JP2013023229A - Vacuum sealing device - Google Patents

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裕 出野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum sealing device capable of reducing pressure in a chamber container to a desired pressure and hermetically sealing a material to be sealed in the pressure-reduced condition.SOLUTION: The vacuum sealing device 10 includes: a chamber container 12 capable of reducing pressure therein by a vacuum pump 32; and a sealing device 14 for sealing the opening 24a of a vacuum heat insulating material 18 set in the chamber container 12. The sealing device 14 includes: bellows 16a to 16c elongated/contracted in the chamber container 12 and configured to partition the inner and outer spaces of the chamber container 12 in an airtight manner by communicating the inner space with the outside of the chamber container 12; a pressing base 44 installed at the leading end side in the elongation direction of the bellows 16a to 16c, and configured to press, when the bellows 16a to 16c are elongated, and hold the opening 24a between itself and a receiving base 54 installed in the chamber container 12; and heating units 56 and 58 and a heater 62 installed on the contact surfaces 44a and 54a between the pressing base 44 and the receiving base 54 and heating and joining the opening 24a.

Description

本発明は、内部を減圧したチャンバ容器内で被封止材の開口部を封止する真空封止装置に関する。   The present invention relates to a vacuum sealing device that seals an opening of a material to be sealed in a chamber container whose inside is decompressed.

近年、冷蔵庫や自動販売機等のエネルギ効率を向上させるため、アルミ箔等の外被材の内側に発砲樹脂や繊維材等の芯材を減圧密封して形成した断熱材、いわゆる真空断熱材が用いられている(例えば、特許文献1参照)。   In recent years, in order to improve the energy efficiency of refrigerators, vending machines, etc., a heat insulating material formed by sealing a core material such as a foaming resin or a fiber material under reduced pressure inside a sheath material such as an aluminum foil, a so-called vacuum heat insulating material has been used. Used (see, for example, Patent Document 1).

通常、真空断熱材を製造する場合には、食品等の真空パックの製造等と略同様に、内部を減圧可能なチャンバ容器と、このチャンバ容器内で外被材の開口部を熱溶着によって封止するシール装置とを備えた真空封止装置が用いられる。すなわち、袋状に形成した外被材の内側に芯材を入れた被封止材をチャンバ容器内にセットして該チャンバ容器内を減圧し、その状態でシール装置を駆動して被封止材の開口部を封止することにより、外被材の内部に芯材を減圧封入することができる。   Normally, when manufacturing vacuum insulation materials, a chamber container that can be depressurized inside, and the opening of the jacket material within the chamber container are sealed by thermal welding, as in the manufacture of vacuum packs for foods and the like. A vacuum sealing device having a sealing device for stopping is used. That is, a sealing material in which a core material is placed inside a bag-shaped outer covering material is set in the chamber container, the inside of the chamber container is decompressed, and the sealing device is driven in that state to seal the sealing material. By sealing the opening of the material, the core material can be sealed under reduced pressure inside the jacket material.

この種の真空封入装置において、特許文献2には、チャンバ容器の壁面を外部から貫通して内部へと延びたロッドを有するシリンダ機構を用い、このロッドをチャンバ容器内で進動させることで、ロッド先端の押圧台とチャンバ容器内に設置された受け台との間で被封止材の開口部を押圧挟持し、これを加熱することにより開口部を熱溶着によってシールする真空封止装置が開示されている。また、特許文献3には、チャンバ容器内に押圧台を設置した空気袋を配置し、チャンバ容器外から空気を供給して空気袋を膨らませることで押圧台を押上げ、これと受け台との間で被封止材の開口部を押圧挟持して加熱する真空封止装置が開示されている。   In this type of vacuum sealing device, Patent Document 2 uses a cylinder mechanism having a rod that penetrates the wall surface of the chamber container from the outside and extends into the interior, and by moving the rod inside the chamber container, A vacuum sealing device that presses and holds an opening of a material to be sealed between a pressing stand at the tip of a rod and a cradle installed in a chamber container, and heats this to seal the opening by heat welding. It is disclosed. Further, in Patent Document 3, an air bag having a pressure table installed in a chamber container is disposed, and the pressure table is pushed up by supplying air from outside the chamber container to inflate the air bag. A vacuum sealing device is disclosed in which an opening of a material to be sealed is pressed between and heated.

特開2006−118718号公報JP 2006-118718 A 特許第3535954号Japanese Patent No. 3535954 特許第3883451号Patent No. 3883451

ところで、上記のような真空断熱材は、内部の真空度が断熱性能の優劣に大きく影響するため、真空封止装置のチャンバ容器内を十分な真空度まで減圧した状態で開口部をシールする必要があり、例えば、容器内部の圧力を1Pa程度まで減圧することが望まれる。勿論、このような低圧までチャンバ容器内、つまり被封止材の内部を減圧することは、食品等の分野においてもその保存期間の長期化等に繋がるため有効である。   By the way, in the vacuum heat insulating material as described above, the degree of vacuum inside greatly affects the superiority or inferiority of the heat insulation performance, so it is necessary to seal the opening in a state where the pressure in the chamber container of the vacuum sealing device is reduced to a sufficient degree of vacuum. For example, it is desirable to reduce the pressure inside the container to about 1 Pa. Of course, reducing the pressure inside the chamber container, that is, the inside of the material to be sealed, to such a low pressure is effective in the field of foods and the like because it leads to a prolonged storage period.

ところが、上記特許文献2の装置の場合、シリンダ機構のロッドとチャンバ容器の壁面との間をOリングでシールし、これによりチャンバ容器内外での気密状態を維持しようとしている。このため、上記のようにチャンバ容器内が1Pa程度となるような真空状態では、Oリングでは十分なシール性が得られずにガスリークを生じ、チャンバ容器内を所望の圧力まで減圧し、その減圧状態を維持することが難しい。また、上記特許文献3の装置においてチャンバ容器内を1Pa程度まで減圧した場合には、例えばゴム等によって形成される空気袋にひび割れを生じたり、空気袋自体の壁面の微細な気孔をガスが通過したりする可能性が考えられる。   However, in the case of the device disclosed in Patent Document 2, an O-ring seals between the rod of the cylinder mechanism and the wall surface of the chamber container, thereby maintaining an airtight state inside and outside the chamber container. For this reason, in the vacuum state in which the inside of the chamber container is about 1 Pa as described above, the O-ring does not provide sufficient sealing performance, causing gas leakage, and reducing the inside of the chamber container to a desired pressure. It is difficult to maintain the state. Further, when the pressure in the chamber container is reduced to about 1 Pa in the apparatus of Patent Document 3 described above, for example, the air bag formed of rubber or the like cracks or the gas passes through fine pores on the wall surface of the air bag itself. There is a possibility of doing.

本発明は、上記従来技術の課題を考慮してなされたものであり、チャンバ容器内を所望の圧力まで減圧することができ、その減圧状態で被封止材を密封することができる真空封止装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above-described problems of the prior art, and can be used to reduce the pressure inside the chamber container to a desired pressure and to seal the material to be sealed in the reduced pressure state. An object is to provide an apparatus.

本発明に係る真空封止装置は、真空ポンプによって内部を減圧可能なチャンバ容器と、該チャンバ容器内にセットされた被封止材の開口部を封止するシール装置とを備える真空封止装置であって、前記シール装置は、前記チャンバ容器内で伸縮可能であると共に、その内側空間が前記チャンバ容器外と連通されることで該チャンバ容器の内外空間を気密に仕切るベローズと、前記ベローズの伸張方向で先端側に設けられ、前記ベローズが伸張された場合に、前記チャンバ容器内に設置された受け台との間で前記被封止材の開口部を押圧し挟持する押圧台と、前記受け台及び前記押圧台のうち、少なくとも一方の前記被封止材への接触面に設けられ、前記開口部を加熱して接合する加熱部とを備えることを特徴とする。   A vacuum sealing device according to the present invention includes a chamber container whose inside can be decompressed by a vacuum pump, and a sealing device that seals an opening of a material to be sealed set in the chamber container. The seal device is extendable within the chamber container, and the inner space communicates with the outside of the chamber container so that the inner and outer spaces of the chamber container are hermetically partitioned, and the bellows A pressing table that is provided on the distal end side in the extending direction and presses and sandwiches the opening of the material to be sealed with a receiving table installed in the chamber container when the bellows is extended; It is provided in the contact surface to the said to-be-sealed material among at least one of a receiving stand and the said press stand, The heating part which heats and joins the said opening part is provided, It is characterized by the above-mentioned.

このような構成によれば、チャンバ容器の内外空間を気密に仕切り、且つ、押圧台を被封止材の開口部に押し付けて受け台との間で該開口部を挟持させる進退機構として、ベローズを用いたことにより、チャンバ容器でのガスリークを防止して所望の真空状態まで減圧することができると共に、この真空状態を維持しながら開口部を封止することができる。すなわち、前記進退機構としてベローズを用いたことにより、チャンバ容器内を、例えば1Pa程度の圧力まで減圧した場合であっても、チャンバ容器の内外空間の気密状態を当該ベローズによって確実に維持しながら、開口部を封止することができる。   According to such a configuration, the bellows is used as an advancing / retracting mechanism that hermetically partitions the inner and outer spaces of the chamber container, and presses the pressing table against the opening of the material to be sealed to clamp the opening with the receiving table. By using this, gas leakage in the chamber container can be prevented and the pressure can be reduced to a desired vacuum state, and the opening can be sealed while maintaining this vacuum state. That is, by using a bellows as the advance / retreat mechanism, even when the chamber container is depressurized to a pressure of, for example, about 1 Pa, while the airtight state of the inner and outer spaces of the chamber container is reliably maintained by the bellows, The opening can be sealed.

前記ベローズは、前記被封止材の開口部の長手方向に沿って複数並んで設置され、前記押圧台は、各ベローズの先端側を渡って延在する棒状部材とすると、例えば、封止対象である被封止材の開口部が長尺な場合であっても、コンパクトな外径からなるベローズを用いて長尺な開口部を安定して押圧し挟持することができ、装置を小型化することができる。   When the bellows is installed in a plurality along the longitudinal direction of the opening of the material to be sealed, and the pressing table is a rod-shaped member extending across the tip side of each bellows, for example, a sealing target Even if the opening of the material to be sealed is long, it is possible to stably press and hold the long opening using a bellows having a compact outer diameter, and downsize the device. can do.

前記ベローズの伸縮方向に沿って延在し、該ベローズの外側面に摺接可能に配置されるガイド部材を設けてもよい。すなわち、当該真空封止装置において、ベローズは、その外側空間が負圧となり、その内側空間が陽圧となるため、横揺れ等を生じながら伸張される可能性があるが、ガイド部材を設けてその外側面をガイドすることで、その伸縮動作を一層安定させることができる。   You may provide the guide member extended along the expansion-contraction direction of the said bellows, and arrange | positioned so that sliding contact is possible on the outer surface of this bellows. That is, in the vacuum sealing device, the bellows has a negative pressure in the outer space and a positive pressure in the inner space. By guiding the outer surface, the expansion and contraction operation can be further stabilized.

前記真空ポンプに接続された減圧配管は、第1配管と第2配管とに分岐され、前記第1配管が第1開閉弁を介して前記チャンバ容器の内部空間に連通される一方、前記第2配管が第2開閉弁を介して前記ベローズの内側空間に連通され、前記第2配管には、前記ベローズの内側空間を大気開放するための大気開放配管が大気開放弁を介して接続されると、1台の真空ポンプでチャンバ容器内とベローズ内とを一挙に減圧することができる。さらに、真空引き後、第1開閉弁及び第2開閉弁を閉じてから、大気開放弁を開くことにより、油圧シリンダ等の機械的な駆動機構を用いず、ベローズの内側空間の圧力を上昇させることで、ベローズを伸張させることができる。   The decompression pipe connected to the vacuum pump is branched into a first pipe and a second pipe, and the first pipe communicates with the internal space of the chamber container via the first on-off valve, while the second pipe A pipe communicates with the inner space of the bellows via a second on-off valve, and an air release pipe for opening the inner space of the bellows to the atmosphere is connected to the second pipe via an air release valve. A single vacuum pump can depressurize the chamber container and the bellows all at once. Furthermore, after evacuation, the first on-off valve and the second on-off valve are closed, and then the air release valve is opened to increase the pressure in the inner space of the bellows without using a mechanical drive mechanism such as a hydraulic cylinder. Thus, the bellows can be extended.

前記ベローズが前記複数並んで設置されている場合に、前記第2配管は、前記ベローズの設置数分だけ分岐した複数の分岐配管によって各ベローズの内側空間へとそれぞれ連通されると、各ベローズの内側空間を分岐配管の分岐点で連通させることができるため、真空ポンプによる減圧時や大気開放配管による大気開放時に、各ベローズ間の圧力差を低減することができ、各ベローズの伸縮動作を揃えることができる。   When the plurality of bellows are installed side by side, the second pipe communicates with the inner space of each bellows through a plurality of branch pipes branched by the number of installed bellows. Because the inner space can be communicated at the branch point of the branch pipe, the pressure difference between the bellows can be reduced when decompressing with a vacuum pump or opening to the atmosphere with an open-air pipe, and the bellows can be expanded and contracted. be able to.

前記各ベローズの内側空間へと連通される各分岐配管のうち、少なくとも前記開口部の長手方向で両端側に配置された各ベローズへの各分岐配管は、その分岐点から各ベローズの内側空間までの長さが同一に設定されると、互いに協働して押圧台を上昇させるベローズのうち、少なくとも開口部(押圧台)の長手方向で両端側のベローズ内への大気導入時の差圧を抑えることができるため、押圧台を安定して進動させることができるようになる。   Of the branch pipes communicating with the inner space of each bellows, at least each branch pipe to each bellows arranged at both ends in the longitudinal direction of the opening extends from the branch point to the inner space of each bellows. If the lengths of the bellows are set to be the same, among the bellows that raise the pressing table in cooperation with each other, at least the differential pressure when the atmosphere is introduced into the bellows on both ends in the longitudinal direction of the opening (pressing table) Since it can suppress, a press stand can be moved now stably.

前記第2配管又は前記大気開放配管には、流路容積を増大させたバッファ部が接続されてもよい。そうすると、大気開放配管から導入される大気をバッファ部で一旦緩衝させた後に、各分岐配管へと流入させることができるため、各ベローズの伸張動作をより安定して同期させることができる。   A buffer unit with an increased flow path volume may be connected to the second pipe or the atmosphere opening pipe. Then, after the atmosphere introduced from the open air pipe is once buffered by the buffer section, it can be flowed into each branch pipe, so that the expansion operation of each bellows can be synchronized more stably.

前記被封止材は、外被材で芯材を包含すると共に、減圧封止して形成される真空断熱材であってもよい。すなわち、当該真空封止装置では、上記のように、チャンバ容器の内外空間を気密に仕切り、且つ、押圧台を被封止材の開口部に押し付けて受け台との間で挟持させる進退機構とし、ベローズを用いているため、チャンバ容器でのガスリークを防止し、所望の減圧状態を維持したまま、開口部の封止を円滑に行ことができる。このため、例えば1Pa程度の真空状態まで減圧した状態で安定して開口部を封止することができ、高品質な真空断熱材を製造することができる。   The sealing material may be a vacuum heat insulating material formed by sealing under reduced pressure while including a core material with a covering material. That is, in the vacuum sealing device, as described above, the chamber container has an advance / retreat mechanism that hermetically partitions the inner and outer spaces of the chamber container and presses the pressing table against the opening of the material to be sealed and sandwiches it between the receiving table and the receiving table. Since the bellows is used, gas leakage in the chamber container can be prevented, and the opening can be smoothly sealed while maintaining a desired reduced pressure state. For this reason, an opening part can be sealed stably in the state decompressed to the vacuum state of about 1 Pa, for example, and a high quality vacuum heat insulating material can be manufactured.

本発明によれば、チャンバ容器の内外空間を気密に仕切り、且つ、押圧台を被封止材の開口部に押し付けて受け台との間で該開口部を挟持させる進退機構としてベローズを用いたことにより、チャンバ容器内を所望の真空状態まで減圧した場合であっても、この真空状態を維持しながら開口部を封止することができる。   According to the present invention, the bellows is used as an advancing / retracting mechanism that hermetically partitions the inner and outer spaces of the chamber container, and presses the pressing table against the opening of the material to be sealed and clamps the opening with the receiving table. Thus, even when the inside of the chamber container is decompressed to a desired vacuum state, the opening can be sealed while maintaining this vacuum state.

図1は、本発明の一実施形態に係る真空封止装置の全体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram of a vacuum sealing device according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1中のII−II線に沿う断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 図3は、図2に示す状態からベローズを収縮させた状態での断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the bellows contracted from the state shown in FIG. 図4は、チャンバ容器内にセットされた状態での真空断熱材の一端部近傍を拡大した側面断面図である。FIG. 4 is an enlarged side cross-sectional view of the vicinity of one end of the vacuum heat insulating material in a state of being set in the chamber container. 図5は、ベローズ、ガイド部材及びストッパ部材の平面図である。FIG. 5 is a plan view of the bellows, the guide member, and the stopper member.

以下、本発明に係る真空封止装置についてその好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a vacuum sealing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係る真空封止装置10の全体構成図であり、側面断面図で示すチャンバ容器12内で、シール装置14のベローズ16a〜16cを伸張させた状態を示している。図2は、図1中のII−II線に沿う断面図であり、図3は、図2に示す状態からベローズ16a〜16cを収縮させた状態での断面図である。   FIG. 1 is an overall configuration diagram of a vacuum sealing device 10 according to an embodiment of the present invention, and shows a state in which bellows 16a to 16c of a sealing device 14 are extended in a chamber container 12 shown in a side sectional view. ing. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view in a state in which bellows 16a to 16c are contracted from the state shown in FIG.

図1〜図3に示すように、本実施形態に係る真空封止装置10は、チャンバ容器12内を所望の真空状態まで減圧した後、このチャンバ容器12内にセットした被封止材の開口部をシール装置14で封止することにより、該被封止材の内部空間を所望の減圧状態で密封することができる装置である。以下、内部空間を減圧封止する被封止材として、冷蔵庫や自動販売機等の冷熱機器の断熱に好適に使用される真空断熱材18を用いる場合を例示して説明するが、真空封止装置10は真空断熱材以外の被封止材の減圧封止にも適用可能であることは勿論である。   As shown in FIGS. 1 to 3, the vacuum sealing apparatus 10 according to the present embodiment reduces the pressure in the chamber container 12 to a desired vacuum state, and then opens the sealing material set in the chamber container 12. By sealing the portion with a sealing device 14, the internal space of the material to be sealed can be sealed in a desired reduced pressure state. Hereinafter, a case where the vacuum heat insulating material 18 that is preferably used for heat insulation of a refrigerator or a vending machine is used as the material to be sealed to reduce the internal space under reduced pressure will be described as an example. Needless to say, the apparatus 10 can be applied to the reduced pressure sealing of a material to be sealed other than the vacuum heat insulating material.

先ず、真空封止装置10の説明に先立ち、この真空封止装置10によって開口部を封止される真空断熱材18の具体的な構成例について、主に図4を参照して説明する。図4は、チャンバ容器12内にセットされた状態での真空断熱材18の一端部近傍を拡大した側面断面図である。   First, prior to the description of the vacuum sealing device 10, a specific configuration example of the vacuum heat insulating material 18 whose opening is sealed by the vacuum sealing device 10 will be mainly described with reference to FIG. FIG. 4 is an enlarged side cross-sectional view of the vicinity of one end of the vacuum heat insulating material 18 in a state set in the chamber container 12.

図4に示すように、真空断熱材18は、それぞれ複数層で形成される2枚の外被材20a、20bの間に、ガラス繊維等の繊維材や発砲樹脂材等で形成された芯材22を入れ、該芯材22を囲繞する外被材20a、20bの外縁部24(図1及び図2も参照)を真空中で熱溶着することで内部を真空状態のまま密閉封止して形成されるものであり、公知の真空断熱材と同様な構成である。例えば、真空断熱材18は、長辺寸法(図1の左右方向)が1800mm程度、短辺寸法(図2の左右方向)が800mm程度、厚み(芯材22が配置された部分の板厚)が10mm程度で矩形の薄板形状として形成される。   As shown in FIG. 4, the vacuum heat insulating material 18 is a core material formed of a fiber material such as glass fiber or a foamed resin material between two outer cover materials 20a and 20b each formed of a plurality of layers. 22 and the outer edge 24 (see also FIG. 1 and FIG. 2) of the covering material 20a, 20b surrounding the core material 22 is heat-sealed in a vacuum so that the inside is hermetically sealed in a vacuum state. It is formed and has the same configuration as a known vacuum heat insulating material. For example, the vacuum heat insulating material 18 has a long side dimension (left and right direction in FIG. 1) of about 1800 mm, a short side dimension (left and right direction in FIG. 2) of about 800 mm, and a thickness (the thickness of the portion where the core material 22 is disposed). Is formed as a rectangular thin plate having a thickness of about 10 mm.

外被材20aは、3枚のシート状部材を積層して密着形成した3層構造のシート(フィルム)であり、図4に示すように、最外層の保護層26aと、中間層のガスバリア層28aと、最内層の熱溶着層30aとを有する。保護層26aには、例えば、ポリエチレンテレフタラート(PET)やポリアミド系合成繊維(ナイロン)を厚み20μm〜100μm程度に形成した薄いシートが用いられる。ガスバリア層28aには、例えば、アルミ箔を厚み7μm〜10μm程度に形成した薄いシートが用いられる。熱溶着層30aには、例えば、ポリエチレンを厚み50μm〜150μm程度に形成した薄いシートが用いられる。   The outer cover material 20a is a sheet (film) having a three-layer structure in which three sheet-like members are laminated and formed in close contact, and as shown in FIG. 4, an outermost protective layer 26a and an intermediate gas barrier layer 28a and the innermost layer heat-welded layer 30a. For the protective layer 26a, for example, a thin sheet in which polyethylene terephthalate (PET) or polyamide synthetic fiber (nylon) is formed to a thickness of about 20 μm to 100 μm is used. For the gas barrier layer 28a, for example, a thin sheet in which an aluminum foil is formed to a thickness of about 7 μm to 10 μm is used. For example, a thin sheet in which polyethylene is formed to a thickness of about 50 μm to 150 μm is used for the heat welding layer 30a.

なお、外被材20bは、上記の外被材20aと同一の構成でよく、保護層26a、ガスバリア層28a及び熱溶着層30aと同様な保護層26b、ガスバリア層28b及び熱溶着層30bを有する。勿論、外被材20a、20bは、異なる構造のものであってもよい。   The jacket material 20b may have the same configuration as the jacket material 20a described above, and includes a protective layer 26b, a gas barrier layer 28b, and a thermal welding layer 30b similar to the protective layer 26a, the gas barrier layer 28a, and the thermal welding layer 30a. . Of course, the jacket materials 20a and 20b may have different structures.

本実施形態の場合、真空断熱材18の外縁部24は、図1中で左側に示す一端部(短辺)に延在する開口部24a以外の3辺については、予め図示しないシール装置等によって封止されている。つまり、真空断熱材18は、開口部24a以外の3辺の外縁部24が封止された袋状の状態で当該真空封止装置10にセットされ、残り1辺の開口部24aが真空中で溶着封止される。   In the case of the present embodiment, the outer edge 24 of the vacuum heat insulating material 18 has three sides other than the opening 24a extending to one end (short side) shown on the left side in FIG. It is sealed. That is, the vacuum heat insulating material 18 is set in the vacuum sealing device 10 in a bag-like state in which the outer edge 24 on three sides other than the opening 24a is sealed, and the opening 24a on the remaining one side is in a vacuum. It is welded and sealed.

次に、真空封止装置10の構成について説明する。   Next, the configuration of the vacuum sealing device 10 will be described.

図1〜図3に示すように、真空封止装置10は、内部空間を所定の真空度まで減圧可能な密閉容器であるチャンバ容器(真空チャンバ)12と、チャンバ容器12内で真空断熱材18の開口部24aを溶着封止するシール装置14と、チャンバ容器12の内部空間及びベローズ16a〜16cの内側空間を真空引きして減圧する真空ポンプ32と、真空ポンプ32と各部を接続する減圧配管(真空配管)34と、当該真空封止装置10の運転条件の設定や全体的な制御を行う制御盤36とを備える。   As shown in FIGS. 1 to 3, the vacuum sealing device 10 includes a chamber container (vacuum chamber) 12 that is a sealed container capable of reducing the internal space to a predetermined degree of vacuum, and a vacuum heat insulating material 18 in the chamber container 12. Sealing device 14 for welding and sealing the opening 24a, vacuum pump 32 for evacuating and decompressing the internal space of the chamber container 12 and the inner spaces of the bellows 16a to 16c, and the vacuum piping connecting the vacuum pump 32 and each part (Vacuum piping) 34 and a control panel 36 for setting operation conditions and overall control of the vacuum sealing device 10.

チャンバ容器12は、全体として矩形扁平な箱状に形成されると共に、一端側(シール装置14側)に下方に突出した突出部12aが設けられ、内部空間を所定の圧力(例えば、10Pa以下、好ましくは1Pa程度)まで減圧可能な密閉容器である。チャンバ容器12内には、真空断熱材18を位置決め載置するための載置台38が設置されている(図1参照)。チャンバ容器12は、例えば天面を形成する蓋体12bを開閉可能に構成することで、真空断熱材18を載置台38上に容易にセットすることができる。   The chamber container 12 is formed in a rectangular flat box shape as a whole, and is provided with a projecting portion 12a projecting downward on one end side (sealing device 14 side), and a predetermined pressure (for example, 10 Pa or less, It is a sealed container that can be depressurized to preferably about 1 Pa). A mounting table 38 for positioning and mounting the vacuum heat insulating material 18 is installed in the chamber container 12 (see FIG. 1). The chamber container 12 can easily set the vacuum heat insulating material 18 on the mounting table 38 by configuring the lid 12b that forms the top surface so that it can be opened and closed, for example.

シール装置14は、チャンバ容器12の突出部12aの底面から立脚し、チャンバ容器12内で上下方向に伸縮可能な3個のベローズ16a、16b、16cと(図2及び図3参照)、各ベローズ16a〜16cの上部フランジ40aの上面中央からそれぞれ突出する円柱状の支柱42と、各支柱42の上面を渡って連結され、各ベローズ16a〜16cの配列方向に延在する押圧台(押圧バー)44とを備える。各ベローズ16a〜16cの内側空間は、それぞれ分岐配管46a〜46cを介して真空ポンプ32へと連通されている。   The seal device 14 is erected from the bottom surface of the protruding portion 12a of the chamber container 12, and includes three bellows 16a, 16b, and 16c that can be expanded and contracted in the vertical direction in the chamber container 12 (see FIGS. 2 and 3), and each bellows. A columnar column 42 protruding from the center of the upper surface of the upper flange 40a of each of the 16a to 16c, and a pressing table (pressing bar) connected across the upper surface of each column 42 and extending in the arrangement direction of the bellows 16a to 16c. 44. The inner spaces of the bellows 16a to 16c are communicated with the vacuum pump 32 via branch pipes 46a to 46c, respectively.

図2及び図3に示すように、ベローズ16a〜16cは、チャンバ容器12の突出部12aの底面に気密に固着された下部フランジ40bと、下端が下部フランジ40bに気密に固着された蛇腹管状の伸縮部48と、伸縮部48の上端と気密に固着されることで該伸縮部48の上部開口を閉塞する上部フランジ40aとから構成されている。ベローズ16a〜16cは、例えば、外径が200mm程度、内径が150mm程度、高さが100mm程度、伸縮ストロークが20mm程度に設定される。   As shown in FIGS. 2 and 3, the bellows 16a to 16c have a lower flange 40b that is airtightly fixed to the bottom surface of the protruding portion 12a of the chamber container 12, and a bellows tubular shape whose lower end is airtightly fixed to the lower flange 40b. The expansion / contraction part 48 and the upper flange 40a which closes the upper opening of the expansion / contraction part 48 by being airtightly fixed to the upper end of the expansion / contraction part 48 are comprised. For example, the bellows 16a to 16c have an outer diameter of about 200 mm, an inner diameter of about 150 mm, a height of about 100 mm, and an expansion / contraction stroke of about 20 mm.

本実施形態では、ベローズ16a〜16cとして、伸縮部48に、波付プレスされた薄板リング状(ディスク状)の金属板を積層し、隣接する各層の金属板の内縁及び外縁を交互に溶接して繋ぎ合わせたもの、いわゆる溶接ベローズを用いている。溶接ベローズは、大きな伸縮量をコンパクトな構成で得ることができ、内外の圧力差に対する耐圧力性も高いという利点がある。勿論、当該真空封止装置10の使用条件等によっては、溶接ベローズに代えて、蛇腹管状の伸縮部を金属素材の成形で形成した成形ベローズを用いてもよい。   In this embodiment, as the bellows 16a to 16c, a corrugated pressed thin ring-shaped (disk-shaped) metal plate is laminated on the stretchable portion 48, and the inner and outer edges of the adjacent metal plates are alternately welded. A so-called welded bellows is used. The welded bellows is advantageous in that a large amount of expansion and contraction can be obtained in a compact configuration and the pressure resistance against a pressure difference between the inside and outside is high. Of course, depending on the use conditions of the vacuum sealing device 10 and the like, a molded bellows in which a bellows tubular expansion / contraction part is formed by molding a metal material may be used instead of the welding bellows.

ベローズ16a〜16cの底面には、下部フランジ40bから突出部12aの底面までを貫通する吸引口49a、49b、49cが設けられており、各吸引口49a〜49cに分岐配管46a〜46cが気密に接続されることにより、ベローズ16a〜16cの内側空間と分岐配管46a〜46cとが連通されている。   The bottom surfaces of the bellows 16a to 16c are provided with suction ports 49a, 49b and 49c penetrating from the lower flange 40b to the bottom surface of the protruding portion 12a, and branch pipes 46a to 46c are airtightly connected to the suction ports 49a to 49c. By being connected, the inner space of bellows 16a-16c and branch piping 46a-46c are connected.

従って、ベローズ16a〜16cは、その内外空間によってチャンバ容器12の内外空間を気密に仕切る伸縮可能な仕切り部材として設置されると共に、下部フランジ40bのみがチャンバ容器12の内面(突出部12aの底面)に固着されている。このため、ベローズ16a〜16cは、その内外空間を気密に仕切った状態のまま、チャンバ容器12内でフリー状態にある伸縮部48を伸縮させ、上部フランジ40aを上下動させることができる。本実施形態の場合、ベローズ16a〜16cの伸張動作は、その内外空間での圧力差(差圧)によって行われる。また、収縮動作は、ベローズ16a〜16c自体の自重や押圧台44の重量、又は内外空間での差圧によって行われる。   Accordingly, the bellows 16a to 16c are installed as extendable partition members that hermetically partition the inner and outer spaces of the chamber container 12 by the inner and outer spaces, and only the lower flange 40b is the inner surface of the chamber container 12 (the bottom surface of the protruding portion 12a). It is fixed to. Therefore, the bellows 16a to 16c can move the upper flange 40a up and down by expanding and contracting the expansion / contraction part 48 in a free state in the chamber container 12 with the inner and outer spaces being hermetically partitioned. In the case of this embodiment, the expansion | extension operation | movement of bellows 16a-16c is performed by the pressure difference (differential pressure) in the inside and outside space. The contraction operation is performed by the weight of the bellows 16a to 16c itself, the weight of the pressing table 44, or the differential pressure in the inner and outer spaces.

図5は、ベローズ16b(16a、16c)の平面図であり、該ベローズ16bの上方に近接配置されるストッパ部材52の一部を2点鎖線で省略した図である。   FIG. 5 is a plan view of the bellows 16b (16a, 16c), in which a part of the stopper member 52 disposed close to the top of the bellows 16b is omitted by a two-dot chain line.

図1、図2及び図5に示すように、各ベローズ16a〜16cの外周部には、その周方向に沿って均等間隔で複数本(本実施形態では4本)のガイド部材50が立脚している。ガイド部材50は、各ベローズ16a〜16cの外側面(外周面)と摺接可能に近接配置され、ベローズ16a〜16cの軸方向(伸縮方向)に沿って延びたポールであり、ベローズ16a〜16cの伸縮時に生じる伸縮部48の広がりや横揺れ等を防止して、円滑な伸縮動作をサポートするものである。   As shown in FIGS. 1, 2, and 5, a plurality of guide members 50 (four in this embodiment) are provided at regular intervals along the circumferential direction on the outer peripheral portions of the bellows 16 a to 16 c. ing. The guide member 50 is a pole that is slidably disposed adjacent to the outer surfaces (outer peripheral surfaces) of the bellows 16a to 16c and extends along the axial direction (stretching direction) of the bellows 16a to 16c, and the bellows 16a to 16c. This prevents the expansion and contraction of the expansion / contraction part 48 that occurs during expansion / contraction, and supports a smooth expansion / contraction operation.

各ガイド部材50の上端には、各ガイド部材50をベローズ16a〜16cの周方向に渡って連結する薄板リング状のストッパ部材52が固着されている。図5に示す平面視で、ストッパ部材52は、各ベローズ16a〜16cの上部フランジ40a上面の外周縁部付近と重なる外形を有する。各ガイド部材50は、ベローズ16a〜16cの伸張方向での上限位置を規定するものであり、ベローズ16a〜16cが過度に伸張され、伸縮部48における溶接部等が破損することを防止するために、ベローズ16a〜16cが所定長伸張された場合にその上部フランジ40aに当接可能に設置されている(図1及び図2も参照)。   A thin plate ring-shaped stopper member 52 that connects the guide members 50 in the circumferential direction of the bellows 16a to 16c is fixed to the upper end of each guide member 50. In the plan view shown in FIG. 5, the stopper member 52 has an outer shape that overlaps with the vicinity of the outer peripheral edge of the upper surface of the upper flange 40 a of each bellows 16 a to 16 c. Each guide member 50 defines an upper limit position in the extension direction of the bellows 16a to 16c, and prevents the bellows 16a to 16c from being excessively extended and damaging the welded portion or the like in the stretchable portion 48. When the bellows 16a to 16c are extended for a predetermined length, the bellows 16a to 16c are installed so as to be able to contact the upper flange 40a (see also FIGS. 1 and 2).

押圧台44は、各ベローズ16a〜16cの上部、つまり伸張方向で先端側に渡って設置された矩形の棒状部材であり、チャンバ容器12の天面(蓋体12bの内面)に設けられた受け台54と対向している。押圧台44は、ベローズ16a〜16cの伸張動作に伴って上動し、対向配置された受け台54との間で、真空断熱材18の開口部24aを押圧し挟持するものである。   The pressing table 44 is a rectangular bar-like member installed on the top of each bellows 16a to 16c, that is, on the distal end side in the extending direction, and is provided on the top surface of the chamber container 12 (the inner surface of the lid 12b). Opposite the table 54. The pressing table 44 moves upward in accordance with the extending operation of the bellows 16a to 16c, and presses and holds the opening 24a of the vacuum heat insulating material 18 between the receiving table 54 and the opposing table 54.

押圧台44は、各ベローズ16a〜16cの配列方向、つまり真空断熱材18の開口部24aの延在方向に沿って延在しており、例えば、長辺寸法(図2の左右方向)が900mm程度、短辺寸法(図1の左右方向)が30mm程度、厚み(高さ方向)が50mm程度に設定される。略同様に、押圧台44と共に開口部24aを挟持する受け台54は、例えば、長辺寸法(図2の左右方向)が900mm程度、短辺寸法(図1の左右方向)が30mm程度に設定された段付きの棒状部材である。   The pressing table 44 extends along the arrangement direction of the bellows 16a to 16c, that is, the extending direction of the opening 24a of the vacuum heat insulating material 18. For example, the long side dimension (left and right direction in FIG. 2) is 900 mm. The short side dimension (left-right direction in FIG. 1) is set to about 30 mm, and the thickness (height direction) is set to about 50 mm. In a similar manner, the receiving base 54 that holds the opening 24a together with the pressing base 44 has a long side dimension (left and right direction in FIG. 2) of about 900 mm and a short side dimension (left and right direction in FIG. 1) of about 30 mm. This is a stepped rod-shaped member.

図4に示すように、押圧台44及び受け台54の各先端面、つまり開口部24aへの各接触面44a、54aには、両接触面44a、54a間で挟持した開口部24aを加熱するための加熱部56、58がそれぞれ設けられている。本実施形態の場合、両加熱部56、58は同一構造としており、押圧台44(受け台54)の長手方向に沿って延在するクッション材60と、クッション材60の外面に設けられたヒータ62とを有する。   As shown in FIG. 4, the opening portions 24a sandwiched between the contact surfaces 44a and 54a are heated on the respective tip surfaces of the pressing table 44 and the receiving table 54, that is, the contact surfaces 44a and 54a to the opening 24a. Heating units 56 and 58 are provided respectively. In the case of this embodiment, both the heating parts 56 and 58 are made into the same structure, the cushion material 60 extended along the longitudinal direction of the press stand 44 (base 54), and the heater provided in the outer surface of the cushion material 60 62.

ヒータ62としては、例えば、図2の左右方向での長さが800mm程度、図1の左右方向での幅が20mm程度に設定された電気式のリボンヒータが用いられる。クッション材60は、押圧台44と受け台54との間でヒータ62が開口部24aと共に挟持された際に、該ヒータ62の破損を防止するための緩衝材であり、ヒータ62を敷設可能な外形に設定され、十分なクッション性を確保するために、その厚みを例えば2mm程度に設定したシリコーンゴム等を用いるとよい。勿論、ヒータ62の設置条件や押圧台44の駆動条件等によっては、クッション材60を省略可能である。   As the heater 62, for example, an electric ribbon heater in which the length in the left-right direction in FIG. 2 is set to about 800 mm and the width in the left-right direction in FIG. 1 is set to about 20 mm is used. The cushion material 60 is a cushioning material for preventing the heater 62 from being damaged when the heater 62 is sandwiched between the pressing base 44 and the receiving base 54 together with the opening 24a. In order to ensure a sufficient cushioning property, it is preferable to use silicone rubber or the like whose thickness is set to about 2 mm, for example. Of course, the cushion material 60 can be omitted depending on the installation conditions of the heater 62 and the driving conditions of the pressing table 44.

図1及び図2に示すように、減圧配管34は、チャンバ容器12の内部空間と真空ポンプ32とを接続し、さらに、ベローズ16a〜16cの内側空間と真空ポンプ32とを接続する真空用管路である。   As shown in FIGS. 1 and 2, the decompression pipe 34 connects the internal space of the chamber container 12 and the vacuum pump 32, and further connects the inner space of the bellows 16 a to 16 c and the vacuum pump 32. Road.

減圧配管34は、チャンバ容器12から真空ポンプ32手前の分岐点(合流点)P1までを接続する第1配管34aと、ベローズ16a〜16cから分岐点P1までを接続する第2配管34bとを有し、第1配管34aと第2配管34bとが分岐点P1で合流した後、真空ポンプ32の吸引口に接続されている。これにより、チャンバ容器12内とベローズ16a〜16c内の減圧を1台の真空ポンプ32で同時に行うことができるため、コストを低減できると共に制御も容易となるが、第1配管34aと第2配管34bとを別々の真空ポンプに接続してもよいことは勿論である。   The decompression pipe 34 has a first pipe 34a that connects the chamber container 12 to the branch point (merging point) P1 before the vacuum pump 32, and a second pipe 34b that connects the bellows 16a to 16c to the branch point P1. Then, after the first pipe 34a and the second pipe 34b merge at the branch point P1, they are connected to the suction port of the vacuum pump 32. Accordingly, the pressure in the chamber container 12 and the bellows 16a to 16c can be simultaneously reduced by the single vacuum pump 32, so that the cost can be reduced and the control is facilitated, but the first pipe 34a and the second pipe Of course, 34b may be connected to a separate vacuum pump.

図1に示すように、第1配管34aは、チャンバ容器12の側壁12cに貫通形成された吸引口64に気密に接続され、吸引口64の近傍にON・OFF式の電磁開閉弁(第1開閉弁)66を備えている。   As shown in FIG. 1, the first pipe 34 a is airtightly connected to a suction port 64 formed through the side wall 12 c of the chamber container 12, and an ON / OFF type electromagnetic on-off valve (first On-off valve) 66 is provided.

ここで、吸引口64が設けられる側壁12cは、載置台38にセットされた真空断熱材18の開口部24a側(封止側端部)とは反対側となる端部(封止済端部)に近接した位置にある。このような位置にある側壁12cに吸引口64を設けたことにより、真空断熱材18の開口部24aから最も遠い位置で且つその開口方向とは反対方向に向いた吸引口64からチャンバ容器12の内部空間を真空引きすることができる。このため、真空断熱材18内に粉状等で封入された芯材22が、減圧時に開口部24aから飛び出すことを可及的に低減することができる。すなわち、仮に吸引口64を開口部24aと対面する位置に設けた場合には、真空ポンプ32からの吸引力によって芯材22の粉末等が開口部24aから直接的に吸引され、第1配管34a内へと吸い込まれる可能性があるが、当該真空封止装置10では、この第1配管34aへの芯材22の吸い込みを可及的に抑制することができる。勿論、吸引口64の設置位置は適宜変更可能であり、例えば飛び出し等を生じにくい芯材22を用いた場合であれば、開口部24aに対面する位置に設けても勿論よい。   Here, the side wall 12c provided with the suction port 64 is an end (sealed end) opposite to the opening 24a side (sealing side end) of the vacuum heat insulating material 18 set on the mounting table 38. ). By providing the suction port 64 in the side wall 12c in such a position, the chamber container 12 can be moved from the suction port 64 that is farthest from the opening 24a of the vacuum heat insulating material 18 and is directed in the direction opposite to the opening direction. The internal space can be evacuated. For this reason, it is possible to reduce as much as possible that the core material 22 encapsulated in the vacuum heat insulating material 18 in the form of powder or the like jumps out of the opening 24a during decompression. That is, if the suction port 64 is provided at a position facing the opening 24a, the powder or the like of the core material 22 is directly sucked from the opening 24a by the suction force from the vacuum pump 32, and the first pipe 34a. Although there is a possibility of being sucked in, the vacuum sealing device 10 can suppress the suction of the core material 22 into the first pipe 34a as much as possible. Of course, the installation position of the suction port 64 can be changed as appropriate. For example, when the core material 22 that does not easily pop out is used, the suction port 64 may be provided at a position facing the opening 24a.

第1配管34aの電磁開閉弁66と吸引口64との間には、流量調整弁(ニードルバルブ)68及びストップ弁70を介して大気開放されるチャンバ側大気開放配管72が接続されている。チャンバ側大気開放配管72は、ストップ弁70を開くことで、チャンバ容器12の内部空間を大気開放することができる管路であり、その開放速度を流量調整弁68によって適宜調整することができる。チャンバ側大気開放配管72は、第1配管34aに接続せず、チャンバ容器12の所定の外壁を貫通させて接続してもよい。   Connected between the electromagnetic opening / closing valve 66 and the suction port 64 of the first pipe 34 a is a chamber-side atmosphere opening pipe 72 that is opened to the atmosphere via a flow rate adjusting valve (needle valve) 68 and a stop valve 70. The chamber-side atmosphere opening pipe 72 is a pipe line that can open the internal space of the chamber container 12 to the atmosphere by opening the stop valve 70, and the opening speed can be adjusted as appropriate by the flow rate adjustment valve 68. The chamber-side atmosphere opening pipe 72 may be connected not through the first pipe 34 a but through a predetermined outer wall of the chamber container 12.

第2配管34bは、真空ポンプ32からON・OFF式の電磁開閉弁(第2開閉弁)74を経た後、分岐点(合流点)P2で3本の分岐配管46a、46b、46cに分岐し、各分岐配管46a〜46cがそれぞれ各ベローズ16a〜16cの内側空間に連通する吸引口49a〜49cに接続されている。この際、図2から諒解されるように、真空断熱材18の開口部24a(押圧台44)の長手方向に3個並んだベローズ16a〜16cへの分岐配管46a〜46cのうち、両端側のベローズ16a、16cに接続される分岐配管46a、46cは、分岐点P2から吸引口49a、49cまでの流路長さ、換言すれば、分岐点P2からベローズ16a、16cの内部空間入口までの流路長さが同一(又は略同一)に設定されている。   The second pipe 34b passes from the vacuum pump 32 through an ON / OFF type electromagnetic on-off valve (second on-off valve) 74, and then branches to three branch pipes 46a, 46b, 46c at a branch point (junction point) P2. The branch pipes 46a to 46c are connected to suction ports 49a to 49c communicating with the inner spaces of the bellows 16a to 16c, respectively. At this time, as understood from FIG. 2, among the branch pipes 46 a to 46 c to the bellows 16 a to 16 c arranged in the longitudinal direction of the opening 24 a (pressing table 44) of the vacuum heat insulating material 18, The branch pipes 46a and 46c connected to the bellows 16a and 16c have a flow path length from the branch point P2 to the suction ports 49a and 49c, in other words, a flow from the branch point P2 to the inner space inlet of the bellows 16a and 16c. The road length is set to be the same (or substantially the same).

第2配管34bの電磁開閉弁74と分岐点P2との間には、流量調整弁(ニードルバルブ)78及びストップ弁(大気開放弁)80を介して大気開放されるベローズ側大気開放配管(大気開放配管)82が接続されている。ベローズ側大気開放配管82は、上記したチャンバ側大気開放配管72と同様に、ストップ弁80を開くことで、ベローズ16a〜16cの内側空間を大気開放することができる管路であり、その開放速度を流量調整弁78によって適宜調整することができる。   Between the electromagnetic on-off valve 74 and the branch point P2 of the second pipe 34b, a bellows-side air release pipe (atmosphere) opened to the atmosphere via a flow rate adjusting valve (needle valve) 78 and a stop valve (atmosphere release valve) 80. Open piping) 82 is connected. The bellows-side atmosphere opening pipe 82 is a pipe line that can open the inner spaces of the bellows 16a to 16c to the atmosphere by opening the stop valve 80 in the same manner as the chamber-side atmosphere opening pipe 72 described above. Can be appropriately adjusted by the flow rate adjusting valve 78.

真空封止装置10には、さらに、チャンバ容器12の内部圧力を検出するために該チャンバ容器12内に設置された圧力センサ84と、ベローズ16a〜16cの内側圧力を検出するためにベローズ側大気開放配管82の流量調整弁78と分岐点P2との間に設置された圧力センサ86とが備えられる。勿論、圧力センサ84、86の設置場所は、それぞれチャンバ容器12内とベローズ16a〜16c内の圧力を検出可能な場所であれば適宜変更可能である。   The vacuum sealing device 10 further includes a pressure sensor 84 installed in the chamber container 12 for detecting the internal pressure of the chamber container 12, and a bellows side atmosphere for detecting the inner pressure of the bellows 16 a to 16 c. A pressure sensor 86 is provided between the flow rate adjustment valve 78 of the open pipe 82 and the branch point P2. Of course, the installation locations of the pressure sensors 84 and 86 can be appropriately changed as long as the pressures in the chamber container 12 and the bellows 16a to 16c can be detected.

制御盤36は、当該真空封止装置10の運転条件の設定や全体的な制御を行うために、図示しない入力手段や表示手段等を備えた制御装置であり、例えば、図1に破線で示すように、真空ポンプ32、電磁開閉弁66、74及び圧力センサ84、86が信号線によって接続される。制御盤36は、例えば、圧力センサ84、86による検出圧力に基づき、真空ポンプ32の駆動制御や電磁開閉弁66、74のON・OFF制御を行う。なお、当該真空封止装置10では、流量調整弁68、78及びストップ弁70、80は手動式のものを用いているが、これら流量調整弁68、78及びストップ弁70、80についても、制御盤36で駆動制御可能な電動式のものを用いてもよい。   The control panel 36 is a control device provided with input means, display means, etc. (not shown) in order to set the operating conditions of the vacuum sealing device 10 and perform overall control, and is shown by a broken line in FIG. 1, for example. Thus, the vacuum pump 32, the electromagnetic on-off valves 66 and 74, and the pressure sensors 84 and 86 are connected by a signal line. The control panel 36 performs drive control of the vacuum pump 32 and ON / OFF control of the electromagnetic on-off valves 66 and 74 based on the pressure detected by the pressure sensors 84 and 86, for example. In the vacuum sealing device 10, the flow rate adjusting valves 68 and 78 and the stop valves 70 and 80 are manually operated, but the flow rate adjusting valves 68 and 78 and the stop valves 70 and 80 are also controlled. An electric type that can be driven and controlled by the panel 36 may be used.

次に、以上のように構成される真空封止装置10を用いた真空断熱材18の真空封止方法の一例を説明する。   Next, an example of the vacuum sealing method of the vacuum heat insulating material 18 using the vacuum sealing apparatus 10 comprised as mentioned above is demonstrated.

先ず、大気中でチャンバ容器12の蓋体12bを開き、外縁部24のうち、一端の開口部24aのみが封止されていない袋状の真空断熱材18を載置台38上にセットし、蓋体12bを閉じてチャンバ容器12内を密閉する。この際、真空断熱材18の開口部24aは、図4に示されるように、押圧台44及び受け台54の間となる位置にセットされる。   First, the lid 12b of the chamber container 12 is opened in the atmosphere, and the bag-like vacuum heat insulating material 18 in which only the opening 24a at one end of the outer edge 24 is not sealed is set on the mounting table 38, and the lid The body 12b is closed and the inside of the chamber container 12 is sealed. At this time, the opening 24a of the vacuum heat insulating material 18 is set at a position between the pressing table 44 and the receiving table 54 as shown in FIG.

続いて、チャンバ側大気開放配管72及びベローズ側大気開放配管82のストップ弁70、80を閉じた状態とし、制御盤38の図示しない運転スイッチをONすることにより、予め制御盤38に設定しておいた設定圧力等の運転条件で真空封止装置10の運転を開始する。すなわち、制御盤38の制御下に、第1配管34aの電磁開閉弁66を開き、第2配管34bの電磁開閉弁74も開いた後、真空ポンプ32の運転を開始する。   Subsequently, the stop valves 70 and 80 of the chamber side air release pipe 72 and the bellows side air release pipe 82 are closed, and an operation switch (not shown) of the control panel 38 is turned on to set the control panel 38 in advance. The operation of the vacuum sealing device 10 is started under operating conditions such as the set pressure. That is, under the control of the control panel 38, the electromagnetic on / off valve 66 of the first pipe 34a is opened and the electromagnetic on / off valve 74 of the second pipe 34b is also opened, and then the operation of the vacuum pump 32 is started.

真空ポンプ32が運転されると、チャンバ容器12の内部空間及びベローズ16a〜16cの内側空間が次第に減圧される。そして、圧力センサ84、86による検出圧力が、予め設定しておいた設定圧力になったことが確認されると、制御盤38は、両電磁開閉弁66、74を閉じると共に、真空ポンプ32の運転を停止する。これにより、チャンバ容器12の内部空間及びベローズ16a〜16cの内側空間は、所望の圧力まで減圧された真空状態となり、真空断熱材18の内部もチャンバ容器12内と同じ真空状態となる。   When the vacuum pump 32 is operated, the internal space of the chamber container 12 and the inner spaces of the bellows 16a to 16c are gradually decompressed. When it is confirmed that the pressure detected by the pressure sensors 84 and 86 has reached a preset pressure, the control panel 38 closes both the electromagnetic on-off valves 66 and 74 and the vacuum pump 32. Stop operation. Thereby, the internal space of the chamber container 12 and the inner spaces of the bellows 16a to 16c are in a vacuum state where the pressure is reduced to a desired pressure, and the inside of the vacuum heat insulating material 18 is also in the same vacuum state as in the chamber container 12.

例えば、本実施形態のように、被封止材として真空断熱材18を真空封止する場合には、その断熱性能を十分に確保するため、チャンバ容器12内が10Pa以下、より好ましくは1Pa程度になるまで減圧するとよい。   For example, when the vacuum heat insulating material 18 is vacuum-sealed as a material to be sealed as in the present embodiment, the interior of the chamber container 12 is 10 Pa or less, more preferably about 1 Pa in order to ensure sufficient heat insulation performance. The pressure should be reduced until

このようにチャンバ容器12内とベローズ16a〜16c内とが所望の真空状態まで減圧された状態では、ベローズ16a〜16cの内外空間、つまり、ベローズ16a〜16cの外側空間であるチャンバ容器12aの内部空間と、ベローズ16a〜16cの内側空間である伸縮部48の内部や第2配管34b(分岐配管46a〜46c)との間に圧力差はなく、例えば、両者共に1Pa程度になっている。このため、ベローズ16a〜16cはその自重及び押圧台44の重量等により、初期位置(自然長)まで収縮した状態にある(図3参照)。   Thus, in a state where the inside of the chamber container 12 and the inside of the bellows 16a to 16c are decompressed to a desired vacuum state, the inside and outside spaces of the bellows 16a to 16c, that is, the inside of the chamber container 12a that is the outside space of the bellows 16a to 16c. There is no pressure difference between the space and the inside of the expansion / contraction part 48 which is the inner space of the bellows 16a to 16c and the second pipe 34b (branch pipes 46a to 46c), for example, both are about 1 Pa. For this reason, the bellows 16a to 16c are in a contracted state to the initial position (natural length) due to their own weight and the weight of the pressing table 44 (see FIG. 3).

そこで、次に、流量調整弁78による流量調整下でストップ弁80を開くことにより、ベローズ側大気開放配管82を介してベローズ16a〜16cの内側空間を大気開放させる。これにより、ベローズ側大気開放配管82から、負圧状態にあるベローズ16a〜16cの内側空間及び電磁開閉弁74の下流側(真空ポンプ32側とは反対側)の第2配管34b(分岐配管46a〜46c)内へと、外部の空気が吸引される。   Therefore, the inner space of the bellows 16a to 16c is opened to the atmosphere through the bellows-side atmosphere opening pipe 82 by opening the stop valve 80 under the flow rate adjustment by the flow rate adjusting valve 78. Thereby, the second pipe 34b (branch pipe 46a) on the inner side space of the bellows 16a to 16c in the negative pressure state and the downstream side of the electromagnetic on-off valve 74 (opposite side to the vacuum pump 32 side) from the bellows side atmosphere open pipe 82 External air is sucked into .about.46c).

そうすると、ベローズ16a〜16cは、その内側空間の圧力が次第に上昇するのに伴い、その内外差圧によって内側から圧力を受けて次第に伸張し、押圧台44を押し上げる。すなわち、ベローズ16a〜16cは、その外側空間が1Pa程度の真空状態にある一方、その内側空間が0.1MPa程度の大気圧状態へと次第に近づくことから、チャンバ容器12の底面に固着された下部フランジ40bを基準として伸縮部48が次第に伸張し、その上部に保持した押圧台44を押し上げる。   Then, as the pressure in the inner space gradually increases, the bellows 16a to 16c are gradually expanded by receiving pressure from the inside due to the internal / external differential pressure, and push up the pressing table 44. That is, the bellows 16a to 16c are in a vacuum state whose outer space is about 1 Pa, while the inner space gradually approaches an atmospheric pressure state of about 0.1 MPa, so that the lower part fixed to the bottom surface of the chamber container 12 The stretchable portion 48 gradually expands with the flange 40b as a reference, and pushes up the pressing table 44 held on the upper portion.

最終的に、ベローズ16a〜16cの内側空間が大気圧と等しくなって安定すると、図2に示すように、ベローズ16a〜16cは押圧台44が真空断熱材18の開口部24aの下面側を押圧し、受け台54との間で開口部24aを強固に挟持した状態となり、その伸張が規制される。   Finally, when the inner space of the bellows 16a to 16c becomes equal to the atmospheric pressure and stabilizes, the bellows 16a to 16c press the lower surface side of the opening 24a of the vacuum heat insulating material 18 as shown in FIG. Then, the opening 24a is firmly sandwiched between the cradle 54 and its extension is restricted.

なお、ベローズ16a〜16cの上部フランジ40aをストッパ部材52によって受け止めることで、ベローズ16a〜16cの伸張を規制し、この状態で押圧台44が開口部24aを所望の圧力で押圧するように構成してもよい。また、このようなストッパ部材52を設けておくことで、開口部24aの過度の押圧を防止することができるだけでなく、開口部24aのセット位置がずれていて、押圧台44の上昇が規制できない場合であっても、ベローズ16a〜16cの上限の伸張長をストッパ部材52によって規制できるため、ベローズ16a〜16cが過度な伸張を受けて破損することを防止できる。   The upper flange 40a of the bellows 16a to 16c is received by the stopper member 52 to restrict the expansion of the bellows 16a to 16c, and in this state, the pressing base 44 presses the opening 24a with a desired pressure. May be. Further, by providing such a stopper member 52, not only can the excessive pressing of the opening 24a be prevented, but the set position of the opening 24a is deviated and the elevation of the pressing table 44 cannot be restricted. Even in this case, since the upper limit extension length of the bellows 16a to 16c can be regulated by the stopper member 52, the bellows 16a to 16c can be prevented from being damaged due to excessive extension.

開口部24aがその両面側から押圧台44と受け台54とによって強固に押圧され挟持された状態となると、続いて、加熱部56、58の各ヒータ62をONして、開口部24aを外面側(保護層26a、26b側)から加熱し、内側で互いに密着されている熱溶着層30a、30b間を熱溶着(高周波溶着)によって溶着させる。本実施形態では、上記のように熱溶着層30a、30bとしてポリエチレンを用いていることから、その融点(例えば、80℃〜100℃程度)以上の温度まで熱溶着層30a、30bを確実に加熱できるように、例えば、ヒータ62の表面温度を150℃程度に設定し、加熱状態を所定時間継続する。   When the opening 24a is firmly pressed and clamped by the pressing table 44 and the receiving table 54 from both sides, the heaters 62 of the heating units 56 and 58 are then turned on to open the opening 24a to the outer surface. Heating is performed from the side (the protective layers 26a and 26b), and the heat welding layers 30a and 30b that are in close contact with each other are welded by heat welding (high frequency welding). In this embodiment, since polyethylene is used as the heat welding layers 30a and 30b as described above, the heat welding layers 30a and 30b are reliably heated to a temperature equal to or higher than the melting point (for example, about 80 ° C. to 100 ° C.). For example, the surface temperature of the heater 62 is set to about 150 ° C., and the heating state is continued for a predetermined time.

熱溶着層30a、30bの溶着が完了すると、次に、ヒータ62への通電を停止した状態でしばらく放置して溶着部を冷却することで、開口部24aの封止工程を完了する。   When the welding of the heat-welded layers 30a and 30b is completed, the sealing process for the opening 24a is completed by cooling the welded portion by leaving it for a while with the energization of the heater 62 stopped.

続いて、流量調整弁68による流量調整下でストップ弁70を開くことにより、チャンバ側大気開放配管72を介してチャンバ容器12の内部空間を大気開放させた後、蓋体12bを開くことで、外被材20a、20b間に芯材22を所望の圧力で減圧密封した真空断熱材18を取り出すことができる。なお、この取り出し工程は、例えば、チャンバ側大気開放配管72を介してチャンバ容器12の内部空間を大気開放させる前に、ストップ弁80を閉じてベローズ側大気開放配管82を閉塞した後、電磁開放弁74を開き、真空ポンプ32を駆動してベローズ16a〜16cの内側空間を再度真空引きして当該ベローズ16a〜16cの内外空間での差圧をなくした後、ストップ弁70、80を開き、チャンバ容器12の内部空間とベローズ16a〜16cの内側空間とを同時に大気開放させるようにしてもよい。   Subsequently, by opening the stop valve 70 under the flow rate adjustment by the flow rate adjustment valve 68 to release the internal space of the chamber container 12 to the atmosphere via the chamber side air release pipe 72, the lid body 12b is then opened. It is possible to take out the vacuum heat insulating material 18 in which the core material 22 is vacuum-sealed at a desired pressure between the jacket materials 20a and 20b. This removal step is performed, for example, by closing the stop valve 80 and closing the bellows side air release pipe 82 before opening the internal space of the chamber container 12 to the atmosphere via the chamber side air release pipe 72 and then opening the electromagnetic release. After opening the valve 74 and driving the vacuum pump 32 to evacuate the inner space of the bellows 16a to 16c again to eliminate the differential pressure in the inner and outer spaces of the bellows 16a to 16c, the stop valves 70 and 80 are opened. The internal space of the chamber container 12 and the inner spaces of the bellows 16a to 16c may be simultaneously opened to the atmosphere.

以上のように、本実施形態に係る真空封止装置10では、真空ポンプ32によって内部を減圧可能なチャンバ容器12と、チャンバ容器12内にセットされた被封止材(真空断熱材18)の開口部24aを封止するシール装置14とを備え、シール装置14に、チャンバ容器12内で伸縮可能であると共に、その内側空間が第2配管34b(分岐配管46a〜46c)によってチャンバ容器12外と連通されることで該チャンバ容器12の内外空間を気密に仕切るベローズ16a〜16cと、ベローズ16a〜16cの伸張方向で先端側に設けられ、ベローズ16a〜16cが伸張された場合に、チャンバ容器12内に設置された受け台54との間で開口部24aを押圧し挟持する押圧台44と、押圧台44及び受け台54の接触面44a、54aに設けられ、開口部24aを加熱・接合して封止する加熱部56、58とを備える。   As described above, in the vacuum sealing device 10 according to the present embodiment, the chamber container 12 whose inside can be decompressed by the vacuum pump 32 and the sealing material (vacuum heat insulating material 18) set in the chamber container 12. And a seal device 14 for sealing the opening 24a. The seal device 14 can be expanded and contracted in the chamber container 12, and the inner space is outside the chamber container 12 by the second pipe 34b (branch pipes 46a to 46c). When the bellows 16a to 16c are extended and the bellows 16a to 16c are extended in the extending direction of the bellows 16a to 16c and the bellows 16a to 16c are extended, the chamber container 12, a pressing table 44 that presses and holds the opening 24 a between the receiving table 54 and the contact table 44 a of the pressing table 44 and the receiving table 54. Provided 4a, and a heating unit 56, 58 for sealing by heating and joining the opening 24a.

このように、真空封止装置10では、チャンバ容器12の内外空間を気密に仕切り、且つ、押圧台44を開口部24aに押し付けて受け台54との間で挟持させる進退機構として、ベローズ16a〜16cを用いたことにより、チャンバ容器12でのガスリークを防止し、所望の真空状態まで確実に減圧した後、その真空状態を維持したまま、開口部24aの封止作業を行ことができ、所望の真空状態を有する製品(例えば、真空断熱材18)を製造することができる。しかも、当該真空封止装置10では、前記進退機構としてベローズ16a〜16cを用いているため、チャンバ容器12内を10Pa以下、さらには1Pa程度の圧力まで減圧した場合であっても、上記従来技術のようにガスリークを生じることがなく、より高品質な真空断熱材18を製造することができる。   As described above, in the vacuum sealing device 10, the bellows 16 a to 16 b are used as an advance / retreat mechanism that hermetically partitions the inner and outer spaces of the chamber container 12 and presses the pressing table 44 against the opening 24 a so as to be sandwiched between the receiving table 54. By using 16c, gas leakage in the chamber container 12 can be prevented, and after the pressure is reliably reduced to a desired vacuum state, the opening 24a can be sealed while the vacuum state is maintained. A product having a vacuum state (for example, the vacuum heat insulating material 18) can be manufactured. Moreover, since the vacuum sealing device 10 uses the bellows 16a to 16c as the advancing / retreating mechanism, even if the pressure in the chamber container 12 is reduced to a pressure of 10 Pa or less, and further about 1 Pa, the above-described conventional technology Thus, no gas leak occurs, and the higher-quality vacuum heat insulating material 18 can be manufactured.

この際、ベローズ16a〜16cでは、その外側空間が負圧(例えば、1Pa)となり、その内側空間が陽圧(例えば、大気圧)となるため、伸張時に横揺れ等を生じる懸念があるが、シール装置14では、ベローズ16a〜16cの伸縮方向に沿って延在し、その外側面に摺接可能なガイド部材50を設けたことにより、ベローズ16a〜16cの横揺れや破損を防止することができる。   At this time, in the bellows 16a to 16c, the outer space has a negative pressure (for example, 1 Pa) and the inner space has a positive pressure (for example, atmospheric pressure). In the sealing device 14, the bellows 16 a to 16 c are prevented from being swayed or damaged by providing the guide member 50 that extends along the expansion / contraction direction of the bellows 16 a to 16 c and is slidable on the outer surface thereof. it can.

ところで、平面視で円形状に形成されるベローズを1個のみ用い、例えば、長さ800mm以上で幅30mm程度に構成された長尺な押圧台44を駆動しようとした場合には、当該ベローズが過度に大径化され、チャンバ容器12を大型化する必要がある。これに対して、当該真空封止装置10では、真空断熱材18の開口部24aの長手方向に沿って複数(3個)のベローズ16a〜16cを並べて設置し、各ベローズ16a〜16cの先端側(上部)を渡って延在する棒状の押圧台44を設けているため、各ベローズ16a〜16cにコンパクトな外形のものを用いることができ、特に図1での左右方向の寸法を抑えて装置を小型化することができる。なお、平面視で楕円状や矩形状のベローズを用いれば、ベローズ16a〜16cに代えて、1個又は2個のベローズでも長尺な開口部24aに十分対応することができる。すなわち、ベローズの設置数は、当該ベローズの構造や開口部24aの寸法、チャンバ容器12の構造等によって適宜変更可能である。   By the way, when only one bellows formed in a circular shape in plan view is used, for example, when trying to drive a long pressing base 44 having a length of 800 mm or more and a width of about 30 mm, the bellows is The diameter of the chamber container 12 needs to be increased by excessively increasing the diameter. In contrast, in the vacuum sealing device 10, a plurality (three) of bellows 16 a to 16 c are arranged side by side along the longitudinal direction of the opening 24 a of the vacuum heat insulating material 18, and the front ends of the bellows 16 a to 16 c are arranged. Since the rod-shaped pressing base 44 extending across (upper part) is provided, a compact outer shape can be used for each bellows 16a to 16c. Can be miniaturized. If an elliptical or rectangular bellows is used in plan view, one or two bellows can sufficiently correspond to the long opening 24a instead of the bellows 16a to 16c. That is, the number of bellows can be appropriately changed depending on the structure of the bellows, the size of the opening 24a, the structure of the chamber container 12, and the like.

減圧配管34のうち、シール装置14を駆動する第2配管34bは、ベローズ16a〜16cの設置数分だけ分岐した複数(本実施形態では3本)の分岐配管46a〜46cによって各ベローズ16a〜16cの内側空間へとそれぞれ連通されている。このため、各ベローズ16a〜16cの内側空間を分岐点P2で連通させることができるため、真空ポンプ32による減圧時や、ベローズ側大気開放配管82による大気開放時に、各ベローズ16a〜16c相互間での圧力差を低減することができ、1つの押圧台44を協働して支持・駆動する各ベローズ16a〜16cの伸縮動作を揃えることができる。   Among the decompression pipes 34, the second pipes 34 b that drive the sealing device 14 are each of the bellows 16 a to 16 c by a plurality of (three in this embodiment) branch pipes 46 a to 46 c branched by the number of installed bellows 16 a to 16 c. Each communicates with the interior space. For this reason, since the inner space of each bellows 16a-16c can be communicated at the branch point P2, when the pressure is reduced by the vacuum pump 32 or the atmosphere is released by the bellows-side atmosphere opening pipe 82, the bellows 16a-16c are mutually connected. The pressure difference between the bellows 16a to 16c for supporting and driving one pressing table 44 in cooperation can be made uniform.

この際、上記のように、各分岐配管46a〜46cのうち、開口部24aの長手方向で両端側に配置されたベローズ16a、16cへの分岐配管46a、46cについて、その流路断面積を等しくし、さらに分岐点P2から両ベローズ16a、16cの内側空間までの長さを同一又は略同一に設定しておくことが好ましい。そうすると、互いに協働して押圧台44を上昇させるベローズ46a〜46cのうち、押圧台44(開口部24a)の長手方向で両端側のベローズ46a、46c内への大気導入時の差圧を一層確実に抑えることが可能となり、押圧台44を安定して上昇させることが可能となる。すなわち、本実施形態では、3個のベローズ16a〜16cを一列に並べているため、その両端にあるベローズ16a、16cの伸縮動作を可及的に同期させることができれば、真ん中のベローズ16bの伸縮動作が多少ずれたとしても、押圧台44の上下動を十分に安定させることができ、4個以上のベローズを用いた場合にも略同様に構成するとよい。   At this time, as described above, among the branch pipes 46a to 46c, the branch pipes 46a and 46c to the bellows 16a and 16c arranged at both ends in the longitudinal direction of the opening 24a have the same flow path cross-sectional area. Furthermore, it is preferable that the length from the branch point P2 to the inner spaces of the bellows 16a and 16c is set to be the same or substantially the same. Then, among the bellows 46a to 46c that raise the pressing table 44 in cooperation with each other, the pressure difference when the atmosphere is introduced into the bellows 46a and 46c on both ends in the longitudinal direction of the pressing table 44 (opening 24a) is further increased. It becomes possible to suppress reliably, and it becomes possible to raise the press stand 44 stably. That is, in this embodiment, since the three bellows 16a to 16c are arranged in a line, if the expansion and contraction operations of the bellows 16a and 16c at both ends can be synchronized as much as possible, the expansion and contraction operation of the middle bellows 16b is possible. Even if there is a slight deviation, the vertical movement of the pressing table 44 can be sufficiently stabilized, and it is preferable that four or more bellows be used.

なお、図2中に2点鎖線で示すように、例えば、分岐配管46a〜46cの分岐点P2を含む位置に、流路容積を大幅に増大させるバッファ部90を接続してもよい。このバッファ部90を設けることにより、ベローズ側大気開放配管82から導入される大気が、一旦バッファ部90によって緩衝された後に、各分岐配管46a〜46cへと流入されるため、各ベローズ16a〜16cの伸張動作をより安定して同期させることができる。勿論、バッファ部90は、分岐点P2を含む位置以外に接続してもよく、例えば、ベローズ側大気開放配管82に接続してもよい。   As shown by a two-dot chain line in FIG. 2, for example, a buffer unit 90 that significantly increases the flow path volume may be connected to a position including the branch point P2 of the branch pipes 46a to 46c. By providing the buffer section 90, the air introduced from the bellows-side atmosphere opening pipe 82 is once buffered by the buffer section 90 and then flows into the branch pipes 46a to 46c. Can be synchronized more stably. Of course, the buffer unit 90 may be connected to a position other than the position including the branch point P2, for example, may be connected to the bellows-side atmosphere opening pipe 82.

なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で自由に変更できることは勿論である。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that the present invention can be freely changed without departing from the gist of the present invention.

例えば、上記実施形態では、被封止材としての真空断熱材18の一端部にのみ開口部24aが形成されており、この開口部24aのみを封止する構成を例示したが、例えば、シール装置14を2台以上設置して、又は押圧台44の形状を変更して、被封止材の2以上の開口部を同時に又は連続的に封止するように構成してもよい。   For example, in the above embodiment, the opening 24a is formed only at one end portion of the vacuum heat insulating material 18 as the material to be sealed, and the configuration in which only the opening 24a is sealed is illustrated. Two or more units 14 may be installed, or the shape of the pressing table 44 may be changed, and two or more openings of the material to be sealed may be sealed simultaneously or continuously.

また、上記実施形態では、押圧台44及び受け台54の両方に加熱部56、58をそれぞれ設けた構成を例示したが、加熱部としては被封止材の開口部を溶着できればよいことから、押圧台44及び受け台54の一方のみに設けてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the structure which each provided the heating parts 56 and 58 in both the press stand 44 and the receiving stand 54 was illustrated, since the opening part of a to-be-sealed material should just be welded as a heating part, You may provide only in one of the press stand 44 and the receiving stand 54. FIG.

10 真空封止装置
12 チャンバ容器
14 シール装置
16a〜16c ベローズ
18 真空断熱材
20a、20b 外被材
22 芯材
24a 開口部
32 真空ポンプ
34 減圧配管
34a 第1配管
34b 第2配管
36 制御盤
44 押圧台
44a、54a 接触面
46a〜46c 分岐配管
48 伸縮部
50 ガイド部材
52 ストッパ部材
54 受け台
56、58 加熱部
60 クッション材
62 ヒータ
66、74 電磁開閉弁
68、78 流量調整弁
70、80 ストップ弁
72 チャンバ側大気開放配管
82 ベローズ側大気開放配管
90 バッファ部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vacuum sealing apparatus 12 Chamber container 14 Sealing device 16a-16c Bellows 18 Vacuum heat insulating material 20a, 20b Outer covering material 22 Core material 24a Opening part 32 Vacuum pump 34 Decompression piping 34a 1st piping 34b 2nd piping 36 Control panel 44 Press Base 44a, 54a Contact surface 46a-46c Branch piping 48 Extendable part 50 Guide member 52 Stopper member 54 Receiving base 56, 58 Heating part 60 Cushion material 62 Heater 66, 74 Electromagnetic on-off valve 68, 78 Flow rate adjusting valve 70, 80 Stop valve 72 Chamber side open air piping 82 Bellows side open air piping 90 Buffer

Claims (8)

真空ポンプによって内部を減圧可能なチャンバ容器と、該チャンバ容器内にセットされた被封止材の開口部を封止するシール装置とを備える真空封止装置であって、
前記シール装置は、前記チャンバ容器内で伸縮可能であると共に、その内側空間が前記チャンバ容器外と連通されることで該チャンバ容器の内外空間を気密に仕切るベローズと、
前記ベローズの伸張方向で先端側に設けられ、前記ベローズが伸張された場合に、前記チャンバ容器内に設置された受け台との間で前記被封止材の開口部を押圧し挟持する押圧台と、
前記受け台及び前記押圧台のうち、少なくとも一方の前記被封止材への接触面に設けられ、前記開口部を加熱して接合する加熱部と、
を備えることを特徴とする真空封止装置。
A vacuum sealing device comprising: a chamber container whose inside can be decompressed by a vacuum pump; and a sealing device for sealing an opening of a material to be sealed set in the chamber container,
The seal device is expandable and contractible in the chamber container, and a bellows for partitioning the inner and outer space of the chamber container in an airtight manner by communicating the inner space with the outside of the chamber container;
A pressing base provided on the front end side in the extension direction of the bellows and pressing and sandwiching the opening of the material to be sealed with a receiving base installed in the chamber container when the bellows is extended When,
A heating unit that is provided on a contact surface to at least one of the sealing materials among the receiving table and the pressing table, and heats and joins the opening.
A vacuum sealing device comprising:
請求項1記載の真空封止装置において、
前記ベローズは、前記被封止材の開口部の長手方向に沿って複数並んで設置され、
前記押圧台は、各ベローズの先端側を渡って延在する棒状部材であることを特徴とする真空封止装置。
The vacuum sealing device according to claim 1, wherein
The bellows is installed side by side along the longitudinal direction of the opening of the material to be sealed,
The vacuum sealing device according to claim 1, wherein the pressing table is a rod-shaped member extending across the tip side of each bellows.
請求項1又は2記載の真空封止装置において、
前記ベローズの伸縮方向に沿って延在し、該ベローズの外側面に摺接可能に配置されるガイド部材を設けたことを特徴とする真空封止装置。
The vacuum sealing device according to claim 1 or 2,
A vacuum sealing device, characterized in that a guide member is provided that extends along the expansion / contraction direction of the bellows and is arranged so as to be slidable on the outer surface of the bellows.
請求項1又は2記載の真空封止装置において、
前記真空ポンプに接続された減圧配管は、第1配管と第2配管とに分岐され、
前記第1配管が第1開閉弁を介して前記チャンバ容器の内部空間に連通される一方、前記第2配管が第2開閉弁を介して前記ベローズの内側空間に連通され、
前記第2配管には、前記ベローズの内側空間を大気開放するための大気開放配管が大気開放弁を介して接続されることを特徴とする真空封止装置。
The vacuum sealing device according to claim 1 or 2,
The decompression pipe connected to the vacuum pump is branched into a first pipe and a second pipe,
The first pipe communicates with the inner space of the chamber container via a first on-off valve, while the second pipe communicates with the inner space of the bellows via a second on-off valve,
An air release pipe for opening the inner space of the bellows to the atmosphere is connected to the second pipe via an air release valve.
請求項4記載の真空封止装置において、
前記ベローズが前記複数並んで設置されている場合に、前記第2配管は、前記ベローズの設置数分だけ分岐した複数の分岐配管によって各ベローズの内側空間へとそれぞれ連通されることを特徴とする真空封止装置。
The vacuum sealing device according to claim 4, wherein
When the plurality of bellows are installed side by side, the second pipe communicates with the inner space of each bellows by a plurality of branch pipes branched by the number of installation of the bellows. Vacuum sealing device.
請求項5記載の真空封止装置において、
前記各ベローズの内側空間へと連通される各分岐配管のうち、少なくとも前記開口部の長手方向で両端側に配置された各ベローズへの各分岐配管は、その分岐点から各ベローズの内側空間までの長さが同一に設定されることを特徴とする真空封止装置。
The vacuum sealing device according to claim 5, wherein
Of the branch pipes communicating with the inner space of each bellows, at least each branch pipe to each bellows arranged at both ends in the longitudinal direction of the opening extends from the branch point to the inner space of each bellows. The vacuum sealing device is characterized in that the lengths are set to be the same.
請求項4〜6のいずれか1項に記載の真空封止装置において、
前記第2配管又は前記大気開放配管には、流路容積を増大させたバッファ部が接続されることを特徴とする真空封止装置。
In the vacuum sealing device according to any one of claims 4 to 6,
A vacuum sealing device, wherein a buffer section having an increased flow volume is connected to the second pipe or the atmosphere opening pipe.
請求項1〜7のいずれか1項に記載の真空封止装置において、
前記被封止材は、外被材で芯材を包含すると共に、減圧封止して形成される真空断熱材であることを特徴とする真空封止装置。
In the vacuum sealing device according to any one of claims 1 to 7,
The said sealing material is a vacuum heat insulating material formed by carrying out pressure reduction sealing while including a core material with a jacket material.
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