JP2013016233A - Magnetic head suspension - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To cause a resonance frequency of bending primary and secondary modes to rise without any mass increase.SOLUTION: A load beam part has a left pair of swelling regions at a boundary part of left and right pairs between a body part and a pair of flange parts. Each of the pair of swelling regions is located at a region sandwiched between an inner point located inward in a suspension width direction from a boundary line between the body part and the flange parts by a predetermined distance and an intermediate point between a base end part and a tip part of the flange parts, and molded by being pressed out to a side opposite to a disk surface with respect to the other part of the body part and the flange parts.

Description

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び/又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。   The present invention relates to a magnetic head suspension that supports a magnetic head slider that reads and / or writes data to a storage medium such as a hard disk.

磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。   The magnetic head suspension that supports the magnetic head slider is required to position the magnetic head slider at the center of the target track at high speed and with high accuracy.

即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されることで、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させる為の部材である。   That is, the magnetic head suspension is configured such that the base end side is swung directly or indirectly around the swing center by an actuator such as a voice coil motor so that the magnetic head slider supported on the front end side is parallel to the disk surface. It is a member for moving toward the target track along the seek direction.

前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に位置させる為には前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高める必要がある。
従って、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速且つ正確に位置させる為には、前記磁気ヘッドサスペンションを前記揺動中心回りに揺動させる際に前記磁気ヘッドサスペンションに共振が生じることを可及的に防止することが望まれる。
In order to position the magnetic head slider on the target track at a high speed, it is necessary to increase the frequency of the drive signal of the actuator.
Therefore, in order to position the magnetic head slider on the target track at high speed and accurately, it is possible to cause resonance in the magnetic head suspension when the magnetic head suspension is swung around the swing center. It is desirable to prevent it.

前記磁気ヘッドスライダには種々の振動モードが生じる。このうち曲げ一次モード及び曲げ二次モードは共振周波数が低周波数帯域に存在する。
従って、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めても前記磁気ヘッドサスペンションに曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振が生じることを可及的に防止し得るように、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を高めることが必要となる。
Various vibration modes occur in the magnetic head slider. Among these, the bending primary mode and the bending secondary mode have resonance frequencies in the low frequency band.
Therefore, the primary bending mode and the secondary bending mode can be prevented so that resonance of the primary bending mode and the secondary bending mode occurs in the magnetic head suspension as much as possible even when the frequency of the drive signal of the actuator is increased. It is necessary to increase the resonance frequency.

なお、前記曲げ一次モードとは、荷重曲げ部の基端部(支持部に連結される部位)及びディンプルを支点とした状態でロードビーム部のサスペンション長手方向中央部分がディスク面と直交するz方向に振動するモードである。
前記曲げ二次モードとは、支持部のうちz方向に関し強固に固定される部位(支持部がベースプレートの場合には、アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定されるボス部であり、以下、支持部固定位置という)の先端側位置とロードビーム部におけるサスペンション長手方向中央部及び基端部の間の基端側中間位置とディンプルとの3点を支点とした状態で、前記支持部固定位置及び前記基端側中間位置の間の領域(以下、基端側領域という)がz方向に振動し且つ前記基端側中間位置及び前記ディンプルの間の領域が前記基端側領域とは逆相状態でz方向に振動するモードである。
The primary bending mode is the z direction in which the central portion of the load beam portion in the suspension longitudinal direction is orthogonal to the disk surface with the base end portion of the load bending portion (the portion connected to the support portion) and the dimples as fulcrums. It is a mode that vibrates.
The bending secondary mode is a portion of the support portion that is firmly fixed in the z direction (if the support portion is a base plate, it is a boss portion that is fixed to the carriage arm connected to the actuator via caulking. (Hereinafter, referred to as a support portion fixing position) and the support beam in a state where three points of a fulcrum are a base end side intermediate position between a suspension beam longitudinal center portion and a base end portion of the load beam portion and a dimple. A region between the portion fixing position and the base end side intermediate position (hereinafter referred to as a base end side region) vibrates in the z direction, and a region between the base end side intermediate position and the dimple is defined as the base end side region. Is a mode that vibrates in the z direction in a reverse phase state.

前記曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を高めることは、前記ロードビーム部のz方向に関する剛性を高めることによって達成される。
この点に関し、例えば、下記特許文献1には、ディスク面に平行に延びる本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両側に設けられた左右一対のフランジ部を備えたロードビーム部であって、前記本体部のサスペンション幅方向略中央に補助フランジ部を設けたロードビーム部が開示されている。
Increasing the resonance frequency of the bending primary mode and the bending secondary mode is achieved by increasing the rigidity of the load beam portion in the z direction.
In this regard, for example, the following Patent Document 1 includes a load beam portion including a main body portion extending in parallel with a disk surface and a pair of left and right flange portions provided on both sides of the main body portion in the suspension width direction. A load beam portion is disclosed in which an auxiliary flange portion is provided at substantially the center in the suspension width direction of the main body portion.

前記特許文献1に記載のロードビーム部は、前記一対のフランジ部に加えて前記補助フランジ部を有することによって、質量増加を招くことなくz方向に関する剛性を高めることができる点において有用であるが、前記補助フランジ部が前記本体部のサスペンション幅方向中央に設けられている為、前記本体部へのフレクシャ部の固着が困難になる(即ち、前記本体部への固着を可能とする為には前記フレクシャ部を複雑な構造とする必要がある)という問題があった。
又、必要及び/又は所望に応じて、前記本体部にダンパー部材を固着させる場合があるが、このダンパー部材の前記本体部への固着も困難になる。
Although the load beam portion described in Patent Document 1 has the auxiliary flange portion in addition to the pair of flange portions, it is useful in that the rigidity in the z direction can be increased without causing an increase in mass. Since the auxiliary flange portion is provided at the center of the main body portion in the suspension width direction, it is difficult to fix the flexure portion to the main body portion (that is, to enable fixing to the main body portion). There is a problem that the flexure portion needs to have a complicated structure.
In addition, a damper member may be fixed to the main body portion as necessary and / or desired, but it is difficult to fix the damper member to the main body portion.

特開昭62−279570号公報Japanese Patent Laid-Open No. 62-279570

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、質量増加を招くこと無く曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。   The present invention has been made in view of the prior art, and an object of the present invention is to provide a magnetic head suspension capable of increasing the resonance frequency of the bending primary mode and the bending secondary mode without causing an increase in mass.

本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と、前記本体部のサスペンション幅方向両外端部から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた左右一対のフランジ部とを備え、前記本体部と前記一対のフランジ部との間の左右一対の境界部分には左右一対の膨出領域が形成されており、前記一対の膨出領域の各々は、前記本体部及び対応する前記フランジ部の間の境界線から所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点と対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とによって挟まれる領域に位置され、前記本体部及び対応する前記フランジ部の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides a support portion that is swung directly or indirectly by a actuator in a seek direction parallel to the disk surface around a rocking center, and a magnetic head slider is directed toward the disk surface. A load bending portion that generates a pressing load to be pressed; a load beam portion that is supported by the support portion via the load bending portion and that transmits the pressing load to the magnetic head slider; and the load beam portion and the support portion A magnetic head suspension including a flexure portion that is supported and has a head mounting region that supports the magnetic head slider on a front end side, wherein the load beam portion is a flat plate-like main body portion facing the disk surface; A pair of left and right flank bent from both outer ends in the suspension width direction of the main body to the opposite side of the disk surface A pair of left and right bulging regions are formed at a pair of left and right boundary portions between the main body portion and the pair of flange portions, and each of the pair of bulging regions includes the main body portion. And a region sandwiched between an inward point located inward in the suspension width direction by a predetermined distance from a boundary line between the corresponding flange portions and a corresponding intermediate point between the proximal end portion and the distal end portion of the flange portion. A magnetic head suspension is provided that is positioned and extruded to the opposite side of the disk surface with respect to the remaining area of the main body portion and the corresponding flange portion.

一形態においては、前記左右の境界部分の各々は、前記膨出領域と、前記膨出領域を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置し、前記フランジ部が前記本体部に対して前記境界線回りに曲げられている先端側非膨出領域及び基端側非膨出領域とを含み得る。
この場合には、前記膨出領域は、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接すべく前記ディスク面に近接する方向へ突出するように前記本体部に形成されたディンプルと前記荷重曲げ部の基端部との間のサスペンション長手方向中央を跨ぐように配置される。
In one embodiment, each of the left and right boundary portions is positioned on the bulging area and on the distal end side and the proximal end side in the suspension longitudinal direction with the bulging area interposed therebetween, and the flange portion is located with respect to the main body portion. A distal-side non-bulged region and a proximal-side non-bulged region that are bent around the boundary line.
In this case, the bulging area protrudes in a direction close to the disk surface so as to come into contact with the back surface opposite to the support surface supporting the magnetic head slider in the head mounting area. It is arranged so as to straddle the center in the longitudinal direction of the suspension between the dimple formed in the portion and the base end portion of the load bending portion.

前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域との間にはそれぞれスリットが設けられる。   A slit is provided between the bulging region and the distal-side non-bulging region and the proximal-side non-bulging region.

前記スリットが設けられた構成においては、前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点から前記ディスク面とは反対側へ延びる縦延在部と、対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点からサスペンション幅方向内方側へ延びて前記縦延在部の先端に連結される横延在部とを含み得る。   In the configuration in which the slit is provided, the bulging region extends vertically from an inner point located inward by a predetermined distance from the suspension width direction outer end portion of the main body portion to the opposite side to the disk surface. An extension portion and a lateral extension portion that extends inward in the suspension width direction from an intermediate point between the base end portion and the tip end portion of the corresponding flange portion and is connected to the tip end of the longitudinal extension portion. obtain.

好ましくは、前記縦延在部は対応する前記フランジ部に対して平行で且つ前記横延在部は前記本体部に対して平行とされる。   Preferably, the longitudinally extending portion is parallel to the corresponding flange portion, and the laterally extending portion is parallel to the main body portion.

これに代えて、前記スリットが設けられた構成において、前記膨出領域が、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有するものとされ得る。
前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の境界線とは反対側に凸状とされた湾曲形状とされ得る。
若しくは、前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面に沿った平面状とされ得る。
Instead of this, in the configuration in which the slit is provided, the bulging region is located at an inward position at a predetermined distance from an outer end portion in the suspension width direction of the main body portion and a proximal end of the flange portion. It may have an extension part that connects the intermediate point between the part and the tip part.
The extending portion may have a curved shape that is convex on the opposite side of the boundary line between the main body portion and the flange portion with reference to a virtual plane that connects the inward point and the intermediate point.
Alternatively, the extending portion may be a planar shape along a virtual plane connecting the inward point and the intermediate point.

前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域とが連接するように構成することも可能である。
この場合、前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有するものとされ、前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の曲げ線とは反対側に凸状とされた湾曲形状とされ得る。
これに代えて、前記延在部を、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面に沿った平面状とすることも可能である。
It is also possible to configure the bulging region, the distal-side non-bulged region, and the proximal-side non-bulged region to be connected.
In this case, the bulging region includes an inward point positioned inward by a predetermined distance from an outer end portion in the suspension width direction of the main body portion and an intermediate point between the proximal end portion and the distal end portion of the flange portion. The extending portion is connected to the connecting portion, and the extending portion protrudes on the opposite side of the bending line between the main body portion and the flange portion with reference to a virtual plane connecting the inward point and the intermediate point. It may be a curved shape.
It can replace with this and it can also be made into the planar shape along the virtual surface which connects the said inward point and the said intermediate point to the said extension part.

好ましくは、前記本体部は、前記荷重曲げ部に連結された基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向外端部が第1傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する基端側部位と、前記基端側部位に連結される基端側から先端側行くに従ってサスペンション幅方向外端部から前記第1傾斜角よりも小さい第2傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する先端側部位とを含み得る。
この場合、前記膨出領域は、前記基端側部位及び前記先端側部位の間の境界をサスペンション長手方向に関し跨ぐように配置される。
Preferably, the main body includes a base end side portion in which a suspension width direction outer end portion approaches a suspension longitudinal center line at a first inclination angle as it goes from a base end side connected to the load bending portion to a distal end side. A distal end portion that is close to the suspension longitudinal center line at a second inclination angle that is smaller than the first inclination angle from the outer end portion in the suspension width direction as it goes from the proximal end side to the distal end side that is connected to the proximal end portion; Can be included.
In this case, the bulging region is arranged so as to straddle the boundary between the proximal end portion and the distal end portion in the suspension longitudinal direction.

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ロードビーム部の本体部と一対のフランジ部との間の左右一対の境界部分に左右一対の膨出領域が設けられており、前記一対の膨出領域の各々は、前記本体部及び対応する前記フランジ部の間の境界線から所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点と対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とによって挟まれる領域に位置され、前記本体部及び対応する前記フランジ部の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されているので、質量増加を招くこと無く曲げ剛性を効果的に向上させることができ、これにより、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を上昇させることができる。
又、前記本体部のサスペンション幅方向中央にはフリースペースを確保できるので、前記本体部へのフレクシャ部やダンパー部材への固着性を損なうことも無い。
According to the magnetic head suspension of the present invention, the pair of left and right bulging regions are provided at the pair of left and right boundary portions between the main body portion of the load beam portion and the pair of flange portions, and the pair of bulging regions Each of the intermediate portion between the base end portion and the tip end portion of the flange portion corresponding to an inward point located inward in the suspension width direction by a predetermined distance from a boundary line between the main body portion and the corresponding flange portion. Is positioned in a region sandwiched between points, and is extruded to the opposite side of the disk surface with respect to the remaining region of the main body portion and the corresponding flange portion, so that the bending rigidity can be increased without causing an increase in mass. It is possible to effectively improve the resonance frequency of the bending primary mode and the bending secondary mode.
Further, since a free space can be secured at the center of the main body portion in the suspension width direction, the adherence to the flexure portion and the damper member to the main body portion is not impaired.

図1は、本発明の実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。FIG. 1 is a top view of the magnetic head suspension according to the first embodiment of the present invention. 図2は、前記実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。FIG. 2 is a bottom view of the magnetic head suspension according to the first embodiment. 図3は、図1におけるIII部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a portion III in FIG. 図4(a)及び(b)は、それぞれ、図3におけるIV(a)−IV(a)線及びIV(b)−IV(b)線に沿った断面図である。4A and 4B are cross-sectional views taken along lines IV (a) -IV (a) and IV (b) -IV (b) in FIG. 3, respectively. 図5は、前記実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部の製造方法の一例の工程模式図である。FIG. 5 is a process schematic diagram of an example of a method of manufacturing a load beam portion in the magnetic head suspension according to the first embodiment. 図6は、前記ロードビーム部の製造方法の他の例の工程模式図であり、先端側非膨出領域及び基端側非膨出領域の製造方法を示している。FIG. 6 is a process schematic diagram of another example of the method for manufacturing the load beam portion, and shows a method for manufacturing the distal-side non-bulged region and the proximal-side non-bulged region. 図7は、前記ロードビーム部の製造方法の他の例の工程模式図であり、膨出領域の製造方法を示している。FIG. 7 is a process schematic diagram of another example of the method for manufacturing the load beam portion, and shows a method for manufacturing the bulging region. 図8は、実施例1及び比較例1に対して行った曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing an analysis result regarding the resonance frequency of the primary bending mode and the secondary bending mode performed for Example 1 and Comparative Example 1. 図9は、本発明の実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。FIG. 9 is a top view of the magnetic head suspension according to the second embodiment of the present invention. 図10は、前記実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。FIG. 10 is a bottom view of the magnetic head suspension according to the second embodiment. 図11は、図9におけるXI部拡大図である。FIG. 11 is an enlarged view of a portion XI in FIG. 図12(a)及び(b)は、それぞれ、図11におけるXII(a)-XII(a)線及びXII(b)-XII(b)線に沿った断面図である。12A and 12B are cross-sectional views taken along lines XII (a) -XII (a) and XII (b) -XII (b) in FIG. 11, respectively. 図13は、実施例2及び比較例2に対して行った曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。FIG. 13 is a graph showing an analysis result regarding the resonance frequency of the primary bending mode and the secondary bending mode performed on Example 2 and Comparative Example 2. 図14は、本発明の実施の形態3に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。FIG. 14 is a top view of the magnetic head suspension according to the third embodiment of the present invention. 図15は、図14におけるXV-XV線に沿った断面図である。15 is a cross-sectional view taken along line XV-XV in FIG. 図16は、前記実施の形態3の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションのロードビーム部の断面図であり、図15に対応した断面を示している。FIG. 16 is a cross-sectional view of a load beam portion of a magnetic head suspension according to a modification of the third embodiment, and shows a cross section corresponding to FIG.

実施の形態1
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図1及び図2に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Aの上面図(ディスク面とは反対側から視た平面図)及び下面図(前記ディスク面から視た底面図)を示す。
なお、図2中の○は溶接点を示している。
Embodiment 1
Hereinafter, preferred embodiments of a magnetic head suspension according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
1 and 2 are a top view (a plan view seen from the side opposite to the disk surface) and a bottom view (a bottom view seen from the disk surface) of the magnetic head suspension 1A according to the present embodiment, respectively. .
In addition, (circle) in FIG. 2 has shown the welding point.

前記磁気ヘッドサスペンション1Aは、図1及び図2に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ(図示せず)によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部10と、磁気ヘッドスライダ50を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部10に連結された荷重曲げ部20と、前記荷重曲げ部20を介して前記支持部10に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ50に伝達するロードビーム部30Aと、前記磁気ヘッドスライダ50を支持した状態で前記ロードビーム部30A及び前記支持部10に支持されるフレクシャ部40とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic head suspension 1A is swung directly or indirectly in a seek direction parallel to the disk surface around a swing center by an actuator (not shown) such as a voice coil motor. Supporting portion 10, a load bending portion 20 connected to the supporting portion 10 so as to generate a load for pressing the magnetic head slider 50 toward the disk surface, and the load bending portion 20 through the load bending portion 20. A load beam portion 30A supported by the support portion 10 and transmitting the load to the magnetic head slider 50, and a flexure portion supported by the load beam portion 30A and the support portion 10 while supporting the magnetic head slider 50. 40.

前記支持部10は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部20を介して前記ロードビーム部30Aを支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。   The support portion 10 is a member that supports the load beam portion 30A via the load bending portion 20 while being directly or indirectly connected to the actuator, and has a relatively high rigidity.

本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記支持部10は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム(図示せず)の先端にかしめ加工によって接合されるボス部15を備えたベースプレートとされている。
前記支持部10は、例えば、厚さ0.1mm〜0.8mmのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部10として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the support portion 10 includes a boss portion 15 joined by caulking to the tip of a carriage arm (not shown) connected to the actuator. The base plate.
The support part 10 is preferably formed by a stainless plate having a thickness of 0.1 mm to 0.8 mm, for example.
As a matter of course, an arm whose base end portion is connected to the swing center of the actuator can be adopted as the support portion 10.

前記ロードビーム部30Aは、前述の通り、前記荷重曲げ部20によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ50に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。   As described above, the load beam portion 30A is a member for transmitting the load generated by the load bending portion 20 to the magnetic head slider 50, and therefore requires a predetermined rigidity.

図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部30Aは、前記ディスク面と対向する平板状の本体部31Aと、前記本体部31Aのサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部32とを有しており、前記フランジ部32によって剛性を向上させている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the load beam portion 30A includes a flat plate-like main body portion 31A facing the disk surface, and extends from the both ends of the main body portion 31A in the suspension width direction to the opposite side of the disk surface. A pair of left and right flange portions 32 is provided, and the flange portion 32 improves the rigidity.

さらに、前記ロードビーム部30Aには、前記本体部31Aと前記一対のフランジ部32との間の左右の境界部分に左右一対の膨出領域35が設けられている。
この膨出領域35の詳細については後述する。
前記ロードビーム部30Aは、例えば、厚さ0.02mm〜0.1mmのステンレス板によって好適に形成される。
Further, the load beam portion 30 </ b> A is provided with a pair of left and right bulging regions 35 at the left and right boundary portions between the main body portion 31 </ b> A and the pair of flange portions 32.
Details of the bulging area 35 will be described later.
The load beam portion 30A is preferably formed by a stainless plate having a thickness of 0.02 mm to 0.1 mm, for example.

図1に示すように、前記本体部31Aには、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起33が形成されている。
前記突起33は、ディスク面に近接する方向に、例えば、0.05mm〜0.1mm程度突出されている。この突起33は、前記フレクシャ部40における下記ヘッド搭載領域415の上面(前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面)に接触して、この突起33を介して前記荷重を前記フレクシャ部40の前記ヘッド搭載領域415に伝達するようになっている。
As shown in FIG. 1, a projection 33 called a so-called dimple is formed on the distal end side of the main body 31A.
The protrusion 33 protrudes, for example, about 0.05 mm to 0.1 mm in a direction close to the disk surface. The protrusion 33 contacts the upper surface of the following head mounting area 415 in the flexure section 40 (the back surface opposite to the support surface that supports the magnetic head slider), and the load transmits the flexure through the protrusion 33. The information is transmitted to the head mounting area 415 of the unit 40.

本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部30Aは、さらに、前記本体部31の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ34を一体的に有している。前記リフトタブ34は、前記磁気ヘッドスライダ50がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション1Aが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ50を前記ディスク面と直交するz方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the load beam portion 30 </ b> A further includes a lift tab 34 that extends from the distal end of the main body portion 31 toward the distal end side in the suspension longitudinal direction. . The lift tab 34 engages with a ramp provided in the magnetic disk device when the magnetic head suspension 1A is swung by the actuator so that the magnetic head slider 50 is positioned radially outward of the disk surface. The magnetic head slider 50 is a member for separating the magnetic head slider 50 from the disk surface along the z direction orthogonal to the disk surface.

本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部30Aの前記本体部31Aのサスペンション幅方向両端部は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線CLに近接するように平面視においてテーパ状とされている。
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部30Aの先端側における前記中心線CL回りの慣性モーメントを低減でき、種々の振動モードのうち、特にサスペンション長手方向中心線に沿った捩れ中心線回りに捩れる捩れモードの共振周波数を上昇させることができる。
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, both end portions in the suspension width direction of the main body 31A of the load beam portion 30A extend in the suspension longitudinal direction from the suspension longitudinal direction proximal end side to the distal end side. It is tapered in plan view so as to be close to the center line CL.
According to such a configuration, it is possible to reduce the moment of inertia around the center line CL on the tip end side of the load beam portion 30A, and among various vibration modes, the torsion around the torsion center line, particularly along the suspension longitudinal direction center line. The resonance frequency of the torsional mode can be increased.

本実施の形態においては、前記荷重曲げ部20は左右一対の板バネ21を有している。
図1及び図2に示すように、前記左右一対の板バネ21は、互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で、基端部が前記支持部10に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部30Aに連結されている。
前記左右一対の板バネ21は、基端部及び先端部の間においてサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ線(図示せず)回りに先端部が前記ディスク面に近接する方向へ予め曲げられており、曲げ戻し方向への弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ50を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
In the present embodiment, the load bending portion 20 has a pair of left and right leaf springs 21.
As shown in FIGS. 1 and 2, the pair of left and right leaf springs 21 are connected to the support portion 10 at the base end portion and separated from the load beam in a state of being separated from each other in the suspension width direction. It is connected to the part 30A.
The pair of left and right leaf springs 21 are bent in advance in a direction between the base end portion and the tip end portion in the direction in which the tip end approaches the disk surface around a load bending line (not shown) along the suspension width direction. Then, a pressing load for pressing the magnetic head slider 50 toward the disk surface is generated based on elastic deformation in the bending back direction.

前記一対の板バネ21は、例えば、厚さ0.02mm〜0.1mmのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、前記一対の板バネ21は前記ロードビーム部30Aを形成するロードビーム形成部材300に一体形成されている。
詳しくは、本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部形成部材300は、前記ロードビーム部30Aを形成するロードビーム形成領域301と、前記ロードビーム形成領域301から基端側へ延びる板バネ形成領域305とを一体的に有しており、前記板バネ形成領域305はサスペンション幅方向中央に間隙が設けられることで前記左右一対の板バネ21を形成している。
The pair of leaf springs 21 is formed of, for example, a stainless steel plate having a thickness of 0.02 mm to 0.1 mm.
In the present embodiment, the pair of leaf springs 21 are integrally formed with a load beam forming member 300 that forms the load beam portion 30A.
Specifically, in the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the load beam portion forming member 300 includes a load beam forming region 301 for forming the load beam portion 30A, and the load beam forming region 301. A leaf spring forming region 305 extending from the base end side to the base end side, and the leaf spring forming region 305 forms the pair of left and right leaf springs 21 by providing a gap at the center in the suspension width direction. Yes.

前記フレクシャ部40は、前記磁気ヘッドスライダ50を支持した状態で前記ロードビーム部30A及び前記支持部10に溶接等によって固着される。   The flexure portion 40 is fixed to the load beam portion 30A and the support portion 10 by welding or the like while supporting the magnetic head slider 50.

詳しくは、図2に示すように、前記フレクシャ部40はフレクシャ金属プレート410を有している。
前記フレクシャ金属プレート410は、図2に示すように、前記支持部10に溶接等によって固着される支持部固着領域411と、前記ロードビーム部30Aに溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域412と、前記ロードビーム部固着領域412の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片413(図1参照)と、前記一対の支持片413によって支持された前記ヘッド搭載領域415とを有している。
Specifically, as shown in FIG. 2, the flexure unit 40 has a flexure metal plate 410.
As shown in FIG. 2, the flexure metal plate 410 includes a support portion fixing region 411 fixed to the support portion 10 by welding or the like, and a load beam portion fixing region 412 fixed to the load beam portion 30A by welding or the like. And a pair of support pieces 413 (see FIG. 1) extending from both sides in the suspension width direction at the tip end portion of the load beam portion fixing region 412 to the tip end side in the suspension longitudinal direction, and the head mounting supported by the pair of support pieces 413. And a region 415.

前記ヘッド搭載領域415は、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ50を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域415の上面には前記突起33が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域415は前記突起33を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
The head mounting area 415 supports the magnetic head slider 50 on the lower surface facing the disk surface.
As described above, the protrusion 33 is in contact with the upper surface of the head mounting area 415. Therefore, the head mounting area 415 can swing flexibly in the roll direction and the pitch direction with the protrusion 33 as a fulcrum. It has become.

前記フレクシャ金属プレート410は、前記ヘッド搭載領域415がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部30Aよりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート410は、例えば、厚さ0.01mm〜0.025mm程度のステンレス板とされる。
The flexure metal plate 410 has a lower rigidity than the load beam portion 30A so that the head mounting region 415 can swing in the roll direction and the pitch direction.
The flexure metal plate 410 is, for example, a stainless steel plate having a thickness of about 0.01 mm to 0.025 mm.

好ましくは、前記フレクシャ部40には、図2に示すように、前記磁気ヘッドスライダ50を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体420が一体的に備えられる。   Preferably, the flexure section 40 is integrally provided with a wiring structure 420 for electrically connecting the magnetic head slider 50 to an external member, as shown in FIG.

詳しくは、前記配線構造体420は、前記フレクシャ金属プレート410における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。
Specifically, the wiring structure 420 includes an insulating layer stacked on a lower surface of the flexure metal plate 410 facing the disk surface and a signal wiring stacked on a surface of the insulating layer facing the disk surface. obtain.
Preferably, the wiring structure may have an insulating cover layer surrounding the signal wiring.

ここで、前記ロードビーム部30Aに備えられた前記左右一対の膨出領域35について説明する。
図3に、図1におけるIII部拡大図を示す。
又、図4(a)及び(b)に、それぞれ、図3におけるIV(a)−IV(a)線及びIV(b)−IV(b)線に沿った断面図を示す。
Here, the pair of left and right bulging regions 35 provided in the load beam portion 30A will be described.
FIG. 3 shows an enlarged view of part III in FIG.
4A and 4B are sectional views taken along lines IV (a) -IV (a) and IV (b) -IV (b) in FIG. 3, respectively.

図1、図3、図4(a)及び図4(b)に示すように、前記左右一対の膨出領域35は、前記本体部31Aと前記一対のフランジ部32との間の左右一対の境界部分に設けられている。   As shown in FIGS. 1, 3, 4 (a) and 4 (b), the pair of left and right bulging regions 35 are formed of a pair of left and right between the main body portion 31 A and the pair of flange portions 32. It is provided at the boundary.

詳しくは、図4(b)に示すように、前記左右一対の膨出領域35の各々は、前記本体部31A及び対応する前記フランジ部32の間の境界線32Lから所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点310と対応する前記フランジ部32の基端部及び先端部の間の中間地点320とによって挟まれる領域に位置されており、前記本体部31A及び対応する前記フランジ部32の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されている。   Specifically, as shown in FIG. 4 (b), each of the pair of left and right bulging regions 35 is within a suspension width direction by a predetermined distance from a boundary line 32L between the main body portion 31A and the corresponding flange portion 32. Is located in a region sandwiched by the inner point 310 located on the opposite side and the intermediate point 320 between the proximal end portion and the distal end portion of the flange portion 32 corresponding to the inner point 310, and the body portion 31 </ b> A and the corresponding flange portion 32. The remaining area is extruded to the opposite side of the disk surface.

前記膨出領域35を設けることにより、比較的に低い周波数帯域に存在する前記磁気ヘッドサスペンション1Aの曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を高めることができる。   By providing the bulging region 35, the resonance frequency of the bending primary mode and the bending secondary mode of the magnetic head suspension 1A existing in a relatively low frequency band can be increased.

即ち、曲げ一次モードとは、前記荷重曲げ部20の基端部(前記荷重曲げ部20のうち前記支持部10に連結される部位)及び前記ディンプル33を支点とした状態で前記両支点の間の領域がz方向に振動する振動モードである。   That is, the primary bending mode is a state between the two fulcrums in a state where the base end portion of the load bending portion 20 (the portion of the load bending portion 20 connected to the support portion 10) and the dimple 33 are fulcrums. This region is a vibration mode in which the region oscillates in the z direction.

曲げ二次モードとは、前記支持部10のうちz方向に関し強固に固定される部位(前記支持部10がベースプレートの場合には、アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部15であり、以下、支持部固定位置という)の先端側位置と前記ロードビーム部30Aにおけるサスペンション長手方向中央部及び基端部の間の基端側中間位置と前記ディンプル33との3点を支点とした状態で、前記支持部固定位置及び前記基端側中間位置の間の領域(以下、基端側領域という)がz方向に振動し且つ前記基端側中間位置及び前記ディンプルの間の領域(以下、先端側領域という)が前記基端側領域とは逆相状態でz方向に振動する振動モードである。   The bending secondary mode is a portion of the support portion 10 that is firmly fixed in the z direction (if the support portion 10 is a base plate, the support portion 10 is fixed to a carriage arm connected to an actuator via caulking. 3 points of the tip end side position of the boss portion 15 (hereinafter referred to as the support portion fixing position), the base end side intermediate position between the suspension longitudinal direction central portion and the base end portion in the load beam portion 30A, and the dimple 33. With the fulcrum as a fulcrum, a region between the support portion fixing position and the base end side intermediate position (hereinafter referred to as a base end side region) vibrates in the z direction and between the base end side intermediate position and the dimple. Is a vibration mode that vibrates in the z direction in a phase opposite to that of the base end side region.

前記膨出領域35を有さない従来のロードビーム部は、サスペンション長手方向全域において図4(a)のような断面形状を有することになる。
即ち、従来のロードビーム部においては、サスペンション長手方向に沿った曲げ線回りに曲げ加工された曲げ部がサスペンション長手方向全域に亘って一カ所のみとなる。
A conventional load beam portion having no bulging area 35 has a cross-sectional shape as shown in FIG.
That is, in the conventional load beam portion, there is only one bending portion that is bent around the bending line along the suspension longitudinal direction over the entire suspension longitudinal direction.

これに対し、本実施の形態における前記ロードビーム部の前記膨出領域においては、サスペンション長手方向に沿った曲げ線回りに曲げ加工された曲げ部が三カ所、存在する。   On the other hand, in the bulging region of the load beam portion in the present embodiment, there are three bending portions that are bent around the bending line along the suspension longitudinal direction.

詳しくは、図3及び図4(b)に示すように、本実施の形態においては、前記膨出領域35は、前記本体部31Aのサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点310から前記ディスク面とは反対側へ延びる縦延在部351と、前記フランジ部32の基端部から所定距離だけ先端側に位置された中間地点320からサスペンション幅方向内方側へ延びて前記縦延在部351の先端に連結される横延在部352とを含んでいる。   Specifically, as shown in FIGS. 3 and 4 (b), in the present embodiment, the bulging region 35 is positioned inward by a predetermined distance from the outer end in the suspension width direction of the main body 31A. Further, a longitudinally extending portion 351 extending from the inner point 310 to the opposite side of the disk surface, and an intermediate point 320 located on the distal end side by a predetermined distance from the base end portion of the flange portion 32, the suspension width direction inner side. And a laterally extending portion 352 connected to the tip of the vertically extending portion 351.

斯かる構成の前記膨出領域35においては、前記本体部31A及び前記縦延在部351の間に位置する第1曲げ部と、前記縦延在部351及び前記横延在部352の間に位置する第2曲げ部と、前記横延在部及び前記フランジ部32の間に位置する第3曲げ部との三カ所の曲げ部が存在する。   In the bulging region 35 having such a configuration, the first bending portion located between the main body portion 31A and the longitudinally extending portion 351, and between the longitudinally extending portion 351 and the laterally extending portion 352 are provided. There are three bent portions, that is, a second bent portion positioned and a third bent portion positioned between the laterally extending portion and the flange portion 32.

ここで、サスペンション長手方向に離間された2点を支点とした状態でその2点の間の領域がz方向に振動する前記曲げ一次モード及び前記曲げ二次モードに対する剛性は、前記曲げ部の数を増やすほど、高くなる。
従って、前記膨出領域35においては前記曲げ部が三カ所とされている前記ロードビーム部30Aは、質量増加を招くこと無く、前記曲げ部が一カ所である従来構成に比して、前記曲げ一次モード及び前記曲げ二次モードに対する剛性を高めることができる。
Here, the rigidity for the primary bending mode and the secondary bending mode in which the region between the two points separated in the longitudinal direction of the suspension vibrates in the z-direction is the number of the bending portions. The more you increase, the higher it becomes.
Therefore, the load beam portion 30A having the three bent portions in the bulging region 35 does not increase the mass, and the bending portion is compared with the conventional configuration in which the bent portion is one. The rigidity with respect to the primary mode and the bending secondary mode can be increased.

又、前記一対の膨出領域35は前記本体部31Aと前記一対のフランジ部32との間の境界部分に設けられているので、前記本体部31Aのサスペンション幅方向中央にはフリースペースを確保することができる。
従って、前記フレクシャ部40や必要又は所望に応じて備えられるダンパー部材の前記本体部31Aへの固着性が損なわれることも無い。
Further, since the pair of bulging areas 35 are provided at the boundary portion between the main body portion 31A and the pair of flange portions 32, a free space is secured at the center in the suspension width direction of the main body portion 31A. be able to.
Therefore, the fixing property of the flexure portion 40 and the damper member provided as necessary or desired to the main body portion 31A is not impaired.

本実施の形態においては、前記膨出領域35は、前記ロードビーム部30Aのサスペンション長手方向中間にのみ設けられている。   In the present embodiment, the bulging region 35 is provided only in the middle in the suspension longitudinal direction of the load beam portion 30A.

即ち、図1及び図3に示すように、前記左右の境界部分の各々は、前記膨出領域35と、前記膨出領域35を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置し、前記フランジ部32が前記本体部31Aに対して前記境界線32L回りに曲げられている先端側非膨出領域36及び基端側非膨出領域37とを含んでいる。   That is, as shown in FIGS. 1 and 3, each of the left and right boundary portions is located on the bulging region 35 and on the distal end side and the proximal end side in the suspension longitudinal direction with the bulging region 35 interposed therebetween, respectively. The flange portion 32 includes a distal-side non-bulged region 36 and a proximal-side non-bulged region 37 that are bent around the boundary line 32L with respect to the main body portion 31A.

このように、前記膨出領域35が前記ロードビーム部30Aのサスペンション長手方向中間にのみ設けられる場合には、前記膨出領域35は、好ましくは、前記磁気ヘッドサスペンション1Aが曲げモードで振動した際に最もz方向への変位量が大きくなる部位に設けられる。   Thus, when the bulging area 35 is provided only in the middle in the suspension longitudinal direction of the load beam portion 30A, the bulging area 35 is preferably formed when the magnetic head suspension 1A vibrates in a bending mode. Is provided at a portion where the amount of displacement in the z direction is the largest.

この点を考慮して、本実施の形態においては、前記膨出領域35は、前記荷重曲げ部20の基端部及び前記ディンプル33の間のサスペンション長手方向中央を跨ぐように配置されている。
斯かる構成によれば、前記膨出領域35を形成する範囲を可及的に小さくしつつ、曲げ一次モードに対する剛性を効率的に向上させることができる。
In consideration of this point, in the present embodiment, the bulging region 35 is disposed so as to straddle the suspension longitudinal direction center between the base end portion of the load bending portion 20 and the dimple 33.
According to such a configuration, it is possible to efficiently improve the rigidity with respect to the bending primary mode while reducing the range in which the bulging region 35 is formed as much as possible.

図3に示すように、本実施の形態においては、前記膨出領域35と前記先端側非膨出領域36及び前記基端側非膨出領域36との間にはそれぞれスリット36a、37aが設けられている。
前記スリット36a、37aを設けることにより、前記膨出領域35の形成によって前記フランジ部32が変形することを可及的に防止できる。
As shown in FIG. 3, in the present embodiment, slits 36a and 37a are provided between the bulging area 35 and the distal-side non-bulging area 36 and the proximal-side non-bulging area 36, respectively. It has been.
By providing the slits 36a and 37a, it is possible to prevent the flange portion 32 from being deformed as a result of the formation of the bulging region 35 as much as possible.

斯かる構成の前記ロードビーム部30Aは、図5に示すように、フランジ用上側金型151及びフランジ用下側金型152を用いて前記本体部31Aのサスペンション幅方向両側にサスペンション長手方向全域に延びる前記一対のフランジ部32を形成する工程と、前記一対のフランジ部32のうち前記膨出領域35を形成すべき領域に対してのみ膨出用上側金型161及び膨出用下側金型162を作用させて前記一対の膨出領域35を形成する工程とを含む製造方法によって製造され得る。   As shown in FIG. 5, the load beam portion 30A having such a configuration is formed on the both sides of the suspension 31 in the suspension width direction of the main body portion 31A using the flange upper die 151 and the flange lower die 152. A step of forming the pair of flange portions 32 extending, and a bulging upper die 161 and a bulging lower die only for a region of the pair of flange portions 32 where the bulging region 35 is to be formed. And a step of forming the pair of bulging regions 35 by acting 162.

これに代えて、前記フランジ用上側金型151及び前記フランジ用下側金型152を用いて前記先端側非膨出領域36及び前記基端側非膨出領域37において前記一対のフランジ32を形成する工程(図6参照)と、前記膨出用上側金型161及び前記膨出用下側金型162を用いて前記膨出領域35及び前記一対のフランジ32を形成する工程(図7参照)とを同時に行うことも可能である。   Instead, the pair of flanges 32 is formed in the distal end non-bulged region 36 and the proximal end non-bulged region 37 by using the flange upper mold 151 and the flange lower mold 152. And the step of forming the bulging region 35 and the pair of flanges 32 using the bulging upper mold 161 and the bulging lower mold 162 (see FIG. 7). Can be performed simultaneously.

好ましくは、前記縦延在部351を前記フランジ部32と平行(図4(a)において、β2=β1)とし、且つ、前記横延在部352を前記本体部31Aと平行にすることができる。   Preferably, the longitudinally extending portion 351 can be parallel to the flange portion 32 (β2 = β1 in FIG. 4A), and the laterally extending portion 352 can be parallel to the main body portion 31A. .

斯かる好ましい構成によれば、曲げ加工時における前記膨出領域35の前記本体部31Aに対するスプリングバック量を前記フランジ部32の前記本体部31Aに対するスプリングバック量と同一にでき、前記フランジ部及び前記膨出領域が所望形状に対して変形することを有効に防止できる。   According to such a preferable configuration, the amount of spring back of the bulging region 35 with respect to the main body portion 31A during bending can be made the same as the amount of spring back of the flange portion 32 with respect to the main body portion 31A. It is possible to effectively prevent the bulging region from being deformed with respect to the desired shape.

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの一例(以下、実施例1という)に対して行った解析結果について説明する。
本解析においては、有限要素法を用いた固有値解析によって前記実施例1の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を求めた。
なお、前記実施例1は下記寸法(図1及び図4参照)を有するものとした。
本解析結果を図8に示す。
Here, an analysis result performed on an example of the magnetic head suspension according to the present embodiment (hereinafter referred to as Example 1) will be described.
In this analysis, the resonance frequencies of the bending primary mode and the bending secondary mode of Example 1 were obtained by eigenvalue analysis using a finite element method.
In addition, the said Example 1 shall have the following dimension (refer FIG.1 and FIG.4).
The results of this analysis are shown in FIG.

支持部10の材質:SUS304
支持部10の厚み:0.15mm
ロードビーム部30の材質:SUS304
ロードビーム部30の厚み:0.03mm
支持部10の基準部位からディンプル33までのサスペンション長手方向距離L0:11mm
支持部10の基準部位と先端部との間のサスペンション長手方向距離L1:4.8mm
一対の板バネ21のサスペンション長手方向距離L2:0.5mm
ロードビーム部30の基端部の幅W:3.8mm
本体部31Aのサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線CLに対する傾斜角α:14°
基端側非膨出領域37のサスペンション長手方向距離L3:1.57mm
膨出領域35のサスペンション長手方向距離L4:3.0mm
フランジ部32の角度β1:75°
フランジ部32の高さH1:0.31mm
膨出領域35の高さH2:0.125mm
フランジ部32及び本体部31Aの境界線32Lと膨出領域35のサスペンション幅方向内端部35との間の距離D:0.15mm
縦延在部351の角度β2:75°
Material of support 10: SUS304
Support part 10 thickness: 0.15 mm
Material of load beam section 30: SUS304
Load beam 30 thickness: 0.03 mm
Suspension longitudinal direction distance L0 from the reference part of the support part 10 to the dimple 33: 11 mm
Suspension longitudinal distance L1: 4.8 mm between the reference portion and the tip of the support portion 10
Suspension longitudinal distance L2 of the pair of leaf springs 21: 0.5 mm
Width W of the base end portion of the load beam portion 30: 3.8 mm
Inclination angle α with respect to the suspension longitudinal center line CL of the suspension width direction outer end portion of the main body 31A: 14 °
Suspension longitudinal direction distance L3 of the base end side non-bulged region 37: 1.57 mm
Suspension longitudinal distance L4 of the bulging region 35: 3.0 mm
Angle β of flange portion 32: 75 °
Flange 32 height H1: 0.31 mm
Height H2 of the bulging area 35: 0.125 mm
Distance D between the boundary 32L of the flange 32 and the main body 31A and the inner end 35 of the bulging region 35 in the suspension width direction: 0.15 mm
Angle β2 of the longitudinally extending portion 351: 75 °

前記膨出領域35を有さない点を除き前記実施例1と同一構成を有する比較例1の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数についても同様の方法で求めた。
この結果を図8に併せて示す。
The resonance frequency of the bending primary mode and the bending secondary mode of Comparative Example 1 having the same configuration as that of Example 1 except that the bulging region 35 is not provided was obtained by the same method.
The results are also shown in FIG.

図8から明らかなように、前記膨出領域35が形成された前記実施例1は前記膨出領域35を有さない前記比較例1に比して、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの双方において高い共振周波数を有している。
このことは、前記実施例1は前記比較例1に比して、前記磁気ヘッドスライダ50を目的のトラック上に高速に移動させるべくボイスコイルモータ等のアクチュエータの駆動信号の周波数を上昇させても、共振の発生を防止し得ることを意味する。
As apparent from FIG. 8, the first embodiment in which the bulging region 35 is formed has both a bending primary mode and a bending secondary mode as compared with the comparative example 1 having no bulging region 35. Has a high resonance frequency.
This is because the frequency of the drive signal of an actuator such as a voice coil motor is increased in the first embodiment in order to move the magnetic head slider 50 onto a target track at a higher speed than in the first comparative example. This means that the occurrence of resonance can be prevented.

実施の形態2
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図9及び図10に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Bの上面図(ディスク面とは反対側から見た平面図)及び側面図を示す。
又、図11に、図9におけるXI部拡大図を示す。
さらに、図12(a)及び(b)に、それぞれ、図11におけるXII(a)-XII(a)線及びXII(b)-XII(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態1における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
Embodiment 2
Hereinafter, another embodiment of a magnetic head suspension according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
9 and 10 are a top view (a plan view seen from the side opposite to the disk surface) and a side view, respectively, of the magnetic head suspension 1B according to the present embodiment.
FIG. 11 is an enlarged view of the XI part in FIG.
Further, FIGS. 12A and 12B are sectional views taken along lines XII (a) -XII (a) and XII (b) -XII (b) in FIG. 11, respectively.
In the figure, the same members in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

前記実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンション1Aにおいては、前記本体部31Aのサスペンション幅方向外端部は略一定の角度でサスペンション長手方向中心線CLに対して傾斜されている。   In the magnetic head suspension 1A according to the first embodiment, the outer end portion of the main body 31A in the suspension width direction is inclined with respect to the suspension longitudinal center line CL at a substantially constant angle.

これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、ロードビーム部30Bにおける本体部31Bのサスペンション幅方向外端部は、基端側においては第1傾斜角α1でサスペンション長手方向中心線CLに対して傾斜され、且つ、先端側においては前記第1傾斜角α1よりも小さい第2傾斜角α2でサスペンション長手方向中心線CLに対して傾斜されている。   On the other hand, in the magnetic head suspension according to the present embodiment, the suspension beam width direction outer end portion of the main body portion 31B of the load beam portion 30B has a first inclination angle α1 on the base end side and the suspension longitudinal direction center line CL. And at the front end side is inclined with respect to the suspension longitudinal center line CL at a second inclination angle α2 smaller than the first inclination angle α1.

詳しくは、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション1Bは、前記ロードビーム部30Aがロードビーム部30Bに変更されている点においてのみ、前記実施の形態1に係る前記磁気ヘッドサスペンション1Aと相違している。   Specifically, the magnetic head suspension 1B according to the present embodiment is different from the magnetic head suspension 1A according to the first embodiment only in that the load beam portion 30A is changed to the load beam portion 30B. ing.

前記ロードビーム部30Bは、前記ディスク面と対向する平板状の本体部31Bと、前記一対のフランジ部32と、前記一対の膨出領域35とを有している。   The load beam portion 30B has a flat plate-like main body portion 31B facing the disk surface, the pair of flange portions 32, and the pair of bulging regions 35.

前記本体部31Bは、図9に示すように、前記荷重曲げ部20に連結される基端側部位361と、前記基端側部位361から先端側へ延びる先端側部位362とを有している。   As shown in FIG. 9, the main body portion 31 </ b> B has a proximal end portion 361 connected to the load bending portion 20 and a distal end portion 362 extending from the proximal end portion 361 to the distal end side. .

前記基端側部位361は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向外端部が第1傾斜角α1でサスペンション長手方向中心線CLに近接するように構成されている。
前記先端側部位362は、基端側から先端側行くに従ってサスペンション幅方向外端部から前記第1傾斜角α1よりも小さい第2傾斜角α2でサスペンション長手方向中心線CLに近接するように構成されている。
斯かる構成によれば、捩れモードの共振周波数を高めることができ、捩れモードの共振が生じることを有効に防止できる。
The base end side portion 361 is configured such that the outer end portion in the suspension width direction approaches the suspension longitudinal center line CL at the first inclination angle α1 as it goes from the base end side to the tip end side.
The distal end side portion 362 is configured to approach the suspension longitudinal center line CL at a second inclination angle α2 smaller than the first inclination angle α1 from the outer end portion in the suspension width direction from the proximal end side toward the distal end side. ing.
According to such a configuration, it is possible to increase the resonance frequency of the torsion mode and effectively prevent the resonance of the torsion mode.

本実施の形態におけるように、前記本体部31Bのサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線CLに対する傾斜角が変曲点360(前記基端側部位361及び前記先端側部位362の境界)において変化する構成においては、前記膨出領域35は、好ましくは、前記基端側部位361及び前記先端側部位362の境界をサスペンション長手方向に関し跨ぐように配置される。   As in the present embodiment, the inclination angle of the outer end portion in the suspension width direction of the main body portion 31B with respect to the suspension longitudinal center line CL is an inflection point 360 (the boundary between the base end portion 361 and the tip end portion 362). In the configuration that changes, the bulging region 35 is preferably disposed so as to straddle the boundary between the proximal end side portion 361 and the distal end side portion 362 in the suspension longitudinal direction.

斯かる構成によれば、前記変曲点360における曲げ剛性を高めることができ、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振が生じることを有効に防止できる。   According to such a configuration, the bending rigidity at the inflection point 360 can be increased, and the occurrence of resonance in the bending primary mode and the bending secondary mode can be effectively prevented.

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの一例(以下、実施例2という)に対して行った解析結果について説明する。
本解析においても、有限要素法を用いた固有値解析によって前記実施例2の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数を求めた。
なお、前記実施例2は下記寸法を除き前記実施例1と同一寸法を有するものとした。
本解析結果を図13に示す。
Here, an analysis result performed on an example of the magnetic head suspension according to the present embodiment (hereinafter referred to as Example 2) will be described.
Also in this analysis, the resonance frequencies of the primary bending mode and the secondary bending mode of Example 2 were obtained by eigenvalue analysis using the finite element method.
In addition, the said Example 2 shall have the same dimension as the said Example 1 except the following dimension.
The results of this analysis are shown in FIG.

ロードビーム部30Bの基端部から変曲点360までのサスペンション長手方向距離L5:3.5mm
基端側部位361のサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線CLに対する傾斜角α1:21.3°
先端側部位362のサスペンション幅方向外端部のサスペンション長手方向中心線CLに対する傾斜角α1:6.0°
Suspension longitudinal direction distance L5 from the base end portion of the load beam portion 30B to the inflection point 360: 3.5 mm
Inclination angle α1: 21.3 ° with respect to the suspension longitudinal center line CL of the suspension width direction outer end portion of the base end side portion 361
Inclination angle α1: 6.0 ° with respect to the suspension longitudinal center line CL at the suspension width direction outer end portion of the distal end side portion 362

前記膨出領域35を有さない点を除き前記実施例2と同一構成を有する比較例2の曲げ一次モード及び曲げ二次モードの共振周波数についても同様の方法で求めた。
この結果を図13に併せて示す。
The resonance frequency of the bending primary mode and the bending secondary mode of Comparative Example 2 having the same configuration as that of Example 2 except that the bulging area 35 is not provided was also obtained by the same method.
The results are also shown in FIG.

図13から明らかなように、前記膨出領域35が形成された前記実施例2は前記膨出領域35を有さない前記比較例2に比して、曲げ一次モード及び曲げ二次モードの双方において高い共振周波数を有している。
このことは、前記実施例2は前記比較例2に比して、前記磁気ヘッドスライダ50を目的のトラック上に高速に移動させるべくボイスコイルモータ等のアクチュエータの駆動信号の周波数を上昇させても、共振の発生を防止し得ることを意味する。
As apparent from FIG. 13, the second embodiment in which the bulging region 35 is formed has both a bending primary mode and a bending second mode compared to the comparative example 2 that does not have the bulging region 35. Has a high resonance frequency.
This is because the frequency of the drive signal of an actuator such as a voice coil motor is increased in the second embodiment in order to move the magnetic head slider 50 onto the target track at a higher speed than in the second comparative example. This means that the occurrence of resonance can be prevented.

実施の形態3
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図14に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Cの上面図(ディスク面とは反対側から見た平面図)を示す。
又、図15に、図14におけるXV-XV線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態1又は2における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
Embodiment 3
Hereinafter, another embodiment of a magnetic head suspension according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 14 shows a top view (a plan view seen from the side opposite to the disk surface) of the magnetic head suspension 1C according to the present embodiment.
FIG. 15 is a sectional view taken along line XV-XV in FIG.
In the drawing, the same members in the first or second embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Cは、膨出領域35Cの具体的構造において前記実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンション1Bと相違している。   The magnetic head suspension 1C according to the present embodiment is different from the magnetic head suspension 1B according to the second embodiment in the specific structure of the bulging region 35C.

具体的には、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Cは、前記実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンション1Bにおいて、前記ロードビーム部30Bの代わりにロードビーム部30Cを有している。   Specifically, the magnetic head suspension 1C according to the present embodiment has a load beam portion 30C instead of the load beam portion 30B in the magnetic head suspension 1B according to the second embodiment.

前記実施の形態2における前記ロードビーム部30Bにおいては、前記膨出領域35と前記先端側非膨出領域36及び前記基端側非膨出領域37との間にはそれぞれ前記スリット36a、37a(図11参照)が設けられている。   In the load beam portion 30B according to the second embodiment, the slits 36a, 37a (37a ( 11) is provided.

これに対し、本実施の形態における前記ロードビーム部30Cにおいては、前記スリット36a、37aが省略されており、前記膨出領域35Cが前記先端側非膨出領域36及び前記基端側非膨出領域37に連接されている。   On the other hand, in the load beam portion 30C in the present embodiment, the slits 36a and 37a are omitted, and the bulging region 35C is formed by the distal end side non-bulging region 36 and the proximal end side non-bulging. It is connected to the region 37.

前記先端側非膨出領域36及び前記基端側非膨出領域37に連接しつつ、前記膨出領域35Cを前記ディスク面とは反対側へ膨出させることを可能とする為に、本実施の形態においては、前記膨出領域35Cは、図15に示すように、前記本体部31Bのサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置する内方地点310と前記フランジ部32の基端部及び先端部の間の中間地点320とを連結する延在部355を有しており、前記延在部355は前記内方地点310及び前記中間地点320を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部31B及び前記フランジ部32間の境界線32Lとは反対側に凸状とされた湾曲形状を有している。   In order to allow the bulging area 35C to bulge to the side opposite to the disk surface while being connected to the distal-side non-bulging area 36 and the proximal-side non-bulging area 37 In this form, as shown in FIG. 15, the bulging area 35C has an inner point 310 located inward from the outer end in the suspension width direction of the main body 31B and a base of the flange 32. An extension portion 355 connecting the end portion and the intermediate point 320 between the end portions, and the extension portion 355 is based on a virtual plane connecting the inward point 310 and the intermediate point 320. It has a curved shape that is convex on the side opposite to the boundary line 32L between the main body portion 31B and the flange portion 32.

このように、前記膨出領域35Cと前記先端側非膨出領域36及び前記基端側非膨出領域37とを連接することにより、前記スリット36a、37aの存在によって前記ロードビーム部30Cの剛性が悪化することを防止できる。   Thus, by connecting the bulging region 35C to the distal-side non-bulging region 36 and the proximal-side non-bulging region 37, the rigidity of the load beam portion 30C is determined by the presence of the slits 36a and 37a. Can be prevented from deteriorating.

又、本実施の形態においては、前記膨出領域35Cの展開長さを前記膨出領域35の展開長さよりも短くできる為、サスペンション長手方向に沿った捩れ中心線回りに捩れる捩れモードに対する剛性を高めることができる。   Further, in the present embodiment, since the developed length of the bulging region 35C can be made shorter than the developed length of the bulging region 35, the rigidity against the torsion mode that twists around the torsion center line along the suspension longitudinal direction. Can be increased.

図16に示すように、前記膨出領域35Cが、前記延在部355に代えて、前記内方地点310及び前記中間地点320を結ぶ前記仮想面に沿った平面状の延在部355’を有するように構成することも可能である。
この場合には、捩れモードに対する剛性をより向上させることができる。
As shown in FIG. 16, the bulging region 35C has a planar extending portion 355 ′ along the virtual plane connecting the inward point 310 and the intermediate point 320, instead of the extending portion 355. It can also be configured to have.
In this case, the rigidity with respect to the torsion mode can be further improved.

なお、本実施の形態においては、図14に示すように、前記膨出領域35Cは、前記変曲点360より先端側の前記先端側部位362に設けられており、曲げ二次モードの共振周波数の有効な向上を図っている。
当然ながら、前記膨出領域35Cを、サスペンション長手方向に関し前記変曲点360を跨ぐように配置させることも可能である。
In the present embodiment, as shown in FIG. 14, the bulging region 35C is provided in the distal end portion 362 on the distal end side from the inflection point 360, and the resonance frequency of the bending secondary mode The effective improvement of is aimed at.
Of course, it is also possible to arrange the bulging region 35C so as to straddle the inflection point 360 in the suspension longitudinal direction.

又、前記スリット36a、37aが設けられている前記実施の形態1及び2において、前記膨出領域35の代わりに前記膨出領域35Cを適用することも可能である。   In the first and second embodiments in which the slits 36a and 37a are provided, the bulging area 35C can be applied instead of the bulging area 35.

1A〜1C 磁気ヘッドサスペンション
10 支持部
20 荷重曲げ部
30A〜30C ロードビーム部
31A、31B 本体部
32 フランジ部
33 ディンプル
35、35C 膨出領域
36 先端側非膨出領域
36a スリット
37 基端側非膨出領域
37a スリット
40 フレクシャ部
50 磁気ヘッドスライダ
310 内方地点
320 中間地点
351 縦延在部
352 横延在部
355 延在部
360 基端側部位及び先端側部位の境界
361 基端側部位
362 先端側部位
415 ヘッド搭載領域
1A to 1C Magnetic head suspension 10 Support part 20 Load bending part 30A to 30C Load beam part 31A, 31B Main body part 32 Flange part 33 Dimple 35, 35C Swelling area 36 Tip side non-swelling area 36a Slit 37 Base end side non-swelling Exit area 37a Slit 40 Flexure part 50 Magnetic head slider 310 Inner point 320 Intermediate point 351 Vertically extending part 352 Horizontally extending part 355 Extending part 360 Boundary 361 between base end part and tip end part 361 Base end part 362 Tip Side part 415 Head mounting area

Claims (10)

アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と、前記本体部のサスペンション幅方向両外端部から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた左右一対のフランジ部とを備え、前記本体部と前記一対のフランジ部との間の左右一対の境界部分には左右一対の膨出領域が形成されており、
前記一対の膨出領域の各々は、前記本体部及び対応する前記フランジ部の間の境界線から所定距離だけサスペンション幅方向内方に位置する内方地点と対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とによって挟まれる領域に位置され、前記本体部及び対応する前記フランジ部の残りの領域に対して前記ディスク面とは反対側へ押し出し成形されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
A support portion that is swung directly or indirectly around a swing center by an actuator in a seek direction parallel to the disk surface; a load bending portion that generates a pressing load that presses the magnetic head slider toward the disk surface; A load beam portion supported by the support portion via a load bending portion and transmitting the pressing load to the magnetic head slider, supported by the load beam portion and the support portion, and supported by the tip side. A magnetic head suspension including a flexure portion having a head mounting area to perform,
The load beam portion includes a flat plate-like main body portion facing the disk surface, and a pair of left and right flange portions bent from the both outer ends of the main body portion in the suspension width direction to the opposite side of the disk surface. A pair of left and right bulging regions are formed at a pair of left and right boundary portions between the main body portion and the pair of flange portions,
Each of the pair of bulging regions includes a base end portion of the flange portion corresponding to an inward point positioned inward in the suspension width direction by a predetermined distance from a boundary line between the main body portion and the corresponding flange portion, and It is located in a region sandwiched by an intermediate point between the tip portions, and is extruded to the opposite side of the disk surface with respect to the remaining region of the main body portion and the corresponding flange portion. Magnetic head suspension.
前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが形成されており、
前記左右の境界部分の各々は、前記膨出領域と、前記膨出領域を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置し、前記フランジ部が前記本体部に対して前記境界線回りに曲げられている先端側非膨出領域及び基端側非膨出領域とを含み、
前記膨出領域は、前記荷重曲げ部の基端部及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向中央を跨ぐように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッドサスペンション。
The main body is formed with dimples protruding in a direction close to the disk surface so as to contact the back surface opposite to the support surface that supports the magnetic head slider in the head mounting area,
Each of the left and right boundary portions is located on the bulging region and on the distal end side and the proximal end side in the suspension longitudinal direction with the bulging region in between, and the flange portion is around the boundary line with respect to the main body portion. A distal-side non-bulged region and a proximal-side non-bulged region that are bent into
2. The magnetic head suspension according to claim 1, wherein the bulging region is disposed so as to straddle a suspension longitudinal direction center between a base end portion of the load bending portion and the dimple.
前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域との間にはそれぞれスリットが設けられていることを特徴とする請求項2に記載の磁気ヘッドサスペンション。   3. The magnetic head suspension according to claim 2, wherein a slit is provided between each of the bulging region and the distal-side non-bulged region and the proximal-side non-bulged region. 前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点から前記ディスク面とは反対側へ延びる縦延在部と、対応する前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点からサスペンション幅方向内方側へ延びて前記縦延在部の先端に連結される横延在部とを含むことを特徴とする請求項3に記載の磁気ヘッドサスペンション。   The bulging area includes a longitudinally extending portion that extends inward from the outer surface of the main body portion by a predetermined distance from the outer end portion in the suspension width direction and extends to the opposite side of the disk surface, and the corresponding flange portion. And a laterally extending portion that extends from an intermediate point between the base end portion and the distal end portion inward in the suspension width direction and is connected to the distal end of the longitudinally extending portion. Magnetic head suspension. 前記縦延在部は対応する前記フランジ部に対して平行で且つ前記横延在部は前記本体部に対して平行であることを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッドサスペンション。   5. The magnetic head suspension according to claim 4, wherein the longitudinally extending portion is parallel to the corresponding flange portion and the laterally extending portion is parallel to the main body portion. 前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有していることを特徴とする請求項3に記載の磁気ヘッドサスペンション。   The bulging region is an extension that connects an inward point positioned inward by a predetermined distance from an outer end portion in the suspension width direction of the main body portion and an intermediate point between the base end portion and the distal end portion of the flange portion. The magnetic head suspension according to claim 3, wherein the magnetic head suspension has a standing portion. 前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の境界線とは反対側に凸状とされた湾曲形状とされていることを特徴とする請求項6に記載の磁気ヘッドサスペンション。   The extending portion has a curved shape that is convex on the opposite side of the boundary line between the main body portion and the flange portion with reference to a virtual plane that connects the inward point and the intermediate point. The magnetic head suspension according to claim 6. 前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面に沿った平面状とされていることを特徴とする請求項6に記載の磁気ヘッドサスペンション。   The magnetic head suspension according to claim 6, wherein the extending portion has a planar shape along a virtual plane connecting the inward point and the intermediate point. 前記膨出領域と前記先端側非膨出領域及び前記基端側非膨出領域とは連接されており、
前記膨出領域は、前記本体部のサスペンション幅方向外端部から所定距離だけ内方に位置された内方地点と前記フランジ部の基端部及び先端部の間の中間地点とを連結する延在部を有し、前記延在部は、前記内方地点及び前記中間地点を結ぶ仮想面を基準にして前記本体部及び前記フランジ部間の曲げ線とは反対側に凸状とされた湾曲形状を有していることを特徴とする請求項2に記載の磁気ヘッドサスペンション。
The bulging region and the distal-side non-bulged region and the proximal-side non-bulged region are connected,
The bulging region is an extension that connects an inward point positioned inward by a predetermined distance from an outer end portion in the suspension width direction of the main body portion and an intermediate point between the base end portion and the distal end portion of the flange portion. A curved portion that is convex on the opposite side of the bend line between the main body portion and the flange portion with respect to a virtual plane that connects the inward point and the intermediate point. The magnetic head suspension according to claim 2, wherein the magnetic head suspension has a shape.
前記本体部は、前記荷重曲げ部に連結された基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション幅方向外端部が第1傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する基端側部位と、前記基端側部位に連結される基端側から先端側行くに従ってサスペンション幅方向外端部から前記第1傾斜角よりも小さい第2傾斜角でサスペンション長手方向中心線に近接する先端側部位とを含み、
前記膨出領域は、前記基端側部位及び前記先端側部位の間の境界をサスペンション長手方向に関し跨ぐように配置されていることを特徴とする請求項1から9の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
The main body includes a base end side portion in which a suspension width direction outer end portion approaches a suspension longitudinal center line at a first inclination angle from a base end side connected to the load bending portion to a tip end side, and the base A distal end side portion close to the suspension longitudinal center line at a second inclination angle smaller than the first inclination angle from the suspension width direction outer end portion as it goes from the proximal end side to the distal end side connected to the end side portion;
10. The magnetic head according to claim 1, wherein the bulging region is disposed so as to straddle a boundary between the base end side portion and the tip end side portion in the longitudinal direction of the suspension. suspension.
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