JP2013024809A - Surface inspection device and surface inspection method - Google Patents

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Masakazu Kajita
昌和 梶田
Yasuhiro Wasa
泰宏 和佐
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately detect surface defects continuously existing in a longitudinal direction of a steel bar or the like.SOLUTION: A surface inspection device 15 of the present invention includes: illumination means 16 for illuminating a surface of long material 2 to be inspected; imaging means 17 for imaging the surface of the material 2 to be inspected; and image processing means 18 for processing the image imaged by the imaging means 17 and detecting a defect. Two illumination means 16 which form different included angles from and to the imaging means 17 are arranged around the material 2 to be inspected. When the illumination means 16 are turned on alternately and a defect is detected, one of the illumination means 16 is turned on according to a position of the defect and a defect is sequentially detected.

Description

本発明は、長尺の被検査材の表面の欠陥を検査する技術に関し、特に、表面欠陥の位置および形状に依存しないで精度よく欠陥を検査する技術に関する。   The present invention relates to a technique for inspecting defects on the surface of a long inspection object, and more particularly to a technique for inspecting defects with high accuracy without depending on the position and shape of the surface defects.

従来より、線材、棒鋼、鋼管などは圧延材を熱間または冷間で圧延することによって製造されるのが一般的である。圧延材の圧延速度(通材速度)は、たとえば、100m/secであり非常に速く、通材中に目視にて圧延材の表面疵を見つけるのは非常に難しい。そのため、圧延を行いながら圧延材の欠陥(表面疵)を検査するには、各種非破壊検査装置によって自動的に欠陥発生を検出している。圧延材(被検査材)の表面を検査する方法として、渦流探傷や漏洩磁束探傷などの電磁気的探傷試験が広く用いられているが、被検査材の振動や被検査材の電磁気特性のムラによるノイズ発生などで誤過検出が問題となる場合も多い。   Conventionally, wire rods, steel bars, steel pipes, and the like are generally manufactured by rolling a rolled material hot or cold. The rolling speed (passing speed) of the rolled material is, for example, 100 m / sec, which is very fast, and it is very difficult to find the surface flaws of the rolled material visually during passing. Therefore, in order to inspect defects (surface defects) of the rolled material while rolling, the occurrence of defects is automatically detected by various nondestructive inspection devices. As a method for inspecting the surface of a rolled material (inspected material), electromagnetic flaw detection such as eddy current flaw detection and leakage magnetic flux flaw detection is widely used. However, due to vibration of the inspection material and uneven electromagnetic characteristics of the inspection material. In many cases, error detection becomes a problem due to noise.

これに対し、高速カメラを利用した光学的な自動表面検査装置が、近年開発されてきている。
一般に連続的に製造される円形断面被検査材(線材、棒鋼、鋼管)を光学的に検査する場合、高温物体を撮像する自発光画像を除いては、照明手段を用いて被検査材に照明光を照射する必要がある。照明方法としては、被検査材が貫通するような円形のリング照明を用いる場合がある。撮像系を挟んで上流および下流のどちらか一方側または両側に照明を配置し、長手方向のやや斜めから入射した照明光で被検査材を照射する。被検査材で反射して撮像光学系に入射した光が被検査材の画像となる。被検査材に欠陥があると正常な部分と比較して照明の反射状況が変化するので、画像上で暗部または明部となって認識することができる。
On the other hand, an optical automatic surface inspection apparatus using a high-speed camera has been developed in recent years.
In general, when optically inspecting circular cross-section inspected materials (wires, steel bars, steel pipes) that are manufactured continuously, the inspected material is illuminated using illumination means, except for self-luminous images that image high-temperature objects. It is necessary to irradiate light. As an illumination method, there is a case where a circular ring illumination that allows a material to be inspected to pass therethrough is used. Illumination is arranged on one or both sides of the upstream and downstream sides of the imaging system, and the material to be inspected is irradiated with illumination light incident slightly obliquely in the longitudinal direction. The light reflected by the inspection material and incident on the imaging optical system becomes an image of the inspection material. If the material to be inspected is defective, the reflection state of the illumination changes as compared with a normal part, so that it can be recognized as a dark part or a bright part on the image.

ところで、被検査材には、不定期に発生するランダム疵と連続的に発生する連続疵とがある。連続疵は有害性が大きく、早期に発生しないと全量廃却になって、歩留まり低下に繋がる。表面検査装置としては、ランダム疵のみならず連続疵も精度よく検出する必要がある。
従来の表面検査装置として、特開2009−8659号公報(特許文献1)に開示される表面疵検査装置がある。この表面疵検査装置は、渦流探傷または漏洩磁束探傷を行うことにより、被検査材の表面疵候補を検出した後、表面疵候補を含む被検査材表面の所定領域を撮像し、撮像結果を画像処理することにより表面疵の有無を判定する。探傷装置だけでは被検査材の振動や、電磁気特性のムラによるノイズ発生により誤過検出が問題となる場合が多いため、探傷装置は表面疵候補を見つける手段として使用する。撮像手段に用いる照明は、被検査材の搬送方向上流および下流側に配置し、被検査材の撮像を行っている。被検査材に表面疵が存在する場合、正常部と比較して光源からの光の反射、散乱光の強度が変化するので画像上で暗部または明部となって認識することができる。
By the way, inspected materials include random wrinkles that occur irregularly and continuous wrinkles that occur continuously. Continuous dredging is very harmful, and if it does not occur early, it will be abolished and lead to a decrease in yield. As a surface inspection apparatus, it is necessary to detect not only random wrinkles but also continuous wrinkles with high accuracy.
As a conventional surface inspection apparatus, there is a surface flaw inspection apparatus disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-8659 (Patent Document 1). This surface flaw inspection apparatus detects a surface flaw candidate of a material to be inspected by performing eddy current flaw detection or leakage magnetic flux flaw detection, and then images a predetermined area on the surface of the material to be inspected including the surface flaw candidate, and images the imaging results. The presence or absence of surface defects is determined by processing. In many cases, the flaw detection apparatus is used as a means for finding a surface flaw candidate because erroneous detection is often a problem due to vibration of a material to be inspected or noise generated due to uneven electromagnetic characteristics. Illumination used for the imaging means is arranged upstream and downstream in the conveyance direction of the material to be inspected to image the material to be inspected. When a surface flaw is present on the material to be inspected, the intensity of reflected light and scattered light from the light source changes compared to the normal part, so that it can be recognized as a dark part or a bright part on the image.

また、別の表面検査装置として、特表2009−507211(特許文献2)に開示される表面傷検査装置がある。この表面傷検査装置は、圧延/引き抜き金属棒などの検査対象物の表面傷を検出する。この装置は、被検査材の表面輝度がほぼ均一となるように複数個の光源を被検査材の周囲360°を覆うように設置し、複数のカメラで表面画像を撮像する。防塵、パッケージ化のため光源から被検査材への入射光の光路と被検査材からカメラへの反射光の光路がなす角が1°近傍となるよう光学系内にミラーを使用している。   As another surface inspection device, there is a surface flaw inspection device disclosed in JP 2009-507 211 (Patent Document 2). This surface flaw inspection apparatus detects a surface flaw of an inspection object such as a rolled / drawn metal bar. In this apparatus, a plurality of light sources are installed so as to cover 360 ° around the material to be inspected so that the surface luminance of the material to be inspected is substantially uniform, and a surface image is taken by a plurality of cameras. For dust prevention and packaging, a mirror is used in the optical system so that the angle formed by the optical path of the incident light from the light source to the material to be inspected and the optical path of the reflected light from the material to be inspected to the camera is about 1 °.

特開2009−8659号公報JP 2009-8659 A 特表2009−507211号公報Special table 2009-507221 gazette

しかしながら、特許文献1および特許文献2に開示された技術では以下のような問題点がある。
被検査材の表面の長手方向に連続した欠陥は、照明の照射角度と表面疵との位置関係および表面疵の形状に依存するために明部または暗部となって認識できるが、被検査材の円周方向の輝度分布が一様になるように周囲360°全方向に照明が設置すると欠陥に起因する散乱光の他に、表面からの強い散乱光も通常では存在するために欠陥起因の散乱光が強調されず、欠陥が精度よく検出できない。すなわち、表面欠陥の位置および形状に依存せず、精度よく被検査材表面の欠陥を検出する必要があるにもかかわらず、そのように欠陥を検出することができない。
However, the techniques disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 have the following problems.
Defects that continue in the longitudinal direction of the surface of the material to be inspected can be recognized as bright or dark because it depends on the positional relationship between the illumination angle of illumination and the surface defects and the shape of the surface defects. If illumination is installed in all 360 ° directions so that the luminance distribution in the circumferential direction is uniform, in addition to scattered light due to defects, there is usually also strong scattered light from the surface. The light is not emphasized and the defect cannot be detected accurately. That is, regardless of the position and shape of the surface defect, it is necessary to accurately detect the defect on the surface of the material to be inspected, but the defect cannot be detected as such.

本発明は、上記課題を解決すべく、鋼材の長手方向に連続的に存在する表面欠陥を精度よく検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とし、結果として、連続製造される鋼材の大量廃棄を抑制し、歩留まり向上に寄与する表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とする。   The present invention aims to provide a surface inspection apparatus and a surface inspection method capable of accurately detecting surface defects that are continuously present in the longitudinal direction of a steel material in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, it is continuously manufactured. An object of the present invention is to provide a surface inspection apparatus and a surface inspection method that suppress mass disposal of steel materials and contribute to yield improvement.

上述した目的を達成するために、本発明は、次の手段を講じた。
本発明の表面検査装置は、長尺の被検査材の表面を照明する照明手段と、被検査材の表面を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された被検査材の表面の画像を処理して欠陥を検出する画像処理手段とを備えた表面検査装置において、前記照明手段は、前記被検査材に対する照射角度を変化させて前記被検査材の表面を照明することを特徴とする。
In order to achieve the above-described object, the present invention takes the following measures.
The surface inspection apparatus of the present invention includes an illuminating means for illuminating the surface of a long inspection material, an imaging means for imaging the surface of the inspection material, and an image of the surface of the inspection material imaged by the imaging means. In the surface inspection apparatus including an image processing unit that detects defects by processing, the illumination unit illuminates the surface of the inspection material by changing an irradiation angle with respect to the inspection material.

好ましくは、前記照明手段は、前記撮像手段から見た前記被検査材への照射角度が異なる複数の光源を備え、前記複数の光源を切り替えて前記被検査材の表面を照明するとよい。
好ましくは、前記表面検査装置は、前記画像処理手段により欠陥が検出されるまでは、照射角度の異なる複数の光源の点灯および消灯を連続的に切り替えて前記被検査材の表面を照明し、前記画像処理手段により欠陥が検出されると、検出された欠陥の位置に基づいて点灯することが決定された光源により前記被検査材の表面を照明するように、前記照明手段を制御する制御手段を備えるとよい。
Preferably, the illuminating unit includes a plurality of light sources having different irradiation angles on the inspection target viewed from the imaging unit, and illuminates the surface of the inspection target by switching the plurality of light sources.
Preferably, the surface inspection apparatus illuminates the surface of the inspection object by continuously switching on and off a plurality of light sources having different irradiation angles until a defect is detected by the image processing unit, When a defect is detected by the image processing means, a control means for controlling the illuminating means to illuminate the surface of the material to be inspected with a light source determined to be lit based on the position of the detected defect. It is good to have.

好ましくは、前記表面検査装置は、前記被検査材の進行中に欠陥を検出し、前記複数の照明装置は、第1の照明装置および第2の照明装置を備え、前記照明装置と前記撮像手段とは、前記被検査材の進行方向に対して垂直方向に交わる面上に配置され、前記第1の照明装置は、前記撮像手段との挟み角が0〜45°であって、前記第2の照明装置は、前記撮像手段との挟み角が45〜90°であるとよい。   Preferably, the surface inspection apparatus detects a defect while the material to be inspected is in progress, and the plurality of illumination devices include a first illumination device and a second illumination device, and the illumination device and the imaging unit Is arranged on a surface that intersects in a direction perpendicular to the traveling direction of the material to be inspected, and the first illumination device has an angle between 0 to 45 ° with the imaging means, and the second illumination device. The illumination device may have a sandwich angle of 45 to 90 ° with the imaging unit.

好ましくは、前記表面検査装置は、前記画像処理手段により欠陥が検出されるまでは、前記第1の照明装置および前記第2の照明装置を交互に点灯させて前記被検査材の表面を照明し、欠陥が検出されると、検出された欠陥の位置に基づいて点灯することが決定された前記第1の照明装置および前記第2の照明装置のいずれかにより前記被検査材の表面を照明するように、前記照明手段を制御する制御手段を備えるとよい。   Preferably, the surface inspection apparatus illuminates the surface of the inspection object by alternately turning on the first illumination apparatus and the second illumination apparatus until a defect is detected by the image processing means. When a defect is detected, the surface of the material to be inspected is illuminated by one of the first illumination device and the second illumination device that are determined to be lit based on the position of the detected defect. Thus, it is preferable to provide a control means for controlling the illumination means.

好ましくは、前記制御手段は、検出された欠陥の位置が前記撮像手段の視野の中央部である場合には前記第2の照明装置を点灯し、検出された欠陥の位置が前記視野の端部である場合には前記第1の照明装置を点灯するように、前記照明手段を制御するとよい。
好ましくは、前記照明装置および前記撮像手段は、前記面上で対称に配置されるとよい。
Preferably, the control means turns on the second illumination device when the position of the detected defect is in the center of the field of view of the imaging means, and the position of the detected defect is the end of the field of view. In such a case, the lighting means may be controlled so as to turn on the first lighting device.
Preferably, the illumination device and the imaging unit are arranged symmetrically on the surface.

好ましくは、前記照明手段は、前記撮像手段により撮像したときの被検査材の画像輝度が十分になるように光量を調整するとよい。
好ましくは、前記照明手段は、前記撮像手段により撮像したときの被検査材の画像輝度が対称になるように光量を調整するとよい。
一方、本発明の表面検査方法は、長尺の被検査材の表面を照明して、被検査材の表面を撮像して、撮像された被検査材の表面の画像を処理して欠陥を検出する表面検査方法において、前記被検査材に対する照射角度を変化させて前記被検査材の表面を照明することを特徴とする。
Preferably, the illuminating unit may adjust the light amount so that the image luminance of the material to be inspected when captured by the imaging unit is sufficient.
Preferably, the illuminating unit adjusts the light amount so that the image luminance of the inspection object when imaged by the imaging unit is symmetric.
On the other hand, the surface inspection method of the present invention illuminates the surface of a long inspected material, images the surface of the inspected material, and processes the captured image of the surface of the inspected material to detect defects. In the surface inspection method, the surface of the inspection material is illuminated by changing an irradiation angle with respect to the inspection material.

好ましくは、被検査材の表面を撮像する撮像手段との挟み角が0〜45°である第1の照明装置および挟み角が45〜90°である第2の照明装置により被検査材の表面を照明し、欠陥が検出されるまでは、前記第1の照明装置および前記第2の照明装置を交互に点灯させて前記被検査材の表面を照明し、欠陥が検出されると、検出された欠陥の位置に基づいて点灯することが決定された前記第1の照明装置および前記第2の照明装置のいずれかにより前記被検査材の表面を照明するとよい。   Preferably, the surface of the material to be inspected by the first illuminating device having an angle of 0 to 45 ° with the imaging means for imaging the surface of the material to be inspected and the second illuminating device having an angle of 45 to 90 °. Until the defect is detected, the first illumination device and the second illumination device are alternately turned on to illuminate the surface of the material to be inspected, and the defect is detected. The surface of the material to be inspected may be illuminated by one of the first illumination device and the second illumination device determined to be lit based on the position of the defect.

本発明によれば、鋼材の長手方向に連続的に存在する表面欠陥を精度よく検出でき、結果として、連続製造される鋼材の大量廃棄を抑制し、歩留まり向上に寄与することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the surface defect which exists continuously in the longitudinal direction of steel materials can be detected with a sufficient precision, As a result, mass disposal of the steel materials manufactured continuously can be suppressed and it can contribute to a yield improvement.

圧延設備の概略図である。It is a schematic diagram of rolling equipment. 表面検査装置の概念図である。It is a conceptual diagram of a surface inspection apparatus. 表面検査装置における照明およびカメラの配置図(その1)である。It is the layout (the 1) of the illumination and camera in a surface inspection apparatus. 表面検査装置における照明およびカメラの配置図(その2)である。It is the layout (the 2) of the illumination in a surface inspection apparatus, and a camera. 表面検査装置における照明およびカメラの配置図(その3)である。It is the layout (the 3) of the illumination and camera in a surface inspection apparatus. 欠陥検出判定処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of a defect detection determination process. 欠陥追随処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of a defect tracking process. 外側照明および内側照明の切替を説明する図である。It is a figure explaining switching of outside illumination and inside illumination. 被検査材の表面を撮像したときの画像である。It is an image when the surface of a to-be-inspected material is imaged. 表面疵を撮像したときの輝度の変化図である。It is a change figure of the brightness when the surface flaw is imaged. 表面疵を撮像したときの輝度微分絶対値の変化図である。It is a change figure of a luminance differential absolute value when a surface flaw is imaged.

以下、本発明の実施形態に係る表面検査装置および表面検査方法について説明する。なお、以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称及び機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰返さない。
本実施形態に係る表面検査装置および表面検査方法は、長尺の被検査材の表面疵を検査するものであって、たとえば、線材、棒鋼、鋼管の表面疵を検査するものである。線材を例にとり説明する。図1は、線材を製造する圧延設備を示したものである。
Hereinafter, a surface inspection apparatus and a surface inspection method according to an embodiment of the present invention will be described. In the following description, the same parts are denoted by the same reference numerals. Their names and functions are also the same. Therefore, detailed description thereof will not be repeated.
The surface inspection apparatus and the surface inspection method according to the present embodiment are for inspecting the surface defects of a long material to be inspected, for example, for inspecting the surface defects of a wire, a steel bar, and a steel pipe. A description will be given by taking a wire as an example. FIG. 1 shows a rolling facility for producing a wire rod.

圧延設備1は、たとえば、鋼材からなる圧延材2を連続圧延して線材を製造するものであり、上流側から下流側に向けて、圧延材2を加熱する加熱炉3、デスケーラ4、粗圧延機5、中間圧延機6、仕上げ圧延機7、巻き取り機8が順番に配設されている。なお、図1の圧延設備1は、圧延材2を連続圧延して棒鋼、鋼管を製造するものであってもよい。
以下の説明において、図1の左側を上流側、図1の右側を下流側とする。
The rolling equipment 1 is, for example, for continuously rolling a rolled material 2 made of a steel material to produce a wire, and a heating furnace 3, a descaler 4, and rough rolling for heating the rolled material 2 from the upstream side toward the downstream side. The machine 5, the intermediate rolling mill 6, the finish rolling mill 7, and the winding machine 8 are arranged in order. In addition, the rolling equipment 1 of FIG. 1 may manufacture a bar steel and a steel pipe by rolling the rolling material 2 continuously.
In the following description, the left side of FIG. 1 is the upstream side, and the right side of FIG. 1 is the downstream side.

加熱炉3は圧延材2を1000〜1200℃程度に加熱する装置であり、加熱炉3で加熱された圧延材2はデスケーラ4に送られる。デスケーラ4は加熱後の圧延材2の表面に形成されたサブスケールを水蒸気の作用、高圧洗浄水の噴き付け、又はメカニカルブラシなどで除去する装置であり、デスケーラ4でサブスケールが除去された圧延材2は粗圧延機5に送られる。粗圧延機5、中間圧延機6および仕上げ圧延機7は、圧延材2を所定の大きさに圧延するもので、仕上げ圧延機7で所定の大きさに圧延された圧延材2は巻き取り機8に送られて、圧延材2がリング状に巻き取られる。   The heating furnace 3 is an apparatus for heating the rolled material 2 to about 1000 to 1200 ° C., and the rolled material 2 heated in the heating furnace 3 is sent to the descaler 4. The descaler 4 is a device that removes the subscale formed on the surface of the rolled material 2 after heating with the action of water vapor, spraying high-pressure washing water, or a mechanical brush. The material 2 is sent to the roughing mill 5. The rough rolling mill 5, the intermediate rolling mill 6 and the finish rolling mill 7 roll the rolled material 2 to a predetermined size, and the rolled material 2 rolled to a predetermined size by the finishing rolling mill 7 is a winder. The rolled material 2 is wound up in a ring shape.

粗圧延機5、中間圧延機6、および仕上げ圧延機7は、対になった圧延ロール9、9を備えた複数の圧延スタンド10を備えている。圧延ロール9は円筒状や円柱状に形成されたもので、その外周面(外周部)には様々な形状のカリバー11が形成されている。各圧延スタンド10には、圧延ロール9が様々な方向を向けて配置されている。
この圧延設備1によれば、圧延材2を各圧延スタンド10に通材し、圧延ロール9は圧延材2に対して水平方向、垂直方向等様々な角度から圧延し、当該圧延材2をカリバー11によって角、楕円、丸等に変形させつつ当該圧延材2の断面を順次減少させることにより、圧延材2を所定の大きさに圧延することができる。
The rough rolling mill 5, the intermediate rolling mill 6, and the finish rolling mill 7 are provided with a plurality of rolling stands 10 having a pair of rolling rolls 9, 9. The rolling roll 9 is formed in a cylindrical shape or a columnar shape, and various shapes of calibers 11 are formed on the outer peripheral surface (outer peripheral portion) thereof. On each rolling stand 10, rolling rolls 9 are arranged in various directions.
According to this rolling equipment 1, the rolled material 2 is passed through each rolling stand 10, and the rolling roll 9 is rolled with respect to the rolled material 2 from various angles such as a horizontal direction and a vertical direction. The rolled material 2 can be rolled to a predetermined size by sequentially reducing the cross section of the rolled material 2 while deforming it into corners, ellipses, circles, and the like.

さて、このような圧延ロール9にて圧延材2を圧延すると、圧延材2の表面に長手方向に長い疵が入ることがある。圧延材2の表面に疵(表面疵)が入ると、表面疵の入った部分を破棄しなければならないため、圧延材2の圧延を行うにあたっては素早く表面疵を検出して対策を講じなければならない。本発明によれば、表面検査装置15や表面検査方法によって、圧延材2の表面疵を素早く検出できるようにしている。   Now, when the rolling material 2 is rolled with such a rolling roll 9, a long wrinkle may enter the surface of the rolling material 2 in the longitudinal direction. If wrinkles (surface wrinkles) enter the surface of the rolled material 2, the portion containing the surface wrinkles must be discarded. Don't be. According to the present invention, the surface defect of the rolled material 2 can be quickly detected by the surface inspection device 15 and the surface inspection method.

表面検査装置15は、仕上げ圧延機7の下流側に配置されている。なお、表面検査装置15は、粗圧延機5と中間圧延機6との間、中間圧延機6と仕上げ圧延機7との間に設けてもよい。以下、表面検査装置15および表面検査方法について詳しく説明する。
図2は、表面検査装置15の概念図を示したものである。図2に示すように、表面検査装置15は、照明手段16と、撮像手段17と、画像処理手段18とを備えている。
The surface inspection device 15 is disposed on the downstream side of the finish rolling mill 7. The surface inspection device 15 may be provided between the rough rolling mill 5 and the intermediate rolling mill 6 and between the intermediate rolling mill 6 and the finish rolling mill 7. Hereinafter, the surface inspection apparatus 15 and the surface inspection method will be described in detail.
FIG. 2 is a conceptual diagram of the surface inspection apparatus 15. As shown in FIG. 2, the surface inspection apparatus 15 includes an illumination unit 16, an imaging unit 17, and an image processing unit 18.

照明手段16は、長尺の被検査材(圧延材)2の表面を照明するものであって、たとえばLED照明ユニットで構成されていて、被検査材2の周りに所定の間隔をおいて少なくとも2つが配置されている。より詳しくは、照明手段16は撮像手段17との挟み角が所定の角度になるように被検査材2の周りに配置されている。撮像手段17は、被検査材2の表面を撮像するものであってCCDあるいはCMOSを利用したラインカメラ又はエリアカメラ等により構成されており、照明手段16と同様に被検査材2の周りに少なくとも1つが配置されている。画像処理手段18は、撮像手段17にて撮像された被検査材2の表面の画像を処理して欠陥を検出するものであって、コンピュータ等により構成されている。   The illuminating means 16 illuminates the surface of the long inspected material (rolled material) 2 and is composed of, for example, an LED illumination unit, and at least a predetermined interval around the inspected material 2 Two are arranged. More specifically, the illumination unit 16 is arranged around the material to be inspected 2 so that the sandwiching angle with the imaging unit 17 is a predetermined angle. The imaging means 17 is for imaging the surface of the material to be inspected 2 and is composed of a line camera or area camera using a CCD or CMOS, and at least around the material to be inspected 2 like the illumination means 16. One is arranged. The image processing means 18 detects the defect by processing the image of the surface of the inspection object 2 imaged by the imaging means 17 and is constituted by a computer or the like.

図3は、照明手段(照明装置)16と撮像手段(カメラ)17の配置図である。図3において被検査材2は奥から手前または手前から奥に進行している。図3における照明装置(1)16は、カメラ17との挟み角θ(1)が0〜45°となるように設置され、被検査材2の欠陥(1)を斜めから照射し、欠陥面による散乱光を検出するのに適している。しかし、照明装置(1)16では、欠陥(2)からの散乱光については、欠陥(2)付近の面からの反射光の影響も受けてしまうため、欠陥(2)を強調して検出できない。   FIG. 3 is a layout diagram of the illumination means (illumination device) 16 and the imaging means (camera) 17. In FIG. 3, the material 2 to be inspected advances from the back to the front or from the front to the back. The illuminating device (1) 16 in FIG. 3 is installed so that the sandwiching angle θ (1) with the camera 17 is 0 to 45 °, and irradiates the defect (1) of the inspected material 2 from an oblique direction. It is suitable for detecting scattered light. However, in the illumination device (1) 16, the scattered light from the defect (2) is also affected by the reflected light from the surface in the vicinity of the defect (2), so that the defect (2) cannot be emphasized and detected. .

これに対して、照明装置(2)16は、カメラ17との挟み角θ(2)が45〜90°となるように設置され、被検査材2の欠陥(2)を斜めから照射し、欠陥面による散乱光を検出するのに適している。しかし、照明装置(2)16では、欠陥(1)からの散乱光については、欠陥(1)付近の面からの反射光の影響も受けてしまうため、欠陥(1)を強調して検出できない。   On the other hand, the illumination device (2) 16 is installed so that the sandwiching angle θ (2) with the camera 17 is 45 to 90 °, and irradiates the defect (2) of the inspection object 2 from an oblique direction. It is suitable for detecting scattered light from a defective surface. However, in the illumination device (2) 16, the scattered light from the defect (1) is also affected by the reflected light from the surface in the vicinity of the defect (1), so that the defect (1) cannot be emphasized and detected. .

このようなことを考慮すると、長手方向に連続して存在する被検査材2の欠陥検出には、照明装置(1)および照明装置(2)を片方ずつ、所定の時間(たとえば0.5秒)毎に切り替えて照射すると、図3に示す欠陥(1)も欠陥(2)も精度よく検出することができるようになるため、効果的である。
さらに、図3の構成に照明装置16を2台追加して配置した図を図4に示す。図4中の照明装置(3)16は照明装置(1)16と、照明装置(4)16は照明装置(2)16と、左右反転した位置(角度)に設置し、上記と同様に欠陥検出を可能にする。さらに、図3の構成では検出できないまたは検出することが困難な欠陥(3)の検出も可能にする。図4に示すように、照明装置16を配置することにより、被検査材2の円周方向90°範囲の欠陥検出が可能となる。
In consideration of this, for detecting defects in the inspection object 2 existing continuously in the longitudinal direction, the illumination device (1) and the illumination device (2) are placed one by one for a predetermined time (for example, 0.5 seconds). ) Is effective because both the defect (1) and the defect (2) shown in FIG. 3 can be accurately detected.
Further, FIG. 4 shows a diagram in which two lighting devices 16 are added to the configuration of FIG. In FIG. 4, the illumination device (3) 16 is installed at the illumination device (1) 16 and the illumination device (4) 16 is installed at the left and right inverted positions (angles). Enable detection. Further, it is possible to detect the defect (3) that cannot be detected or difficult to detect with the configuration of FIG. As shown in FIG. 4, by arranging the illumination device 16, it is possible to detect a defect in the circumferential direction 90 ° range of the inspection object 2.

さらに、図5は、被検査材2の周囲360°の欠陥を検出できるカメラ17および照明装置16の配置図の一例である。カメラ(1)17と照明装置(1)16との挟み角がθ(1)、カメラ(1)17と照明装置(2)16の挟み角がθ(2)、カメラ(4)17と照明装置(2)16の挟み角がθ(1)となるよう、カメラ(1)17、照明装置(1)16、照明装置(2)16およびカメラ(4)17を配置してある。同様な角度配置をもって、図5に示すように、照明装置(3)16、照明装置(4)16、照明装置(5)16、照明装置(6)16、照明装置(7)16、照明装置(8)16、カメラ(2)17およびカメラ(3)17を設置する。   Further, FIG. 5 is an example of a layout diagram of the camera 17 and the illumination device 16 that can detect a 360 ° defect around the material 2 to be inspected. The sandwich angle between the camera (1) 17 and the illumination device (1) 16 is θ (1), the sandwich angle between the camera (1) 17 and the illumination device (2) 16 is θ (2), and the camera (4) 17 and the illumination. The camera (1) 17, the illuminating device (1) 16, the illuminating device (2) 16 and the camera (4) 17 are arranged so that the sandwiching angle of the device (2) 16 is θ (1). As shown in FIG. 5, with the same angular arrangement, as shown in FIG. 5, the lighting device (4) 16, the lighting device (5) 16, the lighting device (6) 16, the lighting device (7) 16, and the lighting device (8) The camera 16, the camera (2) 17, and the camera (3) 17 are installed.

このように配置して、照明装置16の点灯/消灯を切り替える。まず、図5(A)に示すように、照明装置(1)16、照明装置(3)16、照明装置(5)16および照明装置(7)16を消灯し、照明装置(2)16、照明装置(4)16、照明装置(6)16および照明装置(8)16を点灯することにより、カメラ(1)17およびカメラ(3)17により視野の中央付近に存在する欠陥を検出し、カメラ(2)17およびカメラ(4)17により視野の端付近に存在する欠陥を検出する。   Arranging in this way, the lighting device 16 is switched on / off. First, as shown in FIG. 5A, the lighting device (1) 16, the lighting device (3) 16, the lighting device (5) 16, and the lighting device (7) 16 are turned off, and the lighting device (2) 16, By illuminating the illumination device (4) 16, the illumination device (6) 16 and the illumination device (8) 16, the camera (1) 17 and the camera (3) 17 detect a defect existing near the center of the visual field. The camera (2) 17 and the camera (4) 17 detect defects existing near the edge of the field of view.

さらに、図5(B)に示すように、照明装置(1)16、照明装置(3)16、照明装置(5)16および照明装置(7)16を点灯し、照明装置(2)16、照明装置(4)16、照明装置(6)16および照明装置(8)16を消灯することにより、カメラ(1)17およびカメラ(3)17により視野の端付近に存在する欠陥を検出し、カメラ(2)17およびカメラ(4)17により視野の中央付近に存在する欠陥を検出する。   Further, as shown in FIG. 5B, the lighting device (1) 16, the lighting device (3) 16, the lighting device (5) 16, and the lighting device (7) 16 are turned on, and the lighting device (2) 16, By turning off the illuminating device (4) 16, the illuminating device (6) 16 and the illuminating device (8) 16, the camera (1) 17 and the camera (3) 17 detect defects near the edge of the field of view, A camera (2) 17 and a camera (4) 17 detect a defect existing near the center of the field of view.

このようにして、照明装置16の点灯/消灯を切り替えることにより、被検査材2の周囲360°の欠陥を検出できる。なお、照明装置(1)16だけに注目すると、照明装置(1)16は、カメラ(1)17およびカメラ(4)17の両方に対して照明装置として機能することにより、照明装置16の総台数を少なくできる効果がある。
なお、図2〜図5に示すように、照明装置16およびカメラ17は、被検査材2の進行方向に対して垂直方向に交わる面上に配置されている。この垂直方向は完全な垂直(90°)である必要はなく、かつ、完全な同一面上に配置されている必要はない。照射角度が異なる照明装置16を切り替えて、被検査材2の表面の欠陥の形状および位置に基づいて、撮像された画像に明部または暗部が強調して現れる配置であれば構わない。
In this way, by switching on / off the lighting device 16, a 360 ° defect around the material to be inspected 2 can be detected. When attention is paid only to the lighting device (1) 16, the lighting device (1) 16 functions as a lighting device with respect to both the camera (1) 17 and the camera (4) 17, so that There is an effect that the number can be reduced.
2-5, the illuminating device 16 and the camera 17 are arrange | positioned on the surface which cross | intersects the orthogonal | vertical direction with respect to the advancing direction of the to-be-inspected material 2. As shown in FIG. This vertical direction does not need to be completely vertical (90 °), and does not need to be located on the same plane. The illumination device 16 having different irradiation angles may be switched, and any arrangement may be used as long as the bright portion or the dark portion appears in the captured image based on the shape and position of the defect on the surface of the inspection object 2.

次に、画像処理手段(コンピュータ)18で実行される欠陥検出判定処理の手順について、図6を参照して説明する。
なお、図6のフローチャートでは、nフレームの平均輝度から欠陥を検出する。例えば撮像レートが10000ライン/秒で0.05秒毎に判定する場合、定数nは500となる。
Next, the procedure of defect detection determination processing executed by the image processing means (computer) 18 will be described with reference to FIG.
In the flowchart of FIG. 6, a defect is detected from the average luminance of n frames. For example, when the imaging rate is 10,000 lines / second and determination is made every 0.05 seconds, the constant n is 500.

ステップ1(以下、ステップをSと記載)にて、変数aに1を代入し、S2にて、変数iに変数aを代入する。S3にて、変数iが(a+n−1)であるか否かを判定し、そうであると(S3にてYes)処理はS5へ移され、もしそうでないと(S3にてNo)処理はS4へ移される。
S4にて、変数iに1を加算する。その後、処理はS3へ戻される。S5にて、a〜(a+n−1)フレームの輝度平均の微分絶対値を算出する。このとき、輝度平均が算出されるフレーム数としてはnとなる。
In step 1 (hereinafter, “step” is described as “S”), 1 is substituted for variable a, and in S2, variable a is substituted for variable i. In S3, it is determined whether variable i is (a + n-1). If so (Yes in S3), the process proceeds to S5. If not (No in S3), the process is performed. Moved to S4.
In S4, 1 is added to the variable i. Thereafter, the process returns to S3. In S5, the differential absolute value of the luminance average of a to (a + n-1) frames is calculated. At this time, the number of frames for which the luminance average is calculated is n.

S6においては、S5にて算出した微分絶対値が閾値を超えているか否かを判定し、そうであると(S5にてYes)処理はS7へ移され、もしそうでないと(S5にてNo)処理はS8へ移される。
欠陥が存在すると判定された際には(S7)、処理はS8へ移される。S8にて、変数aが被検査材2の長さを超えているか否かを判定し、そうであると(S8にてYes)処理は終了し、もしそうでないと(S8にてNo)処理はS9へ移される。S9にて、変数aにnを加算する。その後、処理はS2へ戻される。
In S6, it is determined whether or not the differential absolute value calculated in S5 exceeds the threshold value. If so (Yes in S5), the process proceeds to S7. If not (No in S5). ) The process proceeds to S8.
If it is determined that a defect exists (S7), the process proceeds to S8. In S8, it is determined whether or not the variable a exceeds the length of the material 2 to be inspected. If so (Yes in S8), the process ends. If not (No in S8), the process ends. Is moved to S9. In S9, n is added to the variable a. Thereafter, the process returns to S2.

図6に示した欠陥検出判定方法では、連続するnフレーム(1フレームでも構わないが上述の説明では500フレーム)における輝度の平均値を微分した絶対値が、予め設定された閾値を超えていれば欠陥が存在すると判定する。なお、輝度微分絶対値以外にも、ハイパスフィルタをかけて高周波成分を検出することで欠陥の有無を判定してもよい。このような処理が被検査材2の検査対象の長さを越えるまで繰り返し行われる。   In the defect detection determination method shown in FIG. 6, the absolute value obtained by differentiating the average luminance value in consecutive n frames (500 frames in the above description) may exceed a preset threshold value. It is determined that there is a defect. In addition to the luminance differential absolute value, the presence or absence of a defect may be determined by detecting a high-frequency component by applying a high-pass filter. Such a process is repeatedly performed until the length of the inspection target of the inspection target material 2 is exceeded.

このようにして、欠陥が存在すると判定される場合に、検出できた欠陥を追随して検出できるように本実施形態に係る表面検査装置15では以下のように照明を切り替えている。欠陥が存在すると判定されるまでは0.5秒間隔で点灯/消灯を切り替えていた外側の照明装置16および内側の照明装置16について、欠陥が存在すると判定されるといずれか一方のみを点灯し他方を消灯するように切り替える。   In this way, when it is determined that there is a defect, the surface inspection apparatus 15 according to the present embodiment switches the illumination as follows so that the detected defect can be followed and detected. For the outer lighting device 16 and the inner lighting device 16 that have been switched on / off at 0.5 second intervals until it is determined that a defect exists, only one of them is turned on if it is determined that a defect exists. Switch the other to turn off.

このような欠陥追随処理(照明制御処理)の手順について、図7を参照して説明する。なお、照明装置16の点灯させたり消灯させたりする制御は、上述した画像処理手段(コンピュータ)18で行われるものとする。照明装置16の制御は、これに限定されるものではなく、他の制御装置であっても構わない。
S11にて、上工程からの被検査材2の通過信号があるか否かを判定し、通過信号があると判定されると(S11にてYes)処理はS12へ移されて、もしそうでないと(S11にてNo)処理はS11へ戻されて通過信号を待つ。上工程からの被検査材2の通過信号がある場合には、まもなくこの表面検査装置15に被検査材2が到着することを示す。
The procedure of such defect following processing (illumination control processing) will be described with reference to FIG. Note that the control for turning on and off the lighting device 16 is performed by the image processing means (computer) 18 described above. The control of the illumination device 16 is not limited to this, and other control devices may be used.
In S11, it is determined whether or not there is a passage signal of the material to be inspected 2 from the upper process. If it is determined that there is a passage signal (Yes in S11), the process is moved to S12. (No in S11) The process returns to S11 and waits for a passing signal. If there is a passing signal of the inspection object 2 from the upper process, it indicates that the inspection object 2 will arrive at the surface inspection apparatus 15 soon.

S12にて、照明装置16の切替(点灯消灯繰返し)を開始する。このとき、外側の照明装置16(図4に示す照明装置(2)16および照明装置(4)16)と、内側の照明装置16(図4に示す照明装置(1)16および照明装置(3)16)とを0.5秒間隔で点灯/消灯させる。照明装置(2)16および照明装置(4)16は同じタイミングで点灯/消灯し、照明装置(1)16および照明装置(3)16は同じタイミングで点灯/消灯する。   In S12, switching of lighting device 16 (repetition of turning on and off) is started. At this time, the outer illumination device 16 (illumination device (2) 16 and illumination device (4) 16 shown in FIG. 4), and the inner illumination device 16 (illumination device (1) 16 and illumination device (3) shown in FIG. 4). ) 16) is turned on / off at intervals of 0.5 seconds. The lighting device (2) 16 and the lighting device (4) 16 are turned on / off at the same timing, and the lighting device (1) 16 and the lighting device (3) 16 are turned on / off at the same timing.

S13にて、欠陥検出処理を開始する。S14にて、被検査材2に欠陥が存在するか否かを判定する。判定処理の詳細は図6に示した通りである。被検査材2に欠陥が存在すると(S13にてYes)処理はS16へ移され、もしそうでないと(S13にてNo)処理はS15へ移されて照明装置16の切替(点灯消灯繰返し)が開始される。その後、処理はS13へ戻されて欠陥の検出を継続する。なお、S15にて、既に照明装置16の切替(点灯消灯繰返し)が開始されているときには、切替(点灯消灯繰返し)が継続されることになる。   In S13, the defect detection process is started. In S14, it is determined whether or not a defect exists in the inspection object 2. The details of the determination process are as shown in FIG. If there is a defect in the inspection object 2 (Yes in S13), the process is moved to S16. If not (No in S13), the process is moved to S15, and the lighting device 16 is switched (repetition of turning on and off). Be started. Thereafter, the process returns to S13 to continue detecting defects. In S15, when switching of lighting device 16 (repetition of lighting / extinguishing) has already been started, switching (repetition of lighting / extinguishing) is continued.

S16にて、欠陥の最大位置xを探索する。このとき探索された位置xは、画像中の被検査材2の幅をwとして0<x<wで算出される。S17にて、探索された欠陥最大位置xが0.35w<欠陥最大位置x<0.65wを満足するか否かを判定する。0.35w<欠陥最大位置x<0.65wであると(S17にてYes)処理はS18へ移され、もしそうでないと(S17にてNo)処理はS19へ移される。   In S16, the maximum position x of the defect is searched. The position x searched at this time is calculated as 0 <x <w, where w is the width of the inspection object 2 in the image. In S17, it is determined whether or not the searched defect maximum position x satisfies 0.35w <defect maximum position x <0.65w. If 0.35w <defect maximum position x <0.65w (Yes in S17), the process proceeds to S18. If not (No in S17), the process proceeds to S19.

S18にて、外側の照明装置16を点灯させて内側の照明装置16を消灯させる。S19にて、外側の照明装置16を消灯させて内側の照明装置16を点灯させる。S18およびS19の処理の後、処理はS20へ移される。
S20にて、被検査材2の通過信号があるか否かを判定し、表面検査装置15を被検査材2が通過していると(S20にてYes)処理はS13へ戻されて欠陥の検出が継続され、表面検査装置15を被検査材2が通過していないと(S20にてNo)処理は終了する。
In S18, the outer lighting device 16 is turned on and the inner lighting device 16 is turned off. In S19, the outer lighting device 16 is turned off and the inner lighting device 16 is turned on. After the processes of S18 and S19, the process is moved to S20.
In S20, it is determined whether or not there is a passing signal of the inspection material 2, and if the inspection material 2 passes through the surface inspection device 15 (Yes in S20), the process is returned to S13 and the defect is detected. If the detection is continued and the inspection object 2 has not passed through the surface inspection device 15 (No in S20), the process is terminated.

以上のような構造およびフローチャートを備えた表面検査装置15を用いた表面検査方法について説明する。なお、この表面検査方法の説明においては、主として、図4に示すように4台の照明装置16が配置されているものとする。
上工程から被検査材2が表面検査装置15に流れてくると(S11にてYes)、外側の照明装置16(図4では照明装置(2)16および照明装置(4)16)と内側の照明装置16(図4では照明装置(1)16および照明装置(3)16)との点灯/消灯が0.5秒ごとに切り替えられる。このとき、特定の0.5秒間のみに着目すると、外側の2台の照明装置16(照明装置(2)16および照明装置(4)16)および内側の2台の照明装置16(照明装置(1)16および照明装置(3)16)のいずれかの一方側の2台の照明装置16のみが点灯されている(S12)。
A surface inspection method using the surface inspection apparatus 15 having the above-described structure and flowchart will be described. In the description of the surface inspection method, it is assumed that four illumination devices 16 are mainly arranged as shown in FIG.
When the material 2 to be inspected flows from the upper process to the surface inspection device 15 (Yes in S11), the outer illumination device 16 (illumination device (2) 16 and illumination device (4) 16 in FIG. 4) and the inner illumination device 16 Turning on / off the illumination device 16 (illumination device (1) 16 and illumination device (3) 16 in FIG. 4) is switched every 0.5 seconds. At this time, focusing only on a specific 0.5 second, the outer two illumination devices 16 (illumination device (2) 16 and illumination device (4) 16) and the inner two illumination devices 16 (illumination devices ( 1) Only two lighting devices 16 on one side of 16 and lighting device (3) 16) are turned on (S12).

欠陥検出が開始されて(S13)、被検査材2が表面検査装置15を通過している限り(S8にてYesと判定されるまで)S1〜S7の処理にて欠陥が存在するか否かが判定される。欠陥が存在すると判定されると(S6にてYes、S7、S14にてYes)、欠陥最大位置xが探索される(S16)。探索された欠陥最大位置xが0.35w<x<0.65wを満足すると(S17にてYes)、外側の照明装置16を点灯させて内側の照明装置16を消灯させる。欠陥最大位置xが0.35w<x<0.65wを満足しないと(S17にてNo)、外側の照明装置16を消灯させて内側の照明装置16を点灯させる。このように、被検査材2の表面に欠陥を一旦検出すると、0.5秒間隔で点灯と消灯とが繰り返されていた内側の照明装置16および外側の照明装置16は、検出した欠陥を追随して検出できるように、内側の照明装置16および外側の照明装置16のいずれかのみが点灯される。   As long as the defect detection is started (S13) and the inspected material 2 passes the surface inspection apparatus 15 (until determined to be Yes in S8), whether or not there is a defect in the processes of S1 to S7. Is determined. If it is determined that a defect exists (Yes in S6, Yes in S7, S14), the maximum defect position x is searched (S16). When the searched defect maximum position x satisfies 0.35w <x <0.65w (Yes in S17), the outer illumination device 16 is turned on and the inner illumination device 16 is turned off. If the maximum defect position x does not satisfy 0.35w <x <0.65w (No in S17), the outer lighting device 16 is turned off and the inner lighting device 16 is turned on. Thus, once a defect is detected on the surface of the inspection object 2, the inner lighting device 16 and the outer lighting device 16 that have been turned on and off at intervals of 0.5 seconds follow the detected defect. Thus, only one of the inner lighting device 16 and the outer lighting device 16 is turned on.

このように照明装置の点灯状態が切り替えられるとき、画像中の被検査材2の幅をw(pixel)とした場合に、0〜0.35w(pixel)または0.65w(pixel)〜w(pixel)に最大欠陥が存在するときに内側の照明装置16を点灯(外側の照明装置16を消灯)して、0.35w(pixel)〜0.65w(pixel)に最大欠陥が存在するときに外側の照明装置16を点灯(内側の照明装置16を消灯)する。たとえば、図8に示すように、欠陥が0.35w〜0.65wに存在する場合には外側の照明装置(2)16および照明装置(4)16を点灯させて中央部付近の欠陥を精度よく検出する。欠陥が0.35w〜0.65w以外に存在する場合には内側の照明装置(1)16および照明装置(3)16を点灯させて端付近の欠陥を精度よく検出する。   When the lighting state of the lighting device is switched in this way, 0 to 0.35 w (pixel) or 0.65 w (pixel) to w (w) when the width of the inspection object 2 in the image is w (pixel). When the maximum defect exists in (pixel), the inner illumination device 16 is turned on (the outer illumination device 16 is turned off), and when the largest defect exists in 0.35w (pixel) to 0.65w (pixel) The outer lighting device 16 is turned on (the inner lighting device 16 is turned off). For example, as shown in FIG. 8, when the defect exists in 0.35w to 0.65w, the outer illumination device (2) 16 and the illumination device (4) 16 are turned on to accurately detect the defect near the center. Detect well. When a defect exists other than 0.35w to 0.65w, the inner illumination device (1) 16 and the illumination device (3) 16 are turned on to detect the defect near the end with high accuracy.

図9にカメラ17で撮像した画像を示す。図9に示すように、欠陥(4)および欠陥(5)が被検査材2の表面に存在している。図9の下側に示す画像9Aは、内側の照明装置(1)16および照明装置(3)16を点灯させて撮像した画像であって、図9の上側に示す画像9Bは、外側の照明装置(2)16および照明装置(4)16を点灯させて撮像した画像である。   FIG. 9 shows an image captured by the camera 17. As shown in FIG. 9, the defect (4) and the defect (5) are present on the surface of the inspection object 2. An image 9A shown on the lower side of FIG. 9 is an image obtained by lighting the inner lighting device (1) 16 and the lighting device (3) 16, and an image 9B shown on the upper side of FIG. It is the image imaged with the device (2) 16 and the lighting device (4) 16 turned on.

図9の下側の画像9Aに示すように、内側の照明装置16を点灯させ外側の照明装置16を消灯させた場合には、欠陥(5)が明確に撮像されていない。一方、図9の上側の画像9Bに示すように、外側の照明装置16を点灯させ内側の照明装置16を消灯させた場合には、欠陥(4)および欠陥(5)が撮像されている。これは、外側の照明装置16は、カメラ17との挟み角θ(1)が45〜90°となるように設置され、被検査材2の中央部付近に存在する欠陥(4)および欠陥(5)を斜めから照射し、欠陥面による散乱光を検出するのに適していることを示している。一方、内側の照明装置16では、被検査材2の中央部付近に存在する欠陥(4)および欠陥(5)からの散乱光については、欠陥付近の面からの反射光の影響も受けてしまうため、欠陥を強調して検出できないことを示している。   As shown in the lower image 9A in FIG. 9, when the inner lighting device 16 is turned on and the outer lighting device 16 is turned off, the defect (5) is not clearly imaged. On the other hand, as shown in the upper image 9B of FIG. 9, when the outer lighting device 16 is turned on and the inner lighting device 16 is turned off, the defect (4) and the defect (5) are imaged. This is because the outer illumination device 16 is installed so that the sandwiching angle θ (1) with the camera 17 is 45 to 90 °, and the defect (4) and the defect ( 5) shows that it is suitable for detecting scattered light from the defect surface. On the other hand, in the inner illumination device 16, the scattered light from the defect (4) and the defect (5) existing in the vicinity of the central portion of the inspection object 2 is also affected by the reflected light from the surface near the defect. Therefore, it is shown that the defect cannot be emphasized and detected.

図9に示す撮像画像を処理して得られる輝度分布を図10に、輝度微分絶対値の分布を図11に、それぞれ示す。
輝度分布10Aおよび輝度微分分布11Aが内側の照明装置16のみを点灯させた画像9Aに、輝度分布10Bおよび輝度微分分布11Bが外側の照明装置16のみを点灯させた画像9Bに、それぞれ対応する。
FIG. 10 shows the luminance distribution obtained by processing the captured image shown in FIG. 9, and FIG. 11 shows the distribution of the luminance differential absolute value.
The luminance distribution 10A and the luminance differential distribution 11A correspond to the image 9A in which only the inner lighting device 16 is turned on, and the luminance distribution 10B and the luminance differential distribution 11B correspond to the image 9B in which only the outer lighting device 16 is turned on.

内側の照明装置16のみを点灯させた場合には、輝度分布10Aに示すように欠陥(5)が明確に検出できず、輝度微分分布11Aに示すように閾値で欠陥(5)を検出できていない。一方、外側の照明装置16のみを点灯させた場合には、輝度分布10Bに示すように欠陥(4)および欠陥(5)が明確に検出できて、輝度微分分布11Bに示すように閾値(30程度の輝度微分絶対値)で欠陥(4)および欠陥(5)を検出できている。   When only the inner lighting device 16 is turned on, the defect (5) cannot be clearly detected as shown in the luminance distribution 10A, and the defect (5) can be detected with the threshold value as shown in the luminance differential distribution 11A. Absent. On the other hand, when only the outer illumination device 16 is turned on, the defect (4) and the defect (5) can be clearly detected as shown in the luminance distribution 10B, and the threshold (30) as shown in the luminance differential distribution 11B. The defect (4) and the defect (5) can be detected with the brightness differential absolute value of the degree.

さらに、複数の欠陥を検出した場合について説明する。画像9B(外側の照明装置(2)16および照明装置(4)16を点灯)に示すように、欠陥(4)および欠陥(5)の2つの欠陥を検出している。S16にて探索される欠陥最大位置xは、輝度の微分絶対値が最大となる160pixel付近となる。この160pixel付近は、0.35w〜0.65wに存在しているため、点灯と消灯とが切り替えされていた外側の照明装置16および内側の照明装置16は、外側の照明装置16が点灯されて内側の照明装置16が消灯された状態へ移行する(S18)。このように、いずれの照明装置16を点灯させるのかは、検出された欠陥の最大位置xにより決定されている。   Further, a case where a plurality of defects are detected will be described. As shown in the image 9B (outer illumination device (2) 16 and illumination device (4) 16 are turned on), the defect (4) and defect (5) are detected. The defect maximum position x searched in S16 is near 160 pixels where the differential absolute value of luminance is maximum. Since the vicinity of 160 pixels exists between 0.35 w and 0.65 w, the outer lighting device 16 and the inner lighting device 16 that have been switched on and off are turned on. It shifts to the state where the inner illumination device 16 is turned off (S18). Thus, which lighting device 16 is to be turned on is determined by the maximum position x of the detected defect.

ここで、図5に示すように照明装置16とカメラ17とを配置とした場合、複数台のカメラ17が配置されている。このため、1つの欠陥を2台のカメラ17で撮像すること、複数の欠陥が同じタイミングで撮像されること、があり得る。このような場合には、評価値(たとえば、上述した輝度の微分絶対値)が最大となる欠陥に対し、追随を実施することで、精度よく欠陥を検出している。   Here, when the lighting device 16 and the camera 17 are arranged as shown in FIG. 5, a plurality of cameras 17 are arranged. For this reason, it is possible that one defect is imaged by two cameras 17 and a plurality of defects are imaged at the same timing. In such a case, the defect is detected with high accuracy by following the defect having the maximum evaluation value (for example, the above-described absolute value of the differential luminance).

さらに、輝度分布10Bに示すように、照明装置(2)16および照明装置(4)16を点灯している時の輝度分布を見ると、右半分の最大値に対して、左半分の最大値は半分以下となっている。このような場合には、図7のフローチャートの照明切替中の外側の照明装置16を点灯する時には光量調整機能があることが、なお好ましい。詳しくは、画像1フレームまたは複数フレームの輝度分布に基づいて欠陥検出するとき、被検査材2の左半分の最大輝度が128以下(飽和する256階調の半分)となる場合には、現在輝度kとすると照明装置16の光源光量を128/k倍になるように調整する。これにより、十分な輝度の画像データに基づいて画像処理を行うことができるため、精度よい欠陥検出が可能になる。また、被検査材2の右半分の最大輝度と対称となるように左半分の光源光量を調整すると、左右対称な画像データに基づいて画像処理を行うことができるため、精度よい欠陥検出が可能になる。これに加え、上述のように十分な輝度となるように光源光量を調整すると、さらに精度よい欠陥検出が可能になる。   Further, as shown in the luminance distribution 10B, when the luminance distribution when the lighting device (2) 16 and the lighting device (4) 16 are turned on is viewed, the maximum value in the left half is the maximum value in the right half. Is less than half. In such a case, it is more preferable that there is a light amount adjustment function when the outer illumination device 16 during illumination switching in the flowchart of FIG. Specifically, when a defect is detected based on the luminance distribution of one image frame or a plurality of frames, if the maximum luminance of the left half of the inspection object 2 is 128 or less (half of 256 gradations to be saturated), the current luminance If k, the light source light amount of the illumination device 16 is adjusted to 128 / k times. Thereby, since image processing can be performed based on image data with sufficient luminance, defect detection can be performed with high accuracy. In addition, if the left half light source light amount is adjusted so as to be symmetric with the maximum luminance of the right half of the material to be inspected 2, image processing can be performed based on left-right symmetric image data, so that accurate defect detection is possible. become. In addition to this, it is possible to detect a defect with higher accuracy by adjusting the light source light amount so that the luminance is sufficient as described above.

以上のようにして、本実施形態に係る表面検査装置によると、被検査材の長手方向に連続的に存在する表面欠陥を精度よく検出できる。その結果、連続製造される鋼材の大量廃棄を抑制し、歩留まり向上に寄与することができる。
特に、本実施形態に係る表面検査装置は以下に示す効果がある。
被検査材に対する照射角度が異なる照明装置を切り替えて、表面の欠陥の形状および位置に基づいて、撮像された画像に明部または暗部が強調して現れ、広範囲の欠陥を検出することができる。
As described above, the surface inspection apparatus according to this embodiment can accurately detect surface defects that exist continuously in the longitudinal direction of the material to be inspected. As a result, mass disposal of continuously manufactured steel materials can be suppressed, and the yield can be improved.
In particular, the surface inspection apparatus according to this embodiment has the following effects.
By switching illumination devices having different irradiation angles with respect to the material to be inspected, it is possible to detect a wide range of defects by highlighting bright or dark portions in the captured image based on the shape and position of the defects on the surface.

さらに、表面の欠陥が検出されるまでは連続的に照明を切り替え、検出されると検出された欠陥の位置に応じて欠陥に対し斜照射となる照明を選択して点灯することにより欠陥を確実に追随して検出することができる。さらに、この場合において、複数の欠陥が検出された場合であっても、輝度微分絶対値の最大信号が得られる欠陥に追随して照明を選択するので、欠陥を確実に追随して検出することができる。   Furthermore, the illumination is switched continuously until a surface defect is detected, and when detected, the defect is reliably confirmed by selecting and lighting the illumination that is obliquely irradiated to the defect according to the position of the detected defect. It can be detected following the above. Furthermore, in this case, even if a plurality of defects are detected, the illumination is selected following the defect that can obtain the maximum signal of the luminance differential absolute value, so that the defect is reliably followed and detected. Can do.

さらに、照明装置がカメラとの挟み角が0〜45°となる位置と45〜90°となる位置に配置して切り替えているので、1台の照明装置では検出できない欠陥をもう一方の照明で補うことができ、欠陥を確実に検出することができる。さらに、カメラの台数を増やして、被検査材の表面全周をカメラで撮像する場合であっても、カメラおよび照明装置から構成されるユニットを対称に配置することにより、複数のカメラで照明装置を兼用することができる。さらに、照明装置の光量を調整する機能を持つので、照明装置を切り替えた場合であっても、欠陥を確実に検出することができる。   Furthermore, since the lighting device is arranged and switched between a position where the angle between the camera and the camera is 0 to 45 ° and a position where it is 45 to 90 °, defects that cannot be detected by one lighting device can be detected by the other lighting. It is possible to compensate, and the defect can be reliably detected. Further, even when the number of cameras is increased and the entire surface of the material to be inspected is imaged with the camera, the lighting device can be configured with a plurality of cameras by arranging the units composed of the camera and the lighting device symmetrically. Can also be used. Furthermore, since it has a function of adjusting the light quantity of the illumination device, it is possible to detect a defect reliably even when the illumination device is switched.

なお、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
たとえば、上述した実施形態においては少なくとも2台の照明装置を配置しているが、照射角度が異なる2以上の光源を内蔵する1台の照明装置または単光源であっても照射角度を切り替えることのできる機構を備えた1台の照明装置であっても構わない。
The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
For example, in the above-described embodiment, at least two illumination devices are arranged, but the illumination angle can be switched even with a single illumination device or a single light source incorporating two or more light sources having different illumination angles. It may be a single lighting device provided with a mechanism that can be used.

1 圧延設備
2 圧延材(被検査材)
3 加熱炉
4 デスケーラ
5 粗圧延機
6 中間圧延機
7 圧延機
8 巻き取り機
9 圧延ロール
10 圧延スタンド
11 カリバー
15 表面検査装置
16 照明手段(照明装置)
17 撮像手段(カメラ)
18 画像処理手段
1 Rolling equipment 2 Rolled material (inspected material)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Heating furnace 4 Descaler 5 Coarse rolling mill 6 Intermediate rolling mill 7 Rolling mill 8 Winding machine 9 Roll roll 10 Rolling stand 11 Caliber 15 Surface inspection apparatus 16 Illumination means (illumination apparatus)
17 Imaging means (camera)
18 Image processing means

Claims (11)

長尺の被検査材の表面を照明する照明手段と、被検査材の表面を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された被検査材の表面の画像を処理して欠陥を検出する画像処理手段とを備えた表面検査装置において、
前記照明手段は、前記被検査材に対する照射角度を変化させて前記被検査材の表面を照明することを特徴とする表面検査装置。
An illuminating means for illuminating the surface of a long inspection material, an imaging means for imaging the surface of the inspection material, and an image for detecting defects by processing an image of the surface of the inspection material imaged by the imaging means In a surface inspection apparatus comprising a processing means,
The surface inspection apparatus characterized in that the illuminating means illuminates the surface of the inspection object by changing an irradiation angle to the inspection object.
前記照明手段は、前記撮像手段から見た前記被検査材への照射角度が異なる複数の光源を備え、前記複数の光源を切り替えて前記被検査材の表面を照明することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。   The illumination unit includes a plurality of light sources having different irradiation angles to the inspection object viewed from the imaging unit, and switches the plurality of light sources to illuminate the surface of the inspection object. The surface inspection apparatus according to 1. 前記表面検査装置は、前記画像処理手段により欠陥が検出されるまでは、照射角度の異なる複数の光源の点灯および消灯を連続的に切り替えて前記被検査材の表面を照明し、前記画像処理手段により欠陥が検出されると、検出された欠陥の位置に基づいて点灯することが決定された光源により前記被検査材の表面を照明するように、前記照明手段を制御する制御手段を備えることを特徴とする請求項2に記載の表面検査装置。   The surface inspection apparatus illuminates the surface of the material to be inspected by continuously switching on and off a plurality of light sources having different irradiation angles until a defect is detected by the image processing unit. And a control means for controlling the illuminating means to illuminate the surface of the material to be inspected with a light source determined to be lit based on the position of the detected defect. The surface inspection apparatus according to claim 2. 前記表面検査装置は、前記被検査材の進行中に欠陥を検出し、
前記複数の照明装置は、第1の照明装置および第2の照明装置を備え、
前記照明装置と前記撮像手段とは、前記被検査材の進行方向に対して垂直方向に交わる面上に配置され、前記第1の照明装置は、前記撮像手段との挟み角が0〜45°であって、前記第2の照明装置は、前記撮像手段との挟み角が45〜90°であることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
The surface inspection apparatus detects defects during the progress of the inspection object,
The plurality of lighting devices include a first lighting device and a second lighting device,
The illuminating device and the imaging means are arranged on a surface that intersects in a direction perpendicular to the traveling direction of the material to be inspected, and the first illuminating device has an angle between 0 to 45 ° with the imaging means. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the second illumination device has a sandwich angle of 45 to 90 ° with the imaging unit.
前記表面検査装置は、前記画像処理手段により欠陥が検出されるまでは、前記第1の照明装置および前記第2の照明装置を交互に点灯させて前記被検査材の表面を照明し、欠陥が検出されると、検出された欠陥の位置に基づいて点灯することが決定された前記第1の照明装置および前記第2の照明装置のいずれかにより前記被検査材の表面を照明するように、前記照明手段を制御する制御手段を備えることを特徴とする請求項4に記載の表面検査装置。   The surface inspection device illuminates the surface of the material to be inspected by alternately turning on the first illumination device and the second illumination device until a defect is detected by the image processing means. When detected, so as to illuminate the surface of the material to be inspected by one of the first illumination device and the second illumination device determined to be lit based on the position of the detected defect. The surface inspection apparatus according to claim 4, further comprising a control unit that controls the illumination unit. 前記制御手段は、検出された欠陥の位置が前記撮像手段の視野の中央部である場合には前記第2の照明装置を点灯し、検出された欠陥の位置が前記視野の端部である場合には前記第1の照明装置を点灯するように、前記照明手段を制御することを特徴とする請求項5に記載の表面検査装置。   The control means turns on the second illumination device when the position of the detected defect is in the center of the field of view of the imaging means, and the position of the detected defect is at the end of the field of view. The surface inspection apparatus according to claim 5, wherein the illuminating unit is controlled to turn on the first illuminating apparatus. 前記照明装置および前記撮像手段は、前記面上で対称に配置されることを特徴とする請求項4〜請求項6のいずれかに記載の表面検査装置。   The surface inspection apparatus according to claim 4, wherein the illumination device and the imaging unit are arranged symmetrically on the surface. 前記照明手段は、前記撮像手段により撮像したときの被検査材の画像輝度が十分になるように光量を調整することを特徴とする、請求項1〜請求項7のいずれかに記載の表面検査装置。   8. The surface inspection according to claim 1, wherein the illumination unit adjusts a light amount so that an image luminance of a material to be inspected when captured by the imaging unit is sufficient. apparatus. 前記照明手段は、前記撮像手段により撮像したときの被検査材の画像輝度が対称になるように光量を調整することを特徴とする、請求項1〜請求項8のいずれかに記載の表面検査装置。   The surface inspection according to any one of claims 1 to 8, wherein the illuminating unit adjusts the amount of light so that an image luminance of a material to be inspected when imaged by the imaging unit is symmetric. apparatus. 長尺の被検査材の表面を照明して、被検査材の表面を撮像して、撮像された被検査材の表面の画像を処理して欠陥を検出する表面検査方法において、
前記被検査材に対する照射角度を変化させて前記被検査材の表面を照明することを特徴とする表面検査方法。
In the surface inspection method for detecting defects by illuminating the surface of a long inspection material, imaging the surface of the inspection material, processing the image of the surface of the imaged inspection material,
A surface inspection method for illuminating the surface of the material to be inspected by changing an irradiation angle to the material to be inspected.
被検査材の表面を撮像する撮像手段との挟み角が0〜45°である第1の照明装置および挟み角が45〜90°である第2の照明装置により被検査材の表面を照明し、
欠陥が検出されるまでは、前記第1の照明装置および前記第2の照明装置を交互に点灯させて前記被検査材の表面を照明し、欠陥が検出されると、検出された欠陥の位置に基づいて点灯することが決定された前記第1の照明装置および前記第2の照明装置のいずれかにより前記被検査材の表面を照明することを特徴とする請求項10に記載の表面検査方法。
The surface of the material to be inspected is illuminated by the first illumination device having an angle of 0 to 45 ° with the imaging means for imaging the surface of the material to be inspected and the second illumination device having an angle of 45 to 90 °. ,
Until the defect is detected, the first illumination device and the second illumination device are alternately turned on to illuminate the surface of the inspection object. When the defect is detected, the position of the detected defect is detected. The surface inspection method according to claim 10, wherein the surface of the material to be inspected is illuminated by any one of the first illumination device and the second illumination device that are determined to be turned on. .
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