JP2013071164A - Coated rotary tool - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tool for friction stir welding which can provide stable welding strength and welding quality from the early stage of welding start, and which has excellent durability.SOLUTION: The tool 1 for friction stir welding includes a base material 2, and coating layers 3 deposited on a region on the base material, in contact with at least a material to be welded. At least one layer of the coating layers is deposited by the physical vapor deposition method. The coating layer at the region in contact with the material to be welded has a thickness of ≥3 μm and ≤50 μm, and a surface roughness Ra of ≥0.005 μm and ≤0.2 μm.

Description

本発明は、摩擦攪拌接合用ツールに関する。   The present invention relates to a friction stir welding tool.

1991年の英国において、アルミニウム合金などの金属材料同士を接合する摩擦攪拌接合技術が確立された。本技術は、接合を目的とする金属材料同士の接合面において、先端に小径突起部が形成された円柱状の摩擦攪拌接合用ツールを押圧しながら回転させることにより摩擦熱を発生させる。そして、この摩擦熱で接合部分の金属材料を軟化させて塑性流動させることにより、金属材料同士を接合する。   In the United Kingdom in 1991, friction stir welding technology for joining metal materials such as aluminum alloys was established. In the present technology, frictional heat is generated by rotating while pressing a cylindrical friction stir welding tool having a small-diameter protrusion formed at the tip of a joining surface between metal materials for joining. Then, the metal materials are joined together by softening the metal material at the joining portion with this frictional heat to cause plastic flow.

ここで、「接合部分」とは、金属材料を突き合わせたり、金属材料を重ねて設置させたりすることにより、それらの金属材料の接合が所望される接合界面部分をいう。この接合界面付近において、金属材料が軟化されて塑性流動が起こり、その金属材料が攪拌されることによってその接合界面が消滅し、接合が行なわれる。さらに、同時にその金属材料に動的再結晶が起こるので、この動的再結晶により接合界面付近の金属材料が微粒化することとなり、金属材料同士を高強度に接合することができる(特許文献1)。   Here, the “joining portion” refers to a joining interface portion where joining of metal materials is desired by abutting metal materials or placing metal materials in an overlapping manner. In the vicinity of the bonding interface, the metal material is softened to cause plastic flow. When the metal material is stirred, the bonding interface disappears and bonding is performed. Furthermore, since dynamic recrystallization occurs simultaneously in the metal material, the metal material in the vicinity of the bonding interface is atomized by the dynamic recrystallization, and the metal materials can be bonded with high strength (Patent Document 1). ).

このような金属材料としてアルミニウム合金を用いる場合、500℃程度の比較的低温で塑性流動が生じるため、安価な工具鋼からなる摩擦攪拌接合用ツールを用いても、その傷みが少なく頻繁に摩擦攪拌接合用ツールを交換しなくてもよい。このため摩擦攪拌接合技術は、アルミニウム合金を接合するのにかかるコストが低廉であることから、アルミニウム合金を溶融させて接合する抵抗溶接法に代わる接合方法として、鉄道車両や自動車、飛行機の構造部品の接合技術として既に様々な用途で実用化されている。   When an aluminum alloy is used as such a metal material, plastic flow occurs at a relatively low temperature of about 500 ° C., so even if a friction stir welding tool made of inexpensive tool steel is used, there is little damage and frequent friction stir It is not necessary to replace the joining tool. For this reason, the friction stir welding technology is low in the cost of joining aluminum alloys, and as a joining method that replaces the resistance welding method in which aluminum alloys are melted and joined, structural components for railway vehicles, automobiles, and airplanes. Has already been put to practical use in various applications.

現在のところ、摩擦攪拌接合技術は、アルミニウム合金、マグネシウム合金等のような比較的低温で塑性流動が生じる非鉄金属に主として適用されている。このような摩擦攪拌接合技術は、接合に要するコストおよび時間、接合部分の強度等の面で、抵抗溶接法に比して優れている。このため、低温で塑性流動が生じる材料の接合のみに留まらず、1000℃以上の高温で塑性流動が生じるような銅合金や鉄鋼材料の接合にも適用したいというニーズがある。   At present, the friction stir welding technique is mainly applied to non-ferrous metals that cause plastic flow at a relatively low temperature, such as aluminum alloys and magnesium alloys. Such a friction stir welding technique is superior to the resistance welding method in terms of the cost and time required for joining, the strength of the joined portion, and the like. For this reason, there is a need to apply not only to joining materials that cause plastic flow at low temperatures, but also to joining copper alloys and steel materials that cause plastic flow at high temperatures of 1000 ° C. or higher.

摩擦攪拌接合用ツールの耐摩耗性および耐溶着性を改善し、摩擦攪拌接合用ツールの工具寿命を向上させる試みとして、摩擦攪拌接合用ツールの表面に種々の被覆層をコーティングすることが試みられている。たとえば特開2003−326372号公報(特許文献1)には、摩擦攪拌接合用ツールの表面のうち被接合材と接触する部分にダイヤモンド膜を被覆することにより、その表面硬度を高めている。このような被覆層を備えた摩擦攪拌接合用ツールは、アルミニウム合金、マグネシウム合金、銅合金等のような非鉄金属を摩擦攪拌接合するときにも、その被接合材が摩擦攪拌接合用ツールに溶着しにくく、かつ優れた硬度、耐摩耗性、低摩擦係数を有するため、長寿命かつ良好に接合することができる。   In order to improve the wear resistance and welding resistance of the friction stir welding tool and to improve the tool life of the friction stir welding tool, it is attempted to coat various coating layers on the surface of the friction stir welding tool. ing. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-326372 (Patent Document 1), a surface of a friction stir welding tool is coated with a diamond film on a portion in contact with a material to be joined, thereby increasing the surface hardness. The friction stir welding tool having such a coating layer is welded to the friction stir welding tool even when non-ferrous metal such as aluminum alloy, magnesium alloy, copper alloy is friction stir welded. And has excellent hardness, wear resistance, and a low coefficient of friction, so that long life and good bonding can be achieved.

また、特開2005−152909号公報(特許文献2)では、被接合材を構成する金属が摩擦攪拌接合用ツールに付着するのを防止するために、摩擦攪拌接合用ツールの表面のうちの被接合材に接触する部位に付着防止膜を被覆している。この付着防止膜は、ダイヤモンドライクカーボン、TiN、CrN、TiC、SiC、TiAlN、AlCrSiNのいずれかで構成される。同特許文献では、付着防止膜の割れ防止、密着性向上、および耐摩耗性向上のために、付着防止膜の下地に、TiN、CrN、TiC、SiC、TiAlN、またはAlCrSiNのいずれかからなる層をコーティングしている。   Further, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-152909 (Patent Document 2), in order to prevent the metal constituting the material to be bonded from adhering to the friction stir welding tool, the surface of the friction stir welding tool is covered. An adhesion preventing film is coated on a portion in contact with the bonding material. This adhesion preventing film is made of any of diamond-like carbon, TiN, CrN, TiC, SiC, TiAlN, and AlCrSiN. In this patent document, in order to prevent cracking of the anti-adhesion film, improve adhesion, and improve wear resistance, a layer made of any one of TiN, CrN, TiC, SiC, TiAlN, or AlCrSiN is used as the base of the anti-adhesion film. Coated.

また、特開2007−268605号公報(特許文献3)には、鉄鋼材料を接合するための摩擦攪拌接合用ツールとして、被接合材に接触する領域に、酸化アルミニウムまたは炭化チタンからなる基層と、該基層の表面を覆う窒化チタンからなる表層とからなる皮膜をコーティングした摩擦攪拌接合用ツールが開示されている。また、特開2008−030096号公報(特許文献4)には、被接合材に接触する領域に窒化アルミニウムからなる被膜をコーティングした摩擦攪拌接合用ツールが開示されている。特許文献3のように、化学的反応性の低い窒化チタンからなる表層をコーティングするか、または特許文献4のように被接合材との親和力が低い窒化アルミニウムからなる被膜をコーティングすることにより、被接合材と摩擦攪拌接合用ツールとの間の化学反応による摩耗を防止し、摩擦攪拌接合用ツールを長寿命化することができる。   Further, in JP 2007-268605 A (Patent Document 3), as a friction stir welding tool for joining steel materials, a base layer made of aluminum oxide or titanium carbide in a region in contact with a material to be joined, A friction stir welding tool coated with a film composed of a surface layer made of titanium nitride covering the surface of the base layer is disclosed. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2008-030096 (Patent Document 4) discloses a friction stir welding tool in which a film made of aluminum nitride is coated on a region in contact with a material to be bonded. By coating the surface layer made of titanium nitride having low chemical reactivity as in Patent Document 3, or by coating the film made of aluminum nitride having low affinity with the material to be joined as in Patent Document 4, Wear due to a chemical reaction between the bonding material and the friction stir welding tool can be prevented, and the life of the friction stir welding tool can be extended.

特開2003−326372号公報JP 2003-326372 A 特開2005−152909号公報JP 2005-152909 A 特開2007−268605号公報JP 2007-268605 A 特開2008−030096号公報JP 2008-030096 A

特許文献1においては、超硬合金または窒化珪素の基材の表面に、1μm以上30μm以下の厚みのダイヤモンド膜を被覆している。また、特許文献3および4では、化学蒸着法、物理蒸着法、または溶射法を用いて、窒化珪素を主成分とする基材の表面に、1μm〜20μmの厚みの被覆層を被覆している。特許文献3は、酸化アルミニウムからなる被覆層であり、特許文献4は、窒化アルミニウムからなる被覆層である。   In Patent Document 1, a diamond film having a thickness of 1 μm or more and 30 μm or less is coated on the surface of a cemented carbide or silicon nitride substrate. In Patent Documents 3 and 4, the surface of a base material mainly composed of silicon nitride is coated with a coating layer having a thickness of 1 μm to 20 μm using chemical vapor deposition, physical vapor deposition, or thermal spraying. . Patent Document 3 is a coating layer made of aluminum oxide, and Patent Document 4 is a coating layer made of aluminum nitride.

摩擦攪拌接合用ツールの耐摩耗性を改善するためには、被覆層が剥離しない程度に被覆層の厚みを厚くすることが好ましい。しかし、耐摩耗性を重視して被覆層の厚みを厚くするほど、被覆層の表面粗さが粗くなり、アルミニウム等の軟質金属を接合するときに、被接合材が摩擦攪拌接合用ツールの表面に凝着しやすくなる。   In order to improve the wear resistance of the friction stir welding tool, it is preferable to increase the thickness of the coating layer to such an extent that the coating layer does not peel off. However, as the thickness of the coating layer is increased with emphasis on wear resistance, the surface roughness of the coating layer becomes rougher, and when joining a soft metal such as aluminum, the material to be joined is the surface of the friction stir welding tool. It becomes easy to adhere to.

また、摩擦攪拌接合用ツールが新品時のときには、被覆層の表面粗さが大きいため摩擦熱が生じやすいが、数スポット接合を終えた後の摩擦攪拌接合用ツールは、摩擦により被覆層表面の凸部が摩耗し、被覆層の表面被覆層の表面粗さが小さくなるため摩擦熱が生じにくくなる。よって、数スポット接合後の摩擦攪拌接合用ツールの表面の粗さが安定した状態に合わせて接合条件を設定すると、ツール新品から数スポットまでの接合において、被接合材の温度が高くなりやすく、摩擦攪拌接合用ツールのショルダーが被接合材に深く挿入されて、接合部にバリが生じたり、接合強度が安定しなかったりするという問題がある。   Also, when the friction stir welding tool is new, frictional heat is likely to be generated because the surface roughness of the coating layer is large, but the friction stir welding tool after several spot welding is Since the convex portion is worn and the surface roughness of the surface coating layer of the coating layer is reduced, frictional heat is hardly generated. Therefore, if the welding conditions are set in accordance with the stable surface roughness of the friction stir welding tool after several spot welding, the temperature of the material to be joined is likely to increase in joining from a new tool to several spots, There is a problem that the shoulder of the friction stir welding tool is inserted deeply into the material to be joined, resulting in burrs at the joint or unstable joint strength.

また、窒化珪素、酸化アルミニウム等のセラミックス材料を基材に用いた場合、接合開始初期に摩擦攪拌接合用ツールの温度が上がりすぎて、熱亀裂により破損するという問題がある。一方、超硬合金または耐熱金属を基材に用いた場合、接合開始初期に摩擦攪拌接合用ツールが塑性変形するという問題がある。   Further, when a ceramic material such as silicon nitride or aluminum oxide is used for the base material, there is a problem that the temperature of the friction stir welding tool rises too much at the beginning of the joining and breaks due to thermal cracks. On the other hand, when a cemented carbide or a refractory metal is used for the base material, there is a problem that the friction stir welding tool is plastically deformed at the beginning of joining.

本発明は、上記のような現状に鑑みなされたものであって、その目的は、接合開始初期から安定した接合強度および接合品質が得られ、かつ優れた耐久性を有する摩擦攪拌接合用ツールを提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described situation, and an object of the present invention is to provide a friction stir welding tool capable of obtaining stable joining strength and joining quality from the beginning of joining and having excellent durability. Is to provide.

本発明の摩擦攪拌接合用ツールは、基材と、該基材上の少なくとも被接合材に接触する部位に形成された被覆層とを含むものであって、被覆層のうちの少なくとも一層は、物理蒸着法で形成されたものであり、被接合材に接触する部位における被覆層は、3μm以上50μm以下の厚みであり、かつ0.005μm以上0.2μm以下の表面粗さRaであることを特徴とする。   The friction stir welding tool of the present invention includes a base material and a coating layer formed on a portion of the base material that contacts at least a material to be joined, and at least one of the coating layers includes: It is formed by a physical vapor deposition method, and the coating layer in the part which contacts a to-be-joined material is 3 micrometers or more and 50 micrometers or less thickness, and is surface roughness Ra of 0.005 micrometers or more and 0.2 micrometers or less. Features.

被接合材に接触する部位における被覆層は、0.01μm以上0.1μm以下の表面粗さRaであることが好ましい。被接合材に接触する部位における被覆層は、被覆層を形成した後に表面を研磨処理したものであることが好ましい。   It is preferable that the coating layer in the part which contacts a to-be-joined material is 0.01 micrometer or more and 0.1 micrometer or less surface roughness Ra. It is preferable that the coating layer in the part which contacts a to-be-joined material should carry out the grinding | polishing process after forming a coating layer.

被接合材に接触する部位における被覆層において、ショルダー部の側面の表面粗さは、プローブ部の表面粗さよりも大きいことが好ましい。   In the coating layer in the portion that contacts the material to be joined, the surface roughness of the side surface of the shoulder portion is preferably larger than the surface roughness of the probe portion.

被接合材に接触する部位における被覆層において、プローブ部の表面粗さは、ショルダー部の下端の表面粗さの値以上であることが好ましい。   In the coating layer in the part that contacts the material to be joined, the surface roughness of the probe part is preferably equal to or greater than the value of the surface roughness at the lower end of the shoulder part.

被覆層は、周期律表のIVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al、SiおよびBからなる群より選ばれる一種以上の元素と、炭素、窒素、酸素、および硼素からなる群より選ばれる一種以上の元素との化合物からなることが好ましい。被覆層の少なくとも1層は、スパッタ蒸着法により形成されたものであることが好ましい。   The covering layer is selected from the group consisting of one or more elements selected from the group consisting of group IVa elements, group Va elements, group VIa elements, Al, Si and B in the periodic table, and carbon, nitrogen, oxygen and boron. It is preferable that it consists of a compound with 1 or more types of elements. At least one of the coating layers is preferably formed by a sputter deposition method.

本発明の摩擦攪拌接合用ツールは、上記のような構成を有することにより、接合開始初期から安定した接合強度および接合品質が得られ、かつ優れた耐久性を有するという効果を示す。   Since the friction stir welding tool of the present invention has the above-described configuration, it exhibits an effect that a stable bonding strength and bonding quality can be obtained from the beginning of bonding and that it has excellent durability.

本発明の摩擦攪拌接合用ツールの一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the tool for friction stir welding of this invention. 本発明の摩擦攪拌接合用ツールの他の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows another example of the tool for friction stir welding of this invention.

以下、本発明についてさらに詳細に説明する。
<摩擦攪拌接合用ツール>
図1は、本発明の摩擦攪拌接合用ツールの概略断面図である。本発明の摩擦攪拌接合用ツール1は、図1に示されるように、基材2と、該基材2上に形成される被覆層3とを備えるものである。このような構成を有する本発明の摩擦攪拌接合用ツール1は、たとえば線接合(FSW:Friction Stir Welding)用途、点接合(スポットFSW)用途等に極めて有用に用いることができる。なお、本発明の摩擦攪拌接合用ツール1は、小径(直径2mm以上8mm以下)のプローブ部4と、大径(直径4mm以上20mm以下)の円柱部5とを備えた形状を有する。これを接合に用いる場合、プローブ部4が被接合材の接合部分に挿入または押圧された状態で回転されることにより、被接合材が接合されることとなる。この場合、線接合用途では、積層もしくは線接触状に突き合わされた2つの被接合材にプローブ部4を押圧もしくは挿入させ、回転するプローブ部4を当該積層もしくは突き合わされた部分に対して直線状に移動させることにより被接合材同士を接合する。一方、点接合用途では、上下に積層、もしくは突き合わされた2つの被接合材の所望の接合箇所に回転するプローブ部4を押圧し、その場所でプローブ部4を引き続き回転させることにより、被接合材同士を接合する。本発明の摩擦攪拌接合ツールは、アルミニウム合金、マグネシウム合金等のように比較的低温で塑性流動が生じる非鉄金属だけではなく、1000℃以上の高温で塑性流動が生じるような銅合金や鉄鋼材料に用いることもできる。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
<Friction stir welding tool>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the friction stir welding tool of the present invention. As shown in FIG. 1, the friction stir welding tool 1 of the present invention includes a base material 2 and a coating layer 3 formed on the base material 2. The friction stir welding tool 1 of the present invention having such a configuration can be used extremely usefully for, for example, a wire welding (FSR: Friction Stir Welding) application, a point welding (spot FSW) application, and the like. The friction stir welding tool 1 of the present invention has a shape including a probe portion 4 having a small diameter (diameter 2 mm or more and 8 mm or less) and a cylindrical portion 5 having a large diameter (diameter 4 mm or more and 20 mm or less). When this is used for joining, the member to be joined is joined by rotating the probe portion 4 in a state where it is inserted or pressed into the joining portion of the joined material. In this case, in the wire bonding application, the probe portion 4 is pressed or inserted into two materials to be bonded in a laminated or line contact state, and the rotating probe portion 4 is linear with respect to the laminated or abutted portion. To be joined together. On the other hand, in the point joining application, the probe part 4 that rotates to a desired joining location of two joined materials that are stacked or abutted on each other is pressed, and the probe part 4 is continuously rotated at that location. Join materials together. The friction stir welding tool of the present invention is not limited to non-ferrous metals that cause plastic flow at relatively low temperatures such as aluminum alloys and magnesium alloys, but also to copper alloys and steel materials that cause plastic flow at high temperatures of 1000 ° C or higher. It can also be used.

図2は、本発明の摩擦攪拌接合用ツールの好ましい形態の概略断面図である。本発明の摩擦攪拌接合用ツール1は、図2に示されるように、円柱部5がホルダーにチャックされるようにチャック部7を有していることが好ましい。チャック部7は、たとえば円柱部5の側面の一部を削ることにより形成する。一方、接合加工時に被接合材と接する部分のことをショルダー部6という。   FIG. 2 is a schematic sectional view of a preferred embodiment of the friction stir welding tool of the present invention. As shown in FIG. 2, the friction stir welding tool 1 of the present invention preferably has a chuck portion 7 so that the cylindrical portion 5 is chucked by the holder. The chuck portion 7 is formed, for example, by cutting a part of the side surface of the cylindrical portion 5. On the other hand, a portion that comes into contact with the material to be joined at the time of joining processing is called a shoulder portion 6.

また、被覆層3は、図2に示されるように、基材2上であって、接合加工時に被接合材と接する部分に少なくとも形成されることが好ましい。このように被接合材と接する部分に被覆層3を形成することにより、摩擦により生じた熱が基材2に伝わりにくくなる。これにより基材2の熱亀裂や塑性変形を有効に防止することができ、摩擦攪拌接合用ツールを長寿命化することができる。   Further, as shown in FIG. 2, the covering layer 3 is preferably formed at least on a portion of the base material 2 that is in contact with the material to be joined at the time of joining processing. Thus, by forming the coating layer 3 in the portion in contact with the material to be joined, heat generated by friction is hardly transmitted to the base material 2. Thereby, the thermal crack and plastic deformation of the base material 2 can be effectively prevented, and the life of the friction stir welding tool can be extended.

<基材>
本発明の摩擦攪拌接合用ツールの基材2としては、このような接合加工用の基材2として知られる従来公知のものを特に限定なく使用することができる。たとえば、超硬合金(たとえばWC基超硬合金、WCの他、Coを含み、あるいはさらにTi、Ta、Nb等の炭窒化物等を添加したものも含む)、サーメット(TiC、TiN、TiCN等を主成分とするもの)、高速度鋼、工具鋼、セラミックス(炭化チタン、炭化硅素、窒化硅素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、サイアロン、およびこれらの混合体など)、立方晶型窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体、cBN粒子が分散した硬質材料等をこのような基材2の例として挙げることができる。
<Base material>
As the base material 2 of the friction stir welding tool of the present invention, a conventionally known material known as such a base material 2 for joining processing can be used without particular limitation. For example, cemented carbide (for example, WC base cemented carbide, including WC, including Co, or further including carbonitride such as Ti, Ta, Nb, etc.), cermet (TiC, TiN, TiCN, etc.) High-speed steel, tool steel, ceramics (such as titanium carbide, silicon carbide, silicon nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, sialon, and mixtures thereof), cubic boron nitride sintered body Examples of the substrate 2 include diamond sintered bodies, hard materials in which cBN particles are dispersed, and the like.

基材2として超硬合金を使用する場合、そのような超硬合金は、組織中に遊離炭素やη相と呼ばれる異常相を含んでいても本発明の効果は示される。   When a cemented carbide is used as the substrate 2, the effect of the present invention is exhibited even if such a cemented carbide includes an abnormal phase called free carbon or η phase in the structure.

<被覆層>
本発明の摩擦攪拌接合用ツールにおいて、被覆層3は単層であってもよいし、2層以上積層してもよい。また、被覆層3は、化合物の組成が異なる複数の層を交互に積層してもよいが、2以上の層からなることが好ましい。本発明の被覆層は、基材の全面を覆うようにして形成されていることが好ましいが、基材の一部が被覆層により覆われていなかったり、基材上のいずれかの部分において被覆層の構成が異なっていたとしても、本発明の範囲を逸脱するものではない。なお、本発明における被覆層は、上記のとおり少なくとも基材上であって、接合加工時に被接合材と接する部分に少なくとも形成されることが好ましく、チャック部の全面または部分に形成されることが好ましい。
<Coating layer>
In the friction stir welding tool of the present invention, the coating layer 3 may be a single layer or two or more layers. The coating layer 3 may be formed by alternately laminating a plurality of layers having different compound compositions, but is preferably composed of two or more layers. The coating layer of the present invention is preferably formed so as to cover the entire surface of the base material. However, a part of the base material is not covered with the coating layer, or is covered on any part of the base material. Even if the constitution of the layers is different, it does not depart from the scope of the present invention. Note that the coating layer in the present invention is preferably formed at least on the base material as described above, and at least on the part that contacts the material to be joined at the time of joining processing, and may be formed on the entire surface or part of the chuck part. preferable.

本発明において、被覆層は、3μm以上50μm以下の厚みを有することが好ましい。このように3μm以上の厚みとすることにより耐摩耗性が向上し、ツール寿命を大幅に延長することが可能となる。被覆層の厚みが3μm未満であると、耐摩耗性および基材の酸化防止性が低下するため好ましくなく、50μmよりも厚いと、被覆層に蓄積された圧縮応力により被覆層が剥離しやすくなるため好ましくない。被覆層の厚みは、5μm以上20μm以下とすることがより好ましい。5μm以上であることにより、耐摩耗性がさらに向上し、20μm以下であることにより、被覆層がより剥離しにくく、後述する研磨処理に要する時間も短縮できるという利点を有する。   In the present invention, the coating layer preferably has a thickness of 3 μm or more and 50 μm or less. Thus, by setting it as thickness of 3 micrometers or more, abrasion resistance improves and it becomes possible to extend tool life significantly. When the thickness of the coating layer is less than 3 μm, the wear resistance and the antioxidant property of the substrate are deteriorated, which is not preferable. When the thickness is more than 50 μm, the coating layer easily peels due to the compressive stress accumulated in the coating layer. Therefore, it is not preferable. The thickness of the coating layer is more preferably 5 μm or more and 20 μm or less. When the thickness is 5 μm or more, the wear resistance is further improved, and when the thickness is 20 μm or less, the coating layer has an advantage that it is more difficult to peel off and the time required for the polishing process described later can be shortened.

なお、本発明において、「被覆層の厚み」とは、被接合材に接触する部位における被覆層の厚みをいい、たとえば摩擦攪拌接合用ツールの基材上に形成された被覆層の厚みのうち、プローブ部の先端における被覆層の厚みをいう。   In the present invention, the “thickness of the coating layer” refers to the thickness of the coating layer at the portion in contact with the material to be joined, for example, the thickness of the coating layer formed on the base material of the friction stir welding tool The thickness of the coating layer at the tip of the probe portion.

本発明において、被接合材に接触する部位における被覆層は、0.005μm以上0.2μm以下の表面粗さRaであることを特徴とする。このような表面粗さであることにより、接合加工時に摩擦熱が適度に生じて被接合材の軟化も進みやすく、被接合材の接合部の強度も安定する。また、摩擦攪拌接合用ツールが高温になりすぎることもないため、熱亀裂の発生も起こりにくく、かつ塑性変形も生じにくい。   In the present invention, the coating layer in the part that contacts the material to be bonded has a surface roughness Ra of 0.005 μm or more and 0.2 μm or less. With such a surface roughness, frictional heat is appropriately generated during the joining process, the joined material is easily softened, and the strength of the joined portion of the joined material is stabilized. In addition, since the friction stir welding tool does not become too hot, thermal cracks hardly occur and plastic deformation hardly occurs.

ここで、本発明において、「表面粗さRa」は、JIS規格B0601で定義されたものをいう。表面粗さRaが0.005μm未満であると、被覆層の表面が滑らか過ぎて接合加工時に摩擦熱が生じにくく、被接合材の軟化に時間を要する。しかも、後述する被覆層の研磨に要する時間が長くなりすぎるため好ましくない。また、表面粗さRaが0.2μmを超えると、軟質金属の被接合材を接合する時に、被接合材が摩擦攪拌接合用ツールの表面に凝着したり、摩擦熱が発生し過ぎて被接合材の温度が高くなり、被接合材の接合部にバリが生じたり、接合部の強度が安定しないため好ましくない。また、摩擦熱によって摩擦攪拌接合用ツールの温度が上がりすぎて、摩擦攪拌接合用ツールに熱亀裂が生じて破損したり、塑性変形が生じたりするため好ましくない。   Here, in the present invention, the “surface roughness Ra” is defined by JIS standard B0601. When the surface roughness Ra is less than 0.005 μm, the surface of the coating layer is too smooth, and frictional heat hardly occurs during the joining process, and it takes time to soften the materials to be joined. Moreover, the time required for polishing the coating layer, which will be described later, is too long, which is not preferable. On the other hand, if the surface roughness Ra exceeds 0.2 μm, when the soft metal workpiece is joined, the workpiece will adhere to the surface of the friction stir welding tool, or too much frictional heat will be generated. This is not preferable because the temperature of the bonding material becomes high and burrs are generated at the bonded portion of the material to be bonded or the strength of the bonded portion is not stable. Further, the temperature of the friction stir welding tool rises too much due to frictional heat, causing a thermal crack in the friction stir welding tool, resulting in damage or plastic deformation.

被接合材に接触する部位における被覆層の表面粗さの好ましい範囲は、0.01μm以上0.1μm以下である。Raが0.01μm以上であれば比較的短時間で研磨加工できるし、0.1μm以下であれば、摩擦攪拌接合用ツールおよび被接合材の温度上昇が抑制されるため、接合品質および接合強度が安定し、摩擦攪拌接合用ツールを長寿命化することができる。   A preferable range of the surface roughness of the coating layer at the portion in contact with the material to be joined is 0.01 μm or more and 0.1 μm or less. If Ra is 0.01 μm or more, it can be polished in a relatively short time, and if it is 0.1 μm or less, the temperature increase of the friction stir welding tool and the material to be joined is suppressed, so that the joining quality and strength The friction stir welding tool can be prolonged.

本発明の摩擦攪拌接合用ツールは、接合開始初期から摩擦熱を安定して発生させつつも、全体として熱亀裂の発生や摩耗を抑制するために、ショルダー部の側面および下端、ならびにプローブ部の表面粗さをそれぞれ部位によって異ならしめることが好ましい。つまり、被接合材に接触する部位における被覆層において、ショルダー部の側面の表面粗さは、プローブ部の表面粗さよりも大きいことが好ましく、プローブ部の表面粗さは、ショルダー部の下端の表面粗さの値以上であることがより好ましい。被接合材に接触する部位の中でも、ショルダー部の下端は、被接合材との摩擦により被接合材を軟化させる目的を達成するため、この部位の被覆層の表面粗さを最も小さくすることが好ましい。これにより接合開始初期から安定して摩擦熱が発生し、接合強度および接合品質を安定させることができる。プローブ部は、被接合材を攪拌するための部位であるが、プローブ部が過度に発熱されると、熱亀裂の発生や摩耗が進行しやすくなるため、プローブ部の被覆層の表面粗さは、ショルダー部の下端と同じかそれよりも大きくする必要がある。被接合材に接触する部位のうち、ショルダー部の側面は、接合加工の最後に被接合材と接触する部位であり、摩擦熱の発生の寄与度がプローブ部、ショルダー部の下端に比して低いため、被覆層の表面粗さは一番大きくてよい。また、ショルダー部の側面は、接合時に温度が高い状態で大気に曝露される部位であるため、表面粗さを小さくするために研磨しすぎると被覆層にピンホールが発生し、母材の酸化の原因になるため好ましくない。以上の表面粗さの大小関係を纏めると、ショルダー部の側面>プローブ部≧ショルダー部の下端であることが好ましい。   The friction stir welding tool of the present invention stably generates frictional heat from the beginning of welding, and suppresses the occurrence and wear of thermal cracks as a whole, and the side and lower ends of the shoulder portion and the probe portion. It is preferable to make the surface roughness different depending on each part. That is, the surface roughness of the side surface of the shoulder portion is preferably larger than the surface roughness of the probe portion in the covering layer in the portion that contacts the material to be joined, and the surface roughness of the probe portion is the surface of the lower end of the shoulder portion. More preferably, the roughness value is not less than the roughness value. Among the parts in contact with the material to be joined, the lower end of the shoulder portion achieves the purpose of softening the material to be joined by friction with the material to be joined, so that the surface roughness of the coating layer at this part can be minimized. preferable. As a result, frictional heat is stably generated from the beginning of the joining, and the joining strength and joining quality can be stabilized. The probe part is a part for stirring the material to be joined, but if the probe part is excessively heated, the occurrence of thermal cracks and wear tends to progress, so the surface roughness of the coating layer of the probe part is It must be the same as or larger than the lower end of the shoulder. Of the parts that come into contact with the material to be joined, the side surface of the shoulder part is the part that comes into contact with the material to be joined at the end of the joining process, and the contribution of frictional heat generation is compared to the probe part and the lower end of the shoulder part. Since it is low, the surface roughness of the coating layer may be the largest. In addition, since the side surface of the shoulder portion is exposed to the atmosphere at a high temperature during bonding, if the surface is excessively polished to reduce the surface roughness, pinholes are generated in the coating layer, and the base material is oxidized. This is not preferable because Summarizing the above magnitude relationship of the surface roughness, it is preferable that the side surface of the shoulder portion> the probe portion ≧ the lower end of the shoulder portion.

本発明の被覆層としては、従来公知の組成の被膜を特に限定なく採用することができ、周期律表のIVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al、Si、およびBからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素と、炭素、窒素、酸素、および硼素からなる群より選ばれる少なくとも一種の元素とからなる化合物により構成されることが好ましい。これにより、耐摩耗性をより一層向上させることができる。   As the coating layer of the present invention, a coating having a conventionally known composition can be employed without any particular limitation, and from the group consisting of IVa group element, Va group element, VIa group element, Al, Si, and B in the periodic table. It is preferably composed of a compound composed of at least one element selected and at least one element selected from the group consisting of carbon, nitrogen, oxygen, and boron. Thereby, abrasion resistance can be improved further.

このような化合物としては、周期律表のIVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al、およびSiからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、炭酸化物、炭酸窒化物、硼窒化物、および硼炭窒化物よりなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物が挙げられ、さらに具体的には、TiAlN、AlxTi1-xN、AlxCr1-xN、Ti1-xSixN、AlxTi1-x-ySiyN、AlxCr1-x-ySiyN、TiCN、Al23等を挙げられる。このような組成からなる被覆層は、硬度が高いため耐摩耗性に優れるとともに、耐酸化性にも優れるため、摩擦攪拌接合用ツールの寿命を向上させることができる。上記の化合物の中でも、AlxCr1-xN、AlxTi1-x-ySiyN、AlxCr1-x-ySiyNは、耐酸化性が特に優れるため好ましい。 Examples of such compounds include carbides, nitrides, carbonitrides, oxides of at least one element selected from the group consisting of group IVa elements, group Va elements, group VIa elements, Al, and Si in the periodic table. And at least one compound selected from the group consisting of carbonate, carbonitride, boronitride, and borocarbonitride. More specifically, TiAlN, Al x Ti 1-x N, Al x Cr 1 -x N, Ti 1-x Si x N, AlxTi 1-xy Si y N, Al x Cr 1-xy Si y N, TiCN, like Al 2 O 3, or the like. Since the coating layer having such a composition has high hardness, it has excellent wear resistance and excellent oxidation resistance, so that the life of the friction stir welding tool can be improved. Among the above compounds, Al x Cr 1-x N, Al x Ti 1-xy Si y N, and Al x Cr 1-xy Si y N are preferable because they have particularly excellent oxidation resistance.

<被覆層の形成方法>
本発明の被覆層のうちの少なくとも一層は、上述したように、物理蒸着(PVD:Physical Vapor Deposition)法により形成されることが好ましい。PVD法としては、たとえば真空アーク蒸着法、スパッタリング法等を用いることができる。PVD法で成膜した被覆層は、圧縮応力を有するため硬度が高く、耐摩耗性に優れる。また、被覆層が緻密となるため、基材の酸化防止にも優れる。被覆層の少なくとも1層は、上記のPVD法の中でも、スパッタ蒸着法を用いることがより好ましい。スパッタ蒸着法は、真空アーク蒸着法よりも表面粗さが小さい被覆層を形成することができるため、より短時間の研磨処理で、本発明の粗さの表面粗さを得ることができる。
<Method for forming coating layer>
As described above, at least one of the coating layers of the present invention is preferably formed by a physical vapor deposition (PVD) method. As the PVD method, for example, a vacuum arc vapor deposition method, a sputtering method, or the like can be used. Since the coating layer formed by the PVD method has a compressive stress, the coating layer has high hardness and excellent wear resistance. Moreover, since the coating layer becomes dense, it is excellent in preventing oxidation of the substrate. At least one of the coating layers is more preferably a sputter deposition method among the PVD methods described above. Since the sputter deposition method can form a coating layer having a surface roughness smaller than that of the vacuum arc deposition method, the surface roughness of the roughness of the present invention can be obtained in a shorter polishing process.

<被覆層の表面研磨処理>
上記PVD法では、原料ターゲットから飛来したドロップレットと呼ばれる溶融粒子が、基材の表面に付着し、これが核となって成長することにより被覆層を形成する。このようにして形成する被覆層は、その厚みを厚くするほど表面粗さが大きくなる。よって、3μm以上50μm以下の厚みで、かつ表面粗さRaが0.005μm以上0.2μm以下を実現するためには、被覆層を被覆した後に、被覆層の表面を研磨処理することが好ましい。
<Surface polishing treatment of coating layer>
In the PVD method, molten particles called droplets flying from the raw material target adhere to the surface of the substrate and grow as a nucleus to form a coating layer. The surface roughness of the coating layer formed in this manner increases as the thickness increases. Therefore, in order to realize a thickness of 3 μm or more and 50 μm or less and a surface roughness Ra of 0.005 μm or more and 0.2 μm or less, it is preferable to polish the surface of the coating layer after coating the coating layer.

上記の研磨処理方法としては、ブラシ研磨、フィルム研磨、バフ研磨、湿式ブラスト処理等の公知の技術を使用することができる。砥粒が付着した軟質メディアを遠心力により研磨する表面に噴射する軟質メディアブラストが、3次元形状を均一に研磨しやすく、エッジが優先的に研磨されにくいため好ましい。   As said grinding | polishing processing method, well-known techniques, such as brush grinding | polishing, film grinding | polishing, buff grinding | polishing, and wet blasting, can be used. A soft media blast that injects soft media with abrasive particles onto the surface to be polished by centrifugal force is preferable because it easily polishes the three-dimensional shape uniformly and the edges are not preferentially polished.

以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例中の被覆層の厚みは、走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)または透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)を用いて、その断面を直接観察することにより測定した。また、本発明において、窒化物層を構成する各金属の元素比(原子比)は、SEM付帯のEDXもしくはEPMA、またはTEM付帯のEDXもしくはEPMAにより求めた。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these. In addition, the thickness of the coating layer in an Example was measured by directly observing the cross section using a scanning electron microscope (SEM: Scanning Electron Microscope) or a transmission electron microscope (TEM: Transmission Electron Microscope). In the present invention, the element ratio (atomic ratio) of each metal constituting the nitride layer was determined by SDX-attached EDX or EPMA, or TEM-attached EDX or EPMA.

以下では真空アーク蒸着法またはアンバランスドマグネトロンスパッタ法(UBMスパッタ法)により被覆層を形成しているが、たとえばバランスドマグネトロンスパッタ法等によって被覆層を形成してもよい。   In the following, the coating layer is formed by the vacuum arc deposition method or the unbalanced magnetron sputtering method (UBM sputtering method), but the coating layer may be formed by, for example, a balanced magnetron sputtering method.

<実施例1〜30、比較例1〜4>
各実施例および各比較例の摩擦攪拌接合用ツールは、直径10mmで高さが20mmの略円柱形状の円柱部5と、その円柱部5の先端中央部に円柱部5と同心に突設されたプローブ部4とを有している。当該プローブ部4は、直径4mmで高さが2mmの略円柱形状のものである。
<Examples 1-30, Comparative Examples 1-4>
The friction stir welding tool of each example and each comparative example is provided with a substantially cylindrical column part 5 having a diameter of 10 mm and a height of 20 mm, and projecting concentrically with the column part 5 at the center of the tip of the column part 5. And the probe portion 4. The probe portion 4 has a substantially cylindrical shape with a diameter of 4 mm and a height of 2 mm.

そして、図2に示すように、円柱部5がホルダーにチャックされるようにチャック部7を有する。チャック部7は、円柱部5の上面から10mmの部分において、円柱部5の側面のうちの相対する2方向から削り取られている。チャック部7をホルダー側から見ると、上記で削られて形成された弦の長さはいずれも7mmである。   And as shown in FIG. 2, it has the chuck | zipper part 7 so that the cylindrical part 5 may be chucked by the holder. The chuck portion 7 is scraped from two opposite directions on the side surface of the cylindrical portion 5 at a portion 10 mm from the upper surface of the cylindrical portion 5. When the chuck portion 7 is viewed from the holder side, the length of the chord formed by cutting is 7 mm.

(摩擦攪拌接合用ツールの作製)
まず、摩擦攪拌接合用ツールの基材として、上記のようなツール形状を有する基材を用意した。なお、基材の材質は、Coが6重量%、TaNbCが15重量%、残部がWC結晶粒からなる超硬合金であり、このWC結晶粒の基材表面(被覆層との界面部分)のものは、3μmの平均粒径であった。この摩擦攪拌接合用ツールの基材を、成膜装置のチャンバー内の基材ホルダ―にセットした。
(Production of friction stir welding tool)
First, the base material which has the above tool shapes was prepared as a base material of the tool for friction stir welding. The material of the base material is a cemented carbide made of 6 wt% Co, 15 wt% TaNbC, and the balance of WC crystal grains. The surface of the WC crystal grains is the surface of the base material (interface portion with the coating layer). The one had an average particle size of 3 μm. The base material of the friction stir welding tool was set on a base material holder in the chamber of the film forming apparatus.

(被覆層の形成)
次に、上記基材に直接接するように、プローブ部およびショルダー部6に被覆層を形成することにより、図2に示される摩擦攪拌接合用ツールを作製した。具体的には、表1の「厚み」の欄に示す厚みで表1の「被覆方法」に示す方法により、表1の「組成」の欄に示す組成の被覆層を成膜した。
(Formation of coating layer)
Next, the friction stir welding tool shown in FIG. 2 was produced by forming a coating layer on the probe portion and the shoulder portion 6 so as to be in direct contact with the base material. Specifically, a coating layer having the composition shown in the “Composition” column of Table 1 was formed by the method shown in “Coating method” of Table 1 with the thickness shown in the “Thickness” column of Table 1.

Figure 2013071164
Figure 2013071164

実施例1〜16および比較例1〜4では、表1に示すように、真空アーク蒸発法を用いて被覆層を形成した。真空アーク蒸着装置には、被覆層の金属成分の合金製ターゲットをセットした。たとえば実施例1では、Al0.57Ti0.38Si0.05Nからなる被覆層を形成するために、Al0.57Ti0.38Si0.05の組成の合金製ターゲットをセットした。そして、真空ポンプにより真空アーク蒸着装置のチャンバー内を減圧するとともに、該装置内に設置されたヒーターにより上記基材の温度を450℃に加熱し、チャンバー内の圧力が1.0×10-4Paとなるまで真空引きを行なった。 In Examples 1-16 and Comparative Examples 1-4, as shown in Table 1, the coating layer was formed using the vacuum arc evaporation method. The alloy target of the metal component of the coating layer was set in the vacuum arc deposition apparatus. For example, in Example 1, in order to form a coating layer made of Al 0.57 Ti 0.38 Si 0.05 N, an alloy target having a composition of Al 0.57 Ti 0.38 Si 0.05 was set. Then, the inside of the chamber of the vacuum arc vapor deposition apparatus is depressurized by a vacuum pump, and the temperature of the substrate is heated to 450 ° C. by a heater installed in the apparatus, and the pressure in the chamber is 1.0 × 10 −4. Vacuuming was performed until Pa was reached.

次に、アルゴンガスを導入してチャンバー内の圧力を3.0Paに保持し、上記基材の基板バイアス電源の電圧を徐々に上げながら−1500Vとし、Wフィラメントを加熱して熱電子を放出させながら基材の表面のクリーニングを15分間行なった。その後、アルゴンガスを排気した。   Next, argon gas is introduced to maintain the pressure in the chamber at 3.0 Pa, the substrate bias power supply voltage of the base material is gradually increased to −1500 V, and the W filament is heated to emit thermoelectrons. The surface of the substrate was cleaned for 15 minutes. Thereafter, argon gas was exhausted.

次いで、チャンバー内の圧力が3PaとなるようにN2ガスを導入し、基材DCバイアス電圧を−50Vとした。Al0.57Ti0.38Si0.05ターゲットをアーク電流200Aとしてイオン化し、N2ガスと反応させることにより、基材のプローブ部およびショルダー部上にAl0.57Ti0.38Si0.05Nからなる被覆層を形成した。 Next, N 2 gas was introduced so that the pressure in the chamber was 3 Pa, and the substrate DC bias voltage was set to −50V. An Al 0.57 Ti 0.38 Si 0.05 target was ionized with an arc current of 200 A and reacted with N 2 gas to form a coating layer made of Al 0.57 Ti 0.38 Si 0.05 N on the probe and shoulder portions of the substrate.

実施例16では、金属ターゲットとしてTiを用い、N2ガス分圧が1.5Pa、CH4ガス分圧が1.5Paになるように、チャンバー内にガスを導入することにより、TiCNからなる被覆層を形成した。 In Example 16, Ti was used as a metal target, and a coating made of TiCN was introduced by introducing gas into the chamber so that the N 2 gas partial pressure was 1.5 Pa and the CH 4 gas partial pressure was 1.5 Pa. A layer was formed.

実施例17〜30では、表1に示すように、アンバランスドマグネトロンスパッタ法を用いて被覆層を形成した。たとえば実施例17では、Al0.57Ti0.38Si0.05Nからなる被覆層を形成するために、Al0.57Ti0.38Si0.05の組成の合金製ターゲットをセットした。 In Examples 17-30, as shown in Table 1, the coating layer was formed using the unbalanced magnetron sputtering method. For example, in Example 17, an alloy target having a composition of Al 0.57 Ti 0.38 Si 0.05 was set to form a coating layer made of Al 0.57 Ti 0.38 Si 0.05 N.

そして、真空ポンプにより真空アーク蒸着装置のチャンバー内を減圧するとともに、該装置内に設置されたヒーターにより上記基材の温度を450℃に加熱し、チャンバー内の圧力が1.0×10-4Paとなるまで真空引きを行なった。 Then, the inside of the chamber of the vacuum arc vapor deposition apparatus is depressurized by a vacuum pump, and the temperature of the substrate is heated to 450 ° C. by a heater installed in the apparatus, and the pressure in the chamber is 1.0 × 10 −4. Vacuuming was performed until Pa was reached.

次に、アルゴンガスを導入してチャンバー内の圧力を3.0Paに保持し、DCバイアス電圧を徐々に上げながら−1000Vとし、基材の表面のクリーニングを15分間行なった。その後、アルゴンガスを排気した。   Next, argon gas was introduced, the pressure in the chamber was maintained at 3.0 Pa, the DC bias voltage was gradually increased to −1000 V, and the surface of the substrate was cleaned for 15 minutes. Thereafter, argon gas was exhausted.

そして、チャンバー内の圧力が0.6PaになるようにArガスとN2ガスとを1:1の流量比で導入し、基材DCバイアス電圧を−90Vとした。ターゲットに4500WのDCスパッタ電力を印加してイオン化し、N2ガスと反応させて、基材上にAl0.57Ti0.38Si0.05Nからなる被覆層を形成した。 Then, Ar gas and N 2 gas as the pressure in the chamber becomes 0.6 Pa 1: 1 in introduced at a rate ratio was the substrate DC bias voltage -90 V. A DC sputtering power of 4500 W was applied to the target for ionization and reaction with N 2 gas to form a coating layer made of Al 0.57 Ti 0.38 Si 0.05 N on the substrate.

(被覆層の表面研磨)
次に、表1の「研磨処理方法」で示す方法を用いて、被覆層の表面を研磨処理した。具体的には、実施例1〜10、14、17〜26、比較例1、2、および4では、#3000のダイヤ砥粒付のメディアを用いた軟質メディアブラストにより、被覆層の表面を研磨した。なお、被覆層の表面粗さは、研磨時間により調整した。ただし、比較例2では、被覆層の厚みが52.4μmと厚すぎたため、被覆層の応力が高く、表面研磨処理により被覆層が剥離した。
(Surface polishing of coating layer)
Next, the surface of the coating layer was polished using the method shown in “Polishing Method” in Table 1. Specifically, in Examples 1 to 10, 14, 17 to 26, and Comparative Examples 1, 2, and 4, the surface of the coating layer was polished by soft media blasting using media with diamond abrasive grains of # 3000. did. The surface roughness of the coating layer was adjusted by the polishing time. However, in Comparative Example 2, since the thickness of the coating layer was too thick at 52.4 μm, the stress of the coating layer was high and the coating layer was peeled off by the surface polishing treatment.

実施例11〜13、15、および16では、#3000のダイヤ砥粒付のブラシを用いたブラシラップにより、被覆層の表面を研磨した。なお、被覆層の表面粗さは、研磨時間により調整した。また、実施例27〜30、比較例3では、被覆層を研磨しなかった。表面研磨前後のプローブ部、ショルダー部の下端および側面における被覆層の表面粗さを触針式の表面粗さ計により測定した。測定条件は以下の通りで、各部位の研磨処理前後の表面粗さの測定結果を表1の「表面粗さRa」の欄に示す。
評価長さ:1.25mm
カットオフ:0.25mm
測定速度:0.06mm/s。
In Examples 11 to 13, 15, and 16, the surface of the coating layer was polished by a brush wrap using a brush with diamond abrasive grains of # 3000. The surface roughness of the coating layer was adjusted by the polishing time. In Examples 27 to 30 and Comparative Example 3, the coating layer was not polished. The surface roughness of the coating layer on the probe portion, the lower end of the shoulder portion, and the side surface before and after surface polishing was measured with a stylus type surface roughness meter. The measurement conditions are as follows, and the measurement results of the surface roughness of each part before and after the polishing treatment are shown in the column of “Surface roughness Ra” in Table 1.
Evaluation length: 1.25mm
Cut-off: 0.25mm
Measurement speed: 0.06 mm / s.

<摩擦攪拌接合用ツールの評価>
各実施例および各比較例の摩擦攪拌接合用ツールのそれぞれについて、下記に示す条件で鋼板2枚を重ね合わせて点接合(スポットFSJ)を行なうことにより、耐摩耗性を評価した。
被接合材:1.2mm厚の980MPa級高張力鋼
ツール回転数:1500rpm
接合荷重:1300kgf
接合時間:2.0秒。
<Evaluation of friction stir welding tool>
For each of the friction stir welding tools of each Example and each Comparative Example, wear resistance was evaluated by performing point joining (spot FSJ) by superposing two steel sheets under the conditions shown below.
Joined material: 1.2 mm thick 980 MPa class high strength steel tool rotation speed: 1500 rpm
Bonding load: 1300kgf
Joining time: 2.0 seconds.

該評価は、1000スポットの点接合を行なった後に、プローブ部の直径を測定し、プローブ径の摩耗量(径の減少量)を測定することにより行なった。かかる耐摩耗性の評価結果を表2の「プローブ径変化量」の欄に示す。プローブ径変化量の値が小さいほど、耐摩耗性が優れていることを示している。また、接合開始初期の品質を確認するため、1スポット目から5スポット目で被接合材の接合部にバリが発生しているかを目視で確認した。目視でバリを確認できた場合、表2の「1〜5スポットのバリ発生」の欄に「あり」を記し、目視でバリを確認できなかった場合、表2の「1〜5スポットのバリ発生」の欄に「なし」を記した。   The evaluation was performed by measuring the diameter of the probe portion after spot bonding of 1000 spots and measuring the wear amount of the probe diameter (a decrease in diameter). The evaluation results of the wear resistance are shown in the column “Change in probe diameter” in Table 2. The smaller the probe diameter change value, the better the wear resistance. Moreover, in order to confirm the quality at the initial stage of joining, it was visually confirmed whether or not burrs were generated in the joined portions of the materials to be joined at the first to fifth spots. When the burr is confirmed visually, “Yes” is entered in the column of “1-5 spot burr generation” in Table 2, and when the burr is not confirmed visually, “1-5 spot burr” in Table 2 is displayed. “None” was entered in the “Occurrence” column.

Figure 2013071164
Figure 2013071164

表2から明らかなように、実施例1〜30の摩擦攪拌接合用ツールは、プローブ径の変化量が0.02mm以下であることから、ほとんど摩耗が生じておらず、耐摩耗性に優れていることがわかる。また、実施例1〜30の摩擦攪拌接合用ツールはいずれも、接合初期の1〜5スポットの接合においてバリが発生していないため、接合初期から接合の品質が安定していることがわかる。   As is apparent from Table 2, the friction stir welding tools of Examples 1 to 30 have almost no wear and excellent wear resistance because the amount of change in probe diameter is 0.02 mm or less. I understand that. Moreover, since all the tools for friction stir welding of Examples 1-30 did not generate | occur | produce the burr | flash in 1-5 spot joining of the joining initial stage, it turns out that the quality of joining is stable from the joining initial stage.

一方、比較例1は、被覆層の厚みが2.6μmと薄すぎるため、耐摩耗性が悪く、1000スポット後のプローブの摩耗量が大きくなった。比較例2は、被覆層の厚みが52.4μmと厚すぎたため、被覆層の応力が高く、表面研磨処理のときに被覆層が剥離したため評価対象とならなかった。   On the other hand, in Comparative Example 1, since the thickness of the coating layer was too thin at 2.6 μm, the wear resistance was poor, and the wear amount of the probe after 1000 spots was large. In Comparative Example 2, since the thickness of the coating layer was too thick at 52.4 μm, the stress of the coating layer was high, and the coating layer was peeled off during the surface polishing treatment, and thus was not evaluated.

比較例3は、被覆層を研磨しなかったために、被覆層の表面粗さが粗く、接合加工時に被接合材との摩擦による発熱が大きくなり、摩擦攪拌接合用ツールの温度が上がりすぎたために、3スポット目で摩擦攪拌接合用ツールに大きな亀裂が発生して破損した。また、比較例3では、接合初期の5スポットまでの接合で、被接合材の接合部にバリが生じていた。バリの発生は、接合加工時に発熱が大きいことに起因して、被接合材が軟化しすぎて摩擦攪拌接合用ツールのショルダー部まで被接合材に押し込まれたことによるものと考えられる。   In Comparative Example 3, since the coating layer was not polished, the surface roughness of the coating layer was rough, and heat generation due to friction with the materials to be joined during the joining process increased, and the temperature of the friction stir welding tool increased excessively. A large crack occurred in the friction stir welding tool at the third spot and it was damaged. Moreover, in the comparative example 3, the burr | flash produced in the junction part of the to-be-joined material by joining to 5 spots of joining initial stage. The occurrence of burrs is considered to be due to the fact that the material to be joined was softened too much and was pushed into the material to be joined to the shoulder of the friction stir welding tool due to the large amount of heat generated during the joining process.

比較例4は、被覆層の研磨時間が短く、研磨後の面粗さが0.297μmと粗すぎたため、摩擦攪拌接合用ツールの発熱が大きく、436スポット時点で摩擦攪拌接合用ツールに亀裂が発生して破損した。また、比較例4では、接合初期の5スポットまでの接合で、被接合材の接合部にバリが生じていた。バリの発生は、接合加工時に発熱が大きいことに起因して、被接合材が軟化しすぎて摩擦攪拌接合用ツールのショルダー部まで被接合材に押し込まれたことによるものと考えられる。   In Comparative Example 4, since the polishing time of the coating layer was short and the surface roughness after polishing was too rough, 0.297 μm, the friction stir welding tool generated a large amount of heat, and the friction stir welding tool cracked at 436 spots. Occurred and damaged. Moreover, in the comparative example 4, the burr | flash produced in the junction part of the to-be-joined material by joining to 5 spots of the joining initial stage. The occurrence of burrs is considered to be due to the fact that the material to be joined was softened too much and was pushed into the material to be joined to the shoulder of the friction stir welding tool due to the large amount of heat generated during the joining process.

以上の結果、実施例1〜30の本発明に係る摩擦攪拌接合用ツールは、比較例1〜4の摩擦攪拌接合用ツールに比し、接合開始初期から安定した接合強度および接合品質が得られ、かつ優れた耐久性を有することを確認した。   As a result of the above, the friction stir welding tool according to the present invention of Examples 1 to 30 has a stable joining strength and joining quality from the beginning of joining compared to the friction stir welding tool of Comparative Examples 1 to 4. And, it was confirmed that it had excellent durability.

以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。   Although the embodiments and examples of the present invention have been described as described above, it is also planned from the beginning to appropriately combine the configurations of the above-described embodiments and examples.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

1 摩擦攪拌接合用ツール、2 基材、3 被覆層、4 プローブ部、5 円柱部、6 ショルダー部、7 チャック部。   1 Friction stir welding tool, 2 base material, 3 coating layer, 4 probe part, 5 cylinder part, 6 shoulder part, 7 chuck part.

Claims (7)

基材と、該基材上の少なくとも被接合材に接触する部位に形成された被覆層とを含む摩擦攪拌接合用ツールであって、
前記被覆層のうちの少なくとも一層は、物理蒸着法で形成されたものであり、
前記被接合材に接触する部位における前記被覆層は、3μm以上50μm以下の厚みであり、かつ0.005μm以上0.2μm以下の表面粗さRaである、摩擦攪拌接合用ツール。
A friction stir welding tool comprising a base material and a coating layer formed on a part of the base material that contacts at least a material to be joined,
At least one of the coating layers is formed by physical vapor deposition,
The tool for friction stir welding, wherein the coating layer in a portion in contact with the material to be joined has a thickness of 3 μm to 50 μm and a surface roughness Ra of 0.005 μm to 0.2 μm.
前記被接合材に接触する部位における前記被覆層は、0.01μm以上0.1μm以下の表面粗さRaである、請求項1に記載の摩擦攪拌接合用ツール。   2. The friction stir welding tool according to claim 1, wherein the coating layer in a portion in contact with the material to be joined has a surface roughness Ra of 0.01 μm or more and 0.1 μm or less. 前記被接合材に接触する部位における前記被覆層は、前記被覆層を形成した後に表面を研磨処理したものである、請求項1または2に記載の摩擦攪拌接合用ツール。   3. The friction stir welding tool according to claim 1, wherein the coating layer in a portion in contact with the material to be bonded has a surface polished after the coating layer is formed. 4. 前記被接合材に接触する部位における前記被覆層において、ショルダー部の側面の表面粗さは、プローブ部の表面粗さよりも大きい、請求項1〜3のいずれかに記載の摩擦攪拌接合用ツール。   The friction stir welding tool according to any one of claims 1 to 3, wherein a surface roughness of a side surface of the shoulder portion is larger than a surface roughness of the probe portion in the covering layer in a portion in contact with the material to be bonded. 前記被接合材に接触する部位における前記被覆層において、プローブ部の表面粗さは、ショルダー部の下端の表面粗さの値以上である、請求項1〜4のいずれかに記載の摩擦攪拌接合用ツール。   The friction stir welding according to any one of claims 1 to 4, wherein the surface roughness of the probe portion is equal to or greater than the value of the surface roughness of the lower end of the shoulder portion in the coating layer in the portion in contact with the material to be joined. Tools. 前記被覆層は、周期律表のIVa族元素、Va族元素、VIa族元素、Al、SiおよびBからなる群より選ばれる一種以上の元素と、炭素、窒素、酸素、および硼素からなる群より選ばれる一種以上の元素との化合物からなる、請求項1〜5のいずれかに記載の摩擦攪拌接合用ツール。   The coating layer includes one or more elements selected from the group consisting of group IVa elements, group Va elements, group VIa elements, Al, Si and B in the periodic table, and a group consisting of carbon, nitrogen, oxygen, and boron. The friction stir welding tool according to any one of claims 1 to 5, comprising a compound with one or more selected elements. 前記被覆層の少なくとも1層は、スパッタ蒸着法により形成されたものである、請求項1〜6のいずれかに記載の摩擦攪拌接合用ツール。   The friction stir welding tool according to any one of claims 1 to 6, wherein at least one of the coating layers is formed by a sputter deposition method.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016047376A1 (en) * 2014-09-25 2016-03-31 株式会社東芝 Friction stir welding tool member formed from silicon nitride sintered body and friction stir welding apparatus using same
JP2016047550A (en) * 2014-08-28 2016-04-07 三菱重工業株式会社 Tool for friction stir welding and device for friction stir welding
JPWO2014024474A1 (en) * 2012-08-06 2016-07-25 川崎重工業株式会社 Joining tool used for double-acting friction stir welding or double-acting friction stir spot welding and joining apparatus using the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002346812A (en) * 2001-05-25 2002-12-04 Ngk Spark Plug Co Ltd Cutting tool and tool with holder
US20020190100A1 (en) * 2001-06-15 2002-12-19 Duncan Frank Gordon Friction stir heating/welding with pin tool having rough distal region
EP1772224A2 (en) * 2005-10-06 2007-04-11 A.M. S.R.L. Method for manufacturing heat exchangers and heat exchangers thus obtained
JP2011011235A (en) * 2009-07-02 2011-01-20 Sumitomo Electric Ind Ltd Covered rotary tool

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002346812A (en) * 2001-05-25 2002-12-04 Ngk Spark Plug Co Ltd Cutting tool and tool with holder
US20020190100A1 (en) * 2001-06-15 2002-12-19 Duncan Frank Gordon Friction stir heating/welding with pin tool having rough distal region
EP1772224A2 (en) * 2005-10-06 2007-04-11 A.M. S.R.L. Method for manufacturing heat exchangers and heat exchangers thus obtained
JP2011011235A (en) * 2009-07-02 2011-01-20 Sumitomo Electric Ind Ltd Covered rotary tool

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2014024474A1 (en) * 2012-08-06 2016-07-25 川崎重工業株式会社 Joining tool used for double-acting friction stir welding or double-acting friction stir spot welding and joining apparatus using the same
JP2016047550A (en) * 2014-08-28 2016-04-07 三菱重工業株式会社 Tool for friction stir welding and device for friction stir welding
WO2016047376A1 (en) * 2014-09-25 2016-03-31 株式会社東芝 Friction stir welding tool member formed from silicon nitride sintered body and friction stir welding apparatus using same
JPWO2016047376A1 (en) * 2014-09-25 2017-07-06 株式会社東芝 Friction stir welding tool member made of silicon nitride sintered body and friction stir welding apparatus using the same
US10744592B2 (en) 2014-09-25 2020-08-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Friction stir welding tool member made of silicon nitride sintered body and friction stir welding apparatus using same

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