JP2012254013A - インバータによる電流変換のためのシステム - Google Patents

Abstract

【課題】 電流変換のシステムにおいて、インバータから負荷に大高周波電流を流す間の不所望の影響を最小にする。
【解決手段】 高電流変圧器の第１の側では、高電流変圧器から一次側の端子が導出され、高電流変圧器の第２の側では、二次側の端子が高電流変圧器から導出された、電流変換システムとする。高電流変圧器の第１の側には、インバータが配設され、高電流変圧器の第２の側には、少なくとも１つのキャパシタが配設され、高電流変圧器の二次側の少なくとも１つの第１の端子が、中間接続電線路なしで直接、少なくとも１つのキャパシタの第１の端子に接続される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、電流を変換するためのシステムに関する。

電力供給システムが、本特許出願の出願人によって特許文献１に開示されている。このシステムは、シーメンスプロセスに従う反応器内でシリコンの堆積を行うのに好適に構成されている。均一な温度分布を生成するために、シリコンを蒸着させるべき細いシリコンロッドまたはシリコンロッドに、約５０Ｈｚの周波数を有する低周波電流、および中間周波電流または高周波電流が供給される。ロッドを流れる電流は、ロッドのオーミック抵抗が原因で、ロッドを温度上昇させる。ロッドの横断面全体にわたって電流密度が一定であれば、ロッドの横断面のあらゆる部位に同じエネルギーが供給される。ロッドは、ロッドの外表面の全体で放熱することが可能であり、外表面近傍のロッドの領域は、ロッドの内部の領域ほど加熱されない。

低周波電流がロッドの横断面全体にわたって同一の電流密度を生じさせるのに対し、ロッドを流れる中間周波電流あるいは高周波電流は、周知の表皮効果によって、ロッドの外部領域により高い電流密度を生成する。表皮効果によって中間周波電流または高周波電流から生成されるロッドの外部領域でのより高い電流密度のため、ロッドの外部領域には内部領域よりも多くのエネルギーが供給される。ロッドの外表面を通じての熱損失が、これによって補償される。外部領域が内部領域よりも高温に加熱されることもある。

特許文献１は、シリコンロッドに電流を供給するために、低周波電流の電流供給システムと、中間周波電流の電流供給システムとを接続する種々の選択肢を開示している。しかしながら、この文献は、中間周波電流の電流供給システムの構造を詳細には明示していない。

AEG Power Solutions B.V.による特許文献２は、中間周波電流のための電流供給システムの電気的構成を開示しているが、機械的構成は開示されていない。

電気的構成は以下のように実施することが可能である。
システムは、
ＤＣ電流から２〜２５０ｋＨｚの周波数のＡＣ電流を生成するインバータと、
ＡＣ電流を一次側から二次側に変換する高電流変圧器であって、一次側が０〜７００Ｖの公称電圧で３００Ａの公称電流であり、高電流変圧器の二次側が０〜１００Ｖの公称電圧で０Ａ〜１５００Ａの公称電流である高電流変圧器と、
システムの少なくとも１つの出力部に存在する２ｋＨｚ未満の周波数を有する電圧をろ過する少なくとも１つのキャパシタと、
を含み、
インバータの出力部の第１の端子が、高電流変圧器の一次側の第１の端子に接続され、
インバータの出力部の第２の端子が、高電流変圧器の一次側の第２の端子に接続される。

高電流変圧器は、２つの分岐を介してシステムの少なくとも１つの出力部に接続され、
２つの分岐のうち少なくとも１つの第１の分岐において、高電流変圧器の二次側の第１の端子が、キャパシタの第１の端子に接続され、キャパシタの第２の端子が、少なくとも間接的に、出力部の第１の端子に接続され、
２つの分岐のうち少なくとも１つの第２の分岐において、高電流変圧器の二次側の第２の端子が、少なくとも間接的に、出力部の第２の端子に接続される。

しかし、中間周波電流または高周波電流の電流供給システムの機械的構成は、特に、電流供給システムによって供給される高周波数および同時に高電流によって生じる技術的問題を有している。特に、技術的問題は、電流供給システムの、低周波グリッド電流を中間周波出力電流または高周波出力電流に変換するシステムに関連している。１つの問題は、電流供給システムの内部における電流の伝導に影響し、シリコンロッドでは望まれるが変換器システムでは望ましくない、表皮効果および近接効果に関連していた。中間周波電流または高周波電流に関連する漂遊電磁界もまた問題である。機械的構成において電気的構成の実施を可能にする解決策は、知られておらず、また、開示も示唆もされていない。したがって、ポリシリコンを生産する反応器に中間周波電流または高周波電流を供給するという観念を実施することは、今日まで不可能であった。

これが、本発明の基礎である。

欧州特許出願公開第２１００８５１Ａ２号明細書 欧州特許出願第１０１５０７２８．３−２２０７号

"Thyristorised Power Controllers" by G.K. Dubey, S.R. Doradla, A. Joshi and R.M.K. Sinha (ISBN 978-0-85226-190-3)

本発明は、インバータから負荷に大高周波電流を流す間の不所望の影響を最小にするように、上述の電気的構成を有する従来の変換システムの設計における問題に対処する。

この問題は、
高電流変圧器の第１の側では、一次側の端子が高電流変圧器から導出され、高電流変圧器の第２の側では、二次側の端子が高電流変圧器から導出され、
インバータが、高電流変圧器の第１の側に配設され、少なくとも１つのキャパシタが、高電流変圧器の第２の表面に配設され、
高電流変圧器の二次側の少なくとも１つの第１の端子が、中間接続電線路なしで、少なくとも１つのキャパシタの第１の端子に直接接続される、
というシステムを有する本発明によって解決される。

本発明はいくつかの考察に基づいている。第１に、電線路はできる限り短くすべきである。高周波電流の伝導に関連する影響は、この対策のみで著しく減少し得る。第２に、相導体と中性導体とは、システムの要素から導出され、かつ電線路が省略できない位置において、できる限り互いに近く配設すべきである。第３に、端子および電線路は、やむを得ない場合を除き、表皮効果にかかわらず電流を伝導するために可能な最大の横断面が利用できるように、可能な最大の表面をもたせるべきである。

本発明に従うシステムの内部の端子、本発明に従うシステムの出力部の端子、さらには、本発明に従うシステムの内部の電線路は、電流が流れるものであるが、０〜６０ｃｍの外周を有する横断面をもつのが好ましい。有利には、電流が流れる横断面の外周の、公称電流に対する割合は、０．０４ｃｍ／Ａである。断面積は１〜６ｃｍ^２でよい。

高周波変圧器の第１の側および第２の側は、高周波変圧器の互いに対向する面、たとえば、高周波変圧器の上面および底面でよい。

好ましくは、高電流変圧器の二次側の各第１の端子、およびキャパシタの第１の端子は、整合孔パターンを有し、それらの端子は、電気的および機械的にねじなどで相互接続することが可能である。

本発明に従うシステムのキャパシタの第１の側には、第１の端子が導出されてよく、一方、キャパシタの第２の側では、本発明に従うシステムの第２の端子が導出される。キャパシタの第１の側および第２の側は、キャパシタの互いに対向する面、たとえば、キャパシタの上面および底面であってよい。

各キャパシタの第２の端子は、直接、つまり中間接続電線路なしで、第１のスイッチの第１の切り替え接点に接続されてよい。第１のスイッチの第２の切り替え接点は、出力部の第１の接点を成してよい。

高電流変圧器の二次側の各第２の端子は、電線路を介して第２のスイッチの第１の切り替え接点に接続されてよい。電線路は、金属プレート、特に銅プレートでよい。これに代えてしかも特に好ましくは、高周波変圧器の二次側の各第２の端子は、直接、つまり中間接続電線路なしで、第２のスイッチの第１の切り替え接点に接続される。第２のスイッチの第２の切り替え接点は、出力部の第２の端子を成してよい。

高電流変圧器の一次側の第１の端子および高電流変圧器の一次側の第２の端子は、好ましくは、各々、プレートとして構成された対応する線路を介して、インバータの出力部の第１の端子および第２の端子にそれぞれ接続され、プレートは、少なくとも、一次側の端子またはインバータの出力部の端子に接続されたプレートの端領域の間の中央領域においては、平行に配設される。プレートの平行な領域は、互いの間に小さな間隔を有してよい。間隔は、好ましくは、できる限り小さく、および／または、たとえばプレート間のアーク放電の危険性を低減し得る。

インバータの入力の第１の端子およびインバータの入力の第２の端子は、プレートとして構成された電線路を介して、ＤＣリンクキャパシタの第１の端子および第２の端子に、それぞれ接続されてよい。これらのプレートも、少なくとも、ＤＣリンクキャパシタの端子またはインバータの出力部の端子と接続されるプレートの端領域の間の中央領域において、平行に配設してよい。プレートの平行な領域は、好ましくは、互いの間に小さな間隔を有する。間隔は、好ましくは、できる限り小さく、および／または、たとえばプレート間のアーク放電の危険性を低減し得る。

高電流変圧器は、変圧器コアを有する変圧器であってよい。変圧器コアの二次側を成す巻き方向が逆の２つの二次巻線が、変圧器コア上に設けられてよい。二次巻線は各々、第１の端子および第２の端子を有してよく、各二次巻線の第１の端子および第２の端子は、高電流変圧器の二次側の第１の端子および第２の端子を成し、これらは協働して、高電流変圧器の二次側の出力部を成す。第２の端子をまとめて、共通の第２の端子としてもよい。好ましくは、このシステムの動作中、二次側の２つの出力部の第１の端子間に、電圧降下は生じない。

二次側に２つの出力部を有する変圧器の一実施形態において、本発明に従うシステムは、好ましくは、２つの第１の分岐および１つまたは２つの第２の分岐を有する。

二次側の各出力部の第１の端子は第１の分岐を介して、また、第２の出力部は第２の分岐を介して、システムの第１の出力部および第２の出力部にそれぞれ接続されてよく、システムの出力部は直列に接続され、システムの動作中、直列接続全体にわたって電圧降下は生じない。

４０〜７０Ｈｚの周波数の低周波ＡＣ電流についての本発明に従う変換システムは、電流供給システムの一部であってよい。低周波ＡＣ電流を供給するシステムは、変換システムの出力部の直列接続に並列に配設された、少なくとも１つの出力部を有してよく、低周波ＡＣ電流を供給するシステムの出力部の端子は、変換システムの出力部のうちの１つの第１の端子に接続される。

電流供給システムは、たとえばシーメンスプロセスに従う、蒸着によりポリシリコンを生産する反応器に電力を供給するために使用してよい。電流供給システムに、特に変換システムの出力部に、接続可能な負荷は、その場合、シリコンロッドまたは細いシリコンロッドである。

低周波電流を供給するシステムは、いくつかの二次側タップを有する変圧器を有してよい。二次側の中性導体用の端子を除いて、タップは、ＡＣ電流制御器を介して、低周波電流を供給するシステムの出力部の第１の端子に接続されてよい。

ＡＣ電流制御器は、電圧シーケンス制御で制御されてよい。このような制御は、たとえば、非特許文献１の教科書、および、本出願人からの、または本出願人の属する会社からの、種々の出版物に開示されている。

さらに詳しくは、本発明は、ＤＣ電流から２〜２５０ｋＨｚの周波数のＡＣ電流を生成するインバータ（５０）と、
一次側において０〜７００Ｖの公称電圧、３００Ａの公称電流から、二次側においける０〜１００Ｖの公称電圧、０Ａ〜１５００Ａの公称電流に変換する、ＡＣ電流による高電流変圧器（６０）と、
システムの少なくとも１つの出力部（１０２，１１２）に存在する２ｋＨｚ未満の周波数を有する電圧をろ過する少なくとも１つのキャパシタ（７０）とを含み、
前記インバータ（５０）の出力部（５２）の第１の端子が、前記高電流変圧器（６０）の一次側の第１の端子に接続され、前記インバータの前記出力部（５２）の第２の端子が、前記高電流変圧器の一次側の第２の端子に接続され、
少なくとも１つの第１の分岐において、前記高電流変圧器（６０）の二次側の第１の端子（６２１）が、前記キャパシタ（７０）の第１の端子（７１）に接続され、前記キャパシタ（７０）の第２の端子（７２）が前記出力部（１０２，１１２）の第１の端子（１０２）に、少なくとも間接的に接続され、
少なくとも１つの第２の分岐において、前記高電流変圧器（６０）の二次側の第２の端子（６２２）が、前記出力部（１０２，１１２）の第２の端子（１１２）に、少なくとも間接的に接続され、
前記高電流変圧器（６０）の第１の側では、前記高電流変圧器（６０）から一次側の端子（６１１，６１２）が導出され、前記高電流変圧器（６０）の第２の側では、前記高電流変圧器（６０）から二次側の端子（６２１，６２２）が導出され、
前記インバータ（５０）が、前記高電流変圧器（６０）の前記第１の側に配設され、前記高電流変圧器（６０）の前記第２の側では、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）が、配設され、
前記高電流変圧器（６０）の二次側の前記少なくとも１つの第１の端子（６２１）が、中間接続電線路なしで直接、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の前記第１の端子（７１）に接続されていることを特徴とするシステムである。

また本発明において、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の第１の側では、前記第１の端子（７１）が前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）から導出され、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の第２の側では、前記第２の端子（７２）が前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）から導出されていることを特徴とする。

また本発明において、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の前記第２の端子（７２）が、中間接続電線路なしで直接、第１のスイッチ（１０１，１０２）の第１の切り替え接点（１０１）に接続されていることを特徴とする。

また本発明において、前記第１のスイッチ（１０１，１０２）の第２の切り替え接点（１０２）が、前記出力部の第１の端子を成すことを特徴とする。

また本発明において、前記高電流変圧器（６０）の二次側の前記第２の端子（６２２）が、電線路（９０）を介して、第２のスイッチ（１１１，１１２）の第１の切り替え接点（１１１）に接続されていることを特徴とする。

また本発明において、前記電線路（９０）がプレート、特に銅プレートであることを特徴とする。

また本発明において、前記第２のスイッチ（１１１，１１２）の第２の切り替え接点（１１２）が、前記出力部の第２の端子を成すことを特徴とする。

また本発明において、前記高電流変圧器（６０）の一次側の前記第１の端子（６１１）および前記高電流変圧器（６０）の一次側の前記第２の端子（６１２）が、各々、プレートとして構成された電線路を介して、前記インバータ（５０）の前記出力部の対応する前記第１の端子および対応する前記第２の端子に接続され、
前記プレートが、少なくとも、一次側の前記端子または前記インバータの前記出力部の前記端子に接続された前記プレートの端領域の間の中央領域において、平行に配設されていることを特徴とする。

また本発明において、前記インバータ（５０）の入力の第１の端子および前記インバータの前記入力の第２の端子が、各々、プレート（４１）として構成された対応する線路を介して、ＤＣリンクキャパシタ（３０）の対応する第１の端子および対応する第２の端子に接続され、
前記プレート（４１）が、少なくとも、前記ＤＣリンクキャパシタ（３０）の前記端子または前記インバータ（５０）の前記入力の前記端子に接続された前記プレートの端領域の間の中央領域において、平行に配設されていることを特徴とする。

また本発明において、前記高電流変圧器（６０）が、変圧器コア、ならびに、変圧器コアに設けられ、逆の巻き方向を有し、各々第１の端子および共通の第２の端子を有する２つの二次巻線を有する変圧器（６０）であり、前記第１の端子の１つおよび前記第２の端子が、変圧器（６０）の二次側の出力部（６２）の第１の端子（６２１）および第２の端子（６２２）を成し、システムの動作中に、前記出力部（６２）の前記第１の端子（６２１）間に電圧降下が生じないことを特徴とする。

また本発明において、二次側の各出力部（６２）の前記第１の端子（６２１）が、各々、対応する第１の分岐を介して、また、前記第２の端子が、少なくとも１つの第２の分岐を介して、システムの対応する第１の端子および第２の端子に接続され、
システムの前記出力部が直列に接続されて、システムの動作中、直列接続の全体にわたって電圧降下が生じないことを特徴とする。

また本発明は、上述の変換システムと４０〜７０Ｈｚの周波数の低周波ＡＣ電流を供給するシステムとを備える電流供給装置であって、
前記低周波ＡＣ電流を供給するシステムが、前記変換システムの前記出力部の直列接続に並列に配設された少なくとも１つの出力部を有し、前記低周波ＡＣ電流を供給するシステムの出力部の端子が、前記変換システムの前記出力部のうちの１つの前記第１の端子に接続されていることを特徴とする電流供給装置である。

また本発明において、前記第２のスイッチ（１１１，１１２）の第２の切り替え接点（１１２）が、前記出力部の第２の端子を成すことを特徴とする。

本発明によれば、電流変換のシステムにおいて、インバータから負荷に大高周波電流を流す間の不所望の影響を最小にすることができる。

変換装置の第１の部分の構成を示す模式図である。 変換装置の第２の部分の第１の例示的実施形態の構成を示す模式図である。 変換装置の第２の部分の第２の例示的実施形態の構成を示す模式図である。 変換装置の第２の部分の第３の例示的実施形態の構成を示す模式図である。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の例示的な実施形態を説明する。
図に示した本発明に従うシステムの一部分の典型的構成は、システムの種々の構成要素の配設およびそれらの電気的接続を模式的に示している。制御パネルへの、または制御パネルの一部たとえば制御パネルのフレームへの、構成要素の機械的接続は示していない。

構成要素の内部構成も示していないが、内部構成はそれらの機能に対応する符号で示されている。

図１は、三相グリッドＬ１，Ｌ２，Ｌ３から電流を受けて、その電流を整流する整流器を、参照符号１０で表している。整流器１０は、従来どおりに構成された三相整流器、たとえばＢ６Ｃ回路であり得る。整流器１０の出力部の端子は、図の描写面に対して垂直に順に配設され互いにおよび整流器の出力部に電気的に並列に接続された、ＤＣリンクキャパシタ３０に接続されている。

ＤＣリンクキャパシタ３０は、また、インバータ５０の入力に並列に接続されている。このために、ＤＣリンクキャパシタ３０の端子およびインバータ５０の入力の端子は、電線路４０によって互いに接続されている。ＤＣリンクキャパシタ３０の端子とインバータ５０の入力の端子との間の電線路４０は、プレート４１として、好ましくは銅プレートとして構成される。

整流器１０によって生成されるＤＣ電圧は、本質的にＤＣリンク回路に存在するが、インバータ５０から流れる高周波ＡＣ電圧が、ＤＣ電圧に重畳される。高周波ＡＣ電圧は、ＤＣリンクキャパシタ３０によって短絡され、したがって、整流器１０の出力部には存在しない。整流器１０とＤＣリンクキャパシタ３０との間の電線路２０は、したがって、高周波電流については設計する必要がないが、ＤＣリンクキャパシタ３０とインバータ５０の入力との間の電線路４０は、高周波電流について設計しなければならない。

ＤＣリンクキャパシタ３０とコンバータ５０の入力との間で電流を伝導する２つのプレート４１は、平行に経路設定され、両者の間に可能な最小の間隔を有する。

インバータ５０は、従来のインバータ、たとえば、単相フルブリッジインバータ、直列共振インバータまたはパルスインバータであり、その出力部５２に高周波ＡＣ電圧が存在する。

インバータ５０の出力部５２は、直接、つまり中間接続電線路なしで、変圧器６０の入力６１に接続されている。変圧器６０は、二次側に２つの出力部６２を有する。一方で、電圧も電流も、変圧器６０で変換され得る。他方で、等しい有効電圧および逆位相を有する２つのＡＣ電圧が、出力部に供給され得る。これは、同一の磁束が通り、巻き方向が逆の二次巻線によって達成される。出力部６２は各々、相導体用の第１の端子６２１と中性導体用の第２の端子６２２とを有する。第２の端子６２２は、変圧器６０の内側または外側にて互いに接続され（不図示）、二次側において、ストランド電圧間に１８０゜の位相差がある二次側二相ＡＣ電流システムの中性導体を成す。２つの第１の端子６２１は、二相ＡＣ電流システムの相導体を成す。２つの第１の端子６２１間に電圧降下が生じることはなく、つまり、導体電圧はゼロである。

変圧器６０の出力部６２の第１の端子６２１は各々、直接、つまり中間接続電線路なしで、キャパシタ７０の第１の端子７１に接続される。キャパシタ７０の第２の端子７２は、中間接続電線路８０を介して（図２）、または直接、つまり中間接続電線路なしで（図３、図４）、２つの第１のスイッチ１００のうちの一方の、対応する第１の接点１０１に接続される。

第１のスイッチ１００は各々、第２の接点１０２を有し、各第２の接点が、本発明に従うシステムの２つの出力部の第１の端子を成す。第１のスイッチ１００の第１の接点１０１および第２の接点１０２は、切り替えによって互いに電気的に接続され得る。

変圧器６０の出力部６２の第２の端子６２２は各々、中間接続電線路９０を介して（図２、図３）、または直接、つまり中間接続電線路なしで（図４）、第２のスイッチ１１０の対応する第１の接点１１１に接続される。

第２のスイッチ１１０は、本発明に従うシステムの出力部の第２の端子を成す第２の接点１１２を有する。第２のスイッチ１１０の第１の接点１１１および第２の接点１１２もまた、切り替えによって互いに電気的に接続され得る。

１０ 整流器
３０ ＤＣリンクキャパシタ
５０ インバータ
６０ 変圧器
７０ キャパシタ

Claims (13)

1. ＤＣ電流から２〜２５０ｋＨｚの周波数のＡＣ電流を生成するインバータ（５０）と、
   一次側において０〜７００Ｖの公称電圧、３００Ａの公称電流から、二次側においける０〜１００Ｖの公称電圧、０Ａ〜１５００Ａの公称電流に変換する、ＡＣ電流による高電流変圧器（６０）と、
   システムの少なくとも１つの出力部（１０２，１１２）に存在する２ｋＨｚ未満の周波数を有する電圧をろ過する少なくとも１つのキャパシタ（７０）とを含み、
   前記インバータ（５０）の出力部（５２）の第１の端子が、前記高電流変圧器（６０）の一次側の第１の端子に接続され、前記インバータの前記出力部（５２）の第２の端子が、前記高電流変圧器の一次側の第２の端子に接続され、
   少なくとも１つの第１の分岐において、前記高電流変圧器（６０）の二次側の第１の端子（６２１）が、前記キャパシタ（７０）の第１の端子（７１）に接続され、前記キャパシタ（７０）の第２の端子（７２）が前記出力部（１０２，１１２）の第１の端子（１０２）に、少なくとも間接的に接続され、
   少なくとも１つの第２の分岐において、前記高電流変圧器（６０）の二次側の第２の端子（６２２）が、前記出力部（１０２，１１２）の第２の端子（１１２）に、少なくとも間接的に接続され、
   前記高電流変圧器（６０）の第１の側では、前記高電流変圧器（６０）から一次側の端子（６１１，６１２）が導出され、前記高電流変圧器（６０）の第２の側では、前記高電流変圧器（６０）から二次側の端子（６２１，６２２）が導出され、
   前記インバータ（５０）が、前記高電流変圧器（６０）の前記第１の側に配設され、前記高電流変圧器（６０）の前記第２の側では、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）が、配設され、
   前記高電流変圧器（６０）の二次側の前記少なくとも１つの第１の端子（６２１）が、中間接続電線路なしで直接、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の前記第１の端子（７１）に接続されていることを特徴とするシステム。
2. 前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の第１の側では、前記第１の端子（７１）が前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）から導出され、前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の第２の側では、前記第２の端子（７２）が前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）から導出されていることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
3. 前記少なくとも１つのキャパシタ（７０）の前記第２の端子（７２）が、中間接続電線路なしで直接、第１のスイッチ（１０１，１０２）の第１の切り替え接点（１０１）に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のシステム。
4. 前記第１のスイッチ（１０１，１０２）の第２の切り替え接点（１０２）が、前記出力部の第１の端子を成すことを特徴とする請求項３に記載のシステム。
5. 前記高電流変圧器（６０）の二次側の前記第２の端子（６２２）が、電線路（９０）を介して、第２のスイッチ（１１１，１１２）の第１の切り替え接点（１１１）に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
6. 前記電線路（９０）がプレート、特に銅プレートであることを特徴とする請求項５に記載のシステム。
7. 前記第２のスイッチ（１１１，１１２）の第２の切り替え接点（１１２）が、前記出力部の第２の端子を成すことを特徴とする請求項５に記載のシステム。
8. 前記高電流変圧器（６０）の一次側の前記第１の端子（６１１）および前記高電流変圧器（６０）の一次側の前記第２の端子（６１２）が、各々、プレートとして構成された電線路を介して、前記インバータ（５０）の前記出力部の対応する前記第１の端子および対応する前記第２の端子に接続され、
   前記プレートが、少なくとも、一次側の前記端子または前記インバータの前記出力部の前記端子に接続された前記プレートの端領域の間の中央領域において、平行に配設されていることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
9. 前記インバータ（５０）の入力の第１の端子および前記インバータの前記入力の第２の端子が、各々、プレート（４１）として構成された対応する線路を介して、ＤＣリンクキャパシタ（３０）の対応する第１の端子および対応する第２の端子に接続され、
   前記プレート（４１）が、少なくとも、前記ＤＣリンクキャパシタ（３０）の前記端子または前記インバータ（５０）の前記入力の前記端子に接続された前記プレートの端領域の間の中央領域において、平行に配設されていることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
10. 前記高電流変圧器（６０）が、変圧器コア、ならびに、変圧器コアに設けられ、逆の巻き方向を有し、各々第１の端子および共通の第２の端子を有する２つの二次巻線を有する変圧器（６０）であり、前記第１の端子の１つおよび前記第２の端子が、変圧器（６０）の二次側の出力部（６２）の第１の端子（６２１）および第２の端子（６２２）を成し、システムの動作中に、前記出力部（６２）の前記第１の端子（６２１）間に電圧降下が生じないことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
11. 二次側の各出力部（６２）の前記第１の端子（６２１）が、各々、対応する第１の分岐を介して、また、前記第２の端子が、少なくとも１つの第２の分岐を介して、システムの対応する第１の端子および第２の端子に接続され、
    システムの前記出力部が直列に接続されて、システムの動作中、直列接続の全体にわたって電圧降下が生じないことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
12. 請求項１の変換システムと４０〜７０Ｈｚの周波数の低周波ＡＣ電流を供給するシステムとを備える電流供給装置であって、
    前記低周波ＡＣ電流を供給するシステムが、前記変換システムの前記出力部の直列接続に並列に配設された少なくとも１つの出力部を有し、前記低周波ＡＣ電流を供給するシステムの出力部の端子が、前記変換システムの前記出力部のうちの１つの前記第１の端子に接続されていることを特徴とする電流供給装置。
13. 前記第２のスイッチ（１１１，１１２）の第２の切り替え接点（１１２）が、前記出力部の第２の端子を成すことを特徴とする請求項６に記載のシステム。