JP2013007001A - Adhesive composition - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive composition in a paste state, which is excellent in viscosity stability and B-stage storage stability in an open system at room temperature and provides a cured product having no void.SOLUTION: The adhesive composition comprises the following components: an epoxy resin (A); an epoxy resin-curing accelerator (B); thermoplastic resin particles that are in a solid phase at 25°C; butyl carbitol acetate (D); an epoxy resin-curing agent (E); and an inorganic filler (F). The component (C) exists in the component (D) at room temperature without being dissolved or swelled.

Description

本発明は、半導体素子を接着するのに好適な接着剤組成物に関し、詳細には、エポキシ樹脂溶液相に相溶性でない硬化促進剤及び熱可塑性樹脂粒子を含み、室温での粘度の安定性に優れることから作業性が良好であり、かつ基板上で安定したBステージ状態を形成する接着剤組成物に関する。   The present invention relates to an adhesive composition suitable for adhering semiconductor elements, and in particular, includes a curing accelerator and thermoplastic resin particles that are not compatible with an epoxy resin solution phase, and improves the viscosity stability at room temperature. Since it is excellent, it is related with the adhesive composition which is favorable in workability | operativity and forms the stable B stage state on a board | substrate.

エポキシ樹脂は接着性・耐熱性・耐湿性に優れていることから、種々の用途に使用されている。特に液状エポキシ樹脂は、微細化・高速化が推し進められている半導体分野において、複雑・微細な設計のデバイスにも対応できるため、広く使用されている。その反面、液状エポキシ樹脂は反応性が高く、保存に際して細心の注意を要する。   Epoxy resins are used in various applications because of their excellent adhesiveness, heat resistance, and moisture resistance. In particular, liquid epoxy resins are widely used in the semiconductor field where miniaturization and high speed are being promoted, since they can be used for devices with complicated and fine designs. On the other hand, liquid epoxy resins are highly reactive and require careful attention during storage.

チップを基板上の正確な位置に実装するために、液状エポキシ樹脂を基板上に塗布した後に、比較的低温で加熱して流動性を失わせて、完全には硬化しない状態、いわゆるBステージ状態とし、この上にチップを搭載してから完全に硬化させることが行われている。
液状エポキシ樹脂を基板上に塗布する方法としては印刷法、ディスペンス法などが挙げられる。
In order to mount the chip at an accurate position on the substrate, after applying a liquid epoxy resin on the substrate, it is heated at a relatively low temperature to lose fluidity, and is not completely cured, so-called B stage state In addition, the chip is mounted on this and then completely cured.
Examples of the method for applying the liquid epoxy resin on the substrate include a printing method and a dispensing method.

国際公開第2007/029504号International Publication No. 2007/029504

一般的に、接着剤組成物の粘度を各使用条件に適応させるために、組成物に溶剤を添加して粘度を調節することが多い。しかしながら、特に印刷法では長時間開放系で作業するために、溶剤揮発による粘度上昇で、印刷作業性の悪化が懸念される。
また溶剤含有量を調節することで、溶剤を揮発させたBステージ化時の接着剤組成物の膜厚を容易に調節できる。しかし、溶剤を大量に添加することにより固形熱可塑樹脂が溶剤により膨潤又は溶解し、粘度上昇を招くという問題もある。
In general, in order to adapt the viscosity of the adhesive composition to each use condition, a viscosity is often adjusted by adding a solvent to the composition. However, particularly in the printing method, since the work is performed in an open system for a long time, there is a concern that the printing workability may be deteriorated due to an increase in viscosity due to solvent evaporation.
Further, by adjusting the solvent content, the film thickness of the adhesive composition at the time of B-stage where the solvent is volatilized can be easily adjusted. However, there is also a problem that the solid thermoplastic resin swells or dissolves with the solvent when the solvent is added in a large amount, thereby increasing the viscosity.

本発明は、ペースト状態で室温開放系における粘度安定性及びBステージ保存安定性に優れ、且つ、ボイドの無い硬化物を与える接着剤組成物を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an adhesive composition that is excellent in viscosity stability and B-stage storage stability in a room temperature open system in a paste state, and gives a cured product without voids.

本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、該目的を達成するものとして、以下の接着剤組成物を発明するに至った。
[1]
成分(A)エポキシ樹脂
成分(B)エポキシ樹脂硬化促進剤
成分(C)25℃において固体状の熱可塑性樹脂の粒子
成分(D)ブチルカルビトールアセテート
成分(E)エポキシ樹脂硬化剤、及び
成分(F)無機充填剤
を含み、成分(C)が成分(D)に室温で溶解も膨潤もせずに残存している状態であることを特徴とする接着剤組成物。
[2]
前記成分(D)が、前記成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して、5〜400質量部含まれることを特徴とする上記[1]記載の接着剤組成物。
[3]
前記成分(B)が、前記成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して、0.1〜10質量部含まれることを特徴とする上記[1]または[2]記載の接着剤組成物。
[4]
前記成分(C)が、前記成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して、5〜50質量部含まれることを特徴とする上記[1]〜[3]のいずれか1に記載の接着剤組成物。
[5]
前記成分(C)が、メタクリル樹脂、フェノキシ樹脂、ブタジエン樹脂、ポリスチレン樹脂及びこれらの共重合体からなる群より選択される少なくとも1種の熱可塑性樹脂の粒子であることを特徴とする上記[1]〜[4]のいずれか1に記載の接着剤組成物。
[6]
前記成分(C)のポリスチレン換算の数平均分子量が10,000〜100,000、重量平均分子量が100,000〜1,000,000であることを特徴とする上記[1]〜[5]のいずれか1に記載の接着剤組成物。
[7]
前記成分(A)及び成分(E)の少なくともいずれかの成分が、シリコーン変性樹脂を含む、上記[1]〜[6]のいずれか1に記載の接着剤組成物。
[8]
前記成分(F)が、成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して10〜200質量部含まれることを特徴とする上記[1]〜[7]のいずれか1に記載の接着剤組成物。
[9]
E型粘度計により25℃において測定される接着剤組成物の粘度が、0.1〜500Pa・sである、[1]〜[8]のいずれか1に記載の接着剤組成物。
[10]
上記[1]〜[9]のいずれか1に記載の接着剤組成物を用いた半導体装置。
As a result of intensive studies in order to achieve the above object, the present inventor has invented the following adhesive composition to achieve the object.
[1]
Component (A) Epoxy resin component (B) Epoxy resin curing accelerator component (C) Particle component of thermoplastic resin solid at 25 ° C. (D) Butyl carbitol acetate component (E) Epoxy resin curing agent, and component ( F) An adhesive composition comprising an inorganic filler, wherein component (C) remains in component (D) at room temperature without being dissolved or swollen.
[2]
The adhesive composition according to the above [1], wherein the component (D) is contained in an amount of 5 to 400 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the component (A) and the component (E).
[3]
The component (B) is contained in an amount of 0.1 to 10 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the component (A) and the component (E), according to the above [1] or [2] Adhesive composition.
[4]
Any one of the above [1] to [3], wherein the component (C) is contained in an amount of 5 to 50 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the component (A) and the component (E). The adhesive composition described in 1.
[5]
[1] The component (C) is particles of at least one thermoplastic resin selected from the group consisting of methacrylic resin, phenoxy resin, butadiene resin, polystyrene resin and copolymers thereof [1] ] Adhesive composition of any one of [4].
[6]
[1] to [5] above, wherein the component (C) has a polystyrene-equivalent number average molecular weight of 10,000 to 100,000 and a weight average molecular weight of 100,000 to 1,000,000. The adhesive composition according to any one of the above.
[7]
The adhesive composition according to any one of [1] to [6] above, wherein at least one of the component (A) and the component (E) includes a silicone-modified resin.
[8]
The said component (F) is contained in 10-200 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a component (A) and a component (E), Any one of said [1]-[7] characterized by the above-mentioned. Adhesive composition.
[9]
The adhesive composition according to any one of [1] to [8], wherein the viscosity of the adhesive composition measured at 25 ° C with an E-type viscometer is 0.1 to 500 Pa · s.
[10]
A semiconductor device using the adhesive composition according to any one of [1] to [9].

本発明は、ペースト状態で室温開放系における粘度安定性及びBステージ保存安定性に優れ、且つ、ボイドの無い硬化物を与える接着剤組成物を提供するものである。   The present invention provides an adhesive composition that is excellent in viscosity stability and B-stage storage stability in a room temperature open system in a paste state, and gives a cured product without voids.

本発明の接着剤組成物(「本発明の組成物」とも称する。)に含まれる各成分について以下詳述する。   Each component contained in the adhesive composition of the present invention (also referred to as “the composition of the present invention”) will be described in detail below.

<成分(A):エポキシ樹脂>
本発明において、(A)エポキシ樹脂としては、例えばノボラック型、ビスフェノール型、ビフェニル型、フェノールアラルキル型、ビフェニルアラルキル型、トリフェノールアルカン型、ジシクロペンタジエン型、ナフタレン型、アミノ基含有型、後述するシリコーン変性エポキシ樹脂及びこれらの混合物等が挙げられる。なかでも、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ノボラック型エポキシ樹脂及びシリコーン変性エポキシ樹脂が好ましい。
<Component (A): Epoxy resin>
In the present invention, examples of the (A) epoxy resin include novolak type, bisphenol type, biphenyl type, phenol aralkyl type, biphenyl aralkyl type, triphenolalkane type, dicyclopentadiene type, naphthalene type, amino group-containing type, which will be described later. Examples include silicone-modified epoxy resins and mixtures thereof. Of these, bisphenol A type, bisphenol F type, novolac type epoxy resin and silicone-modified epoxy resin are preferable.

シリコーン変性エポキシ樹脂は、アルケニル基含有エポキシ樹脂とオルガノハイドロジェンポリシロキサンとを反応させて得られる共重合体である。アルケニル基含有エポキシ樹脂としては、たとえば下記式(1)〜(4)に示されるものが挙げられる。   The silicone-modified epoxy resin is a copolymer obtained by reacting an alkenyl group-containing epoxy resin with an organohydrogenpolysiloxane. Examples of the alkenyl group-containing epoxy resin include those represented by the following formulas (1) to (4).

Figure 2013007001
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Figure 2013007001
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上記式(1)〜(4)において、Rは下記式で表されるグリシジル基であり、 In the above formulas (1) to (4), R 1 is a glycidyl group represented by the following formula:

Figure 2013007001
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Xは水素原子又は臭素原子であり、nは0以上の整数、好ましくは0〜50、より好ましくは1〜20の整数である。mは1以上の整数、好ましくは1〜5の整数、より好ましくは0又は1である。   X is a hydrogen atom or a bromine atom, and n is an integer of 0 or more, preferably 0 to 50, more preferably an integer of 1 to 20. m is an integer of 1 or more, preferably an integer of 1 to 5, more preferably 0 or 1.

上記アルケニル基含有エポキシ樹脂と反応させるオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、1分子中に少なくとも2個、好ましくは2個の、ケイ素原子に結合した水素原子(SiHで示されるヒドロシリル基)を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンであり、下記平均組成式(5)で示される化合物である。   The organohydrogenpolysiloxane to be reacted with the alkenyl group-containing epoxy resin is an organohydrogen having at least 2, preferably 2, hydrogen atoms bonded to silicon atoms (hydrosilyl group represented by SiH) in one molecule. Polysiloxane, which is a compound represented by the following average composition formula (5).

Figure 2013007001
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上記式(5)において、Rは置換若しくは非置換の1価炭化水素基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、又はアルケニルオキシ基である。
1価炭化水素基としては、炭素数1〜10の1価炭化水素基が好ましく、例えばメチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、デシル基等のアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基や、これらの炭化水素基の水素原子の一部または全部をハロゲン原子で置換したハロゲン置換1価炭化水素基が挙げられる。
式(5)において、a、bは0.001≦a≦1、1≦b≦3、1≦a+b<4を満足する数であり、好ましくは0.01≦a≦0.1、1.8≦b≦2、1.85≦a+b≦2.1である。該オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、1分子中にケイ素原子を1〜1000個、好ましくは2〜400個、さらに好ましくは5〜200個有するものが望ましい。該オルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、例えば、分子鎖両末端ジオルガノハイドロジェンシロキシ基封鎖ジオルガノポリシロキサン、分子鎖両末端ジオルガノハイドロジェンシロキシ基封鎖ジオルガノシロキサン・オルガノハイドロジェンシロキサン共重合体等が挙げられ、特には、式(6)で示される化合物が挙げられる。
In the above formula (5), R 2 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group, hydroxy group, alkoxy group, or alkenyloxy group.
The monovalent hydrocarbon group is preferably a monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms. For example, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, Alkyl groups such as pentyl group, neopentyl group, hexyl group, cyclohexyl group, octyl group, decyl group, alkenyl group such as vinyl group, allyl group, propenyl group, butenyl group, aryl group such as phenyl group, tolyl group, benzyl group And an aralkyl group such as a phenylethyl group, and a halogen-substituted monovalent hydrocarbon group in which part or all of the hydrogen atoms of these hydrocarbon groups are substituted with a halogen atom.
In the formula (5), a and b are numbers satisfying 0.001 ≦ a ≦ 1, 1 ≦ b ≦ 3, 1 ≦ a + b <4, preferably 0.01 ≦ a ≦ 0.1, 1. 8 ≦ b ≦ 2, 1.85 ≦ a + b ≦ 2.1. The organohydrogenpolysiloxane desirably has 1 to 1000, preferably 2 to 400, more preferably 5 to 200 silicon atoms in one molecule. Examples of the organohydrogenpolysiloxane include molecular chain both ends diorganohydrogensiloxy group blocked diorganopolysiloxane, molecular chain both ends diorganohydrogensiloxy group blocked diorganosiloxane / organohydrogensiloxane copolymer, etc. In particular, the compound represented by the formula (6) is exemplified.

Figure 2013007001
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(Rは上述の通りであり、好ましくはメチル基又はフェニル基である。pは0〜1000の整数、好ましくは3〜400の整数であり、qは0〜20の整数、好ましくは0〜5の整数であり、1<p+q<1000、好ましくは2<p+q<400、さらに好ましくは5<p+q<200を満たす整数である。) (R 2 is as described above, preferably a methyl group or a phenyl group. P is an integer of 0 to 1000, preferably an integer of 3 to 400, and q is an integer of 0 to 20, preferably 0 to 0. And an integer satisfying 1 <p + q <1000, preferably 2 <p + q <400, and more preferably 5 <p + q <200.)

このようなオルガノハイドロジェンポリシロキサンとして、さらに具体的には下記のものを挙げることができる。   More specific examples of such organohydrogenpolysiloxanes include the following.

Figure 2013007001
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オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、分子量100〜100,000、好ましくは500〜20000であることが望ましい。オルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子量が前記範囲内である場合、該オルガノハイドロジェンポリシロキサンと反応させるアルケニル基含有エポキシ樹脂の構造又は分子量により、オルガノハイドロジェンポリシロキサンがマトリクスに均一に分散した均一構造、又はオルガノハイドロジェンポリシロキサンがマトリクスに微細な層分離を形成する海島構造が出現する。   The organohydrogenpolysiloxane has a molecular weight of 100 to 100,000, preferably 500 to 20,000. When the molecular weight of the organohydrogenpolysiloxane is within the above range, the structure or molecular weight of the alkenyl group-containing epoxy resin to be reacted with the organohydrogenpolysiloxane allows a uniform structure in which the organohydrogenpolysiloxane is uniformly dispersed in the matrix, Alternatively, a sea-island structure appears in which organohydrogenpolysiloxane forms fine layer separation in the matrix.

オルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子量が比較的小さい場合、特に100〜10,000である場合は均一構造が形成され、オルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子量が比較的大きい場合、特に10,000〜100,000である場合は海島構造が形成される。均一構造と海島構造の何れかは用途に応じて選択されればよい。オルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子量が100未満であれば硬化物は剛直で脆くなり、一方、分子量が100,000より大きければ、海島構造が大きくなり局所的な応力が発生するため好ましくない。   When the molecular weight of the organohydrogenpolysiloxane is relatively small, particularly 100 to 10,000, a uniform structure is formed. When the molecular weight of the organohydrogenpolysiloxane is relatively large, particularly 10,000 to 100,000. If so, a sea-island structure is formed. Either a uniform structure or a sea-island structure may be selected according to the application. If the molecular weight of the organohydrogenpolysiloxane is less than 100, the cured product is rigid and brittle. On the other hand, if the molecular weight is greater than 100,000, the sea-island structure is increased and local stress is generated, which is not preferable.

アルケニル基含有エポキシ樹脂とオルガノハイドロジェンポリシロキサンを反応させる方法は公知の方法を用いることができ、例えば、白金系触媒の存在下で、アルケニル基含有エポキシ樹脂とオルガノハイドロジェンポリシロキサンとを付加反応に付する。オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、アルケニル基含有エポキシ樹脂が有するアルケニル基1モルに対し、オルガノハイドロジェンポリシロキサンが有するSiH基が0.1〜1モルとなる量で共重合させることが好ましい。   A known method can be used for reacting the alkenyl group-containing epoxy resin with the organohydrogenpolysiloxane. For example, an addition reaction between the alkenyl group-containing epoxy resin and the organohydrogenpolysiloxane in the presence of a platinum-based catalyst. It is attached to. The organohydrogenpolysiloxane is preferably copolymerized in such an amount that the SiH group of the organohydrogenpolysiloxane is 0.1 to 1 mol with respect to 1 mol of the alkenyl group of the alkenyl group-containing epoxy resin.

<成分(B):硬化促進剤>
(B)硬化促進剤としては、例えば有機リン、イミダゾール、3級アミン等の塩基性有機化合物が挙げられる。有機リンの例としては、トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリ(p−トルイル)ホスフィン、トリ(p−メトキシフェニル)ホスフィン、トリ(p−エトキシフェニル)ホスフィン、トリフェニルホスフィン・トリフェニルボレート誘導体、テトラフェニルホスフィン・テトラフェニルボレート誘導体等が挙げられる。イミダゾールの例としては、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル-4-メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。3級アミンの例としてはトリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、α−メチルベンジルジメチルアミン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等が挙げられる。
<Component (B): Curing accelerator>
(B) As a hardening accelerator, basic organic compounds, such as organic phosphorus, an imidazole, a tertiary amine, are mentioned, for example. Examples of organic phosphorus include triphenylphosphine, tributylphosphine, tri (p-toluyl) phosphine, tri (p-methoxyphenyl) phosphine, tri (p-ethoxyphenyl) phosphine, triphenylphosphine / triphenylborate derivatives, tetra Examples thereof include phenylphosphine and tetraphenylborate derivatives. Examples of imidazole include 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxy. Examples include methylimidazole and 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole. Examples of the tertiary amine include triethylamine, benzyldimethylamine, α-methylbenzyldimethylamine, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, and the like.

これらのなかでも、下記式(7)に表されるテトラフェニルホスフィン・テトラフェニルボレート誘導体、又は下記式(8)で表されるメチロールイミダゾール誘導体が好ましく、より好ましくは、後述する(E)硬化剤のフェノール樹脂またはシリコーン変性フェノール樹脂と、これらを組合せて使用する。   Among these, a tetraphenylphosphine / tetraphenylborate derivative represented by the following formula (7) or a methylolimidazole derivative represented by the following formula (8) is preferable, and more preferably (E) curing agent described later. These phenol resins or silicone-modified phenol resins are used in combination.

Figure 2013007001
Figure 2013007001

但し、RB1乃至RB8は夫々独立に水素原子、炭素数1乃至10の炭化水素基、又はハロゲン原子である。 However, R B1 to R B8 are each independently a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, or a halogen atom.

Figure 2013007001
Figure 2013007001

但し、RB9はメチル基又はメチロール基であり、R10は炭素数1乃至10の炭化水素基である。 However, R B9 is a methyl group or a methylol group, and R 10 is a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms.

(B)硬化促進剤の添加量は、(A)エポキシ樹脂と(E)エポキシ樹脂硬化剤との合計の100質量部に対して、0.1〜10質量部であることが望ましく、特に0.2〜5質量部であることが望ましい。硬化促進剤が前記下限値未満である場合は、接着剤組成物が硬化不十分になる恐れがあり、また前記上限値より多い場合は接着剤組成物の保存性、又はBステージ状態の安定性に支障をきたす恐れがある。   The addition amount of the (B) curing accelerator is desirably 0.1 to 10 parts by mass, particularly 0 with respect to 100 parts by mass of the total of (A) the epoxy resin and (E) the epoxy resin curing agent. Desirably 2 to 5 parts by mass. When the curing accelerator is less than the lower limit, the adhesive composition may be insufficiently cured, and when it is higher than the upper limit, the storage stability of the adhesive composition or the stability of the B stage state May cause trouble.

<成分(C):熱可塑性樹脂粒子>
本発明の組成物は、25℃で固体状の(C)熱可塑性樹脂粒子を含む。後述するように、該熱可塑性樹脂は、保存中、さらには基板に塗布される温度において、(D)ブチルカルビトールアセテートに溶解も膨潤もせず、ブチルカルビトールアセテートに溶解されたエポキシ樹脂(A)とは別の相に存在する。
<Component (C): Thermoplastic resin particles>
The composition of the present invention comprises (C) thermoplastic resin particles that are solid at 25 ° C. As will be described later, the thermoplastic resin is not dissolved or swelled in (D) butyl carbitol acetate during storage or at the temperature applied to the substrate, and the epoxy resin (A) dissolved in butyl carbitol acetate (A) ) Exists in a different phase.

該熱可塑性樹脂としては公知の樹脂であってよく、例えばAAS樹脂、AES樹脂、AS樹脂、ABS樹脂、MBS樹脂、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、メタクリル樹脂、フェノキシ樹脂、ポリブタジエン樹脂、各種のフッ素樹脂、各種のシリコーン樹脂、ポリアセタール、各種のポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリエチレンオキサイド、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリビニルアルコール、ポリビニルエーテル、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポニフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン等が挙げられる。これらの中でもメタクリル樹脂、フェノキシ樹脂、ブタジエン樹脂、ポリスチレン樹脂もしくはこれらの共重合体が望ましい。また、熱可塑性樹脂粒子の内核(コア)部と外皮(シェル)部で樹脂が異なるコア・シェル構造であっても良い。その場合コアはシリコーン樹脂、フッ素樹脂、又はブタジエン樹脂等からなるゴム粒子であり、シェルは線形分子鎖からなる上記各種の熱可塑性樹脂であることが望ましい。   The thermoplastic resin may be a known resin, for example, AAS resin, AES resin, AS resin, ABS resin, MBS resin, vinyl chloride resin, vinyl acetate resin, methacrylic resin, phenoxy resin, polybutadiene resin, various kinds of fluorine. Resin, various silicone resins, polyacetal, various polyamides, polyamideimide, polyimide, polyetherimide, polyetheretherketone, polyethylene, polyethylene oxide, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polystyrene, polysulfone, polyethersulfone, polyvinyl alcohol, polyvinyl Ether, polyvinyl butyral, polyvinyl formal, poniphenylene ether, polyphenylene sulfide, polybutylene terephthalate, polypropylene, poly Chirupenten, and the like. Among these, methacrylic resin, phenoxy resin, butadiene resin, polystyrene resin or a copolymer thereof is desirable. Moreover, the core-shell structure in which resin differs in the inner core (core) part and outer skin (shell) part of a thermoplastic resin particle may be sufficient. In that case, it is desirable that the core is rubber particles made of silicone resin, fluororesin, butadiene resin or the like, and the shell is the above-mentioned various thermoplastic resins made of linear molecular chains.

(C)熱可塑性樹脂粒子は略球状、円柱もしくは角柱状、不定形状、破砕状、及び燐片状等であってよく、ダイボンド剤用途には略球状、及び鋭角部を有しない不定形状が好ましい。   (C) The thermoplastic resin particles may be substantially spherical, cylindrical or prismatic, indefinite, crushed, and flake-like, and are preferably substantially spherical and indeterminate with no sharp corners for die bonding agents. .

(C)熱可塑性樹脂粒子の粒径は、用途に応じて適宜選択されるが、通常は最大粒径が10μm以下、特に5μm以下であることが望ましく、平均粒径は0.1乃至5μm、特に0.1乃至2μmであることが望ましい。最大粒径が前記上限値以下、又は平均粒径が5μm以下であれば、Bステージ化段階又は硬化段階において、熱可塑性樹脂粒子が十分に膨潤し、溶解するので、硬化後の組成物の特性を損なう恐れがない。一方、平均粒径が前記下限値以上であれば、組成物の粘度が適切となり、作業性が著しく悪くなる恐れがない。なお粒径の測定は、例えば、レーザー光回折法による粒度分布測定における累積重量平均粒D50(又はメジアン径)等として求めることができる他、電子顕微鏡観察により行うことができる。 (C) The particle size of the thermoplastic resin particles is appropriately selected depending on the application, but usually the maximum particle size is preferably 10 μm or less, particularly preferably 5 μm or less, and the average particle size is 0.1 to 5 μm, In particular, the thickness is desirably 0.1 to 2 μm. If the maximum particle size is not more than the above upper limit value or the average particle size is 5 μm or less, the thermoplastic resin particles sufficiently swell and dissolve in the B-stage stage or the curing stage, so the characteristics of the composition after curing There is no fear of damage. On the other hand, if the average particle size is equal to or greater than the lower limit, the viscosity of the composition becomes appropriate, and there is no possibility that workability will be significantly deteriorated. The particle size can be measured, for example, as cumulative weight average particle D 50 (or median diameter) in particle size distribution measurement by a laser light diffraction method, or by electron microscope observation.

また、(C)熱可塑性樹脂粒子の最大粒径は、基板上に塗布されたダイボンド剤の厚みの20%以下、特に10%以下であることが望ましく、平均粒径は該厚みの10%以下、特に5%以下であることが望ましい。最大粒径が上記上限値以下、又は平均粒径が上記上限値以下の場合は、Bステージ化段階、又は硬化段階に熱可塑性樹脂粒子が十分に膨潤又は溶解するので、硬化後のダイボンド剤の外観上の不良や、チップ表面の破損又はリーク等の不良を引き起こす恐れがない。   The maximum particle size of the thermoplastic resin particles (C) is desirably 20% or less, particularly 10% or less of the thickness of the die bond agent applied on the substrate, and the average particle size is 10% or less of the thickness. In particular, it is desirable to be 5% or less. When the maximum particle size is not more than the above upper limit value or the average particle size is not more than the above upper limit value, the thermoplastic resin particles are sufficiently swollen or dissolved in the B-stage stage or the curing stage. There is no possibility of causing defects such as defects in appearance and damage or leakage of the chip surface.

(C)熱可塑性樹脂粒子は架橋構造を有していてもよい。しかし熱可塑性樹脂(C)がエポキシ樹脂網目構造中に均一に分散された構造を形成することが好ましいと考えられることから、架橋度は低い方が好ましく、架橋の無い線状分子鎖からなることがより好ましい。   (C) The thermoplastic resin particles may have a crosslinked structure. However, since it is considered preferable to form a structure in which the thermoplastic resin (C) is uniformly dispersed in the epoxy resin network structure, it is preferable that the degree of cross-linking is low, and it is composed of linear molecular chains without cross-linking. Is more preferable.

(C)熱可塑性樹脂粒子の分子量は、樹脂の種類に依存して適宜選択される。典型的には、ポリスチレン換算の数平均分子量が1,000〜10,000,000、好ましくは10,000〜100,000、重量平均分子量が10,000〜100,000,000、好ましくは100,000〜1,000,000である。数平均分子量が上記下限値以上、又は重量平均分子量が上記下限値以上であれば、膨潤する温度が低温になりすぎず適温であり、Bステージが早期に出現することがないためにAステージ状態が安定になる。またBステージ状態の硬度が十分に得られ、特にダイボンド材用途においてボイドや流出、又はダイシフト等の不良が発生する恐れがない。一方、数平均分子量が上記上限値以下、又は重量平均分子量が上記上限値以下であれば膨潤する温度が高くなりすぎず、Cステージの出現温度との差が十分あるので、Bステージ状態が安定になる。またBステージ化後、又はCステージ化後に粒子熱可塑性樹脂の一部がエポキシ樹脂網目構造の形成を阻害する恐れがある。平均分子量は例えば、トルエン、THF等を展開溶媒としてゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)分析におけるポリスチレン換算の数平均値や重量平均値として求めることができる。   (C) The molecular weight of the thermoplastic resin particles is appropriately selected depending on the type of resin. Typically, the polystyrene-equivalent number average molecular weight is 1,000 to 10,000,000, preferably 10,000 to 100,000, and the weight average molecular weight is 10,000 to 100,000,000, preferably 100,000. 000 to 1,000,000. If the number average molecular weight is not less than the above lower limit value or the weight average molecular weight is not less than the above lower limit value, the swelling temperature is not too low and the temperature is appropriate, and the B stage does not appear at an early stage. Becomes stable. Further, the hardness of the B stage state can be sufficiently obtained, and there is no possibility of occurrence of defects such as voids, outflow, or die shift particularly in die bond material applications. On the other hand, if the number average molecular weight is not more than the above upper limit value or the weight average molecular weight is not more than the above upper limit value, the swelling temperature does not become too high, and there is a sufficient difference from the appearance temperature of the C stage, so the B stage state is stable. become. Further, there is a possibility that a part of the particle thermoplastic resin inhibits the formation of the epoxy resin network structure after the B-stage or the C-stage. The average molecular weight can be determined, for example, as a number average value or a weight average value in terms of polystyrene in gel permeation chromatography (GPC) analysis using toluene, THF or the like as a developing solvent.

(C)熱可塑性樹脂粒子の含有量は、安定なBステージ状態を得るために、成分(A)と成分(E)との合計の100質量部に対して、好ましくは5質量部〜50質量部、より好ましくは10〜30質量部である。含有量が前記下限値以上であれば、十分なBステージ状態の硬度が得られるため、半導体チップの外側に樹脂が流れ出すことがなく、フィレットが発生する恐れがない。一方含有量が前記上限値以下であれば、Bステージ状態が硬くなりすぎず、接着不足などの不良が発生する恐れがない。   (C) The content of the thermoplastic resin particles is preferably 5 parts by mass to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the component (A) and the component (E) in order to obtain a stable B-stage state. Parts, more preferably 10 to 30 parts by mass. If the content is equal to or greater than the lower limit, sufficient B-stage hardness is obtained, so that the resin does not flow out of the semiconductor chip and there is no fear of generating fillets. On the other hand, if the content is less than or equal to the above upper limit value, the B stage state does not become too hard, and there is no possibility of occurrence of defects such as insufficient adhesion.

<成分(D):ブチルカルビトールアセテート>
ブチルカルビトールアセテートは、本発明を特徴付ける重要な成分である。
まず、本発明の組成物において、成分(C)の熱可塑性樹脂粒子が成分(D)のブチルカルビトールアセテートに室温で溶解も膨潤もせずに残存している状態であることが肝要である。ここで、本発明において「溶解しない」とは、室温(25℃)、圧力1気圧での条件下で、溶解度が20質量%未満であることを意味する。すなわち100質量%溶解されていない状態でなくともよく、実質的に、20質量%程度までは溶解されていてよく、即ち80質量%程度以上溶解されていない状態であればよい。また、「膨潤」とは、成分(C)の熱可塑性樹脂粒子のマトリックス内へ有機溶剤が浸入して、該樹脂粒子の体積が増大することを意味するものである。ただし本願発明において「膨潤しない」とは、該樹脂粒子の体積が全く変化しないことを意味するものではなく、マトリックス内へ有機溶剤が浸入して樹脂粒子の体積が増大すると共に、組成物中において見かけ上有機溶剤の割合が減少することに起因する組成物の粘度の増大の程度が、ある特定レベル以下であることを意味するものである。具体的には、後述するように、1mm厚で25℃/24時間後の組成物の粘度上昇率が1.5倍未満であること、より好ましくは1.2倍以下であることを意味する。
(C)熱可塑性樹脂粒子が(D)ブチルカルビトールアセテートに溶解又は膨潤する場合、組成物全体の粘度が高くなり印刷に適した粘度とはならない。また、徐々に溶解又は膨潤する場合であっても、粘度が徐々に上昇するため印刷の安定性が損なわれる。
<Component (D): Butyl carbitol acetate>
Butyl carbitol acetate is an important ingredient that characterizes the present invention.
First, it is important that the thermoplastic resin particles of the component (C) remain in the butyl carbitol acetate of the component (D) at room temperature without being dissolved or swollen in the composition of the present invention. Here, in the present invention, “does not dissolve” means that the solubility is less than 20% by mass under the conditions of room temperature (25 ° C.) and pressure of 1 atm. That is, it may not be in a state where 100% by mass is not dissolved, but may be substantially dissolved up to about 20% by mass, that is, as long as it is not dissolved in about 80% by mass or more. Further, “swelling” means that the organic solvent enters the matrix of the thermoplastic resin particles of the component (C) and the volume of the resin particles increases. However, in the present invention, “does not swell” does not mean that the volume of the resin particles does not change at all, and the organic solvent penetrates into the matrix to increase the volume of the resin particles. It is meant that the degree of increase in the viscosity of the composition due to the apparent decrease in the proportion of organic solvent is below a certain level. Specifically, as will be described later, it means that the rate of increase in viscosity of the composition after 1 hour at 25 ° C./24 hours is less than 1.5 times, more preferably 1.2 times or less. .
When the (C) thermoplastic resin particles are dissolved or swelled in (D) butyl carbitol acetate, the viscosity of the entire composition becomes high and the viscosity is not suitable for printing. Further, even when the ink gradually dissolves or swells, the viscosity gradually increases, so that printing stability is impaired.

また、上記(B)エポキシ樹脂硬化促進剤及び後述する(F)無機充填剤も、成分(C)と同様に、成分(D)のブチルカルビトールアセテートに室温で溶解も膨潤もせずに残存している状態であることが好ましい。
(B)エポキシ樹脂硬化促進剤が(D)ブチルカルビトールアセテートに溶解する場合、(B)エポキシ樹脂硬化促進剤が分子レベルで(A)エポキシ樹脂及び(E)エポキシ樹脂硬化剤へ分散するため、室温でも反応性が高まり、室温での保存安定性が悪くなる恐れがある。
また、(F)無機充填剤は、一般的に、成分(D)を含めて有機溶剤には溶解・膨潤しないものである。
Further, the (B) epoxy resin curing accelerator and the inorganic filler (F) described later remain in the butyl carbitol acetate of the component (D) at room temperature without being dissolved or swollen in the same manner as the component (C). It is preferable that it is in the state.
When (B) epoxy resin curing accelerator is dissolved in (D) butyl carbitol acetate, (B) epoxy resin curing accelerator is dispersed in (A) epoxy resin and (E) epoxy resin curing agent at the molecular level. The reactivity increases at room temperature, and the storage stability at room temperature may deteriorate.
In addition, the (F) inorganic filler generally does not dissolve or swell in the organic solvent including the component (D).

さらに、上記(A)エポキシ樹脂及び後述する(E)エポキシ樹脂硬化剤は、(D)ブチルカルビトールアセテートに溶解されている状態であることが好ましい。ここで、「溶解する」状態とは、室温(25℃)、圧力1気圧での条件下で、溶解度が20質量%以上であることを意味する。   Furthermore, it is preferable that the (A) epoxy resin and the (E) epoxy resin curing agent described below are dissolved in (D) butyl carbitol acetate. Here, the “dissolving” state means that the solubility is 20% by mass or more under the conditions of room temperature (25 ° C.) and pressure of 1 atm.

上記の溶解状態は、通常の分析方法により組成物から固形分を分離して確認することができる。例えば、溶剤をGC/MS等で同定した後、必要であれば組成物を該溶剤でさらに希釈して、遠心分離もしくはろ過することによって、固形分を分離する。成分(F)は、該固形分を燃焼させた後の、残渣として同定できる。成分(B)と(C)は、該固形分を適切な強溶媒、例えばクロロホルム等、を用いて溶解性の差を利用して分離した後、夫々を構造解析、例えばIR分析、することによって確認することができる。
また、膨潤状態は、上記のように、組成物の粘度上昇の程度によって確認することができる。
The dissolved state can be confirmed by separating the solid content from the composition by an ordinary analysis method. For example, after identifying the solvent by GC / MS or the like, if necessary, the composition is further diluted with the solvent, and the solid content is separated by centrifugation or filtration. Component (F) can be identified as a residue after burning the solid. Components (B) and (C) are separated from each other using a difference in solubility using an appropriate strong solvent such as chloroform, and then subjected to structural analysis, for example, IR analysis. Can be confirmed.
Moreover, the swelling state can be confirmed by the degree of increase in the viscosity of the composition as described above.

また、成分(D)のブチルカルビトールアセテートは、60〜200℃で3時間〜1分間の加熱によるBステージ化後に蒸発する事を満たす。この状態は、ホットプレート等を用いて容易に確認できる。   Moreover, the butyl carbitol acetate of a component (D) satisfy | fills evaporating after making B stage by heating at 60-200 degreeC for 3 hours-1 minute. This state can be easily confirmed using a hot plate or the like.

成分(D)ブチルカルビトールアセテートの含有量は、接着剤組成物の25℃における粘度により、適宜調節される。該粘度は、接着剤組成物の施与方法に依存して、好適な範囲が選択される。例えば、基板上へのスクリーン印刷法による場合は、5〜500Pa・sが好ましく、より好ましくは10〜200Pa・sである。基板上へのステンシル印刷法による場合は、10〜1000Pa・sが好ましく、より好ましくは20〜300Pa・sである。ここで粘度が前記上限値以下であれば、ブチルカルビトールアセテートの含有量が少なすぎず、基板等へ施与する作業性が良好である。また印刷時のスキージの圧力を強くする必要がない為、マスクの磨耗を抑制しマスクの寿命を長期に短くする恐れがある。一方、粘度が前記下限値以上であれば、ブチルカルビトールアセテートの含有量が多過ぎることなく、後述する(F)無機充填剤が長期保存中に沈降する恐れがない。   Content of a component (D) butyl carbitol acetate is suitably adjusted with the viscosity in 25 degreeC of adhesive composition. The viscosity is selected in a suitable range depending on the application method of the adhesive composition. For example, in the case of a screen printing method on a substrate, 5 to 500 Pa · s is preferable, and 10 to 200 Pa · s is more preferable. In the case of the stencil printing method on the substrate, the pressure is preferably 10 to 1000 Pa · s, more preferably 20 to 300 Pa · s. Here, if the viscosity is not more than the above upper limit value, the content of butyl carbitol acetate is not too small, and workability applied to a substrate or the like is good. Further, since it is not necessary to increase the pressure of the squeegee at the time of printing, there is a possibility that the mask wear is suppressed and the life of the mask is shortened for a long time. On the other hand, if the viscosity is equal to or higher than the lower limit, the content of butyl carbitol acetate is not too much, and there is no possibility that the inorganic filler (F) described later settles during long-term storage.

<成分(E):エポキシ樹脂硬化剤>
エポキシ樹脂硬化剤としては公知のものを使用することができ、例えばフェノール樹脂(後述するシリコーン変性フェノール樹脂を含む)、酸無水物、及びアミン類が挙げられる。この中でも硬化性とBステージ状態の安定性のバランスを考慮すると、フェノール樹脂及びシリコーン変性フェノール樹脂が好ましい。フェノール樹脂としては、アラルキル型、ノボラック型、ビスフェノール型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、ナフタレン型、シクロペンタジエン型、フェノールアラルキル型等が挙げられ、これらを単独、あるいは2種類以上を混合して用いても良い。なかでもアラルキル型、ノボラック型、ビスフェノール型が好ましい。
<Component (E): Epoxy resin curing agent>
A well-known thing can be used as an epoxy resin hardening | curing agent, For example, a phenol resin (including the silicone modified phenol resin mentioned later), an acid anhydride, and amines are mentioned. Of these, phenol resins and silicone-modified phenol resins are preferred in consideration of the balance between curability and stability in the B-stage state. Examples of the phenol resin include aralkyl type, novolak type, bisphenol type, trishydroxyphenylmethane type, naphthalene type, cyclopentadiene type, phenol aralkyl type, etc., and these may be used alone or in combination of two or more. good. Of these, aralkyl type, novolak type, and bisphenol type are preferable.

シリコーン変性フェノール樹脂としては、上記式(6)で示したオルガノハイドロジェンポリシロキサンと、下記に示すアルケニル基含有フェノール樹脂とを反応させて得られる共重合体が挙げられる。反応は公知の方法を用いて行えばよく、例えば、白金系触媒の存在下で、アルケニル基含有フェノール樹脂とオルガノポリシロキサンとを付加反応に付する。オルガノポリシロキサンは、アルケニル基含有フェノール樹脂が有するアルケニル基1モルに対し、オルガノポリシロキサンが有するSiH基が0.1〜1モルとなる量で共重合させることが好ましい。   Examples of the silicone-modified phenol resin include a copolymer obtained by reacting the organohydrogenpolysiloxane represented by the above formula (6) with the following alkenyl group-containing phenol resin. The reaction may be performed using a known method. For example, an alkenyl group-containing phenol resin and an organopolysiloxane are subjected to an addition reaction in the presence of a platinum-based catalyst. The organopolysiloxane is preferably copolymerized in such an amount that the SiH group of the organopolysiloxane is 0.1 to 1 mol with respect to 1 mol of the alkenyl group of the alkenyl group-containing phenol resin.

該アルケニル基含有フェノール樹脂としては、たとえば下記式(9)〜(13)に示すものが挙げられる。   Examples of the alkenyl group-containing phenol resin include those represented by the following formulas (9) to (13).

Figure 2013007001
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(但し、X、n、mは上述の通り。Rは水素原子又はメチル基。) (However, X, n, and m are as described above. R 3 is a hydrogen atom or a methyl group.)

成分(A)と成分(E)の配合比は、成分(A)中のエポキシ基1当量に対し、成分(E)中のエポキシ基と反応性を有する基が、0.8〜1.25当量であることが望ましく、特に0.9〜1.1当量であることが望ましい。当量比がこの範囲にあれば、反応が十分進み、硬化物の性能、更にはこれを用いる半導体装置の性能に支障をきたす恐れがない。   The compounding ratio of the component (A) and the component (E) is such that the group having reactivity with the epoxy group in the component (E) is 0.8 to 1.25 with respect to 1 equivalent of the epoxy group in the component (A). It is desirable that it is equivalent, and it is particularly desirable that it is 0.9 to 1.1 equivalent. If the equivalence ratio is within this range, the reaction proceeds sufficiently, and there is no possibility that the performance of the cured product and further the performance of the semiconductor device using the cured product will be hindered.

なお、本発明の接着剤組成物は、成分(A)と成分(E)の少なくともいずれかがシリコーン変性されているのが好ましい。成分(E)がシリコーン変性されていない場合、成分(A)がシリコーン変性エポキシ樹脂である。接着剤樹脂組成物がシリコーン鎖を含有することにより、低弾性であり耐熱サイクル性に優れた硬化物を与えることができる。   In the adhesive composition of the present invention, it is preferable that at least one of the component (A) and the component (E) is silicone-modified. When component (E) is not silicone-modified, component (A) is a silicone-modified epoxy resin. When the adhesive resin composition contains a silicone chain, a cured product having low elasticity and excellent heat cycle resistance can be provided.

<成分(F):無機充填剤>
無機充填剤としては、例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、酸化チタン、シリカチタニア、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、マグネシア、マグネシウムシリケート、タルク、マイカ等を挙げることができ、これらは1種単独あるいは2種類以上組み合せて使用することができる。特に、シリカ、アルミナ、タルクを1種単独あるいは2種類以上組み合せて使用することが好ましい。
<Component (F): Inorganic filler>
Examples of the inorganic filler include fused silica, crystalline silica, alumina, titanium oxide, silica titania, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, magnesia, magnesium silicate, talc, mica, and the like. It can be used alone or in combination of two or more. In particular, silica, alumina, and talc are preferably used alone or in combination of two or more.

無機充填剤は、(A)成分と(E)成分の合計100質量部に対して、好ましくは10〜200質量部、より好ましくは20〜180質量部、特に好ましくは30〜150質量部配合する。   The inorganic filler is preferably blended in an amount of 10 to 200 parts by weight, more preferably 20 to 180 parts by weight, and particularly preferably 30 to 150 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the component (A) and the component (E). .

本発明の組成物をダイボンド剤に用いる場合、上記無機質充填剤の最大粒径はウエハー上に塗布されたダイボンド剤の厚みの20%以下、特に10%以下であることが望ましく、平均粒径は該厚みの10%以下、特に5%以下であることが望ましい。最大粒径が上記上限値以下、又は、平均粒径が上記上限値以下であれば、チップ、基板、金配線等にダメージを与えたり、又は無機質充填材とそれ以外の部分との境界において局所的なストレスが発生し、半導体装置の機能を損なう恐れがない。   When the composition of the present invention is used as a die bond agent, the maximum particle size of the inorganic filler is desirably 20% or less, particularly 10% or less of the thickness of the die bond agent applied on the wafer, and the average particle size is It is desirable that the thickness is 10% or less, particularly 5% or less. If the maximum particle size is less than or equal to the above upper limit value or the average particle size is less than or equal to the above upper limit value, the chip, the substrate, the gold wiring, etc. may be damaged, or locally at the boundary between the inorganic filler and other parts There is no fear of impairing the function of the semiconductor device.

上記無機質充填剤は、予めシラン系カップリング剤で表面処理したものを使用することが好ましい。より好ましくは、成分(A)のエポキシ樹脂とカップリング剤で表面処理した充填剤とを予め減圧・混練処理を行うことが望ましい。これにより充填剤表面とエポキシ樹脂の界面がよく濡れた状態とすることができ、耐湿信頼性が格段に向上する。   It is preferable to use the inorganic filler that has been surface-treated with a silane coupling agent in advance. More preferably, the epoxy resin of component (A) and the filler surface-treated with a coupling agent are preliminarily decompressed and kneaded. As a result, the interface between the filler surface and the epoxy resin can be in a well-wet state, and the moisture resistance reliability is significantly improved.

上記シラン系カップリング剤としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシプロピル)テトラスルフィド、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。これらは1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。これらの中でもγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを使用することが好ましい。   Examples of the silane coupling agent include γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane, γ -Methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, N-β (amino Ethyl) γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ- A Nopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, bis (triethoxypropyl) tetrasulfide, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane Etc. These can be used singly or in combination of two or more. Among these, it is preferable to use γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane.

上記成分の他、本発明の組成物には用途に応じて、シランカップリング剤、難燃剤、イオントラップ剤、ワックス、着色剤、接着助剤等の添加剤を、本発明の目的を阻害しない量で、添加することができる。   In addition to the above components, additives such as silane coupling agents, flame retardants, ion trapping agents, waxes, colorants, adhesion aids, etc., do not impair the purpose of the present invention, depending on the application. Can be added in amounts.

上記添加剤としてのシランカップリング剤としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシプロピル)テトラスルフィド、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。これらは1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。これらの中でもγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを使用することが好ましい。上記カップリング剤を用いる場合、その使用量は、上記成分(A)と(E)の合計100質量部に対して、通常0.1〜5.0質量部であり、好ましくは0.3〜3.0質量部である。   Examples of the silane coupling agent as the additive include γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, and p-styryltrimethoxy. Silane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, N- β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane , Γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, bis (triethoxypropyl) tetrasulfide, γ-isocyanate Examples thereof include propyltriethoxysilane. These can be used singly or in combination of two or more. Among these, it is preferable to use γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane. When using the said coupling agent, the usage-amount is 0.1-5.0 mass parts normally with respect to a total of 100 mass parts of the said component (A) and (E), Preferably 0.3- 3.0 parts by mass.

<組成物の調製>
本発明の組成物は、公知の混合方法、例えば、ミキサー、ロール等を用い、調製することができる。
<Preparation of composition>
The composition of this invention can be prepared using a well-known mixing method, for example, a mixer, a roll, etc.

本発明の接着剤組成物は、1mm厚で25℃/24時間後の粘度上昇率が1.5倍未満であることが好ましい。粘度上昇率が1.5倍未満であれば印刷中の樹脂粘度の上昇が極めて低いため経時による連続印刷安定性に優れる。
上記粘度上昇率は次のように算出される。まず接着剤組成物の粘度をJIS Z−8803に準じE型粘度計を用いて25℃において測定し、これを初期粘度とする。そして接着剤組成物を1mm厚に伸ばして25℃/24時間保持した後の粘度を測定する。そして下記式により粘度上昇率を求める。
粘度上昇率=(25℃/24時間後の粘度)/(初期粘度)
また、本発明の接着剤組成物はE型粘度計により25℃において測定される粘度が0.1〜500Pa・sであることが好ましい。25℃における粘度が上記範囲内であれば安定した印刷が可能である。
The adhesive composition of the present invention preferably has a thickness increase of 1 mm and a viscosity increase rate after 25 ° C./24 hours of less than 1.5 times. If the rate of increase in viscosity is less than 1.5 times, the increase in resin viscosity during printing is extremely low, so that continuous printing stability over time is excellent.
The viscosity increase rate is calculated as follows. First, the viscosity of the adhesive composition is measured at 25 ° C. using an E-type viscometer according to JIS Z-8803, and this is defined as the initial viscosity. And the viscosity after extending an adhesive composition to 1 mm thickness and hold | maintaining 25 degreeC / 24 hours is measured. And a viscosity increase rate is calculated | required by the following formula.
Viscosity increase rate = (25 ° C./viscosity after 24 hours) / (initial viscosity)
The adhesive composition of the present invention preferably has a viscosity of 0.1 to 500 Pa · s measured at 25 ° C. with an E-type viscometer. If the viscosity at 25 ° C. is within the above range, stable printing is possible.

本発明の接着剤組成物は半導体素子を接着するのに好適である。   The adhesive composition of the present invention is suitable for bonding semiconductor elements.

以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES The present invention will be further described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples.

以下の各成分を、表1に示す各質量部で、25℃のプラネタリーミキサーで混合し、25℃の3本ロールを通過させた後、25℃においてプラネタリーミキサーで混合して、実施例1乃至3、比較例1乃至4の組成物を調製した。各組成物について、後述の(a)乃至(c)の諸試験を行い、表1の結果を得た。   The following components were mixed in each mass part shown in Table 1 with a planetary mixer at 25 ° C., passed through three rolls at 25 ° C., and then mixed at 25 ° C. with a planetary mixer. Compositions 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4 were prepared. Each composition was subjected to the following tests (a) to (c), and the results shown in Table 1 were obtained.

<使用樹脂等>
(A)エポキシ樹脂
エポキシ樹脂a(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、当量180、日本化薬社製RE310S)
(B)エポキシ樹脂硬化促進剤
硬化促進剤b(テトラフェニルホスフィン・テトラフェニルボレート、北興化学製TPP-K)
(C)熱可塑性樹脂粒子
粒子状熱可塑性樹脂c(ポリメタクリル酸メチル、数平均分子量50,000、重量平均分子量150,000、平均粒径1μm、最大粒径3μm)
(D)溶剤
溶剤d1(ブチルカルビトールアセテート)
溶剤d2(カルビトールアセテート)
溶剤d3(イソホロン)
(E)エポキシ樹脂硬化剤
シリコーン変性硬化剤e(合成例1)
(F)無機充填剤
シリカf(球状溶融シリカ、平均粒径0.6μm、最大粒径3μm、アドマッテクス(株)製SE2030)
その他添加剤
シランカップリング剤g(信越化学工業(株)製KBM−403)
<Resin used>
(A) Epoxy resin Epoxy resin a (bisphenol A type epoxy resin, equivalent weight 180, RE310S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(B) Epoxy resin curing accelerator Curing accelerator b (tetraphenylphosphine / tetraphenylborate, TPP-K manufactured by Hokuko Chemical)
(C) Thermoplastic resin particles Particulate thermoplastic resin c (polymethyl methacrylate, number average molecular weight 50,000, weight average molecular weight 150,000, average particle diameter 1 μm, maximum particle diameter 3 μm)
(D) Solvent Solvent d1 (Butyl carbitol acetate)
Solvent d2 (carbitol acetate)
Solvent d3 (isophorone)
(E) Epoxy resin curing agent Silicone-modified curing agent e (Synthesis Example 1)
(F) Inorganic filler Silica f (spherical fused silica, average particle size 0.6 μm, maximum particle size 3 μm, SE2030 manufactured by Admatex Corporation)
Other additives Silane coupling agent g (KBM-403 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)

(合成例1)シリコーン変性硬化剤gの合成
攪拌羽、滴下漏斗、温度計、エステルアダプターと環流管を取り付けたフラスコに、式(14)のフェノール樹脂30.8g(0.10mol)とトルエン123.2gを入れ、130℃/2時間で共沸脱水を行った。これを100℃に冷却し、触媒(信越化学(株)製CAT−PL−50T)0.5gを滴下し、直ちに式(15)のオルガノポリシロキサン36.3g(0.05mol)とトルエン145.2gの混合物を30分程度で滴下し、更に100℃/6時間で熟成した。これからトルエンを除去し、褐色透明液体(η=20Pa・s/25℃、フェノール当量340、オルガノポリシロキサン含有量54.1質量部)を得た。これをシリコーン変性硬化剤gとした。
(Synthesis Example 1) Synthesis of silicone-modified curing agent g 30.8 g (0.10 mol) of phenol resin of formula (14) and toluene 123 were added to a flask equipped with a stirring blade, a dropping funnel, a thermometer, an ester adapter and a reflux tube. .2 g was added and azeotropic dehydration was performed at 130 ° C./2 hours. This was cooled to 100 ° C., 0.5 g of a catalyst (CAT-PL-50T manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was dropped, and 36.3 g (0.05 mol) of the organopolysiloxane of the formula (15) and toluene 145. 2 g of the mixture was dropped in about 30 minutes and further aged at 100 ° C./6 hours. From this, toluene was removed to obtain a brown transparent liquid (η = 20 Pa · s / 25 ° C., phenol equivalent 340, organopolysiloxane content 54.1 parts by mass). This was designated silicone-modified curing agent g.

Figure 2013007001
Figure 2013007001

Figure 2013007001
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<試験方法>
(a)初期粘度
各組成物について、JIS Z−8803に準じ、E型粘度計(HBDV−III、ブルックフィールド社製)を用いて、測定温度25℃、ずり速度2.00(sec−1)、回転開始後2分における粘度を測定した。
(b)粘度上昇率(1mm厚で25℃/24時間後の粘度上昇率)
各接着剤組成物を1mm厚に伸ばして25℃/24時間後の粘度を(a)と同様に測定し下記式により粘度上昇率を算出した。
粘度上昇率={(25℃/24時間後の粘度)−(初期粘度)}/(初期粘度)
(c)印刷安定性
各樹脂組成物についてAUS308(20μm厚)を塗布したBT基板(200μm厚、35mm×35mm)上にステンシルマスク(SUS製、80μm厚、開口部寸法:10mm×10mm)とスキージ(SUS製、500μm厚、角度60°)を用いて、速度10mm/秒、圧力3kg(比較例4は6kg)の条件で1時間毎に印刷し、印刷を行なった後直ちに120℃/10分でBステージ化した。
その後、初期、6、12、18、24時間後の印刷におけるBステージ化後の樹脂厚さを測定した。
<Test method>
(A) for the initial viscosity each composition, according to JIS Z-8803, E-type viscometer (HBDV-III, manufactured by Brookfield) using the measured temperature 25 ° C., shear rate 2.00 (sec -1) The viscosity at 2 minutes after the start of rotation was measured.
(B) Viscosity increase rate (viscosity increase rate after 25 ° C./24 hours at 1 mm thickness)
Each adhesive composition was stretched to a thickness of 1 mm, the viscosity at 25 ° C./24 hours was measured in the same manner as in (a), and the rate of increase in viscosity was calculated according to the following formula.
Viscosity increase rate = {(25 ° C./viscosity after 24 hours) − (initial viscosity)} / (initial viscosity)
(C) Printing stability For each resin composition, a stencil mask (manufactured by SUS, 80 μm thickness, opening size: 10 mm × 10 mm) and squeegee on a BT substrate (200 μm thickness, 35 mm × 35 mm) coated with AUS308 (20 μm thickness). (SUS, 500 μm thickness, angle 60 °), printing is performed every hour under the conditions of a speed of 10 mm / second and a pressure of 3 kg (comparative example 4 is 6 kg), and immediately after printing, 120 ° C./10 minutes B stage.
Thereafter, the resin thickness after the B-stage in the initial printing after 6, 12, 18, and 24 hours was measured.

Figure 2013007001
Figure 2013007001

表1より、溶剤としてカルビトールアセテートを用いた比較例1の樹脂組成物は、カルビトールアセテートにより熱可塑性樹脂が徐々に膨潤し粘度上昇を伴う。それが原因となり印刷安定性に劣る結果となった。溶剤としてイソホロンを用いた比較例2の樹脂組成物はイソホロンが徐々に揮発し粘度上昇を伴う。それが原因となり印刷安定性に劣る結果となった。溶剤を添加しない比較例3、4は粘度が高く印刷圧が3kgの場合印刷厚さが安定しなかった。また、印刷圧を6kgに上げると安定した印刷性を示すが、厚さをコントロールすることが出来なかった。また印刷の版の寿命を短くすることも懸念される。これに対し、本願発明の樹脂組成物は熱可塑性樹脂を侵すことなくまた室温でのブチルカルビトールアセテートの揮発速度が極めて遅いため、安定した粘度を長時間保持することが確認できた。   From Table 1, in the resin composition of Comparative Example 1 using carbitol acetate as a solvent, the thermoplastic resin gradually swells with carbitol acetate, and the viscosity increases. This resulted in poor printing stability. In the resin composition of Comparative Example 2 using isophorone as a solvent, isophorone gradually volatilizes and increases in viscosity. This resulted in poor printing stability. In Comparative Examples 3 and 4 in which no solvent was added, the viscosity was high and the printing thickness was not stable when the printing pressure was 3 kg. Further, when the printing pressure was increased to 6 kg, stable printability was exhibited, but the thickness could not be controlled. There is also concern about shortening the life of printing plates. On the other hand, it was confirmed that the resin composition of the present invention maintained a stable viscosity for a long time without attacking the thermoplastic resin and because the volatilization rate of butyl carbitol acetate at room temperature was extremely slow.

本発明の樹脂組成物は室温開放系におけるAステージ状態で安定かつ、Bステージ化材である熱可塑性樹脂を侵さないため長時間安定した印刷性を実現できる。また、ブチルカルビトールアセテートの添加量を増減させることにより粘度の調節が容易であり、さらにはブチルカルビトールアセテートが揮発した後のBステージ厚さも容易に決定できることから、小型化が加速する半導体装置の接着剤組成物として、細やかな要求に対して応じることの出来る材料である。   The resin composition of the present invention is stable in the A-stage state in an open room temperature system and does not invade the thermoplastic resin that is a B-stage material, and can realize stable printability for a long time. Also, the viscosity can be easily adjusted by increasing / decreasing the amount of butyl carbitol acetate added, and the thickness of the B stage after the butyl carbitol acetate volatilizes can be easily determined. As an adhesive composition, it is a material that can meet detailed requirements.

Claims (10)

成分(A)エポキシ樹脂
成分(B)エポキシ樹脂硬化促進剤
成分(C)25℃において固体状の熱可塑性樹脂の粒子
成分(D)ブチルカルビトールアセテート
成分(E)エポキシ樹脂硬化剤、及び
成分(F)無機充填剤
を含み、前記成分(C)が前記成分(D)に室温で溶解も膨潤もせずに残存している状態であることを特徴とする接着剤組成物。
Component (A) Epoxy resin component (B) Epoxy resin curing accelerator component (C) Particle component of thermoplastic resin solid at 25 ° C. (D) Butyl carbitol acetate component (E) Epoxy resin curing agent, and component ( F) An adhesive composition comprising an inorganic filler, wherein the component (C) remains in the component (D) at room temperature without being dissolved or swollen.
前記成分(D)が、前記成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して、5〜400質量部含まれることを特徴とする請求項1記載の接着剤組成物。   The adhesive composition according to claim 1, wherein the component (D) is contained in an amount of 5 to 400 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the component (A) and the component (E). 前記成分(B)が、前記成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して、0.1〜10質量部含まれることを特徴とする請求項1または2記載の接着剤組成物。   The adhesive composition according to claim 1 or 2, wherein the component (B) is contained in an amount of 0.1 to 10 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the component (A) and the component (E). object. 前記成分(C)が、前記成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して、5〜50質量部含まれることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の接着剤組成物。   The said component (C) is 5-50 mass parts is contained with respect to a total of 100 mass parts of the said component (A) and a component (E), The any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. Adhesive composition. 前記成分(C)が、メタクリル樹脂、フェノキシ樹脂、ブタジエン樹脂、ポリスチレン樹脂及びこれらの共重合体からなる群より選択される少なくとも1種の熱可塑性樹脂の粒子であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の接着剤組成物。   The component (C) is particles of at least one thermoplastic resin selected from the group consisting of methacrylic resin, phenoxy resin, butadiene resin, polystyrene resin and copolymers thereof. The adhesive composition of any one of -4. 前記成分(C)のポリスチレン換算の数平均分子量が10,000〜100,000、重量平均分子量が100,000〜1,000,000であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の接着剤組成物。   The polystyrene-reduced number average molecular weight of the component (C) is 10,000 to 100,000, and the weight average molecular weight is 100,000 to 1,000,000. The adhesive composition according to Item. 前記成分(A)及び成分(E)の少なくともいずれかの成分が、シリコーン変性樹脂を含む、請求項1〜6のいずれか1項記載の接着剤組成物。   The adhesive composition according to any one of claims 1 to 6, wherein at least one of the component (A) and the component (E) contains a silicone-modified resin. 前記成分(F)が、成分(A)と成分(E)の合計100質量部に対して10〜200質量部含まれることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載の接着剤組成物。   The said component (F) is contained in 10-200 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a component (A) and a component (E), The adhesive agent of any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. Composition. E型粘度計により25℃において測定される接着剤組成物の粘度が、0.1〜500Pa・sである、請求項1〜8のいずれか1項記載の接着剤組成物。   The adhesive composition according to any one of claims 1 to 8, wherein the viscosity of the adhesive composition measured at 25 ° C with an E-type viscometer is 0.1 to 500 Pa · s. 請求項1〜9のいずれか1項記載の接着剤組成物を用いた半導体装置。   The semiconductor device using the adhesive composition of any one of Claims 1-9.
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