JP2013076685A - 流量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の流量測定装置は、大気圧より低い所定圧力で吸引する吸引手段1と、この吸引手段に夫々接続される主吸気通路2、2a及び比較吸気通路3、3aとを備える。主吸気通路が細孔Hの一側に着脱自在に接続され、比較吸気通路が細孔に対応する第1の測定基準孔RH1に連通し、この比較吸気通路に細孔に対応する第2の測定基準孔RH2が介設されると共に主吸気通路に細孔に対応する第3の測定基準孔RH3が介在され、吸引手段を稼働して細孔及び第1の測定基準孔を通してガスを夫々吸引し、細孔及び第3の測定基準孔備の間、及び、第1及び第2の両測定基準孔の間における主吸気通路と比較吸気通路との圧力差を測定する測定手段15が設けられている。
【選択図】 図1
Description
Q2=C1(P0−P2)=C2(P2−P3)・・・(式1)
Q1=C3(P1−P3)=C4(P0−P1)・・・(式2)
上記式1及び式2から、
C4/C3=(P1−P2+(P0−P2)×C1/C2)/(P0−P1)・・・(式3)
Claims (4)
- 測定対象物を所定形状の部材に穿設した細孔とし、この細孔内を流れるガスの流量を測定する流量測定装置であって、
大気圧より低い所定圧力で吸引する吸引手段と、この吸引手段に夫々接続される主吸気通路及び比較吸気通路とを備え、
主吸気通路が細孔の一側に着脱自在に接続され、比較吸気通路が細孔に対応する第1の測定基準孔に連通し、この比較吸気通路に細孔に対応する第2の測定基準孔が介設されると共に主吸気通路に細孔に対応する第3の測定基準孔が介設され、
吸引手段を稼働して細孔及び第1の測定基準孔を通してガスを夫々吸引し、細孔及び第3の測定基準孔の間、及び、第1及び第2の両測定基準孔の間における主吸気通路と比較吸気通路との圧力差を測定する第1の測定手段を設けたことを特徴とする流量測定装置。 - 前記吸引手段の吸引口と大気圧との圧力差を測定する第2の測定手段を設け、この第2の測定手段で測定した圧力差に応じて吸引手段の吸引速度を制御するように構成したことを特徴とする請求項1記載の流量測定装置。
- 前記主吸気通路の少なくとも先端部分が可撓性部材で構成され、可撓性部材の一端に吸着パッドを備えてなることを特徴とする請求項2記載の流量測定装置。
- 請求項3記載の流量測定装置であって、前記部材に同一形態の細孔が複数形成されているものにおいて、前記細孔の複数を集合細孔とし、前記吸着パッドは、集合細孔の周囲を囲って各細孔を通してガスを同時に吸引するように構成されることを特徴とする流量測定装置。
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