JP2013001577A - Metal fluoride crystal, light emitting element, and scintillator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、新規な金属フッ化物結晶および該結晶からなる発光素子に関する。詳しくは、シンチレーターとして有用な金属フッ化物結晶に関する。 The present invention relates to a novel metal fluoride crystal and a light emitting device comprising the crystal. Specifically, the present invention relates to a metal fluoride crystal useful as a scintillator.
金属フッ化物結晶は、多様な用途が期待されている金属化合物結晶である。例えば、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム等の単結晶は、真空紫外から赤外領域までの広範囲の波長帯域にわたって高い透過性と低屈折率、低分散を有し、化学的安定性にも優れていることから、広範囲な領域での光学材料として、窓材、レンズ、プリズムなどに用いられている。とりわけ、光リソグラフィー技術において、次世代の短波長光源として開発が進められているArFレーザ(193nm)やF2レーザ(157nm)光源を使用するステッパー(縮小投影型露光装置)などの装置の、窓材、光源系レンズ、照明系レンズ、投影系レンズとして期待が寄せられている。 Metal fluoride crystals are metal compound crystals that are expected to be used in various ways. For example, single crystals such as calcium fluoride and magnesium fluoride have high transmittance, low refractive index, and low dispersion over a wide wavelength band from vacuum ultraviolet to infrared, and excellent chemical stability. Therefore, it is used for window materials, lenses, prisms and the like as optical materials in a wide range. In particular, a window of an apparatus such as a stepper (reduction projection type exposure apparatus) using an ArF laser (193 nm) or an F 2 laser (157 nm) light source, which is being developed as a next-generation short wavelength light source in photolithography technology. Expectation is expected as a material, a light source lens, an illumination lens, and a projection lens.
また、金属フッ化物結晶であるフッ化リチウムカルシウムガリウムの単結晶がレーザー用用途として検討され、有用なことが示されている(非特許文献1)。 A single crystal of lithium calcium gallium fluoride, which is a metal fluoride crystal, has been studied for use in lasers and has been shown to be useful (Non-Patent Document 1).
金属フッ化物結晶はシンチレーター用結晶としての開発も進められている(特許文献1及び2)。シンチレーターとは、放射線が当たったときに当該放射線を吸収して蛍光を発する物質のことをいう。該シンチレーターに要求される特性の一つとして発光の輝度が高いことが挙げられる。これは、該シンチレーターを使用する放射線検出器の各種性能、例えば、放射線に対する検出効率に影響するためである。なお、検出効率とは線源から放出され検出器に入射した放射線の数に対する検出器でカウントした放射線の数の比である。金属フッ化物結晶は、シンチレーターの中でも特に中性子検出用シンチレーターとして開発が進められている。これは、これはフッ化物が小さな原子番号を持ち、X線、γ線等の中性子と共に放出される可能性のある放射線との相互作用が少ないためである。
Metal fluoride crystals are also being developed as scintillator crystals (
そこで発明者等は、金属フッ化物として、上記したようにレーザー用結晶として有用なことが知られているフッ化リチウムカルシウムガリウムをシンチレーター用途に応用することを試みた。しかし、本発明者等の検討によれば、賦活剤としてCe含有させたフッ化リチウムカルシウムガリウム結晶に対して放射線を照射し、シンチレーターとしての特性を調べたところ、放射線照射時に十分な発光の輝度が得られず、シンチレーターとして十分な性能を持たないことが明らかとなった。 Therefore, the inventors tried to apply lithium calcium gallium fluoride, which is known to be useful as a laser crystal as described above, as a metal fluoride for scintillator applications. However, according to the study by the present inventors, the lithium calcium gallium fluoride crystal containing Ce as an activator was irradiated with radiation, and the characteristics as a scintillator were examined. Was not obtained, and it became clear that the scintillator did not have sufficient performance.
従って、本発明の目的はフッ化リチウムカルシウムガリウムを基本構造として有し、シンチレーターとして十分な発光が得られる金属フッ化物結晶を提供することである。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a metal fluoride crystal having lithium calcium gallium fluoride as a basic structure and capable of obtaining sufficient light emission as a scintillator.
本発明者等は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねてきた。その中で、フッ化リチウムカルシウムガリウムの構成要素である、カルシウムサイトのイオン半径の大きさが放射線照射時の発光の輝度に大きな影響を与えていると考え、カルシウムをマグネシウムで置換することを試みた。
その結果、フッ化リチウムカルシウムガリウムのカルシウムをマグネシウムで置換した母結晶を用いることで、放射線照射時の発光特性が向上することを見出し、本発明を完成するに至った。
The present inventors have intensively studied to solve the above problems. Among them, it is thought that the ionic radius of the calcium site, which is a constituent element of lithium calcium calcium gallium fluoride, has a great influence on the luminance of light emission during irradiation, and attempts to replace calcium with magnesium. It was.
As a result, it has been found that the use of a mother crystal in which calcium of lithium calcium gallium fluoride is replaced with magnesium improves the light emission characteristics during irradiation, and the present invention has been completed.
即ち、本発明は、LiCa(1−x)MgxGaF6(0.1≦x≦0.9)の組成を持ち、ランタノイド元素を含有することを特徴とする金属フッ化物結晶である。更には、該金属フッ化物結晶からなる発光素子、及びシンチレーターである。 That is, the present invention is a metal fluoride crystal having a composition of LiCa (1-x) Mg x GaF 6 (0.1 ≦ x ≦ 0.9) and containing a lanthanoid element. Furthermore, a light-emitting element and a scintillator made of the metal fluoride crystal.
上記金属フッ化物結晶において、6Liの同位体比が50%以上であることが好ましく、該金属フッ化物結晶は、特に、中性子検出用シンチレーター用途として好適に使用される。 In the metal fluoride crystal, the 6 Li isotope ratio is preferably 50% or more, and the metal fluoride crystal is particularly preferably used as a scintillator for neutron detection.
本発明によれば、シンチレーターとして十分な性能を持たない、フッ化リチウムカルシウムガリウムを基本構造として有する結晶であるにも拘らず、発光特性に優れ、各種発光素子に好適に使用できる金属フッ化物結晶を提供できる。その中でも、放射線、特に中性子に対する検出効率が高い中性子検出用シンチレーターを提供できる。 According to the present invention, a metal fluoride crystal that does not have sufficient performance as a scintillator and has excellent light emitting characteristics and can be suitably used for various light emitting devices despite being a crystal having lithium calcium gallium fluoride as a basic structure. Can provide. Among them, it is possible to provide a neutron detection scintillator with high detection efficiency for radiation, particularly neutrons.
本発明の金属フッ化物結晶は、リチウム、カルシウム、ガリウムを含む金属フッ化物であるフッ化リチウムカルシウムガリウムの結晶を基本構成とし、カルシウムの一部をマグネシウムで置換した組成を持ち、さらに、該結晶体中に、賦活材としてランタノイドを含有する結晶である。 The metal fluoride crystal of the present invention has a composition in which lithium calcium gallium fluoride crystal, which is a metal fluoride containing lithium, calcium, and gallium, is a basic constituent, and a part of calcium is substituted with magnesium. It is a crystal containing a lanthanoid as an activator in the body.
本発明の金属フッ化物結晶は、母結晶が化学式LiCa(1−x)MgxGaF6(0.1≦x≦0.9)の組成を持つ金属フッ化物の結晶であり、無色透明な結晶であって、六方晶系結晶に属する。前記化学式中のXは、カルシウムとマグネシウムの総数を1とした場合のマグネシウムの割合であり、その割合Xは0.1以上0.9以下である。該結晶は良好な化学安定性を有しており、通常の使用においては短期間での性能の劣化は認められない。機械強度および加工性も良好であり、所望の形状に加工して用いることができる。 The metal fluoride crystal of the present invention is a metal fluoride crystal whose mother crystal has a composition of the chemical formula LiCa (1-x) Mg x GaF 6 (0.1 ≦ x ≦ 0.9), and is a colorless transparent crystal And belongs to a hexagonal crystal. X in the chemical formula is a ratio of magnesium when the total number of calcium and magnesium is 1, and the ratio X is 0.1 or more and 0.9 or less. The crystals have good chemical stability, and in normal use, no performance deterioration is observed in a short period of time. Mechanical strength and workability are also good, and it can be used after being processed into a desired shape.
Xが0.1未満の場合、本発明における発光の輝度が増加する効果が、僅かしか得られない。また、Xが0.9より大きい場合、得られる金属フッ化物中の賦活剤の含有量が0.001モル%以下と少なくなり、発光の輝度が低下する。好ましくはXが0.7以下である。マグネシウムの割合が0.7以下の場合、得られる金属フッ化物が単結晶化し、透過性が改善するため、得られる発光の輝度が向上する。さらに好ましくは0.4≦X≦0.6である。マグネシウムの割合がこの範囲にあるとき、容易に結晶化が可能であり、かつ、発光の輝度が増加する効果も大きい。 When X is less than 0.1, only a slight effect of increasing the luminance of light emission in the present invention is obtained. On the other hand, when X is larger than 0.9, the content of the activator in the obtained metal fluoride is reduced to 0.001 mol% or less, and the luminance of light emission is lowered. X is preferably 0.7 or less. When the ratio of magnesium is 0.7 or less, the obtained metal fluoride is single-crystallized and the transmittance is improved, so that the luminance of the obtained light emission is improved. More preferably, 0.4 ≦ X ≦ 0.6. When the ratio of magnesium is within this range, crystallization can be easily performed, and the effect of increasing the luminance of light emission is great.
本発明の金属フッ化物結晶はランタノイド元素を含有する。本発明の金属フッ化物結晶に含有されるランタノイド元素は賦活材として働き、この賦活材が発光を示すことによりシンチレーターとしての特性を示す。賦活材として用いるランタノイドには、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユウロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテチウム等を挙げることができ、これらのランタノイド元素を制限無く使用することができる。また、該ランタノイド元素から選ばれる少なくとも1種の元素を含有していればよい。 The metal fluoride crystal of the present invention contains a lanthanoid element. The lanthanoid element contained in the metal fluoride crystal of the present invention functions as an activator, and the activator exhibits light emission to exhibit characteristics as a scintillator. Examples of lanthanoids used as activators include lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, and lutetium, and these lanthanoid elements are used without limitation. can do. Moreover, what is necessary is just to contain the at least 1 sort (s) of element chosen from this lanthanoid element.
賦活材としてセリウムを用いた場合、蛍光の減衰が早く、高計数率であるシンチレーターが得られるという点で好ましい。なお、計数率とは単位時間あたりにカウントした放射線の数である。また、賦活材としてユウロピウムを用いた場合、高輝度な発光が得られ、高い検出効率を持つシンチレーターが得られるという点で好ましい。 When cerium is used as the activator, it is preferable in that a scintillator having a high counting rate can be obtained because decay of fluorescence is fast. The counting rate is the number of radiation counted per unit time. Moreover, when europium is used as the activator, it is preferable in that a scintillator with high luminance and high detection efficiency can be obtained.
本発明の金属フッ化物結晶においては、LiCa(1−x)MgxGaF6(0.1≦x≦0.9)に対する賦活材としてのランタノイド元素の含有量が高いほど、高輝度の発光を得ることができる。しかしながら、該含有量が高すぎる場合には、過剰のランタノイド元素の析出のため、結晶の透明性が低下し、ランタノイド元素による発光を結晶自身が吸収してしまうため、ランタノイド元素の含有量は、LiCa(1−x)MgxGaF6(0.1≦x≦0.9)を基準にして0.001〜20モル%であることが好ましい。含有量を0.001モル%以上とすることにより、高輝度な発光を得ることができ、また、20モル%以下とすることにより、透明性が高い、ランタノイド元素をドープしたLiCa(1−x)MgxGaF6(0.1≦x≦0.9)を得ることができる。 In the metal fluoride crystal of the present invention, the higher the content of the lanthanoid element as an activator for LiCa (1-x) Mg x GaF 6 (0.1 ≦ x ≦ 0.9), the higher the luminance. Obtainable. However, when the content is too high, the transparency of the crystal decreases due to precipitation of excess lanthanoid elements, and the crystal itself absorbs light emitted by the lanthanoid elements. it is preferable LiCa (1-x) Mg x GaF 6 (0.1 ≦ x ≦ 0.9) , based on a 0.001 mole%. When the content is 0.001 mol% or more, high-luminance light emission can be obtained, and when the content is 20 mol% or less, the lanthanoid element-doped LiCa (1-x ) Mg x GaF 6 (0.1 ≦ x ≦ 0.9) can be obtained.
本発明の金属フッ化物結晶においては、結晶中に含まれるLi元素中の6Li同位体比を50%以上とすることが好ましい。6Li同位体比を50%以上とすることによって、6Li同位体が中性子を捕獲してα粒子及びトリチウムを生じる中性子捕獲反応の確率が高まり、中性子に対する検出効率が向上する。前記6Li同位体比を50%以上とすることが好ましく、90%以上とすることが最も好ましい。一方、同位体濃縮に係るコストに鑑みて、6Li同位体比を99%以下とすることが好ましい。 In the metal fluoride crystal of the present invention, the 6 Li isotope ratio in the Li element contained in the crystal is preferably 50% or more. By setting the 6 Li isotope ratio to 50% or more, the probability of the neutron capture reaction in which the 6 Li isotope captures neutrons to generate α particles and tritium is increased, and the detection efficiency for neutrons is improved. The 6 Li isotope ratio is preferably 50% or more, and most preferably 90% or more. On the other hand, in view of the costs associated with isotope enrichment, the 6 Li isotope ratio is preferably 99% or less.
本発明の金属フッ化物は単結晶あるいは多結晶であり、単結晶の方が光の透過性が高く、
大きなサイズの固体サンプルであっても内部からの発光を減衰させずに取り出しやすいため好適である。
The metal fluoride of the present invention is single crystal or polycrystal, and the single crystal has higher light transmittance,
Even a large-sized solid sample is suitable because it can be easily taken out without attenuating light emission from the inside.
本発明の金属フッ化物結晶は、レーザー用結晶、シンチレーター等各種光学素子に使用することができる。特に、シンチレーター用、さらに好ましくは中性子検出用シンチレーターに好適に使用することができる。 The metal fluoride crystals of the present invention can be used for various optical elements such as laser crystals and scintillators. In particular, it can be suitably used for scintillators, more preferably neutron detection scintillators.
本発明の金属フッ化物結晶の製造方法は特に限定されず、坩堝を下降して融液を下方より上方へ一方向に凝固せしめるブリッジマン法、固液界面を一定の位置に保ったまま結晶を一方向に凝固させながら引き上げるチョクラルスキー法、或いは固液界面を一定の位置に保ったまま結晶を一方向に凝固させながら引き下げるマイクロ引下げ法等が挙げられる。 The method for producing the metal fluoride crystal of the present invention is not particularly limited. The Bridgman method in which the crucible is lowered and the melt is solidified in one direction from below to below, the crystal is formed while maintaining the solid-liquid interface at a fixed position. Examples include the Czochralski method of pulling up while solidifying in one direction, or the micro-pulling down method of pulling down while crystallizing in one direction while keeping the solid-liquid interface at a fixed position.
以下、マイクロ引下げ法を例にとってその製造方法を詳細に説明する。マイクロ引下げ法とは、図1に示すような装置を用いて、坩堝5の底部に設けた孔より原料融液を引き出して結晶を製造する方法である。
Hereinafter, the manufacturing method will be described in detail with reference to the micro-pulling-down method. The micro pulling-down method is a method for producing a crystal by drawing a raw material melt from a hole provided in the bottom of the
まず、所定量の原料を、底部に孔を設けた坩堝5に充填する。坩堝底部に設ける孔の形状は、特に限定されないが、直径が0.5〜4mm、長さが0〜2mmの円柱状とすることが好ましい。
First, a predetermined amount of raw material is filled into a
本発明において原料は、純度がそれぞれ99.99%以上であることが好ましい。かかる原料を用いることにより、結晶の純度を高めることができ、発光の輝度の向上が見込める。原料は、各原料を予め混合した混合原料を坩堝に充填すれば良いが、混合した後に一旦焼結或いは溶融固化させたものを原料として用いても良い。原料として用いるフッ化リチウム、フッ化ガリウムは揮発性の強い元素であるため、予め理論組成よりも0.1〜10%程度過剰に仕込むとより良い。 In the present invention, the raw materials preferably each have a purity of 99.99% or more. By using such a raw material, the purity of the crystal can be increased and the luminance of light emission can be improved. As the raw material, a mixed raw material obtained by mixing each raw material in advance may be filled in a crucible. However, a raw material that is once sintered or melted and solidified after mixing may be used as the raw material. Since lithium fluoride and gallium fluoride used as raw materials are highly volatile elements, it is better to charge in excess of about 0.1 to 10% from the theoretical composition in advance.
次いで、上記原料を充填した坩堝5、アフターヒーター1、ヒーター2、断熱材3、及びステージ4を図1に示すようにセットする。真空排気装置を用いて、チャンバー6内を1.0×10−3Pa以下まで真空排気した後、高純度アルゴン等の不活性ガスをチャンバー6内に導入してガス置換を行う。ガス置換後のチャンバー内の圧力は特に限定されないが、大気圧が一般的である。該ガス置換操作によって、原料或いはチャンバー内に付着した水分を除去することができ、かかる水分に由来する結晶の劣化を妨げることができる。ガス置換操作によっても除去できない水分による影響を避けるため、フッ化亜鉛等の固体スカベンジャー或いは四フッ化メタン等の気体スカベンジャーを用いることが好ましい。固体スカベンジャーを用いる場合には原料中に予め混合しておく方法が好適であり、気体スカベンジャーを用いる場合には不活性ガスに混合してチャンバー内に導入する方法が好適である。
Next, the
ガス置換操作を行った後、高周波コイル7で原料を加熱して溶融せしめ、溶融した原料融液を坩堝底部の孔から引き出して、結晶の育成を開始する。
After performing the gas replacement operation, the raw material is heated and melted by the high-
金属フッ化物結晶をマイクロ引き下げ法で製造する場合、原料融液の坩堝に対する濡れ性が悪く、坩堝底部の孔から融液が滲出しにくい場合がある。このよう場合には、金属ワイヤーを引き下げロッドの先端に設け、該金属ワイヤーを坩堝底部の孔から坩堝内部に挿入し、該金属ワイヤーに原料融液を付着せしめた後、原料融液を金属ワイヤーと共に引き下げることによって結晶の育成が可能となる。例えば、高周波の出力を調整し、原料の温度をフッ化金属の融点から徐々に上げながら該金属ワイヤーを坩堝底部の孔に挿入し、引き出しを行う。この操作を原料融液が金属ワイヤーと共に引き出されるまで繰り返して、結晶の育成を開始する。金属ワイヤーの材質は、原料融液と実質的に反応しない材質であれば制限無く使用できるが、W−Re合金等の高温における耐食性に優れた材質が好適である。 When producing a metal fluoride crystal by the micro pull-down method, the wettability of the raw material melt with respect to the crucible is poor, and the melt may not easily exude from the hole at the bottom of the crucible. In such a case, a metal wire is provided at the tip of the pull-down rod, the metal wire is inserted into the crucible through the hole at the bottom of the crucible, and the raw material melt is attached to the metal wire, and then the raw material melt is applied to the metal wire. The crystal can be grown by pulling it down together. For example, the high-frequency output is adjusted, and the metal wire is inserted into the hole at the bottom of the crucible while the temperature of the raw material is gradually raised from the melting point of the metal fluoride, and is drawn out. This operation is repeated until the raw material melt is drawn together with the metal wire, and crystal growth is started. The material of the metal wire can be used without limitation as long as it is a material that does not substantially react with the raw material melt. However, a material excellent in corrosion resistance at high temperatures such as a W-Re alloy is preferable.
上記金属ワイヤーによる原料融液の引き出しを行った後、一定の引き下げ速度で連続的に引き下げることにより結晶を得ることができる。引き下げ速度は特に限定されないが、0.5〜10mm/hrの範囲とすることが好ましい。 After pulling out the raw material melt with the metal wire, a crystal can be obtained by continuously pulling it down at a constant pulling rate. The pulling speed is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.5 to 10 mm / hr.
本発明の金属フッ化物結晶の製造においては、熱歪に起因する結晶の結晶欠陥を除去する目的で、結晶の製造後にアニール操作を行っても良い。 In the production of the metal fluoride crystal of the present invention, an annealing operation may be performed after the production of the crystal for the purpose of removing crystal defects due to the thermal strain.
得られた金属フッ化物結晶は、良好な加工性を有しており、所望の形状に加工して用いることが容易である。加工に際しては、公知のブレードソー、ワイヤーソー等の切断機、研削機、或いは研磨盤を何ら制限無く用いる事ができる。 The obtained metal fluoride crystal has good workability and can be easily processed into a desired shape. For processing, a known cutting machine such as a blade saw or wire saw, a grinding machine, or a polishing machine can be used without any limitation.
金属フッ化物結晶は所望の形状に加工しての様々な発光素子とすることができ、フォトリソグラフィー、レーザー、中性子検出用を含むシンチレーターなどに好適に利用できる。 Metal fluoride crystals can be processed into various light-emitting elements by processing into a desired shape, and can be suitably used for scintillators including those for photolithography, laser, and neutron detection.
中性子検出用シンチレーターとする場合、その形状は任意の形状で良く、板状、ブロック状、もしくは四角柱形状の金属フッ化物結晶を複数個配列させたアレイ状とすることができる。該中性子シンチレーターは、光電子増倍管等の光検出器と組み合わせて中性子検出器とすることができる。即ち、中性子の照射により中性子検出用シンチレーターから発せられたシンチレーション光を、光電子増倍管によって電気信号に変換することによって、中性子の有無及び強度を電気信号として捉えることができる。なお、中性子検出器の構造や作製方法は何ら制限されず、従来公知の構造及び方法を採用できる。 When the scintillator for neutron detection is used, the shape may be any shape, and it may be an array in which a plurality of metal fluoride crystals having a plate shape, a block shape, or a square column shape are arranged. The neutron scintillator can be combined with a photodetector such as a photomultiplier tube to form a neutron detector. That is, by converting scintillation light emitted from a neutron detection scintillator by neutron irradiation into an electrical signal by a photomultiplier tube, the presence and intensity of neutrons can be grasped as an electrical signal. In addition, the structure and manufacturing method of a neutron detector are not restrict | limited at all, A conventionally well-known structure and method are employable.
具体的には、例えば光電子増倍管の光電面に、本発明の中性子検出用シンチレーターを光学グリース等で接着し、該光電子増倍管に高電圧を印加して、光電子増倍管より出力される電気信号を計測する方法が挙げられる。この光電子増倍管より出力される電気信号を利用して中性子線の強度等を解析する目的で、光電子増倍管の後段に増幅器や多重波高分析器等を設けても良い。 Specifically, for example, the neutron detection scintillator of the present invention is bonded to the photocathode of the photomultiplier tube with optical grease or the like, a high voltage is applied to the photomultiplier tube, and the photomultiplier tube outputs the photomultiplier tube. A method of measuring an electrical signal is available. For the purpose of analyzing the intensity of the neutron beam and the like using the electrical signal output from the photomultiplier tube, an amplifier, a multi-wave height analyzer, etc. may be provided after the photomultiplier tube.
本発明の金属フッ化物結晶からなる中性子検出用シンチレーターは、位置敏感型光検出器と組み合わせて中性子撮像装置とすることができる。かかる位置敏感型光検出器としては、位置敏感型光電子増倍管が好適に使用でき、具体的なものを例示すれば、PHOTONIS社製XP85012等が挙げられる。 The neutron detection scintillator comprising the metal fluoride crystal of the present invention can be combined with a position sensitive photodetector to form a neutron imaging device. As such a position-sensitive photodetector, a position-sensitive photomultiplier tube can be suitably used. Specific examples include XP85012 manufactured by PHOTONIS.
以下、本発明の実施例を挙げて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら制限されるものではない。また、実施例の中で説明されている特徴の組み合わせすべてが本発明の解決手段に必須のものとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, not all combinations of features described in the embodiments are essential to the solution means of the present invention.
実施例1
以下、本発明の実施例を挙げて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。また、実施例の中で説明されている特徴の組み合わせすべてが本発明の解決手段に必須のものとは限らない。
Example 1
Examples of the present invention will be specifically described below, but the present invention is not limited to these examples. In addition, not all combinations of features described in the embodiments are essential to the solution means of the present invention.
図1に示す結晶製造装置を用いて、賦活剤としてセリウムを含有するLiCa0.5Mg0.5GaF6金属フッ化物結晶の結晶を製造した。原料としては、純度が99.99%のフッ化リチウム(6Li同位体比95%)、及びフッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化ガリウム、フッ化セリウムを用いた。アフターヒーター1、ヒーター2、断熱材3、ステージ4、及び坩堝5は、高純度カーボン製のものを使用し、坩堝底部に設けた孔の形状は直径2.0mm、長さ0.5mmの円柱状とした。
A crystal of LiCa 0.5 Mg 0.5 GaF 6 metal fluoride crystal containing cerium as an activator was manufactured using the crystal manufacturing apparatus shown in FIG. As raw materials, lithium fluoride having a purity of 99.99% ( 6 Li isotope ratio: 95%), calcium fluoride, magnesium fluoride, gallium fluoride, and cerium fluoride were used. The after
賦活材としてセリウムを含有するLiCa0.5Mg0.5GaF6金属フッ化物結晶を作成することを目的として、フッ化リチウム0.38g、及びフッ化カルシウム0.59g、フッ化マグネシウム0.47g、フッ化ガリウム2.02g、フッ化セリウム60mgをそれぞれ秤量し、よく混合した後に坩堝5に充填した。原料を充填した坩堝5を、アフターヒーター1の上部にセットし、その周囲にヒーター2、及び断熱材3を順次セットした。
次いで、油回転ポンプ及び油拡散ポンプからなる真空排気装置を用いて、チャンバー6内を5.0×10−4Paまで真空排気を行った。同時に、真空排気時の坩堝内部の温度は570Kとなるよう、高周波コイル7を用いて加熱を行った。
For the purpose of preparing LiCa 0.5 Mg 0.5 GaF 6 metal fluoride crystal containing cerium as an activator, lithium fluoride 0.38 g, calcium fluoride 0.59 g, magnesium fluoride 0.47 g Then, 2.02 g of gallium fluoride and 60 mg of cerium fluoride were weighed and mixed well, and then filled in the
Subsequently, the inside of the
アルゴン95vol%−四フッ化メタン5vol%混合ガスをチャンバー6内に導入し、高周波コイル7を用いて、坩堝底部の温度を計測しながら、加熱温度が790Kとなるよう高周波加熱コイルの出力を調整した。混合ガス置換後のチャンバー6内の圧力は大気圧とし、この状態で30分加熱を継続した。次に、高周波加熱コイルによる加熱を継続したまま、真空排気を行い、さらにチャンバー6内にアルゴンガスを導入してガス置換を行った。アルゴンガス置換後のチャンバー6内の圧力は大気圧とした。同様の操作を2回行った。
Argon 95 vol% -
高周波加熱コイル7を用いて、原料を加熱して溶融せしめた。次いで、高周波の出力を調整して原料融液の温度を徐々に上げながら、引下げロッド8の先端に設けたW−Re合金からなる金属ワイヤーを、坩堝5底部の孔に挿入し、引下げる操作を繰り返して、原料融液を上記孔より引き出した。この時点の温度が保たれるように高周波の出力を固定し、原料の融液を引き下げ、結晶の育成を開始した。1mm/hrの速度で連続的に20時間引き下げ、最終的に直径2.1mm、長さ20mmのセリウムを0.010モル%含有する金属フッ化物の単結晶を得た。なおセリウム含有量は吸光光度法により求めた。
The raw material was heated and melted using the high
得られた結晶を、ダイヤモンド切断砥石を備えたブレードソーによって約15mmの長さに切断し、側面を研削して長さ10mm、幅2mm、厚さ1mmの形状に加工し、これをスペクトル測定用試料とした。得られたサンプルを1μmのダイヤモンドスラリーを用いて光学研磨を行った。得られた試料を図2の9の位置に設置し、241Amを図2の10の位置に設置し、試料の幅2mmの面に対して241Amにおけるα線の照射を行った。試料より得られる発光を図2の11の位置にあるCCDカメラで測定し、スペクトルの記録を行った。
The obtained crystal is cut into a length of about 15 mm by a blade saw equipped with a diamond cutting grindstone, and the side surface is ground and processed into a shape having a length of 10 mm, a width of 2 mm, and a thickness of 1 mm. A sample was used. The obtained sample was optically polished using a 1 μm diamond slurry. The obtained sample was placed at the
実施例2
賦活材としてセリウムを含有するLiCa0.75Mg0.25GaF6金属フッ化物結晶を作成することを目的として、原料として、フッ化リチウム0.37g、及びフッ化カルシウム0.88g、フッ化マグネシウム0.23g、フッ化ガリウム1.99g、フッ化セリウム59mgをそれぞれ秤量した以外は実施例1と同様に結晶育成を行い、最終的に径2.1mm、長さ20mmのセリウムを含有するセリウムを0.012モル%含有する金属フッ化物の単結晶を得た。なおセリウム含有量は吸光光度法により求めた。実施例1と同様にして、α線照射時の発光スペクトルの測定を行った。結果を図4に示す。
Example 2
For the purpose of preparing LiCa 0.75 Mg 0.25 GaF 6 metal fluoride crystal containing cerium as an activator, lithium fluoride 0.37 g, calcium fluoride 0.88 g, magnesium fluoride as raw materials Crystal growth was performed in the same manner as in Example 1 except that 0.23 g, 1.99 g of gallium fluoride, and 59 mg of cerium fluoride were weighed, and finally cerium containing cerium having a diameter of 2.1 mm and a length of 20 mm was obtained. A metal fluoride single crystal containing 0.012 mol% was obtained. The cerium content was determined by absorptiometry. In the same manner as in Example 1, the emission spectrum at the time of α-ray irradiation was measured. The results are shown in FIG.
実施例3
賦活材としてセリウムを含有するLiCa0.25Mg0.75GaF6金属フッ化物結晶を作成することを目的として、原料として、フッ化リチウム0.39g、及びフッ化カルシウム0.30g、フッ化マグネシウム0.72g、フッ化ガリウム2.06g、フッ化セリウム61mgをそれぞれ秤量した以外は実施例1と同様に結晶育成を行い、最終的に径2.1mm、長さ20mmのセリウムを含有するセリウムを0.007モル%含有する金属フッ化物の単結晶を得た。なおセリウム含有量は吸光光度法により求めた。実施例1と同様にして、α線照射時の発光スペクトルの測定を行った。結果を図5に示す。
Example 3
For the purpose of preparing LiCa 0.25 Mg 0.75 GaF 6 metal fluoride crystals containing cerium as an activator, lithium fluoride 0.39 g, calcium fluoride 0.30 g, magnesium fluoride as raw materials Crystal growth was performed in the same manner as in Example 1 except that 0.72 g, gallium fluoride 2.06 g, and cerium fluoride 61 mg were weighed, and finally cerium containing cerium having a diameter of 2.1 mm and a length of 20 mm was added. A metal fluoride single crystal containing 0.007 mol% was obtained. The cerium content was determined by absorptiometry. In the same manner as in Example 1, the emission spectrum at the time of α-ray irradiation was measured. The results are shown in FIG.
比較例1
賦活材としてセリウムを含有するLiCaGaF6金属フッ化物結晶を作成することを目的として、原料として、フッ化リチウム0.37g、及びフッ化カルシウム1.15g、フッ化ガリウム1.96g、フッ化セリウム58mgをそれぞれ秤量した以外は実施例1と同様に結晶育成を行い、最終的に径2.1mm、長さ20mmのセリウムを含有するセリウムを0.015モル%含有する金属フッ化物の単結晶を得た。なおセリウム含有量は吸光光度法により求めた。実施例1と同様にして、α線照射時の発光スペクトルの測定を行った。結果を図3、4、5に示す。
図3より、カルシウムの一部をマグネシウムで置換することにより、発光量が増加している様子が分かる。
Comparative Example 1
For the purpose of preparing LiCaGaF 6 metal fluoride crystals containing cerium as an activator, as raw materials, 0.37 g of lithium fluoride, 1.15 g of calcium fluoride, 1.96 g of gallium fluoride, 58 mg of cerium fluoride The crystal growth was carried out in the same manner as in Example 1 except for weighing each of the above, and finally a metal fluoride single crystal containing 0.015 mol% of cerium containing cerium having a diameter of 2.1 mm and a length of 20 mm was obtained. It was. The cerium content was determined by absorptiometry. In the same manner as in Example 1, the emission spectrum at the time of α-ray irradiation was measured. The results are shown in FIGS.
FIG. 3 shows that the amount of luminescence is increased by substituting a part of calcium with magnesium.
図3〜4より、セリウムをドープしたフッ化リチウムカルシウムガリウムのカルシウムの一部をマグネシウムで置換した構造を持つ実施例1〜3は、カルシウムの一部をマグネシウムで置換していない比較例1と比べると、得られた金属フッ化物結晶の発光の輝度が高くシンチレーターとして有用であることがわかる。また同時に、これらの結果は、新規な金属フッ化物結晶であるLiCa(1−x)MgxGaF6は、セリウム等のランタノイド元素を含有させて用いるシンチレーターの母結晶として有用であることを示している。 3 to 4, Examples 1 to 3 having a structure in which a part of calcium of lithium calcium gallium fluoride doped with cerium is replaced with magnesium are the same as in Comparative Example 1 in which a part of calcium is not replaced with magnesium. By comparison, it can be seen that the obtained metal fluoride crystal has high luminance and is useful as a scintillator. At the same time, these results indicate that LiCa (1-x) Mg x GaF 6 , which is a novel metal fluoride crystal, is useful as a mother crystal of a scintillator used by containing a lanthanoid element such as cerium. Yes.
1 アフターヒーター
2 ヒーター
3 断熱材
4 ステージ
5 坩堝
6 チャンバー
7 高周波コイル
8 引き下げロッド
9 フッ化物結晶
10 241Am
11 CCDカメラ
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11 CCD camera
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011130802A JP5713810B2 (en) | 2011-06-13 | 2011-06-13 | Metal fluoride crystal, light emitting device and scintillator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011130802A JP5713810B2 (en) | 2011-06-13 | 2011-06-13 | Metal fluoride crystal, light emitting device and scintillator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013001577A true JP2013001577A (en) | 2013-01-07 |
JP5713810B2 JP5713810B2 (en) | 2015-05-07 |
Family
ID=47670516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011130802A Expired - Fee Related JP5713810B2 (en) | 2011-06-13 | 2011-06-13 | Metal fluoride crystal, light emitting device and scintillator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5713810B2 (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004086089A1 (en) * | 2003-03-24 | 2004-10-07 | Hokushin Corporation | Fluoride single crystal material for thermoluminescence dosimeter and thermoluminescence dosimeter |
WO2009119378A1 (en) * | 2008-03-24 | 2009-10-01 | 株式会社トクヤマ | Scintillator for neutron detection and neutron detector |
JP2012162406A (en) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Tokuyama Corp | Colquiriite type crystal, scintillator for neutron detection, and neutron beam detector |
-
2011
- 2011-06-13 JP JP2011130802A patent/JP5713810B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012162406A (en) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Tokuyama Corp | Colquiriite type crystal, scintillator for neutron detection, and neutron beam detector |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5713810B2 (en) | 2015-05-07 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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