JP2013052351A - Nozzle printing device - Google Patents
Nozzle printing device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013052351A JP2013052351A JP2011192484A JP2011192484A JP2013052351A JP 2013052351 A JP2013052351 A JP 2013052351A JP 2011192484 A JP2011192484 A JP 2011192484A JP 2011192484 A JP2011192484 A JP 2011192484A JP 2013052351 A JP2013052351 A JP 2013052351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzles
- nozzle
- group
- ink
- belonging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
- B41J2/2107—Ink jet for multi-colour printing characterised by the ink properties
- B41J2/2114—Ejecting transparent or white coloured liquids, e.g. processing liquids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
- B41J2/2132—Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
Abstract
Description
本発明はノズルプリンティング装置およびそれを用いた薄膜形成方法に関する。 The present invention relates to a nozzle printing apparatus and a thin film forming method using the same.
所定のパターンでインキを塗布するための装置として、ノズルプリンティング装置がある。たとえば図4に示すような、互いに所定の間隔をあけて第1の方向Xに延在する複数本の隔壁部材1から構成される隔壁が設けられた支持基板において、各隔壁部材1間にインキを供給する場合に、このノズルプリンティング装置が用いられる。
There is a nozzle printing device as a device for applying ink in a predetermined pattern. For example, as shown in FIG. 4, in a support substrate provided with a partition wall composed of a plurality of
図4はノズルプリンティング装置を用いてインキを塗布するときの態様を模式的に示す図である。ノズルプリンティング装置は、配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズル2を備える。各ノズル2から所定のインキを吐出しつつ、前記第1の方向X(以下、走査方向Xと記載することがある。)の一方または他方にノズル2を走査することにより、隔壁部材1間にインキが供給され、これが固化することにより帯状の薄膜3が形成される。このノズル2の1回の走査により、当該ノズル2の本数分だけ帯状の薄膜3が形成される。
FIG. 4 is a diagram schematically showing an aspect when ink is applied using a nozzle printing apparatus. The nozzle printing apparatus includes a plurality of nozzles 2 arranged at predetermined intervals in the arrangement direction. While ejecting predetermined ink from each nozzle 2, the nozzle 2 is scanned in one or the other of the first direction X (hereinafter sometimes referred to as a scanning direction X), so When the ink is supplied and solidifies, the band-shaped
ノズル2を走査方向の一端から他端まで走査すると、つぎに、走査方向Xとは垂直な方向(以下、塗布方向Yと記載することがある。)にノズル2を移動する。なお塗布方向Yの一方を前方(図4では下方)、塗布方向Yの他方を後方(図4では上方)と記載することがある。このノズル2の前方への移動では、ノズルの本数分の行だけノズル2を前方に移動する(図4に示す形態では5行分の距離をノズル2が移動する。)このようなノズル2の走査方向Xの移動と、塗布方向Yの前方への移動とを交互に繰り返すことにより、全ての隔壁部材1間にインキを塗布することができる。
When the nozzle 2 is scanned from one end to the other end in the scanning direction, the nozzle 2 is then moved in a direction perpendicular to the scanning direction X (hereinafter sometimes referred to as a coating direction Y). One of the application directions Y may be referred to as the front (downward in FIG. 4), and the other of the application directions Y may be referred to as the rear (upward in FIG. 4). In the forward movement of the nozzle 2, the nozzle 2 is moved forward by the number of rows corresponding to the number of nozzles (in the form shown in FIG. 4, the nozzle 2 moves by a distance of 5 rows). By alternately repeating the movement in the scanning direction X and the forward movement in the application direction Y, ink can be applied between all the
上記のような塗布方法において、所定の隔壁部材1間にインキが塗布された直後の状態に着目した場合、複数本のインキの塗布膜の中でも、その前方の塗布膜と後方の塗布膜とでは乾燥雰囲気が異なる。すなわち複数本のインキの塗布膜の後方はすでにインキが塗布されているため、雰囲気中のインキの溶媒濃度が高くなり、逆に前方にはインキが塗布されていないため、雰囲気中のインキの溶媒濃度が小さくなる。そのため、複数本のインキの塗布膜においてその後方の塗布膜はインキが乾燥しにくく、その前方の塗布膜はインキが乾燥しやすい状態となり、乾燥状態に違いが生じる。このように、インキの乾燥状態が前方と後方の塗布膜で異なるため、結果として乾燥後の塗布膜の性状まで異なることになり、ノズルの本数に対応する塗布膜ごとに、いわゆるスジムラが生じることになる。
In the coating method as described above, when paying attention to the state immediately after the ink is applied between the
たとえば有機EL(Electro Luminescence)素子の発光層などをノズルプリンティング装置で塗布形成した場合、上記スジムラが発光状態の違いとしてあらわれ、これが視認されることとなり、表示品位が低下するという問題がある。 For example, when a light emitting layer of an organic EL (Electro Luminescence) element is applied and formed by a nozzle printing apparatus, the above-mentioned stripes appear as a difference in the light emission state, which is visually recognized, and there is a problem that display quality is lowered.
このような問題を解決するために、従来の技術ではダミーのノズル2を設けている。すなわち従来の技術では、膜の形成に寄与しない溶媒のみを吐出するダミーのノズル2を、塗布方向Yの前方の一端に設けている。 In order to solve such a problem, a dummy nozzle 2 is provided in the conventional technique. That is, in the prior art, a dummy nozzle 2 that discharges only a solvent that does not contribute to film formation is provided at one end in front of the coating direction Y.
図4を参照してダミーのノズル2を備えるノズルプリンティング装置の動作を説明する。前方の一端に配置されるノズルを第Iのノズルとし、後方に配置されるノズルを順次、第II、第III、第IV、第Vのノズルと名前を付与すると、第Iのノズルがダミーのノズルである。この第Iのノズルは、溶媒のみを吐出する。第II〜第Vのノズルは、溶媒と溶質からなるインキを吐出する。 The operation of the nozzle printing apparatus including the dummy nozzle 2 will be described with reference to FIG. If the nozzle arranged at the front end is the I nozzle, and the nozzles arranged at the rear are sequentially named II, III, IV, and V, the I nozzle is a dummy. Nozzle. The first nozzle discharges only the solvent. The II to V nozzles eject ink composed of a solvent and a solute.
このノズルプリンティング装置では、まず走査方向Xの一端から他端にノズルを走査する。そうすると、前方の一端には、溶媒のみからなる塗布膜が形成されるとともに、その後方には、溶媒と溶質からなる4本の塗布膜が形成される。つぎに、ノズルを前方に移動するが、そのさいには、移動前に第Iのノズルの配置されていた位置に、第Vのノズルが重なるようにノズルを全体として移動する。その後、走査方向Xの他端から一端にノズルを走査する。そうすると、溶媒のみからなる塗布膜上に、さらに溶媒と溶質からなるインキが塗布されることになり、これによって全ての隔壁部材1間に、溶媒と溶質からなるインキが塗布されることになる。
In this nozzle printing apparatus, first, a nozzle is scanned from one end to the other end in the scanning direction X. Then, a coating film made of only the solvent is formed at one end of the front, and four coating films made of the solvent and the solute are formed behind the coating film. Next, the nozzle is moved forward. At that time, the nozzle is moved as a whole so that the Vth nozzle overlaps the position where the Ith nozzle was arranged before the movement. Thereafter, the nozzle is scanned from the other end in the scanning direction X to one end. As a result, an ink composed of a solvent and a solute is further applied onto the coating film composed only of the solvent, whereby an ink composed of the solvent and the solute is applied between all the
このように、塗布膜の前方に溶媒のみからなる塗布膜を形成することにより、複数本のインキの塗布膜において、前方と後方の乾燥雰囲気の違いを小さくしている(たとえば特許文献1参照。)。 In this way, by forming a coating film made of only a solvent in front of the coating film, the difference in the dry atmosphere between the front and the back in the coating film of a plurality of inks is reduced (see, for example, Patent Document 1). ).
上記従来のダミーのノズルを備えるノズルプリンティング装置では、たしかに複数本のインキの塗布膜において、前方と後方の塗布膜の乾燥雰囲気の違いを小さくすることはできるが、インキと溶媒とがそれぞれ1度ずつ塗布される行と、インキのみが1度塗布される行とが生じる。そして、インキと溶媒とがそれぞれ1度ずつ塗布される行と、インキのみが1度塗布される行とでは、形成された薄膜の性状に違いが生じ、スジムラが生じる。前述したように、機EL素子の発光層などをノズルプリンティング装置で塗布形成した場合には、上記スジムラが発光状態の違いとしてあらわれ、これが視認されることとなり、表示品位が低下するという問題がある。 In the above-described conventional nozzle printing apparatus having dummy nozzles, the difference in the drying atmosphere between the front and rear coating films can be reduced in the coating films of a plurality of inks. There are lines that are applied one by one and lines that are applied only once with ink. Then, a difference occurs in the properties of the formed thin film between the line in which the ink and the solvent are applied once and the line in which only the ink is applied once, and streaks occur. As described above, when the light emitting layer of the device EL element is applied and formed by the nozzle printing apparatus, the above-described streaks appear as a difference in the light emission state, which is visually recognized, and there is a problem that display quality is deteriorated. .
したがって本発明の目的は、スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a nozzle printing apparatus capable of suppressing the occurrence of uneven stripes.
本発明は所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、
前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第1のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第2のノズルとから構成され、
前記第1のノズルの本数と、第2のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置に関する。
The present invention is a nozzle printing apparatus comprising a plurality of nozzles arranged at predetermined intervals in a predetermined arrangement direction,
The plurality of nozzles includes a first nozzle that ejects ink containing a solvent and a solute, and a second nozzle that ejects a liquid that does not contain a solute,
The present invention relates to a nozzle printing apparatus in which the number of first nozzles and the number of second nozzles are the same.
また本発明は、前記第2のノズルは、第1の群と第2の群との2つの群に分けられ、
前記第1の群に属する第2のノズルは、前記所定の配列方向の一端に配置され、
前記第2の群に属する第2のノズルは、前記所定の配列方向の他端に配置され、
前記第1のノズルは、前記所定の配列方向において、前記第1の群に属する第2のノズルと、前記第2の群に属する第2のノズルとの間に配置される、ノズルプリンティング装置に関する。
In the present invention, the second nozzle is divided into two groups, a first group and a second group,
The second nozzle belonging to the first group is disposed at one end in the predetermined arrangement direction,
The second nozzle belonging to the second group is disposed at the other end in the predetermined arrangement direction,
The first nozzle relates to a nozzle printing apparatus, which is arranged between the second nozzle belonging to the first group and the second nozzle belonging to the second group in the predetermined arrangement direction. .
前記第1の群に属する第2のノズルの本数をN、前記第2の群に属する第2のノズルの本数をMとすると、
(N−M)2≦1
なる関係式を満たす、ノズルプリンティング装置に関する。
When the number of second nozzles belonging to the first group is N and the number of second nozzles belonging to the second group is M,
(NM) 2 ≦ 1
The present invention relates to a nozzle printing apparatus that satisfies the following relational expression.
また本発明は、互いに所定の間隔をあけて第1の方向に延在する複数本の隔壁部材から構成される隔壁が設けられた支持基板において、隔壁部材間にインキを塗布する工程と、塗布されたインキを固化することにより薄膜を形成する工程とを有する薄膜形成方法であって、
前記インキを塗布する工程では、以下の(I)と(II)の工程を交互に繰り返す、薄膜形成方法。
(I)前記ノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第1の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程に関する。
(II)前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の2つの群に区分けし、直近の前記(I)の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記(I)の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第1の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
The present invention also includes a step of applying ink between partition members in a support substrate provided with partition walls made up of a plurality of partition members extending in a first direction at predetermined intervals, A method of forming a thin film by solidifying the formed ink,
In the step of applying the ink, a thin film forming method in which the following steps (I) and (II) are alternately repeated.
(I) The plurality of nozzles of the nozzle printing device are respectively disposed between the partition members, and the nozzles are moved to one or the other in the first direction while discharging the ink from the nozzles, The present invention relates to a process for supplying ink between members.
(II) At the center in the arrangement direction, the plurality of nozzles are divided into two groups, a front group and a rear group, and the locus of nozzles belonging to the front group in the latest step (I) In the step (I), the step of moving all the nozzles or the support substrate in a direction perpendicular to the first direction on the support substrate so that the loci of the nozzles belonging to the rear group overlap.
本発明によれば、スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the nozzle printing apparatus which can suppress generation | occurrence | production of a stripe unevenness can be provided.
本発明のノズルプリンティング装置は、所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第1のノズルと、前記溶質を含まない液体を吐出する第2のノズルとから構成され、前記第1のノズルの本数と、第2のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置である。 The nozzle printing apparatus of the present invention is a nozzle printing apparatus comprising a plurality of nozzles arranged at a predetermined interval in a predetermined arrangement direction, wherein the plurality of nozzles includes ink containing a solvent and a solute. A nozzle printing apparatus that includes a first nozzle that discharges and a second nozzle that discharges a liquid that does not contain the solute, and the number of the first nozzles is the same as the number of the second nozzles. is there.
図1はノズル12の配置関係を模式的に示す図である。ノズル12は所定の配列方向tに所定の間隔をあけて配置される。配列方向tはノズル12の配列される方向であり、通常は所定の直線に沿う方向である。なおノズル12は所定の曲線上や折れ線上に沿って配置されていてもよい。 FIG. 1 is a diagram schematically showing the arrangement relationship of the nozzles 12. The nozzles 12 are arranged at a predetermined interval in a predetermined arrangement direction t. The arrangement direction t is a direction in which the nozzles 12 are arranged, and is usually a direction along a predetermined straight line. The nozzle 12 may be arranged along a predetermined curve or a broken line.
図1に示す実施形態では6本のノズル12が配置されており、それぞれ等しい間隔をあけて配置されている。 In the embodiment shown in FIG. 1, six nozzles 12 are arranged, and are arranged at equal intervals.
本実施形態では、複数本のノズル12は、それぞれ第1のノズル12aと、第2のノズル12bとに分けられる。
In the present embodiment, the plurality of nozzles 12 are each divided into a
第1のノズル12aは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する。この第1のノズル12aから吐出されたインキは、溶媒が気化し、溶質が薄膜化する。たとえば溶質として有機EL素子の発光材料を用いた場合、このインキを塗布することにより有機EL素子の発光層が形成される。
The
第2のノズル12bは、溶質を含まない液体を吐出する。なお第2のノズル12bから吐出される溶質を含まない液体は、60℃〜300℃程度の温度で気化する液体であればとくに制限はないが、第1のノズル12aから吐出されるインクの溶媒と同じ液体であることが好ましい。なお第2のノズル12bから吐出される液体は、不純物として不可避的に混入される程度の量の溶質を含んでいてもよい。
The
前記第1のノズル12aの本数と、第2のノズル12bの本数とは同じである。図1に示す実施形態では、6本のノズル12が配置されているが、このうちの3本のノズル12が第1のノズル12aであり、残りの3本のノズル12が第2のノズル12bである。
The number of the
第1のノズル12aと第2のノズル12bの配置はとくに限定されない。たとえばノズルはつぎの(i)、(ii)または(iii)のように配置される。
(i)
配列方向tの一方に第1のノズル12aが配置され、配列方向tの他方に第2のノズル12bが配置される。
(ii)
配列方向tにおいて第1のノズル12aと第2のノズル12bとが交互に配置される。
(iii)
第2のノズル12bは、第1の群g1と第2の群g2との2つの群に分けられ、前記第1の群g1に属する第2のノズル12bは、前記所定の配列方向tの一端に配置され、前記第2の群g2に属する第2のノズル12bは、前記所定の配列方向tの他端に配置され、前記第1のノズル12aは、前記所定の配列方向tにおいて、前記第1の群g1に属する第2のノズル12bと、前記第2の群g2に属する第2のノズル12bとの間に配置される。
The arrangement of the
(I)
The
(Ii)
In the arrangement direction t, the
(Iii)
The
これらの中では(iii)の配置が好ましい。さらにこの(iii)の配置のなかでも、前記第1の群に属する第2のノズルの本数をN、前記第2の群に属する第2のノズルの本数をMとすると、
(N−M)2≦1
なる関係式を満たすことがより好ましい。すなわち、前記第2の群に属するノズルは、前記第1の群に属するノズルの両端に概ね均等に配置されることが好ましい。これにより、前記第1のノズルから吐出されるインクの溶媒雰囲気を均一にできるため、より効果的にスジムラを抑制できる。
Among these, the arrangement of (iii) is preferable. Further, in the arrangement of (iii), if the number of the second nozzles belonging to the first group is N and the number of the second nozzles belonging to the second group is M,
(NM) 2 ≦ 1
It is more preferable to satisfy the following relational expression. That is, it is preferable that the nozzles belonging to the second group are arranged substantially equally at both ends of the nozzles belonging to the first group. Thereby, since the solvent atmosphere of the ink discharged from the first nozzle can be made uniform, uneven stripes can be more effectively suppressed.
以下、この(iii)の構成について図1に則して説明する。まず第2のノズル12bの本数は3本なので、これを2つの群に分けると、1本の第2のノズル12bからなる群と2本の第2のノズル12bからなる群とに分けられる。たとえば第2のノズル12bのうちの1本の第2のノズル12bが第1の群g1に属し、残りの2本の第2のノズル12bが第2の群g2に属する。この第1の群g1に属する1本の第2のノズル12bが、配列方向tの一端に配置され、第2の群g2に属する2本の第2のノズル12bが、配列方向tの他端に配置される。そしてこれら第1の群g1の第2のノズル12bと、第2の群g2の第2のノズル12bとの間に、3本の第1のノズル12aが連続して配置される。
Hereinafter, the configuration of (iii) will be described with reference to FIG. First, since the number of the
つぎに、上述のノズル12を備えるノズルプリンティング装置の動作について説明する。本実施形態では、互いに所定の間隔をあけて第1の方向Xに延在する複数本の隔壁部材11から構成される隔壁が設けられた支持基板に、インキを塗布する形態について説明する。
Next, the operation of the nozzle printing apparatus including the nozzle 12 will be described. In the present embodiment, a mode in which ink is applied to a support substrate provided with a partition wall composed of a plurality of
図2は複数本の隔壁部材11から構成される隔壁が設けられた支持基板の平面図である。図3はノズルプリンティング装置の動作を説明するための図である。図2に示すように、隔壁は、第1の方向Xに延在する複数本の隔壁部材11から構成される。なお以下では第1の方向Xを走査方向Xと記載することがある。
FIG. 2 is a plan view of a support substrate provided with a partition wall composed of a plurality of
本実施形態では隔壁部材11は、第2の方向Yに等しい間隔をあけて配置される。なお第2の方向Yは、第1の方向Xに垂直な方向であって、かつ支持基板の厚み方向にも垂直な方向である。以下では第2の方向Yを塗布方向Yと記載することがある。本実施形態ではノズルプリンティング装置を用いて、塗布方向Yに隣り合う全ての隔壁部材11と隔壁部材11との間にインキを供給する。
In the present embodiment, the
以下、塗布方向Yに隣り合う隔壁部材11と隔壁部材11との間隔を、隔壁部材11のピッチpと記載することがある。なお塗布方向Yに隣り合う隔壁部材11と隔壁部材11との間隔pとは、隔壁部材11の塗布方向Yの中心間の距離pをあらわす。
Hereinafter, the interval between the
ノズル12の間隔は、隔壁部材11のピッチpに対応させて決定される。なおノズル12の配列方向tは、かならずしも塗布方向Yに一致させる必要はない。ノズル12の間隔は、その塗布方向Yの間隔が、隔壁部材11のピッチと一致するように設定される。たとえばノズル12の配列方向tを塗布方向Yに一致させる場合には、ノズル12の配列方向tの間隔を隔壁部材11のピッチpに合わせればよい(図3参照)。またたとえばノズル12の間隔が固定されている場合には、その配列方向tを塗布方向Yから傾かせることによって、ノズル12の塗布方向Yの間隔を調整することができる。このようにして、塗布方向Yの間隔を隔壁部材11のピッチpに合わせてもよい。
The interval between the nozzles 12 is determined in accordance with the pitch p of the
まずノズル12の塗布方向Yの間隔が、隔壁部材11のピッチと一致するようにノズル12の間隔を調整する。図3に示す本実施形態ではノズル12の配列方向tを塗布方向Yに一致させるため、ノズル12の配列方向tの間隔を隔壁部材11のピッチpに合わせる。
First, the interval of the nozzles 12 is adjusted so that the interval in the application direction Y of the nozzles 12 matches the pitch of the
つぎに、以下の(I)、(II)の工程を繰り返す。
(I)ノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第1の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程。
(II)前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の2つの群に区分けし、直近の前記(I)の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記(I)の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第1の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
Next, the following steps (I) and (II) are repeated.
(I) The plurality of nozzles of the nozzle printing apparatus are respectively disposed between the partition members, and the nozzles are moved to one or the other in the first direction while discharging the ink from the nozzles. The process of supplying ink in between.
(II) At the center in the arrangement direction, the plurality of nozzles are divided into two groups, a front group and a rear group, and the locus of nozzles belonging to the front group in the latest step (I) In the step (I), the step of moving all the nozzles or the support substrate in a direction perpendicular to the first direction on the support substrate so that the loci of the nozzles belonging to the rear group overlap.
(I)の工程では、まずノズル12を走査方向Xに走査したときに、各ノズル12が、支持基板の厚み方向において、隔壁部材11と隔壁部材11との間の鉛直方向の上方を通過するようにノズル12を配置する。そして、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズル12を前記第1の方向(本実施形態では走査方向X)の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する。
In the step (I), when the nozzles 12 are first scanned in the scanning direction X, each nozzle 12 passes above the
この(I)の工程において、ノズル12を走査方向の一方に移動する場合には、ノズル12を走査方向の他端から一端まで移動する。これを工程(I−I)と記載する。 In the step (I), when the nozzle 12 is moved to one side in the scanning direction, the nozzle 12 is moved from the other end to the one end in the scanning direction. This is referred to as step (II).
(I)の工程において、ノズル12を走査方向の他方に移動する場合には、ノズル12を走査方向の一端から他端まで移動する。これを工程(I−II)と記載する。 In the step (I), when the nozzle 12 is moved to the other side in the scanning direction, the nozzle 12 is moved from one end to the other end in the scanning direction. This is referred to as step (I-II).
本実施形態では、(I−I)、(II)、(I−II)、(II)の工程をこの順で繰り返すことにより、全ての隔壁部材11間にインキを供給する。
In this embodiment, ink is supplied between all the
つぎに(II)の工程では、前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の2つの群に区分けする。ここで前方とは、当該(II)の工程においてノズルが塗布方向に移動する向き(図3では下方)に対応し、後方とは、当該(II)の工程においてノズルが塗布方向に移動する向きにとは反対の向き(図3では上方)に対応する。 Next, in the step (II), the plurality of nozzles are divided into two groups, a front group and a rear group, at the center in the arrangement direction. Here, the front corresponds to the direction in which the nozzle moves in the application direction (downward in FIG. 3) in the step (II), and the rear means the direction in which the nozzle moves in the application direction in the step (II). This corresponds to the opposite direction (upward in FIG. 3).
たとえば図1に示す実施形態では、配列方向tの中央で、6本のノズル12を、3本のノズルからなる前方の群gfと、3本のノズルからなる後方の群gbとに区分けする。すなわち前方の群gfは中央よりも右側に配置される3本のノズル12からなる群に対応し、後方の群gbは中央よりも左側に配置される3本のノズル12からなる群に対応する。 For example, in the embodiment shown in FIG. 1, six nozzles 12 are divided into a front group gf composed of three nozzles and a rear group gb composed of three nozzles at the center in the arrangement direction t. That is, the front group gf corresponds to a group consisting of three nozzles 12 arranged on the right side of the center, and the rear group gb corresponds to a group consisting of three nozzles 12 arranged on the left side of the center. .
つぎにノズル12を塗布方向Yに移動する。このさい、ノズル12を塗布方向Yに移動するのではなく、支持基板を塗布方向Yに移動させてもよい。以下ではノズル12を移動する形態について説明する。 Next, the nozzle 12 is moved in the coating direction Y. At this time, instead of moving the nozzle 12 in the coating direction Y, the support substrate may be moved in the coating direction Y. Below, the form which moves the nozzle 12 is demonstrated.
ノズル12を塗布方向Yに移動するさいには、直近の前記(I)の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記(I)の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第1の方向とは垂直な方向(本実施形態では塗布方向Y)に移動する。 When moving the nozzle 12 in the coating direction Y, the locus of nozzles belonging to the front group in the immediately preceding step (I) and the locus of nozzles belonging to the rear group in the next step (I) are described. Move in a direction perpendicular to the first direction (application direction Y in this embodiment) on the support substrate.
すなわち、(I)の工程が終了した時点のノズル12の配置から、塗布方向Yの一方にノズル12を移動する。このさい、隔壁部材11間の間隔をpとし、ノズルの全本数を2×n(記号「n」は自然数をあらわす。)とすると、p×nだけノズルを塗布方向Yに移動する。このように移動することにより、直近の前記(I)の工程における前方の群gfに属するノズルの軌跡に、次回の前記(I)の工程において、後方の群gbに属するノズルの軌跡が重なる。
That is, the nozzle 12 is moved to one side in the coating direction Y from the arrangement of the nozzle 12 at the time when the step (I) is completed. At this time, when the interval between the
図3に示す本実施形態では、3×pだけ、ノズル12を塗布方向Yに移動するため、前方の群gfに属するノズルの位置に、後方の群gbに属するノズルが重なる。 In the present embodiment shown in FIG. 3, since the nozzle 12 is moved in the application direction Y by 3 × p, the nozzle belonging to the rear group gb overlaps the position of the nozzle belonging to the front group gf.
以上の動作を図3に則して説明すると、ノズル12は、まず工程(I−I)において、ノズルが右端に配置され、これが左端にまで移動し、工程(II)において、3×pだけノズル12を下方に移動し、つぎに工程(I−II)において、ノズル12が左端から右端まで移動する。これらの工程を繰り返すことにより、すべての隔壁部材11間において、第1のノズル12aから吐出されるインキと、第2のノズル12bから吐出される溶質を含まない液体とが重ねて塗られることになる。
The above operation will be described with reference to FIG. 3. In the nozzle 12, first, in the step (II), the nozzle is arranged at the right end, which moves to the left end, and in the step (II), only 3 × p. The nozzle 12 is moved downward, and then in step (I-II), the nozzle 12 is moved from the left end to the right end. By repeating these steps, the ink ejected from the
その後、塗布されたインキが固化することにより、薄膜13が形成される。なおインキの固化は、自然乾燥、加熱乾燥などによっておこなわれる。
Thereafter, the
従来の技術では、インキと溶媒とがそれぞれ1度ずつ塗布される行と、インキのみが1度塗布される行とが生じているが、上述のように本実施形態では、第1のノズル12aと第2のノズル12bの本数を同じにすることにより、すべての隔壁部材11間において、第1のノズル12aから吐出されるインキと、第2のノズル12bから吐出される溶質を含まない液体とが重ねて塗られることになる。これによって、インキが固化したときに、形成された薄膜の性状に違いが生じることを防ぐことができ、従来の装置で形成された薄膜において生じていたスジムラが解消される。
In the conventional technique, there are a row in which the ink and the solvent are each applied once and a row in which only the ink is applied once, but as described above, in the present embodiment, the
以上のノズルプリンティング装置を用いて、有機EL素子を画素の光源として用いる表示装置を作製することができる。 A display device using an organic EL element as a light source of a pixel can be manufactured using the above nozzle printing apparatus.
たとえば表示装置は、各隔壁部材11間において、走査方向Xに所定の間隔をあけて有機EL素子を配置されて構成される。各有機EL素子は、一対の電極と、当該電極間に設けられる発光層とを含んで構成される。なお一対の電極間には、発光層だけでなく、たとえば正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層などが設けられる。これら一対の電極間に設けられる層のうち、塗布法で形成することが可能な層を、上述のノズルプリンティング装置によって形成することができる。各層の材料には公知の材料が用いられる。
For example, the display device is configured by arranging organic EL elements at predetermined intervals in the scanning direction X between the
前述したように、発光材料を溶質として用いた場合には、発光層がノズルプリンティング装置によって形成される。 As described above, when the light emitting material is used as a solute, the light emitting layer is formed by the nozzle printing apparatus.
なおモノクロの表示装置では、すべての発光層が、同じ色の光を出射するため、全ての隔壁部材11間に同じインキを塗布すればよいが、カラー表示装置の場合には、たとえば3種類の発光層が設けられるため、隔壁部材11間ごとにインキを塗り分ける必要がある。
In a monochrome display device, since all the light emitting layers emit the same color light, the same ink may be applied between all the
このような塗り分けをおこなうためには、たとえば図1に示す実施形態では、3本の第1のノズル12aを用いているが、各第1のノズル12aから吐出されるインキの種類をそれぞれ異ならせればよい。具体的には、3本の第1のノズル12aのうちの1本は、赤色の光を発する発光材料を含むインキを吐出し、1本は、緑色の光を発する発光材料を含むインキを吐出し、1本は、青色の光を発する発光材料を含むインキを吐出するようにすればよい。このように3種類のインキを吐出することにより、赤色の光を発する発光層、緑色の光を発する発光層、青色の光を発する発光層を、塗布方向Yに沿って順次形成することができる。
For example, in the embodiment shown in FIG. 1, three
なお上記では複数種類のインキを一度に塗布する形態について説明したが、複数種類のインキを、複数回に分けて塗布してもよい。この場合、各回の塗布では、1種類のインキが塗布される。たとえば3種類のインキを3回に分けて塗布する場合、各回では、3×pの間隔毎にインキを塗布し、これを3回おこなうことにより、全ての隔壁部材11間に、インキを塗り分けて塗布することができる。なおインキを塗布するさいには、ノズル12の塗布方向Yの間隔を、3×pあける必要がある。
In addition, although the form which apply | coats multiple types of ink at once was demonstrated above, you may apply | coat several types of ink separately in multiple times. In this case, one type of ink is applied in each application. For example, when three types of ink are applied in three portions, in each case, the ink is applied at intervals of 3 × p, and by performing this three times, the ink is separately applied between all the
1 隔壁部材
2 ノズル
3 薄膜
11 隔壁部材
12 ノズル
13 薄膜
21 装置
g1 第1の群
g2 第2の群
gf 前方の群
gb 後方の群
12a 第1のノズル
12b 第2のノズル
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第1のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第2のノズルとから構成され、
前記第1のノズルの本数と、第2のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。 A nozzle printing apparatus comprising a plurality of nozzles arranged at predetermined intervals in a predetermined arrangement direction,
The plurality of nozzles includes a first nozzle that ejects ink containing a solvent and a solute, and a second nozzle that ejects a liquid that does not contain a solute,
A nozzle printing apparatus, wherein the number of the first nozzles and the number of the second nozzles are the same.
前記第1の群に属する第2のノズルは、前記所定の配列方向の一端に配置され、
前記第2の群に属する第2のノズルは、前記所定の配列方向の他端に配置され、
前記第1のノズルは、前記所定の配列方向において、前記第1の群に属する第2のノズルと、前記第2の群に属する第2のノズルとの間に配置される、請求項1記載のノズルプリンティング装置。 The second nozzle is divided into two groups, a first group and a second group,
The second nozzle belonging to the first group is disposed at one end in the predetermined arrangement direction,
The second nozzle belonging to the second group is disposed at the other end in the predetermined arrangement direction,
The first nozzle is disposed between the second nozzle belonging to the first group and the second nozzle belonging to the second group in the predetermined arrangement direction. Nozzle printing device.
(N−M)2≦1
なる関係式を満たす、請求項2記載のノズルプリンティング装置。 When the number of second nozzles belonging to the first group is N and the number of second nozzles belonging to the second group is M,
(NM) 2 ≦ 1
The nozzle printing apparatus according to claim 2, wherein the following relational expression is satisfied.
前記インキを塗布する工程では、以下の(I)と(II)の工程を交互に繰り返す、薄膜形成方法。
(I)請求項1から3記載のいずれかに記載のノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第1の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程。
(II)前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の2つの群に区分けし、直近の前記(I)の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記(I)の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第1の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。 A step of applying ink between partition members and solidifying the applied ink on a support substrate provided with partition walls made up of a plurality of partition members extending in a first direction at predetermined intervals. A thin film forming method including a step of forming a thin film by
In the step of applying the ink, a thin film forming method in which the following steps (I) and (II) are alternately repeated.
(I) The plurality of nozzles of the nozzle printing apparatus according to any one of claims 1 to 3 are respectively disposed between partition members, and the nozzles are ejected from the nozzles while the nozzles are ejected from the first. The process which moves to one or the other of the direction of and supplies ink between partition members.
(II) At the center in the arrangement direction, the plurality of nozzles are divided into two groups, a front group and a rear group, and the locus of nozzles belonging to the front group in the latest step (I) In the step (I), the step of moving all the nozzles or the support substrate in a direction perpendicular to the first direction on the support substrate so that the loci of the nozzles belonging to the rear group overlap.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011192484A JP2013052351A (en) | 2011-09-05 | 2011-09-05 | Nozzle printing device |
PCT/JP2012/071429 WO2013035549A1 (en) | 2011-09-05 | 2012-08-24 | Nozzle printing device and thin film forming method using same |
TW101131512A TW201318713A (en) | 2011-09-05 | 2012-08-30 | Nozzle printing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011192484A JP2013052351A (en) | 2011-09-05 | 2011-09-05 | Nozzle printing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013052351A true JP2013052351A (en) | 2013-03-21 |
Family
ID=47831999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011192484A Withdrawn JP2013052351A (en) | 2011-09-05 | 2011-09-05 | Nozzle printing device |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013052351A (en) |
TW (1) | TW201318713A (en) |
WO (1) | WO2013035549A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021182146A1 (en) * | 2020-03-11 | 2021-09-16 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | Planar liquid film forming method and planar liquid film forming apparatus |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101048371B1 (en) * | 2003-11-21 | 2011-07-11 | 삼성전자주식회사 | Droplet supply equipment, manufacturing method of display device using the same |
JP2006269325A (en) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | Droplet discharging head, manufacturing method of electro-optic device, and electro-optic device |
JP5043470B2 (en) * | 2007-02-26 | 2012-10-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | Coating apparatus and coating method |
-
2011
- 2011-09-05 JP JP2011192484A patent/JP2013052351A/en not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-08-24 WO PCT/JP2012/071429 patent/WO2013035549A1/en active Application Filing
- 2012-08-30 TW TW101131512A patent/TW201318713A/en unknown
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021182146A1 (en) * | 2020-03-11 | 2021-09-16 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | Planar liquid film forming method and planar liquid film forming apparatus |
CN115279504A (en) * | 2020-03-11 | 2022-11-01 | 武藏工业株式会社 | Method and apparatus for forming a planar liquid film |
CN115279504B (en) * | 2020-03-11 | 2023-12-01 | 武藏工业株式会社 | Method and device for forming planar liquid film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013035549A1 (en) | 2013-03-14 |
TW201318713A (en) | 2013-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102052331B1 (en) | Inkjet print head, apparatus and method using the same for manufacturing organic luminescence display | |
JP4604131B2 (en) | Organic EL display and manufacturing method thereof | |
JP4612741B2 (en) | Organic EL display panel and manufacturing method thereof | |
US20090122110A1 (en) | Ink Discharging Apparatus and Ink Discharging Method | |
JP5764996B2 (en) | Printing method | |
KR100944062B1 (en) | Liquid material applying apparatus and liquid material applying method | |
JP2004031070A (en) | Organic el material application device, its application method, and organic el display device | |
TW201445721A (en) | Method for manufacturing an organic light emitting display panel and related organic light emitting display panel | |
JP2005235769A (en) | Display device, manufacturing method thereof, and organic matter dropping apparatus | |
CN111341807B (en) | Pixel defining structure and OLED display panel | |
US8944564B2 (en) | Printing apparatus and method for manufacturing organic light emitting diode display | |
JP2013052351A (en) | Nozzle printing device | |
JP4864041B2 (en) | Organic device manufacturing equipment | |
CN111048700A (en) | Printing device for preparing OLED film and printing method thereof | |
JP2020087909A5 (en) | ||
WO2013111300A1 (en) | Organic el panel and method for manufacturing same | |
KR20220014383A (en) | Inkjet spraying method, inkjet spraying device and display panel manufacturing method using same | |
JP5096641B1 (en) | Organic EL panel and manufacturing method thereof | |
JP2009039621A (en) | Coating apparatus | |
KR20190030203A (en) | Printing apparatus | |
JP2019188387A (en) | Printing method, printing device, el and solar battery manufacturing method | |
JP2009039595A (en) | Coating apparatus and coating method | |
JP2013055032A (en) | Organic el panel and method for manufacturing the same | |
JP2009141285A (en) | Organic device, and method and apparatus for manufacturing the same | |
JP2016155062A (en) | Droplet discharging method, manufacturing method of organic semiconductor element, and control program |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20141202 |