JP2013052940A - Pickup device - Google Patents

Pickup device Download PDF

Info

Publication number
JP2013052940A
JP2013052940A JP2011190633A JP2011190633A JP2013052940A JP 2013052940 A JP2013052940 A JP 2013052940A JP 2011190633 A JP2011190633 A JP 2011190633A JP 2011190633 A JP2011190633 A JP 2011190633A JP 2013052940 A JP2013052940 A JP 2013052940A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
claw
uppermost
engaging
holding mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011190633A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Makino
誠 牧野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Machinery Inc
Original Assignee
Canon Machinery Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Machinery Inc filed Critical Canon Machinery Inc
Priority to JP2011190633A priority Critical patent/JP2013052940A/en
Publication of JP2013052940A publication Critical patent/JP2013052940A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pickup device that can stably and sequentially pick up the uppermost tray even when a stack obtained by stacking a plurality of trays in a vertical direction is tilted.SOLUTION: The pickup device picks up the uppermost tray 11A for a plurality of trays 11 stacked in a vertical direction. The pickup device includes: a lift table 12 on which the plurality of trays 11 stacked in the vertical direction is placed; a plurality of tray holding mechanisms 13 holding the uppermost tray 11A elevated by the elevation of the lift table 12; and a following mechanism 14 displacing the position of each of the holding mechanisms in accordance with the tilt of the uppermost tray 11A relative to the horizontal surface.

Description

本発明は、ピックアップ装置に関し、特に、上下方向に積み重ねられた複数のトレイに対して、その最上段トレイをピックアップするピックアップ装置に関する。   The present invention relates to a pickup device, and more particularly to a pickup device that picks up an uppermost tray for a plurality of trays stacked in the vertical direction.

上下方向に積み重ねられた複数のトレイに対して、複数のトレイから順次搬送していく装置として、特許文献1に示すようなクレーン型の搬送機構がある(特許文献)。この搬送機構は、図7に示すように、チャック部1を有している。チャック部1は、一対のチャック爪1aを有しており、チャック爪1aは、トレイ2における相互に対向した側縁部に位置する係合部3にそれぞれ係合するようになっている。   As a device for sequentially transporting a plurality of trays stacked in the vertical direction from a plurality of trays, there is a crane-type transport mechanism as shown in Patent Document 1 (Patent Document). As shown in FIG. 7, the transport mechanism has a chuck portion 1. The chuck portion 1 has a pair of chuck claws 1 a, and the chuck claws 1 a are respectively engaged with engaging portions 3 located at side edges of the tray 2 facing each other.

従って、複数のトレイ2が上下方向に積み重ねられた状態で工場内に搬入されると、搬送機構における各チャック部1のチャック爪1aが、最上部に位置するトレイ2の係合部3と、その下側に位置するトレイ2の係合部3との間にそれぞれ挿入されて、最上部に位置するトレイ2の係合部3に係合される。その後、各チャック部1全体が上方に移動されることにより、最上部に位置するトレイ2が、他の積み重ねられたトレイ2から分離される。そして、各チャック部1によって、分離されたトレイ2が、他の部位へと搬送される。   Therefore, when a plurality of trays 2 are stacked in the vertical direction and are carried into the factory, the chuck claws 1a of the chuck portions 1 in the transport mechanism are engaged with the engaging portions 3 of the tray 2 positioned at the top, It is inserted between the engaging portion 3 of the tray 2 positioned on the lower side and engaged with the engaging portion 3 of the tray 2 positioned on the uppermost portion. Thereafter, the entire chuck portion 1 is moved upward, whereby the tray 2 positioned at the top is separated from the other stacked trays 2. And the tray 2 separated by each chuck | zipper part 1 is conveyed to another site | part.

特開2004−59116号公報JP 2004-59116 A

しかしながら、図7に示すように複数のトレイ2を上下方向に積み重ねれば、図6に示すように傾く場合がある。このように傾けば、一のチャック爪1a(1a1)が最上段のトレイ2の一の係合部3(3a1)の高さ位置にあって係合することができても、他のチャック爪1a(1a2)が最上段のトレイ2の他の係合部3(3a2)の高さ位置に合わない場合が生じる。このような場合、最上段のトレイ2をピックアップできない。   However, if a plurality of trays 2 are stacked in the vertical direction as shown in FIG. 7, they may tilt as shown in FIG. By tilting in this way, even if one chuck claw 1a (1a1) is at the height position of one engaging portion 3 (3a1) of the uppermost tray 2, it can be engaged with another chuck claw. There are cases where 1a (1a2) does not match the height position of the other engaging portion 3 (3a2) of the uppermost tray 2. In such a case, the uppermost tray 2 cannot be picked up.

このような傾きに対応するために、例えば、チャック爪1aを、前記傾きを見越して薄くしたりする方法を提案できる。しかしながら、傾きの度合いによって、このようにチャック爪を薄くしても対応できない場合もある。   In order to cope with such an inclination, for example, a method of thinning the chuck claw 1a in anticipation of the inclination can be proposed. However, depending on the degree of inclination, there are cases where it is not possible to cope with such a thin chuck claw.

そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、上下方向に複数枚のトレイが積み上げてのその積層体が傾いても、最上段のトレイを安定して順次ピックアップしていくことができるピックアップ装置を提供しようとするものである。   Therefore, in view of such circumstances, the present invention provides a pickup device that can stably and sequentially pick up the uppermost tray even if the stacked body in which a plurality of trays are stacked in the vertical direction is inclined. It is something to try.

本発明のピックアップ装置は、上下方向に積み重ねられた複数のトレイに対して、その最上段トレイをピックアップするピックアップ装置であって、上下方向に積み重ねられた複数のトレイが載置される昇降台と、最上段トレイに対して少なくとも前後左右の4箇所に配置されて、前記昇降台の上昇によって上昇してきた最上段トレイを保持する複数のトレイ保持機構と、水平面に対する最上段トレイの傾斜に対応して各保持機構位置を上下方向に変位させる倣い機構とを備えたものである。   The pickup device of the present invention is a pickup device that picks up the uppermost tray with respect to a plurality of trays stacked in the vertical direction, and a lifting platform on which the plurality of trays stacked in the vertical direction are placed A plurality of tray holding mechanisms that are arranged at least at four positions on the front, rear, left, and right with respect to the uppermost tray, and that hold the uppermost tray that has been lifted by the raising of the lifting platform, and correspond to the inclination of the uppermost tray with respect to the horizontal plane And a copying mechanism that displaces each holding mechanism position in the vertical direction.

本発明のピックアップ装置によれば、トレイ保持機構にて昇降台の上昇によって上昇してきた最上段トレイを保持することができる。しかも、各トレイ保持機構は倣い機構を介して、水平面に対する最上段トレイの傾斜に対応して上下方向に変位することができるので、最上段トレイが水平面に対して傾斜していても、各トレイ保持機構は最上段トレイを保持することができる。また、このようにトレイ保持機構にて最上段トレイを保持した状態で、昇降台が下降すれば、最上段のトレイを他のトレイから離間した状態、つまり、最上段のトレイをピックアップした状態となる。   According to the pickup device of the present invention, it is possible to hold the uppermost tray that has been lifted by the raising of the lifting platform by the tray holding mechanism. In addition, since each tray holding mechanism can be displaced in the vertical direction corresponding to the inclination of the uppermost tray with respect to the horizontal plane via the copying mechanism, even if the uppermost tray is inclined with respect to the horizontal plane, The holding mechanism can hold the uppermost tray. In addition, if the upper and lower trays are lowered with the tray holding mechanism held in this manner, the uppermost tray is separated from the other trays, that is, the uppermost tray is picked up. Become.

トレイ保持機構は、昇降台を介して上昇してきた最上段トレイに対してその上面を受ける押さえ爪と、押さえ爪にて上面が押さえられた状態において、その最上段トレイの係合部に係合する係合爪とを有するものとできる。   The tray holding mechanism engages with the uppermost tray that has been lifted via the lifting platform, and a presser claw that receives the upper surface of the uppermost tray, and when the upper surface is pressed by the presser claw, It has an engaging claw to do.

このように、トレイ保持機構が押さえ爪と係合爪とを有するものでは、水平面に対して最上段トレイが傾斜している場合、最上段トレイが上昇してきた際に、まず、最上段トレイの最上位に対応するトレイ保持機構の押さえ爪が最上段トレイの上面に接触する。すなわち、このトレイ保持機構の押さえ爪にて最上段トレイに対してその上面を押さえた状態となる。この状態となれば、このトレイ保持機構の係合爪が最上段トレイの係合部に係合する。この際、他のトレイ保持機構の押さえ爪は最上段トレイに接触していない。   As described above, when the tray holding mechanism has the pressing claw and the engaging claw, when the uppermost tray is inclined with respect to the horizontal plane, when the uppermost tray rises, first, The holding claw of the tray holding mechanism corresponding to the uppermost layer contacts the upper surface of the uppermost tray. That is, the upper surface is pressed against the uppermost tray by the pressing claw of the tray holding mechanism. In this state, the engaging claw of the tray holding mechanism engages with the engaging portion of the uppermost tray. At this time, the pressing claws of the other tray holding mechanisms are not in contact with the uppermost tray.

その後、さらに、最上段トレイが上昇すれば、次の高さ位置に対応するトレイ保持機構の押さえ爪が最上段トレイの上面に接触することになる。このため、このトレイ保持機構の係合爪が最上段トレイの係合部に係合する。この上昇の際には、最初に係合爪にて係合したトレイ保持機構は、倣い機構にて上下動が可能であるため、この係合状態を維持したままの上昇が可能である。   Thereafter, when the uppermost tray is further lifted, the pressing claw of the tray holding mechanism corresponding to the next height position comes into contact with the upper surface of the uppermost tray. For this reason, the engaging claw of the tray holding mechanism engages with the engaging portion of the uppermost tray. At the time of the ascent, the tray holding mechanism first engaged by the engaging claw can be moved up and down by the copying mechanism, and therefore can be raised while maintaining this engaged state.

以後、最上段トレイが上昇していけば、順次、他のトレイ保持機構の係合爪が最上段トレイの係合部に係合していくことになる。そのため、最終的に、全てのトレイ保持機構の係合爪にて係合することができる。このため、少なくとも前後左右の4箇所にて最上段トレイを保持することができる。   Thereafter, when the uppermost tray is raised, the engaging claws of the other tray holding mechanisms are sequentially engaged with the engaging portions of the uppermost tray. Therefore, it is finally possible to engage with the engaging claws of all tray holding mechanisms. For this reason, the uppermost tray can be held at least at four locations, front, rear, left and right.

トレイの下面側には係合部を有し、この係合部に前記係合爪が外方から揺動して係合し、この係合状態で、この係合爪と前記押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持するように構成できる。このように構成することによって、係合爪と押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持することができ、トレイの保持状態が安定する。しかも、係合爪が係合部に係合する際には、外方から揺動することになるので、係合爪がトレイの上下動の妨げにならない。   There is an engaging portion on the lower surface side of the tray, and the engaging claw swings and engages with the engaging portion from the outside. In this engaged state, the engaging claw and the holding claw It can comprise so that the peripheral part of a tray may be clamped in cooperation. By comprising in this way, a peripheral part of a tray can be clamped in cooperation with an engaging claw and a press claw, and the holding state of a tray is stabilized. Moreover, when the engaging claw is engaged with the engaging portion, the engaging claw swings from the outside, so that the engaging claw does not hinder the vertical movement of the tray.

固定側に配置されるシリンダ機構と、トレイ保持機構の上下方向の変位に追従してシリンダ機構の駆動により前記係合爪を揺動させる連結機構を備えたものが好ましい。このように構成することによって、シリンダ機構の駆動によって、連結機構を介して係合爪を揺動させることができてこの係合爪をトレイの係合部に係合させることができる。しかも、シリンダ機構が固定側に配置されるものであるので、上下動するトレイ保持機構側にこのような駆動源を配置する必要がなく、トレイ保持機構の軽量化を図ることができる。   It is preferable to include a cylinder mechanism arranged on the fixed side and a coupling mechanism that swings the engagement claw by driving the cylinder mechanism following the vertical displacement of the tray holding mechanism. With this configuration, the engaging claw can be swung via the coupling mechanism by driving the cylinder mechanism, and the engaging claw can be engaged with the engaging portion of the tray. Moreover, since the cylinder mechanism is arranged on the fixed side, it is not necessary to arrange such a drive source on the side of the tray holding mechanism that moves up and down, and the tray holding mechanism can be reduced in weight.

保持機構にてトレイを保持した状態で、このトレイを水平状に戻す戻し機構を備えたものとできる。   In a state where the tray is held by the holding mechanism, a return mechanism for returning the tray to a horizontal state can be provided.

本発明のピックアップ装置では、最上段トレイが水平面に対して傾斜していても、各トレイ保持機構は最上段トレイを保持することができ、安定したトレイのピックアップ作業を行うことができる。   In the pickup device of the present invention, each tray holding mechanism can hold the uppermost tray even when the uppermost tray is inclined with respect to the horizontal plane, and a stable tray pickup operation can be performed.

トレイ保持機構が押さえ爪と係合爪とを有するものでは、全トレイ保持機構の係合爪にて最上段トレイを受けることができ、安定した状態で最上段トレイを保持できる。   When the tray holding mechanism has a pressing claw and an engaging claw, the uppermost tray can be received by the engaging claw of the all tray holding mechanism, and the uppermost tray can be held in a stable state.

係合爪と押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持することができ、トレイの保持状態が安定する。しかも、係合爪が係合部に係合する際には、係合爪がトレイの上下動の妨げにならず、ピックアップ動作が安定する。   The peripheral edge of the tray can be clamped in cooperation with the engaging claw and the holding claw, and the holding state of the tray is stabilized. In addition, when the engaging claw engages with the engaging portion, the engaging claw does not hinder the vertical movement of the tray, and the pickup operation is stabilized.

シリンダ機構と連結機構とを備えたものでは、シリンダ機構の駆動によって係合爪をトレイの係合部に係合させることができ、この係合動作が安定する。しかも、トレイ保持機構の軽量化を図ることができ、トレイ保持機構の上下動が安定して、トレイの傾きの追従性に優れる。   In the apparatus including the cylinder mechanism and the coupling mechanism, the engagement claw can be engaged with the engagement portion of the tray by driving the cylinder mechanism, and this engagement operation is stabilized. Moreover, the weight of the tray holding mechanism can be reduced, the vertical movement of the tray holding mechanism is stable, and the tray tilting followability is excellent.

戻し機構を備えたものでは、保持機構にてトレイを保持した状態で、このトレイを水平状に戻すことができ、その後の工程が安定する。すなわち、このトレイが水平状に配設されるので、吸着装置等にて、トレイに収納されたワーク(例えば、基板)を他の部位を搬送する際に、基板を安定して吸着することができるからである。   In the case where the return mechanism is provided, the tray can be returned to a horizontal state while the tray is held by the holding mechanism, and the subsequent steps are stabilized. That is, since this tray is disposed horizontally, the substrate can be stably adsorbed when the work (for example, the substrate) stored in the tray is transported to another part by the adsorption device or the like. Because it can.

本発明の実施形態のピックアップ装置によるピップアップ動作の工程図である。It is process drawing of the pip up operation | movement by the pick-up apparatus of embodiment of this invention. 前記図1示すピックアップ装置の平面図である。It is a top view of the pick-up apparatus shown in the said FIG. 前記図1示すピックアップ装置の要部拡大平面図である。It is a principal part enlarged plan view of the pick-up apparatus shown in the said FIG. 前記図1示すピックアップ装置の要部拡大側面図である。It is a principal part expanded side view of the pick-up apparatus shown in the said FIG. 前記図1示すピックアップ装置の正面図である。It is a front view of the pick-up apparatus shown in the said FIG. 従来のピックアップ装置の問題点を説明する簡略正面図である。It is a simplified front view explaining the problem of the conventional pick-up apparatus. 従来のピックアップ装置にてピックアップ動作を説明する簡略正面図である。It is a simplified front view explaining a pickup operation in a conventional pickup device.

以下本発明の実施の形態を図1〜図7に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1は本発明に係るピックアップ装置を示し、このピックアップ装置は、上下方向に積み重ねられた複数のトレイ11に対して、その最上段トレイ11Aをピックアップするものであって、上下方向に積み重ねられた複数トレイ11が載置される昇降台12と、最上段トレイ11Aを保持する複数のトレイ保持機構13と、水平面に対する最上段トレイの傾斜に対応して各保持機構位置を上下方向に変位させる倣い機構14とを備える。   FIG. 1 shows a pickup device according to the present invention, which picks up the uppermost tray 11A of a plurality of trays 11 stacked in the vertical direction and stacked in the vertical direction. In accordance with the inclination of the uppermost tray with respect to the horizontal plane, the position of each holding mechanism is displaced in the vertical direction according to the elevator 12 on which the plurality of trays 11 are placed, the plurality of tray holding mechanisms 13 that hold the uppermost tray 11A. And a mechanism 14.

この場合のトレイ11は、図2から図5等に示すように、複数個の正方形状の電子部品15等が収容される収納部16を備える。具体的には、トレイ11は、平面視矩形状の底壁17と、この底壁17の外周縁に立設される周壁18とを備え、底壁17に複数個(この実施形態では10個)の前記収納部16が設けられている。また、周壁18の下端の前後左右の4箇所に切欠部が設けられ、この切欠部が後述する係合部20を構成する。   As shown in FIGS. 2 to 5 and the like, the tray 11 in this case includes a storage portion 16 in which a plurality of square electronic components 15 and the like are stored. Specifically, the tray 11 includes a bottom wall 17 having a rectangular shape in plan view and a peripheral wall 18 standing on the outer peripheral edge of the bottom wall 17, and a plurality of (in this embodiment, 10 pieces) are provided on the bottom wall 17. ) Of the storage portion 16 is provided. In addition, notches are provided at four locations on the front, rear, left and right of the lower end of the peripheral wall 18, and the notches constitute an engaging portion 20 described later.

図1に示すように、昇降台12は、上下方向に積み重ねられた複数トレイ11を受けるテーブル21と、このテーブル21を水平状態を維持しつつ上下動させる昇降機構とを備える。昇降機構としては、例えば、パンタグラフ機構と、このパンタグラフ機構を伸縮させる駆動機構とを備えたもので構成できる。また、駆動機構としては、シリンダ機構であっても、ボールねじ機構等であってもよい。   As shown in FIG. 1, the lifting platform 12 includes a table 21 that receives a plurality of trays 11 stacked in the vertical direction, and a lifting mechanism that moves the table 21 up and down while maintaining a horizontal state. For example, the elevating mechanism can be configured by a pantograph mechanism and a drive mechanism that expands and contracts the pantograph mechanism. Further, the drive mechanism may be a cylinder mechanism or a ball screw mechanism.

トレイ保持機構13は、昇降台12のテーブル21を包囲状とする枠体25に、前後左右に4個配設される。各トレイ保持機構13は、昇降台12を介して上昇してきた最上段トレイ11Aに対してその上面11a(図1参照)を受ける押さえ爪26と、押さえ爪26にて上面11aが押さえられた状態において、その最上段トレイ11Aの係合部20に係合する係合爪27とを有するものである。   Four tray holding mechanisms 13 are arranged in the front, rear, left, and right on a frame 25 that surrounds the table 21 of the lifting platform 12. Each tray holding mechanism 13 includes a pressing claw 26 that receives the upper surface 11a (see FIG. 1) of the uppermost tray 11A that has been lifted via the lifting platform 12, and a state in which the upper surface 11a is pressed by the pressing claw 26. And the engaging claw 27 engaged with the engaging portion 20 of the uppermost tray 11A.

すなわち、枠体25は、左右の保持枠25a、25aを有し、各保持枠25aの前後に上下動自在のブロック体28,28を付設している。そして、各ブロック体28の上部から前記延設部24bがトレイ側に向かって水平方向に延びて、この延設部24bの先端が押さえ爪26となる。このため、昇降台12のテーブル21が上昇してきた場合、この押さえ爪26に最上段トレイ11Aの上面11a、つまり周壁18の一部が当接(接触)する。なお、ブロック体28は、本体基部28aと、この本体基部28aに付設される副体28bとを有し、この副体28bは、立ち上がり片部24aと、この立ち上がり片部24aから延びる前記延設部24bからなる。   That is, the frame body 25 has left and right holding frames 25a and 25a, and block bodies 28 and 28 that are movable up and down are attached to the front and rear of each holding frame 25a. Then, the extended portion 24b extends in the horizontal direction from the upper portion of each block body 28 toward the tray side, and the tip of the extended portion 24b serves as a pressing claw 26. For this reason, when the table 21 of the elevator 12 is raised, the upper surface 11a of the uppermost tray 11A, that is, a part of the peripheral wall 18 abuts (contacts) with the pressing claw 26. The block body 28 includes a main body base portion 28a and a sub body 28b attached to the main body base portion 28a. The sub body 28b extends from the rising piece portion 24a and the rising piece portion 24a. Part 24b.

係合爪27は、係合部20に係合した状態において、押さえ爪26の下方の位置に押さえ爪26に相対面(相対向)するように配置される。また、この係合爪27はその軸部33を中心に揺動(回動)する。   The engaging claw 27 is disposed at a position below the pressing claw 26 so as to face the pressing claw 26 (opposite to each other) when engaged with the engaging portion 20. Further, the engaging claw 27 swings (turns) around the shaft portion 33.

この係合爪27の揺動(回動)は、固定側の枠体25にそのシリンダ本体30aが付設されるシリンダ機構30の駆動によって行われる。すなわち、このシリンダ機構30のピストンロッド30bの先端部32と、係合爪27とを連結機構31を介して連結する。図3に示すように、この際、ピストンロッド30bが延びた状態において、係合爪27が係合部20に係合しない収納状態となっている。この収納状態において、ピストンロッド30bを引っ込めることによって、係合爪27とピストンロッド30bの先端部とが連結された揺動アーム33か揺動し、この揺動によって、係合爪27がその枢支軸33を中心に矢印A方向(図3参照)に揺動(回動)してこの係合爪27に対応する係合部20に外方から係合することになる。   The engagement claw 27 is swung (turned) by driving a cylinder mechanism 30 in which the cylinder body 30a is attached to the frame 25 on the fixed side. That is, the tip 32 of the piston rod 30 b of the cylinder mechanism 30 and the engaging claw 27 are connected via the connecting mechanism 31. As shown in FIG. 3, at this time, when the piston rod 30 b is extended, the engaging claw 27 is in a storage state where it does not engage with the engaging portion 20. In this retracted state, by retracting the piston rod 30b, the swing arm 33 in which the engagement claw 27 and the tip of the piston rod 30b are connected swings, and this swing causes the engagement claw 27 to pivot. It swings (rotates) around the support shaft 33 in the direction of arrow A (see FIG. 3) and engages with the engaging portion 20 corresponding to the engaging claw 27 from the outside.

このように係合した状態から、ピストンロッド30bが延びれば、揺動アーム33が揺動し、この揺動によって、係合爪27がその枢支軸33を中心に矢印B方向(図3参照)に揺動(回動)してこの係合爪27が係合部20から外れることになる。   If the piston rod 30b extends from the engaged state as described above, the swing arm 33 swings. By this swing, the engaging claw 27 is centered on the pivot shaft 33 in the direction of arrow B (FIG. 3). The engaging claw 27 is disengaged from the engaging portion 20 by swinging (turning) as shown in FIG.

また、ブロック体28は、枠体25から立設されるロッド35、35にガイドされて上下動し、コイルスプリング等からなる弾性部材36にて、弾性的に下方に押し付けられている。この場合、ロッド35、35の上端に受板37が固定され、この受板37と、ブロック体28の本体基部28aとの間に前記弾性部材36が介在されている。   The block body 28 is guided by rods 35, 35 standing from the frame body 25 and moves up and down, and is elastically pressed downward by an elastic member 36 made of a coil spring or the like. In this case, a receiving plate 37 is fixed to the upper ends of the rods 35, 35, and the elastic member 36 is interposed between the receiving plate 37 and the main body base portion 28 a of the block body 28.

シリンダ機構30のシリンダ本体30aは、図4に示すように、その基部支持部40が枠体25から立設される軸部材41に枢支されている。また、このシリンダ機構30のピストンロッド30bと連結される連結機構31は、ブロック体28の上下動に追従できる構成になっている。この場合、係合爪27は、ブロック体28の上下動と一体的に上下動し、シリンダ機構30のピストンロッド30bは、ブロック体28の上下動に伴って上下動しない。   As shown in FIG. 4, the cylinder body 30 a of the cylinder mechanism 30 is pivotally supported by a shaft member 41 whose base support portion 40 is erected from the frame body 25. The coupling mechanism 31 coupled to the piston rod 30b of the cylinder mechanism 30 is configured to follow the vertical movement of the block body 28. In this case, the engaging claw 27 moves up and down integrally with the vertical movement of the block body 28, and the piston rod 30 b of the cylinder mechanism 30 does not move up and down with the vertical movement of the block body 28.

このため、押さえ爪26と係合爪27とは一体に上下動し、これらの上下方向間隔は一定とされる。そして、押さえ爪26と係合爪27との上下動の際にシリンダ機構30は上下動しない。   For this reason, the pressing claw 26 and the engaging claw 27 move up and down integrally, and the vertical interval between them is constant. The cylinder mechanism 30 does not move up and down when the holding claw 26 and the engaging claw 27 move up and down.

このように、ブロック体28が、枠体25に対して上下動することができ、この構成をもって、前記倣い機構14を形成することができる。また、弾性部材36にて、後述するように、トレイ保持機構13をもとの位置に戻す戻し機構45を構成することができる。   Thus, the block body 28 can move up and down with respect to the frame body 25, and the copying mechanism 14 can be formed with this configuration. In addition, the elastic member 36 can constitute a return mechanism 45 that returns the tray holding mechanism 13 to its original position, as will be described later.

ところで、この装置には、トレイ保持機構13の上下位置を確認する位置検出手段50が設けられている。位置検出手段50は、枠体25側に設けられるセンサ本体51と、ブロック体28側に設けられる遮光板52とを備えたものである。センサ本体51は、レーザ光等の検出光を投光する光投光部51aと、この光投光部51aからの検出光を受光する光受光部51bとを有する。また、遮光板52は、センサ本体側へ突出する平板体にて構成される。   By the way, this apparatus is provided with position detecting means 50 for confirming the vertical position of the tray holding mechanism 13. The position detection means 50 includes a sensor main body 51 provided on the frame body 25 side and a light shielding plate 52 provided on the block body 28 side. The sensor main body 51 includes a light projecting unit 51a that projects detection light such as laser light, and a light receiving unit 51b that receives the detection light from the light projecting unit 51a. The light shielding plate 52 is configured by a flat plate projecting toward the sensor body.

このため、図3と図4とに示すように、遮光板52がセンサ本体51の光投光部51aと光受光部51bとの間に位置した際に、対向する投光・受光器間の光軸を遮光板52が遮ることになる。これによって、トレイ保持機構13の元の位置、つまり、ブロック体28が下降した位置に戻っていることを確認できる。   Therefore, as shown in FIGS. 3 and 4, when the light shielding plate 52 is positioned between the light projecting unit 51 a and the light receiving unit 51 b of the sensor body 51, between the light projecting and receiving devices facing each other. The light shielding plate 52 blocks the optical axis. Accordingly, it can be confirmed that the tray holding mechanism 13 is returned to the original position, that is, the block body 28 is lowered.

次に前記のように構成したピックアップ装置を用いて、上下方向に複数に積み重ねられたトレイ11のピックアップ方法を図1等に基づいて説明する。まず、図1(a)に示すように、昇降台12のテーブル21に複数に積み重ねられたトレイ11を載置した状態とする。また、各係合爪27をトレイ側に突出しない収納状態としておく。そして、積み上げれたトレイ11が傾斜した状態、つまり、最上段トレイ11Aが水平面に対して傾斜しているものとする。   Next, a method of picking up a plurality of trays 11 stacked in the vertical direction using the pickup device configured as described above will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 1A, a plurality of trays 11 stacked on the table 21 of the lifting platform 12 are placed. Further, each engaging claw 27 is set in a stored state so as not to protrude to the tray side. The stacked trays 11 are inclined, that is, the uppermost tray 11A is inclined with respect to the horizontal plane.

この状態で、昇降台12のテーブル21を矢印Uのように上昇させていく。この上昇によって、最上段トレイ11Aの最上位に対応するトレイ保持機構13(13A)の押さえ爪26(26A)が、最上段トレイ11Aの上面11aの一部に接触(当接)する。この状態で、係合爪27(27A)を揺動させてこの係合爪27Aに対応する係合部20に係合させる。これによって、このトレイ保持機構13Aにおいて、押さえ爪26Aと係合爪27Aとで協働してトレイ11Aの周縁部を挟持することになる。すなわち、昇降台12のテーブル21が上昇し続けることによって、押さえ爪26Aにて最上段トレイ11Aの上面11aを押えているため、このトレイ保持機構13Aは上昇することになる。このため、位置検出手段50において、遮光板52により検出光の遮光状態が解除されて、押さえ爪26Aにて最上段トレイ11Aの上面11aを押えていていることが分かる。これによって、係合爪27Aの係合部20への係合動作を行うことになる。   In this state, the table 21 of the lifting platform 12 is raised as shown by the arrow U. As a result of this rise, the pressing claw 26 (26A) of the tray holding mechanism 13 (13A) corresponding to the uppermost position of the uppermost tray 11A comes into contact (contact) with a part of the upper surface 11a of the uppermost tray 11A. In this state, the engaging claw 27 (27A) is swung and engaged with the engaging portion 20 corresponding to the engaging claw 27A. Thus, in the tray holding mechanism 13A, the pressing claw 26A and the engaging claw 27A cooperate to hold the peripheral edge of the tray 11A. That is, since the table 21 of the lifting platform 12 continues to rise, the upper surface 11a of the uppermost tray 11A is pressed by the pressing claws 26A, and thus the tray holding mechanism 13A is raised. For this reason, in the position detection means 50, it turns out that the light-shielding state of the detection light is canceled by the light-shielding plate 52, and the upper surface 11a of the uppermost tray 11A is pressed by the pressing claw 26A. Thereby, the engaging operation of the engaging claw 27A to the engaging portion 20 is performed.

その後、さらに、昇降台12のテーブル21を上昇させていけば、次の高さ位置に対応するトレイ保持機構13(13B)の押さえ爪26(26B)が、最上段トレイ11Aの上面11aの一部に接触(当接)する。この接触によって、係合爪27Aの係合部20への係合動作を行うことになる。これによって、このトレイ保持機構13Bにおいて、押さえ爪26Bと係合爪27Bとで協働してトレイ11Aの周縁部を挟持することになる。   Thereafter, if the table 21 of the lifting platform 12 is further raised, the presser claw 26 (26B) of the tray holding mechanism 13 (13B) corresponding to the next height position becomes one of the upper surface 11a of the uppermost tray 11A. Contact (contact) the part. By this contact, the engaging claw 27A engages with the engaging portion 20. Thereby, in the tray holding mechanism 13B, the pressing claw 26B and the engaging claw 27B cooperate to sandwich the peripheral edge of the tray 11A.

以後、さらに昇降台12のテーブル21を上昇させていくことによって、全トレイ保持機構の押さえ爪26Aと係合爪27Aとで協働してトレイ11Aの周縁部を挟持することになる。すなわち、図1(c)に示すように、最上段トレイ11Aの前後左右の4箇所をトレイ保持機構13にて保持することになる。   Thereafter, by further raising the table 21 of the lifting platform 12, the pressing claw 26A and the engaging claw 27A of the all tray holding mechanism cooperate to hold the peripheral edge of the tray 11A. That is, as shown in FIG. 1 (c), the four places on the top, bottom, left and right of the uppermost tray 11A are held by the tray holding mechanism 13.

この図1(c)に示す状態から、昇降台12のテーブル21を図1(d)の矢印Dで示すように、下降させる。この場合、最上段トレイ11Aは各トレイ保持機構13にて保持されているので、昇降台12のテーブル21を下降させれば、他のトレイ11が下降することになって、この図1(d)に示すように、最上段トレイ11Aのみをピックアップした状態となる。   From the state shown in FIG. 1C, the table 21 of the lifting platform 12 is lowered as shown by the arrow D in FIG. In this case, since the uppermost tray 11A is held by each tray holding mechanism 13, if the table 21 of the lifting platform 12 is lowered, the other trays 11 are lowered, and this FIG. ), Only the uppermost tray 11A is picked up.

このように、最上段トレイ11Aのみをピックアップした状態となれば、最上段トレイ11Aの下面側の規制がなくなり、トレイ保持機構13は戻り機構によって、それぞれ、初期位置である最下位に下降する。これによって、トレイ保持機構13に保持されているトレイ11Aは水平状態となる。この状態では、位置検出手段50において、遮光板52により検出光が遮光され、トレイ11Aが水平状態となっていることが分かる。このように、最上段トレイ11Aのピックアップが終了すれば、このトレイを他の部位へ搬送したり、受け部材に移送したりできる。   Thus, when only the uppermost tray 11A is picked up, the lower surface side of the uppermost tray 11A is not restricted, and the tray holding mechanism 13 is lowered to the lowest position, which is the initial position, by the return mechanism. As a result, the tray 11A held by the tray holding mechanism 13 becomes horizontal. In this state, in the position detection means 50, it can be seen that the detection light is shielded by the light shielding plate 52 and the tray 11A is in the horizontal state. As described above, when the pickup of the uppermost tray 11A is completed, the tray can be transported to another part or transferred to the receiving member.

その後は、上から2段目であったトレイ11が最上段トレイ11Aとなって、前記動作を繰り返すことによって、この最上段トレイ11Aをピックアップすることができる。このため、昇降台12のテーブル21上のすべてのトレイ11をピックアップすることができる。   Thereafter, the tray 11 that is the second stage from the top becomes the uppermost tray 11A, and the uppermost tray 11A can be picked up by repeating the above operation. For this reason, all the trays 11 on the table 21 of the lifting platform 12 can be picked up.

本発明のピックアップ装置では、トレイ保持機構13にて昇降台12の上昇によって上昇してきた最上段トレイ11Aを保持することができる。しかも、各トレイ保持機構13は倣い機構14を介して、水平面に対する最上段トレイ11Aの傾斜に対応して上下方向に変位することができるので、最上段トレイ11Aが水平面に対して傾斜していても、各トレイ保持機構13は最上段トレイ11Aを保持することができる。また、このようにトレイ保持機構13にて最上段トレイ11Aを保持した状態で、昇降台12が下降すれば、最上段トレイ11Aを他のトレイ11から離間した状態、つまり、最上段トレイ11Aをピックアップした状態となる。   In the pickup device of the present invention, the uppermost tray 11 </ b> A that has been raised by the raising of the lifting platform 12 can be held by the tray holding mechanism 13. Moreover, since each tray holding mechanism 13 can be displaced in the vertical direction corresponding to the inclination of the uppermost tray 11A with respect to the horizontal plane via the copying mechanism 14, the uppermost tray 11A is inclined with respect to the horizontal plane. In addition, each tray holding mechanism 13 can hold the uppermost tray 11A. Further, when the elevator 12 is lowered while the uppermost tray 11A is held by the tray holding mechanism 13 in this manner, the uppermost tray 11A is separated from the other trays 11, that is, the uppermost tray 11A is moved. Picked up.

このため、本発明のピックアップ装置では、最上段トレイ11Aが水平面に対して傾斜していても、各トレイ保持機構13は最上段トレイ11Aを保持することができる。すなわち、前後左右の4箇所でトレイ11を保持でき、安定したトレイ11のピックアップ作業を行うことができる。   For this reason, in the pickup device of the present invention, each tray holding mechanism 13 can hold the uppermost tray 11A even if the uppermost tray 11A is inclined with respect to the horizontal plane. That is, the tray 11 can be held at four locations, front, rear, left, and right, and a stable pickup operation of the tray 11 can be performed.

トレイ保持機構13が押さえ爪26と係合爪27とを有するものでは、全トレイ保持機構13の係合爪27にて最上段トレイ11Aを受けることができ、安定した状態で最上段トレイ11Aを保持できる。   In the case where the tray holding mechanism 13 has the pressing claw 26 and the engaging claw 27, the uppermost tray 11A can be received by the engaging claw 27 of the all tray holding mechanism 13, and the uppermost tray 11A can be held in a stable state. Can hold.

係合爪27と押さえ爪26とで協働してトレイ11の周縁部を挟持することができ、トレイの保持状態が安定する。しかも、係合爪27が係合部20に係合する際には、外方から揺動することになるので、係合爪27がトレイ11の上下動の妨げにならず、ピックアップ動作が安定する。   The peripheral edge of the tray 11 can be clamped in cooperation with the engaging claw 27 and the pressing claw 26, and the holding state of the tray is stabilized. In addition, when the engaging claw 27 engages with the engaging portion 20, it swings from the outside, so that the engaging claw 27 does not hinder the vertical movement of the tray 11 and the pickup operation is stable. To do.

シリンダ機構30と連結機構31とを備えたものでは、シリンダ機構30の駆動によって係合爪27をトレイ11の係合部20に係合させることができ、この係合動作が安定する。しかも、シリンダ機構30が固定側に配置されるものであるので、上下動するトレイ保持機構13側にこのような駆動源を配置する必要がなく、トレイ保持機構13の軽量化を図ることができる。このため、トレイ保持機構13の上下動が安定して、トレイ11の傾きの追従性に優れる。   In the case where the cylinder mechanism 30 and the coupling mechanism 31 are provided, the engagement claw 27 can be engaged with the engagement portion 20 of the tray 11 by driving the cylinder mechanism 30, and this engagement operation is stabilized. Moreover, since the cylinder mechanism 30 is disposed on the fixed side, it is not necessary to dispose such a drive source on the side of the tray holding mechanism 13 that moves up and down, and the tray holding mechanism 13 can be reduced in weight. . For this reason, the vertical movement of the tray holding mechanism 13 is stable, and the followability of the inclination of the tray 11 is excellent.

戻し機構45を備えたものでは、保持機構13にてトレイ11を保持した状態で、このトレイ11を水平状に戻すことができ、その後の工程が安定する。すなわち、このトレイ11が水平状に配設されるので、吸着装置等にて、トレイ11に収納されたワーク(例えば、基板)を他の部位を搬送する際に、基板を安定して吸着することができるからである。   In the case where the return mechanism 45 is provided, the tray 11 can be returned to the horizontal state while the tray 11 is held by the holding mechanism 13, and the subsequent steps are stabilized. That is, since the tray 11 is disposed horizontally, the substrate (eg, a substrate) stored in the tray 11 is stably adsorbed when the workpiece (for example, the substrate) stored in the tray 11 is transported to another part by an adsorption device or the like. Because it can.

以上、本発明の実施形態につき説明したが、前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、トレイ保持機構13の数としては、少なくも、トレイ11の前後左右の4箇所保持できればよいが、4個以上備えたものであってもよい。また、積み上げるトレイ11の数も任意に設定できる。トレイ保持機構13の係合爪27を係合部20に係合させる場合、全トレイ保持機構13の押さえ爪26にてトレイ11を押えた状態で、行うようにしてもよい。   As described above, the embodiment of the present invention has been described, but various modifications are possible without being limited to the above-described embodiment. For example, the number of the tray holding mechanisms 13 is at least the front, rear, left, and right of the tray 11. What is necessary is just to be able to hold | maintain four places, but the thing provided four or more may be sufficient. Further, the number of trays 11 to be stacked can be arbitrarily set. When the engaging claw 27 of the tray holding mechanism 13 is engaged with the engaging portion 20, it may be performed in a state where the tray 11 is pressed by the pressing claw 26 of the all tray holding mechanism 13.

11A 最上段トレイ
11a 上面
12 昇降台
13 トレイ保持機構
14 倣い機構
26 押さえ爪
27 係合爪
30 シリンダ機構
31 連結機構
45 戻し機構
11A Uppermost tray 11a Upper surface 12 Lifting table 13 Tray holding mechanism 14 Copying mechanism 26 Pressing claw 27 Engaging claw 30 Cylinder mechanism 31 Connection mechanism 45 Return mechanism

Claims (5)

上下方向に積み重ねられた複数のトレイに対して、その最上段トレイをピックアップするピックアップ装置であって、
上下方向に積み重ねられた複数のトレイが載置される昇降台と、最上段トレイに対して少なくとも前後左右の4箇所に配置されて、前記昇降台の上昇によって上昇してきた最上段トレイを保持する複数のトレイ保持機構と、水平面に対する最上段トレイの傾斜に対応して各保持機構位置を上下方向に変位させる倣い機構とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。
A pickup device that picks up the uppermost tray for a plurality of trays stacked in the vertical direction,
A lifting platform on which a plurality of trays stacked in the vertical direction are placed, and at least four positions on the front, rear, left and right with respect to the uppermost tray, and holds the uppermost tray raised by the raising of the lifting platform. 1. A pickup apparatus comprising: a plurality of tray holding mechanisms; and a copying mechanism for displacing each holding mechanism position in the vertical direction corresponding to the inclination of the uppermost tray with respect to a horizontal plane.
トレイ保持機構は、昇降台を介して上昇してきた最上段トレイに対してその上面を受ける押さえ爪と、押さえ爪にて上面が押さえられた状態において、その最上段トレイの係合部に係合する係合爪とを有することを特徴とする請求項1に記載のピックアップ装置。   The tray holding mechanism engages with the uppermost tray that has been lifted via the lifting platform, and a presser claw that receives the upper surface of the uppermost tray, and when the upper surface is pressed by the presser claw, The pick-up device according to claim 1, further comprising an engaging claw for engaging the pick-up device. トレイの下面側には係合部を有し、この係合部に前記係合爪が外方から揺動して係合し、この係合状態で、この係合爪と前記押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持することを特徴とする請求項2に記載のピックアップ装置。   There is an engaging portion on the lower surface side of the tray, and the engaging claw swings and engages with the engaging portion from the outside. In this engaged state, the engaging claw and the holding claw The pickup device according to claim 2, wherein the peripheral portion of the tray is clamped in cooperation. 固定側に配置されるシリンダ機構と、トレイ保持機構の上下方向の変位に追従してシリンダ機構の駆動により前記係合爪を揺動させる連結機構とを備えたことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のピックアップ装置。   The cylinder mechanism disposed on the fixed side, and a coupling mechanism that swings the engagement claw by driving the cylinder mechanism following the vertical displacement of the tray holding mechanism. The pickup device according to claim 3. トレイ保持機構にてトレイを保持した状態で、このトレイを水平状に戻す戻し機構を備えることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のピックアップ装置。   5. The pickup device according to claim 1, further comprising a return mechanism that returns the tray to a horizontal state while the tray is held by the tray holding mechanism.
JP2011190633A 2011-09-01 2011-09-01 Pickup device Withdrawn JP2013052940A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011190633A JP2013052940A (en) 2011-09-01 2011-09-01 Pickup device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011190633A JP2013052940A (en) 2011-09-01 2011-09-01 Pickup device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013052940A true JP2013052940A (en) 2013-03-21

Family

ID=48130302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011190633A Withdrawn JP2013052940A (en) 2011-09-01 2011-09-01 Pickup device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013052940A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101689026B1 (en) * 2015-11-10 2016-12-22 주식회사 이노비즈 Tray picker having tray pressure unit and the semiconductor probing and sorting system using the picker

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101689026B1 (en) * 2015-11-10 2016-12-22 주식회사 이노비즈 Tray picker having tray pressure unit and the semiconductor probing and sorting system using the picker

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI732954B (en) Conveying device, and conveying method
CN100392842C (en) Apparatus and method for picking up semiconductor chip
JP5144661B2 (en) Parts transfer apparatus and method
KR101495962B1 (en) Robot system
JP4166813B2 (en) Inspection apparatus and inspection method
JP5339037B2 (en) Picking apparatus and method
JP2013033809A (en) Wafer transfer apparatus
KR20200137972A (en) Transfer device
JP2013052940A (en) Pickup device
CN212845080U (en) Article inspection device
JP4890395B2 (en) Blank separation apparatus and blank separation adsorption transfer method
JP5223819B2 (en) Substrate fixing device and electronic component mounting device
JP2020155628A (en) Tray transfer device and panel transfer system
JP2020021896A (en) Carrier robot and carrier system
JP5934920B2 (en) Tray supply device and tray supply method
TW202305979A (en) Unloading device for prefabricated wafer carrier and method thereof including a wafer ring unloading mechanism, a wafer unloading mechanism, a cover unloading mechanism, a carrier and a robotic arm provided on the periphery of a first moving mechanism
CN109959611B (en) Optical detection equipment and workpiece jacking device thereof
CN108555895B (en) Taking method, taking structure and intelligent mechanical arm
JP3230924U (en) Palletizer
TW200936470A (en) Positioning device and carrier platform using the same
JP5511143B2 (en) Mounting machine
KR20200048995A (en) Method of setting height of die ejector
CN218483756U (en) Tobacco leaf feed mechanism
KR102162097B1 (en) Automatic alignment device and transfer robot having the same
KR100700973B1 (en) Placing Apparatus for Transferring Electronic Parts

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20141104