JP2013044551A - 抵抗値と変位を測定する複合測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】載置板12をポリアセタール樹脂で構成し、裏面にガード電極52を配置する。載置板12上に配置した基板23の表面に、円環電極43と円盤電極44とを接触させ、円盤電極44を電流計47を介してガード電極52に接続し、ガード電極52を接地させて、円環電極43と円盤電極44の間に電圧を印加し、電流計47の検出結果から基板23表面の高抵抗薄膜の抵抗値が測定される。ポリアセタール樹脂の抵抗値は高く、表面は平坦なので、基板23の表面に触針を接触させながら移動させて、触針63の変位を測定して基板23の表面の凹凸も正確に測定することができる。
【選択図】図1
Description
他方、表面形状測定をするための基板を載置するチャックは絶縁性が低く、このチャック上では高抵抗薄膜の抵抗値の測定精度が悪化する。
また、本発明は、前記載置板は、ポリアセタール樹脂で構成された複合測定装置である。
本発明の載置板は樹脂製であり、表面を平坦に加工されているから、基板表面の段差、凹凸や、うねりを正確に測定することができる。
また、測定に際して治具等の取り替えを必要とせず、測定が簡単である。
図1(a)は、複合測定装置2を鉛直上方から見た図を示し、同図(b)は、複合測定装置2を側面から見た図を示している。
レール13上には、細長の取付板15が、その長手方向がレール13と垂直にされて水平面内に位置するように配置されている。
載置台11の載置板12を乗せる部分はアルミニウム板56であり、載置板12表面の平坦度、平行度が向上するようにされている。
表面形状測定装置60は、先端が下方に向けられた触針63と、触針63を測定対象物に所望圧力で接触させると共に、触針63の鉛直上下方向の移動量を測定する変位計65とを有している。
抵抗測定装置40は、プローブ41と、測定回路53を有している。測定回路53には、プローブ41に電圧を印加するプローブ電源45と、電流を測定する電流計47が含まれる。
プローブ電源45は、正電圧端子46と負電圧端子48とを有している。
正電圧端子46は、円環電極43に接続され、円盤電極44は、電流計47を介して負電圧端子48に接続されている。
載置板12の裏面に配置されたアルミニウム板56がガード電極52とされて負電圧端子48に接続されている。
表面形状測定装置60の触針63は、基板23表面上の始点と終点の間を、基板23の表面と接触しながら移動して、始点と終点の間の凹凸、段差やうねりを測定することができる。
表面形状測定装置60の内部には、移動軸が設けられており、触針63は移動軸によって数センチメートル程度、終点に向かって直線及び回転移動される。触針63の先端は、始点から終点に到達するまでの間、基板23の表面に接触している。
例えば、始点と触針63の間の距離を横軸にし、触針63の上下方向の位置の変位量を縦軸にすると、始点と終点の間の基板23表面の高さの変化が分かる。
その状態で、抵抗測定装置40は、ガード電極52を接地電位に置き、円環電極43と円盤電極44との間に電圧を印加して電流計47に流れる電流を測定し、測定値を抵抗測定装置40から制御装置19に出力し、制御装置19は、抵抗値を求めてその値を位置と関連付けて記憶した後、第一の昇降装置49によってプローブ41を基板23表面の高抵抗層25から離間させる。
その後、第一の抵抗測定位置と同様に、基板23の表面の制御装置19に入力された残りの測定すべき抵抗測定位置で抵抗値の測定を行う。
その後、第一の表面形状測定位置と同様に、基板23の表面の制御装置19に入力された残りの測定すべき表面形状測定位置で変位量の測定を行う。
また、本発明の載置板12である板は、ポリアセタール樹脂である、デルリン(デュポン株式会社の登録商標:ポリトリアセタール樹脂)や、ジュラコン(ポリプラスチック株式会社の登録商標)、テナック(旭化成株式会社の登録商標)や、フッ素樹脂等の高抵抗樹脂を成型して用いると、ガード電極52に流れる電流が減少し、測定精度が向上する。
なお、円環電極43と円盤電極44は、金属が薄板状に形成されて構成されている。
12……載置板
20……移動装置
23……基板
40……抵抗測定装置
41……プローブ
43……円環電極
44……円盤電極
45……プローブ電源
47……電流計
49……第一の昇降装置
52……ガード電極
60……表面形状測定装置
63……触針
67……第二の昇降装置
Claims (2)
- 測定対象の基板が表面に水平に配置される載置板と、
前記載置板の上方に配置され、前記載置板上の基板の表面にプローブを接触させ、前記プローブに電圧を印加して電流を検出する抵抗測定装置と、
前記載置板の上方に配置され、前記載置板上の基板の表面に触針の先端を接触させ、接触させた状態で前記触針を移動させ、前記触針の上下方向の変位量を検出する表面形状測定装置と、
前記抵抗測定装置と前記表面形状測定装置とを、載置板上で、前記載置板と平行に移動させる移動装置と、
前記プローブと前記触針とを、上下方向にそれぞれ移動させる第一、第二の昇降装置と、を有し、前記プローブと前記触針は前記基板表面と接触と離間が可能に構成され、
前記プローブは、第一、第二の電極を有し、
前記載置板の裏面には、載置板と接触してガード電極が配置され、
電源が電位差を形成できる第一、第二の端子のうち、
前記第一の端子には、前記第一の電極が接続され、
前記第二の端子には、ガード電極が接続され、
前記第二の電極は、電流計を介して前記第二の端子に接続された複合測定装置。 - 前記載置板は、ポリアセタール樹脂で構成された請求項1記載の複合測定装置。
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WO2018150482A1 (ja) * | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 株式会社Fuji | 測定装置、測定方法 |
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