JP2013051341A - 発光装置、スーパールミネッセントダイオード、およびプロジェクター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る発光装置100では、第2光導波路162の延出方向は、第1側面131と平行であり、第3層108は、第2側面132と連続する第4側面142の少なくとも一部を含んで形成された第1酸化領域170と、第3側面133と連続する第5側面143の少なくとも一部を含んで形成された第2酸化領域172と、を有し、第1酸化領域170は、前記第1層、前記第2層、および前記第3層の積層方向から見て、前記第1反射部と重なり、第2酸化領域162は、前記積層方向から見て、前記第2反射部と重なる。
【選択図】図1
Description
電流を注入することによって光を発生させる第1層と、
前記第1層を挟み、かつ前記光の漏れを抑制する第2層および第3層と、
を含み、
前記第1層には、
前記第1層の第1側面に設けられた第1出射部から前記第1層の第2側面に設けられた第1反射部まで延出する帯状の形状を有する第1光導波路と、
前記第1反射部から前記第1層の第3側面に設けられた第2反射部まで延出する帯状の形状を有する第2光導波路と、
前記第2反射部から前記第1側面に設けられた第2出射部まで延出する帯状の形状を有する第3光導波路と、
が形成され、
前記第2光導波路の延出方向は、前記第1側面と平行であり、
前記第1出射部から出射される第1の光と、前記第2出射部から出射される第2の光とは、同じ方向に出射され、
前記第3層は、
前記第2側面と連続する第4側面の少なくとも一部を含んで形成された第1酸化領域と、
前記第3側面と連続する第5側面の少なくとも一部を含んで形成された第2酸化領域と、
を有し、
前記第1酸化領域は、前記第1層、前記第2層、および前記第3層の積層方向から見て、前記第1反射部と重なり、
前記第2酸化領域は、前記積層方向から見て、前記第2反射部と重なる。
前記第1反射部および前記第2反射部表面は、誘電体層で覆われていてもよい。
前記誘電体層を介して前記第1反射部および前記第2反射部の反対側に、樹脂層が形成されていてもよい。
前記第1反射部および前記第2反射部の表面は、露出していてもよい。
前記第3層は、
前記積層方向から見て、前記第1酸化領域に対して、前記第1光導波路および前記第2光導波路を挟んで配置された第3酸化領域と、
前記積層方向から見て、前記第2酸化領域に対して、前記第2光導波路および前記第3光導波路を挟んで配置された第4酸化領域と、
を有していてもよい。
前記第1酸化領域の、前記第4側面の垂線方向の長さは、20μm以上であり、
前記第2酸化領域の、前記第5側面の垂線方向の長さは、20μm以上であってもよい。
前記積層方向から見て、
前記第1光導波路と前記第2光導波路とは、前記第2側面の垂線に対して第1角度で傾いて前記第1反射部と接続され、
前記第2光導波路と前記第3光導波路とは、前記第3側面の垂線に対して第2角度で傾いて前記第2反射部と接続され、
前記第1角度および前記第2角度は、臨界角以上であってもよい。
前記第2光導波路の延出方向の長さは、
前記第1光導波路の延出方向の長さ、および前記第3光導波路の延出方向の長さよりも大きくてもよい。
前記第2側面および前記第3側面は、エッチングにより形成されたエッチング面であってもよい。
本発明に係る発光装置と、
前記発光装置から出射された光を集光するレンズアレイと、
前記レンズアレイによって集光された光を、画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む。
電流を注入することによって光を発生させる第1層と、
前記第1層を挟み、かつ前記光の漏れを抑制する第2層および第3層と、
を含み、
前記第1層には、
前記第1層の第1側面に設けられた第1出射部から前記第1層の第2側面に設けられた第1反射部まで延出する帯状の形状を有する第1光導波路と、
前記第1反射部から前記第1層の第3側面に設けられた第2反射部まで延出する帯状の形状を有する第2光導波路と、
前記第2反射部から前記第1側面に設けられた第2出射部まで延出する帯状の形状を有する第3光導波路と、
が形成され、
前記第2光導波路の延出方向は、前記第1側面と平行であり、
前記第1出射部から出射される第1の光と、前記第2出射部から出射される第2の光とは、同じ方向に出射され、
前記第3層は、
前記第2側面と連続する第4側面の少なくとも一部を含んで形成された第1酸化領域と、
前記第3側面と連続する第5側面の少なくとも一部を含んで形成された第2酸化領域と、
を有し、
前記第1酸化領域は、前記第1層、前記第2層、および前記第3層の積層方向から見て、前記第1反射部と重なり、
前記第2酸化領域は、前記積層方向から見て、前記第2反射部と重なる。
本発明に係るスーパールミネッセントダイオードと、
前記スーパールミネッセントダイオードから出射された光を集光するレンズアレイと、
前記レンズアレイによって集光された光を、画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む。
まず、本実施形態に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る発光装置100を模式的に示す平面図である。図2は、本実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。図3は、本実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のIII−III線断面図である。図4は、本実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のIV−IV線断面図である。なお、図1では、便宜上、第2電極114の図示を省略している。
次に、電流の拡散距離を調査した実験について説明する。なお、本発明は、以下の実験によって何ら限定されるものではない。
次に、本実施形態に係る発光装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図8〜図11は、本実施形態に係る発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図であって、図2に対応している。
4.1. 第1変形例に係る発光装置
次に、本実施形態の第1変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図12は、本実施形態の第1変形例に係る発光装置200を模式的に示す断面図であって、図2に対応している。
次に、本実施形態の第2変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図13は、本実施形態の第2変形例に係る発光装置300を模式的に示す断面図であって、図12に対応している。
次に、本実施形態の第3変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図14は、本実施形態の第3変形例に係る発光装置400を模式的に示す平面図である。図15は、本実施形態の第3変形例に係る発光装置400を模式的に示す図14のXV−XV線断面図である。図16は、本実施形態の第3変形例に係る発光装置400を模式的に示す図14のXVI−XVI線断面図である。なお、図14では、便宜上、第2電極114の図示を省略している。
次に、本実施形態の第4変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図17は、本実施形態の第4変形例に係る発光装置500を模式的に示す平面図である。なお、図17では、便宜上、第2電極114の図示を省略している。
次に、本実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図18は、本実施形態に係るプロジェクター800を模式的に示す図である。図19は、本実施形態に係るプロジェクター800の一部を模式的に示す図である。なお、図18では、便宜上、プロジェクター800を構成する筐体を省略し、さらに光源700を簡略化して図示している。また、図19では、便宜上、光源700、レンズアレイ802、および液晶ライトバルブ804について図示し、さらに光源700を簡略化して図示している。
104 第1クラッド層、106 活性層、108 第2クラッド層、
108a Al高組成層、110 コンタクト層、111 柱状部、112 第1電極、
114 第2電極、115 接触面、116 絶縁層、120 積層体、
122 切り欠き部、124 第1開口部、126 第2開口部、131 第1側面、
132 第2側面、133 第3側面、134 側面、135 側面、136 側面、
142 第4側面、143 第5側面、144 側面、146 側面、
160 第1光導波路、160a 重なり領域、162 第2光導波路、
162a 重なり領域、164 第3光導波路、164a 重なり領域、
170 第1酸化領域、172 第2酸化領域、174 第3酸化領域、
176 第4酸化領域、181 第1端面、182 第2端面、183 第3端面、
184 第4端面、185 第5端面、186 第6端面、190 重なり面、
192 重なり面、200 発光装置、202 誘電体層、300 発光装置、
302 樹脂層、400 発光装置、500 発光装置、550 光導波路群、
700 光源、710 ベース、720 サブマウント、730 構造体、
800 プロジェクター、801 平坦面、802 レンズアレイ、803 凸曲面、
804 液晶ライトバルブ、805 照射面、806 クロスダイクロイックプリズム、
808 投射レンズ、810 スクリーン、1000 発光装置、1102 基板、
1104 第1クラッド層、1106 活性層、1108 第2クラッド層、
1110 コンタクト層、1112 第1電極、1114 第2電極
Claims (12)
- 電流を注入することによって光を発生させる第1層と、
前記第1層を挟み、かつ前記光の漏れを抑制する第2層および第3層と、
を含み、
前記第1層には、
前記第1層の第1側面に設けられた第1出射部から前記第1層の第2側面に設けられた第1反射部まで延出する帯状の形状を有する第1光導波路と、
前記第1反射部から前記第1層の第3側面に設けられた第2反射部まで延出する帯状の形状を有する第2光導波路と、
前記第2反射部から前記第1側面に設けられた第2出射部まで延出する帯状の形状を有する第3光導波路と、
が形成され、
前記第2光導波路の延出方向は、前記第1側面と平行であり、
前記第1出射部から出射される第1の光と、前記第2出射部から出射される第2の光とは、同じ方向に出射され、
前記第3層は、
前記第2側面と連続する第4側面の少なくとも一部を含んで形成された第1酸化領域と、
前記第3側面と連続する第5側面の少なくとも一部を含んで形成された第2酸化領域と、
を有し、
前記第1酸化領域は、前記第1層、前記第2層、および前記第3層の積層方向から見て、前記第1反射部と重なり、
前記第2酸化領域は、前記積層方向から見て、前記第2反射部と重なる、ことを特徴とする発光装置。 - 前記第1反射部および前記第2反射部の表面は、誘電体層で覆われている、ことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記誘電体層を介して前記第1反射部および前記第2反射部の反対側に、樹脂層が形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の発光装置。
- 前記第1反射部および前記第2反射部の表面は、露出している、ことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記第3層は、
前記積層方向から見て、前記第1酸化領域に対して、前記第1光導波路および前記第2光導波路を挟んで配置された第3酸化領域と、
前記積層方向から見て、前記第2酸化領域に対して、前記第2光導波路および前記第3光導波路を挟んで配置された第4酸化領域と、
を有する、ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記第1酸化領域の、前記第4側面の垂線方向の長さは、20μm以上であり、
前記第2酸化領域の、前記第5側面の垂線方向の長さは、20μm以上である、ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記積層方向から見て、
前記第1光導波路と前記第2光導波路とは、前記第2側面の垂線に対して第1角度で傾いて前記第1反射部と接続され、
前記第2光導波路と前記第3光導波路とは、前記第3側面の垂線に対して第2角度で傾いて前記第2反射部と接続され、
前記第1角度および前記第2角度は、臨界角以上である、ことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の発光装置。 - 前記第2光導波路の延出方向の長さは、
前記第1光導波路の延出方向の長さ、および前記第3光導波路の延出方向の長さよりも大きい、ことを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の発光装置。 - 前記第2側面および前記第3側面は、エッチングにより形成されたエッチング面である、ことを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の発光装置。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の発光装置と、
前記発光装置から出射された光を集光するレンズアレイと、
前記レンズアレイによって集光された光を、画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む、ことを特徴とするプロジェクター。 - 電流を注入することによって光を発生させる第1層と、
前記第1層を挟み、かつ前記光の漏れを抑制する第2層および第3層と、
を含み、
前記第1層には、
前記第1層の第1側面に設けられた第1出射部から前記第1層の第2側面に設けられた第1反射部まで延出する帯状の形状を有する第1光導波路と、
前記第1反射部から前記第1層の第3側面に設けられた第2反射部まで延出する帯状の形状を有する第2光導波路と、
前記第2反射部から前記第1側面に設けられた第2出射部まで延出する帯状の形状を有する第3光導波路と、
が形成され、
前記第2光導波路の延出方向は、前記第1側面と平行であり、
前記第1出射部から出射される第1の光と、前記第2出射部から出射される第2の光とは、同じ方向に出射され、
前記第3層は、
前記第2側面と連続する第4側面の少なくとも一部を含んで形成された第1酸化領域と、
前記第3側面と連続する第5側面の少なくとも一部を含んで形成された第2酸化領域と、
を有し、
前記第1酸化領域は、前記第1層、前記第2層、および前記第3層の積層方向から見て、前記第1反射部と重なり、
前記第2酸化領域は、前記積層方向から見て、前記第2反射部と重なる、ことを特徴とするスーパールミネッセントダイオード。 - 請求項11に記載のスーパールミネッセントダイオードと、
前記スーパールミネッセントダイオードから出射された光を集光するレンズアレイと、
前記レンズアレイによって集光された光を、画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む、ことを特徴とするプロジェクター。
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