロック13は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して第2搬送室14と連通されている。第2搬送室14は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。第2搬送室14は、内部に搬送機構を備えている。第2搬送室14は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して処理室15と連通されている。処理室15は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。処理室15には、ドライエッチング、スパッタリング又はCVD等によりウェハを処理する処理機構が配置されている。制御部16は、例えば、CPU、ROM、RAM等を備えるデバイスであって、第1搬送室11に配置された搬送アーム及び第2搬送室に配置された搬送機構の動作を制御可能に構成されている。また、制御部16は、ウェハを処理する際に必要なガスの流量やプラズマ用の電圧等を制御可能に構成されている。
The
上記構成の成膜装置100では、収容ボックス10内の処理前のウェハが、第1搬送室11の搬送アームによって搬出されてロードロック13へ搬入され、ロードロック13内の処理前のウェハが、第2搬送室14の搬送機構によって搬出されて処理室15へ搬入される。そして、所定の処理工程を終了後、処理室15内の処理後のウェハが、第2搬送室14の搬送機構によって搬出されてロードロック13へ搬入され、ロードロック13内の処理後のウェハが、第1搬送室11の搬送アームによって搬出されて、パージストレージ12へ搬入される。一定期間後、第1搬送室11の搬送アームによってパージストレージ12から処理後のウェハが搬出されて、収容ボックス10内へ搬入される。
In the
成膜装置100は、必要に応じて、複数の収容ボックス10、複数のパージストレージ12、複数のロードロック13、複数の第2搬送室14及び複数の処理室15を備えてもよい。搬送装置1は、第2搬送室14内に配置された構成要素及び制御部16を備えて構成されている。
The
以下では、第2搬送室(真空容器)14及び搬送装置1の詳細を説明する。図2は、第2搬送室14の概略斜視図である。ここでは、成膜装置100が、ロードロック13を一つ、第2搬送室14を一つ、処理室15を複数備える場合を一例として説明する。図2に示すように、第2搬送室14は、略長方形状の筐体内部に形成されている。第2搬送室14は、ゲートバルブ13aを介してロードロック13に接続されている。また、第2搬送室14は、ゲートバルブ15a,15b,15c,15dを介して処理室15A,15B,15C,15Dにそれぞれ接続されている。ロードロック13及び処理室15A〜15Dは、第2搬送室14の長手方向に沿って順に並べて配置されている。なお、ロードロック13及び処理室15A〜15Dと第2搬送室14を挟んで対向する位置に、ロードロック及び処理室がそれぞれ設けられてもよい。また、4つの処理室が接続されているが処理室の個数は何個でもよく、また、配置順や配置位置も適宜変更してもよい。
Below, the detail of the 2nd conveyance chamber (vacuum container) 14 and the conveying
第2搬送室14には、ウェハWを搬送するロボットアーム(搬送ロボット)30が配置されている。ロボットアーム30は、例えば図中に示すように、2つのウェハを同時に搬送可能なアームであってもよいし、1つのウェハを搬送する多関節形状のアームであってもよい。ロボットアーム30は、移動容器20上に配置されており、移動容器20とともに第2搬送室14の長手方向にスライド移動可能に構成されている。第2搬送室14には、図示しない真空ポンプに接続された排気管40が設けられている。これにより、第2搬送室14は真空排気可能に構成されている。排気管40は、ロードロック13に対してウェハWを搬入出する際に移動容器20が停止する位置近傍であって、移動容器20の移動方向の正面に位置するように、第2搬送室14を画成する筐体の側壁に設けられている。以下では、ロードロック13に対してウェハWを搬入出する際に移動容器20が停止する位置を給排気位置として説明する。
In the
ここで、移動容器20の詳細を説明する。図3は、移動容器20の概略斜視図である。移動容器20は、中空の略直方体状であって、第2搬送室14の雰囲気と遮断された空間部が内部に形成されている。空間部の気圧は、大気圧である。空間部には、移動容器20に載置されたロボットアーム30の電源となる蓄電池21が配置され、電力を外部から取り入れることなくロボットアーム30を動作可能に構成されている。なお、空間部にロボットアーム30の電力を非接触で受電する受電部が配置され、非接触給電可能な構成とされていてもよい。このように、移動容器20は、電源系統が外部から独立に構成されている。
Here, details of the moving
移動容器20は、第2搬送室14の長手方向に沿って配置された直線状の案内レール41上にスライド移動可能に取り付けられている。移動容器20は、例えばリニアモータを利用してスライド移動する。移動容器20及び案内レール41は、リニアモータの可動子と固定子とがそれぞれ設けられている。案内レール41には、図示しないリニアモータの駆動機構が接続されている。リニアモータの駆動機構は、制御部16に接続されている。これにより、制御部16の信号によってリニアモータが駆動し、移動容器20が図中の矢印に沿ってスライド移動する。
The moving
移動容器20の側壁には、給気ユニット22及び排気ユニット23が取り付けられている。給気ユニット22は、移動容器20が給排気位置へ移動した際に、空間部へ気体を導入し、移動容器20が給排気位置以外に位置する場合には、空間部の大気圧を維持する。排気ユニット23は、移動容器20が給排気位置へ移動した際に、空間部内部から気体を排出し、移動容器20が給排気位置以外に位置する場合には、空間部の大気圧を維持する。
An
排気管40は、給気ユニット22及び排気ユニット23にそれぞれ対応する第1排気管40a及び第2排気管40bを備えている。給気ユニット22に対応する第1排気管40aには、供給ノズル(気体供給部)42が固定配置されている。供給ノズル42は、図示しない供給弁及び気体供給源に接続されている。供給弁は制御部16に接続され、所定のタイミングで開閉動作可能に構成されている。気体供給源から供給される気体は、例えばN2である。供給ノズル42は、移動容器20が給排気位置へ移動した際に、給気ユニット22へ非接触で気体を送り込む。
The
ここで、給気ユニット22の詳細を説明する。図4は、移動容器20の給気ユニット22を説明する概要断面図である。給気ユニット22は、先端が給気口となる管状の本体部(第1管状部材)22aを有している。移動容器20が給排気位置へ移動した場合に、本体部22aに対応する位置には第1排気管40a及び供給ノズル42が固定配置されている。第1排気管40a及び供給ノズル42は、移動容器20の移動方向の正面に位置するように設けられている。本体部22aの先端の軸線と第1排気管40aの先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部22aの先端側の内径は、第1排気管40aの先端側の外径よりも小さく形成されている。これにより、本体部22aは、第1排気管40aの先端側の内部に収容可能に構成されている。供給ノズル42は、第1排気管40aと第2搬送室14との接続箇所に配置されている。本体部22aの先端の軸線と供給ノズル42の先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部22aの先端側の内径は、供給ノズル42の先端側の外径よりも大きく形成されている。これにより、本体部22aは、その内部に供給ノズル42の先端を収容可能に構成されている。
Here, details of the
給気ユニット22は、移動容器20が給排気位置へ移動した際に、供給ノズル42から給気口に供給される気体の圧力に応じて、空間部20bへ気体を導入するように構成されている。例えば、給気ユニット22は、本体部22aの内部にリリーフバルブを備えている。すなわち、給気ユニット22は、第1弁座22b、第1弁体22c及びバネ部材(第1付勢手段)22dを備えている。第1弁座22bは、本体部22aの内部に設けられている。例えば、第1弁座22bは、本体部22a内部に配置され、本体部22aの内側へ向けて突出された突起部である。第1弁体22cは、略円柱体形状であり、第1弁座22bに空間部20b側から着座する。バネ部材22dは、本体部22a内部に配置され、内側へ向けて突出された突起部22eによって支持され、第1弁体22cを第1弁座22bに着座する方向に付勢する。
The
バネ部材22dは、単位面積あたりに加える付勢力が大気圧よりも大きくなるように設定される。すなわち、付勢力として1[kg/cm2]+αが設定される。αとしては、例えば0.1[kg/cm2]が用いられる。供給ノズル42は、バネ部材22dにより単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で給気ユニット22へ気体を供給する。
The
上記構成において、移動容器20が給排気位置へ移動すると、給気ユニット22の本体部22aが第1排気管40aに挿入されるとともに、供給ノズル42の先端が給気ユニット22の本体部22aに挿入される。この状態で供給ノズル42からN2ガスが供給される。N2ガスは、空間部20bの内部へ向けて第1弁体22cを押圧する。このため、第1弁体22cは、第1弁座22bから離れる方向へ移動する。これにより、N2ガスが空間部20bへ導入される。なお、空間部20bへ供給されずに漏れたN2ガスは、第1排気管40aから排気される。本体部22aと第1排気管40aとの隙間、本体部22aと供給ノズル42との隙間を小さくすることで、漏れたN2ガスを第2搬送室14へ拡散させることなく排気することができる。一方、移動容器20が給排気位置以外へ移動すると、第1弁体22cが第1弁座22bに着座して、空間部20bと第2搬送室14との雰囲気とが遮断される。
In the above configuration, when the
次に、排気ユニット23の詳細を説明する。図5は、移動容器20の排気ユニット23を説明する概要断面図である。排気ユニット23は、先端が排気口となる管状の本体部(第2管状部材)23aを有している。移動容器20が給排気位置へ移動した場合に、本体部22aに対応する位置には第2排気管40bが固定配置されている。第2排気管40bは、移動容器20の移動方向の正面に位置するように設けられている。本体部23aの先端の軸線と第2排気管40bの先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部23aの先端側の内径は、第2排気管40bの先端側の外径よりも小さく形成されている。これにより、本体部23aは、第2排気管40bの先端側の内部に収容可能に構成されている。
Next, details of the
排気ユニット23は、空間部20bの内部の圧力に応じて、空間部20bから気体を排出するように構成されている。例えば、排気ユニット23は、本体部23aの内部にリリーフバルブを備えている。すなわち、排気ユニット23は、第2弁座23b、第2弁体23c及びバネ部材(第2付勢手段)23dを備えている。第2弁座23bは、本体部23aの内部に設けられている。例えば、第2弁座23bは、本体部22aの内側へ向けて突出された突出部である。第2弁体23cは、略円柱体形状であり、第2弁座23bに空間部20bの外側から着座する。バネ部材23dは、本体部23a内部に配置され、内側へ向けて突出された突起部23eによって支持され、第2弁体23cを第2弁座23bに着座する方向に付勢する。
The
バネ部材23dは、給気ユニット22のバネ部材22dにより単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で第2弁体23cを付勢する。すなわち、付勢力として1[kg/cm2]+αが設定される。αとしては、例えば0.1[kg/cm2]が用いられる。
The
上記構成において、移動容器20が給排気位置へ移動し、給気ユニット22からN2ガスが空間部20bへ導入されると、空間部20bの気圧が上昇し、空間部20bの外側へ向けて第2弁体23cを押圧する。このため、第2弁体23cは、第2弁座23bから離れる方向へ移動する。これにより、空間部20bに配置された機器類による熱により温められたN2ガスが排出され、第2排気管40bにより排気される。よって、空間部20bの温度が低下する。なお、本体部23aと第2排気管40bとの隙間を小さくすることで、N2ガスを第2搬送室14へ拡散させることなく排気することができる。一方、移動容器20が給排気位置以外へ移動すると、第2弁体23cが第2弁座23bに着座して、空間部20bと第2搬送室14との雰囲気とが遮断される。
In the above configuration, when the moving
以上、図6に示すように、給気ユニット22により空間部20bへN2ガスが導入されることで、N2ガスが空間部20bを旋回し空間部20bに配置された機器から熱を奪い、排気ユニット23により温められたN2ガスが排出される。これにより、空間部20bの温度調整(放熱)を実現することができる。
As described above, as shown in FIG. 6, when the N 2 gas is introduced into the
次に、搬送装置1における給排気動作について説明する。図7は、本実施形態に係る搬送装置1の動作を説明するフローチャートである。図7に示す処理は、制御部16により実行される。例えば、成膜装置100の電源がONされたタイミングから所定の間隔で繰り返し実行される。なお、説明理解の容易性を考慮して、図8を用いて処理を説明する。図8は、図2に示す装置の概略上面図であり、移動容器20の移動位置を説明する概要図である。図8に示すように、移動容器20は、第2搬送室14内を位置L1〜位置L2まで移動可能に構成されている。なお、位置L1が給排気位置となる。また、図7の開始前には、供給ノズル42に接続された供給弁が閉とされているものとする。
Next, the air supply / exhaust operation in the
図7に示すように、制御部16は、移動容器20の停止位置判定から開始する(S10)。例えば、制御部16は、メモリに備わるウェハWの処理スケジュールを参照し、ウェハWの受け渡しタイミングを取得して、ロードロック13に対してウェハWを搬入出するタイミングか否かを判定する。ロードロック13に対してウェハWを搬入出するタイミングであれば、移動容器20が図8に示す給排気位置L1に位置していると判定することができる。S10の処理において、制御部16が、移動容器20が給排気位置L1に位置していないと判定した場合には、ガスを供給する必要がないので図7に示す制御処理を終了する。一方、制御部16が、移動容器20が給排気位置L1に位置していると判定した場合には、ガス供給処理へ移行する(S12)。
As shown in FIG. 7, the
S12の処理では、制御部16が、供給ノズル42に接続された供給弁を開とする。これにより、移動容器20の空間部20bに対してN2ガスの給排気が行われる。S12の処理が終了すると、移動判定処理へ移行する(S14)。
In the process of S12, the
S14の処理では、制御部16が、移動容器20が給排気位置L1から移動したか否かを判定する。S14の処理において、制御部16が、移動容器20が給排気位置L1から移動していないと判定した場合には、再度S12の処理へ移行する。これにより、移動容器20が給排気位置L1から移動するまで、N2ガスの給排気が続行される。一方、S14の処理において、制御部16が、移動容器20が給排気位置L1から移動したと判定した場合には、ガス供給停止処理へ移行する(S16)。
In the process of S14, the
S16の処理では、制御部16が、供給ノズル42に接続された供給弁を閉とする。これにより、供給ノズル42からのガス供給が停止される。S16の処理が終了すると、図7に示す制御処理を終了する。
In the process of S16, the
以上で図7に示す制御処理を終了する。図7に示す制御処理を実行することで、制御部16は、ロボットアーム30によりロードロック13に対してウェハWを搬入出するために移動容器20を停止させたタイミングで、供給ノズル42から給気ユニット22へN2ガスを供給するように、N2ガスの流量を制御することができる。このため、第2搬送室14の真空度を低下させることなく、移動容器20の放熱を行うことが可能となる。
The control process shown in FIG. By executing the control processing shown in FIG. 7, the
以上、本実施形態に係る搬送装置1によれば、内部に空間部20bを有する移動容器20が移動し、供給ノズル42の配置位置まで移動すると、供給ノズル42から供給されたN2ガスが、移動容器20に設けられた給気ユニット22へ供給され、供給されたN2ガスの圧力に応じて、給気口からN2ガスが空間部20bへ導入される。そして、空間部20bの気圧に応じてN2ガスが排気ユニット23から移動容器20の外へ排出される。このように、移動容器20の移動経路上の給排気位置L1においてのみ、空間部20bへN2ガスが供給されるとともに空間部20bからN2ガスが排出される。このため、移動容器20に排気ダクト等を固定で取り付けることなく、移動容器20の空間部20bからN2ガスを排気させることができる。よって、第2搬送室14内を移動する移動容器20の熱の放熱を、移動容器20の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
As described above, according to the
また、本実施形態に係る搬送装置1によれば、移動容器20が給排気位置L1へ移動した場合には、給気ユニット22の本体部22aが供給ノズル42を非接触で収容する状態となる。このため、供給ノズル42から給気口に向けて適切にN2ガスを供給することができる。このように、供給ノズル42と供給ユニット22とが接触することなく、N2ガスを移動容器20の空間部20bへ供給することが可能となる。
Further, according to the
また、本実施形態に係る搬送装置1によれば、供給ノズル42から供給されたN2ガスの気圧で第1弁体22cを開くことができる。そして、供給ノズル42からN2ガスが供給されると、第1弁体22cが第1弁座22bから離れて空間部20bへN2ガスが流入し、供給ノズル42からN2ガスの供給を停止すると、第1弁体22cが第1弁座22bに着座して空間部20bへのN2ガスの流入が停止する。このように、N2ガスの供給と大気雰囲気の維持を簡易な構成で実現することができる。すなわち、圧縮空気等のボンベを用いることなく大気雰囲気を維持することが可能となるため、簡易な構成とすることができる。
Moreover, according to the
また、本実施形態に係る搬送装置1によれば、供給ノズル42からN2ガスが供給されると、第1弁体22cが第1弁座22bから離れて空間部20bへN2ガスが流入するとともに、第2弁体23cが第2弁座23bから離れて空間部20bからN2ガスが流出する。このように、リリーフバルブを用いた簡易な構成で、第2搬送室14内を移動する移動容器20内部の熱の放熱を、移動容器20の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
Further, according to the
また、本実施形態に係る搬送装置1によれば、供給ノズル42から給気口へ供給されたN2ガスのうち空間部20bへ供給されなかったN2ガスを適切に排気することができる。このため、第2搬送室14内の真空度の低下を抑制しつつ空間部20bの放熱をすることが可能となる。
Further, according to the conveying
また、本実施形態に係る搬送装置1によれば、電源系統を内部に収容した自走式の移動容器20において、電源系統によって発生した熱を適切に放出することができる。
Moreover, according to the conveying
また、本実施形態に係る搬送装置1によれば、移動容器20がウェハWの搬送のために必ず停止する位置に供給ノズル42を備えることで、既存の搬送動作中に放熱することができる。
Further, according to the
また、本実施形態に係る搬送装置1によれば、給排気のタイミングで供給ノズル42からN2ガスを放出させることができる。このため、第2搬送室14内の真空度の低下を一層抑制しつつ空間部20bの放熱をすることが可能となる。
Further, according to the
なお、上述した実施形態は搬送装置1の一例を示すものであり、実施形態に係る搬送装置1を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。
In addition, embodiment mentioned above shows an example of the conveying
例えば、上述した実施形態では、第2搬送室14を真空排気するための排気管40に供給ノズル42を設ける場合を説明したが、排気管40とは別の排気管を第2搬送室14にさらに設けて、当該排気管に供給ノズル42を設ける構成としてもよい。
For example, in the above-described embodiment, the case where the
また、上述した実施形態では、給気ユニット22の本体部22aが供給ノズル42を収容する例を説明したが、供給ノズル42が給気ユニット22の本体部22aを収容する場合であってもよい。
Moreover, although the
また、上述した実施形態では、空間部20bには、ロボットアーム30の駆動機構及び電源が配置されている例を説明したが、これに限られるものではなく、例えば、移動容器20のリニアモータの可動子が配置されてもよいし、移動容器20の移動機構の電源となる蓄電池を配置してもよい。
In the above-described embodiment, the example in which the drive mechanism and the power source of the
1…搬送装置、14…第2搬送室、15,15A〜15D…処理室、16…制御部、20…移動容器、20b…空間部、21…蓄電池、22…給気ユニット、22a…本体部(第1管状部材)、22b…第1弁座、22c…第1弁体、22d…バネ部材(第1付勢手段)、23…排気ユニット、23a…本体部(第2管状部材)、23b…第2弁座、23c…第2弁体、23d…バネ部材(第2付勢手段)、30…ロボットアーム(搬送ロボット)、40…排気管、40a…第1排気管、40b…第2排気管、41…案内レール、42…供給ノズル(気体供給部)。
DESCRIPTION OF
Claims (13)
前記容器内を移動可能に構成された移動容器と、
前記容器内に固定配置され、気体を供給する気体供給部と、
を備え、
前記移動容器は、
前記容器内の雰囲気と遮断された空間部と、
前記空間部に連通する給気口が設けられ、前記移動容器が所定位置へ移動した際に前記気体供給部から前記給気口に供給される気体の圧力に応じて、前記給気口から前記空間部へ気体を導入する給気ユニットと、
前記空間部に連通する排気口が設けられ、前記空間部の気圧に応じて前記空間部の気体を前記排気口から排出する排気ユニットと、
を有する搬送装置。 A transport device for transporting an object to be transported in a evacuable container,
A movable container configured to be movable in the container;
A gas supply unit fixedly disposed in the container and supplying gas;
With
The moving container is
A space part that is shielded from the atmosphere in the container;
An air supply port communicating with the space portion is provided, and when the moving container moves to a predetermined position, the air supply port supplies the air supply port to the air supply port according to the pressure of the gas supplied from the gas supply unit to the air supply port. An air supply unit for introducing gas into the space;
An exhaust unit that communicates with the space part, and exhausts the gas in the space part from the exhaust port according to the atmospheric pressure of the space part;
Conveying device having
前記給気ユニットは、先端が前記給気口となる第1管状部材を有し、
前記供給ノズルの先端の軸線と前記第1管状部材の先端の軸線とが同一方向に延び、前記供給ノズル及び前記第1管状部材のうち一方の内径が他方の外径よりも大きく形成されており、
前記供給ノズル及び前記第1管状部材は、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第1管状部材の内部に前記供給ノズルが挿通されるように、又は、前記供給ノズルの内部に前記第1管状部材が挿通されるように、前記容器内及び前記移動容器にそれぞれ設けられている請求項1に記載の搬送装置。 The gas supply unit is a supply nozzle,
The air supply unit has a first tubular member whose tip is the air supply port,
The axis of the tip of the supply nozzle and the axis of the tip of the first tubular member extend in the same direction, and one of the supply nozzle and the first tubular member has an inner diameter larger than the other outer diameter. ,
The supply nozzle and the first tubular member are arranged so that the supply nozzle is inserted into the first tubular member when the movable container moves to a predetermined position, or the supply nozzle and the first tubular member are inserted into the supply nozzle. The transport apparatus according to claim 1, wherein the transport apparatus is provided in each of the container and the movable container so that the first tubular member is inserted therethrough.
前記第1管状部材の内部に設けられた第1弁座と、
前記第1弁座に前記空間部側から着座する第1弁体と、
前記第1弁体を前記第1弁座に着座する方向に付勢する第1付勢手段と、
を有する請求項2に記載の搬送装置。 The air supply unit is
A first valve seat provided inside the first tubular member;
A first valve body seated on the first valve seat from the space portion side;
First urging means for urging the first valve body in a direction to be seated on the first valve seat;
The conveying apparatus according to claim 2 having.
先端が前記排気口となる第2管状部材と、
前記第2管状部材の内部に設けられた第2弁座と、
前記第2弁座に前記空間部の外側から着座する第2弁体と、
前記第2弁体を前記第2弁座に着座する方向に付勢する第2付勢手段と、
を有する請求項3又は4に記載の搬送装置。 The exhaust unit is
A second tubular member whose tip is the exhaust port;
A second valve seat provided inside the second tubular member;
A second valve body seated on the second valve seat from the outside of the space portion;
Second urging means for urging the second valve body in a direction to be seated on the second valve seat;
The conveying apparatus according to claim 3 or 4, which has
前記気体供給部は、前記第1排気管と前記容器との接続箇所に配置される請求項2〜6の何れか一項に記載の搬送装置。 The container is connected to a vacuum pump that exhausts the inside of the container via a first exhaust pipe,
The said gas supply part is a conveying apparatus as described in any one of Claims 2-6 arrange | positioned in the connection location of a said 1st exhaust pipe and the said container.
前記排気ユニットは、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第2排気管へ前記空間部の気体を排出する請求項1〜7の何れか一項に記載の搬送装置。 The container is connected to a vacuum pump that evacuates the container through a second exhaust pipe,
The said exhaust unit is a conveying apparatus as described in any one of Claims 1-7 which discharges | emits the gas of the said space part to a said 2nd exhaust pipe, when the said moving container moves to a predetermined position.
前記気体供給部は、前記移動容器の移動方向の正面に配置される請求項1〜8の何れか一項に記載の搬送装置。 The moving container is configured to be movable along a linear guide rail,
The said gas supply part is a conveying apparatus as described in any one of Claims 1-8 arrange | positioned in the front of the moving direction of the said moving container.
前記移動容器には、前記ロードロックと前記処理室との間で被搬送物を搬送する搬送ロボットが載置され、
前記気体供給部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器が停止する位置で、前記給気ユニットへ気体を供給するように配置されている請求項1〜11の何れか一項に記載の搬送装置。 The container is in communication with a load lock provided to carry the object to / from the processing chamber and the processing chamber,
A transfer robot for transferring a transfer object between the load lock and the processing chamber is placed on the moving container,
The gas supply unit is arranged so as to supply gas to the air supply unit at a position where the moving container stops in order to carry the object to / from the load lock by the transfer robot. The conveyance apparatus as described in any one of Claims 1-11.
前記制御部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器を停止させたタイミングで、前記気体供給部から前記給気ユニットへ気体を供給するように流量を制御する請求項12に記載の搬送装置。 A control unit for controlling the operation of the moving mechanism of the moving container and the flow rate of the gas from the gas supply unit;
The control unit is configured to supply gas from the gas supply unit to the air supply unit at a timing when the moving container is stopped in order to carry the object to / from the load lock by the transfer robot. The conveying apparatus according to claim 12, wherein the flow rate is controlled.
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