JP2013064184A - Heat treatment facility and heat treatment method - Google Patents

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JP2013064184A
JP2013064184A JP2011204127A JP2011204127A JP2013064184A JP 2013064184 A JP2013064184 A JP 2013064184A JP 2011204127 A JP2011204127 A JP 2011204127A JP 2011204127 A JP2011204127 A JP 2011204127A JP 2013064184 A JP2013064184 A JP 2013064184A
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Japan
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chamber
carburizing
heat treatment
heating
cooling
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Kazuaki Okada
一晃 岡田
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Aisin AW Co Ltd
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Aisin AW Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat treatment facility and a heat treatment method which achieve good space efficiency.SOLUTION: The heat treatment facility 1 includes a first heating and carburizing chamber 10A and a second heating and carburizing chamber 10B, a first cooling chamber 12A and a second cooling chamber 12B, and a conveyance unit 28. A pair of the first heating and carburizing chamber 10A and the first cooling chamber 12A and a pair of the second heating and carburizing chamber 10B and the second cooling chamber 12B, which are arranged to face each other across a rail 26 on which the conveyance unit 28 moves, are plurally arranged along the rail 26. The conveyance unit 28 moves on the rail 26 and conveys objects to be treated W1-W4 to the first heating and carburizing chamber 10A and the second heating and carburizing chamber 10B respectively, and also conveys objects to be treated W1-W4 from the first heating and carburizing chamber 10A to the first cooling chamber 12A and from the second heating and carburizing chamber 10B to the second cooling chamber 12B.

Description

本発明は、高い強度が要求される歯車等の鋼部材に対し熱処理を行う熱処理設備および熱処理方法に関する。   The present invention relates to a heat treatment facility and a heat treatment method for performing heat treatment on steel members such as gears that require high strength.

特許文献1には、加熱室と浸炭室と冷却室とを直列に配置し、加熱室と浸炭室との間および浸炭室と冷却室との間に搬送室を配置した連続真空浸炭炉が開示されている。   Patent Document 1 discloses a continuous vacuum carburizing furnace in which a heating chamber, a carburizing chamber, and a cooling chamber are arranged in series, and a transfer chamber is arranged between the heating chamber and the carburizing chamber and between the carburizing chamber and the cooling chamber. Has been.

また、特許文献2には、レール上を移動可能な搬送ユニット上に受け渡しチャンバと保温チャンバが一体となって支持されており、当該保温チャンバは複数の熱処理チャンバと各々結合(ドッキング)することができる熱処理設備が開示されている。   In Patent Document 2, a delivery chamber and a heat insulation chamber are integrally supported on a transfer unit that can move on a rail, and the heat insulation chamber can be coupled (docked) to a plurality of heat treatment chambers. A heat treatment facility that can be used is disclosed.

特開2009−132980号公報JP 2009-132980 A 特開2008−170116号公報JP 2008-170116 A

しかしながら、特許文献1の連続真空浸炭炉は加熱室と浸炭室と冷却室と2つの搬送室を直列的に配置しているので、設備が大型化してしまう。そのため、工場内の限られた敷地の範囲内で設備を効率的に配置することができず、スペース効率が良くない。   However, since the continuous vacuum carburizing furnace of Patent Document 1 has a heating chamber, a carburizing chamber, a cooling chamber, and two transfer chambers arranged in series, the equipment becomes large. For this reason, the facilities cannot be efficiently arranged within the limited site in the factory, and the space efficiency is not good.

そこで、特許文献2の熱処理設備のように、搬送ユニット上に受渡チャンバと保温チャンバ(冷却室)とを一体として支持することが考えられる。ここで、浸炭、冷却、焼入れをこの順で行う熱処理を特許文献2の熱処理設備で行うことを想定する。この熱処理では被処理品に対し浸炭処理が終わると速やかに当該被処理品を冷却する必要があるので、加熱浸炭室の真向かいに冷却室を配置する必要がある。このとき、2つの加熱浸炭室に対し1つの冷却室を設けることも考えられるが、生産性の向上を考慮すると、2つの加熱浸炭室に各々対応するように2つの冷却室を設ける必要がある。   Then, like the heat treatment equipment of patent document 2, it is possible to support a delivery chamber and a heat retention chamber (cooling chamber) integrally on a conveyance unit. Here, it is assumed that the heat treatment in which carburization, cooling, and quenching are performed in this order is performed by the heat treatment equipment of Patent Document 2. In this heat treatment, when the carburizing process is finished on the article to be treated, it is necessary to cool the article to be treated promptly. Therefore, it is necessary to dispose a cooling chamber directly opposite the heating carburizing chamber. At this time, it is conceivable to provide one cooling chamber for the two heated carburizing chambers, but considering the improvement in productivity, it is necessary to provide two cooling chambers so as to correspond to the two heated carburizing chambers, respectively. .

すると、特許文献2の熱処理設備では受渡チャンバと保温チャンバとを一体にしているので、装入テーブルから2つの熱処理チャンバ(加熱浸炭室)に被処理品を搬送するための搬送ユニットと、熱処理チャンバと保温チャンバとの間で被処理品を搬送するための2つの搬送ユニット(受渡チャンバ)が必要になる。このように、合計3つの搬送ユニットが必要になってしまう。そのため、設備が大型化してしまう。   Then, since the delivery chamber and the heat insulation chamber are integrated in the heat treatment equipment of Patent Document 2, a transfer unit for transferring the workpiece from the charging table to the two heat treatment chambers (heating carburizing chamber), and the heat treatment chamber Two transfer units (delivery chambers) are required for transferring the workpieces between the heat transfer chamber and the heat insulation chamber. In this way, a total of three transport units are required. This increases the size of the equipment.

また、特許文献2の熱処理設備では受渡チャンバが保温チャンバと一体になっているので、搬送ユニットを移動させる際には保温チャンバの分だけ移動スペースを余分に設けておく必要がある。このことからも、設備が大型化してしまう。さらに、一方の保温チャンバは他方の保温チャンバを追い越すことができず、保温チャンバごとに被処理品の搬送経路を設ける必要がある。このことからも、設備がさらに大型化してしまう。   In addition, since the delivery chamber is integrated with the heat retaining chamber in the heat treatment facility of Patent Document 2, it is necessary to provide an extra moving space for the heat retaining chamber when moving the transfer unit. This also increases the size of the equipment. Furthermore, one of the heat retaining chambers cannot pass the other heat retaining chamber, and it is necessary to provide a conveyance path for the article to be processed for each heat retaining chamber. This also increases the size of the equipment.

このように、浸炭、冷却、焼入れをこの順で行う熱処理を特許文献2の熱処理システムで行うことを想定すると、設備が非常に大型化してしまう。さらに、安全柵で設備を囲う必要もあるので、工場内の限られた敷地の範囲内で設備を効率的に配置することができない。そのため、スペース効率が良くない。   As described above, assuming that the heat treatment in which carburization, cooling, and quenching are performed in this order is performed by the heat treatment system of Patent Document 2, the facility becomes very large. Furthermore, since it is necessary to enclose the facility with a safety fence, the facility cannot be efficiently arranged within the limited site in the factory. Therefore, space efficiency is not good.

そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、スペース効率が良くなる熱処理設備および熱処理方法を提供すること、を課題とする。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a heat treatment facility and a heat treatment method that improve space efficiency.

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、被処理品を加熱して前記被処理品に対し真空浸炭処理を行う加熱浸炭室と、前記真空浸炭処理が行われた前記被処理品を冷却する冷却室と、前記被処理品を前記加熱浸炭室へ搬送し、かつ、前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送する搬送ユニットとを有する熱処理設備において、前記搬送ユニットが移動する移動路を挟んで対向して配置される1対の前記加熱浸炭室と前記冷却室からなる加熱浸炭冷却機構が前記移動路に沿って複数配置されており、前記搬送ユニットは、前記移動路を移動して複数配置されている前記加熱浸炭冷却機構の各々の前記加熱浸炭室へ前記被処理品を搬送可能で、かつ、前記加熱浸炭冷却機構の各々において前記加熱浸炭室から前記冷却室へ前記被処理品を搬送可能であること、を特徴とする。   One aspect of the present invention made to solve the above problems is a heated carburizing chamber that heats a product to be processed and performs a vacuum carburizing process on the product to be processed, and the process that has been subjected to the vacuum carburizing process. Movement in which the transfer unit moves in a heat treatment facility having a cooling chamber for cooling a product and a transfer unit for transferring the article to be processed to the heating carburizing chamber and transferring from the heating carburizing chamber to the cooling chamber A plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of the heating carburizing chamber and the cooling chamber arranged to face each other across the path are arranged along the moving path, and the transport unit moves along the moving path. The plurality of the heated carburizing / cooling mechanisms disposed in the heating carburizing chamber can be transported to the heated carburizing chamber, and the heated carburizing / cooling mechanism can be transferred from the heated carburizing chamber to the cooling chamber. Processed goods It is possible transmission, characterized by.

この態様によれば、搬送ユニットが移動する移動路を挟んで対向して配置される1対の加熱浸炭室と冷却室からなる加熱浸炭冷却機構が移動路に沿って複数配置されている。そして、搬送ユニットは、移動路を移動して複数配置されている加熱浸炭冷却機構の各々の加熱浸炭室へ被処理品を搬送可能で、かつ、加熱浸炭冷却機構の各々において加熱浸炭室から冷却室へ被処理品を搬送可能である。これにより、搬送ユニットの数を少なくできるので、熱処理設備を小型化することができる。したがって、工場などの限られた敷地の範囲内で設備を効率的に配置することができるので、スペース効率が良くなる。   According to this aspect, a plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of heating carburizing chambers and cooling chambers arranged to face each other across the moving path on which the transport unit moves are arranged along the moving path. The transfer unit can transfer the workpieces to each of the heating carburizing chambers of the plurality of heating carburizing and cooling mechanisms arranged on the moving path, and can be cooled from the heating carburizing chamber in each of the heating carburizing and cooling mechanisms. The product to be processed can be transported to the chamber. Thereby, since the number of conveyance units can be reduced, heat treatment equipment can be reduced in size. Therefore, equipment can be efficiently arranged within a limited site such as a factory, so that space efficiency is improved.

上記の態様においては、前記加熱浸炭室にて前記被処理品に対し前記真空浸炭処理を行った後、前記搬送ユニットにより前記被処理品を前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送すること、が好ましい。   In said aspect, after performing the said vacuum carburizing process with respect to the said to-be-processed goods in the said heating carburizing chamber, the said to-be-processed goods are conveyed from the said heated carburizing chamber to the said cooling chamber by the said conveyance unit. preferable.

この態様によれば、加熱浸炭室にて被処理品に対し真空浸炭処理を行った後、搬送ユニットにより被処理品を加熱浸炭室から冷却室へ搬送する。このようにして、真空浸炭処理を行った被処理品を、加熱浸炭室から当該加熱浸炭室に対し搬送ユニットを挟んで対向するように配置されている冷却室へ速やかに搬送して冷却することができる。そのため、被処理品の表面に導入した炭素が被処理品の内部に拡散することを抑制して、被処理品の表面の表面炭素濃度が大きく減少することを防止することができる。したがって、被処理品の表面の高硬度化や高強度化を図ることができる。   According to this aspect, after performing the carburizing process on the article to be processed in the heating carburizing chamber, the article to be processed is transferred from the heating carburizing chamber to the cooling chamber by the transfer unit. In this way, the article to be processed that has been subjected to the vacuum carburizing process is quickly transported from the heating carburizing chamber to the cooling chamber disposed so as to face the heating carburizing chamber with the transport unit interposed therebetween, and then cooled. Can do. Therefore, it can suppress that the carbon introduce | transduced into the surface of the to-be-processed product diffuses inside the to-be-processed product, and can prevent the surface carbon concentration on the surface of the to-be-processed product from greatly decreasing. Therefore, it is possible to increase the hardness and strength of the surface of the article to be processed.

上記の態様においては、前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットと前記冷却室とを結合させて前記加熱浸炭室の内部と前記搬送ユニットの内部と前記冷却室の内部とを真空にした状態で、前記搬送ユニットにより前記被処理品を前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送すること、が好ましい。   In the above aspect, the heating carburizing chamber, the transfer unit, and the cooling chamber are combined, and the inside of the heating carburizing chamber, the inside of the transfer unit, and the inside of the cooling chamber are evacuated, It is preferable that the workpiece is transported from the heating carburizing chamber to the cooling chamber by a transport unit.

この態様によれば、加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させて加熱浸炭室の内部と搬送ユニットの内部と冷却室の内部とを真空にした状態で、搬送ユニットにより被処理品を加熱浸炭室から冷却室へ搬送する。そのため、被処理品を加熱浸炭室から冷却室へ速やかに搬送することができ、被処理品の表面に導入した炭素が被処理品の内部に拡散することをより確実に抑制して、被処理品の表面の表面炭素濃度が大きく減少することをより確実に防止することができる。したがって、被処理品の表面の高硬度化や高強度化をより確実に図ることができる。   According to this aspect, in the state where the heated carburizing chamber, the transfer unit, and the cooling chamber are combined and the inside of the heated carburizing chamber, the inside of the transfer unit, and the inside of the cooling chamber are evacuated, Transport from the heated carburizing chamber to the cooling chamber. Therefore, it is possible to quickly convey the article to be treated from the heating carburizing chamber to the cooling chamber, and more reliably suppress the carbon introduced into the surface of the article to be treated from diffusing inside the article to be treated. It is possible to more reliably prevent the surface carbon concentration on the surface of the product from being greatly reduced. Accordingly, it is possible to more reliably increase the hardness and strength of the surface of the article to be processed.

上記の態様においては、前記加熱浸炭室を前記搬送ユニットに向かって移動させて前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットを結合させた後に、結合させた前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットを前記冷却室に向かって移動させることにより、前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットと前記冷却室とを結合させること、が好ましい。   In the above aspect, after the heated carburizing chamber is moved toward the transfer unit to combine the heated carburizing chamber and the transfer unit, the combined heated carburization chamber and the transfer unit are moved to the cooling chamber. It is preferable that the heating carburizing chamber, the transfer unit, and the cooling chamber are coupled by moving the heating carburizing chamber.

この態様によれば、まず、加熱浸炭室を搬送ユニットに向かって移動させて加熱浸炭室と搬送ユニットを結合させる。そして、この後に、結合させた加熱浸炭室と搬送ユニットを冷却室に向かって移動させることにより、加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる。このように、加熱浸炭室と搬送ユニットを一方向に移動させるだけでよいので、加熱浸炭室と搬送ユニットとを移動させる機構および制御手法を簡素化できる。そのため、設備の構造の簡素化を図って、コストを低減することができる。   According to this aspect, first, the heated carburizing chamber is moved toward the transfer unit to couple the heated carburizing chamber and the transfer unit. Thereafter, the heated carburizing chamber and the transfer unit are moved toward the cooling chamber, thereby connecting the heated carburizing chamber, the transfer unit, and the cooling chamber. As described above, since the heated carburizing chamber and the transfer unit need only be moved in one direction, the mechanism and control method for moving the heated carburizing chamber and the transfer unit can be simplified. Therefore, it is possible to simplify the structure of the facility and reduce the cost.

上記の態様においては、前記加熱浸炭室と前記冷却室を各々前記搬送ユニットに向かって移動させることにより、前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットと前記冷却室とを結合させること、が好ましい。   In said aspect, it is preferable to couple | bond the said heating carburizing chamber, the said conveyance unit, and the said cooling chamber by moving the said heating carburizing chamber and the said cooling chamber toward the said conveyance unit, respectively.

この態様によれば、加熱浸炭室と冷却室を各々搬送ユニットに向かって移動させることにより、加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる。これにより、加熱浸炭室を搬送ユニットに向かって移動させながら、冷却室を搬送ユニットに向かって移動させることができる。そのため、加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる時間の短縮を図ることができる。したがって、熱処理に要する時間を短縮することができるので、生産性が向上する。   According to this aspect, the heated carburizing chamber, the transfer unit, and the cooling chamber are coupled by moving the heated carburizing chamber and the cooling chamber toward the transfer unit. Thereby, a cooling chamber can be moved toward a conveyance unit, moving a heating carburizing chamber toward a conveyance unit. Therefore, it is possible to reduce the time for combining the heating carburizing chamber, the transfer unit, and the cooling chamber. Accordingly, the time required for the heat treatment can be shortened, so that productivity is improved.

上記の態様においては、前記冷却室にて冷却した前記被処理品を前記加熱浸炭室が配置される側とは反対側から前記冷却室の外部に抽出すること、が好ましい。   In said aspect, it is preferable to extract the said to-be-processed item cooled in the said cooling chamber to the exterior of the said cooling chamber from the opposite side to the side by which the said heating carburizing chamber is arrange | positioned.

この態様によれば、冷却室にて冷却した被処理品を加熱浸炭室が配置される側とは反対側から前記冷却室の外部に抽出する。これにより、複数の加熱浸炭室の間や複数の冷却室の間に、被処理品を抽出する機構を配置する必要がなくなる。そのため、複数の加熱浸炭室の間隔や複数の冷却室の間隔を、小さくできる。したがって、スペース効率がさらに良くなる。また、被処理品に対し高周波焼入れを行う高周波焼入機との配置位置の組み合わせを、効率的に行うことができる。   According to this aspect, the article to be processed cooled in the cooling chamber is extracted to the outside of the cooling chamber from the side opposite to the side where the heated carburizing chamber is disposed. Thereby, it becomes unnecessary to arrange | position the mechanism which extracts a to-be-processed item between several heating carburizing chambers or between several cooling chambers. Therefore, the interval between the plurality of heating carburizing chambers and the interval between the plurality of cooling chambers can be reduced. Therefore, the space efficiency is further improved. Moreover, the combination of the arrangement position with the induction hardening machine which performs induction hardening with respect to a to-be-processed product can be performed efficiently.

上記の態様においては、前記加熱浸炭室は、前記被処理品の表面炭素濃度が0.9%以上となるように、前記被処理品に対し前記真空浸炭処理を行うこと、が好ましい。   In said aspect, it is preferable that the said heat carburizing chamber performs the said vacuum carburizing process with respect to the said to-be-processed product so that the surface carbon concentration of the said to-be-processed item may be 0.9% or more.

この態様によれば、加熱浸炭室は、被処理品の表面炭素濃度が0.9%以上となるように、被処理品に対し真空浸炭処理を行う。このように、本発明の熱処理設備を、被処理品の表面炭素濃度が高濃度になるように被処理品に対し真空浸炭処理を行う設備として利用することが考えられる。これにより、熱処理設備の小型化を図ってスペース効率を良くしながら、被処理品の表面炭素濃度が高濃度になるように被処理品に対し真空浸炭処理を行うことができる。   According to this aspect, the heat carburizing chamber performs the vacuum carburizing process on the product to be processed so that the surface carbon concentration of the product to be processed is 0.9% or more. Thus, it is conceivable to use the heat treatment equipment of the present invention as equipment for performing a vacuum carburizing process on a product to be treated so that the surface carbon concentration of the product to be treated becomes high. Thereby, the vacuum carburizing process can be performed on the product to be processed so that the surface carbon concentration of the product to be processed becomes high while reducing the size of the heat treatment equipment and improving the space efficiency.

上記の態様においては、前記被処理品に対し高周波焼入れを行う高周波焼入機を有し、
前記移動路に沿って前記加熱浸炭冷却機構と前記高周波焼入機とが並んで配置されており、前記搬送ユニットは、前記移動路を移動して前記高周波焼入機へ前記被処理品を搬送可能であること、が好ましい。
In the above aspect, it has an induction hardening machine that performs induction hardening on the article to be processed,
The heating carburizing / cooling mechanism and the induction hardening machine are arranged side by side along the moving path, and the transfer unit transfers the article to be processed to the induction hardening machine by moving the moving path. It is preferred that it be possible.

この態様によれば、被処理品に対し高周波焼入れを行う高周波焼入機を有している。そして、搬送ユニットの移動路に沿って加熱浸炭冷却機構と高周波焼入機とが並んで配置されている。さらに、搬送ユニットは、移動路を移動して高周波焼入機へ被処理品を搬送可能である。このようにして、高周波焼入機を熱処理設備の熱処理ラインに組み込ませている。これにより、スペース効率がさらに良くなる。   According to this aspect, it has the induction hardening machine which performs induction hardening with respect to to-be-processed goods. And the heating carburization cooling mechanism and the induction hardening machine are arrange | positioned along with the movement path of a conveyance unit. Further, the transport unit can transport the product to be processed to the induction hardening machine by moving the moving path. In this way, the induction hardening machine is incorporated in the heat treatment line of the heat treatment equipment. This further improves space efficiency.

上記課題を解決するためになされた本発明の他の態様は、被処理品を加熱して前記被処理品に対し真空浸炭処理を行う加熱浸炭室と、前記真空浸炭処理が行われた前記被処理品を冷却する冷却室と、前記被処理品を前記加熱浸炭室へ搬送し、かつ、前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送する搬送ユニットとを使用する熱処理方法において、前記搬送ユニットが移動する移動路を挟んで対向して配置される1対の前記加熱浸炭室と前記冷却室からなる加熱浸炭冷却機構が前記移動路に沿って複数配置されており、前記搬送ユニットが前記移動路を移動して複数配置されている前記加熱浸炭冷却機構の各々の前記加熱浸炭室へ前記被処理品を搬送し、かつ、前記搬送ユニットが前記加熱浸炭冷却機構の各々において前記加熱浸炭室から前記冷却室へ前記被処理品を搬送すること、を特徴とする。   Another aspect of the present invention, which has been made to solve the above-described problems, includes a heated carburizing chamber that heats an article to be treated and performs vacuum carburizing treatment on the article to be treated, and the article that has undergone the vacuum carburizing treatment. In a heat treatment method using a cooling chamber for cooling a processed product and a transfer unit for transferring the processed product to the heated carburizing chamber and transferring from the heated carburizing chamber to the cooling chamber, the transfer unit moves. A plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of the heated carburizing chamber and the cooling chamber that are arranged to face each other across the moving path are arranged along the moving path, and the transport unit moves the moving path through the moving path. The product to be processed is transferred to each of the heating carburizing chambers of each of the plurality of the heated carburizing and cooling mechanisms which are moved and the transfer unit is cooled from the heating carburizing chamber in each of the heating carburizing and cooling mechanisms. Room Conveying the said workpieces, characterized by.

この態様によれば、搬送ユニットが移動する移動路を挟んで対向して配置される1対の加熱浸炭室と冷却室からなる加熱浸炭冷却機構が移動路に沿って複数配置されている。そして、搬送ユニットは、移動路を移動して複数配置されている加熱浸炭冷却機構の各々の加熱浸炭室へ被処理品を搬送可能で、かつ、加熱浸炭冷却機構の各々において加熱浸炭室から冷却室へ被処理品を搬送可能である。これにより、搬送ユニットの数を少なくできるので、熱処理設備を小型化することができる。したがって、工場などの限られた敷地の範囲内で設備を効率的に配置することができるので、スペース効率が良くなる。   According to this aspect, a plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of heating carburizing chambers and cooling chambers arranged to face each other across the moving path on which the transport unit moves are arranged along the moving path. The transfer unit can transfer the workpieces to each of the heating carburizing chambers of the plurality of heating carburizing and cooling mechanisms arranged on the moving path, and can be cooled from the heating carburizing chamber in each of the heating carburizing and cooling mechanisms. The product to be processed can be transported to the chamber. Thereby, since the number of conveyance units can be reduced, heat treatment equipment can be reduced in size. Therefore, equipment can be efficiently arranged within a limited site such as a factory, so that space efficiency is improved.

本発明に係る熱処理設備および熱処理方法によれば、スペース効率が良くなる。   According to the heat treatment equipment and heat treatment method according to the present invention, space efficiency is improved.

本実施例の熱処理のヒートパターンを示す図である。It is a figure which shows the heat pattern of the heat processing of a present Example. 実施例1の熱処理設備の構成図である。1 is a configuration diagram of a heat treatment facility of Example 1. FIG. 実施例1の熱処理設備による熱処理工程を表したフローチャート図である。FIG. 3 is a flowchart showing a heat treatment process by the heat treatment facility of Example 1. 実施例1の熱処理設備による熱処理工程を表したフローチャート図である。FIG. 3 is a flowchart showing a heat treatment process by the heat treatment facility of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of each component of the heat treatment equipment for each heat treatment step of Example 1. 加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる例を示す図である。It is a figure which shows the example which couple | bonds a heating carburizing chamber, a conveyance unit, and a cooling chamber. 加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる例を示す図である。It is a figure which shows the example which couple | bonds a heating carburizing chamber, a conveyance unit, and a cooling chamber. 加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる例を示す図である。It is a figure which shows the example which couple | bonds a heating carburizing chamber, a conveyance unit, and a cooling chamber. 加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる例を示す図である。It is a figure which shows the example which couple | bonds a heating carburizing chamber, a conveyance unit, and a cooling chamber. 加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる例を示す図である。It is a figure which shows the example which couple | bonds a heating carburizing chamber, a conveyance unit, and a cooling chamber. 加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる例を示す図である。It is a figure which shows the example which couple | bonds a heating carburizing chamber, a conveyance unit, and a cooling chamber. 加熱浸炭室と搬送ユニットと冷却室とを結合させる例を示す図である。It is a figure which shows the example which couple | bonds a heating carburizing chamber, a conveyance unit, and a cooling chamber. 実施例2の熱処理設備の構成図である。It is a block diagram of the heat processing equipment of Example 2. 実施例2の熱処理設備による熱処理工程を表したフローチャート図である。It is a flowchart figure showing the heat processing process by the heat processing equipment of Example 2. FIG. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備の各構成部の配置図である。FIG. 6 is a layout diagram of each component of a heat treatment facility for each heat treatment step of Example 2. 実施例3の熱処理設備の構成図である。It is a block diagram of the heat processing equipment of Example 3.

以下、本発明を具体化した実施例について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

〔本実施例の熱処理の説明〕
例えば歯車のような高い表面硬度が求められる機械部品の熱処理として、浸炭、冷却、焼入れをこの順で行う処理(以下、本実施例の熱処理という)がある。ここで、図1は、本実施例の熱処理のヒートパターンを示す図である。そこで、本実施例の熱処理について説明する。
[Description of heat treatment of this example]
For example, as a heat treatment of a machine part that requires a high surface hardness such as a gear, there is a treatment in which carburization, cooling, and quenching are performed in this order (hereinafter referred to as heat treatment of this embodiment). Here, FIG. 1 is a figure which shows the heat pattern of the heat processing of a present Example. Therefore, the heat treatment of this embodiment will be described.

図1に示すように、まず、真空浸炭処理工程a1として、加熱浸炭室内を真空下で所定の浸炭温度(例えば、900°〜1050℃)まで加熱した後、その温度のもと、減圧下(例えば、圧力1/100気圧以下の減圧下)で所定の時間(例えば、110分間)保持して、被処理品に対し浸炭処理を行う。このように真空浸炭処理を行うことにより、表面炭素濃度が高濃度(例えば、表面炭素濃度が0.9%以上、好ましくは表面炭素濃度が0.9%〜1.5%)となるように、被処理品(鋼)の表面に炭素を導入する。ここで、表面炭素濃度とは、被処理品の表面から50μmの深さ迄の平均炭素濃度(重量%)である。   As shown in FIG. 1, first, as a vacuum carburizing treatment step a1, the heated carburizing chamber is heated to a predetermined carburizing temperature (for example, 900 ° C. to 1050 ° C.) under vacuum, and then under reduced pressure ( For example, the carburizing process is performed on the product to be processed while being held for a predetermined time (for example, 110 minutes) under a reduced pressure of 1/100 atm. By performing the vacuum carburizing process in this way, the surface carbon concentration is high (for example, the surface carbon concentration is 0.9% or more, preferably the surface carbon concentration is 0.9% to 1.5%). Carbon is introduced into the surface of the article to be treated (steel). Here, the surface carbon concentration is an average carbon concentration (% by weight) from the surface of the article to be processed to a depth of 50 μm.

ここで、真空浸炭処理は、加熱浸炭室内を真空下で所定の浸炭温度まで加熱した後、浸炭ガスとして炭化水素系のガス(例えばメタン,プロパン,エチレン,アセチレン等)を加熱浸炭室内に挿入することにより行われる。そして、この真空浸炭処理によれば、前記のガスが被処理品の表面に接触することによって分解する活性な炭素によって、被処理品の表面に炭素が供給される浸炭期に炭化物が生成して炭素が蓄えられる。そして、続く拡散期に炭化物が分解し、蓄えられていた炭素がマトリックスに溶解することによって、炭素が内部に向って拡散していき浸炭していく。   Here, in the vacuum carburizing process, after heating the heated carburizing chamber to a predetermined carburizing temperature under vacuum, a hydrocarbon-based gas (for example, methane, propane, ethylene, acetylene, etc.) is inserted into the heated carburizing chamber as a carburizing gas. Is done. And, according to this vacuum carburizing treatment, carbides are generated during the carburizing period when carbon is supplied to the surface of the article to be treated by the active carbon that decomposes when the gas contacts the surface of the article to be treated. Carbon is stored. In the subsequent diffusion period, the carbide is decomposed and the stored carbon is dissolved in the matrix, so that the carbon diffuses toward the inside and carburizes.

そして、このように真空浸炭処理工程a1を行った後、真空冷却工程a2として、真空引きした冷却室内に冷却ガスを挿入し、大気圧よりも低い減圧下にて所定の時間(例えば、60分間)で被処理品が所定の温度(例えば、常温)になるように、被処理品を冷却(徐冷)する。そして、この真空冷却工程a2を行うことにより、被処理品の表面の組織をパーライト単相の組織にする。なお、被処理品を冷却する速度は、5℃/s〜0.2℃/sの範囲内とすることが望ましい。   And after performing the vacuum carburizing process a1 in this way, as a vacuum cooling process a2, a cooling gas is inserted into the evacuated cooling chamber, and a predetermined time (for example, 60 minutes) under a reduced pressure lower than the atmospheric pressure. The product to be processed is cooled (slowly cooled) so that the product to be processed reaches a predetermined temperature (for example, room temperature). Then, by performing this vacuum cooling step a2, the surface structure of the article to be processed is changed to a pearlite single phase structure. In addition, as for the speed which cools to-be-processed goods, it is desirable to make it in the range of 5 to 0.2 degree-C / s.

ここで、本実施例の熱処理においては、真空浸炭処理工程a1にて被処理品に対して真空浸炭処理を行った後、速やかに真空冷却工程a2にて被処理品を冷却する必要がある。その理由として、被処理品の表面に導入した高濃度の炭素が被処理品の内部に拡散することを抑制して、被処理品の表面の表面炭素濃度が大きく減少することを防止するためである。   Here, in the heat treatment of the present embodiment, after the vacuum carburizing process is performed on the article to be processed in the vacuum carburizing process step a1, it is necessary to quickly cool the article to be processed in the vacuum cooling step a2. The reason for this is to prevent the high concentration of carbon introduced on the surface of the treated product from diffusing inside the treated product and to prevent the surface carbon concentration on the surface of the treated product from greatly decreasing. is there.

そして、このように真空冷却工程a2を行った後、高周波焼入れ工程a3として、所定の焼入れ温度(例えば、750℃〜850℃)まで高周波による短時間加熱(例えば、20〜30秒間程度の加熱)を行う。これにより、被処理品の表面のパーライト組織中のセメンタイトを長手方向に細かく分断し、炭化物を微細化することができる。そして、このように被処理品の表面に微細な炭化物を多量(例えば、1μm以下の大きさの炭化物の面積率が90%以上を占める量)に生成させることにより、被処理品の表面の高硬度化や高強度化を図ることができる。以上のようにして、本実施例の熱処理が行われる。   And after performing the vacuum cooling process a2 in this way, as the induction hardening process a3, short-time heating (for example, heating for about 20 to 30 seconds) with a high frequency up to a predetermined quenching temperature (for example, 750 ° C. to 850 ° C.) I do. Thereby, the cementite in the pearlite structure | tissue of the surface of a to-be-processed product can be finely divided | segmented to a longitudinal direction, and a carbide | carbonized_material can be refined | miniaturized. Then, by generating a large amount of fine carbide on the surface of the article to be treated (for example, an amount in which the area ratio of carbide having a size of 1 μm or less occupies 90% or more), the surface of the article to be treated has a high height. Hardness and high strength can be achieved. As described above, the heat treatment of this embodiment is performed.

〔熱処理設備の説明〕
次に、このような本実施例の熱処理を行う熱処理設備について説明する。
[Description of heat treatment equipment]
Next, a heat treatment facility for performing the heat treatment of this embodiment will be described.

<実施例1>
まず、実施例1について説明する。まず、実施例1の熱処理設備1の構成について説明する。ここで、図2は、実施例1の熱処理設備1の構成図である。図2に示すように、熱処理設備1は、加熱浸炭室(第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10B)、冷却室(第1冷却室12Aや第2冷却室12B)、搬送部14、加熱浸炭室用真空ポンプ16、冷却室用真空ポンプ18、被処理品投入部20、第1被処理品抽出部22A、第2被処理品抽出部22Bなどを備えている。
<Example 1>
First, Example 1 will be described. First, the structure of the heat treatment facility 1 of Example 1 will be described. Here, FIG. 2 is a configuration diagram of the heat treatment facility 1 of the first embodiment. As shown in FIG. 2, the heat treatment facility 1 includes a heating carburizing chamber (first heating carburizing chamber 10A and second heating carburizing chamber 10B), a cooling chamber (first cooling chamber 12A and second cooling chamber 12B), and a transfer unit 14. The heating carburizing chamber vacuum pump 16, the cooling chamber vacuum pump 18, the workpiece input unit 20, the first workpiece extraction unit 22A, the second workpiece extraction unit 22B, and the like.

第1加熱浸炭室10Aと第2加熱浸炭室10Bは、前記の真空浸炭処理工程a1において被処理品(ワーク)に対し真空浸炭処理を行うチャンバ(室)である。また、第1冷却室12Aと第2冷却室12Bは、前記の真空冷却工程a2において被処理品を冷却するチャンバ(室)である。   The first heated carburizing chamber 10A and the second heated carburizing chamber 10B are chambers (chambers) that perform a vacuum carburizing process on a workpiece (workpiece) in the vacuum carburizing process step a1. In addition, the first cooling chamber 12A and the second cooling chamber 12B are chambers (chambers) that cool the article to be processed in the vacuum cooling step a2.

本実施例では、X軸方向について搬送部14(詳細には、後述するレール26)を挟んで、第1加熱浸炭室10Aと第1冷却室12Aとが対向するように配置されている。そして、この一対の第1加熱浸炭室10Aと第1冷却室12Aとにより、第1の加熱浸炭冷却機構が形成されている。また、X軸方向について搬送部14(詳細には、後述するレール26)を挟んで、第2加熱浸炭室10Bと第2冷却室12Bとが対向するように配置されている。そして、この一対の第2加熱浸炭室10Bと第2冷却室12Bとにより、第2の加熱浸炭冷却機構が形成されている。そして、第1の加熱浸炭冷却機構と第2の加熱浸炭冷却機構は、X軸方向に直交するY軸方向に沿って(すなわち、後述するレール26の長手方向に沿って)配置されている。このように、加熱浸炭冷却機構は、Y軸方向に沿って2つ形成されている。しかしながら、必要な生産性に応じて加熱浸炭冷却機構は、3つ以上形成されていてもよい。なお、加熱浸炭室と冷却室は、不図示の移動機構(レール上を移動可能な車輪など)を備えており、X軸方向に移動可能となっている。また、加熱浸炭室と冷却室は、被処理品をX軸方向に搬送させる手段(不図示)も備えている。   In the present embodiment, the first heating carburizing chamber 10A and the first cooling chamber 12A are disposed so as to face each other across the transport section 14 (specifically, a rail 26 described later) in the X-axis direction. The pair of first heating carburizing chamber 10A and the first cooling chamber 12A form a first heating carburizing and cooling mechanism. Further, the second heating carburizing chamber 10B and the second cooling chamber 12B are disposed so as to face each other across the transport unit 14 (specifically, a rail 26 described later) in the X-axis direction. The pair of second heating carburizing chamber 10B and second cooling chamber 12B form a second heating carburizing and cooling mechanism. And the 1st heating carburization cooling mechanism and the 2nd heating carburization cooling mechanism are arranged along the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction (namely, along the longitudinal direction of rail 26 mentioned below). Thus, two heating carburizing and cooling mechanisms are formed along the Y-axis direction. However, three or more heating carburizing and cooling mechanisms may be formed according to the required productivity. The heating carburizing chamber and the cooling chamber are provided with a moving mechanism (not shown) (wheels that can move on rails) and are movable in the X-axis direction. Moreover, the heating carburizing chamber and the cooling chamber are also provided with means (not shown) for conveying the product to be processed in the X-axis direction.

搬送部14は、レール26、搬送ユニット28、真空ポンプ30などを備え、被処理品を搬送する手段である。レール26は、搬送ユニット28が移動する移動路の一例である。このレール26は、その長手方向が前記の第1の加熱浸炭冷却機構と前記の第2の加熱浸炭冷却機構との配列方向、すなわち、図2に示すY軸方向に沿うように形成されている。これにより、搬送ユニット28は、被処理品を搭載してY軸方向に移動することができる。また、搬送ユニット28は、被処理品をX軸方向に搬送させる手段(不図示)も備えている。このようにして、搬送ユニット28は、被処理品をX軸方向およびY軸方向の各方向に搬送可能となっている。   The transport unit 14 includes a rail 26, a transport unit 28, a vacuum pump 30, and the like, and is a unit that transports a product to be processed. The rail 26 is an example of a moving path along which the transport unit 28 moves. The rail 26 is formed such that its longitudinal direction is along the arrangement direction of the first heating carburizing and cooling mechanism and the second heating carburizing and cooling mechanism, that is, the Y-axis direction shown in FIG. . Thereby, the transport unit 28 can move the Y-axis direction with the article to be processed mounted thereon. The transport unit 28 also includes means (not shown) for transporting the product to be processed in the X-axis direction. In this way, the transport unit 28 can transport the product to be processed in each direction of the X-axis direction and the Y-axis direction.

そして、後述するように、搬送ユニット28は、レール26を移動して、被処理品投入部20から第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10Bへ被処理品を搬送することができる。また、搬送ユニット28は、第1加熱浸炭室10Aから第1冷却室12Aへ被処理品を搬送することができ、第2加熱浸炭室10Bから第2冷却室12Bへ被処理品を搬送することができる。   As will be described later, the transfer unit 28 can move the rail 26 and transfer the product to be processed from the product input unit 20 to the first heating carburizing chamber 10A or the second heating carburizing chamber 10B. Further, the transfer unit 28 can transfer the product to be processed from the first heating carburizing chamber 10A to the first cooling chamber 12A, and transfer the product to be processed from the second heating carburizing chamber 10B to the second cooling chamber 12B. Can do.

また、不図示のレールが、図2に示すX軸方向に沿って、第1加熱浸炭室10Aと第1冷却室12Aとの間、および第2加熱浸炭室10Bと第2冷却室12Bとの間に形成されている。これにより、搬送ユニット28は、X軸方向に移動して加熱浸炭室や冷却室と結合することもできる。なお、搬送ユニット28が移動する移動路として、レールの代わりに通路を形成し、当該通路上を車輪付きの搬送ユニット28が移動するようにしてもよい。   Further, rails (not shown) are arranged between the first heating carburizing chamber 10A and the first cooling chamber 12A and between the second heating carburizing chamber 10B and the second cooling chamber 12B along the X-axis direction shown in FIG. It is formed between. Thereby, the conveyance unit 28 can also move to a X-axis direction, and can also couple | bond with a heating carburizing chamber and a cooling chamber. In addition, as a moving path along which the transport unit 28 moves, a path may be formed instead of a rail, and the transport unit 28 with wheels may move on the path.

また、搬送ユニット28には真空ポンプ30が取り付けられている。この真空ポンプ30は、搬送ユニット28の内部を真空引きするためのポンプである。なお、搬送ユニット28は1台のみ設けられている。   A vacuum pump 30 is attached to the transport unit 28. The vacuum pump 30 is a pump for evacuating the inside of the transport unit 28. Only one transport unit 28 is provided.

加熱浸炭室用真空ポンプ16は、第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10Bの内部を真空引きするためのポンプである。また、冷却室用真空ポンプ18は、第1冷却室12Aや第2冷却室12Bを真空引きするためのポンプである。   The heating carburizing chamber vacuum pump 16 is a pump for evacuating the inside of the first heating carburizing chamber 10A and the second heating carburizing chamber 10B. The cooling chamber vacuum pump 18 is a pump for evacuating the first cooling chamber 12A and the second cooling chamber 12B.

被処理品投入部20は、被処理品を搬送ユニット28に投入する部分である。また、第1被処理品抽出部22Aと第2被処理品抽出部22Bは、第1冷却室12Aと第2冷却室12Bから各々被処理品を抽出(排出)する部分である。この第1被処理品抽出部22Aと第2被処理品抽出部22Bは、被処理品を排出するためのコンベアを第1冷却室12Aと第2冷却室12Bとに各々直結させている。なお、被処理品に対して高周波焼入れを行う高周波焼入機(不図示)を、第1被処理品抽出部22Aや第2被処理品抽出部22Bに直結させてもよい。   The processed product input unit 20 is a portion that inputs the processed product into the transport unit 28. Further, the first processed product extraction unit 22A and the second processed product extraction unit 22B are portions for extracting (discharging) the processed products from the first cooling chamber 12A and the second cooling chamber 12B, respectively. The first processed product extraction unit 22A and the second processed product extraction unit 22B directly connect a conveyor for discharging processed products to the first cooling chamber 12A and the second cooling chamber 12B, respectively. Note that an induction hardening machine (not shown) that performs induction hardening on the product to be processed may be directly connected to the first product extraction unit 22A or the second product extraction unit 22B.

本実施例では、搬送ユニット28が移動するレール26を挟んで対向して配置される1対の加熱浸炭室と冷却室からなる加熱浸炭冷却機構が、レール26の長手方向に沿って複数配置されている。そして、搬送ユニット28は、レール26を移動して複数配置されている加熱浸炭冷却機構の各々の加熱浸炭室(第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10B)へ被処理品を搬送可能である。さらに、搬送ユニット28は、複数配置されている加熱浸炭冷却機構の各々において加熱浸炭室(第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10B)から冷却室(第1冷却室12Aや第2冷却室12B)へ被処理品を搬送可能である。このようにして、1つの搬送ユニット28により、被処理品を各加熱浸炭室まで搬送させたり、被処理品を加熱浸炭室から冷却室へ搬送させることができる。そのため、搬送ユニット28の数を少なくできるので、熱処理設備1を小型化することができる。したがって、工場などの限られた敷地の範囲内で設備を効率的に配置することができるので、スペース効率が良くなる。また、搬送ユニット28は冷却室とは別に設けられているので、搬送ユニット28の移動スペースは小さい。このことからも、スペース効率がさらに良くなる。   In the present embodiment, a plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of heating carburizing chambers and cooling chambers arranged opposite to each other across the rail 26 on which the transport unit 28 moves are arranged along the longitudinal direction of the rails 26. ing. And the conveyance unit 28 can convey the to-be-processed goods to each heating carburizing chamber (1st heating carburizing chamber 10A and 2nd heating carburizing chamber 10B) of the heating carburizing and cooling mechanism arranged by moving the rail 26. It is. Further, the transport unit 28 is provided with a cooling chamber (the first cooling chamber 12A or the second cooling chamber) from the heating carburizing chamber (the first heating carburizing chamber 10A or the second heating carburizing chamber 10B) in each of the plurality of heating carburizing and cooling mechanisms arranged. The article to be processed can be conveyed to the chamber 12B). In this way, it is possible to transfer the article to be processed to each heating carburizing chamber or to transfer the article to be processed from the heating carburizing chamber to the cooling chamber by one transfer unit 28. Therefore, the number of transfer units 28 can be reduced, so that the heat treatment facility 1 can be downsized. Therefore, equipment can be efficiently arranged within a limited site such as a factory, so that space efficiency is improved. Further, since the transport unit 28 is provided separately from the cooling chamber, the moving space of the transport unit 28 is small. This also improves the space efficiency.

なお、レール26をY軸方向に延長させて、延長させたレール26の両側に加熱浸炭室と冷却室をさらに配置することにより、容易に設備の増設を行うことができる。このように、熱処理設備1は、被処理品の必要な処理量に応じて容易に拡張させることができる。なお、設備の増設を行う際には、必要に応じて、搬送ユニット28を複数備えるようにしてもよい。   In addition, by extending the rail 26 in the Y-axis direction and further disposing a heating carburizing chamber and a cooling chamber on both sides of the extended rail 26, it is possible to easily add facilities. Thus, the heat treatment facility 1 can be easily expanded according to the required processing amount of the product to be processed. In addition, when expanding the facilities, a plurality of transport units 28 may be provided as necessary.

次に、図2〜図25を用いて熱処理設備1の動作について説明する。ここで、図3と図4は実施例1の熱処理設備1による熱処理工程を表したフローチャート図であり、図5〜図25は、実施例1の熱処理工程ごとの熱処理設備1の各構成部の配置図である。   Next, operation | movement of the heat processing equipment 1 is demonstrated using FIGS. Here, FIG. 3 and FIG. 4 are flowcharts showing the heat treatment process by the heat treatment facility 1 of the first embodiment, and FIGS. FIG.

まず、前記の図2に示すように、被処理品投入部20に被処理品W1と被処理品W2を配置する。また、搬送ユニット28は、第1加熱浸炭室10Aが配置される位置に配置されている。   First, as shown in FIG. 2, the product to be processed W1 and the product to be processed W2 are disposed in the product input unit 20. Moreover, the conveyance unit 28 is arrange | positioned in the position where 10 A of 1st heating carburizing chambers are arrange | positioned.

次に、図5に示すように、搬送ユニット28を被処理品投入部20が配置される位置まで移動させる(ステップS1)。次に、図6に示すように、搬送ユニット28内を大気圧にし、第1扉32を開ける(図6において破線で示す)(ステップS2)。次に、図7に示すように、被処理品投入部20から1つ目の被処理品W1を搬送ユニット28内に受け取る(ステップS3)。そして、第1扉32を閉める。   Next, as shown in FIG. 5, the transport unit 28 is moved to a position where the workpiece input unit 20 is disposed (step S1). Next, as shown in FIG. 6, the inside of the transport unit 28 is set to atmospheric pressure, and the first door 32 is opened (indicated by a broken line in FIG. 6) (step S2). Next, as shown in FIG. 7, the first processed product W1 is received from the processed product input unit 20 into the transport unit 28 (step S3). Then, the first door 32 is closed.

次に、図8に示すように、搬送ユニット28内を真空にして、当該搬送ユニット28を第1加熱浸炭室10Aが配置される位置まで移動させる(ステップS4)。次に、図9に示すように、第1加熱浸炭室10AをX軸方向について搬送ユニット28に向かって移動させて、第1加熱浸炭室10Aを搬送ユニット28の第1扉32側(図9の左側)の側面に結合(ドッキング)させる(ステップS5)。   Next, as shown in FIG. 8, the inside of the transfer unit 28 is evacuated, and the transfer unit 28 is moved to a position where the first heating carburizing chamber 10A is disposed (step S4). Next, as shown in FIG. 9, the first heating carburizing chamber 10A is moved toward the transfer unit 28 in the X-axis direction, and the first heating carburizing chamber 10A is moved to the first door 32 side of the transfer unit 28 (FIG. 9). (Left side) is coupled (docked) (step S5).

次に、図10に示すように、搬送ユニット28の第1扉32と第1加熱浸炭室10Aの扉34を開けて(図10において破線で示す)、被処理品W1を搬送ユニット28から第1加熱浸炭室10Aに搬送する(ステップS6)。次に、図11に示すように、搬送ユニット28の第1扉32と第1加熱浸炭室10Aの扉34を閉めて、第1加熱浸炭室10Aを移動させて、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28とを切り離す(ステップS7)。このようにして、第1加熱浸炭室10Aの内部に被処理品W1を配置する。そして、被処理品W1に対し前記の真空浸炭処理工程a1の処理を開始する。   Next, as shown in FIG. 10, the first door 32 of the transport unit 28 and the door 34 of the first heating carburizing chamber 10 </ b> A are opened (indicated by a broken line in FIG. 10). It conveys to 1A heating carburizing chamber 10A (step S6). Next, as shown in FIG. 11, the first door 32 of the transfer unit 28 and the door 34 of the first heating carburizing chamber 10A are closed, the first heating carburizing chamber 10A is moved, and the first heating carburizing chamber 10A and The transport unit 28 is separated (step S7). In this way, the article to be processed W1 is arranged inside the first heating carburizing chamber 10A. And the process of the said vacuum carburizing process process a1 is started with respect to the to-be-processed goods W1.

次に、被処理品W1の場合と同様にして、図12に示すように、第2加熱浸炭室10Bの内部に2つ目の被処理品W2を配置する。すなわち、搬送ユニット28を被処理品投入部20が配置される位置まで移動させ(ステップS8)、搬送ユニット28内を大気圧にする(ステップS9)。次に、被処理品投入部20から被処理品W2を搬送ユニット28内に受け取る(ステップS10)。次に、搬送ユニット28内を真空にして、当該搬送ユニット28を第2加熱浸炭室10Bが配置される位置まで移動させ(ステップS11)、第2加熱浸炭室10Bを搬送ユニット28に結合させる(ステップS12)。次に、被処理品W2を搬送ユニット28から第2加熱浸炭室10Bに搬送し(ステップS13)、第2加熱浸炭室10Bと搬送ユニット28とを切り離す(ステップS14)。このようにして、図12に示すように、第2加熱浸炭室10Bの内部に被処理品W2を配置する。そして、被処理品W2に対し前記の真空浸炭処理工程a1の処理を開始する。   Next, similarly to the case of the article to be processed W1, as shown in FIG. 12, the second article to be processed W2 is arranged inside the second heating carburizing chamber 10B. That is, the transport unit 28 is moved to a position where the workpiece input unit 20 is disposed (step S8), and the inside of the transport unit 28 is brought to atmospheric pressure (step S9). Next, the processed product W2 is received from the processed product input unit 20 into the transport unit 28 (step S10). Next, the inside of the transfer unit 28 is evacuated, the transfer unit 28 is moved to a position where the second heated carburizing chamber 10B is disposed (step S11), and the second heated carburizing chamber 10B is coupled to the transfer unit 28 ( Step S12). Next, the article to be processed W2 is transferred from the transfer unit 28 to the second heating carburizing chamber 10B (step S13), and the second heating carburizing chamber 10B and the transfer unit 28 are separated (step S14). In this way, as shown in FIG. 12, the product to be processed W2 is arranged inside the second heating carburizing chamber 10B. And the process of the said vacuum carburizing process process a1 is started with respect to the to-be-processed goods W2.

次に、図13に示すように、第1加熱浸炭室10Aが配置される位置まで搬送ユニット28を移動させる(ステップS15)。次に、図14に示すように、X軸方向について第1加熱浸炭室10Aを搬送ユニット28に向かって移動させて、第1加熱浸炭室10Aを搬送ユニット28の第1扉32側(図14の左側)の側面に結合させる(ステップS16)。次に、図15に示すように、結合させた第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28をX軸方向について搬送ユニット28に向かって移動させて、搬送ユニット28の第2扉36側(図15の右側)の側面を第1冷却室12Aの入口扉38側(図15の左側)の側面に結合させる(ステップS17)。このようにして、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aとを結合させる。   Next, as shown in FIG. 13, the transfer unit 28 is moved to a position where the first heated carburizing chamber 10A is disposed (step S15). Next, as shown in FIG. 14, the first heated carburizing chamber 10A is moved toward the transfer unit 28 in the X-axis direction, and the first heated carburizing chamber 10A is moved to the first door 32 side of the transfer unit 28 (FIG. 14). (The left side of) is coupled to the side surface (step S16). Next, as shown in FIG. 15, the combined first heating carburizing chamber 10 </ b> A and the transport unit 28 are moved toward the transport unit 28 in the X-axis direction, and the second door 36 side of the transport unit 28 (FIG. 15). The right side surface of the first cooling chamber 12A is joined to the side surface of the first cooling chamber 12A on the inlet door 38 side (left side in FIG. 15) (step S17). In this way, the first heating carburizing chamber 10A, the transfer unit 28, and the first cooling chamber 12A are combined.

次に、第1加熱浸炭室10Aにて被処理品W1に対し前記の真空浸炭処理工程a1の処理が完了する。そして、図16に示すように、第1加熱浸炭室10Aの扉34と、搬送ユニット28の第1扉32および第2扉36と、第1冷却室12Aの入口扉38とを開ける(図16において各扉について破線で示す)(ステップS18)。このようにして、第1加熱浸炭室10Aの内部と搬送ユニット28の内部と第1冷却室12Aの内部とを連通させる。このとき、第1加熱浸炭室10Aの内部と搬送ユニット28の内部と第1冷却室12Aの内部を真空にした状態としている。   Next, in the first heating carburizing chamber 10A, the processing of the vacuum carburizing process a1 is completed for the workpiece W1. Then, as shown in FIG. 16, the door 34 of the first heating carburizing chamber 10A, the first door 32 and the second door 36 of the transfer unit 28, and the inlet door 38 of the first cooling chamber 12A are opened (FIG. 16). (Indicated by broken lines for each door) (step S18). In this manner, the inside of the first heating carburizing chamber 10A, the inside of the transfer unit 28, and the inside of the first cooling chamber 12A are communicated. At this time, the inside of the first heating carburizing chamber 10A, the inside of the transfer unit 28, and the inside of the first cooling chamber 12A are in a vacuum state.

次に、図17に示すように、搬送ユニット28により被処理品W1を第1加熱浸炭室10Aから第1冷却室12Aに搬送する(ステップS19)。このようにして、被処理品W1を第1冷却室12Aの内部に配置する。そして、被処理品W1に対し前記の真空冷却工程a2の処理を開始する。ここで、第1加熱浸炭室10Aと第1冷却室12Aとが搬送ユニット28を挟んでX軸方向に対向するように配置されており、第1加熱浸炭室10Aの内部と搬送ユニット28の内部と第1冷却室12Aの内部を同時に真空にした状態としているので、被処理品W1の搬送時間を短縮することができる。このようにして、第1加熱浸炭室10Aにて被処理品W1に対し真空浸炭処理工程a1の処理を行った後、速やかに第1冷却室12Aにて被処理品W1に対し真空冷却工程a2の処理を行うことができる。そのため、被処理品W1の表面に導入した炭素が被処理品W1の内部に拡散することを抑制して、被処理品W1の表面の表面炭素濃度が減少することを防止できる。   Next, as shown in FIG. 17, the workpiece W1 is transferred from the first heating carburizing chamber 10A to the first cooling chamber 12A by the transfer unit 28 (step S19). In this way, the article to be processed W1 is arranged inside the first cooling chamber 12A. And the process of the said vacuum cooling process a2 is started with respect to the to-be-processed goods W1. Here, the first heating carburizing chamber 10A and the first cooling chamber 12A are arranged so as to face each other in the X-axis direction with the transfer unit 28 interposed therebetween, and the inside of the first heating carburizing chamber 10A and the inside of the transfer unit 28 are arranged. Since the inside of the first cooling chamber 12A is evacuated at the same time, the transfer time of the article W1 to be processed can be shortened. Thus, after performing the process of vacuum carburizing process a1 with respect to the to-be-processed goods W1 in the 1st heating carburizing chamber 10A, the vacuum cooling process a2 with respect to the to-be-processed goods W1 immediately in the 1st cooling chamber 12A. Can be processed. Therefore, it can suppress that the carbon introduce | transduced into the surface of the to-be-processed product W1 diffuses inside the to-be-processed product W1, and can prevent that the surface carbon concentration on the surface of the to-be-processed product W1 decreases.

次に、図18に示すように、第1加熱浸炭室10Aの扉34と搬送ユニット28の第1扉32および第2扉36と第1冷却室12Aの入口扉38とを閉めて、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aを切り離す(ステップS20)。   Next, as shown in FIG. 18, the door 34 of the first heating carburizing chamber 10A, the first door 32 and the second door 36 of the transfer unit 28, and the inlet door 38 of the first cooling chamber 12A are closed, and the first The heating carburizing chamber 10A, the transfer unit 28, and the first cooling chamber 12A are separated (step S20).

次に、被処理品W1の場合と同様にして、図19に示すように、第2冷却室12Bの内部に被処理品W2を配置する。すなわち、第2加熱浸炭室10Bが配置される位置まで搬送ユニット28を移動させる(ステップS21)。次に、第2加熱浸炭室10Bを搬送ユニット28に結合させ(ステップS22)、搬送ユニット28を第2冷却室12Bに結合させる(ステップS23)。このようにして、第2加熱浸炭室10Bと搬送ユニット28と第2冷却室12Bとを結合させる。次に、第2加熱浸炭室10Bにて被処理品W2に対し前記の真空浸炭処理工程a1の処理が完了し、第2加熱浸炭室10Bの扉34と、搬送ユニット28の第1扉32および第2扉36と、第2冷却室12Bの入口扉38とを開ける(ステップS24)。このようにして、第2加熱浸炭室10Bの内部と搬送ユニット28の内部と第2冷却室12Bの内部とを連通させる。次に、被処理品W2を第2加熱浸炭室10Bから第2冷却室12Bへ搬送し(ステップS25)、第2加熱浸炭室10Bと搬送ユニット28と第2冷却室12Bを切り離す(ステップS26)。このようにして、図19に示すように、被処理品W2を第2冷却室12Bの内部に配置する。そして、被処理品W2に対し前記の真空冷却工程a2の処理を開始する。   Next, similarly to the case of the article to be processed W1, as shown in FIG. 19, the article to be processed W2 is arranged inside the second cooling chamber 12B. That is, the transfer unit 28 is moved to a position where the second heating carburizing chamber 10B is disposed (step S21). Next, the second heating carburizing chamber 10B is coupled to the transfer unit 28 (step S22), and the transfer unit 28 is coupled to the second cooling chamber 12B (step S23). In this way, the second heating carburizing chamber 10B, the transfer unit 28, and the second cooling chamber 12B are combined. Next, the processing of the vacuum carburizing process a1 is completed for the workpiece W2 in the second heating carburizing chamber 10B, and the door 34 of the second heating carburizing chamber 10B, the first door 32 of the transfer unit 28, and The second door 36 and the inlet door 38 of the second cooling chamber 12B are opened (step S24). In this way, the inside of the second heating carburizing chamber 10B, the inside of the transfer unit 28, and the inside of the second cooling chamber 12B are communicated. Next, the workpiece W2 is transferred from the second heating carburizing chamber 10B to the second cooling chamber 12B (step S25), and the second heating carburizing chamber 10B, the transfer unit 28, and the second cooling chamber 12B are separated (step S26). . In this way, as shown in FIG. 19, the product to be processed W2 is disposed inside the second cooling chamber 12B. And the process of the said vacuum cooling process a2 is started with respect to the to-be-processed goods W2.

次に、図20に示すように、被処理品W1の場合および被処理品W2の場合と同様にして、第1加熱浸炭室10Aの内部に3つ目の被処理品W3を配置し、第2加熱浸炭室10Bの内部に4つ目の被処理品W4を配置する。すなわち、搬送ユニット28を被処理品投入部20が配置される位置まで移動させ(ステップS27)、搬送ユニット28内を大気圧にする(ステップS28)。次に、被処理品投入部20から被処理品W3を搬送ユニット28内に受け取る(ステップS29)。次に、搬送ユニット28内を真空にして、当該搬送ユニット28を第1加熱浸炭室10Aが配置される位置まで移動させ(ステップS30)、第1加熱浸炭室10Aを搬送ユニット28に結合させる(ステップS31)。次に、被処理品W3を搬送ユニット28から第1加熱浸炭室10Aに搬送し(ステップS32)、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28とを切り離す(ステップS33)。このようにして、第1加熱浸炭室10Aの内部に被処理品W3を配置する。そして、被処理品W3に対し前記の真空浸炭処理工程a1の処理を開始する。   Next, as shown in FIG. 20, in the same manner as in the case of the article to be processed W1 and the article to be processed W2, the third article to be processed W3 is arranged inside the first heating carburizing chamber 10A, A fourth article W4 to be processed is placed inside the two-heating carburizing chamber 10B. That is, the transport unit 28 is moved to a position where the workpiece input unit 20 is disposed (step S27), and the inside of the transport unit 28 is brought to atmospheric pressure (step S28). Next, the processed product W3 is received from the processed product input unit 20 into the transport unit 28 (step S29). Next, the inside of the transfer unit 28 is evacuated, the transfer unit 28 is moved to a position where the first heating carburizing chamber 10A is disposed (step S30), and the first heating carburizing chamber 10A is coupled to the transfer unit 28 ( Step S31). Next, the article W3 to be processed is transferred from the transfer unit 28 to the first heated carburizing chamber 10A (step S32), and the first heated carburizing chamber 10A and the transfer unit 28 are separated (step S33). In this way, the article to be processed W3 is arranged inside the first heating carburizing chamber 10A. And the process of the said vacuum carburizing process process a1 is started with respect to the to-be-processed goods W3.

次に、搬送ユニット28を被処理品投入部20が配置される位置まで移動させ(ステップS34)、搬送ユニット28内を大気圧にする(ステップS35)。次に、被処理品投入部20から被処理品W4を搬送ユニット28内に受け取る(ステップS36)。次に、搬送ユニット28内を真空にして、当該搬送ユニット28を第2加熱浸炭室10Bが配置される位置まで移動させ(ステップS37)、第2加熱浸炭室10Bを搬送ユニット28に結合させる(ステップS38)。次に、被処理品W4を搬送ユニット28から第2加熱浸炭室10Bに搬送し(ステップS39)、第2加熱浸炭室10Bと搬送ユニット28とを切り離す(ステップS40)。このようにして、第2加熱浸炭室10Bの内部に被処理品W4を配置する。そして、被処理品W4に対し前記の真空浸炭処理工程a1の処理を開始する。   Next, the transport unit 28 is moved to a position where the article input unit 20 is disposed (step S34), and the pressure inside the transport unit 28 is changed to atmospheric pressure (step S35). Next, the processed product W4 is received from the processed product input unit 20 into the transport unit 28 (step S36). Next, the inside of the transfer unit 28 is evacuated, the transfer unit 28 is moved to a position where the second heating carburizing chamber 10B is disposed (step S37), and the second heating carburizing chamber 10B is coupled to the transfer unit 28 ( Step S38). Next, the article W4 to be processed is transferred from the transfer unit 28 to the second heated carburizing chamber 10B (step S39), and the second heated carburizing chamber 10B and the transfer unit 28 are separated (step S40). In this way, the article to be processed W4 is arranged inside the second heating carburizing chamber 10B. And the process of the said vacuum carburizing process process a1 is started with respect to to-be-processed goods W4.

次に、図21に示すように、第1冷却室12Aにて被処理品W1に対して真空冷却工程a2の処理(冷却)が完了し、第1冷却室12A内を大気圧にする(ステップS41)。次に、図22に示すように、第1冷却室12Aの出口扉40を開ける(ステップS42)。次に、図23に示すように、被処理品W1を第1冷却室12Aから第1被処理品抽出部22Aへ抽出する(ステップS43)。このように、第1冷却室12Aにて冷却した被処理品W1をX軸方向について第1加熱浸炭室10Aが配置される側とは反対側から第1冷却室12Aの外部に抽出する。   Next, as shown in FIG. 21, the processing (cooling) of the vacuum cooling step a2 is completed on the workpiece W1 in the first cooling chamber 12A, and the inside of the first cooling chamber 12A is set to atmospheric pressure (step) S41). Next, as shown in FIG. 22, the outlet door 40 of the first cooling chamber 12A is opened (step S42). Next, as shown in FIG. 23, the workpiece W1 is extracted from the first cooling chamber 12A to the first workpiece extraction unit 22A (step S43). In this way, the workpiece W1 cooled in the first cooling chamber 12A is extracted to the outside of the first cooling chamber 12A from the side opposite to the side where the first heating carburizing chamber 10A is arranged in the X-axis direction.

次に、図24に示すように、第1冷却室12Aの出口扉40を閉めて、冷却室用真空ポンプ18により第1冷却室12A内を真空にする(ステップS44)。そして、第1被処理品抽出部22Aへ抽出した被処理品W1は、その後、不図示の高周波焼入機に搬送される。そして、被処理品W1に対し前記の高周波焼入れ工程a3を行う。なお、第1被処理品抽出部22Aと高周波焼入機とを直結させておき、被処理品W1を第1被処理品抽出部22Aから自動で高周波焼入機に搬送してもよい。   Next, as shown in FIG. 24, the outlet door 40 of the first cooling chamber 12A is closed, and the inside of the first cooling chamber 12A is evacuated by the cooling chamber vacuum pump 18 (step S44). And the to-be-processed product W1 extracted to 22 A of 1st to-be-processed products extraction parts is conveyed by the induction hardening machine not shown after that. And the said induction hardening process a3 is performed with respect to the to-be-processed goods W1. Alternatively, the first processed product extraction unit 22A and the induction hardening machine may be directly connected, and the processed product W1 may be automatically conveyed from the first processed product extraction unit 22A to the induction hardening machine.

次に、図25に示すように、被処理品W1の場合と同様にして、被処理品W2を第2被処理品抽出部22Bへ抽出(排出)する。すなわち、第2冷却室12Bにて被処理品W2に対して真空冷却工程a2の処理(冷却)が完了し、第2冷却室12B内を大気圧にする(ステップS45)。次に、第2冷却室12Bの出口扉40を開けて(ステップS46)、被処理品W2を第2冷却室12Bから第2被処理品抽出部22Bへ抽出し(ステップS47)、第2冷却室12B内を真空にする(ステップS48)。そして、第2被処理品抽出部22Bへ抽出した被処理品W2は、その後、不図示の高周波焼入機に搬送される。そして、被処理品W2に対し前記の高周波焼入れ工程a3を行う。なお、第2被処理品抽出部22Bと高周波焼入機とを直結させておき、被処理品W2を第2被処理品抽出部22Bから自動で高周波焼入機に搬送してもよい。なお、被処理品W3と被処理品W4に対しても、被処理品W1や被処理品W2の場合と同様に、真空冷却工程a2の処理と高周波焼入れ工程a3の処理を行う。   Next, as shown in FIG. 25, the processed product W2 is extracted (discharged) to the second processed product extraction unit 22B in the same manner as the processed product W1. That is, the processing (cooling) of the vacuum cooling step a2 is completed on the workpiece W2 in the second cooling chamber 12B, and the inside of the second cooling chamber 12B is set to atmospheric pressure (step S45). Next, the outlet door 40 of the second cooling chamber 12B is opened (step S46), and the workpiece W2 is extracted from the second cooling chamber 12B to the second workpiece extraction unit 22B (step S47), and the second cooling is performed. The chamber 12B is evacuated (step S48). And the to-be-processed product W2 extracted to the 2nd to-be-processed product extraction part 22B is conveyed by the induction hardening machine not shown after that. And the said induction hardening process a3 is performed with respect to the to-be-processed goods W2. In addition, the 2nd to-be-processed product extraction part 22B and the induction hardening machine may be directly connected, and the to-be-processed product W2 may be automatically conveyed to the induction hardening machine from the 2nd to-be-processed product extraction part 22B. In addition, similarly to the to-be-processed product W1 and the to-be-processed product W2, the process of the vacuum cooling process a2 and the process of the induction hardening process a3 are performed also to the to-be-processed product W3 and the to-be-processed product W4.

なお、前記のステップS16とステップS17において第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aとを結合させ、また、前記のステップS22とステップS23において第2加熱浸炭室10Bと搬送ユニット28と第2冷却室12Bとを結合させる方法は、以下のように変更してもよい。なお、以下の図26〜図32に関する説明においては、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aとを結合させる方法を代表して説明するが、第2加熱浸炭室10Bと搬送ユニット28と第2冷却室12Bとを結合させる方法についても同様であるので説明を省略する。   In step S16 and step S17, the first heating carburizing chamber 10A, the transfer unit 28, and the first cooling chamber 12A are combined, and in step S22 and step S23, the second heating carburizing chamber 10B and the transfer unit are combined. The method of combining the 28 and the second cooling chamber 12B may be changed as follows. In the following description regarding FIGS. 26 to 32, a method of combining the first heating carburizing chamber 10 </ b> A, the transfer unit 28, and the first cooling chamber 12 </ b> A will be described as a representative. The same applies to the method of coupling the transport unit 28 and the second cooling chamber 12B, and the description thereof will be omitted.

例えば、図26に示すように、X軸方向について第1加熱浸炭室10Aと第1冷却室12Aを各々搬送ユニット28に向かって移動させることにより、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aとを結合させてもよい。   For example, as shown in FIG. 26, by moving the first heating carburizing chamber 10A and the first cooling chamber 12A toward the transfer unit 28 in the X-axis direction, the first heating carburizing chamber 10A, the transfer unit 28, and the first One cooling chamber 12A may be combined.

あるいは、例えば、まず、図27に示すように搬送ユニット28を第1加熱浸炭室10Aに向かって移動させて第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28を結合させた後、図28に示すように結合させた第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28を第1冷却室12Aに向かって移動させて、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aとを結合させてもよい。   Alternatively, for example, first, as shown in FIG. 27, the transfer unit 28 is moved toward the first heated carburizing chamber 10A to combine the first heated carburizing chamber 10A and the transfer unit 28, and then as shown in FIG. The first heated carburizing chamber 10A and the transfer unit 28 may be moved toward the first cooling chamber 12A, and the first heated carburizing chamber 10A, the transfer unit 28, and the first cooling chamber 12A may be combined.

あるいは、例えば、まず、図29に示すように搬送ユニット28を第1冷却室12Aに向かって移動させて第1冷却室12Aと搬送ユニット28を結合させた後、図30に示すように結合させた第1冷却室12Aと搬送ユニット28を第1加熱浸炭室10Aに向かって移動させて、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aとを結合させてもよい。   Alternatively, for example, as shown in FIG. 29, first, the transport unit 28 is moved toward the first cooling chamber 12A, and the first cooling chamber 12A and the transport unit 28 are combined, and then combined as shown in FIG. Alternatively, the first cooling chamber 12A and the transfer unit 28 may be moved toward the first heating carburizing chamber 10A to combine the first heating carburizing chamber 10A, the transfer unit 28, and the first cooling chamber 12A.

あるいは、例えば、まず、図31に示すように第1冷却室12Aを搬送ユニット28に向かって移動させて第1冷却室12Aと搬送ユニット28を結合させた後、図32に示すように結合させた第1冷却室12Aと搬送ユニット28を第1加熱浸炭室10Aに向かって移動させて、第1加熱浸炭室10Aと搬送ユニット28と第1冷却室12Aとを結合させてもよい。   Alternatively, for example, first, the first cooling chamber 12A is moved toward the transfer unit 28 as shown in FIG. 31, and the first cooling chamber 12A and the transfer unit 28 are combined, and then combined as shown in FIG. Alternatively, the first cooling chamber 12A and the transfer unit 28 may be moved toward the first heating carburizing chamber 10A to combine the first heating carburizing chamber 10A, the transfer unit 28, and the first cooling chamber 12A.

以上のような実施例1によれば、搬送ユニット28が移動するレール26を挟んで対向して配置される1対の加熱浸炭室と冷却室からなる加熱浸炭冷却機構がレール26に沿って複数配置されている。すなわち、複数の加熱浸炭室(第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10B)と複数の冷却室(第1冷却室12Aや第2冷却室12B)が、レール26を挟んでX軸方向について各々対向して配置されている。そして、搬送ユニット28は、レール26を移動して第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10Bへ被処理品W1〜W4を搬送することができる。さらに、搬送ユニット28は、第1加熱浸炭室10Aから第1冷却室12Aへ被処理品W1〜W4を搬送することができ、第2加熱浸炭室10Bから第2冷却室12Bへ被処理品W1〜W4を搬送することができる。   According to the first embodiment as described above, a plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of heating carburizing chambers and cooling chambers arranged to face each other across the rail 26 on which the transport unit 28 moves are provided along the rails 26. Has been placed. That is, a plurality of heating carburizing chambers (first heating carburizing chamber 10A and second heating carburizing chamber 10B) and a plurality of cooling chambers (first cooling chamber 12A and second cooling chamber 12B) are arranged in the X-axis direction with the rail 26 interposed therebetween. Are arranged opposite to each other. And the conveyance unit 28 can move the rail 26, and can convey the to-be-processed goods W1-W4 to 10A of 1st heating carburizing chambers, and the 2nd heating carburizing chamber 10B. Furthermore, the transfer unit 28 can transfer the articles W1 to W4 from the first heating carburizing chamber 10A to the first cooling chamber 12A, and the article W1 to be processed from the second heating carburizing chamber 10B to the second cooling chamber 12B. ~ W4 can be transported.

このようにして、1つの搬送ユニット28により、被処理品W1〜W4をY軸方向に搬送して各加熱浸炭室まで搬送したり、被処理品W1〜W4をX軸方向に搬送して加熱浸炭室から冷却室へ搬送することができる。そのため、搬送ユニット28の数を少なくできるので、熱処理設備1を小型化することができる。したがって、工場などの限られた敷地の範囲内で設備を効率的に配置することができるので、スペース効率が良くなる。また、被処理品投入部20と第1被処理品抽出部22Aと第2被処理品抽出部22Bを自由に配置できるので、スペース効率が良くなる。   In this way, the workpieces W1 to W4 are transported in the Y-axis direction by one transport unit 28 and transported to each heating carburizing chamber, or the workpieces W1 to W4 are transported in the X-axis direction and heated. It can be transferred from the carburizing chamber to the cooling chamber. Therefore, the number of transfer units 28 can be reduced, so that the heat treatment facility 1 can be downsized. Therefore, equipment can be efficiently arranged within a limited site such as a factory, so that space efficiency is improved. In addition, space efficiency is improved because the workpiece input unit 20, the first workpiece extraction unit 22A, and the second workpiece extraction unit 22B can be freely arranged.

また、X軸方向について、第1加熱浸炭室10Aと第1冷却室12Aがレール26を挟んで対向して配置され、第2加熱浸炭室10Bと第2冷却室12Bがレール26を挟んで対向して配置されている。そして、加熱浸炭室(第1加熱浸炭室10Aや第2加熱浸炭室10B)にて被処理品W1〜W4に対し真空浸炭処理を行った後、搬送ユニット28により被処理品W1〜W4を加熱浸炭室から冷却室(第1冷却室12Aや第2冷却室12B)へ搬送する。   Further, in the X-axis direction, the first heating carburizing chamber 10A and the first cooling chamber 12A are disposed to face each other with the rail 26 interposed therebetween, and the second heating carburizing chamber 10B and the second cooling chamber 12B are opposed to each other with the rail 26 interposed therebetween. Are arranged. Then, after the vacuum carburizing process is performed on the workpieces W1 to W4 in the heating carburizing chamber (the first heating carburizing chamber 10A and the second heating carburizing chamber 10B), the workpieces W1 to W4 are heated by the transfer unit 28. It is transferred from the carburizing chamber to the cooling chamber (the first cooling chamber 12A and the second cooling chamber 12B).

これにより、真空浸炭処理を行った被処理品W1〜W4を、冷却室へ速やかに搬送して冷却することができる。そのため、被処理品W1〜W4の表面に導入した炭素が被処理品W1〜W4の内部に拡散することを抑制して、被処理品W1〜W4の表面の表面炭素濃度が大きく減少することを防止することができる。したがって、被処理品W1〜W4の表面の高硬度化や高強度化を図ることができる。   Thereby, the to-be-processed goods W1-W4 which performed the vacuum carburizing process can be rapidly conveyed to a cooling chamber, and can be cooled. Therefore, the carbon introduced into the surfaces of the products to be processed W1 to W4 is prevented from diffusing into the products to be processed W1 to W4, and the surface carbon concentration on the surfaces of the products to be processed W1 to W4 is greatly reduced. Can be prevented. Therefore, it is possible to increase the hardness and strength of the surfaces of the articles to be processed W1 to W4.

また、加熱浸炭室と搬送ユニット28と冷却室とを結合させて加熱浸炭室の内部と搬送ユニット28の内部と冷却室の内部とを真空にした状態で、搬送ユニット28により被処理品W1〜W4を加熱浸炭室から冷却室へ搬送する。   In addition, the heated carburizing chamber, the transfer unit 28, and the cooling chamber are combined to make the inside of the heated carburizing chamber, the inside of the transfer unit 28, and the inside of the cooling chamber evacuated, and then the workpieces W1 to W1 are processed by the transfer unit 28. W4 is transferred from the heating carburizing chamber to the cooling chamber.

そのため、真空浸炭処理を行った被処理品W1〜W4を、冷却室へ速やかに搬送して冷却することができる。したがって、被処理品W1〜W4の表面に導入した炭素が被処理品W1〜W4の内部に拡散することをより確実に抑制して、被処理品W1〜W4の表面の表面炭素濃度が大きく減少することをより確実に防止することができる。ゆえに、被処理品W1〜W4の表面の高硬度化や高強度化をより確実に図ることができる。また、加熱浸炭室の内部と搬送ユニット28の内部と冷却室の内部とを真空の状態にしているので、被処理品W1〜W4が酸化することも防止できる。   Therefore, the articles to be processed W1 to W4 subjected to the vacuum carburizing process can be quickly conveyed to the cooling chamber and cooled. Therefore, the carbon introduced into the surfaces of the products to be processed W1 to W4 is more reliably suppressed from diffusing inside the products to be processed W1 to W4, and the surface carbon concentration on the surfaces of the products to be processed W1 to W4 is greatly reduced. It can prevent more reliably. Therefore, it is possible to more reliably increase the hardness and strength of the surfaces of the products W1 to W4. Moreover, since the inside of the heating carburizing chamber, the inside of the transfer unit 28, and the inside of the cooling chamber are in a vacuum state, it is possible to prevent the products W1 to W4 from being oxidized.

また、X軸方向について加熱浸炭室を搬送ユニット28に向かって移動させて加熱浸炭室と搬送ユニット28を結合させた後に、結合させた加熱浸炭室と搬送ユニット28をX軸方向について冷却室に向かって移動させることにより、加熱浸炭室と搬送ユニット28と冷却室とを結合させる。このように、加熱浸炭室と搬送ユニット28をX軸方向について一方向に移動させるだけでよいので、加熱浸炭室と搬送ユニット28とを移動させる機構および制御手法を簡素化できる。そのため、設備の構造の簡素化を図って、コストを低減することができる。   In addition, after the heated carburizing chamber is moved toward the transfer unit 28 in the X-axis direction and the heated carburizing chamber and the transfer unit 28 are combined, the combined heated carburizing chamber and the transfer unit 28 are changed to the cooling chamber in the X-axis direction. The heating carburizing chamber, the transfer unit 28, and the cooling chamber are coupled by moving the heating carburizing chamber. Thus, since it is only necessary to move the heated carburizing chamber and the transfer unit 28 in one direction in the X-axis direction, the mechanism and control method for moving the heated carburizing chamber and the transfer unit 28 can be simplified. Therefore, it is possible to simplify the structure of the facility and reduce the cost.

あるいは、加熱浸炭室を搬送ユニット28に向かって移動させながら、冷却室を搬送ユニット28に向かって移動させて加熱浸炭室と搬送ユニット28と冷却室とを結合させてもよい。これにより、加熱浸炭室と搬送ユニット28と冷却室とを結合させる時間の短縮を図ることができる。したがって、熱処理に要する時間を短縮することができる   Alternatively, the heating carburizing chamber, the transfer unit 28, and the cooling chamber may be coupled by moving the cooling chamber toward the transfer unit 28 while moving the heated carburizing chamber toward the transfer unit 28. Thereby, it is possible to shorten the time for combining the heating carburizing chamber, the transfer unit 28 and the cooling chamber. Therefore, the time required for heat treatment can be shortened.

また、冷却室にて冷却した被処理品W1〜W4をX軸方向について加熱浸炭室が配置される側とは反対側から被処理品抽出部(第1被処理品抽出部22Aや第2被処理品抽出部22B)により冷却室の外部に抽出する。このようにして、被処理品W1〜W4を冷却室からそのままX軸方向に沿って搬送して抽出する。これにより、スペース効率をさらに良くすることができる。また、被処理品に対し高周波焼入れを行う高周波焼入機(不図示)との配置位置の組み合わせを、効率的に行うことができる。   In addition, the products to be processed W1 to W4 cooled in the cooling chamber are processed from the side opposite to the side where the heated carburizing chamber is arranged in the X-axis direction (first processed product extraction unit 22A or second processed product). Extracted to the outside of the cooling chamber by the processed product extraction unit 22B). In this way, the products to be processed W1 to W4 are extracted from the cooling chamber as they are conveyed along the X-axis direction. Thereby, space efficiency can be improved further. Moreover, the combination of the arrangement position with the induction hardening machine (not shown) which performs induction hardening with respect to to-be-processed goods can be performed efficiently.

また、第1加熱浸炭室10Aと第2加熱浸炭室10Bは、被処理品W1〜W4の表面炭素濃度が高濃度(例えば、0.9%以上)となるように、被処理品W1〜W4に対し真空浸炭処理を行う。このように、熱処理設備1を、本実施例の熱処理を行う設備として利用する。これにより、熱処理設備の小型化を図ってスペース効率を良くしながら、本実施例の熱処理を行うことができる。   Further, in the first heated carburizing chamber 10A and the second heated carburizing chamber 10B, the articles to be processed W1 to W4 are set so that the surface carbon concentrations of the articles to be processed W1 to W4 are high (for example, 0.9% or more). Is subjected to vacuum carburization. Thus, the heat treatment facility 1 is used as a facility for performing the heat treatment of this embodiment. Thereby, the heat treatment of the present embodiment can be performed while reducing the size of the heat treatment equipment and improving the space efficiency.

<実施例2>
次に、実施例2について説明する。以下の説明では、実施例1と同等の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に述べる。実施例2の熱処理設備2の構成は、実施例1と比較して、第1被処理品抽出部22Aと第2被処理品抽出部22Bの位置が異なる。具体的には、図33に示すように、Y軸方向について、第1冷却室12A、第1被処理品抽出部22A、第2冷却室12B、第2被処理品抽出部22Bの順に配列されるようにして配置している。
<Example 2>
Next, Example 2 will be described. In the following description, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and different points are mainly described. The configuration of the heat treatment facility 2 of the second embodiment is different from that of the first embodiment in the positions of the first processed product extraction unit 22A and the second processed product extraction unit 22B. Specifically, as shown in FIG. 33, the first cooling chamber 12A, the first processed product extraction unit 22A, the second cooling chamber 12B, and the second processed product extraction unit 22B are arranged in this order in the Y-axis direction. Arranged so that.

そこで、図33〜図45を用いて実施例2の熱処理設備2の動作を説明する。ここで、図34は実施例2の熱処理設備2による熱処理工程を表したフローチャート図であり、前記の図3と図4に対して異なる部分のみを示し、詳細にはステップS40からの続きを示している。また、図35〜図45は、実施例2の熱処理工程ごとの熱処理設備2の各構成部の配置図である。   Therefore, the operation of the heat treatment facility 2 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 34 is a flowchart showing the heat treatment process by the heat treatment equipment 2 of the second embodiment, showing only different parts from the above-mentioned FIG. 3 and FIG. 4, and showing the continuation from step S40 in detail. ing. Moreover, FIGS. 35-45 is an arrangement | positioning drawing of each structure part of the heat processing equipment 2 for every heat processing process of Example 2. FIG.

まず、図35に示すように全ての加熱浸炭室と冷却室に被処理品が配置された状態から、図36に示すように搬送ユニット28を第1冷却室12Aに結合させる(ステップS51)。次に、図37に示すように、第1冷却室12Aにて被処理品W1に対して真空冷却工程a2の処理(冷却)が完了し、搬送ユニット28の第2扉36と第1冷却室12Aの扉42を開けて、第1冷却室12Aと搬送ユニット28を連通させる(ステップS52)。次に、図38に示すように、被処理品W1を第1冷却室12Aから搬送ユニット28へ搬送する(ステップS53)。   First, as shown in FIG. 36, the transfer unit 28 is coupled to the first cooling chamber 12A from the state where the articles to be processed are arranged in all the heated carburizing chambers and cooling chambers as shown in FIG. 35 (step S51). Next, as shown in FIG. 37, the processing (cooling) of the vacuum cooling step a2 is completed on the workpiece W1 in the first cooling chamber 12A, and the second door 36 and the first cooling chamber of the transport unit 28 are completed. The door 42 of 12A is opened and the 1st cooling chamber 12A and the conveyance unit 28 are connected (step S52). Next, as shown in FIG. 38, the workpiece W1 is transferred from the first cooling chamber 12A to the transfer unit 28 (step S53).

次に、図39に示すように、搬送ユニット28の第2扉36と第1冷却室12Aの扉42を閉めて、第1冷却室12Aを移動させて、第1冷却室12Aと搬送ユニット28とを切り離す(ステップS54)。次に、図40に示すように、搬送ユニット28を第1被処理品抽出部22Aが配置される位置まで移動させる(ステップS55)。次に、図41に示すように、搬送ユニット28内を大気圧にする(ステップS56)。次に、図42に示すように、搬送ユニット28の第2扉36を開けて、被処理品W1を第1被処理品抽出部22Aに搬送する(ステップS57)。   Next, as shown in FIG. 39, the second door 36 of the transfer unit 28 and the door 42 of the first cooling chamber 12A are closed, the first cooling chamber 12A is moved, and the first cooling chamber 12A and the transfer unit 28 are moved. Are separated (step S54). Next, as shown in FIG. 40, the transport unit 28 is moved to a position where the first workpiece extraction unit 22A is disposed (step S55). Next, as shown in FIG. 41, the inside of the transport unit 28 is set to atmospheric pressure (step S56). Next, as shown in FIG. 42, the second door 36 of the transport unit 28 is opened, and the processed product W1 is transferred to the first processed product extraction unit 22A (step S57).

次に、図43に示すように、搬送ユニット28の第2扉36を閉める(ステップS58)。次に、図44に示すように、搬送ユニット28内を真空にし、移動させる(ステップS59)。そして、第1被処理品抽出部22Aへ抽出した被処理品W1は、その後、不図示の高周波焼入機に搬送される。そして、被処理品W1に対し前記の高周波焼入れ工程a3を行う。   Next, as shown in FIG. 43, the second door 36 of the transport unit 28 is closed (step S58). Next, as shown in FIG. 44, the inside of the transport unit 28 is evacuated and moved (step S59). And the to-be-processed product W1 extracted to 22 A of 1st to-be-processed products extraction parts is conveyed by the induction hardening machine not shown after that. And the said induction hardening process a3 is performed with respect to the to-be-processed goods W1.

次に、被処理品W1の場合と同様にして、図45に示すように、被処理品W2を第2被処理品抽出部22Bに搬送する。すなわち、搬送ユニット28を第2冷却室12Bに結合させる(ステップS60)。次に、第2冷却室12Bにて被処理品W2に対して真空冷却工程a2の処理(冷却)が完了し、第2冷却室12Bと搬送ユニット28を連通させ(ステップS61)、被処理品W2を第2冷却室12Bから搬送ユニット28へ搬送する(ステップS62)。次に、第2冷却室12Bと搬送ユニット28とを切り離し(ステップS63)、搬送ユニット28を第2被処理品抽出部22Bが配置される位置まで移動させる(ステップS64)。次に、搬送ユニット28内を大気圧にし(ステップS65)、被処理品W2を第2被処理品抽出部22Bに搬送する(ステップS66)。次に、搬送ユニット28の第2扉36を閉めて(ステップS67)、搬送ユニット28内を真空にして移動させる(ステップS68)。このように第2被処理品抽出部22Bへ抽出した被処理品W2は、その後、不図示の高周波焼入機に搬送される。そして、被処理品W2に対し前記の高周波焼入れ工程a3を行う。   Next, as in the case of the product to be processed W1, as shown in FIG. 45, the product to be processed W2 is transported to the second product to be processed extraction unit 22B. That is, the transport unit 28 is coupled to the second cooling chamber 12B (step S60). Next, the processing (cooling) of the vacuum cooling step a2 is completed on the workpiece W2 in the second cooling chamber 12B, and the second cooling chamber 12B and the transfer unit 28 are communicated (Step S61). W2 is transferred from the second cooling chamber 12B to the transfer unit 28 (step S62). Next, the second cooling chamber 12B and the transport unit 28 are separated (step S63), and the transport unit 28 is moved to a position where the second processed product extraction unit 22B is disposed (step S64). Next, the inside of the transfer unit 28 is set to atmospheric pressure (step S65), and the processed product W2 is transferred to the second processed product extraction unit 22B (step S66). Next, the second door 36 of the transport unit 28 is closed (step S67), and the inside of the transport unit 28 is evacuated and moved (step S68). The article to be processed W2 extracted to the second article to be processed extraction unit 22B in this manner is then conveyed to an induction hardening machine (not shown). And the said induction hardening process a3 is performed with respect to the to-be-processed goods W2.

以上のような実施例2においても、前記の実施例1の効果と同様な効果を得ることができる。このように、第1被処理品抽出部22Aや第2被処理品抽出部22Bの配置位置を、自由に設定できる。   In the second embodiment as described above, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Thus, the arrangement positions of the first processed product extraction unit 22A and the second processed product extraction unit 22B can be freely set.

<実施例3>
次に、実施例3について説明する。以下の説明では、実施例1や実施例2と同等の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に述べる。実施例3の熱処理設備3では、図46に示すように、被処理品W1〜W4に対し前記の高周波焼入れ工程a3を行う高周波焼入機44を有する。そして、Y軸方向についてレール26の長手方向に沿って、複数の加熱浸炭冷却機構と高周波焼入機44とが並んで配置されている。そして、搬送ユニット28は、レール26を移動することにより、第1冷却室12Aや第2冷却室12Bから高周波焼入機44へ被処理品W1〜W4を搬送することができる。このようにして、高周波焼入機44を熱処理ラインの中に組み込ませている。そのため、被処理品を高周波焼入機まで運搬するため経路(スペース)を別途設ける必要がなくなり、省スペースにすることができる。従って、実施例1や実施例2に比べてスペース効率がさらに良くなる。また、人による運搬工数をなくすことができる。
<Example 3>
Next, Example 3 will be described. In the following description, components equivalent to those in the first embodiment and the second embodiment are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and different points are mainly described. As shown in FIG. 46, the heat treatment facility 3 according to the third embodiment includes an induction hardening machine 44 that performs the induction hardening step a3 on the workpieces W1 to W4. A plurality of heating carburizing and cooling mechanisms and an induction hardening machine 44 are arranged side by side along the longitudinal direction of the rail 26 in the Y-axis direction. And the conveyance unit 28 can convey the to-be-processed goods W1-W4 from the 1st cooling chamber 12A or the 2nd cooling chamber 12B to the induction hardening machine 44 by moving the rail 26. FIG. In this way, the induction hardening machine 44 is incorporated in the heat treatment line. Therefore, it is not necessary to separately provide a path (space) for transporting the workpiece to the induction hardening machine, and space can be saved. Therefore, the space efficiency is further improved as compared with the first and second embodiments. In addition, the number of man-hours required for transportation can be eliminated.

なお、図46に示す例では、実施例1の熱処理設備1に高周波焼入機44を追加した仕様になっているが、これに限定されず、実施例2の熱処理設備2に高周波焼入機44を追加した仕様としてもよい。   In addition, in the example shown in FIG. 46, although it becomes the specification which added the induction hardening machine 44 to the heat treatment equipment 1 of Example 1, it is not limited to this, The induction hardening machine is added to the heat treatment equipment 2 of Example 2. It is good also as a specification which added 44.

以上のような実施例3によれば、前記の実施例1の効果と実施例2の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。実施例3の熱処理設備3は、被処理品W1〜W4に対し高周波焼入れを行う高周波焼入機44を有している。そして、Y軸方向についてレール26に沿って加熱浸炭冷却機構と高周波焼入機44とが並んで配置されている。このようにして、高周波焼入機44を熱処理設備3の熱処理ラインの中に組み込ませている。これにより、スペース効率がさらに良くなる。   According to the third embodiment as described above, in addition to the effects of the first embodiment and the second embodiment, the following effects can be obtained. The heat treatment facility 3 according to the third embodiment includes an induction hardening machine 44 that performs induction hardening on the workpieces W1 to W4. And the heating carburization cooling mechanism and the induction hardening machine 44 are arrange | positioned along with the rail 26 about the Y-axis direction. In this way, the induction hardening machine 44 is incorporated in the heat treatment line of the heat treatment equipment 3. This further improves space efficiency.

なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。前記の実施例1〜実施例3では、熱処理設備1〜3により本実施例の熱処理を行う例を示したが、これに限定されず、熱処理設備1〜3は、その他の浸炭処理(例えば、被処理品の表面炭素濃度として高濃度が要求されない通常の浸炭を行う熱処理など)にも応用できる。   It should be noted that the above-described embodiment is merely an example and does not limit the present invention in any way, and various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the invention. In Examples 1 to 3, the example of performing the heat treatment of the present example by the heat treatment facilities 1 to 3 has been shown. However, the heat treatment facilities 1 to 3 are not limited to this, and other carburizing treatments (for example, The present invention can also be applied to a normal carburizing heat treatment in which a high concentration is not required as the surface carbon concentration of the article to be processed.

1 熱処理設備
2 熱処理設備
3 熱処理設備
10A 第1加熱浸炭室
10B 第2加熱浸炭室
12A 第1冷却室
12B 第2冷却室
14 搬送部
22A 第1被処理品抽出部
22B 第2被処理品抽出部
28 搬送ユニット
32 (搬送ユニットの)第1扉
34 (第1加熱浸炭室の)扉
36 (搬送ユニットの)第2扉
38 (冷却室の)入口扉
40 (冷却室の)出口扉
42 (冷却室の)扉
44 高周波焼入機
a1 真空浸炭処理工程
a2 真空冷却工程
a3 高周波焼入れ工程
W1 被処理品
W2 被処理品
W3 被処理品
W4 被処理品
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heat processing equipment 2 Heat processing equipment 3 Heat processing equipment 10A 1st heating carburizing chamber 10B 2nd heating carburizing chamber 12A 1st cooling chamber 12B 2nd cooling chamber 14 Conveyance part 22A 1st to-be-processed product extraction part 22B 2nd to-be-processed product extraction part 28 Transport unit 32 First door of transport unit 34 Door of first heating carburizing chamber 36 Second door of transport unit 38 Entrance door of cooling chamber 40 Exit door of cooling chamber 42 Cooling Chamber door 44 Induction hardening machine a1 Vacuum carburizing process a2 Vacuum cooling process a3 Induction hardening process W1 Processed product W2 Processed product W3 Processed product W4 Processed product

Claims (9)

被処理品を加熱して前記被処理品に対し真空浸炭処理を行う加熱浸炭室と、前記真空浸炭処理が行われた前記被処理品を冷却する冷却室と、前記被処理品を前記加熱浸炭室へ搬送し、かつ、前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送する搬送ユニットとを有する熱処理設備において、
前記搬送ユニットが移動する移動路を挟んで対向して配置される1対の前記加熱浸炭室と前記冷却室からなる加熱浸炭冷却機構が前記移動路に沿って複数配置されており、
前記搬送ユニットは、前記移動路を移動して複数配置されている前記加熱浸炭冷却機構の各々の前記加熱浸炭室へ前記被処理品を搬送可能で、かつ、前記加熱浸炭冷却機構の各々において前記加熱浸炭室から前記冷却室へ前記被処理品を搬送可能であること、
を特徴とする熱処理設備。
A heated carburizing chamber that heats the article to be treated and performs a vacuum carburizing process on the article to be treated; a cooling chamber that cools the article to be treated that has undergone the vacuum carburizing process; and In a heat treatment facility having a transport unit that transports to a chamber and transports from the heating carburizing chamber to the cooling chamber,
A plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of the heating carburizing chamber and the cooling chamber, which are arranged to face each other across the moving path on which the transport unit moves, are arranged along the moving path,
The transport unit is capable of transporting the article to be processed to each of the heating carburizing chambers of each of the heating carburizing and cooling mechanisms arranged in a plurality by moving the moving path, and in each of the heating carburizing and cooling mechanisms, The article to be processed can be transported from the heating carburizing chamber to the cooling chamber;
Heat treatment equipment characterized by
請求項1の熱処理設備において、
前記加熱浸炭室にて前記被処理品に対し前記真空浸炭処理を行った後、前記搬送ユニットにより前記被処理品を前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送すること、
を特徴とする熱処理設備。
In the heat treatment equipment according to claim 1,
After carrying out the vacuum carburizing treatment on the article to be treated in the heating carburizing chamber, conveying the article to be treated from the heating carburizing chamber to the cooling chamber by the transport unit;
Heat treatment equipment characterized by
請求項2の熱処理設備において、
前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットと前記冷却室とを結合させて前記加熱浸炭室の内部と前記搬送ユニットの内部と前記冷却室の内部とを真空にした状態で、前記搬送ユニットにより前記被処理品を前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送すること、
を特徴とする熱処理設備。
In the heat treatment facility according to claim 2,
In the state where the heating carburizing chamber, the transfer unit, and the cooling chamber are combined and the inside of the heating carburizing chamber, the inside of the transfer unit, and the inside of the cooling chamber are evacuated, the processing target is processed by the transfer unit. Conveying the product from the heated carburizing chamber to the cooling chamber;
Heat treatment equipment characterized by
請求項3の熱処理設備において、
前記加熱浸炭室を前記搬送ユニットに向かって移動させて前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットを結合させた後に、結合させた前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットを前記冷却室に向かって移動させることにより、前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットと前記冷却室とを結合させること、
を特徴とする熱処理設備。
In the heat treatment facility of claim 3,
By moving the heated carburizing chamber toward the transfer unit and combining the heated carburizing chamber and the transfer unit, and then moving the combined heated carburizing chamber and the transfer unit toward the cooling chamber. , Combining the heating carburizing chamber, the transfer unit and the cooling chamber;
Heat treatment equipment characterized by
請求項3の熱処理設備において、
前記加熱浸炭室と前記冷却室を各々前記搬送ユニットに向かって移動させることにより、前記加熱浸炭室と前記搬送ユニットと前記冷却室とを結合させること、
を特徴とする熱処理設備。
In the heat treatment facility of claim 3,
Combining the heating carburizing chamber, the transfer unit and the cooling chamber by moving the heating carburizing chamber and the cooling chamber respectively toward the transfer unit;
Heat treatment equipment characterized by
請求項1乃至5のいずれか1つの熱処理設備において、
前記冷却室にて冷却した前記被処理品を前記加熱浸炭室が配置される側とは反対側から前記冷却室の外部に抽出すること、
を特徴とする熱処理設備。
The heat treatment equipment according to any one of claims 1 to 5,
Extracting the workpiece cooled in the cooling chamber from the side opposite to the side where the heated carburizing chamber is disposed to the outside of the cooling chamber;
Heat treatment equipment characterized by
請求項1乃至6のいずれか1つの熱処理設備において、
前記加熱浸炭室は、前記被処理品の表面炭素濃度が0.9%以上となるように、前記被処理品に対し前記真空浸炭処理を行うこと、
を特徴とする熱処理設備。
The heat treatment equipment according to any one of claims 1 to 6,
The heating carburizing chamber is configured to perform the vacuum carburizing treatment on the article to be treated such that a surface carbon concentration of the article to be treated is 0.9% or more;
Heat treatment equipment characterized by
請求項1乃至7のいずれか1つの熱処理設備において、
前記被処理品に対し高周波焼入れを行う高周波焼入機を有し、
前記移動路に沿って前記加熱浸炭冷却機構と前記高周波焼入機とが並んで配置されており、
前記搬送ユニットは、前記移動路を移動して前記高周波焼入機へ前記被処理品を搬送可能であること、
を特徴とする熱処理設備。
The heat treatment equipment according to any one of claims 1 to 7,
Having an induction hardening machine for induction hardening to the article to be treated;
The heating carburizing and cooling mechanism and the induction hardening machine are arranged side by side along the moving path,
The transport unit is capable of transporting the article to be processed to the induction hardening machine by moving the moving path;
Heat treatment equipment characterized by
被処理品を加熱して前記被処理品に対し真空浸炭処理を行う加熱浸炭室と、前記真空浸炭処理が行われた前記被処理品を冷却する冷却室と、前記被処理品を前記加熱浸炭室へ搬送し、かつ、前記加熱浸炭室から前記冷却室へ搬送する搬送ユニットとを使用する熱処理方法において、
前記搬送ユニットが移動する移動路を挟んで対向して配置される1対の前記加熱浸炭室と前記冷却室からなる加熱浸炭冷却機構が前記移動路に沿って複数配置されており、
前記搬送ユニットが前記移動路を移動して複数配置されている前記加熱浸炭冷却機構の各々の前記加熱浸炭室へ前記被処理品を搬送し、かつ、前記搬送ユニットが前記加熱浸炭冷却機構の各々において前記加熱浸炭室から前記冷却室へ前記被処理品を搬送すること、
を特徴とする熱処理方法。
A heated carburizing chamber that heats the article to be treated and performs a vacuum carburizing process on the article to be treated; a cooling chamber that cools the article to be treated that has undergone the vacuum carburizing process; and In a heat treatment method using a transport unit that transports to a chamber and transports from the heating carburizing chamber to the cooling chamber,
A plurality of heating carburizing and cooling mechanisms including a pair of the heating carburizing chamber and the cooling chamber, which are arranged to face each other across the moving path on which the transport unit moves, are arranged along the moving path,
The transport unit transports the article to be processed to each of the heating carburizing chambers of the heating carburizing and cooling mechanism arranged in plural by moving along the moving path, and the transport unit is configured to each of the heating carburizing and cooling mechanisms. Conveying the article to be processed from the heating carburizing chamber to the cooling chamber,
A heat treatment method characterized by the above.
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