JP2013069851A

JP2013069851A - Surface treatment device

Info

Publication number: JP2013069851A
Application number: JP2011207160A
Authority: JP
Inventors: Masao Inoue; 将男井上
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 2011-09-22
Filing date: 2011-09-22
Publication date: 2013-04-18

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface treatment device capable of facilitating maintenance of a blowout nozzle even if the blowout nozzle is elongated in accordance with up-sizing of a workpiece.SOLUTION: The blowout nozzle 2 of a surface treatment device 1 extends in the width direction W while having an outlet 2c. The blowout nozzle 2 is divided into a first split nozzle 10 on the first side in the width direction W, and a second split nozzle 20 on the second side in the width direction W. The bonding surface 30 of the split nozzles 10, 20 has a pair of abutment surfaces 31, 32 shifted from each other in the width direction W, and a step 33 is formed between the abutment surfaces 31, 32. The split nozzles 10, 20 are divided into a pair of split nozzle members 11, 12, 23, 24 on both sides in the conveyance direction Y while holding the outlet 2c therebetween.

Description

この発明は、反応ガスを吹出ノズルからガラス基板等の被処理物に吹き付け、上記被処理物を表面処理する表面処理装置に関し、特に、大型の被処理物に適した吹出ノズルを有する表面処理装置に関する。 The present invention relates to a surface treatment apparatus for spraying a reaction gas from a blowing nozzle onto an object to be processed such as a glass substrate and surface-treating the object to be processed, and in particular, a surface processing apparatus having a blowing nozzle suitable for a large object to be processed. About.

ガラス基板等の被処理物に反応ガスを吹き付けてエッチング等の表面処理を行なう装置は公知である（特許文献１，２参照）。この種の表面処理装置には、反応ガスを被処理物に向けて吹き出すノズルが設けられている。 An apparatus for performing a surface treatment such as etching by spraying a reactive gas on an object to be treated such as a glass substrate is known (see Patent Documents 1 and 2). This type of surface treatment apparatus is provided with a nozzle that blows out a reaction gas toward an object to be treated.

特開２００７−２９４６４２号公報JP 2007-294642 A 特開２０１０−０８２４９４号公報JP 2010-0824494 A

近年、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造分野等では、ガラス基板等の被処理物が大型化する傾向にある。これに対応して、反応ガスを吹き出すノズルについても大型被処理物の巾寸法程度の長さにすることが求められている。一方、ノズルは、反応ガス中の反応成分との接触によって経年劣化していく。そのため、ある程度の期間使用したら劣化した部材を交換する等のメンテナンスが必要であるが、交換すべき部材が大型被処理物の巾寸法程度の長さを有していると、資材コストが嵩み、交換作業も容易でない。 In recent years, for example, in the field of manufacturing flat panel displays (FPD), objects to be processed such as glass substrates tend to increase in size. Correspondingly, the nozzle for blowing out the reaction gas is also required to have a length approximately equal to the width of the large workpiece. On the other hand, the nozzle deteriorates over time due to contact with reaction components in the reaction gas. For this reason, maintenance such as replacement of a deteriorated member is necessary after use for a certain period of time. However, if the member to be replaced has a length that is about the width of a large workpiece, the material cost increases. The replacement work is not easy.

上記問題点を解決するために、本発明は、反応ガスを巾方向に延びる吹出口から吹き出して、前記巾方向と直交する搬送方向に相対移動される被処理物に前記反応ガスを接触させる表面処理装置において、
前記吹出口を有して前記巾方向に延びる吹出ノズルを備え、
前記吹出ノズルが前記巾方向の第１側の第１分割ノズルと、前記巾方向の第２側の第２分割ノズルとに分割され、
前記第１、第２分割ノズルどうしの接合面が、前記巾方向に互いにずれた一対の当接面を有し、これら一対の当接面どうしの間に段差が形成され、
さらに、前記第１分割ノズル及び前記第２分割ノズルが、それぞれ前記吹出口を挟んで前記搬送方向の両側の一対の分割ノズル部材に分割されていることを特徴とする。
これによって、吹出ノズルのメンテナンスに際しては、劣化した部分を含む分割ノズル部材だけを交換すればよい。したがって、資材コストを低減でき、かつ交換する部材が短小な分だけ交換作業を容易化できる。ノズル内に汚れが付着したときの掃除も容易である。また、第１分割ノズルと第２分割ノズルの接合面を段差状にすることで、これらノズルの連結作業を容易化でき、連結精度を向上させることができる。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides a surface in which a reaction gas is blown out from a blowout port extending in the width direction, and the reaction gas is brought into contact with an object to be processed that is relatively moved in a conveyance direction orthogonal to the width direction. In the processing device,
A blow nozzle having the blow outlet and extending in the width direction;
The blowing nozzle is divided into a first divided nozzle on the first side in the width direction and a second divided nozzle on the second side in the width direction,
The joining surfaces of the first and second divided nozzles have a pair of contact surfaces that are shifted from each other in the width direction, and a step is formed between the pair of contact surfaces,
Further, the first divided nozzle and the second divided nozzle are each divided into a pair of divided nozzle members on both sides in the transport direction with the blowout port interposed therebetween.
Thus, when the blowout nozzle is maintained, only the divided nozzle member including the deteriorated portion needs to be replaced. Therefore, the material cost can be reduced, and the replacement work can be facilitated by the short parts to be replaced. It is easy to clean when dirt is deposited in the nozzle. Further, by making the joining surface of the first divided nozzle and the second divided nozzle stepped, the connecting operation of these nozzles can be facilitated, and the connecting accuracy can be improved.

ここで、前記第１分割ノズルの前記吹出口の内面を画成する面と、前記第２分割ノズルの前記段差を画成する面とが、互いに面一になっていてもよい。この構造によれば、吹出ノズルの組立の際は、前記第１分割ノズルの前記吹出口の内面を画成する面と、前記第２分割ノズルの前記段差を画成する面とを互いに面一になるよう揃えることで、第１、第２分割ノズルどうしを精度良く継ぎ足すことができる。
前記第１分割ノズル内の前記吹出口と前記第２分割ノズル内の前記吹出口とが前記搬送方向にずれていてもよい。 Here, the surface that defines the inner surface of the outlet of the first divided nozzle and the surface that defines the step of the second divided nozzle may be flush with each other. According to this structure, when the blow nozzle is assembled, the surface that defines the inner surface of the outlet of the first divided nozzle and the surface that defines the step of the second divided nozzle are flush with each other. By aligning the first and second nozzles, the first and second divided nozzles can be added with high accuracy.
The blower outlet in the first divided nozzle and the blower outlet in the second divided nozzle may be shifted in the transport direction.

前記吹出口における前記第１分割ノズル内に設けられた部分と前記第２分割ノズル内に設けられた部分とが前記巾方向に一直線に連なり、前記第１、第２分割ノズルにおける前記吹出口よりも前記搬送方向の互いに同じ側に配置された分割ノズル部材どうしの接合面が、前記一対の当接面を含んでいてもよい。この構造によれば、吹出ノズルと被処理物との間の反応ガス流を前記巾方向に均一化できる。 A portion provided in the first divided nozzle and a portion provided in the second divided nozzle in the blowout port are connected in a straight line in the width direction, and from the blowout port in the first and second divided nozzles. In addition, the joint surfaces of the divided nozzle members arranged on the same side in the transport direction may include the pair of contact surfaces. According to this structure, the reaction gas flow between the blowing nozzle and the workpiece can be made uniform in the width direction.

前記吹出ノズルが、前記第１分割ノズルと前記第２分割ノズルとに跨ってこれら第１、第２分割ノズルを連結する継部材を更に備え、前記継部材が、前記吹出口を挟んで前記搬送方向の両側の一対の分割継部材に分割されていてもよい。この構造によれば、第１分割ノズルと第２分割ノズルの接合面どうしがぴったり合わさっていなくても、継部材によって第１、第２分割ノズルを確実に連結できる。第１、第２分割ノズルの接合面どうし間に加工誤差や組み立て誤差によって隙間ができても、その隙間を継部材によって塞ぐことができ、封止性を向上できる。したがって、ノズル構成部材の加工の要求精度を緩和でき、嵌め合わせ作業を容易に行なうことができる。 The blow-out nozzle further includes a joint member that connects the first and second divided nozzles across the first divided nozzle and the second divided nozzle, and the joint member sandwiches the blow-out port and carries the transport. It may be divided into a pair of split joint members on both sides in the direction. According to this structure, even if the joining surfaces of the first divided nozzle and the second divided nozzle do not fit together, the first and second divided nozzles can be reliably connected by the joint member. Even if a gap is formed between the joint surfaces of the first and second divided nozzles due to a processing error or an assembly error, the gap can be closed by the joint member, and the sealing performance can be improved. Therefore, the required accuracy of processing of the nozzle constituent member can be relaxed, and the fitting operation can be easily performed.

前記第１分割ノズル又は前記第２分割ノズルにおける前記一対の分割ノズル部材どうしの間に環状のスペーサが挟まれ、且つ前記一対の分割ノズル部材どうしが、前記環状のスペーサ内を通る連結ボルトにて連結されていることが好ましい。これによって、一対の分割ノズル部材どうしの間隔を維持しながら。これら一対の分割ノズル部材どうしを連結できる。吹出口内の連結ボルトを環状スペーサで包むことで、連結ボルトが反応ガスに触れて劣化するのを防止できる。環状スペーサを小さくすることで、反応ガスの流れに及ぼす影響を小さくできる。
前記環状スペーサ及びボルトは、前記接合面の近くに配置することが好ましい。第１、第２分割ノズルの前記巾方向の長さによっては、前記環状スペーサ及びボルトを第１分割ノズル又は第２分割ノズルの前記巾方向の中間部に１又は複数設けてもよい。 An annular spacer is sandwiched between the pair of divided nozzle members in the first divided nozzle or the second divided nozzle, and the pair of divided nozzle members are connected by bolts passing through the annular spacer. It is preferable that it is connected. As a result, the distance between the pair of divided nozzle members is maintained. The pair of divided nozzle members can be connected to each other. By wrapping the connecting bolt in the outlet with an annular spacer, it is possible to prevent the connecting bolt from touching the reaction gas and deteriorating. By reducing the annular spacer, the influence on the flow of the reaction gas can be reduced.
The annular spacer and the bolt are preferably disposed near the joint surface. Depending on the length of the first and second divided nozzles in the width direction, one or a plurality of the annular spacers and bolts may be provided in the intermediate portion of the first divided nozzle or the second divided nozzle in the width direction.

本発明は、大気圧近傍下で行なう表面処理に好適である。前記反応ガスは大気圧近傍下で原料ガスをプラズマ化することによって生成することが好ましい。ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０^４〜５０．６６３×１０^４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０^４〜１０．６６４×１０^４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０^４〜１０．３９７×１０^４Ｐａがより好ましい。 The present invention is suitable for surface treatment performed near atmospheric pressure. The reaction gas is preferably generated by converting the raw material gas into plasma under atmospheric pressure. Here, the vicinity of the atmospheric pressure refers to a range of 1.013 × 10 ^{4 to} 50.663 × 10 ⁴ Pa, and considering the ease of pressure adjustment and the simplification of the apparatus configuration, 1.333 × 10 ⁴ to 10.664 × 10 ⁴ Pa is preferable, and 9.331 × 10 ^{4 to} 10.9797 × 10 ⁴ Pa is more preferable.

本発明によれば、被処理物の大型化に対応して吹出ノズルが長大化しても、その構成部材を短くできる。更には、吹出口を挟んで両側部分を互いに別々の部材にて構成できる。したがって、吹出ノズルのメンテナンスに際して、劣化した部分を含む構成部材だけを交換すればよく、資材コストを低減でき、かつ交換作業を容易化できる。ノズル内に汚れが付着したときの掃除も容易である。加えて、第１分割ノズルと第２分割ノズルの接合面を段差状にすることで、これら第１、第２分割ノズルの連結作業を容易化でき、連結精度を向上させることができる。 According to the present invention, even if the blowout nozzle is lengthened corresponding to the increase in size of the workpiece, the constituent members can be shortened. Furthermore, both sides can be comprised with a mutually different member on both sides of a blower outlet. Therefore, in maintenance of the blowout nozzle, only the constituent member including the deteriorated portion needs to be replaced, so that the material cost can be reduced and the replacement work can be facilitated. It is easy to clean when dirt is deposited in the nozzle. In addition, by making the joint surface of the first divided nozzle and the second divided nozzle stepped, the connecting operation of these first and second divided nozzles can be facilitated, and the connecting accuracy can be improved.

本発明の第１実施形態に係る表面処理装置を示す平面図である。It is a top view which shows the surface treatment apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う上記表面処理装置の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the said surface treatment apparatus which follows the II-II line of FIG. 上記表面処理装置のノズルの接合部を図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿って示す平面断面図である。It is a plane sectional view showing a joined part of a nozzle of the above-mentioned surface treatment device along a III-III line of FIG. 上記表面処理装置のノズルの斜視図である。It is a perspective view of the nozzle of the said surface treatment apparatus. 本発明の第２実施形態に係る表面処理装置を示す平面図である。It is a top view which shows the surface treatment apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 上記第２実施形態に係る表面処理装置のノズルの斜視図である。It is a perspective view of the nozzle of the surface treatment apparatus according to the second embodiment. 本発明の第３実施形態に係る表面処理装置を示す平面図である。It is a top view which shows the surface treatment apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う上記表面処理装置のノズルの正面断面図である。It is front sectional drawing of the nozzle of the said surface treatment apparatus which follows the VIII-VIII line of FIG. 上記第３実施形態に係る表面処理装置のノズルの斜視図である。It is a perspective view of the nozzle of the surface treatment apparatus according to the third embodiment. 上記第１実施形態に係るノズルの接合構造の変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of the joining structure of the nozzle which concerns on the said 1st Embodiment. 上記第２実施形態に係るノズルの接合構造の変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of the joining structure of the nozzle which concerns on the said 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１〜図４は、本発明の第１実施形態を示したものである。図１及び図２に示す被処理基板９は、例えばフラットパネルディスプレイ等の半導体装置になるべきガラス基板である。ガラス基板９は、ＳｉＯ_２等のシリコン含有物を主成分として含み、四角形の平板状をなしている。ガラス基板９のＷ方向（巾方向、図１の上下方向）の寸法は、１１００ｍｍ〜１５００ｍｍ程度であり、ガラス基板９のＸ方向（巾方向と直交する搬送方向、図１の左右方向）の寸法は、１３００ｍｍ〜１８００ｍｍ程度である。ガラス基板９の厚さは、例えば０．５ｍｍ〜０．７ｍｍ程度である。この実施形態では、表面処理装置１によってガラス基板９の裏面（下面）を軽く粗化（ライトエッチング）する。なお、ガラス基板９の処理対象面は、裏面に限られず、おもて面であってもよい。ここで、ガラス基板９のおもて面とは、絶縁層、導電層、半導体層等の各種電子素子層が設けられるべき側の面を言う。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 to 4 show a first embodiment of the present invention. A substrate 9 to be processed shown in FIGS. 1 and 2 is a glass substrate to be a semiconductor device such as a flat panel display. The glass substrate 9 includes a silicon-containing material such as SiO ₂ as a main component, and has a rectangular flat plate shape. The dimension of the glass substrate 9 in the W direction (width direction, vertical direction in FIG. 1) is about 1100 mm to 1500 mm, and the dimension of the glass substrate 9 in the X direction (conveying direction orthogonal to the width direction, horizontal direction in FIG. 1). Is about 1300 mm to 1800 mm. The thickness of the glass substrate 9 is, for example, about 0.5 mm to 0.7 mm. In this embodiment, the back surface (lower surface) of the glass substrate 9 is lightly roughened (light etching) by the surface treatment apparatus 1. In addition, the process target surface of the glass substrate 9 is not restricted to a back surface, A front surface may be sufficient. Here, the front surface of the glass substrate 9 refers to a surface on which various electronic element layers such as an insulating layer, a conductive layer, and a semiconductor layer are to be provided.

図１及び図２に示すように、表面処理装置１は、吹出ノズル２と、外筺３を備えている。外筺３は、第１筺体３ａと、第２筺体３ｂに分割されている。各筺体３ａ，３ｂは、上面が開口された箱状になっている。第１筺体３ａは、相対的にＷ方向の第１側（図１の下側）に配置され、第２筺体３ｂは、相対的にＷ方向の第２側（図１の上側）に配置されている。これら筺体３ａ，３ｂの互いに向き合う壁どうしが突き当てられ、ボルト（図示省略）等の連結手段にて連結されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the surface treatment apparatus 1 includes a blowing nozzle 2 and an outer casing 3. The outer casing 3 is divided into a first casing 3a and a second casing 3b. Each housing 3a, 3b has a box shape with an upper surface opened. The first housing 3a is relatively disposed on the first side in the W direction (lower side in FIG. 1), and the second housing 3b is disposed relatively on the second side in the W direction (upper side in FIG. 1). ing. The walls 3a and 3b facing each other face each other and are connected by connecting means such as bolts (not shown).

筺体３ａ，３ｂの上方に天板３ｃが配置されている。天板３ｃは、外筺３のＷ方向の両側の端壁の上端部によって支持されている。図示は省略するが、天板３ｃには温調手段が組み込まれている。例えば、上記温調手段は、プレートヒータにて構成されている。或いは、上記天板３ｃの内部に冷却水等の温調媒体を通す温調路が形成されることで、この温調路が温調手段を構成していてもよい。 A top plate 3c is disposed above the housings 3a and 3b. The top plate 3c is supported by the upper ends of the end walls on both sides of the outer casing 3 in the W direction. Although illustration is omitted, temperature control means is incorporated in the top plate 3c. For example, the temperature control means is constituted by a plate heater. Alternatively, a temperature control path for passing a temperature control medium such as cooling water may be formed inside the top plate 3c, and this temperature control path may constitute a temperature control means.

図１に示すように、外筺３の内部に吹出ノズル２が収容されている。図４に示すように、吹出ノズル２の全体形状は、Ｗ方向に長く延びる概略直方体になっている。図１に示すように、吹出ノズル２のＷ方向の長さは、被処理基板９のＷ方向の寸法より少し大きい。図２に示すように、吹出ノズル２の平らな上面が天板３ｃと対向している。天板３ｃの下面と吹出ノズル２の上面との間に処理空間４が形成されている。被処理基板９が、Ｘ方向に搬送され、処理空間４に通される。 As shown in FIG. 1, the blowing nozzle 2 is accommodated in the outer casing 3. As shown in FIG. 4, the overall shape of the blowing nozzle 2 is a substantially rectangular parallelepiped that extends long in the W direction. As shown in FIG. 1, the length of the blow nozzle 2 in the W direction is slightly larger than the dimension of the substrate 9 to be processed in the W direction. As shown in FIG. 2, the flat upper surface of the blowout nozzle 2 faces the top plate 3c. A processing space 4 is formed between the lower surface of the top plate 3 c and the upper surface of the blowout nozzle 2. The substrate 9 to be processed is transported in the X direction and passed through the processing space 4.

図４に示すように、吹出ノズル２には、吹出口２ｃが設けられている。吹出口２ｃは、吹出ノズル２の全長にわたって設けられている。吹出口２ｃの上端部が、吹出ノズル２の上面に達している。 As shown in FIG. 4, the outlet nozzle 2 is provided with the outlet nozzle 2c. The outlet 2c is provided over the entire length of the outlet nozzle 2. The upper end portion of the outlet 2 c reaches the upper surface of the outlet nozzle 2.

図２に示すように、吹出ノズル２の下側には、ガス均一化部５が設けられている。吹出ノズル２がガス均一化部５を介して外筺３の底部に支持されている。詳細な図示は省略するが、ガス均一化部５は、Ｗ方向に延びるチャンバー、Ｗ方向に延びるスリット、Ｗ方向に分散して配置された多数の小孔等からなるガス均一化路を含む。反応ガス供給源６からの反応ガス供給路６ａがガス均一化路の上流端に連なっている。ガス均一化路の下流端に吹出口２ｃが連なっている。供給路６ａからのガスが、ガス均一化路を通過することによってＷ方向に均一化される。均一化後のガスが吹出口２ｃの下端部に導入される。このガスが吹出口２ｃを通り、吹出口２ｃから処理空間４へ吹き出される。 As shown in FIG. 2, a gas homogenizer 5 is provided below the blow nozzle 2. The blowout nozzle 2 is supported on the bottom of the outer casing 3 through the gas homogenizing unit 5. Although not shown in detail, the gas homogenizer 5 includes a gas homogenization path including a chamber extending in the W direction, slits extending in the W direction, and a large number of small holes distributed in the W direction. A reaction gas supply path 6a from the reaction gas supply source 6 is connected to the upstream end of the gas homogenization path. An outlet 2c is connected to the downstream end of the gas homogenization path. The gas from the supply path 6a is homogenized in the W direction by passing through the gas homogenization path. The gas after the homogenization is introduced into the lower end of the outlet 2c. This gas passes through the outlet 2c and is blown out from the outlet 2c to the processing space 4.

上記供給源６からの反応ガスは、表面処理の内容に応じた反応成分を含む。この実施形態の反応成分は、ＨＦ、ＣＯＦ_２、Ｆ^＊等のフッ素系反応成分にて構成されている。反応ガス供給源６は、例えば、互いに対向する一対の電極６ｅ，６ｅを含む。これら電極６ｅ，６ｅどうしの間に電界を印加することで、大気圧近傍のプラズマ放電が生成される。この電極間のプラズマ放電空間６ｐに原料ガスが供給されてプラズマ化される。原料ガスは、フッ素含有化合物と、水素含有化合物と、放電生成ガスとを含む。フッ素含有化合物としては、ＣＦ_４、Ｃ_２Ｆ_４、Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_３Ｆ_６、Ｃ_３Ｆ_８等の他のＰＦＣ（パーフルオロカーボン）や、ＣＨＦ_３、ＣＨ_２Ｆ_２、ＣＨ_３Ｆ等のＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）が挙げられ、その他、ＳＦ_６、ＮＦ_３、ＸｅＦ_２等が挙げられる。ここでは、フッ素含有化合物としてＣＦ_４が用いられている。水素含有化合物としては、水、アルコール（ＯＨ基含有化合物）、過酸化水素等が挙げられる。ここでは、水素含有化合物として、Ｈ_２Ｏが用いられている。放電生成ガスとしては、Ａｒ、Ｈｅ等の希ガスや、窒素が挙げられる。ここでは、放電生成ガスとして、Ｎ_２が用いられている。放電生成ガスは、フッ素含有化合物濃度を希釈する希釈ガスとしての機能、並びにフッ素含有化合物及び水素含有化合物を吹出ノズル２へ搬送するキャリアガスとしての機能をも併有している。上記原料ガスがプラズマ放電空間６ｐにおいてプラズマ化されることで、ＨＦ等のフッ素系反応成分を含む反応ガスが生成される。 The reaction gas from the supply source 6 contains a reaction component corresponding to the content of the surface treatment. The reaction component of this embodiment is composed of fluorine-based reaction components such as HF, COF ₂ and F ^* . The reactive gas supply source 6 includes, for example, a pair of electrodes 6e and 6e facing each other. By applying an electric field between these electrodes 6e, 6e, plasma discharge near atmospheric pressure is generated. A raw material gas is supplied into the plasma discharge space 6p between the electrodes to be turned into plasma. The source gas includes a fluorine-containing compound, a hydrogen-containing compound, and a discharge product gas. Fluorine-containing compounds include CF ₄ , C ₂ F ₄ , C ₂ F ₆ , C ₃ F ₆ , C ₃ F ₈ and other PFCs (perfluorocarbons), CHF ₃ , CH ₂ F ₂ , CH ₃ F HFC (hydrofluorocarbon) such as SF ₆ , NF ₃ , XeF _{2 and the} like can be given. Here, CF ₄ is used as the fluorine-containing compound. Examples of the hydrogen-containing compound include water, alcohol (OH group-containing compound), hydrogen peroxide, and the like. Here, H ₂ O is used as the hydrogen-containing compound. Examples of the discharge product gas include rare gases such as Ar and He, and nitrogen. Here, N ₂ is used as the discharge product gas. The discharge generated gas has both a function as a dilution gas for diluting the fluorine-containing compound concentration and a function as a carrier gas for conveying the fluorine-containing compound and the hydrogen-containing compound to the blowing nozzle 2. The source gas is turned into plasma in the plasma discharge space 6p, thereby generating a reaction gas containing a fluorine-based reaction component such as HF.

吹出ノズル２の構造を更に詳述する。
図１及び図４に示すように、吹出ノズル２は、第１分割ノズル１０と、第２分割ノズル２０とに分割されている。第１分割ノズル１０は、Ｗ方向の第１側（図１において下側）に配置され、第２分割ノズル２０は、Ｗ方向の第２側（第１側とは反対側、図１において上側）に配置されている。第１分割ノズル１０と第２分割ノズル２０がＷ方向に一列に並べられ、かつ互いに分離可能に接合されている。分割ノズル１０，２０の上面（処理空間４の底部を画成する面）は互いに面一になっている。第１分割ノズル１０のＸ方向の各側面と、第２分割ノズル２０のＸ方向の同じ側の側面とは、互いに面一になっている。 The structure of the blowing nozzle 2 will be further described in detail.
As shown in FIGS. 1 and 4, the blowing nozzle 2 is divided into a first divided nozzle 10 and a second divided nozzle 20. The first divided nozzle 10 is arranged on the first side in the W direction (the lower side in FIG. 1), and the second divided nozzle 20 is the second side in the W direction (the side opposite to the first side, the upper side in FIG. 1). ). The 1st division | segmentation nozzle 10 and the 2nd division | segmentation nozzle 20 are arranged in a line in the W direction, and are mutually joined so that isolation | separation is possible. The upper surfaces of the divided nozzles 10 and 20 (surfaces that define the bottom of the processing space 4) are flush with each other. Each side surface in the X direction of the first divided nozzle 10 and the side surface on the same side in the X direction of the second divided nozzle 20 are flush with each other.

図１及び図４に示すように、第１分割ノズル１０と第２分割ノズル２０の接合面３０は段差状になっている。すなわち、接合面３０は、Ｗ方向にずれた一対の当接面３１，３２を有している。これら当接面３１，３２どうし間に段差３３が形成されている。第１の当接面３１は、相対的にＷ方向の第１側に位置している。第２の当接面３２は、相対的にＷ方向の第２側に位置している。分割ノズル１０，２０の第１当接面３１を構成する面どうしが、互いに突き当てられている。かつ、分割ノズル１０，２０の第２当接面３２を構成する面どうしが、互いに突き当てられている。 As shown in FIGS. 1 and 4, the joint surface 30 between the first divided nozzle 10 and the second divided nozzle 20 has a stepped shape. That is, the joint surface 30 has a pair of contact surfaces 31 and 32 that are shifted in the W direction. A step 33 is formed between the contact surfaces 31 and 32. The first contact surface 31 is relatively located on the first side in the W direction. The second contact surface 32 is relatively positioned on the second side in the W direction. The surfaces constituting the first contact surface 31 of the divided nozzles 10 and 20 are abutted against each other. And the surface which comprises the 2nd contact surface 32 of the division | segmentation nozzles 10 and 20 is mutually abutted.

さらに、第１分割ノズル１０及び第２分割ノズル２０は、それぞれ吹出口２ｃを挟んでＸ方向の両側の一対の分割ノズル部材に分割されている。詳述すると、図１及び図４に示すように、第１分割ノズル１０は、第１の分割ノズル部材１１と、第２の分割ノズル部材１２とに分割されている。これら分割ノズル部材１１，１２が、間隙１０ｃを挟んで平行に並べられている。間隙１０ｃは、吹出口２ｃにおけるＷ方向の中央部より第１側の部分を構成する。第２分割ノズル２０は、第３の分割ノズル部材２３と、第４の分割ノズル部材２４とに分割されている。これら分割ノズル部材２３，２４が、間隙２０ｃを挟んで平行に並べられている。間隙２０ｃは、吹出口２ｃにおけるＷ方向の中央部より第２側の部分を構成する。第３分割ノズル部材２３は、吹出口２ｃよりも第１分割ノズル部材１１と同じ側に配置されている。第４分割ノズル部材２４は、吹出口２ｃよりも第２分割ノズル部材１２と同じ側に配置されている。４つの分割ノズル部材１１，１２，２３，２４は、反応ガスに対して耐性が高いフッ素系樹脂等の樹脂にて構成されている。 Furthermore, the 1st division | segmentation nozzle 10 and the 2nd division | segmentation nozzle 20 are each divided | segmented into a pair of division | segmentation nozzle member of the both sides of a X direction on both sides of the blower outlet 2c. More specifically, as shown in FIGS. 1 and 4, the first divided nozzle 10 is divided into a first divided nozzle member 11 and a second divided nozzle member 12. These divided nozzle members 11 and 12 are arranged in parallel across the gap 10c. The gap 10c constitutes a portion on the first side from the central portion in the W direction at the air outlet 2c. The second divided nozzle 20 is divided into a third divided nozzle member 23 and a fourth divided nozzle member 24. These divided nozzle members 23 and 24 are arranged in parallel across the gap 20c. The gap 20c constitutes a portion on the second side from the central portion in the W direction at the air outlet 2c. The third divided nozzle member 23 is disposed on the same side as the first divided nozzle member 11 with respect to the outlet 2c. The fourth divided nozzle member 24 is disposed on the same side as the second divided nozzle member 12 with respect to the outlet 2c. The four divided nozzle members 11, 12, 23, and 24 are made of a resin such as a fluorine resin that has high resistance to the reaction gas.

図１及び図４に示すように、各分割ノズル部材１１，１２，２３，２４の概略形状は、それぞれＷ方向に長い直方体形状をなしている。第１分割ノズル部材１１は、第２分割ノズル部材１２よりＷ方向に長く、第２分割ノズル部材１２よりもＷ方向の第２側に突出している。第３分割ノズル部材２３と第４分割ノズル部材２４のＷ方向の長さは互いに等しく、これら分割ノズル部材２３，２４の第１側（ノズル２の中央側）の端面が面一に揃えられている。また、第３分割ノズル部材２３の第１側の端部には、切欠凹部２５が形成されている。切欠凹部２５は、第３分割ノズル部材２３の第１側の端面及び間隙２０ｃとは反対側の側面に達している。切欠凹部２５のＷ方向の第２側の内面２５ｂと、間隙２０ｃ側の内面２５ｃとは直角に交差している。 As shown in FIGS. 1 and 4, each of the divided nozzle members 11, 12, 23, and 24 has a rectangular parallelepiped shape that is long in the W direction. The first divided nozzle member 11 is longer in the W direction than the second divided nozzle member 12, and protrudes to the second side in the W direction from the second divided nozzle member 12. The lengths of the third divided nozzle member 23 and the fourth divided nozzle member 24 in the W direction are equal to each other, and the end surfaces on the first side (the center side of the nozzle 2) of the divided nozzle members 23 and 24 are aligned. Yes. Further, a notch recess 25 is formed at the first side end of the third divided nozzle member 23. The notch recess 25 reaches the end surface on the first side of the third divided nozzle member 23 and the side surface opposite to the gap 20c. The inner surface 25b on the second side in the W direction of the notch recess 25 and the inner surface 25c on the gap 20c side intersect at a right angle.

第１分割ノズル部材１１のＷ方向の第２側の端部（部材１２よりも第２側に突出する部分）が、切欠凹部２５に挿入され、内面２５ｂに突き当てられている。これら部材１１，２３の互いに突き当てられた面が、第２当接面３２を構成している。分割ノズル部材１１，２３どうしがボルト等にて連結されていてもよい。 An end portion on the second side in the W direction of the first divided nozzle member 11 (a portion protruding to the second side from the member 12) is inserted into the notch recess 25 and abutted against the inner surface 25b. The surfaces of these members 11 and 23 that are abutted against each other constitute a second contact surface 32. The divided nozzle members 11 and 23 may be connected by bolts or the like.

第３、第４分割ノズル部材２３，２４の第１側の互いに面一をなす端面には、第２分割ノズル部材１２の第２側の端面が突き当てられている。これら部材１２及び２３，２４の互いに突き当てられた面が、第１当接面３１を構成している。分割ノズル部材１２，２４どうしがボルト等にて連結されていてもよい。 The end surface on the second side of the second divided nozzle member 12 is abutted against the end surfaces that are flush with each other on the first side of the third and fourth divided nozzle members 23 and 24. The surfaces of these members 12, 23, and 24 that are abutted against each other constitute a first contact surface 31. The divided nozzle members 12 and 24 may be connected by bolts or the like.

第１分割ノズル部材１１のＸ方向の寸法は、第２分割ノズル部材１２のＸ方向の寸法より小さく、これら部材１１，１２間の間隙１０ｃがＸ方向の一側（図１において左）に偏って配置されている。第３分割ノズル部材２３のＸ方向の寸法は、第４分割ノズル部材２４のＸ方向の寸法より大きく、これら部材２３，２４間の間隙２０ｃが、Ｘ方向の他側（図１において右）に偏って配置されている。したがって、吹出口２ｃにおける第１分割ノズル１０内に設けられた部分１０ｃと第２分割ノズル２０内に設けられた部分２０ｃとが、Ｘ方向にずれている。 The dimension of the first divided nozzle member 11 in the X direction is smaller than the dimension of the second divided nozzle member 12 in the X direction, and the gap 10c between these members 11 and 12 is biased to one side in the X direction (left in FIG. 1). Are arranged. The dimension of the third divided nozzle member 23 in the X direction is larger than the dimension of the fourth divided nozzle member 24 in the X direction, and the gap 20c between these members 23 and 24 is on the other side in the X direction (right in FIG. 1). They are biased. Therefore, the part 10c provided in the 1st division | segmentation nozzle 10 in the blower outlet 2c and the part 20c provided in the 2nd division | segmentation nozzle 20 have shifted | deviated to the X direction.

図３に示すように、第２分割ノズル部材１２における間隙１０ｃ側の面（吹出口２ｃの内面を画成する面）と、第３分割ノズル部材２３の切欠凹部２５の内面２５ｃ（段差３３を画成する面）とは、互いに面一になっている。上記内面２５ｃと、第１分割ノズル部材１１の切欠凹部２５に挿入された部分との間には、間隙１０ｄが形成されている。間隙１０ｄは、第１、第２分割ノズル部材１１，１２間の間隙１０ｃに一直線に連なり、吹出口２ｃのＷ方向の中央部分を構成している。 As shown in FIG. 3, the surface of the second divided nozzle member 12 on the gap 10 c side (the surface defining the inner surface of the outlet 2 c) and the inner surface 25 c (the step 33 of the notch recess 25 of the third divided nozzle member 23). The surface to be defined is flush with each other. A gap 10d is formed between the inner surface 25c and a portion of the first divided nozzle member 11 inserted into the notch recess 25. The gap 10d is connected to the gap 10c between the first and second divided nozzle members 11 and 12 in a straight line, and constitutes the central portion of the outlet 2c in the W direction.

図１に示すように、分割ノズル部材１１，１２の第１側の端部どうし間には、平板状のスペーサ４１が挟まれている。分割ノズル部材２３，２４の第２側の端部どうし間には、別の平板状のスペーサ４１が挟まれている。分割ノズル部材２３，２４の第１側（接合面３０の近く）の端部どうし間には、平板状のスペーサ４２が挟まれている。スペーサ４２は、切欠凹部２５のＷ方向の寸法と同じ大きさの巾を有している。スペーサ４２によって、間隙２０ｃのうち間隙１０ｄとＸ方向に重複する部分が埋められている。これら平板スペーサ４１，４２は、反応ガスに対して耐性が高いフッ素系樹脂等の樹脂にて構成されている。 As shown in FIG. 1, a plate-like spacer 41 is sandwiched between the first side ends of the divided nozzle members 11 and 12. Another flat plate-like spacer 41 is sandwiched between the second side ends of the divided nozzle members 23 and 24. A flat spacer 42 is sandwiched between the end portions of the divided nozzle members 23 and 24 on the first side (near the joining surface 30). The spacer 42 has the same width as the dimension of the notch recess 25 in the W direction. The spacer 42 fills a portion of the gap 20c that overlaps the gap 10d in the X direction. The flat plate spacers 41 and 42 are made of a resin such as a fluorine-based resin having high resistance to the reaction gas.

図３に示すように、分割ノズル部材１１，１２どうし間の第２側（接合面３０の近く）の端部には、環状のスペーサ４３が設けられている。環状スペーサ４３の外径は、後記連結ボルト５３の脚部の外径より少し大きい程度であり、平板スペーサ４１，４２の大きさに比べると十分に小さい。環状スペーサ４３は、軸線をＸ方向に向け、その軸方向の両端部が分割ノズル部材１１，１２にそれぞれ埋め込まれている。環状スペーサ４３は、反応ガスに対して耐性が高いフッ素系樹脂等の樹脂にて構成されている。これら平板スペーサ４１，４２及び環状スペーサ４３によって間隙１０ｃ，２０ｃの厚みが確保されている。 As shown in FIG. 3, an annular spacer 43 is provided at the end of the second side (near the joining surface 30) between the divided nozzle members 11 and 12. The outer diameter of the annular spacer 43 is slightly larger than the outer diameter of the leg portion of the connecting bolt 53 described later, and is sufficiently smaller than the size of the flat plate spacers 41 and 42. The annular spacer 43 has its axis line in the X direction, and both end portions in the axial direction are embedded in the divided nozzle members 11 and 12, respectively. The annular spacer 43 is made of a resin such as a fluorine-based resin that is highly resistant to the reaction gas. The flat spacers 41 and 42 and the annular spacer 43 ensure the thickness of the gaps 10c and 20c.

図１に示すように、分割ノズル部材１１，１２の第１側の端部どうしは、連結ボルト５１によって連結されている。分割ノズル部材２３，２４の第２側の端部どうしは、別の連結ボルト５１によって連結されている。図３に示すように、分割ノズル部材２３，２４の第１側（接合面３０の側）の端部どうしは、別の連結ボルト５１によって連結されている。これら連結ボルト５１は、それぞれ平板スペーサ４１，４２を貫通している。したがって、連結ボルト５１が反応ガスに直接的に触れることはない。 As shown in FIG. 1, the first side ends of the divided nozzle members 11 and 12 are connected by a connecting bolt 51. The end portions on the second side of the divided nozzle members 23 and 24 are connected by another connecting bolt 51. As shown in FIG. 3, the ends of the divided nozzle members 23, 24 on the first side (the side of the joint surface 30) are connected by another connecting bolt 51. These connecting bolts 51 penetrate the flat plate spacers 41 and 42, respectively. Therefore, the connecting bolt 51 does not touch the reaction gas directly.

図３に示すように、分割ノズル部材１１，１２の第２側（接合面３０の側）の端部どうしは、連結ボルト５３によって連結されている。連結ボルト５３は、環状スペーサ４３の中心穴に通されている。したがって、連結ボルト５３が反応ガスに直接的に触れることはない。
なお、第１分割ノズル１０又は第２分割ノズル２０のＷ方向の中間部にも、環状スペーサ４３及び連結ボルト５３を設けることにしてもよい。 As shown in FIG. 3, the ends of the divided nozzle members 11, 12 on the second side (joint surface 30 side) are connected by a connecting bolt 53. The connecting bolt 53 is passed through the center hole of the annular spacer 43. Therefore, the connecting bolt 53 does not touch the reaction gas directly.
In addition, you may decide to provide the annular spacer 43 and the connecting bolt 53 also in the intermediate part of the 1st divided nozzle 10 or the 2nd divided nozzle 20 in the W direction.

分割ノズル１０，２０のＸ方向の両側の側部にそれぞれ鍔６０が設けられている。鍔６０の上面は分割ノズル１０，２０の上面と面一になっている。鍔６０によって、処理空間４が吹出ノズル２のＸ方向の両側に延長されている。 Reeds 60 are provided on both sides of the divided nozzles 10 and 20 in the X direction. The upper surface of the flange 60 is flush with the upper surfaces of the divided nozzles 10 and 20. The treatment space 4 is extended on both sides of the blow nozzle 2 in the X direction by the flange 60.

鍔６０には収容穴６１が形成されている。収容穴６１には、円盤状の回転体６２が、軸線をＷ方向に向けて回転可能に取り付けられている。回転体６２の上端部が、吹出ノズル２の上面より僅かに突出している。回転体６２によって、被処理基板９が支持される。図示しない搬送手段によって被処理基板９がＸ方向に押されるのに伴い、回転体６２が、被処理基板９との摩擦によって回転することで被処理基板９をＸ方向に案内する。 A housing hole 61 is formed in the collar 60. A disc-shaped rotating body 62 is attached to the receiving hole 61 so as to be rotatable with its axis line directed in the W direction. The upper end portion of the rotating body 62 slightly protrudes from the upper surface of the blowing nozzle 2. The substrate 9 is supported by the rotating body 62. As the substrate 9 to be processed is pushed in the X direction by a conveying means (not shown), the rotating body 62 is rotated by friction with the substrate 9 to be guided, thereby guiding the substrate 9 to be processed in the X direction.

外筺３のＸ方向の両側の各壁の上端部と鍔６０の先端部との間に吸込み口７ｃが形成されている。処理空間４のＸ方向の両端部が、それぞれ吸込み口７ｃに連なっている。吸込み口７ｃは、外筺３の内側面と吹出ノズル２の外側面との間の吸込み路７ｄを介して排気路７ａに連なっている。排気路７ａが吸引排気手段７に接続されている。吸引排気手段７は、真空ポンプの他、スクラバ等の除害設備を含む。 A suction port 7 c is formed between the upper end of each wall on both sides in the X direction of the outer casing 3 and the tip of the flange 60. Both ends of the processing space 4 in the X direction are connected to the suction port 7c. The suction port 7 c is connected to the exhaust passage 7 a through a suction passage 7 d between the inner side surface of the outer casing 3 and the outer side surface of the blowout nozzle 2. The exhaust path 7 a is connected to the suction exhaust means 7. The suction exhaust means 7 includes a detoxification facility such as a scrubber in addition to a vacuum pump.

上記のように構成された表面処理装置１によって、被処理基板９を表面処理する方法を説明する。
被処理基板９を、図示しない搬送手段によってＸ方向に搬送し、処理空間４に通す。反応ガス供給源によってフッ素系原料ガスをプラズマ化して、ＨＦ等のフッ素系反応成分を含む反応ガスを生成する。この反応ガスを、供給路６ａを介してガス均一化部５に導入する。ガス均一化部５は、反応ガスをＷ方向に均一化する。この反応ガスを吹出口２ｃから処理空間４へ吹き出す。反応ガスの吹出し流は、Ｗ方向に均一な流れになる。この反応ガスが、処理空間４内の被処理基板９の下面に接触する。そして、反応ガス中の水分子又は処理空間４内の雰囲気ガス中の水分子が、反応ガス中のＨＦと共に被処理基板９の下面に凝縮して、被処理基板９の下面にフッ酸凝縮層が形成される。このフッ酸が被処理基板９の下面の表層を構成するシリコン含有物と反応する。これによって、被処理基板９の下面を軽く粗化することができる。 A method for surface-treating the substrate 9 to be processed by the surface treatment apparatus 1 configured as described above will be described.
The substrate 9 to be processed is transported in the X direction by transport means (not shown) and is passed through the processing space 4. The reaction gas supply source converts the fluorine-based source gas into plasma to generate a reaction gas containing a fluorine-based reaction component such as HF. This reaction gas is introduced into the gas homogenizer 5 via the supply path 6a. The gas homogenizer 5 homogenizes the reaction gas in the W direction. This reaction gas is blown out from the outlet 2c to the processing space 4. The reactive gas blow-off flow is uniform in the W direction. This reaction gas contacts the lower surface of the substrate 9 to be processed in the processing space 4. Then, water molecules in the reaction gas or water molecules in the atmospheric gas in the processing space 4 are condensed on the lower surface of the substrate 9 to be processed together with HF in the reaction gas, and a hydrofluoric acid condensation layer is formed on the lower surface of the substrate 9 to be processed. Is formed. This hydrofluoric acid reacts with the silicon-containing material constituting the surface layer on the lower surface of the substrate 9 to be processed. Thereby, the lower surface of the substrate 9 to be processed can be lightly roughened.

併行して、天板３ｃに内蔵の温調手段によって被処理基板９を温調し、例えば被処理基板９の上面を少し加熱する。これによって、被処理基板９の上面にフッ酸凝縮層が形成されるのを抑制又は防止できる。ひいては、被処理基板９の上面（おもて面）が粗化処理されるのを抑制又は回避できる。 At the same time, the temperature of the substrate to be processed 9 is adjusted by the temperature adjusting means built in the top plate 3c, and for example, the upper surface of the substrate to be processed 9 is slightly heated. This can suppress or prevent the hydrofluoric acid condensed layer from being formed on the upper surface of the substrate 9 to be processed. As a result, it is possible to suppress or avoid the roughening of the upper surface (front surface) of the substrate 9 to be processed.

さらに、図示しない排気手段を駆動することで、処理済みの反応ガスを処理空間４のＸ方向の両端部から吸込み口７ｃに吸い込み、吸込み路７ｄ及び排気路７ａを順次経て排出する。 Further, by driving an exhaust means (not shown), the processed reaction gas is sucked into the suction port 7c from both ends of the processing space 4 in the X direction, and discharged through the suction path 7d and the exhaust path 7a in order.

表面処理装置１によれば、被処理基板９が大型であっても分割ノズル１０，２０をＷ方向に継ぎ足すことで、吹出ノズル２を大型の被処理基板９の巾寸法に対応する大きさにすることができる。これによって、被処理基板９のＷ方向の全域を一度に表面処理できる。吹出口２ｃからの吹き出し流をＷ方向に均一化することで、被処理基板９の表面処理の度合いをＷ方向に均一化できる。さらに、間隙２０ｃにおける間隙１０ｄとＸ方向に重複する部分を平板スペーサ４２にて埋めることで、表面処理の均一性を確実に確保できる。吹出口２ｃのＷ方向の中間部には小径の環状スペーサ４３を設けることで、スペーサ４３による反応ガスの流れへの影響を充分に小さくでき、反応ガス流の均一性を確保できる。 According to the surface treatment apparatus 1, even if the substrate 9 to be processed is large, by adding the divided nozzles 10, 20 in the W direction, the blow nozzle 2 has a size corresponding to the width of the large substrate 9 to be processed. Can be. As a result, the entire surface of the substrate 9 to be processed in the W direction can be surface-treated at once. By equalizing the blowing flow from the outlet 2c in the W direction, the degree of surface treatment of the substrate 9 to be processed can be made uniform in the W direction. Further, by filling a portion of the gap 20c that overlaps the gap 10d in the X direction with the flat plate spacer 42, it is possible to ensure the uniformity of the surface treatment. By providing a small-diameter annular spacer 43 at the intermediate portion in the W direction of the air outlet 2c, the influence of the spacer 43 on the flow of the reaction gas can be sufficiently reduced, and the uniformity of the reaction gas flow can be ensured.

吹出ノズル２がＷ方向に長大化しても、分割構造にすることで、その構成部材１１，１２，２３，２４を短くできる。したがって、吹出ノズル２のメンテナンスに際して、これら構成部材１１，１２，２３，２４のうち劣化した部分を含む部材だけを交換すればよく、資材コストを低減でき、かつ交換対象の部材が短小な分だけ交換作業を容易化できる。ノズル２の内部に汚れが付着したときの掃除も容易である。加えて、第１分割ノズル１０と第２分割ノズル２０の接合面３０を段差にすることで、これら分割ノズル１０，２０の嵌め合いが容易になる。すなわち、ノズル２の組立の際は、第１分割ノズル部材１１を第３分割ノズル部材２３の切欠凹部内面２５ｂに突き当て、かつ、第２分割ノズル部材１２を第３、第４分割ノズル部材２３，２４の第１側の端面に突き当てるとともに、第２分割ノズル部材１２の間隙１０ｃを画成する面と、第３分割ノズル部材２３の切欠凹部内面２５ｃとを面一に揃える。これによって、２つの分割ノズル１０，２０を精度良く継ぎ足すことができる。さらに、外筺３についても分割構造にすることで、その構成部材３ａ，３ｂを短くでき、メンテナンスを容易化できる。
４つの分割ノズル部材のうち３つの分割ノズル部材１１，１２，２４については、直方体形状に形成すればよく、分割ノズル部材１１，１２，２４自体に切欠凹部や段差を形成する必要がない。したがって、製作が容易であり、加工精度を高くできる。 Even if the blowing nozzle 2 is elongated in the W direction, the component members 11, 12, 23, and 24 can be shortened by using a divided structure. Therefore, when the blow nozzle 2 is maintained, it is only necessary to replace the member including the deteriorated part among these constituent members 11, 12, 23, 24, the material cost can be reduced, and the replacement target member is short. Exchange work can be facilitated. Cleaning when dirt is attached to the inside of the nozzle 2 is also easy. In addition, by making the joining surface 30 of the first divided nozzle 10 and the second divided nozzle 20 into a step, the fitting of the divided nozzles 10 and 20 becomes easy. That is, when the nozzle 2 is assembled, the first divided nozzle member 11 is abutted against the inner surface 25b of the notch recess of the third divided nozzle member 23, and the second divided nozzle member 12 is moved to the third and fourth divided nozzle members 23. 24, the surface defining the gap 10c of the second divided nozzle member 12 and the inner surface 25c of the notch recess of the third divided nozzle member 23 are flush with each other. Thus, the two divided nozzles 10 and 20 can be added with high accuracy. Furthermore, by forming the outer casing 3 into a divided structure, the constituent members 3a and 3b can be shortened, and maintenance can be facilitated.
Of the four divided nozzle members, the three divided nozzle members 11, 12, and 24 may be formed in a rectangular parallelepiped shape, and it is not necessary to form notch recesses or steps in the divided nozzle members 11, 12, and 24 themselves. Therefore, manufacture is easy and processing precision can be made high.

次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において既述の形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
図５及び図６は、本発明の第２実施形態を示したものである。第２実施形態では、吹出口２ｃが、ノズル２のＸ方向のちょうど中央部に配置され、かつノズル２のＷ方向の全長にわたって一直線に延びている。すなわち、吹出口２ｃにおける第１分割ノズル１０内に設けられた部分１０ｃと、第２分割ノズル１０内に設けられた部分２０ｃとが、Ｗ方向に一直線に連なっている。第１分割ノズル部材１１と第３分割ノズル部材２３のＷ方向の寸法は互いに等しく、これら部材１１，２３における吹出口２ｃの内面を画成する面どうしが面一になっている。第２分割ノズル部材１２と第４分割ノズル部材２４のＷ方向の寸法は互いに等しく、これら部材１２，２４における吹出口２ｃの内面を画成する面どうしが面一になっている。 Next, another embodiment of the present invention will be described. In the following embodiments, the same reference numerals are attached to the drawings for the same configurations as those already described, and the description thereof is omitted.
5 and 6 show a second embodiment of the present invention. In 2nd Embodiment, the blower outlet 2c is arrange | positioned in the exact center part of the X direction of the nozzle 2, and is extended in a straight line over the full length of the W direction of the nozzle 2. As shown in FIG. That is, the portion 10c provided in the first divided nozzle 10 and the portion 20c provided in the second divided nozzle 10 at the outlet 2c are connected in a straight line in the W direction. The dimensions of the first divided nozzle member 11 and the third divided nozzle member 23 in the W direction are equal to each other, and the surfaces that define the inner surface of the air outlet 2c in these members 11 and 23 are flush with each other. The dimensions of the second divided nozzle member 12 and the fourth divided nozzle member 24 in the W direction are equal to each other, and the surfaces defining the inner surface of the outlet 2c of these members 12 and 24 are flush with each other.

さらに、第２実施形態では、吹出口２ｃを挟んで両側の接合面３０ａ，３０ｂがそれぞれ段差状になっている。すなわち、吹出口２ｃよりもＸ方向の互いに同じ側に配置された分割ノズル部材どうしの接合面３０ａ，３０ｂが段差状になっている。詳述すると、図５に示すように、第１、第３分割ノズル部材１１，２３どうしの接合面３０ａは、一対の当接面３１ａ，３２ａを含む。これら当接面３１ａ，３２ａは、互いにＷ方向にずれており、これら当接面３１ａ，３２ａどうしの間に段差３３ｂが形成されている。同様に、第２、第４分割ノズル部材１２，２４どうしの接合面３０ｂは、一対の当接面３１ｂ，３２ｂを含む。これら当接面３１ｂ，３２ｂは、互いにＷ方向にずれており、これら当接面３１ｂ，３２ｂどうしの間に段差３３ｂが形成されている。 Furthermore, in 2nd Embodiment, the joint surfaces 30a and 30b of both sides are stepped shape on both sides of the blower outlet 2c. That is, the joint surfaces 30a and 30b between the divided nozzle members arranged on the same side in the X direction from the air outlet 2c are stepped. More specifically, as shown in FIG. 5, the joint surface 30a between the first and third divided nozzle members 11, 23 includes a pair of contact surfaces 31a, 32a. The contact surfaces 31a and 32a are shifted from each other in the W direction, and a step 33b is formed between the contact surfaces 31a and 32a. Similarly, the joint surface 30b between the second and fourth divided nozzle members 12 and 24 includes a pair of contact surfaces 31b and 32b. The contact surfaces 31b and 32b are shifted from each other in the W direction, and a step 33b is formed between the contact surfaces 31b and 32b.

図５に示すように、２つの接合面３０ａ，３０ｂは、吹出口２ｃに関して対称状になっている。何れの接合面３０ａ，３０ｂにおいても、第１側の当接面３１ａ，３１ｂがＸ方向の外側に位置し、第２側の当接面３２ａ，３２ｂがＸ方向の内側（吹出口２ｃの側）に位置している。 As shown in FIG. 5, the two joint surfaces 30a and 30b are symmetrical with respect to the air outlet 2c. In any of the joining surfaces 30a and 30b, the first contact surfaces 31a and 31b are located outside in the X direction, and the second contact surfaces 32a and 32b are arranged in the X direction (on the side of the outlet 2c). ).

図５に示すように、第１分割ノズル１０における第２側（接合面３０ａ，３０ｂの近く）の端部には、第１実施形態と同様の環状スペーサ４３及び連結ボルト５３が設けられている。環状スペーサ４３によって間隙１０ｃの厚みが確保され、かつボルト５３によって分割ノズル部材１１，１２どうしが連結されている。第２分割ノズル２０における第１側（接合面３０ａ，３０ｂの近く）の端部にも、同様の環状スペーサ４３及び連結ボルト５３が設けられ、間隙２０ｃの厚みが確保されるとともに、分割ノズル部材２３，２４どうしが連結されている。
なお、第１分割ノズル１０又は第２分割ノズル２０のＷ方向の中間部にも、環状スペーサ４３及び連結ボルト５３を設けることにしてもよい。 As shown in FIG. 5, an annular spacer 43 and a connecting bolt 53 similar to those of the first embodiment are provided at the end of the first divided nozzle 10 on the second side (near the joint surfaces 30a and 30b). . The thickness of the gap 10 c is secured by the annular spacer 43, and the divided nozzle members 11 and 12 are connected by the bolt 53. A similar annular spacer 43 and connecting bolt 53 are also provided at the end of the second divided nozzle 20 on the first side (near the joint surfaces 30a and 30b), and the thickness of the gap 20c is ensured and the divided nozzle member is also provided. 23 and 24 are connected.
In addition, you may decide to provide the annular spacer 43 and the connecting bolt 53 also in the intermediate part of the 1st divided nozzle 10 or the 2nd divided nozzle 20 in the W direction.

第２実施形態では、吹出口２ｃから吸込み口７ｃまでのＸ方向の距離をＷ方向の位置によらず一定にできる。したがって、排気バランスを向上させることができ、処理空間４における反応ガスの流れをＷ方向に確実に均一にすることができる。また、接合面３０ａ，３０ｂをそれぞれ段差状にすることで、これら接合面３０ａ，３０ｂの封止性を高めることができる。 In 2nd Embodiment, the distance of the X direction from the blower outlet 2c to the suction inlet 7c can be made constant irrespective of the position of a W direction. Therefore, the exhaust balance can be improved, and the flow of the reaction gas in the processing space 4 can be made uniform in the W direction. Moreover, the sealing performance of these joint surfaces 30a and 30b can be improved by making the joint surfaces 30a and 30b into steps.

図７〜図９は、本発明の第３実施形態を示したものである。
図７に示すように、第３実施形態は、第２実施形態（図５、図６）の吹出ノズル２に継部材７０が付加されている。図９に示すように、継部材７０は、ブロック状になっており、吹出ノズル２の上面のＷ方向の中央部に配置され、第１分割ノズル１０と第２分割ノズル２０とに跨っている。図８に示すように、継部材７０の第１分割ノズル１０に被さる部分が、ボルト５７にて第１分割ノズル１０に連結されている。継部材７０の第２分割ノズル２０に被される部分が、別のボルト５７にて第２分割ノズル２０に連結されている。第１分割ノズル１０と第２分割ノズル２０が継部材７０を介して連結されている。これらボルト５７は、吹出ノズル２の上方から継部材７０を通して分割ノズル１０，２０にねじ込まれている。
なお、ボルト５７が、吹出ノズル２の下方から分割ノズル１０，２０を通して継部材７０にねじ込まれていてもよい。 7 to 9 show a third embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 7, in the third embodiment, a joint member 70 is added to the blowing nozzle 2 of the second embodiment (FIGS. 5 and 6). As shown in FIG. 9, the joint member 70 has a block shape, is disposed at the center in the W direction on the upper surface of the blowing nozzle 2, and straddles the first divided nozzle 10 and the second divided nozzle 20. . As shown in FIG. 8, the portion of the joint member 70 that covers the first divided nozzle 10 is connected to the first divided nozzle 10 by a bolt 57. A portion of the joint member 70 covered by the second divided nozzle 20 is connected to the second divided nozzle 20 by another bolt 57. The first divided nozzle 10 and the second divided nozzle 20 are connected via a joint member 70. These bolts 57 are screwed into the divided nozzles 10 and 20 through the joint member 70 from above the blowing nozzle 2.
The bolt 57 may be screwed into the joint member 70 from below the blow nozzle 2 through the divided nozzles 10 and 20.

図８に示すように、第１分割ノズル１０の上面のＷ方向の第２側の部分には、凹部１７が形成されている。第２分割ノズル２０の上面のＷ方向の第１側の部分には、凹部２７が形成されている。第１分割ノズル１０と第２分割ノズル２０とが接合されることで、これら分割ノズル１０，２０の凹部１７，２７どうしが連続して一体になっている。この凹部１７，２７に継部材７０が嵌め込まれている。継部材７０の上面と分割ノズル１０，２０の上面とは、互いに面一になっている。継部材７０の上面は、分割ノズル１０，２０の上面と共に処理空間４の底部を画成する画成面を構成する。継部材７０のＸ方向の各側面と、分割ノズル１０，２０のＸ方向の同じ側の側面とは互いに面一になっている。
なお、継部材７０を、ノズル２の上面（反応ガスの吹出し側）に代えて、ノズル２の下面（反応ガスのノズル２への導入側）に設けてもよい。 As shown in FIG. 8, a concave portion 17 is formed in a portion on the second side in the W direction on the upper surface of the first divided nozzle 10. A concave portion 27 is formed in a portion on the first side in the W direction on the upper surface of the second divided nozzle 20. By joining the first divided nozzle 10 and the second divided nozzle 20, the concave portions 17 and 27 of the divided nozzles 10 and 20 are continuously integrated. A joint member 70 is fitted in the recesses 17 and 27. The upper surface of the joint member 70 and the upper surfaces of the divided nozzles 10 and 20 are flush with each other. The upper surface of the joint member 70 constitutes an defining surface that defines the bottom of the processing space 4 together with the upper surfaces of the divided nozzles 10 and 20. The side surfaces in the X direction of the joint member 70 and the side surfaces on the same side in the X direction of the divided nozzles 10 and 20 are flush with each other.
The joint member 70 may be provided on the lower surface (reaction gas introduction side to the nozzle 2) of the nozzle 2 instead of the upper surface (reaction gas blowing side) of the nozzle 2.

図７に示すように、継部材７０は、吹出口２ｃを挟んでＸ方向の両側の一対の分割継部材７１，７２に分割されている。第１の分割継部材７１は、第１分割ノズル部材１１と第３分割ノズル部材２３とに跨っている。２つの分割ノズル部材１１，２３が第１分割継部材７１を介して連結されている。第２の分割継部材７２は、第２分割ノズル部材１２と第４分割ノズル部材２４とに跨っている。２つの分割ノズル部材１２，２４が第２分割継部材７２を介して連結されている。 As shown in FIG. 7, the joint member 70 is divided into a pair of split joint members 71 and 72 on both sides in the X direction with the air outlet 2c interposed therebetween. The first split joint member 71 straddles the first split nozzle member 11 and the third split nozzle member 23. Two divided nozzle members 11 and 23 are connected via a first divided joint member 71. The second divided joint member 72 straddles the second divided nozzle member 12 and the fourth divided nozzle member 24. The two divided nozzle members 12 and 24 are connected via the second divided joint member 72.

図９に示すように、分割継部材７１，７２どうしの間に間隙７０ｃが形成されている。間隙７０ｃは、継部材７０のＷ方向の全長にわたって延びている。間隙７０ｃの上端部が、継部材７０の上面に開口している。間隙７０ｃの下端部及びＷ方向の両端部が、間隙１０ｃ，２０ｃに連なっている。これら間隙１０ｃ，２０ｃ，７０ｃによって、吹出口２ｃが構成されている。 As shown in FIG. 9, a gap 70 c is formed between the split joint members 71 and 72. The gap 70c extends over the entire length of the joint member 70 in the W direction. The upper end portion of the gap 70 c is open on the upper surface of the joint member 70. The lower end of the gap 70c and both ends in the W direction are connected to the gaps 10c and 20c. The air outlet 2c is constituted by the gaps 10c, 20c, and 70c.

第３実施形態では、第１分割ノズル１０と第２分割ノズル２０の接合面どうしがぴったり合わさっていなくても、継部材７０によって分割ノズル１０，２０を確実に連結できる。かつ分割ノズル１０，２０の接合面どうし間に誤差による隙間があっても、その隙間を継部材７０によって上方から塞ぐことができ、封止性を向上できる。したがって、ノズル２の各構成部材１１，１２，２３，２４の加工の要求精度を緩和でき、嵌め合わせ作業を容易に行なうことができる。 In the third embodiment, even if the joining surfaces of the first divided nozzle 10 and the second divided nozzle 20 are not exactly aligned, the divided nozzles 10 and 20 can be reliably connected by the joint member 70. Moreover, even if there is a gap due to an error between the joint surfaces of the divided nozzles 10 and 20, the gap can be closed from above by the joint member 70, and the sealing performance can be improved. Therefore, the required accuracy of processing of each component member 11, 12, 23, 24 of the nozzle 2 can be relaxed, and the fitting operation can be easily performed.

本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様を採用できる。
例えば、被処理物９は、ガラス基板に限られず、半導体ウェハや樹脂シート等でもよい。
吹出ノズルが、Ｗ方向に３つ以上のノズルに分割されていてもよい。その場合、これら３つ以上の分割ノズルのうちＷ方向に隣り合う２つの分割ノズルの一方が、第１分割ノズルを構成し、上記２つの分割ノズルの他方が、第２分割ノズルを構成する。
分割ノズル１０，２０の接合構造は、その接合面が段差状になっていればよく、種々の改変をなすことができる。例えば、図１０に示すように、第１実施形態の変形態様として、第２分割ノズル部材１２に代えて、第１分割ノズル部材１１における吹出口１０ｃの内面を画成する面と、第３分割ノズル部材２３の切欠凹部２５の段差画成面２５ｃとが面一をなし、第１分割ノズル部材１１の上記吹出口画成面の第２側の端部が、上記段差画成面２５ｃに当接していてもよい。
第２実施形態において、吹出口２ｃを挟んで両側の接合面３０ａ，３０ｂは必ずしも対称状でなくてもよい。例えば、図１１に示すように、片側の接合面３０ｂの第１当接面３１ｂがＸ方向の内側に配置され、かつ第２当接面３２ｂがＸ方向の外側に配置されていてもよい。
吹出口２ｃを挟んで両側の接合面３０ａ，３０ｂがＷ方向にずれていてもよい。
複数の実施形態を互いに組み合わせてもよい。例えば、第１実施形態の分割ノズル１０，２０についても継部材７０にて連結してもよい。
本発明は、エッチング（表面粗化）に限られず、洗浄、成膜、表面改質（撥水化、親水化を含む）等の種々の表面処理に適用できる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various aspects can be employed without departing from the spirit of the present invention.
For example, the workpiece 9 is not limited to a glass substrate, and may be a semiconductor wafer, a resin sheet, or the like.
The blowing nozzle may be divided into three or more nozzles in the W direction. In that case, one of two divided nozzles adjacent in the W direction among these three or more divided nozzles constitutes a first divided nozzle, and the other of the two divided nozzles constitutes a second divided nozzle.
The joining structure of the divided nozzles 10 and 20 only needs to have a stepped joining surface, and various modifications can be made. For example, as shown in FIG. 10, as a modification of the first embodiment, instead of the second divided nozzle member 12, a surface that defines the inner surface of the outlet 10c in the first divided nozzle member 11, and a third divided The step defining surface 25c of the notch recess 25 of the nozzle member 23 is flush with the step defining surface 25c, and the end of the first divided nozzle member 11 on the second side of the outlet defining surface is in contact with the step defining surface 25c. You may touch.
In the second embodiment, the joint surfaces 30a and 30b on both sides of the air outlet 2c are not necessarily symmetrical. For example, as shown in FIG. 11, the first contact surface 31b of the joint surface 30b on one side may be disposed inside the X direction, and the second contact surface 32b may be disposed outside the X direction.
The joint surfaces 30a and 30b on both sides may be displaced in the W direction across the air outlet 2c.
A plurality of embodiments may be combined with each other. For example, the split nozzles 10 and 20 of the first embodiment may be connected by the joint member 70.
The present invention is not limited to etching (surface roughening), but can be applied to various surface treatments such as cleaning, film formation, surface modification (including water repellency and hydrophilization).

本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ等の半導体装置の製造に適用できる。 The present invention can be applied to the manufacture of semiconductor devices such as flat panel displays.

１表面処理装置
２吹出ノズル
２ｃ吹出口
３外筺
３ａ第１筺体
３ｂ第２筺体
３ｃ天板
４処理空間
５ガス均一化部
６反応ガス供給源
６ａ反応ガス供給路
６ｅ電極
６ｐプラズマ化空間
７排気手段
７ａ排気路
７ｃ吸込み口
７ｄ吸込み路
９ガラス基板（被処理物）
１０第１分割ノズル
１０ｃ間隙（吹出口における第１分割ノズル内の部分）
１０ｄ間隙（吹出口の中央部分）
１１第１分割ノズル部材
１２第２分割ノズル部材
１７継部材収容凹部
２０第２分割ノズル
２０ｃ間隙（吹出口における第２分割ノズル内の部分）
２３第３分割ノズル部材
２４第４分割ノズル部材
２５切欠凹部
２５ｂ切欠凹部内面
２５ｃ切欠凹部の段差画成面
２７継部材収容凹部
３０接合面
３０ａ，３０ｂ接合面
３１当接面
３１ａ，３１ｂ当接面
３２当接面
３２ａ，３２ｂ接合面
３３段差
３３ａ，３３ｂ段差
４１，４２平板スペーサ
４３環状スペーサ
５１連結ボルト
５３環状スペーサ用連結ボルト
５７継部材連結ボルト
６０鍔
６１収容穴
６２回転体
７０継部材
７０ｃ間隙
７１第１分割継部材
７２第２分割継部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Surface treatment apparatus 2 Outlet nozzle 2c Outlet 3 Outer casing 3a First casing 3b Second casing 3c Top plate 4 Processing space 5 Gas homogenization part 6 Reactive gas supply source 6a Reactive gas supply path 6e Electrode 6p Plasmaizing space 7 Exhaust Means 7a Exhaust path 7c Suction port 7d Suction path 9 Glass substrate (object to be processed)
10 1st division | segmentation nozzle 10c clearance gap (the part in the 1st division | segmentation nozzle in a blower outlet)
10d gap (central part of outlet)
11 1st division | segmentation nozzle member 12 2nd division | segmentation nozzle member 17 Joint member accommodation recessed part 20 2nd division | segmentation nozzle 20c Space | gap (the part in the 2nd division | segmentation nozzle in a blower outlet)
23 3rd division nozzle member 24 4th division nozzle member 25 Notch recessed part 25b Notch recessed part inner surface 25c The level | step difference definition surface of a notch recessed part
27 Joint member accommodating recess 30 Joint surface 30a, 30b Joint surface 31 Contact surface 31a, 31b Contact surface 32 Contact surface 32a, 32b Joint surface 33 Step 33a, 33b Step 41, 42 Flat plate spacer 43 Annular spacer 51 Connecting bolt 53 Connecting bolt 57 for annular spacer Connecting member connecting bolt 60 鍔 61 Accommodating hole 62 Rotating body 70 Connecting member 70 c Gap 71 First divided connecting member 72 Second divided connecting member

Claims

In the surface treatment apparatus in which the reaction gas is blown out from the outlet extending in the width direction, and the reaction gas is brought into contact with an object to be processed that is relatively moved in the transport direction orthogonal to the width direction.
A blow nozzle having the blow outlet and extending in the width direction;
The blowing nozzle is divided into a first divided nozzle on the first side in the width direction and a second divided nozzle on the second side in the width direction,
The joining surfaces of the first and second divided nozzles have a pair of contact surfaces that are shifted from each other in the width direction, and a step is formed between the pair of contact surfaces,
Further, the surface treatment apparatus is characterized in that the first divided nozzle and the second divided nozzle are each divided into a pair of divided nozzle members on both sides in the transport direction with the blowout port interposed therebetween.

The surface defining the inner surface of the outlet of the first divided nozzle and the surface defining the step of the second divided nozzle are flush with each other. The surface treatment apparatus as described.

A portion provided in the first divided nozzle and a portion provided in the second divided nozzle in the blowout port are connected in a straight line in the width direction, and from the blowout port in the first and second divided nozzles. 2. The surface treatment device according to claim 1, wherein a joint surface between the divided nozzle members arranged on the same side in the transport direction includes the pair of contact surfaces.

The blow-out nozzle further includes a joint member that connects the first and second divided nozzles across the first divided nozzle and the second divided nozzle, and the joint member sandwiches the blow-out port and carries the transport. The surface treatment apparatus according to claim 1, wherein the surface treatment apparatus is divided into a pair of split joint members on both sides in the direction.

An annular spacer is sandwiched between the pair of divided nozzle members in the first divided nozzle or the second divided nozzle, and the pair of divided nozzle members are connected by bolts passing through the annular spacer. It is connected, The surface treatment apparatus of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned.