JP2012508990A - Optical radiation system according to polariton mode with electrical injection of quantum wells - Google Patents

Optical radiation system according to polariton mode with electrical injection of quantum wells Download PDF

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Abstract

本発明は、少なくとも1つの光学モードを有する光キャビティ(10)であって、少なくとも1つの透過性を有する反射器(12)と、量子井戸(21,22)の第一の組(20)と、上記第一の組(20)の上記量子井戸(21,22)の電気的注入手段(31,32,33)とを備えている光キャビティ(10)を備えている光(2)放射システム(1)に関する。上記第一の組(20)の上記量子井戸(21,22)は、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、上記光キャビティ(10)の光学モードとの強結合系であるように配置されているとともに、励起子−ポラリトン混在モードに従って光(2)を放射するように配置されている。このシステム(1)において、上記光キャビティ(10)は、上記電気的注入手段(31,32,33)の直接的範囲の外側に配置されている量子井戸(41,42,43,44,45)の第二の組(40)を更に備え、上記第二の組(40)は、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、上記光キャビティ(10)の上記励起子−ポラリトン混在モードとの強結合系中にあるように、上記第一の組(20)の上記量子井戸(21,22)に関連して配置されている。  The present invention comprises an optical cavity (10) having at least one optical mode, at least one transmissive reflector (12), and a first set (20) of quantum wells (21, 22). A light (2) radiation system comprising an optical cavity (10) comprising electrical injection means (31, 32, 33) of the quantum well (21, 22) of the first set (20) Regarding (1). The quantum wells (21, 22) of the first set (20) are arranged such that at least one of their electronic resonances is a strong coupling system with the optical mode of the optical cavity (10). And is arranged to emit light (2) according to the exciton-polariton mixed mode. In this system (1), the optical cavity (10) is a quantum well (41, 42, 43, 44, 45) arranged outside the direct range of the electrical injection means (31, 32, 33). ) In which at least one of their electronic resonances is strong with the exciton-polariton mixed mode of the optical cavity (10). Arranged in relation to the quantum wells (21, 22) of the first set (20) as in a coupled system.

Description

本発明は、量子井戸の電気的注入を伴うポラリトンモードに従った光放射システムに関する。   The present invention relates to a light emission system according to a polariton mode with electrical injection of quantum wells.

本発明は、「ポラリトンレーザ」型の効果を得るために量子井戸構造を用いる半導体光源の分野に関する。   The present invention relates to the field of semiconductor light sources using a quantum well structure to obtain a “polariton laser” type effect.

より具体的には、少なくとも1つの光学モードを有する光キャビティであって、少なくとも1つの透過性を有する反射器、量子井戸の第一の組、および当該第一の組のこれらの量子井戸の電気的注入手段を備えている光キャビティを備えている光放射システムに関する。上記第一の組の量子井戸は、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、上記光キャビティの光学モードとの強結合系中にあり、励起子−ポラリトン混在モードに従って光を放射するように配置されている。   More specifically, an optical cavity having at least one optical mode, the reflector having at least one transparency, a first set of quantum wells, and the electricity of the first set of these quantum wells The invention relates to a light emitting system comprising an optical cavity comprising a mechanical injection means. The first set of quantum wells is arranged such that at least one of their electronic resonances is in a strong coupling system with the optical mode of the optical cavity and emits light according to the exciton-polariton mixed mode. ing.

半導体レーザは、単色の強い光ビームを生成するために用いられる。それらは、PN接合中を循環している電流であって、光キャビティの一方の側を電子によって、他方の側を正孔によって満たすことができる電流を用いて励起される。そして、光ビームは、接合界面において正孔と電子との再結合により生成される。上記レーザの動作は、電子−正孔対の再結合による光の放射が、電子−正孔対の生成による吸収よりも大きい反転分布状態を実現することにより為される。この状態は、半導体レーザの動作閾値、つまり、接合中において循環している電流の最小密度を、上記レーザが動作するように部分的に決定する。これらのレーザにとっては、かなり高い放射閾値を有しているという点が不利益であり、この結果、熱によるエネルギーロスが発生し、場合によっては、レーザ効果を得ることが非常に困難になったり、むしろ出来なくなったりする。   A semiconductor laser is used to generate a monochromatic intense light beam. They are excited with a current circulating in the PN junction, which can be filled with electrons on one side of the optical cavity and holes on the other side. The light beam is generated by recombination of holes and electrons at the junction interface. The operation of the laser is performed by realizing an inversion distribution state in which light emission by electron-hole pair recombination is larger than absorption by generation of electron-hole pairs. This state partially determines the operating threshold of the semiconductor laser, i.e. the minimum density of current circulating in the junction, so that the laser operates. These lasers have the disadvantage of having a fairly high emission threshold, which results in energy loss due to heat and in some cases making it very difficult to obtain the laser effect. Rather, it will be impossible.

上記ポラリトンレーザは、そのような閾値問題を克服することができる。これは、強結合系における平面マイクロキャビティに存在している励起子−光子タイプの準粒子である励起子−ポラリトンに関するボーズアインシュタイン凝縮の原理に基づくものである。この装置は、レーザの光に匹敵するほどの光ビームを放射するので、通常「レーザ」と呼ばれる。しかしながら、これは異なる動作原理、つまり、励起された光子の放射にではなく励起子−ポラリトンの凝縮に基づくものである。このように、従来のレーザにおける閾値に関与する反転分布状態は、本質的に従来のレーザを非常に低い閾値を有するレーザにするポラリトンレーザにおいては、満たされる必要はない。更に、これによりマイクロ回路へそれを集積化することができるようになり、携帯用デバイスのバッテリー寿命を延ばすことが可能になる。ポラリトンレーザの動作原理が、文献"Phys. Lett. A 214; 193頁、1996年"において初めて提案され、例えば、文献"Phys. Rev. Lett. 101, 146404 (2008年)"のように、それ以来、多くの論文において研究されている。   The polariton laser can overcome such a threshold problem. This is based on the principle of Bose-Einstein condensation on exciton-polaritons which are quasiparticles of exciton-photon type existing in a planar microcavity in a strongly coupled system. This device is usually called a “laser” because it emits a light beam comparable to that of a laser. However, this is based on a different principle of operation: exciton-polariton condensation rather than on the emission of excited photons. Thus, the population inversion associated with the threshold in a conventional laser need not be satisfied in a polariton laser that essentially makes the conventional laser a laser with a very low threshold. In addition, this allows it to be integrated into a microcircuit, which can extend the battery life of portable devices. The principle of operation of a polariton laser was first proposed in the document "Phys. Lett. A 214; 193, 1996", for example, the document "Phys. Rev. Lett. 101, 146404 (2008)" Since then, it has been studied in many papers.

商業的に実行可能なポラリトンレーザを実現するために、これまでに為されていない、電気的に注入されたポラリトンレーザを製造する必要がある。そして、それは室温で動作することが好ましい。この第二の側面については、文献「Phys. Rev. Lett. 98, 126405 (2007年)」、「Phys. Rev. Lett. 101, 406409 (2008年)」、及び「Appl. Phys. Lett. 93, 051102 (2008年)」に記述されているように、GaN系の材料のような、室温にて安定した励起子を有する半導体が用いられる。   In order to realize a commercially viable polariton laser, it is necessary to produce an electrically injected polariton laser that has never been done before. And it preferably operates at room temperature. This second aspect is described in the literature “Phys. Rev. Lett. 98, 126405 (2007)”, “Phys. Rev. Lett. 101, 406409 (2008)” and “Appl. Phys. Lett. 93”. , 051102 (2008) ", semiconductors having excitons that are stable at room temperature, such as GaN-based materials, are used.

文献「Phys. Rev. Lett. 101, 406409 (2008年)」に記述されているように、光励起の下、ポラリトンレーザ効果が見られる体積材料により活性層が構成されているマイクロキャビティを実現できる。他の解決策により、本体構造のために得られた閾値に関して、原則として10の倍数によって閾値を減少させることができる、量子井戸が構成された活性層を備えているマイクロキャビティを実現することができる。上記量子井戸は、空間におけるある方向に従って電子及び正孔の動きを閉じ込めることのできる平面構造であって、他の2つの方向においてそれらの動きを自由のままとすることのできる平面構造である。この閉じ込めは不連続であり、量子井戸が含まれている材料の本質的な特性だけではなく、エネルギーの値が量子井戸の次元にも従っているエネルギーバンドを生じさせる。量子井戸は、特に分子線または化学的蒸着を用いたエピタキシによって製造されてもよい。   As described in the document “Phys. Rev. Lett. 101, 406409 (2008)”, it is possible to realize a microcavity in which an active layer is formed of a volume material in which a polariton laser effect is observed under optical excitation. According to another solution, with respect to the threshold obtained for the body structure, it is possible to realize a microcavity with an active layer composed of quantum wells, which can be reduced in principle by a multiple of ten. it can. The quantum well has a planar structure that can confine the movement of electrons and holes according to a certain direction in space, and can leave these movements free in the other two directions. This confinement is discontinuous, giving rise to an energy band whose energy values also follow the quantum well dimensions, as well as the intrinsic properties of the material in which the quantum well is contained. Quantum wells may be manufactured by epitaxy, in particular using molecular beams or chemical vapor deposition.

励起子のような他の粒子も、同様の方法にて量子井戸により影響を受けてもよい。形状の選択及び量子井戸を含んでいる材料の選択により、電子、励起子、正孔及びその他のエネルギーレベルを定義することができる。これらの粒子は、エネルギーレベル間を移動し、その結果として特定のエネルギーを有する光子を放射し吸収する。   Other particles such as excitons may be affected by the quantum well in a similar manner. Depending on the choice of shape and the material containing the quantum well, electrons, excitons, holes and other energy levels can be defined. These particles move between energy levels and as a result emit and absorb photons with specific energies.

量子井戸ポラリトン構造は、欧州特許1729383号明細書及び欧州特許1813981号明細書に記述されている。後者において、放射システムは、第一ブラッグ反射器、量子井戸を包囲している2つの半導体層、及び最後に第二ブラッグ反射器が蒸着されている基板を備えている。この全体により、量子井戸が配置されている光マイクロキャビティが形成されている。そのように形成されたマイクロキャビティは、ポラリトンを空間的に配置してもよく、ポラリトンに対する不連続なエネルギーレベルを少なくとも3つ含んでいてもよい。   The quantum well polariton structure is described in EP 1729383 and EP 1813981. In the latter, the radiation system comprises a first Bragg reflector, two semiconductor layers surrounding the quantum well, and finally a substrate on which a second Bragg reflector is deposited. The whole forms an optical microcavity in which quantum wells are arranged. The microcavity so formed may spatially arrange polaritons and may include at least three discrete energy levels for the polaritons.

米国特許第5877509号明細書中において、他の構造が記述されている。この明細書において、光放射システムは、共鳴光マイクロキャビティ、単一の量子井戸、共鳴伝導の手段を含んでいる。上記光キャビティは、透過性を有するブラッグ反射器を1つ含んでいる2つのブラッグ反射器、N型ドープ及びP型にドープされた領域、及びドープされていないギャップ領域を含んでいる。上記量子井戸は、電子、励起子、正孔、及びポラリトンのエネルギーレベルを少なくとも1つ与えるように、上記光キャビティの内部に配置されている。ポラリトンのエネルギーレベルは、光子のエネルギーが励起子のエネルギーレベルのエネルギーに対して十分に近いときに得られる。多重量子井戸を有するマイクロキャビティに基づいた、ポラリトン状態を用いている光放射システムは、文献「Appl. Phys. Letters 92、061107、2008年」、「Phys. Rev. B 77、113303、2008年」、「Phys. Rev. Letters 100、136806、2008年」、及び「Nature 453、372頁、2008年」にて開示されているように、既に実現されている。   Another structure is described in US Pat. No. 5,877,509. In this specification, the light emission system includes a resonant optical microcavity, a single quantum well, and a means of resonant conduction. The optical cavity includes two Bragg reflectors including one transmissive Bragg reflector, N-doped and P-doped regions, and an undoped gap region. The quantum well is disposed inside the optical cavity so as to provide at least one energy level of electrons, excitons, holes, and polaritons. Polariton energy levels are obtained when the photon energy is sufficiently close to the energy of the exciton energy level. Light emission systems based on polariton states based on microcavities with multiple quantum wells are described in the literature "Appl. Phys. Letters 92, 061107, 2008", "Phys. Rev. B 77, 113303, 2008". , "Phys. Rev. Letters 100, 136806, 2008" and "Nature 453, p. 372, 2008".

上記文献に記述されている構造により、発光ダイオードタイプの機能を実現することはできるにも関わらず、ポラリトンレーザ効果を得ることはできない。ポラリトンレーザ効果を得るために、上記ポラリトンモードにより互いに結合された、多重量子井戸を含んでいる構造を用いることが必要である。その結果、光と物質との結合が最大化され、ポラリトンのボーズアインシュタイン凝縮が促進される。そのようなポラリトンレーザ効果の主な追加が、光励起の下、12個の量子井戸を含んでいる構造を有するGaAs系の材料を用いて得られ(文献「Science 316、1007、2007年」に掲載)、26個の量子井戸を含んでいる構造を有するCdTe系の材料を用いて得られ(文献「Nature 443、409、2006年」に掲載)、そして93個の量子井戸を含んでいる構造を有するGaN系の材料を用いて得られた(文献「Appl. Phys. Lett. 93、051102、2008年」に掲載)。しかしながら、井戸の数が多くなると、井戸を電気的に注入することが困難、若しくは不可能にさえなるという不利益を被る。   Although the light emitting diode type function can be realized by the structure described in the above document, the polariton laser effect cannot be obtained. In order to obtain the polariton laser effect, it is necessary to use a structure including multiple quantum wells coupled to each other by the polariton mode. As a result, the coupling between light and matter is maximized, and Polariton's Bose-Einstein condensation is promoted. The main addition of such a polariton laser effect is obtained using a GaAs-based material having a structure containing 12 quantum wells under optical excitation (published in the document “Science 316, 1007, 2007”). ), Obtained using a CdTe-based material having a structure containing 26 quantum wells (published in the document “Nature 443, 409, 2006”) and having a structure containing 93 quantum wells. It was obtained using a GaN-based material having (published in the literature “Appl. Phys. Lett. 93, 051102, 2008”). However, increasing the number of wells suffers from the disadvantage that it becomes difficult or even impossible to electrically inject wells.

そして、量子井戸の電気的注入に伴い問題が生じる。実に、一方では、効率の良い均一の注入には、活性領域において少ない数の量子井戸が必要である。これは、電子が片側に到着し、正孔が反対側に到着するという事実により説明できる。結合するには後者が全ての量子井戸を通過しなければならないので、電子と正孔との間に多重量子井戸がある場合は、注入は更に困難になる。   Problems arise with the electrical injection of quantum wells. Indeed, on the one hand, efficient and uniform implantation requires a small number of quantum wells in the active region. This can be explained by the fact that electrons arrive on one side and holes arrive on the other side. Since the latter must pass through all the quantum wells to combine, the injection becomes even more difficult if there are multiple quantum wells between electrons and holes.

その上、マーケティングのためには、室温にて動作するコンポーネントを実現することがとても好ましい。上述したように、最も先進的な解決策は、例えばGaN族のようなギャップが広い半導体により実現された平面マイクロキャビティを用いることである。このタイプの構造においては、光励起の下で、ポラリトンレーザ効果が加えられた。更に、窒化ガリウムを用いることにより、半導体レーザの実現が分かりにくいままである波長帯において350ナノメートル程度の紫外光が放射される。   In addition, for marketing it is highly desirable to implement components that operate at room temperature. As mentioned above, the most advanced solution is to use a planar microcavity realized with a wide gap semiconductor such as the GaN family. In this type of structure, a polariton laser effect was added under optical excitation. Furthermore, by using gallium nitride, ultraviolet light of about 350 nanometers is emitted in a wavelength band where the realization of a semiconductor laser remains difficult to understand.

GaN族の材料を用いる場合、正孔の移動度が電子の移動度よりも非常に小さいので、電気的注入の均一性の問題は極めて重要である。典型的に、数ユニット以上の数の量子井戸を効率的に注入することは困難である。他方では、ポラリトンレーザは、上述のように、多くの量子井戸を含まなければならない。GaNの量子井戸を有する構造において300Kにおけるポラリトンレーザ効果が単独で加えられたのは、67個の量子井戸を含んでいる構造に対してであった(文献「Appl. Phys. Lett. 93、051102、2008年」に掲載)。   When using a GaN group material, the hole mobility is much smaller than the electron mobility, so the problem of uniformity of electrical injection is very important. Typically, it is difficult to efficiently inject a number of quantum wells of several units or more. On the other hand, polariton lasers must contain many quantum wells, as described above. In a structure having a quantum well of GaN, the polariton laser effect at 300K was added alone to a structure containing 67 quantum wells (references “Appl. Phys. Lett. 93, 051102”). , 2008 ”).

欧州特許第1729383号明細書(公開日:2006年12月6日)European Patent No. 1729383 (Publication date: December 6, 2006) 欧州特許第1813981号明細書(公開日:2007年8月1日)European Patent No. 1813981 (Publication date: August 1, 2007) 米国特許第5877509号明細書(公開日:1999年3月2日)US Pat. No. 5,877,509 (Publication date: March 2, 1999) 米国特許出願公開2007/003697号明細書(公開日:2007年1月4日)US Patent Application Publication No. 2007/003697 (Publication date: January 4, 2007)

Phys. Lett. A 214、193、1996年Phys. Lett. A 214, 193, 1996 Phys. Rev. Lett. 101、146404、2008年Phys. Rev. Lett. 101, 146404, 2008 Phys. Rev. Lett. 98、126405、2007年Phys. Rev. Lett. 98, 126405, 2007 Phys. Rev. Lett. 101、406409、2008年Phys. Rev. Lett. 101, 406409, 2008 Appl. Phys. Lett. 93、051102、2008年Appl. Phys. Lett. 93, 051102, 2008 Appl. Phys. Letters 92、061107、2008年Appl. Phys. Letters 92, 061107, 2008 Phys. Rev. B 77、113303、2008年Phys. Rev. B 77, 113303, 2008 Phys. Rev. Letters 100、136806、2008年Phys. Rev. Letters 100, 136806, 2008 Nature 453、372、2008年Nature 453, 372, 2008 Science 316、1007、2007年Science 316, 1007, 2007 Nature 443、409、2006年Nature 443, 409, 2006

少数の井戸を必要とする電気的注入と、最大数の井戸を必要とするポラリトンレーザ効果との間におけるこの矛盾により、現在、半導体レーザ、および電気的励起ポラリトンレーザの実現に向けた光励起ポラリトンレーザに用いられている形状は使えなくなる。   This contradiction between electrical injection, which requires a small number of wells, and the polariton laser effect, which requires the maximum number of wells. The shape used in is no longer usable.

このように、先行技術の解決策を用いても、量子井戸の電気的注入によるポラリトンモードに従った単色の強い光を放射するための効率の良いシステムを実現することができない。   Thus, even with prior art solutions, it is not possible to realize an efficient system for emitting strong monochromatic light according to the polariton mode by electrical injection of quantum wells.

本発明の目的は、ポラリトンレーザ効果を観測するために十分な数の量子井戸を光キャビティへ挿入すること、及びこの構造において効率良く電子的に励起できるある特定の配列を光キャビティに挿入することを提案することにより、この技術的な問題を克服することである。挿入された全量子井戸のうち、ごく一部分が電気的注入を行われるように配置されており、これらの井戸においては良い状態で注入が起こる。量子井戸の組の他の部分は、この電気的注入が直接的には行われないように配置されている。それにもかかわらず、全井戸が強結合系に関係しており、電気的に注入された井戸は、マイクロキャビティの拡張ポラリトンモードが存在することによって他の井戸と光学的に結合している。   The object of the present invention is to insert a sufficient number of quantum wells into the optical cavity to observe the polariton laser effect, and to insert a specific array into the optical cavity that can be efficiently electronically excited in this structure. Is to overcome this technical problem. Of all the inserted quantum wells, only a small part is arranged for electrical injection, and in these wells, the injection occurs in good condition. The other parts of the set of quantum wells are arranged so that this electrical injection is not performed directly. Nonetheless, all wells are associated with a strong coupling system, and the electrically injected wells are optically coupled to other wells by the presence of extended polariton modes in the microcavities.

そして、上記注入された量子井戸から、全量子井戸に関係するポラリトンモードの光子が放射される。これらの光子は、直接的に励起されていない量子井戸により吸収される。注入された井戸により光子を放射する工程、及び、他の井戸により吸収されるその後の工程は、強結合系においてとても速く、弱結合系におけるものよりも2桁短い。これがポラリトン効果である。このような技術により、上記光学モードと強結合している多重量子井戸を有するマイクロキャビティにポラリトンを効率的に電気的に注入することができる。   Then, polariton mode photons related to all the quantum wells are emitted from the injected quantum well. These photons are absorbed by quantum wells that are not directly excited. The process of emitting photons by injected wells and the subsequent processes absorbed by other wells are very fast in strongly coupled systems and two orders of magnitude shorter than in weakly coupled systems. This is the polariton effect. With such a technique, polaritons can be efficiently injected into a microcavity having a multiple quantum well that is strongly coupled to the optical mode.

最低エネルギー状態におけるポラリトンの凝縮は、強結合されている量子井戸の数が多いときに非常に促進される。それゆえに、本発明により、このタイプの構造にポラリトンを電気的に注入することができる。ポラリトン凝縮の自発的な放射性崩壊により、単色の強い光ビームの放射、つまり一反射器の有限な透過性により可能となった放射という結果がもたらされる。   Polariton condensation in the lowest energy state is greatly facilitated when the number of strongly coupled quantum wells is large. Therefore, according to the present invention, polaritons can be electrically injected into this type of structure. The spontaneous radioactive decay of the polariton condensate results in the emission of a strong monochromatic light beam, that is, the radiation enabled by the finite transparency of one reflector.

ポラリトン効果を得るために必要な上記強結合系を活用する方法を探すことが、解決策へのアプローチとなる。そして、ポラリトンモードに従った光子の放射を得るために電気的に注入された量子井戸と、注入されていない量子井戸との相互作用をもたらすためにこの結合系を用いる際に、ごく少数の井戸を注入することが可能であり、残り井戸は光子の吸収により光励起されることができ、これらの井戸は、光励起された後、同一のポラリトンモードに直接従った光子を再放射することが明らかになった。   Finding a method that utilizes the above-mentioned strong coupling system necessary for obtaining the polariton effect is an approach to the solution. And a very small number of wells are used when using this coupled system to bring about interaction between an electrically injected quantum well and an uninjected quantum well to obtain photon emission according to the polariton mode. Clearly, the remaining wells can be photoexcited by photon absorption, and these wells re-radiate photons directly following the same polariton mode after photoexcitation. became.

このアプローチは、従来のレーザに適用されることができないという意味においてより一層発明的である。本来、電気的に励起されていない井戸は、反転分布に至ることはできない。それらは単に光を吸収し、レーザ効果を崩壊させてしまう。一方、ポラリトンレーザにとって、光の吸収がまさしく探しているものであり、励起された井戸と電気的に励起されていない井戸とを結合するために活用されるものである。   This approach is even more inventive in the sense that it cannot be applied to conventional lasers. Originally, a well that is not electrically excited cannot reach an inversion distribution. They simply absorb light and disrupt the laser effect. On the other hand, for polariton lasers, light absorption is exactly what we are looking for, and it is used to couple excited wells and wells that are not electrically excited.

この目的を考慮して、本発明は、目的のために少なくとも1つの光学モードを有する光キャビティであって、少なくとも1つの透過性を有する反射器、量子井戸の第一の組、および当該第一の組のこれらの量子井戸の電気的注入手段を備えている光キャビティを備えている光放射システムに関する。上記第一の組の量子井戸は、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、上記光キャビティの光学モードとの強結合系であり、励起子−ポラリトン混在モードに従って光を放射するように配置されている。このシステムにおいては、上記光学キャビティは、電気的注入手段の直接的範囲の外側に配置されている量子井戸の第二の組を更に備え、上記第二の組は、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、上記光キャビティの上記励起子−ポラリトン混在モードとの強結合系中にあるように、上記第一の組の量子井戸に関連して配置されている。   In view of this objective, the present invention provides an optical cavity having at least one optical mode for the purpose, wherein the reflector has at least one transparency, a first set of quantum wells, and the first A set of light emitting systems comprising an optical cavity with electrical injection means for these quantum wells. The first set of quantum wells are arranged such that at least one of their electronic resonances is a strong coupling system with the optical mode of the optical cavity and emits light according to the exciton-polariton mixed mode. Yes. In this system, the optical cavity further comprises a second set of quantum wells arranged outside the direct range of the electrical injection means, the second set comprising at least one of their electronic resonances. One is arranged in relation to the first set of quantum wells so that one is in a strong coupling system with the exciton-polariton mixed mode of the optical cavity.

ここで、当業者は、上記第二の組の量子井戸は直接的には電気的に注入されておらず、ポラリトンモードとの結合により、上記第一の組の量子井戸により放射された光子をただ吸収し再放射することが理解できるであろう。   Here, the person skilled in the art does not directly inject the second set of quantum wells directly, but couples photons emitted by the first set of quantum wells by coupling with the polariton mode. It will be understood that it just absorbs and re-radiates.

当業者は、光子の上記キャビティの外側への放射、および、それゆえの単色の強い光ビームの生成は、ポラリトン凝縮の自発的な放射性崩壊によるものであることもまた理解できるであろう。   One skilled in the art will also appreciate that the emission of photons out of the cavity, and hence the generation of a monochromatic intense light beam, is due to spontaneous radiative decay of polariton condensation.

この解決策は、強結合系の取得およびポラリトンモードの形成と量子井戸の元々の配置とを有利に結び付ける。ポラリトンモードに従った光子を放射することによって、電気的に注入されていない井戸を、これらの光子を吸収することにより光励起させることができ、そして同一のポラリトンモードに従った後者を再放射する。そして、量子井戸の複数が挿入されている共鳴光キャビティを含んでいるシステムが得られ、全ての量子井戸は、かなり高い量子効果を得るようにポラリトン効果に関与する。更に、電気的に注入された量子井戸が少数であることは、電気的に注入されていない井戸においてスクリーニングおよび位相シフト現象を減少させることにより、ポラリトンレーザ効果を取得することに有利である。   This solution advantageously combines the acquisition of strongly coupled systems and the formation of polariton modes with the original placement of quantum wells. By emitting photons according to the polariton mode, wells that are not electrically injected can be photoexcited by absorbing these photons and re-emit the latter according to the same polariton mode. Then, a system including a resonant optical cavity into which a plurality of quantum wells are inserted is obtained, and all quantum wells participate in the polariton effect so as to obtain a considerably high quantum effect. Furthermore, the small number of electrically injected quantum wells is advantageous for obtaining a polariton laser effect by reducing screening and phase shift phenomena in wells that are not electrically injected.

ある特定の実施形態によれば、光は、いわゆる「ポラリトンレーザ」を構成している、指向性のある単色の光ビームとして放射される。   According to a particular embodiment, the light is emitted as a directional monochromatic light beam constituting a so-called “polariton laser”.

上記第一の組は、5個未満の量子井戸を含んでいることがより好ましい。これにより、注入される井戸が少数であるため、均一に電気的注入をすることができる。   More preferably, the first set includes less than 5 quantum wells. As a result, since a small number of wells are implanted, it is possible to perform electrical injection uniformly.

上記第一の組は、実質的に上記第二の組の量子井戸の数よりも少ない数の量子井戸を含んでいることがより好ましい。このようにして、上記第二の組のこれらの量子井戸は、(電気的に注入されている)上記第一の組の量子井戸と強結合しているので、そのような数の井戸を用いて得られたポラリトンレーザ効果は、より一層実質的なものとなる。   More preferably, the first set includes a number of quantum wells substantially less than the number of quantum wells of the second set. In this way, the second set of these quantum wells are strongly coupled to the first set of quantum wells (which are electrically injected), so that such a number of wells is used. The polariton laser effect obtained in this way becomes even more substantial.

上記第一および第二の組の量子井戸は、同一であることがより好ましい。   More preferably, the first and second sets of quantum wells are identical.

上記光キャビティは、上記光キャビティの下端および上端にそれぞれ配置されている底部反射器および上部反射器を備えている。上記上部反射器は、上記システムにより放射された光が上記上部反射器を通過するように透過性を有する。   The optical cavity includes a bottom reflector and an upper reflector disposed at the lower and upper ends of the optical cavity, respectively. The upper reflector is transmissive so that light emitted by the system passes through the upper reflector.

特に有益な別の実施例によれば、上記光キャビティの上記反射器はブラッグ反射器であり、これには発生する光学的なロスが非常に少ないという利点がある。   According to another particularly advantageous embodiment, the reflector of the optical cavity is a Bragg reflector, which has the advantage that very little optical loss is generated.

ある特定の実施形態によれば、上記光キャビティは、P型ドープ領域およびN型ドープ領域を含んでいる。   According to certain embodiments, the optical cavity includes a P-type doped region and an N-type doped region.

後者の場合、ある特定の実施形態によれば、上記光キャビティは、それぞれ上記N型ドープ領域と上記P型ドープ領域との間に配置されたドープされていないギャップ領域を含んでいる。   In the latter case, according to certain embodiments, the optical cavity includes an undoped gap region disposed between the N-type doped region and the P-type doped region, respectively.

この場合、上記第一の組および第二の組の量子井戸は、それぞれ次のように配置されている。上記第一の組の量子井戸は、上記光キャビティの上記ギャップ領域と上記P型ドープ領域との間に配置され、上記第二の組の量子井戸は、上記光キャビティの上記N型ドープ領域と上記底部反射器との間に配置されている。   In this case, the quantum wells of the first set and the second set are arranged as follows. The first set of quantum wells is disposed between the gap region of the optical cavity and the P-type doped region, and the second set of quantum wells is connected to the N-type doped region of the optical cavity. Located between the bottom reflector.

このように、上記第一の組の量子井戸のみが、上記N型ドープ領域と上記P型ドープ領域との間、つまり、電気的注入が生成される領域の間にある。上記第二の組の量子井戸は、これらの領域の内部にはなく、それゆえに電気的には励起されない。電気的に励起された上記第一の組の井戸により、励起子−ポラリトンがそのようなものとして生成される。ここでは、上記第一および第二の組の井戸は同等に関係してくる。つまり、上記第一の組の井戸によって放射された光子は、上記光キャビティを出る前に、上記第二の組の井戸によって吸収され、その後、数回再放射される。   Thus, only the first set of quantum wells is between the N-type doped region and the P-type doped region, that is, between the regions where electrical injection is generated. The second set of quantum wells is not within these regions and is therefore not electrically excited. The first set of wells that are electrically excited produce such exciton-polaritons. Here, the first and second sets of wells are equally related. That is, photons emitted by the first set of wells are absorbed by the second set of wells before exiting the optical cavity and then re-emitted several times.

ある特定の実施形態によれば、注入の手段は、電流の供給源に接続された電気接点の組を少なくとも1組含んでいる。   According to a particular embodiment, the means for injecting includes at least one set of electrical contacts connected to a source of current.

後者の場合、ある特定の実施形態によれば、注入の手段の1組の電気接点の一方の接点は、上記N型ドープ領域に固定され、他方の接点は、上記P型ドープ領域に固定される。   In the latter case, according to one particular embodiment, one contact of a set of electrical contacts of the means of implantation is fixed to the N-type doped region and the other contact is fixed to the P-type doped region. The

ある特定の実施形態によれば、上記光キャビティは基板に蒸着される。これにより、後者のキャビティ全体を製造することができる。   According to certain embodiments, the optical cavity is deposited on a substrate. Thereby, the whole latter cavity can be manufactured.

上記光キャビティは、平面であることがより好ましい。   More preferably, the optical cavity is a plane.

上記光キャビティは、上記システムにより放射された光が、上記光キャビティの上記透過性を有する反射器に対して直行するように配置されていることがより好ましい。この効果は、全ての構成要素が平らであり互いに平行であるような平面光キャビティを有することにより得られてもよい。   More preferably, the optical cavity is arranged such that the light emitted by the system is perpendicular to the transmissive reflector of the optical cavity. This effect may be obtained by having a planar optical cavity in which all components are flat and parallel to each other.

上記システムのある特定の実施形態によれば、上記第一および第二の組の量子井戸は、窒化ガリウム族から成る材料により構成されている。これにより、350ナノメートル程の紫外領域に属するポラリトン光を放射することができる。   According to a particular embodiment of the system, the first and second sets of quantum wells are composed of a material consisting of the gallium nitride group. Thereby, polariton light belonging to the ultraviolet region of about 350 nanometers can be emitted.

それぞれの図面と共に、制限されていない実施形態の例についての詳細な記述を読むのであれば、本発明をより良く理解することができるであろう。
本発明のある特定の実施形態に係る光放射システムの図である。 本発明に係る光放射システム内部における電子および正孔の動きを示す図である。
A better understanding of the present invention can be obtained when the detailed description of the non-limiting example embodiments is read in conjunction with the respective drawings.
1 is a diagram of a light emission system according to certain embodiments of the present invention. FIG. It is a figure which shows the motion of an electron and a hole inside the light emission system which concerns on this invention.

図1に示されているように、本発明のある特定の実施形態に係る、光2を放射するためのシステム1は、基板3および光キャビティ10を備えている。それは、ある特定の放射波長において動作するようにデザインされている。   As shown in FIG. 1, a system 1 for emitting light 2 according to a particular embodiment of the invention comprises a substrate 3 and an optical cavity 10. It is designed to operate at a specific radiation wavelength.

本実施形態において、上記システムは、2個の電気的に注入された量子井戸21および22、および5個の注入されていない量子井戸41〜45を備えている。井戸の数をこのように選択したことは、はっきりと図に描かれている。このように、当業者は、量子井戸のより適切な数を選択することができるであろう。特に、注入された井戸については5未満の数が選択され得る。また、注入されていない井戸については、明らかにより多くの数が選択され、GaNの量子井戸を有する構造である場合、60個という多さになることもあり得る。当業者は、量子井戸の総数が多いと上記ポラリトンレーザ効果に有利であることにまさに注目するであろう。   In this embodiment, the system comprises two electrically injected quantum wells 21 and 22 and five uninjected quantum wells 41-45. This choice of the number of wells is clearly depicted in the figure. Thus, those skilled in the art will be able to select a more appropriate number of quantum wells. In particular, a number of less than 5 can be selected for implanted wells. In addition, the number of wells that are not implanted is obviously selected to be larger, and in the case of a structure having a quantum well of GaN, it can be as many as 60. Those skilled in the art will just note that a large total number of quantum wells favors the polariton laser effect.

本システムは、基板3上において分子線エピタキシ技術に従って得られてもよく、この技術は当事者には良く知られていることである。GaNベースにして実現される構造として、適切な基板は、GaAsまたはサファイアであってもよい。   The system may be obtained according to molecular beam epitaxy technology on the substrate 3, which is well known to those skilled in the art. As a structure realized on the basis of GaN, a suitable substrate may be GaAs or sapphire.

光キャビティ10は、2つの反射器のうちの1つが有限の透過性を有することにより可能となる、ポラリトンの自発的な放射性崩壊による光の放射に対応しているポラリトンモードを少なくとも1つ有している共鳴光マイクロキャビティである。本実施形態に係る本キャビティは、2つのブラッグ反射器11および12、それぞれがN型およびP型にドープされた領域13および15、ドープされていないギャップ領域14、量子井戸21および22による第一の組20、注入の手段31〜33、および量子井戸41〜45による第二の組40を備えている。上記2つのブラッグ反射器11および12は、それぞれ上記キャビティの下側および上側に配置されている。底部反射器11は、例えば、Al0.85,In0.15NおよびAlGaNが交互に層を成す構成であり、その実現は、例えば、米国特許出願公開2007/003697号明細書に記述されている。またはAl0.58Ga0.32NおよびAl0.20Ga0.80Nが交互に層を成す構成である。例えば、上記上部反射器は、交互にSiOおよびSiNの誘電体層により構成されている。これらの交互の層は、図1において、連続した白の帯および黒の帯により示されている。上記層の各々の厚さは、放射された光2の波長の1/4に等しい。 The optical cavity 10 has at least one polariton mode corresponding to the emission of light due to spontaneous radiative decay of polaritons, which is made possible by one of the two reflectors having finite transparency. Resonant light microcavity. The cavity according to the present embodiment includes two Bragg reflectors 11 and 12, first and second regions 13 and 15 doped N-type and P-type, undoped gap region 14, and quantum wells 21 and 22, respectively. 20, injection means 31 to 33, and a second set 40 of quantum wells 41 to 45. The two Bragg reflectors 11 and 12 are disposed below and above the cavity, respectively. The bottom reflector 11 is, for example, a configuration in which Al 0.85 , In 0.15 N and AlGaN are alternately layered, and its implementation is described in, for example, US Patent Application Publication No. 2007/003697. Yes. Alternatively, Al 0.58 Ga 0.32 N and Al 0.20 Ga 0.80 N are alternately layered. For example, the upper reflector is composed of SiO 2 and SiN dielectric layers alternately. These alternating layers are indicated in FIG. 1 by successive white and black bands. The thickness of each of the layers is equal to ¼ of the wavelength of emitted light 2.

これら2つの反射器11および12は、レーザの発光波長にて上記光を反射するように設計されている。上部反射器12は、上記システムから放射された光2が、この反射器12を通過することにより後者から出ることができるように透過する特性を更に有している。ここでの透過性を有する反射器とは、放射された上記光の一部がそれを通過できるような有限な透過性を有している反射器を意味している。   These two reflectors 11 and 12 are designed to reflect the light at the emission wavelength of the laser. The upper reflector 12 further has the property of allowing the light 2 emitted from the system to pass through the latter so that it can exit the latter. The reflector having transparency here means a reflector having a finite transparency so that a part of the emitted light can pass through the reflector.

これらのブラッグ反射器には、エネルギーロスがほとんど生じないという利点がある。それにもかかわらず、他の実施形態によれば、これらのブラッグ反射器11および12を、他のタイプの反射器に置き換えようと考えてもよい。   These Bragg reflectors have the advantage that little energy loss occurs. Nevertheless, according to other embodiments, these Bragg reflectors 11 and 12 may be considered to be replaced by other types of reflectors.

底部ブラッグ反射器11と上部ブラッグ反射器12との間において、光キャビティ10は、中間層の組を含んでいる。これらの層は、上記第二の組の量子井戸41〜45、N型ドープ領域13、ドープされていないギャップ領域14、上記第一の組の量子井戸21および22、およびP型ドープ領域15が連続しているものである。   Between the bottom Bragg reflector 11 and the top Bragg reflector 12, the optical cavity 10 includes a set of intermediate layers. These layers comprise the second set of quantum wells 41-45, the N-type doped region 13, the undoped gap region 14, the first set of quantum wells 21 and 22, and the P-type doped region 15. It is continuous.

本システムにおける全ての層および要素は、平面であり互いに並行であることが好ましい。また、出力光2は、上記システムの基準面に対して垂直な方向に放射されるであろう。   All layers and elements in the system are preferably planar and parallel to each other. The output light 2 will also be emitted in a direction perpendicular to the reference plane of the system.

N型ドープ領域13は、N型にドープされたAlGaN層から成る。同様に、P型ドープ領域15は、P型にドープされたAlGaN層から成る。ドープされていないギャップ領域14は、AlInN層中に作られた開口部により構成されている。注入の手段により生成され、上記キャビティの一部を通過する電流は、この開口部により通過することができる。AlInN層の残りの部分16は、電流が生成されるときに、電子および正孔をそれらの動きについて操作するようなトンネルを形成する。   The N-type doped region 13 is composed of an N-type doped AlGaN layer. Similarly, the P-type doped region 15 is composed of a P-type doped AlGaN layer. The undoped gap region 14 is constituted by an opening made in the AlInN layer. The current generated by the means of injection and passing through a part of the cavity can be passed through this opening. The remaining portion 16 of the AlInN layer forms a tunnel that manipulates electrons and holes for their movement when current is generated.

上記第一および第二の組の量子井戸は、アルミニウムを20%含んだGaN/AlGaN混合物により構成されており、それらの厚さは薄く、数原子層程でなければならない。このアルミニウムの比率により、励起子に対する強振動子力を保持することができ、強結合系を存在させることができる。   The first and second sets of quantum wells are composed of a GaN / AlGaN mixture containing 20% aluminum, and their thickness should be as small as several atomic layers. By this aluminum ratio, it is possible to maintain a strong oscillator force against excitons and to have a strong coupling system.

当業者は、本特許の範囲を逸脱することなく、他の適切な材料または合金においてもまた上記量子井戸と同様に領域13および15を実現できるであろう。特に、GaN/InGaNのような他の混合物は、上記量子井戸を実現するために窒化ガリウムを用いて実現されてもよい。窒化ガリウムには、実は、青色発光または紫外線放射という特性がある。AlGaAs/GaAsのようなガリウム砒素をベースにした混合物もまた用いられてもよい。特に、所望の発光波長に従って、他の材料が選択されてもよい。他の形状が考慮されてもよい。   Those skilled in the art will be able to implement regions 13 and 15 in other suitable materials or alloys as well as the above quantum wells without departing from the scope of this patent. In particular, other mixtures such as GaN / InGaN may be realized using gallium nitride to realize the quantum well. Gallium nitride actually has the characteristics of blue emission or ultraviolet radiation. Mixtures based on gallium arsenide such as AlGaAs / GaAs may also be used. In particular, other materials may be selected according to the desired emission wavelength. Other shapes may be considered.

更に、量子井戸は同様のものであっても異なるものであってもよい。特に、それらは異なる形状をしていてもよく、異なる材料を用いて実現されてもよい。   Furthermore, the quantum wells may be similar or different. In particular, they may have different shapes and may be realized using different materials.

他の実施形態によれば、上記量子井戸は、量子細線および量子ドットの形状をしていてもよい。なお、量子細線、量子井戸、および量子ドットによる閉じ込めは、それぞれ空間における一次元、二次元、および三次元において為される。当業者は、そのような量子構造の製造技術を良く知っている。   According to other embodiments, the quantum well may be in the form of quantum wires and quantum dots. Note that confinement by quantum wires, quantum wells, and quantum dots is performed in one, two, and three dimensions in space, respectively. Those skilled in the art are well aware of techniques for manufacturing such quantum structures.

注入の手段31〜33は、発電機33により動力が供給された幾つかの電気接点により構成されている。このような発電機により供給された電圧値は、約1.6〜1.8ボルトであり、光キャビティ10を通過する電流は、したがってこのキャビティの表面の次元に依存している。これらの電気接点は対になって(21aと22aとの対および21bと22bとの対)動作する。各対に対して、一方の接点21a(または21b)は、N型ドープ領域13に固定されており、こうして接点Nと呼ばれ、他方の接点22a(または22b)は、P型ドープ領域に固定されており、こうして接点Pと呼ばれる。したがって、同一対の2つの接点間における電流が生成されることにより、電子および正孔は反対方向に転置される。図2に示されているように、電子は接点Nから接点Pに転置され(矢印51)、正孔は接点Pから接点Nに転置される(矢印52)。   The injection means 31 to 33 are constituted by several electrical contacts that are powered by the generator 33. The voltage value supplied by such a generator is about 1.6-1.8 volts, and the current passing through the optical cavity 10 is thus dependent on the dimension of the surface of this cavity. These electrical contacts operate in pairs (a pair of 21a and 22a and a pair of 21b and 22b). For each pair, one contact 21a (or 21b) is fixed to the N-type doped region 13, thus referred to as contact N and the other contact 22a (or 22b) is fixed to the P-type doped region. And are thus referred to as contacts P. Thus, by generating a current between two contacts of the same pair, electrons and holes are transposed in opposite directions. As shown in FIG. 2, electrons are transferred from contact N to contact P (arrow 51), and holes are transferred from contact P to contact N (arrow 52).

各層および注入の手段は、第一の組の量子井戸21および22に電気的注入を行えるように配置される。第二の組の量子井戸41〜45は、この方法において電気的注入は為されない。更に、上記第一の組の量子井戸は、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが上記光キャビティの光学モードとの強結合系であり、励起子−ポラリトン混在モードに従って光を放射するように配置されている。量子井戸21および22のこの配置は、電気的注入手段との関係において規定される。つまり、量子井戸21および22は、電気注入手段の対の2つの電気接点間に配置され、これにより、上記キャビティのポラリトンモードに従って光子を放射することができる。   Each layer and means of implantation are arranged to allow electrical injection into the first set of quantum wells 21 and 22. The second set of quantum wells 41-45 is not electrically injected in this manner. Furthermore, the first set of quantum wells is arranged such that at least one of their electronic resonances is a strong coupling system with the optical mode of the optical cavity and emits light according to the exciton-polariton mixed mode. ing. This arrangement of quantum wells 21 and 22 is defined in relation to electrical injection means. That is, the quantum wells 21 and 22 are disposed between the two electrical contacts of the pair of electrical injection means, so that photons can be emitted according to the polariton mode of the cavity.

電流が上記第一の組の量子井戸を通過するとき、電子/励起子および正孔は、これらの井戸に密集するようになる。そして、これらの井戸の各々の電子的/励起子的共鳴が、上記キャビティの閉じ込められたポラリトンモードの1つと結合している強結合系において起こる。そして、この強結合は結果として励起子−ポラリトンと呼ばれる準粒子をもたらす。これらの準粒子は、上記キャビティの上記ポラリトンモードに従って放射される。   As current passes through the first set of quantum wells, electrons / excitons and holes become concentrated in these wells. The electronic / exciton resonance of each of these wells then occurs in a strongly coupled system that is coupled to one of the confined polariton modes of the cavity. This strong coupling then results in quasiparticles called exciton-polaritons. These quasiparticles are emitted according to the polariton mode of the cavity.

第二の組の量子井戸41〜45は、上記電気的注入手段の作用の直接的範囲の外側に配置されており、上記第一の組の量子井戸に関して、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、光キャビティ10の上記励起子−ポラリトン混在モードとの強結合系中にあるように配置されている。このように、第二の組の量子井戸41〜45は、上記光キャビティのポラリトンモードに従って、第一の組の量子井戸により放射された光子を吸収した後、再放射するであろう。まさに、上記量子井戸は、注入の手段である電気接点21aおよび22aにより定義される注入ゾーンの外側に配置されている。加えて、量子井戸41〜45は、量子井戸21および22と同一のポラリトンモードに関与する。このように、これらの量子井戸41〜45は、量子井戸21および22により放射される光子を上記ポラリトンモードに従って吸収するであろう。そして、上記第二の組のこれらの量子井戸は、励起子を密集させた後、上記キャビティの同一のポラリトンモードに従って、光子の形でそれらを放射するであろう。   The second set of quantum wells 41-45 are arranged outside the direct range of action of the electrical injection means, and for the first set of quantum wells, at least one of their electronic resonances is The optical cavity 10 is arranged so as to be in a strong coupling system with the exciton-polariton mixed mode. Thus, the second set of quantum wells 41-45 will re-radiate after absorbing the photons emitted by the first set of quantum wells according to the polariton mode of the optical cavity. Indeed, the quantum well is arranged outside the injection zone defined by the electrical contacts 21a and 22a which are the means of injection. In addition, the quantum wells 41 to 45 participate in the same polariton mode as the quantum wells 21 and 22. Thus, these quantum wells 41-45 will absorb photons emitted by quantum wells 21 and 22 according to the polariton mode. And the second set of these quantum wells will condense excitons and then emit them in the form of photons according to the same polariton mode of the cavity.

上記システムが平面であり、それを備えている全要素が互いに平行である場合、励起子−ポラリトンから結果的に生じる光の放射は、上記キャビティの上面に、つまり、上記上部ブラッグ反射器12の上面に対して垂直に起こるであろう。   If the system is planar and all the elements comprising it are parallel to each other, the resulting light emission from the exciton-polaritons will be on the upper surface of the cavity, i.e. the upper Bragg reflector 12. It will happen perpendicular to the top surface.

なお、ポラリトンモードにおける光の放射について、後者においては注入(または励起)電流の強度に関して非線形依存性が存在する。   As for the light emission in the polariton mode, the latter has nonlinear dependence on the intensity of the injection (or excitation) current.

本発明に係る光放射システムは、非常に高い量子効率を得ることができ、この効率は、与えられた方向に放射される光子の数と注入された電子または電荷キャリアとの比として定義される。   The light emission system according to the present invention can obtain very high quantum efficiency, which is defined as the ratio of the number of photons emitted in a given direction to injected electrons or charge carriers. .

本システムは、多くの適用例に、例えば、データを光学的に記憶するための適用例、特にDVDプレーヤーのための適用例に用いてもよい。後者の場合、紫外線を放射する窒化ガリウムGaN中に量子井戸を有するシステムの利用することにより、記憶量を増大させることができる。   The system may be used in many applications, for example in applications for optically storing data, in particular for DVD players. In the latter case, the memory capacity can be increased by using a system having a quantum well in gallium nitride GaN that emits ultraviolet rays.

消費においてはモータも実質的な役割を果たすが、閾値が低減することにより上記デバイスにおける消費が低減され、バッテリーをより長持ちさせたい携帯用システム(携帯用コンピュータ)へのその使用が見込める。   Although the motor plays a substantial role in consumption, the consumption in the device is reduced by reducing the threshold value, and its use in a portable system (portable computer) that wants to make the battery last longer can be expected.

最後に、考慮され得る他の適用例は、熱消散の問題が極めて重要であるマイクロ回路上にこのようなポラリトンレーザシステムを集積することであってもよい。   Finally, another application that may be considered may be to integrate such a polariton laser system on a microcircuit where the problem of heat dissipation is critical.

先述した本発明の実施形態は、例示のために提供されており、決して制限するものではない。当業者は特許の範囲を逸脱することなく本発明に係る他の異なる実施例を実現し得ることが分かる。   The embodiments of the present invention described above are provided by way of illustration and are in no way limiting. Those skilled in the art will appreciate that other different embodiments of the present invention may be implemented without departing from the scope of the patent.

Claims (16)

少なくとも1つの光学モードを有する光キャビティ(10)であって、
少なくとも1つの透過性を有する反射器(12)と、
量子井戸(21,22)の第一の組(20)と、
上記第一の組(20)の上記量子井戸(21,22)の電気的注入手段(31,32,33)とを備えている光キャビティ(10)を備えており、
上記第一の組(20)の上記量子井戸(21,22)は、
それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、上記光キャビティ(10)の光学モードとの強結合系であるように配置されているとともに、励起子−ポラリトン混在モードに従って光(2)を放射するように配置されており、
上記光キャビティ(10)は、
上記電気的注入手段(31,32,33)の直接的範囲の外側に配置されている量子井戸(41,42,43,44,45)の第二の組(40)を更に備え、
上記第二の組(40)は、それらの電子的共鳴の少なくとも1つが、上記光キャビティ(10)の上記励起子−ポラリトン混在モードとの強結合系中にあるように、上記第一の組(20)の上記量子井戸(21,22)に関連して配置されている、
ことを特徴とする光(2)放射システム(1)。
An optical cavity (10) having at least one optical mode,
At least one transmissive reflector (12);
A first set (20) of quantum wells (21, 22);
An optical cavity (10) comprising electrical injection means (31, 32, 33) for the quantum wells (21, 22) of the first set (20);
The quantum wells (21, 22) of the first set (20) are
At least one of the electronic resonances is arranged to be a strong coupling system with the optical mode of the optical cavity (10), and emits light (2) according to the exciton-polariton mixed mode. Has been placed,
The optical cavity (10)
A second set (40) of quantum wells (41, 42, 43, 44, 45) arranged outside the direct range of the electrical injection means (31, 32, 33);
The second set (40) is such that at least one of their electronic resonances is in a strongly coupled system with the exciton-polariton mixed mode of the optical cavity (10). (20) arranged in relation to the quantum well (21, 22),
Light (2) radiation system (1) characterized in that.
上記光(2)は、指向性を有する単色の光ビームの形態で放射される、
ことを特徴とする請求項1に記載のシステム(1)。
The light (2) is emitted in the form of a monochromatic light beam having directivity,
System (1) according to claim 1, characterized in that.
上記第一の組(20)は、実質的に上記第二の組(40)の量子井戸(41,42,43,44,45)の数未満の数の量子井戸(21,22)を含んでいる、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のシステム(1)。
The first set (20) includes a number of quantum wells (21, 22) substantially less than the number of quantum wells (41, 42, 43, 44, 45) of the second set (40). Out
System (1) according to claim 1 or 2, characterized in that.
上記第一の組(20)および上記第二の組(40)の上記量子井戸(21,22,41,42,43,44,45)は、同一である、
ことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載のシステム(1)。
The quantum wells (21, 22, 41, 42, 43, 44, 45) of the first set (20) and the second set (40) are the same.
System (1) according to any one of claims 1 to 3, characterized in that.
上記光キャビティ(10)は、
上記光キャビティ(10)の下端および上端にそれぞれ配置されている底部反射器(11)および上部反射器(12)
を備えており、
上記上部反射器(12)は、上記システム(1)により放射される上記光(2)が上記上部反射器(12)を通過するように透過性を有している、
ことを特徴とする請求項1から4の何れかに記載のシステム(1)。
The optical cavity (10)
A bottom reflector (11) and a top reflector (12) disposed at the lower and upper ends of the optical cavity (10), respectively.
With
The upper reflector (12) is transmissive so that the light (2) emitted by the system (1) passes through the upper reflector (12),
System (1) according to any one of the preceding claims, characterized in that.
上記光キャビティ(10)の上記反射器(11,12)は、ブラッグ反射器である、
ことを特徴とする請求項5に記載のシステム(1)。
The reflectors (11, 12) of the optical cavity (10) are Bragg reflectors,
System (1) according to claim 5, characterized in that.
上記光キャビティ(10)は、P型ドープ領域(13)およびN型ドープ領域(15)を含んでいる、
ことを特徴とする請求項1から6の何れかに記載のシステム(1)。
The optical cavity (10) includes a P-type doped region (13) and an N-type doped region (15).
System (1) according to any one of claims 1 to 6, characterized in that.
上記光キャビティ(10)は、それぞれN型およびP型にドープされた上記光キャビティ(10)の領域(13,15)の間に配置されているドープされていないギャップ領域(14)を含んでいる、
ことを特徴とする請求項7に記載のシステム(1)。
The optical cavity (10) includes an undoped gap region (14) disposed between regions (13, 15) of the optical cavity (10) doped N-type and P-type, respectively. Yes,
System (1) according to claim 7, characterized in that.
上記第一の組(20)の上記量子井戸(21,22)は、上記光キャビティ(10)の上記ギャップ領域(14)と上記P型ドープ領域(15)との間に配置されている、
ことを特徴とする請求項8に記載のシステム(1)。
The quantum wells (21, 22) of the first set (20) are disposed between the gap region (14) and the P-type doped region (15) of the optical cavity (10).
System (1) according to claim 8, characterized in that.
上記第二の組(40)の上記量子井戸(41,42,43,44,45)は、上記光キャビティ(10)の上記N型ドープ領域(13)と上記底部反射器(11)との間に配置されている、
ことを特徴とする、請求項5または6に従属している請求項7から9の何れかに記載のシステム(1)。
The quantum wells (41, 42, 43, 44, 45) of the second set (40) are formed between the N-type doped region (13) of the optical cavity (10) and the bottom reflector (11). Arranged between,
System (1) according to any of claims 7 to 9, which is dependent on claim 5 or 6, characterized in that.
注入の上記手段(31,32,33)は、電流供給源(33)に接続された電気接点の対を少なくとも1つ(31a,32a)含んでいる、
ことを特徴とする請求項1から10の何れかに記載のシステム(1)。
The means of injection (31, 32, 33) includes at least one pair (31a, 32a) of electrical contacts connected to a current supply (33).
System (1) according to any of claims 1 to 10, characterized in that.
注入の上記手段(31,32,33)の電気接点の1つの対(31a,32a)の接点(31a)は、上記N型ドープ領域(13)に固定され、他の接点(32a)は、上記P型ドープ領域(15)に固定されている、
ことを特徴とする、請求項7から10の何れかに従属している請求項11に記載のシステム(1)。
The contacts (31a) of one pair (31a, 32a) of the electrical contacts of the means (31, 32, 33) of injection are fixed to the N-type doped region (13) and the other contacts (32a) are Fixed to the P-type doped region (15),
System (1) according to claim 11, which is dependent on any one of claims 7 to 10, characterized in that.
上記光キャビティ(10)は、基板(3)に蒸着されている、
ことを特徴とする請求項1から12の何れかに記載のシステム(1)。
The optical cavity (10) is deposited on the substrate (3),
System (1) according to any of the preceding claims, characterized in that.
上記光キャビティ(10)は、平面である、
ことを特徴とする請求項1から13の何れかに記載のシステム(1)。
The optical cavity (10) is a plane,
System (1) according to any of the preceding claims, characterized in that
上記光キャビティ(10)は、上記システム(1)により放射された上記光(2)が上記光キャビティ(10)の上記透過性を有する反射器(12)に対して垂直であるように配置されている、
ことを特徴とする請求項1から14の何れかに記載のシステム(1)。
The optical cavity (10) is arranged such that the light (2) emitted by the system (1) is perpendicular to the transmissive reflector (12) of the optical cavity (10). ing,
15. System (1) according to any of the preceding claims, characterized in that
上記第一の組(20)および上記第二の組(40)の上記量子井戸(21,22,41,42,43,44,45)は、窒化ガリウム族から成る材料により構成されている、
ことを特徴とする請求項1から15の何れかに記載のシステム(1)。
The quantum wells (21, 22, 41, 42, 43, 44, 45) of the first group (20) and the second group (40) are made of a material composed of a gallium nitride group.
System (1) according to any of the preceding claims, characterized in that
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