JP2013069547A - 放熱基板及びその製造方法並びにその放熱基板を用いた光半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放熱基板2’は、金属含浸グラファイト基材21、金属含浸グラファイト基材21の表面に形成された金属反射層22を備え、金属含浸グラファイト基材21の裏面をナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅の凸部及び凹部を有する凹凸構造21aとした。金属反射層22により高反射作用を維持すると共に、この凹凸構造21aにより放熱作用を著しく向上させることができる。
【選択図】 図2
Description
RFパワー:700W
スパッタガス(Ar)圧力:1Pa
Ar流量:約50sccm
スパッタ時間:6分
この結果、厚さ約1500ÅのAlよりなる金属反射層22が形成される。これにより得られる平均反射率は、図4に示すごとく、可視領域波長400〜800nmで約90%で高く維持できる。金属反射層22の形成後、必要に応じて、金属反射層22の表面に、増反射、腐食防止を目的としたコーティングを施してもよい。
RFパワー:250W
エッチングガス圧力:3.39Pa(30mTorr)
Cl2流量:70sccm
BCl3流量:20sccm
エッチング時間:15分
この結果、金属含浸グラファイト基材21の裏面における残渣Alは取除かれる。この場合、金属反射層22がエッチングされるのを防止するために、レジスト等よりなるマスクを金属反射層22上に形成してもよい。
RFパワー:500W
圧力:6.65Pa(50mTorr)
O2流量:150sccm
エッチング時間:30分
である。
2、2’:放熱基板
3:接合剤
4:蛍光体層
5:回転駆動部
21:金属含浸グラファイト基材
21a:凹凸構造
22:金属反射層
501:真空チャンバ
502:基板ホールダ
503:高周波電源
504:ガス導入口
505:ガス排出口
Claims (15)
- 金属含浸炭素系基材と、
該金属含浸炭素系基材の表面に設けられた金属反射層と
を具備し、
前記金属含浸炭素系基材の裏面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅の凸部及び凹部を有する第1の凹凸構造を形成した放熱基板。 - 前記第1の凹凸構造の高さはサブミクロメートルオーダ以上である請求項1に記載の放熱基板。
- さらに、前記第1の凹凸構造の幅より大きい不規則的幅の第2の凹凸構造を前記金属含浸炭素系基材の裏面に形成した請求項1に記載の放熱基板。
- 前記第2の凹凸構造はミクロメートルオーダ以上の幅の凸部及び凹部を有する請求項3に記載の放熱基板。
- 前記第2の凹凸構造の高さはミクロメートルオーダ以上である請求項4に記載の放熱基板。
- 金属含浸炭素系基材の表面に金属反射層を形成する金属反射層形成工程と、
前記金属含浸炭素系基材の裏面をナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅の凸部及び凹部を有する第1の凹凸構造に加工する第1の凹凸構造加工工程と
を具備する放熱基板の製造方法。 - 前記第1の凹凸構造の高さはサブミクロメートルオーダ以上である請求項6に記載の放熱基板の製造方法。
- 前記第1の凹凸構造加工工程はプラズマエッチング工程である請求項6に記載の放熱基板の製造方法。
- さらに、前記金属反射層形成工程の前に前記金属含浸炭素系基材の表面を機械的表面研磨法によって鏡面仕上げする鏡面仕上げ工程を具備する請求項6に記載の放熱基板の製造方法。
- さらに、前記第1の凹凸構造加工工程の前に前記金属含浸炭素系基材の裏面から前記金属反射層の残渣を取除く裏面前処理工程を具備する請求項6に記載の放熱基板の製造方法。
- さらに、前記第1の凹凸構造加工工程の前に、前記第1の凹凸構造の周期より大きい不規則的周期の第2の凹凸構造を前記金属含浸炭素系基材の裏面に加工する工程を具備する請求項6に記載の放熱基板の製造方法。
- 前記第2の凹凸構造はミクロメートルオーダ以上の幅の凸部及び凹部を有する請求項11に記載の放熱基板の製造方法。
- 前記第2の凹凸構造の高さはミクロメートルオーダ以上である請求項12に記載の放熱基板の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の放熱基板と、
該放熱基板の前記金属反射層上に形成された蛍光体層と、
前記蛍光体層及び前記放熱基板より空間的に離れて配置された発光素子と
を具備する光半導体装置。 - 前記蛍光体層の代りに蛍光体含有樹脂層を具備する請求項14に記載の光半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011207273A JP2013069547A (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 放熱基板及びその製造方法並びにその放熱基板を用いた光半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013069547A true JP2013069547A (ja) | 2013-04-18 |
JP2013069547A5 JP2013069547A5 (ja) | 2014-10-16 |
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ID=48475005
Family Applications (1)
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JP (1) | JP2013069547A (ja) |
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