JP2013024450A - System and method for control of in-room air pressure - Google Patents

System and method for control of in-room air pressure Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an in-room air pressure control system that can transmit a stable reference pressure in spite of variation in air pressure and can keep the in-room air pressure in an air-conditioned room positive or negative with respect to the reference pressure.SOLUTION: The in-room air pressure control system 10A includes an air supply fan 15 and an exhaust fan 16, a motor damper 17 capable of controlling the exhaust amount of air from a clean room 12, and a hollow pipe 34 which transmits a reference pressure of outdoor air to the damper 17. A controller 33 of the damper 17 measures a differential pressure between the in-room air pressure in the clean room 12 and the reference pressure transmitted from the hollow pipe 34, and controls the degree of damper opening of the damper 17 so as to keep the in-room air pressure positive with respect to the reference pressure on the basis of the measured differential pressure.

Description

本発明は、外気の気圧が変化した場合であっても、室内気圧制御のための基準圧を安定して計測し、空調空間を有する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持する室内気圧調節システムおよび室内気圧調節方法に関する。   The present invention stably measures a reference pressure for indoor air pressure control even when the atmospheric pressure changes, and keeps the indoor air pressure of an air-conditioned room having an air-conditioned space at a positive pressure or a negative pressure. The present invention relates to an atmospheric pressure adjustment system and an indoor atmospheric pressure adjustment method.

空気取り入れ用に設置されるダクトの中間部にベンチュリ流量計を備え、ダクトの上端部に裾空きのフードをそのフードの下端縁部がダクトの上端縁より下になるように被せた形で取り付け、ダクトのフードの下端縁部よりも上の部分に全周にわたって仕切り板を取り付けるとともに、ダクトの上端縁に内側に傾斜する傾斜板を取り付けた空気取り入れ用吸気筒がある(特許文献2参照)。   A venturi flow meter is installed in the middle of the duct installed for air intake, and a hood with a skirt is attached to the upper end of the duct so that the lower edge of the hood is below the upper edge of the duct. In addition, there is an air intake intake cylinder in which a partition plate is attached to a portion above the lower end edge of the hood of the duct, and an inclined plate inclined inward is attached to the upper end edge of the duct (see Patent Document 2). .

特許文献1に開示の空気取り入れ用吸気筒は、外気圧が大きく変動したとしても、それによってベンチュリ流量計の計測値が真の値から外れるという不具合を解消することができ、吸気筒からの空気取り入れ流量の計測値を真の流量に一致させることができる。   The intake cylinder disclosed in Patent Document 1 can solve the problem that the measured value of the venturi flow meter deviates from the true value even if the outside air pressure fluctuates greatly, and the air from the intake cylinder The measured value of the intake flow rate can be matched with the true flow rate.

特開平10−160531号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-160531

前記特許文献1に開示の空気取り入れ用吸気筒は、外気の大きな変動に対してベンチュリ流量計の計測値を真の値に保持することはできるが、吸気筒の空気圧の振幅の変動を小さくすることができず、さらに、吸気筒の空気圧の周期を長くすることができないから、外気が変動した場合における吸気筒内部の静圧を安定させることができない。   The intake cylinder disclosed in Patent Document 1 can maintain the measured value of the venturi flow meter at a true value with respect to large fluctuations in outside air, but reduces fluctuations in the amplitude of air pressure in the intake cylinder. In addition, since the cycle of the air pressure of the intake cylinder cannot be increased, the static pressure inside the intake cylinder when the outside air fluctuates cannot be stabilized.

なお、外気の気圧の変動に対して静圧を安定化させることができないと、その静圧を基準圧とする場合において、所定の箇所における空気の基準圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができない。そして、不規則かつ急激に変化する基準圧を室内気圧の制御動作の比較値に使用すると、制御動作に誤作動や過作動を生じる場合があるとともに、その基準圧に対する室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に保持することができない場合がある。   If the static pressure cannot be stabilized against fluctuations in the atmospheric pressure of the outside air, when the static pressure is used as the reference pressure, irregular and sudden changes in the reference air pressure at a predetermined location are prevented. I can't. If a reference pressure that changes irregularly and suddenly is used as a comparison value for the control operation of the indoor pressure, the control operation may cause a malfunction or overoperation, and the indoor pressure relative to the reference pressure may be more than the reference pressure. In some cases, it cannot be maintained at a high positive pressure or a negative pressure lower than the reference pressure.

本発明の目的は、気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。   An object of the present invention is to provide an indoor air pressure adjusting system that can transmit a stable reference pressure against fluctuations in atmospheric pressure and can maintain the indoor air pressure of an air-conditioned room with respect to the reference pressure at a positive pressure or a negative pressure. .

前記課題を解決するための本発明の第1の前提は、空調空間を有する空調室に空気を給気する給気装置と、空調室から空気を排気する排気装置と、空調室への空気の給気量と空調室からの空気の排気量との少なくとも一方を調節可能な流量調節装置と、所定の箇所における空気の基準圧を流量調節装置に伝達する基準圧伝達装置とを備え、空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に保持する室内気圧調節システムである。   The first premise of the present invention for solving the above-mentioned problems is that an air supply device that supplies air to an air-conditioned room having an air-conditioned space, an exhaust device that exhausts air from the air-conditioned room, and an air supply to the air-conditioned room An air conditioning chamber comprising: a flow rate adjusting device capable of adjusting at least one of an air supply amount and an air exhaust amount from the air conditioning chamber; and a reference pressure transmission device configured to transmit a reference pressure of air at a predetermined location to the flow rate adjusting device. It is the indoor pressure control system which maintains the indoor atmospheric pressure at a positive pressure higher than the reference pressure or a negative pressure lower than the reference pressure.

前記第1の前提における本発明の室内気圧調節システムの特徴は、基準圧伝達装置が一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管から形成され、中空管が、空気第1出入口を有して所定の箇所に設置された検出端部と、空気第2出入口を有して流量調節装置に接続された接続端部と、検出端部と接続端部との間に位置する中間部とを備え、流量調節装置が、空調室の室内気圧と中空管から伝達された基準圧との差圧を計測する差圧計測手段と、差圧計測手段によって計測した差圧に基づいて、基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節する流量調節手段とを実行することにある。   The indoor pressure control system of the present invention according to the first premise is characterized in that the reference pressure transmission device is formed of a long and flexible hollow tube that is long in one direction, and the hollow tube is the first air inlet / outlet port. And a detection end portion installed at a predetermined location, a connection end portion having an air second inlet / outlet and connected to the flow control device, and an intermediate position between the detection end portion and the connection end portion Based on the differential pressure measured by the differential pressure measuring means and the differential pressure measuring means for measuring the differential pressure between the indoor pressure of the air conditioning chamber and the reference pressure transmitted from the hollow tube. The present invention is to execute flow rate adjusting means for adjusting at least one of the air supply / exhaust amount in order to maintain the indoor pressure relative to the reference pressure at a positive pressure or a negative pressure.

本発明にかかる室内気圧調節システムの一例としては、空調室の室内気圧がリアルタイムで連続的に検知され、基準圧が中空管からリアルタイムで連続的に伝達され、差圧計測手段が室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測する。   As an example of the indoor pressure control system according to the present invention, the indoor pressure in the air-conditioned room is continuously detected in real time, the reference pressure is continuously transmitted in real time from the hollow tube, and the differential pressure measuring means The differential pressure from the reference pressure is continuously measured in real time.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、室内気圧調節システムが、2つ以上の空調室への空気の給気量とそれら空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能な2つ以上の流量調節装置と、中空管によって伝達される基準圧を2つ以上の流量調節装置に分配する分配器とを含み、中空管の接続端部が、分配器に接続されているとともに、分配器から2つ以上に分岐してそれら流量調節装置に接続されている。   As another example of the indoor air pressure adjusting system according to the present invention, the indoor air pressure adjusting system adjusts either the amount of air supplied to two or more air-conditioned rooms and the amount of air discharged from these air-conditioned rooms. Including two or more possible flow control devices and a distributor for distributing the reference pressure transmitted by the hollow tube to the two or more flow control devices, the connecting end of the hollow tube being connected to the distributor And two or more branches from the distributor are connected to the flow control devices.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、中空管の中間部がコイル状に巻かれている。   As another example of the indoor pressure control system according to the present invention, the middle portion of the hollow tube is wound in a coil shape.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、中空管の検出端部が中間部から少なくとも2つに分岐している。   As another example of the indoor pressure control system according to the present invention, the detection end portion of the hollow tube branches from the intermediate portion into at least two.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、中空管が、接続端部から分岐する少なくとも2つの中間部と、それら中間部につながる少なくとも2つの検出端部とを有する。   As another example of the indoor pressure control system according to the present invention, the hollow tube has at least two intermediate portions branched from the connection end portion and at least two detection end portions connected to the intermediate portions.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、少なくとも2つの検出端部の一方が第1の方角における屋外に設置され、検出端部の他方が第1の方角とは反対の第2の方角に設置されている。   As another example of the indoor atmospheric pressure control system according to the present invention, one of at least two detection ends is installed outdoors in a first direction, and the other of the detection ends is a second opposite to the first direction. It is installed in the direction of.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、中空管の検出端部が閉塞先端と閉塞先端から続く周側面とを有し、空気第1出入口が周側面に形成されている。   As another example of the indoor pressure control system according to the present invention, the detection end of the hollow tube has a closed tip and a peripheral side surface continuing from the closed tip, and the first air inlet / outlet is formed on the peripheral side.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、空気第1出入口が周側面に複数個形成され、空気第1出入口の開口面積が10〜20mmの範囲にある。 As another example of the indoor pressure control system according to the present invention, a plurality of first air inlets / outlets are formed on the peripheral side surface, and the opening area of the first air inlet / outlet is in the range of 10 to 20 mm 2 .

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、中空管の検出端部とコイル状に巻かれた中間部とが空気流通窓を有する通気性の筐体内部に収容され、中空管の接続端部が筐体から露出している。   As another example of the indoor atmospheric pressure control system according to the present invention, the detection end portion of the hollow tube and the intermediate portion wound in a coil shape are accommodated in a breathable casing having an air circulation window, and are hollow. The connecting end of the tube is exposed from the housing.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、中空管の検出端部から接続端部までの長さが50〜500mの範囲にあり、中空管の検出端部と接続端部と中間部と内径が4〜20mmの範囲にある。   As another example of the indoor pressure control system according to the present invention, the length from the detection end of the hollow tube to the connection end is in the range of 50 to 500 m, and the detection end and the connection end of the hollow tube And an intermediate part and an internal diameter exist in the range of 4-20 mm.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例として、中空管は、検出端部と接続端部との圧力差±10〜±150Paの範囲における検出端部近傍の気圧変動に対して中空管内部の静圧を安定させる。   As another example of the indoor atmospheric pressure control system according to the present invention, the hollow tube is hollow with respect to pressure fluctuations in the vicinity of the detection end in the range of a pressure difference of ± 10 to ± 150 Pa between the detection end and the connection end. Stabilizes the static pressure inside the tube.

本発明にかかる室内気圧調節システムの他の一例としては、流量調節装置が、差圧を計測する微差圧計と、ダンパ開度によって空調室への空気の給気量と空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能なモーターダンパとから形成されている。   As another example of the indoor pressure control system according to the present invention, the flow rate control device includes a fine differential pressure gauge that measures the differential pressure, and the amount of air supplied to the air-conditioned room and the amount of air from the air-conditioned room by the damper opening degree. It is formed from a motor damper capable of adjusting either the displacement or the displacement.

前記課題を解決するための本発明の第2の前提は、空調空間を有する空調室に空気を給気する給気装置と、空調室から空気を排気する排気装置と、空調室への空気の給気量と空調室からの空気の排気量との少なくとも一方を調節可能な流量調節装置と、所定の箇所における空気の基準圧を前記流量調節装置に伝達する基準圧伝達装置とを備え、空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に保持する室内気圧調節方法である。   The second premise of the present invention for solving the above problems is that an air supply device that supplies air to an air-conditioned room having an air-conditioned space, an exhaust device that exhausts air from the air-conditioned room, and an air supply to the air-conditioned room A flow rate adjustment device capable of adjusting at least one of an air supply amount and an air discharge amount from an air conditioning room, and a reference pressure transmission device for transmitting a reference pressure of air at a predetermined location to the flow rate adjustment device; This is a method for adjusting the atmospheric pressure of a room in which the room air pressure is maintained at a positive pressure higher than the reference pressure or a negative pressure lower than the reference pressure.

前記第2の前提における本発明の室内気圧調節方法の特徴は、基準圧伝達装置が一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管から形成され、中空管が、空気第1出入口を有して所定の箇所に設置された検出端部と、空気第2出入口を有して流量調節装置に接続された接続端部と、検出端部と接続端部との間に位置する中間部とを備え、流量調節装置が、空調室の室内気圧と中空管から伝達された基準圧との差圧を計測するとともに、計測した差圧に基づいて、基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節することにある。   According to the second premise, the indoor pressure control method of the present invention is characterized in that the reference pressure transmission device is formed of a long flexible hollow tube that is long in one direction, and the hollow tube is the first air inlet / outlet port. And a detection end portion installed at a predetermined location, a connection end portion having an air second inlet / outlet and connected to the flow control device, and an intermediate position between the detection end portion and the connection end portion The flow control device measures the differential pressure between the indoor pressure in the air-conditioning chamber and the reference pressure transmitted from the hollow tube, and positively converts the indoor pressure relative to the reference pressure based on the measured differential pressure. Alternatively, at least one of the air supply / exhaust amount is adjusted to maintain the negative pressure.

本発明にかかる室内気圧調節方法の一例として、室内気圧調節方法では、空調室の室内気圧がリアルタイムで連続的に検知され、基準圧が中空管からリアルタイムで連続的に伝達されるとともに、室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測する。   As an example of the indoor air pressure adjusting method according to the present invention, in the indoor air pressure adjusting method, the indoor air pressure in the air-conditioned room is continuously detected in real time, and the reference pressure is continuously transmitted from the hollow tube in real time. The differential pressure between the atmospheric pressure and the reference pressure is continuously measured in real time.

本発明にかかる室内気圧調節方法の他の一例としては、室内気圧調節方法が、2つ以上の空調室への空気の給気量とそれら空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能な2つ以上の流量調節装置と、中空管によって伝達される基準圧を2つ以上の流量調節装置に分配する分配器とを含み、中空管の接続端部が、分配器に接続されているとともに、分配器から2つ以上に分岐してそれら流量調節装置に接続されている。   As another example of the indoor air pressure adjusting method according to the present invention, the indoor air pressure adjusting method adjusts either the amount of air supplied to two or more air-conditioned rooms and the amount of air discharged from these air-conditioned rooms. Including two or more possible flow control devices and a distributor for distributing the reference pressure transmitted by the hollow tube to the two or more flow control devices, the connecting end of the hollow tube being connected to the distributor And two or more branches from the distributor are connected to the flow control devices.

本発明にかかる室内気圧調節システムによれば、空調室の室内気圧と中空管から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、流量調節装置が基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節するから、空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に保持することができる。室内気圧調節システムは、所定の箇所における空気の基準圧の計測に一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管が使用され、風の影響によって空気第1出入口を有する検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管の内部の圧力抵抗によって気圧の変動に対する中空管内部における静圧の振幅の変動が検出端部から接続端部に向かって次第に小さくなるとともに、気圧の変動に対する中空管内部における静圧の周期が検出端部から接続端部に向かって次第に長くなるから、気圧の変動に対して中空管内部の静圧を安定化させることができ、基準圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができるとともに、流量調節装置に安定した基準圧を伝達することができる。室内気圧調節システムは、空気第1出入口を有する検出端部の近傍において気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、不規則かつ急激に変化する基準圧を使用することによる流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができるとともに、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができ、外部から空調室への空気の流入や空調室から外部への空気の流出を防ぐことができる。   According to the indoor pressure control system according to the present invention, the differential pressure between the indoor pressure of the air conditioning chamber and the reference pressure transmitted from the hollow tube is measured, and based on the measured differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure, Since the flow control device adjusts at least one of the air supply / exhaust amount in order to maintain the indoor pressure with respect to the reference pressure at the positive pressure or the negative pressure, the air pressure in the air-conditioning room is set higher than the positive pressure or the reference pressure higher than the reference pressure. Can be kept at a low negative pressure. The indoor pressure control system uses a long and flexible hollow tube that is long in one direction for measurement of the reference air pressure at a predetermined location, and the detection end portion having the first air inlet / outlet due to the influence of wind. Even if the atmospheric pressure in the vicinity fluctuates, the fluctuation of the static pressure amplitude in the hollow tube relative to the fluctuation in atmospheric pressure gradually decreases from the detection end to the connection end due to the pressure resistance inside the hollow tube. Since the period of static pressure inside the hollow tube with respect to fluctuations of the pipe gradually increases from the detection end to the connection end, it is possible to stabilize the static pressure inside the hollow pipe against fluctuations in atmospheric pressure. Irregular and rapid changes in pressure can be prevented, and a stable reference pressure can be transmitted to the flow control device. Even if the atmospheric pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion having the first air inlet / outlet, the indoor atmospheric pressure control system uses a reference pressure that varies irregularly and rapidly because a stable reference pressure is transmitted by the hollow tube. It is possible to prevent malfunctions and over-operations of the regulating operation of the flow control device, and to maintain the air pressure in the air conditioning room with respect to the reference pressure at a positive pressure or a negative pressure. Inflow of air and outflow of air from the air conditioning room to the outside can be prevented.

空調室の室内気圧がリアルタイムで連続的に検知され、基準圧が中空管からリアルタイムで連続的に伝達され、差圧計測手段が室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測する室内気圧調節システムは、室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測し、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、流量調節装置が基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節するから、空調室の室内気圧を綿密に調節することができ、空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に確実に保持することができる。   The air pressure in the air-conditioned room is continuously detected in real time, the reference pressure is continuously transmitted in real time from the hollow tube, and the differential pressure measuring means continuously measures the differential pressure between the room pressure and the reference pressure in real time. The indoor air pressure control system continuously measures the differential pressure between the indoor air pressure and the reference pressure in real time, and based on the measured differential pressure between the indoor air pressure and the reference pressure, the flow controller adjusts the indoor air pressure relative to the reference pressure. Since at least one of the air supply / exhaust volume is adjusted to maintain the positive or negative pressure, the air pressure in the air conditioning room can be adjusted closely, and the air pressure in the air conditioning room is higher than the reference pressure. Alternatively, the negative pressure lower than the reference pressure can be reliably maintained.

2つ以上の空調室への空気の給気量とそれら空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能な2つ以上の流量調節装置と、中空管によって伝達される基準圧を2つ以上の流量調節装置に分配する分配器とを含み、中空管の接続端部が分配器に接続されているとともに分配器から2つ以上に分岐してそれら流量調節装置に接続されている室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を有する検出端部の近傍において気圧が変動したとしても、中空管からそれら流量調節装置に安定した基準圧が伝達され、2つ以上の空調室の室内気圧と中空管から伝達された基準圧との差圧に基づいて、それら流量調節装置が基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節するから、2つ以上の空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に保持することができ、外部からそれら空調室への空気の流入やそれら空調室から外部への空気の流出を防ぐことができる。   Two or more flow control devices capable of adjusting either the amount of air supplied to two or more air-conditioning rooms and the amount of air discharged from these air-conditioning rooms, and a reference pressure transmitted by a hollow tube A distributor that distributes to two or more flow control devices, the connecting end of the hollow tube being connected to the distributor and branching into two or more from the distributor and connected to the flow control devices Even if the atmospheric pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion having the first air inlet / outlet port due to the influence of the wind, a stable reference pressure is transmitted from the hollow tube to the flow rate adjusting devices. Based on the differential pressure between the indoor air pressure of the air-conditioning room and the reference pressure transmitted from the hollow tube, the air flow rate adjustment device is used to maintain the indoor air pressure with respect to the reference pressure at a positive or negative pressure. Adjust at least one of the two The indoor air pressure in the upper air conditioning room can be maintained at a positive pressure higher than the reference pressure or a negative pressure lower than the reference pressure, so that the inflow of air from the outside to the air conditioning room and the air from the air conditioning room to the outside Can prevent spillage.

中空管の中間部がコイル状に巻かれている室内気圧調節システムは、中空管の中間部をコイル状に巻くことによって長尺の中空管をコンパクトにすることができるから、場所を取らずに中空管を所定の箇所に設置することができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、コイル状に巻かれた中空管の内部の圧力抵抗によって気圧の変動に対する中空管内部における静圧の振幅の変動が検出端部から接続端部に向かって次第に小さくなるとともに、気圧の変動に対する中空管内部における静圧の周期が検出端部から接続端部に向かって次第に長くなるから、気圧の変動に対して中空管内部の静圧を安定化させることができ、基準圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができるとともに、流量調節装置に安定した基準圧を伝達することができる。室内気圧調節システムは、空気第1出入口を有する検出端部の近傍において気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   The indoor pressure control system in which the middle part of the hollow tube is wound in a coil shape can make a long hollow tube compact by winding the middle part of the hollow tube in a coil shape. The hollow tube can be installed at a predetermined location without taking it. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the indoor atmospheric pressure adjustment system is able to cope with fluctuations in atmospheric pressure due to the pressure resistance inside the coiled hollow tube. The fluctuation of the static pressure amplitude inside the hollow tube gradually decreases from the detection end toward the connection end, and the period of static pressure inside the hollow tube with respect to the change in atmospheric pressure is from the detection end toward the connection end. Since it becomes gradually longer, the static pressure inside the hollow tube can be stabilized against fluctuations in atmospheric pressure, and irregular and sudden changes in the reference pressure can be prevented, and a stable reference pressure can be applied to the flow control device. Can be transmitted. Even if the atmospheric pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion having the first air inlet / outlet port, the indoor atmospheric pressure adjustment system transmits a stable reference pressure by the hollow tube. The operation can be prevented, and the air pressure in the air conditioning chamber with respect to the reference pressure can be maintained at a positive pressure or a negative pressure.

中空管の検出端部が中間部から少なくとも2つに分岐している室内気圧調節システムは、一方の検出端部が何らかの原因によって閉塞したとしても、他方の検出端部によって基準圧を計測することができ、検出端部が閉塞することによる基準圧の計測不能を防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   In the indoor air pressure control system in which the detection end of the hollow tube is branched into at least two from the intermediate portion, even if one of the detection ends is blocked for some reason, the reference pressure is measured by the other detection end. It is possible to prevent the inability to measure the reference pressure due to the detection end being blocked. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the indoor atmospheric pressure adjustment system transmits a stable reference pressure through the hollow tube. Malfunction and overoperation can be prevented, and the air pressure in the air-conditioning chamber relative to the reference pressure can be maintained at a positive pressure or a negative pressure.

中空管が接続端部から分岐する少なくとも2つの中間部とそれら中間部につながる少なくとも2つの検出端部とを有する室内気圧調節システムは、少なくとも2つ以上の中間部および少なくとも2つ以上の検出端部において複数箇所の基準圧を計測し、計測した複数の基準圧の平均を採ることができるから、基準圧を平均化することができ、1つ箇所において基準圧を計測することによる基準圧の偏りを防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定かつ平均化した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   An indoor pressure regulation system having at least two intermediate portions where a hollow tube branches from a connection end and at least two detection ends connected to the intermediate portions has at least two intermediate portions and at least two detection portions. It is possible to measure the reference pressure at a plurality of locations at the end and average the measured plurality of reference pressures, so that the reference pressure can be averaged, and the reference pressure by measuring the reference pressure at one location Can be prevented. Since the indoor pressure control system transmits a stable and averaged reference pressure by the hollow tube even if the pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the flow control device Thus, it is possible to prevent malfunctions and overoperations of the adjusting operation, and to maintain the air pressure in the air-conditioning room with respect to the reference pressure at a positive pressure or a negative pressure.

中空管が接続端部から分岐する少なくとも2つの中間部とそれら中間部につながる少なくとも2つの検出端部とを有し、少なくとも2つの検出端部の一方が第1の方角における屋外に設置され、検出端部の他方が第1の方角とは反対の第2の方角に設置されている室内気圧調節システムは、たとえば、2つの検出端部の一方を北側に設置し、他方を南側に設置することにより、北風が強い場合において北風の影響を直接受ける検出端部と北風の影響を間接的に受ける検出端部とから基準圧を伝達することができ、一方の箇所のみにおいて基準圧を検出することによる基準圧の偏りを防ぐことができる。室内気圧調節システムは、全く逆の方角において計測した基準圧の平均を伝達することができるから、基準圧を平均化することができ、1つ箇所において基準圧を計測することによる基準圧の偏りを防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定かつ平均化した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   The hollow tube has at least two intermediate portions branched from the connection end portion and at least two detection end portions connected to the intermediate portions, and one of the at least two detection end portions is installed outdoors in the first direction. For example, an indoor air pressure control system in which the other end of the detection end is installed in a second direction opposite to the first direction, for example, one of the two detection ends is installed on the north side, and the other is installed on the south side. Therefore, when the north wind is strong, the reference pressure can be transmitted from the detection end that is directly affected by the north wind and the detection end that is indirectly affected by the north wind, and the reference pressure is detected only at one location. It is possible to prevent the reference pressure from being biased. Since the indoor pressure regulation system can transmit the average of the reference pressure measured in the opposite direction, the reference pressure can be averaged, and the reference pressure bias by measuring the reference pressure at one location Can be prevented. Since the indoor pressure control system transmits a stable and averaged reference pressure by the hollow tube even if the pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the flow control device Thus, it is possible to prevent malfunctions and overoperations of the adjusting operation, and to maintain the air pressure in the air-conditioning room with respect to the reference pressure at a positive pressure or a negative pressure.

中空管の検出端部が閉塞先端と閉塞先端から続く周側面とを有し、空気第1出入口が周側面に形成されている室内気圧調節システムは、空気第1出入口における風の影響を緩和することができ、空気第1出入口から出入する空気量の大きな変動を防ぐことができるから、空気第1出入口に接する空気の気圧が大きく変化することはなく、中空管内部の静圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   The indoor pressure control system in which the detection end of the hollow tube has a closed tip and a peripheral side surface continuing from the closed tip, and the first air inlet / outlet is formed on the peripheral side surface, alleviates the effect of wind at the first air inlet / outlet Therefore, it is possible to prevent large fluctuations in the amount of air entering and exiting from the first air inlet / outlet port, so that the air pressure in contact with the first air inlet / outlet port does not change greatly, and the static pressure inside the hollow tube does not change. Regular and rapid changes can be prevented. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the indoor atmospheric pressure adjustment system transmits a stable reference pressure through the hollow tube. Malfunction and overoperation can be prevented, and the air pressure in the air-conditioning chamber relative to the reference pressure can be maintained at a positive pressure or a negative pressure.

空気第1出入口が周側面に複数個形成され、空気第1出入口の開口面積が10〜20mmの範囲にある室内気圧調節システムは、空気第1出入口を周側面に複数個形成しつつ、空気第1出入口の開口面積を前記範囲にすることで、空気第1出入口における風の影響を緩和することができ、空気第1出入口から出入する空気量の大きな変動を防ぐことができるから、空気第1出入口に接する空気の気圧が大きく変化することはなく、中空管内部の静圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。 A plurality of first air inlets / outlets are formed on the peripheral side surface, and the indoor air pressure control system in which the opening area of the first air inlet / outlet port is in the range of 10 to 20 mm 2 By setting the opening area of the first inlet / outlet in the above range, the influence of the wind at the first air inlet / outlet can be alleviated, and a large fluctuation in the amount of air entering / leaving from the first air inlet / outlet can be prevented. The air pressure in contact with the inlet / outlet does not change significantly, and irregular and rapid changes in the static pressure inside the hollow tube can be prevented. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the indoor atmospheric pressure adjustment system transmits a stable reference pressure through the hollow tube. Malfunction and overoperation can be prevented, and the air pressure in the air-conditioning chamber relative to the reference pressure can be maintained at a positive pressure or a negative pressure.

中空管の検出端部とコイル状に巻かれた中間部とが空気流通窓を有する通気性の筐体内部に収容され、中空管の接続端部が筐体から露出している室内気圧調節システムは、検出端部と中間部とが筐体に収容されていない場合と比較し、空気第1出入口を備えた検出端部が受ける風の影響を筐体によって緩和することができ、空気第1出入口から出入する空気量の大きな変動を防ぐことができるから、中空管内部の静圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   The atmospheric pressure in which the detection end of the hollow tube and the intermediate portion wound in a coil shape are accommodated in a breathable housing having an air flow window, and the connection end of the hollow tube is exposed from the housing Compared to the case where the detection end and the intermediate portion are not accommodated in the casing, the adjustment system can reduce the influence of the wind received by the detection end including the first air inlet / outlet by the casing. Since large fluctuations in the amount of air entering and exiting from the first inlet / outlet can be prevented, irregular and rapid changes in the static pressure inside the hollow tube can be prevented. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the indoor atmospheric pressure adjustment system transmits a stable reference pressure through the hollow tube. Malfunction and overoperation can be prevented, and the air pressure in the air-conditioning chamber relative to the reference pressure can be maintained at a positive pressure or a negative pressure.

中空管の検出端部から接続端部までの長さが50〜500mの範囲にあり、中空管の検出端部と接続端部と中間部と内径が4〜20mmの範囲にある室内気圧調節システムは、中空管の長さおよび内径を前記範囲にすることにより、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管の内部の空気抵抗によって気圧の変動に対する中空管内部の静圧の振幅の変動が検出端部から接続端部に向かって次第に小さくなるとともに、気圧の変動に対する中空管内部の静圧の周期が検出端部から接続端部に向かって次第に長くなるから、気圧の変動に対して中空管内部の静圧を確実に安定化させることができ、伝達される基準圧の不規則かつ急激な変化を確実に防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   The indoor pressure in which the length from the detection end to the connection end of the hollow tube is in the range of 50 to 500 m, and the detection end, the connection end, the intermediate portion, and the inner diameter of the hollow tube are in the range of 4 to 20 mm. By adjusting the length and the inner diameter of the hollow tube within the above ranges, the adjustment system can adjust the pressure inside the hollow tube even if the air pressure near the detection end including the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of wind. The fluctuation of the static pressure inside the hollow tube with respect to the fluctuation of the atmospheric pressure due to the air resistance gradually decreases from the detection end toward the connection end, and the period of the static pressure inside the hollow tube with respect to the fluctuation of the atmospheric pressure becomes the detection end. Since it gradually becomes longer from the connection part to the connection end part, it is possible to reliably stabilize the static pressure inside the hollow tube against fluctuations in atmospheric pressure, and to ensure irregular and sudden changes in the transmitted reference pressure. Can be prevented. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the indoor atmospheric pressure adjustment system transmits a stable reference pressure through the hollow tube. Malfunction and overoperation can be prevented, and the air pressure in the air-conditioning chamber relative to the reference pressure can be maintained at a positive pressure or a negative pressure.

中空管が検出端部と接続端部との圧力差±10〜±150Paの範囲における検出端部近傍の気圧変動に対して中空管内部の静圧を安定させる室内気圧調節システムは、検出端部近傍の前記範囲における気圧変動によって中空管内部の静圧が不規則かつ急激に変化する場合があるが、中空管の圧力抵抗によって前記範囲の気圧変動に対して中空管内部の静圧の振幅の変動が検出端部から接続端部に向かって次第に小さくなるとともに、中空管内部の静圧の周期が検出端部から接続端部に向かって次第に長くなるから、前記範囲の気圧の変動に対して中空管内部の静圧を確実に安定化させることができ、伝達される基準圧の不規則かつ急激な変化を確実に防ぐことができる。室内気圧調節システムは、風の影響によって空気第1出入口を備えた検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる。   The indoor air pressure control system that stabilizes the static pressure inside the hollow tube against the pressure fluctuation in the vicinity of the detection end in the range of the pressure difference ± 10 to ± 150 Pa between the detection end and the connection end is detected by the hollow tube. Although the static pressure inside the hollow tube may change irregularly and suddenly due to the atmospheric pressure fluctuation in the range near the end, the pressure resistance of the hollow tube may cause the internal pressure of the hollow tube to vary with respect to the atmospheric pressure fluctuation in the range. The fluctuation of the static pressure amplitude gradually decreases from the detection end portion toward the connection end portion, and the period of static pressure inside the hollow tube gradually increases from the detection end portion toward the connection end portion. The static pressure inside the hollow tube can be reliably stabilized against fluctuations in atmospheric pressure, and irregular and sudden changes in the transmitted reference pressure can be reliably prevented. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end provided with the first air inlet / outlet fluctuates due to the influence of the wind, the indoor atmospheric pressure adjustment system transmits a stable reference pressure through the hollow tube. Malfunction and overoperation can be prevented, and the air pressure in the air-conditioning chamber relative to the reference pressure can be maintained at a positive pressure or a negative pressure.

流量調節装置が差圧を計測する微差圧計とダンパ開度によって空調室への空気の給気量と空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能なモーターダンパとから形成されている室内気圧調節システムは、微差圧計が空調室の室内気圧と中空管から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、モーターダンパが基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節するから、空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または該基準圧よりも低い負圧に保持することができる。室内気圧調節システムは、空気第1出入口を有する検出端部の近傍において気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、不規則かつ急激に変化する基準圧を使用することによるモーターダンパのダンパ開度の誤作動や過作動を防止することができるとともに、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができ、外部から空調室への空気の流入や空調室から外部への空気の流出を防ぐことができる。   The flow control device is composed of a fine differential pressure gauge that measures the differential pressure and a motor damper that can adjust either the amount of air supplied to the air-conditioned room or the amount of air discharged from the air-conditioned room depending on the damper opening. In the indoor pressure control system, the differential pressure gauge measures the differential pressure between the indoor pressure in the air-conditioned room and the reference pressure transmitted from the hollow tube, and based on the measured differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure, the motor Since the damper adjusts at least one of the air supply / exhaust amount in order to maintain the indoor pressure relative to the reference pressure at the positive pressure or the negative pressure, the air pressure in the air-conditioned room is set higher than the reference pressure or higher than the reference pressure. It can be kept at a low negative pressure. Even if the atmospheric pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion having the first air inlet / outlet, the indoor atmospheric pressure control system uses a reference pressure that varies irregularly and rapidly because a stable reference pressure is transmitted by the hollow tube. In addition to preventing malfunction and overoperation of the damper opening of the motor damper, it is possible to maintain the air pressure in the air conditioning room with respect to the reference pressure at a positive pressure or negative pressure. Inflow of air and outflow of air from the air conditioning room to the outside can be prevented.

本発明にかかる室内気圧調節方法によれば、空調室の室内気圧と中空管から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節するから、空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に保持することができる。室内気圧調節方法は、所定の箇所における空気の基準圧の計測に一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管が使用され、風の影響によって空気第1出入口を有する検出端部の近傍の気圧が変動したとしても、中空管の内部の圧力抵抗によって気圧の変動に対する中空管内部における静圧の振幅の変動が検出端部から接続端部に向かって次第に小さくなるとともに、気圧の変動に対する中空管内部における静圧の周期が検出端部から接続端部に向かって次第に長くなるから、気圧の変動に対して中空管内部の静圧を安定化させることができ、基準圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができるとともに、流量調節装置に安定した基準圧を伝達することができる。室内気圧調節方法は、空気第1出入口を有する検出端部の近傍において気圧が変動したとしても、中空管によって安定した基準圧が伝達されるから、不規則かつ急激に変化する基準圧を使用することによる流量調節装置の調節動作の誤作動や過作動を防止することができるとともに、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができ、外部から空調室への空気の流入や空調室から外部への空気の流出を防ぐことができる。   According to the indoor pressure control method according to the present invention, the differential pressure between the indoor pressure of the air-conditioned room and the reference pressure transmitted from the hollow tube is measured, and based on the measured differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure, Since at least one of the air supply / exhaust amount is adjusted to maintain the indoor air pressure with respect to the reference pressure at positive pressure or negative pressure, the air pressure in the air-conditioned room is higher than the reference pressure or negative pressure lower than the reference pressure. Can be held in. In the indoor air pressure adjustment method, a long and flexible hollow tube that is long in one direction is used to measure the reference air pressure at a predetermined location, and the detection end portion having the first air inlet / outlet due to the influence of wind is used. Even if the atmospheric pressure in the vicinity fluctuates, the fluctuation of the static pressure amplitude in the hollow tube relative to the fluctuation in atmospheric pressure gradually decreases from the detection end to the connection end due to the pressure resistance inside the hollow tube. Since the period of static pressure inside the hollow tube with respect to fluctuations of the pipe gradually increases from the detection end to the connection end, it is possible to stabilize the static pressure inside the hollow pipe against fluctuations in atmospheric pressure. Irregular and rapid changes in pressure can be prevented, and a stable reference pressure can be transmitted to the flow control device. Even if the atmospheric pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion having the first air inlet / outlet, the indoor atmospheric pressure adjustment method uses a reference pressure that changes irregularly and rapidly because a stable reference pressure is transmitted by the hollow tube. It is possible to prevent malfunctions and over-operations of the regulating operation of the flow control device, and to maintain the air pressure in the air conditioning room with respect to the reference pressure at a positive pressure or a negative pressure. Inflow of air and outflow of air from the air conditioning room to the outside can be prevented.

空調室の室内気圧がリアルタイムで連続的に検知され、基準圧が中空管からリアルタイムで連続的に伝達されるとともに、室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測する室内気圧調節方法は、室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測し、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、流量調節装置が基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節するから、空調室の室内気圧を綿密に調節することができ、空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に確実に保持することができる。   The indoor air pressure of the air-conditioned room is continuously detected in real time, the reference pressure is continuously transmitted from the hollow tube in real time, and the differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure is continuously measured in real time. In the adjustment method, the differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure is continuously measured in real time. Based on the measured differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure, the flow controller adjusts the indoor pressure relative to the reference pressure to a positive pressure or Since at least one of the air supply / exhaust volume is adjusted to maintain the negative pressure, the air pressure in the air conditioning room can be adjusted precisely, and the air pressure in the air conditioning room can be positive or reference pressure higher than the reference pressure. Therefore, the negative pressure can be reliably maintained at a lower pressure.

2つ以上の空調室への空気の給気量とそれら空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能な2つ以上の流量調節装置と、中空管によって伝達される基準圧を2つ以上の流量調節装置に分配する分配器とを含み、中空管の接続端部が分配器に接続されているとともに分配器から2つ以上に分岐してそれら流量調節装置に接続されている室内気圧調節方法は、風の影響によって空気第1出入口を有する検出端部の近傍において気圧が変動したとしても、中空管からそれら流量調節装置に安定した基準圧が伝達され、2つ以上の空調室の室内気圧と中空管から伝達された基準圧との差圧に基づいて、それら流量調節装置が基準圧に対する室内気圧を陽圧または負圧に保持するために空気の給排気量の少なくとも一方を調節するから、2つ以上の空調室の室内気圧を基準圧よりも高い陽圧または基準圧よりも低い負圧に保持することができ、外部からそれら空調室への空気の流入やそれら空調室から外部への空気の流出を防ぐことができる。   Two or more flow control devices capable of adjusting either the amount of air supplied to two or more air-conditioning rooms and the amount of air discharged from these air-conditioning rooms, and a reference pressure transmitted by a hollow tube A distributor that distributes to two or more flow control devices, the connecting end of the hollow tube being connected to the distributor and branching into two or more from the distributor and connected to the flow control devices Even if the atmospheric pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion having the first air inlet / outlet due to the influence of the wind, a stable reference pressure is transmitted from the hollow tube to the flow rate adjusting devices. Based on the differential pressure between the indoor air pressure of the air-conditioning room and the reference pressure transmitted from the hollow tube, the air flow rate adjustment device is used to maintain the indoor air pressure with respect to the reference pressure at a positive or negative pressure. Adjust at least one of the two or more The air pressure in the air conditioned room can be maintained at a positive pressure higher than the reference pressure or a negative pressure lower than the reference pressure, and it is possible to prevent the inflow of air into the air conditioned room from the outside and the outflow of air from the air conditioned room to the outside. Can be prevented.

一例として示す室内気圧調節システムの構成図。The block diagram of the indoor pressure control system shown as an example. 一例として示す検出端部の斜視図。The perspective view of the detection end part shown as an example. 他の一例として示す検出端部の部分破断斜視図。The partial fracture | rupture perspective view of the detection end part shown as another example. 基準圧計測器具(中空管100mの場合)を利用して計測した圧力の時間的な変化を表す図。The figure showing the time change of the pressure measured using the reference pressure measuring instrument (in the case of 100 m of hollow tubes). 基準圧計測器具(中空管200mの場合)を利用して計測した圧力の時間的な変化を表す図。The figure showing the time change of the pressure measured using the reference pressure measuring instrument (in the case of 200 m of hollow tubes). 室内気圧コントロールの一例を説明するためのフローチャート。The flowchart for demonstrating an example of indoor pressure control. 他の一例として示す室内気圧調節システムの構成図。The block diagram of the indoor pressure control system shown as another example. 他の一例として示す室内気圧調節システムの構成図。The block diagram of the indoor pressure control system shown as another example. 他の一例として示す室内気圧調節システムの構成図。The block diagram of the indoor pressure control system shown as another example. 他の一例として示す室内気圧調節システムの構成図。The block diagram of the indoor pressure control system shown as another example. 他の一例として示す室内気圧調節システムの構成図。The block diagram of the indoor pressure control system shown as another example.

一例として示す室内気圧調節システム10Aの構成図である図1等の添付の図面を参照し、本発明にかかる室内気圧調節システムおよび室内気圧調節方法の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図2は、一例として示す中空管34の検出端部35の斜視図であり、図3は、他の一例として示す中空管34の検出端部35の斜視図である。図1は、クリーンルーム12(気密空調室)をその側方から示している。図2,3では、長さ方向(一方向)を矢印A、周り方向を矢印Bで示し、径方向を矢印Cで示す。   The details of the indoor air pressure adjusting system and the indoor air pressure adjusting method according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings such as FIG. 1 which is a configuration diagram of the indoor air pressure adjusting system 10A shown as an example. 2 is a perspective view of the detection end portion 35 of the hollow tube 34 shown as an example, and FIG. 3 is a perspective view of the detection end portion 35 of the hollow tube 34 shown as another example. FIG. 1 shows a clean room 12 (airtight air conditioning room) from the side. 2 and 3, the length direction (one direction) is indicated by an arrow A, the surrounding direction is indicated by an arrow B, and the radial direction is indicated by an arrow C.

この実施形態では、建造物11近傍の屋外(所定の箇所)における空気の基準圧が基準圧計測器具18(中空管)によって伝達され、伝達された基準圧をモーターダンパ17(流量調節装置)の制御動作(たとえば、フィードバック制御やフィードフォワード制御)の基準値として使用し、建造物11の一角に施設されたクリーンルーム12の室内気圧を調節する。なお、この実施形態では室内気圧を基準圧よりも高い陽圧に保持する場合について説明するが、このシステムおよびこの方法は室内気圧を基準圧よりも低い負圧に保持する場合にも利用される。流量調節装置には、モーターダンパ17の他に、VAVユニットを使用することもできる。所定の箇所には、屋外のみならず建造物11の屋内も含まれる。   In this embodiment, the reference pressure of the air outdoors (predetermined location) near the building 11 is transmitted by the reference pressure measuring instrument 18 (hollow tube), and the transmitted reference pressure is transmitted to the motor damper 17 (flow rate adjusting device). Is used as a reference value for the control operation (for example, feedback control or feedforward control) to adjust the atmospheric pressure of the clean room 12 installed in one corner of the building 11. In this embodiment, the case where the indoor pressure is maintained at a positive pressure higher than the reference pressure will be described. However, this system and this method are also used when the indoor pressure is maintained at a negative pressure lower than the reference pressure. . In addition to the motor damper 17, a VAV unit can be used for the flow rate adjusting device. The predetermined location includes not only the outdoors but also the interior of the building 11.

室内気圧調節システム10A(室内気圧調節方法)は、建造物11の屋外の空気をクリーンルーム12に供給する給気ダクト13と、クリーンルーム12から建造物11の屋外に空気を排出する排気ダクト14と、クリーンルーム12に空気を給気する給気ファン15(給気装置)と、クリーンルーム12から空気を排気する排気ファン16(排気装置)と、モーターダンパ17および基準圧伝達装置18とを備えている。   The indoor air pressure adjusting system 10A (indoor air pressure adjusting method) includes an air supply duct 13 that supplies air outside the building 11 to the clean room 12, an exhaust duct 14 that discharges air from the clean room 12 to the outside of the building 11, An air supply fan 15 (air supply device) that supplies air to the clean room 12, an exhaust fan 16 (exhaust device) that exhausts air from the clean room 12, a motor damper 17, and a reference pressure transmission device 18 are provided.

クリーンルーム12は、天井19および床20と前後壁21,22および側壁23とに囲繞された所定容積の気密な空調空間を有し、天井19、床20、それら壁21〜23によって室外と仕切られている。クリーンルーム12には、室内の空気を部分的に排気する局所排気装置24が設置され、空気を室内に部分的に給気する局所給気装置25が設置されている。天井19には、給気ダクト13から供給される空気をクリーンルーム12に取り入れるための給気口(図示せず)が施設されている。側壁23には、クリーンルーム12の空気を排気ダクト14に取り入れるための排気口26が施設されている。前壁21には、クリーンルーム12に出入りするための扉27が設置されている。このシステム10Aでは、その稼働中にクリーンルーム12の室内気圧が厳密に管理され、室内気圧が基準圧よりも高い適正範囲の陽圧に保持されている。   The clean room 12 has a predetermined volume of air-tight air-conditioned space surrounded by the ceiling 19 and the floor 20, the front and rear walls 21, 22 and the side wall 23, and is partitioned from the outdoor by the ceiling 19, the floor 20, and the walls 21 to 23. ing. The clean room 12 is provided with a local exhaust device 24 that partially exhausts indoor air, and a local air supply device 25 that partially supplies air into the room. The ceiling 19 is provided with an air supply port (not shown) for taking the air supplied from the air supply duct 13 into the clean room 12. The side wall 23 is provided with an exhaust port 26 for taking the air of the clean room 12 into the exhaust duct 14. The front wall 21 is provided with a door 27 for entering and exiting the clean room 12. In this system 10A, the indoor air pressure of the clean room 12 is strictly managed during its operation, and the indoor air pressure is maintained at a positive pressure in an appropriate range higher than the reference pressure.

給気ダクト13は、クリーンルーム12の天井19に施設された給気口につながり、建造物11の屋外とクリーンルーム12とを連結している。排気ダクト14は、クリーンルーム12の側壁23に施設された排気口26につながり、建造物11の屋外とクリーンルーム12とを連結している。給気ファン15は、給気ダクト13に設置され、所定量の空気をクリーンルーム12に強制的に給気する。給気ファン15は、その稼働中における風量(風速)が設定されている。排気ファン16は、排気ダクト14に設置され、所定量の空気をクリーンルーム12から強制的に排気する。排気ファン16は、その稼働中における風量(風速)が設定されている。   The air supply duct 13 is connected to an air supply port provided on the ceiling 19 of the clean room 12, and connects the outside of the building 11 and the clean room 12. The exhaust duct 14 is connected to an exhaust port 26 provided on the side wall 23 of the clean room 12, and connects the outside of the building 11 and the clean room 12. The air supply fan 15 is installed in the air supply duct 13 and forcibly supplies a predetermined amount of air to the clean room 12. The air supply fan 15 is set with an air volume (wind speed) during operation. The exhaust fan 16 is installed in the exhaust duct 14 and forcibly exhausts a predetermined amount of air from the clean room 12. The exhaust fan 16 is set with an air volume (wind speed) during operation.

局所排気装置24は、塵や微粉、ガス等の不要物をクリーンルーム12の室内空気とともに吸引し、不要物を室外に排出する。局所排気装置24は、クリーンルーム12の一部から室外に空気を排出する局所排気ダクト28と、クリーンルーム12から所定量の空気を強制的に排気する局所排気ファン29とから形成されている。局所給気装置25は、クリーンルーム12に施設された器具や機械の熱を冷却し、器具や機械の熱による損傷を防止する。局所給気装置25は、クリーンルーム12の一部に空気を供給する局所給気ダクト30と、クリーンルーム12に所定量の空気を強制的に給気する局所給気ファン31とから形成されている。   The local exhaust device 24 sucks unnecessary materials such as dust, fine powder, and gas together with the indoor air of the clean room 12 and discharges the unnecessary materials to the outside. The local exhaust device 24 is formed of a local exhaust duct 28 that exhausts air from a part of the clean room 12 to the outside, and a local exhaust fan 29 that forcibly exhausts a predetermined amount of air from the clean room 12. The local air supply device 25 cools the heat of the appliances and machines installed in the clean room 12, and prevents damage due to the heat of the appliances and machines. The local air supply device 25 is formed of a local air supply duct 30 that supplies air to a part of the clean room 12 and a local air supply fan 31 that forcibly supplies a predetermined amount of air to the clean room 12.

クリーンルーム12では、稼働中の給排気ファン15,16のうちの少なくとも一方の風量変化、クリーンルーム12に設置された扉27の開閉、クリーンルーム12に設置された停止中の局所排気装置24または局所給気装置25の稼動、稼動中の局所排気装置24または局所給気装置25の停止のうちの少なくとも1つの変動原因によってその室内気圧が大きく変動する。   In the clean room 12, the air volume change of at least one of the air supply / exhaust fans 15 and 16 in operation, the opening / closing of the door 27 installed in the clean room 12, the local exhaust device 24 or the local air supply installed in the clean room 12 being stopped. The indoor atmospheric pressure largely fluctuates due to at least one variation cause of the operation of the device 25, the local exhaust device 24 in operation, or the stop of the local air supply device 25.

モーターダンパ17は、クリーンルーム12と排気ファン16との間に延びる排気ダクト14に設置されている。モーターダンパ17は、モジュトロールモーター(図示せず)と、モーターの駆動力によって旋回する旋回羽根32と、旋回羽根32の旋回によって開閉される空気流路(図示せず)とから形成されている。モーターダンパ17では、旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)によってクリーンルーム12から排気される空気の流量を調節する。モーターダンパ17には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。なお、モーターダンパ17がクリーンルーム12と給気ファン15との間に延びる給気ダクト13に設置されていてもよい。この場合は、旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)によってクリーンルーム12に給気される空気の流量を調節する。   The motor damper 17 is installed in an exhaust duct 14 that extends between the clean room 12 and the exhaust fan 16. The motor damper 17 is formed by a modular roll motor (not shown), a swirl vane 32 swirled by the driving force of the motor, and an air flow path (not shown) opened and closed by swiveling of the swirl vane 32. . The motor damper 17 adjusts the flow rate of the air exhausted from the clean room 12 according to the turning angle (damper opening) of the turning blade 32. The motor damper 17 can be a parallel blade damper or a counter blade damper. The motor damper 17 may be installed in the air supply duct 13 extending between the clean room 12 and the air supply fan 15. In this case, the flow rate of the air supplied to the clean room 12 is adjusted by the turning angle (damper opening) of the turning blade 32.

モーターダンパ17には、コントローラ33(制御装置)が附属している。コントローラ33は、演算処理を行う中央処理装置と各種データを記憶可能な主記憶装置(メモリ)とを有するマイクロプロセッサであり、微差圧センサ(微差圧計)を内蔵している。コントローラ33には、基準圧計測器具18が接続されている。コントローラ33には、図示はしていないが、各種データを入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている。   A controller 33 (control device) is attached to the motor damper 17. The controller 33 is a microprocessor having a central processing unit that performs arithmetic processing and a main storage device (memory) that can store various data, and incorporates a micro differential pressure sensor (micro differential pressure gauge). A reference pressure measuring instrument 18 is connected to the controller 33. Although not shown, the controller 33 is connected with an input device for inputting various data and a display device for input confirmation via an interface.

コントローラ33の主記憶装置には、クリーンルーム12の室内気圧を陽圧に保持するための適正な差圧(基準圧と室内気圧との差圧)の値(適正な範囲の差圧の値または適正な1つの差圧の値)が格納されている。適正な範囲の差圧の値または適正な1つの差圧の値は、入力装置によって任意に設定することができる。コントローラ33の主記憶装置には、クリーンルーム12の室内気圧とモーターダンパ17の空気流路を通過する空気量との相関関係が格納され、室内気圧に対応する空気量とその空気量に対応するモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)との相関関係が格納されている。   In the main storage device of the controller 33, an appropriate differential pressure (differential pressure between the reference pressure and the indoor pressure) for maintaining the indoor pressure of the clean room 12 at a positive pressure (a differential pressure value within an appropriate range or an appropriate value) A single differential pressure value) is stored. An appropriate range of differential pressure values or an appropriate differential pressure value can be arbitrarily set by the input device. The main storage device of the controller 33 stores the correlation between the indoor air pressure of the clean room 12 and the air amount passing through the air flow path of the motor damper 17, and the air amount corresponding to the indoor air pressure and the motor corresponding to the air amount. The correlation with the turning angle (damper opening) of the turning blade 32 of the damper 17 is stored.

コントローラ33は、モーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を所定の角度(所定の開度)に設定または所定の角度を変更する開度制御信号をダンパ17に出力することで、空気流路の開度を所定の開度に調節する。モーターダンパ17では、コントローラ33から出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、それによって旋回羽根32が所定角度に旋回する。旋回羽根32が所定角度に旋回すると、ダンパ17の空気流路の開度が変わり、空気流路を通過する空気の流量が変更されてクリーンルーム12の室内気圧が変わる。   The controller 33 sets the turning angle (damper opening) of the turning blade 32 of the motor damper 17 to a predetermined angle (predetermined opening) or outputs an opening control signal to the damper 17 that changes the predetermined angle. The opening of the air flow path is adjusted to a predetermined opening. In the motor damper 17, the modular roll motor is rotated by the opening degree control signal output from the controller 33, whereby the swirl blade 32 is swung at a predetermined angle. When the swirl vane 32 swivels at a predetermined angle, the opening degree of the air flow path of the damper 17 changes, the flow rate of air passing through the air flow path is changed, and the indoor air pressure of the clean room 12 changes.

基準圧計測器具18は、建造物11の屋外における気圧(基準圧)をコントローラ33に伝達する。基準圧計測器具18は、長さ方向へ長い長尺の中空管34から形成されている。中空管34は、径方向へ切断した切断面の形状(断面形状)が円形のホースであり、ゴム、ビニール、プラスチック、布等から作られ、曲げ延ばしが自在な可撓性を有する。なお、中空管34の断面形状には、円形の他に、四角形や多角形等のあらゆる形状が含まれる。中空管34は、検出端部35(前端部)と、検出端部35の反対側に位置する接続端部37(後端部)と、検出端部35と接続端部37との間に位置する中間部36とを有する。   The reference pressure measuring instrument 18 transmits the atmospheric pressure (reference pressure) of the building 11 outdoors to the controller 33. The reference pressure measuring instrument 18 is formed of a long hollow tube 34 that is long in the length direction. The hollow tube 34 is a hose having a circular cut shape (cross-sectional shape) cut in the radial direction, and is made of rubber, vinyl, plastic, cloth, or the like, and has flexibility to bend and extend. The cross-sectional shape of the hollow tube 34 includes all shapes such as a quadrangle and a polygon in addition to a circle. The hollow tube 34 includes a detection end 35 (front end), a connection end 37 (rear end) located on the opposite side of the detection end 35, and the detection end 35 and the connection end 37. And an intermediate portion 36 located therein.

検出端部35は、空気の基準圧の計測箇所となる建造物11近傍の屋外(建造物11の屋内も含む)に所定の設置手段を介してずれ動きがないように設置されている。中間部36は、コイル状に巻かれている。中間部36および接続端部37は、建造物11の屋内に設置されている。ただし、中間部36が建造物11の屋外に設置される場合もある。接続端部37は、コントローラ33に接続されている。中空管34は、検出端部35と中間部36と接続端部37とにおいてそれら部12〜14の内部における気圧の伝達が遮断されないように設置されている。   The detection end 35 is installed so as not to be displaced via a predetermined installation means in the outdoors near the building 11 (including the inside of the building 11), which is a location for measuring the air reference pressure. The intermediate part 36 is wound in a coil shape. The intermediate portion 36 and the connection end portion 37 are installed indoors in the building 11. However, the intermediate part 36 may be installed outside the building 11. The connection end 37 is connected to the controller 33. The hollow tube 34 is installed in the detection end portion 35, the intermediate portion 36, and the connection end portion 37 so that the transmission of atmospheric pressure inside these portions 12 to 14 is not blocked.

コントローラ33には、中空管34の他に、クリーンルーム12の室内気圧を伝達する中空管38が設置されている。中空管38は、その一端部39がクリーンルーム12の室内に設置手段を介してずれ動きがないように設置され、その他端部40がコントローラ33に接続されている。中空管38の一端部39や他端部40には、開口が形成されている。なお、クリーンルーム12の室内気圧を計測する他の方法として、中空管38を使用せずに、クリーンルーム12の室内に室圧センサを設置し、クリーンルーム12の室内気圧を室圧センサからコントローラ33に転送することもできる。   In addition to the hollow tube 34, the controller 33 is provided with a hollow tube 38 that transmits the indoor pressure of the clean room 12. The hollow tube 38 is installed such that one end 39 thereof is not displaced in the room of the clean room 12 via installation means, and the other end 40 is connected to the controller 33. Openings are formed in one end 39 and the other end 40 of the hollow tube 38. As another method for measuring the room pressure in the clean room 12, a room pressure sensor is installed in the clean room 12 without using the hollow tube 38, and the room pressure in the clean room 12 is transferred from the room pressure sensor to the controller 33. It can also be transferred.

図2に示す検出端部35は、周り方向へ延びる周側面41を有し、空気第1出入口42を備えている。図2の検出端部35の空気第1出入口42は、検出端部35の先端に形成された断面円形の開口である。図3に示す検出端部35は、閉塞先端43と、閉塞先端43から続く周側面44とを有し、偶数個(複数個)の空気第1出入口45A,45Bを備えている。図3の検出端部35の空気第1出入口45A,45Bは、周側面44に形成された周り方向へ長い矩形の開口である。図3では、周側面44において2つの空気第1出入口45A,45Bが周り方向へ互いに180°離間した位置に形成されている。   The detection end portion 35 shown in FIG. 2 has a peripheral side surface 41 extending in the circumferential direction, and includes an air first entrance 42. The first air inlet / outlet 42 of the detection end 35 in FIG. 2 is an opening having a circular cross section formed at the tip of the detection end 35. The detection end 35 shown in FIG. 3 has a closed tip 43 and a peripheral side surface 44 continuing from the closed tip 43, and is provided with an even number (a plurality) of air first inlets 45A and 45B. The first air inlets 45 </ b> A and 45 </ b> B of the detection end 35 in FIG. 3 are rectangular openings formed in the peripheral side surface 44 and extending in the circumferential direction. In FIG. 3, the two first air inlets 45 </ b> A and 45 </ b> B are formed at positions 180 ° apart from each other in the circumferential direction on the peripheral side surface 44.

なお、図3の検出端部35における空気第1出入口45A,45Bの数に特に限定はなく、4つ以上の出入口が周側面44に形成されていてもよい。接続端部37は、空気第2出入口(図示せず)を備えている。空気第2出入口は、図2の検出端部35の空気第1出入口42と同様に、接続端部37の先端に形成された断面円形の開口である。   The number of the air first entrances 45A and 45B at the detection end 35 in FIG. 3 is not particularly limited, and four or more entrances may be formed on the peripheral side surface 44. The connection end portion 37 includes a second air inlet / outlet (not shown). The air second doorway is an opening having a circular cross section formed at the tip of the connection end portion 37, similarly to the air first doorway 42 of the detection end portion 35 of FIG. 2.

本発明では、図3に示す空気第1出入口45A,45Bを採用することが好ましい。図2に示すように、空気第1出入口42が検出端部35の先端に形成された円形の開口である場合、空気第1出入口42が屋外に吹く風の影響を直接受け、不規則かつ急激に変動する気圧によって大きく変化する量の空気が空気第1出入口42に出入可能であり、空気第1出入口42に接する空気の気圧が大きく変化するが、図3に示すように、空気第1出入口45A,45Bが検出端部35の周側面44に形成された矩形の開口である場合、第1出入口45A,45Bが風の影響を直接受けることはなく、第1出入口45A,45Bにおける風の影響を緩和することができ、屋外の気圧が不規則かつ急激に変動したとしても、第1出入口45A,45Bに出入する空気の量が大きく変動することはなく、第1出入口45A,45Bに接する空気の気圧が大きく変化することはないからである。   In the present invention, it is preferable to employ the first air inlets 45A and 45B shown in FIG. As shown in FIG. 2, when the first air inlet / outlet 42 is a circular opening formed at the tip of the detection end portion 35, the first air inlet / outlet 42 is directly affected by the wind blown outdoors, and is irregular and sudden. The amount of air that varies greatly with the air pressure that fluctuates in the air can enter and exit the first air inlet / outlet 42, and the air pressure of the air in contact with the first air inlet / outlet 42 varies greatly, but as shown in FIG. When 45A and 45B are rectangular openings formed on the peripheral side surface 44 of the detection end portion 35, the first entrances 45A and 45B are not directly affected by the wind, and the influence of the wind at the first entrances 45A and 45B. Even if the outdoor atmospheric pressure fluctuates irregularly and suddenly, the amount of air entering and exiting the first doorway 45A, 45B does not fluctuate greatly and is in contact with the first doorway 45A, 45B. It is because no care of the atmospheric pressure is greatly changed.

室内気圧調節システム10Aおよびシステム10Aによって実施される室内気圧調節方法では、伝達された中空管34内部(接続端部37内)の静圧(基準圧)をモーターダンパ17の制御動作の基準値として使用する。中空管34は、その検出端部35の空気第1出入口42,45A,45Bにおいて外気の気圧が作用し、それにともなって接続端部37の空気第2出入口に気圧が伝達されることで、中空管34内部における静圧が所定圧を中心としてプラス側またはマイナス側に変化し、計測される基準圧が所定圧を中心としてプラス側またはマイナス側に変化する。   In the indoor air pressure adjusting system 10A and the indoor air pressure adjusting method implemented by the system 10A, the transmitted static pressure (reference pressure) inside the hollow tube 34 (in the connection end 37) is used as a reference value for the control operation of the motor damper 17. Use as In the hollow tube 34, the atmospheric pressure of the outside air acts at the first air inlet / outlet 42, 45A, 45B of the detection end 35, and the atmospheric pressure is transmitted to the second air inlet / outlet of the connection end 37 accordingly. The static pressure inside the hollow tube 34 changes to the plus side or the minus side with the predetermined pressure as the center, and the measured reference pressure changes to the plus side or the minus side with the predetermined pressure as the center.

なお、中空管34の検出端部35を屋外に設置した場合、屋外に吹く風の影響によって検出端部35近傍の気圧が常時変動する。たとえば、検出端部35近傍の気圧が接続端部37との間において±10〜150Paの範囲において変動すると、空気第1出入口42,45A,45Bに接する空気の気圧が大きく変化し、中空管34内部の静圧の振幅の変動が大きくなるとともに、中空管34内部の静圧の周期が短くなり、中空管34内部の静圧が不安定となって計測される基準圧が不規則かつ急激に変化する。基準圧が不規則かつ急激に変化すると、モーターダンパ17の制御動作の誤作動や過作動が起こる場合がある。   In addition, when the detection end part 35 of the hollow tube 34 is installed outdoors, the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end part 35 constantly varies due to the influence of the wind blowing outdoors. For example, when the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end portion 35 fluctuates in the range of ± 10 to 150 Pa with the connection end portion 37, the air pressure in contact with the first air inlet / outlet 42, 45 </ b> A, 45 </ b> B greatly changes, and the hollow tube The variation in the amplitude of the static pressure inside the tube 34 becomes large, the cycle of the static pressure inside the hollow tube 34 becomes short, the static pressure inside the hollow tube 34 becomes unstable, and the reference pressure measured is irregular. And it changes rapidly. If the reference pressure changes irregularly and suddenly, a malfunction or overoperation of the control operation of the motor damper 17 may occur.

室内気圧調節システム10Aおよびこのシステム10Aによって実施される室内気圧調節方法では、中空管34の圧力抵抗(中空管34の内周面46と中空管34内部の空気との摩擦抵抗)により、中空管34内部の静圧の振幅変動が検出端部35から接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、中空管34内部の静圧の周期が検出端部35から接続端部37に向かって次第に長くなり、屋外に吹く風の影響による気圧変動に対して中空管34内部の静圧が安定化する。したがって、中空管34では、気圧変動に対して検出端部35や端部35近傍の中間部36における静圧が不安定となったとしても、接続端部37や端部37近傍の中間部36における静圧が安定し、安定した基準圧が中空管34からコントローラ33に伝達される。また、図3に示す空気第1出入口45A,45Bを採用することにより、接続端部37において計測される基準圧を一層安定化させることができる。   In the indoor air pressure adjusting system 10A and the indoor air pressure adjusting method implemented by this system 10A, the pressure resistance of the hollow tube 34 (the friction resistance between the inner peripheral surface 46 of the hollow tube 34 and the air inside the hollow tube 34). The variation in the static pressure amplitude inside the hollow tube 34 gradually decreases from the detection end 35 toward the connection end 37, and the period of static pressure inside the hollow tube 34 changes from the detection end 35 to the connection end 37. The static pressure inside the hollow tube 34 is stabilized against fluctuations in atmospheric pressure due to the influence of wind blowing outdoors. Therefore, in the hollow tube 34, even if the static pressure at the detection end 35 and the intermediate portion 36 near the end 35 becomes unstable with respect to atmospheric pressure fluctuation, the connection end 37 and the intermediate portion near the end 37. The static pressure at 36 is stabilized, and a stable reference pressure is transmitted from the hollow tube 34 to the controller 33. Moreover, the reference | standard pressure measured in the connection edge part 37 can be stabilized further by employ | adopting air 1st entrance-and-exit 45A, 45B shown in FIG.

図3の検出端部35の空気第1出入口45A,45Bは、その開口面積が10〜20mmの範囲にある。空気第1出入口45A,45Bの開口面積が10mm未満では、出入口45A,45Bにおける空気の出入が困難となり、基準圧を計測することができない場合がある。空気第1出入口45A,45Bの開口面積が20mmを超過すると、出入口45A,45Bが風の影響を受け易く、不規則かつ急激に変動する気圧によって大きく変化する量の空気が出入口45A,45Bに出入可能となり、空気の気圧の変化が出入口45A,45Bに大きく作用し、出入口45A,45Bにおいて風の影響を緩和することが難しい。 The opening areas of the first air inlets 45A and 45B of the detection end 35 in FIG. 3 are in the range of 10 to 20 mm 2 . When the opening area of the first air inlet / outlet 45A, 45B is less than 10 mm 2, it is difficult to enter / exit air at the inlet / outlet 45A, 45B, and the reference pressure may not be measured. If the opening area of the first air inlet / outlet 45A, 45B exceeds 20 mm 2 , the inlet / outlet 45A / 45B is easily affected by the wind, and an amount of air that greatly changes due to irregular and suddenly changing atmospheric pressure enters the inlet / outlet 45A / 45B. It becomes possible to enter and exit, and a change in air pressure acts greatly on the entrances 45A and 45B, and it is difficult to mitigate the influence of wind at the entrances 45A and 45B.

中空管34は、その検出端部35(端部35の先端)から接続端部37(端部37の後端)までの長さが50〜500mの範囲にある。長さが50m未満では、中空管34の圧力抵抗が十分に作用せず、検出端部35近傍の気圧の変動にともなう中空管34内部の静圧の振幅変動を検出端部35から接続端部37に向かって小さくすることができず、中空管34内部の静圧の周期を検出端部35から接続端部37に向かって長くすることができない。その結果、気圧変動に対して中空管34内部の静圧を安定化させることができない。長さが500mを超過すると、長さがそれ以上長くなったとしても、中空管34内部の静圧の振幅変動を検出端部35から接続端部37に向かって小さくする効果が向上せず、中空管34内部の静圧の周期を検出端部35から接続端部37に向かって長くする効果が向上しないばかりか、中空管35が嵩張り、設置箇所において中空管35が場所を取り、邪魔になる場合がある。   The hollow tube 34 has a length in the range of 50 to 500 m from the detection end 35 (the tip of the end 35) to the connection end 37 (the rear end of the end 37). If the length is less than 50 m, the pressure resistance of the hollow tube 34 does not act sufficiently, and the fluctuation of the static pressure amplitude inside the hollow tube 34 due to the fluctuation of the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end 35 is connected from the detection end 35. It cannot be reduced toward the end portion 37, and the period of static pressure inside the hollow tube 34 cannot be increased from the detection end portion 35 toward the connection end portion 37. As a result, the static pressure inside the hollow tube 34 cannot be stabilized against atmospheric pressure fluctuations. If the length exceeds 500 m, the effect of reducing the amplitude fluctuation of the static pressure inside the hollow tube 34 from the detection end 35 toward the connection end 37 is not improved even if the length is further increased. The effect of increasing the period of static pressure inside the hollow tube 34 from the detection end portion 35 toward the connection end portion 37 is not only improved, but the hollow tube 35 is bulky and the hollow tube 35 is located at the installation location. May get in the way.

中空管34は、検出端部35と中間部36と接続端部37との内径L(径方向の直径)が4〜20mmの範囲にある。それら部35〜37の内径Lが4mm未満では、中空管34内部の圧力抵抗が大きくなり過ぎ、検出端部35近傍の気圧の変動にともなう中空管34内部の静圧の振幅変動が小さくなり過ぎるとともに、中空管34内部の静圧の周期が長くなり過ぎ、検出端部35近傍の気圧の変動にともなう適正な基準圧を計測することができない。それら部35〜37の内径Lが20mmを超過すると、中空管34内部の圧力抵抗が小さくなり、検出端部35近傍の気圧の変動にともなう中空管34内部の静圧の振幅変動を検出端部35から接続端部37に向かって小さくすることができず、中空管34内部の静圧の周期を検出端部35から接続端部37に向かって長くすることができない。その結果、気圧変動に対して中空管34内部の静圧を安定化させることができない。   The hollow tube 34 has an inner diameter L (diameter in the radial direction) of the detection end portion 35, the intermediate portion 36, and the connection end portion 37 in the range of 4 to 20 mm. If the inner diameter L of these portions 35 to 37 is less than 4 mm, the pressure resistance inside the hollow tube 34 becomes too large, and the fluctuation in the amplitude of the static pressure inside the hollow tube 34 due to the change in the atmospheric pressure near the detection end 35 is small. At the same time, the period of the static pressure inside the hollow tube 34 becomes too long, and it is impossible to measure an appropriate reference pressure that accompanies fluctuations in atmospheric pressure in the vicinity of the detection end 35. When the inner diameter L of these portions 35 to 37 exceeds 20 mm, the pressure resistance inside the hollow tube 34 becomes small, and fluctuations in the amplitude of the static pressure inside the hollow tube 34 due to fluctuations in atmospheric pressure near the detection end 35 are detected. It cannot be reduced from the end portion 35 toward the connection end portion 37, and the period of static pressure inside the hollow tube 34 cannot be increased from the detection end portion 35 toward the connection end portion 37. As a result, the static pressure inside the hollow tube 34 cannot be stabilized against atmospheric pressure fluctuations.

図4,5は、基準圧計測器具18(中空管34)を利用して計測した圧力(Pa)の時間的な変化を表す図である。それら図では、縦軸に圧力(Pa)が表され、横軸に経過時間(秒)が表されている。なお、それら図では、中空管34を利用した圧力の時間的な変化を実線で示し、中空管34を利用しない圧力の時間的な変化を点線で示す。また、図4は、中空管34の検出端部35から接続端部37までの長さが100mの場合の圧力(静圧)の時間的な変化を表し、図5は、中空管34の検出端部35から接続端部37までの長さが200mの場合の圧力(静圧)の時間的な変化を表している。   4 and 5 are diagrams showing temporal changes in pressure (Pa) measured using the reference pressure measuring instrument 18 (hollow tube 34). In these figures, the vertical axis represents pressure (Pa), and the horizontal axis represents elapsed time (seconds). In these figures, the temporal change in pressure using the hollow tube 34 is indicated by a solid line, and the temporal change in pressure not using the hollow tube 34 is indicated by a dotted line. 4 shows a temporal change in pressure (static pressure) when the length from the detection end 35 to the connection end 37 of the hollow tube 34 is 100 m, and FIG. This represents a temporal change in pressure (static pressure) when the length from the detection end 35 to the connection end 37 is 200 m.

図4,5に示す圧力変化(静圧変化)は、検出端部35を建造物11近傍の屋外に設置し、中間部36および接続端部37を屋内に設置するとともに、接続端部37に微差圧計を設置して測定した。図4,5から分かるように、中空管34を利用した場合では、中空管34を利用しない場合と比較し、中空管34内部の静圧の振幅変動が小さく、静圧の周期が長くなっている。したがって、中空管34を利用することによって、気圧の変動に対して中空管34内部の静圧を確実に安定化させることができ、計測した基準圧の不規則かつ急激な変化を確実に防ぐことができる。   4 and 5, the detection end 35 is installed outdoors in the vicinity of the building 11, the intermediate part 36 and the connection end 37 are installed indoors, and the connection end 37 Measurement was performed by installing a differential pressure gauge. As can be seen from FIGS. 4 and 5, when the hollow tube 34 is used, the amplitude fluctuation of the static pressure inside the hollow tube 34 is small and the period of the static pressure is smaller than when the hollow tube 34 is not used. It is getting longer. Therefore, by utilizing the hollow tube 34, the static pressure inside the hollow tube 34 can be reliably stabilized against fluctuations in atmospheric pressure, and irregular and sudden changes in the measured reference pressure can be ensured. Can be prevented.

図6は、室内気圧コントロールの一例を説明するためのフローチャートである。このシステム10Aにおいて、クリーンルーム12の室内気圧を変動させる変動原因の非発生時における室内気圧のコントロールを説明すると、以下のとおりである。なお、入力装置を介してコントローラ33に適切な範囲の差圧(基準圧と室内気圧との差圧)が入力されたものとする。クリーンルーム12における変動原因の非発生時とは、扉27が閉鎖され、給気ファン15や排気ファン16が初期設定の風量で正常に稼動し、局所排気装置24や局所給気装置25が停止または局所排気装置24や局所給気装置25が正常に稼動している状態である。   FIG. 6 is a flowchart for explaining an example of indoor pressure control. In this system 10A, control of the indoor pressure when the cause of the fluctuation that causes the indoor pressure of the clean room 12 to fluctuate will be described as follows. It is assumed that an appropriate range of differential pressure (differential pressure between the reference pressure and the room pressure) is input to the controller 33 via the input device. When the cause of fluctuation in the clean room 12 does not occur, the door 27 is closed, the air supply fan 15 and the exhaust fan 16 operate normally with the initial air volume, and the local exhaust device 24 and the local air supply device 25 are stopped or The local exhaust device 24 and the local air supply device 25 are operating normally.

システム10Aが起動すると、モーターダンパ17や給気ファン15、排気ファン16が稼働する。給気ファン15から給気された空気は、給気ダクト13を通ってクリーンルーム12に流入した後、排気ダクト14を通って排気ファン16に流入し、排気ファン16から排気ダクト14を通って屋外に排気される。また、クリーンルーム12では、局所排気装置24が稼動すると、室内の空気が局所排気ダクト28を通って局所排気ファン29に流入し、局所排気ファン29から局所排気ダクト28を通って室外に排気される。クリーンルーム12では、局所給気装置25が稼動すると、室外の空気が局所給気ダクト30を通って局所給気ファン31に流入し、局所給気ファン31から局所給気ダクト30を通って室内に給気される。   When the system 10A is activated, the motor damper 17, the air supply fan 15, and the exhaust fan 16 are operated. The air supplied from the air supply fan 15 flows into the clean room 12 through the air supply duct 13, then flows into the exhaust fan 16 through the exhaust duct 14, and from the exhaust fan 16 through the exhaust duct 14 to the outdoors. Exhausted. In the clean room 12, when the local exhaust device 24 is operated, indoor air flows into the local exhaust fan 29 through the local exhaust duct 28, and is exhausted from the local exhaust fan 29 through the local exhaust duct 28 to the outside of the room. . In the clean room 12, when the local air supply device 25 operates, outdoor air flows into the local air supply fan 31 through the local air supply duct 30, and enters the room from the local air supply fan 31 through the local air supply duct 30. It is aired.

このシステム10A(方法)では、屋外の基準圧(外気圧)が中空管34からコントローラ33の微差圧センサに伝達されるとともに、クリーンルーム12の室内気圧が中空管38からコントローラ33の微差圧センサに伝達される。屋外の基準圧は、中空管34から微差圧センサ(微差圧計)にリアルタイムかつ連続的に伝達され、クリーンルーム12の室内気圧は、中空管38から微差圧センサにリアルタイムかつ連続的に伝達される。微差圧センサは、室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムかつ連続的に計測し(たとえば、基準圧から室内気圧を減算、または、室内気圧から基準圧を減算)、計測した差圧をコントローラ33に転送する(差圧計測手段)(S−1)。コントローラ33は、微差圧センサから転送された差圧が適正な範囲内(たとえば、適正な差圧の範囲が+5〜+10Pa)にあるかを判断する(差圧判断手段)(S−2)。または、差圧が適正な値(たとえば、適正な値が+7Pa)にあるかを判断する(差圧判断手段)(S−2)。   In this system 10A (method), an outdoor reference pressure (external pressure) is transmitted from the hollow tube 34 to the fine differential pressure sensor of the controller 33, and the indoor pressure of the clean room 12 is reduced from the hollow tube 38 to the fine pressure of the controller 33. It is transmitted to the differential pressure sensor. The outdoor reference pressure is continuously transmitted from the hollow tube 34 to the micro differential pressure sensor (micro differential pressure gauge) in real time, and the indoor pressure in the clean room 12 is continuously transmitted from the hollow tube 38 to the micro differential pressure sensor in real time. Is transmitted to. The differential pressure sensor measures the differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure in real time and continuously (for example, subtracts the indoor pressure from the reference pressure or subtracts the reference pressure from the indoor pressure). Transfer to the controller 33 (differential pressure measuring means) (S-1). The controller 33 determines whether or not the differential pressure transferred from the fine differential pressure sensor is within an appropriate range (for example, an appropriate differential pressure range is +5 to +10 Pa) (differential pressure determination means) (S-2). . Alternatively, it is determined whether or not the differential pressure is an appropriate value (for example, an appropriate value is +7 Pa) (differential pressure determining means) (S-2).

コントローラ33は、差圧判断手段によって判断した結果、差圧が適正な差圧の範囲内にある場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+7Paであって、差圧の適正な範囲が+5〜+10Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の範囲内にある。)、または、差圧が適正な差圧の値である場合(たとえば、準圧から室内気圧を減算した差圧が+7Paであって、差圧の適正な値が+7Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の値である。)、モーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を現状のまま維持する。コントローラ33は、システム10A(方法)を停止するかを判断する(S−3)。システム10Aを続行する場合、コントローラ33は、ステップ1(S−1)に戻り、クリーンルーム12の室内気圧をリアルタイムかつ連続的に計測し、基準圧をリアルタイムかつ連続的に計測し、ステップ1からの手順を繰り返す。   As a result of the determination by the differential pressure determination means, the controller 33 determines that the differential pressure is within the appropriate differential pressure range (for example, the differential pressure obtained by subtracting the indoor pressure from the reference pressure is +7 Pa, and the appropriate differential pressure is When the range is +5 to +10 Pa, the measured differential pressure is within the appropriate differential pressure range), or when the differential pressure is the proper differential pressure value (for example, subtracting the room pressure from the standard pressure) When the measured differential pressure is +7 Pa and the appropriate value of the differential pressure is +7 Pa, the measured differential pressure is the appropriate differential pressure value.), The turning angle of the swirl vane 32 of the motor damper 17 (damper opening) Degree) as is. The controller 33 determines whether to stop the system 10A (method) (S-3). When continuing the system 10A, the controller 33 returns to step 1 (S-1), measures the indoor pressure of the clean room 12 in real time and continuously, measures the reference pressure in real time and continuously, Repeat the procedure.

ステップ2(S−2)においてコントローラ33は、差圧判断手段によって判断した結果、差圧が適正な差圧の範囲内にない場合、または、差圧が適正な差圧の値でない場合、基準圧に対してクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内になるように(差圧が適正な差圧の範囲内になるように、または、差圧が適正な差圧の値になるように)、モーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を微調節するフィードバック制御(制御動作)を実行する。   In step 2 (S-2), if the controller 33 determines that the differential pressure is not within the range of the appropriate differential pressure, or if the differential pressure is not the proper differential pressure value, the reference is determined. So that the atmospheric pressure in the clean room 12 is within the range of the appropriate positive pressure with respect to the pressure (the differential pressure is within the proper differential pressure range, or the differential pressure is the proper differential pressure value) As described above, feedback control (control operation) for finely adjusting the turning angle (damper opening) of the turning blade 32 of the motor damper 17 is executed.

具体的には、基準圧に対して室内気圧が適正な陽圧未満である場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+3Paであって、差圧の適正な範囲が+5〜+10Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の範囲内にない。)、コントローラ33は、計測した差圧が適正な差圧の範囲内となる室内気圧を決定し、決定した室内気圧に対応する空気流路を通過する空気量を主記憶装置から抽出するとともに、抽出した空気量に対応するモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を主記憶装置から抽出する。次に、コントローラ33は、モーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度を、抽出した角度(所定の開度)にする開度制御信号をダンパ17に出力し(S−4)、ダンパ17の空気流路の開度を所定の開度に調節しつつ、差圧を適正な差圧の範囲内にする(流量調節手段)。また、基準圧に対して室内気圧が適正な陽圧値でない場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+3Paであって、差圧の適正な値が+7Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の値でない。)、コントローラ33は、ダンパ17の空気流路の開度を所定の開度に調節しつつ、差圧を適正な差圧の値にする(流量調節手段)。   Specifically, when the atmospheric pressure is less than the appropriate positive pressure with respect to the reference pressure (for example, the differential pressure obtained by subtracting the indoor atmospheric pressure from the reference pressure is +3 Pa, and the appropriate differential pressure range is +5 to +10 Pa. In the case where the measured differential pressure is not within the range of the appropriate differential pressure, the controller 33 determines the indoor pressure at which the measured differential pressure is within the proper differential pressure range, The amount of air passing through the corresponding air flow path is extracted from the main storage device, and the turning angle (damper opening) of the turning blade 32 of the motor damper 17 corresponding to the extracted air amount is extracted from the main storage device. Next, the controller 33 outputs to the damper 17 an opening degree control signal for setting the turning angle of the turning blade 32 of the motor damper 17 to the extracted angle (predetermined opening degree) (S-4). While adjusting the opening degree of the flow path to a predetermined opening degree, the differential pressure is set within an appropriate differential pressure range (flow rate adjusting means). Also, when the indoor pressure is not an appropriate positive pressure value with respect to the reference pressure (for example, when the differential pressure obtained by subtracting the indoor pressure from the reference pressure is +3 Pa and the appropriate value of the differential pressure is +7 Pa) The controller 33 adjusts the opening of the air flow path of the damper 17 to a predetermined opening, and sets the differential pressure to an appropriate differential pressure (flow rate adjustment). means).

室内気圧が負圧である場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が−2Paであって、差圧の適正な範囲が+5〜+10Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の範囲内にない。または、差圧の適正な値が+7Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の値でない。)、コントローラ33は、ダンパ17の空気流路の開度を所定の開度に調節しつつ、差圧を適正な差圧の値にする(流量調節手段)。基準圧に対して室内気圧が適正な陽圧を超過している場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+12Paであって、差圧の適正な範囲が+5〜+10Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の範囲内にない。または、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+12Paであって、差圧の適正な値が+7Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の値でない。)、コントローラ33は、ダンパ17の空気流路の開度を所定の開度に調節しつつ、差圧を適正な差圧の値にする(流量調節手段)。   When the atmospheric pressure is negative (for example, when the differential pressure obtained by subtracting the indoor atmospheric pressure from the reference pressure is −2 Pa and the appropriate range of the differential pressure is +5 to +10 Pa, the measured differential pressure is an appropriate difference. If the pressure difference is not within the range, or if the appropriate value of the differential pressure is +7 Pa, the measured differential pressure is not the appropriate differential pressure value.), The controller 33 determines the opening of the air flow path of the damper 17. While adjusting to a predetermined opening, the differential pressure is set to an appropriate differential pressure value (flow rate adjusting means). When the indoor pressure exceeds the appropriate positive pressure with respect to the reference pressure (for example, when the differential pressure obtained by subtracting the indoor pressure from the reference pressure is +12 Pa, and the appropriate range of the differential pressure is +5 to +10 Pa. The measured differential pressure is not within the appropriate differential pressure range, or the differential pressure obtained by subtracting the room pressure from the reference pressure is +12 Pa, and the appropriate differential pressure value is +7 Pa. Is not an appropriate differential pressure value.), The controller 33 adjusts the opening of the air flow path of the damper 17 to a predetermined opening while setting the differential pressure to an appropriate differential pressure (flow rate adjusting means). .

モーターダンパ17では、コントローラ33から出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、それによって旋回羽根32が所定角度に旋回する(室内気圧が適正な陽圧未満または負圧である場合は、旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)が小さくなり、室内気圧が適正な陽圧を超過している場合は、旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)が大きくなる)。旋回羽根32が所定角度に旋回すると、モーターダンパ17の空気流路の開度が変わり、空気流路を通過する空気の流量が変更され(S−6)、それによってクリーンルーム12の室内気圧が基準圧よりも高い適正な陽圧に保持される。   In the motor damper 17, the modular roll motor is rotated by the opening degree control signal output from the controller 33, so that the swirl vane 32 swivels at a predetermined angle (in the case where the indoor pressure is less than a proper positive pressure or a negative pressure) When the swirl angle (damper opening) of the swirl vane 32 decreases and the room pressure exceeds the appropriate positive pressure, the swivel angle (damper opening) of the swirl vane 32 increases). When the swirl vane 32 swivels at a predetermined angle, the opening degree of the air flow path of the motor damper 17 is changed, and the flow rate of the air passing through the air flow path is changed (S-6). It is maintained at a proper positive pressure higher than the pressure.

なお、中空管34から常時伝達される基準圧に対してコントローラ33は、クリーンルーム12の室内気圧が常時適正な陽圧になるように(差圧が適正な差圧の範囲内になるように、または、差圧が適正な差圧の値になるように)、モーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度を調節する。クリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧に保持された後、コントローラ33は、システム10A(方法)を停止するかを判断する(S−3)。システム10Aを続行する場合、コントローラ33は、ステップ1(S−1)に戻り、クリーンルーム12の室内気圧をリアルタイムかつ連続的に計測し、基準圧をリアルタイムかつ連続的に計測し、ステップ1からの手順を繰り返す。   It should be noted that the controller 33 adjusts the atmospheric pressure of the clean room 12 to an appropriate positive pressure at all times with respect to the reference pressure constantly transmitted from the hollow tube 34 (so that the differential pressure is within the appropriate differential pressure range). Or the turning angle of the turning blade 32 of the motor damper 17 is adjusted so that the differential pressure becomes an appropriate differential pressure value. After the room pressure in the clean room 12 is maintained at an appropriate positive pressure, the controller 33 determines whether to stop the system 10A (method) (S-3). When continuing the system 10A, the controller 33 returns to step 1 (S-1), measures the indoor pressure of the clean room 12 in real time and continuously, measures the reference pressure in real time and continuously, Repeat the procedure.

室内気圧調節システム10Aおよび室内気圧調節方法は、中空管38から伝達されたクリーンルーム12の室内気圧と中空管34から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、コントローラ33(モーターダンパ17)が基準圧に対する室内気圧を適正な陽圧に保持(計測した差圧を適正な差圧の範囲内に保持、または、計測した差圧を適正な差圧の値に保持)するために空気の排気量を調節するから、クリーンルーム12の室内気圧を基準圧よりも高い適正な陽圧に常時保持することができる。   The indoor air pressure adjusting system 10A and the indoor air pressure adjusting method measure the differential pressure between the indoor air pressure of the clean room 12 transmitted from the hollow tube 38 and the reference pressure transmitted from the hollow tube 34, and the measured indoor air pressure and the reference Based on the pressure difference, the controller 33 (motor damper 17) keeps the room pressure relative to the reference pressure at a proper positive pressure (holds the measured pressure difference within the range of the appropriate pressure difference or measures the measured difference In order to maintain the pressure at an appropriate differential pressure value), the amount of air exhausted is adjusted, so that the room pressure of the clean room 12 can always be maintained at an appropriate positive pressure higher than the reference pressure.

室内気圧調節システム10Aおよび室内気圧調節方法は、建造物11の屋外における空気の基準圧の計測に一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管23が使用され、風の影響によって空気第1出入口42,45A,45Bを有する検出端部35の近傍の気圧が変動したとしても、中空管34の内部の圧力抵抗によって気圧の変動に対する中空管34内部における静圧の振幅の変動が検出端部35から接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、気圧の変動に対する中空管34内部における静圧の周期が検出端部35から接続端部37に向かって次第に長くなるから、気圧の変動に対して中空管34内部の静圧を安定化させることができ、基準圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができるとともに、コントローラ33(モーターダンパ17)に安定した基準圧を伝達することができる。   In the indoor air pressure adjustment system 10A and the indoor air pressure adjustment method, a long and flexible hollow tube 23 that is long in one direction is used for measurement of the air reference pressure outside the building 11, and the air is influenced by the wind. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end 35 having the first entrances 42, 45 </ b> A, 45 </ b> B fluctuates, fluctuations in the amplitude of static pressure inside the hollow tube 34 with respect to fluctuations in atmospheric pressure due to pressure resistance inside the hollow pipe 34. Is gradually reduced from the detection end 35 toward the connection end 37, and the period of static pressure inside the hollow tube 34 with respect to fluctuations in atmospheric pressure gradually increases from the detection end 35 toward the connection end 37. The static pressure inside the hollow tube 34 can be stabilized against fluctuations in the atmospheric pressure, and irregular and sudden changes in the reference pressure can be prevented. It is possible to transmit the stable reference pressure path 17).

室内気圧調節システム10Aおよび室内気圧調節方法は、空気第1出入口42,45A,45Bを有する検出端部35の近傍において気圧が変動したとしても、中空管34によって安定した基準圧が伝達されるから、不規則かつ急激に変化する基準圧を使用することによるモーターダンパ17の調節動作(制御動作)の誤作動や過作動を防止することができるとともに、基準圧に対するクリーンルーム12の室内気圧を適正な陽圧に確実に保持することができ、外部からクリーンルーム12への空気の流入を防ぐことができる。   In the indoor air pressure adjusting system 10A and the indoor air pressure adjusting method, even if the air pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion 35 having the first air inlet / outlet 42, 45A, 45B, a stable reference pressure is transmitted by the hollow tube 34. Therefore, it is possible to prevent malfunction and overoperation of the adjustment operation (control operation) of the motor damper 17 by using the irregular and abruptly changing reference pressure, and the proper room pressure in the clean room 12 with respect to the reference pressure. The positive pressure can be reliably maintained, and the inflow of air from the outside to the clean room 12 can be prevented.

次に、クリーンルーム12の室内気圧を変動させる変動原因の発生時における室内気圧のコントロールの一例を説明すると、以下のとおりである。なお、変動原因が発生する以前におけるクリーンルーム12の室内気圧は、コントローラ33によって適正な陽圧に保持されている。また、発生した変動原因がなくなった場合、上述した変動原因の非発生時における室内気圧のコントロールによってクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内に保持される。   Next, an example of control of the indoor pressure at the time of occurrence of a fluctuation cause that changes the indoor pressure of the clean room 12 will be described as follows. Note that the indoor pressure in the clean room 12 before the cause of the fluctuation is maintained at a proper positive pressure by the controller 33. In addition, when the cause of the fluctuation that has occurred is eliminated, the indoor pressure in the clean room 12 is maintained within a proper positive pressure range by controlling the indoor pressure when the cause of fluctuation described above is not occurring.

給排気ファン15,16が稼働中に、給気ファン15の風量が初期設定のそれよりも増加し、または、排気ファン16の風量が初期設定のそれよりも減少し、クリーンルーム12の室内気圧が基準圧に対して必要以上に陽圧になった場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+20Paであって、差圧の適正な範囲が+5〜+10Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の範囲内にない。または、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+20Paであって、差圧の適正な値が+7Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の値でない。)、コントローラ33は、計測した差圧が適正な差圧の範囲内となる室内気圧または計測した差圧が適正な差圧の値となる室内気圧を決定し、クリーンルーム12の室内気圧が決定した室内気圧になるようにモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17では、そのダンパ開度が大きくなり、空気流路を通過する空気の流量(排気量)が大きくなってクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内または適正な陽圧の値に保持される。   While the air supply / exhaust fans 15 and 16 are in operation, the air volume of the air supply fan 15 increases from that of the initial setting, or the air volume of the exhaust fan 16 decreases than that of the initial setting, and the indoor air pressure of the clean room 12 is reduced. When the positive pressure is more than necessary with respect to the reference pressure (for example, when the differential pressure obtained by subtracting the indoor pressure from the reference pressure is +20 Pa and the appropriate range of the differential pressure is +5 to +10 Pa, the measured difference The pressure is not within the range of the appropriate differential pressure, or if the differential pressure obtained by subtracting the indoor pressure from the reference pressure is +20 Pa and the appropriate value of the differential pressure is +7 Pa, the measured differential pressure is the appropriate difference. The controller 33 determines the indoor pressure at which the measured differential pressure is within the appropriate differential pressure range or the indoor pressure at which the measured differential pressure is at the proper differential pressure, and Room whose room pressure is determined So that the pressure to adjust the turning angle of the swirl vanes 32 of the motor damper 17 (damper opening) (flow rate control means). In the motor damper 17, the damper opening increases, the flow rate of air passing through the air flow path (displacement amount) increases, and the room pressure of the clean room 12 is within a proper positive pressure range or a proper positive pressure value. Retained.

給排気ファン15,16が稼働中に、給気ファン15の風量が初期設定のそれよりも減少し、または、排気ファン16の風量が初期設定のそれよりも増加し、クリーンルーム12の室内気圧が基準圧に対して適正な陽圧未満になった場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が+3Paであって、差圧の適正な範囲が+5〜+10Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の範囲内にない。)、または、負圧になった場合(たとえば、基準圧から室内気圧を減算した差圧が−2Paであって、差圧の適正な範囲が+5〜+10Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の範囲内にない。または、差圧の適正な値が+7Paである場合、計測した差圧が適正な差圧の値でない。)、コントローラ33は、計測した差圧が適正な差圧の範囲内となる室内気圧または計測した差圧が適正な差圧の値となる室内気圧を決定し、クリーンルーム12の室内気圧が決定した室内気圧になるようにモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17では、そのダンパ開度が小さくなり、空気流路を通過する空気の流量(排気量)が小さくなってクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内または適正な陽圧の値に保持される。   While the air supply / exhaust fans 15 and 16 are in operation, the air volume of the air supply fan 15 decreases from that of the initial setting, or the air volume of the exhaust fan 16 increases than that of the initial setting, and the indoor air pressure of the clean room 12 is reduced. When the pressure is less than the appropriate positive pressure with respect to the reference pressure (for example, when the differential pressure obtained by subtracting the indoor pressure from the reference pressure is +3 Pa and the appropriate range of the differential pressure is +5 to +10 Pa, the measured difference The pressure is not within the range of the appropriate differential pressure), or when the pressure becomes negative (for example, the differential pressure obtained by subtracting the indoor pressure from the reference pressure is −2 Pa, and the proper differential pressure range is +5 When the pressure difference is ~ + 10 Pa, the measured differential pressure is not within the range of the appropriate differential pressure, or when the appropriate value of the differential pressure is +7 Pa, the measured differential pressure is not the proper differential pressure value. The controller 33 determines that the measured differential pressure is appropriate. Is determined so that the measured differential pressure becomes an appropriate differential pressure value, and the swirl of the swirl vane 32 of the motor damper 17 is turned so that the indoor pressure of the clean room 12 becomes the determined indoor pressure. The angle (damper opening) is adjusted (flow rate adjusting means). In the motor damper 17, the damper opening is reduced, the flow rate (displacement) of the air passing through the air flow path is reduced, and the room pressure of the clean room 12 is within a proper positive pressure range or a proper positive pressure value. Retained.

クリーンルーム12に設置された扉27が開扉され、前記気圧比較手段によって比較した結果、クリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧未満または負圧になった場合、コントローラ33は、計測した差圧が適正な差圧の範囲内となる室内気圧または計測した差圧が適正な差圧の値となる室内気圧を決定し、クリーンルーム12の室内気圧が決定した室内気圧になるようにモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17では、そのダンパ開度が小さくなり、空気流路を通過する空気の流量(排気量)が小さくなってクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内または適正な陽圧の値に保持される。   When the door 27 installed in the clean room 12 is opened and the indoor pressure in the clean room 12 becomes less than the appropriate positive pressure or negative pressure as a result of comparison by the atmospheric pressure comparison means, the controller 33 determines that the measured differential pressure is The room pressure within the range of the appropriate differential pressure or the room pressure at which the measured pressure difference becomes the value of the proper pressure difference is determined, and the motor damper 17 is turned so that the room pressure of the clean room 12 becomes the determined room pressure. The turning angle (damper opening) of the blade 32 is adjusted (flow rate adjusting means). In the motor damper 17, the damper opening is reduced, the flow rate (displacement) of the air passing through the air flow path is reduced, and the room pressure of the clean room 12 is within a proper positive pressure range or a proper positive pressure value. Retained.

開扉されていた扉27が閉扉され、前記気圧比較手段によって比較した結果、クリーンルーム12の室内気圧が基準圧に対して必要以上に陽圧になった場合、コントローラ33は、計測した差圧が適正な差圧の範囲内となる室内気圧または計測した差圧が適正な差圧の値となる室内気圧を決定し、クリーンルーム12の室内気圧が決定した室内気圧になるようにモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17では、そのダンパ開度が大きくなり、空気流路を通過する空気の流量(排気量)が大きくなってクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内または適正な陽圧の値に保持される。   When the door 27 that has been opened is closed and the indoor pressure in the clean room 12 becomes a positive pressure more than necessary with respect to the reference pressure as a result of the comparison by the atmospheric pressure comparison means, the controller 33 determines that the measured differential pressure is The room pressure within the range of the appropriate differential pressure or the room pressure at which the measured pressure difference becomes the value of the proper pressure difference is determined, and the motor damper 17 is turned so that the room pressure of the clean room 12 becomes the determined room pressure. The turning angle (damper opening) of the blade 32 is adjusted (flow rate adjusting means). In the motor damper 17, the damper opening increases, the flow rate of air passing through the air flow path (displacement amount) increases, and the room pressure of the clean room 12 is within a proper positive pressure range or a proper positive pressure value. Retained.

停止中の局所排気装置24が稼働し、または、稼動中の局所給気装置25が停止し、前記気圧比較手段によって比較した結果、クリーンルーム12の室内気圧が基準圧に対して必要以上に陽圧になった場合、コントローラ33は、計測した差圧が適正な差圧の範囲内となる室内気圧または計測した差圧が適正な差圧の値となる室内気圧を決定し、クリーンルーム12の室内気圧が決定した室内気圧になるようにモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17では、そのダンパ開度が大きくなり、空気流路を通過する空気の流量(排気量)が大きくなってクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内または適正な陽圧の値に保持される。   The stopped local exhaust device 24 is operated, or the operating local air supply device 25 is stopped. As a result of comparison by the atmospheric pressure comparison means, the indoor pressure of the clean room 12 is more positive than necessary with respect to the reference pressure. In such a case, the controller 33 determines the indoor pressure at which the measured differential pressure is within the range of the appropriate differential pressure or the indoor pressure at which the measured differential pressure is at the appropriate differential pressure, and the indoor pressure of the clean room 12 is determined. The turning angle (damper opening) of the turning blade 32 of the motor damper 17 is adjusted (flow rate adjusting means) so that the air pressure becomes the determined indoor pressure. In the motor damper 17, the damper opening increases, the flow rate of air passing through the air flow path (displacement amount) increases, and the room pressure of the clean room 12 is within a proper positive pressure range or a proper positive pressure value. Retained.

停止中の局所給気装置25が稼動し、または、稼動中の局所排気装置24が停止し、前記気圧比較手段によって比較した結果、クリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧未満または負圧になった場合、コントローラ33は、計測した差圧が適正な差圧の範囲内となる室内気圧または計測した差圧が適正な差圧の値となる室内気圧を決定し、クリーンルーム12の室内気圧が決定した室内気圧になるようにモーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17では、そのダンパ開度が小さくなり、空気流路を通過する空気の流量(排気量)が小さくなってクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内または適正な陽圧の値に保持される。   The stopped local air supply device 25 is operated, or the operating local exhaust device 24 is stopped, and as a result of comparison by the atmospheric pressure comparison means, the indoor pressure of the clean room 12 becomes less than the proper positive pressure or negative pressure. In such a case, the controller 33 determines the indoor pressure at which the measured differential pressure is within the range of the appropriate differential pressure, or the indoor pressure at which the measured differential pressure is at the appropriate differential pressure, and the indoor pressure of the clean room 12 is determined. The turning angle (damper opening) of the swirl vane 32 of the motor damper 17 is adjusted so that the indoor air pressure is maintained (flow rate adjusting means). In the motor damper 17, the damper opening is reduced, the flow rate (displacement) of the air passing through the air flow path is reduced, and the room pressure of the clean room 12 is within a proper positive pressure range or a proper positive pressure value. Retained.

室内気圧調節システム10Aおよび室内気圧調節方法は、各種の変動原因によってクリーンルーム12の室内気圧が変動し、室内気圧が適正な陽圧の範囲から外れたとしても、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するために、コントローラ33がモーターダンパ17の空気流路における空気の流量を調節するから、クリーンルーム12の室内気圧を速やかに適正な陽圧の範囲または適正な陽圧の値にすることができる。   The indoor air pressure adjusting system 10A and the indoor air pressure adjusting method are configured such that even if the indoor air pressure of the clean room 12 fluctuates due to various causes of fluctuations and the indoor air pressure deviates from the appropriate positive pressure range, Based on the differential pressure, the controller 33 adjusts the air flow rate in the air flow path of the motor damper 17 in order to maintain the indoor air pressure with respect to the reference pressure at a positive pressure. The pressure range or an appropriate positive pressure value can be obtained.

図7は、他の一例として示す室内気圧調節システム10Bの構成図である。図7に示すシステム10Bが図1のそれと異なるところは、中空管34が2つの検出端部35A,35Bと2つの中間部36A,36Bとを有する点、一方の検出端部35Aが第1の方角における屋外に設置され、他方の検出端部35Bが第1の方角とは反対の第2の方角に設置されている点にあり、その他の構成要素は図1のシステム10Aと同一であるから、図1と同様の符号を付すとともに、図1の説明を援用し、このシステム10Bにおけるその他の構成要素の詳細な説明は省略する。なお、図7では、2つの検出端部35A,35Bおよび2つの中間部36A,36Bを図示しているが、中空管34が3つ以上の検出端部35および3つ以上の中間部36を有する場合もある。   FIG. 7 is a configuration diagram of an indoor pressure adjustment system 10B shown as another example. The system 10B shown in FIG. 7 differs from that of FIG. 1 in that the hollow tube 34 has two detection ends 35A and 35B and two intermediate portions 36A and 36B, and one detection end 35A is the first. The other detection end 35B is installed in the second direction opposite to the first direction, and the other components are the same as the system 10A in FIG. Accordingly, the same reference numerals as those in FIG. 1 are attached, and the description of FIG. 1 is used, and detailed description of other components in the system 10B is omitted. In FIG. 7, the two detection end portions 35 </ b> A and 35 </ b> B and the two intermediate portions 36 </ b> A and 36 </ b> B are illustrated, but the hollow tube 34 has three or more detection end portions 35 and three or more intermediate portions 36. May have.

室内気圧調節システム10B(室内気圧調節方法)は、給気ダクト13および排気ダクト14と、給気ファン15および排気ファン16と、モーターダンパ17および基準圧伝達装置18とを備えている。基準圧計測器具18は、図1のそれと同様に、長さ方向へ長い長尺の中空管34から形成され、建造物11の屋外における気圧(基準圧)をコントローラ33に伝達する。中空管34は、断面形状が円形のホースであり、曲げ延ばしが自在な可撓性を有する。中空管34は、空気第1出入口42,45A,45Bを備えた検出端部35と、中間部36と、空気第2出入口を備えた接続端部37とを有する。中空管34は、検出端部35と中間部36と接続端部37とにおいてそれら部35〜37の内部における気圧の伝達が遮断されないように設置されている。   The indoor air pressure adjusting system 10B (indoor air pressure adjusting method) includes an air supply duct 13, an exhaust duct 14, an air supply fan 15, an exhaust fan 16, a motor damper 17, and a reference pressure transmission device 18. Similar to that of FIG. 1, the reference pressure measuring instrument 18 is formed from a long hollow tube 34 that is long in the length direction, and transmits the atmospheric pressure (reference pressure) of the building 11 outdoors to the controller 33. The hollow tube 34 is a hose having a circular cross-sectional shape, and has flexibility to bend and extend. The hollow tube 34 has a detection end 35 provided with air first inlets 42, 45A, 45B, an intermediate part 36, and a connection end 37 provided with an air second inlet / outlet. The hollow tube 34 is installed in the detection end portion 35, the intermediate portion 36, and the connection end portion 37 so that the transmission of atmospheric pressure inside these portions 35 to 37 is not blocked.

中間部36は、接続端部37から分岐する2つの第1中間部36Aと第2中間部36Bとから形成されている。それら中間部36A,36Bは、コイル状に巻かれている。検出端部35は、それら中間部36A,36Bにつながる2つの第1検出端部35Aと第2検出端部35Bとから形成されている。一方の検出端部35Aは、第1の方角(たとえば、建造物11の北側)における建造物11近傍の屋外に設置され、他方の検出端部35Bは、第1の方角とは反対の第2の方角(たとえば、建造物11の南側)における建造物11近傍の屋外に設置されている。それら中間部36A,36Bおよび接続端部37は、建造物11の屋内に設置されている。   The intermediate portion 36 is formed of two first intermediate portions 36A and a second intermediate portion 36B that branch from the connection end portion 37. The intermediate portions 36A and 36B are wound in a coil shape. The detection end 35 is formed of two first detection ends 35A and a second detection end 35B connected to the intermediate portions 36A and 36B. One detection end 35A is installed outdoors in the vicinity of the building 11 in the first direction (for example, the north side of the building 11), and the other detection end 35B is the second opposite to the first direction. It is installed outdoors in the vicinity of the building 11 in the direction of (for example, the south side of the building 11). The intermediate portions 36A and 36B and the connection end portion 37 are installed indoors in the building 11.

中空管34における空気第1出入口42,44A,44Bや空気第2出入口は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である(図2,3参照)。図3の空気第1出入口44A,44Bを採用した場合の出入口44A,44Bの開口面積は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一である。中空管34の検出端部(35Aまたは35B)から接続端部37までの長さや中空管34の検出端部35A,35Bと中間部36A,36Bと接続端部37との内径Lは、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である。   The first air inlet / outlet 42, 44A, 44B and the second air inlet / outlet in the hollow tube 34 are the same as those described in the system 10A of FIG. 1 (see FIGS. 2 and 3). When the first air inlets 44A and 44B in FIG. 3 are employed, the opening areas of the inlets 44A and 44B are the same as those described in the system 10A in FIG. The length from the detection end (35A or 35B) of the hollow tube 34 to the connection end 37 and the inner diameter L of the detection ends 35A, 35B, the intermediate portions 36A, 36B and the connection end 37 of the hollow tube 34 are: These are the same as those described in the system 10A of FIG.

このシステム10Bの基準圧計測器具18では、屋外に吹く風の影響によって空気第1出入口42,44A,44Bを備えたそれら検出端部35A,35Bの近傍の気圧が変動し、出入口42,44A,44Bに接する空気の気圧が大きく変化したとしても、中空管34の圧力抵抗により、中空管34内部の静圧の振幅の変動が検出端部35A,35Bから接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、中空管34内部の静圧の周期が検出端部35A,35Bから接続端部37に向かって次第に長くなり、屋外に吹く風の影響による気圧変動に対して中空管34内部の静圧が安定化するとともに、2つの検出端部35A,35Bや2つの中間部36A,36Bによって静圧が平均化される。したがって、中空管34では、気圧変動に対してそれら検出端部35A,35Bや端部35A,35B近傍のそれら中間部36A,36Bにおける静圧が不安定となったとしても、接続端部37や端部37近傍の中間部36A,36Bにおける静圧が安定し、安定かつ平均化した基準圧が計測される。   In the reference pressure measuring instrument 18 of the system 10B, the air pressure in the vicinity of the detection end portions 35A, 35B provided with the first air inlet / outlet ports 42, 44A, 44B varies due to the influence of the wind blowing outside, and the inlet / outlet ports 42, 44A, Even if the pressure of the air in contact with 44B changes significantly, the pressure resistance of the hollow tube 34 causes fluctuations in the amplitude of the static pressure inside the hollow tube 34 gradually from the detection end portions 35A and 35B toward the connection end portion 37. As the flow rate decreases, the period of static pressure inside the hollow tube 34 gradually increases from the detection end portions 35A and 35B toward the connection end portion 37, and the inside of the hollow tube 34 with respect to atmospheric pressure fluctuations due to the effect of wind blowing outdoors. The static pressure is stabilized by the two detection end portions 35A and 35B and the two intermediate portions 36A and 36B. Therefore, in the hollow tube 34, even if the static pressure in the detection end portions 35A and 35B and the intermediate portions 36A and 36B in the vicinity of the end portions 35A and 35B becomes unstable with respect to the atmospheric pressure fluctuation, the connection end portion 37 In addition, the static pressure in the intermediate portions 36A and 36B in the vicinity of the end portion 37 is stabilized, and a stable and averaged reference pressure is measured.

図6を援用してこのシステム10Bにおける変動原因の非発生時の室内気圧コントロールの一例を説明すると以下のとおりである。なお、このシステム10Bにおける変動原因の非発生時の室内気圧コントロールの詳細については、図6のフローチャートを参照して説明した図1のシステム10Aの具体例を援用する。また、クリーンルーム12の室内気圧を変動させる変動原因の発生時における室内気圧のコントロールは図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一であるから、図1のシステム10Aの説明を援用することで、その説明は省略する。   An example of indoor air pressure control when the cause of fluctuation in the system 10B does not occur will be described with reference to FIG. For the details of the indoor pressure control when the cause of fluctuation in the system 10B does not occur, the specific example of the system 10A of FIG. 1 described with reference to the flowchart of FIG. 6 is used. Further, the control of the indoor pressure at the time of occurrence of the fluctuation cause for changing the indoor pressure in the clean room 12 is the same as that described in the system 10A of FIG. 1, and therefore the explanation thereof is made by using the description of the system 10A of FIG. Is omitted.

屋外の基準圧は、中空管34から微差圧センサ(微差圧計)にリアルタイムかつ連続的に伝達され、クリーンルーム12の室内気圧は、中空管38から微差圧センサにリアルタイムかつ連続的に伝達される。微差圧センサは、室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムかつ連続的に計測し(たとえば、基準圧から室内気圧を減算、または、室内気圧から基準圧を減算)、計測した差圧をコントローラ33に転送する(差圧計測手段)(S−1)。コントローラ33は、差圧が適正な範囲内にあるかを判断する(差圧判断手段)(S−2)。または、差圧が適正な値であるかを判断する(差圧判断手段)(S−2)。コントローラ33は、差圧判断手段によって判断した結果、差圧が適正な差圧の範囲内にある場合、または、差圧が適正な差圧の値である場合、モーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を現状のまま維持する。   The outdoor reference pressure is continuously transmitted from the hollow tube 34 to the micro differential pressure sensor (micro differential pressure gauge) in real time, and the indoor pressure in the clean room 12 is continuously transmitted from the hollow tube 38 to the micro differential pressure sensor in real time. Is transmitted to. The differential pressure sensor measures the differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure in real time and continuously (for example, subtracts the indoor pressure from the reference pressure or subtracts the reference pressure from the indoor pressure). Transfer to the controller 33 (differential pressure measuring means) (S-1). The controller 33 determines whether the differential pressure is within an appropriate range (differential pressure determination means) (S-2). Alternatively, it is determined whether the differential pressure is an appropriate value (differential pressure determination means) (S-2). As a result of the determination by the differential pressure determining means, when the differential pressure is within the appropriate differential pressure range or when the differential pressure is an appropriate differential pressure value, the controller 33 determines whether the swirl vane 32 of the motor damper 17 The turning angle (damper opening) is maintained as it is.

ステップ2(S−2)においてコントローラ33は、差圧判断手段によって判断した結果、差圧が適正な差圧の範囲内にない場合、または、差圧が適正な差圧の値でない場合、基準圧に対してクリーンルーム12の室内気圧が適正な陽圧の範囲内になるように(差圧が適正な差圧の範囲内になるように、または、差圧が適正な差圧の値になるように)、モーターダンパ17の旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を微調節するフィードバック制御(制御動作)を実行し、開度制御信号をダンパ17に出力し(S−4)、ダンパ17の空気流路の開度を所定の開度に調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17では、その空気流路を通過する空気の流量が変更され(S−5)、それによってクリーンルーム12の室内気圧が基準圧よりも高い適正な陽圧の範囲または適正な陽圧の値に保持される。   In step 2 (S-2), if the controller 33 determines that the differential pressure is not within the range of the appropriate differential pressure, or if the differential pressure is not the proper differential pressure value, the reference is determined. So that the atmospheric pressure in the clean room 12 is within the range of the appropriate positive pressure with respect to the pressure (the differential pressure is within the proper differential pressure range, or the differential pressure is the proper differential pressure value) Thus, feedback control (control operation) for finely adjusting the turning angle (damper opening) of the turning blade 32 of the motor damper 17 is executed, and an opening degree control signal is output to the damper 17 (S-4). The opening degree of the 17 air flow paths is adjusted to a predetermined opening degree (flow rate adjusting means). In the motor damper 17, the flow rate of the air passing through the air flow path is changed (S-5), whereby the room pressure in the clean room 12 is in a proper positive pressure range or a proper positive pressure value higher than the reference pressure. Retained.

室内気圧調節システム10Bおよび室内気圧調節方法は、図1のシステム10A(方法)が有する効果に加え、以下の効果を有する。システム10Bおよび方法は、2つの中間部36A,36Bおよび2つの検出端部35A,35Bにおいて2箇所の基準圧を計測し、計測した2箇所の基準圧の平均を採ることができるから、基準圧を平均化することができ、1つ箇所において基準圧を計測することによる基準圧の偏りを防ぐことができる。   The indoor air pressure adjustment system 10B and the indoor air pressure adjustment method have the following effects in addition to the effects of the system 10A (method) in FIG. The system 10B and the method can measure two reference pressures at the two intermediate portions 36A and 36B and the two detection end portions 35A and 35B, and can take the average of the two measured reference pressures. Can be averaged, and deviation of the reference pressure due to measurement of the reference pressure at one location can be prevented.

図8は、他の一例として示す室内気圧調節システム10Cの構成図である。図8に示すシステム10Cが図1のそれと異なるところは、中空管34が2つの検出端部35と2つの中間部36A,36Bとを有する点、検出端部35が中間部36A,36Bから2つに分岐している点、一方の検出端部35A,35Bが第1の方角における屋外に設置され、他方の検出端部35C,35Dが第1の方角とは反対の第2の方角に設置されている点にあり、その他の構成要素は図1のシステム10Aと同一であるから、図1と同様の符号を付すとともに、図1の説明を援用し、このシステム10Cにおけるその他の構成要素の詳細な説明は省略する。なお、図8では、中間部36から2つに分岐する検出端部35を図示しているが、検出端部35が中間部36から3つ以上に分岐する場合もある。   FIG. 8 is a configuration diagram of an indoor pressure adjustment system 10C shown as another example. The system 10C shown in FIG. 8 is different from that shown in FIG. 1 in that the hollow tube 34 has two detection ends 35 and two intermediate portions 36A and 36B, and the detection end 35 extends from the intermediate portions 36A and 36B. Two detection branches 35A and 35B are installed outdoors in the first direction, and the other detection ends 35C and 35D are in a second direction opposite to the first direction. Since the other components are the same as those of the system 10A of FIG. 1, the same reference numerals as those of FIG. 1 are used, and the description of FIG. 1 is used to refer to the other components of the system 10C. The detailed description of is omitted. In FIG. 8, the detection end portion 35 that branches into two from the intermediate portion 36 is illustrated, but the detection end portion 35 may branch into three or more from the intermediate portion 36.

室内気圧調節システム10C(室内気圧調節方法)は、給気ダクト13および排気ダクト14と、給気ファン15および排気ファン16と、モーターダンパ17および基準圧伝達装置18とを備えている。基準圧計測器具18は、図1のそれと同様に、長さ方向へ長い長尺の中空管34から形成され、建造物11の屋外における気圧(基準圧)をコントローラ33に伝達する。中空管34は、断面形状が円形のホースであり、曲げ延ばしが自在な可撓性を有する。中空管34は、空気第1出入口42,45A,45Bを備えた検出端部35と、中間部36と、空気第2出入口を備えた接続端部37とを有する。中空管34は、検出端部35と中間部36と接続端部37とにおいてそれら部35〜37の内部における気圧の伝達が遮断されないように設置されている。   The indoor air pressure adjustment system 10C (indoor air pressure adjustment method) includes an air supply duct 13 and an exhaust duct 14, an air supply fan 15 and an exhaust fan 16, a motor damper 17, and a reference pressure transmission device 18. Similar to that of FIG. 1, the reference pressure measuring instrument 18 is formed from a long hollow tube 34 that is long in the length direction, and transmits the atmospheric pressure (reference pressure) of the building 11 outdoors to the controller 33. The hollow tube 34 is a hose having a circular cross-sectional shape, and has flexibility to bend and extend. The hollow tube 34 has a detection end 35 provided with air first inlets 42, 45A, 45B, an intermediate part 36, and a connection end 37 provided with an air second inlet / outlet. The hollow tube 34 is installed in the detection end portion 35, the intermediate portion 36, and the connection end portion 37 so that the transmission of atmospheric pressure inside these portions 35 to 37 is not blocked.

中間部36は、接続端部37から分岐する2つの第1中間部36Aと第2中間部36Bとから形成されている。それら中間部36A,36Bは、コイル状に巻かれている。検出端部35は、それら中間部36A,36Bにつながって中間部36A,36Bから2つに分岐する第1および第2検出端部35A,35Bと第3および第4検出端部35C,35Dとから形成されている。一方の検出端部35A,35Bは、第1の方角(たとえば、建造物の北側)における建造物近傍の屋外に設置され、他方の検出端部35C,35Dは、第1の方角とは反対の第2の方角(たとえば、建造物の南側)における建造物近傍の屋外に設置されている。それら中間部36A,36Bおよび接続端部37は、建造物11の屋内に設置されている。   The intermediate portion 36 is formed of two first intermediate portions 36A and a second intermediate portion 36B that branch from the connection end portion 37. The intermediate portions 36A and 36B are wound in a coil shape. The detection end 35 is connected to the intermediate portions 36A and 36B, and the first and second detection end portions 35A and 35B and the third and fourth detection end portions 35C and 35D branch from the intermediate portions 36A and 36B into two. Formed from. One detection end 35A, 35B is installed outdoors in the vicinity of the building in the first direction (for example, the north side of the building), and the other detection end 35C, 35D is opposite to the first direction. It is installed outdoors near the building in the second direction (for example, the south side of the building). The intermediate portions 36A and 36B and the connection end portion 37 are installed indoors in the building 11.

中空管34における空気第1出入口42,44A,44Bや空気第2出入口は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である(図2,3参照)。図3の空気第1出入口44A,44Bを採用した場合の出入口44A,44Bの開口面積は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一である。中空管34の検出端部(35A〜35D)から接続端部37までの長さや中空管34の検出端部35A〜35Dと中間部36A,36Bと接続端部37との内径Lは、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である。   The first air inlet / outlet 42, 44A, 44B and the second air inlet / outlet in the hollow tube 34 are the same as those described in the system 10A of FIG. 1 (see FIGS. 2 and 3). When the first air inlets 44A and 44B in FIG. 3 are employed, the opening areas of the inlets 44A and 44B are the same as those described in the system 10A in FIG. The length from the detection end portion (35A to 35D) of the hollow tube 34 to the connection end portion 37 and the inner diameter L of the detection end portions 35A to 35D of the hollow tube 34, the intermediate portions 36A and 36B, and the connection end portion 37 are: These are the same as those described in the system 10A of FIG.

この基準圧計測器具18では、屋外に吹く風の影響によって空気第1出入口42,44A,44Bを備えたそれら検出端部35A〜35Dの近傍の気圧が変動し、出入口42,44A,44Bに接する空気の気圧が大きく変化したとしても、中空管34の圧力抵抗により、中空管34内部の静圧の振幅の変動が検出端部35A〜35Dから接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、中空管34内部の静圧の周期が検出端部35A〜35Dから接続端部37に向かって次第に長くなり、屋外に吹く風の影響による気圧変動に対して中空管34内部の静圧が安定化するとともに、それら検出端部35A〜35Dやそれら中間部36A,36Bによって静圧が平均化される。したがって、中空管34では、気圧変動に対してそれら検出端部35A〜35Dや端部35A〜35D近傍のそれら中間部36A,36Bにおける静圧が不安定となったとしても、接続端部37や端部37近傍の中間部36A,36Bにおける静圧が安定し、安定かつ平均化した基準圧が計測される。   In the reference pressure measuring instrument 18, the air pressure in the vicinity of the detection end portions 35 </ b> A to 35 </ b> D provided with the first air inlet / outlet ports 42, 44 </ b> A, 44 </ b> B is fluctuated by the influence of the wind blowing outdoors, and comes into contact with the inlet / outlet ports 42, 44 </ b> A, 44 </ b> B. Even if the air pressure changes greatly, due to the pressure resistance of the hollow tube 34, the fluctuation of the static pressure amplitude inside the hollow tube 34 gradually decreases from the detection end portions 35A to 35D toward the connection end portion 37. The period of the static pressure inside the hollow tube 34 becomes longer gradually from the detection end portions 35A to 35D toward the connection end portion 37, and the static pressure inside the hollow tube 34 with respect to atmospheric pressure fluctuation due to the wind blowing outdoors. Is stabilized, and the static pressure is averaged by the detection end portions 35A to 35D and the intermediate portions 36A and 36B. Therefore, in the hollow tube 34, even if the static pressure in the intermediate portions 36A and 36B in the vicinity of the detection end portions 35A to 35D and the end portions 35A to 35D becomes unstable with respect to the atmospheric pressure fluctuation, the connection end portion 37 In addition, the static pressure in the intermediate portions 36A and 36B in the vicinity of the end portion 37 is stabilized, and a stable and averaged reference pressure is measured.

図6のフローチャートにおいて説明した図1のシステム10Aの具体例や図6のフローチャートを援用して説明した図7のシステム10Bの例を援用することで、このシステム10Cにおける変動原因の非発生時の室内気圧コントロールの説明は省略する。また、クリーンルーム12の室内気圧を変動させる変動原因の発生時における室内気圧のコントロールは図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一であるから、図1のシステム10Aの説明を援用することで、その説明は省略する。   The specific example of the system 10A in FIG. 1 described in the flowchart of FIG. 6 and the example of the system 10B in FIG. 7 described with the aid of the flowchart in FIG. The explanation of the indoor pressure control is omitted. Further, the control of the indoor pressure at the time of occurrence of the fluctuation cause for changing the indoor pressure in the clean room 12 is the same as that described in the system 10A of FIG. 1, and therefore the explanation thereof is made by using the description of the system 10A of FIG. Is omitted.

室内気圧調節システム10Cおよび室内気圧調節方法は、図1のシステム10A(方法)が有する効果に加え、以下の効果を有する。システム10Cおよび方法は、検出端部35A,35Bのうちの一方が何らかの原因によって閉塞し、または、検出端部35C,35Dのうちの一方が何らかの原因によって閉塞したとしても、他方の検出端部35A〜35Dによって基準圧を計測することができ、検出端部35A〜35Dが閉塞することによる基準圧の計測不能を防ぐことができる。また、2つの中間部36A,36Bおよび2つの検出端部35A,35Bにおいて2箇所の基準圧を計測し、計測した2箇所の基準圧の平均を採ることができるから、基準圧を平均化することができ、1つ箇所において基準圧を計測することによる基準圧の偏りを防ぐことができる。   The indoor pressure adjustment system 10C and the room pressure adjustment method have the following effects in addition to the effects of the system 10A (method) of FIG. In the system 10C and the method, even if one of the detection ends 35A and 35B is blocked for some reason, or one of the detection ends 35C and 35D is blocked for some reason, the other detection end 35A is blocked. The reference pressure can be measured by ˜35D, and the inability to measure the reference pressure due to the detection end portions 35A to 35D being blocked can be prevented. Further, since the two reference pressures can be measured at the two intermediate portions 36A and 36B and the two detection end portions 35A and 35B, and the average of the two measured reference pressures can be taken, the reference pressure is averaged. It is possible to prevent the reference pressure from being biased by measuring the reference pressure at one location.

図9は、他の一例として示す室内気圧調節システム10Dの構成図である。図9に示すシステム10Dが図1のそれと異なるところは、検出端部35とコイル状に巻かれた中間部36とが筐体47の内部に収容されている点にあり、その他の構成要素は図1のシステム10Aと同一であるから、図1と同様の符号を付すとともに、図1の説明を援用し、このシステム10Cにおけるその他の構成要素の詳細な説明は省略する。   FIG. 9 is a configuration diagram of an indoor pressure adjustment system 10D shown as another example. The system 10D shown in FIG. 9 is different from that shown in FIG. 1 in that the detection end 35 and the intermediate part 36 wound in a coil shape are accommodated in the housing 47, and other components are as follows. Since it is the same as the system 10A of FIG. 1, it attaches | subjects the code | symbol similar to FIG. 1, uses the description of FIG. 1, and abbreviate | omits detailed description of the other component in this system 10C.

室内気圧調節システム10D(室内気圧調節方法)は、給気ダクト13および排気ダクト14と、給気ファン15および排気ファン16と、モーターダンパ17および基準圧伝達装置18とを備えている。基準圧計測器具18は、図1のそれと同様に、長さ方向へ長い長尺の中空管34から形成され、建造物11の屋外における気圧(基準圧)をコントローラ33に伝達する。中空管34は、断面形状が円形のホースであり、曲げ延ばしが自在な可撓性を有する。中空管34は、空気第1出入口42,45A,45Bを備えた検出端部35と、中間部36と、空気第2出入口を備えた接続端部37とを有する。中空管34は、その中間部36がコイル状に巻かれている。中空管34では、検出端部35と中間部36とが筐体47(箱)の内部に収容され、接続端部37が筐体47から外側に露出している。中空管34は、検出端部35と中間部36と接続端部37とにおいてそれら部35〜37の内部における気圧の伝達が遮断されないように設置されている。   The indoor air pressure adjusting system 10D (indoor air pressure adjusting method) includes an air supply duct 13, an exhaust duct 14, an air supply fan 15, an exhaust fan 16, a motor damper 17, and a reference pressure transmission device 18. Similar to that of FIG. 1, the reference pressure measuring instrument 18 is formed from a long hollow tube 34 that is long in the length direction, and transmits the atmospheric pressure (reference pressure) of the building 11 outdoors to the controller 33. The hollow tube 34 is a hose having a circular cross-sectional shape, and has flexibility to bend and extend. The hollow tube 34 has a detection end 35 provided with air first inlets 42, 45A, 45B, an intermediate part 36, and a connection end 37 provided with an air second inlet / outlet. The hollow tube 34 has an intermediate portion 36 wound in a coil shape. In the hollow tube 34, the detection end portion 35 and the intermediate portion 36 are accommodated in the housing 47 (box), and the connection end portion 37 is exposed to the outside from the housing 47. The hollow tube 34 is installed in the detection end portion 35, the intermediate portion 36, and the connection end portion 37 so that the transmission of atmospheric pressure inside these portions 35 to 37 is not blocked.

筐体47は、建造物11近傍の屋外に設置されている。なお、筐体47が建造物の屋内に設置される場合がある。筐体47は、四角形の壁が互いに直交する六面体の箱であり、互いに対向する頂底壁48,49と、それら頂底壁48,49の間に延びる前後壁50,51と、頂底壁48,49の間に延びる両側壁52,53とから形成されている。前壁50や後壁51には、空気が通る矩形の空気流通窓54が作られている。筐体47は、空気流通窓54から進入した空気が空気流通窓64から外部に流出する。ゆえに、筐体47は、通気性を有する。空気流通窓64は、前後壁50,51のみならず、両側壁52,53に作られていてもよい。   The casing 47 is installed outdoors near the building 11. Note that the housing 47 may be installed indoors in a building. The casing 47 is a hexahedral box whose rectangular walls are orthogonal to each other, the top and bottom walls 48 and 49 facing each other, front and rear walls 50 and 51 extending between the top and bottom walls 48 and 49, and the top and bottom walls. It is formed from both side walls 52 and 53 extending between 48 and 49. The front wall 50 and the rear wall 51 are formed with rectangular air circulation windows 54 through which air passes. In the housing 47, air that has entered from the air circulation window 54 flows out from the air circulation window 64. Therefore, the housing 47 has air permeability. The air circulation window 64 may be formed not only on the front and rear walls 50 and 51 but also on both side walls 52 and 53.

中空管34における空気第1出入口42,44A,44Bや空気第2出入口は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である(図2,3参照)。図3の空気第1出入口44A,44Bを採用した場合の出入口44A,44Bの開口面積は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一である。中空管34の検出端部35から接続端部37までの長さや中空管34の検出端部35と中間部36と接続端部37との内径Lは、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である。   The first air inlet / outlet 42, 44A, 44B and the second air inlet / outlet in the hollow tube 34 are the same as those described in the system 10A of FIG. 1 (see FIGS. 2 and 3). When the first air inlets 44A and 44B in FIG. 3 are employed, the opening areas of the inlets 44A and 44B are the same as those described in the system 10A in FIG. The length from the detection end 35 of the hollow tube 34 to the connection end 37 and the inner diameter L of the detection end 35, the intermediate portion 36, and the connection end 37 of the hollow tube 34 are described in the system 10A of FIG. They are the same.

図7に示すシステム10Bの各中空管34(基準圧計測器具18)が筐体47の内部に収容されていてもよい。この場合、検出端部35Aおよび中間部36Aが第1の筐体47に収容され、検出端部35Bおよび中間部36Bが第2の筐体47に収容される。図8に示すシステム10Cの各中空管34(基準圧計測器具18)が筐体47の内部に収容されていてもよい。この場合、検出端部35A,35Bおよび中間部36Aが第1の筐体47に収容され、検出端部35C,35Dおよび中間部36Bが第2の筐体47に収容される。   Each hollow tube 34 (reference pressure measuring instrument 18) of the system 10 </ b> B illustrated in FIG. 7 may be accommodated in the housing 47. In this case, the detection end portion 35 </ b> A and the intermediate portion 36 </ b> A are accommodated in the first housing 47, and the detection end portion 35 </ b> B and the intermediate portion 36 </ b> B are accommodated in the second housing 47. Each hollow tube 34 (reference pressure measuring instrument 18) of the system 10 </ b> C shown in FIG. 8 may be accommodated in the housing 47. In this case, the detection end portions 35A and 35B and the intermediate portion 36A are accommodated in the first housing 47, and the detection end portions 35C and 35D and the intermediate portion 36B are accommodated in the second housing 47.

このシステム10Dの基準圧計測器具18では、屋外に吹く風の影響によって空気第1出入口42,44A,44Bを備えた検出端部35の近傍の気圧が変動し、出入口42,44A,44Bに接する空気の気圧が大きく変化したとしても、中空管34の圧力抵抗により、中空管34内部の静圧の振幅の変動が検出端部35から接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、中空管34内部の静圧の周期が検出端部35から接続端部37に向かって次第に長くなり、屋外に吹く風の影響による気圧変動に対して中空管34内部の静圧が安定化するとともに、検出端部35や中間部36によって静圧が平均化される。したがって、中空管34では、気圧変動に対してそれら検出端部35や端部35近傍のそれら中間部36における静圧が不安定となったとしても、接続端部37や端部37近傍の中間部36における静圧が安定し、安定かつ平均化した基準圧が計測される。   In the reference pressure measuring instrument 18 of the system 10D, the air pressure in the vicinity of the detection end portion 35 including the first air inlet / outlet ports 42, 44A, 44B varies due to the influence of wind blowing outdoors, and comes into contact with the inlet / outlet ports 42, 44A, 44B. Even if the air pressure changes greatly, the fluctuation in the amplitude of the static pressure inside the hollow tube 34 gradually decreases from the detection end 35 toward the connection end 37 due to the pressure resistance of the hollow tube 34. The period of static pressure inside the empty tube 34 gradually increases from the detection end 35 toward the connection end 37, and the static pressure inside the hollow tube 34 is stabilized against atmospheric pressure fluctuations due to the effect of wind blowing outdoors. At the same time, the static pressure is averaged by the detection end portion 35 and the intermediate portion 36. Therefore, in the hollow tube 34, even if the static pressure in the detection end portion 35 and the intermediate portion 36 in the vicinity of the end portion 35 becomes unstable with respect to atmospheric pressure fluctuation, the connection end portion 37 and the vicinity of the end portion 37 are not affected. The static pressure in the intermediate portion 36 is stabilized, and a stable and averaged reference pressure is measured.

図6のフローチャートにおいて説明した図1のシステム10Aの具体例を援用することで、このシステム10Dにおける変動原因の非発生時の室内気圧コントロールの説明は省略する。また、クリーンルーム12の室内気圧を変動させる変動原因の発生時における室内気圧のコントロールは図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一であるから、図1のシステム10Aの説明を援用することで、その説明は省略する。   By using the specific example of the system 10A of FIG. 1 described in the flowchart of FIG. 6, the description of the indoor pressure control when the cause of fluctuation in the system 10D does not occur is omitted. Further, the control of the indoor pressure at the time of occurrence of the fluctuation cause for changing the indoor pressure in the clean room 12 is the same as that described in the system 10A of FIG. 1, and therefore the explanation thereof is made by using the description of the system 10A of FIG. Is omitted.

室内気圧調節システム10Dおよび室内気圧調節方法は、図1のシステム10A(方法)が有する効果に加え、以下の効果を有する。システム10Dおよび方法は、検出端部35と中間部36とが筐体47に収容されていない場合と比較し、空気第1出入口42,44A,44Bを備えた検出端部35が受ける風の影響を筐体47によって緩和することができるから、空気第1出入口42,44A,44Bから出入する空気量の大きな変動を防ぐことができ、中空管34内部の静圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができる。   The indoor air pressure adjustment system 10D and the indoor air pressure adjustment method have the following effects in addition to the effects of the system 10A (method) in FIG. Compared with the case where the detection end 35 and the intermediate portion 36 are not housed in the housing 47, the system 10D and the method are affected by the wind that the detection end 35 including the first air inlets 42, 44A, and 44B receives. Can be relaxed by the casing 47, so that a large fluctuation in the amount of air entering and exiting the first air inlet / outlet 42, 44A, 44B can be prevented, and the irregular and rapid change in the static pressure inside the hollow tube 34 can be prevented. Can be prevented.

図10は、他の一例として示す室内気圧調節システム10Eの構成図である。図10に示すシステム10Eが図1のそれと異なるところは、2つのクリーンルーム12A,12Bの室内気圧をコントロールする点、ヘッダーパイプ56を介して基準圧が分配される点にあり、その他の構成要素は図1のシステム10Aと同一であるから、図1と同様の符号を付すとともに、図1の説明を援用し、このシステム10Eにおけるその他の構成要素の詳細な説明は省略する。なお、図10では2室のクリーンルーム12A,12Bを図示しているが、クリーンルームを2室に限定するものではなく、3室以上のクリーンルームに対してこのシステム10Eの室内気圧コントロールを適用することもできる。   FIG. 10 is a configuration diagram of an indoor pressure adjustment system 10E shown as another example. The system 10E shown in FIG. 10 is different from that shown in FIG. 1 in that the indoor pressure of the two clean rooms 12A and 12B is controlled and the reference pressure is distributed via the header pipe 56. The other components are as follows. Since it is the same as the system 10A of FIG. 1, it attaches | subjects the code | symbol similar to FIG. 1, uses the description of FIG. 1, and abbreviate | omits detailed description of the other component in this system 10E. In FIG. 10, two clean rooms 12A and 12B are illustrated. However, the clean room is not limited to two rooms, and the indoor pressure control of the system 10E may be applied to three or more clean rooms. it can.

室内気圧調節システム10E(室内気圧調節方法)は、建造物11の屋外の空気を第1および第2クリーンルーム12A,12Bに供給する給気ダクト13と、それらクリーンルーム12A,12Bから建造物11の屋外に空気を排出する排気ダクト14と、それらクリーンルーム12A,12Bに空気を給気する給気ファン15(給気装置)と、それらクリーンルーム12A,12Bから空気を排気する排気ファン16(排気装置)と、第1および第2モーターダンパ17A,17Bおよび基準圧伝達装置18とを備えている。   The indoor pressure regulation system 10E (indoor pressure regulation method) includes an air supply duct 13 that supplies outdoor air of the building 11 to the first and second clean rooms 12A and 12B, and the outdoor of the building 11 from the clean rooms 12A and 12B. An exhaust duct 14 for exhausting air, an air supply fan 15 (air supply device) for supplying air to the clean rooms 12A and 12B, and an exhaust fan 16 (exhaust device) for exhausting air from the clean rooms 12A and 12B. The first and second motor dampers 17A and 17B and the reference pressure transmission device 18 are provided.

それらクリーンルーム12A,12Bは、所定容積の気密な空調空間を有し、天井19、床20、前後壁21,22、側壁23によって室外と仕切られている。クリーンルーム12Aとクリーンルーム12Bとは、仕切り壁55によって仕切られている。それらクリーンルーム12A,12Bには、室内の空気を部分的に排気する局所排気装置24が設置され、空気を室内に部分的に給気する局所給気装置25が設置されている。前壁21には、クリーンルーム12Aに出入りするための扉27Aが設置され、後壁22には、クリーンルーム12Bに出入りするための扉27Cが設置されている。仕切り壁55には、クリーンルーム12Aからクリーンルーム12Bに出入りするための扉27Bが設置されている。このシステム10Eでは、その稼働中にクリーンルーム12A,12Bの室内気圧が厳密に管理され、室内気圧が基準圧よりも高い適正範囲の陽圧に保持されている。   These clean rooms 12 </ b> A and 12 </ b> B have airtight air-conditioned spaces with a predetermined volume, and are partitioned from the outdoor by a ceiling 19, a floor 20, front and rear walls 21 and 22, and side walls 23. The clean room 12A and the clean room 12B are partitioned by a partition wall 55. In these clean rooms 12A and 12B, a local exhaust device 24 for partially exhausting indoor air is installed, and a local air supply device 25 for partially supplying air into the room is installed. The front wall 21 is provided with a door 27A for entering and exiting the clean room 12A, and the rear wall 22 is provided with a door 27C for entering and exiting the clean room 12B. The partition wall 55 is provided with a door 27B for entering and exiting the clean room 12B from the clean room 12A. In this system 10E, the indoor air pressure of the clean rooms 12A and 12B is strictly managed during the operation, and the indoor air pressure is maintained at a positive pressure in an appropriate range higher than the reference pressure.

給気ダクト13は、クリーンルーム12A,12Bの天井19に施設された給気口につながり、建造物11の屋外とクリーンルーム12A,12Bとを連結している。排気ダクト14は、クリーンルーム12A,12Bの側壁23に施設された排気口26につながり、建造物11の屋外とクリーンルーム12A,12Bとを連結している。給気ファン15は、給気ダクト13に設置され、所定量の空気をクリーンルーム12A,12Bに強制的に給気する。排気ファン16は、排気ダクト14に設置され、所定量の空気をクリーンルーム12A,12Bから強制的に排気する。   The air supply duct 13 is connected to an air supply port provided on the ceiling 19 of the clean rooms 12A and 12B, and connects the outside of the building 11 and the clean rooms 12A and 12B. The exhaust duct 14 is connected to an exhaust port 26 provided in the side wall 23 of the clean rooms 12A and 12B, and connects the outside of the building 11 and the clean rooms 12A and 12B. The air supply fan 15 is installed in the air supply duct 13 and forcibly supplies a predetermined amount of air to the clean rooms 12A and 12B. The exhaust fan 16 is installed in the exhaust duct 14 and forcibly exhausts a predetermined amount of air from the clean rooms 12A and 12B.

モーターダンパ17A,17Bは、クリーンルーム12A,12Bと排気ファン16との間に延びる排気ダクト14に設置されている。モーターダンパ17A,17Bでは、旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)によってクリーンルーム12A,12Bから排気される空気の流量を調節する。なお、モーターダンパ17A,17Bがクリーンルーム12A,12Bと給気ファン15との間に延びる給気ダクト13に設置されていてもよい。この場合は、旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)によってクリーンルーム12A,12Bに給気される空気の流量を調節する。   The motor dampers 17A and 17B are installed in the exhaust duct 14 extending between the clean rooms 12A and 12B and the exhaust fan 16. In the motor dampers 17A and 17B, the flow rate of the air exhausted from the clean rooms 12A and 12B is adjusted by the turning angle (damper opening) of the turning blade 32. Motor dampers 17A and 17B may be installed in the air supply duct 13 extending between the clean rooms 12A and 12B and the air supply fan 15. In this case, the flow rate of the air supplied to the clean rooms 12A and 12B is adjusted by the turning angle (damper opening) of the turning blade 32.

モーターダンパ17A,17Bには、コントローラ33A,33B(制御装置)が附属している。それらコントローラ33A,33Bには、基準圧計測器具18が接続されている。コントローラ33A,33Bの主記憶装置には、クリーンルーム12A,12Bの室内気圧に対する適正な陽圧(室内気圧よりも高い適正な気圧)の値(適正な範囲の陽圧値または適正な1つの陽圧値)が格納されている。コントローラ33の主記憶装置には、クリーンルーム12A,12Bの室内気圧とモーターダンパ17A,17Bの空気流路を通過する空気量との相関関係が格納され、室内気圧に対応する空気量とその空気量に対応するモーターダンパ17A,17Bの旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)との相関関係が格納されている。   Controllers 33A and 33B (control devices) are attached to the motor dampers 17A and 17B. A reference pressure measuring instrument 18 is connected to the controllers 33A and 33B. In the main storage devices of the controllers 33A and 33B, a value of an appropriate positive pressure (appropriate atmospheric pressure higher than the indoor atmospheric pressure) with respect to the indoor pressure of the clean rooms 12A and 12B (a positive pressure value in an appropriate range or one appropriate positive pressure). Value) is stored. The main storage device of the controller 33 stores the correlation between the indoor air pressure of the clean rooms 12A and 12B and the air amount passing through the air flow paths of the motor dampers 17A and 17B, and the air amount corresponding to the indoor air pressure and the air amount thereof. The correlation with the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 32 of the motor dampers 17A and 17B corresponding to is stored.

コントローラ33A,33Bは、モーターダンパ17A,17Bの旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を所定の角度(所定の開度)に設定または所定の角度を変更する開度制御信号をダンパ17A,17Bに出力することで、空気流路の開度を所定の開度に調節する。モーターダンパ17A,17Bでは、コントローラ33A,33Bから出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、それによって旋回羽根32が所定角度に旋回する。旋回羽根32が所定角度に旋回すると、ダンパ17A,17Bの空気流路の開度が変わり、空気流路を通過する空気の流量が変更されてクリーンルーム12A,12Bの室内気圧が変わる。   The controllers 33A and 33B set an opening control signal for setting or changing a predetermined angle (predetermined opening) of the turning angle (damper opening) of the turning blade 32 of the motor dampers 17A and 17B to the damper 17A, By outputting to 17B, the opening degree of an air flow path is adjusted to a predetermined opening degree. In the motor dampers 17A and 17B, the modular roll motor is rotated by the opening degree control signal output from the controllers 33A and 33B, whereby the swirl blade 32 is swung to a predetermined angle. When the swirl vane 32 swivels at a predetermined angle, the opening degree of the air flow path of the dampers 17A and 17B changes, the flow rate of air passing through the air flow path is changed, and the indoor pressure in the clean rooms 12A and 12B changes.

それらクリーンルーム12A,12Bでは、稼働中の給排気ファン15,16のうちの少なくとも一方の風量変化、クリーンルーム12A,12Bに設置された扉27A〜27Cの開閉、クリーンルーム12A,12Bに設置された停止中の局所排気装置24または局所給気装置25の稼動、稼動中の局所排気装置24または局所給気装置25の停止のうちの少なくとも1つの変動原因によってその室内気圧が大きく変動する。   In these clean rooms 12A and 12B, the air volume change of at least one of the air supply and exhaust fans 15 and 16 in operation, the opening and closing of the doors 27A to 27C installed in the clean rooms 12A and 12B, and the stop installed in the clean rooms 12A and 12B The indoor air pressure largely fluctuates depending on at least one of the causes of the local exhaust device 24 or the local air supply device 25 operating and the local exhaust device 24 or the local air supply device 25 being stopped.

基準圧計測器具18は、図1のそれと同様に、長さ方向へ長い長尺の中空管34から形成され、建造物11の屋外における気圧(基準圧)をコントローラ33A,33Bに伝達する。中空管34は、断面形状が円形のホースであり、曲げ延ばしが自在な可撓性を有する。中空管34は、空気第1出入口42,45A,45Bを備えた検出端部35と、コイル状に巻かれた中間部36と、空気第2出入口を備えた接続端部37とを有する。中間部36および接続端部37は、建造物11の屋内に設置されている。   The reference pressure measuring instrument 18 is formed of a long hollow tube 34 that is long in the length direction, similar to that of FIG. 1, and transmits the atmospheric pressure (reference pressure) of the building 11 to the controllers 33A and 33B. The hollow tube 34 is a hose having a circular cross-sectional shape, and has flexibility to bend and extend. The hollow tube 34 has a detection end 35 provided with air first inlets 42, 45A and 45B, an intermediate part 36 wound in a coil shape, and a connection end 37 provided with an air second inlet / outlet. The intermediate portion 36 and the connection end portion 37 are installed indoors in the building 11.

中間部36から延びる接続端部37は、ヘッダーパイプ56(分配器)に接続された後、ヘッダーパイプ56から2つに分岐している。ヘッダーパイプ56から分岐した一方の接続端部37は、コントローラ33Aに接続され、他方の接続端部37は、コントローラ33Bに接続されている。ヘッダーパイプ56は、中空管34によって伝達される基準圧をそれらコントローラ33A,33Bに分配する。中空管34は、検出端部35と中間部36と接続端部37とにおいてそれら部35〜37の内部における気圧の伝達が遮断されないように設置されている。   The connection end 37 extending from the intermediate part 36 is connected to the header pipe 56 (distributor) and then branches into two from the header pipe 56. One connection end 37 branched from the header pipe 56 is connected to the controller 33A, and the other connection end 37 is connected to the controller 33B. The header pipe 56 distributes the reference pressure transmitted by the hollow tube 34 to the controllers 33A and 33B. The hollow tube 34 is installed in the detection end portion 35, the intermediate portion 36, and the connection end portion 37 so that the transmission of atmospheric pressure inside these portions 35 to 37 is not blocked.

それらコントローラ33A,33Bには、中空管34の他に、クリーンルーム12A,12Bの室内気圧を伝達する中空管38が設置されている。中空管38は、その一端部39がクリーンルーム12A,12Bの室内に設置手段を介してずれ動きがないように設置され、その他端部40がコントローラ33A,33Bに接続されている。中空管38の一端部39や他端部40には、開口が形成されている。   In addition to the hollow tube 34, these controllers 33A and 33B are provided with a hollow tube 38 that transmits the indoor air pressure of the clean rooms 12A and 12B. One end 39 of the hollow tube 38 is installed in the clean rooms 12A and 12B so as not to be displaced via installation means, and the other end 40 is connected to the controllers 33A and 33B. Openings are formed in one end 39 and the other end 40 of the hollow tube 38.

中空管34における空気第1出入口42,44A,44Bや空気第2出入口は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である(図2,3参照)。図3の空気第1出入口44A,44Bを採用した場合の出入口44A,44Bの開口面積は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一である。中空管34の検出端部35から接続端部37までの長さや中空管34の検出端部35と中間部36と接続端部37との内径Lは、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である。   The first air inlet / outlet 42, 44A, 44B and the second air inlet / outlet in the hollow tube 34 are the same as those described in the system 10A of FIG. 1 (see FIGS. 2 and 3). When the first air inlets 44A and 44B in FIG. 3 are employed, the opening areas of the inlets 44A and 44B are the same as those described in the system 10A in FIG. The length from the detection end 35 of the hollow tube 34 to the connection end 37 and the inner diameter L of the detection end 35, the intermediate portion 36, and the connection end 37 of the hollow tube 34 are described in the system 10A of FIG. They are the same.

このシステム10Eの基準圧計測器具18では、屋外に吹く風の影響によって空気第1出入口42,44A,44Bを備えた検出端部35の近傍の気圧が変動し、出入口42,44A,44Bに接する空気の気圧が大きく変化したとしても、中空管34の圧力抵抗により、中空管34内部の静圧の振幅の変動が検出端部35から接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、中空管34内部の静圧の周期が検出端部35から接続端部37に向かって次第に長くなり、屋外に吹く風の影響による気圧変動に対して中空管34内部の静圧が安定化する。したがって、中空管34では、気圧変動に対してそれら検出端部35や端部35近傍のそれら中間部36における静圧が不安定となったとしても、接続端部37や端部37近傍の中間部36における静圧が安定し、安定した基準圧が計測される。   In the reference pressure measuring instrument 18 of the system 10E, the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end portion 35 including the first air inlet / outlet ports 42, 44A, 44B varies due to the influence of the wind blowing outdoors, and comes into contact with the inlet / outlet ports 42, 44A, 44B. Even if the air pressure changes greatly, the fluctuation in the amplitude of the static pressure inside the hollow tube 34 gradually decreases from the detection end 35 toward the connection end 37 due to the pressure resistance of the hollow tube 34. The period of static pressure inside the empty tube 34 gradually increases from the detection end 35 toward the connection end 37, and the static pressure inside the hollow tube 34 is stabilized against atmospheric pressure fluctuations due to the effect of wind blowing outdoors. . Therefore, in the hollow tube 34, even if the static pressure in the detection end portion 35 and the intermediate portion 36 in the vicinity of the end portion 35 becomes unstable with respect to atmospheric pressure fluctuation, the connection end portion 37 and the vicinity of the end portion 37 are not affected. The static pressure in the intermediate part 36 is stabilized, and a stable reference pressure is measured.

図6を援用してこのシステム10Eにおける変動原因の非発生時の室内気圧コントロールの一例を説明すると以下のとおりである。なお、このシステム10Eにおける変動原因の非発生時の室内気圧コントロールの詳細については、図6のフローチャートを参照して説明した図1のシステム10Aの具体例を援用する。また、クリーンルーム12A,12Bの室内気圧を変動させる変動原因の発生時における室内気圧のコントロールは図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一であるから、図1のシステム10Aの説明を援用することで、その説明は省略する。   With reference to FIG. 6, an example of indoor pressure control at the time of non-occurrence of variation in the system 10E will be described as follows. For the details of the indoor pressure control when the cause of fluctuation in the system 10E does not occur, the specific example of the system 10A of FIG. 1 described with reference to the flowchart of FIG. 6 is used. Further, since the control of the indoor pressure at the time of occurrence of the fluctuation cause for changing the indoor pressure of the clean rooms 12A and 12B is the same as that described in the system 10A of FIG. 1, by using the description of the system 10A of FIG. The description is omitted.

屋外の基準圧は、中空管34から微差圧センサ(微差圧計)にリアルタイムかつ連続的に伝達され、クリーンルーム12の室内気圧は、中空管38から微差圧センサにリアルタイムかつ連続的に伝達される。微差圧センサは、室内気圧と基準圧との差圧をリアルタイムかつ連続的に計測し(たとえば、基準圧から室内気圧を減算、または、室内気圧から基準圧を減算)、計測した差圧をコントローラ33A,33Bに転送する(差圧計測手段)(S−1)。コントローラ33A,33Bは、差圧が適正な範囲内(あらかじめ設定された差圧の適正な範囲内)にあるかを判断する(差圧判断手段)(S−2)。または、差圧が適正な値(あらかじめ設定された差圧の適正な値)であるかを判断する(差圧判断手段)(S−2)。コントローラ33A,33Bは、差圧判断手段によって判断した結果、差圧が適正な差圧の範囲内にある場合、または、差圧が適正な差圧の値である場合、モーターダンパ17A,17Bの旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を現状のまま維持する。   The outdoor reference pressure is continuously transmitted from the hollow tube 34 to the micro differential pressure sensor (micro differential pressure gauge) in real time, and the indoor pressure in the clean room 12 is continuously transmitted from the hollow tube 38 to the micro differential pressure sensor in real time. Is transmitted to. The differential pressure sensor measures the differential pressure between the indoor pressure and the reference pressure in real time and continuously (for example, subtracts the indoor pressure from the reference pressure or subtracts the reference pressure from the indoor pressure). Transfer to the controllers 33A and 33B (differential pressure measuring means) (S-1). The controllers 33A and 33B determine whether or not the differential pressure is within an appropriate range (within a preset appropriate range of differential pressure) (differential pressure determination means) (S-2). Alternatively, it is determined whether the differential pressure is an appropriate value (appropriate value for the preset differential pressure) (differential pressure determining means) (S-2). As a result of the determination by the differential pressure determination means, the controllers 33A and 33B determine that the motor dampers 17A and 17B have the differential pressures within the appropriate differential pressure range or when the differential pressures are within the proper differential pressure values. The turning angle (damper opening) of the turning blade 32 is maintained as it is.

ステップ2(S−2)においてコントローラ33A,33Bは、差圧判断手段によって判断した結果、差圧が適正な差圧の範囲内にない場合、または、差圧が適正な差圧の値でない場合、基準圧に対してクリーンルーム12A,12Bの室内気圧が適正な陽圧の範囲内になるように(差圧が適正な差圧の範囲内になるように、または、差圧が適正な差圧の値になるように)、モーターダンパ17A,17Bの旋回羽根32の旋回角度(ダンパ開度)を微調節するフィードバック制御(制御動作)によって開度制御信号をダンパ17に出力し(S−4)、ダンパ17A,17Bの空気流路の開度を所定の開度に調節する(流量調節手段)。モーターダンパ17A,17Bでは、その空気流路を通過する空気の流量が変更され(S−5)、それによってクリーンルーム12A,12Bの室内気圧が基準圧よりも高い適正な陽圧の範囲または適正な陽圧の値に保持される。   In step 2 (S-2), when the controller 33A, 33B determines that the differential pressure is not within the proper differential pressure range or the differential pressure is not the proper differential pressure value as a result of the determination by the differential pressure determining means. , So that the indoor pressure in the clean rooms 12A and 12B is within the proper positive pressure range with respect to the reference pressure (the differential pressure is within the proper differential pressure range, or the differential pressure is the proper differential pressure) The opening degree control signal is output to the damper 17 by feedback control (control operation) for finely adjusting the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 32 of the motor dampers 17A and 17B (S-4). ), Adjusting the opening degree of the air flow path of the dampers 17A, 17B to a predetermined opening degree (flow rate adjusting means). In the motor dampers 17A and 17B, the flow rate of the air passing through the air flow path is changed (S-5), whereby the room pressure of the clean rooms 12A and 12B is in a proper positive pressure range higher than the reference pressure or proper. The positive pressure is maintained.

室内気圧調節システム10Eおよび室内気圧調節方法は、中空管38から伝達されたクリーンルーム12A,12Bの室内気圧と中空管34から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した室内気圧と基準圧との差圧に基づいて、コントローラ33A,33B(モーターダンパ17A,17B)が基準圧に対する室内気圧を適正な陽圧に保持(計測した差圧を適正な差圧の範囲内に保持、または、計測した差圧を適正な差圧の値に保持)するために空気の排気量を調節するから、クリーンルーム12A,12Bの室内気圧を基準圧よりも高い適正な陽圧に常時保持することができる。   The indoor pressure regulation system 10E and the room pressure regulation method measure the pressure difference between the room pressure of the clean rooms 12A and 12B transmitted from the hollow tube 38 and the reference pressure transmitted from the hollow tube 34, and measure the measured room pressure. Controllers 33A and 33B (motor dampers 17A and 17B) maintain the room pressure relative to the reference pressure at an appropriate positive pressure based on the difference between the pressure and the reference pressure (the measured pressure difference is maintained within the range of the appropriate pressure difference). (Or, to maintain the measured differential pressure at an appropriate differential pressure value), the air displacement is adjusted so that the indoor pressure in the clean rooms 12A and 12B is always maintained at an appropriate positive pressure higher than the reference pressure. be able to.

室内気圧調節システム10Eおよび室内気圧調節方法は、建造物11の屋外における空気の基準圧の計測に一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管23が使用され、風の影響によって空気第1出入口42,45A,45Bを有する検出端部35の近傍の気圧が変動したとしても、中空管34の内部の圧力抵抗によって気圧の変動に対する中空管34内部における静圧の振幅の変動が検出端部35から接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、気圧の変動に対する中空管34内部における静圧の周期が検出端部35から接続端部37に向かって次第に長くなるから、気圧の変動に対して中空管34内部の静圧を安定化させることができ、基準圧の不規則かつ急激な変化を防ぐことができるとともに、コントローラ33A,33B33(モーターダンパ17A,17B)に安定した基準圧を伝達することができる。   The indoor air pressure control system 10E and the indoor air pressure control method use a long and flexible hollow tube 23 that is long in one direction for measurement of the air reference pressure outside the building 11, and the air is influenced by the wind. Even if the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end 35 having the first entrances 42, 45 </ b> A, 45 </ b> B fluctuates, fluctuations in the amplitude of static pressure inside the hollow tube 34 with respect to fluctuations in atmospheric pressure due to pressure resistance inside the hollow pipe 34 Is gradually reduced from the detection end 35 toward the connection end 37, and the period of static pressure inside the hollow tube 34 with respect to fluctuations in atmospheric pressure gradually increases from the detection end 35 toward the connection end 37. The static pressure inside the hollow tube 34 can be stabilized against fluctuations in atmospheric pressure, and irregular and sudden changes in the reference pressure can be prevented, and the controllers 33A and 33B3. (Motor dampers 17A, 17B) a stable reference pressure can be transmitted.

室内気圧調節システム10Eおよび室内気圧調節方法は、空気第1出入口42,45A,45Bを有する検出端部35の近傍において気圧が変動したとしても、中空管34によって安定した基準圧が伝達されるから、不規則かつ急激に変化する基準圧を使用することによるモーターダンパ17A,17Bの調節動作(制御動作)の誤作動や過作動を防止することができるとともに、基準圧に対するクリーンルーム12A,12Bの室内気圧を適正な陽圧に確実に保持することができ、外部からクリーンルーム12A,12Bへの空気の流入を防ぐことができる。   In the indoor air pressure adjusting system 10E and the indoor air pressure adjusting method, even if the air pressure fluctuates in the vicinity of the detection end portion 35 having the first air inlet / outlet 42, 45A, 45B, a stable reference pressure is transmitted by the hollow tube 34. Therefore, it is possible to prevent malfunction and overoperation of the adjustment operation (control operation) of the motor dampers 17A and 17B due to the use of irregular and abruptly changing reference pressure, and the clean rooms 12A and 12B with respect to the reference pressure can be prevented. The room pressure can be reliably maintained at an appropriate positive pressure, and the inflow of air from the outside to the clean rooms 12A and 12B can be prevented.

図11は、他の一例として示す室内気圧調節システム10Fの構成図である。図11に示すシステム10Fが図10のそれと異なるところは、中空管34が2つの検出端部35A,35Bと2つの中間部36A,36Bとを有する点、一方の検出端部35Aが第1の方角における屋外に設置され、他方の検出端部35Bが第1の方角とは反対の第2の方角に設置されている点にあり、その他の構成要素は図11のシステム10Eと同一であるから、図1や図11と同様の符号を付すとともに、図1や図11の説明を援用し、このシステム10Fにおけるその他の構成要素の詳細な説明は省略する。   FIG. 11 is a configuration diagram of an indoor pressure adjustment system 10F shown as another example. The system 10F shown in FIG. 11 is different from that of FIG. 10 in that the hollow tube 34 has two detection ends 35A and 35B and two intermediate portions 36A and 36B, and one detection end 35A is the first. The other detection end 35B is installed in the second direction opposite to the first direction, and the other components are the same as those of the system 10E in FIG. Therefore, the same reference numerals as those in FIG. 1 and FIG. 11 are attached, and the explanation of FIG. 1 and FIG. 11 is used, and the detailed explanation of other components in the system 10F is omitted.

室内気圧調節システム10F(室内気圧調節方法)は、給気ダクト13および排気ダクト14と、給気ファン15および排気ファン16と、モーターダンパ17A,17Bおよび基準圧伝達装置18とを備えている。基準圧計測器具18は、図1のそれと同様に、長さ方向へ長い長尺の中空管34から形成され、建造物11の屋外における気圧(基準圧)をコントローラ33A,33Bに伝達する。中空管34は、断面形状が円形のホースであり、曲げ延ばしが自在な可撓性を有する。中空管34は、空気第1出入口42,45A,45Bを備えた検出端部35と、中間部36と、空気第2出入口を備えた接続端部37とを有する。   The indoor air pressure adjustment system 10F (indoor air pressure adjustment method) includes an air supply duct 13 and an exhaust duct 14, an air supply fan 15 and an exhaust fan 16, motor dampers 17A and 17B, and a reference pressure transmission device 18. The reference pressure measuring instrument 18 is formed of a long hollow tube 34 that is long in the length direction, similar to that of FIG. 1, and transmits the atmospheric pressure (reference pressure) of the building 11 to the controllers 33A and 33B. The hollow tube 34 is a hose having a circular cross-sectional shape, and has flexibility to bend and extend. The hollow tube 34 has a detection end 35 provided with air first inlets 42, 45A, 45B, an intermediate part 36, and a connection end 37 provided with an air second inlet / outlet.

中間部36は、接続端部37から分岐する2つの第1中間部36Aと第2中間部36Bとから形成されている。それら中間部36A,36Bは、コイル状に巻かれている。検出端部35は、それら中間部36A,36Bにつながる2つの第1検出端部35Aと第2検出端部35Bとから形成されている。一方の検出端部35Aは、第1の方角(たとえば、建造物11の北側)における建造物11近傍の屋外に設置され、他方の検出端部35Bは、第1の方角とは反対の第2の方角(たとえば、建造物11の南側)における建造物11近傍の屋外に設置されている。それら中間部36A,36Bおよび接続端部37は、建造物11の屋内に設置されている。   The intermediate portion 36 is formed of two first intermediate portions 36A and a second intermediate portion 36B that branch from the connection end portion 37. The intermediate portions 36A and 36B are wound in a coil shape. The detection end 35 is formed of two first detection ends 35A and a second detection end 35B connected to the intermediate portions 36A and 36B. One detection end 35A is installed outdoors in the vicinity of the building 11 in the first direction (for example, the north side of the building 11), and the other detection end 35B is the second opposite to the first direction. It is installed outdoors in the vicinity of the building 11 in the direction of (for example, the south side of the building 11). The intermediate portions 36A and 36B and the connection end portion 37 are installed indoors in the building 11.

中間部36から延びる接続端部37は、ヘッダーパイプ56(分配器)に接続された後、ヘッダーパイプ56から2つに分岐している。ヘッダーパイプ56から分岐した一方の接続端部37は、コントローラ33Aに接続され、他方の接続端部37は、コントローラ33Bに接続されている。ヘッダーパイプ56は、中空管34によって伝達される基準圧をそれらコントローラ33A,33Bに分配する。中空管34は、検出端部35と中間部36と接続端部37とにおいてそれら部35〜37の内部における気圧の伝達が遮断されないように設置されている。   The connection end 37 extending from the intermediate part 36 is connected to the header pipe 56 (distributor) and then branches into two from the header pipe 56. One connection end 37 branched from the header pipe 56 is connected to the controller 33A, and the other connection end 37 is connected to the controller 33B. The header pipe 56 distributes the reference pressure transmitted by the hollow tube 34 to the controllers 33A and 33B. The hollow tube 34 is installed in the detection end portion 35, the intermediate portion 36, and the connection end portion 37 so that the transmission of atmospheric pressure inside these portions 35 to 37 is not blocked.

中空管34における空気第1出入口42,44A,44Bや空気第2出入口は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である(図2,3参照)。図3の空気第1出入口44A,44Bを採用した場合の出入口44A,44Bの開口面積は、図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一である。中空管34の検出端部(35Aまたは35B)から接続端部37までの長さや中空管34の検出端部35A,35Bと中間部36A,36Bと接続端部37との内径Lは、図1のシステム10Aにおいて説明したそれらと同一である。   The first air inlet / outlet 42, 44A, 44B and the second air inlet / outlet in the hollow tube 34 are the same as those described in the system 10A of FIG. 1 (see FIGS. 2 and 3). When the first air inlets 44A and 44B in FIG. 3 are employed, the opening areas of the inlets 44A and 44B are the same as those described in the system 10A in FIG. The length from the detection end (35A or 35B) of the hollow tube 34 to the connection end 37 and the inner diameter L of the detection ends 35A, 35B, the intermediate portions 36A, 36B and the connection end 37 of the hollow tube 34 are: These are the same as those described in the system 10A of FIG.

このシステム10Eの基準圧計測器具18では、屋外に吹く風の影響によって空気第1出入口42,44A,44Bを備えた検出端部35の近傍の気圧が変動し、出入口42,44A,44Bに接する空気の気圧が大きく変化したとしても、中空管34の圧力抵抗により、中空管34内部の静圧の振幅の変動が検出端部35A,35Bから接続端部37に向かって次第に小さくなるとともに、中空管34内部の静圧の周期が検出端部35A,35Bから接続端部37に向かって次第に長くなり、屋外に吹く風の影響による気圧変動に対して中空管34内部の静圧が安定化するとともに、検出端部35A,35Bや中間部36A,36Bによって静圧が平均化される。したがって、中空管34では、気圧変動に対してそれら検出端部35A,35Bや端部35A,35B近傍のそれら中間部36A,36Bにおける静圧が不安定となったとしても、接続端部37や端部37近傍の中間部36A,36Bにおける静圧が安定し、安定かつ平均化した基準圧が計測される。   In the reference pressure measuring instrument 18 of the system 10E, the atmospheric pressure in the vicinity of the detection end portion 35 including the first air inlet / outlet ports 42, 44A, 44B varies due to the influence of the wind blowing outdoors, and comes into contact with the inlet / outlet ports 42, 44A, 44B. Even if the air pressure changes greatly, due to the pressure resistance of the hollow tube 34, fluctuations in the static pressure amplitude inside the hollow tube 34 gradually decrease from the detection end portions 35A and 35B toward the connection end portion 37. The period of the static pressure inside the hollow tube 34 becomes longer gradually from the detection end portions 35A and 35B toward the connection end portion 37, and the static pressure inside the hollow tube 34 with respect to the atmospheric pressure fluctuation due to the wind blowing outdoors. Is stabilized, and the static pressure is averaged by the detection end portions 35A and 35B and the intermediate portions 36A and 36B. Therefore, in the hollow tube 34, even if the static pressure in the detection end portions 35A and 35B and the intermediate portions 36A and 36B in the vicinity of the end portions 35A and 35B becomes unstable with respect to the atmospheric pressure fluctuation, the connection end portion 37 In addition, the static pressure in the intermediate portions 36A and 36B in the vicinity of the end portion 37 is stabilized, and a stable and averaged reference pressure is measured.

図6のフローチャートにおいて説明した図1のシステム10Aの具体例や図6のフローチャートを援用して説明した図11のシステム10Eの例を援用することで、このシステム10Fにおける変動原因の非発生時の室内気圧コントロールの説明は省略する。また、クリーンルーム12A,12Bの室内気圧を変動させる変動原因の発生時における室内気圧のコントロールは図1のシステム10Aにおいて説明したそれと同一であるから、図1のシステム10Aの説明を援用することで、その説明は省略する。   By using the specific example of the system 10A of FIG. 1 described in the flowchart of FIG. 6 and the example of the system 10E of FIG. 11 described with the aid of the flowchart of FIG. The explanation of the indoor pressure control is omitted. Further, since the control of the indoor pressure at the time of occurrence of the fluctuation cause for changing the indoor pressure of the clean rooms 12A and 12B is the same as that described in the system 10A of FIG. 1, by using the description of the system 10A of FIG. The description is omitted.

室内気圧調節システム10Fおよび室内気圧調節方法は、図11のシステム10E(方法)が有する効果に加え、以下の効果を有する。システム10Fおよび方法は、2つの中間部36A,36Bおよび2つの検出端部35A,35Bにおいて2箇所の基準圧を計測し、計測した2箇所の基準圧の平均を採ることができるから、基準圧を平均化することができ、1つ箇所において基準圧を計測することによる基準圧の偏りを防ぐことができる。   The indoor air pressure adjustment system 10F and the indoor air pressure adjustment method have the following effects in addition to the effects of the system 10E (method) in FIG. The system 10F and the method can measure two reference pressures at the two intermediate portions 36A and 36B and the two detection end portions 35A and 35B, and can take an average of the two measured reference pressures. Can be averaged, and deviation of the reference pressure due to measurement of the reference pressure at one location can be prevented.

10A〜10F 室内気圧調節システム
11 建造物
12 クリーンルーム
12A 第1クリーンルーム
12B 第2クリーンルーム
13 給気ダクト
14 排気ダクト
15 給気ファン(給気装置)
16 排気ファン(排気装置)
17 モーターダンパ
17A,17B モーターダンパ
18 基準圧伝達装置
24 局所排気装置
25 局所給気装置
27 扉
27A〜27C 扉
32 旋回羽根
33 コントローラ
33A,33B コントローラ
34 中空管
35 検出端部
35A,35B 検出端部
36 中間部
36A,36B 中間部
37 接続端部
44 周側面
45A,45B 空気第1出入口
46 内周面
47 筐体
54 空気流通窓
56 ヘッダーパイプ(分配器)
10A to 10F Indoor pressure control system 11 Building 12 Clean room 12A First clean room 12B Second clean room 13 Air supply duct 14 Air exhaust duct 15 Air supply fan (air supply device)
16 Exhaust fan (exhaust device)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 17 Motor damper 17A, 17B Motor damper 18 Reference pressure transmission apparatus 24 Local exhaust apparatus 25 Local air supply apparatus 27 Door 27A-27C Door 32 Swirling blade 33 Controller 33A, 33B Controller 34 Hollow pipe 35 Detection end part 35A, 35B Detection end Part 36 Intermediate part 36A, 36B Intermediate part 37 Connection end part 44 Peripheral side face 45A, 45B First air inlet / outlet 46 Inner peripheral face 47 Housing 54 Air distribution window 56 Header pipe (distributor)

Claims (16)

空調空間を有する空調室に空気を給気する給気装置と、前記空調室から空気を排気する排気装置と、前記空調室への空気の給気量と該空調室からの空気の排気量との少なくとも一方を調節可能な流量調節装置と、所定の箇所における空気の基準圧を前記流量調節装置に伝達する基準圧伝達装置とを備え、前記空調室の室内気圧を前記基準圧よりも高い陽圧または該基準圧よりも低い負圧に保持する室内気圧調節システムにおいて、
前記基準圧伝達装置が、一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管から形成され、前記中空管が、空気第1出入口を有して前記所定の箇所に設置された検出端部と、空気第2出入口を有して前記流量調節装置に接続された接続端部と、前記検出端部と前記接続端部との間に位置する中間部とを備え、
前記流量調節装置が、前記空調室の室内気圧と前記中空管から伝達された基準圧との差圧を計測する差圧計測手段と、前記差圧計測手段によって計測した差圧に基づいて、前記基準圧に対する前記室内気圧を陽圧または負圧に保持するために前記空気の給排気量の少なくとも一方を調節する流量調節手段とを実行することを特徴とする室内気圧調節システム。
An air supply device for supplying air to an air-conditioned room having an air-conditioned space, an exhaust device for exhausting air from the air-conditioned room, an air supply amount to the air-conditioning room, and an air exhaust amount from the air-conditioning room A flow rate adjustment device capable of adjusting at least one of the flow rate adjustment device and a reference pressure transmission device for transmitting a reference pressure of air at a predetermined location to the flow rate adjustment device, wherein the air pressure in the air conditioning chamber is higher than the reference pressure. In an indoor pressure control system that maintains a negative pressure lower than the reference pressure or the reference pressure,
The reference pressure transmission device is formed of a long, flexible hollow tube that is long in one direction, and the hollow tube has a first air inlet / outlet and is installed at the predetermined location. A connecting end portion having an air second inlet / outlet and connected to the flow rate adjusting device, and an intermediate portion located between the detecting end portion and the connecting end portion,
Based on the differential pressure measured by the differential pressure measuring means, the differential pressure measuring means for measuring the differential pressure between the atmospheric pressure of the air conditioning chamber and the reference pressure transmitted from the hollow tube, A flow rate adjusting means for adjusting at least one of the supply / exhaust amount of the air in order to maintain the indoor pressure with respect to the reference pressure at a positive pressure or a negative pressure.
前記室内気圧調節システムでは、前記空調室の室内気圧がリアルタイムで連続的に検知され、前記基準圧が前記中空管からリアルタイムで連続的に伝達され、前記差圧計測手段が、前記室内気圧と前記基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測する請求項1に記載の室内気圧調節システム。   In the indoor pressure control system, the indoor pressure in the air conditioning chamber is continuously detected in real time, the reference pressure is continuously transmitted from the hollow tube in real time, and the differential pressure measuring means The indoor pressure control system according to claim 1, wherein a differential pressure from the reference pressure is continuously measured in real time. 前記室内気圧調節システムが、2つ以上の空調室への空気の給気量とそれら空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能な2つ以上の流量調節装置と、前記中空管によって伝達される基準圧を前記2つ以上の流量調節装置に分配する分配器とを含み、前記中空管の接続端部が、前記分配器に接続されているとともに、前記分配器から2つ以上に分岐してそれら流量調節装置に接続されている請求項1または請求項2に記載の室内気圧調節システム。   The indoor pressure control system includes two or more flow rate control devices capable of adjusting either the amount of air supplied to two or more air-conditioned rooms and the amount of air discharged from the air-conditioned rooms, and the hollow A distributor for distributing a reference pressure transmitted by a pipe to the two or more flow control devices, wherein a connecting end of the hollow pipe is connected to the distributor, and 2 from the distributor. The indoor pressure control system according to claim 1 or 2, wherein the system is branched into two or more and connected to the flow control devices. 前記中空管の中間部が、コイル状に巻かれている請求項1ないし請求項3いずれかに記載の室内気圧調節システム。   The indoor pressure control system according to any one of claims 1 to 3, wherein an intermediate portion of the hollow tube is wound in a coil shape. 前記中空管の検出端部が、前記中間部から少なくとも2つに分岐している請求項1ないし請求項4いずれかに記載の室内気圧調節システム。   The indoor atmospheric pressure control system according to any one of claims 1 to 4, wherein a detection end portion of the hollow tube is branched into at least two from the intermediate portion. 前記中空管が、前記接続端部から分岐する少なくとも2つの前記中間部と、それら中間部につながる少なくとも2つの前記検出端部とを有する請求項1ないし請求項5いずれかに記載の室内気圧調節システム。   The indoor air pressure according to any one of claims 1 to 5, wherein the hollow tube has at least two intermediate portions branched from the connection end portion and at least two detection end portions connected to the intermediate portions. Adjustment system. 少なくとも2つの前記検出端部の一方が、第1の方角における屋外に設置され、前記検出端部の他方が、前記第1の方角とは反対の第2の方角に設置されている請求項6に記載の室内気圧調節システム。   7. One of the at least two detection end portions is installed outdoors in a first direction, and the other of the detection end portions is installed in a second direction opposite to the first direction. The indoor pressure control system described in 1. 前記中空管の検出端部が、閉塞先端と前記閉塞先端から続く周側面とを有し、前記空気第1出入口が、前記周側面に形成されている請求項1ないし請求項7いずれかに記載の室内気圧調節システム。   The detection end of the hollow tube has a closed tip and a peripheral side surface continuing from the closed tip, and the first air inlet / outlet is formed on the peripheral side. The indoor pressure control system described. 前記空気第1出入口が、前記周側面に複数個形成され、前記空気第1出入口の開口面積が、10〜20mmの範囲にある請求項8に記載の室内気圧調節システム。 The indoor air pressure control system according to claim 8, wherein a plurality of the first air inlets / outlets are formed on the peripheral side surface, and an opening area of the first air inlet / outlet is in a range of 10 to 20 mm 2 . 前記中空管の検出端部とコイル状に巻かれた中間部とが、空気流通窓を有する通気性の筐体内部に収容され、前記中空管の接続端部が、前記筐体から露出している請求項4ないし請求項9いずれかに記載の室内気圧調節システム。   A detection end portion of the hollow tube and an intermediate portion wound in a coil shape are accommodated in a breathable housing having an air flow window, and a connection end portion of the hollow tube is exposed from the housing. The indoor atmospheric pressure regulation system according to any one of claims 4 to 9. 前記中空管の検出端部から接続端部までの長さが、50〜500mの範囲にあり、前記中空管の検出端部と接続端部と中間部と内径が、4〜20mmの範囲にある請求項1ないし請求項10いずれかに記載の室内気圧調節システム。   The length from the detection end to the connection end of the hollow tube is in the range of 50 to 500 m, and the detection end, the connection end, the intermediate portion, and the inner diameter of the hollow tube are in the range of 4 to 20 mm. The indoor atmospheric pressure control system according to any one of claims 1 to 10, wherein 前記中空管は、前記検出端部と前記接続端部との圧力差±10〜±150Paの範囲における該検出端部近傍の気圧変動に対して中空管内部の静圧を安定させる請求項1ないし請求項11いずれかに記載の室内気圧調節システム。   The said hollow tube stabilizes the static pressure inside a hollow tube with respect to the atmospheric | air pressure fluctuation of this detection end part in the range of the pressure difference +/- 10-/-150Pa of the said detection end part and the said connection end part. The indoor atmospheric pressure control system according to any one of claims 1 to 11. 前記流量調節装置が、前記差圧を計測する微差圧計と、ダンパ開度によって前記空調室への空気の給気量と該空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能なモーターダンパとから形成されている請求項1ないし請求項12いずれかに記載の室内気圧調節システム。   The flow rate adjusting device is a fine differential pressure gauge for measuring the differential pressure, and a motor capable of adjusting either the amount of air supplied to the air-conditioned room or the amount of air discharged from the air-conditioned room by a damper opening degree. The indoor pressure control system according to any one of claims 1 to 12, wherein the indoor pressure control system is formed of a damper. 空調空間を有する空調室に空気を給気する給気装置と、前記空調室から空気を排気する排気装置と、前記空調室への空気の給気量と該空調室からの空気の排気量との少なくとも一方を調節可能な流量調節装置と、所定の箇所における空気の基準圧を前記流量調節装置に伝達する基準圧伝達装置とを備え、前記空調室の室内気圧を前記基準圧よりも高い陽圧または該基準圧よりも低い負圧に保持する室内気圧調節方法において、
前記基準圧伝達装置が、一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管から形成され、前記中空管が、空気第1出入口を有して前記所定の箇所に設置された検出端部と、空気第2出入口を有して前記流量調節装置に接続された接続端部と、前記検出端部と前記接続端部との間に位置する中間部とを備え、
前記流量調節装置が、前記空調室の室内気圧と前記中空管から伝達された基準圧との差圧を計測するとともに、計測した差圧に基づいて、前記基準圧に対する前記室内気圧を陽圧または負圧に保持するために前記空気の給排気量の少なくとも一方を調節することを特徴とする室内気圧調節方法。
An air supply device for supplying air to an air-conditioned room having an air-conditioned space, an exhaust device for exhausting air from the air-conditioned room, an air supply amount to the air-conditioning room, and an air exhaust amount from the air-conditioning room A flow rate adjustment device capable of adjusting at least one of the flow rate adjustment device and a reference pressure transmission device for transmitting a reference pressure of air at a predetermined location to the flow rate adjustment device, wherein the air pressure in the air conditioning chamber is higher than the reference pressure. In the indoor pressure adjustment method for maintaining the pressure or the negative pressure lower than the reference pressure,
The reference pressure transmission device is formed of a long, flexible hollow tube that is long in one direction, and the hollow tube has a first air inlet / outlet and is installed at the predetermined location. A connecting end portion having an air second inlet / outlet and connected to the flow rate adjusting device, and an intermediate portion located between the detecting end portion and the connecting end portion,
The flow control device measures a differential pressure between an indoor pressure of the air-conditioned room and a reference pressure transmitted from the hollow tube, and based on the measured differential pressure, positively converts the indoor pressure with respect to the reference pressure. Or, in order to maintain the negative pressure, at least one of the air supply and exhaust amount is adjusted.
前記室内気圧調節方法では、前記空調室の室内気圧がリアルタイムで連続的に検知され、前記基準圧が前記中空管からリアルタイムで連続的に伝達されるとともに、前記室内気圧と前記基準圧との差圧をリアルタイムで連続的に計測する請求項14に記載の室内気圧調節方法。   In the indoor air pressure adjusting method, the indoor air pressure of the air conditioning chamber is continuously detected in real time, the reference pressure is continuously transmitted from the hollow tube in real time, and the indoor air pressure and the reference pressure are The indoor pressure adjustment method according to claim 14, wherein the differential pressure is continuously measured in real time. 前記室内気圧調節方法が、2つ以上の空調室への空気の給気量とそれら空調室からの空気の排気量とのいずれかを調節可能な2つ以上の流量調節装置と、前記中空管によって伝達される基準圧を前記2つ以上の流量調節装置に分配する分配器とを含み、前記中空管の接続端部が、前記分配器に接続されているとともに、前記分配器から2つ以上に分岐してそれら流量調節装置に接続されている請求項14または請求項15に記載の室内気圧調節方法。   The indoor air pressure adjusting method includes two or more flow rate adjusting devices capable of adjusting either the amount of air supplied to two or more air-conditioned rooms and the amount of air discharged from the air-conditioned rooms, and the hollow A distributor for distributing a reference pressure transmitted by a pipe to the two or more flow control devices, wherein a connecting end of the hollow pipe is connected to the distributor, and 2 from the distributor. The indoor air pressure adjusting method according to claim 14 or 15, wherein the indoor air pressure adjusting method is branched into two or more and connected to the flow rate adjusting device.
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