JP2013022901A

JP2013022901A - Glass film laminate, and method for manufacturing the same

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Publication number: JP2013022901A
Application number: JP2011161785A
Authority: JP
Inventors: Takayoshi Nireki; 隆佳二連木
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2011-07-25
Filing date: 2011-07-25
Publication date: 2013-02-04

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass film laminate which does not expose an adhesive layer causing dust sticking or adhesion trouble on handling, does not have any step difference part coming into contact with an exposure mask or collecting a developer, and can prevent wrinkles and curling on a support film.SOLUTION: The glass film laminate 10 includes a glass film 3, an adhesive layer 2, a support film 1 which is a film having a width larger than that of the glass film 3 and arranged on the glass film 3 via the adhesive layer 2 so as to have ear parts 6 (6a, 6b) projecting from both ends 3a, 3b of the glass film 3, and belt-like films 4 (4a, 4b) which are films having a tensile modulus of 5-800 MPa and a thickness not larger than that of the glass film 3 and arranged on the ear part 6 via the adhesive layer 2 or another adhesive layer.

Description

本発明は、ガラスフィルム積層体に関し、さらに詳しくは、例えば有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等に用いられる薄ガラス（「ガラスフィルム」ともいう。）に支持フィルムを貼付してなるガラスフィルム積層体及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a glass film laminate, and more specifically, a support film is attached to thin glass (also referred to as “glass film”) used in displays such as organic EL displays and liquid crystal displays, color filters, solar cells, and the like. It is related with the glass film laminated body formed, and its manufacturing method.

近年、ガラスの製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度又はそれ以下の薄ガラス（ガラスフィルム）が製造されている。例えば、特許文献１には厚さが２００μｍ以下のガラスフィルムが提案され、特許文献２には厚さが０．１〜１００μｍのガラスフィルムが提案されている。こうしたガラスフィルムは可撓性を有することから、そのガラスフィルム上への膜形成等にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。しかし、薄いガラスフィルムは耐衝撃性に劣り、工程上の取り扱いが困難になる。 In recent years, thin glass (glass film) having a thickness of about 100 μm or less has been manufactured due to progress in glass manufacturing technology. For example, Patent Document 1 proposes a glass film having a thickness of 200 μm or less, and Patent Document 2 proposes a glass film having a thickness of 0.1 to 100 μm. Since such a glass film has flexibility, a roll-to-roll process can be applied to form a film on the glass film, so that high productivity can be obtained as compared with a conventional sheet (sheet-fed) process. it can. However, a thin glass film is inferior in impact resistance, and handling in a process becomes difficult.

工程上の取り扱いを向上させるため、特許文献３には、粘着層を間に介してガラスフィルムと支持シートとを積層したガラスフィルム積層体が提案されている。このガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムよりも幅広の支持シートを積層すると、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出すことになる。そのため、そのはみ出した支持シート部がガラスフィルムの端部を保護するように作用するので、耐衝撃性に劣るガラスフィルムの保護効果をさらに高めることができるとされている。 In order to improve handling in the process, Patent Document 3 proposes a glass film laminate in which a glass film and a support sheet are laminated with an adhesive layer interposed therebetween. In this glass film laminate, when a support sheet wider than the glass film is laminated, the support sheet protrudes from the end of the glass film. Therefore, since the protruding support sheet portion acts to protect the end portion of the glass film, it is said that the protective effect of the glass film inferior in impact resistance can be further enhanced.

しかし、ガラスフィルムの端部からはみ出した支持シートの表面には粘着層が露出しているので、その粘着層にゴミが付着したりハンドリング時の貼り付き不具合が生じたりする。この問題に対しては、特許文献３では、ガラスフィルムの上面を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様や、ガラスフィルムの上面端部周縁を覆うように剥離可能な帯状の保護シートを貼り合わせた態様のガラスフィルム積層体を提案している。 However, since the adhesive layer is exposed on the surface of the support sheet that protrudes from the edge of the glass film, dust adheres to the adhesive layer, or sticking problems occur during handling. With respect to this problem, in Patent Document 3, an aspect in which a protective sheet that can be peeled so as to cover the upper surface of the glass film is bonded, or a belt-shaped protective sheet that can be peeled so as to cover the peripheral edge of the upper surface of the glass film. The glass film laminated body of the aspect which bonded together is proposed.

特開２００８−１３３１７４号公報JP 2008-133174 A 特開２００１−９７７３３号公報JP 2001-97733 A 特開２０１０−２２８１６６号公報JP 2010-228166 A

しかしながら、特許文献３に記載のガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの上面に貼り合わされた保護シートは剥離が予定されているので、剥離して粘着層が露出し易く、また、保護シートが剥離された後には再び支持シート上に設けられている粘着層が露出し、露出した粘着層がゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすおそれがある。 However, in the glass film laminate described in Patent Document 3, since the protective sheet bonded to the upper surface of the glass film is scheduled to be peeled off, the adhesive layer is easily peeled off and the protective sheet is peeled off. After that, the pressure-sensitive adhesive layer provided on the support sheet is exposed again, and the exposed pressure-sensitive adhesive layer may cause a problem of dust adhesion or a problem of sticking during handling.

また、特許文献３には、ガラスフィルムの上面端部周縁を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様も提案されている。しかしながら、この保護シートを剥離せずに残したままで例えば露光工程に投入すると、保護シートの端部の段差が露光マスクに接触したり、その段差部分に現像液が溜まったりする等の問題が発生する。 Patent Document 3 also proposes an aspect in which a protective sheet that can be peeled is attached so as to cover the peripheral edge of the upper surface end of the glass film. However, if this protective sheet is left without being peeled off, for example, when it is put into an exposure process, problems such as a step at the end of the protective sheet coming into contact with the exposure mask or a developer collecting at the stepped portion occur. To do.

本発明者は、こうした問題を解決するために、ガラスフィルムからはみ出した支持シート（以下、本発明では「支持フィルム」という。）の粘着層上にのみ保護シート（以下、本発明では「帯状フィルム」という。）を貼り合わせる検討を行った。しかし、露出した粘着層上に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでは、その帯状フィルム物性によって、支持フィルムにしわやカールが発生するという問題が生じた。 In order to solve these problems, the present inventor has a protective sheet (hereinafter referred to as “band-like film” in the present invention) only on an adhesive layer of a support sheet (hereinafter referred to as “support film” in the present invention) protruding from the glass film. "). However, when the belt-like film is simply pasted on the exposed adhesive layer, there arises a problem that wrinkles and curls occur on the support film due to the properties of the belt-like film.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こす粘着層を露出させず、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる、ガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is not to expose an adhesive layer that causes a problem of dust adhesion or a problem of sticking at the time of handling, and further contacts an exposure mask. An object of the present invention is to provide a glass film laminate and a method for producing the same, which are free from stepped portions where the developer is accumulated and the wrinkles and curls of the support film can be prevented.

上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムと、粘着層と、幅が前記ガラスフィルムよりも大きいフィルムであって、前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出した耳部を有するように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで前記ガラスフィルムの厚さ以下のフィルムであって、前記耳部に前記粘着層又は他の粘着層を介して設けられている帯状フィルムと、を備えることを特徴とする。 The glass film laminate according to the present invention for solving the above problems is a glass film, an adhesive layer, and a film having a width larger than that of the glass film, and protruding from both end portions of the glass film. A supporting film provided on the glass film via the adhesive layer so as to have a film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa and not more than the thickness of the glass film, and the adhesive layer on the ear portion Or a belt-like film provided via another adhesive layer.

この発明によれば、ガラスフィルムよりも大きい幅の支持フィルムが、ガラスフィルムの両側端部からはみ出した耳部を有するようにガラスフィルム上に設けられ、且つその耳部には剥離が予定されていない帯状フィルムが設けられているので、その粘着層は露出することがない。その結果、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、耳部にはガラスフィルムの厚さ以下の帯状フィルムが設けられているので、帯状フィルムはガラスフィルム上に載っておらず、帯状フィルムの端部は段差になっていない。その結果、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルムの端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルムが耳部に設けられているので、耳部に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでも、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。 According to the present invention, the support film having a width larger than that of the glass film is provided on the glass film so as to have the ears protruding from both ends of the glass film, and the ears are scheduled to be peeled off. Since no strip film is provided, the adhesive layer is not exposed. As a result, it is possible to reduce the problem of dust adhesion and the problem of sticking problems during handling. Moreover, since the strip | belt-shaped film below the thickness of a glass film is provided in the ear | edge part, the strip | belt-shaped film is not on the glass film, and the edge part of the strip | belt-shaped film is not a level | step difference. As a result, even when the glass film laminate is put into, for example, an exposure process or the like, problems such as the end of the belt-shaped film coming into contact with the exposure mask or the developer being accumulated are not caused. Moreover, since a flexible strip-like film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa is provided at the ear portion, wrinkles and curls are prevented from occurring on the support film even if the strip-like film is simply bonded to the ear portion. Can do.

本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記支持フィルムの幅が前記ガラスフィルムの幅よりも５ｍｍ〜１００ｍｍの範囲で大きいことが好ましい。 The glass film laminated body which concerns on this invention WHEREIN: It is preferable that the width | variety of the said support film is larger in the range of 5 mm-100 mm than the width | variety of the said glass film.

この発明によれば、支持フィルムの幅が上記範囲であるので、ガラスフィルムの両側端部には、その両側端部からはみ出す耳部を有し、その耳部に上記引張弾性率の帯状フィルムが設けられている。その結果、ガラスフィルムの端部での割れを防ぎ且つ支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。 According to the present invention, since the width of the support film is in the above range, the both ends of the glass film have ears protruding from the both ends, and the belt-like film having the above tensile elastic modulus is provided on the ears. Is provided. As a result, it is possible to prevent cracking at the end of the glass film and to prevent wrinkles and curls from occurring on the support film.

本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられていることが好ましい。 In the glass film laminate according to the present invention, it is preferable that at least a patterned film is provided on the glass film.

この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができるという効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ等を製造した場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つしわやカールの発生を防止した状態で製造工程に供給できるという効果を奏する。 According to this invention, on the glass film, any one or two or more films selected from a transparent electrode film, a metal film, a semiconductor film, an organic compound film, an inorganic compound film, and the like are provided in a patterned manner. Therefore, such a glass film laminate is applied to, for example, an organic EL display element substrate, a liquid crystal display element substrate, a color filter element substrate, a solar cell element substrate, and the like. As described above, the glass film laminate according to the present invention can reduce the problem of dust adhesion and the problem of sticking at the time of handling, and further can prevent wrinkles and curls from occurring on the support film. There is an effect. Therefore, when a patterned film is provided on the glass film laminate exhibiting such an effect, when the organic EL display or the like is produced using the glass film laminate as an element substrate for an organic EL display, etc. In addition, it is possible to reduce defects such as defects in pixels and pixels, and to supply to the manufacturing process in a state where wrinkles and curls are prevented.

上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、ガラスフィルムを準備する工程と、粘着層が設けられ、幅が前記ガラスフィルムよりも大きい支持フィルムを準備する工程と、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで前記ガラスフィルムの厚さ以下のフィルムであって、前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを積層させたときに、前記ガラスフィルムの両側端部から前記支持フィルムがはみ出した耳部に貼り合わせるための帯状フィルムを準備する工程と、前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、前記粘着層又は他の粘着層を介して前記帯状フィルムを前記耳部に貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。 The method for producing a glass film laminate according to the present invention for solving the above problems includes a step of preparing a glass film, a step of preparing a support film provided with an adhesive layer and having a width larger than that of the glass film, A film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa and a thickness of the glass film or less, and when the support film and the glass film were laminated, the support film protruded from both end portions of the glass film. A step of preparing a band-shaped film to be bonded to the ear, a step of bonding the glass film and the support film via the adhesive layer, and the band-shaped film via the adhesive layer or another adhesive layer. And a step of bonding to the ear portion.

この発明によれば、製造されたガラスフィルム積層体は粘着層を露出しないので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、帯状フィルムはガラスフィルム上に載っておらず、帯状フィルムの端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルムの端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルムが耳部に設けられているので、耳部に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでも、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。 According to this invention, since the manufactured glass film laminated body does not expose the adhesive layer, it is possible to reduce the problem of dust adhesion and the problem of sticking problems during handling. In addition, since the band-shaped film is not placed on the glass film, and the edge of the band-shaped film is not stepped, the edge of the band-shaped film even when the glass film laminate is put into an exposure process or the like. Does not come into contact with the exposure mask or the developer accumulates. Moreover, since a flexible strip-like film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa is provided at the ear portion, wrinkles and curls are prevented from occurring on the support film even if the strip-like film is simply bonded to the ear portion. Can do.

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、粘着層を露出しないので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、帯状フィルムはガラスフィルム上に載っておらず、帯状フィルムの端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルムの端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルムが耳部に設けられているので、耳部に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでも、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。 According to the glass film laminate and the method for producing the same according to the present invention, since the adhesive layer is not exposed, it is possible to reduce the problem of dust adhesion and the problem of sticking problems during handling. In addition, since the band-shaped film is not placed on the glass film, and the edge of the band-shaped film is not stepped, the edge of the band-shaped film even when the glass film laminate is put into an exposure process or the like. Does not come into contact with the exposure mask or the developer accumulates. Moreover, since a flexible strip-like film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa is provided at the ear portion, wrinkles and curls are prevented from occurring on the support film even if the strip-like film is simply bonded to the ear portion. Can do.

本発明に係るガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows an example of the glass film laminated body which concerns on this invention. 本発明に係るガラスフィルム積層体の他の一例を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows another example of the glass film laminated body which concerns on this invention. ガラスフィルム積層体の端部構造を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the edge part structure of a glass film laminated body. ガラスフィルム積層体の模式的な平面図である。It is a typical top view of a glass film laminated body. 膜が設けられたガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows an example of the glass film laminated body provided with the film | membrane. ガラスフィルム積層体の製造装置の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the manufacturing apparatus of a glass film laminated body.

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。 A glass film laminate and a method for producing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention can be modified in various ways as long as it has the technical features, and is not limited to the embodiments specifically shown below.

［ガラスフィルム積層体］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、図１及び図２に示すように、支持フィルム１と、粘着層２と、ガラスフィルム３と、帯状フィルム４とを備えている。そして、支持フィルム１は、幅がガラスフィルム３よりも大きく、ガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出した耳部６（６ａ，６ｂ）を有するように粘着層２を介してガラスフィルム３に積層されており、帯状フィルム４（４ａ，４ｂ）は、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで、ガラスフィルム３の厚さ以下であり、耳部６（６ａ，６ｂ）に粘着層２又は他の粘着層２ａ，２ｂを介して設けられていることに特徴がある。 [Glass film laminate]
The glass film laminated body 10 which concerns on this invention is provided with the support film 1, the adhesion layer 2, the glass film 3, and the strip | belt-shaped film 4 as shown in FIG.1 and FIG.2. And the support film 1 is larger than the glass film 3, and the glass film 3 through the adhesion layer 2 so that it may have the ear | edge part 6 (6a, 6b) which protruded from the both-sides edge part 3a, 3b of the glass film 3. The belt-like film 4 (4a, 4b) has a tensile elastic modulus of 5 MPa to 800 MPa and is equal to or less than the thickness of the glass film 3, and the adhesive layer 2 or other material on the ear part 6 (6 a, 6 b). It is characterized by being provided through the adhesive layers 2a and 2b.

以下、各構成について詳しく説明する。 Hereinafter, each configuration will be described in detail.

（支持フィルム）
支持フィルム１は、図１及び図２に示すように、ガラスフィルム３を支持するためのフィルムであり、粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わされている。支持フィルム１としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム１を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。 (Support film)
As shown in FIGS. 1 and 2, the support film 1 is a film for supporting the glass film 3, and is bonded to the glass film 3 through the adhesive layer 2. As the support film 1, a flexible resin film is used. Examples of the resin material constituting the support film 1 include polyethylene, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, polyvinylidene chloride, polypropylene, polyvinyl alcohol, polyester, polycarbonate, polystyrene, polyamide, polyacrylonitrile, ethylene vinyl acetate copolymer, and ethylene. -A vinyl alcohol copolymer, an ethylene-methacrylic acid copolymer, nylon, cellophane, a silicone resin, etc. can be mentioned. Among these, polyethylene terephthalate, polyethylene, polyvinylidene chloride and the like can be preferably exemplified.

支持フィルム１の引張弾性率は特に限定されず、上記した各種の樹脂材料で構成されたフィルムが持つ引張弾性率であればよい。そうした引張弾性率は、通常、２０００ＭＰａ〜５０００ＭＰａの範囲である。この範囲の引張弾性率の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を安定して支持することができる強度を有している。引張弾性率が２０００ＭＰａ未満では、強度が小さくなってガラスフィルム３を安定して支持することができないことがある。一方、引張弾性率が５０００ＭＰａを超えると、強度が大きすぎて得られたガラスフィルム積層体１０に柔軟性がなく、ロール巻きし難いことがある。 The tensile elastic modulus of the support film 1 is not particularly limited as long as it is a tensile elastic modulus possessed by a film made of the various resin materials described above. Such tensile modulus is usually in the range of 2000 MPa to 5000 MPa. The support film 1 having a tensile modulus in this range has a strength capable of stably supporting the glass film 3. If the tensile modulus is less than 2000 MPa, the strength may be reduced and the glass film 3 may not be stably supported. On the other hand, when the tensile elastic modulus exceeds 5000 MPa, the glass film laminate 10 obtained because the strength is too high may not be flexible and difficult to roll.

なお、支持フィルム１の引張弾性率は、ＪＩＳＫ６７３４：２０００に基づき、平行部幅１０ｍｍ、長さ４０ｍｍの支持フィルム１を引張試験ダンベルに成形し、ＪＩＳＫ７１６１：１９９４に準拠して引張試験を行って求めたものである。また、ＡＳＴＭＤ−８８２−９０に基づき、テンシロン引張り試験機に幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍとなるようにセットし、引張り速度２００ｍｍ／分、温度２５℃、湿度６５％ＲＨの条件で測定した結果で評価することもできる。なお、本願では、ＡＳＴＭＤ−８８２−９０によって測定した値で評価している。 The tensile elastic modulus of the support film 1 is based on JIS K6734: 2000. The support film 1 having a parallel part width of 10 mm and a length of 40 mm is formed into a tensile test dumbbell, and a tensile test is performed in accordance with JIS K7161: 1994. It is what I asked for. In addition, based on ASTM D-882-90, it was set in a Tensilon tensile tester so as to have a width of 10 mm and a length of 100 mm, and was measured under conditions of a tensile speed of 200 mm / min, a temperature of 25 ° C., and a humidity of 65% RH. It can also be evaluated. In addition, in this application, it evaluates by the value measured by ASTM D-882-90.

支持フィルム１は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよい。支持フィルム１の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。 The support film 1 may be a single layer film formed of the above-described resin material, or may be a multilayered film. Further, it may be a support film 1 made of a foamable resin material, or a support film 1 made of a resin material to which a stabilizer, a plasticizer, an impact modifier, a colorant, a reinforcing agent, and the like are added. There may be. The presence or absence of coloring of the support film 1 and translucency (transparent, translucent, opaque, etc.) are not particularly limited.

支持フィルム１の厚さは、１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際の不具合を低減できる。支持フィルム１の厚さが１μｍ未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム３を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム１の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム１とガラスフィルム３との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。 The thickness of the support film 1 is preferably 1 μm to 200 μm, and more preferably 10 μm to 50 μm. The support film 1 in this thickness range can support the glass film 3 and can reduce problems when the obtained glass film laminate 10 is rolled. When the thickness of the support film 1 is less than 1 μm, the effect of supporting the glass film 3 is not substantially achieved due to being too thin. On the other hand, when the thickness of the support film 1 exceeds 200 μm, when the obtained glass film laminate 10 is rolled, the residual stress in the support film becomes large, and between the support film 1 and the glass film 3. Peeling may occur or the glass film 3 may be broken.

支持フィルム１は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様の支持フィルムが好ましく用いられる。本発明では、支持フィルム１の幅Ａがガラスフィルム３の幅Ｂよりも大きいので、枚葉態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、その支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部がガラスフィルム３の端部よりも外方にはみ出し、耳部６（６ａ，６ｂ）を有するものとなる。一方、ロール巻きされた長尺態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、図４に示すように、その支持フィルム１の幅方向Ｘの両辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の両辺の端部３ａ，３ｂよりも外方にはみ出し、耳部６（６ａ，６ｂ）を有するものとなる。耳部６（６ａ，６ｂ）には、後述する粘着層２を介して帯状フィルム４が設けられる。 Although the support film 1 may be a single-wafer support film, a long support film that can be rolled is preferably used. In the present invention, since the width A of the support film 1 is larger than the width B of the glass film 3, when the single-wafer support film 1 and the glass film 3 are used, each side of the support film 1, for example, four sides In the case of the shape, the ends of the four sides protrude outward from the ends of the glass film 3 and have ears 6 (6a, 6b). On the other hand, when the roll-supported long support film 1 and glass film 3 are used, as shown in FIG. 4, the ends 1 a and 1 b on both sides in the width direction X of the support film 1 are made of glass. It protrudes outward from the end portions 3a and 3b on both sides of the film 3 and has ears 6 (6a and 6b). The band-like film 4 is provided on the ear portion 6 (6a, 6b) via an adhesive layer 2 described later.

支持フィルム１の幅Ａは、ガラスフィルム３の幅Ｂよりも５ｍｍ〜１００ｍｍ大きいことが好ましい。支持フィルム１の幅Ａが上記範囲であれは、ガラスフィルムの両側の耳部６に、後述する帯状フィルム４が設けられる。その結果、ガラスフィルム３の端部での割れを防ぎ且つ支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。 The width A of the support film 1 is preferably 5 mm to 100 mm larger than the width B of the glass film 3. When the width A of the support film 1 is within the above range, the band-like film 4 described later is provided on the ears 6 on both sides of the glass film. As a result, it is possible to prevent cracking at the end of the glass film 3 and to prevent the support film 1 from being wrinkled or curled.

支持フィルム１にガラスフィルム３を積層した後の耳部６の幅（支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとの距離）は、２．５ｍｍ〜５０ｍｍであることが好ましい。この範囲の幅で耳部６が設けられていることにより、その幅に対応した帯状フィルム４を安定して貼り合わせることができる。耳部６の幅が２．５ｍｍ未満では、ガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせてその幅の耳部６とすること自体が難しく、そのため、ガラスフィルム３が支持フィルム１からはみ出してしまうことがある。一方、耳部６の幅が５０ｍｍを超えると、幅が広すぎて、後述する引張弾性率の帯状フィルム４を設けても、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができないことがある。 The width of the ear portion 6 after the glass film 3 is laminated on the support film 1 (the distance between the end portions 1a and 1b of the support film 1 and the end portions 3a and 3b of the glass film 3) is 2.5 mm to 50 mm. It is preferable. By providing the ear | edge part 6 with the width | variety of this range, the strip | belt-shaped film 4 corresponding to the width | variety can be bonded together stably. If the width of the ear portion 6 is less than 2.5 mm, it is difficult to bond the glass film 3 and the support film 1 to make the ear portion 6 of that width itself, so that the glass film 3 protrudes from the support film 1. Sometimes. On the other hand, when the width of the ear portion 6 exceeds 50 mm, the width is too wide, and even if a belt-like film 4 having a tensile elastic modulus described later is provided, the support film 1 cannot be prevented from wrinkling or curling. There is.

こうした支持フィルム１は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。 Such a support film 1 can be formed into a film by a generally known production method, and can be produced by an extrusion method, a calendar method, a solution / emulsion cast method, or the like.

（粘着層）
粘着層２は、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させるために、支持フィルム１とガラスフィルム３との間に設けられている。粘着層２は、最終的にガラスフィルム３から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム３から剥離せずにガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。 (Adhesive layer)
The adhesive layer 2 is provided between the support film 1 and the glass film 3 in order to laminate the support film 1 and the glass film 3. The pressure-sensitive adhesive layer 2 is not limited to a layer that can be finally peeled off from the glass film 3, but also includes a layer that adheres to the glass film 3 permanently or semi-permanently without peeling from the glass film 3, that is, an adhesive layer.

粘着層２を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層２がガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。 The material constituting the adhesive layer 2 is a rubber adhesive obtained by mixing natural rubber or synthetic rubber with tackifiers, softeners, anti-aging agents, etc., and an acrylic ester and other functional monomers are copolymerized. Acrylic adhesives, silicone adhesives composed of silicone rubber and resin, polyether and polyurethane adhesives, and the like. Examples of the form include a solvent-type pressure-sensitive adhesive, a non-aqueous emulsion-type pressure-sensitive adhesive, a water-based emulsion-type pressure-sensitive adhesive, a water-soluble pressure-sensitive adhesive, a solventless pressure-sensitive adhesive, and a liquid curable pressure-sensitive adhesive. In addition, when the adhesion layer 2 is provided as an adhesive layer which adheres permanently or semipermanently to the glass film 3, various thermoplastic resin adhesives and thermosetting resin adhesives may be applied.

粘着層２は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層２には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層２であってもよい。粘着層２の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。 The pressure-sensitive adhesive layer 2 may have a single layer structure formed of the above-described materials, or may be a multilayered layer. Moreover, the adhesion layer 2 formed with the adhesive which added various additives as needed may be sufficient as the adhesion layer 2. The presence or absence of coloring of the adhesive layer 2 and translucency (transparent, translucent, opaque, etc.) are not particularly limited.

粘着層２の厚さは、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層２は、その粘着層２を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム１とガラスフィルム３とをその後のハンドリングやロール巻きの際の問題を低減できるように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層２の厚さが０．５μｍ未満の場合には、支持フィルム１とガラスフィルム３との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層２の厚さが１００μｍを超えると、粘着層２が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層２がガラスフィルム３からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。 The thickness of the adhesive layer 2 is preferably 0.5 μm to 100 μm, and more preferably 1 μm to 50 μm. The pressure-sensitive adhesive layer 2 in this thickness range can reduce problems during subsequent handling and roll winding of the support film 1 and the glass film 3, depending on the type of pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer 2. , It can be preferably bonded. When the thickness of the adhesion layer 2 is less than 0.5 μm, the bonding between the support film 1 and the glass film 3 may be insufficient. On the other hand, when the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 2 exceeds 100 μm, the pressure-sensitive adhesive layer 2 may be peeled off, or the pressure-sensitive adhesive layer 2 may protrude from the glass film 3 and come into contact with a roll during bonding.

粘着層２の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム１上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム１上に転写する方法（転写方式）を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム１に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム１に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性が場合等に好ましく用いられる。 For the formation of the pressure-sensitive adhesive layer 2, the above-mentioned material is dissolved in a solvent to obtain a pressure-sensitive adhesive layer coating solution, and the coating solution is directly applied onto the support film 1, or the coating solution is peelable. A method (transfer method) in which the sheet is once coated and then transferred onto the support film 1 can be used. The latter transfer method is preferably used when the support film 1 does not have solvent resistance, or when the support film 1 has heat resistance against heat during solvent drying.

塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。 As the coating method, for example, a die coating method, a comma coating method, a knife coating method, a gravure coating method, a roll coating method, or the like can be used.

粘着層２は、支持フィルム１の外寸を超えない大きさで設けられているか、又は、ガラスフィルム３の外寸を超えない大きさで設けられている。すなわち、粘着層２は、支持フィルム１の平面視形状と同じ形状で設けられているか、又は、ガラスフィルム３の平面視形状と同じ形状で設けられている。前者は、粘着層２が支持フィルム１を超えない大きさで支持フィルム１の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで全面に設けられており、そこにガラスフィルム３が貼り合わされている（図１参照）。後者は、粘着層２がガラスフィルム３を超えない大きさでガラスフィルム３の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで全面に設けられており、そこに支持フィルム１が貼り合わされている（図２参照）。 The pressure-sensitive adhesive layer 2 is provided with a size that does not exceed the outer dimension of the support film 1, or is provided with a size that does not exceed the outer dimension of the glass film 3. That is, the pressure-sensitive adhesive layer 2 is provided in the same shape as the planar view shape of the support film 1, or is provided in the same shape as the planar view shape of the glass film 3. In the former, the pressure-sensitive adhesive layer 2 is provided on one surface of the support film 1 so as not to exceed the support film 1, and is usually provided on the entire surface with the same size, and the glass film 3 is bonded thereto. (See FIG. 1). In the latter, the pressure-sensitive adhesive layer 2 is provided on one surface of the glass film 3 so as not to exceed the glass film 3, and is usually provided on the entire surface with the same size, and the support film 1 is bonded thereto. (See FIG. 2).

前者の場合、粘着層２は支持フィルム１の幅方向Ｘの両側の耳部６（６ａ，６ｂ）に設けられているので、その耳部６に粘着層を有さない帯状フィルム４（４ａ，４ｂ）を貼り合わせて図１に示すガラスフィルム積層体１０が製造される。後者の場合、粘着層２は支持フィルム１の幅方向Ｘの両側の耳部６（６ａ，６ｂ）に設けられていないので、その耳部６に粘着層２ａ，２ｂを有する帯状フィルム４（４ａ，４ｂ）を貼り合わせて図２に示すガラスフィルム積層体１０が製造される。 In the former case, since the adhesive layer 2 is provided on the ears 6 (6a, 6b) on both sides in the width direction X of the support film 1, the belt-like film 4 (4a, 6a) having no adhesive layer on the ears 6 is provided. 4b) is bonded to produce the glass film laminate 10 shown in FIG. In the latter case, since the adhesive layer 2 is not provided on the ears 6 (6a, 6b) on both sides in the width direction X of the support film 1, the belt-like film 4 (4a) having the adhesive layers 2a, 2b on the ears 6 is provided. , 4b) are bonded together to produce the glass film laminate 10 shown in FIG.

（ガラスフィルム）
ガラスフィルム３は、粘着層２を介して支持フィルム１に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム３を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム３にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム３も、得られるガラスフィルム積層体１０の用途に応じて可能である。 (Glass film)
The glass film 3 is thin glass laminated on the support film 1 with the adhesive layer 2 interposed therebetween. As the glass material constituting the glass film 3, those having almost any glass composition such as soda lime glass, silica glass, borosilicate glass, non-alkali borosilicate glass, etc. can be applied. When the glass film 3 contains an alkali component, cation substitution occurs on the surface, so-called soda blowing phenomenon may occur, and the structure may become rough. Note that the alkali-free borosilicate glass is glass that does not substantially contain an alkali component, and specifically, glass having an alkali component of 1000 ppm or less. Moreover, the glass film 3 which gave secondary processing, such as tempered glass and surface treatment glass, is also possible according to the use of the glass film laminated body 10 obtained.

ガラスフィルム３は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム３の厚さを制御することができる。 In principle, the glass film 3 can be produced by stretching the glass melt at a temperature above the temperature at which the glass melt solidifies. The thickness of the glass film 3 can be controlled by the glass composition, the thickness of the glass melt, the temperature, and the take-up speed.

ガラスフィルム３の厚さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、３０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム３は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム３の厚さが１０μｍ未満の場合には、そのガラスフィルム３自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム３の幅方向Ｘに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム３の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、ガラスフィルム３内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム３と支持フィルム１との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。 The thickness of the glass film 3 is preferably 10 μm to 200 μm, and more preferably 30 μm to 150 μm. The glass film 3 in this thickness range is effective for handling, roll winding and the like. When the thickness of the glass film 3 is less than 10 μm, the handling of the glass film 3 itself becomes extremely difficult, and the glass film 3 is easily damaged by a slight impact, and the disconnection runs in the width direction X of the long glass film 3 Sometimes. On the other hand, when the thickness of the glass film 3 exceeds 200 μm, the residual stress in the glass film 3 becomes large when the obtained glass film laminate 10 is rolled, and the gap between the glass film 3 and the support film 1 is increased. May cause peeling or breakage of the glass film 3.

ガラスフィルム３は、枚葉態様のガラスフィルム３であってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様のガラスフィルム３が好ましく用いられる。本発明では、支持フィルム１の幅Ａがガラスフィルム３の幅Ｂよりも大きいので、枚葉態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１〜図３に示すように、支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂからはみ出すように配置されることになる。一方、ロール巻きされた長尺態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１〜図４に示すように、支持フィルム１の幅方向Ｘの両辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の両辺の端部３ａ，３ｂよりもはみ出すように配置されることになる。 The glass film 3 may be a glass film 3 in a single wafer mode, but a long glass film 3 that can be rolled is preferably used. In the present invention, since the width A of the support film 1 is larger than the width B of the glass film 3, when using the glass film 3 and the support film 1 in a single wafer mode, as shown in FIGS. Each side of the support film 1, for example, in the case of a quadrilateral, four end portions 1 a and 1 b are disposed so as to protrude from the end portions 3 a and 3 b of the glass film 3. On the other hand, when the roll-shaped long glass film 3 and the support film 1 are used, as shown in FIGS. 1 to 4, the end portions 1 a and 1 b on both sides in the width direction X of the support film 1 are The glass film 3 is disposed so as to protrude beyond the end portions 3a and 3b on both sides.

なお、支持フィルム１の幅Ａ、ガラスフィルム３の幅Ｂ、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の各端部３ａ，３ｂとの距離ａ，ｂは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象である支持フィルム１、ガラスフィルム３及びガラスフィルム積層体１０を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。 The distances a and b between the width A of the support film 1, the width B of the glass film 3, and the end portions 1a and 1b in the width direction X of the support film 1 and the end portions 3a and 3b of the glass film 3 are various. It can be measured by this method. In this invention and each Example mentioned later, it measured by comparing the enlarged image at the time of planarly viewing the support film 1, the glass film 3, and the glass film laminated body 10 which are measurement objects, and the enlarged image of a reference | standard scale.

（帯状フィルム）
帯状フィルム４は、図１〜図４に示すように、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで、ガラスフィルム３の厚さＴ_１以下の厚さＴ_２のフィルムである。そして、耳部６に上記した粘着層２（図１参照）又は他の粘着層２ａ，２ｂ（図２参照）を介して設けられている。こうした帯状フィルム４は支持フィルム１の耳部６に設けられているが、その帯状フィルム４は剥離が予定されていないので、その耳部６に設けられている粘着層２は露出することがない。その結果、ガラスフィルム積層体１０は、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすことがない。 (Strip film)
As shown in FIGS. 1 to 4, the belt-like film 4 is a film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa and a thickness T ₂ that is equal to or less than the thickness T ₁ of the glass film 3. And it is provided in the ear | edge part 6 via the above-mentioned adhesion layer 2 (refer FIG. 1) or other adhesion layers 2a and 2b (refer FIG. 2). Such a belt-like film 4 is provided on the ear portion 6 of the support film 1, but since the strip-like film 4 is not scheduled to be peeled off, the adhesive layer 2 provided on the ear portion 6 is not exposed. . As a result, the glass film laminate 10 does not cause the problem of dust adhesion or the problem of sticking problems during handling.

引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの帯状フィルム４としては、例えば、低密度ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、シリコーン樹脂（ゴム）フィルム、ブタジエン樹脂（ゴム）フィルム、ウレタン樹脂（ゴム）フィルム、）等を挙げることができる。引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａのこれら帯状フィルム４は、耳部６に設けられている。その結果、帯状フィルム４を耳部６に設けない場合に比べ、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。引張弾性率が５ＭＰａ未満では、軟らかすぎ、耳部６に設けても支持フィルム１にしわやカールが発生したり、切断したりするためうまく貼れないことがある。一方、引張弾性率が８００ＭＰａを超えると、軟らかくなくなり、耳部に設けても支持フィルム１のしわやカールが発生してしまうことがある。 Examples of the belt-like film 4 having a tensile elastic modulus of 5 MPa to 800 MPa include a low density polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a silicone resin (rubber) film, a butadiene resin (rubber) film, a urethane resin (rubber) film, and the like). Can be mentioned. These band-like films 4 having a tensile elastic modulus of 5 MPa to 800 MPa are provided on the ear portion 6. As a result, it is possible to prevent the support film 1 from being wrinkled or curled as compared with the case where the belt-like film 4 is not provided on the ear portion 6. If the tensile elastic modulus is less than 5 MPa, it is too soft, and even if it is provided on the ear portion 6, the support film 1 may be wrinkled or curled, or may be cut off. On the other hand, if the tensile modulus exceeds 800 MPa, the support film 1 may be wrinkled or curled even if it is provided on the ear portion.

なお、引張弾性率はヤング率と同義であり、本願では、ＪＩＳＫ６７３４：２０００に基づき、平行部幅１０ｍｍ、長さ４０ｍｍの帯状フィルム３を引張試験ダンベルに成形し、ＪＩＳＫ７１６１：１９９４に準拠して引張試験を行って求めたものである。また、ＡＳＴＭＤ−８８２−９０に基づき、テンシロン引張り試験機に幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍとなるようにセットし、引張り速度２００ｍｍ／分、温度２５℃、湿度６５％ＲＨの条件で測定した結果で評価することもできる。なお、本願では、ＡＳＴＭＤ−８８２−９０によって測定した値で評価している。 The tensile elastic modulus is synonymous with Young's modulus. In this application, a strip film 3 having a parallel part width of 10 mm and a length of 40 mm is formed into a tensile test dumbbell based on JIS K6734: 2000, and conforms to JIS K7161: 1994. It was obtained by conducting a tensile test. In addition, based on ASTM D-882-90, it was set in a Tensilon tensile tester so as to have a width of 10 mm and a length of 100 mm, and was measured under conditions of a tensile speed of 200 mm / min, a temperature of 25 ° C., and a humidity of 65% RH. It can also be evaluated. In addition, in this application, it evaluates by the value measured by ASTM D-882-90.

上記範囲の引張弾性率の帯状フィルム４を耳部６に設けた場合に、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる理由は以下のとおりである。すなわち、帯状フィルム４と支持フィルム１のひずみ量に差があるためと考えられる。帯状フィルム４が支持フィルム１の引張弾性率を超える高い値である場合には、帯状フィルム４が支持フィルム１のひずみに追従しないため、カールやしわの要因となると考えられる。一方、帯状フィルム４の引張弾性率が上記範囲のように柔軟であれば、支持フィルム１のひずみに追従するため、しわやカールが発生するのを防ぐことができると考えられる。 The reason why wrinkles and curls can be prevented from occurring in the support film 1 when the belt-like film 4 having a tensile modulus in the above range is provided on the ear portion 6 is as follows. That is, it is considered that there is a difference in the strain amount between the belt-like film 4 and the support film 1. When the belt-like film 4 has a high value exceeding the tensile modulus of the support film 1, the belt-like film 4 does not follow the strain of the support film 1, which is considered to cause curling and wrinkling. On the other hand, if the elastic modulus of the belt-like film 4 is flexible as in the above range, it can be considered that wrinkles and curls can be prevented from occurring because it follows the strain of the support film 1.

帯状フィルム４は、全体として５ＭＰａ〜８００ＭＰａの引張弾性率であれば、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された帯状フィルム４であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された帯状フィルム４であってもよい。帯状フィルム４の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。 The belt-like film 4 may be a single-layer film formed of the above-described resin material or a multilayered film as long as it has a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa as a whole. Further, it may be a belt-like film 4 made of a foamable resin material, or a belt-like film 4 made of a resin material to which a stabilizer, a plasticizer, an impact modifier, a colorant, a reinforcing agent and the like are added. There may be. The presence or absence of coloring of the belt-like film 4 and translucency (transparent, translucent, opaque, etc.) are not particularly limited.

帯状フィルム４は耳部６のみに設けられており、しかもその厚さＴ_２は、ガラスフィルム３の厚Ｔ_１以下である。厚さＴ_２の上限はガラスフィルム３の厚さＴ_１と同じであり、厚さＴ_２の下限は１μｍである。したがって、帯状フィルム４はガラスフィルム３上に載っておらず、帯状フィルム４の端部は段差になっていない。その結果、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルム４の端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。なお、帯状フィルム４の厚さＴ_２が１μｍ未満では、その厚さＴ_２が薄すぎ、帯状フィルム４を上手く貼り合わせることができないことがあり、また、耳部６に設けてもしわやカールを防ぐ効果が生じないことがある。 The belt-like film 4 is provided only on the ear portion 6, and the thickness T ₂ is equal to or less than the thickness T ₁ of the glass film 3. The upper limit of the thickness T ₂ are the same as the thickness T ₁ of the glass film 3, the lower limit of the _second thickness T ₂ is 1 [mu] m. Therefore, the strip-shaped film 4 is not placed on the glass film 3, and the end of the strip-shaped film 4 is not stepped. As a result, even when the glass film laminate 10 is put into, for example, an exposure process or the like, problems such as the end of the belt-like film 4 coming into contact with the exposure mask or the accumulation of the developer does not occur. If the thickness T ₂ of the belt-like film 4 is less than 1 μm, the thickness T ₂ may be too thin and the belt-like film 4 may not be bonded well. May not be effective.

帯状フィルム４の幅Ｃは、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとの間の距離ａ，ｂ、すなわち耳部６の幅よりも小さい。帯状フィルム４の幅Ｃが耳部６の幅（距離ａ，ｂ）と同じ又はそれを超える場合は、耳部６に貼り合わせた後の帯状フィルム４が支持フィルム１の端部１ａ，１ｂからはみ出すので、ガラスフィルム積層体１０を搬送し、その後の工程での位置決めを行う場合に、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂでの位置検出結果に誤差が生じやすく、例えば膜のパターニングを行う際の露光パターンの形成時に不具合が生じることがある。 The width C of the belt-like film 4 is smaller than the distances a and b between the end portions 1 a and 1 b of the support film 1 and the end portions 3 a and 3 b of the glass film 3, that is, the width of the ear portion 6. When the width C of the belt-like film 4 is equal to or exceeds the width (distance a, b) of the ear portion 6, the belt-like film 4 after being bonded to the ear portion 6 is separated from the end portions 1a, 1b of the support film 1. Since it protrudes, when the glass film laminated body 10 is conveyed and positioning is performed in the subsequent process, an error is likely to occur in the position detection result at the end portions 1a and 1b of the support film 1, and for example, when patterning a film When the exposure pattern is formed, a problem may occur.

帯状フィルム４の原反は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。そして、その原反を、耳部６に対応した所定の幅に切断して帯状フィルム４とすることができる。 The raw film of the belt-like film 4 can be formed into a film by a generally known production method, and can be produced by an extrusion method, a calendar method, a solution / emulsion cast method, or the like. Then, the original fabric can be cut into a predetermined width corresponding to the ear portion 6 to form the belt-like film 4.

以上説明したように、本発明に係るガラスフィルム積層体１０によれば、粘着層２を露出しないので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすことがない。また、帯状フィルム４はガラスフィルム３上に載っておらず、帯状フィルム４の端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルム４の端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルム４が耳部６に設けられているので、耳部６に帯状フィルム４を単に貼り合わせただけでも、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。 As explained above, according to the glass film laminated body 10 which concerns on this invention, since the adhesion layer 2 is not exposed, the problem of adhesion of dust and the problem of the sticking malfunction at the time of handling are not caused. Moreover, since the strip | belt-shaped film 4 is not mounted on the glass film 3, and the edge part of the strip | belt-shaped film 4 is not a level | step difference, even if it is a case where the glass film laminated body 10 is thrown into an exposure process etc., it is strip | belt-shaped. There is no problem that the end of the film 4 comes into contact with the exposure mask or the developer accumulates. In addition, since the flexible belt-like film 4 having a tensile elastic modulus of 5 MPa to 800 MPa is provided on the ear portion 6, wrinkles and curls are generated on the support film 1 even if the belt-like film 4 is simply bonded to the ear portion 6. Can be prevented.

（その他の構成）
ガラスフィルム３上には、図５に示すように、膜５を設けてもよい。膜５は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜５が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。 (Other configurations)
A film 5 may be provided on the glass film 3 as shown in FIG. Although the film | membrane 5 is not specifically limited, For example, the film of any 1 type or 2 or more types chosen from a transparent electrode film, a metal film, a semiconductor film, a resist film, an organic compound film, an inorganic compound film etc. can be mentioned. In particular, it is preferable that such a film 5 is patterned according to its use.

パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。 As the patterning method, various conventionally known methods can be applied and are not particularly limited. For example, patterning may be performed by applying photolithography using a resist, or patterning may be performed by dry etching or wet etching.

ガラスフィルム３上にパターニングされた膜５を設けてなるガラスフィルム積層体１０の例としては、例えば、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ＥＬディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、パターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム３上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜５であってもよい。 As an example of the glass film laminated body 10 which provides the film | membrane 5 patterned on the glass film 3, the element substrate for organic EL displays, the element substrate for liquid crystal displays, the element substrate for color filters, the element substrate for solar cells, for example Etc. In the element substrate for organic EL display, a transparent electrode film such as patterned ITO can be provided on the glass film 3 of the glass film laminate 10. In the element substrate for a liquid crystal display, a similar transparent electrode film such as ITO or a patterned alignment film can be provided. In the color filter element substrate, the same transparent electrode film such as ITO, colored layer partition walls, colored layers, and the like can be provided. Moreover, in the element substrate for solar cells, the same transparent electrode film etc., such as patterned ITO, can be provided. Further, in order to form various functional film patterns on each of these element substrates, a film 5 formed by forming a resist film on the glass film 3 and patterning the resist film by, for example, photolithography may be used. .

本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、上記のように、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができるという効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体１０にパターニングされた膜４が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体１０を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造した場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つしわやカールの発生を防止した状態で製造工程に供給できるという効果を奏する。 As described above, the glass film laminate 10 according to the present invention can reduce the problem of dust adhesion and the problem of sticking problems during handling, and further prevents the support film 1 from being wrinkled or curled. There is an effect that can be done. Therefore, by providing the patterned film 4 on the glass film laminate 10 that exhibits such effects, the glass film laminate 10 can be used, for example, as an element substrate for an organic EL display, an element substrate for a liquid crystal display, or an element substrate for a color filter. When manufacturing organic EL displays, liquid crystal displays, color filters, solar cells, etc., as element substrates for solar cells, defects such as defects in elements and pixels can be reduced, and wrinkles and curling There exists an effect that it can supply to a manufacturing process in the state which prevented generating.

［ガラスフィルム積層体の製造方法］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０の製造方法は、ガラスフィルム３を準備する工程と、粘着層２が設けられ、幅Ａがガラスフィルム３よりも大きい支持フィルム１を準備する工程と、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで厚さＴ_２がガラスフィルム３の厚さＴ_１以下のフィルムであって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させたときに、ガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂから支持フィルム１がはみ出した耳部６（６ａ，６ｂ）に貼り合わせるための帯状フィルム４を準備する工程と、粘着層２を介してガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせる工程と、前記粘着層（２）又は他の粘着層（２ａ，２ｂ）を介して帯状フィルム４を耳部６に貼り合わせる工程と、を有する。この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０を製造するための一態様である。なお、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。 [Method for producing glass film laminate]
The manufacturing method of the glass film laminated body 10 which concerns on this invention is the process of preparing the glass film 3, the process of preparing the support film 1 in which the adhesion layer 2 is provided and the width | variety A is larger than the glass film 3, and tensile elasticity. When the rate T is 5 MPa to 800 MPa and the thickness T ₂ is equal to or less than the thickness T ₁ of the glass film 3, when the support film 1 and the glass film 3 are laminated, both side edges 3 a, A step of preparing a belt-like film 4 for bonding to the ear portion 6 (6a, 6b) from which the support film 1 protrudes from 3b, a step of bonding the glass film 3 and the support film 1 through the adhesive layer 2, and And bonding the belt-like film 4 to the ear portion 6 via the adhesive layer (2) or other adhesive layers (2a, 2b). This manufacturing method is an embodiment for manufacturing the glass film laminate 10 according to the present invention described above. In addition, the glass film laminated body 10 based on this invention mentioned above may be manufactured by another method.

図６は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体１０の製造装置２０の一例を示す模式図である。図６に示すように、先ず、ロール巻き状の支持フィルムロール３１は支持フィルム供給部２１に装着され、ロール巻き状の帯状フィルム３２は帯状フィルム供給部２２に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール３３はガラスフィルム供給部２３に装着されている。 FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of a manufacturing apparatus 20 for the glass film laminate 10 that can carry out this manufacturing method. As shown in FIG. 6, first, the roll-shaped support film roll 31 is mounted on the support film supply unit 21, and the roll-shaped band film 32 is mounted on the band-shaped film supply unit 22, and the roll-shaped glass film is mounted. The roll 33 is attached to the glass film supply unit 23.

支持フィルムロール３１は、粘着層２が片面に設けられた支持フィルム１がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール３１から繰り出された支持フィルム１と、ガラスフィルムロール３３から繰り出されたガラスフィルム３とが貼り合わせ部２４で貼り合わされる。なお、支持フィルム１とガラスフィルム３とは、必要に応じて配置されたガイドローラ４１で貼り合わせ部２４まで案内される。貼り合わせ部２４では、ニップローラ４３によって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを粘着層２を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体は、搬送路２６を通って帯状フィルム４の貼り合わせ部２５に送られる。 The support film roll 31 is a roll of the support film 1 provided with the adhesive layer 2 provided on one side via a cover sheet, and the support film 1 fed from the support film roll 31 while peeling the cover sheet; The glass film 3 fed out from the glass film roll 33 is bonded at the bonding portion 24. In addition, the support film 1 and the glass film 3 are guided to the bonding part 24 with the guide roller 41 arrange | positioned as needed. In the bonding part 24, the support film 1 and the glass film 3 are bonded together with the nip roller 43 through the adhesive layer 2. The glass film laminate after being bonded is sent to the bonding portion 25 of the belt-like film 4 through the conveyance path 26.

帯状フィルムロール３２は、粘着層が設けられておらず、そのままロール巻きされている。この帯状フィルムロール３２は、所定幅の帯状フィルム４が供給されたガラスフィルム積層体の幅方向Ｘの両側の耳部６に対応するように、それぞれ１つずつ（計２つ）配置されている。帯状フィルムロール３２から繰り出された帯状フィルム４は、ガラスフィルム積層体の両側の耳部６，６に貼り合わされる。なお、帯状フィルム４は、必要に応じて配置されたガイドローラ４２で貼り合わせ部２５まで案内される。貼り合わせ部２５では、ニップローラ４４によって、帯状フィルム４を耳部６の粘着層２を介して帯状フィルム４と支持フィルム１とを貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体１０は、搬送路２６を通って巻取部２７に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール３４となる。 The belt-shaped film roll 32 is not provided with an adhesive layer and is wound as it is. The strip film rolls 32 are arranged one by one (two in total) so as to correspond to the ear portions 6 on both sides in the width direction X of the glass film laminate to which the strip film 4 having a predetermined width is supplied. . The belt-shaped film 4 fed out from the belt-shaped film roll 32 is bonded to the ear portions 6 and 6 on both sides of the glass film laminate. In addition, the strip | belt-shaped film 4 is guided to the bonding part 25 with the guide roller 42 arrange | positioned as needed. In the bonding unit 25, the band-shaped film 4 and the support film 1 are bonded to each other by the nip roller 44 through the adhesive layer 2 of the ear portion 6. The glass film laminated body 10 after bonding is sent to the winding part 27 through the conveyance path 26 to become a roll-shaped glass film laminated roll 34.

なお、上記の場合は、支持フィルム１に粘着層２が設けられている場合の例であるが、支持フィルム１の耳部６に粘着層２が設けられていない場合には、帯状フィルム４に粘着層２ａ，２ｂが設けられている。この形態は、ガラスフィルム３に粘着層２が設けられ、そのガラスフィルム３が支持フィルム１に貼り合わされている場合に好ましく適用される。 In addition, although the above case is an example when the adhesive layer 2 is provided in the support film 1, when the adhesive layer 2 is not provided in the ear | edge part 6 of the support film 1, it is in the strip | belt-shaped film 4. Adhesive layers 2a and 2b are provided. This form is preferably applied when the adhesive layer 2 is provided on the glass film 3 and the glass film 3 is bonded to the support film 1.

この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体１０は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０と同様の作用効果を奏するものとなる。すなわち、製造されたガラスフィルム積層体１０は粘着層２を露出しないので、巻取部２７でロール巻きされた場合でも、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすことがない。また、帯状フィルム４はガラスフィルム３上に載っておらず、帯状フィルム４の端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルム４の端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルム４が耳部６に設けられているので、耳部６に帯状フィルム４を単に貼り合わせただけであっても、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。 The glass film laminate 10 produced by this production method has the same effects as the glass film laminate 10 according to the present invention described above. That is, since the produced glass film laminate 10 does not expose the adhesive layer 2, even when it is rolled by the winding unit 27, it does not cause a problem of dust adhesion or a problem of sticking during handling. Moreover, since the strip | belt-shaped film 4 is not mounted on the glass film 3, and the edge part of the strip | belt-shaped film 4 is not a level | step difference, even if it is a case where the glass film laminated body 10 is thrown into an exposure process etc., it is strip | belt-shaped. There is no problem that the end of the film 4 comes into contact with the exposure mask or the developer accumulates. Further, since the flexible belt-like film 4 having a tensile elastic modulus of 5 MPa to 800 MPa is provided on the ear portion 6, even if the belt-like film 4 is simply bonded to the ear portion 6, the support film 1 is wrinkled. Curling can be prevented from occurring.

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例で得られた内容のみには限定されない。以下の実施例と比較例では、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体１０上に設けた膜４をパターニングした場合に、その一連の工程で、搬送不具合、支持フィルムのしわやカールについて評価した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The present invention is not limited to the contents obtained in the following examples. In the following examples and comparative examples, when the glass film laminate 10 is manufactured, and the film 4 provided on the glass film laminate 10 is subjected to a photolithography process and patterned, the conveyance failure occurs in the series of steps. The wrinkles and curls of the support film were evaluated.

［実施例１］
支持フィルム１として、厚さ５９μｍ、幅３３０ｍｍ、長さ１０ｍの粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７、引張弾性率：４０００ＭＰａ）が３インチのコアに巻かれた支持フィルムロール３１を準備した。この支持フィルム１に設けられた粘着層２上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。帯状フィルム４として、厚さ５０μｍ、幅１０ｍｍ、長さ１０ｍのポリエチレンフィルム（出光ユニテック株式会社製、ユニラックスＲＳ−５７０Ｃ、引張弾性率：８００ＭＰａ）が３インチのコアに巻かれた帯状フィルムロール３２を２本準備した。ガラスフィルム３として、厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの薄板ガラス（日本電気硝子株式会社製、ＯＡ−１０Ｇ）が６インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール３３を準備した。 [Example 1]
As the support film 1, a support film roll 31 in which a PET film with an adhesive layer having a thickness of 59 μm, a width of 330 mm, and a length of 10 m (manufactured by Nitto Denko Corporation, RP207, tensile elastic modulus: 4000 MPa) is wound around a 3-inch core. Got ready. On the pressure-sensitive adhesive layer 2 provided on the support film 1, a cover sheet is detachably attached. As the belt-like film 4, a belt-like film roll 32 in which a polyethylene film (Idemitsu Unitech Co., Ltd., Unilux RS-570C, tensile elastic modulus: 800 MPa) having a thickness of 50 μm, a width of 10 mm, and a length of 10 m is wound around a 3-inch core. Two were prepared. As the glass film 3, a glass film roll 33 was prepared in which a thin glass plate (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., OA-10G) having a thickness of 70 μm, a width of 300 mm, and a length of 10 m was wound around a 6-inch core.

続いて、図６に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部２１に支持フィルムロール３１を設置し、帯状フィルム供給部２２に２本の帯状フィルムロール３２を設置し、ガラスフィルム供給部２３にガラスフィルムロール３３を設置した。続いて、ガラスフィルムロール３３から繰り出したガラスフィルム３と、支持フィルムロール２３から繰り出した支持フィルム１とを、各々のフィルムの中心合わせを行って貼り合わせ部２４のニップローラ４３でラミネートした。その後、搬送路２６を搬送させて、ラミネートした後の積層体の幅方向Ｘの端部に存在する耳部６ａ，６ｂに、２本の帯状フィルムロール３２からそれぞれ繰り出された帯状フィルム４をそれぞれ位置合わせし、貼り合わせ部２５のニップローラ４４でラミネートした。その後、搬送路２６を搬送させて、巻取部２７で直径が６インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール３４を得た。 Subsequently, using the laminating apparatus shown in FIG. 6, the support film roll 31 is installed in the support film supply unit 21, the two strip film rolls 32 are installed in the strip film supply unit 22, and the glass film supply unit 23 is installed. A glass film roll 33 was installed. Subsequently, the glass film 3 fed out from the glass film roll 33 and the support film 1 fed out from the support film roll 23 were centered on each film and laminated by the nip roller 43 of the bonding portion 24. Thereafter, the belt-like film 4 fed out from the two belt-like film rolls 32 is respectively transferred to the ear portions 6a and 6b existing at the end portions in the width direction X of the laminated body after being conveyed and conveyed. Positioning was performed and lamination was performed by the nip roller 44 of the bonding unit 25. Then, the conveyance path 26 was conveyed, and the winding part 27 wound up to a 6-inch diameter core, and the glass film laminated body roll 34 was obtained.

次に、ガラスフィルム積層体ロール３４を塗工装置（図示しない）の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体１０を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。そして、ガラスフィルム積層体１０を露光ステージに搬送し、５回の露光動作を実施した後、現像装置を用いて現像を行い、５箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体を得た。 Next, the glass film laminated body roll 34 was set in the unwinding part of the coating apparatus (not shown), and the glass film laminated body 10 was drawn out. Then, the photoresist was apply | coated by the micro gravure printing on the glass film 3 of the rolled-out glass film laminated body 10, and it wound up after that. Then, the glass film laminated body roll after forming a photoresist was set to the unwinding part of the exposure apparatus, and the glass film laminated body roll was let out. And after conveying the glass film laminated body 10 to the exposure stage and implementing exposure operation 5 times, it developed using the developing device and obtained the glass film laminated body with a pattern in which the pattern was formed in five places. .

［実施例２］
実施例１において、帯状フィルム４をポリエチレンフィルム（旭化成株式会社製、サランラップ、ポリ塩化ビニリデン製ラップ、引張弾性率：４００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Example 2]
In Example 1, a patterned glass film laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the belt-like film 4 was a polyethylene film (produced by Asahi Kasei Co., Ltd., saran wrap, polyvinylidene chloride wrap, tensile elastic modulus: 400 MPa). Obtained.

［実施例３］
実施例１において、帯状フィルム４をポリエチレフィルム（旭化成株式会社製、サランラップ−ポリエチレン製ラッップ、引張弾性率：２００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Example 3]
In Example 1, a patterned glass film laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that the belt-like film 4 was a polyethylene film (Asahi Kasei Co., Ltd., Saran wrap-polyethylene wrap, tensile elastic modulus: 200 MPa). .

［比較例１］
実施例１において、帯状フィルム４をＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製Ｅ５１０１、引張弾性率：４０００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Comparative Example 1]
A patterned glass film laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that the belt-like film 4 was changed to a PET film (E5101, manufactured by Toyobo Co., Ltd., tensile elastic modulus: 4000 MPa).

［比較例２］
実施例１において、帯状フィルム４をポリスチレンフィルム（電気化学工業株式会社製、クリアレンＣ、引張弾性率：１５００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Comparative Example 2]
In Example 1, a patterned glass film laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that the belt-like film 4 was a polystyrene film (manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., Clearen C, tensile elastic modulus: 1500 MPa).

［比較例３］
実施例１において、帯状フィルム４をポリエチレンフィルム（プライムポリマー株式会社製、ハイゼックス、引張弾性率：１０００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Comparative Example 3]
In Example 1, a patterned glass film laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that the belt-like film 4 was a polyethylene film (manufactured by Prime Polymer Co., Ltd., Hi-Zex, tensile elastic modulus: 1000 MPa).

［測定と結果］
実施例１〜３及び比較例１〜３により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、搬送不具合と支持フィルム１の耳部６でのしわやカールの発生の有無とを評価し、その結果を表１に示した。搬送不具合は、作製したガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に、５段階の相対評価で評価したものである。「１」は何も問題がなく特に良好なものであり、「２」はカールが僅かに見られたものの良好なものであり、「３」はカールが見られる上にしわも一部見られあまり良いものではなく、「４」は端部全体にわたってしわが見られて使用できないものであり、「５」は端部全体にわたってしわが見られる上、大きなカールが見られて使用できないものである。「２」以下の数字（１，２）であればガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程に供する上で大きな歩留まりの低下が生じないと判断できるレベルとした。 [Measurements and results]
About the glass film laminated body with a pattern obtained by Examples 1-3 and Comparative Examples 1-3, the conveyance defect and the presence or absence of the generation | occurrence | production of the wrinkle and curl in the ear | edge part 6 of the support film 1 were evaluated, and the result was shown. It is shown in Table 1. The conveyance failure is evaluated by a five-step relative evaluation after a photolithography process using the produced glass film laminate 10. “1” is particularly good with no problems, “2” is good with slight curling, and “3” has curling and some wrinkles. “4” means that wrinkles are observed over the entire end portion, and “5” indicates that wrinkles are observed over the entire end portion, and large curls are observed, which cannot be used. . In the case of the numbers (1, 2) below “2”, the glass film laminate 10 was used as a level at which it can be judged that there is no significant decrease in yield when it is used in the photolithography process.

また、しわやカールの評価についても５段階の相対評価で評価した。「１」は何も問題がなく特に良好なものであり、「２」はしわやカールが僅かに見られたものの良好なものであり、「３」はしわやカールが一部見られあまり良いものではなく、「４」はしわやカールが見られて使用できないものであり、「５」はしわやカールが多く見られて使用できないものである。「２」以下の数字（１，２）であればガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程に供する上で大きな歩留まりの低下が生じないと判断できるレベルとした。なお、しわは、耳部６にロールの進行方向に沿って波をうっているような形態で現れ、カールは、ロールの幅方向に弧を描くような形態で現れる。 In addition, the evaluation of wrinkles and curls was also made with a 5-level relative evaluation. “1” is particularly good with no problems, “2” is good with slight wrinkles and curls, and “3” is very good with some wrinkles and curls. “4” cannot be used because wrinkles and curls are seen, and “5” cannot be used because many wrinkles and curls are seen. In the case of the numbers (1, 2) below “2”, the glass film laminate 10 was used as a level at which it can be judged that there is no significant decrease in yield when it is used in the photolithography process. In addition, wrinkles appear in a form that swells along the traveling direction of the roll in the ear portion 6, and curls appear in a form that draws an arc in the width direction of the roll.

表１の評価結果より、帯状フィルム４の引張弾性率が８００ＭＰａ以下、より好ましくは４００ＭＰａ以下であれば、支持フィルム１の耳部６にカールやしわが発生せず、搬送不具合も生じないガラスフィルム積層体１０が得られることを確認した。なお、この実施例では、引張弾性率４０００ＭＰａのＰＥＴフィルムを用いているが、本発明者は、上記した引張弾性率の範囲（２０００ＭＰａ〜５０００ＭＰａ）の各種の支持フィルム１を用いても、同様の結果になることも確認した。 From the evaluation results of Table 1, if the tensile elastic modulus of the belt-like film 4 is 800 MPa or less, more preferably 400 MPa or less, the ear film 6 of the support film 1 does not generate curls or wrinkles, and does not cause a conveyance failure. It confirmed that the laminated body 10 was obtained. In this example, a PET film having a tensile elastic modulus of 4000 MPa is used. However, the present inventor uses the same various support films 1 in the above-described tensile elastic modulus range (2000 MPa to 5000 MPa). It was also confirmed that the result.

１支持フィルム
１ａ，１ｂ支持フィルムの端部
２粘着層
２ａ，２ｂ帯状フィルムに設けられている粘着層
３ガラスフィルム
３ａ，３ｂガラスフィルムの端部
４，４ａ，４ｂ帯状フィルム
５膜
６，６ａ，６ｂ耳部
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃガラスフィルム積層体
２０ガラスフィルム積層体の製造装置
２１支持フィルム供給部
２２帯状フィルム供給部
２３ガラスフィルム供給部
２４支持フィルムの貼り合わせ部
２５帯状フィルムの貼り合わせ部
２６搬送路
２７巻取部
３１支持フィルムロール
３２帯状フィルムロール
３３ガラスフィルムロール
３４ガラスフィルム積層体ロール
４１，４２ガイドローラ
４３，４４ニップローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support film 1a, 1b End part of support film 2 Adhesive layer 2a, 2b Adhesive layer provided in the strip film 3 Glass film 3a, 3b End part of the glass film 4, 4a, 4b Strip film 5 Film 6, 6a, 6b Ear part 10, 10A, 10B, 10C Glass film laminated body 20 Glass film laminated body manufacturing apparatus 21 Support film supply part 22 Band-shaped film supply part 23 Glass film supply part 24 Bonding part of support film 25 Bonding of band-shaped film Unit 26 Conveying path 27 Winding unit 31 Support film roll 32 Band-shaped film roll 33 Glass film roll 34 Glass film laminate roll 41, 42 Guide roller 43, 44 Nip roller

Ａ支持フィルムの幅
Ｂガラスフィルムの幅
Ｃ帯状フィルムの幅
ａ支持フィルムの一方の端部からガラスフィルムの端部までの距離
ｂ支持フィルムの他方の端部からガラスフィルムの端部までの距離
Ｔ_１ガラスフィルムの厚さ
Ｔ_２帯状フィルムの厚さ A Width of support film B Width of glass film C Width of strip film a Distance from one end of support film to end of glass film b Distance from other end of support film to end of glass film T ₁ Glass film thickness T ₂ Band-shaped film thickness

Claims

A glass film, an adhesive layer, and a film having a width larger than that of the glass film, provided on the glass film via the adhesive layer so as to have ears protruding from both side ends of the glass film. A support film, and a belt-like film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa and a thickness of the glass film or less and provided on the ear portion via the adhesive layer or another adhesive layer. A glass film laminate, comprising:

The glass film laminate according to claim 1, wherein a width of the support film is 5 mm to 100 mm larger than a width of the glass film.

The glass film laminate according to claim 1, wherein at least a patterned film is provided on the glass film.

Preparing a glass film;
A step of providing an adhesive layer and preparing a support film having a width larger than that of the glass film;
A film having a tensile modulus of 5 MPa to 800 MPa and a thickness of the glass film or less, and when the support film and the glass film were laminated, the support film protruded from both end portions of the glass film. A step of preparing a belt-like film for bonding to the ear part;
Bonding the glass film and the support film through the adhesive layer;
And a step of bonding the band-like film to the ear portion through the adhesive layer or another adhesive layer.