JP2013023256A - Transporting rack device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、剛性である矩形状(四角形状)の大型薄板ガラス基板を、貨物等の輸送時における振動や衝撃を低減する目的の輸送用架台装置に関する。 The present invention relates to a transportation gantry device for the purpose of reducing vibration and impact of a rigid rectangular (quadrangle) large thin glass substrate during transportation of cargo or the like.
表示装置用で代表される基板は、薄層であって大サイズであることから、平面状態で保管することは困難であり、通常は中央部を下方にやや湾曲させた状態で保管される。また、表面に機能層を有することから、基板の相互面間を接触させてはならない問題がある。
さらに、輸送コストの節減や省スペース化の要求から高密度に集積して保管することが必要であり、また輸送時における破損や割れから基板を保護することも要求される。
A substrate typified by a display device is a thin layer and has a large size, so that it is difficult to store it in a flat state, and it is usually stored in a state where the central portion is slightly curved downward. Further, since the functional layer is provided on the surface, there is a problem that the mutual surfaces of the substrates should not be brought into contact with each other.
Furthermore, it is necessary to accumulate and store at a high density in order to reduce transportation costs and save space, and it is also required to protect the substrate from damage and cracks during transportation.
なお、大型薄板ガラス基板の例としては、特には、プラズマや液晶表示用のカラーフィルター、それらの中間製品、その他の各種基板等を挙げることができる。 Examples of large thin glass substrates include color filters for plasma and liquid crystal display, intermediate products thereof, and various other substrates.
本発明は、このように大型薄板ガラス基板を湾曲させて水平に載置する枠体を、多段に積み重ねて安定に載置できるインナーパレットと、該大型薄板ガラス基板が多段に積層された状態のインナーパレットを、荷崩れやガタツキの生じないように、安全に輸送するための防振パレットとの組み合わせからなる輸送用架台装置に関するものである。 The present invention is such that the large pallet glass substrate is bent and horizontally placed, and the inner pallet that can be stably stacked and stacked in multiple stages, and the large thin glass substrate are stacked in multiple stages. The present invention relates to a transportation gantry device comprising a combination with an anti-vibration pallet for safely transporting an inner pallet so that cargo collapse and rattling do not occur.
液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル、それら表示装置に使用されるカラーフィルター等の大型薄板ガラス基板は、表面に機能層を備えた板状物である。その板状物の輸送に際し、表面の機能層を損傷したり、汚したりすることなく輸送することが重要である。このような板状物を輸送する際は、板状物表面の機能層を保護するため、表面同士や、表面と裏面間が接触しないように1枚毎に所定間隔で並列収納する必要がある。 Large thin glass substrates such as liquid crystal display panels, plasma display panels, and color filters used in such display devices are plate-like objects having a functional layer on the surface. When transporting the plate-like material, it is important to transport it without damaging or soiling the functional layer on the surface. When transporting such plate-like objects, it is necessary to store them in parallel at predetermined intervals for each sheet so that the functional layers on the surface of the plate-like objects are protected so that the surfaces do not contact each other or between the front and back surfaces. .
また、これら薄板ガラス基板であるカラーフィルターやその中間製品等は、表示装置自体が大型化していることや、小型の表示装置であってもコストダウンのため、多面付けによる製造方法が取り入れられ、大サイズの薄板ガラス基板が使用されている。 In addition, these thin glass substrates, such as color filters and their intermediate products, have a large display device itself, and even for small display devices, cost reductions have been adopted for multifaceted manufacturing methods. A large-sized thin glass substrate is used.
カラーフィルター基板には、一定の剛性を有するガラス材料が使用されており、大サイズ化された薄板ガラス基板は、1メートル角程度サイズ以上のものでも、ガラス基板の厚さは0.5mmから1.0mm程度に過ぎない。このように薄く大サイズ化されたガラス基板を、従来使用されているような平面に載置した状態で輸送すると、輸送中の振動や衝撃により跳ね上がりの発生がより大きくなり表面の機能層は元より基板そのものを損傷する可能性がある。しかし、薄く大サイズ化されたガラス基板を水平に湾曲させた状態で載置すると、ガラス基板自体が水平方向に戻ろうとする力に対して反発力が働くため、平面の場合よりは却って跳ね上がりが発生しにくくなる。しかし、湾曲させて安定に載置できるインナーパレットだけでは、特に貨物等での路上輸送時の振動や衝撃には耐えうることが難しく、貨物等の輸送における振動や衝撃を低減できる防振パレットとの組み合わせが有効である。 A glass material having a certain rigidity is used for the color filter substrate. Even if a large-sized thin glass substrate having a size of about 1 square meter is used, the thickness of the glass substrate is 0.5 mm to 1 mm. Only about 0mm. When such a thin and large-sized glass substrate is transported in a state where it is placed on a flat surface as conventionally used, the occurrence of jumping due to vibration or impact during transportation becomes larger, and the functional layer on the surface becomes the original. There is a possibility of damaging the substrate itself. However, when a thin and large-sized glass substrate is placed in a horizontally curved state, a repulsive force acts against the force of the glass substrate itself returning to the horizontal direction. Less likely to occur. However, with only the inner pallet that can be bent and placed stably, it is difficult to withstand vibrations and shocks especially when transporting cargo on the road. The combination of is effective.
第6世代といわれる大型薄板ガラス基板は、1850mm×1500mm、又は1800mm×1500mmのサイズで、その基板を高い密度で集積した積み重ね体は、およそ総重量1.5トン以上となる。
ちなみに、第8世代といわれるガラス基板は、2200mm×2500mmのサイズ、第9世代は、2400mm×2800mmのサイズとなっている。
A large thin glass substrate called the sixth generation has a size of 1850 mm × 1500 mm or 1800 mm × 1500 mm, and a stacked body in which the substrates are integrated at a high density has a total weight of about 1.5 tons or more.
By the way, the glass substrate called the eighth generation has a size of 2200 mm × 2500 mm, and the ninth generation has a size of 2400 mm × 2800 mm.
貨物等からの路上輸送時の振動や衝撃の伝達を低減するために、上部枠体と下部枠体との間に防振素子を設けた、防振パレット(支持架台)が知られている。特許文献1の図8に記載される支持架台100は、積載物Lが支持架台100に載せられているが、正確な位置に載せるための嵌合構造の記載はなく、図9に記載されている支持架台100にも嵌合構造が記載されているようには見えない。特許文献2の図1に記載される制振パネル1の脚6が、パレット7との嵌合構造となっているが、制振パネル1とパレット7との嵌合構造であり、積載物を正確な位置に載せるための嵌合構造ではない。
An anti-vibration pallet (support frame) is known in which an anti-vibration element is provided between an upper frame and a lower frame in order to reduce vibrations and shock transmission during transportation on the road from cargo or the like. In the
このような中、近年、特に、液晶ディスプレイパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、カラーフィルター基板やその中間工程基板の輸送に対して、損傷したりすることなく、輸送効率向上と保管場所の省スペース化によるコスト低減が求められている。 Under such circumstances, in particular, liquid crystal display panels, in particular, require the manufacture of larger color filter-formed substrates, without causing damage to the transport of the color filter substrate and its intermediate process substrate. There is a need to reduce costs by improving transportation efficiency and saving storage space.
このようなガラス基板を嵩高にならないように、高い密度で集積して安全に輸送することは、保管場所の省スペース化は元より、輸送回数の低減、小型の貨物車両等の運用が可能となり物流コストの低減に寄与することになる。 In order to prevent such a glass substrate from becoming bulky, it is possible to integrate it at a high density and transport it safely. In addition to saving space in the storage area, it is possible to reduce the number of transportation and operate small cargo vehicles. This will contribute to the reduction of logistics costs.
そこで本発明は、およそ総重量1.5トン以上となる高い密度で集積されたガラス基板の積み重ね体を、損傷したりすることなく、安全に輸送する輸送用架台装置の提供を目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a transportation gantry device that safely transports a stack of glass substrates accumulated at a high density with a total weight of about 1.5 tons or more without being damaged.
本発明の輸送用架台装置は、以下の各態様に記載の手段により上記の課題を解決するものである。 The transportation gantry device of the present invention solves the above problems by means described in the following embodiments.
本発明の第1の態様は、大型薄板ガラス基板を湾曲させて水平に多段に積層し載置できるインナーパレットと、該大型薄板ガラス基板を多段に積層した状態の前記インナーパレットを、輸送する用途に供する防振パレットとからなる輸送用架台装置であって、前記防振パレットは、平面視矩形状の上部枠体と、該上部枠体の下方に離間して位置する平面視矩形状の下部枠体と、前記上部枠体と前記下部枠体は、複数の防振素子のみで当接され、前記上部枠体の上面には平面視前後の辺、又は左右の辺で一対の突起物からなる嵌合用突起部とからなり、前記インナーパレットの下面には、前記防振パレットの前記嵌合用突起部と嵌め合わせる枠部からなる嵌合用枠部を設け、前記防振パレットの前記嵌合用突起部と前記インナーパレットの前記嵌合用枠部の嵌め合わせにより、前記防振パレットと前記インナーパレットの位置合わせがされることを特徴とする輸送用架台装置である。 The first aspect of the present invention is an application for transporting the inner pallet in which a large thin glass substrate is bent and horizontally stacked and placed in multiple stages, and the inner pallet in a state where the large thin glass substrates are stacked in multiple stages. The anti-vibration pallet includes a top frame having a rectangular shape in plan view, and a lower part having a rectangular shape in plan view that is spaced below the upper frame. The frame body, the upper frame body, and the lower frame body are in contact with only a plurality of vibration isolation elements, and the upper surface of the upper frame body includes a pair of protrusions on the sides before and after the plan view, or on the left and right sides. And a fitting frame portion including a frame portion to be fitted with the fitting projection portion of the vibration isolation pallet is provided on the lower surface of the inner pallet, and the fitting protrusion of the vibration isolation pallet is provided. Part and the inner pallet The mating of the coupling for frame section, a transport cradle apparatus characterized by alignment of the anti-vibration pallet and the inner pallet is.
本発明の第2の態様は、前記第1の態様において、前記防振パレットの前記嵌合用突起部は、前記防振素子が配置されていない場所に設けられていることを特徴とする請求項1記載の輸送用架台装置である。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the fitting protrusion of the vibration isolation pallet is provided at a place where the vibration isolation element is not disposed. The transportation gantry device according to
本発明の第3の態様は、前記第1または第2の態様において、前記インナーパレットと前記防振パレットは、それぞれのパレットの嵌合部が形成されている辺の側面に、位置合わせのための印を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の輸送用架台装置である。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the inner pallet and the anti-vibration pallet are aligned with the side surface of the side where the fitting portion of each pallet is formed. 3. The transportation gantry device according to
本発明の第4の態様は、前記第1から第3の何れかの態様において、前記インナーパレットと前記防振パレットの部材は、SUS(Steel Use Stainless)材料より構成されていることを特徴とする請求項1から3何れか一項記載の輸送用架台装置である。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the members of the inner pallet and the anti-vibration pallet are made of a SUS (Steel Use Stainless) material. The transportation gantry device according to any one of
本発明の第1の態様によれば、輸送用架台装置は、大型薄板ガラス基板を水平に多段に積層し載置できるインナーパレットと防振パレットを組み合わせた構造で、インナーパレットは、大型薄板ガラス基板を湾曲させて水平に載置する枠体を、多段に積み重ね安定に載置することができ、防振パレットは、上部枠体と下部枠体を複数の防振素子のみで当接された構造であり、防振パレットの平面視上部枠体の上面の前後の辺、又は左右の辺で一対の突起からなる嵌合用突起部を設け、インナーパレットの下面には、該嵌合用突起部を嵌め合わせる枠からなる嵌合用枠部を設け、平面視防振パレットの中心と平面視インナーパレットの中心が合うように嵌合させることで、インナーパレットの荷重が防振パレットに均一にかかるようにすることにより、輸送時において、偏った載置によるガタツキや防振パレット上での横ズレを確実に防止でき、容易に正確な位置に載置できる効果がある。 According to the first aspect of the present invention, the transportation gantry device has a structure in which an inner pallet capable of stacking and placing large thin glass substrates horizontally in multiple stages and an anti-vibration pallet, and the inner pallet is a large thin glass plate. Frames that are horizontally placed by curving the substrate can be stacked and stably placed in multiple stages, and the anti-vibration pallet has the upper and lower frames abutted only by a plurality of anti-vibration elements. Providing a protrusion for fitting consisting of a pair of protrusions on the front and rear sides of the upper surface of the upper frame body in the plan view of the vibration proof pallet, or on the left and right sides, and the fitting protrusion on the lower surface of the inner pallet. By providing a fitting frame consisting of fitting frames and fitting so that the center of the plan view anti-vibration pallet and the center of the plan view inner pallet are aligned, the load on the inner pallet is applied uniformly to the anti-vibration pallet. To do More, during transport, the lateral deviation in rattling or vibration damping pallet according biased mounting can be reliably prevented, there is an effect that can be placed easily correct position.
本発明の第2の態様によれば、嵌合部分を防振素子が配置されていない場所に設けることで、防振素子の振動を直接受けることが無く、防振素子の振動を低減できる位置に配置されているため、嵌合部分にかかる力が緩和され、嵌合部自体の損傷も低減できる。また、嵌合部分に緩衝材等の部材の必要がなく金属のみで嵌合するため、塵埃や異物の発生を抑えられるという効果がある。 According to the second aspect of the present invention, by providing the fitting portion in a place where the vibration isolating element is not disposed, the position where vibration of the vibration isolating element is not directly received and vibration of the vibration isolating element can be reduced. Therefore, the force applied to the fitting portion is alleviated and damage to the fitting portion itself can be reduced. Further, there is no need for a member such as a cushioning material in the fitting portion, and the fitting is made only with metal, so that the generation of dust and foreign matters can be suppressed.
更に、嵌合部分を4隅に配置した場合と比較すると、フォークリフトオペレーターが、インナーパレットを載置する際に、合わせようとする2点の嵌合部分の間隔が狭くなることより、オペレーターの位置合わせ操作が容易になるという効果がある。 Furthermore, when the forklift operator places the inner pallet, the distance between the two fitting parts to be aligned becomes narrower compared to the case where the fitting parts are arranged at the four corners. There is an effect that the alignment operation becomes easy.
本発明の第3の態様によれば、インナーパレットと防振パレットの側面の嵌合部分がある位置に印をつけることで、防振パレットにインナーパレットを載置する際、フォークリフトオペレーターから嵌合部分が見えにくい場合があり、それぞれのパレット側面に合わせ位置の目印を設けることで、オペレーターの位置合わせ操作が、更に容易になるという効果がある。 According to the third aspect of the present invention, when the inner pallet is placed on the anti-vibration pallet, it is fitted from the forklift operator by marking the position where the inner pallet and the side of the anti-vibration pallet have a fitting portion. In some cases, it is difficult to see the portion, and by providing a mark of the alignment position on each pallet side surface, there is an effect that the alignment operation of the operator becomes easier.
本発明の第4の態様によれば、インナーパレットと防振パレットの部材を、SUS(Steel Use Stainless)材料で構成することにより、アルミ部材で構成した場合と比較すると、貨物等での輸送時における振動の伝達が低減されるという効果がある。 According to the fourth aspect of the present invention, the members of the inner pallet and the vibration isolating pallet are made of SUS (Steel Use Stainless) material, and compared with the case of being made of an aluminum member, when transporting by cargo or the like. This has the effect of reducing the transmission of vibrations.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、輸送用架台装置100の斜視図である。
輸送用架台装置100は、大型薄板ガラス基板を湾曲させて水平に多段に積層し載置できるインナーパレット10と防振パレット20とで構成される。防振パレット20の嵌合用突起部24とインナーパレット20の裏面の嵌合用枠部12(図3)とで嵌め合わせて運用する構造物である。
FIG. 1 is a perspective view of the
The
図2は、防振パレット20の平面図である。
防振パレット20は、複数の防振素子23と上部枠体21と下部枠体22とで構成される。上部枠体21は、板厚20mmから25mmのSUS材料(Steel Use Stainless)からなる金属板を使用し、4辺の金属枠からなるフレーム枠部21(21a,21b、21c、21dからなる)を有し、フレーム枠部21aの中央位置と、フレーム枠部21bの中央位置の間に梁部材25を固着し、更に、梁部材25の両側で、梁部材25と平行に延びる梁部材26(26a、26b)を固着する。つぎに、フレーム枠部21cの中央位置と、フレーム枠部21dの中央位置の間に梁部材27を、梁部材25,26を跨ぎ組み合わせ固着している。すなわち、フレーム枠部21の補強として、梁部材25,26,27を上記のように配置している。
FIG. 2 is a plan view of the
The
尚、上部枠体21は、フレーム枠部21、梁部材25,26,27の各部材を、溶接にて固着し形成されている。構造堅固にして強度も大きく、下部枠体22も、上部枠体21と同等の材質、構造である。
The upper frame body 21 is formed by fixing each member of the frame frame portion 21 and the
防振パレット20は、上部枠体29と下部枠体30とを複数の防振素子23のみで接続した構造となっており、防振素子23は、フレーム枠部21の4隅、4辺(21a,21b、21c、21d)それぞれの辺の中央位置、フレーム枠部21の中央(梁部材25と梁部材27の交差部と、合計9個の防振素子23を配置している。
The
上部枠体21は、フレーム枠部21aと梁部材27の略中間位置に、梁部材26aとフレーム枠部21dとを、梁部材27と平行に延びる嵌合用梁部材28aを溶接により固着している。フレーム枠部21dと嵌合用梁部材28aの接続部で、梁部材27側の角に嵌合用突起部24aは、配置されている。
In the upper frame 21, the
嵌合用突起部24aは、板厚2mmのSUS材料(Steel Use Stainless)を使用し成形した三角柱形状で、三角柱の内部には補強板による補強がなされており、三角柱の平面視三角形の2辺をフレーム枠部21dと嵌合用梁部材28aにそれぞれ当接しボルト固定され、更に、三角柱の高さhの略中間部から上部へ向けて、フレーム枠部21dと嵌合用梁部材28aに当接される三角柱の面は、それぞれ三角柱の内側へ傾斜するように加工されている。
The
嵌合用突起部24(24a、24b、24c、24d)は、嵌合用突起部24aの梁部材27を線対称としたフレーム枠部21dの辺の位置に嵌合用突起部24bを、更に、嵌合用突起部24a、24bの梁部材25を線対称とした対向するフレーム枠部21cの辺の位置に嵌合用突起部24c、24dを、上記嵌合用突起部24aと同様の形状、構造で配置されている。
The fitting protrusions 24 (24a, 24b, 24c, 24d) are formed by fitting the
嵌合用突起部24は、フレーム枠部21dの辺に2箇、対向するフレーム枠部21cの辺に2箇所、合計4箇所配置されている。これらにより、多少ずれて防振パレット20にインナーパレット10に載置しそうになった場合でも、正確な位置に載置出来ると共に、嵌合用突起部24の損傷も低減される。
The
また、嵌合用突起部24は、2つの防振素子23の間に配置されている。防振パレット20は、貨物車両等に荷台に直接乗せられる。この時、車両が走ると、道路の凸凹に沿って車輪から荷台に伝わる振動は、防振素子23を通して荷物に伝わる。よって、2つの防振素子23の間に嵌合用突起部24を配置することで、嵌合用突起部24は、防振素子23の振動を直接受けずに、振動が緩和されることにより、更に嵌合用突起部24の損傷が低減される。
Further, the
嵌合用突起部24は、その配置を嵌合用突起部24aと嵌合用突起部24aの対角にあり、かつ対向するフレーム枠部21cの辺の嵌合用突起部24cとで、2箇所による嵌合状態は形成できるが、大型薄板ガラス基板を1枚毎に枠部材に収め150枚積層した、インナーパレット10の総重量は、約1.5トン以上となるため、対向する1辺に2箇所ある、計4箇所の嵌合用突起部24を配置する方が好適である。
The
ここで、本説明書では、平面視上部枠体29のフレーム枠部21の前後の辺に嵌合用突起部24を形成しているが、フレーム枠部21の左右の辺にも同様に形成することができる。
Here, in this description, the
また、嵌合用突起部24は、平面視上部枠体29のフレーム枠部21の前後、及び左右の辺以外に設けることも可能であるが、対向する一対の嵌合用突起部24の間隔が長い方がより堅固な嵌合となるため、フレーム枠部21の前後、又は左右の辺に設けることが好ましい。
Further, the
次に、インナーパレット10は図1にあるように、上部枠体11と下部枠体12とからなるパレットの上面に大型薄板ガラス基板保持台13を載せた構造物であり、大型薄板ガラス基板を多段に積層した重量は、1.5トン以上となり、それを支えるため、板厚20mmから25mmのSUS材料(Steel Use Stainless)からなる金属板を使用し、溶接により組み上げられており、構造堅固にして強度も大きくされている。
Next, as shown in FIG. 1, the
図3は、インナーパレット10の裏面の平面図である。
インナーパレット10の下部枠体12は、防振パレット20の上部枠体21から嵌合用突起部24を除いた構造となっている。嵌合用突起部24(24a、24b、24c、24d)を除いた箇所が、それぞれ嵌合用枠部13(13a,13b、13c、13d)となり、嵌合用突起部24を嵌め合わせる。尚、図面3では、嵌合用枠部13を枠形状で形成したが、嵌合用突起部24が収まる穴形状で形成してもよい。
FIG. 3 is a plan view of the back surface of the
The
インナーパレット10と防振パレット20は、輸送中の振動を考慮し、振動を低減させる観点からSUS材料(Steel Use Stainless)を使用しているが、軽量化を図りたい場合においては、アルミ材料を使用することも考慮する。
The
本発明の輸送用架台装置100は、インナーパレット10と防振パレット20が分離した構造にすることにより、工場内での搬送及び保管には、インナーパレット10のみで済ませることが可能であり、輸送時のみ防振パレット20を必要とするため、高価な防振素子23を備えた防振パレット20をインナーパレット10の台数分用意する必要がなく、コスト削減にも貢献している。また、インナーパレット10と防振パレット20の側面に、位置合わせための嵌合用目印70を付けることにより、インナーパレット10を載置する際のフォークリフトオペレーターの操作が容易となり、作業性の向上が図られる。
Since the
(実施例1)
大型薄板ガラス基板を積載した輸送用架台装置100を加振台に乗せ、試験を行った。
本発明の実施形態でもあるSUS材料で作成した物と比較するため、アルミ材料で作成した輸送用架台装置を用意し、図4のように、加振台床面50と、枠体(トレイ)に収納した大型薄板ガラス基板を積層したトレイ最上面60の振動を測定した。
加振条件:ASTMトラックレベル3(エアサス車相当)
加速度サンプリングレイト:5ms
図5は、アルミ材料で作成した輸送用架台装置の振動を測定したグラフである。
図6は、SUS材料で作成した輸送用架台装置の振動を測定したグラフである。
それぞれの図において、
(1)を付したグラフは、加振台床面50の振動を示している。
(2)を付したグラフは、トレイ最上面60の振動を示している。
図5と図6の結果から、本発明のSUS材料で作成したものは、明らかにアルミ材料で作成しものと比較し、振動をよく吸収していることがわかる。
Example 1
The
In order to compare with a product made of SUS material which is also an embodiment of the present invention, a transportation gantry device made of aluminum material is prepared, and as shown in FIG. 4, a
Excitation conditions: ASTM truck level 3 (equivalent to an air suspension vehicle)
Acceleration sampling rate: 5ms
FIG. 5 is a graph obtained by measuring the vibration of a transportation gantry device made of an aluminum material.
FIG. 6 is a graph obtained by measuring the vibration of a transportation gantry device made of SUS material.
In each figure,
The graph attached with (1) shows the vibration of the
The graph attached with (2) shows the vibration of the tray
From the results of FIG. 5 and FIG. 6, it can be seen that the material made of the SUS material of the present invention clearly absorbs vibration compared to the material made of the aluminum material.
10 インナーパレット
11 上部枠体(インナーパレット部)
12 下部枠体(インナーパレット部)
13 嵌合用枠部
20 防振パレット
21 フレーム枠部21(21a、21b、21c、21d)
23 防振素子
24 嵌合用突起部(24a、24b、24c、24d)
25 梁部材
26 梁部材(26a、26b)
27 梁部材
28 嵌合用梁部材(28a、28b、28c、28d)
29 上部枠体(防振パレット部)
30 下部枠体(防振パレット部)
40 加振台
50 加振台床面
60 トレイ最上面
70 嵌合用目印
100 輸送用架台装置
10
12 Lower frame (inner pallet part)
13
23
25 Beam member 26 Beam member (26a, 26b)
27 Beam member 28 Beam member for fitting (28a, 28b, 28c, 28d)
29 Upper frame (anti-vibration pallet)
30 Lower frame (anti-vibration pallet)
40 Excitation table 50 Excitation
Claims (4)
4. The transportation gantry device according to claim 1, wherein members of the inner pallet and the vibration proof pallet are made of a SUS (Steel Use Stainless) material. 5.
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