JP2013027931A - Reflowing apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent flux deposited on the inner surface of a blower case from dripping down onto a substrate as an object to be heated.SOLUTION: A reflowing apparatus is provided with a blower disposed above a furnace body, a baffle plate for distributing air by receiving the air blown downward from the blower, a heater arranged below the baffle plate, and a panel arranged below the heater and blowing hot air downward to an object to be heated via a lot of pores. A receiving part is provided to reserve flux dripped to the baffle plate or flux cohering on the baffle plate.

Description

この発明は、リフロー装置に関し、特に、フラックスが被加熱物上に垂れることを防止するようにしたものである。   The present invention relates to a reflow apparatus, and in particular, prevents flux from dripping on an object to be heated.

電子部品またはプリント配線基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、基板を搬送する搬送コンベヤと、この搬送コンベヤによって被加熱物としての基板が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。   A reflow apparatus is used in which a solder composition is supplied in advance to an electronic component or a printed wiring board, and the board is conveyed in a reflow furnace by a conveyor. The reflow apparatus includes a transport conveyor for transporting a substrate, and a reflow furnace main body to which a substrate as an object to be heated is supplied by the transport conveyor. For example, the reflow furnace is divided into a plurality of zones along a transfer path from a carry-in port to a carry-out port, and the plurality of zones are arranged in-line. The plurality of zones have roles such as a heating zone and a cooling zone depending on their functions.

加熱ゾーンのそれぞれは、上部炉体および下部炉体を有する。例えばゾーンの上部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられ、下部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させて基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。   Each of the heating zones has an upper furnace body and a lower furnace body. For example, hot air is blown against the substrate from the upper furnace body of the zone, and hot air is blown against the substrate from the lower furnace body, thereby melting the solder in the solder composition and Is soldered.

はんだ組成物は、粉末はんだ、溶剤、フラックスを含む。フラックスは、成分としてロジンなどを含み、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、はんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れを良くする塗布剤の働きをするものである。このフラックスは、加熱により、気化しリフロー炉内に充満する。気化したフラックスは、温度の低い部位に付着し易く、気化したフラックスが付着すると、付着している部位から滴下し、基板の上面に付着することもあり、基板の性能を損うこととなる。また、炉体内において温度が低下する部分に堆積する等によりリフロー工程に大きな影響を与える場合もある。したがって、リフロー炉内のフラックスを除去または回収する幾つかの方法が提案されている。   The solder composition includes powder solder, a solvent, and a flux. The flux contains rosin as a component, removes the oxide film on the surface of the metal to be soldered, prevents reoxidation by heating during soldering, reduces the surface tension of the solder and improves wetting It acts as a coating agent. This flux is vaporized by heating and fills the reflow furnace. The vaporized flux tends to adhere to a low temperature part, and when the vaporized flux adheres, it may drop from the adhering part and adhere to the upper surface of the substrate, impairing the performance of the substrate. In addition, there may be a case where the reflow process is greatly affected by depositing on a portion where the temperature decreases in the furnace. Therefore, several methods for removing or collecting the flux in the reflow furnace have been proposed.

近年の鉛フリーのはんだのリフローでは、一般にSn−Pb用クリームはんだに比して濡れ性が劣るために、リフロー温度も高めに推移するので、フラックスなどに耐熱性を持たせて濡れ性の低下を抑えるようになされる。すなわち、ソルダーペースト中に含まれるロジン成分が増量され、熱分解しにくい成分が使用される。このことは、炉体内に放出される気化したフラックスの成分が増加する結果をもたらす。   In recent reflow of lead-free solder, the wettability is generally inferior to that of Sn-Pb cream solder, so the reflow temperature also increases. Is made to suppress. That is, the rosin component contained in the solder paste is increased, and a component that is difficult to thermally decompose is used. This results in an increase in the vaporized flux component released into the furnace.

例えば、下記の特許文献1には、複数箇所において液化したフラックスを受け皿で受けて除去するリフロー装置が記載されている。   For example, the following Patent Document 1 describes a reflow device that receives and removes flux liquefied at a plurality of locations with a receiving pan.

特開平06−164128号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-164128

特許文献1に記載のリフロー装置は、壁面等で凝着したフラックスを受け皿で受けるもので、送風機の内面に凝着したフラックスの垂れについての考慮がなされていないものであった。図7を参照してフラックスの垂れの問題を説明する。   The reflow apparatus described in Patent Document 1 receives a flux adhered on a wall surface or the like by a receiving tray, and does not take into consideration the dripping of the flux adhered to the inner surface of the blower. The problem of flux sag will be described with reference to FIG.

上部炉体内に設けられた送風機例えばターボファンの羽根39によって生じた風が矢印で示すように、送風機のケース40の内面に当たって上部炉体の上面に設けられた穴51を介して上部炉体内に送り込まれる。さらに、導風板(整流板とも呼ばれる)117によって風が分散され、ヒータ18およびパネル19を通過し、熱風として被加熱物Wに吹きつけられる。   As shown by the arrow, the air generated by the fan 39 provided in the upper furnace body, for example, the fan 39 of the turbofan hits the inner surface of the case 40 of the blower and enters the upper furnace body through the hole 51 provided in the upper surface of the upper furnace body. It is sent. Further, the wind is dispersed by an air guide plate (also referred to as a current plate) 117, passes through the heater 18 and the panel 19, and is blown to the heated object W as hot air.

炉体内の雰囲気ガスが風としてケース40の内面に吹きつけられると、ケース40が外気と接して比較的低温であるため、ケース内面にフラックスM11が凝着する。フラックスが液状であるため、下方の穴51から炉体内に滴下し、導風板117の板面を流れてさらに下方に滴下する。ヒータ18を通ってパネル19の上面に滴下し、パネル19上のフラックスが小孔を通じて下方の被加熱物(配線基板)Wに滴下する。その結果、被加熱物Wが不良基板として扱われることになる。   When the atmospheric gas in the furnace body is blown on the inner surface of the case 40 as wind, the flux M11 adheres to the inner surface of the case because the case 40 is in contact with the outside air and has a relatively low temperature. Since the flux is liquid, it is dropped into the furnace body from the lower hole 51, flows on the plate surface of the air guide plate 117, and further drops downward. It drops on the upper surface of the panel 19 through the heater 18, and the flux on the panel 19 drops on the object to be heated (wiring board) W through the small hole. As a result, the article to be heated W is handled as a defective substrate.

したがって、この発明の目的は、雰囲気ガス中のフラックス成分が凝着して下方に垂れて不良基板が発生することを防止ができるリフロー装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a reflow apparatus capable of preventing a flux component in an atmospheric gas from adhering and drooping downward to generate a defective substrate.

上述した課題を解決するために、この発明は、炉体の上方に設置された送風機と、
送風機から下方に吹き出される風を受けて風を分散させる導風板と、
導風板の下方に配置されたヒータと、
ヒータの下方に配置され、多数の小孔を介して下方の被加熱物に対して熱風を吹きつけるパネルとを備え、
導風板に対して滴下したフラックス、または導風板において凝着したフラックスを溜める受け部を設けたリフロー装置である。
In order to solve the above-described problem, the present invention includes a blower installed above the furnace body,
A wind guide plate that receives the wind blown downward from the blower and disperses the wind;
A heater disposed below the air guide plate;
A panel that is arranged below the heater and blows hot air against the object to be heated through a number of small holes;
This is a reflow device provided with a receiving portion for collecting flux dropped on the wind guide plate or flux adhered to the wind guide plate.

この発明によれば、フラックスが送風機のケースから下方の導風板に滴下した場合、導風板の例えば下側エッジに設けられた樋によってフラックスを受けて、フラックスが下方の基板に垂れることが防止される。   According to the present invention, when the flux is dropped from the blower case onto the lower air guide plate, the flux is dripped onto the lower substrate by receiving the flux by the hook provided on the lower edge of the air guide plate, for example. Is prevented.

この発明の一実施の形態によるリフロー装置の概略を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the outline of the reflow apparatus by one embodiment of this invention. リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the temperature profile at the time of reflow. この発明の一実施の形態によるリフロー装置の一つのゾーンの構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of one zone of the reflow apparatus by one Embodiment of this invention. この発明の一実施の形態における導風板の一例の斜視図および上部炉体におけるガスの流れを模式的に示す略線図である。1 is a perspective view of an example of a wind guide plate according to an embodiment of the present invention and a schematic diagram schematically showing a gas flow in an upper furnace body. この発明によるリフロー装置のフラックスの垂れ防止の構成の説明に用いる略線図である。It is a basic diagram used for description of the structure of prevention of the dripping of the flux of the reflow apparatus by this invention. この発明の一実施の形態におけるパネルの一部の斜視図である。It is a one part perspective view of the panel in one embodiment of this invention. 従来のリフロー装置の問題点の説明に使用する略線図である。It is a basic diagram used for description of the problem of the conventional reflow apparatus.

以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、この発明の一実施の形態によるリフロー装置の外板を除く概略的構成を示す。図1では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。なお、以下に説明する一実施の形態は、この発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration excluding an outer plate of a reflow apparatus according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, illustration of the flux collection | recovery apparatus arrange | positioned outside a reflow furnace for convenience of explanation is abbreviate | omitted. The embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited to the present invention in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.

プリント配線基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口11からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向(図1に向かって左から右方向)へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口12から取り出される。   An object to be heated, on which electronic components for surface mounting are mounted on both sides of the printed wiring board, is placed on a conveyor, and is carried into the furnace body of the reflow apparatus from the carry-in entrance 11. The conveyor conveys the object to be heated in the direction of the arrow (from left to right as viewed in FIG. 1) at a predetermined speed, and the object to be heated is taken out from the carry-out port 12.

搬入口11から搬出口12に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば9個のゾーンZ1からZ9に順次分割され、これらのゾーンZ1〜Z9がインライン状に配列されている。入り口側から7個のゾーンZ1〜Z7が加熱ゾーンであり、出口側の2個のゾーンZ8およびZ9が冷却ゾーンである。冷却ゾーンZ8およびZ9に関連して強制冷却ユニット14が設けられている。   A reflow furnace is sequentially divided into, for example, nine zones Z1 to Z9 along the conveyance path from the carry-in port 11 to the carry-out port 12, and these zones Z1 to Z9 are arranged in-line. Seven zones Z1 to Z7 from the inlet side are heating zones, and two zones Z8 and Z9 on the outlet side are cooling zones. A forced cooling unit 14 is provided in relation to the cooling zones Z8 and Z9.

上述した複数のゾーンZ1〜Z9がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図2に温度プロファイルの例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント配線基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部R1であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート(予熱)部R2であり、次の区間が本加熱部R3であり、最後の区間が冷却部R4である。   The plurality of zones Z1 to Z9 described above controls the temperature of the object to be heated according to the temperature profile during reflow. FIG. 2 shows an outline of an example of a temperature profile. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the surface temperature of a printed wiring board on which an object to be heated, such as an electronic component, is mounted. The first section is the temperature raising portion R1 where the temperature rises due to heating, the next section is the preheating (preheating) portion R2 whose temperature is substantially constant, the next section is the main heating portion R3, and the last section is This is the cooling unit R4.

昇温部R1は、常温からプリヒート部R2(例えば150°C〜170°C)まで基板を加熱する期間である。プリヒート部R2は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント配線基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部R3(例えばピーク温度で220°C〜240°C)は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部R3では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部R3は、プリヒート部R2を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部R4は、急速にプリント配線基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。   The temperature raising portion R1 is a period in which the substrate is heated from room temperature to a preheating portion R2 (for example, 150 ° C. to 170 ° C.). The preheating portion R2 is a period for performing isothermal heating, activating the flux, removing the oxide film on the surface of the electrodes and solder powder, and eliminating the heating unevenness of the printed wiring board. The main heating portion R3 (for example, 220 ° C. to 240 ° C. at the peak temperature) is a period in which the solder is melted and the joining is completed. In the main heating part R3, the temperature needs to be raised to a temperature exceeding the melting temperature of the solder. Even when the preheating portion R2 has passed, the main heating portion R3 needs to be heated to a temperature exceeding the melting temperature of the solder because there is uneven temperature rise. The last cooling part R4 is a period in which the printed wiring board is rapidly cooled to form a solder composition.

図2において、曲線1は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線2で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部R2における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。   In FIG. 2, curve 1 shows the temperature profile of lead-free solder. The temperature profile in the case of eutectic solder is shown by curve 2. Since the melting point of lead-free solder is higher than the melting point of eutectic solder, the set temperature in the preheating portion R2 is higher than that of eutectic solder.

リフロー装置では、図2における昇温部R1の温度制御を、主としてゾーンZ1およびZ2が受け持つ。プリヒート部R2の温度制御は、主としてゾーンZ3、Z4およびZ5が受け持つ。本加熱部R3の温度制御は、ゾーンZ6およびZ7が受け持つ。冷却部R4の温度制御は、ゾーンZ8およびゾーンZ9が受け持つ。   In the reflow apparatus, the zones Z1 and Z2 are mainly responsible for the temperature control of the temperature raising portion R1 in FIG. The zones Z3, Z4 and Z5 are mainly responsible for the temperature control of the preheating part R2. The zones Z6 and Z7 are responsible for temperature control of the main heating unit R3. The zone Z8 and the zone Z9 are responsible for temperature control of the cooling unit R4.

加熱ゾーンZ1〜Z7のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体15および下部炉体35を有する。例えばゾーンZ1の上部炉体15および下部炉体35から搬送される被加熱物に対して熱風が吹きつけられる。   Each of the heating zones Z1 to Z7 has an upper furnace body 15 and a lower furnace body 35 each including a blower. For example, hot air is blown against an object to be heated conveyed from the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 in the zone Z1.

図3を参照して加熱装置の一例について説明する。例えばゾーンZ6を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図3に示されている。上部炉体15と下部炉体35との対向間隙内で、プリント配線基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物Wが搬送コンベヤ31上に置かれて搬送される。上部炉体15内および下部炉体35内は、雰囲気ガスである例えば窒素(N2 )ガスが充満している。上部炉体15および下部炉体35は、被加熱物Wに対して熱風(熱せられた雰囲気ガス)を噴出して被加熱物Wを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。 An example of the heating device will be described with reference to FIG. For example, FIG. 3 shows a cross section when the zone Z6 is cut along a plane orthogonal to the transport direction. Within the facing gap between the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35, the article to be heated W on which the surface mounting electronic components are mounted on both surfaces of the printed wiring board is placed on the conveyor 31 and conveyed. The upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 are filled with, for example, nitrogen (N 2 ) gas, which is an atmospheric gas. The upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 heat the article to be heated W by blowing hot air (heated atmospheric gas) onto the article to be heated W. In addition, you may irradiate infrared rays with a hot air.

上部炉体15は、例えばターボファンの構成の送風機16と、送風機16からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板17a,17bと、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ18と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル(蓄熱部材)19とを有し、パネル19の小孔を通過した熱風が被加熱物Wに対して上側から吹きつけられる。パネル19は、例えばアルミニウムからなる。   The upper furnace body 15 includes, for example, a blower 16 configured as a turbofan, and air guide plates 17a and 17b arranged to face each other in order to disperse the air from the blower 16 and to make the temperature distribution in the furnace body uniform. The heater 18 is formed by folding a plurality of heater wires, and a panel (heat storage member) 19 having a large number of small holes through which hot air passes. On the other hand, it is sprayed from the upper side. The panel 19 is made of aluminum, for example.

下部炉体35も上述した上部炉体15と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機26と、送風機26からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板27a,27bと、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ28と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル(蓄熱部材)29とを有する。パネル29の小孔を通過した熱風が被加熱物Wに対して下側から吹きつけられる。   The lower furnace body 35 has the same configuration as the upper furnace body 15 described above. That is, for example, a blower 26 having a turbofan structure, air guide plates 27a and 27b arranged to face each other in order to disperse the air from the blower 26 and make the temperature distribution in the furnace uniform, and heater wires It has a heater 28 configured by bending a plurality of times, and a panel (heat storage member) 29 having a large number of small holes through which hot air passes. Hot air that has passed through the small holes in the panel 29 is blown against the article to be heated W from below.

上部炉体15に対して、フラックス回収装置41が設けられる。フラックス回収装置41は、例えば外板で囲まれた空間内で上部炉体15の背面側に設置される。下部炉体35に対して、フラックス回収装置61が設けられる。フラックス回収装置61は、例えば外板で囲まれた空間内で下部炉体35の背面側に設置される。フラックス回収装置41は、上部炉体15から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部42と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器43とからなる。同様に、フラックス回収装置61は、下部炉体35から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部62と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器63とからなる。   A flux recovery device 41 is provided for the upper furnace body 15. The flux recovery device 41 is installed on the back side of the upper furnace body 15 in a space surrounded by an outer plate, for example. A flux recovery device 61 is provided for the lower furnace body 35. The flux collection device 61 is installed on the back side of the lower furnace body 35 in a space surrounded by an outer plate, for example. The flux recovery device 41 includes a radiator section 42 that cools the atmospheric gas derived from the upper furnace body 15 and a recovery container 43 that recovers the flux liquefied by cooling. Similarly, the flux recovery device 61 includes a radiator unit 62 that cools the atmospheric gas derived from the lower furnace body 35 and a recovery container 63 that recovers the flux liquefied by cooling.

導風板例えば導風板17bは、図4Aに示すように、搬送方向が長手方向とされた傾斜板36aと、傾斜板36aの下側エッジに沿って設けられた樋36bと、傾斜板36aを炉体内のダクト等に取り付けるための取り付けアーム37とを有する。傾斜板36aによって風が分散される。導風板17bは、搬送方向に沿って分割された構成を使用しても良い。樋36bは、傾斜板36aに対して着脱自在とされることが好ましい。図示しないが、他の導風板17a,27a,27bも同様の構成を有している。   As shown in FIG. 4A, the air guide plate, for example, the air guide plate 17b, includes an inclined plate 36a whose conveying direction is the longitudinal direction, a flange 36b provided along the lower edge of the inclined plate 36a, and an inclined plate 36a. And an attachment arm 37 for attaching to a duct or the like in the furnace body. Wind is dispersed by the inclined plate 36a. The air guide plate 17b may use a configuration divided along the transport direction. The flange 36b is preferably detachable from the inclined plate 36a. Although not shown, the other air guide plates 17a, 27a, and 27b have the same configuration.

上部炉体15内における風の流れを模式的に図4Bに示す。送風機16は、モータ38とモータ38により回転される羽根39とを有している。ターボファンの場合、羽根39が回転すると、周辺の2箇所から送風が行われ、この風が炉体上部に2箇所設けられた穴50および51を介して上部炉体15内に送り込まれる。さらに、導風板17aおよび17bによって風が分散され、ヒータ18およびパネル19を通過して被加熱物Wに吹きつけられる。さらに、送風機16は、中心部付近の穴を介して炉体内の雰囲気ガスを導入する。   FIG. 4B schematically shows the flow of wind in the upper furnace body 15. The blower 16 has a motor 38 and a blade 39 rotated by the motor 38. In the case of a turbofan, when the blades 39 are rotated, air is blown from two places around the periphery, and this wind is sent into the upper furnace body 15 through holes 50 and 51 provided at two places in the upper part of the furnace body. Further, the wind is dispersed by the air guide plates 17 a and 17 b, passes through the heater 18 and the panel 19, and is blown to the heated object W. Further, the blower 16 introduces atmospheric gas in the furnace through a hole near the center.

送風機16によって熱風が循環する経路中に雰囲気ガスをフラックス回収装置41に導出するための導出口としての穴52が設けられる。穴52は、炉内において圧力が高い箇所に設けられる。圧力が低い箇所には、フラックス回収装置41からのガスを上部炉体15内に導入するための導入口としての穴53が設けられる。これらの穴52および53は、実際には、接続用管54および55のそれぞれの一端側の開口に対応している。接続用管54および55のそれぞれとフラックス回収装置41の接続用管とが図示を省略したホースによって接続されている。下部炉体35においても、炉内において圧力が高い箇所に設けられた穴から雰囲気ガスがフラックス回収装置61に導出され、フラックス回収装置61からのフラックス成分が減少したガスが炉内において圧力が低い箇所に設けられた穴から導入される。   A hole 52 serving as an outlet for leading atmospheric gas to the flux recovery device 41 is provided in a path through which hot air circulates by the blower 16. The hole 52 is provided at a location where the pressure is high in the furnace. A hole 53 as an inlet for introducing the gas from the flux recovery device 41 into the upper furnace body 15 is provided at a location where the pressure is low. These holes 52 and 53 actually correspond to openings on one end sides of the connection pipes 54 and 55, respectively. Each of the connecting pipes 54 and 55 and the connecting pipe of the flux recovery apparatus 41 are connected by a hose not shown. Also in the lower furnace body 35, the atmospheric gas is led out to the flux recovery device 61 from a hole provided at a high pressure in the furnace, and the gas having a reduced flux component from the flux recovery device 61 has a low pressure in the furnace. It is introduced from the hole provided in the place.

なお、フラックス回収装置41および61は、リフロー装置の各ゾーンの中で雰囲気ガスの汚れが大きいゾーンに設けられる。但し、リフロー装置の全ゾーンにフラックス回収装置41および61を配置しても良い。   In addition, the flux collection | recovery apparatuses 41 and 61 are provided in the zone where dirt of atmospheric gas is large in each zone of a reflow apparatus. However, you may arrange | position the flux collection | recovery apparatuses 41 and 61 in all the zones of a reflow apparatus.

フラックス回収装置41および61を設置した場合でも、フラックス成分を完全に除去できず、送風機16の外気と接するケース内面にフラックスが凝着し、フラックスが下方の基板上に滴下(垂れる)問題を無くすことができない。この発明は、フラックスが基板上に垂れることを有効に防止するものである。   Even when the flux recovery devices 41 and 61 are installed, the flux component cannot be completely removed, the flux adheres to the inner surface of the case in contact with the outside air of the blower 16, and the problem of dripping (dripping) on the lower substrate is eliminated. I can't. The present invention effectively prevents the flux from dripping on the substrate.

図5Aに示すように、送風機16のケース40の内面にフラックスM1が凝着する。ケース40は、上部炉体の上面と密着され、穴50および51を介して風が下方の炉体15内に吹き出される。送風機のケース40内部で、風が吹きつける側壁の内面にフラックスM1が凝着することが多いので、側壁の近傍の上部炉体15の上面にドレイン用の円形の穴(または長穴)65が形成され、穴65と開口端とする配管66を設けられる。配管66は、図示を省略するが、上部炉体15の外部まで延長され、外部において配管66を伝って流れ出たフラックスを回収容器で受けるようになされる。炉体外部の配管66の他端に開閉弁を設け、フラックスを回収する場合にのみ、弁を開けるようになされる。配管66は、耐熱性および耐腐食性の優れた材料例えばステンレスからなる。なお、炉体内部において、フラックスを回収しても良い。   As shown in FIG. 5A, the flux M1 adheres to the inner surface of the case 40 of the blower 16. The case 40 is in close contact with the upper surface of the upper furnace body, and wind is blown into the lower furnace body 15 through the holes 50 and 51. Since the flux M1 often adheres to the inner surface of the side wall where the wind blows inside the case 40 of the blower, a circular hole (or long hole) 65 for drain is formed on the upper surface of the upper furnace body 15 near the side wall. A formed pipe 66 is provided with a hole 65 and an open end. Although not shown in the drawing, the pipe 66 is extended to the outside of the upper furnace body 15 so that the flux that flows out through the pipe 66 outside is received by the recovery container. An opening / closing valve is provided at the other end of the piping 66 outside the furnace body, and the valve is opened only when the flux is recovered. The pipe 66 is made of a material having excellent heat resistance and corrosion resistance, such as stainless steel. Note that the flux may be collected inside the furnace body.

送風機から下方に垂れたフラックス、または導風板17bの傾斜板36aに凝着したフラックスは、導風板17bの傾斜板36aの板面に沿って下方に流れ、樋36bに流れ込み、樋36bに溜められる。リフロー装置の上部炉体15を含む上半分を覆っている外板(ケース)上部は、メインテナンスのために、搬送方向に対して平行な辺を軸として開閉自在の構成とされている。搬送面より上側の部分全体が上側に開き、上側の部分全体が斜めになる。樋36bに溜められたフラックスM2が外板上部を開けて上側の部分が斜めになったときに回収容器に流れ込んで、フラックスが回収される。代わりの構成として、樋36bを長手方向で傾斜させて樋36bの低い方の端部に回収容器を設ける構成を使用しても良い。   The flux that hangs downward from the blower or the flux that adheres to the inclined plate 36a of the air guide plate 17b flows downward along the plate surface of the inclined plate 36a of the air guide plate 17b, flows into the kite 36b, and enters the kite 36b. Can be stored. The upper part of the outer plate (case) covering the upper half including the upper furnace body 15 of the reflow device is configured to be openable and closable around a side parallel to the transport direction for maintenance. The entire portion above the transport surface opens upward, and the entire upper portion is inclined. The flux M2 stored in the flange 36b flows into the recovery container when the upper part of the outer plate is opened and the upper part is inclined, and the flux is recovered. As an alternative configuration, a configuration in which the basket 36b is inclined in the longitudinal direction and a collection container is provided at the lower end of the basket 36b may be used.

図5Bに示すように、導風板と別個の樋36cを設け、樋36cを導風板に対して着脱自在の構成としても良い。例えば、バネ状の係止片と係止片が入り込む穴とを嵌合させる係合部を複数箇所に設ける構成を使用できる。   As shown in FIG. 5B, it is possible to provide a flange 36c separate from the wind guide plate, and the flange 36c can be detachably attached to the wind guide plate. For example, the structure which provides the engaging part which fits the spring-shaped locking piece and the hole in which a locking piece enters can be used in multiple places.

導風板が樋36b(または樋36c)を有しない場合、または樋からフラックスが溢れた場合には、フラックスがヒータ18を通過してパネル19上に滴下し、パネル19に設けられた小孔を介してフラックスが基板W上に垂れて付着する。この発明の一実施の形態では、図5Cおよび図6に示すように、小孔71が多数形成された面にフラックスを溜める凹部72と外周に沿って植立された側壁74とを有するパネル191が使用される。小孔71からフラックスが流れ出ることを防止するために、小孔71の周囲にボス73が設けられている。例えば1枚の金属板を削り出し加工することによってかかるパネル191を製作できる。   When the air guide plate does not have the flange 36b (or flange 36c), or when the flux overflows from the flange, the flux passes through the heater 18 and drops onto the panel 19, and a small hole provided in the panel 19 The flux hangs on and adheres to the substrate W. In one embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 5C and 6, a panel 191 having a recess 72 for collecting flux on a surface on which many small holes 71 are formed and a side wall 74 planted along the outer periphery. Is used. In order to prevent the flux from flowing out of the small hole 71, a boss 73 is provided around the small hole 71. For example, such a panel 191 can be manufactured by machining one metal plate.

このような構成のパネル191は、凹部72にフラックスM3を溜めることができる。パネル191の一部にドレイン用の孔75aおよび75bが形成されている。図示しないが通常は、孔75aおよび75bは、栓で閉じられている。リフロー装置の上側の外板が開かれることによって、上部全体が斜めになった状態で、栓が開けられて孔75aおよび75bから溜まっているフラックスが回収容器77に供給される。なお、パネル191の凹部72に溜まったフラックスを回収容器に導くための配管を設けて、パネル191を炉体の外部に持ち出さないで、炉体内部でフラックスを回収するようにしても良い。   The panel 191 having such a configuration can store the flux M3 in the recess 72. Drain holes 75 a and 75 b are formed in a part of the panel 191. Although not shown, normally, the holes 75a and 75b are closed with stoppers. By opening the upper outer plate of the reflow device, the stopper is opened and the flux accumulated from the holes 75a and 75b is supplied to the recovery container 77 in a state where the entire upper part is inclined. Note that a pipe for guiding the flux accumulated in the recess 72 of the panel 191 to the collection container may be provided so that the flux is collected inside the furnace body without taking the panel 191 out of the furnace body.

フラックスを溜めるための構成としては、図5Cおよび図6に示されているものに限らず、図5Dに示す構成を使用できる。図5Dに示されるパネル192は、小孔71の周囲に設けたボスの73’の端面を凹部76に向って下がる傾斜面とし、上方からのフラックスが凹部76内に入りやすい形状とし、凹部76に、ピンを植立し、凹部76の内面を小孔71側にえぐった構成を有する。このような凹部76によって、凹部76内に溜められたフラックスが風で飛散することを防止することができる。   The configuration for accumulating the flux is not limited to that shown in FIGS. 5C and 6, and the configuration shown in FIG. 5D can be used. The panel 192 shown in FIG. 5D has an end surface of a boss 73 ′ provided around the small hole 71 as an inclined surface that descends toward the recess 76, and a shape from which flux from above easily enters the recess 76. In addition, a pin is planted and the inner surface of the recess 76 is formed on the small hole 71 side. Such a recess 76 can prevent the flux accumulated in the recess 76 from being scattered by the wind.

上述したように、この発明の一実施の形態においては、3種類のフラックスの垂れの防止機構が含まれている。すなわち、第1の機構は、送風機の内面に凝着したフラックスを排出するためのドレインおよび配管である。第2の機構は、送風機の吹き出した風を分散させるための導風板にフラックスを溜めるための樋を設けるものである。第3の機構は、パネル上にフラックスを溜める凹部を形成し、凹部に溜まったフラックスをドレインを介して回収するものである。これらの3種類の機構の内で、2以上のものを組み合わせることによって、フラックスの垂れを効果的に防止することができる。   As described above, in one embodiment of the present invention, three types of flux sag prevention mechanisms are included. That is, the first mechanism is a drain and a pipe for discharging the flux adhered to the inner surface of the blower. A 2nd mechanism provides the cage | basket for accumulating a flux in the baffle plate for disperse | distributing the wind which the air blower blew off. The third mechanism forms a concave portion for collecting flux on the panel, and collects the flux collected in the concave portion through the drain. By combining two or more of these three types of mechanisms, flux dripping can be effectively prevented.

この発明は、上述したこの発明の実施の形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。例えば、パネルに凹部と共にフラックス回収のために傾斜した溝を形成し、溝を介してフラックスを回収容器または配管に導くようにしても良い。さらに、下部炉体の場合では、フラックスが溜まりやすい送風機のケースの上面の近傍にドレインを形成してフラックスを回収するようにしても良い。   The present invention is not limited to the above-described embodiment of the present invention, and various modifications and applications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, an inclined groove for collecting the flux may be formed together with the recess in the panel, and the flux may be guided to the collection container or the pipe through the groove. Further, in the case of the lower furnace body, the flux may be collected by forming a drain in the vicinity of the upper surface of the case of the blower where the flux tends to accumulate.

11・・・搬入口
12・・・搬出口
14・・・強制冷却ユニット
15・・・上部炉体
16,26・・・送風機
17a,17b,27a,27b・・・導風板
18,28・・・ヒータ
19,29・・・パネル
31・・・搬送コンベヤ
35・・・下部炉体
36a・・・導風板の傾斜板
36b,36c・・・フラックス回収用の樋
41,61・・・フラックス回収装置
66・・・フラックス回収用の配管
72・・・パネルの凹部
73・・・ボス
74・・・側壁
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Carrying in port 12 ... Carrying out port 14 ... Forced cooling unit 15 ... Upper furnace body 16, 26 ... Blower 17a, 17b, 27a, 27b ... Air guide plate 18, 28. ..Heater 19, 29... Panel 31... Conveyor 35 .. Lower furnace body 36 a .. Inclined plate 36 b, 36 c. Flux recovery device 66 ... Pipe for flux recovery 72 ... Panel recess 73 ... Boss 74 ... Side wall

Claims (7)

炉体内の上方に設置された送風機と、
上記送風機から下方に吹き出される風を受けて風を分散させる導風板と、
上記導風板の下方に配置されたヒータと、
上記ヒータの下方に配置され、多数の小孔を介して下方の被加熱物に対して熱風を吹きつけるパネルとを備え、
上記導風板に対して滴下したフラックス、または上記導風板において凝着したフラックスを溜める受け部を設けたリフロー装置。
A blower installed above the furnace body;
A wind guide plate that receives wind blown downward from the blower and disperses the wind;
A heater disposed below the air guide plate;
A panel that is arranged below the heater and blows hot air against the object to be heated through a number of small holes;
The reflow apparatus provided with the receiving part which accumulates the flux dripped with respect to the said baffle plate, or the flux which adhered on the said baffle plate.
上記受け部が傾斜した上記導風板の下側エッジに沿って延びる樋である請求項1記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 1, wherein the receiving portion is a ridge extending along a lower edge of the inclined air guide plate. 上記受け部が上記導風板に対して着脱自在とされた請求項1および2の何れかに記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to any one of claims 1 and 2, wherein the receiving portion is detachable from the air guide plate. 上記パネルの上記ヒータと対向する一面に上記導風板から滴下したフラックスを溜める凹部と、該凹部に溜まったフラックスを回収する回収手段とを設けた請求項1、2および3の何れかに記載のリフロー装置。   The concave part which accumulates the flux dripped from the said baffle plate on the surface facing the said heater of the said panel, and the collection | recovery means which collect | recovers the flux collected in this recessed part were provided in any one of Claim 1, 2, and 3 Reflow equipment. 上記パネルの周囲に沿って設けられた壁部と、上記小孔の周囲に設けられたボスとが上記凹部に形成された請求項4記載のリフロー装置。   The reflow device according to claim 4, wherein a wall portion provided along the periphery of the panel and a boss provided around the small hole are formed in the recess. 上記送風機は、外気とケースによって隔てられ、上記ケース内に羽根が収納され、
上記送風機の風が吹き付ける上記ケース側壁の内面に凝着したフラックスを回収するようにした請求項1乃至5の何れかに記載のリフロー装置。
The blower is separated from the outside air by a case, and a blade is housed in the case.
The reflow apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the flux adhered to the inner surface of the case side wall blown by the wind of the blower is collected.
上記送風機のケース内面に凝着したフラックスを炉体の外に導出し、上記炉体の外でフラックスを回収するようにした請求項6記載のリフロー装置。   The reflow device according to claim 6, wherein the flux adhered to the inner surface of the case of the blower is led out of the furnace body, and the flux is recovered outside the furnace body.
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