JP2012218341A - Method for maintenance of liquid droplet ejection apparatus and the liquid droplet ejection apparatus - Google Patents

Method for maintenance of liquid droplet ejection apparatus and the liquid droplet ejection apparatus Download PDF

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JP2012218341A JP2011087983A JP2011087983A JP2012218341A JP 2012218341 A JP2012218341 A JP 2012218341A JP 2011087983 A JP2011087983 A JP 2011087983A JP 2011087983 A JP2011087983 A JP 2011087983A JP 2012218341 A JP2012218341 A JP 2012218341A
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liquid
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達也 伊藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for maintenance of a liquid droplet ejection apparatus for maintaining a clean state, and to provide the liquid droplet ejection apparatus.SOLUTION: The method for maintenance of the liquid droplet ejection apparatus including a liquid droplet ejection head for ejecting a liquid cured by receiving energy as a liquid droplet and a supply part supplying the liquid to the liquid droplet ejection head, includes a replacement step of replacing at least a portion of the liquid droplet ejection head and the supply part and an energy application step of applying the energy to the part replaced in the replacement step, of the liquid droplet ejection head and the supply part prior to the replacement step.

Description

本発明は、液滴吐出装置のメンテナンス方法及び液滴吐出装置に関する。   The present invention relates to a maintenance method for a droplet discharge device and a droplet discharge device.

液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、任意の位
置に着弾させることによって、所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置する液滴吐
出装置が知られている。液滴吐出装置を用いて、様々な液状体を扱い、様々な画像や膜な
どが形成されている。無色透明な液状体を用いて、人間には見え難いマーカーを描画した
り、描画画像の上にコーティング用の透明被膜を形成したりすることも行われている(例
えば、特許文献1参照)。
A liquid droplet ejection apparatus that includes a liquid droplet ejection head and accurately disposes a predetermined amount of liquid material at a predetermined position by discharging the liquid material as liquid droplets from the liquid droplet ejection head and landing the liquid material on an arbitrary position. It has been known. Various liquid materials are handled and various images and films are formed by using a droplet discharge device. A colorless and transparent liquid material is used to draw a marker that is difficult for humans to see, and a transparent film for coating is formed on a drawn image (for example, see Patent Document 1).

このような液滴吐出装置においては、メインタンクからサブタンク、供給チューブを経
由して液滴吐出ヘッドにインクが供給されるようになっている。これらメインタンクから
サブタンク、供給チューブを経由して液滴吐出ヘッドに至る機能液の流路において、各部
が交換可能に設けられている場合がある。この場合、液滴吐出装置のメンテナンスの際に
は、当該流路の一部を交換することがある。
In such a droplet discharge device, ink is supplied from a main tank to a droplet discharge head via a sub tank and a supply tube. In some cases, each part of the flow path of the functional liquid from the main tank to the droplet discharge head via the sub tank and the supply tube is replaceable. In this case, part of the flow path may be exchanged during maintenance of the droplet discharge device.

特開2009−23092号公報JP 2009-23092 A

しかしながら、流路の一部に機能液が残留している場合、当該流路の一部を交換する際
に流路から機能液が漏れ出し、液滴吐出装置の内部を汚してしまうおそれがある。
However, when the functional liquid remains in a part of the flow path, the functional liquid may leak from the flow path when the part of the flow path is replaced, and the inside of the droplet discharge device may be soiled .

以上のような事情に鑑み、本発明は、清浄な状態を維持することが可能な液滴吐出装置
のメンテナンス方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。
In view of the circumstances as described above, it is an object of the present invention to provide a maintenance method for a droplet discharge device and a droplet discharge device capable of maintaining a clean state.

本発明に係る液滴吐出装置のメンテナンス方法は、エネルギーを受けて硬化する液体を
液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに前記液体を供給する供給部
とを備える液滴吐出装置のメンテナンス方法であって、前記液滴吐出ヘッド及び前記供給
部のうち少なくとも一部を交換する交換工程と、前記交換工程に先立ち、前記液滴吐出ヘ
ッド及び前記供給部のうち前記交換工程において交換される部分に前記エネルギーを付与
するエネルギー付与工程とを含む。
A maintenance method for a droplet discharge device according to the present invention includes a droplet discharge head that discharges liquid that is cured by receiving energy as droplets, and a supply unit that supplies the liquid to the droplet discharge head. A maintenance method for an ejection apparatus, wherein an exchange step of exchanging at least a part of the droplet ejection head and the supply unit, and an exchange step of the droplet ejection head and the supply unit prior to the exchange step The energy provision process which provides the said energy to the part exchanged in FIG.

本発明によれば、液滴吐出ヘッド及び供給部のうち交換される部分に、当該交換に先立
ち、エネルギーを付与することとしたので、交換部分に残留する液体を硬化させることが
できる。これにより、交換部分から液体が漏れ出すことを抑制することができるので、液
滴吐出装置を清浄な状態に維持することができる。
According to the present invention, since energy is applied to the exchanged portion of the droplet discharge head and the supply unit prior to the exchange, the liquid remaining in the exchange portion can be cured. Thereby, since it is possible to suppress the liquid from leaking from the replacement part, it is possible to maintain the droplet discharge device in a clean state.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記エネルギーは、紫外線であるこ
とが好ましい。
本発明によれば、液滴吐出ヘッド及び供給部のうち交換される部分に、当該交換に先立
ち、紫外線を付与することで、交換部分に残留する液体を硬化させることとしたので、紫
外線を受けて硬化する液体を用いる場合において、交換部分から液体が漏れ出すことを抑
制することができる。これにより、液滴吐出装置を清浄な状態に維持することができる。
In the maintenance method for the droplet discharge device, the energy is preferably ultraviolet light.
According to the present invention, the liquid remaining in the replacement portion is cured by applying ultraviolet rays to the exchanged portion of the droplet discharge head and the supply unit prior to the exchange, so that the ultraviolet rays are received. In the case of using a liquid that hardens, the liquid can be prevented from leaking from the replacement part. Thereby, the droplet discharge device can be maintained in a clean state.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記エネルギーは、熱であることが
好ましい。
本発明によれば、液滴吐出ヘッド及び供給部のうち交換される部分に、当該交換に先立
ち、熱を付与することで、交換部分に残留する液体を硬化させることとしたので、熱を受
けて硬化する液体を用いる場合において、交換部分から液体が漏れ出すことを抑制するこ
とができる。これにより、液滴吐出装置を清浄な状態に維持することができる。
In the maintenance method for the droplet discharge device, the energy is preferably heat.
According to the present invention, the liquid remaining in the replacement part is cured by applying heat to the exchanged part of the droplet discharge head and the supply part prior to the exchange, so that the heat is received. In the case of using a liquid that hardens, the liquid can be prevented from leaking from the replacement part. Thereby, the droplet discharge device can be maintained in a clean state.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、液滴吐出ヘッドは、前記液滴を吐出
するノズルを有し、前記交換工程は、前記液滴吐出ヘッドを交換することを含み、前記エ
ネルギー付与工程は、前記ノズルに前記エネルギーを付与することを含むことが好ましい

本発明によれば、液滴吐出ヘッドが液滴を吐出するノズルを有する場合において、液滴
吐出ヘッドを交換する際に、ノズルにエネルギーを付与することとしたので、ノズルから
液体が漏れ出すのを防ぐことができる。
In the maintenance method of the droplet discharge device, the droplet discharge head includes a nozzle that discharges the droplet, and the exchange step includes replacing the droplet discharge head, and the energy applying step includes It is preferable to include applying the energy to the nozzle.
According to the present invention, when the droplet discharge head has a nozzle for discharging a droplet, when the droplet discharge head is replaced, energy is applied to the nozzle, so that the liquid leaks from the nozzle. Can be prevented.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記液滴吐出ヘッドは、前記供給部
に接続される液体導入部を有し、前記交換工程は、前記液滴吐出ヘッドを交換することを
含み、前記エネルギー付与工程は、前記液体導入部に前記エネルギーを付与することを含
むことが好ましい。
本発明によれば、液滴吐出ヘッドが供給部に接続される液体導入部を有する場合におい
て、液滴吐出ヘッドを交換する際に、液体導入部にエネルギーを付与することとしたので
、液体導入部から液体が漏れ出すのを防ぐことができる。
In the maintenance method of the droplet discharge device, the droplet discharge head includes a liquid introduction unit connected to the supply unit, and the replacing step includes replacing the droplet discharge head, It is preferable that an energy provision process includes providing the said energy to the said liquid introduction part.
According to the present invention, when the droplet discharge head has the liquid introduction portion connected to the supply portion, when the droplet discharge head is replaced, energy is applied to the liquid introduction portion. The liquid can be prevented from leaking out from the part.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記供給部は、前記液滴吐出ヘッド
に接続される継手部を有し、前記交換工程は、前記供給部のうち前記継手部を含む部分を
交換することを含み、前記エネルギー付与工程は、前記継手部に前記エネルギーを付与す
ることを含むことが好ましい。
本発明によれば、供給部が液滴吐出ヘッドに接続される継手部を有する場合において、
供給部のうち継手部を含む部分を交換する際に、継手部にエネルギーを付与することとし
たので、第一継手部から液体が漏れ出すのを防ぐことができる。
In the maintenance method of the droplet discharge device, the supply unit includes a joint portion connected to the droplet discharge head, and the replacement step replaces a portion of the supply unit including the joint portion. It is preferable that the energy applying step includes applying the energy to the joint portion.
According to the present invention, in the case where the supply unit has a joint portion connected to the droplet discharge head,
Since energy is given to the joint part when the part including the joint part in the supply part is replaced, it is possible to prevent the liquid from leaking from the first joint part.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記供給部は、前記液滴を貯留する
貯留部、及び、第二継手部を介して前記貯留部に接続される管部、を有し、前記交換工程
は、前記管部を交換することを含み、前記エネルギー付与工程は、前記第二継手部に前記
エネルギーを付与することを含むことが好ましい。
本発明によれば、供給部が液滴を貯留する貯留部及び第二継手部を介して当該貯留部に
接続される管部を有する場合において、管部を交換する際に、第二継手部にエネルギーを
付与することとしたので、第二継手部から液体が漏れ出すのを防ぐことができる。
In the maintenance method of the droplet discharge device, the supply unit includes a storage unit that stores the droplets, and a pipe unit that is connected to the storage unit via a second joint unit, and the replacement Preferably, the process includes exchanging the pipe part, and the energy applying process includes applying the energy to the second joint part.
According to the present invention, when the supply unit has a storage unit that stores liquid droplets and a pipe unit that is connected to the storage unit via the second joint unit, the second joint unit Since energy is applied to the liquid, it is possible to prevent the liquid from leaking from the second joint portion.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記供給部は、前記液体に含まれる
気体成分を除去する脱気部を有し、前記交換工程は、前記供給部のうち前記脱気部を含む
部分を交換することを含み、前記エネルギー付与工程は、前記脱気部に前記エネルギーを
付与することを含むことが好ましい。
本発明によれば、接続部が液体に含まれる気体成分を除去する脱気部を有する場合にお
いて、接続部を交換する際に、脱気部にエネルギーを付与することとしたので、脱気部に
残留される液体が漏れ出すのを防ぐことができる。
In the maintenance method for the droplet discharge device, the supply unit includes a deaeration unit that removes a gas component contained in the liquid, and the replacement step includes a part of the supply unit including the deaeration unit. It is preferable that the energy applying step includes applying the energy to the deaeration part.
According to the present invention, when the connection portion has a deaeration part that removes a gas component contained in the liquid, when the connection part is replaced, energy is applied to the deaeration part. It is possible to prevent the liquid remaining in the liquid from leaking out.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記供給部から前記液滴吐出ヘッド
までの前記液体の流路における前記液体の漏れを検出する検出工程を更に含み、前記エネ
ルギー付与工程は、前記検出工程における検出結果に応じた箇所に前記エネルギーを付与
することを含むことが好ましい。
本発明によれば、液滴吐出装置が貯留部から液滴吐出ヘッドまでの液体の流路における
液体の漏れを検出し、検出結果に応じた箇所にエネルギーを付与することとしたので、液
体の漏出を防ぐためのエネルギーを効率的に付与することができる。
In the maintenance method for the droplet discharge device, the method further includes a detection step of detecting leakage of the liquid in the flow path of the liquid from the supply unit to the droplet discharge head, and the energy application step includes the detection step It is preferable to include applying the energy to a location corresponding to the detection result in.
According to the present invention, the liquid droplet ejection device detects the leakage of the liquid in the liquid flow path from the reservoir to the liquid droplet ejection head, and applies energy to the location according to the detection result. Energy for preventing leakage can be efficiently applied.

上記の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、前記エネルギー付与工程に先立ち、
前記流路を加圧する加圧工程を行うことが好ましい。
本発明によれば、流路を加圧することで液体の漏出箇所をより検出しやすくすることが
できる。
In the maintenance method of the droplet discharge device, prior to the energy application step,
It is preferable to perform a pressurizing step of pressurizing the flow path.
According to the present invention, it is possible to make it easier to detect a liquid leakage location by pressurizing the flow path.

本発明に係る液滴吐出装置は、エネルギーを受けて硬化する液体を液滴として吐出する
液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに前記液体を供給する供給部と前記液滴吐出ヘッ
ド及び前記供給部のうち少なくとも一部に前記エネルギーを付与するエネルギー付与部と
を備える。
A droplet discharge apparatus according to the present invention includes a droplet discharge head that discharges liquid that is cured by receiving energy as droplets, a supply unit that supplies the liquid to the droplet discharge head, the droplet discharge head, An energy application unit that applies the energy to at least a part of the supply unit.

本発明によれば、液滴吐出ヘッド及び供給部のうち交換される部分に、当該交換に先立
ち、エネルギーを付与することができるので、交換部分に残留する液体を硬化させること
ができる。これにより、交換部分から液体が漏れ出すことを抑制することができるので、
液滴吐出装置を清浄な状態に維持することができる。
According to the present invention, energy can be applied to the exchanged portion of the droplet discharge head and the supply unit prior to the exchange, so that the liquid remaining in the exchange portion can be cured. Thereby, since it can suppress that a liquid leaks from an exchange part,
The droplet discharge device can be maintained in a clean state.

液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。FIG. 3 is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device. (a)は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。 (b)は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。 (c)は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。FIG. 3A is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge head. (B) is a perspective sectional view showing the structure of a droplet discharge head. FIG. 6C is a cross-sectional view showing the structure of the discharge nozzle portion of the droplet discharge head. ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of a head unit. 液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。Explanatory drawing which shows the electrical structure and signal flow of a droplet discharge head. 液滴吐出装置の一部の交換動作を示す図。The figure which shows the exchange operation | movement of a part of droplet discharge device. 液滴吐出装置の一部の交換動作を示す図。The figure which shows the exchange operation | movement of a part of droplet discharge device. 液滴吐出装置の一部の交換動作を示す図。The figure which shows the exchange operation | movement of a part of droplet discharge device. 液滴吐出装置の一部の交換動作を示す図。The figure which shows the exchange operation | movement of a part of droplet discharge device. 液滴吐出装置の一部の交換動作を示す図。The figure which shows the exchange operation | movement of a part of droplet discharge device.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図1は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
図1に示すように、液滴吐出装置1は、ヘッド機構部2と、ワーク機構部3と、機能液
供給部(供給部)4と、保守装置部7と、紫外線照射部(エネルギー付与部)EGとを備
えている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device.
As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a head mechanism unit 2, a work mechanism unit 3, a functional liquid supply unit (supply unit) 4, a maintenance device unit 7, and an ultraviolet irradiation unit (energy application unit). EG).

ヘッド機構部2は、所定の溶質成分を含む機能液(液体)を液滴として吐出する液滴吐
出ヘッド20を有している。このような機能液としては、例えば無色透明の機能液や、溶
質成分として白色、黒色、カラーの色素成分を含んだ機能液などが挙げられる。また、本
実施形態における機能液は、紫外線を照射を受けて硬化する成分が含まれている。ワーク
機構部3は、液滴吐出ヘッド20から吐出された液滴の吐出対象であるワークWを載置す
るワーク載置台30を有している。
The head mechanism unit 2 includes a droplet discharge head 20 that discharges a functional liquid (liquid) containing a predetermined solute component as droplets. Examples of such functional liquids include colorless and transparent functional liquids and functional liquids containing white, black, and color pigment components as solute components. In addition, the functional liquid in the present embodiment includes a component that is cured by being irradiated with ultraviolet rays. The work mechanism unit 3 includes a work mounting table 30 on which a work W that is a discharge target of liquid droplets discharged from the liquid droplet discharge head 20 is mounted.

機能液供給部4は、貯留タンク(貯留部)41と、中継タンク(貯留部)42と、供給
チューブ(接続部)43及び44とを有している。貯留タンク41は、交換可能に設けら
れ、上記機能液を貯留する。貯留タンク41は、供給チューブ43を介して中継タンク4
2に接続されている。
The functional liquid supply unit 4 includes a storage tank (storage unit) 41, a relay tank (storage unit) 42, and supply tubes (connection units) 43 and 44. The storage tank 41 is provided to be replaceable and stores the functional liquid. The storage tank 41 is connected to the relay tank 4 via the supply tube 43.
2 is connected.

中継タンク42は、貯留タンク41から供給される機能液を貯留する。中継タンク42
は、供給チューブ43を介して液滴吐出ヘッド20に接続されている。中継タンク42に
貯留される機能液は、供給チューブ43を介して液滴吐出ヘッド20に供給されるように
なっている。
The relay tank 42 stores the functional liquid supplied from the storage tank 41. Relay tank 42
Is connected to the droplet discharge head 20 via a supply tube 43. The functional liquid stored in the relay tank 42 is supplied to the droplet discharge head 20 via the supply tube 43.

保守装置部7は、液滴吐出ヘッド20の検査又は保守を実施する各装置を備えている。
液滴吐出装置1は、また、これら各機構部などを総括的に制御する制御部CONTを備え
ている。
The maintenance device unit 7 includes devices that perform inspection or maintenance of the droplet discharge head 20.
The droplet discharge device 1 is also provided with a control unit CONT that comprehensively controls these mechanism units.

紫外線照射部EGは、液滴吐出装置1のうち例えば液滴吐出ヘッド20が設置される移
動枠22に支持されている。紫外線照射部EGは、紫外線を射出する不図示の光源を有し
ている。紫外線照射部EGは、支持枠22に対して着脱可能に設けられている。紫外線照
射部EGは、機能液供給部4及び液滴吐出ヘッド20の一部に対して紫外線を照射する。
紫外線照射部EGは、移動枠22とは異なる他の部位に設けられていても構わない。また
、紫外線照射部EGを自動で移動させる駆動機構が設けられた構成であっても構わない。
The ultraviolet irradiation unit EG is supported by a moving frame 22 in which, for example, the droplet discharge head 20 is installed in the droplet discharge device 1. The ultraviolet irradiation unit EG has a light source (not shown) that emits ultraviolet rays. The ultraviolet irradiation unit EG is detachably provided to the support frame 22. The ultraviolet irradiation unit EG irradiates part of the functional liquid supply unit 4 and the droplet discharge head 20 with ultraviolet rays.
The ultraviolet irradiation unit EG may be provided in another part different from the moving frame 22. Moreover, the structure provided with the drive mechanism which moves the ultraviolet irradiation part EG automatically may be sufficient.

液滴吐出装置1は、床上に設置された複数の支持脚8と、支持脚8の上側に設置された
定盤9とを備えている。定盤9の上側には、ワーク機構部3が定盤9の長手方向(X軸方
向)に延在するように配設されている。
The droplet discharge device 1 includes a plurality of support legs 8 installed on the floor and a surface plate 9 installed on the upper side of the support legs 8. On the upper side of the surface plate 9, the work mechanism unit 3 is disposed so as to extend in the longitudinal direction (X-axis direction) of the surface plate 9.

ワーク機構部3の上方には、定盤9に固定された2本の支持柱で支持されているヘッド
機構部2が、ワーク機構部3と直交する方向(Y軸方向)に延在するように配設されてい
る。
Above the work mechanism 3, the head mechanism 2 supported by two support columns fixed to the surface plate 9 extends in a direction (Y-axis direction) orthogonal to the work mechanism 3. It is arranged.

また、定盤9の傍らには、ヘッド機構部2の液滴吐出ヘッド20に連適する供給管を有
する機能液供給部4の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部2の一方の支持
柱の近傍には、保守装置部7がワーク機構部3と並んでX軸方向に配設されている。さら
に、定盤9の下側に、制御部CONTが収容されている。
Further, a functional liquid tank of the functional liquid supply unit 4 having a supply pipe suitable for the droplet discharge head 20 of the head mechanism unit 2 is disposed beside the surface plate 9. In the vicinity of one support column of the head mechanism unit 2, a maintenance device unit 7 is arranged in the X-axis direction along with the work mechanism unit 3. Further, a control unit CONT is accommodated below the surface plate 9.

ヘッド機構部2は、液滴吐出ヘッド20を有するヘッドユニット21と、ヘッドユニッ
ト21を有するヘッドキャリッジ27と、ヘッドキャリッジ27が吊設された移動枠22
とを備えている。ヘッド機構部2は、ヘッドキャリッジ27と、移動枠22との組を2組
備えている。ヘッド機構部2は、移動枠22をY軸方向に移動させる、Y軸走査機構も備
えている。
The head mechanism unit 2 includes a head unit 21 having a droplet discharge head 20, a head carriage 27 having a head unit 21, and a moving frame 22 on which the head carriage 27 is suspended.
And. The head mechanism unit 2 includes two sets of the head carriage 27 and the moving frame 22. The head mechanism unit 2 also includes a Y-axis scanning mechanism that moves the moving frame 22 in the Y-axis direction.

移動枠22を、Y軸走査機構によってY軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド2
0をY軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。2個の移動枠22は
、それぞれ独立して移動させたり保持したりすることも、2個の移動枠22を一緒に移動
させたり保持したりすることも可能である。
By moving the moving frame 22 in the Y-axis direction by the Y-axis scanning mechanism, the droplet discharge head 2
0 is freely moved in the Y-axis direction. Moreover, it holds at the moved position. The two moving frames 22 can be moved and held independently, or the two moving frames 22 can be moved and held together.

ワーク機構部3は、ワーク載置台30と、X軸走査機構とを備えている。ワーク機構部
3は、ワーク載置台30を、X軸走査機構によって、X軸方向に移動させることで、ワー
ク載置台30に載置されたワークWをX軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置
に保持する。
The work mechanism unit 3 includes a work mounting table 30 and an X-axis scanning mechanism. The workpiece mechanism unit 3 moves the workpiece mounting table 30 in the X-axis direction by the X-axis scanning mechanism, thereby freely moving the workpiece W mounted on the workpiece mounting table 30 in the X-axis direction. Moreover, it holds at the moved position.

液滴吐出ヘッド20は、Y軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークW
のX軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。X軸方向に移動するワーク
Wと、Y軸方向に移動する液滴吐出ヘッド20とを相対的に制御することにより、ワーク
W上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが
可能である。
The droplet discharge head 20 moves to the discharge position in the Y-axis direction and stops, and the workpiece W located below is moved.
In synchronism with the movement in the X-axis direction, the functional liquid is discharged as droplets. By controlling the work W moving in the X-axis direction and the liquid droplet ejection head 20 moving in the Y-axis direction relatively, the liquid droplets are landed at an arbitrary position on the work W, so that a desired plane is obtained. It is possible to perform shape drawing.

保守装置部7は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構75を備えてい
る。検査装置は、液滴吐出ヘッド20の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニット70
などの、液滴吐出ヘッド20の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド
20の各種の保守を実施する装置である。保守装置走査機構75は、これらの各装置をX
軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。
The maintenance device unit 7 includes various inspection devices, various maintenance devices, and a maintenance device scanning mechanism 75. The inspection apparatus is a discharge inspection unit 70 for inspecting the discharge state of the droplet discharge head 20.
It is an apparatus for inspecting the droplet discharge head 20. The maintenance device is a device that performs various types of maintenance of the droplet discharge head 20. The maintenance device scanning mechanism 75 converts each of these devices to X
It is a device that is movable in the axial direction and is supported so as to be held at an arbitrary position.

液滴吐出ヘッド20の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット21(液滴吐出ヘ
ッド20)が、Y軸走査機構を用いて保守装置部7に臨む位置に移動させられる。また、
実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構75によっ
て、ヘッドユニット21(液滴吐出ヘッド20)に臨む位置に移動させられる。
When performing inspection and maintenance of the droplet discharge head 20, the head unit 21 (droplet discharge head 20) is moved to a position facing the maintenance device unit 7 using the Y-axis scanning mechanism. Also,
The inspection device or maintenance device corresponding to the inspection or maintenance to be performed is moved by the maintenance device scanning mechanism 75 to a position facing the head unit 21 (droplet ejection head 20).

吐出検査ユニット70は、検査シート載置台71と、撮像カメラ72とを備えている。   The discharge inspection unit 70 includes an inspection sheet mounting table 71 and an imaging camera 72.

検査シート載置台71は、ワーク載置台30の載置面と略平行な載置面を有し、当該載
置面に、検査シートを吸着支持可能である。検査シート載置台71は、保守装置走査機構
75によって、X軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持されている。
The inspection sheet mounting table 71 has a mounting surface that is substantially parallel to the mounting surface of the workpiece mounting table 30, and can support the inspection sheet by suction. The inspection sheet placing table 71 can be moved in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75 and supported so as to be held at an arbitrary position.

保守装置走査機構75によって、検査シート載置台71をX軸方向に移動させることで
、検査シート載置台71の載置面に保持された検査シートを、保守装置部7に臨む位置に
移動されたヘッドユニット21(液滴吐出ヘッド20)に臨ませる。当該位置状態で、液
滴吐出ヘッド20から液状体を吐出させることで、検査シート載置台71に保持された検
査シートに液滴を着弾させることができる。保守装置走査機構75による検査シートのX
軸方向の移動に同調させて、液滴吐出ヘッド20が備える吐出ノズル24(図2参照)か
ら液状体を吐出させることで、X軸方向における着弾位置を調整することができる。
By moving the inspection sheet mounting table 71 in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75, the inspection sheet held on the mounting surface of the inspection sheet mounting table 71 is moved to a position facing the maintenance device unit 7. The head unit 21 (droplet discharge head 20) is allowed to face. By discharging the liquid material from the droplet discharge head 20 in the position state, the droplet can be landed on the inspection sheet held on the inspection sheet mounting table 71. X of inspection sheet by maintenance device scanning mechanism 75
The landing position in the X-axis direction can be adjusted by discharging the liquid material from the discharge nozzle 24 (see FIG. 2) provided in the droplet discharge head 20 in synchronization with the movement in the axial direction.

撮像カメラ72は、カメラ支持枠73に、図示省略した昇降機構によってZ軸方向に昇
降自在であって、任意の位置に保持可能に支持されている。カメラ支持枠73は、保守装
置走査機構75の脇で、定盤9に立設されており、撮像カメラ72は、保守装置走査機構
75に、略Z軸方向から臨んで支持されている。検査シート載置台71は、保守装置走査
機構75によって、撮像カメラ72が臨んでおり、撮像カメラ72によって撮影可能な位
置に移動可能である。保守装置走査機構75によって、検査シート載置台71を撮像カメ
ラ72に臨む位置に移動することで、検査シート載置台71に保持された検査シートの面
を、撮像カメラ72によって撮影可能である。
The imaging camera 72 is supported by the camera support frame 73 so as to be movable up and down in the Z-axis direction by a lifting mechanism (not shown) and held at an arbitrary position. The camera support frame 73 is erected on the surface plate 9 beside the maintenance device scanning mechanism 75, and the imaging camera 72 is supported by the maintenance device scanning mechanism 75 so as to face from substantially the Z-axis direction. The inspection sheet placement table 71 faces the imaging camera 72 by the maintenance device scanning mechanism 75, and can be moved to a position where the imaging camera 72 can shoot. By moving the inspection sheet mounting table 71 to a position facing the imaging camera 72 by the maintenance device scanning mechanism 75, the surface of the inspection sheet held on the inspection sheet mounting table 71 can be photographed by the imaging camera 72.

図2は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図2(a)は、液滴吐出ヘッドの
概略構成を示す外観斜視図であり、図2(b)は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面
図であり、図2(c)は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である
。図2に示したX軸、Y軸、及びZ軸は、液滴吐出ヘッド20が液滴吐出装置1に装着さ
れた状態において、図1に示したX軸、Y軸、及びZ軸と一致している。
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the droplet discharge head. 2A is an external perspective view showing a schematic configuration of the droplet discharge head, FIG. 2B is a perspective sectional view showing the structure of the droplet discharge head, and FIG. It is sectional drawing which shows the structure of the part of the discharge nozzle of a droplet discharge head. The X-axis, Y-axis, and Z-axis shown in FIG. 2 are the same as the X-axis, Y-axis, and Z-axis shown in FIG. 1 when the droplet discharge head 20 is mounted on the droplet discharge device 1. I'm doing it.

図2(a)に示したように、液滴吐出ヘッド20は、機能液導入針29及びノズル基板
25を備えている。機能液導入針29は、供給チューブ44の第一継手部44aに連結さ
れている。機能液は、機能液導入針29を介して液滴吐出ヘッド20に導入されるように
なっている。
As shown in FIG. 2A, the droplet discharge head 20 includes a functional liquid introduction needle 29 and a nozzle substrate 25. The functional liquid introduction needle 29 is connected to the first joint portion 44 a of the supply tube 44. The functional liquid is introduced into the droplet discharge head 20 via the functional liquid introduction needle 29.

ノズル基板25には、多数の吐出ノズル24が略一直線状に並んだノズル列24Aが2
列形成されている。吐出ノズル24から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある
描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列24Aは、
液滴吐出ヘッド20が液滴吐出装置1に装着された状態で、図1に示したY軸方向に延在
している。ノズル列24Aにおいて吐出ノズル24は等間隔のノズルピッチで並んでおり
、2列のノズル列24A間で、吐出ノズル24の位置がY軸方向に半ノズルピッチずれて
いる。したがって、液滴吐出ヘッド20としては、Y軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能
液の液滴を配置することができる。
The nozzle substrate 25 has two nozzle rows 24A in which a large number of discharge nozzles 24 are arranged in a substantially straight line.
A line is formed. The functional liquid is ejected as droplets from the ejection nozzle 24 and landed on a drawing object or the like at an opposing position, thereby arranging the functional liquid at the position. The nozzle row 24A
With the droplet discharge head 20 mounted on the droplet discharge device 1, it extends in the Y-axis direction shown in FIG. In the nozzle row 24A, the discharge nozzles 24 are arranged at equal nozzle pitches, and the position of the discharge nozzle 24 is shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction between the two nozzle rows 24A. Therefore, as the liquid droplet ejection head 20, functional liquid droplets can be arranged at half nozzle pitch intervals in the Y-axis direction.

図2(b)及び(c)に示すように、液滴吐出ヘッド20は、ノズル基板25に圧力室
プレート51が積層されており、圧力室プレート51に振動板52が積層されている。圧
力室プレート51には、液滴吐出ヘッド20に供給される機能液が常に充填される液たま
り55が形成されている。液たまり55は、機能液導入針29に接続されている。
As shown in FIGS. 2B and 2C, in the droplet discharge head 20, the pressure chamber plate 51 is stacked on the nozzle substrate 25, and the vibration plate 52 is stacked on the pressure chamber plate 51. The pressure chamber plate 51 is formed with a liquid pool 55 in which the functional liquid supplied to the droplet discharge head 20 is always filled. The liquid pool 55 is connected to the functional liquid introduction needle 29.

液たまり55は、振動板52と、ノズル基板25と、圧力室プレート51の壁とに囲ま
れた空間である。機能液は、機能液供給部4から液滴吐出ヘッド20に供給され、振動板
52の液供給孔53を経由して液たまり55に供給される。また、圧力室プレート51に
は、複数のヘッド隔壁57によって区切られた圧力室58が形成されている。振動板52
と、ノズル基板25と、2個のヘッド隔壁57とによって囲まれた空間が圧力室58であ
る。
The liquid pool 55 is a space surrounded by the diaphragm 52, the nozzle substrate 25, and the wall of the pressure chamber plate 51. The functional liquid is supplied from the functional liquid supply unit 4 to the droplet discharge head 20 and is supplied to the liquid pool 55 via the liquid supply hole 53 of the vibration plate 52. Further, the pressure chamber plate 51 is formed with a pressure chamber 58 partitioned by a plurality of head partition walls 57. Diaphragm 52
A space surrounded by the nozzle substrate 25 and the two head partition walls 57 is a pressure chamber 58.

圧力室58は吐出ノズル24のそれぞれに対応して設けられており、圧力室58の数と
吐出ノズル24の数とは同じである。圧力室58には、2個のヘッド隔壁57の間に位置
する供給口56を介して、液たまり55から機能液が供給される。ヘッド隔壁57と圧力
室58と吐出ノズル24と供給口56との組は、液たまり55に沿って1列に並んでおり
、1列に並んだ吐出ノズル24がノズル列24Aを形成している。
The pressure chambers 58 are provided corresponding to the respective discharge nozzles 24, and the number of the pressure chambers 58 and the number of the discharge nozzles 24 are the same. The functional fluid is supplied from the liquid pool 55 to the pressure chamber 58 via the supply port 56 located between the two head partition walls 57. A set of the head partition wall 57, the pressure chamber 58, the discharge nozzle 24, and the supply port 56 is arranged in a line along the liquid pool 55, and the discharge nozzles 24 arranged in a line form a nozzle line 24A. .

図2(b)では図示省略したが、図示した吐出ノズル24を含むノズル列24Aに対し
て液たまり55に関して略対称位置に、1列に並んで配設された吐出ノズル24がもう1
列のノズル列24Aを形成している。当該ノズル列24Aに対応するヘッド隔壁57と圧
力室58と供給口56との組が、1列に並んでいる。振動板52の圧力室58を構成する
部分には、それぞれ圧電素子59の一端が固定されている。
Although not shown in FIG. 2B, there is another discharge nozzle 24 arranged in a line in a substantially symmetrical position with respect to the liquid pool 55 with respect to the nozzle row 24 </ b> A including the discharge nozzle 24 shown in the figure.
A row of nozzle rows 24A is formed. A set of a head partition wall 57, a pressure chamber 58, and a supply port 56 corresponding to the nozzle row 24A is arranged in one row. One end of each piezoelectric element 59 is fixed to the portion of the diaphragm 52 that constitutes the pressure chamber 58.

圧電素子59の他端は、固定板(図示省略)を介して液滴吐出ヘッド20全体を支持す
る基台(図示省略)に固定されている。圧電素子59は、電極層と圧電材料とを積層した
活性部を有している。圧電素子59は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長
手方向(図2(b)又は(c)における振動板52の厚さ方向)に縮む。電極層に印加さ
れていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
The other end of the piezoelectric element 59 is fixed to a base (not shown) that supports the entire droplet discharge head 20 via a fixing plate (not shown). The piezoelectric element 59 has an active part in which an electrode layer and a piezoelectric material are stacked. In the piezoelectric element 59, by applying a driving voltage to the electrode layer, the active portion contracts in the longitudinal direction (the thickness direction of the diaphragm 52 in FIG. 2B or 2C). When the drive voltage applied to the electrode layer is released, the active portion returns to its original length.

電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子59の活性部が縮むことで、圧電素子59の
一端が固定された振動板52が圧力室58と反対側に引張られる力を受ける。振動板52
が圧力室58と反対側に引張られることで、振動板52が圧力室58の反対側に撓む。こ
れにより、圧力室58の容積が増加することから、機能液が液たまり55から供給口56
を経て圧力室58に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると
、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子59が振動板52を押圧する。振動板52が
押圧されることで、圧力室58側に戻る。これにより、圧力室58の容積が急激に元に戻
る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室58内に充填されていた機能
液に圧力が加わり、当該圧力室58に連通して形成された吐出ノズル24から機能液が液
滴となって吐出される。
When the driving voltage is applied to the electrode layer and the active portion of the piezoelectric element 59 is contracted, the vibration plate 52 to which one end of the piezoelectric element 59 is fixed receives a force that is pulled to the side opposite to the pressure chamber 58. Diaphragm 52
Is pulled to the opposite side of the pressure chamber 58, so that the diaphragm 52 bends to the opposite side of the pressure chamber 58. As a result, the volume of the pressure chamber 58 is increased, so that the functional liquid is supplied from the liquid pool 55 to the supply port 56.
Then, the pressure is supplied to the pressure chamber 58. Next, when the driving voltage applied to the electrode layer is released, the active portion returns to the original length, and the piezoelectric element 59 presses the diaphragm 52. When the diaphragm 52 is pressed, it returns to the pressure chamber 58 side. As a result, the volume of the pressure chamber 58 suddenly returns to the original, that is, the increased volume is reduced, so that pressure is applied to the functional liquid filled in the pressure chamber 58 and the pressure chamber 58 communicates with the pressure chamber 58. The functional liquid is discharged as droplets from the discharge nozzle 24 formed in this manner.

次に、ヘッド機構部2が備えるヘッドユニット21の概略構成について、図3を参照し
て説明する。図3は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図3に示したX軸
及びY軸は、ヘッドユニット21が液滴吐出装置1に取り付けられた状態において、図1
に示したX軸及びY軸と一致している。
Next, a schematic configuration of the head unit 21 provided in the head mechanism unit 2 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a plan view showing a schematic configuration of the head unit. The X axis and the Y axis shown in FIG. 3 are the same as those in FIG. 1 in a state where the head unit 21 is attached to the droplet discharge device 1.
The X axis and the Y axis shown in FIG.

図3に示したように、ヘッドユニット21は、ユニットプレート23と、ユニットプレ
ート23に搭載された9個の液滴吐出ヘッド20と、を有している。液滴吐出ヘッド20
は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート23に固定されている。固定
された液滴吐出ヘッド20は、ヘッド本体がユニットプレート23に形成された孔(図示
省略)に遊験して、ノズル基板25が、ユニットプレート23の面より突出した位置に位
置している。
As shown in FIG. 3, the head unit 21 includes a unit plate 23 and nine droplet discharge heads 20 mounted on the unit plate 23. Droplet discharge head 20
Is fixed to the unit plate 23 via a head holding member (not shown). The fixed liquid droplet ejection head 20 has its head body in a hole (not shown) formed in the unit plate 23, and the nozzle substrate 25 is located at a position protruding from the surface of the unit plate 23.

図3は、ノズル基板25の側から見た図である。9個の液滴吐出ヘッド20は、Y軸方
向に分かれて、それぞれ3個ずつの液滴吐出ヘッド20を有するヘッド組20Aを3群、
形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド20のノズル列24Aは、ヘッドユニット21
が液滴吐出装置1に取り付けられた状態において、Y軸方向に延在している。
FIG. 3 is a view as seen from the nozzle substrate 25 side. The nine droplet discharge heads 20 are divided in the Y-axis direction, and each of three groups of head groups 20A each having three droplet discharge heads 20 is provided.
Forming. The nozzle row 24A of each droplet discharge head 20 is connected to the head unit 21.
Extends in the Y-axis direction when attached to the droplet discharge device 1.

一つのヘッド組20Aが有する3個の液滴吐出ヘッド20は、Y軸方向において、互い
に隣り合う液滴吐出ヘッド20の、一方の液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24に対
して、もう一方の液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24が半ノズルピッチずれて位置
する位置に配設されている。
The three droplet discharge heads 20 included in one head set 20A are more than the discharge nozzles 24 at the ends of one droplet discharge head 20 of the droplet discharge heads 20 adjacent to each other in the Y-axis direction. The discharge nozzle 24 at the end of one of the droplet discharge heads 20 is disposed at a position that is shifted by a half nozzle pitch.

ヘッド組20Aが有する3個の液滴吐出ヘッド20において、全ての吐出ノズル24の
X軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル24は、Y軸方向に半ノズルピッチの等間隔
で並ぶ。すなわち、X軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド20が有す
るそれぞれのノズル列24Aを構成する吐出ノズル24から吐出された液滴は、設計上で
は、Y軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。
In the three droplet discharge heads 20 included in the head set 20A, if the positions of all the discharge nozzles 24 in the X-axis direction are the same, the discharge nozzles 24 are arranged at equal intervals of a half nozzle pitch in the Y-axis direction. In other words, at the same position in the X-axis direction, the droplets ejected from the ejection nozzles 24 constituting each nozzle row 24A included in each droplet ejection head 20 are arranged at equal intervals in the Y-axis direction by design. To land on a straight line.

一つのヘッド組20Aが備える3個の液滴吐出ヘッド20が有する6列のノズル列24
Aは、1本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列は、例えば180個の6倍
、1080個の吐出ノズル24を有し、Y軸方向におけるノズルピッチは、70μmであ
り、Y軸方向の両端の吐出ノズル24の中心間距離(ノズル列長さ)は、約75.5mm
である。液滴吐出ヘッド20は、Y軸方向において互いに重なるため、X軸方向に階段状
に並んでヘッド組20Aを構成している。
Six nozzle rows 24 of the three droplet discharge heads 20 included in one head set 20A
A can also be handled as a single nozzle row. The nozzle row has, for example, 180 times six times and 1080 discharge nozzles 24, the nozzle pitch in the Y-axis direction is 70 μm, and the distance between the centers of the discharge nozzles 24 at both ends in the Y-axis direction (nozzle row) Length) is about 75.5mm
It is. Since the droplet discharge heads 20 overlap with each other in the Y-axis direction, the head set 20A is configured in a stepwise manner in the X-axis direction.

ヘッドユニット21が有する3つのヘッド組20Aは、それぞれが有する1本のノズル
列とみなせるノズル列が、Y軸方向において、ノズル列24Aの半ノズルピッチずれて位
置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット21は、互い
に隣り合うヘッド組20Aを構成する液滴吐出ヘッド20の、一方のヘッド組20Aにお
ける液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24に対して、もう一方のヘッド組20Aにお
ける液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24が、Y軸方向において、半ノズルピッチず
れた位置に、配設されている。
The three head sets 20A included in the head unit 21 are arranged at positions where the nozzle arrays that can be regarded as one nozzle array included in each of the head units 21 are shifted by a half nozzle pitch of the nozzle array 24A in the Y-axis direction. . In other words, each head unit 21 has the other of the droplet discharge heads 20 constituting the adjacent head set 20A with respect to the discharge nozzle 24 at the end of the droplet discharge head 20 in one head set 20A. The discharge nozzle 24 at the end of the droplet discharge head 20 in the head set 20A is disposed at a position shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction.

一つのヘッドユニット21が備える3つのヘッド組20Aにおける9個の液滴吐出ヘッ
ド20が有する18列のノズル列24Aは、1本のノズル列として扱うこともできる。当
該ノズル列を「ユニットノズル列240A」と表記する。ユニットノズル列240Aは、
例えば180個の18倍、3240個の吐出ノズル24を有し、Y軸方向におけるノズル
ピッチは、70μmであり、Y軸方向の両端の吐出ノズル24の中心間距離(ノズル列長
さ)は、約226.7mmである。即ち、一つのヘッドユニット21の吐出ノズル24か
ら一滴ずつ吐出させて、X軸方向が同じ位置になるように着弾させると、3240個の点
が70μmのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
The 18 nozzle rows 24A included in the nine droplet discharge heads 20 in the three head sets 20A provided in one head unit 21 can be handled as one nozzle row. The nozzle row is referred to as “unit nozzle row 240A”. The unit nozzle row 240A
For example, 180 18 times, 3240 discharge nozzles 24, the nozzle pitch in the Y-axis direction is 70 μm, and the center-to-center distance (nozzle row length) of the discharge nozzles 24 at both ends in the Y-axis direction is It is about 226.7 mm. That is, when one droplet is discharged from the discharge nozzle 24 of one head unit 21 and landed so that the X-axis direction is at the same position, a straight line is formed in which 3240 points are connected at a pitch interval of 70 μm.

上述したように、液滴吐出装置1は、2個のヘッドユニット21を備えており、2個の
ユニットノズル列240Aを備えている。2個のヘッドユニット21を並べて、2個のユ
ニットノズル列240AがY軸方向に連なったノズル列を構成することができる。当該ノ
ズル列によって、1回の走査の間に、例えば6480個の点が70μmのピッチ間隔で連
なる直線を形成することができる。
As described above, the droplet discharge device 1 includes the two head units 21 and the two unit nozzle rows 240A. Two head units 21 can be arranged to form a nozzle row in which two unit nozzle rows 240A are continuous in the Y-axis direction. The nozzle row can form a straight line in which, for example, 6480 points are connected at a pitch interval of 70 μm during one scan.

次に、液滴吐出装置1における液滴吐出ヘッド20からの吐出制御方法について、図4
を参照して説明する。図4は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図で
ある。
Next, a discharge control method from the droplet discharge head 20 in the droplet discharge apparatus 1 will be described with reference to FIG.
Will be described with reference to FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing an electrical configuration of the droplet discharge head and a signal flow.

上述したように、液滴吐出装置1は、液滴吐出装置1の各部の動作を制御する制御部C
ONTを備えている。制御部CONTは、制御信号を出力するCPU84と、液滴吐出ヘ
ッド20の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー20dとを備えている。
As described above, the droplet discharge device 1 includes the control unit C that controls the operation of each unit of the droplet discharge device 1.
It has ONT. The control unit CONT includes a CPU 84 that outputs a control signal and a head driver 20 d that performs electrical drive control of the droplet discharge head 20.

図4に示すように、ヘッドドライバー20dは、FFCケーブルを介して各液滴吐出ヘ
ッド20と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド20は、吐出ノズル24(図
2参照)ごとに設けられた圧電素子59に対応して、シフトレジスター(SL)85と、
ラッチ回路(LAT)86と、レベルシフター(LS)87と、スイッチ(SW)88と
を備えている。
As shown in FIG. 4, the head driver 20d is electrically connected to each droplet discharge head 20 via an FFC cable. In addition, the droplet discharge head 20 includes a shift register (SL) 85 corresponding to the piezoelectric element 59 provided for each discharge nozzle 24 (see FIG. 2),
A latch circuit (LAT) 86, a level shifter (LS) 87, and a switch (SW) 88 are provided.

液滴吐出装置1における吐出制御は次のように行われる。最初に、CPU84がワーク
Wなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータ
をヘッドドライバー20dに伝送する。そして、ヘッドドライバー20dは、ドットパタ
ーンデータをデコードして吐出ノズル24ごとのON/OFF(吐出/非吐出)情報であ
るノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号(SI)化されて、クロック
信号(CK)に同期して各シフトレジスター85に伝送される。
The ejection control in the droplet ejection apparatus 1 is performed as follows. First, the CPU 84 transmits the dot pattern data obtained by converting the arrangement pattern of the functional liquid on the drawing object such as the workpiece W to the head driver 20d. Then, the head driver 20d decodes the dot pattern data to generate nozzle data that is ON / OFF (discharge / non-discharge) information for each discharge nozzle 24. The nozzle data is converted into a serial signal (SI) and transmitted to each shift register 85 in synchronization with the clock signal (CK).

シフトレジスター85に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号(LAT)がラッチ回
路86に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフター87でスイッチ88
用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ON」の場合にはスイッチ88が
開いて圧電素子59に駆動信号(COM)が供給され、ノズルデータが「OFF」の場合
にはスイッチ88が閉じられて圧電素子59に駆動信号(COM)は供給されない。そし
て、「ON」に対応する吐出ノズル24からは機能液が液滴となって吐出され、吐出され
た機能液の液滴がワークWなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が
配置される。
The nozzle data transmitted to the shift register 85 is latched at the timing when the latch signal (LAT) is input to the latch circuit 86, and the switch 88 is further switched by the level shifter 87.
Is converted into a gate signal. That is, when the nozzle data is “ON”, the switch 88 is opened and the drive signal (COM) is supplied to the piezoelectric element 59. When the nozzle data is “OFF”, the switch 88 is closed and the piezoelectric element 59 is closed. The drive signal (COM) is not supplied. Then, the functional liquid is discharged as droplets from the discharge nozzle 24 corresponding to “ON”, and the discharged droplets of the functional liquid land on the drawing object such as the workpiece W, and the drawing object The functional liquid is placed on the top.

次に、機能液供給部4及び液滴吐出ヘッド20の構成を説明する。
図5は、機能液供給部4及び液滴吐出ヘッド20の構成を模式的に示す図である。
図1及び図5に示すように、供給チューブ43は、管部43t、継手部43a及び43
bを有している。継手部43aは、管部43tのうち貯留タンク41との接続部分に設け
られている。また、継手部43bは、管部43tのうち中継タンク42との接続部分に設
けられている。
Next, the configuration of the functional liquid supply unit 4 and the droplet discharge head 20 will be described.
FIG. 5 is a diagram schematically illustrating the configuration of the functional liquid supply unit 4 and the droplet discharge head 20.
As shown in FIGS. 1 and 5, the supply tube 43 includes a pipe portion 43 t and joint portions 43 a and 43.
b. The joint part 43a is provided in a connection part with the storage tank 41 in the pipe part 43t. Moreover, the joint part 43b is provided in the connection part with the relay tank 42 among the pipe parts 43t.

供給チューブ44は、管部44t、継手部44a及び44b、脱気部44cを有してい
る。継手部44aは、管部44tのうち液滴吐出ヘッド20との接続部分に設けられてい
る。継手部44bは、管部44tのうち中継タンク42との接続部分に設けられている。
脱気部44cは、管部44tを流通する機能液に含まれる気体を除去する。脱気部44c
は、管部44tの一部に設けられている。
The supply tube 44 has a pipe part 44t, joint parts 44a and 44b, and a deaeration part 44c. The joint portion 44a is provided in a connection portion with the droplet discharge head 20 in the tube portion 44t. The joint part 44b is provided in a connection part with the relay tank 42 in the pipe part 44t.
The deaeration part 44c removes the gas contained in the functional liquid flowing through the pipe part 44t. Deaeration part 44c
Is provided in a part of the pipe portion 44t.

液滴吐出ヘッド20は、機能液導入針29を介して供給チューブ44に接続されている
。機能液導入針29は、液たまり55を介して各ノズル24に接続されている。
The droplet discharge head 20 is connected to the supply tube 44 via the functional liquid introduction needle 29. The functional liquid introduction needle 29 is connected to each nozzle 24 via a liquid pool 55.

図5に示すように、紫外線照射部EGは、機能液供給部4から液滴吐出ヘッド20のう
ち、照射部位L1〜L7に対して紫外線を照射可能である。
As shown in FIG. 5, the ultraviolet irradiation unit EG can irradiate the irradiation sites L <b> 1 to L <b> 7 with ultraviolet rays from the functional liquid supply unit 4.

照射部位L1は、管部43tのうち貯留タンク41に接続された継手部43aである。
照射部位L2は、管部43tのうち中継タンク42に接続された継手部43bである。照
射部位L3は、管部44tのうち中継タンク42に接続された継手部44bである。照射
部位L4は、管部44tの一部に設けられた脱気部44cである。照射部位L5は、管部
44tのうち液滴吐出ヘッド20に接続された継手部44aである。照射部位L6は、液
滴吐出ヘッド20の機能液導入針29である。照射部位L7は、液滴吐出ヘッド20の各
ノズル24である。
The irradiation part L1 is a joint part 43a connected to the storage tank 41 in the pipe part 43t.
The irradiation part L2 is a joint part 43b connected to the relay tank 42 in the pipe part 43t. The irradiation part L3 is a joint part 44b connected to the relay tank 42 in the pipe part 44t. The irradiation part L4 is a deaeration part 44c provided in a part of the pipe part 44t. The irradiation part L5 is a joint part 44a connected to the droplet discharge head 20 in the pipe part 44t. The irradiation site L6 is a functional liquid introduction needle 29 of the droplet discharge head 20. The irradiation site L7 is each nozzle 24 of the droplet discharge head 20.

次に、液滴吐出装置1のうち機能液供給部4及びキャリッジ27のうち少なくとも一部
を交換する動作を説明する。以下の説明では、供給チューブ44を交換する場合を例に挙
げて説明する。
Next, an operation of exchanging at least a part of the functional liquid supply unit 4 and the carriage 27 in the droplet discharge device 1 will be described. In the following description, the case where the supply tube 44 is replaced will be described as an example.

供給チューブ44を交換する場合、図6に示すように、まず、紫外線照射部EGを用い
て照射部位L3、すなわち、継手部44bに対して紫外線を照射する(エネルギー付与工
程)。この工程により、継手部44bに残留していた機能液が硬化する。このため、硬化
した機能液によって継手部44bが閉塞され、継手部44bからの機能液の漏出が回避さ
れる。
When exchanging the supply tube 44, as shown in FIG. 6, first, the ultraviolet ray irradiation part EG is used to irradiate the irradiation site L3, that is, the joint part 44b with ultraviolet rays (energy application step). By this step, the functional liquid remaining in the joint portion 44b is cured. For this reason, the joint part 44b is obstruct | occluded by the hardened functional liquid, and the leakage of the functional liquid from the joint part 44b is avoided.

継手部44bを閉塞させた後、図7に示すように、紫外線照射部EGを用いて照射部位
L5、すなわち、継手部44aに対して紫外線を照射する。この工程により、継手部44
aに残留していた機能液が硬化する。このため、硬化した機能液によって継手部44aが
閉塞され、継手部44aからの機能液の漏出が回避される。
After closing the joint part 44b, as shown in FIG. 7, the ultraviolet ray irradiation part EG is used to irradiate the irradiation site L5, that is, the joint part 44a with ultraviolet rays. By this process, the joint portion 44 is
The functional liquid remaining in a is cured. For this reason, the joint part 44a is obstruct | occluded with the hardened functional liquid, and the leakage of the functional liquid from the joint part 44a is avoided.

継手部44aを閉塞させた後、図8に示すように、継手部44aを液滴吐出ヘッド20
から取り外すと共に、継手部44bを中継タンク42から取り外す。この動作により、供
給チューブ44が取り外される。継手部44a及び44bは、それぞれ硬化した機能液に
よって閉塞されているため、供給チューブ44が取り外された状態において、継手部44
a及び44bからの機能液の漏出が回避される。このため、液滴吐出装置1が清浄に維持
されることになる。
After closing the joint portion 44a, the joint portion 44a is connected to the droplet discharge head 20 as shown in FIG.
And the joint 44b is removed from the relay tank 42. By this operation, the supply tube 44 is removed. Since the joint portions 44a and 44b are respectively closed by the hardened functional liquid, the joint portion 44 in a state where the supply tube 44 is removed.
Leakage of functional fluid from a and 44b is avoided. For this reason, the droplet discharge device 1 is kept clean.

その後、新たな供給チューブ44の継手部44aを液滴吐出ヘッド20に装着すると共
に、継手部44bを中継タンク42に装着する(交換工程)。これにより、供給チューブ
44の交換が完了する。このように、硬化させた機能液によって供給チューブ44の流路
の両端部を閉塞させることにより、供給チューブ44からの機能液の漏出が回避される。
なお、供給チューブ44を交換する場合、紫外線照射部EGを用いて脱気部44cに対し
て紫外線を照射させても構わない。
Thereafter, the joint portion 44a of the new supply tube 44 is attached to the droplet discharge head 20, and the joint portion 44b is attached to the relay tank 42 (exchange process). Thereby, the replacement of the supply tube 44 is completed. In this way, leakage of the functional liquid from the supply tube 44 is avoided by closing both ends of the flow path of the supply tube 44 with the hardened functional liquid.
In addition, when replacing | exchanging the supply tube 44, you may irradiate an ultraviolet-ray with respect to the deaeration part 44c using the ultraviolet irradiation part EG.

なお、供給チューブ44を交換する際、紫外線照射部EGを用いて、照射部位L5に対
して先に紫外線を照射した後に、照射部位L3に対して紫外線を照射するようにしても構
わない。
When replacing the supply tube 44, the ultraviolet irradiation unit EG may be used to irradiate the irradiation part L3 with ultraviolet rays after irradiating the irradiation part L5 with ultraviolet rays first.

次に、図示を省略するが、供給チューブ43を交換する場合を説明する。
供給チューブ43を交換する場合、まず、紫外線照射部EGを用いて照射部位L1、す
なわち、継手部43aに対して紫外線を照射する。この工程により、継手部43aに残留
していた機能液が硬化する。このため、硬化した機能液によって継手部43aが閉塞され
、継手部43aからの機能液の漏出が回避される。
Next, although not shown, a case where the supply tube 43 is replaced will be described.
When the supply tube 43 is replaced, first, the ultraviolet ray irradiation unit EG is used to irradiate the irradiation site L1, that is, the joint portion 43a with ultraviolet rays. By this step, the functional liquid remaining in the joint portion 43a is cured. For this reason, the joint part 43a is obstruct | occluded with the hardened functional liquid, and the leakage of the functional liquid from the joint part 43a is avoided.

継手部43aを閉塞させた後、紫外線照射部EGを用いて照射部位L2、すなわち、継
手部43bに対して紫外線を照射する。この工程により、継手部43bに残留していた機
能液が硬化する。このため、硬化した機能液によって継手部43bが閉塞され、継手部4
3bからの機能液の漏出が回避される。
After closing the joint portion 43a, the ultraviolet ray irradiation unit EG is used to irradiate the irradiation site L2, that is, the joint portion 43b with ultraviolet rays. By this step, the functional liquid remaining in the joint portion 43b is cured. For this reason, the joint part 43b is obstruct | occluded with the hardened functional liquid, and the joint part 4
Leakage of functional fluid from 3b is avoided.

継手部43bを閉塞させた後、継手部43aを貯留タンク41から取り外すと共に、継
手部43bを中継タンク42から取り外す。この動作により、供給チューブ43が取り外
される。継手部43a及び43bは、それぞれ硬化した機能液によって閉塞されているた
め、供給チューブ43が取り外された状態において、継手部43a及び43bからの機能
液の漏出が回避される。このため、液滴吐出装置1が清浄に維持されることになる。
After closing the joint portion 43b, the joint portion 43a is removed from the storage tank 41, and the joint portion 43b is removed from the relay tank 42. By this operation, the supply tube 43 is removed. Since the joint portions 43a and 43b are respectively closed by the hardened functional liquid, leakage of the functional liquid from the joint portions 43a and 43b is avoided in a state where the supply tube 43 is removed. For this reason, the droplet discharge device 1 is kept clean.

その後、新たな供給チューブ43の継手部43aを貯留タンク41に装着すると共に、
継手部43bを中継タンク42に装着する。これにより、供給チューブ43の交換が完了
する。このように、硬化させた機能液によって供給チューブ43の流路の両端部を閉塞さ
せることにより、供給チューブ43からの機能液の漏出が回避される。
Then, while attaching the joint part 43a of the new supply tube 43 to the storage tank 41,
The joint portion 43b is attached to the relay tank 42. Thereby, replacement | exchange of the supply tube 43 is completed. In this way, the both ends of the flow path of the supply tube 43 are closed by the hardened functional liquid, so that leakage of the functional liquid from the supply tube 43 is avoided.

なお、供給チューブ43を交換する際、紫外線照射部EGを用いて、照射部位L2に対
して先に紫外線を照射した後に、照射部位L1に対して紫外線を照射するようにしても構
わない。
Note that when the supply tube 43 is replaced, the irradiation site L1 may be irradiated with ultraviolet rays after the irradiation site L2 is irradiated with ultraviolet rays using the ultraviolet irradiation unit EG.

次に、図示を省略するが、液滴吐出ヘッド20を交換する場合を説明する。この場合、
キャリッジ27ごと液滴吐出ヘッド20を交換するものであるが、以下、図面を判別しや
すくするため、液滴吐出ヘッド20を単独で交換する場合を例に挙げて説明する。
まず、紫外線照射部EGを用いて照射部位L6、すなわち、機能液導入針29に対して
紫外線を照射する。この工程により、機能液導入針29に残留していた機能液が硬化する
。硬化した機能液により、機能液導入針29が閉塞されるため、機能液導入針29からの
機能液の漏出が回避される。
Next, although not shown, a case where the droplet discharge head 20 is replaced will be described. in this case,
Although the droplet discharge head 20 is replaced together with the carriage 27, a case where the droplet discharge head 20 is replaced alone will be described below as an example in order to make it easy to distinguish the drawings.
First, ultraviolet rays are irradiated to the irradiation site L6, that is, the functional liquid introduction needle 29 using the ultraviolet irradiation unit EG. By this step, the functional liquid remaining in the functional liquid introduction needle 29 is cured. Since the functional liquid introduction needle 29 is closed by the hardened functional liquid, leakage of the functional liquid from the functional liquid introduction needle 29 is avoided.

機能液導入針29を閉塞させた後、紫外線照射部EGを用いて照射部位L7、すなわち
、各ノズル24に対して紫外線を照射する。この工程により、各ノズル24に残留してい
た機能液が硬化する。硬化した機能液により、各ノズル24が閉塞されるため、各ノズル
24からの機能液の漏出が回避される。
After the functional liquid introduction needle 29 is closed, the irradiation site L7, that is, each nozzle 24 is irradiated with ultraviolet rays using the ultraviolet irradiation unit EG. By this step, the functional liquid remaining in each nozzle 24 is cured. Since each nozzle 24 is blocked by the hardened functional liquid, leakage of the functional liquid from each nozzle 24 is avoided.

その後、液滴吐出ヘッド20を継手部44aから取り外し、新たな液滴吐出ヘッド20
を継手部44aに装着する。これにより、液滴吐出ヘッド20の交換が完了する。このよ
うに、液滴吐出ヘッド20の場合においても、硬化させた機能液によって流路の両端を閉
塞させることで、当該機能液の漏出を回避することができる。
Thereafter, the droplet discharge head 20 is detached from the joint portion 44a, and a new droplet discharge head 20 is obtained.
Is attached to the joint portion 44a. Thereby, the replacement of the droplet discharge head 20 is completed. Thus, also in the case of the droplet discharge head 20, leakage of the functional liquid can be avoided by closing both ends of the flow path with the hardened functional liquid.

なお、液滴吐出ヘッド20を交換する際、紫外線照射部EGを用いて、照射部位L7に
対して先に紫外線を照射した後に、照射部位L6に対して紫外線を照射するようにしても
構わない。
When the droplet discharge head 20 is replaced, the ultraviolet irradiation unit EG may be used to irradiate the irradiation part L6 with ultraviolet rays after irradiating the irradiation part L7 with ultraviolet rays first. .

以上のように、本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド20及び供給部4のうち交換され
る部分に、当該交換に先立ち、紫外線を照射することでエネルギーを付与することとした
ので、交換部分に残留する機能液を硬化させることができる。これにより、交換部分から
機能液が漏れ出すことを抑制することができるので、液滴吐出装置1を清浄な状態に維持
することができる。
As described above, according to the present embodiment, energy is applied to the exchanged portion of the droplet discharge head 20 and the supply unit 4 by irradiating ultraviolet rays prior to the exchange. The functional liquid remaining in the portion can be cured. Thereby, since it can suppress that a functional liquid leaks from an exchange part, the droplet discharge apparatus 1 can be maintained in a clean state.

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しな
い範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態の構成に加えて、図9に示すように、液滴吐出装置1には、検出
部DTが設けられている。供給部4及び液滴吐出ヘッド20のうち少なくとも一部を交換
するのに先立ち、検出部DTは、供給部4から液滴吐出ヘッド20までの機能液Qの流路
において機能液Qの漏れを検出する(検出工程)。
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and appropriate modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in addition to the configuration of the above embodiment, as shown in FIG. 9, the droplet discharge device 1 is provided with a detection unit DT. Prior to replacing at least a part of the supply unit 4 and the droplet discharge head 20, the detection unit DT detects leakage of the functional liquid Q in the flow path of the functional liquid Q from the supply unit 4 to the droplet discharge head 20. Detect (detection step).

検出部DTが設けられている場合、例えば機能液Qが漏れている箇所を把握し、当該漏
れている箇所に対して紫外線照射部EGを用いて紫外線を照射することができる。これに
より、硬化させた機能液により、当該機能液の漏出箇所を閉塞させることができる。なお
、加圧部40を用いて供給部4から液滴吐出ヘッド20までの流路を加圧する(加圧工程
)ようにしても構わない。この場合、機能液の漏出を促進するため、検出部DTが機能液
Qの漏出箇所を検出しやすくすることができる。
In the case where the detection unit DT is provided, for example, a location where the functional liquid Q is leaking can be grasped, and ultraviolet rays can be irradiated to the leaking location using the ultraviolet irradiation unit EG. Thereby, the leaking location of the functional liquid can be blocked by the cured functional liquid. Note that the pressurizing unit 40 may be used to pressurize the flow path from the supply unit 4 to the droplet discharge head 20 (pressurizing step). In this case, since the leakage of the functional fluid is promoted, the detection unit DT can easily detect the leakage location of the functional fluid Q.

また、上記実施形態においては、機能液が紫外線の照射を受けて硬化する場合を例に挙
げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、機能液が熱などの他のエネルギー
を受けて硬化する場合であっても、同様の説明が可能である。この場合、機能液を硬化さ
せることができるエネルギーを付与するエネルギー付与部が設けられていればよい。
Moreover, in the said embodiment, although demonstrated taking the case where a functional liquid received the irradiation of an ultraviolet-ray and hardened | cured, it is not restricted to this. For example, the same explanation can be made even when the functional liquid is cured by receiving other energy such as heat. In this case, the energy provision part which provides the energy which can harden a functional liquid should just be provided.

また、上記実施形態においては、液滴吐出装置1は、2個のヘッドユニット21を備え
ており、1個のヘッドユニット21は、無色透明な透明機能液が供給される透明液ユニッ
トであり、もう1個のヘッドユニット21は、例えば白色を含む有色の有色機能液が供給
される有色液ユニットであった。しかし、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが吐出する
機能液が同一であることは必須ではない。描画装置においては、色が異なるなど、複数種
類の異なる機能液を吐出してもよい。色が異なる複数種類の機能液を吐出することでカラ
ー描画も可能である。機能液の種類は、液滴吐出装置1のように複数のヘッドユニットを
備えてヘッドユニットごとに異ならせてもよいし、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、
液滴吐出ヘッドごとに異ならせてもよいし、ノズル列ごとに異ならせてもよい。吐出ノズ
ルごとに機能液を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる機
能液を吐出してもよい。なお、カラー描画を実施する際には、同じ着弾位置に、複数の、
例えば色が異なる機能液を着弾させることができる構成のヘッドユニット又は液滴吐出ヘ
ッドを用いたり、走査方法を用いたりすることで、より微細な描画が可能となる。調など
が変化する液状体であってもよい。
In the above embodiment, the droplet discharge device 1 includes two head units 21, and the one head unit 21 is a transparent liquid unit to which a colorless and transparent transparent functional liquid is supplied. The other head unit 21 is a colored liquid unit to which a colored functional liquid including, for example, white is supplied. However, it is not essential that the functional liquid discharged by the discharge head provided in the head unit is the same. In the drawing apparatus, a plurality of different types of functional liquids such as different colors may be discharged. Color drawing is also possible by discharging a plurality of types of functional liquids having different colors. The type of functional liquid may be different for each head unit with a plurality of head units like the droplet discharge device 1, or may be different for each head set.
It may be different for each droplet discharge head, or may be different for each nozzle row. Different functional liquids may be ejected from one ejection nozzle to another by using a droplet ejection head that can individually supply functional liquid to each ejection nozzle. In addition, when carrying out color drawing, a plurality of,
For example, by using a head unit or a droplet discharge head having a configuration capable of landing functional liquids having different colors, or using a scanning method, finer drawing can be performed. It may be a liquid that changes tone.

上記実施形態においては、液滴吐出装置1は、ヘッドユニット21を2個備えていた。
しかし、描画装置が備えるヘッドユニットが2個であることは必須ではない。描画装置が
備えるヘッドユニットは、1つ又は3つ以上あってもよい。
In the above embodiment, the droplet discharge device 1 includes two head units 21.
However, it is not essential that the drawing apparatus has two head units. There may be one or three or more head units provided in the drawing apparatus.

上記実施形態においては、ヘッドユニット21は、液滴吐出ヘッド20を9個備えてい
たが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが9個であることは必須ではない。ヘッドユニ
ットが備える吐出ヘッドは、いくつであってもよい。
In the above embodiment, the head unit 21 includes nine droplet discharge heads 20, but it is not essential that the head unit includes nine discharge heads. Any number of ejection heads may be included in the head unit.

上記実施形態においては、液滴吐出ヘッド20は、多数の吐出ノズル24が略一直線状
に並んだノズル列24Aを2列備えていたが、吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であっ
てもよい。また、液滴吐出ヘッド20が備える吐出ノズル24は、ノズル列24Aの延在
方向において互いの位置がずれていたが、吐出ヘッドは、ノズル列の延在方向において、
略同一位置に位置する吐出ノズルを複数備える構成であってもよい。
In the above-described embodiment, the droplet discharge head 20 includes the two nozzle rows 24A in which a large number of discharge nozzles 24 are arranged in a substantially straight line. However, any number of nozzle rows may be provided in the discharge head. . In addition, the discharge nozzles 24 included in the droplet discharge head 20 were displaced from each other in the extending direction of the nozzle row 24A.
A configuration including a plurality of discharge nozzles located at substantially the same position may be employed.

上記実施形態においては、X軸走査機構によってワーク載置台30をX軸方向に移動さ
せることでワークWをX軸方向に移動し、Y軸走査機構によって液滴吐出ヘッド20をY
軸方向に移動することで、ワークWと液滴吐出ヘッド20とを平面方向において相対移動
させていた。描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させるために描画対象物と吐出ヘッド
の両方を移動させることは必須ではない。描画対象物と吐出ヘッドのいずれか一方を平面
方向に移動させることで、描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させる構成であってもよ
い。
In the above embodiment, the workpiece W 30 is moved in the X-axis direction by moving the workpiece mounting table 30 in the X-axis direction by the X-axis scanning mechanism, and the droplet discharge head 20 is moved to the Y-axis by the Y-axis scanning mechanism.
By moving in the axial direction, the workpiece W and the droplet discharge head 20 are relatively moved in the plane direction. It is not essential to move both the drawing object and the ejection head in order to move the drawing object and the ejection head relative to each other. A configuration may be adopted in which either the drawing object or the ejection head is moved in the plane direction to move the drawing object and the ejection head relative to each other.

ここで、上記説明において、液状体を液滴として吐出する液滴吐出法について説明する
。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電
気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
Here, in the above description, a droplet discharge method for discharging a liquid material as droplets will be described. Examples of the discharge technique of the droplet discharge method include a charge control method, a pressure vibration method, an electromechanical conversion method, an electrothermal conversion method, and an electrostatic suction method.

帯電制御方式は、液状体に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状体の飛翔方向を制
御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状体に30k
g/cm2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に液状体を吐出させるものであり、
制御電圧をかけない場合には液状体が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけ
ると液状体間に静電的な反発が起こり、液状体が飛散して吐出ノズルから吐出されない。
また、電気機械変換方式は、ピェゾ素子(圧電素子)がパルス的な電気信号を受けて変形
する性質を利用したもので、ピェゾ素子が変形することによって液状体を貯留した空間に
可接物質を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させ
るものである。
In the charge control method, a charge is applied to a liquid material by a charging electrode, and the flying direction of the liquid material is controlled by a deflection electrode and discharged from a discharge nozzle. In addition, the pressure vibration method is 30 k
Applying an ultra-high pressure of about g / cm 2 to discharge the liquid material to the tip side of the discharge nozzle,
When the control voltage is not applied, the liquid material goes straight and is discharged from the discharge nozzle. When the control voltage is applied, electrostatic repulsion occurs between the liquid materials, and the liquid material is scattered and is not discharged from the discharge nozzle.
In addition, the electromechanical conversion method utilizes the property that a piezo element (piezoelectric element) deforms in response to a pulsed electrical signal. The pressure is applied through the liquid, and the liquid material is pushed out from the space and discharged from the discharge nozzle.

また、電気熱変換方式は、液状体を貯留した空間内に設けたヒーターにより、液状体を
急激に気化させてバブル(泡)を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状体を吐出
させるものである。静電吸引方式は、液状体を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノ
ズルに液状体のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状体を引き出す
ものである。この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす
方式などの技術も適用可能である。
In addition, the electrothermal conversion method is a method in which a liquid material is rapidly vaporized by a heater provided in a space in which the liquid material is stored to generate bubbles, and the liquid material in the space is discharged by the pressure of the bubbles. It is. In the electrostatic suction method, a minute pressure is applied to the space in which the liquid material is stored, a meniscus of the liquid material is formed on the discharge nozzle, and the liquid material is drawn out after applying an electrostatic attractive force in this state. In addition to this, it is also possible to apply a technique such as a system that uses a change in the viscosity of a fluid caused by an electric field or a system that uses a discharge spark.

液滴吐出法は、液状体の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の液状体を
的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピェゾ方式は、液状体に熱を加えない
ため、液状体の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状体選
択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピェゾ方式を用いる。
The droplet discharge method has an advantage that a liquid material is less wasted and a desired amount of the liquid material can be accurately disposed at a desired position. Among these, the piezo method has an advantage that it does not affect the composition or the like of the liquid material because heat is not applied to the liquid material. In the present embodiment, the above-described piezo method is used from the viewpoints of a high degree of freedom in selecting a liquid material and good controllability of droplets.

CONT…制御部 20…液滴吐出ヘッド Q…機能液 4…機能液供給部(供給部)
41…貯留タンク(貯留部) 42…中継タンク(貯留部) 43、44…供給チューブ
CONT ... Control unit 20 ... Droplet ejection head Q ... Functional liquid 4 ... Functional liquid supply unit (supply unit)
41 ... Reservoir tank (reservoir) 42 ... Relay tank (reservoir) 43, 44 ... Supply tube

Claims (11)

エネルギーを受けて硬化する液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドに前記液体を供給する供給部と
を備える液滴吐出装置のメンテナンス方法であって、
前記液滴吐出ヘッド及び前記供給部のうち少なくとも一部を交換する交換工程と、
前記交換工程に先立ち、前記液滴吐出ヘッド及び前記供給部のうち前記交換工程におい
て交換される部分に前記エネルギーを付与するエネルギー付与工程と
を含む液滴吐出装置のメンテナンス方法。
A liquid droplet ejection head that ejects liquid that is cured by receiving energy as liquid droplets;
A droplet discharge apparatus maintenance method comprising: a supply unit that supplies the liquid to the droplet discharge head;
An exchange step of exchanging at least a part of the droplet discharge head and the supply unit;
Prior to the replacement step, a method of maintaining a droplet discharge device, comprising: an energy applying step of applying the energy to a portion of the droplet discharge head and the supply unit to be replaced in the replacement step.
前記エネルギーは、紫外線である
請求項1に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The maintenance method for the droplet discharge device according to claim 1, wherein the energy is ultraviolet light.
前記エネルギーは、熱である
請求項1又は請求項2に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The maintenance method for the droplet discharge device according to claim 1, wherein the energy is heat.
前記液滴吐出ヘッドは、前記液滴を吐出するノズルを有し、
前記交換工程は、前記液滴吐出ヘッドを交換することを含み、
前記エネルギー付与工程は、前記ノズルに前記エネルギーを付与することを含む
請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The droplet discharge head has a nozzle for discharging the droplet,
The replacing step includes replacing the droplet discharge head;
The method for maintaining a droplet discharge device according to any one of claims 1 to 3, wherein the energy applying step includes applying the energy to the nozzle.
前記液滴吐出ヘッドは、前記供給部に接続される液体導入部を有し、
前記交換工程は、前記液滴吐出ヘッドを交換することを含み、
前記エネルギー付与工程は、前記液体導入部に前記エネルギーを付与することを含む
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The droplet discharge head has a liquid introduction part connected to the supply part,
The replacing step includes replacing the droplet discharge head;
The method for maintaining a droplet discharge apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the energy applying step includes applying the energy to the liquid introduction unit.
前記供給部は、前記液滴吐出ヘッドに接続される継手部を有し、
前記交換工程は、前記供給部のうち前記継手部を含む部分を交換することを含み、
前記エネルギー付与工程は、前記継手部に前記エネルギーを付与することを含む
請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The supply unit has a joint connected to the droplet discharge head,
The exchange step includes exchanging a part including the joint part in the supply part,
The droplet ejection apparatus maintenance method according to any one of claims 1 to 5, wherein the energy application step includes applying the energy to the joint portion.
前記供給部は、前記液滴を貯留する貯留部、及び、第二継手部を介して前記貯留部に接
続される管部、を有し、
前記交換工程は、前記管部を交換することを含み、
前記エネルギー付与工程は、前記第二継手部に前記エネルギーを付与することを含む
請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The supply unit includes a storage unit that stores the droplets, and a pipe unit that is connected to the storage unit via a second joint unit,
The exchange step includes exchanging the pipe part;
The method for maintaining a droplet discharge device according to any one of claims 1 to 6, wherein the energy applying step includes applying the energy to the second joint portion.
前記供給部は、前記液体に含まれる気体成分を除去する脱気部を有し、
前記交換工程は、前記供給部のうち前記脱気部を含む部分を交換することを含み、
前記エネルギー付与工程は、前記脱気部に前記エネルギーを付与することを含む
請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The supply unit has a deaeration unit for removing a gas component contained in the liquid,
The exchange step includes exchanging a part of the supply unit including the deaeration unit,
The method for maintaining a droplet discharge apparatus according to claim 1, wherein the energy applying step includes applying the energy to the deaeration unit.
前記供給部から前記液滴吐出ヘッドまでの前記液体の流路における前記液体の漏れを検
出する検出工程
を更に含み、
前記エネルギー付与工程は、前記検出工程における検出結果に応じた箇所に前記エネル
ギーを付与することを含む
請求項1から請求項8のうちいずれか一項に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
A detection step of detecting leakage of the liquid in the flow path of the liquid from the supply unit to the droplet discharge head,
The maintenance method for a droplet discharge device according to any one of claims 1 to 8, wherein the energy application step includes applying the energy to a location corresponding to a detection result in the detection step.
前記エネルギー付与工程に先立ち、前記流路を加圧する加圧工程を行う
請求項9に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法。
The droplet discharge device maintenance method according to claim 9, wherein a pressurizing step of pressurizing the flow path is performed prior to the energy applying step.
エネルギーを受けて硬化する液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドに前記液体を供給する供給部と
前記液滴吐出ヘッド及び前記供給部のうち少なくとも一部に前記エネルギーを付与する
エネルギー付与部と
を備える液滴吐出装置。
A liquid droplet ejection head that ejects liquid that is cured by receiving energy as liquid droplets;
A droplet discharge apparatus comprising: a supply unit that supplies the liquid to the droplet discharge head; and an energy applying unit that applies the energy to at least a part of the droplet discharge head and the supply unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015077708A (en) * 2013-10-16 2015-04-23 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet device, adapter, and liquid supply system
JP2021041405A (en) * 2016-03-30 2021-03-18 Aiメカテック株式会社 Coating device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015077708A (en) * 2013-10-16 2015-04-23 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet device, adapter, and liquid supply system
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