JP2013008563A - Organic el device and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To propose an organic EL device capable of suppressing irregular light emission while compensating variation of droplet discharge amounts between nozzles with high accuracy.SOLUTION: An organic EL device includes a plurality of pixels 10-1, 10-2. Each of the pixels 10-1, 10-2 has three sub-pixels corresponding to three primary colors. Each of the sub pixels has an organic EL element emitting light corresponding to each of the three primary colors. Two sub pixels 10G-1, 10G-2 corresponding to the same color of adjacent two pixels 10-1, 10-2 are surrounded by a barrier 41 having repellent property against a liquid constitutional material of the organic EL element included in each of the two sub pixels 10G-1, 10G-2. A circuit element for driving the organic EL element is formed at a position overlapping with the barrier 41 in a plane as viewed from the travelling direction of light from the organic EL element.

Description

本発明はフルカラー表示用の有機EL装置及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic EL device for full color display and a manufacturing method thereof.

有機EL素子は、電流駆動型の自発光素子であるため、バックライトが不要となる上に、低消費電力、高視野角、高コントラスト比が得られるメリットがあり、フラットパネルディスプレイの開発において期待されている。有機EL素子は、陽極と陰極との間に介在する発光層を備えており、順バイアス電流の供給を受けて陽極から注入された正孔と陰極から注入された電子とが再結合する際の再結合エネルギーにより自発光する。有機発光層の形成材料としては、注入した正孔と電子が内部を移動し再結合し、最高占有軌道と最低非占有軌道とのエネルギーレベル差に応じた発光を行うことが可能な材料であればよく、低分子材料及び高分子材料の何れも用いることができる。ここで、低分子とは、構造中に重合による繰り返し部分を有さない分子であることを意味し、高分子とは、繰り返し分子構造を有する重合体のことを意味する。低分子材料は剛直な骨格を有する分子が多く、有機溶媒に対する溶解性が低いものが多いため、低分子の有機発光層の形成には、蒸着法のような気相法が好適に用いられる。一方、高分子材料は、有機溶媒に対する溶解性が比較的高いものが多いため、高分子の有機発光層の形成には、液滴吐出法等の液相法が好適に用いられる。液滴吐出法では、発光層の構成材料を溶媒に分散又は溶解させた液滴を各画素に塗布し、これを乾燥させることで発光層を形成できる。例えば、特許文献1には、赤副画素、緑副画素、及び青副画素のそれぞれを液滴吐出法で塗り分けて形成する方法が開示されている。   Organic EL elements are current-driven self-luminous elements, which eliminates the need for a backlight and offers the advantages of low power consumption, high viewing angle, and high contrast ratio, and are expected in the development of flat panel displays. Has been. The organic EL element includes a light emitting layer interposed between an anode and a cathode, and when a forward bias current is supplied, holes injected from the anode and electrons injected from the cathode are recombined. Self-emission occurs due to recombination energy. As a material for forming the organic light-emitting layer, any material that can emit light according to the energy level difference between the highest occupied orbital and the lowest unoccupied orbital when the injected holes and electrons move inside and recombine. Any of low molecular materials and high molecular materials can be used. Here, a low molecule means a molecule that does not have a repeating part due to polymerization in the structure, and a polymer means a polymer that has a repeating molecular structure. Since many low molecular weight materials have a rigid skeleton and many have low solubility in an organic solvent, a vapor phase method such as a vapor deposition method is preferably used for forming a low molecular organic light emitting layer. On the other hand, since many polymer materials have relatively high solubility in an organic solvent, a liquid phase method such as a droplet discharge method is preferably used for forming a polymer organic light-emitting layer. In the droplet discharge method, a light-emitting layer can be formed by applying droplets obtained by dispersing or dissolving a constituent material of a light-emitting layer in a solvent to each pixel and drying it. For example, Patent Document 1 discloses a method in which each of a red subpixel, a green subpixel, and a blue subpixel is separately formed by a droplet discharge method.

特開2000−208254号公報JP 2000-208254 A

しかし、液滴吐出法で有機EL装置を製造する場合、ノズル間の液滴吐出量のばらつきに起因する画素間での液滴充填量にばらつきが生じ、筋状の濃淡ムラ(スジムラ)の原因になっていた。ノズル間の液滴吐出量のばらつきを補正するための方法として、例えば、複数の画素を一つの充填単位として設定し、複数のノズルから一つの充填単位へ吐出される液滴の充填量の合計が均一になるように補正する方法が知られている。このような補正方法では、一つの充填単位に液滴を吐出するノズルの数が多い程、補正の分解能を高めることができる。同一規格であれば、パネルサイズが大きくなる程、解像度が粗くなり、画素のサイズも大きくなる。画素のサイズが大きくなれば、一画素あたりに使用できるノズル数が多くなるため、より高分解能な補正が可能になる。ところが、将来的には、30インチ以下のクラスにおけるFHD規格や3D化に伴い、画素の高解像度化が見込まれており、大画面パネルの生産において十分な品質が得られた従来の補正方法では、今後、その品質を維持することが困難になることが懸念される。   However, when an organic EL device is manufactured by the droplet discharge method, variations in the droplet filling amount between pixels due to variations in the droplet discharge amount between nozzles occur, causing streaky shading unevenness. It was. As a method for correcting variations in droplet discharge amount between nozzles, for example, a plurality of pixels are set as one filling unit, and the total filling amount of droplets discharged from a plurality of nozzles to one filling unit There is known a method of correcting so as to be uniform. In such a correction method, the larger the number of nozzles that discharge droplets in one filling unit, the higher the correction resolution. For the same standard, the larger the panel size, the coarser the resolution and the larger the pixel size. If the pixel size is increased, the number of nozzles that can be used per pixel increases, so that correction with higher resolution becomes possible. However, in the future, with the FHD standard in the class of 30 inches or less and 3D conversion, the resolution of pixels is expected to increase, and the conventional correction method that has obtained sufficient quality in the production of large screen panels There is concern that it will be difficult to maintain its quality in the future.

また、有機EL素子の発光を基板側から取り出すボトムエミッション方式では、ノズル間の液滴吐出量のばらつきを補正するために、複数の画素を一つの隔壁で囲む構造を採用すると、有機EL素子を駆動するためのトランジスタ等の回路素子の配置場所によっては、有機EL素子からの光が遮蔽されてしまい、不定形な発光が生じるという問題が生じる。   Further, in the bottom emission method in which the light emission of the organic EL element is taken out from the substrate side, in order to correct the variation in the droplet discharge amount between the nozzles, if a structure in which a plurality of pixels are surrounded by one partition is adopted, the organic EL element is Depending on the arrangement location of a circuit element such as a transistor for driving, the light from the organic EL element is shielded, resulting in a problem that irregular light emission occurs.

そこで、本発明は、ノズル間の液滴吐出量のばらつきを高精度に補正しつつ、不定形な発光を抑制することのできる有機EL装置及びその製造方法を提案することを課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to propose an organic EL device capable of suppressing irregular light emission and a method for manufacturing the same, while accurately correcting variations in the droplet discharge amount between nozzles.

上記の課題を解決するため、本発明に係わる有機EL装置は、複数の画素を備え、各画素は、三原色に対応する三つの副画素を有しており、各副画素は、三原色に対応する光を発光する有機EL素子を有しており、隣接する二つの画素の同一色に対応する二つの副画素は、二つの副画素のそれぞれが有する有機EL素子の液状の構成材料に対して撥液性の隔壁に囲われており、有機EL素子を駆動するための回路素子は、有機EL素子からの光の進行方向から見て隔壁と平面的に重なる位置に形成されている。   In order to solve the above problems, the organic EL device according to the present invention includes a plurality of pixels, each pixel has three sub-pixels corresponding to the three primary colors, and each sub-pixel corresponds to the three primary colors. The organic EL element that emits light emits light, and two sub-pixels corresponding to the same color of two adjacent pixels repel the liquid constituent material of the organic EL element included in each of the two sub-pixels. The circuit element that is surrounded by the liquid partition and drives the organic EL element is formed at a position that overlaps the partition in plan view when viewed from the traveling direction of light from the organic EL element.

斯かる画素構造によれば、隣接する二つの画素の同一色に対応する二つの副画素は、有機EL素子の液状の構成材料の一つの充填単位として、隔壁に囲われているため、一つの充填単位あたりに使用できる液滴吐出装置のノズル数を増やすことができ、ノズル間の液滴吐出量のばらつきを高分解能で補正することができる。また、有機EL素子を駆動するための回路素子は、有機EL素子の光の進行方向から見て隔壁と平面的に重なる位置に形成されているため、有機EL素子からの光が回路素子によって遮蔽されることを回避し、不定形な発光を抑制できる。   According to such a pixel structure, two sub-pixels corresponding to the same color of two adjacent pixels are surrounded by the partition as one filling unit of the liquid constituent material of the organic EL element. The number of nozzles of the droplet discharge device that can be used per filling unit can be increased, and variations in droplet discharge amount between nozzles can be corrected with high resolution. In addition, since the circuit element for driving the organic EL element is formed at a position overlapping with the partition in plan view when viewed from the light traveling direction of the organic EL element, the light from the organic EL element is shielded by the circuit element. Can be prevented, and irregular light emission can be suppressed.

有機EL装置は、隣接する二つの画素の同一色に対応する二つの副画素の隣り合う画素電極の間の段差を埋めるための薄膜を更に備えるのが好ましい。これにより、液滴吐出法により形成される有機EL素子の発光層が段差部分で段切れして電気的な短絡を招いたり、或いは薄くなって発光輝度の低下を招いたりすることを抑制できる。   The organic EL device preferably further includes a thin film for filling a step between adjacent pixel electrodes of two subpixels corresponding to the same color of two adjacent pixels. As a result, it is possible to prevent the light emitting layer of the organic EL element formed by the droplet discharge method from being cut off at the stepped portion and causing an electrical short circuit or being thinned and causing a decrease in light emission luminance.

本発明に係わる有機EL装置の製造方法では、液状の構成材料は、液滴吐出法により吐出され膜形成される。   In the method for manufacturing an organic EL device according to the present invention, the liquid constituent material is ejected by a droplet ejection method to form a film.

本発明に係わる有機EL装置によれば、ノズル間の液滴吐出量のばらつきを高精度に補正しつつ、不定形な発光を抑制することができる。   According to the organic EL device of the present invention, it is possible to suppress irregular light emission while correcting the variation in the droplet discharge amount between the nozzles with high accuracy.

実施例1に係わる有機EL装置の回路構成図である。1 is a circuit configuration diagram of an organic EL device according to Example 1. FIG. 実施例1に係わる画素構造の平面図である。3 is a plan view of a pixel structure according to Example 1. FIG. 図2の3−3線矢視断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG. 2. 実施例1に係わる画素構造の断面図である。3 is a cross-sectional view of a pixel structure according to Example 1. FIG. 実施例2に係わる画素構造の平面図である。6 is a plan view of a pixel structure according to Embodiment 2. FIG. 図5の6−6線矢視断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line 6-6 in FIG. 実施例2に係わる画素構造の断面図である。7 is a cross-sectional view of a pixel structure according to Example 2. FIG. 実施例3に係わる電子機器の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of an electronic device according to a third embodiment.

以下、各図を参照しながら本発明に関わる実施例について説明する。同一符号の部材は同一の部材を示すものとして重複する説明を省略する。   Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The same reference numerals denote the same members, and duplicate explanations are omitted.

図1は実施例1に係るフルカラー表示用の有機EL装置11の回路構成図である。有機EL装置11には、走査線駆動回路16に接続する複数の走査線12と、信号線駆動回路15に接続するとともに、各走査線12に交差する方向に延在する複数の信号線13と、各信号線13に並行に延在する複数の電源線14とがそれぞれ配線されている。走査線12と信号線13とが交差する箇所には、走査線12からの走査信号がそのゲート端子に供給されるスイッチングトランジスタ21と、スイッチングトランジスタ21がオン状態のときにスイッチングトランジスタ21を介して信号線13から供給される画素信号を保持する保持容量22と、保持容量22の電位がそのゲート端子に供給される駆動トランジスタ23と、駆動トランジスタ23がオン状態のときに駆動トランジスタ23を介して電源線14に接続する有機EL素子27が配置されている。有機EL素子27は、画素電極(陽極)24と共通電極(陰極)25との間に機能層26を備えている。機能層26は、電子輸送層/発光層/正孔輸送層/正孔注入層の積層構造を有している。   FIG. 1 is a circuit configuration diagram of an organic EL device 11 for full color display according to the first embodiment. The organic EL device 11 includes a plurality of scanning lines 12 connected to the scanning line driving circuit 16, a plurality of signal lines 13 connected to the signal line driving circuit 15 and extending in a direction intersecting each scanning line 12. A plurality of power supply lines 14 extending in parallel with each signal line 13 are wired. At the intersection of the scanning line 12 and the signal line 13, the switching transistor 21 to which the scanning signal from the scanning line 12 is supplied to its gate terminal is connected via the switching transistor 21 when the switching transistor 21 is on. A storage capacitor 22 that holds a pixel signal supplied from the signal line 13, a drive transistor 23 to which the potential of the storage capacitor 22 is supplied to its gate terminal, and the drive transistor 23 via the drive transistor 23 when the drive transistor 23 is on. An organic EL element 27 connected to the power line 14 is disposed. The organic EL element 27 includes a functional layer 26 between a pixel electrode (anode) 24 and a common electrode (cathode) 25. The functional layer 26 has a stacked structure of an electron transport layer / a light emitting layer / a hole transport layer / a hole injection layer.

上述の回路構成により、走査線12から走査信号がスイッチングトランジスタ21のゲート端子に供給されてスイッチングトランジスタ21がオン状態になると、信号線13から保持容量22に画素信号が供給される。駆動トランジスタ23のオン/オフ状態は、保持容量22の電位に応じて定まり、駆動トランジスタ23がオン状態になると、電源線14から駆動トランジスタ23のチャネルを介して有機EL素子27に駆動電流が流れる。有機EL素子27は、駆動電流に応じた輝度で発光する。   With the above circuit configuration, when the scanning signal is supplied from the scanning line 12 to the gate terminal of the switching transistor 21 and the switching transistor 21 is turned on, the pixel signal is supplied from the signal line 13 to the storage capacitor 22. The on / off state of the drive transistor 23 is determined according to the potential of the storage capacitor 22. When the drive transistor 23 is turned on, a drive current flows from the power supply line 14 to the organic EL element 27 through the channel of the drive transistor 23. . The organic EL element 27 emits light with a luminance corresponding to the drive current.

次に、図2乃至図4を参照しながら実施例1に係わる有機EL装置11の画素構造について説明する。図2は画素構造の平面図を示し、図3は図2の3−3線矢視断面図を示し、図4は画素構造の断面図を示す。但し、説明の便宜上、図2及び図3では、機能層26及び共通電極25の図示を省略している。なお、実施例1では、有機EL装置11は、有機EL素子27の発光を基板側から取り出すボトムエミッション方式を採用する。また、有機EL素子27の機能層26は、液滴吐出装置60を用いて、公知の液滴吐出法により成膜されるものとする。   Next, the pixel structure of the organic EL device 11 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 2 is a plan view of the pixel structure, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the pixel structure. However, for convenience of explanation, illustration of the functional layer 26 and the common electrode 25 is omitted in FIGS. 2 and 3. In Example 1, the organic EL device 11 employs a bottom emission method in which light emitted from the organic EL element 27 is extracted from the substrate side. The functional layer 26 of the organic EL element 27 is formed by a known droplet discharge method using the droplet discharge device 60.

図2に示すように、隣接する二つ一組の画素10−1,10−2が二方向(図2に示す例では、X方向及びY方向)に沿って、一定のピッチで配列している。画素10−1は、三原色に対応する副画素として、緑副画素10G−1、赤副画素10R−1、及び青副画素10B−1を備えている。同様に、画素10−2は、三原色に対応する副画素として、緑副画素10G−2、赤副画素10R−2、及び青副画素10B−2を備えている。各副画素は、三原色に対応する光を発光する有機EL素子27を備えている。また、符号24G−1、24R−1、24B−1は、それぞれ、緑副画素10R−1の画素電極、赤副画素10G−1の画素電極、青副画素10B−1の画素電極を示す。同様に、符号24G−2、24R−2、24B−2は、それぞれ、緑副画素10R−2の画素電極、赤副画素10G−2の画素電極、青副画素10B−2の画素電極を示す。画素電極24R−1、24G−1、24B−1、24R−2、24G−2、24B−2を特に区別する必要がないときは、単に、画素電極24と称する。   As shown in FIG. 2, two adjacent sets of pixels 10-1 and 10-2 are arranged at a constant pitch along two directions (in the example shown in FIG. 2, the X direction and the Y direction). Yes. The pixel 10-1 includes a green subpixel 10G-1, a red subpixel 10R-1, and a blue subpixel 10B-1 as subpixels corresponding to the three primary colors. Similarly, the pixel 10-2 includes a green subpixel 10G-2, a red subpixel 10R-2, and a blue subpixel 10B-2 as subpixels corresponding to the three primary colors. Each subpixel includes an organic EL element 27 that emits light corresponding to the three primary colors. Reference numerals 24G-1, 24R-1, and 24B-1 denote a pixel electrode of the green subpixel 10R-1, a pixel electrode of the red subpixel 10G-1, and a pixel electrode of the blue subpixel 10B-1, respectively. Similarly, reference numerals 24G-2, 24R-2, and 24B-2 denote a pixel electrode of the green subpixel 10R-2, a pixel electrode of the red subpixel 10G-2, and a pixel electrode of the blue subpixel 10B-2, respectively. . The pixel electrodes 24R-1, 24G-1, 24B-1, 24R-2, 24G-2, and 24B-2 are simply referred to as pixel electrodes 24 when it is not necessary to distinguish them.

液滴吐出装置60は、機能層26の構成材料を溶媒に分散又は溶解させた液滴を各ノズル61から吐出し、これを乾燥させることで機能層26を成膜する。液滴吐出法によれば、微細なパターニングを簡便にかつ短時間で行うことができる。また、吐出量の増減による膜厚の調整や濃度調整による発色バランス、輝度等の発光能を容易かつ自由に制御することができる。液滴吐出装置60は、例えば、電気機械変換方式、帯電制御方式、加圧振動方式、電気熱変換方式、又は静電吸引方式等により微小な液滴を高解像度に吐出できるものが好ましい。   The droplet discharge device 60 forms the functional layer 26 by discharging droplets obtained by dispersing or dissolving the constituent material of the functional layer 26 in a solvent from each nozzle 61 and drying the droplets. According to the droplet discharge method, fine patterning can be performed easily and in a short time. In addition, the light emission ability such as the color balance and the luminance can be controlled easily and freely by adjusting the film thickness by adjusting the discharge amount or by adjusting the density. The droplet discharge device 60 is preferably capable of discharging minute droplets with high resolution by, for example, an electromechanical conversion method, a charge control method, a pressure vibration method, an electrothermal conversion method, or an electrostatic suction method.

隣接する二つの画素10−1,10−2の同一色に対応する二つの副画素は、機能層26の液状の構成材料を充填する一つの単位としてグループ化されており、隔壁41によってその周囲が囲われている。具体的には、二つ一組の緑副画素10G−1,10G−2と、二つ一組の赤副画素10R−1,10R−2と、二つ一組の青副画素10B−1,10B−2は、それぞれ緑色、赤色、及び青色用の機能層26の液状の構成材料を充填する一つの単位として設定されている。また、液滴吐出装置60により各画素を塗り分けるために、隣接する画素の同一色の副画素は、一方向(図2に示す例では、X方向)に配列している。このように、二つ一組の副画素を一つにまとめて、機能層26の液状の構成材料を充填する一つの単位とすることで、一つの副画素を充填単位とする場合に比較して、一つの充填単位あたりに使用できるノズル数を増やせるため、補正の分解能を高めることができる。   Two sub-pixels corresponding to the same color of two adjacent pixels 10-1 and 10-2 are grouped as one unit filled with the liquid constituent material of the functional layer 26, and the surrounding area is surrounded by the partition wall 41. Is enclosed. Specifically, a pair of green subpixels 10G-1 and 10G-2, a pair of red subpixels 10R-1 and 10R-2, and a pair of blue subpixels 10B-1 , 10B-2 are set as one unit for filling the liquid constituent material of the functional layer 26 for green, red, and blue, respectively. Further, in order to paint each pixel separately by the droplet discharge device 60, the sub-pixels of the same color of adjacent pixels are arranged in one direction (X direction in the example shown in FIG. 2). In this way, two sets of sub-pixels are combined into one unit that is filled with the liquid constituent material of the functional layer 26, so that one sub-pixel is used as a filling unit. Thus, the number of nozzles that can be used per filling unit can be increased, so that the correction resolution can be increased.

例えば、図3に示すように、二つ一組の緑副画素10G−1,10G−2は、一つの充填単位として、その周囲が隔壁41によって囲われている。隔壁41によって囲われた開口部41Aには、二つ一組の画素電極24G−1,24G−2が表面に露出している。各画素電極24G−1,24G−2は、光透過性基板51に成膜された層間絶縁膜52の表面に形成されており、層間絶縁膜52に開口するコンタクトホール52Aを通じて、層間絶縁膜52に埋め込み形成された駆動トランジスタ23等の回路素子に接続している。有機EL素子27からの光の進行方向を−Z方向とすると、コンタクトホール52Aは、±Z方向から見て隔壁41と平面的に重なる位置に形成されている。図3には図示されていないが、駆動トランジスタ23以外の回路素子(例えば、スイッチングトランジスタ21、保持容量22、走査線12、信号線13、及び電源線14)も層間絶縁膜52に埋め込み形成されており、これらの回路素子も同様に±Z方向から見て隔壁41と平面的に重なる位置に形成されている。このような構造により、有機EL素子27からの光が回路素子によって遮蔽されることを回避できる。   For example, as shown in FIG. 3, a pair of green subpixels 10 </ b> G- 1 and 10 </ b> G- 2 is surrounded by a partition wall 41 as one filling unit. A pair of pixel electrodes 24G-1 and 24G-2 are exposed on the surface of the opening 41A surrounded by the partition wall 41. Each of the pixel electrodes 24G-1 and 24G-2 is formed on the surface of the interlayer insulating film 52 formed on the light transmissive substrate 51, and through the contact hole 52A opened in the interlayer insulating film 52, the interlayer insulating film 52 is formed. Are connected to a circuit element such as a driving transistor 23 embedded in the substrate. Assuming that the traveling direction of light from the organic EL element 27 is the −Z direction, the contact hole 52A is formed at a position overlapping the partition wall 41 in plan view when viewed from the ± Z direction. Although not shown in FIG. 3, circuit elements other than the drive transistor 23 (for example, the switching transistor 21, the storage capacitor 22, the scanning line 12, the signal line 13, and the power supply line 14) are also embedded in the interlayer insulating film 52. Similarly, these circuit elements are also formed at positions overlapping the partition walls 41 when viewed from the ± Z direction. With such a structure, the light from the organic EL element 27 can be prevented from being blocked by the circuit element.

なお、図2を参照すると、隣接する二つの画素10−1,10−2の同一色に対応する二つの副画素に形成される二つのコンタクトホール52Aは、隣接する二つの副画素の間を中心として対称的な位置に配置される。   Referring to FIG. 2, the two contact holes 52A formed in the two subpixels corresponding to the same color of the two adjacent pixels 10-1 and 10-2 are formed between the two adjacent subpixels. It is arranged at a symmetrical position as the center.

隔壁41の材質は、適度な耐熱性及び耐溶剤性を有する絶縁膜が好ましく、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、オレフィン樹脂、メラミン樹脂等の高分子材料、ポリシラザン、ポリシロキサン等を含有した有機・無機ハイブリッド材料等が好適である。隔壁41の形成方法としては、リソグラフィ法や印刷法等、任意の方法を用いることができる。例えば、リソグラフィ法を使用する場合は、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等所定の方法で、隔壁41の構成材料からなる層を形成した後、エッチングやアッシング等によりパターニングすればよい。   The material of the partition wall 41 is preferably an insulating film having appropriate heat resistance and solvent resistance. For example, the partition wall 41 is made of an organic or organic polymer containing polysilazane, polysiloxane, etc. An inorganic hybrid material or the like is preferable. As a method for forming the partition wall 41, an arbitrary method such as a lithography method or a printing method can be used. For example, when a lithography method is used, a layer made of the constituent material of the partition wall 41 is formed by a predetermined method such as spin coating, spray coating, roll coating, die coating, dip coating, and then patterned by etching, ashing, or the like. Good.

図4は、図3に示す画素構造に機能層26及び陰極25を形成した断面構造を示している。機能層26は、正孔注入層31、正孔輸送層32、発光層33、及び電子輸送層34を積層した構造を有している。発光層33は、有機化合物からなる高分子有機化合物や低分子有機化合物であることが好ましい。有機化合物を使用することにより、低電圧で高輝度の面発光を可能にすることができる。また、発光材料の幅広い選択により発光層33の合理的設計が可能となる。有機発光層材料としては、高分子有機化合物そのもの、又は加熱等により共役化する共役高分子有機化合物の前駆体や低分子化合物等が用いられる。共役化する前の前駆体や低分子化合物を発光材料として用いる場合には、液滴吐出装置60の吐出液として表面張力や粘度等の調整が容易であり、精密なパターニングが可能で、発光層33の発光特性や膜性状を容易に制御することができる。   FIG. 4 shows a cross-sectional structure in which the functional layer 26 and the cathode 25 are formed in the pixel structure shown in FIG. The functional layer 26 has a structure in which a hole injection layer 31, a hole transport layer 32, a light emitting layer 33, and an electron transport layer 34 are stacked. The light emitting layer 33 is preferably a high molecular organic compound or a low molecular organic compound made of an organic compound. By using an organic compound, surface emission with high luminance and low voltage can be enabled. In addition, the light emitting layer 33 can be rationally designed by a wide selection of light emitting materials. As the organic light emitting layer material, a polymer organic compound itself, a precursor of a conjugated polymer organic compound conjugated by heating or the like, a low molecular compound, or the like is used. In the case where a precursor or a low molecular weight compound before conjugation is used as a light emitting material, it is easy to adjust the surface tension, viscosity, etc. as the discharge liquid of the droplet discharge device 60, and precise patterning is possible. The light emission characteristics and film properties of 33 can be easily controlled.

発光層33を形成し得る有機化合物としては、例えばPPV(ポリ(パラ−フェニレンビニレン))又はその誘導体、PTV(ポリ(2,5-チエニレンビニレン))等のポリアルキルチオフェン、PFV(ポリ(2,5-フリレンビニレン))、ポリパラフェニレン、ポリアルキルフルオレン等のポリアリレンビニレン、ピラゾリンダイマー、キノリジンカルボン酸、ベンゾピリリウムパークロレート、ベンゾピラノキノリジン、ルブレン、フェナントロリンユウロピウム錯体等が挙げられ、これらを1種又は2種以上を混合して用いることができる。   Examples of the organic compound that can form the light emitting layer 33 include PPV (poly (para-phenylene vinylene)) or a derivative thereof, polyalkylthiophene such as PTV (poly (2,5-thienylene vinylene)), PFV (poly ( 2,5-furylene vinylene)), polyarylene vinylene such as polyparaphenylene, polyalkylfluorene, pyrazoline dimer, quinolidinecarboxylic acid, benzopyrylium perchlorate, benzopyranoquinolidine, rubrene, phenanthroline europium complex These may be used, and these may be used alone or in combination of two or more.

また、正孔注入層31、正孔輸送層32、及び電子輸送層34として、それぞれ、PEDOT−TSS、TFB、及びPBDを使用すればよい。また、隔壁41の表面は、例えばフッ素プラズマ処理等により、機能層26の液状材料に対して撥液性が付与されているものや、フォトリソグラフィにより形成された時点で撥液性が付与されている隔壁であることが好ましい。一方、画素電極24の表面は、例えば酸素プラズマ処理やUVオゾン処理により、機能層26の液状材料に対して親液性を有しているのが好ましい。これにより、二つ一組にグループ化された副画素への液滴の着弾性能を高め、混色や充填不良等を抑制できる。なお、撥液性とは、液滴との接触角が相対的に大きい性質を意味し、親液性とは、液滴との接触角が相対的に小さい性質を意味する。接触角は、プラズマ処理時の印加電圧、印加周波数、処理時間、処理ガス分圧等、またUVオゾン処理時の酸素分圧や処理時間、UV種や照度によって調整可能である。   Further, PEDOT-TSS, TFB, and PBD may be used as the hole injection layer 31, the hole transport layer 32, and the electron transport layer 34, respectively. In addition, the surface of the partition wall 41 is provided with liquid repellency to the liquid material of the functional layer 26 by, for example, fluorine plasma treatment or the like, or is provided with liquid repellency when formed by photolithography. It is preferable that it is a partition wall. On the other hand, the surface of the pixel electrode 24 is preferably lyophilic with respect to the liquid material of the functional layer 26 by, for example, oxygen plasma treatment or UV ozone treatment. As a result, the landing performance of droplets on the subpixels grouped in pairs can be improved, and color mixing and filling defects can be suppressed. Liquid repellency means a property having a relatively large contact angle with the droplet, and lyophilic property means a property having a relatively small contact angle with the droplet. The contact angle can be adjusted by the applied voltage, applied frequency, processing time, processing gas partial pressure, etc. during plasma processing, oxygen partial pressure, processing time, UV type and illuminance during UV ozone processing.

実施例1によれば、隣接する二つの画素10−1,10−2の同一色に対応する二つの副画素は、機能層26の液状の構成材料の一つの充填単位として、隔壁41に囲われているため、一つの充填単位あたりに使用できる液滴吐出装置60のノズル数を増やすことができ、ノズル61間の液滴吐出量のばらつきを高分解能で補正することができる。例えば、液滴吐出装置60のノズル61の解像度が360ppiの場合、画素ピッチが60ppiよりも高精細になると、一つの副画素を一つの充填単位とする従来技術では一つの充填単位に使用できるノズル数が、ノズル間液滴吐出量ばらつきの高分解能な補正が困難な程度に減ってしまう問題が生じるが、実施例1によれば、一つの充填単位あたりに使用できるノズル数を、ノズル間液滴吐出量ばらつきの高分解能な補正に十分な数にできるため、ノズル間の液滴吐出量のばらつきを高分解能に補正することができる。   According to the first embodiment, two sub-pixels corresponding to the same color of two adjacent pixels 10-1 and 10-2 are surrounded by the partition wall 41 as one filling unit of the liquid constituent material of the functional layer 26. Therefore, the number of nozzles of the droplet discharge device 60 that can be used per one filling unit can be increased, and variations in the droplet discharge amount among the nozzles 61 can be corrected with high resolution. For example, when the resolution of the nozzle 61 of the droplet discharge device 60 is 360 ppi and the pixel pitch is higher than 60 ppi, the nozzle that can be used for one filling unit in the conventional technology in which one subpixel is one filling unit. However, according to the first embodiment, the number of nozzles that can be used per one filling unit is reduced to the number of nozzles that can be used. Since the number of droplet discharge amounts can be sufficient for high-resolution correction, variation in droplet discharge amount between nozzles can be corrected with high resolution.

また、実施例1によれば、有機EL素子27を駆動するための回路素子は、有機EL素子27からの光の進行方向から見て隔壁41と平面的に重なる位置に形成されているため、有機EL素子27からの光が回路素子によって遮蔽されることを回避し、不定形な発光を抑制できる。   Further, according to the first embodiment, the circuit element for driving the organic EL element 27 is formed at a position overlapping the partition wall 41 in plan view as viewed from the traveling direction of the light from the organic EL element 27. The light from the organic EL element 27 can be prevented from being shielded by the circuit element, and irregular light emission can be suppressed.

次に、図5乃至図7を参照しながら実施例2に係わる有機EL装置11の画素構造について説明する。図5は画素構造の平面図を示し、図6は図5の6−6線矢視断面図を示し、図7は画素構造の断面図を示す。但し、説明の便宜上、図5及び図6では、機能層26及び共通電極25の図示を省略している。また、図7は、図6に示す画素構造に機能層26及び陰極25を形成した断面構造を示している。実施例2に係わる有機EL装置11は、隣接する二つの画素10−1,10−2の同一色に対応する二つの副画素の隣り合う画素電極24の間の段差を埋めるための薄膜42を備える点で実施例1に係わる有機EL装置11と相違し、その余の点で共通している。薄膜42は、例えば、シリコン酸化膜等の無機絶縁膜をリソグラフィ法によりパターニングして得られ、その表面には、例えば酸素プラズマ処理等によって機能層26の液状材料に対して親液性が付与されている。隣り合う二つの画素電極24の間の段差を埋めるための薄膜24を形成することにより、液滴吐出法により形成される発光層33が段差部分で段切れして電気的な短絡を招いたり、或いは薄くなって発光輝度の低下を招いたりすることを抑制できる。   Next, the pixel structure of the organic EL device 11 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 5 shows a plan view of the pixel structure, FIG. 6 shows a sectional view taken along line 6-6 in FIG. 5, and FIG. 7 shows a sectional view of the pixel structure. However, for convenience of explanation, illustration of the functional layer 26 and the common electrode 25 is omitted in FIGS. 5 and 6. FIG. 7 shows a cross-sectional structure in which the functional layer 26 and the cathode 25 are formed in the pixel structure shown in FIG. The organic EL device 11 according to the second embodiment includes a thin film 42 for filling a step between adjacent pixel electrodes 24 of two subpixels corresponding to the same color of two adjacent pixels 10-1 and 10-2. It differs from the organic EL device 11 according to the first embodiment in that it is provided, and is common in the remaining points. The thin film 42 is obtained, for example, by patterning an inorganic insulating film such as a silicon oxide film by a lithography method, and its surface is given lyophilicity to the liquid material of the functional layer 26 by, for example, oxygen plasma treatment. ing. By forming the thin film 24 for filling the step between the two adjacent pixel electrodes 24, the light emitting layer 33 formed by the droplet discharge method is cut off at the step portion, causing an electrical short circuit, Or it can suppress that it becomes thin and causes the fall of light-emitting luminance.

実施例3に係わる電子機器は、実施例1,2に係わる有機EL装置11を表示部500として備える。電子機器の例として、例えば図9に示すように、携帯電話530、ビデオカメラ540、テレビジョン550、ロールアップ式テレビジョン560等を挙げることができる。
図9(A)に示すように、携帯電話530は、アンテナ部531、音声出力部532、音声入力部533、操作部534、及び表示部500を備える。
図9(B)に示すように、ビデオカメラ540は、受像部541、操作部542、音声入力部543、及び表示部500を備える。
図9(C)に示すように、テレビジョン550は、表示部500を備える。
図9(D)に示すように、ロールアップ式テレビジョン560は、表示部500を備える。
The electronic apparatus according to the third embodiment includes the organic EL device 11 according to the first and second embodiments as a display unit 500. Examples of electronic devices include a mobile phone 530, a video camera 540, a television 550, a roll-up television 560, as shown in FIG.
As shown in FIG. 9A, the cellular phone 530 includes an antenna portion 531, an audio output portion 532, an audio input portion 533, an operation portion 534, and a display portion 500.
As shown in FIG. 9B, the video camera 540 includes an image receiving unit 541, an operation unit 542, an audio input unit 543, and a display unit 500.
As illustrated in FIG. 9C, the television 550 includes a display portion 500.
As shown in FIG. 9D, the roll-up television 560 includes a display portion 500.

なお、実施例3に係わる電子機器の例としては、上述の他、例えば、表示機能付きファックス装置、デジタルカメラのファインダ、携帯型TV、電子手帳、電光掲示板、宣伝広告用ディスプレイ等がある。   In addition to the above, examples of the electronic apparatus according to the third embodiment include, for example, a fax machine with a display function, a digital camera finder, a portable TV, an electronic notebook, an electronic bulletin board, and an advertisement display.

10−1…画素領域 10−2…画素領域 10R−1…赤副画素 10R−2…赤副画素 10G−1…緑副画素 10G−2…緑副画素 10B−1…青副画素 10B−2…青副画素 11…有機EL装置 12…走査線 13…信号線 14…電源線 15…信号線駆動回路 16…走査線駆動回路 21…スイッチングトランジスタ 22…保持容量 23…駆動トランジスタ 24R−1…画素電極 24R−2…画素電極 24G−1…画素電極 24G−2…画素電極 24B−1…画素電極 24B−2…画素電極 25…共通電極 26…機能層 27…有機EL素子 31…正孔注入層 32…正孔輸送層 33…発光層 34…電子輸送層 41…隔壁 41A…開口部 42…薄膜 51…基板 52…層間絶縁膜 52A…コンタクトホール 60…液滴吐出装置 61…ノズル 500…表示部 530…携帯電話 531…アンテナ部 532…音声出力部 533…音声入力部 534…操作部 540…ビデオカメラ 541…受像部 542…操作部 543…音声入力部 550…テレビジョン 560…ロールアップ式テレビジョン 10-1 ... Pixel area 10-2 ... Pixel area 10R-1 ... Red subpixel 10R-2 ... Red subpixel 10G-1 ... Green subpixel 10G-2 ... Green subpixel 10B-1 ... Blue subpixel 10B-2 ... Blue sub-pixel 11 ... Organic EL device 12 ... Scanning line 13 ... Signal line 14 ... Power supply line 15 ... Signal line driving circuit 16 ... Scanning line driving circuit 21 ... Switching transistor 22 ... Retention capacitor 23 ... Drive transistor 24R-1 ... Pixel Electrode 24R-2 ... Pixel electrode 24G-1 ... Pixel electrode 24G-2 ... Pixel electrode 24B-1 ... Pixel electrode 24B-2 ... Pixel electrode 25 ... Common electrode 26 ... Functional layer 27 ... Organic EL element 31 ... Hole injection layer 32 ... Hole transport layer 33 ... Light emitting layer 34 ... Electron transport layer 41 ... Partition wall 41A ... Opening 42 ... Thin film 51 ... Substrate 52 ... Interlayer insulating film 52A ... Contact 60: Droplet discharge device 61 ... Nozzle 500 ... Display unit 530 ... Mobile phone 531 ... Antenna unit 532 ... Audio output unit 533 ... Audio input unit 534 ... Operation unit 540 ... Video camera 541 ... Image receiving unit 542 ... Operation unit 543 ... voice input unit 550 ... television 560 ... roll-up television

Claims (3)

複数の画素を備える有機EL装置であって、
各画素は、三原色に対応する三つの副画素を有しており、
各副画素は、三原色に対応する光を発光する有機EL素子を有しており、
隣接する二つの画素の同一色に対応する二つの副画素は、前記二つの副画素のそれぞれが有する有機EL素子の液状の構成材料に対して撥液性の隔壁に囲われており、
前記有機EL素子を駆動するための回路素子は、前記有機EL素子からの光の進行方向から見て前記隔壁と平面的に重なる位置に形成されている、有機EL装置。
An organic EL device including a plurality of pixels,
Each pixel has three subpixels corresponding to the three primary colors,
Each sub-pixel has an organic EL element that emits light corresponding to the three primary colors,
Two subpixels corresponding to the same color of two adjacent pixels are surrounded by a liquid-repellent partition wall with respect to the liquid constituent material of the organic EL element included in each of the two subpixels.
The organic EL device, wherein the circuit element for driving the organic EL element is formed at a position overlapping with the partition in plan view when viewed from a traveling direction of light from the organic EL element.
請求項1に記載の有機EL装置であって、
前記同一色に対応する二つの副画素の隣り合う画素電極の間の段差を埋めるための薄膜を更に備える、有機EL装置。
The organic EL device according to claim 1,
An organic EL device further comprising a thin film for filling a step between adjacent pixel electrodes of two subpixels corresponding to the same color.
請求項1乃至請求項2のうち何れか1項に記載の有機EL装置の製造方法であって、前記液状の構成材料は液滴吐出法により吐出され膜形成されることを特徴とする有機EL装置の製造方法。   3. The method of manufacturing an organic EL device according to claim 1, wherein the liquid constituent material is ejected by a droplet ejection method to form a film. Device manufacturing method.
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