JP4761480B2 - Magnetic head suspension - Google Patents

Magnetic head suspension Download PDF

Info

Publication number
JP4761480B2
JP4761480B2 JP2008107465A JP2008107465A JP4761480B2 JP 4761480 B2 JP4761480 B2 JP 4761480B2 JP 2008107465 A JP2008107465 A JP 2008107465A JP 2008107465 A JP2008107465 A JP 2008107465A JP 4761480 B2 JP4761480 B2 JP 4761480B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
load beam
pair
load
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008107465A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009259338A (en
Inventor
泰夫 藤本
知 高杉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SANCALL CORPORATION
Original Assignee
SANCALL CORPORATION
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SANCALL CORPORATION filed Critical SANCALL CORPORATION
Priority to JP2008107465A priority Critical patent/JP4761480B2/en
Publication of JP2009259338A publication Critical patent/JP2009259338A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4761480B2 publication Critical patent/JP4761480B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び/又はライトする磁気ヘッドを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。   The present invention relates to a magnetic head suspension for supporting a magnetic head for reading and / or writing data on a storage medium such as a hard disk.

近年、磁気ヘッドによって記録媒体に対してデータをリード及び/又はライトするデータ記憶装置は、ノートブック型パーソナルコンピュータや携帯音楽プレーヤー等のモバイル機器においても広く利用されており、これに伴い、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションにはより高い耐衝撃性が求められるようになってきている。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションには、前記データ記憶装置を作動状態のままで地面に落下させてしまった場合等において、磁気ヘッドがディスク面を損傷させることを可及的に防止することが望まれる。
In recent years, data storage devices that read data from and / or write data to a recording medium using a magnetic head have been widely used in mobile devices such as notebook personal computers and portable music players. Higher shock resistance has been demanded for the magnetic head suspension that supports the head.
In other words, the magnetic head suspension is desired to prevent the magnetic head from damaging the disk surface as much as possible when the data storage device is dropped on the ground in the operating state. .

例えば、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドをディスク面に近づける方向の衝撃力が加えられた場合には、前記磁気ヘッドと前記ディスク面との間に存する空気膜によって前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突することをある程度は回避できる。
しかしながら、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドを前記ディスク面から離間させる方向へ一定以上の大きさの衝撃力が加わると、前記磁気ヘッドが前記ディスク面から離間する方向に跳躍し、この跳躍の揺れ戻しの際に前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突して、前記ディスク面及び前記磁気ヘッドが損傷する恐れがある。
For example, when an impact force is applied in the direction in which the magnetic head is brought closer to the disk surface to the data storage device in operation, the magnetic head is moved by the air film existing between the magnetic head and the disk surface. Collision with the disk surface can be avoided to some extent.
However, when an impact force of a certain magnitude or more is applied to the data storage device in operation in the direction of separating the magnetic head from the disk surface, the magnetic head jumps in the direction of separating from the disk surface. When jumping back and forth, the magnetic head may collide with the disk surface, and the disk surface and the magnetic head may be damaged.

従って、前記データ記憶装置の耐衝撃性を向上させるためには、外部から印可される衝撃力によって前記磁気ヘッドが跳躍動作を行うことを可及的に防止すること、逆に言うと、前記磁気ヘッドの跳躍動作を引き起こす衝撃力の加速度(限界加速度)を可及的に上げることが必要となる。   Therefore, in order to improve the impact resistance of the data storage device, it is possible to prevent the magnetic head from performing a jumping action as much as possible by an impact force applied from the outside. It is necessary to increase the acceleration (limit acceleration) of the impact force that causes the jumping motion of the head as much as possible.

前記磁気ヘッドは、前記データ記憶装置に装着される磁気ヘッドサスペンションに支持されている。
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドを前記ディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドが搭載されるヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えている。
The magnetic head is supported by a magnetic head suspension attached to the data storage device.
Specifically, the magnetic head suspension includes a load bending portion that generates a load for pressing the magnetic head toward the disk surface, a load beam portion for transmitting the load to the magnetic head, and the load bending. A support portion that supports the load beam portion via a portion, and a flexure portion that has a head mounting region on which the magnetic head is mounted and is welded to the load beam portion.

例えば、前記荷重曲げ部によって発生される前記荷重を増加させることによって、前記限界加速度を引き上げることが可能となる。
しかしながら、前記荷重は、前記ディスク面上での前記磁気ヘッドの浮上高さを制御するために適切な範囲に設定する必要がある。従って、前記荷重を増加させることで前記限界加速度を引き上げるという方法には、自ずと限界がある。
For example, it is possible to increase the limit acceleration by increasing the load generated by the load bending portion.
However, the load needs to be set in an appropriate range in order to control the flying height of the magnetic head on the disk surface. Therefore, the method of raising the limit acceleration by increasing the load naturally has a limit.

又、前記ロードビーム部の質量を低減させることで衝撃力が加わった際に前記ロードビーム部に付加される慣性力を小さくすることによっても、前記限界加速度を引き上げることが可能である。
しかしながら、前記ロードビーム部の質量を低減させる為には、前記ロードビーム部の板厚を薄くしたり、及び/又は、前記ロードビーム部に孔を形成する必要があり、その結果、前記ロードビーム部の剛性が低下し、これにより、振動特性及びロード/アンロード特性が劣化するという問題がある。
Further, the limit acceleration can be increased by reducing the inertial force applied to the load beam portion when an impact force is applied by reducing the mass of the load beam portion.
However, in order to reduce the mass of the load beam portion, it is necessary to reduce the plate thickness of the load beam portion and / or to form a hole in the load beam portion. There is a problem in that the rigidity of the portion is lowered, and thereby the vibration characteristics and the load / unload characteristics are deteriorated.

衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑える為のさらに他の構成として、前記ロードビーム部に、前記荷重曲げ部に接合される部分より基端側へ延びる延在部を設ける構成が提案されている(例えば、下記特許文献1〜4参照)。
この構成は、前記ロードビーム部のうち前記荷重曲げ部より先端側に位置する部分の質量と前記荷重曲げ部より基端側に位置する質量とを可及的に等しくすることにより、外部からの衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑えるものであり、前記ロードビーム部の剛性低下を招くことが無い点で有用である。
As another configuration for suppressing the jumping motion of the magnetic head when an impact force is applied, a configuration is proposed in which an extension portion extending from the portion joined to the load bending portion to the base end side is provided in the load beam portion. (For example, see Patent Documents 1 to 4 below).
In this configuration, by making the mass of the portion positioned on the distal end side of the load bending portion of the load beam portion and the mass positioned on the proximal end side of the load bending portion as much as possible, It suppresses the jumping operation of the magnetic head when an impact force is applied, and is useful in that it does not cause a decrease in rigidity of the load beam portion.

しかしながら、これらの特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記ロードビーム部は、前記支持部に片持ち支持された状態の前記荷重曲げ部の自由端部に接合されている。この構成では、衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部の支持点(即ち、前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部の接合点)がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。
従って、前記各特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の剛性低下を招くという問題は生じないものの、前記限界加速度を十分には引き上げることができない。
However, in the magnetic head suspensions described in these patent documents, the load beam portion is joined to the free end portion of the load bending portion in a state where the load beam portion is cantilevered by the support portion. In this configuration, when an impact force is applied, the support point of the load beam portion (that is, the junction point of the load beam portion and the load bending portion) greatly fluctuates in a direction perpendicular to the disk surface.
Therefore, although the magnetic head suspension described in each of the patent documents does not cause a problem that the rigidity of the load beam portion is reduced, the limit acceleration cannot be sufficiently increased.

さらに、前記磁気ヘッドサスペンションはアクチュエータの駆動に応じて前記磁気ヘッドをハードディスク等の記憶媒体上において径方向(シーク方向)へ高速移動させ、前記磁気ヘッドを目的のトラック上に正確に位置決めさせる部材であるから、振動特性、特に、前記ディスク面と平行なシーク方向の振動特性の向上(即ち、SWAYモードの共振周波数の高域化)が望まれている。
特開平9−082052号公報 特開平11−039808号公報 特開2004−348804号公報 特開2005−174506号公報
Further, the magnetic head suspension is a member that moves the magnetic head at high speed in a radial direction (seek direction) on a storage medium such as a hard disk in accordance with driving of an actuator, and accurately positions the magnetic head on a target track. Therefore, it is desired to improve vibration characteristics, particularly vibration characteristics in the seek direction parallel to the disk surface (that is, increase the resonance frequency of the SWAY mode).
Japanese Patent Laid-Open No. 9-082052 JP-A-11-039808 JP 2004-348804 A JP 2005-174506 A

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、耐衝撃性及びシーク方向の振動特性の双方を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。   The present invention has been made in view of the prior art, and an object thereof is to provide a magnetic head suspension capable of improving both impact resistance and vibration characteristics in the seek direction.

本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、前記磁気ヘッドサスペンションは前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第1及び第2支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第1及び第2支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第1及び第2延在領域とを有し、前記第1及び第2延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、前記ロードビーム部当接領域は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関し前記第1及び第2延在領域に対応した中央領域と、前記中央領域から先端側へ延びる先端領域とを有し、前記先端領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第1溶接点において、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。 In order to achieve the above object, the present invention provides a load bending portion for generating a load for pressing the magnetic head toward the disk surface, a load beam portion for transmitting the load to the magnetic head, and the load. A magnetic head suspension comprising a support portion for supporting the load beam portion via a bending portion, and a flexure portion having a head mounting region for supporting the magnetic head and welded to the load beam portion, The support portions are a pair of support pieces that extend from the body region and from both sides in the width direction of the body region to the distal end side and define a recess that opens to the distal end side between the body region and the longitudinal center line of the magnetic head suspension A pair of support pieces that are symmetrical with respect to each other, and the magnetic head suspension includes an elastic plate that is supported at both ends by the pair of support pieces, and the elastic plate includes the pair of support pieces. First and second support portion contact areas that are in contact with the support pieces and are welded at appropriate welding points, and loads that are in contact with the load beam portion and are welded at appropriate weld points in the recesses. A beam portion contact region, and first and second extending regions that connect the load beam portion contact region and the first and second support member contact regions, respectively. The second extending region is configured to act as the load bending portion by being twisted and elastically deformed around a load bending center line along the width direction of the magnetic head suspension, and the load beam portion contact region is configured to act as the magnetic field suspension portion. It has a central region relates longitudinal position of the head suspension corresponding to the first and second extension region, and a tip region extending distally from the central region, the tip region, at least the longitudinal Provided is a magnetic head suspension that is welded to both a load beam substrate that forms the load beam portion and a flexure substrate that forms the flexure portion at a pair of first welding points that are symmetrical with respect to a center line in the direction. .

ましくは、前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、且つ、前記弾性板は、前記一対の拡幅領域と当接し得るように前記ロードビーム部当接領域の前記先端領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域を有し得る。
そして、前記一対の外方延在領域及び前記一対の拡幅領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第2溶接点において互いに溶接される。
Good Mashiku, the flexure substrate is contact with the load beam substrate and a load beam portion contacting region to be welded in the proper welding point, the support from the load beam portion contacting region of the pair extending distally And a head mounting region connected to the free ends of the pair of support pieces and mounting the magnetic head, and the load beam portion abutting region beyond the load beam substrate and out of the width direction of the magnetic head suspension. A pair of widened regions extending in the direction, and the elastic plate magnetically extends from the tip region of the load beam portion contact region beyond the load beam substrate so as to be able to contact the pair of widened regions. A pair of outward extending regions extending outward in the head suspension width direction may be provided.
The pair of outwardly extending regions and the pair of widened regions are welded to each other at a pair of second welding points that are symmetrical with respect to at least the longitudinal center line.

さらに好ましくは、前記フレクシャ基板は、前記支持部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接される支持部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域に連結される一対のブリッジ領域であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対のブリッジ領域とを有し得る。
前記フレクシャ基板における前記ロードビーム部当接領域の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線より基端側へ延びる中央基端側延在部と、前記一対のブリッジ領域にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対の移行部とを有し得る。
前記中央基端側延在部は、前記長手方向中心線を基準にして対称配置された一又は複数の第3溶接点において前記ロードビーム基板及び前記弾性板の双方に溶接される。
前記中央基端側延在部と前記一対の移行部との間は、平面視において基端側へ開く凹状とされており、前記凹状の先端側は前記荷重曲げ中心線上に位置される。
More preferably, the flexure substrate extends from the both sides in the width direction of the load beam portion contact area to the proximal end side, and a support portion contact region that is contacted with the support portion and is welded at an appropriate welding point. A pair of bridge regions connected to the support portion contact region, the pair of bridge regions being symmetric with respect to the longitudinal center line.
The base end side of the load beam portion contact area in the flexure substrate is a central base end extending part extending from the load bending center line to the base end side in the center of the magnetic head suspension width direction, and the pair of bridge areas. There may be a pair of transition portions extending from both sides of the magnetic head suspension width direction to the base end side so as to be connected to each other, and a pair of transition portions that are symmetrical with respect to the longitudinal center line.
The central proximal end extending portion is welded to both the load beam substrate and the elastic plate at one or more third welding points arranged symmetrically with respect to the longitudinal center line.
A space between the central proximal end extending portion and the pair of transition portions is a concave shape that opens toward the proximal end in a plan view, and the concave distal end side is positioned on the load bending center line.

前記種々の構成において、前記磁気ヘッドサスペンションは、好ましくは、前記荷重曲げ中心線より基端側に位置し且つ平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備え得る。   In the various configurations, the magnetic head suspension is preferably an equilibrium mass body fixed to the load beam substrate so as to be located on the base end side with respect to the load bending center line and to be located in the concave portion in a plan view. Can be provided.

より好ましくは、前記平衡質量体は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられる。   More preferably, the balanced mass has a bent portion along the width direction of the magnetic head suspension, and the bent portion is arranged such that a region closer to the base end side from the bent portion moves away from the disk surface as going to the base end side. Bend at.

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部における一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第1及び第2支持部当接領域と、前記一対の支持片によって画される凹部内においてロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第1及び第2支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第1及び第2延在領域であって、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形する第1及び第2延在領域とを有する弾性板が、前記磁気ヘッドをディスク面に向けて押し付ける荷重を発生する荷重曲げ部として作用するように構成されているので、衝撃力が加えられた際に前記ロードビーム部と前記荷重曲げ部との接合点がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、耐衝撃性を向上させることができる。   According to the magnetic head suspension of the present invention, the first and second support portion contact areas that are in contact with the pair of support pieces in the support portion and are welded at appropriate welding points, and the pair of support pieces. A load beam portion contact area that is in contact with the load beam portion and is welded at an appropriate welding point, the load beam portion contact area, and the first and second support portion contact areas. An elastic plate having first and second extending regions that are connected to each other and that are torsionally elastically deformed around a load bending center line along the magnetic head suspension width direction. Since the magnetic head is configured to act as a load bending portion that generates a load for pressing the magnetic head toward the disk surface, the load beam portion and the load are applied when an impact force is applied. The junction point between the bent portion is changed in a direction perpendicular to the disk surface can be effectively prevented, thereby making it possible to improve impact resistance.

さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、前記弾性板における前記ロードビーム部当接領域が前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関し前記第1及び第2延在領域に対応した中央領域と前記中央領域から先端側へ延びる先端領域とを有しており、前記先端領域が、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第1溶接点において前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されており、前記フレクシャ基板が前記ロードビーム基板の剛性を補強する補強部材としても作用するように構成されている。従って、質量を増加させることなく、前記磁気ヘッドサスペンションのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を向上させることができる(即ち、SWAYモードの共振周波数を高域化させることができる)。 Further, according to the magnetic head suspension according to the present invention, the load beam portion contact area in the elastic plate has a central area corresponding to the first and second extending areas with respect to a longitudinal position of the magnetic head suspension, and A load beam that forms the load beam portion at a pair of first welding points that are symmetrical with respect to at least the longitudinal center line. It is welded to both the substrate and the flexure substrate forming the flexure portion, and the flexure substrate is configured to also act as a reinforcing member that reinforces the rigidity of the load beam substrate. Therefore, it is possible to improve the rigidity in the seek direction of the portion of the magnetic head suspension located on the tip side of the load bending center line without increasing the mass (that is, increasing the resonance frequency of the SWWAY mode). Can be made).

実施の形態1
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい一実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図1(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1の上面図(ディスク面とは反対側から視た図)及び下面図(前記ディスク面の側から見た図)を示す。
又、図2に、図1(b)におけるII部拡大図を示す。
Embodiment 1
Hereinafter, a preferred embodiment of a magnetic head suspension according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
1A and 1B are a top view (viewed from the side opposite to the disk surface) and a bottom view (viewed from the disk surface side) of the magnetic head suspension 1 according to the present embodiment, respectively. Figure).
FIG. 2 shows an enlarged view of a portion II in FIG.

図1及び図2に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション1は、磁気ヘッド100をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部20と、前記荷重を磁気ヘッド100に伝達するためのロードビーム部30と、前記荷重曲げ部20を介して前記ロードビーム部30を支持する支持部10と、前記磁気ヘッド100を支持するヘッド搭載領域43を有し、前記ロードビーム部30に溶接されるフレクシャ部40とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic head suspension 1 includes a load bending portion 20 that generates a load for pressing the magnetic head 100 toward the disk surface, and a load for transmitting the load to the magnetic head 100. A load beam portion 30, a support portion 10 that supports the load beam portion 30 via the load bending portion 20, and a head mounting region 43 that supports the magnetic head 100 are welded to the load beam portion 30. The flexure unit 40 is provided.

前記支持部10は、前記荷重曲げ部20を介して前記ロードビーム部30を支持する為の部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
本実施の形態においては、前記支持部10は、図1(a)及び(b)に示すように、基端部がアクチュエータの回転中心に連結されるアームとされている。これに代えて、前記支持部10を、キャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部を備えたベースプレートとすることも可能である。
前記支持部10は、例えば、厚さ0.1mm〜0.8mmのステンレス板によって好適に形成される。
The support portion 10 is a member for supporting the load beam portion 30 via the load bending portion 20, and has a relatively high rigidity.
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1A and 1B, the support portion 10 is an arm whose base end portion is coupled to the rotation center of the actuator. Alternatively, the support portion 10 may be a base plate provided with a boss portion that is joined to the tip of the carriage arm by swaging.
The support part 10 is preferably formed by a stainless plate having a thickness of 0.1 mm to 0.8 mm, for example.

本実施の形態においては、前記支持部10は、図1及び図2に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション1の幅方向中央に先端側に開く凹部13を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片12を有している。
即ち、前記支持部10は、基端部が前記アクチュエータに直接又は間接的に連結される平板状の本体領域11と、前記本体領域11の先端部における幅方向両端側から先端側へ延びる前記一対の支持片12とを有しており、前記一対の支持片12の間に前記凹部13が画されている。
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the support portion 10 has a tip from both sides in the width direction so as to define a recess 13 that opens to the tip side in the center in the width direction of the magnetic head suspension 1. It has a pair of support piece 12 extended to the side.
That is, the support portion 10 includes a flat plate-like main body region 11 whose base end portion is directly or indirectly connected to the actuator, and the pair extending from the both ends in the width direction at the front end portion of the main body region 11 to the front end side. And the recess 13 is defined between the pair of support pieces 12.

前記ロードビーム部30は、前述の通り、前記荷重曲げ部20によって発生される荷重を前記磁気ヘッド100に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
前記ロードビーム部30は、所定形状に成形されたロードビーム基板130によって形成されている。
As described above, the load beam portion 30 is a member for transmitting the load generated by the load bending portion 20 to the magnetic head 100, and therefore a predetermined rigidity is required.
The load beam portion 30 is formed by a load beam substrate 130 formed into a predetermined shape.

前記ロードビーム基板130の板厚を前記荷重曲げ部20を形成する下記弾性板60や前記フレクシャ部40を形成するフレクシャ基板140の板厚よりも厚くすることで前記ロードビーム部30の剛性を確保することも可能であるし、及び/又は、前記ロードビーム基板130の両側縁にフランジ部35を設けることによって前記ロードビーム基板130の厚みを前記フレクシャ基板140と同程度にしつつ前記ロードビーム部30の剛性を確保することも可能である。   The rigidity of the load beam portion 30 is ensured by making the plate thickness of the load beam substrate 130 larger than the plate thickness of the following elastic plate 60 that forms the load bending portion 20 and the flexure substrate 140 that forms the flexure portion 40. And / or by providing flange portions 35 on both side edges of the load beam substrate 130 so that the load beam substrate 130 has the same thickness as the flexure substrate 140 and the load beam portion 30. It is also possible to ensure the rigidity.

なお、本実施の形態においては、図1(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム基板130の両側縁に前記フランジ部35を設けることで、前記ロードビーム基板130の板厚を可及的に薄くしつつ前記ロードビーム部30の剛性を確保している。
前記ロードビーム基板130は、例えば、厚さ0.015mm〜0.1mm程度のステンレス板とされる。
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1A and 1B, the flange portions 35 are provided on both side edges of the load beam substrate 130, thereby reducing the thickness of the load beam substrate 130. The rigidity of the load beam portion 30 is ensured while making it as thin as possible.
The load beam substrate 130 is, for example, a stainless steel plate having a thickness of about 0.015 mm to 0.1 mm.

前記ロードビーム部30の先端部には、図1(a)に示すように、所謂ディンプルと呼ばれる突起31が設けられている。
前記突起31は、ディスク面に近接する方向に、例えば、0.04mm〜0.08mm程度突出されている。この突起31は、前記フレクシャ部40における前記ヘッド搭載領域43の裏面(ディスク面とは反対側の面)に接触しており、前記荷重はこの突起31を介して前記フレクシャ部40のヘッド搭載領域43に伝達される。
As shown in FIG. 1A, a projection 31 called a so-called dimple is provided at the tip of the load beam portion 30.
The protrusion 31 protrudes, for example, about 0.04 mm to 0.08 mm in a direction close to the disk surface. The protrusion 31 is in contact with the back surface (the surface opposite to the disk surface) of the head mounting area 43 in the flexure section 40, and the load is applied to the head mounting area of the flexure section 40 through the protrusion 31. 43.

前記フレクシャ部40は、前記磁気ヘッド100を支持する為の部材である。
本実施の形態においては、前記フレクシャ部40は、図1及び図2に示すように、前記磁気ヘッド100を支持するヘッド搭載領域43を有し、前記ロードビーム基板130に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるフレクシャ基板140と、前記フレクシャ基板140に積層された絶縁層150と、前記絶縁層150に積層された導体層155とを一体的に有する配線一体型とされている。
The flexure part 40 is a member for supporting the magnetic head 100.
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the flexure section 40 has a head mounting region 43 that supports the magnetic head 100, is in contact with the load beam substrate 130, and is appropriately A wiring integrated type integrally including a flexure substrate 140 to be welded at a welding point, an insulating layer 150 stacked on the flexure substrate 140, and a conductor layer 155 stacked on the insulating layer 150 is provided.

前記フレクシャ基板140は、例えば、厚さ0.015mm〜0.025mm程度のステンレス板とされる。
詳しくは、前記フレクシャ基板140は、図1(b)及び図2に示すように、前記ロードビーム基板130に当接され且つ適宜の溶接点51において前記ロードビーム基板130に溶接されるロードビーム部当接領域141と、前記ロードビーム部当接領域141から先端側へ延びる一対の支持片142と、前記一対の支持片142の自由端部に連結され、前記磁気ヘッド100が搭載される前記ヘッド搭載領域43とを有している。
The flexure substrate 140 is, for example, a stainless plate having a thickness of about 0.015 mm to 0.025 mm.
Specifically, as shown in FIGS. 1B and 2, the flexure substrate 140 is in contact with the load beam substrate 130 and is welded to the load beam substrate 130 at an appropriate welding point 51. The head on which the magnetic head 100 is mounted, connected to a contact region 141, a pair of support pieces 142 extending from the load beam portion contact region 141 toward the tip side, and free ends of the pair of support pieces 142 And a mounting area 43.

前記ヘッド搭載領域43は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド100を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域43の裏面には前記突起31が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域43は前記突起31を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
The head mounting area 43 supports the magnetic head 100 on a surface facing the disk surface.
As described above, the protrusion 31 is in contact with the back surface of the head mounting area 43. Accordingly, the head mounting area 43 can flexibly swing in the roll direction and the pitch direction with the protrusion 31 as a fulcrum. It has become.

本実施の形態においては、図1(b)及び図2に示すように、前記フレクシャ基板140は、さらに、前記支持部10に当接され且つ適宜の溶接点52において溶接される支持部当接領域144と、前記ロードビーム部当接領域141の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域144に連結される一対のブリッジ領域145とを有している。
前記一対のブリッジ領域145は、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部当接領域141と前記支持部当接領域144との間を連結するように前記凹部13内に延びており、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション1の長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称とされている。
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1B and 2, the flexure substrate 140 is further brought into contact with the support portion 10 and is welded at an appropriate welding point 52. The region 144 has a pair of bridge regions 145 that extend from both sides in the width direction of the load beam portion contact region 141 toward the base end side and are connected to the support portion contact region 144.
As shown in FIGS. 1 and 2, the pair of bridge regions 145 extends into the recess 13 so as to connect the load beam portion contact region 141 and the support portion contact region 144. In addition, the magnetic head suspension 1 is symmetrical with respect to the longitudinal center line CL.

図1及び図2に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション1は、さらに、前記支持部10における前記一対の支持片12に両持ち支持された弾性板60を有しており、前記弾性板60が前記荷重曲げ部20として作用している。   As shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic head suspension 1 further includes an elastic plate 60 that is supported at both ends by the pair of support pieces 12 in the support portion 10. It acts as the load bending portion 20.

図3(a)に、前記弾性板60の拡大下面図を示す。
前記弾性板60は、図3(a)に示すように、前記一対の支持片12にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点53(図1(b)参照)において溶接される第1及び第2支持部当接領域61,62と、前記凹部13内において前記ロードビーム部30に当接され且つ少なくとも後述する下記一対の第1溶接点21において溶接されるロードビーム部当接領域65と、前記ロードビーム部当接領域65と前記第1及び第2支持部当接領域61,62との間をそれぞれ連結する第1及び第2延在領域71,72とを有している。
FIG. 3A shows an enlarged bottom view of the elastic plate 60.
As shown in FIG. 3A, the elastic plate 60 is in contact with the pair of support pieces 12 and is welded at appropriate welding points 53 (see FIG. 1B). The support portion contact regions 61 and 62, the load beam portion contact region 65 that contacts the load beam portion 30 in the recess 13 and is welded at least at the following pair of first welding points 21, which will be described later. First and second extending regions 71 and 72 that connect the load beam portion contact region 65 and the first and second support portion contact regions 61 and 62, respectively.

前記弾性板60は、前記第1及び第2延在領域71,72が磁気ヘッドサスペンション1の幅方向に沿った荷重曲げ中心線BL回りに捩れ弾性変形することで前記荷重を発生するように構成されている。   The elastic plate 60 is configured such that the first and second extending regions 71 and 72 are twisted and elastically deformed around a load bending center line BL along the width direction of the magnetic head suspension 1 to generate the load. Has been.

即ち、前記磁気ヘッド100がディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面上で浮上する状態における前記第1及び第2延在領域71,72の荷重曲げ中心線BL回りの捩れ弾性変形動作によって生じる前記弾性板60の保有弾性が前記磁気ヘッド100をディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重として作用し、この押し付け荷重が前記空気圧とつり合うことで、前記磁気ヘッド100は作動状態において前記ディスク面上で浮上する。   That is, a torsional elastic deformation operation around the load bending center line BL of the first and second extending regions 71 and 72 in a state where the magnetic head 100 receives air pressure accompanying rotation of the disk surface and floats on the disk surface. The elastic elasticity of the elastic plate 60 generated by the above-described elastic force acts as a pressing load that presses the magnetic head 100 toward the disk surface, and this pressing load balances with the air pressure, so that the magnetic head 100 is on the disk surface in an operating state. To surface.

前記弾性板60は、前記荷重曲げ中心線BL回りの捩り動作によって前記荷重を発生し得るような部材によって形成される。前記弾性板60は、例えば、厚さ0.02mm〜0.1mm程度のステンレス板によって好適に形成される。   The elastic plate 60 is formed of a member that can generate the load by a twisting operation around the load bending center line BL. The elastic plate 60 is preferably formed by a stainless plate having a thickness of about 0.02 mm to 0.1 mm, for example.

好ましくは、前記弾性板60の前記第1及び第2延在領域71,72は、前記磁気ヘッドサスペンション1がデータ記憶装置に実装される前の状態において、前記第1及び第2支持部当接領域61,62が前記一対の支持片12によって前記ディスク面に略平行に保持された状態で、前記ロードビーム部当接領域65における磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側が前記ディスク面に対して近接及び離間するように、前記荷重曲げ中心線BL回りに捩り変形される。   Preferably, the first and second extending regions 71 and 72 of the elastic plate 60 are in contact with the first and second support portions in a state before the magnetic head suspension 1 is mounted on the data storage device. In a state where the regions 61 and 62 are held substantially parallel to the disk surface by the pair of support pieces 12, the leading end side and the base end side in the longitudinal direction of the magnetic head suspension in the load beam portion contact region 65 are with respect to the disk surface. And torsionally deform around the load bending center line BL so as to approach and separate.

斯かる構成においては、前記一対の第1及び第2延在領域71,72が前記荷重曲げ中心線BL回りに捩り戻されて所定の押し付け荷重を発生する状態で、前記磁気ヘッドサスペンション1がデータ記憶装置に実装される。そして、前記磁気ヘッド100が前記ディスク面上に位置する状態で前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受ける磁気ヘッドサスペンションの作動(ロード)時には、前記空気圧を受けた状態での前記一対の第1及び第2延在領域71,72の前記荷重曲げ中心線BL回りの捩り戻り弾性変形によって生じる押し付け荷重が前記空気圧と釣り合うことで前記磁気ヘッド100がディスク面上で浮上する。従って、前記押し付け荷重の制御を安定して行うことができる。   In such a configuration, the magnetic head suspension 1 is in a state where the pair of first and second extending regions 71 and 72 are twisted back around the load bending center line BL to generate a predetermined pressing load. Mounted on a storage device. When the magnetic head suspension is actuated (loaded) to receive air pressure accompanying rotation of the disk surface with the magnetic head 100 positioned on the disk surface, the pair of first and first The magnetic head 100 floats on the disk surface when the pressing load generated by the torsional elastic deformation around the load bending center line BL of the second extending regions 71 and 72 is balanced with the air pressure. Therefore, the control of the pressing load can be stably performed.

本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記弾性板60は前記支持部10のディスク面側に位置している。
即ち、前記支持部当接領域61,62は、前記一対の支持片12におけるディスク面側の下面に当接された状態で溶接点53において溶接固定されている。
In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the elastic plate 60 is located on the disk surface side of the support portion 10.
In other words, the support portion contact areas 61 and 62 are welded and fixed at the welding point 53 in a state of being in contact with the lower surface of the pair of support pieces 12 on the disk surface side.

一方、前記ロードビーム基板130は、図1(a)に示すように、前記弾性板60の前記ディスク面とは反対側に位置し、且つ、前記フレクシャ基板140は、図1(b)及び図2に示すように、前記ロードビーム基板130及び前記弾性板60の前記ディスク面側に位置している。
即ち、前記ロードビーム基板130の下面(前記ディスク面側の面)が前記弾性板60における前記ロードビーム部当接領域65の上面(前記ディスク面とは反対側の面)に当接されている。
一方、前記フレクシャ基板140の上面が、前記弾性板60が存在しない領域においては前記ロードビーム基板130の下面(前記ディスク面側の面)に当接され、且つ、前記弾性板60が存在する領域においては前記弾性板60の下面(前記ディスク面側の面)に当接されている。
On the other hand, as shown in FIG. 1A, the load beam substrate 130 is located on the opposite side of the elastic plate 60 from the disk surface, and the flexure substrate 140 is formed as shown in FIGS. As shown in FIG. 2, the load beam substrate 130 and the elastic plate 60 are located on the disk surface side.
That is, the lower surface (the surface on the disk surface side) of the load beam substrate 130 is in contact with the upper surface (the surface on the side opposite to the disk surface) of the load beam portion contact area 65 of the elastic plate 60. .
On the other hand, the upper surface of the flexure substrate 140 is in contact with the lower surface (the surface on the disk surface side) of the load beam substrate 130 in the region where the elastic plate 60 does not exist, and the elastic plate 60 exists. Is in contact with the lower surface of the elastic plate 60 (the surface on the disk surface side).

このように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1においては、両端支持された状態の前記弾性板60が前記荷重曲げ部20として作用するように構成されており、これにより、下記効果を奏し得るようになっている。   Thus, in the magnetic head suspension 1 according to the present embodiment, the elastic plate 60 in a state where both ends are supported is configured to act as the load bending portion 20, thereby achieving the following effects. To get.

即ち、従来の磁気ヘッドサスペンションにおける荷重曲げ部は、基端部がアーム等の支持部に支持され且つ自由端部においてロードビーム部を支持する片持ちバネ形態とされている。
斯かる従来構成においては、外部からの衝撃力印可時に、ロードビーム部の支持点(即ち、ロードビーム部及び荷重曲げ部の接合点)がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。従って、仮に、ロードビーム部を、剛性低下を招くことなく軽量化したり、及び/又は、ロードビーム部の支持点を基準にして該ロードビーム部の先端側及び基端側の質量平衡化を行ったとしても、衝撃力が加わった際に磁気ヘッドがディスク面に直交する方向に跳躍することを十分には抑えることはできない。
That is, the load bending portion in the conventional magnetic head suspension is in the form of a cantilever spring in which the base end portion is supported by a supporting portion such as an arm and the free end portion supports the load beam portion.
In such a conventional configuration, when an impact force is applied from the outside, the support point of the load beam portion (that is, the joint point between the load beam portion and the load bending portion) greatly varies in the direction perpendicular to the disk surface. Therefore, if the load beam portion is lightened without causing a decrease in rigidity, and / or the mass balance of the load beam portion on the front end side and the base end side is performed based on the support point of the load beam portion. However, it is not possible to sufficiently prevent the magnetic head from jumping in the direction perpendicular to the disk surface when an impact force is applied.

これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1においては、両端支持された前記弾性板60が前記荷重曲げ部20として作用するように構成されている。
斯かる構成によれば、外部から衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部30の支持点(即ち、前記ロードビーム基板130と前記弾性板60との接合点)がディスク面と直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、衝撃力が加わった際の前記磁気ヘッド100の跳躍動作を抑え、前記磁気ヘッドサスペンション1の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。
On the other hand, in the magnetic head suspension 1 according to the present embodiment, the elastic plate 60 supported at both ends is configured to act as the load bending portion 20.
According to such a configuration, when an impact force is applied from the outside, the support point of the load beam portion 30 (that is, the junction point between the load beam substrate 130 and the elastic plate 60) is orthogonal to the disk surface. Thus, it is possible to effectively prevent the magnetic head suspension 1 from jumping, and to suppress the jumping operation of the magnetic head 100 when an impact force is applied, thereby greatly improving the shock resistance of the magnetic head suspension 1.

図3(b)に示すように、前記第1及び第2延在領域71,72の先端側の辺及び基端側の辺を直線状とすることも可能であるが、好ましくは、前記第1及び第2延在領域71,72の先端側の辺及び基端側の辺は、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側に開く凹状とされる。
斯かる構成を備えることにより、前記第1及び第2延在領域71,72が荷重曲げ中心線BL回りに無理なく捩り弾性変形動作を行うことができ、これにより、荷重バラツキの低減(荷重安定化)及びばね定数のバラツキ低減(ばね定数安定化)を図ることができる。
本実施の形態においては、図3(a)に示すように、前記第1及び第2延在領域71,72の先端側の辺及び基端側の辺は、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側へ開く湾曲形状とされている。
As shown in FIG. 3B, the first and second extending regions 71 and 72 may have a straight side and a proximal side, but preferably, the first and second extended regions 71 and 72 may be linear. The side on the distal end side and the side on the proximal end side of each of the first and second extending regions 71 and 72 are concave shapes that open to the distal end side and the proximal end side, respectively, in plan view.
By providing such a configuration, the first and second extending regions 71 and 72 can perform a torsional elastic deformation operation around the load bending center line BL without difficulty, thereby reducing load variation (load stability). ) And variation in the spring constant (stabilization of the spring constant) can be achieved.
In the present embodiment, as shown in FIG. 3 (a), the side on the distal end side and the side on the proximal end side of the first and second extending regions 71, 72 are respectively the distal end side and the base side in plan view. The curved shape opens to the end side.

さらに、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1においては、図1〜図3に示すように、前記弾性板60における前記ロードビーム部当接領域65のうち前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線CLを基準にして左右対称な一対の第1溶接点21において、前記ロードビーム基板130及び前記フレクシャ基板140の双方に溶接されており、これにより、耐衝撃性の悪化を招くことなく、前記磁気ヘッドサスペンション1のうち前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する部分のシーク方向(ディスク面と平行な方向)の剛性を高め、主共振モードである首振りモード(SWAYモード)の共振周波数を向上させている。   Furthermore, in the magnetic head suspension 1 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 1 to 3, the load beam portion abutment region 65 of the elastic plate 60 is located on the tip side of the load bending center line BL. The portion located is welded to both the load beam substrate 130 and the flexure substrate 140 at least at a pair of first welding points 21 that are symmetrical with respect to the longitudinal center line CL. The main resonance mode is achieved by increasing the rigidity in the seek direction (the direction parallel to the disk surface) of the portion of the magnetic head suspension 1 located on the tip side of the load bending center line BL without deteriorating impact properties. The resonance frequency of the swing mode (SWAY mode) is improved.

即ち、前記ロードビーム基板130の板厚を厚くすることで前記磁気ヘッドサスペンション1のうち前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることも可能であるが、この構成では、前記ロードビーム部30の質量が増加し、これにより、耐衝撃性が悪化する。   That is, by increasing the thickness of the load beam substrate 130, it is possible to increase the rigidity in the seek direction of the portion of the magnetic head suspension 1 located on the front end side of the load bending center line BL. In the configuration, the mass of the load beam portion 30 is increased, and the impact resistance is deteriorated.

これに対し、本実施の形態においては、前記弾性板60における前記ロードビーム部当接領域65のうち前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する部分と前記ロードビーム基板130と前記フレクシャ基板140とが、少なくとも前記長手方向中心線CLを基準にして左右対称な一対の第1溶接点21において、溶接されている。
斯かる構成によれば、前記フレクシャ基板140が前記ロードビーム基板130の剛性を補強する補強部材としても作用することになり、従って、前記ロードビーム基板130の板厚を厚くすることなく、前記磁気ヘッドサスペンション1のうち前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることができる。
On the other hand, in the present embodiment, a portion of the elastic plate 60 located on the tip side of the load bending center line BL, the load beam substrate 130, and the flexure substrate 140 in the load beam portion contact region 65. Are welded at a pair of first welding points 21 that are symmetrical with respect to at least the longitudinal center line CL.
According to such a configuration, the flexure substrate 140 also acts as a reinforcing member that reinforces the rigidity of the load beam substrate 130, and thus the magnetic field without increasing the thickness of the load beam substrate 130. It is possible to increase the rigidity in the seek direction of a portion of the head suspension 1 that is located on the tip side of the load bending center line BL.

好ましくは、図1及び図2に示すように、前記フレクシャ基板140は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記ロードビーム基板130と共に前記弾性板60に溶接される部分と前記ロードビーム部当接領域141の先端部分との間において前記ロードビーム部当接領域141から磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ前記ロードビーム基板130を越えて延びる一対の拡幅領域148であって、長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称とされた一対の拡幅領域148を有し得る。
前記一対の拡幅領域148を備えることにより、前記ロードビーム部30に対する前記フレクシャ基板140によるシーク方向剛性補強効果をより向上させることができる。
Preferably, as shown in FIGS. 1 and 2, the flexure substrate 140 has a portion welded to the elastic plate 60 together with the load beam substrate 130 and the load beam portion contact area 141 in the longitudinal direction of the magnetic head suspension. A pair of widened regions 148 extending beyond the load beam substrate 130 from the load beam portion abutting region 141 outward in the width direction of the magnetic head suspension with respect to the front end portion of the magnetic head suspension, with reference to the longitudinal center line CL. A pair of widened regions 148 that are symmetrical with respect to each other.
By providing the pair of widened regions 148, the effect of reinforcing the rigidity in the seek direction by the flexure substrate 140 with respect to the load beam portion 30 can be further improved.

前記一対の拡幅領域148は、例えば、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形する際に隣接するフレクシャ基板同士を繋ぐブリッジ部を利用して形成することができる。
即ち、通常、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形するが、その際、前記フレクシャ基板が変形することを防止する為に、隣接するフレクシャ基板同士がブリッジ部で繋がれた状態のプリ成形体を形成し、その後に、前記ブリッジ部を切断して前記フレクシャ基板を形成する。
このような製造方法で前記フレクシャ基板を形成する場合において、好ましくは、切断された後の前記ブリッジ部によって前記拡幅領域148が形成されるように、前記プリ成形体を形成することができる。
斯かる製造方法によれば、実質的に製造工程を増加させることなく、前記拡幅領域148を備えた前記フレクシャ基板140を得ることができる。
The pair of widened regions 148 can be formed by using, for example, a bridge portion that connects adjacent flexure substrates when a plurality of flexure substrates are formed from a single sheet material.
That is, usually, a plurality of flexure substrates are formed from a single sheet material, and in this case, in order to prevent the flexure substrates from being deformed, adjacent flexure substrates are connected by a bridge portion. A pre-molded body is formed, and then the bridge portion is cut to form the flexure substrate.
In the case of forming the flexure substrate by such a manufacturing method, preferably, the pre-molded body can be formed such that the widened region 148 is formed by the bridge portion after being cut.
According to such a manufacturing method, the flexure substrate 140 having the widened region 148 can be obtained without substantially increasing the number of manufacturing steps.

なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記ロードビーム基板130の両側縁に前記フランジ部35が設けられているが、前記フランジ部35は、図1(a)に示すように、前記ディスク面から離間する方向へ折り曲げられており、且つ、前記フレクシャ基板140は、図1(b)及び図2に示すように、前記ロードビーム基板130におけるディスク面側の下面に当接されている。
従って、前記フランジ部35に抵触することなく、前記フレクシャ基板140に前記拡幅領域148を備えることができる。
In the present embodiment, as described above, the flange portions 35 are provided on both side edges of the load beam substrate 130. As shown in FIG. The flexure substrate 140 is bent in a direction away from the disc surface, and the lower surface of the load beam substrate 130 on the disc surface side is in contact with the flexure substrate 140 as shown in FIGS. .
Therefore, the widened region 148 can be provided in the flexure substrate 140 without touching the flange portion 35.

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1は、前記フレクシャ基板140と前記ロードビーム基板130との接合を強固にしつつ、前記弾性板60が前記荷重曲げ中心線BL回りに容易に捩り弾性変形動作を行えるように、さらに下記構成を備えている。   In the magnetic head suspension 1 according to the present embodiment, the elastic plate 60 easily twists and elastically deforms around the load bending center line BL while strengthening the bonding between the flexure substrate 140 and the load beam substrate 130. The following configuration is further provided so that it can be performed.

即ち、図2に示すように、前記フレクシャ基板14における前記ロードビーム部当接領域141の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線BLより基端側へ延びる中央基端側延在部141aと、前記一対のブリッジ領域145にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部141bであって、前記長手方向中心線CLを基準にして互いに対称とされた一対の移行部141bとを有している。   That is, as shown in FIG. 2, the base end side of the load beam portion contact area 141 in the flexure substrate 14 is a central base end extending from the load bending center line BL to the base end side in the center of the magnetic head suspension width direction. A pair of transition portions 141b extending from both sides of the magnetic head suspension width direction to the base end side so as to be connected to the pair of bridge regions 145, respectively, on the basis of the longitudinal center line CL. It has a pair of transition parts 141b made symmetrical.

斯かる構成において、前記中央基端側延在部141aは、図2に示すように、前記長手方向中心線CLを基準にして対称配置された一又は複数の第3溶接点25(図示の形態においては長手方向中心線CL上に位置する一つの溶接点25)において前記ロードビーム基板130及び前記弾性板60の双方に溶接されており、これにより、前記フレクシャ基板140と前記ロードビーム基板130とを強固に接合させている。   In such a configuration, as shown in FIG. 2, the central proximal end extending portion 141a has one or a plurality of third welding points 25 (in the form shown in the figure) arranged symmetrically with respect to the longitudinal center line CL. Are welded to both the load beam substrate 130 and the elastic plate 60 at one welding point 25) located on the longitudinal center line CL, whereby the flexure substrate 140 and the load beam substrate 130 are Are firmly joined.

さらに、前記フレクシャ基板140における前記ロードビーム当接領域141の基端側は、図2に示すように、前記中央基端側延在部141aと前記一対の移行部141bとの間の部分141cが平面視において基端側へ開く凹状とされており、且つ、前記凹状の先端側が前記荷重曲げ中心線BL上に位置されている。
斯かる構成によれば、前記弾性板60の前記荷重曲げ中心線BL回りの捩り弾性変形動作に対して、前記フレクシャ基板140の剛性が悪影響を及ぼすことを可及的に防止できる。
Further, as shown in FIG. 2, the base end side of the load beam contact region 141 in the flexure substrate 140 has a portion 141c between the central base end side extending portion 141a and the pair of transition portions 141b. It is a concave shape that opens to the proximal end side in a plan view, and the concave distal end side is positioned on the load bending center line BL.
According to such a configuration, it is possible to prevent the rigidity of the flexure substrate 140 from adversely affecting the torsional elastic deformation operation around the load bending center line BL of the elastic plate 60 as much as possible.

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1は、図1及び図2に示すように、さらに、前記荷重曲げ中心線BLより基端側に位置し且つ平面視において前記凹部13内に位置するように前記ロードビーム基板130に固着された平衡質量体200を備えており、これにより、前記荷重曲げ部20として作用する前記弾性板60に支持される部材の荷重曲げ中心線BLを基準にした先端側及び基端側の質量平衡化を図っている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic head suspension 1 according to the present embodiment is further positioned on the base end side with respect to the load bending center line BL and in the recess 13 in plan view. The balance mass body 200 fixed to the load beam substrate 130 is provided, and thereby, the distal end side with respect to the load bending center line BL of the member supported by the elastic plate 60 acting as the load bending portion 20. In addition, the mass balance on the base end side is achieved.

具体的には、前記ロードビーム基板130は、図1及び図2に示すように、前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する先端領域131と、前記荷重曲げ中心線BLより基端側に位置する基端領域132とを有している。
なお、前記ロードビーム基板130は、前記先端領域131から先端側へ延びるリフトタブ領域133をさらに有している。このリフトタブ領域133は、前記磁気ヘッドサスペンション1Aのロード/アンロードの切換を行う際に使用される。即ち、前記磁気ヘッドサスペンション1Aの非作動(アンロード)時に、前記磁気ヘッド100が前記ディスク面の外方に位置するように前記磁気ヘッドサスペンションがシーク方向へ移動する際に、前記リフトタブ領域133がデータ記憶装置におけるランプに係合する。斯かる構成により、前記磁気ヘッドサスペンション1Aのアンロード時における耐衝撃性をアップさせることができる。
Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the load beam substrate 130 includes a distal end region 131 positioned on the distal end side from the load bending center line BL and a proximal end side from the load bending center line BL. And a proximal region 132 located.
The load beam substrate 130 further has a lift tab region 133 extending from the tip region 131 to the tip side. The lift tab area 133 is used when switching between loading / unloading of the magnetic head suspension 1A. That is, when the magnetic head suspension moves in the seek direction so that the magnetic head 100 is located outside the disk surface when the magnetic head suspension 1A is not operated (unloaded), the lift tab region 133 is formed. Engage with a ramp in the data storage device. With such a configuration, it is possible to improve impact resistance when the magnetic head suspension 1A is unloaded.

前記平衡質量体200は、図1及び図2に示すように、前記荷重曲げ中心線BLより基端側に位置し且つ平面視において前記凹部13内に位置するように前記ロードビーム基板130の前記基端領域132に溶接によって固着されている。
斯かる平衡質量体200を設けることにより、前記基端領域132を可及的に短くしつつ、前記荷重曲げ中心線BLを基準にして先端側に位置する部分の質量と基端側に位置する部分の質量との平衡化を図ることができ、これにより、衝撃力が加わった際の磁気ヘッド跳躍動作を有効に抑え、耐衝撃特性を向上させることができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the balance mass body 200 is positioned on the base end side of the load bending center line BL and in the recess 13 in a plan view. The proximal end region 132 is fixed by welding.
By providing such a balanced mass body 200, the base end region 132 is made as short as possible, and the mass of the portion positioned on the front end side with respect to the load bending center line BL is positioned on the base end side. It is possible to achieve an equilibrium with the mass of the portion, thereby effectively suppressing the jumping operation of the magnetic head when an impact force is applied and improving the impact resistance characteristics.

詳しくは、前記平衡質量体200は、前記ロードビーム基板130における前記基端領域132の上面に当接され且つ適宜の溶接点55,56において溶接されるロードビーム部当接領域210と、前記ロードビーム部当接領域210から前記凹部13内において基端側へ延びる基端側延在領域220とを有している。   Specifically, the balance mass body 200 is in contact with the upper surface of the base end region 132 of the load beam substrate 130 and is welded at appropriate welding points 55 and 56, and the load beam portion abutment region 210. A proximal end extending region 220 extending from the beam portion abutting region 210 to the proximal end side in the recess 13 is provided.

本実施の形態においては、図2に示すように、前記平衡質量体200の前記ロードビーム部当接領域210は、前記長手方向中央線CLを基準にして対称に配置された一対の先端側溶接点55において前記ロードビーム基板130及び前記弾性板60の双方に溶接され、且つ、前記一対の先端側溶接点55より基端側において前記長手方向中央線CLを基準にして対称に配置された一対の基端側溶接点56において前記ロードビーム基板130に溶接されている。
前記平衡質量体200は、例えば、厚さ0.05mm〜0.4mm程度の金属板によって形成され得る。
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the load beam portion contact area 210 of the balanced mass body 200 is a pair of front end side welds arranged symmetrically with respect to the longitudinal center line CL. A pair of points 55 welded to both the load beam substrate 130 and the elastic plate 60 and arranged symmetrically with respect to the longitudinal center line CL on the proximal side of the pair of distal end side welding points 55. Are welded to the load beam substrate 130 at the base end side welding point 56.
The equilibrium mass body 200 may be formed of a metal plate having a thickness of about 0.05 mm to 0.4 mm, for example.

前述の通り、前記ロードビーム基板130には、幅方向両側に上方を向くように折り曲げられた一対のフランジ部35が設けられている。従って、前記平衡質量体200の前記ロードビーム部当接領域210は、前記一対のフランジ部35の間において前記ロードビーム基板130の上面に当接された状態で溶接固定されており、これにより、前記平衡質量体200と前記ロードビーム基板130との接続部分において一定の剛性が確保されている。   As described above, the load beam substrate 130 is provided with a pair of flange portions 35 that are bent upward on both sides in the width direction. Therefore, the load beam portion contact area 210 of the balance mass body 200 is welded and fixed between the pair of flange portions 35 while being in contact with the upper surface of the load beam substrate 130. A certain rigidity is ensured at a connection portion between the balance mass body 200 and the load beam substrate 130.

図4(a)及び(b)に、それぞれ、前記平衡質量体200の下面図(前記ディスク面側から視た図)及び側面図を示す。
図1,図2及び図4に示すように、前記平衡質量体200は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部205を有し、前記折り曲げ部205より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部205において曲げられている
FIGS. 4A and 4B are a bottom view (viewed from the disk surface side) and a side view of the balanced mass 200, respectively.
As shown in FIGS. 1, 2, and 4, the balanced mass body 200 has a bent portion 205 along the magnetic head suspension width direction, and a region on the base end side from the bent portion 205 goes to the base end side. And bent at the bent portion 205 so as to be separated from the disk surface.

このように、前記折り曲げ部205より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記平衡質量体200を形成することにより、前記磁気ヘッドサスペンション1の作動状態において、前記平衡質量体200を前記ディスク面へ近づける向きの衝撃力が加わった際に、前記平衡質量体200の基端側が前記ディスク面に衝突することを有効に防止できる。   In this way, in the operating state of the magnetic head suspension 1, the balanced mass body 200 is formed so that the region on the base end side from the bent portion 205 moves away from the disk surface as it goes to the base end side. It is possible to effectively prevent the base end side of the balanced mass 200 from colliding with the disk surface when an impact force is applied to bring the balanced mass body 200 closer to the disk surface.

好ましくは、前記平衡質量体200は、図4(b)に示すように、前記折り曲げ部205を含む領域が他の領域に比して薄肉とされる。
斯かる構成によれば、前記折り曲げ部205での前記平衡質量体200の曲げ加工を安定的に行うことができる。
前記薄肉化は、例えば、前記平衡質量体200における前記折り曲げ部205に対応する部分の少なくとも一方側の面(本実施の形態においてはディスク面側の面)をエッチングすることにより、容易に行うことができる。
Preferably, as shown in FIG. 4B, in the balanced mass body 200, a region including the bent portion 205 is thinner than other regions.
According to such a configuration, the bending process of the balanced mass body 200 at the bent portion 205 can be performed stably.
The thinning is easily performed, for example, by etching at least one surface (the surface on the disk surface side in the present embodiment) of the portion corresponding to the bent portion 205 in the balanced mass body 200. Can do.

実施の形態2
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図5(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンション2の上面図及び下面図を示す。
又、図6に、図5(b)におけるVI部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態1における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
Embodiment 2
Hereinafter, another embodiment of a magnetic head suspension according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
5A and 5B are a top view and a bottom view of the magnetic head suspension 2 according to the second embodiment, respectively.
FIG. 6 shows an enlarged view of the VI part in FIG.
In the figure, the same members in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション2は、前記弾性板60が弾性板260に変更されている点において、前記実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンション1と相違している。
図7に、前記弾性板260の拡大下面図を示す。
The magnetic head suspension 2 according to the present embodiment is different from the magnetic head suspension 1 according to the first embodiment in that the elastic plate 60 is changed to an elastic plate 260.
FIG. 7 shows an enlarged bottom view of the elastic plate 260.

図7に示すように、前記弾性板260は、前記ロードビーム部当接領域65が、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記第1及び第2延在領域71,72に対応した中央領域66に加えて、前記中央領域66から先端側へ延びる先端領域67を有している点において、前記実施の形態1における前記弾性板60と相違している。   As shown in FIG. 7, the elastic plate 260 has a load beam portion contact region 65 in addition to a central region 66 corresponding to the first and second extending regions 71 and 72 with respect to the longitudinal position of the magnetic head suspension. Thus, the elastic plate 60 is different from the elastic plate 60 in the first embodiment in that it has a distal end region 67 extending from the central region 66 toward the distal end side.

そして、前記一対の第1溶接点21は前記先端領域67に位置されている。
即ち、前記弾性板260は、前記ロードビーム部当接領域65における前記先端領域67に位置された前記一対の第1溶接点21において、前記ロードビーム基板130及び前記フレクシャ基板140の双方に溶接されている。
The pair of first welding points 21 are located in the tip region 67.
That is, the elastic plate 260 is welded to both the load beam substrate 130 and the flexure substrate 140 at the pair of first welding points 21 positioned in the tip region 67 in the load beam portion contact region 65. ing.

このように、前記弾性板260の前記ロードビーム当接領域65に、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第1及び第2延在部71,72より先端側へ延びる前記先端領域67を設け、前記先端領域67を少なくとも前記一対の第1溶接点21において前記ロードビーム基板130及び前記フレクシャ基板140の双方に溶接することにより、前記磁気ヘッドサスペンション2のうち前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性をより効果的に向上させることができる。   As described above, the load beam contact region 65 of the elastic plate 260 is provided with the tip region 67 extending to the tip side from the first and second extending portions 71 and 72 in the longitudinal direction of the magnetic head suspension, The tip region 67 is welded to both the load beam substrate 130 and the flexure substrate 140 at least at the pair of first welding points 21, so that the tip region 67 is positioned on the tip side of the load bending center line BL in the magnetic head suspension 2. The rigidity in the seek direction of the portion to be performed can be improved more effectively.

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション2に対して、有限要素法を用いて行った首振りモードの共振周波数に関する解析結果及び磁気ヘッド100の跳躍動作を引き起こす衝撃力の限界加速度に関する解析結果について説明する。   Here, with respect to the magnetic head suspension 2 according to the present embodiment, the analysis result regarding the resonance frequency of the swing mode performed using the finite element method and the analysis regarding the critical acceleration of the impact force causing the jumping motion of the magnetic head 100. The results will be described.

この解析においては、実施例として、図5に示す前記磁気ヘッドサスペンション2であって、前記フレクシャ基板140、前記ロードビーム基板130、前記平衡質量体200、前記弾性板260及び前記支持部10が全てSUS304−HTAであり、且つ、厚さがそれぞれ、0.018mm、0.02mm、0.2mm、0.03mm及び0.3mmである磁気ヘッドサスペンション2を用いた。
比較例として、前記一対の第1溶接点21においては前記弾性板260及び前記ロードビーム基板130だけが溶接され、前記フレクシャ基板140は溶接されていない点において前記実施例と異なる磁気ヘッドサスペンションを用いた。
In this analysis, as an example, the magnetic head suspension 2 shown in FIG. 5 includes the flexure substrate 140, the load beam substrate 130, the balance mass body 200, the elastic plate 260, and the support portion 10 all. The magnetic head suspension 2 made of SUS304-HTA and having thicknesses of 0.018 mm, 0.02 mm, 0.2 mm, 0.03 mm, and 0.3 mm, respectively, was used.
As a comparative example, only the elastic plate 260 and the load beam substrate 130 are welded at the pair of first welding points 21 and the flexure substrate 140 is not welded. It was.

前記実施例及び前記比較例を用いて行ったシーク方向の共振周波数に関する解析結果(周波数応答特性)を図8に示す。
又、前記実施例及び前記比較例に対して、前記磁気ヘッド100がディスク面から離れる方向の衝撃波(正弦半波)であって、パルス幅0.5mmsec,1.0msec及び2.0msecの衝撃波をそれぞれ加え、前記磁気ヘッド100の跳躍を引き起こす衝撃波の加速度(限界快速度)を解析した。その結果を、図9に示す。
FIG. 8 shows an analysis result (frequency response characteristic) regarding the resonance frequency in the seek direction performed using the example and the comparative example.
Further, in contrast to the embodiment and the comparative example, the magnetic head 100 is a shock wave (sine half wave) in a direction away from the disk surface, and shock waves having pulse widths of 0.5 mmsec, 1.0 msec, and 2.0 msec are applied. In addition to the above, the acceleration (critical speed) of the shock wave that causes the magnetic head 100 to jump was analyzed. The result is shown in FIG.

図8及び図9から明らかなように、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションは、比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対して、全てのパルス幅の衝撃波において限界加速度が同等以上であった。又、SWAYモードの共振周波数に関しては、比較例に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては11.8kHzであるのに対し、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては12.5kHzであり、実施例に係る磁気ヘッドサスペンションは比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対して700Hz程度向上されている。
これは、前記フレクシャ基板140が前記ロードビーム部30のシーク方向に関する剛性補強部材として作用していることによるものと考えられる。
As is clear from FIGS. 8 and 9, the magnetic head suspension according to the example has a limit acceleration equal to or higher than that of the shock wave of all pulse widths as compared with the magnetic head suspension according to the comparative example. The resonance frequency of the SWAY mode is 11.8 kHz in the magnetic head suspension according to the comparative example, whereas it is 12.5 kHz in the magnetic head suspension according to the embodiment. Is improved by about 700 Hz with respect to the magnetic head suspension according to the comparative example.
This is considered to be due to the flexure substrate 140 acting as a rigidity reinforcing member in the seek direction of the load beam portion 30.

実施の形態3
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図10(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態3に係る磁気ヘッドサスペンション3の上面図及び下面図を示す。
又、図11に、図10(b)におけるXI部拡大図を示す。
なお、図中、前記実施の形態1及び2における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
Embodiment 3
Hereinafter, another embodiment of a magnetic head suspension according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIGS. 10A and 10B are a top view and a bottom view of the magnetic head suspension 3 according to the third embodiment, respectively.
FIG. 11 shows an enlarged view of the XI portion in FIG.
In the drawing, the same members in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図10及び図11に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション3は、前記実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンション2において、前記弾性板260の代わりに弾性板360を備えている。   As shown in FIGS. 10 and 11, the magnetic head suspension 3 according to the present embodiment includes an elastic plate 360 instead of the elastic plate 260 in the magnetic head suspension 2 according to the second embodiment.

図12に、前記弾性板360の拡大下面図を示す。
図12に示すように、前記弾性板360は、前記第1及び第2支持部当接領域61,62と、前記中央領域66及び前記先端領域67を含む前記ロードビーム部当接領域65と、前記第1及び第2延在領域71,72と、前記ロードビーム部当接領域65の前記先端領域67から前記ロードビーム基板130を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域75とを備えている。
FIG. 12 shows an enlarged bottom view of the elastic plate 360.
As shown in FIG. 12, the elastic plate 360 includes the first and second support portion contact regions 61 and 62, the load beam portion contact region 65 including the center region 66 and the tip region 67, and A pair of outward extensions extending from the first and second extending regions 71 and 72 and the tip region 67 of the load beam portion contact region 65 to the outside of the magnetic head suspension width direction beyond the load beam substrate 130 And the existing area 75.

前記弾性板360における前記ロードビーム部当接領域65の前記先端領域67は、図10〜図12に示すように、前記実施の形態2におけると同様に、前記一対の第1溶接点21において前記ロードビーム基板130及び前記フレクシャ基板140の双方に溶接されている。   As shown in FIGS. 10 to 12, the tip region 67 of the load beam portion contact region 65 in the elastic plate 360 is similar to that in the second embodiment, at the pair of first welding points 21. It is welded to both the load beam substrate 130 and the flexure substrate 140.

さらに、本実施の形態においては、図10〜図12に示すように、前記弾性板360における前記一対の外方延在領域75が、少なくとも前記長手方向中心線CLを基準にして左右対称な一対の第2溶接点22において前記フレクシャ基板140における前記一対の拡幅領域148に溶接されている。   Furthermore, in the present embodiment, as shown in FIGS. 10 to 12, the pair of outwardly extending regions 75 in the elastic plate 360 is a pair that is symmetrical with respect to at least the longitudinal center line CL. The second welding point 22 is welded to the pair of widened regions 148 in the flexure substrate 140.

このように、前記弾性板360に前記ロードビーム基板130を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる前記一対の外方延在領域75を設け且つ前記フレクシャ基板140にも前記ロードビーム基板130を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる前記一対の拡幅領域148を設けると共に、前記一対の外方延在領域75及び前記一対の拡幅領域148を少なくとも前記一対の第2溶接点22において溶接することにより、前記磁気ヘッドサスペンション3のうち前記荷重曲げ中心線BLより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性をさらに効果的に向上させることができる。   As described above, the elastic plate 360 is provided with the pair of outward extending regions 75 extending beyond the load beam substrate 130 in the width direction of the magnetic head suspension, and the flexure substrate 140 is also provided with the load beam substrate 130. The pair of widened regions 148 extending outward in the width direction of the magnetic head suspension is provided, and the pair of outwardly extending regions 75 and the pair of widened regions 148 are welded at least at the pair of second welding points 22. As a result, the rigidity in the seek direction of the portion of the magnetic head suspension 3 located on the tip side of the load bending center line BL can be further effectively improved.

図1(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図(ディスク面とは反対側から視た図)及び下面図(ディスク面の側から見た図)である。1A and 1B are respectively a top view (viewed from the side opposite to the disk surface) and a bottom view (viewed from the disk surface side) of the magnetic head suspension according to the first embodiment of the present invention. Figure). 図2は、図1(b)におけるII部拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of part II in FIG. 図3(a)は、前記実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図であり、図3(b)は、変形例に係る弾性板の拡大下面図である。FIG. 3A is an enlarged bottom view of the elastic plate in the magnetic head suspension according to the first embodiment, and FIG. 3B is an enlarged bottom view of the elastic plate according to the modification. 図4(a)及び(b)は、それぞれ、図1及び図2に示す前記磁気ヘッドサスペンションにおける平衡質量体の下面図及び側面図である。FIGS. 4A and 4B are a bottom view and a side view, respectively, of an equilibrium mass body in the magnetic head suspension shown in FIGS. 図5(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。5A and 5B are a top view and a bottom view, respectively, of the magnetic head suspension according to the second embodiment of the present invention. 図6は、図5(b)におけるVI部拡大図である。FIG. 6 is an enlarged view of the VI part in FIG. 図7は、前記実施の形態2に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図である。FIG. 7 is an enlarged bottom view of the elastic plate in the magnetic head suspension according to the second embodiment. 図8は、前記実施の形態2の実施例に係る磁気ヘッドサスペンション及び比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対するシーク方向の共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing analysis results regarding the resonance frequency in the seek direction for the magnetic head suspension according to the example of the second embodiment and the magnetic head suspension according to the comparative example. 図9は、前記実施例及び比較例に係る磁気ヘッドサスペンションに対する限界加速度に関する解析結果を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing the analysis results regarding the limit acceleration for the magnetic head suspension according to the example and the comparative example. 図10(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態3に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。FIGS. 10A and 10B are a top view and a bottom view, respectively, of the magnetic head suspension according to the third embodiment of the present invention. 図11は、図10(b)におけるXI部拡大図である。FIG. 11 is an enlarged view of a part XI in FIG. 図12は、前記実施の形態3に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図である。FIG. 12 is an enlarged bottom view of the elastic plate in the magnetic head suspension according to the third embodiment.

1〜3 磁気ヘッドサスペンション
10 支持部
11 本体領域
12 支持片
13 凹部
20 荷重曲げ部
21 一対の第1溶接点
22 一対の第2溶接点
25 第3溶接点
30 ロードビーム部
40 フレクシャ部
43 磁気ヘッド搭載領域
51〜53 溶接点
60 弾性板
61,62 第1及び第2支持部当接領域
65 ロードビーム部当接領域
66 中央領域
67 先端領域
71,72 第1及び第2延在領域
75 一対の外方延在領域
130 ロードビーム基板
140 フレクシャ基板
141 ロードビーム部当接領域
141a 中央基端側延在部
141b 一対の移行部
142 一対の支持片
144 支持部当接領域
145 一対のブリッジ領域
148 一対の拡幅領域
200 平衡質量体
205 折り曲げ部
CL 長手方向中心線
BL 荷重曲げ中心線
1 to 3 Magnetic head suspension 10 Support portion 11 Main body region 12 Support piece 13 Recess 20 Load bending portion 21 Pair of first welding points 22 Pair of second welding points 25 Third welding point 30 Load beam portion 40 Flexure portion 43 Magnetic head Mounting area 51-53 Welding point 60 Elastic plates 61, 62 First and second support part abutting area 65 Load beam part abutting area 66 Central area 67 Tip area 71, 72 First and second extending area 75 Outwardly extending region 130 Load beam substrate 140 Flexure substrate 141 Load beam portion contact region 141a Center proximal end extended portion 141b A pair of transition portions 142 A pair of support pieces 144 A support portion contact region 145 A pair of bridge regions 148 A pair Widening region 200 Balance mass body 205 Bending part CL Longitudinal direction center line BL Load bending center line

Claims (5)

磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、
前記磁気ヘッドサスペンションは前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点において溶接される第1及び第2支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第1及び第2支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第1及び第2延在領域とを有し、前記第1及び第2延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、
前記ロードビーム部当接領域は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関し前記第1及び第2延在領域に対応した中央領域と、前記中央領域から先端側へ延びる先端領域とを有し、
前記先端領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第1溶接点において、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板及び前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板の双方に溶接されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
A load bending portion that generates a load for pressing the magnetic head toward the disk surface, a load beam portion for transmitting the load to the magnetic head, and the load beam portion is supported via the load bending portion. A magnetic head suspension having a support part and a flexure part welded to the load beam part, the head mounting region supporting the magnetic head;
The support portions are a pair of support pieces that extend from the body region and from both sides in the width direction of the body region to the distal end side and define a recess that opens to the distal end side between the body region and the longitudinal center line of the magnetic head suspension A pair of support pieces that are symmetric with respect to
The magnetic head suspension includes an elastic plate supported on both ends by the pair of support pieces,
The elastic plate is in contact with the pair of support pieces and is welded at an appropriate welding point and is welded at an appropriate welding point, and the elastic plate is in contact with the load beam portion in the recess. A load beam portion contact region welded at a welding point, and first and second extension regions connecting the load beam portion contact region and the first and second support portion contact regions, respectively. And the first and second extending regions are configured to act as the load bending portion by twisting and elastically deforming around a load bending center line along the width direction of the magnetic head suspension,
The load beam portion abutting region has a central region corresponding to the first and second extending regions with respect to the longitudinal position of the magnetic head suspension, and a distal region extending from the central region to the distal side,
The tip region is welded to both the load beam substrate that forms the load beam portion and the flexure substrate that forms the flexure portion, at least at a pair of first welding points that are symmetric with respect to the center line in the longitudinal direction. Magnetic head suspension characterized by that.
前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ適宜の溶接点において溶接されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、
前記弾性板は、前記一対の拡幅領域と当接し得るように前記ロードビーム部当接領域の前記先端領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の外方延在領域を有しており、
前記一対の外方延在領域及び前記一対の拡幅領域は、少なくとも前記長手方向中心線を基準にして左右対称な一対の第2溶接点において互いに溶接されていることを特徴とする請求項に記載の磁気ヘッドサスペンション。
The flexure substrate is in contact with the load beam substrate and is welded at an appropriate welding point, a pair of support pieces extending from the load beam portion contact region to the front end side, and the pair And a pair of head mounting areas on which the magnetic head is mounted and a pair extending from the load beam contact area to the outside of the magnetic head suspension width direction beyond the load beam substrate. A widened area,
The elastic plates extend from the tip region of the load beam portion contact region beyond the load beam substrate and extend outward in the width direction of the magnetic head suspension so as to be able to contact the pair of widened regions. Has an area,
The pair of outer extension region and said pair of widening region to claim 1, characterized in that it is welded together at the second welding point symmetrical pair with respect to the at least the longitudinal center line The magnetic head suspension described.
前記フレクシャ基板は、前記支持部に当接され且つ適宜の溶接点において溶接される支持部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域に連結される一対のブリッジ領域であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対のブリッジ領域とを有し、
前記フレクシャ基板における前記ロードビーム部当接領域の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線より基端側へ延びる中央基端側延在部と、前記一対のブリッジ領域にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部であって、前記長手方向中心線を基準にして互いに対称とされた一対の移行部とを有し、
前記中央基端側延在部は、前記長手方向中心線を基準にして対称配置された一又は複数の第3溶接点において前記ロードビーム基板及び前記弾性板の双方に溶接され、
前記中央基端側延在部と前記一対の移行部との間は、平面視において基端側へ開く凹状とされており、
前記凹状の先端側は前記荷重曲げ中心線上に位置していることを特徴とする請求項に記載の磁気ヘッドサスペンション。
The flexure substrate is in contact with the support portion and is welded at an appropriate welding point, and extends from the both sides in the width direction of the load beam portion contact region to the base end side to support the support portion. A pair of bridge regions connected to the contact region, and a pair of bridge regions symmetrical to each other with respect to the longitudinal center line,
The base end side of the load beam portion contact area in the flexure substrate is a central base end extending part extending from the load bending center line to the base end side in the center of the magnetic head suspension width direction, and the pair of bridge areas. A pair of transition portions extending from both sides of the magnetic head suspension width direction so as to be connected to the base end side, and having a pair of transition portions symmetrical to each other with respect to the longitudinal center line,
The central proximal side extending portion is welded to both the load beam substrate and the elastic plate at one or a plurality of third welding points arranged symmetrically with respect to the longitudinal center line,
Between the center base end side extension portion and the pair of transition portions, a concave shape that opens to the base end side in a plan view,
The magnetic head suspension according to claim 2 , wherein the concave tip end side is located on the load bending center line.
前記荷重曲げ中心線より基端側に位置し且つ平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備えていることを特徴とする請求項1からの何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。 From claim 1, characterized in that it comprises the balance mass member fixed to the load beam substrate so as to be positioned in the recess at a position to and viewed on the proximal side of the load bending center line of 3 Any one of the magnetic head suspensions. 前記平衡質量体は磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられていることを特徴とする請求項に記載の磁気ヘッドサスペンション。 The balanced mass has a bent portion along the magnetic head suspension width direction, and is bent at the bent portion so that a region closer to the base end side from the bent portion moves away from the disk surface as going to the base end side. The magnetic head suspension according to claim 4 , wherein the magnetic head suspension is provided.
JP2008107465A 2008-04-17 2008-04-17 Magnetic head suspension Active JP4761480B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008107465A JP4761480B2 (en) 2008-04-17 2008-04-17 Magnetic head suspension

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008107465A JP4761480B2 (en) 2008-04-17 2008-04-17 Magnetic head suspension

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009259338A JP2009259338A (en) 2009-11-05
JP4761480B2 true JP4761480B2 (en) 2011-08-31

Family

ID=41386574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008107465A Active JP4761480B2 (en) 2008-04-17 2008-04-17 Magnetic head suspension

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4761480B2 (en)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61182684A (en) * 1985-02-07 1986-08-15 Fujitsu Ltd Magnetic head supporting mechanism
JP3664080B2 (en) * 2001-01-09 2005-06-22 松下電器産業株式会社 Head support device
JP2006190365A (en) * 2005-01-04 2006-07-20 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv Magnetic head support, magnetic head assembly with this magnetic head support and magnetic disk device with this magnetic head assembly

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009259338A (en) 2009-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4535512B2 (en) Magnetic head suspension
US7595962B2 (en) Head suspension having rigid part rail diminished at longitudinal curve
US8427788B2 (en) Magnetic head suspension with balance mass member
JP5554305B2 (en) Magnetic head suspension and manufacturing method thereof
JP5197780B2 (en) Magnetic head suspension
JP2010257518A (en) Magnetic head suspension
US8675312B2 (en) Magnetic head suspension
JP5042340B2 (en) Magnetic head suspension
JP4761480B2 (en) Magnetic head suspension
JP2013218771A5 (en)
US8027126B2 (en) Magnetic head suspension
US7586714B2 (en) Head suspension with rails and support extensions
US7636221B2 (en) Disk drive head suspension having resilient region thicker than a rigid region
JP4761481B2 (en) Magnetic head suspension
JP4386297B2 (en) Magnetic head suspension
JP4662386B2 (en) Magnetic head suspension
JP4684284B2 (en) Magnetic head suspension
JP7342309B1 (en) magnetic head suspension
JP5634432B2 (en) Magnetic head suspension
JP5131938B2 (en) Magnetic head suspension
JP4884544B2 (en) Magnetic head suspension
JP5158990B2 (en) Magnetic head suspension and manufacturing method thereof
JP2013225358A5 (en)

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101101

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101224

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110603

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110603

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140617

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4761480

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150