JP2013030561A - Lead frame, molding die, semiconductor device, and package - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure air to be blown out from a cavity of a molding die to the exterior thereby preventing the occurrence of molding defects due to insufficient resin filling and improving the yield when a package of a semiconductor device is molded.SOLUTION: When a package 2, integrated with a resin molding by installing a lead frame 1 having a terminal lead 13 in a molding die and performing the resin mold, is molded, multiple hanging leads 14, 14 each of which connects with and supports a peripheral part of the resin molding, are provided at the lead frame 1. Multiple vent grooves 14a are formed on surfaces of the hanging leads 14, 14 to blow out air in a cavity from the vent grooves 14a to the exterior.

Description

本発明は、主として発光素子が実装されるパッケージのリードフレームの構造、パッケージを成形するための成形金型、これらにより成形されるパッケージと半導体装置に関する。   The present invention mainly relates to a lead frame structure of a package on which a light emitting element is mounted, a molding die for molding the package, a package molded by these, and a semiconductor device.

図12に示される、パッケージ内に半導体素子を封止した半導体装置は、リードフレーム100のタブ(ダイパッド)101上に半導体素子102を搭載し、半導体素子102の電極とインナーリードをワイヤボンディングして接続した後、モールド金型により樹脂モールドしてパッケージ103を形成し、このパッケージ103の周辺にできた樹脂バリとともにリードフレームを切断し、併せてアウターリード104を折り曲げる加工工程を経て形成される。   A semiconductor device in which a semiconductor element is sealed in a package shown in FIG. 12 has a semiconductor element 102 mounted on a tab (die pad) 101 of a lead frame 100, and the electrode of the semiconductor element 102 and an inner lead are wire-bonded. After the connection, the package 103 is formed by resin molding with a mold, and the lead frame is cut together with the resin burr formed around the package 103, and the outer lead 104 is bent together.

このような半導体装置の前記パッケージの成形工程において、モールド金型には通常そのキャビティ内に残留したエアーを外部に送り出すエアベント部がゲート以外の角部に設けられているが、エアベント部は狭幅なため封止樹脂が付着して詰りやすく、キャビティ内のエアーが十分に外部に送り出されず、封止樹脂の注入が不十分となって充填不足を引き起こすことがある。
これを解決する手段として、同図に示されるように、リードフレーム100のアウターリード104やタブ吊りリードにエアベント部105を設け、このエアベント部105を通じてモールド金型のキャビティ内のエアーがキャビティ外部に送り出されるようにした構成のものが知られている(例えば特許文献1、2参照)。
In the molding process of the package of such a semiconductor device, the mold die is usually provided with an air vent portion at the corner other than the gate for sending the air remaining in the cavity to the outside. For this reason, the sealing resin adheres and is easily clogged, and the air in the cavity is not sufficiently sent to the outside, and the injection of the sealing resin is insufficient and may cause insufficient filling.
As a means for solving this, as shown in the figure, an air vent portion 105 is provided in the outer lead 104 and the tab suspension lead of the lead frame 100, and the air in the cavity of the mold dies passes through the air vent portion 105 to the outside of the cavity. The thing of the structure made to send out is known (for example, refer patent document 1, 2).

特開平7−111305号公報JP-A-7-111305 特開平11−220087号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-220087

光ファイバ通信などに使われるLD素子やLEDランプに使われるLED素子などの発光素子を搭載した表面実装型の光半導体装置のうち、リードがパッケージの二側面と底面から表出したタイプのパッケージを、反射特性や耐熱性に優れた熱硬化性樹脂などの樹脂材料を用いてリードフレームに一体に成形した形態ものが製品化されている。   Among surface-mount type optical semiconductor devices equipped with light-emitting elements such as LD elements used in optical fiber communications and LED elements used in LED lamps, the type of package whose leads are exposed from the two sides and bottom of the package In addition, a product that is integrally formed on a lead frame using a resin material such as a thermosetting resin having excellent reflection characteristics and heat resistance has been commercialized.

かかるパッケージにおいて、熱硬化性樹脂のような粘度が低く成形流動性が良好な材料を用いると、成形金型の隙間に樹脂が流れ込んでバリや樹脂被りができやすく、また、キャビティ内のエアーを外部に送り出すために成形金型の周辺部に形成されたエアベント部に流入して詰らせやすく、樹脂の硬化が速く固化時間が短いことと相俟って、エアベント部に付着し硬化した樹脂によってキャビティ内のエアーが十分に外部に送り出されず、エアー溜まりによる樹脂の充填不足を引き起こしやすいという成形技術上の問題があった。
この場合、前記従来技術において樹脂に封止されるアウターリードやタブ吊りリードにエアベント部を設けたように、リードフレームのキャビティ内に装填される部分にエアベント部を設けたとしても、成形流動性が良好な樹脂がエアベント部に流入・固化して詰まり、キャビティ内のエアー溜まりによって樹脂の充填不足を引き起こすことは避けられない。特に熱硬化性樹脂のうちでシリコーン樹脂のような粘度の低い樹脂材料を用いて前記タイプのパッケージを形成する態様には前記従来技術は適用できない。
In such a package, if a material with low viscosity and good molding fluidity is used, such as a thermosetting resin, the resin flows into the gaps in the molding die, and burrs and resin covering are easily formed. Resin that adheres to the air vent part and hardens in combination with the fact that it flows easily into the air vent part formed at the periphery of the molding die for sending out to the outside and easily clogs, and the resin hardens quickly and the solidification time is short. Therefore, there is a problem in molding technology that the air in the cavity is not sufficiently sent to the outside, and the resin is easily filled due to the air pool.
In this case, even if the air vent portion is provided in the portion of the lead frame that is loaded in the cavity of the lead frame, like the outer lead or the tab suspension lead sealed in the resin in the prior art, the molding fluidity However, it is inevitable that a good resin will flow into the air vent part and solidify and become clogged, and the air pool in the cavity will cause insufficient filling of the resin. In particular, the prior art cannot be applied to an embodiment in which the type of package is formed using a resin material having a low viscosity such as a silicone resin among thermosetting resins.

また、前記パッケージは、その周辺部に吊りリードが連結されてリードフレームと一体に成形され、前記吊りリードを介してリードフレーム内に支持された状態で、発光素子を装着する工程、リードフレームの端子リードと発光素子の電極をワイヤで接続する工程、発光素子とワイヤにより接続された部分を保護樹脂で被覆する工程の各工程を経て半導体装置に加工され、完成した半導体装置は吊りリードとの連結部分を分断してリードフレームから取り外し、電子機器の回路基板に取付けられる。
従って、パッケージから半導体装置に加工する間、パッケージが取り外れないようにリードフレームに固定しておく必要があるが、特にシリコーン樹脂などは粘度が低く硬化後も柔らかいため、パッケージと吊りリードの連結部分が脆く崩れてパッケージがリードフレームから取り外れやすく、また、リードフレームから取り外す際に前記パッケージと吊りリードの連結部分から屑が生じやすかった。
The package includes a step of attaching a light emitting element in a state in which a suspension lead is connected to a peripheral portion of the package and is integrally formed with the lead frame and supported in the lead frame via the suspension lead. The semiconductor device is processed into a semiconductor device through a step of connecting the terminal lead and the electrode of the light emitting element with a wire and a step of covering the portion connected with the light emitting element with the wire with a protective resin. The connecting portion is divided and removed from the lead frame, and attached to the circuit board of the electronic device.
Therefore, while processing from a package to a semiconductor device, it is necessary to fix the package to the lead frame so that the package cannot be removed. Especially, silicone resin has low viscosity and is soft after curing, so the connection between the package and the suspension lead The portion was fragile and the package was easily removed from the lead frame, and scrap was easily generated from the connecting portion of the package and the suspension lead when the package was removed from the lead frame.

本発明は従来技術の有するこのような問題点に鑑み、半導体装置のパッケージを成形するにあたり、成形金型のキャビティ内からエアーを外部に確実に送り出し、樹脂の充填不足による成形不良の発生を防止して歩留まりを向上させ、また、パッケージを半導体装置に加工する工程でパッケージがリードフレームに確実に保持されるようにすることを課題とする。   In view of these problems of the prior art, the present invention prevents the occurrence of molding defects due to insufficient filling of the resin by reliably sending air out of the mold cavity when molding the package of the semiconductor device. It is therefore an object of the present invention to improve the yield and to ensure that the package is securely held by the lead frame in the process of processing the package into a semiconductor device.

前記課題を解決するため本発明は、半導体素子が装着されるダイパッドと電極を構成する端子リードを有するリードフレームであって成形金型内に設置されて樹脂成形を行うことにより前記ダイパッド及び端子リードと樹脂成形体が一体となったパッケージを形成するためのリードフレームにおいて、前記樹脂成形体の周辺部に連結して支持する複数の吊りリードを備えるともに、前記複数の吊りリードのうちの少なくも一つの吊りリードの表面にベント溝が形成されてなることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a lead frame having a die pad on which a semiconductor element is mounted and a terminal lead constituting an electrode, and is placed in a molding die to perform resin molding, thereby forming the die pad and the terminal lead. The lead frame for forming a package in which the resin molded body is integrated is provided with a plurality of suspension leads that are connected to and supported by the peripheral portion of the resin molded body, and at least one of the plurality of suspension leads. A vent groove is formed on the surface of one suspension lead.

これによれば、吊りリードの表面にベント溝を設けることで、パッケージ成形時に成形金型のキャビティ内のエアーを前記ベント溝から成形金型の外部へと送り出すことができ、成形金型の側にベント溝を設けなくとも、キャビティ内にエアー溜まりができること効果的に防止することができる。
また、吊りリードにベント溝を設けることで、パッケージ成形時に前記ベント溝に樹脂が流入して詰まり、ベント効果が失われたとしても、成形金型に樹脂は付着せず、次段のパッケージ成形の際にはベント溝に樹脂が付着していない新たなリードフレーム上での成形となるため、樹脂の充填不足を起こすことなく、成形金型にリードフレームを逐次設置してパッケージを連続的に成形することができる。
さらに、リードフレームの吊りリードにベント溝を設けることで、パッケージ成形後或いはパッケージを半導体装置に加工した後、リードフレームの端子リードを切断してパッケージをリードフレームから取り外して個片にした場合に、前記吊りリードもパッケージから分離してパッケージ内にベント溝が残ることはなく、パッケージの機能や外観に支障を及ぼすことはない。
According to this, by providing the vent groove on the surface of the suspension lead, the air in the cavity of the molding die can be sent out from the vent groove to the outside of the molding die at the time of molding the package. Even if no vent groove is provided in the air, it is possible to effectively prevent air from being accumulated in the cavity.
In addition, by providing a vent groove in the suspension lead, even if the resin flows into the vent groove during clogging and becomes clogged and the venting effect is lost, the resin does not adhere to the molding die and the next package molding In this case, molding is performed on a new lead frame that does not have resin attached to the vent groove. Therefore, the lead frame is installed in the molding die sequentially without causing insufficient resin filling. Can be molded.
Furthermore, by providing a vent groove in the lead of the lead frame, after forming the package or processing the package into a semiconductor device, the terminal lead of the lead frame is cut and the package is removed from the lead frame into individual pieces. The suspension leads are also separated from the package and no vent groove is left in the package, so that the function and appearance of the package are not hindered.

前記構成のリードフレームにおいて、ベント溝の表面に、摩擦抵抗を増加させる粗加工処理がなされていることが好ましい。
ベント溝の表面が成形金型の表面よりも粗くなっていれば、パッケージ成形時に生じる樹脂のバリはベント溝に付着して成形金型に残ることはない。粗加工処理は、ベント溝の表面に凹筋や凸筋、凸凹な部分などを設けるなどして、前記成形金型の表面よりも摩擦抵抗を増加させるための処理であり、この処理はベント溝の形成と同時に、或いはベント溝を形成した後の加工により行うことができる。通常リードフレームの打ち抜きと同時に押圧型でベント溝を形成する際に、ベント溝の表面には微細な凹凸や筋が形成され、摩擦抵
抗は大きくなる。
In the lead frame configured as described above, it is preferable that the surface of the vent groove is subjected to a roughing process for increasing the frictional resistance.
If the surface of the vent groove is rougher than the surface of the molding die, the resin burrs generated during the molding of the package will not adhere to the vent groove and remain in the molding die. The roughing process is a process for increasing the frictional resistance than the surface of the molding die by providing a concave groove, a convex line, an uneven part, etc. on the surface of the vent groove. Can be performed simultaneously with the formation of or after the formation of the vent groove. Usually, when the vent groove is formed by the pressing die simultaneously with the punching of the lead frame, fine irregularities and streaks are formed on the surface of the vent groove, and the frictional resistance is increased.

また、前記構成のリードフレームにおいて、吊りリードの先端部に、当該リードの上面先端側から下面根元側へ傾斜したテーパ部を設けてなることが好ましい。
これによれば、吊りリードの先端部にテーパ部を設けて、これをパッケージの周辺部に連結することにより、パッケージは吊りリードを介してリードフレーム内に安定して支持され、また、吊りリードをパッケージから分離する際に、吊りリードの先端部をパッケージの周辺部から簡単に取り外すことができ、パッケージと連結した部分から屑が生じることもない。
In the lead frame having the above-described configuration, it is preferable that a tip portion of the suspension lead is provided with a tapered portion inclined from the top surface tip side of the lead to the bottom surface base side.
According to this, by providing a tapered portion at the tip of the suspension lead and connecting it to the periphery of the package, the package is stably supported in the lead frame via the suspension lead, and the suspension lead When separating the package from the package, the tip of the suspension lead can be easily removed from the periphery of the package, and no debris is produced from the portion connected to the package.

また、本発明の成形金型は、前記構成のリードフレームに樹脂成形体を一体に形成するための成形金型であって、キャビティに樹脂を流入するためのゲートの位置が、吊りリードが樹脂の充填末端部となるように配置してあることを特徴とする。
これによれば、パッケージの成形に必要な樹脂流入口であるゲートの位置を前記のように配置することにより、キャビティ内の前記充填端末部に発生しやすいエアー溜まりを、吊りリードのベント溝を通して成形金型の外部に効率的に排出することができる。
The molding die of the present invention is a molding die for integrally forming a resin molded body on the lead frame having the above-described structure, and the position of the gate for flowing the resin into the cavity is the suspension lead is the resin. It is arrange | positioned so that it may become a filling terminal part.
According to this, by arranging the position of the gate, which is a resin inflow port necessary for the molding of the package, as described above, an air reservoir that is likely to be generated in the filling terminal portion in the cavity is passed through the vent groove of the suspension lead. It can be efficiently discharged outside the molding die.

また、本発明の成形金型は、前記構成のリードフレームに樹脂成形体を一体に形成するための成形金型であって、成形金型を構成する上金型と下金型が、当該上下の金型の間に設置された前記リードフレームの端子リードと吊りリードの縁部に挟持圧接するように設けてあることを特徴とする。
リードフレームは鋼板を打ち抜きプレスして形成され、打ち抜かれたフレームの縁部に「だれ」が形成されるが、前記のように上下の金型でリードフレームの端子リードと吊りリードの縁部を強制的に挟んで圧接することにより、前記「だれ」た縁部が変形せしめられ、リードフレームとパッケージの接合部の密着性を高めることがきる。
The molding die of the present invention is a molding die for integrally forming a resin molding on the lead frame having the above-described configuration, and the upper die and the lower die constituting the molding die are arranged in the upper and lower sides. It is characterized in that it is provided so as to be sandwiched and press-contacted with the edge of the lead and the suspension lead of the lead frame installed between the molds.
The lead frame is formed by punching and pressing a steel plate, and “sag” is formed at the edge of the punched frame. As described above, the edge of the lead frame terminal lead and the suspension lead are connected with the upper and lower molds. By forcibly sandwiching and press-contacting, the “sagging” edge is deformed, and the adhesion between the lead frame and the joint of the package can be improved.

また、本発明の半導体装置は、前記構成のリードフレームに半導体素子を装着し、前記半導体素子の電気端子とリードフレームの端子リードとを電気的に接続するとともに、前記半導体素子を樹脂で覆って形成されていることを特徴とする。
この場合、半導体装置は、リードフレームに半導体素子を装着し、半導体素子の電極端子や信号端子をリードフレームの端子リードにワイヤなどで電気的に接続し、この半導体素子が実装されたリードフレームを成形金型にセットし、キャビティ内に樹脂を充填して硬化させて前記半導体素子の周囲を樹脂で被覆するモールド成形を行うことにより形成することができる。
このように、半導体装置をモールド成形により形成する場合にも、成形金型のキャビティ内のエアーをリードフレームのベント溝から成形金型の外部へと送り出してキャビティ内にエアー溜まりができ難く、樹脂の充填不足による成形不良の発生を効果的に防止することができる。
According to another aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device in which a semiconductor element is mounted on the lead frame having the above-described configuration, the electrical terminals of the semiconductor element and the terminal leads of the lead frame are electrically connected, and the semiconductor element is covered with a resin. It is formed.
In this case, the semiconductor device mounts the semiconductor element on the lead frame, electrically connects the electrode terminal and signal terminal of the semiconductor element to the terminal lead of the lead frame with a wire or the like, and attaches the lead frame on which the semiconductor element is mounted. It can be formed by setting in a molding die, filling the cavity with resin and curing it, and performing molding to cover the periphery of the semiconductor element with resin.
As described above, even when the semiconductor device is formed by molding, it is difficult for the air in the cavity of the molding die to be sent out from the vent groove of the lead frame to the outside of the molding die, and it is difficult to collect air in the cavity. Occurrence of molding defects due to insufficient filling can be effectively prevented.

また、本発明のパッケージは、前記構成のリードフレーム、或いは成形金型を用いて形成されることを特徴とする。
さらに、本発明の発光装置は、前記パッケージに半導体素子を装着し、この発光素子の電極部とリードフレームの端子リードとを電気的に接続するとともに、前記パッケージ内に装着された発光素子を封止材で覆って形成してなることを特徴とする。前記封止材としては、透光性を有する封止材料、エポキシ系の樹脂やシリコーンからなる封止材料、これらに無機充填材を配合した樹脂などを用いることができる。
The package of the present invention is formed using the lead frame or the molding die having the above-described configuration.
Furthermore, the light emitting device of the present invention mounts a semiconductor element on the package, electrically connects the electrode portion of the light emitting element and the terminal lead of the lead frame, and seals the light emitting element mounted in the package. It is formed by covering with a stopper. As the sealing material, a light-transmitting sealing material, a sealing material made of an epoxy-based resin or silicone, a resin in which an inorganic filler is blended, or the like can be used.

なお、本発明のリードフレーム、成形金型及びパッケージは、発光素子を実装してなる発光装置の他に、受光素子を実装してなる受光装置や、その他の半導体装置の作製にも使用可能である。   The lead frame, molding die, and package of the present invention can be used for manufacturing a light receiving device in which a light receiving element is mounted and other semiconductor devices in addition to a light emitting device in which a light emitting element is mounted. is there.

本発明の一実施形態のリードフレームにパッケージを成形した状態の上面図(A)と下面図(B)である。FIG. 4 is a top view (A) and a bottom view (B) of a state in which a package is formed on the lead frame of one embodiment of the present invention. 図1のリードフレームの上面図(A)と下面図(B)である。FIG. 2 is a top view (A) and a bottom view (B) of the lead frame in FIG. 1. 図2中のIII−III線に沿った拡大切断端面図である。FIG. 3 is an enlarged end view taken along line III-III in FIG. 2. 図1のパッケージを成形する成形金型にリードフレームを設置した状態における吊りリードの先端部の位置を示した成形金型の概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a molding die showing a position of a tip end portion of a suspension lead in a state where a lead frame is installed in a molding die for molding the package of FIG. 1. 図4と同じく一対の吊りリードの位置を示した成形金型の概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a molding die showing the position of a pair of suspension leads as in FIG. 4. 図5で示した成形金型のキャビティ内に樹脂を流入したときのエアーと樹脂の流れを示した図である。It is the figure which showed the flow of air and resin when resin flows in into the cavity of the shaping die shown in FIG. 図1のパッケージをリードフレームから取り外してLED素子を実装した状態の外観図である。FIG. 2 is an external view of a state in which the LED element is mounted by removing the package of FIG. 1 from the lead frame. 本発明の他の実施形態のリードフレームにパッケージを成形した状態の上面図(A)、下面図(B)及びベント溝の断面図(C)である。FIG. 6 is a top view (A), a bottom view (B), and a sectional view (C) of a vent groove in a state where a package is formed on a lead frame of another embodiment of the present invention. 本発明のさらに他の実施形態のリードフレームにパッケージを成形した状態の上面図(A)と下面図(B)である。FIG. 9 is a top view (A) and a bottom view (B) of a state in which a package is formed on a lead frame according to still another embodiment of the present invention. 吊りリードの端部形状が異なる他の形態のリードフレームを成形金型に設置した状態における成形金型の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the shaping die in the state where the lead frame of other forms from which the end part shape of a suspension lead differs was installed in the shaping die. 吊りリードの端部形状が異なるさらに他の形態のリードフレームを成形金型に設置した状態における成形金型の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the shaping die in the state where the lead frame of another form from which the end shape of a suspension lead differs is installed in the shaping die. 従来の半導体装置の一例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of an example of the conventional semiconductor device.

本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。
本形態は半導体装置としてLED素子を装着して発光装置を構成するパッケージを本発明のリードフレームを適用して成形したものであり、図1は本発明の一実施形態のリードフレーム1を成形金型に設置してパッケージ2を一体に成形した状態の上面と下面をそれぞれ示している。図中、符号21はパッケージ2の下面に配置されたゲート部である。
Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, an LED element is mounted as a semiconductor device, and a package constituting a light emitting device is molded by applying the lead frame of the present invention. FIG. 1 shows a molding of the lead frame 1 of the embodiment of the present invention. An upper surface and a lower surface in a state where the package 2 is integrally molded by being installed in a mold are shown. In the figure, reference numeral 21 denotes a gate portion disposed on the lower surface of the package 2.

リードフレーム1は、例えば銅合金等の導電金属条板からなり、これをプレスにより所定形状に打ち抜き及び打ち出し加工し、表面に銀や銀−パラジウム合金、金−パラジウム合金などでメッキ加工を施して形成されたものを用いることができる。
また、パッケージ2の成形材料は、反射特性、耐UV特性、耐熱性に優れたシリコーン樹脂が好適であるが、エポキシ樹脂などのシリコーン樹脂以外の熱硬化性樹脂や、PPAやPA9Tなどの熱可塑性樹脂を用いてパッケージ2を成形してもよい。
The lead frame 1 is made of, for example, a conductive metal strip such as a copper alloy, and is stamped and punched into a predetermined shape by pressing, and the surface is plated with silver, a silver-palladium alloy, a gold-palladium alloy, or the like. The formed one can be used.
The molding material of the package 2 is preferably a silicone resin having excellent reflection characteristics, UV resistance characteristics, and heat resistance, but a thermosetting resin other than a silicone resin such as an epoxy resin, or a thermoplastic such as PPA or PA9T. The package 2 may be molded using a resin.

図2は前記リードフレーム1の上面と下面をそれぞれ示しており、図示されるように、リードフレーム1は、四方を囲う外枠リード11と一体にその内側に、半導体素子3が装着されるダイパッド12と、一対の電極を構成する端子リード13、13と、一対の吊りリード14、14とを設けて形成してある。   FIG. 2 shows an upper surface and a lower surface of the lead frame 1, respectively. As shown in the drawing, the lead frame 1 is a die pad in which the semiconductor element 3 is mounted integrally with an outer frame lead 11 surrounding the four sides. 12, terminal leads 13 and 13 constituting a pair of electrodes, and a pair of suspension leads 14 and 14 are provided.

より詳しくは、吊りリード14、14は、それぞれパッケージ2の対向側壁の全長に略接合する幅に設けられており、吊りリード14、14の上面側にはそれぞれ幅方向に等間隔離して三本のベント溝14aを同じ深さに設けて形成してある。   More specifically, each of the suspension leads 14 and 14 is provided with a width that substantially joins the entire length of the opposing side wall of the package 2, and three suspension leads 14 and 14 are spaced apart at equal intervals in the width direction. These vent grooves 14a are formed at the same depth.

図3に示されるように、ベント溝14aは、吊りリード14の先端から根元部分の外枠リード11に至る長さに亘って厚さ方向に適宜な深さで吊りリード14の表面を帯状に切り欠かいてなるものであり、吊りリード14の下面側は平坦な面としてある。   As shown in FIG. 3, the vent groove 14 a forms a band-like surface on the suspension lead 14 with an appropriate depth in the thickness direction over the length from the tip of the suspension lead 14 to the outer frame lead 11 at the root portion. The bottom surface of the suspension lead 14 is a flat surface.

また、吊りリード14、14の先端部は、図5に示されるように、吊りリード14の上面先端側から下面根元側へ傾斜したテーパ部14bを設けてあり、パッケージ2を成形した際に、このテーパ部14bがパッケージ2の側壁内部に没入してパッケージ2を支持するようになっている。   Further, as shown in FIG. 5, the tip ends of the suspension leads 14, 14 are provided with a tapered portion 14 b that is inclined from the top surface tip side of the suspension lead 14 to the bottom surface base side, and when the package 2 is molded, The tapered portion 14 b is inserted into the side wall of the package 2 to support the package 2.

前記ベント溝14aは、リードフレーム1を成形金型に設置してパッケージ2を成形する際に、キャビティ内のエアーを成形金型の外側へ送り出すための部位であり、エアーの送り出しが可能であれば、角溝断面のものやV字ノッチ溝断面などの適宜な断面形状に設けることができる。後述するように、充填端末部のウエルドに合わせた位置に複数配置してもよい。
また、図示されているように各吊りリード14の複数のベント溝14aを同数だけ設ける他に、各吊りリード14に一つのベント溝14aを設けたり、各吊りリード14で設置数を異ならせて一つ又は複数のベント溝14aを設けたりしてもよい。複数の吊りリード14のうちの一つの吊りリード14の表面にのみ一つ又は複数のベント溝14aを設けてもよい。吊りリード14に形成されるベント溝14aの幅や断面形状は、キャビティ内のエアーを成形金型の外側へ効率的に送り出すことができるように、成形条件などに応じて適宜に設定される。
また、パッケージ2を成形する際に、樹脂が成形金型の側に付着し難くなるよう、ベント溝14の表面に凹筋や凸筋を設けるなどの摩擦抵抗を増加させる粗加工処理が施されていることが好ましい。なお、ベント溝14は、幅広よりも幅狭に設ける方が、樹脂がベント溝14に流入して詰った場合にベント溝14から樹脂が剥がれて成形金型に付着し難くなって好ましい。
さらに、パッケージ2の側壁に吊りリード14が広く接合するように吊りリード14の幅を大きく確保し、その吊りリード14にベント溝14aを適宜な幅及び深さで適宜な数を設けることで、パッケージ2を成形する際にキャビティの内部全体からバランス良くエアーを排出させてベント効果を高めることができる。
The vent groove 14a is a portion for sending air in the cavity to the outside of the molding die when the lead frame 1 is placed in the molding die and the package 2 is molded. For example, it can be provided in an appropriate cross-sectional shape such as a rectangular groove cross section or a V-shaped notch groove cross section. As will be described later, a plurality of the terminals may be arranged at positions corresponding to the welds of the filling terminal portion.
Further, as shown in the drawing, in addition to providing the same number of the plurality of vent grooves 14 a of each suspension lead 14, one suspension groove 14 a is provided in each suspension lead 14, or the number of installation is different for each suspension lead 14. One or a plurality of vent grooves 14a may be provided. One or a plurality of vent grooves 14 a may be provided only on the surface of one of the plurality of suspension leads 14. The width and cross-sectional shape of the vent groove 14a formed in the suspension lead 14 are appropriately set according to molding conditions and the like so that the air in the cavity can be efficiently sent to the outside of the molding die.
Further, when the package 2 is molded, a roughing process is performed to increase the frictional resistance, such as providing concave or convex streaks on the surface of the vent groove 14 so that the resin does not easily adhere to the molding die side. It is preferable. In addition, it is preferable that the vent groove 14 is provided narrower than wide because the resin is peeled off from the vent groove 14 when the resin flows into the vent groove 14 and becomes clogged, and is difficult to adhere to the molding die.
Furthermore, by securing a large width of the suspension lead 14 so that the suspension lead 14 is widely joined to the side wall of the package 2, and providing an appropriate number of vent grooves 14a with an appropriate width and depth in the suspension lead 14, When the package 2 is molded, air can be discharged from the entire inside of the cavity in a well-balanced manner to enhance the vent effect.

このように形成された本形態のリードフレーム1を用いてパッケージ2を成形するには、図4及び図5に示される、成形金型3を用いることができる。
ここで成形金型3は、上金型31と下金型32からなり、上下の金型31、32の間に設置されたリードフレーム1は、図4に示されるように、その端子リード13、13と吊りリード14、14の縁部が上下の金型31、32の端部で挟持圧接されてキャビティ33内に支持されるように構成してある。
また、図6に示されるように、成形金型3は、キャビティ33に樹脂を流入するためのゲート34の位置が、吊りリード14が樹脂の充填末端部となるように配置してある。
In order to mold the package 2 using the lead frame 1 of this embodiment formed as described above, a molding die 3 shown in FIGS. 4 and 5 can be used.
Here, the molding die 3 includes an upper die 31 and a lower die 32, and the lead frame 1 installed between the upper and lower dies 31, 32 has its terminal leads 13 as shown in FIG. , 13 and the suspension leads 14 and 14 are configured to be supported in the cavity 33 by being sandwiched and pressed by the ends of the upper and lower molds 31 and 32.
Further, as shown in FIG. 6, the molding die 3 is arranged such that the position of the gate 34 for flowing the resin into the cavity 33 is such that the suspension lead 14 becomes the resin-filled end portion.

そして、リードフレーム1を成形金型3に設置してゲート34からキャビティ33内に樹脂を流入させれば、図6に示されるように、樹脂の流入に伴ってキャビティ33内のエアーが吊りリード14、14のベント溝14aを通って成形金型3の外部へと送り出される。
この場合、成形金型3のゲート34が前記吊りリード14が樹脂の充填末端部となるように配置してあるので、キャビティ33内の充填端末部に発生しやすいエアー溜まりを、吊りリード14のベント溝14aを通して成形金型3の外部に効率的に排出し、樹脂の充填不足のないパッケージ2を成形することができる。
成形時にベント溝14aに樹脂が流入して詰まり、ベント効果が失われたとしても、成形金型3に樹脂が付着しないので、次段のパッケージ2を成形する際にはベント溝14aに樹脂が付着していない新たなリードフレーム1上での成形となるため、成形金型3にリードフレーム1を逐次設置してパッケージ2を連続的に成形することが可能である。
When the lead frame 1 is installed in the molding die 3 and the resin flows into the cavity 33 from the gate 34, the air in the cavity 33 is suspended by the inflow of the resin as shown in FIG. 14 and 14 are sent to the outside of the molding die 3 through the vent grooves 14a.
In this case, since the gate 34 of the molding die 3 is arranged so that the suspension lead 14 serves as the resin filling end portion, an air reservoir that is likely to be generated at the filling terminal portion in the cavity 33 is generated in the suspension lead 14. The package 2 that is efficiently discharged to the outside of the molding die 3 through the vent groove 14a and does not have insufficient resin filling can be molded.
Even if the resin flows into and clogs the vent groove 14a at the time of molding and the venting effect is lost, the resin does not adhere to the molding die 3. Therefore, when the package 2 of the next stage is molded, the resin does not enter the vent groove 14a. Since the molding is performed on a new lead frame 1 that is not attached, the package 2 can be continuously molded by sequentially installing the lead frame 1 on the molding die 3.

リードフレーム1と一体に成形されたパッケージ2は、パッケージ2内のダイパッド12にLED素子4を装着した後、端子リード13、13を切断するとともにパッケージ2の側壁に連結した吊りリード14、14を分離して、図7に示されるように、個片の完成品として取り扱うことができる。
また、リードフレーム1にパッケージ2を支持させた状態のままで、LED素子4を装着する工程、リードフレーム1の端子リード12、12とLED素子4の電極をワイヤで接続する工程、LED素子4とワイヤにより接続された端子リード12、12の部分を封止材で被覆する工程の各工程を経て発光装置に加工し、その後、リードフレーム1から加工されたパッケージ2を取り外してもよい。
吊りリード14の先端部に設けたテーパ部14bがパッケージ2の周辺部に連結しているので、パッケージ2は吊りリード14を介してリードフレーム1内に安定して支持されてパッケージ2を加工する際にリードフレーム1から外れることはなく、また、吊りリード14をパッケージ2から分離するときには前記テーパ部14bを設けた吊りリード14の先端部を簡単に取り外すことができ、パッケージ2と連結した部分から屑が生じることもない。
In the package 2 formed integrally with the lead frame 1, the LED elements 4 are mounted on the die pad 12 in the package 2, and then the terminal leads 13 and 13 are cut and the suspension leads 14 and 14 connected to the side walls of the package 2 are provided. They can be separated and handled as individual pieces as shown in FIG.
Also, the step of mounting the LED element 4 while the package 2 is supported on the lead frame 1, the step of connecting the terminal leads 12, 12 of the lead frame 1 and the electrodes of the LED element 4 with wires, the LED element 4 The terminal leads 12 and 12 connected by wires may be processed into a light emitting device through each step of covering with a sealing material, and then the processed package 2 may be removed from the lead frame 1.
Since the tapered portion 14b provided at the tip of the suspension lead 14 is connected to the peripheral portion of the package 2, the package 2 is stably supported in the lead frame 1 via the suspension lead 14 to process the package 2. The tip of the suspension lead 14 provided with the tapered portion 14b can be easily removed when the suspension lead 14 is separated from the package 2, and the portion connected to the package 2 No debris is produced.

図8は、本発明の他の実施形態のリードフレーム1を成形金型3に設置してパッケージ2を一体に成形した状態を示しており、この形態のリードフレーム1は、同図(C)に示されるように、吊りリード14、14に設ける複数のベント溝14aを各々V字断面形状で前記形態のものよりも幅狭に形成したものである。   FIG. 8 shows a state in which the lead frame 1 according to another embodiment of the present invention is installed in the molding die 3 and the package 2 is integrally molded. The lead frame 1 of this embodiment is shown in FIG. As shown in FIG. 4, the plurality of vent grooves 14a provided in the suspension leads 14 and 14 are each formed in a V-shaped cross-sectional shape and narrower than the above-described form.

また、図9は、本発明のさらに他の実施形態のリードフレーム1を成形金型3に設置してパッケージ2を一体に成形した状態を示しており、この形態のリードフレーム1は、一方の吊りリード14の表面に等間隔開けて三本のベント溝14aを設け、他方の吊りリード14の表面には六本のベント溝14aを設けるとともに、このうちの成形金型3のゲート部21から遠く、樹脂の充填端末部となる位置の三本のベント溝14aの配置間隔を狭めて形成して、成形金型3のキャビティ33内に均一に樹脂が充填されるように設けたものである。   FIG. 9 shows a state in which the lead frame 1 according to still another embodiment of the present invention is installed in the molding die 3 and the package 2 is integrally molded. Three vent grooves 14 a are provided at equal intervals on the surface of the suspension lead 14, and six vent grooves 14 a are provided on the surface of the other suspension lead 14. It is provided so that the resin 33 is uniformly filled into the cavity 33 of the molding die 3 by forming the three vent grooves 14a far from the resin filling terminal portion at a small distance. .

さらに、図10及び図11はリードフレーム1の他の形態を示しており、図10は吊りリード14、14の先端部の厚みの略中間部分から吊りリード14の下面根元側へ傾斜したテーパ部14bを設けたもの、図11はテーパ部14bを角度が異なる二段の傾斜面で形成したものである。
これら図示した何れのテーパ部14bであっても、パッケージ2を吊りリード14、14を介してリードフレーム1内に安定して支持し、また、吊りリード14、14をパッケージ2から分離する際には吊りリード14、14の先端部を簡単に取り外すことが可能である。
10 and 11 show other forms of the lead frame 1, and FIG. 10 shows a tapered portion inclined from a substantially middle portion of the tip end portion of the suspension leads 14 and 14 toward the bottom surface of the suspension lead 14. In FIG. 11, the tapered portion 14b is formed with two inclined surfaces having different angles.
Any of these illustrated taper portions 14b stably supports the package 2 in the lead frame 1 via the suspension leads 14 and 14 and separates the suspension leads 14 and 14 from the package 2. Can easily remove the tips of the suspension leads 14, 14.

なお、図示したリードフレーム1、パッケージ2及び成形金型3は、本発明の実施形態の一例を示すものであり、本発明はこれに限定されず、他の適宜な形態で構成することが可能である。   Note that the illustrated lead frame 1, package 2, and molding die 3 show an example of an embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to this, and can be configured in other appropriate forms. It is.

1 リードフレーム、11 外枠リード、12 ダイパッド、13 端子リード、14 吊りリード、14a ベント溝、14b テーパ部、2 パッケージ、3 成形金型、31 上側金型、32 下側金型、4 LED素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lead frame, 11 Outer frame lead, 12 Die pad, 13 Terminal lead, 14 Hanging lead, 14a Vent groove, 14b Tapered part, 2 Package, 3 Molding die, 31 Upper die, 32 Lower die, 4 LED element

Claims (8)

半導体素子が装着されるダイパッドと電極を構成する端子リードを有するリードフレームであって成形金型内に設置されて樹脂成形を行うことにより前記ダイパッド及び端子リードと樹脂成形体が一体となったパッケージを形成するためのリードフレームにおいて、
前記樹脂成形体の周辺部に連結して支持する複数の吊りリードを備えるともに、前記複数の吊りリードのうちの少なくも一つの吊りリードの表面にベント溝が形成されてなることを特徴とするリードフレーム。
A lead frame having a die pad on which a semiconductor element is mounted and a terminal lead constituting an electrode, and a package in which the die pad, the terminal lead, and the resin molded body are integrated by being resin-molded by being placed in a molding die In the lead frame for forming
A plurality of suspension leads connected to and supported by the periphery of the resin molded body are provided, and a vent groove is formed on the surface of at least one of the plurality of suspension leads. Lead frame.
ベント溝の表面に摩擦抵抗を増加させる粗加工処理がなされてなる請求項1に記載のリードフレーム。   The lead frame according to claim 1, wherein rough processing is performed on the surface of the vent groove to increase frictional resistance. 吊りリードの先端部に、当該リードの上面先端側から下面根元側へ傾斜したテーパ部を設けてなることを特徴とする請求項1又は2に記載のリードフレーム。   The lead frame according to claim 1 or 2, wherein a tapered portion is provided at a tip portion of the suspension lead so as to be inclined from the top surface side of the lead to the bottom surface side. 請求項1〜3の何れかに記載のリードフレームに樹脂成形体を一体に形成するための成形金型であって、キャビティに樹脂を流入するためのゲートの位置が、吊りリードが樹脂の充填末端部となるように配置してあることを特徴とするパッケージ用成形金型。   A molding die for integrally forming a resin molding on the lead frame according to any one of claims 1 to 3, wherein the position of the gate for injecting the resin into the cavity is filled with the suspension lead A molding die for a package, which is arranged so as to be an end portion. 請求項1〜3の何れかに記載のリードフレームに樹脂成形体を一体に形成するための成形金型であって、成形金型を構成する上金型と下金型が、当該上下の金型の間に設置された前記リードフレームの端子リードと吊りリードの縁部に挟持圧接するように設けてあることを特徴とするパッケージ用成形金型。   A molding die for integrally forming a resin molding on the lead frame according to any one of claims 1 to 3, wherein an upper die and a lower die constituting the molding die are the upper and lower dies. A molding die for a package, characterized in that it is provided so as to be sandwiched and pressed between the terminal lead of the lead frame and the edge of the suspension lead placed between the die. 請求項1〜3の何れかに記載のリードフレームに半導体素子を装着し、前記半導体素子の電気端子とリードフレームの端子リードとを接続するとともに、前記半導体素子を樹脂で覆って形成してなることを特徴とする半導体装置。   A semiconductor element is mounted on the lead frame according to any one of claims 1 to 3, and an electrical terminal of the semiconductor element and a terminal lead of the lead frame are connected, and the semiconductor element is covered with a resin. A semiconductor device. 請求項1〜3の何れかに記載のリードフレームを用いて形成されるパッケージ。   A package formed using the lead frame according to claim 1. 請求項7に記載のパッケージに発光素子を装着し、前記発光素子の電極部と端子リードとを接続するとともに、前記パッケージ内に装着された発光素子を封止材で覆って形成してなることを特徴とする発光装置。

A light emitting element is mounted on the package according to claim 7, the electrode portion of the light emitting element is connected to a terminal lead, and the light emitting element mounted in the package is covered with a sealing material. A light emitting device characterized by the above.

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