JP2012211928A - Ammonia gas sensor - Google Patents

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Satoshi Sugaya
聡 菅谷
Hiroyuki Nishiyama
寛幸 西山
Wataru Matsutani
渉 松谷
Shiro Kakimoto
志郎 柿元
Hitoshi Yokoi
等 横井
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Niterra Co Ltd
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NGK Spark Plug Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ammonia gas sensor that is superior in gas selectivity and responsiveness with respect to ammonia gas in gas to be measured.SOLUTION: An ammonia gas sensor comprises: a solid electrolyte member 310 extending in an axial direction; a reference electrode 320 provided on the solid electrolyte member 310; and a detection electrode 331, which serves as a counter electrode of the reference electrode 320, and a selective reaction layer 340 provided on the solid electrolyte member 310. The detection electrode 331 contains noble metal as a main component, and the selective reaction layer 340 contains metal oxide as a main component. Thus, the ammonia gas sensor 1, superior in gas selectivity and responsiveness with respect to ammonia gas, can be obtained without being influenced by flammable gas.

Description

本発明は、被測定ガス中に含まれるアンモニアガスを検出するに適したアンモニアガスセンサに関する。   The present invention relates to an ammonia gas sensor suitable for detecting ammonia gas contained in a gas to be measured.

従来、この種のアンモニアガスセンサにおいては、下記特許文献1に開示されたアンモニアガスセンサが提案されている。このアンモニアガスセンサは、固体電解質体と、この固体電解質体上に設けた基準電極部及び検出電極部とを備えている。そして、検出電極部は、アンモニアガス選択性を有する金属酸化物、例えば酸化バナジウム(V)で形成されている。 Conventionally, in this type of ammonia gas sensor, an ammonia gas sensor disclosed in Patent Document 1 below has been proposed. The ammonia gas sensor includes a solid electrolyte body, and a reference electrode portion and a detection electrode portion provided on the solid electrolyte body. Then, detection electrode is a metal oxide having ammonia gas selectivity, for example, formed by vanadium oxide (V 2 O 5).

米国特許公開公報2006/0266659A1US Patent Publication No. 2006 / 0266659A1

しかしながら、酸化バナジウム(V)で形成された検出電極部では、アンモニアガスに対するガス選択性や応答性が不十分である。 However, the detection electrode portion formed of vanadium oxide (V 2 O 5 ) has insufficient gas selectivity and responsiveness to ammonia gas.

そこで、本発明は、被測定ガス中のアンモニアガスに対するガス選択性や応答性に優れたアンモニアガスセンサを提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide an ammonia gas sensor excellent in gas selectivity and responsiveness to ammonia gas in a gas to be measured.

本発明に係るアンモニアガスセンサは、請求項1の記載によれば、軸線方向に延び、ジルコニアを主成分とする固体電解質体と、該固体電解質体上に設けられる基準電極部と、基準電極部と対極となり、固体電解質体上に設けられる検出電極部及び選択反応層とを備えるアンモニアガスセンサにおいて、検出電極部は、貴金属を主成分としており、選択反応層は、金属酸化物を主成分とすることを特徴とする。   According to the first aspect of the present invention, an ammonia gas sensor extends in the axial direction and has a solid electrolyte body mainly composed of zirconia, a reference electrode section provided on the solid electrolyte body, and a reference electrode section. In an ammonia gas sensor having a detection electrode part and a selective reaction layer provided on a solid electrolyte body as a counter electrode, the detection electrode part is composed mainly of a noble metal, and the selective reaction layer is composed mainly of a metal oxide. It is characterized by.

このような構成とすることで、選択反応層が被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを良好に燃焼させて除去し、可燃性ガスが固体電解質体に到達することを抑制できる。   By setting it as such a structure, it can suppress that a selective reaction layer combusts and removes combustible gas other than ammonia gas in to-be-measured gas favorably, and combustible gas reaches | attains a solid electrolyte body.

その上、検出電極部がアンモニアガスに基づき集電作用を発揮することができる。このため、アンモニアガスの濃度に応じて検出電極部と基準電極部との間に、起電力を良好に発生させることができる。   In addition, the detection electrode unit can exert a current collecting action based on the ammonia gas. For this reason, an electromotive force can be generated satisfactorily between the detection electrode portion and the reference electrode portion according to the concentration of ammonia gas.

その結果、可燃性ガスの影響を受けることなく、アンモニアガスに対するガス選択性や応答性に優れたアンモニアガスセンサを得ることができる。   As a result, an ammonia gas sensor excellent in gas selectivity and responsiveness to ammonia gas can be obtained without being affected by the combustible gas.

そして、本発明においては、選択反応層と検出電極部とが2つの層に分けられて設けられている。選択反応層と検出電極部とを1つの層(検出電極部に含まれる貴金属と選択反応層に含まれる金属酸化物が混在した層)で設けると、検出電極部の集電作用が低下して基準電極層との間に起電力が発生しにくくなったり、固体電解質体との界面にアンモニアガス以外の可燃性ガスが到達することとなり、ガス選択性や応答性に優れたアンモニアガスセンサを得ることができない。これに対し本発明の上述の構成とすることで、ガス選択性や応答性に優れたアンモニアガスセンサを十分に得ることができる。   In the present invention, the selective reaction layer and the detection electrode portion are provided in two layers. If the selective reaction layer and the detection electrode part are provided in one layer (a layer in which the noble metal contained in the detection electrode part and the metal oxide contained in the selective reaction layer are mixed), the current collecting action of the detection electrode part is reduced. An electromotive force is unlikely to be generated between the reference electrode layer and a combustible gas other than ammonia gas reaches the interface with the solid electrolyte body, thereby obtaining an ammonia gas sensor having excellent gas selectivity and responsiveness. I can't. On the other hand, with the above-described configuration of the present invention, an ammonia gas sensor excellent in gas selectivity and responsiveness can be sufficiently obtained.

なお、検出電極部及び選択反応層は、基準電極部と対極となるように固体電解質体の面上に形成されていればよく、検出電極部及び選択反応層と基準電極部とが固体電解質体を介して対向していてもよいし、検出電極部及び選択反応層と基準電極部とが固体電解質体の同面上に設けられていてもよい。さらに、検出電極部、選択反応層及び固体電解質体のそれぞれは、直接接していてもよいし、他部材を挟んでいてもよい。   The detection electrode part and the selective reaction layer may be formed on the surface of the solid electrolyte body so as to be a counter electrode with the reference electrode part, and the detection electrode part, the selection reaction layer, and the reference electrode part are the solid electrolyte body. The detection electrode part, the selective reaction layer, and the reference electrode part may be provided on the same surface of the solid electrolyte body. Furthermore, each of the detection electrode part, the selective reaction layer, and the solid electrolyte body may be in direct contact, or may have another member interposed therebetween.

また、本発明の請求項2の記載によれば、検出電極部は、固体電解質体と選択反応層との間に設けられることを特徴とする。このような構成とすることで、被測定ガスがまず選択反応層に晒されることで、被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを十分に燃焼させた上で、アンモニアガスを、固体電解質体に到達させることができる。   According to a second aspect of the present invention, the detection electrode portion is provided between the solid electrolyte body and the selective reaction layer. With such a configuration, the gas to be measured is first exposed to the selective reaction layer, so that the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured is sufficiently burned, and then the ammonia gas is converted into the solid electrolyte. Can reach the body.

また、本発明の請求項3の記載によれば、検出電極部は、固体電解質体上に直接設けられていることを特徴とする。このような構成とすることで、検出電極部が、アンモニアガスに基づき良好な集電作用をより発揮することができる。その結果、アンモニアガスの濃度に応じて検出電極部と基準電極部との間に、起電力をより良好に発生させることができる。   According to a third aspect of the present invention, the detection electrode portion is provided directly on the solid electrolyte body. By setting it as such a structure, a detection electrode part can exhibit a favorable current collection effect | action more based on ammonia gas. As a result, an electromotive force can be generated more favorably between the detection electrode portion and the reference electrode portion according to the ammonia gas concentration.

また、本発明の請求項4の記載によれば、選択反応層は、検出電極部が露出しないように検出電極部を覆うことを特徴とする。このように、検出電極部を完全に選択反応層で覆うことで、被測定ガスが固体電解質体に到達するためには選択反応層を確実に通過することとなる。すると、被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを選択反応層でほぼ燃焼させた上で、アンモニアガスを固体電解質体に到達させることができる。   According to a fourth aspect of the present invention, the selective reaction layer covers the detection electrode part so that the detection electrode part is not exposed. In this way, by completely covering the detection electrode portion with the selective reaction layer, the gas to be measured can surely pass through the selective reaction layer in order to reach the solid electrolyte body. Then, after combustible gas other than ammonia gas in the gas to be measured is almost burned in the selective reaction layer, the ammonia gas can reach the solid electrolyte body.

また、本発明の請求項5の記載によれば、検出電極部と外部回路とを電気的に接続するために検出電極部から軸線方向に延びる帯状の検出リード部を有し、検出電極部は、検出リード部上に重なることを特徴とする。このような構成とすることで、検出電極部と検出リード部とを電気的に確実に接続でき、外部回路に基準電極部と検出電極部に発生する起電力を確実に送信できる。   According to the fifth aspect of the present invention, in order to electrically connect the detection electrode portion and the external circuit, the detection electrode portion has a strip-shaped detection lead portion extending in the axial direction from the detection electrode portion. The detection lead portion overlaps with the detection lead portion. With such a configuration, the detection electrode part and the detection lead part can be electrically connected reliably, and the electromotive force generated in the reference electrode part and the detection electrode part can be reliably transmitted to the external circuit.

また、本発明の請求項6の記載によれば、固体電解質体は、先端側に底部を有する有底筒状を有し、基準電極部は、固体電解質体の内面上に形成され、検出電極部は、固体電解質体の先端側外面上に設けられることを特徴とする。このように、固体電解質体が有底筒状にて形成され、基準電極部及び検出電極部がそれぞれ固体電解質体の内面上及び外面上に設けられるアンモニアガスセンサであっても、貴金属を主成分とする検出電極部と金属酸化物を主成分とする選択反応層を設けることで、アンモニアガスに対するガス選択性や応答性に優れたアンモニアガスセンサを得ることができる。   According to a sixth aspect of the present invention, the solid electrolyte body has a bottomed cylindrical shape having a bottom portion on the tip side, the reference electrode portion is formed on the inner surface of the solid electrolyte body, and the detection electrode The portion is provided on the outer surface on the front end side of the solid electrolyte body. Thus, even if the solid electrolyte body is formed in a bottomed cylindrical shape and the reference electrode part and the detection electrode part are provided on the inner surface and the outer surface of the solid electrolyte body, respectively, noble metal is the main component. By providing the detection electrode section and the selective reaction layer mainly composed of a metal oxide, an ammonia gas sensor excellent in gas selectivity and responsiveness to ammonia gas can be obtained.

そして、その1つの形状としては、請求項7の記載のように、検出電極部が、固体電解質体の底部を通って固体電解質体の後端側に対称的にかつ帯状に延びる構成であってもよい。   As one of the shapes thereof, as described in claim 7, the detection electrode portion extends symmetrically and in a strip shape to the rear end side of the solid electrolyte body through the bottom of the solid electrolyte body. Also good.

また、本発明の請求項8の記載によれば、検出電極部は、白金を主成分とし、さらに金が含まれる材料、又は金を主成分とする材料からなることを特徴とする。このような構成とすることで、検出電極部が、アンモニアガスに基づき良好な集電作用をより発揮することができる。その結果、アンモニアガスの濃度に応じて検出電極部と基準電極部との間に、起電力をより良好に発生させることができる。   According to claim 8 of the present invention, the detection electrode portion is made of a material containing platinum as a main component and further containing gold, or a material containing gold as a main component. By setting it as such a structure, a detection electrode part can exhibit a favorable current collection effect | action more based on ammonia gas. As a result, an electromotive force can be generated more favorably between the detection electrode portion and the reference electrode portion according to the ammonia gas concentration.

また、本発明の請求項9の記載によれば、検出リード部は、白金を主成分とする材料からなることを特徴とする。このような構成をとることで、検出電極部と基準電極部との間に発生する起電力を確実に外部回路に送信できる。   According to a ninth aspect of the present invention, the detection lead portion is made of a material whose main component is platinum. By adopting such a configuration, an electromotive force generated between the detection electrode unit and the reference electrode unit can be reliably transmitted to the external circuit.

また、本発明の請求項10の記載によれば、検出リード部は、検出電極部に含有される含有量よりも少ない金が含有されることを特徴とする。検知リード部に金を含有することにより、白金の触媒性を低下させ、検知リード部と基準電極部との間で電位差が発生することを抑制できる。そのうえ、検知リード部に含有される金を検知電極部よりも少なくすることで、固体電解質体との同時焼成が可能となり、固体電解質体との密着強度を高めることができる。さらに、検出電極部との密着強度も高めることができる。   According to a tenth aspect of the present invention, the detection lead portion contains less gold than the content contained in the detection electrode portion. By containing gold in the detection lead portion, the catalytic property of platinum can be reduced, and the occurrence of a potential difference between the detection lead portion and the reference electrode portion can be suppressed. In addition, by making the gold contained in the detection lead portion smaller than the detection electrode portion, simultaneous firing with the solid electrolyte body becomes possible, and the adhesion strength with the solid electrolyte body can be increased. Furthermore, the adhesion strength with the detection electrode part can also be increased.

また、本発明の請求項11の記載によれば、基準電極部及び検出電極部には、ジルコニアが含有されており、検出電極部は、基準電極部よりもジルコニアの含有量が少ないことを特徴とする。基準電極部及び検出電極部には、固体電解質体との密着性を考慮してジルコニアを含有させている。そして、検出電極部に含有されるジルコニアを基準電極部よりも減らすことで、検知電極部のアンモニアガスに基づく良好な集電作用をも維持している。   According to the eleventh aspect of the present invention, the reference electrode portion and the detection electrode portion contain zirconia, and the detection electrode portion contains less zirconia than the reference electrode portion. And The reference electrode portion and the detection electrode portion contain zirconia in consideration of adhesion with the solid electrolyte body. And the favorable current collection effect | action based on the ammonia gas of a detection electrode part is also maintained by reducing the zirconia contained in a detection electrode part rather than a reference | standard electrode part.

また、本発明の請求項12の記載によれば、検出リード部には、ジルコニアが含有されており、検出リード部は、検出電極部よりもジルコニアの含有量が少ないことを特徴とする。このように、検出リード部にも、固体電解質体との密着性を考慮してジルコニアを含有させている。そして、検出リード部に含有されるジルコニアを検出電極部よりも減らすことで、検出リード部の通電効果を高めることができる。   According to the twelfth aspect of the present invention, the detection lead portion contains zirconia, and the detection lead portion has a lower zirconia content than the detection electrode portion. As described above, zirconia is also contained in the detection lead portion in consideration of adhesion to the solid electrolyte body. And the energization effect of a detection lead part can be heightened by reducing the zirconia contained in a detection lead part rather than a detection electrode part.

また、本発明の請求項13の記載によれば、検出電極部と選択反応層との間に多孔質層を設けたことを特徴とする。このような構成とすることで、選択反応層と検出電極部との間の絶縁が確保される。従って、選択反応層の経時変化に伴う検出電極部への影響が未然に防止されて、長期に亘り良好なガス選択性を維持できる。   According to a thirteenth aspect of the present invention, a porous layer is provided between the detection electrode portion and the selective reaction layer. By setting it as such a structure, the insulation between a selective reaction layer and a detection electrode part is ensured. Therefore, the influence on the detection electrode part due to the temporal change of the selective reaction layer is prevented, and good gas selectivity can be maintained over a long period of time.

また、本発明の請求項14の記載によれば、多孔質層は、検出電極部が露出しないように検出電極部を覆うことを特徴とする。このような構成となることで、多孔質層が検出電極部と選択反応層との間の絶縁性を確実に確保できる。   According to a fourteenth aspect of the present invention, the porous layer covers the detection electrode part so that the detection electrode part is not exposed. With such a configuration, the porous layer can reliably ensure insulation between the detection electrode portion and the selective reaction layer.

また、本発明の請求項15の記載によれば、選択反応層は、多孔質層が露出しないように多孔質層を覆うことを特徴とする。このような構成とすることで、アンモニアガス以外の可燃性ガスが、選択反応層を介することなく、直接、多孔質層を通り検出電極部に流入するという現象を未然に防止でき、アンモニアガスに対するガス選択性に優れたアンモニアガスセンサを得ることができる。   According to a fifteenth aspect of the present invention, the selective reaction layer covers the porous layer so that the porous layer is not exposed. By adopting such a configuration, it is possible to prevent the phenomenon that combustible gas other than ammonia gas flows directly into the detection electrode portion through the porous layer without going through the selective reaction layer. An ammonia gas sensor excellent in gas selectivity can be obtained.

また、本発明の請求項16の記載によれば、多孔質層は、Al、MgAl、SiO、SiO/Al、ゼオライト及びSiCの少なくとも1種を含有することを特徴とする。これにより、多孔質層による絶縁性がより一層具体的に確保できる。 According to claim 16 of the present invention, the porous layer contains at least one of Al 2 O 3 , MgAl 2 O 4 , SiO 2 , SiO 2 / Al 2 O 3 , zeolite, and SiC. It is characterized by that. Thereby, the insulation by a porous layer can be ensured more specifically.

また、本発明の請求項17の記載によれば、選択反応層が露出しないように選択反応層を覆う保護層が備えられたことを特徴とする。このような構成をとることで、選択反応層が被測定ガス中の不純物(例えば、リン、鉛等)の影響を受けることない。よって、選択反応層が被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを良好に燃焼させて、可燃性ガスが固体電解質体へ到達することを良好に抑制できる。なお、保護層としては、MgAl、Al、SiO/Al、ゼオライト等が挙げられる。 According to a seventeenth aspect of the present invention, a protective layer covering the selective reaction layer is provided so that the selective reaction layer is not exposed. By adopting such a configuration, the selective reaction layer is not affected by impurities (for example, phosphorus, lead, etc.) in the gas to be measured. Therefore, the selective reaction layer can satisfactorily burn the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured, and the combustible gas can be satisfactorily suppressed from reaching the solid electrolyte body. As the protective layer, MgAl 2 O 4, Al 2 O 3, SiO 2 / Al 2 O 3, zeolites, and the like.

また、本発明の請求項18の記載によれば、選択反応層は、ビスマスバナジウム酸化物及びアンチモンバナジウム酸化物の少なくとも一方を主成分とすることを特徴とする。このような構成とすることで、選択反応層が被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを良好に燃焼させることができる。   According to claim 18 of the present invention, the selective reaction layer has at least one of bismuth vanadium oxide and antimony vanadium oxide as a main component. By setting it as such a structure, the selective reaction layer can burn combustible gas other than ammonia gas in measurement gas favorably.

また、本発明の請求項19の記載によれば、選択反応層は、タングステン酸化物、モリブデン酸化物、ニオブ酸化物、タンタル酸化物、マグネシウム酸化物、カノレジウム酸化物、ストロンチウム酸化物及びバリウム酸化物のうちの少なくとも1種をさらに添加してなることを特徴とする。このように添加材を選択反応層にさらに添加すると、選択反応層が被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスをさらに良好に燃焼させることができる。   According to the nineteenth aspect of the present invention, the selective reaction layer comprises tungsten oxide, molybdenum oxide, niobium oxide, tantalum oxide, magnesium oxide, canoledium oxide, strontium oxide, and barium oxide. It is characterized by further adding at least one of them. When the additive is further added to the selective reaction layer in this way, the selective reaction layer can burn the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured more satisfactorily.

また、本発明の請求項20の記載によれば、バナジウムが25(at%)〜50(at%)の範囲にて含有されることを特徴とする。これにより、アンモニアガスセンサとしての熱的な経時的安定性、応答性、さらにはアンモニアガスに対するガス選択性が良好に確保できる。   According to claim 20 of the present invention, vanadium is contained in a range of 25 (at%) to 50 (at%). As a result, it is possible to satisfactorily ensure the thermal stability over time and the responsiveness as an ammonia gas sensor and the gas selectivity with respect to the ammonia gas.

また、本発明の請求項21の記載によれば、選択反応層の厚みは検出電極層の厚みよりも厚いことを特徴とする。これにより、選択反応層は、アンモニアガス以外の可燃性ガスからアンモニアガスを良好に選択することで、アンモニアガス以外の可燃性ガスの固体電解質層への到達を良好に抑制できる。   According to a twenty-first aspect of the present invention, the selective reaction layer is thicker than the detection electrode layer. Thereby, the selective reaction layer can favorably suppress the arrival of the combustible gas other than the ammonia gas to the solid electrolyte layer by appropriately selecting the ammonia gas from the combustible gas other than the ammonia gas.

また、本発明は、請求項22の記載によれば、検出電極層は、30(μm)未満の厚みを有することを特徴とする。これにより、検出電極層が耐熱衝撃特性及び集電特性を共に良好に発揮しつつ、アンモニアガスに対する応答性を良好に確保できる。   According to a twenty-second aspect of the present invention, the detection electrode layer has a thickness of less than 30 (μm). As a result, the detection electrode layer can satisfactorily ensure responsiveness to ammonia gas while exhibiting both the thermal shock characteristics and the current collection characteristics.

本発明に係る実施形態1のアンモニアガスセンサ1の断面図である。It is sectional drawing of the ammonia gas sensor 1 of Embodiment 1 which concerns on this invention. 実施形態1のセンサ素子300の先端側の拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the tip side of the sensor element 300 according to the first embodiment. 実施形態1のセンサ素子300の先端側の拡大斜視図である。FIG. 3 is an enlarged perspective view of the tip side of the sensor element 300 according to the first embodiment. 実施形態2のセンサ素子400の先端側の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the front end side of the sensor element 400 of Embodiment 2. 実施形態2のセンサ素子400の先端側の拡大斜視図である。It is an expansion perspective view of the front end side of the sensor element 400 of Embodiment 2. 実施形態3のセンサ素子500の先端側の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the front end side of the sensor element 500 of Embodiment 3. 実施形態4のセンサ素子900の斜視図である。It is a perspective view of the sensor element 900 of Embodiment 4. 実施形態4のセンサ素子900の断面図である。It is sectional drawing of the sensor element 900 of Embodiment 4. 実施形態4のセンサ素子900の展開斜視図である。It is an expansion | deployment perspective view of the sensor element 900 of Embodiment 4. FIG. 試験例1の評価グラフである。3 is an evaluation graph of Test Example 1. 試験例2の評価グラフである。6 is an evaluation graph of Test Example 2. 試験例3の評価グラフである。10 is an evaluation graph of Test Example 3. 試験例4の評価グラフである。10 is an evaluation graph of Test Example 4. 試験例5の評価グラフである。10 is an evaluation graph of Test Example 5. 試験例6の評価グラフである。10 is an evaluation graph of Test Example 6.

以下、本発明に係るアンモニアガスセンサの各実施形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of an ammonia gas sensor according to the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1は、実施形態1のアンモニアガスセンサ1の断面図である。アンモニアガスセンサ1は、自動車等の内燃機関の排気管(図示しない)等に取り付けられて使用される。なお、実施形態1では、図1の下側を先端側、上側を後端側として説明する。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view of an ammonia gas sensor 1 according to the first embodiment. The ammonia gas sensor 1 is used by being attached to an exhaust pipe (not shown) of an internal combustion engine such as an automobile. In the first embodiment, the lower side of FIG. 1 will be described as the front end side, and the upper side will be described as the rear end side.

図1に示すアンモニアガスセンサ1は、先端側が閉じられた筒状のセンサ素子300を、主体金具110内に保持した構造を有する。また、アンモニアガスセンサ1からは、センサ素子300の出力信号を取り出したり、センサ素子300に併設されるヒータ370への通電を行うためのリード線710が引き出されている。このリード線710は、図示しないセンサ制御装置あるいは自動車の電子制御装置(ECU)に電気的に接続される。   The ammonia gas sensor 1 shown in FIG. 1 has a structure in which a cylindrical sensor element 300 whose front end is closed is held in a metal shell 110. Further, from the ammonia gas sensor 1, a lead wire 710 is drawn out for taking out an output signal of the sensor element 300 and energizing the heater 370 provided in the sensor element 300. The lead wire 710 is electrically connected to a sensor control device (not shown) or an electronic control device (ECU) of an automobile.

主体金具110はSUS430等のステンレス鋼からなる筒部材であり、先端側に、排気管(図示せず)に取り付けられる雄ねじ部111が設けられている。さらに、この雄ねじ部111よりも先端側には、後述する外側プロテクタ130が係合される先端係合部113が設けられている。   The metal shell 110 is a cylindrical member made of stainless steel such as SUS430, and a male screw portion 111 attached to an exhaust pipe (not shown) is provided on the distal end side. Further, a distal end engaging portion 113 to which an outer protector 130 described later is engaged is provided on the distal end side of the male screw portion 111.

他方、主体金具110の雄ねじ部111の後端側には、アンモニアガスセンサ1を排気管に取付る際に用いられる取付工具が係合する工具係合部114が設けられている。さらに、主体金具110の後端側には、センサ素子300を加締め固定するための加締部115が設けられている。そして、工具係合部114と加締部115との間には、後述する外筒120が係合される後端係合部112が設けられている。   On the other hand, on the rear end side of the male threaded portion 111 of the metal shell 110, a tool engagement portion 114 is provided that engages an attachment tool used when attaching the ammonia gas sensor 1 to the exhaust pipe. Further, a caulking portion 115 for caulking and fixing the sensor element 300 is provided on the rear end side of the metal shell 110. And between the tool engaging part 114 and the crimping part 115, the rear-end engaging part 112 with which the outer cylinder 120 mentioned later is engaged is provided.

次に、主体金具110の筒内には、径方向内側に向けて突出する段部116が設けられており、この段部116に金属製のパッキン(図示しない)を介し、アルミナからなる筒状の支持部材210が支持されている。さらに、支持部材210の内周も段状に形成されており、金属製のパッキン(図示しない)を介して後述するセンサ素子300のフランジ部301が支持されている。さらに、支持部材210の後端側には、滑石粉末からなる充填部材220が充填され、さらに、この充填部材220を支持部材210とで挟むように、アルミナからなるスリーブ230が配置されている。   Next, a stepped portion 116 protruding radially inward is provided in the cylinder of the metallic shell 110, and a cylindrical shape made of alumina is provided on the stepped portion 116 through a metal packing (not shown). The support member 210 is supported. Further, the inner periphery of the support member 210 is also formed in a step shape, and a flange portion 301 of the sensor element 300 described later is supported via a metal packing (not shown). Further, a filling member 220 made of talc powder is filled on the rear end side of the support member 210, and a sleeve 230 made of alumina is disposed so as to sandwich the filling member 220 with the support member 210.

そして、スリーブ230の後端側には環状のリング231が配置されており、主体金具110の加締部115を加締めることで、リング231を介し、スリーブ230が充填部材220に対して押しつけられる。   An annular ring 231 is disposed on the rear end side of the sleeve 230, and the sleeve 230 is pressed against the filling member 220 via the ring 231 by crimping the crimping portion 115 of the metal shell 110. .

また、主体金具110の先端係合部113には、センサ素子300の先端側を覆う外側プロテクタ130が溶接によって組み付けられている。さらに、外側プロテクタ130の内部には、有底筒状の内側プロテクタ140が固定されている。この外側プロテクタ130および内側プロテクタ140には内部に被測定ガスを導入するための導入口131、141がそれぞれ設けられている。また、外側プロテクタ130および内側プロテクタ140の底面には、内部に入り込んだ水滴や被測定ガスを排出するための排出口132、142がそれぞれ設けられている。   Further, an outer protector 130 that covers the distal end side of the sensor element 300 is assembled to the distal end engaging portion 113 of the metal shell 110 by welding. Further, a bottomed cylindrical inner protector 140 is fixed inside the outer protector 130. The outer protector 130 and the inner protector 140 are respectively provided with inlets 131 and 141 for introducing a gas to be measured. In addition, on the bottom surfaces of the outer protector 130 and the inner protector 140, there are provided discharge ports 132 and 142 for discharging water droplets and gas to be measured that have entered the inside, respectively.

一方、主体金具110の後端係合部112には、SUS304等のステンレス鋼からなる筒状の外筒120がレーザ溶接等にて固定されている。さらに、外筒120は後端側へ向けて延びており、センサ素子300の後端側やそれよりも後方側に配置される後述するセパレータ400を取り囲んでいる。なお、外筒120の外周面の一部は、セパレータ400を保持するための保持金具610を係止するために加締められている。   On the other hand, a cylindrical outer cylinder 120 made of stainless steel such as SUS304 is fixed to the rear end engaging portion 112 of the metal shell 110 by laser welding or the like. Further, the outer cylinder 120 extends toward the rear end side, and surrounds a separator 400 (described later) disposed on the rear end side of the sensor element 300 and on the rear side thereof. A part of the outer peripheral surface of the outer cylinder 120 is crimped to lock the holding metal fitting 610 for holding the separator 400.

セパレータ400は、センサ素子300の基準電極部320および検出電極330や、ヒータ370が有する発熱抵抗体にそれぞれ電気的に接続される4つの接続端子700(図1ではそのうちの3つの接続端子700を示している。)を内部に保持している。各接続端子700には4本のリード710の芯線がそれぞれ加締め接合されており(図1ではそのうちの3本のリード線710を示している。)、各リード線710は、後述するグロメット500を介してアンモニアガスセンサ1の外部に引き出されている。また、セパレータ400の外周面には径方向外側に突出するフランジ部410が設けられており、このフランジ部410を保持金具610が支持している。   The separator 400 includes four connection terminals 700 (in FIG. 1, three connection terminals 700 are electrically connected to the reference electrode portion 320 and the detection electrode 330 of the sensor element 300 and the heating resistor included in the heater 370, respectively. Is held inside. Core wires of four leads 710 are caulked and joined to each connection terminal 700 (three lead wires 710 are shown in FIG. 1), and each lead wire 710 is a grommet 500 described later. Is drawn out of the ammonia gas sensor 1 via In addition, a flange portion 410 protruding outward in the radial direction is provided on the outer peripheral surface of the separator 400, and the holding fitting 610 supports the flange portion 410.

また、外筒120の後端側開口を塞ぐように、フッ素系ゴムからなる略円柱状のグロメット500が配置されている。そして、このグロメット500の径方向の中央には外筒120内に大気を導入する連通孔510が貫通している。さらに、その連通孔510よりも外周側にも、リード線710が挿通される4つのリード線挿通孔520が周方向に等間隔となる位置にそれぞれ設けられている。   Further, a substantially columnar grommet 500 made of fluororubber is disposed so as to close the rear end side opening of the outer cylinder 120. A communication hole 510 for introducing air into the outer cylinder 120 passes through the center of the grommet 500 in the radial direction. Furthermore, four lead wire insertion holes 520 through which the lead wires 710 are inserted are also provided at equal positions in the circumferential direction on the outer peripheral side of the communication hole 510.

また、グロメット500の連通孔510内にはフィルタ部材840およびその留め金具850が挿入されている。フィルタ部材840は、例えばPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂から形成された網目構造を有する薄膜状のフィルタであり、水滴等は通さず大気は連通可能に構成されたものである。留め金具850は筒状に形成された部材であり、自身の外周と連通孔510の内周との間にフィルタ部材840を挟み、グロメット500に固定される。   Further, the filter member 840 and the fastener 850 are inserted into the communication hole 510 of the grommet 500. The filter member 840 is a thin-film filter having a network structure formed of a fluororesin such as PTFE (polytetrafluoroethylene), for example, and is configured to allow air to communicate without passing water droplets or the like. The fastener 850 is a member formed in a cylindrical shape, and is fixed to the grommet 500 with a filter member 840 sandwiched between the outer periphery of itself and the inner periphery of the communication hole 510.

次に、センサ素子300について説明する。図2は、センサ素子300の先端側を拡大した断面図、図3は、センサ素子300の先端側を拡大した斜視図である。図1に示されるように、センサ素子300の略中間位置には、径方向外側に向かって突出する鍔状のフランジ部301が設けられている。このセンサ素子300は、図2、図3に示されるように、ジルコニアを主成分とする有底筒状の固体電解質体310を備えている。そして、固体電解質体310の内部には、固体電解質体310を加熱して活性化させるための棒状のヒータ350が挿入されている。   Next, the sensor element 300 will be described. 2 is an enlarged cross-sectional view of the distal end side of the sensor element 300, and FIG. 3 is an enlarged perspective view of the distal end side of the sensor element 300. As shown in FIG. 1, a flange-shaped flange portion 301 that protrudes radially outward is provided at a substantially intermediate position of the sensor element 300. As shown in FIGS. 2 and 3, the sensor element 300 includes a bottomed cylindrical solid electrolyte body 310 mainly composed of zirconia. A rod-shaped heater 350 for heating and activating the solid electrolyte body 310 is inserted into the solid electrolyte body 310.

また、固体電解質体310の内面には、Ptを主成分とする基準電極部320が全面を覆うように形成されている。一方、固体電解質体310の先端側の外面には、検出電極部331及び選択反応層340がこの順に直接設けられている。さらに、固体電解質体310の外面には、検出電極部331から延びる帯状の検出リード部332が形成されている。なお、検出リード部332の先端側外面には、検出電極部331が重なっている。   In addition, a reference electrode portion 320 containing Pt as a main component is formed on the inner surface of the solid electrolyte body 310 so as to cover the entire surface. On the other hand, the detection electrode portion 331 and the selective reaction layer 340 are directly provided in this order on the outer surface on the front end side of the solid electrolyte body 310. Further, a strip-shaped detection lead portion 332 extending from the detection electrode portion 331 is formed on the outer surface of the solid electrolyte body 310. The detection electrode portion 331 overlaps the outer surface on the distal end side of the detection lead portion 332.

このうち、検出電極部331は、20μmの厚みを有し、Auを主成分とし、さらにZrOを10wt%含む材料で形成されている。また、検出リード部332は、15μmの厚みを有し、Ptを主成分とし、ZrOを5wt%、Auを5wt%含む材料で形成されている。なお、ZrOにはイットリア(Y)等を添加した部分安定化ジルコニアとしても良い。 Among these, the detection electrode portion 331 has a thickness of 20 μm, and is formed of a material containing Au as a main component and 10 wt% of ZrO 2 . The detection lead portion 332 has a thickness of 15 μm and is made of a material containing Pt as a main component, 5 wt% ZrO 2, and 5 wt% Au. ZrO 2 may be partially stabilized zirconia to which yttria (Y) or the like is added.

選択反応層340は、30μmの厚みを有し、酸化バナジウム(V)及び酸化ビスマス(Bi)を主成分とする金属酸化物(例えば、酸化ビスマスバナジウム(BiVO))から形成されている。なお、この金属酸化物における酸化バナジウム(V)及び酸化ビスマス(Bi)の混合比率は、45:55である。また、この選択反応層340は、検出電極部331を外部に露出させないように、検出電極部331の外面全体を覆って形成されている(図2及び図3参照)。さらに、選択反応層340の表面上には、この選択反応層340を露出させないようにAlからなる保護層360が形成されている。 The selective reaction layer 340 has a thickness of 30 μm and is made of a metal oxide (for example, bismuth vanadium oxide (BiVO 4 )) containing vanadium oxide (V 2 O 5 ) and bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) as main components. Is formed. Note that the mixing ratio of vanadium oxide (V 2 O 5 ) and bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) in this metal oxide is 45:55. The selective reaction layer 340 is formed so as to cover the entire outer surface of the detection electrode portion 331 so that the detection electrode portion 331 is not exposed to the outside (see FIGS. 2 and 3). Further, a protective layer 360 made of Al 2 O 3 is formed on the surface of the selective reaction layer 340 so as not to expose the selective reaction layer 340.

このようなアンモニアガスセンサ1は、選択反応層340が被測定ガス中の可燃性ガスを良好に燃焼させて除去し、可燃性ガスが固体電解質体310に到達することを抑制できる。そして、検出電極部331が、アンモニアガスに基づき集電作用を発揮して、アンモニアガスの濃度に応じて基準電極層320と検出電極部331との間に起電力を良好に発生することができる。その結果、アンモニアガスに対するガス選択性や応答性に優れるアンモニアガスセンサ1とすることができる。特に、選択反応層340と検出電極部331とを2層に分けて設けているので、ガス選択性や応答性に特に優れる。   Such an ammonia gas sensor 1 can suppress the combustible gas from reaching the solid electrolyte body 310 by allowing the selective reaction layer 340 to burn and remove the combustible gas in the gas to be measured well. And the detection electrode part 331 can exhibit current collection action based on ammonia gas, and can generate | occur | produce the electromotive force favorably between the reference electrode layer 320 and the detection electrode part 331 according to the density | concentration of ammonia gas. . As a result, the ammonia gas sensor 1 having excellent gas selectivity and responsiveness to ammonia gas can be obtained. In particular, since the selective reaction layer 340 and the detection electrode portion 331 are provided in two layers, the gas selectivity and responsiveness are particularly excellent.

また、検出電極部331は、固体電解質層310と選択反応層340との間に設けられるので、被測定ガスがまず選択反応層340に晒されることで、被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを十分に燃焼させた上で、アンモニアガスを固体電解質層310に到達させることができる。   In addition, since the detection electrode unit 331 is provided between the solid electrolyte layer 310 and the selective reaction layer 340, the gas to be measured is first exposed to the selective reaction layer 340, so that the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured is combusted. The ammonia gas can reach the solid electrolyte layer 310 after the property gas is sufficiently burned.

また、検出電極部331が固体電解質体310上に直接設けられていることで、検出電極部331が、アンモニアガスに基づき良好な集電作用をより発揮することができる。その結果、アンモニアガスの濃度に応じて検出電極331と基準電極部320との間に、起電力をより良好に発生させることができる。   Moreover, since the detection electrode part 331 is directly provided on the solid electrolyte body 310, the detection electrode part 331 can exhibit a more favorable current collecting action based on ammonia gas. As a result, an electromotive force can be generated more favorably between the detection electrode 331 and the reference electrode unit 320 according to the ammonia gas concentration.

また、選択反応層340は、検出電極部331が露出しないように検出電極部331を覆うことで、被測定ガスが固体電解質体310に到達するためには確実に選択反応層340を通過することとなり、被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを選択反応層340でほぼ燃焼させた上で、アンモニアガスを、固体電解質層310に到達させることができる。   In addition, the selective reaction layer 340 covers the detection electrode unit 331 so that the detection electrode unit 331 is not exposed, so that the gas to be measured passes through the selective reaction layer 340 without fail in order to reach the solid electrolyte body 310. Thus, the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured is almost burned in the selective reaction layer 340, and then the ammonia gas can reach the solid electrolyte layer 310.

また、検出電極部331は、検出リード部332上に重なることで、検出電極部331と検出リード部332とを電気的に確実に接続でき、外部回路に基準電極部と検出電極部に発生する起電力を確実に送信できる。   In addition, the detection electrode portion 331 overlaps the detection lead portion 332, so that the detection electrode portion 331 and the detection lead portion 332 can be electrically connected reliably, and is generated in the reference electrode portion and the detection electrode portion in an external circuit. The electromotive force can be transmitted reliably.

また、検出電極部331は、金(Au)を主成分とする材料で形成されているため、検出電極部331が、アンモニアガスに基づき良好な集電能力を発揮できる。さらに、検出リード部332は、白金(Pt)を主成分とする材料で形成されているため、検出電極部331と基準電極部320との間に発生する起電力を確実に外部回路に送信できる。そして、この検出リード部332には、検出電極部331よりも少ない含有量の金が含有されているため、白金の触媒性を低下させて、検知リード部332と基準電極部320との間で電位差が発生することを抑制しつつ、固体電解質体310や検知電極部331との密着強度を高めることができる。   Moreover, since the detection electrode part 331 is formed with the material which has gold (Au) as a main component, the detection electrode part 331 can exhibit a favorable current collection capability based on ammonia gas. Furthermore, since the detection lead part 332 is made of a material mainly composed of platinum (Pt), the electromotive force generated between the detection electrode part 331 and the reference electrode part 320 can be reliably transmitted to an external circuit. . Since the detection lead portion 332 contains gold having a smaller content than the detection electrode portion 331, the catalytic property of platinum is reduced, and the detection lead portion 332 and the reference electrode portion 320 are reduced. The adhesion strength with the solid electrolyte body 310 and the detection electrode portion 331 can be increased while suppressing the occurrence of a potential difference.

また、検出電極部331および検出リード部332には、それぞれジルコニア(ZrO)が含有されており、検出リード部331は、検出電極部332よりもジルコニアの含有量が少なくされている。これにより、検出リード部331は、固体電解質体310との密着性および通電効果を高めることができる。 Further, each of the detection electrode portion 331 and the detection lead portion 332 contains zirconia (ZrO 2 ), and the detection lead portion 331 has a lower zirconia content than the detection electrode portion 332. Thereby, the detection lead part 331 can improve adhesiveness with the solid electrolyte body 310 and an energization effect.

また、選択反応層340は、混合比率45:55でもって混合されている酸化バナジウム(V)及び酸化ビスマス(Bi)を主成分とする金属酸化物により形成されている。このため、アンモニアガスセンサとしての熱的な経時的安定性、応答性、さらにはアンモニアガスに対するガス選択性を良好に確保できる。 The selective reaction layer 340 is formed of a metal oxide mainly composed of vanadium oxide (V 2 O 5 ) and bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) mixed at a mixing ratio of 45:55. For this reason, thermal temporal stability and responsiveness as an ammonia gas sensor, and gas selectivity with respect to ammonia gas can be ensured satisfactorily.

また、選択反応層340の厚みが検出電極部331の厚みよりも厚いので、選択反応層340が、アンモニアガス以外の可燃性ガスからアンモニアガスを良好に選択することで、アンモニアガス以外の可燃性ガスの固体電解質層310への到達を良好に抑制できる。そのうえ、検出電極部331の厚みが30(μm)未満であるので、検出電極部331が耐熱衝撃特性及び集電特性を共に良好に発揮しつつ、アンモニアガスセンサとしてのアンモニアのガス成分に対する応答性を良好に確保できる。   In addition, since the thickness of the selective reaction layer 340 is thicker than the thickness of the detection electrode portion 331, the selective reaction layer 340 appropriately selects the ammonia gas from the flammable gas other than the ammonia gas, so that the flammability other than the ammonia gas is obtained. The arrival of the gas at the solid electrolyte layer 310 can be satisfactorily suppressed. In addition, since the thickness of the detection electrode portion 331 is less than 30 (μm), the detection electrode portion 331 exhibits both the thermal shock characteristics and the current collection characteristics well, and has a responsiveness to the gas component of ammonia as an ammonia gas sensor. It can be secured well.

さらに、選択反応層340が露出しないように選択反応層340を覆う保護層360が設けられていることで、被測定ガス中の不純物の影響を受けることなく、選択反応層340が、被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを良好に燃焼させて、可燃性ガスの固体電解質体310への到達を良好に抑制できる。   Furthermore, since the protective layer 360 that covers the selective reaction layer 340 is provided so that the selective reaction layer 340 is not exposed, the selective reaction layer 340 can be measured without being affected by impurities in the measured gas. Combustible gas other than the ammonia gas therein can be combusted satisfactorily, and the arrival of the combustible gas to the solid electrolyte body 310 can be satisfactorily suppressed.

次に、実施形態1のアンモニアガスセンサ1の製造方法について説明する。   Next, the manufacturing method of the ammonia gas sensor 1 of Embodiment 1 is demonstrated.

1.固体電解質層310の作製工程
部分安定化ジルコニアの粉末を準備して有底円筒状のゴム型(図示しない)内に充填する。ここで、部分安定化ジルコニアは、ジルコニア(ZrO)に安定化剤である酸化イットリウム(Y)を4.5(モル%)添加してなるものである。そして、部分安定化ジルコニアの粉末を、ゴム型内にて有底筒状に加圧成形し、その後焼成温度1490(℃)にて焼成する。これにより、有底筒状の固体電解質層310が作製される。
1. Production Step of Solid Electrolyte Layer 310 A partially stabilized zirconia powder is prepared and filled into a bottomed cylindrical rubber mold (not shown). Here, the partially stabilized zirconia is obtained by adding 4.5 (mol%) of yttrium oxide (Y 2 O 3 ) as a stabilizer to zirconia (ZrO 2 ). Then, the partially stabilized zirconia powder is pressure-molded into a bottomed cylindrical shape in a rubber mold and then fired at a firing temperature of 1490 (° C.). Thereby, the bottomed cylindrical solid electrolyte layer 310 is produced.

2.基準電極層320の作製工程
次に、固体電解質体310の内面に白金(Pt)を、無電解メッキにて施し、その後焼成する。これにより、基準電極層320が固体電解質層310の内周面に作製される。
2. Step of Producing Reference Electrode Layer 320 Next, platinum (Pt) is applied to the inner surface of the solid electrolyte body 310 by electroless plating, and then fired. Thereby, the reference electrode layer 320 is formed on the inner peripheral surface of the solid electrolyte layer 310.

3.検出リード部332及び検出電極部331の作製工程
次に、白金(Pt)、ジルコニア(ZrO)、有機溶剤および分散剤を分散混合する。次にバインダーおよび粘度調整剤を所定量ずつさらに添加して湿式混合を施し、検出リード部用ペーストを作製する。また、金(Au)、ジルコニア(ZrO2)、有機溶剤及び分散剤を分散混合する。次に、バインダー及び粘度調整材を、所定量ずつさらに添加して湿式混合を施し、検出電極部用ペーストを作製する。
3. Production Step of Detection Lead Portion 332 and Detection Electrode Portion 331 Next, platinum (Pt), zirconia (ZrO 2 ), an organic solvent, and a dispersant are dispersed and mixed. Next, a predetermined amount of a binder and a viscosity modifier are further added and wet-mixed to produce a detection lead portion paste. Also, gold (Au), zirconia (ZrO2), an organic solvent and a dispersant are dispersed and mixed. Next, a binder and a viscosity adjusting material are further added in predetermined amounts and wet-mixed to produce a detection electrode part paste.

そして、検出電極部用ペ一スト及び検出リード部用ペーストを、上述のように作製した固体電解質体310の底面及び側面に印刷する。具体的には、検出リード部用ペーストを固体電解質体310の軸線方向に延びるように帯状に印刷し、印刷した検出リード部用ペーストの先端側に重なるようにして、検出電極部用ペーストを印刷する。その後、乾燥し、1000(℃)にて1時間の間焼成する。これにより、検出電極部331及び検出リード部332が、固体電解質層310の外面に作製される。   Then, the detection electrode part paste and the detection lead part paste are printed on the bottom and side surfaces of the solid electrolyte member 310 produced as described above. Specifically, the detection lead portion paste is printed in a strip shape so as to extend in the axial direction of the solid electrolyte body 310, and the detection electrode portion paste is printed so as to overlap the front end side of the printed detection lead portion paste. To do. Thereafter, it is dried and fired at 1000 (° C.) for 1 hour. Thereby, the detection electrode part 331 and the detection lead part 332 are produced on the outer surface of the solid electrolyte layer 310.

4.選択反応層340の作製工程
次に、酸化バナジウム(V)及び酸化ビスマス(Bi)からなる複合酸化物、有機溶剤及び分散剤を分散混合する。なお、酸化バナジウム及び酸化ビスマスを構成するバナジウム及びビスマスは、混合比率にて、45:55、即ち、45(at%)である。次に、バインダー及び粘度調整材を、それぞれ所定量ずつさらに添加して湿式混合を施し、選択反応層用ぺ一ストを作製する。
4). Next, a composite oxide composed of vanadium oxide (V 2 O 5 ) and bismuth oxide (Bi 2 O 3 ), an organic solvent, and a dispersant are dispersed and mixed. Note that vanadium and bismuth constituting vanadium oxide and bismuth oxide are 45:55, that is, 45 (at%) in a mixing ratio. Next, a predetermined amount of each of the binder and the viscosity modifier is further added and wet-mixed to prepare a paste for the selective reaction layer.

そして、この選択反応層用ぺ一ストを、検出電極部331を覆うように印刷して乾燥し、750(℃)にて10(分)の問焼成して、酸化ビスマスバナジウム(BiVO)からなる選択反応層340を作製する。なお、選択反応層340は、主として酸化ビスマスバナジウムから形成されていればよく、酸化バナジウムや酸化ビスマスを含んでいてもよい。 Then, the paste for the selective reaction layer is printed so as to cover the detection electrode portion 331, dried, fired at 750 (° C.) for 10 minutes, and bismuth vanadium oxide (BiVO 4 ). A selective reaction layer 340 is produced. Note that the selective reaction layer 340 may be formed mainly from bismuth oxide vanadium and may contain vanadium oxide or bismuth oxide.

5.保護層360の作製工程
次に、アルミナ(Al)、有機溶剤及び分散剤を分散混合する。そして、バインダー及び粘度調整材を、それぞれ所定量ずつさらに添加して湿式混合を施し、保護層用ペ一ストを作製する。
5. Step for Producing Protective Layer 360 Next, alumina (Al 2 O 3 ), an organic solvent, and a dispersant are dispersed and mixed. Then, a predetermined amount of each of the binder and the viscosity adjusting material is further added and wet-mixed to produce a protective layer paste.

そして、保護層用ぺ一ストを、選択反応層340を覆うように印刷して乾燥し、750(℃)にて10(分)の問焼成して、保護層360を作製する。   Then, the protective layer paste is printed so as to cover the selective reaction layer 340, dried, and baked at 750 (° C.) for 10 minutes to prepare the protective layer 360.

7.アンモニアガスセンサ1のその他の組み付け工程
上述のようにセンサ素子300を製作した後は、主体金具110内にセンサ素子300を保持する。次に、セパレータ400を、保持金具610を介して外筒120内に保持し、グロメット500、各ターミナル700及び各被覆導線710を外筒120内に組み付ける。これにより、アンモニアガスセンサ1の製造が終了する。
7). Other Assembling Process of Ammonia Gas Sensor 1 After the sensor element 300 is manufactured as described above, the sensor element 300 is held in the metal shell 110. Next, the separator 400 is held in the outer cylinder 120 via the holding metal fitting 610, and the grommet 500, each terminal 700, and each covered conductor 710 are assembled in the outer cylinder 120. Thereby, manufacture of ammonia gas sensor 1 is completed.

(実施形態2)
図4は、実施形態2のアンモニアガスセンサ2に取り付けられるセンサ素子400の先端側の拡大断面図を示し、図5はセンサ素子400の先端側の拡大斜視図を示している。この実施形態2では、実施形態1にて述べたセンサ素子300のうち、検出電極部331及び検出リード部332に代えて、検出電極部371及び検出リード部372が設けられている。なお、実施形態2のアンモニアガスセンサ2については、実施形態1と同様の説明については省略、又は簡略し、また、実施形態1と同様の部位については同符号を用いて説明する。
(Embodiment 2)
4 shows an enlarged cross-sectional view of the tip side of the sensor element 400 attached to the ammonia gas sensor 2 of Embodiment 2, and FIG. 5 shows an enlarged perspective view of the tip side of the sensor element 400. In the second embodiment, in the sensor element 300 described in the first embodiment, a detection electrode portion 371 and a detection lead portion 372 are provided instead of the detection electrode portion 331 and the detection lead portion 332. In addition, about the ammonia gas sensor 2 of Embodiment 2, the description similar to Embodiment 1 is abbreviate | omitted or simplified, and the site | part similar to Embodiment 1 is demonstrated using a same sign.

この実施形態2では、固体電解質体310の表面に検出電極部371及び検出リード部372が設けられている。検出電極部371は、固体電解質層310の底部を通り固体電解質層310の底部の後側に向かって対称的にかつ帯状に延びている。また、検出リード部372は、検出電極部371の後端側から固体電解質体310の軸線方向に延びている。なお、検出リード部372の先端側に検出電極部371が重なるように設けられている。その他の構成は上記実施形態1と同様である。   In the second embodiment, a detection electrode portion 371 and a detection lead portion 372 are provided on the surface of the solid electrolyte body 310. The detection electrode part 371 passes through the bottom of the solid electrolyte layer 310 and extends symmetrically and in a strip shape toward the rear side of the bottom of the solid electrolyte layer 310. Further, the detection lead part 372 extends in the axial direction of the solid electrolyte body 310 from the rear end side of the detection electrode part 371. The detection electrode portion 371 is provided so as to overlap the tip end side of the detection lead portion 372. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

このように検出電極部371が固体電解質体310の底部を通って個体電解質体310の後端側に対称的に且つ帯状に延びる構成においても、アンモニアガスに対するガス選択性や応答性に優れたアンモニアガスセンサ2を得ることができる。   As described above, even in a configuration in which the detection electrode portion 371 extends symmetrically and in a band shape to the rear end side of the solid electrolyte body 310 through the bottom of the solid electrolyte body 310, ammonia having excellent gas selectivity and responsiveness to ammonia gas. The gas sensor 2 can be obtained.

(実施形態3)
図6は、本発明の実施形態3のアンモニアガスセンサ3に取り付けられるセンサ素子500の先端側の拡大断面図を示している。この実施形態3では、実施形態1にて述べたセンサ素子300に、さらに検出電極部331と選択反応層340との間に多孔質層380を設けられている。なお、実施形態3のアンモニアガスセンサ3について、実施形態1と同様の説明については省略、又は簡略し、また、実施形態1と同様の部位については同符号を用いて説明する。
(Embodiment 3)
FIG. 6 shows an enlarged cross-sectional view of the front end side of the sensor element 500 attached to the ammonia gas sensor 3 according to Embodiment 3 of the present invention. In the third embodiment, the sensor element 300 described in the first embodiment is further provided with a porous layer 380 between the detection electrode portion 331 and the selective reaction layer 340. In addition, about the ammonia gas sensor 3 of Embodiment 3, the description similar to Embodiment 1 is abbreviate | omitted or simplified, and the site | part similar to Embodiment 1 is demonstrated using a same sign.

実施形態3では、検出電極部331及び検出リード部332の一部を覆うようにして、多孔質層380が設けられている。この多孔質層380は、検出電極層330の検出電極部331を外部に露出させないように、検出電極部331の外面全体を覆って形成されている。この多孔質層380は、アルミナ(Al)を主成分とする多孔質材料にて形成されている。 In the third embodiment, the porous layer 380 is provided so as to cover a part of the detection electrode portion 331 and the detection lead portion 332. The porous layer 380 is formed so as to cover the entire outer surface of the detection electrode portion 331 so that the detection electrode portion 331 of the detection electrode layer 330 is not exposed to the outside. This porous layer 380 is formed of a porous material mainly composed of alumina (Al 2 O 3 ).

さらに、選択反応層340は、図6にて示すごとく、多孔質層380を外部に露出させないように、多孔質層380の外面全体を覆って形成されている。その他の構成は、上記第1実施形態にて述べたアンモニアガスセンサと同様である。   Furthermore, as shown in FIG. 6, the selective reaction layer 340 is formed so as to cover the entire outer surface of the porous layer 380 so as not to expose the porous layer 380 to the outside. Other configurations are the same as those of the ammonia gas sensor described in the first embodiment.

このように、多孔質層380が、検出電極部331の外面全体を覆うように、検出電極部331と選択反応層340との間に設けられてので、検出電極部331と選択反応層340との間の絶縁が確保できる。従って、選択反応層340の経時変化に伴う検知電極部331への影響が未然に防止できる。   Thus, since the porous layer 380 is provided between the detection electrode part 331 and the selective reaction layer 340 so as to cover the entire outer surface of the detection electrode part 331, the detection electrode part 331 and the selective reaction layer 340 Insulation can be secured. Therefore, it is possible to prevent the detection electrode portion 331 from being affected by the change of the selective reaction layer 340 with time.

次に、実施形態3におけるアンモニアガスセンサの製造方法について実施形態1とは異なる工程についてのみ説明する。   Next, only the steps different from those in the first embodiment will be described for the method for manufacturing the ammonia gas sensor in the third embodiment.

まず、Al、有機溶剤及び分散剤を分散混合し、その後、バインダー及び粘度調整材を所定量ずつさらに添加して、湿式混合を施し、多孔質層用ぺ一ストを作製する。 First, Al 2 O 3 , an organic solvent, and a dispersing agent are dispersed and mixed, and then a binder and a viscosity adjusting material are further added in predetermined amounts, and wet mixing is performed to produce a porous layer paste.

そして、実施形態1の工程3にて検出電極部用ペーストが印刷された固体電解質体310に検出電極部用ぺ一ストを覆うようにして、多孔質層用ぺ一ストを印刷して乾燥する。   Then, the porous electrode paste is printed and dried so as to cover the detection electrode portion paste on the solid electrolyte body 310 on which the detection electrode portion paste is printed in step 3 of the first embodiment. .

その後、検出電極部材用ぺ一スト及び多孔質層用ぺ一ストを印刷乾燥してなる固体電解質層310を、1000(℃)の焼成温度にて1時間の間焼成する。これにより、検出電極層330及び多孔質層380が形成される。なお、多孔質層380が、検出電極層330を外部に露出させないように検出電極層330を覆って形成される。   Thereafter, the solid electrolyte layer 310 obtained by printing and drying the detection electrode member paste and the porous layer paste is fired at a firing temperature of 1000 (° C.) for 1 hour. Thereby, the detection electrode layer 330 and the porous layer 380 are formed. The porous layer 380 is formed so as to cover the detection electrode layer 330 so that the detection electrode layer 330 is not exposed to the outside.

そして、実施形態1にて述べた選択反応層用ぺ一ストを、多孔質層380を覆うように固体電解質層310の底面及び側面に印刷して乾燥し、750(℃)の焼成温度にて、10(分)の間焼成する。これにより、選択反応層340が多孔質層380を外部に露出させないように多孔質層380を覆って形成される。その他の製造工程は実施形態1と同様である。   Then, the paste for the selective reaction layer described in the first embodiment is printed on the bottom surface and the side surface of the solid electrolyte layer 310 so as to cover the porous layer 380 and dried, and the firing temperature is 750 (° C.). Bake for 10 minutes. Accordingly, the selective reaction layer 340 is formed so as to cover the porous layer 380 so as not to expose the porous layer 380 to the outside. Other manufacturing steps are the same as those in the first embodiment.

(実施形態4)
図7〜図9は、本発明に係る実施形態4のアンモニアガスセンサ4のセンサ素子900示している。なお、この実施形態4のアンモニアガスセンサ4は、実施形態1のガスセンサ素子300の代わりに板型のセンサ素子900を組み付けて構成されており、その他の部位は実施形態1と同様の構成である。なお、実施形態4のアンモニアガスセンサ4について、実施形態1と同様の説明については省略、又は簡略し、また、実施形態1と同様の部位については同符号を用いて説明する。
(Embodiment 4)
7 to 9 show a sensor element 900 of the ammonia gas sensor 4 according to Embodiment 4 of the present invention. The ammonia gas sensor 4 of the fourth embodiment is configured by assembling a plate-type sensor element 900 instead of the gas sensor element 300 of the first embodiment, and the other parts are the same as those of the first embodiment. In addition, about the ammonia gas sensor 4 of Embodiment 4, the description similar to Embodiment 1 is abbreviate | omitted or simplified, and the site | part similar to Embodiment 1 is demonstrated using a same sign.

板型のセンサ素子900は、主体金具110内に同軸的に保持されている。このセンサ素子900は、実施形態1の固体電解質体310と同材料の固体電解質体940を備えている。   The plate-type sensor element 900 is coaxially held in the metal shell 110. The sensor element 900 includes a solid electrolyte body 940 made of the same material as the solid electrolyte body 310 of the first embodiment.

さらに、固体電解質体940の裏面には、絶縁膜933を介して基準電極部931及び基準リード部932を有している。このうち、基準電極部931は、絶縁膜933の先端側に形成された開口部934に対応する位置に配置され、固体電解質体940の先端部に密着している。一方、基準リード部932は、絶縁膜933の裏面上の先端側から後端側に向かって形成されている。そして、基準リード部932は、絶縁膜933のスルーホール935、固体電解質体940のスルーホール941を介して電極パッド961に導通している。なお、基準電極部931は、Ptを主成分とし、5.4mol%イットリアを含有する部分安定化ジルコニアを12wt%含有した材料からなる。他方、基準リード部932は、Ptを主成分とし、アルミナを5wt%含有した材料からなる。   Further, a reference electrode portion 931 and a reference lead portion 932 are provided on the back surface of the solid electrolyte body 940 with an insulating film 933 interposed therebetween. Among these, the reference electrode portion 931 is disposed at a position corresponding to the opening 934 formed on the distal end side of the insulating film 933, and is in close contact with the distal end portion of the solid electrolyte body 940. On the other hand, the reference lead portion 932 is formed from the front end side on the back surface of the insulating film 933 toward the rear end side. The reference lead portion 932 is electrically connected to the electrode pad 961 through the through hole 935 of the insulating film 933 and the through hole 941 of the solid electrolyte body 940. The reference electrode portion 931 is made of a material containing 12 wt% of partially stabilized zirconia containing Pt as a main component and containing 5.4 mol% yttria. On the other hand, the reference lead portion 932 is made of a material containing Pt as a main component and 5 wt% alumina.

さらに、基準電極部931の裏面上には、保護層925が形成されている。さらに、基準リード部932及び保護層925を挟むようにして、絶縁膜933の裏面上には、絶縁層922が形成されている。さらに、絶縁層922の裏面上には、ヒータ920、絶縁層915、温度センサ910及び絶縁層905がこの順で積層している。   Further, a protective layer 925 is formed on the back surface of the reference electrode portion 931. Further, an insulating layer 922 is formed on the back surface of the insulating film 933 so as to sandwich the reference lead portion 932 and the protective layer 925. Further, a heater 920, an insulating layer 915, a temperature sensor 910, and an insulating layer 905 are stacked in this order on the back surface of the insulating layer 922.

他方、固体電解質体940の表面には、白金(Pt)を主成分とし、4mol%イットリアを含有する部分安定化ジルコニアを5wt%含有された材料からなる検出リード部960及び電極パッド961が形成されている。この検出リード部960及び電極パッド961は、固体電解質体940の表面を先端側から後端側に向かって延びている。   On the other hand, a detection lead portion 960 and an electrode pad 961 made of a material containing platinum (Pt) as a main component and 5 wt% of partially stabilized zirconia containing 4 mol% yttria are formed on the surface of the solid electrolyte body 940. ing. The detection lead portion 960 and the electrode pad 961 extend on the surface of the solid electrolyte body 940 from the front end side toward the rear end side.

そして検出リード部960の先端部962に重なるように、検出電極部980が形成されている。検出電極部980は、金(Au)を主成分とし、4mol%イットリアを含有する部分安定化ジルコニアを10wt%含有した材料にて形成され、固体電解質体940の表面に密着されている。さらに、検出電極部980の表面には、実施形態1で述べた選択反応層360と同様の材料からなる選択反応層990が設けられている。さらに、選択反応層990の表面上には、この選択反応層990を露出させないようにAlを主成分とする保護層995が形成されている。 A detection electrode portion 980 is formed so as to overlap the distal end portion 962 of the detection lead portion 960. The detection electrode portion 980 is formed of a material containing gold (Au) as a main component and 10 wt% of partially stabilized zirconia containing 4 mol% yttria, and is in close contact with the surface of the solid electrolyte body 940. Further, a selective reaction layer 990 made of the same material as the selective reaction layer 360 described in Embodiment 1 is provided on the surface of the detection electrode unit 980. Further, a protective layer 995 containing Al 2 O 3 as a main component is formed on the surface of the selective reaction layer 990 so as not to expose the selective reaction layer 990.

このように配設したアンモニアガスセンサ4において、選択反応層990が被測定ガス中の可燃性ガスを良好に燃焼させて除去し、可燃性ガスの固体電解質体940への到達を抑制できる。そして、検出電極部980が、アンモニアガスに基づき集電作用を発揮して、アンモニアガスの濃度に応じて基準電極部932と検出電極部980との間に起電力を発生する。その結果、アンモニアガスに対するガス選択性や応答性に優れる。   In the ammonia gas sensor 4 arranged in this way, the selective reaction layer 990 can combust and remove the combustible gas in the gas to be measured well, and the arrival of the combustible gas to the solid electrolyte body 940 can be suppressed. Then, the detection electrode unit 980 exhibits a current collecting action based on the ammonia gas, and generates an electromotive force between the reference electrode unit 932 and the detection electrode unit 980 according to the concentration of the ammonia gas. As a result, gas selectivity and responsiveness to ammonia gas are excellent.

また、検出電極部980のジルコニア(ZrO)の含有量は、基準電極部931のジルコニアの含有量よりも少ない。これにより、検出電極部980は、固体電解質体940との密着性を維持しつつ、アンモニアガスに基づく良好な応答性を得ることができる。また、検出リード部960のジルコニア(ZrO)の含有量は、検出電極部980の含有量よりも少ない。これにより、検出リード部960と固体電解質体940との密着性を維持しつつ、通電効果を高めることができる。 Further, the content of zirconia (ZrO 2 ) in the detection electrode unit 980 is smaller than the content of zirconia in the reference electrode unit 931. As a result, the detection electrode unit 980 can obtain good responsiveness based on ammonia gas while maintaining adhesion to the solid electrolyte body 940. Further, the content of zirconia (ZrO 2 ) in the detection lead portion 960 is less than the content of the detection electrode portion 980. Thereby, the electricity supply effect can be enhanced while maintaining the adhesion between the detection lead portion 960 and the solid electrolyte body 940.

(試験例1)
試験例1として、実施形態1のアンモニアガスセンサ1の感度を評価してみた。この評価にあたり、実施形態1のアンモニアガスセンサ1を実施例1とした。また、実施例1との比較対象として、比較例(以下、比較例1という)をも準備した。
(Test Example 1)
As Test Example 1, the sensitivity of the ammonia gas sensor 1 of Embodiment 1 was evaluated. In this evaluation, the ammonia gas sensor 1 of the first embodiment is referred to as Example 1. In addition, a comparative example (hereinafter referred to as comparative example 1) was also prepared as an object to be compared with Example 1.

具体的には、比較例1は、検出電極部331を設けず、酸化ビスマスバナジウム(BiVO)のみでもって、固体電解質層310に作製されている。 Specifically, in Comparative Example 1, the detection electrode portion 331 is not provided, and the solid electrolyte layer 310 is manufactured using only bismuth vanadium oxide (BiVO 4 ).

上述の評価にあたり、評価装置として、モデルガス発生装置を採用した。このモデルガス発生装置に発生する評価用ガスは次の通りである。
10(%)の酸素(O)、5(%)の二酸化炭素(CO)、5(%)の水(HO)、窒素(N)をベースガスとする。このべ一スガスに対し、アンモニアガス(NH)、プロピレンガス(C)、一酸化炭素ガス(CO)及び一酸化窒素ガス(NO)をそれぞれ100(ppm)添加したものを評価用ガスとした。なお、評価用ガスの温度はそれぞれ280(℃)とする。
In the above evaluation, a model gas generator was adopted as an evaluation device. The gas for evaluation generated in this model gas generator is as follows.
10 (%) oxygen (O 2 ), 5 (%) carbon dioxide (CO 2 ), 5 (%) water (H 2 O), and nitrogen (N 2 ) are used as base gases. For this base gas, ammonia gas (NH 3 ), propylene gas (C 3 H 6 ), carbon monoxide gas (CO) and nitrogen monoxide gas (NO) were added 100 ppm each for evaluation. Gas was used. The temperature of the evaluation gas is 280 (° C.).

上述の実施例1及び比較例1を、上記モデルガス発生装置内に配置し、評価用ガスを流した。そして、上記実施例1及び比較例1において、それぞれ、基準電極層320と検出電極部331との間に生ずる電位差を測定する。なお、実施例1及び比較例1の各制御温度は、ヒ−タ350による加熱のもと、650(℃)に維持する。   Example 1 and Comparative Example 1 described above were placed in the model gas generator, and an evaluation gas was allowed to flow. In Example 1 and Comparative Example 1, the potential difference generated between the reference electrode layer 320 and the detection electrode unit 331 is measured. In addition, each control temperature of Example 1 and Comparative Example 1 is maintained at 650 (° C.) under heating by the heater 350.

そして、実施例1及び比較例1の各ガス感度(mV)を、評価用ガスの各ガス成分との関係において測定してみた。なお、ガス感度は、評価用ガスの起電力からベースガスのときの起電力を減算して得られる。結果を図10に示す。なお、図10において、棒グラフ1〜1−3は、実施例1のアンモニア(NH)、プロピレン(C)、一酸化炭素(CO)及び一酸化窒素(NO)の各ガス成分に対するガス感度を示す。また、棒グラフ2〜2−3は、比較例1のアンモニア、プロピレン、一酸化炭素及び一酸化窒素の各ガス成分に対するガス感度を示す。 And each gas sensitivity (mV) of Example 1 and Comparative Example 1 was measured in relation to each gas component of the gas for evaluation. The gas sensitivity is obtained by subtracting the electromotive force of the base gas from the electromotive force of the evaluation gas. The results are shown in FIG. In FIG. 10, bar graphs 1 to 1 correspond to the gas components of ammonia (NH 3 ), propylene (C 3 H 6 ), carbon monoxide (CO), and nitrogen monoxide (NO) in Example 1. Indicates gas sensitivity. Moreover, the bar graphs 2 to 2-3 show the gas sensitivities for the ammonia, propylene, carbon monoxide, and nitrogen monoxide gas components of Comparative Example 1.

実施例1及び比較例1のアンモニアガスに対するガス感度は、いずれも高い値となるが、比較例1のプロピレンガス、一酸化炭素ガス及び一酸化窒素ガスに対するガス感度は、実施例1よりも高くなった。つまり、実施例1は、比較例1に比べてアンモニアガスに対するガス選択性が高いことが言える。   Although the gas sensitivity with respect to ammonia gas of Example 1 and Comparative Example 1 is high, the gas sensitivity with respect to propylene gas, carbon monoxide gas, and nitrogen monoxide gas of Comparative Example 1 is higher than that of Example 1. became. That is, it can be said that Example 1 has higher gas selectivity with respect to ammonia gas than Comparative Example 1.

(試験例2)
次に、実施例1と比較例1との応答性について評価してみた。具体的には、実施例1と同様のモデルガス発生装置を用い、実施例1及び比較例1を配置した。そして、スタートから200(秒)の経過までは、実施例1のベ−スガスを流し、200(秒)から400(秒)の経過までは、アンモニアガスを100(ppm)添加した評価用ガスを流した。結果を図11に示す。なお、図11は、実施例1及び比較例1の起電力の時間に対する変化、即ち、応答性を示す。図11において、グラフ3は、実施例1の応答性を示し、グラフ4は、比較例1の応答性を示す。
(Test Example 2)
Next, the responsiveness between Example 1 and Comparative Example 1 was evaluated. Specifically, Example 1 and Comparative Example 1 were arranged using the same model gas generator as in Example 1. The base gas of Example 1 was allowed to flow from the start until 200 (seconds), and from 200 (seconds) to 400 (seconds), the evaluation gas added with 100 (ppm) ammonia gas was added. Washed away. The results are shown in FIG. In addition, FIG. 11 shows the change with respect to time of the electromotive force of Example 1 and Comparative Example 1, that is, responsiveness. In FIG. 11, graph 3 shows the responsiveness of Example 1, and graph 4 shows the responsiveness of Comparative Example 1.

図11に示すように、評価用ガスの添加時及びこの添加終了時における各応答性は、比較例1に比べて、実施例1の方が良好であることが言える。   As shown in FIG. 11, it can be said that Example 1 has better responsiveness at the time of addition of the evaluation gas and at the end of the addition than that of Comparative Example 1.

(試験例3)
次に、バナジウムの混合比率に対するガス感度について評価した。実施例2〜5では、酸化バナジウム及び酸化ビスマスを構成するバナジウム及びビスマスの混合比率が、実施例1と異なって作製されており、それ以外については、実施例1と同様に作製されている。具体的には、バナジウムは、実施例2、実施例3から順に実施例8にかけてそれぞれ、5(at%)、20(at%)、25(at%)、35(at%)、50(at%)、55(at%)、95(at%)となっている。
(Test Example 3)
Next, the gas sensitivity with respect to the mixing ratio of vanadium was evaluated. In Examples 2 to 5, the mixing ratio of vanadium and bismuth constituting vanadium oxide and bismuth oxide is made different from that in Example 1, and the others are made in the same manner as in Example 1. Specifically, vanadium is used in order from Example 2 and Example 3 to Example 8 in the order of 5 (at%), 20 (at%), 25 (at%), 35 (at%), and 50 (at %), 55 (at%), and 95 (at%).

評価方法としては、実施例1と同様のモデルガス発生装置に実施例2〜8のアンモニアガスセンサ1を配置し、実施例1のベ−スガスにアンモニアガス(NH)、を100(ppm)を添加した評価用ガスを流した。結果を図12に示す。なお、図12は、実施例1も併記している。 As an evaluation method, the ammonia gas sensor 1 of Examples 2 to 8 is disposed in the same model gas generator as that of Example 1, and ammonia gas (NH 3 ) is changed to 100 (ppm) as the base gas of Example 1. The added evaluation gas was allowed to flow. The results are shown in FIG. Note that FIG. 12 also shows Example 1.

実施例1〜5では、バナジウムの混合比率が25(at%)〜50(at%)の実施例1、実施例4〜6はアンモニアガスに対するガス感度が高いことが分かる。at%つまり、選択反応層におけるバナジウムの混合比率が、25(at%)〜50(at%)の範囲内にあれば、アンモニアガスに対するガス感度がより良好に確保される。   In Examples 1-5, it turns out that the gas sensitivity with respect to ammonia gas is high in Example 1 and Examples 4-6 whose mixing ratio of vanadium is 25 (at%)-50 (at%). At%, that is, if the mixing ratio of vanadium in the selective reaction layer is in the range of 25 (at%) to 50 (at%), the gas sensitivity to ammonia gas is better secured.

(試験例4)
次に、選択反応層340に添加される添加物に対するガス感度について評価した。実施例9は、選択反応層340を形成する金属酸化物に、さらに5(at%)のタングステンが含有され、実施例8は、さらに5(at%)のニオブが含有され、実施例9は、さらに2.5(at%)のマグネシウムが含有されている。なお、実施例9〜11は、上述の点以外は、実施例1と同様に作製されている。
(Test Example 4)
Next, the gas sensitivity with respect to the additive added to the selective reaction layer 340 was evaluated. In Example 9, the metal oxide forming the selective reaction layer 340 further contains 5 (at%) of tungsten, Example 8 further contains 5 (at%) of niobium, and Example 9 Further, 2.5 (at%) magnesium is contained. In addition, Examples 9-11 are produced similarly to Example 1 except the above-mentioned point.

評価方法としては、実施例1と同様のモデルガス発生装置に実施例9〜11のアンモニアガスセンサ1を配置し、実施例1のベ−スガスにアンモニアガス(NH)、プロピレンガス(C)、一酸化炭素ガス(CO)及び一酸化窒素ガス(NO)を100(ppm)添加した評価用ガスを流した。結果を図13に示す。なお、図13は、実施例1も併記している。 As an evaluation method, the ammonia gas sensor 1 of Examples 9 to 11 is arranged in the same model gas generator as that of Example 1, and ammonia gas (NH 3 ) and propylene gas (C 3 H) are used as the base gas of Example 1. 6 ) An evaluation gas to which 100 (ppm) of carbon monoxide gas (CO) and nitrogen monoxide gas (NO) was added was allowed to flow. The results are shown in FIG. Note that FIG. 13 also shows Example 1.

図13において、棒グラフ6〜6−3は、実施例9のアンモニア、プロピレン、一酸化炭素及び一酸化窒素の各ガスに対するガス感度を示す。棒グラフ6−4〜6−7は、実施例10のアンモニア、プロピレン、一酸化炭素及び一酸化窒素の各ガスに対するガス感度を示す。棒グラフ6−8〜6−11は、実施例11のアンモニア、プロピレン、一酸化炭素及び一酸化窒素の各ガスに対するガス感度を示す。   In FIG. 13, bar graphs 6 to 6-3 indicate gas sensitivities for the ammonia, propylene, carbon monoxide, and nitrogen monoxide gases of Example 9. Bar graphs 6-4 to 6-7 show the gas sensitivities for the ammonia, propylene, carbon monoxide, and nitrogen monoxide gases of Example 10. Bar graphs 6-8 to 6-11 show the gas sensitivities for the ammonia, propylene, carbon monoxide, and nitrogen monoxide gases of Example 11.

実施例1、9〜11のいずれのアンモニアガスセンサ1においても、アンモニアガスに対するガス感度は高く、プロピレン、一酸化炭素及び一酸化窒素の各ガスに対するガス感度は、実施例1と同様に低いことが分かる。よって、実施例9〜11のように、金属酸化物に添加物を選択反応層340に含有していても、実施例1と同様にガス選択性が良好であることが言える。   In any of the ammonia gas sensors 1 of Examples 1 and 9 to 11, the gas sensitivity to ammonia gas is high, and the gas sensitivity to each gas of propylene, carbon monoxide, and nitrogen monoxide is low as in Example 1. I understand. Therefore, it can be said that the gas selectivity is good as in Example 1 even if the selective reaction layer 340 contains an additive in the metal oxide as in Examples 9-11.

(試験例5)
次に、検知電極部331の厚みに対するガス感度について評価した。実施例12は、検知電極部331の厚みが30μmであり、実施例13は、検知電極の厚みが60μmである。なお、実施例12、13は、上述の点以外は、実施例1と同様に作製されている。
(Test Example 5)
Next, the gas sensitivity with respect to the thickness of the detection electrode part 331 was evaluated. In Example 12, the thickness of the detection electrode portion 331 is 30 μm, and in Example 13, the thickness of the detection electrode is 60 μm. Examples 12 and 13 were produced in the same manner as Example 1 except for the points described above.

評価方法としては、実施例1と同様のモデルガス発生装置に実施例12、13を配置し、実施例1のベ−スガスにアンモニアガス(NH)を10(ppm)添加した評価用ガス、または100(ppm)添加した評価用ガスを流した。結果を図14に示す。なお、図14は、実施例1(厚み:20μm)も併記している。また、各実施例12及び13の選択反応層340の厚みは、実施例1と同様に、30(μm)である。 As an evaluation method, Examples 12 and 13 are arranged in a model gas generator similar to Example 1, and an evaluation gas in which 10 (ppm) of ammonia gas (NH 3 ) is added to the base gas of Example 1, Alternatively, an evaluation gas added with 100 (ppm) was allowed to flow. The results are shown in FIG. Note that FIG. 14 also shows Example 1 (thickness: 20 μm). Further, the thickness of the selective reaction layer 340 in each of Examples 12 and 13 is 30 (μm), as in Example 1.

図14において、棒グラフ1−4、7及び7−2は、実施例1、12及び13における10(ppm)のアンモニアガスに対するガス感度をそれぞれ示す。また、棒グラフ1、7−1及び7−3は、実施例1、12及び13における100(ppm)のアンモニアガスに対するガス感度をそれぞれ示す。   In FIG. 14, bar graphs 1-4, 7 and 7-2 show gas sensitivities to 10 ppm of ammonia gas in Examples 1, 12 and 13, respectively. Moreover, bar graph 1, 7-1 and 7-3 show the gas sensitivity with respect to 100 (ppm) ammonia gas in Examples 1, 12 and 13, respectively.

図14によれば、アンモニアガスが100(ppm)の場合には、実施例1、12、13共にアンモニアガスに対するガス感度が高いことが分かる。これに対し、アンモニアガスが10(ppm)の場合には、検出電極層331の厚みが厚いほど、アンモニアガスに対するガス感度が低下する。そして、アンモニアガスセンサとしてのアンモニアガスに対するガス感度を良好に確保するためには、選択反応層の厚みが30(μm)未満であることが好ましい。   According to FIG. 14, when ammonia gas is 100 (ppm), it turns out that Example 1, 12, 13 has high gas sensitivity with respect to ammonia gas. On the other hand, when the ammonia gas is 10 (ppm), the gas sensitivity to ammonia gas decreases as the thickness of the detection electrode layer 331 increases. And in order to ensure favorable gas sensitivity with respect to ammonia gas as an ammonia gas sensor, it is preferable that the thickness of the selective reaction layer is less than 30 (μm).

(試験例6)
次に、実施形態3のアンモニアガスセンサ3の特性を実機試験前と実機試験後のガス感度でもって評価してみた。この評価にあたり、実施形態3のアンモニアガスセンサ3を実施例14とした。また、この実施例14に加え、実施例15〜19、実施例1を準備した。実施例15の多孔質層の形成材料を、MgAlとし、実施例16の多孔質層の形成材料を、SiOとし、実施例17の多孔質層の形成材料を、SiO/Alとし、実施例18の多孔質層の形成材料を、ゼオライトとし実施例16の多孔質層の形成材料をSiCとした。なお、実施例15〜19は、多孔質層の形成材料を除き、実施例14と同様の構成を有する。
(Test Example 6)
Next, the characteristics of the ammonia gas sensor 3 of Embodiment 3 were evaluated with the gas sensitivity before and after the actual machine test. In this evaluation, the ammonia gas sensor 3 of the third embodiment was taken as Example 14. In addition to Example 14, Examples 15 to 19 and Example 1 were prepared. The porous layer forming material of Example 15 is MgAl 2 O 4 , the porous layer forming material of Example 16 is SiO 2, and the porous layer forming material of Example 17 is SiO 2 / Al. 2 O 3 was used, the porous layer forming material of Example 18 was zeolite, and the porous layer forming material of Example 16 was SiC. Examples 15 to 19 have the same configuration as that of Example 14 except for the material for forming the porous layer.

評価方法としては、実施例1と同様のモデルガス発生装置に実施例14〜19を配置し、実施例1のベ−スガスにアンモニアガス(NH)を100(ppm)添加した評価用ガスを流した。 As an evaluation method, Examples 14 to 19 are arranged in the same model gas generator as Example 1, and an evaluation gas obtained by adding 100 (ppm) of ammonia gas (NH 3 ) to the base gas of Example 1 is used. Washed away.

次に、実機試験にあたって、3.0Lディーゼルエンジンをエンジンベンチとし、各実施例1、11〜16をディーゼルエンジンの排気管に設けた酸化触媒装置(DOC)やDPF(Diesel
Particulate Filter)の後流に配置した。
Next, in an actual machine test, an oxidation catalyst device (DOC) or DPF (Diesel) in which a 3.0 L diesel engine was used as an engine bench and each of Examples 1, 11 to 16 was provided in an exhaust pipe of the diesel engine.
It was placed downstream of the Particulate Filter.

そして、実機試験方法としてエンジンのアイドリング:10(分)間、さらに3000(rpm):30(分)間を交互に行うサイクル試験でもって500時間の間行った。結果を図15に示す。   And as an actual machine test method, it was carried out for 500 hours by a cycle test in which engine idling: 10 (minutes) and 3000 (rpm): 30 (minutes) were alternately performed. The results are shown in FIG.

図15において棒グラフ10−1、10−3、10−5、10−7、10−9、10−11及び10−13は、実機試験前のモデルガス発生装置内に配置した各実施例1、14〜19のガス感度である。また、図15において各グラフ10−2、10−4、10−6、10−8、10−10、10−12及び10−14は、実機試験後のモデルガス発生装置内に配置した各実施例1、14〜19のガス感度である。   In FIG. 15, bar graphs 10-1, 10-3, 10-5, 10-7, 10-9, 10-11, and 10-13 are examples 1 arranged in the model gas generator before the actual machine test, Gas sensitivity of 14-19. Further, in FIG. 15, each graph 10-2, 10-4, 10-6, 10-8, 10-10, 10-12, and 10-14 is shown in each implementation arranged in the model gas generator after the actual machine test. It is the gas sensitivity of Examples 1 and 14-19.

図15に示されるように、実施例1のガス感度は、実機試験の前よりも当該実機試験の後において低下している。これに対し、実施例14〜19のガス感度は、それぞれ、殆ど変動していない。つまり、多孔質層380を設けることでアンモニアガスに対し高いガス選択性を有し、応答性に優れ、かつ、実機試験後においても長期安定性に優れた特性を有する。   As shown in FIG. 15, the gas sensitivity of Example 1 is lower after the actual machine test than before the actual machine test. On the other hand, the gas sensitivities of Examples 14 to 19 hardly change. That is, by providing the porous layer 380, it has high gas selectivity with respect to ammonia gas, excellent responsiveness, and excellent long-term stability even after an actual machine test.

なお、本発明の実施にあたり、上記実施形態に限ることなく、次のような種々の変形例が挙げられる。
(1)本発明の実施形態1〜4では固体電解質体310、940に検出電極部331、371、980を設け、さらに選択反応層340、990を設けたが、固体電解質層310に選択反応層340、990を設け、さらに、検出電極部331、371、980を設けても良い。
(3)本発明の実施形態1〜4の検出電極部331、371、980を形成する電極材料を金に代えて、白金(Pt)を主成分としてもよい。
(4)本発明の実施形態1〜4の選択反応材料を酸化ビスマスに代えて、酸化アンチモン(Sb)を用いてもよい。また、選択反応層320の触媒能の微調整や熱的安定性を向上させるために、WO、MoO、Nb、Ta、MgO、CaO、SrO、BaOのうちの少なくとも1種を5(at%)程度まで上記選択反応材料に添加してもよい。
(5)本発明の実施形態4では、基準電極部931と検出電極部980とを固体電解質体940を挟んで対向する形態としたが、基準電極部931と検出電極部980とを固体電解質体940の片方の面上に並べて配置しても良い。
(6)本発明の実施形態1〜4では、保護層360、995は保護層用ペーストを印刷にて形成したが、溶射を用いて保護層360、995を設けても良い。
(7)本発明の実施にあたり、当該アンモニアガスセンサは、内燃機関の排気ガス系統に限ることなく、排気ガスを発生する機関や装置等であれば、どのようなものに、本発明を適用してもよい。
In carrying out the present invention, the following various modifications are possible without being limited to the above embodiment.
(1) In Embodiments 1 to 4 of the present invention, the detection electrode portions 331, 371, and 980 are provided on the solid electrolyte bodies 310 and 940, and the selective reaction layers 340 and 990 are further provided. The selective reaction layer is provided on the solid electrolyte layer 310. 340 and 990 may be provided, and detection electrode portions 331, 371, and 980 may be further provided.
(3) The electrode material forming the detection electrode portions 331, 371, and 980 according to the first to fourth embodiments of the present invention may be made of platinum (Pt) as a main component instead of gold.
(4) Antimony oxide (Sb 2 O 3 ) may be used in place of the bismuth oxide as the selective reaction material in the first to fourth embodiments of the present invention. In addition, in order to finely adjust the catalytic ability of the selective reaction layer 320 and improve the thermal stability, at least one of WO 3 , MoO 3 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , MgO, CaO, SrO, and BaO. One kind may be added to the selective reaction material up to about 5 (at%).
(5) In Embodiment 4 of the present invention, the reference electrode portion 931 and the detection electrode portion 980 are opposed to each other with the solid electrolyte body 940 interposed therebetween, but the reference electrode portion 931 and the detection electrode portion 980 are made to face each other. It may be arranged side by side on one side of 940.
(6) In the first to fourth embodiments of the present invention, the protective layers 360 and 995 are formed by printing a protective layer paste, but the protective layers 360 and 995 may be provided by thermal spraying.
(7) In carrying out the present invention, the ammonia gas sensor is not limited to an exhaust gas system of an internal combustion engine, and the present invention is applied to any engine or device that generates exhaust gas. Also good.

310…固体電解質層、331、371…検出電極部、332、372…検出リード部、340…選択反応層、360…保護層、380…多孔質層 310 ... Solid electrolyte layer, 331, 371 ... Detection electrode part, 332, 372 ... Detection lead part, 340 ... Selective reaction layer, 360 ... Protective layer, 380 ... Porous layer

本発明に係るアンモニアガスセンサは、請求項1の記載によれば、軸線方向に延び、ジルコニアを主成分とする固体電解質体と、該固体電解質体上に設けられる基準電極部と、基準電極部と対極となり、固体電解質体上に設けられる検出電極部及び選択反応層とを備えるアンモニアガスセンサにおいて、検出電極部は、貴金属を主成分としており、選択反応層は、金属酸化物を主成分とし、前記選択反応層の厚みは、前記検出電極部の厚みよりも厚いことを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, an ammonia gas sensor extends in the axial direction and has a solid electrolyte body mainly composed of zirconia, a reference electrode section provided on the solid electrolyte body, and a reference electrode section. In the ammonia gas sensor having a detection electrode part and a selective reaction layer provided on the solid electrolyte body as a counter electrode, the detection electrode part has a precious metal as a main component, and the selective reaction layer has a metal oxide as a main component , The selective reaction layer has a thickness greater than that of the detection electrode portion .

なお、検出電極部及び選択反応層は、基準電極部と対極となるように固体電解質体の面上に形成されていればよく、検出電極部及び選択反応層と基準電極部とが固体電解質体を介して対向していてもよいし、検出電極部及び選択反応層と基準電極部とが固体電解質体の同面上に設けられていてもよい。さらに、検出電極部、選択反応層及び固体電解質体のそれぞれは、直接接していてもよいし、他部材を挟んでいてもよい。
また、選択反応層の厚みは検出電極層の厚みよりも厚い。これにより、選択反応層は、アンモニアガス以外の可燃性ガスからアンモニアガスを良好に選択することで、アンモニアガス以外の可燃性ガスの固体電解質層への到達を良好に抑制できる。
また、本発明は、請求項2の記載によれば、検出電極層は、30(μm)未満の厚みを有することを特徴とする。これにより、検出電極層が耐熱衝撃特性及び集電特性を共に良好に発揮しつつ、アンモニアガスに対する応答性を良好に確保できる。
The detection electrode part and the selective reaction layer may be formed on the surface of the solid electrolyte body so as to be a counter electrode with the reference electrode part, and the detection electrode part, the selection reaction layer, and the reference electrode part are the solid electrolyte body. The detection electrode part, the selective reaction layer, and the reference electrode part may be provided on the same surface of the solid electrolyte body. Furthermore, each of the detection electrode part, the selective reaction layer, and the solid electrolyte body may be in direct contact, or may have another member interposed therebetween.
Moreover, the thickness of the selective reaction layer is thicker than the thickness of the detection electrode layer. Thereby, the selective reaction layer can favorably suppress the arrival of the combustible gas other than the ammonia gas to the solid electrolyte layer by appropriately selecting the ammonia gas from the combustible gas other than the ammonia gas.
According to a second aspect of the present invention, the detection electrode layer has a thickness of less than 30 (μm). As a result, the detection electrode layer can satisfactorily ensure responsiveness to ammonia gas while exhibiting both the thermal shock characteristics and the current collection characteristics.

また、本発明によれば、検出電極部は、固体電解質体と選択反応層との間に設けられていてもよい。このような構成とすることで、被測定ガスがまず選択反応層に晒されることで、被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを十分に燃焼させた上で、アンモニアガスを、固体電解質体に到達させることができる。 Further, according to the present invention, the detection electrode unit may be provided between the solid electrolyte body and the selective reaction layer . With such a configuration, the gas to be measured is first exposed to the selective reaction layer, so that the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured is sufficiently burned, and then the ammonia gas is converted into the solid electrolyte. Can reach the body.

また、本発明によれば、検出電極部は、固体電解質体上に直接設けられていてもよい。このような構成とすることで、検出電極部が、アンモニアガスに基づき良好な集電作用をより発揮することができる。その結果、アンモニアガスの濃度に応じて検出電極部と基準電極部との間に、起電力をより良好に発生させることができる。 According to the present invention, the detection electrode part may be provided directly on the solid electrolyte body . By setting it as such a structure, a detection electrode part can exhibit a favorable current collection effect | action more based on ammonia gas. As a result, an electromotive force can be generated more favorably between the detection electrode portion and the reference electrode portion according to the ammonia gas concentration.

また、本発明によれば、選択反応層は、検出電極部が露出しないように検出電極部を覆っていてもよい。このように、検出電極部を完全に選択反応層で覆うことで、被測定ガスが固体電解質体に到達するためには選択反応層を確実に通過することとなる。すると、被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを選択反応層でほぼ燃焼させた上で、アンモニアガスを固体電解質体に到達させることができる。 Further, according to the present invention, the selective reaction layer, the detection electrode can have I covering the detection electrode so as not to be exposed. In this way, by completely covering the detection electrode portion with the selective reaction layer, the gas to be measured can surely pass through the selective reaction layer in order to reach the solid electrolyte body. Then, after combustible gas other than ammonia gas in the gas to be measured is almost burned in the selective reaction layer, the ammonia gas can reach the solid electrolyte body.

また、本発明によれば、検出電極部と外部回路とを電気的に接続するために検出電極部から軸線方向に延びる帯状の検出リード部を有し、検出電極部は、検出リード部上に重なっていてもよい。このような構成とすることで、検出電極部と検出リード部とを電気的に確実に接続でき、外部回路に基準電極部と検出電極部に発生する起電力を確実に送信できる。 In addition, according to the present invention, in order to electrically connect the detection electrode unit and an external circuit, the detection electrode unit has a strip-shaped detection lead unit extending in the axial direction from the detection electrode unit, and the detection electrode unit is provided on the detection lead unit. can have me heavy Do not. With such a configuration, the detection electrode part and the detection lead part can be electrically connected reliably, and the electromotive force generated in the reference electrode part and the detection electrode part can be reliably transmitted to the external circuit.

また、本発明によれば、固体電解質体は、先端側に底部を有する有底筒状を有し、基準電極部は、固体電解質体の内面上に形成され、検出電極部は、固体電解質体の先端側外面上に設けられていてもよい。このように、固体電解質体が有底筒状にて形成され、基準電極部及び検出電極部がそれぞれ固体電解質体の内面上及び外面上に設けられるアンモニアガスセンサであっても、貴金属を主成分とする検出電極部と金属酸化物を主成分とする選択反応層を設けることで、アンモニアガスに対するガス選択性や応答性に優れたアンモニアガスセンサを得ることができる。 According to the present invention, the solid electrolyte body has a bottomed cylindrical shape having a bottom portion on the tip side, the reference electrode portion is formed on the inner surface of the solid electrolyte body, and the detection electrode portion is a solid electrolyte body. It may be provided on the outer surface of the tip side . Thus, even if the solid electrolyte body is formed in a bottomed cylindrical shape and the reference electrode part and the detection electrode part are provided on the inner surface and the outer surface of the solid electrolyte body, respectively, noble metal is the main component. By providing the detection electrode section and the selective reaction layer mainly composed of a metal oxide, an ammonia gas sensor excellent in gas selectivity and responsiveness to ammonia gas can be obtained.

そして、その1つの形状としては、検出電極部が、固体電解質体の底部を通って固体電解質体の後端側に対称的にかつ帯状に延びる構成であってもよい。   As one of the shapes, the detection electrode portion may extend symmetrically and in a band shape to the rear end side of the solid electrolyte body through the bottom of the solid electrolyte body.

また、本発明によれば、検出電極部は、白金を主成分とし、さらに金が含まれる材料、又は金を主成分とする材料からなっていてもよい。このような構成とすることで、検出電極部が、アンモニアガスに基づき良好な集電作用をより発揮することができる。その結果、アンモニアガスの濃度に応じて検出電極部と基準電極部との間に、起電力をより良好に発生させることができる。 Further, according to the present invention, the detection electrode is mainly composed of platinum, the material further contains gold, or gold can have I Do a material composed mainly of. By setting it as such a structure, a detection electrode part can exhibit a favorable current collection effect | action more based on ammonia gas. As a result, an electromotive force can be generated more favorably between the detection electrode portion and the reference electrode portion according to the ammonia gas concentration.

また、本発明によれば、検出リード部は、白金を主成分とする材料からなっていてもよい。このような構成をとることで、検出電極部と基準電極部との間に発生する起電力を確実に外部回路に送信できる。 Further, according to the present invention, detection lead may have I Do a material composed mainly of platinum. By adopting such a configuration, an electromotive force generated between the detection electrode unit and the reference electrode unit can be reliably transmitted to the external circuit.

また、本発明によれば、検出リード部は、検出電極部に含有される含有量よりも少ない金が含有されていてもよい。検知リード部に金を含有することにより、白金の触媒性を低下させ、検知リード部と基準電極部との間で電位差が発生することを抑制できる。そのうえ、検知リード部に含有される金を検知電極部よりも少なくすることで、固体電解質体との同時焼成が可能となり、固体電解質体との密着強度を高めることができる。さらに、検出電極部との密着強度も高めることができる。 According to the present invention, the detection lead portion may contain less gold than the content contained in the detection electrode portion . By containing gold in the detection lead portion, the catalytic property of platinum can be reduced, and the occurrence of a potential difference between the detection lead portion and the reference electrode portion can be suppressed. In addition, by making the gold contained in the detection lead portion smaller than the detection electrode portion, simultaneous firing with the solid electrolyte body becomes possible, and the adhesion strength with the solid electrolyte body can be increased. Furthermore, the adhesion strength with the detection electrode part can also be increased.

また、本発明によれば、基準電極部及び検出電極部には、ジルコニアが含有されており、検出電極部は、基準電極部よりもジルコニアの含有量が少なくてもよい。基準電極部及び検出電極部には、固体電解質体との密着性を考慮してジルコニアを含有させている。そして、検出電極部に含有されるジルコニアを基準電極部よりも減らすことで、検知電極部のアンモニアガスに基づく良好な集電作用をも維持している。 Further, according to the present invention, the reference electrode and the detection electrode, the zirconia has been contained, the detection electrode may be rather low content of zirconia than the reference electrode. The reference electrode portion and the detection electrode portion contain zirconia in consideration of adhesion with the solid electrolyte body. And the favorable current collection effect | action based on the ammonia gas of a detection electrode part is also maintained by reducing the zirconia contained in a detection electrode part rather than a reference | standard electrode part.

また、本発明によれば、検出リード部には、ジルコニアが含有されており、検出リード部は、検出電極部よりもジルコニアの含有量が少なくてもよい。このように、検出リード部にも、固体電解質体との密着性を考慮してジルコニアを含有させている。そして、検出リード部に含有されるジルコニアを検出電極部よりも減らすことで、検出リード部の通電効果を高めることができる。 Further, according to the present invention, the detection lead zirconia has been contained, detection lead may be rather low content of zirconia than the detection electrode unit. As described above, zirconia is also contained in the detection lead portion in consideration of adhesion to the solid electrolyte body. And the energization effect of a detection lead part can be heightened by reducing the zirconia contained in a detection lead part rather than a detection electrode part.

また、本発明によれば、検出電極部と選択反応層との間に多孔質層を設けてもよい。このような構成とすることで、選択反応層と検出電極部との間の絶縁が確保される。従って、選択反応層の経時変化に伴う検出電極部への影響が未然に防止されて、長期に亘り良好なガス選択性を維持できる。 According to the present invention, a porous layer may be provided between the detection electrode portion and the selective reaction layer . By setting it as such a structure, the insulation between a selective reaction layer and a detection electrode part is ensured. Therefore, the influence on the detection electrode part due to the temporal change of the selective reaction layer is prevented, and good gas selectivity can be maintained over a long period of time.

また、本発明によれば、多孔質層は、検出電極部が露出しないように検出電極部を覆っていてもよい。このような構成となることで、多孔質層が検出電極部と選択反応層との間の絶縁性を確実に確保できる。 Further, according to the present invention, the porous layer, the detection electrode portion can have I covering the detection electrode so as not to be exposed. With such a configuration, the porous layer can reliably ensure insulation between the detection electrode portion and the selective reaction layer.

また、本発明によれば、選択反応層は、多孔質層が露出しないように多孔質層を覆っていてもよい。このような構成とすることで、アンモニアガス以外の可燃性ガスが、選択反応層を介することなく、直接、多孔質層を通り検出電極部に流入するという現象を未然に防止でき、アンモニアガスに対するガス選択性に優れたアンモニアガスセンサを得ることができる。 Further, according to the present invention, the selective reaction layer, the porous layer may have I covering the porous layer so as not to be exposed. By adopting such a configuration, it is possible to prevent the phenomenon that combustible gas other than ammonia gas flows directly into the detection electrode portion through the porous layer without going through the selective reaction layer. An ammonia gas sensor excellent in gas selectivity can be obtained.

また、本発明によれば、多孔質層は、Al、MgAl、SiO、SiO/Al、ゼオライト及びSiCの少なくとも1種を含有してもよい。これにより、多孔質層による絶縁性がより一層具体的に確保できる。 According to the present invention, the porous layer may contain at least one of Al 2 O 3 , MgAl 2 O 4 , SiO 2 , SiO 2 / Al 2 O 3 , zeolite, and SiC . Thereby, the insulation by a porous layer can be ensured more specifically.

また、本発明によれば、選択反応層が露出しないように選択反応層を覆う保護層が備えられていてもよい。このような構成をとることで、選択反応層が被測定ガス中の不純物(例えば、リン、鉛等)の影響を受けることない。よって、選択反応層が被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを良好に燃焼させて、可燃性ガスが固体電解質体へ到達することを良好に抑制できる。なお、保護層としては、MgAl、Al、SiO/Al、ゼオライト等が挙げられる。 Moreover, according to this invention, the protective layer which covers a selective reaction layer so that a selective reaction layer may not be exposed may be provided. By adopting such a configuration, the selective reaction layer is not affected by impurities (for example, phosphorus, lead, etc.) in the gas to be measured. Therefore, the selective reaction layer can satisfactorily burn the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured, and the combustible gas can be satisfactorily suppressed from reaching the solid electrolyte body. As the protective layer, MgAl 2 O 4, Al 2 O 3, SiO 2 / Al 2 O 3, zeolites, and the like.

また、本発明によれば、選択反応層は、ビスマスバナジウム酸化物及びアンチモンバナジウム酸化物の少なくとも一方を主成分としてもよい。このような構成とすることで、選択反応層が被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスを良好に燃焼させることができる。 Further, according to the present invention, the selective reaction layer, at least one of bismuth vanadium oxide and antimony vanadium oxide may be a main component. By setting it as such a structure, the selective reaction layer can burn combustible gas other than ammonia gas in measurement gas favorably.

また、本発明によれば、選択反応層は、タングステン酸化物、モリブデン酸化物、ニオブ酸化物、タンタル酸化物、マグネシウム酸化物、カノレジウム酸化物、ストロンチウム酸化物及びバリウム酸化物のうちの少なくとも1種をさらに添加していてもよい。このように添加材を選択反応層にさらに添加すると、選択反応層が被測定ガス中のアンモニアガス以外の可燃性ガスをさらに良好に燃焼させることができる。 According to the present invention, the selective reaction layer is at least one of tungsten oxide, molybdenum oxide, niobium oxide, tantalum oxide, magnesium oxide, canoledium oxide, strontium oxide, and barium oxide. May be further added . When the additive is further added to the selective reaction layer in this way, the selective reaction layer can burn the combustible gas other than the ammonia gas in the gas to be measured more satisfactorily.

また、本発明によれば、バナジウムが25(at%)〜50(at%)の範囲にて含有されていてもよい。これにより、アンモニアガスセンサとしての熱的な経時的安定性、応答性、さらにはアンモニアガスに対するガス選択性が良好に確保できる。 Moreover, according to this invention, vanadium may be contained in the range of 25 (at%) to 50 (at%) . As a result, it is possible to satisfactorily ensure the thermal stability over time and the responsiveness as an ammonia gas sensor and the gas selectivity with respect to the ammonia gas.

そして、この選択反応層用ぺ一ストを、検出電極部331を覆うように印刷して乾燥し、750(℃)にて10(分)の焼成して、酸化ビスマスバナジウム(BiVO)からなる選択反応層340を作製する。なお、選択反応層340は、主として酸化ビスマスバナジウムから形成されていればよく、酸化バナジウムや酸化ビスマスを含んでいてもよい。 Then, a pair one strike for this selective reaction layer, and dried by printing so as to cover the detection electrode 331, and calcined between 750 (° C.) for 10 (minutes), bismuth oxide, vanadium (BiVO 4) A selective reaction layer 340 is produced. Note that the selective reaction layer 340 may be formed mainly from bismuth oxide vanadium and may contain vanadium oxide or bismuth oxide.

そして、保護層用ぺ一ストを、選択反応層340を覆うように印刷して乾燥し、750(℃)にて10(分)の焼成して、保護層360を作製する。 Then, a pair one strike protective layer, and dried by printing so as to cover the selective reaction layer 340, and fired between 750 (° C.) for 10 minutes to produce a protective layer 360.

Claims (22)

軸線方向に延び、ジルコニアを主成分とする固体電解質体と、
該固体電解質体上に設けられる基準電極部と、
前記基準電極部と対極となり、前記固体電解質体上に設けられる検出電極部及び選択反応層とを備えるアンモニアガスセンサにおいて、
前記検出電極部は、貴金属を主成分としており、
前記選択反応層は、金属酸化物を主成分とするアンモニアガスセンサ。
A solid electrolyte body extending in the axial direction and mainly composed of zirconia;
A reference electrode provided on the solid electrolyte body;
In the ammonia gas sensor provided with a detection electrode part and a selective reaction layer provided on the solid electrolyte body as a counter electrode with the reference electrode part,
The detection electrode part is mainly composed of a noble metal,
The selective reaction layer is an ammonia gas sensor whose main component is a metal oxide.
前記検出電極部は、前記固体電解質体と前記選択反応層との間に設けられることを特徴とする請求項1に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to claim 1, wherein the detection electrode unit is provided between the solid electrolyte body and the selective reaction layer. 前記検出電極部は、前記固体電解質体上に直接設けられていることを特徴とする請求項2に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to claim 2, wherein the detection electrode unit is directly provided on the solid electrolyte body. 前記選択反応層は、前記検出電極部が露出しないように該検出電極部を覆うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the selective reaction layer covers the detection electrode part so that the detection electrode part is not exposed. 前記検出電極部と外部回路とを電気的に接続するために当該検出電極部から軸線方向に延びる帯状の検出リード部をさらに有し、
前記検出電極部は、前記検出リード部上に重なることを特徴とする請求項4記載のアンモニアガスセンサ。
In order to electrically connect the detection electrode part and an external circuit, it further has a strip-shaped detection lead part extending in the axial direction from the detection electrode part,
The ammonia gas sensor according to claim 4, wherein the detection electrode portion overlaps the detection lead portion.
前記固体電解質体は、先端側に底部を有する有底筒状を有し、
前記基準電極部は、前記固体電解質体の内面上に形成され、
前記検出電極部は、前記固体電解質体の先端側外面上に設けられることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のアンモニアガスセンサ。
The solid electrolyte body has a bottomed cylindrical shape having a bottom on the tip side,
The reference electrode portion is formed on the inner surface of the solid electrolyte body,
The ammonia gas sensor according to claim 1, wherein the detection electrode unit is provided on an outer surface on a front end side of the solid electrolyte body.
前記検出電極部は、前記固体電解質体の底部を通って前記固体電解質体の後端側に対称的にかつ帯状に延びることを特徴とする請求項6に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to claim 6, wherein the detection electrode portion extends symmetrically and in a band shape to the rear end side of the solid electrolyte body through the bottom portion of the solid electrolyte body. 前記検出電極部は、白金を主成分とし、さらに金が含まれる材料、又は金を主成分とする材料からなることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to any one of claims 4 to 7, wherein the detection electrode portion is made of a material containing platinum as a main component and further containing gold, or a material containing gold as a main component. 前記検出リード部は、白金を主成分とする材料からなることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to any one of claims 4 to 8, wherein the detection lead portion is made of a material whose main component is platinum. 前記検出リード部は、前記検出電極部に含有される含有量よりも少ない金が含有されることを特徴とする請求項9記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to claim 9, wherein the detection lead portion contains less gold than the content contained in the detection electrode portion. 前記基準電極部及び前記検出電極部には、ジルコニアが含有されており、前記検出電極部は、前記基準電極部よりもジルコニアの含有量が少ないことを特徴とする請求項4乃至10のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The reference electrode part and the detection electrode part contain zirconia, and the detection electrode part contains less zirconia than the reference electrode part. The ammonia gas sensor according to one item. 前記検出リード部には、ジルコニアが含有されており、前記検出リード部は、前記検出電極部よりもジルコニアの含有量が少ないことを特徴とする請求項4乃至11のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The zirconia is contained in the detection lead part, and the content of the zirconia in the detection lead part is smaller than that of the detection electrode part. Ammonia gas sensor. 前記検出電極部と前記選択反応層との間に多孔質層を設けたことを特徴とする請求項2乃至12の何れか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to any one of claims 2 to 12, wherein a porous layer is provided between the detection electrode portion and the selective reaction layer. 前記多孔質層は、前記検出電極部が露出しないように該検出電極部を覆うことを特徴とする請求項13に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to claim 13, wherein the porous layer covers the detection electrode portion so that the detection electrode portion is not exposed. 前記選択反応層は、前記多孔質層が露出しないように該多孔質層を覆うことを特徴とする請求項13または14に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to claim 13 or 14, wherein the selective reaction layer covers the porous layer so that the porous layer is not exposed. 前記多孔質層は、Al、MgAl、SiO、SiO/Al、ゼオライト及びSiCの少なくとも1種を含有することを特徴とする請求項3乃至15のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。 The porous layer contains at least one of Al 2 O 3 , MgAl 2 O 4 , SiO 2 , SiO 2 / Al 2 O 3 , zeolite, and SiC. The ammonia gas sensor according to one item. 前記選択反応層が露出しないように前記選択反応層を覆う保護層が備えられたことを特徴とする請求項2乃至16のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to any one of claims 2 to 16, further comprising a protective layer that covers the selective reaction layer so that the selective reaction layer is not exposed. 前記選択反応層は、ビスマスバナジウム酸化物及びアンチモンバナジウム酸化物の少なくとも一方を主成分とすることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to any one of claims 1 to 17, wherein the selective reaction layer contains at least one of bismuth vanadium oxide and antimony vanadium oxide as a main component. 前記選択反応層は、タングステン酸化物、モリブデン酸化物、ニオブ酸化物、タンタル酸化物、マグネシウム酸化物、カルシウム酸化物、ストロンチウム酸化物及びバリウム酸化物のうちの少なくとも1種をさらに添加してなることを特徴とする請求項18に記載のアンモニアガスセンサ。   The selective reaction layer is formed by further adding at least one of tungsten oxide, molybdenum oxide, niobium oxide, tantalum oxide, magnesium oxide, calcium oxide, strontium oxide, and barium oxide. The ammonia gas sensor according to claim 18. 前記選択反応層は、バナジウムが25(at%)〜50(at%)含有されることを特徴とする請求項18または19に記載のアンモニアガスセンサ。   The ammonia gas sensor according to claim 18 or 19, wherein the selective reaction layer contains 25 (at%) to 50 (at%) of vanadium. 前記選択反応層の厚みは、前記検出電極部の厚みよりも厚いことを特徴とする請求項1〜20のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   21. The ammonia gas sensor according to claim 1, wherein a thickness of the selective reaction layer is thicker than a thickness of the detection electrode portion. 前記検出電極部の厚みは、30(μm)未満であることを特徴とする請求項1〜21のいずれか一項に記載のアンモニアガスセンサ。   The thickness of the said detection electrode part is less than 30 (micrometer), The ammonia gas sensor as described in any one of Claims 1-21 characterized by the above-mentioned.
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