JP2012206032A - Discharge inspection method, discharge inspection device, drawing method, and drawing device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a discharge inspection method or the like by which the discharge inspection of a droplet discharge head is easily performed by easily detecting a liquid body which is hardly detected.SOLUTION: The discharge inspection method includes: a detecting liquid arrangement step of arranging the detecting liquid body on an inspection drawing medium; a drawing liquid arrangement step of arranging a drawing liquid body on the inspection drawing medium; and a detection step for detecting the drawing liquid body arranged on the inspection drawing medium and the condition of a detecting liquid body, wherein the drawing liquid arrangement step is performed after the detecting liquid body is turned into a non-flowing state, and in the drawing liquid arrangement step, the drawing liquid body is landed at a position where at least a part of the drawing liquid body is superposed on the detecting liquid body.

Description

本発明は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置における吐出検査方法及び吐出検査装置並びに液状体を液滴として吐出することによって描画する描画方法及び描画装置に関する。   The present invention relates to a discharge inspection method and a discharge inspection apparatus in a droplet discharge apparatus including a droplet discharge head that discharges a liquid material as droplets, and a drawing method and a drawing device for drawing by discharging a liquid material as droplets.

従来から、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、任意の位置に着弾させることによって、所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置する液滴吐出装置が知られている。
液滴吐出装置を用いて、様々な液状体を扱い、様々な画像や膜などが形成されている。無色透明な液状体を用いて、人間には見え難いマーカーを描画したり、描画画像の上にコーティング用の透明被膜を形成したりすることも行われている。
所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置するためには、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルからの吐出量や吐出方向が正確であり、当該正確な吐出量や吐出方向が維持されていることが必要である。正確な吐出量や吐出方向が維持されているかを検証するために、吐出ノズルからの吐出状態を検査する吐出検査が行われている。
しかし、無色透明な液状体は、視認することが困難であって、液状体を検出することが困難である。液状体を検出することが困難であることに起因して、正確な吐出検査がし難いという課題があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, a liquid that includes a liquid droplet ejection head, ejects a liquid material as liquid droplets from the liquid droplet ejection head, and landes the liquid material at an arbitrary position, thereby accurately disposing a predetermined amount of the liquid material at the predetermined position. A droplet discharge device is known.
Various liquid materials are handled and various images and films are formed by using a droplet discharge device. A colorless and transparent liquid material is used to draw a marker that is difficult for humans to see, and a transparent film for coating is formed on the drawn image.
In order to accurately arrange a predetermined amount of liquid material at a predetermined position, the discharge amount and discharge direction from the discharge nozzle of the droplet discharge head are accurate, and the accurate discharge amount and discharge direction are maintained. It is necessary to be. In order to verify whether an accurate discharge amount and discharge direction are maintained, a discharge inspection for inspecting a discharge state from the discharge nozzle is performed.
However, it is difficult to visually recognize a colorless and transparent liquid, and it is difficult to detect the liquid. Due to the difficulty in detecting the liquid material, there has been a problem that accurate ejection inspection is difficult.

特許文献1には、ノズルから意図した位置に液滴を発射し、意図した位置を照明し、意図した位置から光を反射させ、意図した位置を含む領域の反射率の変化を検出し、検出した反射率の変化から透明インク滴の位置を決定する、透明インクを検出するシステムおよび方法が開示されている。
特許文献2には、レーザ光源から発生された検出光を光沢紙の表面にスポット照射する走査機構と、光沢紙表面で反射させた検出光を受光するミラー、集光ミラー及び受光素子群と、受光素子群からの検出信号が入力される主制御部とを備え、主制御部は、光沢紙の表面微細状態に起因する光の散乱度合いの違いに基づき、透明インクの着弾領域と非着弾領域とを認識することで、透明液体等の視認困難な液体についても検出可能なドット抜け検出装置が開示されている。
In Patent Document 1, a droplet is ejected from a nozzle to an intended position, the intended position is illuminated, light is reflected from the intended position, and a change in reflectance of a region including the intended position is detected and detected. Disclosed is a system and method for detecting transparent ink that determines the position of a transparent ink drop from the measured reflectance change.
Patent Document 2 discloses a scanning mechanism that irradiates the surface of glossy paper with detection light generated from a laser light source, a mirror that receives detection light reflected on the surface of glossy paper, a condensing mirror, and a light receiving element group. A main control unit to which a detection signal from the light receiving element group is input, and the main control unit is based on the difference in the degree of light scattering caused by the fine surface state of the glossy paper, and the landing region and the non-landing region of the transparent ink By recognizing the above, a dot dropout detecting device capable of detecting even a liquid that is difficult to visually recognize, such as a transparent liquid, is disclosed.

特開2003−159783号公報JP 2003-159783 A 特開2004−314362号公報JP 2004-314362 A

しかしながら、特許文献1に開示された装置は、反射率の変化によって透明インク滴の位置を求めるため、反射率を測定できるセンサー及びセンサーを含むシステムを稼働させるための専用のソフトウェアが必要である。
特許文献2に開示された装置は、光の散乱度合いの違いによって透明インク滴の位置を求めるため、光の散乱度合いを測定できるセンサー及びセンサーを含むシステムを稼働させるための専用のソフトウェアが必要である。
さらに、反射率や光の散乱度合いは、透明インクや記録媒体によって異なるため、透明インクや記録媒体のそれぞれに対応して、反射率や光の散乱度合いを予め測定することが必要であるという課題もあった。
However, since the apparatus disclosed in Patent Document 1 obtains the position of the transparent ink droplet based on the change in the reflectance, a dedicated software for operating the sensor including the sensor and the system including the sensor is necessary.
Since the apparatus disclosed in Patent Document 2 determines the position of a transparent ink droplet based on the difference in the degree of light scattering, dedicated software for operating a sensor and a system including the sensor that can measure the degree of light scattering is required. is there.
Furthermore, since the reflectance and the degree of light scattering differ depending on the transparent ink and the recording medium, it is necessary to measure the reflectance and the degree of light scattering in advance for each of the transparent ink and the recording medium. There was also.

視認できる液状体の液滴を撮像装置で撮影する場合には、液状体の境界が明確に判別できるため、液状体の形状や大きさや位置などの複数の情報も容易に取得できる。複数の情報を検証することで、誤検出の可能性を減少させることもできる。しかし、特許文献1や特許文献2に開示された装置や方法では、液状体の境界が明確に判別できないという課題もあった。   When a liquid droplet that can be visually recognized is imaged by an imaging device, the boundary of the liquid material can be clearly identified, and thus a plurality of pieces of information such as the shape, size, and position of the liquid material can be easily obtained. By verifying a plurality of pieces of information, the possibility of erroneous detection can be reduced. However, the apparatuses and methods disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 have a problem that the boundary of the liquid material cannot be clearly determined.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の手段を採用した。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the following means are adopted.

本発明に係る吐出検査方法は、描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルを備える描画装置における吐出検査方法であって、検査描画媒体に向けて、検出用吐出ノズルから検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用液配置工程と、前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて前記描画用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画用液配置工程と、前記検査描画媒体に配置された前記描画用液状体及び前記検出用液状体の状態を検出する検出工程と、
を有し、前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程は、いずれか一方の工程を実施した後、当該工程において配置された前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、もうー方の工程を実施し、前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程においては、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させることを特徴とする。
A discharge inspection method according to the present invention is a discharge inspection method in a drawing apparatus including a discharge nozzle for discharging a drawing liquid as droplets, and the detection liquid from the detection discharge nozzle toward the inspection drawing medium. A detection liquid disposing step of disposing the liquid material for detection on the inspection drawing medium by discharging droplets and landing on the inspection drawing medium, and from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium A drawing liquid placement step for placing the drawing liquid on the inspection drawing medium by discharging droplets of the drawing liquid and landing on the inspection drawing medium; A detection step of detecting the state of the drawing liquid and the detection liquid;
The detection liquid placement step and the drawing liquid placement step are performed in any one of the steps, and then the drawing liquid or the detection liquid placed in the step is in a non-flowing state. After that, the other step was performed, and the detection liquid placement step or the drawing liquid placement step performed after the detection liquid placement step and the drawing liquid placement step was performed first. The drawing liquid or the detection liquid is placed at a position at least partially overlapping the drawing liquid or the detection liquid arranged in the detection liquid arrangement step or the drawing liquid arrangement step. It is characterized by landing.

これにより、配置された描画用液状体を、検出用液状体と重なり合わせることができる。描画用液状体と検出用液状体とが重なりあうことで、目視すると、描画用液状体又は検出用液状体の状態を変えることができる。例えば、描画用液状体及び検出用液状体の色調を変えることができる。例えば、描画用液状体が無色透明である場合のように、視認し難い色調の液状体であっても、検出用液状体に重ね合わせることによって(透して)色調が変化して、視認し易くなるようにすることができる。
検出工程において、色調の変化などの状態の変化を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。描画用液状体が配置される予定の位置における描画用液状体の存在を検出することで、当該描画用液状体を吐出する吐出ノズルの状態が吐出可能な状態であるかを検査することができる。
Thereby, the arranged drawing liquid can be overlapped with the detection liquid. When the drawing liquid and the detection liquid overlap each other, the state of the drawing liquid or the detection liquid can be changed by visual observation. For example, the color tone of the drawing liquid and the detection liquid can be changed. For example, even if the liquid for drawing is colorless and transparent, even if it is a liquid with a color tone that is difficult to visually recognize, the color tone changes by being superimposed on the liquid for detection (through). It can be made easier.
In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting a change in state such as a change in color tone. By detecting the presence of the drawing liquid material at the position where the drawing liquid material is to be arranged, it is possible to inspect whether the state of the discharge nozzle that discharges the drawing liquid material is a dischargeable state. .

前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程では、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置される前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、の双方において、少なくとも一部が重ならない位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させ、前記検出工程では、前記検査描画媒体上に配置された、前記描画用液状体の液滴と前記検出用液状体の液滴とによって形成された形状を、検出することを特徴とする。   In the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process to be performed later in the detection liquid arrangement process and the drawing liquid arrangement process, the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed earlier. The drawing liquid or the detection liquid disposed in the step, and the drawing liquid or the detection liquid disposed in the detection liquid placement step or the drawing liquid placement step to be performed later. In both cases, the drawing liquid or the detection liquid is landed at a position where at least part of the drawing liquid does not overlap, and in the detection step, the drawing liquid arranged on the inspection drawing medium A shape formed by the droplet and the droplet of the liquid material for detection is detected.

一般的に、着弾した液滴の形状は略円形となる。この吐出検査方法によれば、描画用液状体と検出用液状体とで形成される形状は、2個の円の一部が互いに重なると共に、それぞれの円において重ならない部分が存在することで、円形とは異なる形状となる。検出工程において、検査描画媒体上に配置された、描画用液状体の液滴と検出用液状体の液滴とが形成した形状を、検出することで、描画用液状体の有無を検出することができる。   In general, the shape of the landed droplet is substantially circular. According to this discharge inspection method, the shape formed by the drawing liquid and the detection liquid is such that a portion of the two circles overlap each other and a portion that does not overlap in each circle exists. The shape is different from the circular shape. In the detection step, the presence or absence of the drawing liquid is detected by detecting the shape formed by the drawing liquid droplet and the detection liquid droplet disposed on the inspection drawing medium. Can do.

前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程では、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を、配置された複数の前記描画用液状体及び複数の前記検出用液状体で所定の形状を描く位置に配置することを特徴とする。   In the detection liquid arrangement step and the drawing liquid arrangement step, the drawing liquid body or the detection liquid body is formed into a predetermined shape with the plurality of drawing liquid bodies and the plurality of detection liquid bodies arranged. It arrange | positions in the position which draws.

吐出ノズルが正常に吐出できる場合には、吐出された描画用液状体及び検出用液状体で、所定の形状が描かれる。正常でない吐出ノズルが存在した場合には所定の形状が、形成されない。このため、検出工程において、描画用液状体の液滴と検出用液状体の液滴とで形成された形状が所定の形状であるか否かを、検出することで、描画用液状体の有無を検出ずることができる。全体の形状を一括して扱うことで、描画用液状体の液滴の有無を個別の液滴ごとに検査する場合にくらべて、必要とする演算量を抑制することができる。   When the discharge nozzle can discharge normally, a predetermined shape is drawn by the discharged drawing liquid and detection liquid. When there is an abnormal discharge nozzle, the predetermined shape is not formed. For this reason, in the detection step, the presence or absence of the drawing liquid is detected by detecting whether or not the shape formed by the drawing liquid droplet and the detection liquid droplet is a predetermined shape. Can be detected. By handling the entire shape in a lump, the required amount of computation can be reduced compared to the case where the presence or absence of a liquid droplet for drawing is inspected for each individual droplet.

前記検出工程では、前記検出用液状体又は前記描画用液状体の色調の変化の有無を検出することを特徴とする。   In the detection step, the presence or absence of a change in color tone of the detection liquid or the drawing liquid is detected.

描画用液状体と検出用液状体とは、少なくとも一部が重なる状態で配置されるものの、描画用液状体と検出用液状体とが混じりあうことはない。しかし、重なりあった部分の色調が変化する。描画用液状体が無色透明である場合には、検出用液状体を透して色調が変化されて、視認し易くすることができる。検出工程において、色調の変化を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。   Although the drawing liquid and the detection liquid are arranged so that at least a part thereof overlaps, the drawing liquid and the detection liquid do not mix. However, the color tone of the overlapping part changes. In the case where the drawing liquid is colorless and transparent, the color tone is changed through the detection liquid so that the liquid can be easily recognized. In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting a change in color tone.

前記検出用液状体は、前記描画用液状体と反応することで色調が変化する成分を含む液状体、又は前記描画用液状体が前記検出用液状体と反応することで前記描画用液状体の色調が変化する成分を含む液状体であることを特徴とする。   The detection liquid is a liquid containing a component that changes color tone by reacting with the drawing liquid, or the drawing liquid reacts with the detection liquid by reacting with the detection liquid. It is a liquid containing a component whose color tone changes.

描画用液状体が所定の位置に配置されると、検出用液状体と描画用液状体とが接触して検出用液状体又は描画用液状体の色調が変化する。検出工程において、検出用液状体又は描画用液状体の色調の変化の有無を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。   When the drawing liquid material is disposed at a predetermined position, the detection liquid material and the drawing liquid material come into contact with each other, and the color tone of the detection liquid material or the drawing liquid material changes. In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting the presence or absence of a change in the color tone of the detection liquid or the drawing liquid.

前記描画用液状体が無色透明な液状体であることを特徴とする。   The drawing liquid is a colorless and transparent liquid.

無色透明な描画用液状体が、検出用液状体と重なりあう。無色透明な描画用液状体が検出用液状体と重なりあうことで、描画用液状体が検出用液状体を透すことで無色透明ではなくなるため、輪郭せんが明瞭になることで、描画用液状体を検出し易くすることができる。描画用液状体が無色透明ではなくなって輪郭せんが明瞭になることで、検出用液状体と描画用液状体とで形成される形状が、検出用液状体のみの場合の形状と異なることを容易に検出することができる。検出用液状体が無色透明な描画用液状体と重なり合うことで、検出用液状体の色調が変化するため、検出用液状体の色調の変化を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。   The colorless and transparent liquid for drawing overlaps the liquid for detection. Since the colorless and transparent drawing liquid overlaps with the detection liquid, the drawing liquid passes through the detection liquid and is no longer colorless and transparent. The body can be easily detected. Since the drawing liquid is no longer colorless and transparent and the outline is clear, the shape formed by the detection liquid and the drawing liquid is easily different from the shape of the detection liquid alone. Can be detected. Since the color of the liquid for detection changes when the liquid for detection overlaps with the colorless and transparent liquid for drawing, the presence of the liquid for drawing is detected by detecting the change in the color of the liquid for detection. can do.

前記描画装置は、種類が互いに異なる前記描画用液状体のいずれかをそれぞれ吐出する前記吐出ノズルを備えることで、種類が互いに異なる複数種類の前記描画用液状体を吐出可能であり、前記検出用液配置工程では、前記複数種類の前記描画用液状体のいずれかの前記描画用液状体を吐出して配置することを特徴とする。   The drawing apparatus includes the discharge nozzle that discharges any of the drawing liquid materials of different types, and can discharge a plurality of types of drawing liquid materials of different types. In the liquid arranging step, any one of the plurality of types of the drawing liquids is ejected and arranged.

複数種類の描画用液状体のいずれかを検出用液状体として用いて、検出用液状体として用いる描画用液状体以外の描画用液状体を吐出する吐出ノズルの吐出検査を実施することができる。同時に、検出用液状体として用いる描画用液状体が適切に存在するかが検証されるため、検出用液状体として用いる描画用液状体を吐出する吐出ノズルの吐出検査も並行して実施することができる。   By using any one of a plurality of types of drawing liquids as the detection liquid, it is possible to carry out a discharge inspection of a discharge nozzle that discharges a drawing liquid other than the drawing liquid used as the detection liquid. At the same time, since it is verified whether or not the drawing liquid used as the detection liquid is appropriately present, the discharge inspection of the discharge nozzle that discharges the drawing liquid used as the detection liquid may be performed in parallel. it can.

前記描画装置は、前記検出用液状体を吐出する検出専用吐出ノズルを備え、前記検出用液配置工程では、前記検出専用吐出ノズルから前記検出用液状体を吐出することを特徴とする。   The drawing apparatus includes a detection-dedicated discharge nozzle that discharges the detection liquid, and the detection liquid is discharged from the detection-dedicated discharge nozzle in the detection liquid arrangement step.

検出専用吐出ノズルを備えることで、専用の検出用液状体を自由に選択することができるため、描画用液状体の特性に対応して、検出のために好適な特性を有する検出用液状体を選択することができる。   By providing the detection-dedicated discharge nozzle, a dedicated detection liquid material can be freely selected. Therefore, a detection liquid material having characteristics suitable for detection corresponding to the characteristics of the drawing liquid material is obtained. You can choose.

前記検出用液配置工程と、前記描画用液配置工程と、前記検出工程と、を再度実施することを特徴とする。   The detection liquid arrangement step, the drawing liquid arrangement step, and the detection step are performed again.

検出用液配置工程と、描画用液配置工程と、検出工程とを実施して吐出ノズルが不良と判定される要因には、検出用液配置工程において検出用液状体の液滴を吐出する検出用吐出ノズルの不具合も含まれる。また、一時的に出現して回復する不具合も含まれる。
検出用液配置工程と、描画用液配置工程と、検出工程とを再度実施することで、検出用吐出ノズルの不具合に起因して、検出用液配置工程において吐出ノズルが不良と判定されることを抑制することかできる。また、一時的に出現して回復する不具合に起因して吐出ノズルが不良と判定されることを抑制することができる。
The reason for determining that the discharge nozzle is defective by performing the detection liquid placement process, the drawing liquid placement process, and the detection process is the detection of discharging the liquid droplet of the detection liquid in the detection liquid placement process. This also includes defects in the discharge nozzle for use. Moreover, the malfunction which appears temporarily and recovers is also included.
By performing the detection liquid arrangement process, the drawing liquid arrangement process, and the detection process again, the discharge nozzle is determined to be defective in the detection liquid arrangement process due to a defect in the detection discharge nozzle. Can be suppressed. Moreover, it can suppress that the discharge nozzle is determined to be defective due to a problem that appears and recovers temporarily.

前記検出工程において不具合が検出された前記吐出ノズルを検査対象として、前記検出用液配置工程と、前記描画用液配置工程と、前記検出工程と、を再度実施することを特徴とする。   The detection liquid placement step, the drawing liquid placement step, and the detection step are performed again with the discharge nozzle in which a defect is detected in the detection step as an inspection target.

検出用液配置工程と、描画用液配置工程と、検出工程とを実施して吐出ノズルが不良と判定される要因には、検出用液配置工程において検出用液状体の液滴を吐出する検出用吐出ノズルの不具合も含まれる。また、一時的に出現して回復する不具合も含まれる。
検出用液配置工程と、描画用液配置工程と、検出工程とを再度実施することで、検出用吐出ノズルの不具合に起因して吐出ノズルが不良と判定されることを抑制することができる。また、一時的に出現して回復する不具合に起因して吐出ノズルが不良と判定されることを抑制することができる。検出工程において不具合が検出された吐出ノズルを検査対象とすることで、検出用液配置工程と、描画用液配置工程と、検出工程とを再度実施する際も全ての吐出ノズルを検査対象とする場合にくらべて、検査に要する時間を抑制することができる。
The reason for determining that the discharge nozzle is defective by performing the detection liquid placement process, the drawing liquid placement process, and the detection process is the detection of discharging the liquid droplet of the detection liquid in the detection liquid placement process. This also includes defects in the discharge nozzle for use. Moreover, the malfunction which appears temporarily and recovers is also included.
By performing the detection liquid arrangement process, the drawing liquid arrangement process, and the detection process again, it is possible to prevent the discharge nozzle from being determined to be defective due to a defect in the detection discharge nozzle. Moreover, it can suppress that the discharge nozzle is determined to be defective due to a problem that appears and recovers temporarily. By making the discharge nozzles in which a defect is detected in the detection process to be inspected, all the discharge nozzles are also inspected when the detection liquid arrangement process, the drawing liquid arrangement process, and the detection process are performed again. Compared to the case, the time required for the inspection can be suppressed.

互いに少なくとも一部が重なり合う前記描画用液状体と前記検出用液状体とを吐出する前記吐出ノズルと前記検出用吐出ノズルとの組方合わせが、最初に実施する前記検出用液配置工程、前記描画用液配置工程、及び前記検出工程と、再度実施する前記検出用液配置工程、前記描画用液配置工程、及び前記検出工程とで、異なることを特徴とする。   The detection liquid disposing step in which the combination of the discharge nozzle and the detection discharge nozzle for discharging the drawing liquid and the detection liquid that overlap at least partially with each other is performed first, the drawing It is characterized by the difference between the use liquid arrangement process and the detection process, and the detection liquid arrangement process, the drawing liquid arrangement process, and the detection process to be performed again.

検出用液配置工程と、描画用液配置工程と、検出工程とを実施して吐出ノズルが不良と判定される要因には、検出用液配置工程において検出用液状体の液滴を吐出する検出用吐出ノズルの不具合も含まれる。最初に実施する検出用液配置工程、描画用液配置工程、及び検出工程と、再度実施する検出用液配置工程、描画用液配置工程、及び検出工程とで、ひとつの吐出ノズルが吐出した描画用液状体と重なる位置に対応する検出用吐出ノズルを異ならせることで、検出用吐出ノズルの不具合に起因して吐出ノズルが不良と判定されることを抑制することができる。   The reason for determining that the discharge nozzle is defective by performing the detection liquid placement process, the drawing liquid placement process, and the detection process is the detection of discharging the liquid droplet of the detection liquid in the detection liquid placement process. This also includes defects in the discharge nozzle for use. Drawing performed by a single discharge nozzle in the detection liquid placement process, the drawing liquid placement process, and the detection process performed first, and the detection liquid placement process, the drawing liquid placement process, and the detection process performed again. By differentiating the detection discharge nozzle corresponding to the position overlapping the liquid material for use, it is possible to suppress the discharge nozzle from being determined to be defective due to a defect in the detection discharge nozzle.

本発明に係る吐出検査装置は、描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルを備える描画装置が備える吐出検査装置であって、検査描画媒体に向けて、検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用吐出ノズルを備える検出用液配置手段と、前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて液滴として吐出され、前記検査描画媒体上に着弾させられて配置された前記描画用液状体、及び前記検出用液配置手段によって前記検査描画媒体上に配置された前記検出用液状体の状態を検出する検出手段と、を備え、前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのいずれか一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させた後、着弾させられた前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのもう一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させ、後に着弾させる前記検出用液状体又は前記描画用液状体を、先に着弾させられている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に着弾させることを特徴とする。   A discharge inspection apparatus according to the present invention is a discharge inspection apparatus provided in a drawing apparatus including a discharge nozzle for discharging a drawing liquid as droplets, and discharges a liquid droplet for detection toward an inspection drawing medium. And a detection liquid disposing means comprising a detection discharge nozzle for disposing the detection liquid material on the inspection drawing medium by landing on the inspection drawing medium, and from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium The drawing liquid material discharged as droplets and landed on the inspection drawing medium, and the state of the detection liquid material arranged on the inspection drawing medium by the detection liquid arrangement means Detecting means for detecting the liquid, and after landing the liquid for detection or the liquid for drawing on the inspection drawing medium using either one of the liquid arrangement means for detection or the discharge nozzle, The drawn liquid material or the detection liquid material is brought into a non-flowing state, and then the detection liquid material or the drawing liquid material is removed using the other of the detection liquid arranging means or the discharge nozzle. The detection liquid or the drawing liquid that is landed on the inspection drawing medium and subsequently landed at a position at least partially overlapping with the drawing liquid or the detection liquid previously landed. It is characterized by landing.

これにより、配置された描画用液状体を、検出用液状体と重なり合わせることができる。描画用液状体と検出用液状体とが重なりあうことで、目視すると、描画用液状体又は検出用液状体の状態を変えることができる。例えば、描画用液状体及び検出用液状体の色調を変えることができる。例えば、描画用液状体が無色透明である場合のように、視認し難い色調の液状体であっても、検出用液状体に重ね合わせることによって(透して)色調が変化して、視認し易くなるようにすることができる。
検出工程において、色調の変化などの状態の変化を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。描画用液状体が配置される予定の位置における描画用液状体の存在を検出することで、当該描画用液状体を吐出する吐出ノズルの状態が吐出可能な状態であるかを検査することができる。
Thereby, the arranged drawing liquid can be overlapped with the detection liquid. When the drawing liquid and the detection liquid overlap each other, the state of the drawing liquid or the detection liquid can be changed by visual observation. For example, the color tone of the drawing liquid and the detection liquid can be changed. For example, even if the liquid for drawing is colorless and transparent, even if it is a liquid with a color tone that is difficult to visually recognize, the color tone changes by being superimposed on the liquid for detection (through). It can be made easier.
In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting a change in state such as a change in color tone. By detecting the presence of the drawing liquid material at the position where the drawing liquid material is to be arranged, it is possible to inspect whether the state of the discharge nozzle that discharges the drawing liquid material is a dischargeable state. .

前記描画装置は、種類が互いに異なる前記描画用液状体のいずれかをそれぞれ吐出する前記吐出ノズルを備えることで、種類が互いに異なる複数種類の前記描画用液状体を吐出可能であり、前記検出用液配置手段が備える検出用吐出ノズルは、前記複数種類の前記描画用液状体のいずれかの前記描画用液状体を吐出する前記吐出ノズルであることを特徴とする。   The drawing apparatus includes the discharge nozzle that discharges any of the drawing liquid materials of different types, and can discharge a plurality of types of drawing liquid materials of different types. The detection discharge nozzle provided in the liquid arranging means is the discharge nozzle that discharges any one of the plurality of types of the drawing liquid material.

複数種類の描画用液状体のいずれかを検出用液状体として用いて、検出用液状体として用いる描画用液状体以外の描画用液状体を吐出する吐出ノズルの吐出検査を実施することができる。同時に、検出用液状体として用いる描画用液状体が適切に存在するかが検証されるため、検出用液状体として用いる描画用液状体を吐出する吐出ノズルの吐出検査も並行して実施することができる。   By using any one of a plurality of types of drawing liquids as the detection liquid, it is possible to carry out a discharge inspection of a discharge nozzle that discharges a drawing liquid other than the drawing liquid used as the detection liquid. At the same time, since it is verified whether or not the drawing liquid used as the detection liquid is appropriately present, the discharge inspection of the discharge nozzle that discharges the drawing liquid used as the detection liquid may be performed in parallel. it can.

前記検出用液配置手段が備える検出用吐出ノズルは、前記検出用液状体を吐出する検出専用吐出ノズルであることを特徴とする。   The detection discharge nozzle provided in the detection liquid arrangement means is a detection-dedicated discharge nozzle that discharges the detection liquid material.

検出専用吐出ノズルを備えることで、専用の検出用液状体を自由に選択することができるため、描画用液状体の特性に対応して、検出のために好適な特性を有する検出用液状体を選択することができる。   By providing the detection-dedicated discharge nozzle, a dedicated detection liquid material can be freely selected. Therefore, a detection liquid material having characteristics suitable for detection corresponding to the characteristics of the drawing liquid material is obtained. You can choose.

本発明に係る描画方法は、描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルから吐出した前記描画用液状体の前記液滴を被描画媒体に着弾させて、前記被描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画方法であって、検査描画媒体に向けて、検出用吐出ノズルから検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用液配置工程と、前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて前記描画用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画用液配置工程と、前記検査描画媒体に配置された前記描画用液状体及び前記検出用液状体の状態を検出する検出工程と、を有し、前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程は、いずれか一方の工程を実施した後、当該工程において配置された前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、もう一方の工程を実施し、前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程においては、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させることを特徴とする。   In the drawing method according to the present invention, the drawing liquid material discharged from a discharge nozzle that discharges the drawing liquid material as droplets is landed on the drawing medium, and the drawing liquid is drawn on the drawing medium. A drawing method for arranging a liquid material, wherein a liquid droplet for detection is discharged from a discharge nozzle for detection toward an inspection drawing medium and landed on the inspection drawing medium. A detection liquid disposing step for disposing the liquid for detection on the liquid, and discharging droplets of the liquid for drawing from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium, and landing on the inspection drawing medium, A drawing liquid arranging step of arranging the drawing liquid on the inspection drawing medium, and a detecting step of detecting states of the drawing liquid and the detecting liquid arranged on the inspection drawing medium. Having the detection liquid arrangement step and In the drawing liquid placement step, after performing one of the steps, the drawing liquid or the detection liquid placed in the step is brought into a non-flowing state, and then the other step is carried out. In the detection liquid placement step or the drawing liquid placement step performed after the detection liquid placement step and the drawing liquid placement step, the detection liquid placement step or the drawing liquid placement performed earlier in the drawing liquid placement step. The drawing liquid material or the detection liquid material is landed at a position at least partially overlapping with the drawing liquid material or the detection liquid material arranged in the process.

これにより、配置された描画用液状体を、検出用液状体と重なり合わせることができる。描画用液状体と検出用液状体とが重なりあうことで、目視すると、描画用液状体又は検出用液状体の状態を変えることができる。例えば、描画用液状体及び検出用液状体の色調を変えることができる。例えば、描画用液状体が無色透明である場合のように、視認し難い色調の液状体であっても、検出用液状体に重ね合わせることによって(透して)色調が変化して、視認し易くなるようにすることができる。
検出工程において、色調の変化などの状態の変化を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。描画用液状体が配置される予定の位置における描画用液状体の存在を検出することで、当該描画用液状体を吐出する吐出ノズルの状態が吐出可能な状態であるかを検査することができる。
Thereby, the arranged drawing liquid can be overlapped with the detection liquid. When the drawing liquid and the detection liquid overlap each other, the state of the drawing liquid or the detection liquid can be changed by visual observation. For example, the color tone of the drawing liquid and the detection liquid can be changed. For example, even if the liquid for drawing is colorless and transparent, even if it is a liquid with a color tone that is difficult to visually recognize, the color tone changes by being superimposed on the liquid for detection (through). It can be made easier.
In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting a change in state such as a change in color tone. By detecting the presence of the drawing liquid material at the position where the drawing liquid material is to be arranged, it is possible to inspect whether the state of the discharge nozzle that discharges the drawing liquid material is a dischargeable state. .

前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程では、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置される前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、の双方において、少なくとも一部が重ならない位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させ、前記検出工程では、前記検査描画媒体上に配置された、前記描画用液状体の液滴と前記検出用液状体の液滴とによって形成された形状を、検出することを特徴とする。   In the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process to be performed later in the detection liquid arrangement process and the drawing liquid arrangement process, the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed earlier. The drawing liquid or the detection liquid disposed in the step, and the drawing liquid or the detection liquid disposed in the detection liquid placement step or the drawing liquid placement step to be performed later. In both cases, the drawing liquid or the detection liquid is landed at a position where at least part of the drawing liquid does not overlap, and in the detection step, the drawing liquid arranged on the inspection drawing medium A shape formed by the droplet and the droplet of the liquid material for detection is detected.

一般的に、着弾した液滴の形状は略円形となる。この吐出検査方法によれば、描画用液状体と検出用液状体とで形成される形状は、2個の円の一部が互いに重なると共に、それぞれの円において重ならない部分が存在することで、円形とは異なる形状となる。検出工程において、検査描画媒体上に配置された、描画用液状体の液滴と検出用液状体の液滴とが形成した形状を、検出することで、描画用液状体の有無を検出することができる。   In general, the shape of the landed droplet is substantially circular. According to this discharge inspection method, the shape formed by the drawing liquid and the detection liquid is such that a portion of the two circles overlap each other and a portion that does not overlap in each circle exists. The shape is different from the circular shape. In the detection step, the presence or absence of the drawing liquid is detected by detecting the shape formed by the drawing liquid droplet and the detection liquid droplet disposed on the inspection drawing medium. Can do.

前記検出工程では、前記検出用液状体又は前記描画用液状体の色調の変化の有無を検出することを特徴とする。   In the detection step, the presence or absence of a change in color tone of the detection liquid or the drawing liquid is detected.

描画用液状体と検出用液状体とは、少なくとも一部が重なる状態で配置されるものの、描画用液状体と検出用液状体とが混じりあうことはない。しかし、重なりあった部分の色調が変化する。描画用液状体が無色透明である場合には、検出用液状体を透して色調が変化されて、視認し易くすることができる。検出工程において、色調の変化を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。   Although the drawing liquid and the detection liquid are arranged so that at least a part thereof overlaps, the drawing liquid and the detection liquid do not mix. However, the color tone of the overlapping part changes. In the case where the drawing liquid is colorless and transparent, the color tone is changed through the detection liquid so that the liquid can be easily recognized. In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting a change in color tone.

前記検出用液状体は、前記描画用液状体と反応することで色調が変化する成分を含む液状体、又は前記描画用液状体が前記検出用液状体と反応することで前記描画用液状体の色調が変化する成分を含む液状体であることを特徴とする。   The detection liquid is a liquid containing a component that changes color tone by reacting with the drawing liquid, or the drawing liquid reacts with the detection liquid by reacting with the detection liquid. It is a liquid containing a component whose color tone changes.

描画用液状体が所定の位置に配置されると、検出用液状体と描画用液状体とが接触して検出用液状体又は描画用液状体の色調が変化する。検出工程において、検出用液状体又は描画用液状体の色調の変化の有無を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。   When the drawing liquid material is disposed at a predetermined position, the detection liquid material and the drawing liquid material come into contact with each other, and the color tone of the detection liquid material or the drawing liquid material changes. In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting the presence or absence of a change in the color tone of the detection liquid or the drawing liquid.

本発明に係る描画装置は、描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルを備え、前記吐出ノズルから吐出した前記描画用液状体の前記液滴を被描画媒体に着弾させて、前記被描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画装置であって、検査描画媒体に向けて、検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用吐出ノズルを備える検出用液配置手段と、前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて液滴として吐出され、前記検査描画媒体上に着弾させられて配置された前記描画用液状体、及び前記検出用液配置手段によって前記検査描画媒体上に配置された前記検出用液状体の状態を検出する検出手段と、を備え、前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのいずれか一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させた後、着弾させられた前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのもう一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させ、後に着弾させる前記検出用液状体又は前記描画用液状体を、先に着弾させられている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に着弾させることを特徴とする。   The drawing apparatus according to the present invention includes a discharge nozzle that discharges the drawing liquid as droplets, the droplets of the drawing liquid discharged from the discharge nozzles land on the drawing medium, and the drawing target A drawing apparatus for disposing the drawing liquid on a medium, wherein the inspection drawing medium is ejected by droplets of the liquid for detection toward the inspection drawing medium and landed on the inspection drawing medium. A detection liquid disposing means having a detection discharge nozzle for disposing the detection liquid material thereon, and a liquid droplet discharged from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium and landed on the inspection drawing medium; And the detecting liquid disposing means or the detecting liquid disposing means or the detecting liquid disposing means for detecting the state of the detecting liquid disposed on the inspection drawing medium by the detecting liquid disposing means. Discharge nose After the landing liquid or the drawing liquid is landed on the inspection drawing medium using any one of the above, the landed drawing liquid or the detecting liquid is brought into a non-flowing state. Later, the detection liquid or the drawing liquid is made to land on the inspection drawing medium by landing the detection liquid or the drawing liquid on the inspection drawing medium by using the other of the detection liquid arranging means or the other of the discharge nozzles. The liquid material is landed at a position at least partially overlapping with the drawing liquid material or the detection liquid material previously landed.

これにより、配置された描画用液状体を、検出用液状体と重なり合わせることができる。描画用液状体と検出用液状体とが重なりあうことで、目視すると、描画用液状体又は検出用液状体の状態を変えることができる。例えば、描画用液状体及び検出用液状体の色調を変えることができる。例えば、描画用液状体が無色透明である場合のように、視認し難い色調の液状体であっても、検出用液状体に重ね合わせることによって(透して)色調が変化して、視認し易くなるようにすることができる。
検出工程において、色調の変化などの状態の変化を検出することで、描画用液状体の存在を検出することができる。描画用液状体が配置される予定の位置における描画用液状体の存在を検出することで、当該描画用液状体を吐出する吐出ノズルの状態が吐出可能な状態であるかを検査することができる。
Thereby, the arranged drawing liquid can be overlapped with the detection liquid. When the drawing liquid and the detection liquid overlap each other, the state of the drawing liquid or the detection liquid can be changed by visual observation. For example, the color tone of the drawing liquid and the detection liquid can be changed. For example, even if the liquid for drawing is colorless and transparent, even if it is a liquid with a color tone that is difficult to visually recognize, the color tone changes by being superimposed on the liquid for detection (through). It can be made easier.
In the detection step, the presence of the drawing liquid can be detected by detecting a change in state such as a change in color tone. By detecting the presence of the drawing liquid material at the position where the drawing liquid material is to be arranged, it is possible to inspect whether the state of the discharge nozzle that discharges the drawing liquid material is a dischargeable state. .

液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。FIG. 3 is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device. (a)は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。(b)は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。(c)は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。FIG. 3A is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge head. (B) is a perspective sectional view showing the structure of a droplet discharge head. FIG. 6C is a cross-sectional view showing the structure of the discharge nozzle portion of the droplet discharge head. ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of a head unit. 液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。Explanatory drawing which shows the electrical structure and signal flow of a droplet discharge head. (a)は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。(b)は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。(c)は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。(d)は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。(A) is explanatory drawing which shows the arrangement position of a discharge nozzle. (B) is explanatory drawing which shows the state which made the droplet land linearly in the extension direction of a nozzle row. (C) is explanatory drawing which shows the state which made the droplet land linearly in the main scanning direction. (D) is explanatory drawing which shows the state which made the droplet land in surface shape. 吐出検査の工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the process of discharge inspection. (a)は、透明機能液が着弾した透明着弾円、及び有色機能液が着弾した有色着弾円の状態を示す説明図。(b)は、多数の透明着弾円及び有色着弾円で図形を構成する例を示す説明図。(A) is explanatory drawing which shows the state of the colored landing circle which the transparent functional liquid landed, and the colored landing circle which the colored functional liquid landed. (B) is explanatory drawing which shows the example which comprises a figure with many transparent landing circles and colored landing circles. (a)は、吐出検査の工程を示すフローチャート。(b)は、透明機能液が着弾した透明着弾円、及び有色機能液が着弾した有色着弾円の状態を示す説明図。FIG. 5A is a flowchart showing a discharge inspection process. (B) is explanatory drawing which shows the state of the colored landing circle which the transparent functional liquid landed, and the colored landing circle which the colored functional liquid landed. 液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。FIG. 3 is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device. (a)は、吐出検査の工程を示すフローチャート。(b)は、透明機能液が着弾した透明着弾円及び検査用機能液が着弾した検査用液着弾円の状態を示す説明図。FIG. 5A is a flowchart showing a discharge inspection process. (B) is explanatory drawing which shows the state of the transparent landing circle which the transparent functional liquid landed, and the liquid landing circle for an inspection which the functional liquid for an inspection landed.

以下、吐出検査方法、吐出検査装置、描画方法、及び描画装置について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドを用いて、被描画媒体上に画像を描画する液滴吐出装置における、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの吐出検査を例に説明する。
液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと被描画媒体とを相対移動させると共に、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液の液滴を吐出して、被描画媒体上の所定の位置に着弾させることによって、所定の画像を形成する装置である。液滴吐出装置が、描画装置に相当する。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
Hereinafter, a discharge inspection method, a discharge inspection apparatus, a drawing method, and a drawing apparatus will be described with reference to the drawings. The present embodiment will be described by taking, as an example, a discharge inspection of a discharge nozzle of a droplet discharge head in a droplet discharge apparatus that includes a droplet discharge head and draws an image on a drawing medium using the droplet discharge head. To do.
The droplet discharge device relatively moves the droplet discharge head and the drawing medium, and discharges a droplet of the functional liquid from the discharge nozzle of the droplet discharge head to land on a predetermined position on the drawing medium. Thus, the apparatus forms a predetermined image. The droplet discharge device corresponds to a drawing device.
In the drawings referred to in the following description, the vertical and horizontal scales of members or portions may be shown differently from actual ones for convenience of illustration.

<液滴吐出法>
最初に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
帯電制御方式は、液伏体に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状体の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状体に30kg/cm2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に液状体を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状体が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状体間に静電的な反発が起こり、液状体が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエソ素子(圧電素子)がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状体を貯留した空間に可僥物質を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
<Droplet ejection method>
First, a droplet discharge method for discharging a liquid material as droplets will be described. Examples of the discharge technique of the droplet discharge method include a charge control method, a pressure vibration method, an electromechanical conversion method, an electrothermal conversion method, and an electrostatic suction method.
In the charge control method, a charge is applied to a liquid body with a charging electrode, and the flight direction of the liquid is controlled with a deflection electrode and discharged from a discharge nozzle. In addition, the pressure vibration method is a method in which an ultra-high pressure of about 30 kg / cm 2 is applied to the liquid material and the liquid material is discharged to the tip side of the discharge nozzle, and when the control voltage is not applied, the liquid material goes straight ahead. When discharged from the discharge nozzle and applied with a control voltage, electrostatic repulsion occurs between the liquid materials, and the liquid material scatters and is not discharged from the discharge nozzles. In addition, the electromechanical conversion method utilizes the property that a piezo element (piezoelectric element) deforms in response to a pulsed electric signal, and a deformable substance is placed in a space where a liquid material is stored by deformation of the piezo element. The pressure is applied through the liquid, and the liquid material is pushed out from the space and discharged from the discharge nozzle.

また、電気熱変換方式は、液状体を貯留した空間内に設けたヒーターにより、液状体を急激に気化させてバブル(泡)を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状体を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状体を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに液状体のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状体を引き出すものである。この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。   In addition, the electrothermal conversion method is a method in which the liquid material is rapidly vaporized by a heater provided in the space in which the liquid material is stored, and bubbles are generated, and the liquid material in the space is discharged by the pressure of the bubbles. It is. In the electrostatic suction method, a minute pressure is applied to the space in which the liquid material is stored, a meniscus of the liquid material is formed on the discharge nozzle, and the liquid material is drawn out after applying an electrostatic attractive force in this state. In addition to this, it is also possible to apply a technique such as a system that uses a change in the viscosity of a fluid caused by an electric field or a system that uses a discharge spark.

液滴吐出法は、液状体の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の液状体を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状体に熱を加えないため、液状体の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。
本実施形態では、液状体選択の自由度の高さ、及び液滴の制御吐の良さの点から上記ピエソ方式を用いる。
The droplet discharge method has an advantage that a liquid material is less wasted and a desired amount of the liquid material can be accurately disposed at a desired position. Among these, the piezo method has the advantage that it does not affect the composition or the like of the liquid material because heat is not applied to the liquid material.
In the present embodiment, the above-described piezo method is used from the viewpoint of the high degree of freedom in selecting a liquid material and the good control ejection of droplets.

<液滴吐出装置>
次に、液滴吐出ヘッド20(図2参照)を備える液滴吐出装置1の構成の全般について、図1を参照して説明する。
図1は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
<Droplet ejection device>
Next, the overall configuration of the droplet discharge device 1 including the droplet discharge head 20 (see FIG. 2) will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device.

図1に示すように、液滴吐出装置1は、ヘッド機構部2と、ワーク機構部3と、機能液供給部4と、保守装置部7とを備えている。ヘッド機構部2は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド20を有している。ワーク機構部3は、液滴吐出ヘッド20から吐出された液滴の吐出対象であるワークWを載置するワーク載置台30を有している。機能液供給部4は、貯留タンクと、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド20に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド20に供給される。保守装置部7は、液滴吐出ヘッド20の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置1は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部6を備えている。   As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a head mechanism unit 2, a work mechanism unit 3, a functional liquid supply unit 4, and a maintenance device unit 7. The head mechanism unit 2 includes a droplet discharge head 20 that discharges a functional liquid as droplets. The work mechanism unit 3 includes a work mounting table 30 on which a work W that is a discharge target of liquid droplets discharged from the liquid droplet discharge head 20 is mounted. The functional liquid supply unit 4 includes a storage tank, a relay tank, and a liquid supply tube. The liquid supply tube is connected to the droplet discharge head 20, and the functional liquid is liquidated via the liquid supply tube. It is supplied to the droplet discharge head 20. The maintenance device unit 7 includes devices that perform inspection or maintenance of the droplet discharge head 20. The droplet discharge device 1 also includes a discharge device control unit 6 that comprehensively controls these mechanism units.

さらに、液滴吐出装置1は、床上に設置された複数の支持脚8と、支持脚8の上側に設置された定盤9とを備えている。定盤9の上側には、ワーク機構部3が定盤9の長手方向(X軸方向)に延在するように配設されている。ワーク機構部3の上方には、定盤9に固定された2本の支持柱で支持されているヘッド機構部2が、ワーク機構部3と直交する方向(Y軸方向)に延在するように配設されている。また、定盤9の傍らには、ヘッド機構部2の液滴吐出ヘッド20に連通する供給管を有する機能液供給部4の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部2の一方の支特柱の近傍には、保守装置部7がワーク機構部3と並んでX軸方向に配設されている。さらに、定盤9の下側に、吐出装置制御部6が収容されている。   The droplet discharge device 1 further includes a plurality of support legs 8 installed on the floor and a surface plate 9 installed on the upper side of the support legs 8. On the upper side of the surface plate 9, the work mechanism unit 3 is disposed so as to extend in the longitudinal direction (X-axis direction) of the surface plate 9. Above the work mechanism 3, the head mechanism 2 supported by two support columns fixed to the surface plate 9 extends in a direction (Y-axis direction) orthogonal to the work mechanism 3. It is arranged. In addition, a functional liquid tank of the functional liquid supply unit 4 having a supply pipe communicating with the droplet discharge head 20 of the head mechanism unit 2 is disposed beside the surface plate 9. A maintenance device section 7 is arranged in the X-axis direction along with the work mechanism section 3 in the vicinity of one supporting special column of the head mechanism section 2. Further, the discharge device controller 6 is accommodated below the surface plate 9.

ヘッド機構部2は、液滴吐出ヘッド20を有するヘッドユニット21と、ヘッドユニット21を有するヘッドキャリッジ27と、ヘッドキャリッジ27が吊設された移動枠22とを備えている。ヘッド機構部2は、ヘッドキャリッジ27と、移動枠22との組を2組備えている。ヘッド機構部2は、移動枠22をY軸方向に移動させる、Y軸走査機構も備えている。
移動枠22を、Y軸走査機構によってY軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド20をY軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。2個の移動枠22は、それぞれ独立して移動させたり保持したりすることも、2個の移動枠22を一緒に移動させたり保持したりすることも可能である。
ワーク機構部3は、ワーク載置台30と、X軸走査機構とを備えている。ワーク機構部3は、ワーク載置台30を、X軸走査機構によって、X軸方向に移動させることで、ワーク載置台30に載置されたワークWをX軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
The head mechanism unit 2 includes a head unit 21 having a droplet discharge head 20, a head carriage 27 having a head unit 21, and a moving frame 22 on which the head carriage 27 is suspended. The head mechanism unit 2 includes two sets of the head carriage 27 and the moving frame 22. The head mechanism unit 2 also includes a Y-axis scanning mechanism that moves the moving frame 22 in the Y-axis direction.
By moving the moving frame 22 in the Y-axis direction by the Y-axis scanning mechanism, the droplet discharge head 20 is freely moved in the Y-axis direction. Moreover, it holds at the moved position. The two moving frames 22 can be moved and held independently, or the two moving frames 22 can be moved and held together.
The work mechanism unit 3 includes a work mounting table 30 and an X-axis scanning mechanism. The workpiece mechanism unit 3 moves the workpiece mounting table 30 in the X-axis direction by the X-axis scanning mechanism, thereby freely moving the workpiece W mounted on the workpiece mounting table 30 in the X-axis direction. Moreover, it holds at the moved position.

液滴吐出ヘッド20は、Y軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークWのX軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。X軸方向に移動するワークWと、Y軸方向に移動する液滴吐出ヘッド20とを相対的に制御することにより、ワークW上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。   The droplet discharge head 20 moves to the discharge position in the Y-axis direction and stops, and discharges the functional liquid as droplets in synchronization with the movement of the workpiece W below in the X-axis direction. By controlling the work W moving in the X-axis direction and the liquid droplet ejection head 20 moving in the Y-axis direction relatively, the liquid droplets are landed at an arbitrary position on the work W, so that a desired plane is obtained. It is possible to perform shape drawing.

保守装置部7は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構75を備えている。検査装置は、液滴吐出ヘッド20の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニット70などの、液滴吐出ヘッド20の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド20の各種の保守を実施する装置である。保守装置走査機構75は、これらの各装置をX軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。
液滴吐出ヘッド20の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット21(液滴吐出ヘッド20)が、Y軸走査機構を用いて保守装置部7に臨む位置に移動させられる。また、実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構75によって、ヘッドユニット21(液滴吐出ヘッド20)に臨む位置に移動させられる。
The maintenance device unit 7 includes various inspection devices, various maintenance devices, and a maintenance device scanning mechanism 75. The inspection apparatus is an apparatus for inspecting the droplet discharge head 20 such as the discharge inspection unit 70 for inspecting the discharge state of the droplet discharge head 20. The maintenance device is a device that performs various types of maintenance of the droplet discharge head 20. The maintenance device scanning mechanism 75 is a device that can move these devices in the X-axis direction and supports the devices in an arbitrary position.
When performing inspection and maintenance of the droplet discharge head 20, the head unit 21 (droplet discharge head 20) is moved to a position facing the maintenance device unit 7 using the Y-axis scanning mechanism. Further, the inspection device or maintenance device corresponding to the inspection or maintenance to be performed is moved by the maintenance device scanning mechanism 75 to a position facing the head unit 21 (droplet discharge head 20).

吐出検査ユニット70は、検査シート載置台71と、撮像カメラ72とを備えている。
検査シート載置台71は、ワーク載置台30の載置面と略平行な載置面を有し、当該載置面に、検査シートを吸着支持可能である。検査シート載置台71は、保守装置走査機構75によって、X軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持されている。
The discharge inspection unit 70 includes an inspection sheet mounting table 71 and an imaging camera 72.
The inspection sheet mounting table 71 has a mounting surface that is substantially parallel to the mounting surface of the workpiece mounting table 30, and can support the inspection sheet by suction. The inspection sheet placing table 71 can be moved in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75 and supported so as to be held at an arbitrary position.

保守装置走査機構75によって、検査シート載置台71をX軸方向に移動させることで、検査シート載置台71の載置面に保持された検査シートを、保守装置部7に臨む位置に移動されたヘッドユニット21(液滴吐出ヘッド20)に臨ませる。当該位置状態で、液滴吐出ヘッド20から液状体を吐出させることで、検査シート載置台71に保持された検査シートに液滴を着弾させることができる。保守装置走査機構75による検査シートのX軸方向の移動に同調させて、液滴吐出ヘッド20が備える吐出ノズル24(図2参照)から液状体を吐出させることで、X軸方向における着弾位置を調整することができる。   By moving the inspection sheet mounting table 71 in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75, the inspection sheet held on the mounting surface of the inspection sheet mounting table 71 is moved to a position facing the maintenance device unit 7. The head unit 21 (droplet discharge head 20) is allowed to face. By discharging the liquid material from the droplet discharge head 20 in the position state, the droplet can be landed on the inspection sheet held on the inspection sheet mounting table 71. In synchronization with the movement of the inspection sheet in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75, the liquid material is discharged from the discharge nozzle 24 (see FIG. 2) provided in the droplet discharge head 20, thereby setting the landing position in the X-axis direction. Can be adjusted.

撮像カメラ72は、カメラ支持棒73に、図示省略した昇降機構によってZ軸方向に昇降自在であって、任意の位置に保持可能に支持されている。カメラ支持棒73は、保守装置走査機構75の脇で、定盤9に立設されており、撮像カメラ72は、保守装置走査機構75に、略Z軸方向から臨んで支持されている。検査シート載置台71は、保守装置走査機構75によって、撮像カメラ72が臨んでおり、撮像カメラ72によって撮影可能な位置に移動可能である。保守装置走査機構75によって、検査シート載置台71を撮像カメラ72に臨む位置に移動することで、検査シート載置台71に保持された検査シートの面を、撮像カメラ72によって撮影可能である。   The imaging camera 72 is supported by a camera support rod 73 so as to be movable up and down in the Z-axis direction by an elevator mechanism (not shown) and held at an arbitrary position. The camera support rod 73 is erected on the surface plate 9 beside the maintenance device scanning mechanism 75, and the imaging camera 72 is supported by the maintenance device scanning mechanism 75 so as to face from substantially the Z-axis direction. The inspection sheet placement table 71 faces the imaging camera 72 by the maintenance device scanning mechanism 75, and can be moved to a position where the imaging camera 72 can shoot. By moving the inspection sheet mounting table 71 to a position facing the imaging camera 72 by the maintenance device scanning mechanism 75, the surface of the inspection sheet held on the inspection sheet mounting table 71 can be photographed by the imaging camera 72.

<液滴吐出ヘッド>
次に、液滴吐出ヘッド20について、図2を参照して説明する。
図2は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図2(a)は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図2(b)は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図2(c)は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図2に示したX軸、Y軸、及びZ軸は、液滴吐出ヘッド20が液滴吐出装置1に装着された状態において、図1に示したX軸、Y軸及びZ軸と一致している。
<Droplet ejection head>
Next, the droplet discharge head 20 will be described with reference to FIG.
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the droplet discharge head. 2A is an external perspective view showing a schematic configuration of the droplet discharge head, FIG. 2B is a perspective sectional view showing the structure of the droplet discharge head, and FIG. It is sectional drawing which shows the structure of the part of the discharge nozzle of a droplet discharge head. The X-axis, Y-axis, and Z-axis shown in FIG. 2 coincide with the X-axis, Y-axis, and Z-axis shown in FIG. 1 when the droplet discharge head 20 is mounted on the droplet discharge apparatus 1. ing.

図2(a)に示したように、液滴吐出ヘッド20は、ノズル基板25を備えている。ノズル基板25には、多数の吐出ノズル24が略一直線状に並んだノズル列24Aが2列形成されている。吐出ノズル24から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列24Aは、液滴吐出ヘッド20が液滴吐出装置1に装着された状態で、図1に示したY軸方向に延在している。ノズル列24Aにおいて吐出ノズル24は等間隔のノズルピッチで並んでおり、2列のノズル列24A間で、吐出ノズル24の位置がY軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド20としては、Y軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。   As illustrated in FIG. 2A, the droplet discharge head 20 includes a nozzle substrate 25. In the nozzle substrate 25, two rows of nozzle rows 24A in which a large number of discharge nozzles 24 are arranged in a substantially straight line are formed. The functional liquid is ejected as droplets from the ejection nozzle 24 and landed on a drawing object or the like at an opposing position, thereby arranging the functional liquid at the position. The nozzle row 24 </ b> A extends in the Y-axis direction shown in FIG. 1 in a state where the droplet discharge head 20 is mounted on the droplet discharge apparatus 1. In the nozzle row 24A, the discharge nozzles 24 are arranged at equal nozzle pitches, and the position of the discharge nozzle 24 is shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction between the two nozzle rows 24A. Therefore, as the liquid droplet ejection head 20, functional liquid droplets can be arranged at half nozzle pitch intervals in the Y-axis direction.

図2(b)及び(c)に示すように、液滴吐出ヘッド20は、ノズル基板25に圧力室プレート51が積層されており、圧力室プレート51に振動板52が積層されている。
圧力室プレート51には、液滴吐出ヘッド20に供給される機能液が常に充填される液たまり55が形成されている。液たまり55は、振動板52と、ノズル基板25と、圧力室プレート51の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部4から液滴吐出ヘッド20に供給され、振動板52の液供給孔53を経由して液たまり55に供給される。また、圧力室プレート51には、複数のヘッド隔壁57によって区切られた圧力室58が形成されている。振動板52と、ノズル基板25と、2個のヘッド隔壁57とによって囲まれた空間が圧力室58である。
As shown in FIGS. 2B and 2C, in the droplet discharge head 20, the pressure chamber plate 51 is stacked on the nozzle substrate 25, and the vibration plate 52 is stacked on the pressure chamber plate 51.
The pressure chamber plate 51 is formed with a liquid pool 55 in which the functional liquid supplied to the droplet discharge head 20 is always filled. The liquid pool 55 is a space surrounded by the diaphragm 52, the nozzle substrate 25, and the wall of the pressure chamber plate 51. The functional liquid is supplied from the functional liquid supply unit 4 to the droplet discharge head 20 and is supplied to the liquid pool 55 via the liquid supply hole 53 of the vibration plate 52. Further, the pressure chamber plate 51 is formed with a pressure chamber 58 partitioned by a plurality of head partition walls 57. A space surrounded by the diaphragm 52, the nozzle substrate 25, and the two head partition walls 57 is a pressure chamber 58.

圧力室58は吐出ノズル24のそれぞれに対応して設けられており、圧力室58の数と吐出ノズル24の数とは同じである。圧力室58には、2個のヘッド隔壁57の間に位置する供給口56を介して、液たまり55から機能液が供給される。ヘッド隔壁57と圧力室58と吐出ノズル24と供給口56との組は、液たまり55に沿って1列に並んでおり、1列に並んだ吐出ノズル24がノズル列24Aを形成している。
図2(b)では図示省略したが、図示した吐出ノズル24を含むノズル列24Aに対して液たまり55に関して略対称位置に、1列に並んで配設された吐出ノズル24がもう1列のノズル列24Aを形成している。当該ノズル列24Aに対応するヘッド隔壁57と圧力室58と供給口56との組が、1列に並んでいる。
The pressure chambers 58 are provided corresponding to the respective discharge nozzles 24, and the number of the pressure chambers 58 and the number of the discharge nozzles 24 are the same. The functional fluid is supplied from the liquid pool 55 to the pressure chamber 58 via the supply port 56 located between the two head partition walls 57. A set of the head partition wall 57, the pressure chamber 58, the discharge nozzle 24, and the supply port 56 is arranged in a line along the liquid pool 55, and the discharge nozzles 24 arranged in a line form a nozzle line 24A. .
Although not shown in FIG. 2B, the discharge nozzles 24 arranged in one row are arranged in a substantially symmetrical position with respect to the liquid pool 55 with respect to the nozzle row 24A including the discharge nozzle 24 shown in the figure. A nozzle row 24A is formed. A set of a head partition wall 57, a pressure chamber 58, and a supply port 56 corresponding to the nozzle row 24A is arranged in one row.

振動板52の圧力室58を構成する部分には、それぞれ圧電素子59の一端が固定されている。圧電素子59の他端は、固定板(図示省略)を介して液滴吐出ヘッド20全体を支持する基台(図示省略)に固定されている。
圧電素子59は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子59は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向(図2(b)又は(c)における振動板52の厚さ方向)に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
One end of each piezoelectric element 59 is fixed to the portion of the diaphragm 52 that constitutes the pressure chamber 58. The other end of the piezoelectric element 59 is fixed to a base (not shown) that supports the entire droplet discharge head 20 via a fixing plate (not shown).
The piezoelectric element 59 has an active part in which an electrode layer and a piezoelectric material are stacked. In the piezoelectric element 59, by applying a driving voltage to the electrode layer, the active portion contracts in the longitudinal direction (the thickness direction of the diaphragm 52 in FIG. 2B or 2C). When the drive voltage applied to the electrode layer is released, the active portion returns to its original length.

電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子59の活性部が縮むことで、圧電素子59の一端が固定された振動板52が圧力室58と反対側に引張られる力を受ける。振動板52が圧力室58と反対側に引張られることで、振動板52が圧力室58の反対側に挑む。これにより、圧力室58の容積が増加することがら、機能液が液たまり55から供給口56を経て圧力室58に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子59が振動板52を抑圧する。振動板52が押圧されることで、圧力室58側に戻る。これにより、圧力室58の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室58内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室58に連通して形成された吐出ノズル24から機能液が液滴となって吐出される。   When the driving voltage is applied to the electrode layer and the active portion of the piezoelectric element 59 is contracted, the vibration plate 52 to which one end of the piezoelectric element 59 is fixed receives a force that is pulled to the side opposite to the pressure chamber 58. When the diaphragm 52 is pulled to the opposite side of the pressure chamber 58, the diaphragm 52 challenges the opposite side of the pressure chamber 58. As a result, while the volume of the pressure chamber 58 increases, the functional liquid is supplied from the liquid pool 55 to the pressure chamber 58 via the supply port 56. Next, when the drive voltage applied to the electrode layer is released, the active portion returns to the original length, and the piezoelectric element 59 suppresses the diaphragm 52. When the diaphragm 52 is pressed, it returns to the pressure chamber 58 side. As a result, the volume of the pressure chamber 58 suddenly returns to the original, that is, the increased volume is reduced, so that pressure is applied to the functional liquid filled in the pressure chamber 58 and the pressure chamber 58 communicates with the pressure chamber 58. The functional liquid is discharged as droplets from the discharge nozzle 24 formed in this manner.

<ヘッドユニット>
次に、ヘッド機構部2が備えるヘッドユニット21の概略構成について、図3を参照して説明する。
図3は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図3に示したX軸及びY軸は、ヘッドユニット21が液滴吐出装置1に取り付けられた状態において、図1に示したX軸及びY軸と一致している。
<Head unit>
Next, a schematic configuration of the head unit 21 provided in the head mechanism unit 2 will be described with reference to FIG.
FIG. 3 is a plan view showing a schematic configuration of the head unit. The X axis and the Y axis shown in FIG. 3 coincide with the X axis and the Y axis shown in FIG. 1 in a state where the head unit 21 is attached to the droplet discharge device 1.

図3に示したように、ヘッドユニット21は、ユニットプレート23と、ユニットプレート23に搭載された9個の液滴吐出ヘッド20と、を有している。液滴吐出ヘッド20は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート23に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド20は、ヘッド本体がユニットプレート23に形成された孔(図示省略)に遊嵌して、ノズル基板25が、ユニットプレート23の面より突出した位置に位置している。図3は、ノズル基板25の側から見た図である。9個の液滴吐出ヘッド20は、Y軸方向に分かれて、それぞれ3個ずつの液滴吐出ヘッド20を有するヘッド組20Aを3群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド20のノズル列24Aは、ヘッドユニット21が液滴吐出装置1に取り付けられた状態において、Y軸方向に延在している。   As shown in FIG. 3, the head unit 21 includes a unit plate 23 and nine droplet discharge heads 20 mounted on the unit plate 23. The droplet discharge head 20 is fixed to the unit plate 23 via a head holding member (not shown). In the fixed droplet discharge head 20, the head body is loosely fitted in a hole (not shown) formed in the unit plate 23, and the nozzle substrate 25 is located at a position protruding from the surface of the unit plate 23. . FIG. 3 is a view as seen from the nozzle substrate 25 side. The nine droplet ejection heads 20 are divided in the Y-axis direction to form three groups of head groups 20A each having three droplet ejection heads 20 each. The nozzle row 24 </ b> A of each droplet discharge head 20 extends in the Y-axis direction when the head unit 21 is attached to the droplet discharge device 1.

一つのヘッド組20Aが有する3個の液滴吐出ヘッド20は、Y軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド20の、一方の液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組20Aが有する3個の液滴吐出ヘッド20において、全ての吐出ノズル24のX軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル24は、Y軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、X軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド20が有するそれぞれのノズル列24Aを構成する吐出ノズル24から吐出された液滴は、設計上では、Y軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。   The three droplet discharge heads 20 included in one head set 20A are more than the discharge nozzles 24 at the ends of one droplet discharge head 20 of the droplet discharge heads 20 adjacent to each other in the Y-axis direction. The discharge nozzle 24 at the end of one of the droplet discharge heads 20 is disposed at a position where it is shifted by a half nozzle pitch. In the three droplet discharge heads 20 included in the head set 20A, if the positions of all the discharge nozzles 24 in the X-axis direction are the same, the discharge nozzles 24 are arranged at equal intervals of a half nozzle pitch in the Y-axis direction. In other words, at the same position in the X-axis direction, the droplets ejected from the ejection nozzles 24 constituting each nozzle row 24A included in each droplet ejection head 20 are arranged at equal intervals in the Y-axis direction by design. To land on a straight line.

一つのヘッド組20Aが備える3個の液滴吐出ヘッド20が有する6列のノズル列24Aは、1本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列は、例えば180個の6倍、1080個の吐出ノズル24を有し、Y軸方向におけるノズルピッチは、70μmであり、Y軸方向の両端の吐出ノズル24の中心間距離(ノズル列長さ)は、約75.5mmである。液滴吐出ヘッド20は、Y軸方向において互いに重なるため、X軸方向に階段状に並んでヘッド組20Aを構成している。   The six nozzle rows 24A included in the three droplet discharge heads 20 included in one head set 20A can be handled as one nozzle row. The nozzle row has, for example, 180 times six times and 1080 discharge nozzles 24, the nozzle pitch in the Y-axis direction is 70 μm, and the distance between the centers of the discharge nozzles 24 at both ends in the Y-axis direction (nozzle row) Length) is about 75.5 mm. Since the droplet discharge heads 20 overlap with each other in the Y-axis direction, the head set 20A is configured in a stepwise manner in the X-axis direction.

ヘッドユニット21が有する3つのヘッド組20Aは、それぞれが有する1本のノズル列とみなせるノズル列が、Y軸方向において、ノズル列24Aの半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット21は、互いに隣り合うヘッド組20Aを構成する液滴吐出ヘッド20の、一方のヘッド組20Aにおける液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24に対して、もう一方のヘッド組20Aにおける液滴吐出ヘッド20の端の吐出ノズル24が、Y軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設されている。   The three head sets 20A included in the head unit 21 are arranged at positions where the nozzle arrays that can be regarded as one nozzle array included in each of the head units 21 are shifted by a half nozzle pitch of the nozzle array 24A in the Y-axis direction. . In other words, each head unit 21 has the other of the droplet discharge heads 20 constituting the adjacent head set 20A with respect to the discharge nozzle 24 at the end of the droplet discharge head 20 in one head set 20A. The discharge nozzle 24 at the end of the droplet discharge head 20 in the head set 20A is disposed at a position shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction.

一つのヘッドユニット21が備える3つのヘッド組20Aにおける9個の液滴吐出ヘッド20が有する18列のノズル列24Aは、1本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列を「ユニットノズル列240A」と表記する。ユニットノズル列240Aは、例えば180個の18倍、3240個の吐出ノズル24を有しY軸方向におけるノズルピッチは、70μmであり、Y軸方向の両端の吐出ノズル24の中心間距離(ノズル列長さ)は、約226、7mmである。即ち、一つヘッドユニット21の吐出ノズル24から一滴ずつ吐出させて、X軸方向が同じ位置になるように着弾させると、3240個の点が70μmのピッチ間隔で連なる直線が形成される。   The 18 nozzle rows 24A included in the nine droplet discharge heads 20 in the three head sets 20A provided in one head unit 21 can be handled as one nozzle row. The nozzle row is referred to as “unit nozzle row 240A”. The unit nozzle row 240A has 180 times 18 times, 3240 discharge nozzles 24, for example, and the nozzle pitch in the Y-axis direction is 70 μm, and the distance between the centers of the discharge nozzles 24 at both ends in the Y-axis direction (nozzle row) The length) is about 226,7 mm. That is, when one droplet is ejected from the ejection nozzle 24 of the head unit 21 and landed so that the X-axis direction is the same position, a straight line is formed in which 3240 points are connected at a pitch interval of 70 μm.

上述したように、液滴吐出装置1は、2個のヘッドユニット21を備えており、2個のユニットノズル列240AがY軸方向に連なったノズル列を構成することができる。当該ノズル列によって、1回の走査の間に、例えば6480個の点が70μmのピッチ間隔で連なる直線を形成することができる。   As described above, the droplet discharge device 1 includes the two head units 21 and can form a nozzle row in which the two unit nozzle rows 240A are continuous in the Y-axis direction. The nozzle row can form a straight line in which, for example, 6480 points are connected at a pitch interval of 70 μm during one scan.

また、ヘッドユニット21のX方向の両側には、それぞれ紫外線照射装置15が配置されている。紫外線照射装置15は、ヘッドユニット21を挟んで互いに対峙する位置に設けられている。紫外線照射装置15は、それぞれ、紫外光を発する光源を有している。光源からの紫外光は、ヘッドユニット21から吐出された機能液の硬化を促進させる。光源としては、例えば、LED、LD、水銀ランプ、メクルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源が採用され得る。
紫外線照射装置15は、ワークWや検査シート110に着弾した直後の機能液に対して紫外光を照射する。これにより、機能液は、ワークWや検査シート110上で硬化又は仮硬化される。紫外光の照射量を調整することで、機能液の硬化又は仮硬化の程度、機能液の流動状態が変化する。
In addition, ultraviolet irradiation devices 15 are disposed on both sides of the head unit 21 in the X direction. The ultraviolet irradiation device 15 is provided at a position facing each other across the head unit 21. Each ultraviolet irradiation device 15 has a light source that emits ultraviolet light. The ultraviolet light from the light source promotes curing of the functional liquid ejected from the head unit 21. As the light source, for example, various light sources such as LED, LD, mercury lamp, mekhalide lamp, xenon lamp, and excimer lamp can be adopted.
The ultraviolet irradiation device 15 irradiates the functional liquid immediately after landing on the workpiece W or the inspection sheet 110 with ultraviolet light. Thereby, the functional liquid is cured or temporarily cured on the workpiece W or the inspection sheet 110. By adjusting the irradiation amount of ultraviolet light, the degree of curing or temporary curing of the functional liquid and the flow state of the functional liquid change.

機能液としては、光の照射を受けることによって硬化が促進する機能液が採用されている。また、機能液の硬化を促進させる光として、紫外光が採用されている。
機能液は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる(有色機能液)。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料身添加することによって固有の機能を有する機能液を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液は、例えば、ワークに描画する画像を形成するための機能液として採用され得る。
As the functional liquid, a functional liquid that is cured by being irradiated with light is employed. In addition, ultraviolet light is employed as light for promoting the curing of the functional liquid.
The functional liquid contains a resin material, a photopolymerization initiator, and a solvent as components (colored functional liquid). A functional liquid having a specific function can be generated by adding a functional material such as a pigment such as a pigment or a dye or a surface modifying material such as a lyophilic or liquid repellent property to these components. A functional liquid containing a pigment such as a pigment or a dye can be employed as a functional liquid for forming an image to be drawn on a workpiece, for example.

また、機能液の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料身採用することによって、光透過性を有する機能液を構成することができる。このような光透過性を有する機能液は、例えば、クリアインク(透明機能液)としての用途が考えられる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液を採用することもできる。例えば、白色を呈する機能液や、金属的な光沢(メタリッ列を示す機能液なども、下地塗料として採用され得る。
Further, by adopting a resin material having light permeability such as an acrylic resin material as a resin material as a component of the functional liquid, a functional liquid having light permeability can be configured. Such a functional liquid having optical transparency can be used as, for example, a clear ink (transparent functional liquid).
As the use of the clear ink, for example, a use as an overcoat layer for covering an image, a use as a base layer before forming an image, and the like can be considered.
As the base paint, not only the light-transmitting paint but also a functional liquid obtained by adding various pigments to the light-transmitting paint can be adopted. For example, a functional liquid exhibiting a white color or a metallic luster (a functional liquid exhibiting a metallic line) may be employed as the base paint.

機能液における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋吐基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ペンジルジメチルケタールなどが採用され得る。本実施形態では、光重合開始剤として、ラジカル型の光重合開始剤が採用されている。ラジカル型の光重合開始剤としては、例えば、チバ・ジャパン(株)社製のイルガキュア819などが採用され得る。溶媒は、樹脂材料・の粘度を調整するためのものである。
The resin material in the functional liquid is a material that forms a resin film. Such a resin material is not particularly limited as long as it is a liquid material at room temperature and becomes a polymer by being polymerized. The resin material preferably has a low viscosity, and is preferably in the form of an oligomer. Furthermore, the resin material is more preferably in the form of a monomer.
The photopolymerization initiator is an additive that acts on the cross-linking group of the polymer to advance the cross-linking reaction. As the photopolymerization initiator, for example, pendyl dimethyl ketal may be employed. In this embodiment, a radical photopolymerization initiator is employed as the photopolymerization initiator. As the radical type photopolymerization initiator, for example, Irgacure 819 manufactured by Ciba Japan Co., Ltd. may be employed. The solvent is for adjusting the viscosity of the resin material.

なお、機能液としては、光の照射を受けることによって硬化が促進する機能液に限らない。熱により硬化が促進する機能液でもよい。また、単に乾燥により硬化する場合であってもよい。
また、機能液の硬化を促進させる光としては、紫外光に限らず、赤外光や可視光であってもよい。
また、複数の機能液を重ねて着弾させる場合には、少なくとも下地側の機能液が硬化(乾燥)するものであればよい。
In addition, as a functional liquid, it is not restricted to the functional liquid which hardening accelerates | stimulates by receiving light irradiation. A functional liquid that accelerates curing by heat may be used. Moreover, the case where it hardens | cures only by drying may be sufficient.
Further, the light for accelerating the curing of the functional liquid is not limited to ultraviolet light, but may be infrared light or visible light.
In addition, when a plurality of functional liquids are stacked and landed, it is sufficient that at least the base-side functional liquid is cured (dried).

<機能液の吐出>
次に、液滴吐出装置1における液滴吐出ヘッド20からの吐出制御方法について、図4を参照して説明する。
図4は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
<Discharge of functional liquid>
Next, a discharge control method from the droplet discharge head 20 in the droplet discharge apparatus 1 will be described with reference to FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an electrical configuration of the droplet discharge head and a signal flow.

上述したように、液滴吐出装置1は、液滴吐出装置1の各部の動作を制御する吐出装置制御部6を備えている。吐出装置制御部6は、制御信号を出力するCPU84と、液滴吐出ヘッド20の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー20dとを備えている。
図4に示すように、ヘッドドライバー20dは、FFCケーブルを介して各液滴吐出ヘッド20と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド20は、吐出ノズル24(図2参照)ごとに設けられた圧電素子59に対応して、シフトレジスクー(SL)85と、ラッチ回路(LAT)86と、レベルシフター(LS)87と、スイッチ(SW)88とを備えている。
As described above, the droplet discharge device 1 includes the discharge device control unit 6 that controls the operation of each unit of the droplet discharge device 1. The ejection device controller 6 includes a CPU 84 that outputs a control signal and a head driver 20 d that performs electrical drive control of the droplet ejection head 20.
As shown in FIG. 4, the head driver 20d is electrically connected to each droplet discharge head 20 via an FFC cable. Further, the droplet discharge head 20 corresponds to the piezoelectric element 59 provided for each discharge nozzle 24 (see FIG. 2), and includes a shift register (SL) 85, a latch circuit (LAT) 86, and a level shifter ( LS) 87 and a switch (SW) 88.

液滴吐出装置1における吐出制御は、次のように行われる。最初に、CPU84がワークWなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバー20dに伝送する。そして、ヘッドドライバー20dは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル24ごとのON/OFF(吐出/非吐出)情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号(SI)化されて、クロック信号(CK)に同期して各シフトレジスター85に伝送される。   The discharge control in the droplet discharge device 1 is performed as follows. First, the CPU 84 transmits the dot pattern data obtained by converting the arrangement pattern of the functional liquid on the drawing object such as the workpiece W to the head driver 20d. Then, the head driver 20d decodes the dot pattern data to generate nozzle data that is ON / OFF (discharge / non-discharge) information for each discharge nozzle 24. The nozzle data is converted into a serial signal (SI) and transmitted to each shift register 85 in synchronization with the clock signal (CK).

シフトレジスター85に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号(LAT)がラッチ回路86に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフクー87でスイッチ88用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ON」の場合にはスイッチ88が開いて圧電素子59に駆動信号(COM)が供給され、ノズルデータが「OFF」の場合にはスイッチ88が閉じられて圧電素子59に駆動信号(COM)は供給されない。そして、「ON」に対応する吐出ノズル24からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークWなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。   The nozzle data transmitted to the shift register 85 is latched at the timing when the latch signal (LAT) is input to the latch circuit 86, and further converted into a gate signal for the switch 88 by the level shift cou 87. That is, when the nozzle data is “ON”, the switch 88 is opened and the drive signal (COM) is supplied to the piezoelectric element 59. When the nozzle data is “OFF”, the switch 88 is closed and the piezoelectric element 59 is closed. The drive signal (COM) is not supplied. Then, the functional liquid is discharged as droplets from the discharge nozzle 24 corresponding to “ON”, and the discharged droplets of the functional liquid land on the drawing object such as the workpiece W, and the drawing object The functional liquid is placed on the top.

<着弾位置>
次に、液滴吐出ヘッド20の吐出ノズル24と、それぞれの吐出ノズル24から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図5を参照して説明する。
図5は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図5(a)は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図5(b)は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図5(c)は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図5(d)は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図5に示したX軸及びY軸は、ヘッドユニット21が液滴吐出装置1に取り付けられた状態において、図1に示したX軸及びY軸と一致している。X軸方向が主走査方向であって、図5に示した矢印aの方向に吐出ノズル24(液滴吐出ヘッド20)を相対移動させながら、任意の位置において液状体の液滴を吐出することによって、X軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
<Landing position>
Next, the relationship between the discharge nozzles 24 of the droplet discharge head 20 and the landing positions of the droplets discharged from the respective discharge nozzles 24 will be described with reference to FIG.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing the relationship between the discharge nozzles and the landing positions of the droplets discharged from the respective discharge nozzles. FIG. 5 (a) is an explanatory view showing the arrangement position of the discharge nozzles, and FIG. 5 (b) is an explanatory view showing a state in which droplets are landed linearly in the extending direction of the nozzle rows, FIG. 5C is an explanatory diagram showing a state in which droplets have landed linearly in the main scanning direction, and FIG. 5D is an explanatory diagram showing a state in which droplets have landed in a planar shape. is there. The X axis and Y axis shown in FIG. 5 coincide with the X axis and Y axis shown in FIG. 1 when the head unit 21 is attached to the droplet discharge device 1. The X-axis direction is the main scanning direction, and liquid droplets are discharged at an arbitrary position while the discharge nozzle 24 (droplet discharge head 20) is relatively moved in the direction of arrow a shown in FIG. Thus, the droplet can be landed at an arbitrary position in the X-axis direction.

図5(a)に示すように、ノズル列24Aを構成する吐出ノズル24は、Y軸方向にノズルピッチPの中心間距離で配列されている。上述したように、2列のノズル列24Aをそれぞれ構成する吐出ノズル24同士は、Y軸方向において、相互に、ノズルピッチPの1/2ずつ位置がずれている。   As shown in FIG. 5A, the discharge nozzles 24 constituting the nozzle row 24A are arranged at the center distance of the nozzle pitch P in the Y-axis direction. As described above, the positions of the discharge nozzles 24 constituting the two nozzle rows 24A are shifted from each other by ½ of the nozzle pitch P in the Y-axis direction.

図5(b)に示すように、着弾位置を示す着弾点91と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円91Aとで、着弾した1滴の液滴の状態を示している。2列のノズル列24Aの全部の吐出ノズル24から、図5(b)に二点鎖練で示した仮想線L上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチPの1/2の中心間間隔で着弾円91Aが連なる直線が形成される。   As shown in FIG. 5 (b), the landing point 91 indicating the landing position and the landing circle 91A indicating the wet and spreading state of the landed liquid droplet indicate the state of one landed liquid droplet. By discharging droplets from all of the discharge nozzles 24 of the two nozzle rows 24A at the timing of landing on the virtual line L indicated by the two-dot chain in FIG. 5B, the nozzle pitch P is set. A straight line is formed in which the landing circles 91 </ b> A are continuous at a center-to-center spacing of ½.

図5(c)に示すように、一つの吐出ノズル24から連続して液滴を吐出させることによって、X軸方向に着弾円91Aが連なる直線が形成される。X軸方向における着弾点91間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離dと表記する。最小着弾距離dは、主走査方向の相対移動速度と、吐出ノズル24の最小吐出間隔との積である。   As shown in FIG. 5C, by continuously ejecting liquid droplets from one ejection nozzle 24, a straight line in which landing circles 91A are continuous in the X-axis direction is formed. The minimum value of the center-to-center distance between the landing points 91 in the X-axis direction is denoted as the minimum landing distance d. The minimum landing distance d is a product of the relative movement speed in the main scanning direction and the minimum discharge interval of the discharge nozzle 24.

図5(d)に示すように、二点鎖線で示した仮想線L1、L2、L3上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチPの1/2の中心間間隔で着弾円91Aが連なる直線が、X軸方向に並列した着弾面が形成される。
図5(d)に示した仮想線L1、L2、L3間の距離が最小着弾距離dの場合のそれぞれの着弾点91が、液滴吐出装置1によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
As shown in FIG. 5 (d), by ejecting droplets at the timing of landing on virtual lines L1, L2, and L3 indicated by two-dot chain lines, the center-to-center spacing of ½ of the nozzle pitch P is obtained. Thus, a landing surface is formed in which the straight lines connecting the landing circles 91A are arranged in parallel in the X-axis direction.
Each landing point 91 in the case where the distance between the virtual lines L1, L2, and L3 shown in FIG. 5D is the minimum landing distance d is a position at which the droplet of the functional liquid can be disposed by the droplet discharge device 1. is there.

画像の描画に際しては、画像の情報に従って、図5(d)に示したそれぞれの着弾点91の位置について、液滴を配置する位置を定める。例えば、当該配置位置、及び配置位置に液滴を吐出する吐出ノズル24を指定した配置表を形成し、配置表に従って機能液を着弾させることによって、画像の情報によって規定される画像を描画する。
なお、図5(d)に示した例では、着弾円91Aの間に隙間が存在するが、ノズルピッチPや最小着弾距離dに対して、吐出する液滴の1滴あたりの吐出重量を適切に定めることによって、隙間なく機能液を配置することが可能である。
At the time of drawing an image, the positions where the droplets are to be arranged are determined for the positions of the respective landing points 91 shown in FIG. For example, an arrangement table specifying the arrangement position and the discharge nozzles 24 that discharge droplets at the arrangement position is formed, and the functional liquid is landed according to the arrangement table, thereby drawing an image defined by the image information.
In the example shown in FIG. 5 (d), there is a gap between the landing circles 91A, but the discharge weight per one droplet to be discharged is appropriate for the nozzle pitch P and the minimum landing distance d. It is possible to arrange the functional liquid without gaps.

<吐出検査>
次に、吐出検査ユニット70を用いて実施する吐出ノズル24の吐出検査について、図6及び図7を参照して説明する。
上述したように、液滴吐出装置1は、2個のヘッドユニット21を備えており、2個のユニットノズル列240Aを備えている。ここでは、1個のヘッドユニット21には、無色透明な透明機能液190が供給され、もう1個のヘッドユニット21には、有色の有色機能液290が供給される場合を例に説明する。透明機能液190が供給されるヘッドユニット21を透明液ユニットと表記し、有色機能液290が供給されるヘッドユニット21を有色液ユニットと表記する。
<Discharge inspection>
Next, the discharge inspection of the discharge nozzle 24 performed using the discharge inspection unit 70 will be described with reference to FIGS.
As described above, the droplet discharge device 1 includes the two head units 21 and the two unit nozzle rows 240A. Here, a case where a colorless and transparent transparent functional liquid 190 is supplied to one head unit 21 and a colored functional liquid 290 is supplied to the other head unit 21 will be described as an example. The head unit 21 to which the transparent functional liquid 190 is supplied is referred to as a transparent liquid unit, and the head unit 21 to which the colored functional liquid 290 is supplied is referred to as a colored liquid unit.

図6は、吐出検査の工程を示すフローチャートである。図7は、吐出検査のために吐出されて着弾した機能液の状態を示す説明図である。図7(a)は、透明機能液が着弾した透明着弾円、及び有色機能液が着弾した有色着弾円の状態を示す説明図であり、図7(b)は、多数の透明着弾円及び有色着弾円で図形を構成する例を示す説明図である。   FIG. 6 is a flowchart showing a discharge inspection process. FIG. 7 is an explanatory diagram showing a state of the functional liquid discharged and landed for the discharge inspection. FIG. 7A is an explanatory diagram showing a state of a transparent landing circle landed with a transparent functional fluid and a colored landing circle landed with a colored functional fluid, and FIG. 7B shows a number of transparent landing circles and colored circles. It is explanatory drawing which shows the example which comprises a figure with a landing circle.

図6のステップS21では、検査シート110(図7参照)を、吐出検査ユニット70の検査シート載置台71にセットする。検査シート110としては、樹脂フイルムなどを用いることができる。検査シートは、着弾した機能液が着弾位置から移動し難く、また、浸透し難くいような材質であることが好ましい。   In step S <b> 21 of FIG. 6, the inspection sheet 110 (see FIG. 7) is set on the inspection sheet mounting table 71 of the discharge inspection unit 70. As the inspection sheet 110, a resin film or the like can be used. The inspection sheet is preferably made of a material that makes it difficult for the landed functional liquid to move from the landing position and to hardly penetrate.

次に、ステップS22では、透明液ユニットをY軸方向に移動させて、保守装置部7に臨む位置である吐出検査位置に位置させる。吐出検査位置は、保守装置走査機構75によって検査シート載置台71をX軸方向に走査させることによって、透明液ユニットが有する全ての吐出ノズル24を、検査シート載置台71にセットされた検査シート110に臨ませることができる位置である。   Next, in step S <b> 22, the transparent liquid unit is moved in the Y-axis direction so as to be positioned at a discharge inspection position that is a position facing the maintenance device unit 7. The discharge inspection position is such that the inspection sheet mounting table 71 is scanned in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75, whereby all the discharge nozzles 24 of the transparent liquid unit are set on the inspection sheet mounting table 71. It is a position where you can face.

次に、ステップS23では、透明液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施する。保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に走査させ、透明液ユニットの吐出ノズル24から透明機能液190の透明液滴191を吐出させて、図7(a−1)又は図7(b−1)に示したように、検査シート110の所定の位置に着弾させる。検査シート110の所定の位置は、正確には、検査シート載置台71に保持された検査シート110における、検査シート載置台71の所定の位置を覆っている部分である。   Next, in step S23, inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit is performed. The maintenance device scanning mechanism 75 scans the inspection sheet mounting table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction, and discharges the transparent liquid droplet 191 of the transparent functional liquid 190 from the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit. 7 (a-1) or 7 (b-1), the test sheet 110 is landed at a predetermined position. The predetermined position of the inspection sheet 110 is precisely the portion of the inspection sheet 110 held on the inspection sheet mounting table 71 that covers the predetermined position of the inspection sheet mounting table 71.

図7(a−1)に示すように、検査シート110に着弾した透明機能液190の透明液滴191は、平面視略円形の透明着弾円192を形成する。透明着弾円192の大きさは、透明液滴191の体積、透明機能液190の粘性、検査シート110の透明機能液190に対する撥液特性などによって定まる。   As shown in FIG. 7A-1, the transparent droplet 191 of the transparent functional liquid 190 that has landed on the inspection sheet 110 forms a transparent landing circle 192 that is substantially circular in plan view. The size of the transparent landing circle 192 is determined by the volume of the transparent droplet 191, the viscosity of the transparent functional liquid 190, the liquid repellency of the inspection sheet 110 with respect to the transparent functional liquid 190, and the like.

図7(b−1)に示すように、透明液滴191を例えば直線状に着弾させる。図7(b−1)に示した例では、液滴吐出ヘッド20の一方のノズル列24Aから吐出した透明液滴191は、仮想線L21上に着弾させ、もう一方のノズル列24Aから吐出した透明液滴191は、仮想線L22上に着弾させている。仮想線L21上及び仮想線L22上には、設計上では、ノズル列24Aにおける吐出ノズル24のノズルピッチの間隔で、透明着弾円192が並んでいる。2列のノズル列24A間で、吐出ノズル24の位置がY軸方向に半ノズルピッチずれているため、仮想線L21上の透明着弾円192と仮想線L22上の透明着弾円192とでは、Y軸方向における位置が半ノズルピッチずれている。
透明機能液190(透明着弾円192)は、紫外線の照射により、硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態にされる。
As shown in FIG. 7 (b-1), the transparent liquid droplet 191 is landed, for example, linearly. In the example shown in FIG. 7 (b-1), the transparent liquid droplets 191 discharged from one nozzle row 24A of the liquid droplet discharge head 20 are landed on the virtual line L21 and discharged from the other nozzle row 24A. The transparent droplet 191 is landed on the virtual line L22. On the imaginary line L21 and the imaginary line L22, in the design, transparent landing circles 192 are arranged at intervals of the nozzle pitch of the discharge nozzles 24 in the nozzle row 24A. Since the position of the discharge nozzle 24 is shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction between the two nozzle rows 24A, the transparent landing circle 192 on the virtual line L21 and the transparent landing circle 192 on the virtual line L22 The position in the axial direction is shifted by a half nozzle pitch.
The transparent functional liquid 190 (transparent landing circle 192) is brought into a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying) by irradiation with ultraviolet rays.

次に、図6のステップS24では、有色液ユニットをY軸方向に移動させて、保守装置部7に臨む位置である吐出検査位置に位置させる。吐出検査位置は、上述したように、保守装置走査機構75によって検査シート載置台71をX軸方向に走査させることによって、有色液ユニットが有する全ての吐出ノズル24を、検査シート載置台71にセットされた検査シート110に臨ませることができる位置である。有色液ユニットの吐出検査位置は、透明液ユニットの吐出検査位置に対して、Y軸方向に半ノズルピッチずれた位置に設定する。   Next, in step S <b> 24 of FIG. 6, the colored liquid unit is moved in the Y-axis direction and is positioned at the ejection inspection position that is the position facing the maintenance device unit 7. As described above, the discharge inspection position is set by setting all the discharge nozzles 24 of the colored liquid unit on the inspection sheet mounting table 71 by causing the maintenance device scanning mechanism 75 to scan the inspection sheet mounting table 71 in the X-axis direction. It is a position where the inspection sheet 110 can be faced. The discharge inspection position of the colored liquid unit is set at a position shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction with respect to the discharge inspection position of the transparent liquid unit.

次に、ステップS25では、有色液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施する。保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に走査させ、有色液ユニットの吐出ノズル24から有色機能液290の有色液滴291を吐出させて、図7(a−2)及び図7(b−2)に示したように、検査シート110の所定の位置に着弾させる。所定の位置は、有色着弾円292を形成する有色機能液290の少なくとも一部が透明着弾円192を構成する透明機能液190と重なると共に、有色機能液290の少なくとも一部が透明機能液190と重ならない位置である。
ステップS25の有色機能液290の検査吐出は、ステップS23の透明液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出で検査シート110に配置された透明機能液190が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に実施する。
Next, in step S25, inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit is performed. The maintenance device scanning mechanism 75 scans the inspection sheet mounting table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction, and discharges the colored liquid droplets 291 of the colored functional liquid 290 from the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit. 7 (a-2) and FIG. 7 (b-2), the test sheet 110 is landed at a predetermined position. At a predetermined position, at least a part of the colored functional liquid 290 forming the colored landing circle 292 overlaps with the transparent functional liquid 190 constituting the transparent landing circle 192, and at least a part of the colored functional liquid 290 and the transparent functional liquid 190 It is a position that does not overlap.
In the inspection discharge of the colored functional liquid 290 in step S25, the transparent functional liquid 190 disposed on the inspection sheet 110 is cured (dried) or temporarily cured (temporary drying) by the inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit in step S23. After the non-flowing state of

図7(a−2)に示すように、検査シート110に着弾した有色機能液290の有色液滴291は、平面視略円形の有色着弾円292を形成する。有色着弾円292は、一部が透明着弾円192と重なっている。
有色着弾円292の大きさは、透明着弾円192と同様に、有色液滴291の体積、有色機能液290の粘性、検査シート110の有色機能液290に対する撥液特性などによって定まる。有色着弾円292の大きさ及び透明着弾円192の大きさは、半ノズルピッチ離れて着弾したときに、一部が重なり合う大きさとなるように、体積などを設定する。
As shown in FIG. 7A-2, the colored droplets 291 of the colored functional liquid 290 that have landed on the inspection sheet 110 form a colored landing circle 292 that is substantially circular in plan view. The colored landing circle 292 partially overlaps the transparent landing circle 192.
The size of the colored landing circle 292 is determined by the volume of the colored droplet 291, the viscosity of the colored functional liquid 290, the liquid repellent property of the inspection sheet 110 with respect to the colored functional liquid 290, and the like, as with the transparent landing circle 192. The size of the colored landing circle 292 and the size of the transparent landing circle 192 are set such that the volume of the colored landing circle 192 and the transparent landing circle 192 are partially overlapped when landing at a half nozzle pitch.

図7(b−2)に示すように、有色液滴291を、透明液滴191と同様に、直線状に着弾させる。図7(b−2)に示した例では、透明液滴191と同様に、液滴吐出ヘッド20の一方のノズル列24Aから吐出した有色液滴291は、仮想線L21上に着弾させ、もう一方のノズル列24Aから吐出した有色液滴291は、仮想線L22上に着弾させている。仮想線L21上及び仮想線L22上には、設計上では、ノズル列24Aにおける吐出ノズル24のノズルピッチの間隔で、有色着弾円292が並んでいる。2列のノズル列24A間で、吐出ノズル24の位置がY軸方向に半ノズルピッチずれているため、仮想線L21上の有色着弾円292と仮想線L22上の有色着弾円292とでは、Y軸方向における位置が半ノズルピッチずれている。さらに、有色液ユニットの吐出検査位置は、透明液ユニットの吐出検査位置に対して、Y軸方向に半ノズルピッチずれた位置に設定されているため、有色液滴291は、透明液滴191の間に着弾しており、有色液滴291と透明液滴191とが交互に半ノズルピッチ間隔で並んでいる。   As shown in FIG. 7B-2, the colored droplets 291 are landed in a straight line like the transparent droplets 191. In the example shown in FIG. 7B-2, similarly to the transparent droplet 191, the colored droplet 291 discharged from one nozzle row 24A of the droplet discharge head 20 is landed on the virtual line L21, and The colored liquid droplets 291 discharged from one nozzle row 24A are landed on the virtual line L22. On the imaginary line L21 and the imaginary line L22, colored landing circles 292 are arranged at the nozzle pitch interval of the ejection nozzles 24 in the nozzle row 24A by design. Since the position of the discharge nozzle 24 is shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction between the two nozzle rows 24A, the colored landing circle 292 on the virtual line L21 and the colored landing circle 292 on the virtual line L22 The position in the axial direction is shifted by a half nozzle pitch. Further, since the discharge inspection position of the colored liquid unit is set at a position shifted by a half nozzle pitch in the Y-axis direction with respect to the discharge inspection position of the transparent liquid unit, the colored liquid droplet 291 is the same as the transparent liquid droplet 191. The colored droplets 291 and the transparent droplets 191 are alternately arranged at half nozzle pitch intervals.

次に、図6のステップS26では、保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に移動させることによって、検査シート110をX軸方向に移動させて、撮像位置に位置させる。撮像位置は、撮像カメラ72が臨んでおり、撮像カメラ72によって撮影可能な位置である。   Next, in step S26 of FIG. 6, the inspection sheet 110 is moved in the X-axis direction by moving the inspection sheet mounting table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75. And positioned at the imaging position. The image pickup position is a position where the image pickup camera 72 faces and can be taken by the image pickup camera 72.

次に、ステップS27では、撮像カメラ72によって、透明液滴191(透明着弾円192)、及び有色液滴291(有色着弾円292)の画像を取得する。無色透明な透明機能液190からなる透明着弾円192は、主に可視光を情報として取り込む撮像装置では撮影し難い。
しかし、有色機能液290の有色液滴291は、透明機能液190が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に、透明機能液190の透明液滴191に重なる位置に着弾させられている。有色液滴291と透明液滴191とが重なり合っているが、有色機能液290と透明機能液190とが互いに混じりあわないものの、撮像カメラ72から見ると、有色着弾円292と透明着弾円192とが重なり合って(透して)いる部分の色調が変化しており、撮影され易くなっている。
Next, in step S27, images of the transparent droplet 191 (transparent landing circle 192) and the colored droplet 291 (colored landing circle 292) are acquired by the imaging camera 72. The transparent landing circle 192 made of the colorless and transparent transparent functional liquid 190 is difficult to shoot with an imaging apparatus that mainly captures visible light as information.
However, the colored liquid droplet 291 of the colored functional liquid 290 overlaps the transparent liquid droplet 191 of the transparent functional liquid 190 after the transparent functional liquid 190 is in a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying). It is landed at the position. Although the colored droplet 291 and the transparent droplet 191 overlap, the colored functional liquid 290 and the transparent functional liquid 190 do not mix with each other, but when viewed from the imaging camera 72, the colored landing circle 292 and the transparent landing circle 192 The color tone of the overlapping (through) portions of the images has changed, making it easier to photograph.

次に、ステップS28では、撮像カメラ72によって撮影された画像における透明着弾円192及び有色着弾円292の形状を解析する。
有色液滴291が独立して着弾した状態では、平面視略円形の有色着弾円292が形成される。ステップS25で着弾させられた有色液滴291の有色機能液290は、ステップS23で着弾させられている透明液滴191の透明機能液190と、一部が重なっている。このため、有色着弾円292は、透明着弾円192と重なり合って(透して)いる部分の色調が変化して、円の一部が欠けた形状となる。
Next, in step S <b> 28, the shapes of the transparent landing circle 192 and the colored landing circle 292 in the image shot by the imaging camera 72 are analyzed.
In a state where the colored droplets 291 land independently, a colored landing circle 292 having a substantially circular shape in plan view is formed. The colored functional liquid 290 of the colored liquid droplet 291 landed in step S25 partially overlaps the transparent functional liquid 190 of the transparent liquid droplet 191 landed in step S23. For this reason, the colored landing circle 292 has a shape in which the color tone of the portion overlapping (through) the transparent landing circle 192 changes and a part of the circle is missing.

有色着弾円292の形状が略円形とは異なることで、透明液滴191が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。また、有色着弾円292を形成する有色機能液290の少なくとも一部が透明着弾円192を形成する透明機能液190と重ならない位置という条件を満たす位置に着弾していると判定できる。すなわち、少なくとも、所定の着弾位置の条件を満たす着弾位置精度が維持されていると判定できる。   Since the colored landing circle 292 is different from a substantially circular shape, it can be determined that the transparent liquid droplet 191 exists. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge. Further, it can be determined that at least a part of the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 292 has landed at a position that satisfies the condition that the transparent functional liquid 190 that forms the transparent landing circle 192 does not overlap. That is, it can be determined that at least the landing position accuracy that satisfies the condition of the predetermined landing position is maintained.

図7(b−2)に示すように、有色液滴291と透明液滴191とを交互に半ノズルピッチ間隔で並べて着弾させた状態では、撮像カメラ72によって撮影された画像における有色着弾円292と透明着弾円192との像は、着弾円の点を連ねた線となる。図7(b−2)に示した線は略直線であり、当該直線が、複数の描画用液状体及び複数の検出用液状体で描く所定の形状に相当する。   As shown in FIG. 7B-2, in a state where the colored droplets 291 and the transparent droplets 191 are alternately arranged and landed at half-nozzle pitch intervals, the colored landing circle 292 in the image photographed by the imaging camera 72 is used. And the transparent landing circle 192 form a line connecting the dots of the landing circle. The line shown in FIG. 7B-2 is a substantially straight line, and the straight line corresponds to a predetermined shape drawn by a plurality of drawing liquids and a plurality of detection liquids.

有色着弾円292の形状が略円形とは異なることで、透明着弾円192が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。また、有色液滴291と透明液滴191とを交互に半ノズルピッチ間隔で並べて略直線状に配置するという条件を満たす位置に着弾していると判定できる。すなわち、少なくとも、所定の着弾位置の条件を満たす着弾位置精度が維持されていると判定できる。   Since the colored landing circle 292 is different from a substantially circular shape, it can be determined that the transparent landing circle 192 exists. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge. Further, it can be determined that the colored droplets 291 and the transparent droplets 191 are landed at a position satisfying a condition that the colored droplets 291 and the transparent droplets 191 are alternately arranged at half nozzle pitch intervals and arranged in a substantially linear shape. That is, it can be determined that at least the landing position accuracy that satisfies the condition of the predetermined landing position is maintained.

ステップS28を実施して、吐出検査ユニット70を用いて実施する吐出ノズル24の吐出検査を終了する。
有色機能液290が、検出用液状体に相当する。透明機能液190が、描画用液状体に相当する。有色液ユニットの吐出ノズル24が、検出用吐出ノズルに相当する。有色液ユニットが、検出用液配置手段に相当する。透明液ユニットの吐出ノズル24が、描画用液状体の液滴を吐出する吐出ノズルに相当する。検査シート110が、検査描画媒体に相当する。吐出検査ユニット70が、検出手段に相当する。
Step S28 is performed, and the discharge inspection of the discharge nozzle 24 performed using the discharge inspection unit 70 is completed.
The colored functional liquid 290 corresponds to a detection liquid. The transparent functional liquid 190 corresponds to a drawing liquid. The discharge nozzle 24 of the colored liquid unit corresponds to a detection discharge nozzle. The colored liquid unit corresponds to detection liquid arrangement means. The discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit corresponds to a discharge nozzle that discharges a liquid droplet for drawing. The inspection sheet 110 corresponds to an inspection drawing medium. The discharge inspection unit 70 corresponds to detection means.

<吐出検査の2>
次に、吐出検査ユニット70を用いて実施する吐出ノズル24の吐出検査の他の例について、図8を参照して説明する。
図8は、吐出検査の工程を示す図である。図8(a)は、吐出検査の工程を示すフローチャートであり、図8(b)は、透明機能液が着弾した透明着弾円、及び有色機能液が着弾した有色着弾円の状態を示す説明図である。
<Discharge inspection 2>
Next, another example of the discharge inspection of the discharge nozzle 24 performed using the discharge inspection unit 70 will be described with reference to FIG.
FIG. 8 is a diagram illustrating a discharge inspection process. FIG. 8A is a flowchart showing a discharge inspection process, and FIG. 8B is an explanatory diagram showing a state of a transparent landing circle landed with a transparent functional liquid and a colored landing circle landed with a colored functional liquid. It is.

図8(a)のステップS31からステップS34は、上述したステップS21からステップS24と同様の工程である。ステップS21からステップS24では透明液ユニットからの検査吐出を実施しているのに対して、ステップS31からステップS34では有色液ユニットからの検査吐出を実施していることが、異なっている。
図8のステップS31では、検査シート110を、吐出検査ユニット70の検査シート載置台71にセットする。
Steps S31 to S34 in FIG. 8A are the same steps as steps S21 to S24 described above. In step S21 to step S24, inspection discharge from the transparent liquid unit is performed, whereas in step S31 to step S34, inspection discharge from the colored liquid unit is performed.
In step S <b> 31 of FIG. 8, the inspection sheet 110 is set on the inspection sheet mounting table 71 of the discharge inspection unit 70.

次に、ステップS32では、有色液ユニットをY軸方向に移動させて、保守装置部7に臨む位置である吐出検査位置に位置させる。吐出検査位置は、上述したように、保守装置走査機構75によって検査シート載置台71をX軸方向に走査させることによって、有色液ユニットが有する全ての吐出ノズル24を、検査シート載置台71にセットされた検査シート110に臨ませることができる位置である。   Next, in step S <b> 32, the colored liquid unit is moved in the Y-axis direction so as to be positioned at a discharge inspection position that is a position facing the maintenance device unit 7. As described above, the discharge inspection position is set by setting all the discharge nozzles 24 of the colored liquid unit on the inspection sheet mounting table 71 by causing the maintenance device scanning mechanism 75 to scan the inspection sheet mounting table 71 in the X-axis direction. It is a position where the inspection sheet 110 can be faced.

次に、ステップS33では、有色液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施する。保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に走査させ、有色液ユニットの吐出ノズル24から有色機能液290の有色液滴293を吐出させて、検査シート110の所定の位置に着弾させる。図8(b−1)に示すように、検査シート110に着弾した有色液滴293は、平面視略円形の有色着弾円294を形成する。有色着弾円294の大きさは、有色液滴293の体積、有色機能液290の粘性、検査シート110の有色機能液290に対する撥液特性などによって定まる。
有色機能液290(有色着弾円294)は、紫外線の照射により、硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態にされる。
Next, in step S33, inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit is performed. The maintenance device scanning mechanism 75 scans the inspection sheet mounting table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction, and discharges the colored liquid droplets 293 of the colored functional liquid 290 from the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit. Landing at a predetermined position of the sheet 110. As shown in FIG. 8B-1, the colored droplets 293 landed on the inspection sheet 110 form a colored landing circle 294 having a substantially circular shape in plan view. The size of the colored landing circle 294 is determined by the volume of the colored droplet 293, the viscosity of the colored functional liquid 290, the liquid repellent property of the inspection sheet 110 with respect to the colored functional liquid 290, and the like.
The colored functional liquid 290 (colored landing circle 294) is brought into a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying) by irradiation with ultraviolet rays.

次に、図8(a)のステップS34では、透明液ユニットをY軸方向に移動させて、保守装置部7に臨む位置である吐出検査位置に位置させる。吐出検査位置は、上述したように、保守装置走査機構75によって検査シート載置台71をX軸方向に走査させることによって、透明液ユニットが有する全ての吐出ノズル24を、検査シート載置台71にセットされた検査シート110に臨ませることができる位置である。透明液ユニットの吐出検査位置は、例えば、有色液ユニットの吐出検査位置と同じ位置に設定する。   Next, in step S <b> 34 of FIG. 8A, the transparent liquid unit is moved in the Y-axis direction so as to be positioned at a discharge inspection position that is a position facing the maintenance device unit 7. As described above, the discharge inspection position is set by setting all the discharge nozzles 24 of the transparent liquid unit on the inspection sheet mounting table 71 by causing the maintenance device scanning mechanism 75 to scan the inspection sheet mounting table 71 in the X-axis direction. It is a position where the inspection sheet 110 can be faced. For example, the discharge inspection position of the transparent liquid unit is set to the same position as the discharge inspection position of the colored liquid unit.

次に、ステップS35では、透明液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施する。
保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に走査させると共に、透明液ユニットの吐出ノズル24から透明機能液190の透明液滴193を吐出させて、図8(b−3)に示したように、検査シート110の所定の位置に着弾させる。図8(b−3)に示したように、所定の位置は、有色液滴293の着弾位置と同じ位置である。したがって、透明液滴193は、有色着弾円294を形成する有色機能液290の上に着弾する。
ステップS35の透明機能液190の検査吐出は、ステップS33の有色液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出で検査シート110に配置された有色機能液290が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に実施する。
Next, in step S35, inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit is performed.
The maintenance device scanning mechanism 75 scans the inspection sheet mounting table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction, and discharges the transparent liquid droplet 193 of the transparent functional liquid 190 from the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit. As shown in FIG. 8B-3, the test sheet 110 is landed at a predetermined position. As shown in FIG. 8B-3, the predetermined position is the same position as the landing position of the colored droplet 293. Accordingly, the transparent liquid droplet 193 lands on the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 294.
In the inspection discharge of the transparent functional liquid 190 in step S35, the colored functional liquid 290 disposed on the inspection sheet 110 is cured (dried) or temporarily cured (temporary drying) by the inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit in step S33. After the non-flowing state of

図8(b−2)に示したように、検査シート110に着弾した透明機能液190の透明液滴193は、平面視略円形の透明着弾円194を形成する。図8(b−3)に示したように、透明液滴193は、透明着弾円194が有色着弾円294の内部に形成されるように、有色着弾円294を形成する有色機能液290の上に着弾する。
透明着弾円194の大きさは、透明液滴193の体積、透明機能液190の粘性、有色機能液290の透明機能液190に対する撥液特性などによって定まる。図8(b−3)に示した例では、透明着弾円194が有色着弾円294より小さくなるように設定されている。
As shown in FIG. 8B-2, the transparent droplet 193 of the transparent functional liquid 190 that has landed on the inspection sheet 110 forms a transparent landing circle 194 that is substantially circular in plan view. As shown in FIG. 8B-3, the transparent liquid droplet 193 is formed on the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 294 so that the transparent landing circle 194 is formed inside the colored landing circle 294. To land on.
The size of the transparent landing circle 194 is determined by the volume of the transparent droplet 193, the viscosity of the transparent functional liquid 190, the liquid repellent property of the colored functional liquid 290 with respect to the transparent functional liquid 190, and the like. In the example shown in FIG. 8B-3, the transparent landing circle 194 is set to be smaller than the colored landing circle 294.

次に、図8(a)のステップS36では、保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に移動させることによって、検査シート110をX軸方向に移動させて、撮像位置に位置させる。撮像位置は、撮像カメラ72が臨んでおり、撮像カメラ72によって撮影可能な位置である。   Next, in step S36 of FIG. 8A, the inspection sheet 110 is moved in the X-axis direction by moving the inspection sheet mounting table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75. Move it to the imaging position. The image pickup position is a position where the image pickup camera 72 faces and can be taken by the image pickup camera 72.

次に、ステップS37では、撮像カメラ72によって、透明液滴193(透明着弾円194)、及び有色液滴293(有色着弾円294)の画像を取得する。
無色透明な透明機能液190からなる透明着弾円194は、主に可視光を情報として取り込む撮像装置では撮影し難い。
しかし、透明機能液190の透明液滴193は、有色機能液290が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に、有色機能液290の有色液滴293に重なる位置に着弾させられている。有色液滴293と透明液滴193とが重なり合っているが、有色機能液290と透明機能液190とが互いに混じりあわないものの、撮像カメラ72から見ると、有色着弾円292と透明着弾円192とが重なり合って(透して)いる部分の色調が変化しており、撮影され易くなっている。
Next, in step S37, images of the transparent droplet 193 (transparent landing circle 194) and the colored droplet 293 (colored landing circle 294) are acquired by the imaging camera 72.
The transparent landing circle 194 made of the colorless and transparent transparent functional liquid 190 is difficult to shoot with an imaging device that mainly captures visible light as information.
However, the transparent liquid droplet 193 of the transparent functional liquid 190 overlaps the colored liquid droplet 293 of the colored functional liquid 290 after the colored functional liquid 290 is in a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying). It is landed at the position. Although the colored droplet 293 and the transparent droplet 193 overlap each other, the colored functional liquid 290 and the transparent functional liquid 190 do not mix with each other, but when viewed from the imaging camera 72, the colored landing circle 292 and the transparent landing circle 192 The color tone of the overlapping (through) portions of the images has changed, making it easier to photograph.

次に、ステップS38では、撮像カメラ72によって撮影された画像における透明着弾円192及び有色着弾円292の色調を解析する。
有色機能液290と透明機能液190とが混じりあわずに互いに重なりあった状態では、重なりあった部分の色調は、有色機能液290の色調が、無色透明な透明機能液190によって(透して)淡色化されて、有色機能液290の色調とは異なっている。
Next, in step S38, the color tone of the transparent landing circle 192 and the colored landing circle 292 in the image taken by the imaging camera 72 is analyzed.
In a state where the colored functional liquid 290 and the transparent functional liquid 190 are not mixed and overlapped with each other, the color tone of the overlapped portion is changed by the transparent functional liquid 190 having a colorless and transparent color. ) Lightly colored and different from the color tone of the colored functional liquid 290.

重なりあった部分の色調が有色機能液290の色調と異なることで、透明機能液190が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。
また、有色液滴293の有色機能液290と透明液滴193の透明機能液190とが混じりあわずに互いに重なりあうことができる位置に、透明液滴193が着弾していると判定できる。すなわち、少なくとも、所定の着弾位置の条件を満たす着禅位置精度が維持されていると判定できる。
When the color tone of the overlapped portion is different from the color tone of the colored functional liquid 290, it can be determined that the transparent functional liquid 190 is present. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge.
Further, it can be determined that the transparent liquid droplet 193 has landed at a position where the colored functional liquid 290 of the colored liquid droplet 293 and the transparent functional liquid 190 of the transparent liquid droplet 193 can overlap each other without being mixed. That is, it can be determined that at least the zen position accuracy that satisfies the predetermined landing position condition is maintained.

ステップS38を実施して、吐出検査ユニット70を用いて実施する吐出ノズル24の吐出検査を終了する。
有色機能液290が、検出用液状体に相当する。透明機能液190が、描画用液状体に相当する。有色液ユニットの吐出ノズル24が、検出用吐出ノズルに相当する。透明液ユニットの吐出ノズル24が、描画用液状体の液滴を吐出する吐出ノズルに相当する。
Step S38 is performed, and the discharge inspection of the discharge nozzle 24 performed using the discharge inspection unit 70 is completed.
The colored functional liquid 290 corresponds to a detection liquid. The transparent functional liquid 190 corresponds to a drawing liquid. The discharge nozzle 24 of the colored liquid unit corresponds to a detection discharge nozzle. The discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit corresponds to a discharge nozzle that discharges a liquid droplet for drawing.

<液滴吐出装置の2>
次に、液滴吐出装置1が備える吐出検査ユニット70とは異なる吐出検査ユニット170を備える液滴吐出装置101の構成について、図9を参照して説明する。図9は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
<Part 2 of droplet discharge device>
Next, the configuration of the droplet discharge device 101 including the discharge inspection unit 170 different from the discharge inspection unit 70 included in the droplet discharge device 1 will be described with reference to FIG. FIG. 9 is an external perspective view showing a schematic configuration of the droplet discharge device.

図9に示すように、液滴吐出装置101は、ヘッド機構部102と、ワーク機構部103と、機能液供給部104と、保守装置部107とを備えている。ヘッド機構部102は、備えているヘッドユニット21が1個であることが、ヘッド機構部2と異なっている。ワーク機構部103及び機能液供給部104は、備えている構成がヘッドユニット21を1個備えているヘッド機構部102に対応することが、ワーク機構部3又は機能液供給部4と異なっている。
保守装置部107は、液滴吐出装置1の保守装置部7と同様に液滴吐出ヘッド20の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置101は、また、これら各機構部などを総括的に制御する、吐出装置制御部106を備えている。ヘッド機構部102が備えているヘッドユニット21は、例えば透明機能液190を吐出する透明液ユニットである。
As shown in FIG. 9, the droplet discharge device 101 includes a head mechanism unit 102, a work mechanism unit 103, a functional liquid supply unit 104, and a maintenance device unit 107. The head mechanism unit 102 is different from the head mechanism unit 2 in that the head mechanism unit 102 includes one head unit 21. The work mechanism unit 103 and the functional liquid supply unit 104 are different from the work mechanism unit 3 or the functional liquid supply unit 4 in that the configuration provided corresponds to the head mechanism unit 102 including one head unit 21. .
The maintenance device unit 107 includes each device for inspecting or maintaining the droplet discharge head 20 in the same manner as the maintenance device unit 7 of the droplet discharge device 1. The droplet discharge device 101 also includes a discharge device control unit 106 that comprehensively controls each of these mechanism units. The head unit 21 provided in the head mechanism unit 102 is a transparent liquid unit that discharges the transparent functional liquid 190, for example.

さらに、液滴吐出装置101は、液滴吐出装置1の支持脚8及び定盤9と同様の支持脚8及び定盤109を備えている。定盤109の上側などには、液滴吐出装置1におけるヘッド機構部2、ワーク機構部3、機能液供給部4、保守装置部7、及び吐出装置制御部6と同様に、ヘッド機構部102と、ワーク機構部103と、機能液供給部104と、保守装置部107と、吐出装置制御部106と、が配設されている。   Further, the droplet discharge device 101 includes support legs 8 and a surface plate 109 similar to the support legs 8 and the surface plate 9 of the droplet discharge device 1. On the upper side of the surface plate 109 and the like, as with the head mechanism unit 2, the work mechanism unit 3, the functional liquid supply unit 4, the maintenance device unit 7, and the discharge device control unit 6 in the droplet discharge device 1, the head mechanism unit 102. A work mechanism unit 103, a functional liquid supply unit 104, a maintenance device unit 107, and a discharge device control unit 106.

保守装置部107は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構75を備えている。検査装置は、液滴吐出ヘッド20の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニット170などの、液滴吐出ヘッド20の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド20の各種の保守を実施する装置である。保守装置走査機構75は、これらの各装置をX軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。   The maintenance device unit 107 includes various inspection devices, various maintenance devices, and a maintenance device scanning mechanism 75. The inspection apparatus is an apparatus that inspects the droplet discharge head 20 such as the discharge inspection unit 170 that inspects the discharge state of the droplet discharge head 20. The maintenance device is a device that performs various types of maintenance of the droplet discharge head 20. The maintenance device scanning mechanism 75 is a device that can move these devices in the X-axis direction and supports the devices in an arbitrary position.

液滴吐出ヘッド20の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット21(液滴吐出ヘッド20)が、Y軸走査機構を用いて、保守装置部107に臨む位置に移動させられる。また、実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構75によって、ヘッドユニット21(液滴吐出ヘッド20)に臨む位置に移動させられる。   When performing inspection and maintenance of the droplet discharge head 20, the head unit 21 (droplet discharge head 20) is moved to a position facing the maintenance device unit 107 using the Y-axis scanning mechanism. Further, the inspection device or maintenance device corresponding to the inspection or maintenance to be performed is moved by the maintenance device scanning mechanism 75 to a position facing the head unit 21 (droplet discharge head 20).

吐出検査ユニット170は、検査ヘッドユニット174と、検査シート載置台71と、撮像カメラ72と、を備えている。
検査シート載置台71及び撮像カメラ72は、液滴吐出装置1における検査シート載置台71又は撮像カメラ72と同様に配設されており、同様の機能を有している。
The discharge inspection unit 170 includes an inspection head unit 174, an inspection sheet placement table 71, and an imaging camera 72.
The inspection sheet placement table 71 and the imaging camera 72 are disposed in the same manner as the inspection sheet placement table 71 or the imaging camera 72 in the droplet discharge device 1 and have the same functions.

検査ヘッドユニット174は、ヘッドユニット21と同様の構成を有し、ヘッドユニット21と同様の液滴吐出ヘッド20を備えている。検査ヘッドユニット174が備える液滴吐出ヘッド20には、図示省略した検査用機能液供給ユニットから、検査用機能液390(図10(b)参照)が供給される。
検査ヘッドユニット174は、図示省略した支持枠によって支持されている。支持枠は、Y軸方向における保守装置走査機構75の両側で定盤109に立設された支柱に差し渡された梁に懸吊されている。懸吊された検査ヘッドユニット174の液滴吐出ヘッド20は、吐出ノズル24が保守装置走査機構75側に臨んでいる。
The inspection head unit 174 has the same configuration as that of the head unit 21 and includes the same droplet discharge head 20 as that of the head unit 21. The droplet ejection head 20 provided in the inspection head unit 174 is supplied with the inspection functional liquid 390 (see FIG. 10B) from the inspection functional liquid supply unit (not shown).
The inspection head unit 174 is supported by a support frame (not shown). The support frame is suspended from beams that are passed to columns that are erected on the surface plate 109 on both sides of the maintenance device scanning mechanism 75 in the Y-axis direction. The droplet discharge head 20 of the suspended inspection head unit 174 has the discharge nozzle 24 facing the maintenance device scanning mechanism 75 side.

保守装置走査機構75によって、検査シート載置台71をX軸方向に移動させることで、検査シート載置台71の載置面に保持された検査シート110を、検査ヘッドユニット174(液滴吐出ヘッド20)に臨ませることができる。当該位置状態で、検査ヘッドユニット174の液滴吐出ヘッド20から検査用機能液390を吐出させることで、検査シート載置台71に保持された検査シート110に検査用機能液390を着弾させることができる。保守装置走査機構75による検査シート110のX軸方向の移動に同調させて、検査ヘッドユニット174が備える液滴吐出ヘッド20の吐出ノズル24から検査用機能液390を吐出させることで、X軸方向における着弾位置を調整することができる。
吐出検査ユニット170が、検出手段に相当する。検査ヘッドユニット174が、検出用液配置手段に相当する。検査ヘッドユニット174が備える吐出ノズル24が、検出用吐出ノズルに相当する。
By moving the inspection sheet mounting table 71 in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75, the inspection sheet 110 held on the mounting surface of the inspection sheet mounting table 71 is transferred to the inspection head unit 174 (droplet discharge head 20). ). In this position, the test functional liquid 390 is ejected from the droplet discharge head 20 of the test head unit 174, so that the test functional liquid 390 is landed on the test sheet 110 held on the test sheet mounting table 71. it can. In synchronism with the movement of the inspection sheet 110 in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75, the inspection functional liquid 390 is discharged from the discharge nozzle 24 of the droplet discharge head 20 provided in the inspection head unit 174, so that the X-axis direction is discharged. The landing position at can be adjusted.
The discharge inspection unit 170 corresponds to detection means. The inspection head unit 174 corresponds to detection liquid arrangement means. The discharge nozzle 24 provided in the inspection head unit 174 corresponds to a detection discharge nozzle.

<吐出検査の3>
次に、吐出検査ユニット170を用いて実施する、液滴吐出装置101における吐出ノズル24の吐出検査の例について、図10を参照して説明する。
図10は、吐出検査の1程を示す図である。図10(a)は、吐出検査の工程を示すフローチャートであり、図10(b)は、透明機能液が着弾した透明着弾円、及び検査用機能液が着弾した検査用液着弾円の状態を示す説明図である。
<Discharge inspection 3>
Next, an example of a discharge inspection of the discharge nozzle 24 in the droplet discharge apparatus 101 performed using the discharge inspection unit 170 will be described with reference to FIG.
FIG. 10 is a diagram showing one stage of the discharge inspection. FIG. 10A is a flowchart showing a discharge inspection process, and FIG. 10B shows the state of the transparent landing circle landed with the transparent functional liquid and the inspection liquid landing circle landed with the inspection functional liquid. It is explanatory drawing shown.

図10(a)のステップS41からステップS43は、上述したステップS21からステップS23と同様の工程である。
ステップS43を実施して、図10(b−1)に示したように、検査シート110の所定の位愛に、透明機能液190の透明液滴191が着弾させられている。検査シート110の所定の位置は、正確には、検査シート載置台71に保持された検査シート110における、検査シート載置台71の所定の位置を覆っている部分である。
Steps S41 to S43 in FIG. 10A are the same steps as steps S21 to S23 described above.
By performing step S43, as shown in FIG. 10B-1, the transparent liquid droplet 191 of the transparent functional liquid 190 is landed on the inspection sheet 110 at a predetermined position. The predetermined position of the inspection sheet 110 is precisely the portion of the inspection sheet 110 held on the inspection sheet mounting table 71 that covers the predetermined position of the inspection sheet mounting table 71.

図10(b−1)に示すように、検査シート110に着弾した透明機能液190の透明液滴191は、平面視略円形の透明着弾円192を形成する。透明着弾円192の大きさは、透明液滴191の体積、透明機能液190の粘性、検査シート110の透明機能液190に対する撥液特性などによって定まる。   As shown in FIG. 10B-1, the transparent liquid droplet 191 of the transparent functional liquid 190 that has landed on the inspection sheet 110 forms a transparent landing circle 192 that is substantially circular in plan view. The size of the transparent landing circle 192 is determined by the volume of the transparent droplet 191, the viscosity of the transparent functional liquid 190, the liquid repellency of the inspection sheet 110 with respect to the transparent functional liquid 190, and the like.

次に、図10(a)のステップS44では、検査シート110を移動させると共に、検査シート110に向けて、検査用機能液390の吐出を実施する。
保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に走査させる。それと共に、検査ヘッドユニット174が備える液滴吐出ヘッド20の吐出ノズル24から検査用機能液390の検査用液滴391を吐出させて、図10(b−2)に示したように、検査シート110の所定の位置に着弾させる。保守装置走査機構75による検査シート110の走査に同期させて検査ヘッドユニット174の吐出ノズル24から吐出させることで、検査シート110の任意の位置に検査用液滴391を着弾ざせることが可能である。
所定の位置は、透明液滴191の着弾位置と同じ位置である。したがって、透明液滴191が着弾していた場合は、検査用液滴391は、透明着弾円192を形成する透明機能液190の上に着弾する。
Next, in step S <b> 44 of FIG. 10A, the inspection sheet 110 is moved, and the inspection functional liquid 390 is discharged toward the inspection sheet 110.
The maintenance device scanning mechanism 75 scans the inspection sheet placement table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction. At the same time, the inspection liquid droplet 391 of the inspection functional liquid 390 is discharged from the discharge nozzle 24 of the liquid droplet discharge head 20 provided in the inspection head unit 174, and as shown in FIG. 110 is landed at a predetermined position. By injecting from the ejection nozzle 24 of the inspection head unit 174 in synchronization with the scanning of the inspection sheet 110 by the maintenance device scanning mechanism 75, the inspection droplet 391 can be landed on an arbitrary position of the inspection sheet 110. is there.
The predetermined position is the same position as the landing position of the transparent droplet 191. Therefore, when the transparent droplet 191 has landed, the inspection droplet 391 landes on the transparent functional liquid 190 that forms the transparent landing circle 192.

ステップS44の検査用機能液390の吐出は、ステップS43の透明液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出で検査シート110に配置された透明機能液190が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に実施する。
検査用機能液390としては、透明機能液190の表層の成分と反応して、例えば色調が変化する液状体を用いる。検査用液滴391が透明着弾円192を形成する透明機能液190の上に着弾することで、図10(b−3)に示したように、検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあう。そして、検査用機能液390が透明機能液190の表層の成分と反応したことによって、重なりあった部分(接触した部分)が発色した色調を有する。
In step S44, the inspection functional liquid 390 is ejected by curing (drying) or temporarily curing (temporary drying) the transparent functional liquid 190 disposed on the inspection sheet 110 by inspection ejection from the ejection nozzle 24 of the transparent liquid unit in step S43. After the non-flowing state of
As the functional fluid for inspection 390, a liquid material that reacts with components on the surface layer of the transparent functional fluid 190 to change its color tone, for example, is used. As the inspection droplet 391 lands on the transparent functional liquid 190 forming the transparent landing circle 192, the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 are formed as shown in FIG. Overlapping. Then, the inspection functional liquid 390 reacts with the surface layer component of the transparent functional liquid 190, so that the overlapped portion (contacted portion) has a color tone.

次に、図10(a)のステップS45では、保守装置走査機構75によって、検査シート110が保持された検査シート載置台71をX軸方向に移動させることによって、検査シート110をX軸方向に移動させて、撮像位置に位置させる。撮像位置は、撮像カメラ72が臨んでおり、撮像カメラ72によって撮影可能な位置である。   Next, in step S45 of FIG. 10A, the inspection sheet 110 is moved in the X-axis direction by moving the inspection sheet mounting table 71 holding the inspection sheet 110 in the X-axis direction by the maintenance device scanning mechanism 75. Move it to the imaging position. The image pickup position is a position where the image pickup camera 72 faces and can be taken by the image pickup camera 72.

次に、ステップS46では、撮像カメラ72によって、検査シート110上の、検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあった部分(接触した部分)の画像を取得する。
無色透明な透明機能液190からなる透明着弾円192は、主に可視光を情報として取り込む撮像装置では撮影し難い。しかし、透明機能液190が検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあった部分(接触した部分)は、検査用機能液390が透明機能液190の表層の成分と反応したことによって発色した色調を有する。このため、検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあった部分(接触した部分)の画像は、撮像カメラ72によって容易に取得することができる。
Next, in step S <b> 46, the imaging camera 72 acquires an image of a portion (contact portion) where the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 overlap on the inspection sheet 110.
The transparent landing circle 192 made of the colorless and transparent transparent functional liquid 190 is difficult to shoot with an imaging apparatus that mainly captures visible light as information. However, the portion of the transparent functional liquid 190 in which the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 overlap (contacted portion) is colored by the reaction of the inspection functional liquid 390 with the components on the surface of the transparent functional liquid 190. Have a toned color. For this reason, an image of a portion where the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 overlap (contact portion) can be easily obtained by the imaging camera 72.

次に、ステップS47では、撮像カメラ72によって撮影された画像における、検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあった部分(接触した部分)の色調を解析する。
透明液滴191が着弾しておらず、透明機能液190が存在していない場合には、撮像カメラ72によって撮影される画像は、図10(b−2)に示した検査用液滴391が着弾した画像である。色調は、検査用機能液390の色調である。
透明液滴191が所定の位置に着弾しており、透明機能液190が存在する場合には、撮像カメラ72によって撮影される画像は、図10(b−3)に示した、検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあった部分(接触した部分)の画像である。色調は、検査用機能液390が透明機能液190の表層の成分と反応したことによって発色した、検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあった部分(接触した部分)の色調である。
Next, in step S <b> 47, the color tone of a portion where the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 overlap (contact portion) in the image captured by the imaging camera 72 is analyzed.
When the transparent liquid droplet 191 has not landed and the transparent functional liquid 190 does not exist, the inspection liquid droplet 391 shown in FIG. It is a landed image. The color tone is the color tone of the test functional liquid 390.
When the transparent liquid droplet 191 has landed at a predetermined position and the transparent functional liquid 190 exists, the image photographed by the imaging camera 72 is an inspection functional liquid shown in FIG. It is an image of a portion where 390 and the transparent functional liquid 190 are overlapped (contact portion). The color tone is a color tone of a portion where the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 are overlapped (contacted portion), which is colored by the reaction of the inspection functional liquid 390 with the surface layer component of the transparent functional liquid 190. .

取得した液状体の画像の色調が、検査用機能液390と透明機能液190とが重なりあった部分(接触した部分)の色調であることで、透明機能液190が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。また、検査用液滴391の検査用機能液390と透明液滴191の透明機能液190とが混じりあわずに互いに重なりあうことができる位置に、透明液滴191が着弾していると判定できる。すなわち、少なくとも、所定の着弾位置の条件を満たす着弾位置精度が維持されていると判定できる。   It is determined that the transparent functional liquid 190 exists because the color tone of the obtained liquid image is the color tone of the portion where the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 overlap (contact portion). be able to. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge. Further, it can be determined that the transparent liquid droplet 191 has landed at a position where the inspection functional liquid 390 of the inspection liquid droplet 391 and the transparent functional liquid 190 of the transparent liquid droplet 191 can overlap each other without being mixed. . That is, it can be determined that at least the landing position accuracy that satisfies the condition of the predetermined landing position is maintained.

ステップS47を実施して、吐出検査ユニット170を用いて実施する、吐出ノズル24の吐出検査を終了する。
検査用機能液390が、検出用液状体に相当する。透明機能液190が、描画用液状体に相当する。検査ヘッドユニット174が備える液滴吐出ヘッド20の吐出ノズル24が、検出用吐出ノズルに相当する。ヘッド機構部102が備えているヘッドユニット21の吐出ノズル24が、描画用液状体の液滴を吐出する吐出ノズルに相当する。
Step S47 is performed, and the discharge inspection of the discharge nozzle 24 performed using the discharge inspection unit 170 is completed.
The inspection functional liquid 390 corresponds to a detection liquid. The transparent functional liquid 190 corresponds to a drawing liquid. The discharge nozzle 24 of the droplet discharge head 20 provided in the inspection head unit 174 corresponds to a detection discharge nozzle. The discharge nozzle 24 of the head unit 21 provided in the head mechanism unit 102 corresponds to a discharge nozzle that discharges a liquid droplet for drawing.

以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)ステップS25の有色機能液290の検査吐出は、検査シート110に配置された透明機能液190が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に実施する。有色液滴291は、有色着弾円292を形成する有色機能液290の少なくとも一部が透明着弾円192を形成する透明機能液190と重なると共に、有色機能液290の少なくとも一部が透明機能液190と重ならない位置に着弾させられる。
これにより、有色機能液290と透明機能液190とが互いに混じりあわないものの、撮像カメラ72から見ると、有色着弾円292と透明着弾円192とが重なり合って(透して)いる部分の色調が変化するので、撮影され易くなる。
Hereinafter, the effect by embodiment is described. According to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The inspection discharge of the colored functional liquid 290 in step S25 is performed after the transparent functional liquid 190 disposed on the inspection sheet 110 is in a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying). In the colored liquid droplet 291, at least a part of the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 292 overlaps with the transparent functional liquid 190 that forms the transparent landing circle 192, and at least a part of the colored functional liquid 290 includes the transparent functional liquid 190. You can land at a position that does not overlap.
Thereby, although the colored functional liquid 290 and the transparent functional liquid 190 are not mixed with each other, when viewed from the imaging camera 72, the color tone of the portion where the colored landing circle 292 and the transparent landing circle 192 overlap (through) is obtained. Since it changes, it becomes easy to photograph.

(2)ステップS25の有色機能液290の検査吐出では、有色液滴291は、有色着弾円292を形成する有色機能液290の少なくとも一部が透明着弾円192を形成する透明機能液190と重なると共に、有色機能液290の少なくとも一部が透明機能液190と重ならない位置に着弾させられる。
これにより、有色着弾円292は、透明着弾円192と重なり合って(透して)いる部分の色調が変化して、円の一部が欠けた形状となる。当該形状を検出することで、透明液滴191が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。
(2) In the inspection discharge of the colored functional liquid 290 in step S25, the colored liquid droplets 291 overlap at least a part of the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 292 with the transparent functional liquid 190 that forms the transparent landing circle 192. At the same time, the colored functional liquid 290 is landed at a position where at least a part of the colored functional liquid 290 does not overlap the transparent functional liquid 190.
As a result, the colored landing circle 292 changes in color tone in a portion overlapping (through) with the transparent landing circle 192, so that a part of the circle is missing. By detecting the shape, it can be determined that the transparent liquid droplet 191 exists. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge.

(3)ステップS35の透明機能液190の検査吐出は、検査シート110に配置された有色機能液290が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に実施する。透明液滴193は、透明着弾円194を形成する透明機能液190の少なくとも一部が有色着弾円294を形成する有色機能液290と重なる位置に着弾させられる。
これにより、有色機能液290と透明機能液190とが互いに混じりあわないものの、撮像カメラ72から見ると、有色着弾円292と透明着弾円192とが重なり合って(透して)いる部分の色調が変化するので、撮影され易くなる。
(3) The inspection discharge of the transparent functional liquid 190 in step S35 is performed after the colored functional liquid 290 disposed on the inspection sheet 110 is in a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying). The transparent droplet 193 is landed at a position where at least a part of the transparent functional liquid 190 that forms the transparent landing circle 194 overlaps with the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 294.
Thereby, although the colored functional liquid 290 and the transparent functional liquid 190 are not mixed with each other, when viewed from the imaging camera 72, the color tone of the portion where the colored landing circle 292 and the transparent landing circle 192 overlap (through) is obtained. Since it changes, it becomes easy to photograph.

(4)ステップS35の透明機能液190の検査吐出は、検査シート110に配置された有色機能液290が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に実施する。透明液滴193は、透明着弾円194を形成する透明機能液190の少なくとも一部が有色着弾円294を形成する有色機能液290と重なる位置に着弾させられる。
これにより、有色機能液290と透明機能液190とが互いに混じりあわないものの、撮像カメラ72から見ると、有色着弾円292と透明着弾円192とが重なり合って(透して)いる部分の色調が変化ので、撮影され易くなる。当該色調を検出することで、透明液滴193が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。
(4) The inspection discharge of the transparent functional liquid 190 in step S35 is performed after the colored functional liquid 290 disposed on the inspection sheet 110 is in a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying). The transparent droplet 193 is landed at a position where at least a part of the transparent functional liquid 190 that forms the transparent landing circle 194 overlaps with the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 294.
Thereby, although the colored functional liquid 290 and the transparent functional liquid 190 are not mixed with each other, when viewed from the imaging camera 72, the color tone of the portion where the colored landing circle 292 and the transparent landing circle 192 overlap (through) is obtained. Because it changes, it becomes easier to photograph. By detecting the color tone, it can be determined that the transparent droplet 193 is present. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge.

(5)ステップS44の検査用機能液390の吐出では、透明液滴191の着弾位置と同じ位置に検査用液滴391を着弾させる。当該吐出は、検査シート110に配置された透明機能液190が硬化(乾燥)又は仮硬化(仮乾燥)等の非流動状態となった後に実施する。検査用機能液390は、透明機能液190の表層の成分と反応して、色調が変化する液状体である。
これにより、検査用機能液390と透明機能液190とが互いに重なりあった部分(接触した部分)が発色して色調が変化する。当該色調を検出することで、透明液滴191が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。
(5) In the ejection of the inspection functional liquid 390 in step S44, the inspection droplet 391 is landed at the same position as the landing position of the transparent droplet 191. The ejection is performed after the transparent functional liquid 190 arranged on the inspection sheet 110 is in a non-flowing state such as curing (drying) or temporary curing (temporary drying). The functional fluid for inspection 390 is a liquid that reacts with components on the surface layer of the transparent functional fluid 190 to change the color tone.
As a result, the portion where the inspection functional liquid 390 and the transparent functional liquid 190 overlap each other (the contacted portion) is colored to change the color tone. By detecting the color tone, it can be determined that the transparent liquid droplet 191 exists. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge.

(6)図7(b−2)に示した例では、有色液滴291と透明液滴191とが交互に半ノズルピッチ間隔で並んでいる。撮像カメラ72によって撮影された画像における有色着弾円292の像は、透明着弾円192と重なり合って(透して)いる部分の色調が変化して円の一部が欠けた形状となる。有色着弾円292の一部が欠けた形状となることで、透明着弾円192が存在していると判定することができる。すなわち、該当する位置に向けて透明機能液190を吐出する吐出ノズル24は、少なくとも吐出を実施可能であると判定することができる。   (6) In the example shown in FIG. 7B-2, the colored droplets 291 and the transparent droplets 191 are alternately arranged at a half nozzle pitch interval. The image of the colored landing circle 292 in the image photographed by the imaging camera 72 changes the color tone of the portion overlapping (through) with the transparent landing circle 192 and has a shape with a part of the circle missing. It can be determined that the transparent landing circle 192 exists by forming a part of the colored landing circle 292 lacking. That is, it can be determined that at least the discharge nozzle 24 that discharges the transparent functional liquid 190 toward the corresponding position can perform discharge.

(7)図7(b−2)に示した例では、有色着弾円292の一部が欠けた形状となることで、透明着弾円192が存在していると判定することができる。線の欠陥部を検出することで検査が実施できるため、個々の着弾円ごとに有無を検出する場合にくらべて、比較工程を簡単にすることができる。   (7) In the example shown in FIG. 7 (b-2), it can be determined that the transparent landing circle 192 is present because the colored landing circle 292 is partially cut out. Since the inspection can be performed by detecting the defective portion of the line, the comparison process can be simplified as compared with the case where the presence or absence is detected for each individual landing circle.

(8)液滴吐出装置1の吐出検査ユニット70、及び液滴吐出装置101の吐出検査ユニット170は、ワーク機構部3又はワーク機構部103とは独立して、検査シート載置台71を備えている。これにより、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置101による描画工程において、ヘッドユニット21が稼動していない合間を利用して、吐出ノズル24の吐出検査を実施することができる。描画工程においてヘッドユニット21が稼動していない時間は、例えば、ワーク載置台30にワークWを給材したり、ワーク載置台30からワークWを除材したりする時間である。   (8) The discharge inspection unit 70 of the droplet discharge device 1 and the discharge inspection unit 170 of the droplet discharge device 101 include the inspection sheet mounting table 71 independently of the work mechanism unit 3 or the work mechanism unit 103. Yes. Thereby, in the drawing process by the droplet discharge device 1 or the droplet discharge device 101, the discharge inspection of the discharge nozzle 24 can be performed by using the interval where the head unit 21 is not operating. The time when the head unit 21 is not operating in the drawing process is, for example, the time for supplying the workpiece W to the workpiece mounting table 30 or removing the workpiece W from the workpiece mounting table 30.

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿諭であり、以下のように実施することもできる。   As mentioned above, although preferred embodiment was described referring an accompanying drawing, suitable embodiment is not restricted to the said embodiment. It is obvious that the embodiment can be variously modified within a range not departing from the gist, and can also be implemented as follows.

(変形例1)前記実施形態においては、吐出検査ユニット70及び吐出検査ユニット170は、検査シート110を保持する検査シート載置台71と、撮像カメラ72とを備えている。しかし、吐出検査装置が検査シート110のような検査描画媒体を保持する装置を専用に備えることは必須ではない。検査用の検査描画媒体を保持する装置として、ワーク載置台30のような、描画に際して被描画媒体を保持する装置を用いてもよい。この場合、撮像カメラ72のような検出手段は、描画に際して被描画媒体を保持する装置に保持された検査描画媒体に着弾した液状体を検出可能な位置に配設する。
描画に際して被描画媒体を保持する装置を用いることで、実際の稼働状態に近い状態で吐出検査が実施できる。このため、着弾位置精度の検査は、検査用の検査描画媒体を保持する専用の装置を用いる場合より正確になる可能性が高い。
(Modification 1) In the above-described embodiment, the discharge inspection unit 70 and the discharge inspection unit 170 include the inspection sheet mounting table 71 that holds the inspection sheet 110 and the imaging camera 72. However, it is not indispensable that the ejection inspection apparatus has a dedicated apparatus for holding an inspection drawing medium such as the inspection sheet 110. As an apparatus for holding the inspection drawing medium for inspection, an apparatus such as the work mounting table 30 that holds the drawing medium at the time of drawing may be used. In this case, the detection means such as the imaging camera 72 is disposed at a position where the liquid material that has landed on the inspection drawing medium held by the apparatus that holds the drawing medium at the time of drawing can be detected.
By using a device that holds the drawing medium at the time of drawing, the discharge inspection can be performed in a state close to the actual operating state. For this reason, there is a high possibility that the inspection of the landing position accuracy will be more accurate than when a dedicated device that holds the inspection drawing medium for inspection is used.

(変形例2)前記実施形態においては、液滴吐出装置1は、2個のヘッドユニット21を備えており、1個のヘッドユニット21は、無色透明な透明機能液190が供給される透明液ユニットであり、もう1個のヘッドユニット21は、有色の有色機能液290が供給される有色液ユニットであった。しかし、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが吐出する機能液が同一であることは必須ではない。描画装置においては、色が異なるなど、複数種類の異なる機能液を吐出してもよい。色が異なる複数種類の機能液を吐出することでカラー描画も可能である。機能液の種類は、液滴吐出装置1のように複数のヘッドユニットを備えてヘッドユニットごとに異ならせてもよいし、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、液滴吐出ヘッドごとに異ならせてもよいし、ノズル列ごとに異ならせてもよい。吐出ノズルごとに機能液を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる機能液を吐出してもよい。なお、カラー描画を実施する際には、同じ着弾位置に、複数の、例えば色が異なる機能液を着弾させることができる構成のヘッドユニット又は液滴吐出ヘッドを用いたり、走査方法を用いたりすることで、より微細な描画が可能となる。   (Modification 2) In the embodiment described above, the droplet discharge device 1 includes two head units 21, and one head unit 21 is a transparent liquid to which a colorless and transparent transparent functional liquid 190 is supplied. The other head unit 21 is a colored liquid unit to which a colored functional liquid 290 is supplied. However, it is not essential that the functional liquid discharged by the discharge head provided in the head unit is the same. In the drawing apparatus, a plurality of different types of functional liquids such as different colors may be discharged. Color drawing is also possible by discharging a plurality of types of functional liquids having different colors. The type of the functional liquid may include a plurality of head units as in the liquid droplet ejection apparatus 1 and may vary from head unit to head unit, or may vary from head group to head unit. Alternatively, it may be different for each nozzle row. Different functional liquids may be ejected from one ejection nozzle to another by using a droplet ejection head that can individually supply functional liquid to each ejection nozzle. When performing color drawing, a plurality of, for example, a head unit or a droplet discharge head configured to be able to land a plurality of functional liquids having different colors at the same landing position, or a scanning method is used. As a result, finer drawing becomes possible.

(変形例3)前記実施形態においては、液滴吐出装置1における吐出検査の検査対象は、透明機能液190を吐出する透明液ユニットの吐出ノズル24であった。しかし、図6及び図7を参照して説明した吐出検査、及び図8を参照して説明した吐出検査においては、透明液ユニットの吐出ノズル24が正常に吐出していることを検証するためには、有色液ユニットの吐出ノズル24が正常に吐出していることが必要である。したがって、これらの吐出検査においては、有色液ユニットの吐出ノズル24の吐出検査も、透明液ユニットの吐出ノズル24の吐出検査に並行して実施できる。
有色液ユニットの吐出ノズル24の吐出検査の場合、透明機能液190が、検出用液状体に相当する。有色機能液290が、描画用液状体に相当する。透明液ユニットの吐出ノズル24が、検出用吐出ノズルに相当する。有色液ユニットの吐出ノズル24が、描画用液状体の液滴を吐出する吐出ノズルに相当する。
(Modification 3) In the embodiment, the inspection target of the discharge inspection in the droplet discharge device 1 is the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit that discharges the transparent functional liquid 190. However, in the discharge inspection described with reference to FIGS. 6 and 7 and the discharge inspection described with reference to FIG. 8, in order to verify that the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit is normally discharged. The discharge nozzle 24 of the colored liquid unit needs to discharge normally. Therefore, in these discharge inspections, the discharge inspection of the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit can be performed in parallel with the discharge inspection of the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit.
In the discharge inspection of the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit, the transparent functional liquid 190 corresponds to the detection liquid material. The colored functional liquid 290 corresponds to a drawing liquid. The discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit corresponds to a detection discharge nozzle. The discharge nozzle 24 of the colored liquid unit corresponds to a discharge nozzle that discharges a liquid droplet for drawing.

(変形例4)前記実施形態においては、液滴吐出装置1や液滴吐出装置101における吐出検査の検査対象は、無色透明な透明機能液190を吐出する透明液ユニットの吐出ノズル24であった。しかし、吐出検査の検査対象は、無色透明な液状体を吐出する吐出ノズルに限らない。前記実施形態を例に説明した吐出検査方法や吐出検査装置は、無色透明ではない液状体を吐出する吐出ノズルの吐出検査においても有用である。検査対象の吐出ノズルから吐出する液状体の色調などの特性が、着弾した液状体が視認し難いような特性である場合に、特に有効である。   (Modification 4) In the embodiment, the inspection target of the discharge inspection in the droplet discharge device 1 or the droplet discharge device 101 is the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit that discharges the colorless and transparent transparent functional liquid 190. . However, the inspection target of the discharge inspection is not limited to the discharge nozzle that discharges a colorless and transparent liquid material. The discharge inspection method and the discharge inspection apparatus described using the above embodiment as an example are also useful in the discharge inspection of discharge nozzles that discharge a liquid that is not colorless and transparent. This is particularly effective when characteristics such as the color tone of the liquid discharged from the discharge nozzle to be inspected are characteristics that make it difficult to visually recognize the landed liquid.

(変形例5)前記実施形態においては、吐出検査ユニット70や吐出検査ユニット170を用いた吐出検査は、検査対象の吐出ノズル24から吐出された透明機能液190の有無を検出することで、吐出ノズル24が吐出できているか否かを検査する吐出検査であった。しかし、前記実施形態において説明したように、少なくとも、吐出検査に必要な所定の着弾位置の条件を満たす着弾位置精度が維持されていることも検証できる。例えば、有色着弾円292や透明着弾円192の位置を、より正確に計測することで、着弾位置精度の検証をすることもできる。   (Modification 5) In the embodiment, the discharge inspection using the discharge inspection unit 70 or the discharge inspection unit 170 is performed by detecting the presence or absence of the transparent functional liquid 190 discharged from the discharge nozzle 24 to be inspected. This was a discharge inspection for inspecting whether or not the nozzles 24 were discharged. However, as described in the above embodiment, it can be verified that at least the landing position accuracy satisfying the predetermined landing position necessary for the discharge inspection is maintained. For example, the accuracy of the landing position can be verified by measuring the positions of the colored landing circle 292 and the transparent landing circle 192 more accurately.

(変形例6)前記実施形態においては、ステップS23で、透明液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施し、ステップS25で、有色液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施していた。また、ステップS33で、有色液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施し、ステップS35で、透明液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施していた。さらに、ステップS43で、透明液ユニットの吐出ノズル24の検査吐出を実施し、ステップS44で、検査用機能液390の吐出を実施していた。これらのように、検出用液状体及び描画用液状体を吐出する順番は、いずれが先であってもよい。   (Modification 6) In the above embodiment, the inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit is performed in step S23, and the inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit is performed in step S25. In step S33, the discharge nozzle 24 of the colored liquid unit is inspected and discharged, and in step S35, the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit is inspected and discharged. Further, in step S43, inspection discharge of the discharge nozzle 24 of the transparent liquid unit was performed, and in step S44, inspection functional liquid 390 was discharged. As described above, the order of discharging the detection liquid material and the drawing liquid material may be any first.

(変形例7)前記実施形態においては、図8を参照して説明した吐出検査では、透明液滴193を、有色着弾円294を形成する有色機能液290の上に着弾させていた。図10を参照して説明した吐出検査では、検査用液滴391を透明液滴191の着弾位置と同じ位置に着弾させていた。これらのような場合に、描画用液状体を着弾させる位置と検出用液状体を着弾させる位置とが同一であることは必須ではない。描画用液状体と検出用液状体とは、一部が互いに重なる位置に配設されていればよい。   (Modification 7) In the above embodiment, in the ejection inspection described with reference to FIG. 8, the transparent liquid droplet 193 is landed on the colored functional liquid 290 that forms the colored landing circle 294. In the discharge inspection described with reference to FIG. 10, the inspection droplet 391 is landed at the same position as the landing position of the transparent droplet 191. In these cases, it is not essential that the position where the drawing liquid is landed and the position where the detection liquid is landed are the same. The drawing liquid and the detection liquid need only be arranged at positions where one part of the drawing liquid and the detection liquid overlap each other.

(変形例8)前記実施形態においては、検査用機能液390は、透明機能液190の表層の成分と反応して、色調が変化する液状体であった。しかし、描画用液状体と検出用液状体とが反応することで検出用液状体の色調などが変化することは必須ではない。検出用液状体は、描画用液状体と検出用液状体とが反応することによって描画用液状体の色調などが変化する液状体であってもよい。   (Modification 8) In the above embodiment, the test functional liquid 390 is a liquid that reacts with the surface layer components of the transparent functional liquid 190 to change the color tone. However, it is not essential that the color tone of the detection liquid changes due to the reaction between the drawing liquid and the detection liquid. The liquid for detection may be a liquid that changes the color tone of the liquid for drawing by the reaction of the liquid for drawing and the liquid for detection.

(変形例9)前記実施形態においては、液滴吐出装置1は、ヘッドユニット21を2個備えており、液滴吐出装置101は、ヘッドユニット21を1個備えていた。しかし、描画装置が備えるヘッドユニットが1個または2個であることは必須ではない。描画装置が備えるヘッドユニットは、いくつであってもよい。   (Modification 9) In the above embodiment, the droplet discharge device 1 includes two head units 21, and the droplet discharge device 101 includes one head unit 21. However, it is not essential that the drawing apparatus has one or two head units. Any number of head units may be provided in the drawing apparatus.

(変形例10)前記実施形態においては、ヘッドユニット21は、液滴吐出ヘッド20を9個備えていたが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが9個であることは必須ではない。ヘッドユニットが備える吐出ヘッドは、いくつであってもよい。   (Modification 10) In the above embodiment, the head unit 21 includes nine droplet discharge heads 20, but it is not essential that the head unit includes nine discharge heads. Any number of ejection heads may be included in the head unit.

(変形例11)前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド20は、多数の吐出ノズル24が略一直線状に並んだノズル列24Aを2列備えていたが、吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であってもよい。また、液滴吐出ヘッド20が備える吐出ノズル24は、ノズル列24Aの延在方向において互いの位置がずれていたが、吐出ヘッドは、ノズル列の延在方向において、略同一位置に位置する吐出ノズルを複数備える構成であってもよい。   (Modification 11) In the embodiment described above, the droplet discharge head 20 includes two nozzle rows 24A in which a large number of discharge nozzles 24 are arranged in a substantially straight line. However, how many nozzle rows the discharge head includes. It may be. The positions of the discharge nozzles 24 included in the droplet discharge head 20 are shifted in the extending direction of the nozzle row 24A. However, the discharge heads are discharged at substantially the same position in the extending direction of the nozzle row. The structure provided with two or more nozzles may be sufficient.

(変形例12)前記実施形態においては、X軸走査機構によってワーク載置台30をX軸方向に移動させることでワークWをX軸方向に移動し、Y軸走査機構によって液滴吐出ヘッド20をY軸方向に移動することで、ワークWと液滴吐出ヘッド20とを平面方向において相対移動させていた。描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させるために描画対象物と吐出ヘッドの両方を移動させることは必須ではない。描画対象物と吐出ヘッドのいずれか一方を平面方向に移動させることで、描画対象物と吐出ヘッドとを相対移動させる構成であってもよい。   (Modification 12) In the above-described embodiment, the workpiece mounting table 30 is moved in the X-axis direction by the X-axis scanning mechanism to move the workpiece W in the X-axis direction, and the droplet discharge head 20 is moved by the Y-axis scanning mechanism. By moving in the Y-axis direction, the workpiece W and the droplet discharge head 20 are relatively moved in the plane direction. It is not essential to move both the drawing object and the ejection head in order to move the drawing object and the ejection head relative to each other. A configuration may be adopted in which either the drawing object or the ejection head is moved in the plane direction to move the drawing object and the ejection head relative to each other.

(変形例13)前記実施形態においては、透明着弾円192及び有色着弾円292の形状の解析、透明着弾円192と有色着弾円292とが重なりあった部分の色調の解析を実施して、吐出検査工程を終了していた。しかし、解析結果が不良と判定される要因には、検査用の液滴を吐出する吐出ノズルの不具合も含まれる。検査用の液滴を吐出する吐出ノズルの不具合に起因して検査対象の吐出ノズルが不良であると誤判定されることを抑制するために、上記した吐出検査工程を再度実施してもよい。吐出検査工程を再度実施する際には、重ねあわされて配置される液滴を吐出する吐出ノズルの組み合わせを、1回目と2回目とで異ならせることが好ましい。   (Modification 13) In the above-described embodiment, the shapes of the transparent landing circle 192 and the colored landing circle 292 are analyzed, and the color tone of the portion where the transparent landing circle 192 and the colored landing circle 292 overlap is analyzed and discharged. The inspection process was completed. However, the factors that determine that the analysis result is defective include defects in the discharge nozzle that discharges the droplets for inspection. In order to suppress erroneous determination that a discharge nozzle to be inspected is defective due to a defect in a discharge nozzle that discharges a droplet for inspection, the above-described discharge inspection process may be performed again. When the discharge inspection process is performed again, it is preferable that the combination of the discharge nozzles for discharging the droplets arranged in an overlapping manner be different between the first time and the second time.

(変形例14)前記実施形態においては、透明着弾円192及び有色着弾円292の形状の解析、透明着弾円192と有色着弾円292とが重なりあった部分の色調の解析を実施して、吐出検査工程を終了していた。しかし、解析結果が不良と判定される要因には、検査用の液滴を吐出する吐出ノズルの不具合も含まれる。検査用の液滴を吐出する吐出ノズルの不具合に起因して検査対象の吐出ノズルが不良であると誤判定されることを抑制するために、不具合があると判定された吐出ノズルについて、上記した吐出検査工程と同様の吐出検査を再度実施してもよい。吐出検査工程を再度実施する際には、重ねあわされて配置される液滴を吐出する吐出ノズルの組み合わせを、最初の吐出検査と、不具合があると判定された吐出ノズルについて実施する2回目の吐出検査とで異ならせることが好ましい。   (Modification 14) In the above-described embodiment, the shapes of the transparent landing circle 192 and the colored landing circle 292 are analyzed, and the color tone of the portion where the transparent landing circle 192 and the colored landing circle 292 overlap is analyzed, and the discharge is performed. The inspection process was completed. However, the factors that determine that the analysis result is defective include defects in the discharge nozzle that discharges the droplets for inspection. In order to suppress erroneous determination that a discharge nozzle to be inspected is defective due to a defect in a discharge nozzle that discharges droplets for inspection, the discharge nozzle that has been determined to be defective is described above. A discharge inspection similar to the discharge inspection step may be performed again. When the discharge inspection process is performed again, the combination of the discharge nozzles that discharge the liquid droplets arranged in a superimposed manner is performed for the first discharge inspection and the discharge nozzle that is determined to be defective. It is preferable to vary the discharge inspection.

(変形例15)前記実施形態においては、吐出検査ユニット70が撮像カメラ72を有する場合について説明したが、これに限らない。撮像カメラ72に代えて、スキャナ装置を用いることが装置コストを抑えることができる。   (Modification 15) In the above embodiment, the case where the ejection inspection unit 70 has the imaging camera 72 has been described. However, the present invention is not limited to this. Using a scanner device instead of the imaging camera 72 can reduce the device cost.

1…液滴吐出装置(描画装置)、 15…紫外線照射装置、 20…液滴吐出ヘッド(検出用液配置手段)、 24…吐出ノズル、 70…吐出検査ユニット(検出手段)、 72…撮像カメラ、 101…液滴吐出装置(描画装置)、 110…検査シート(検査描画媒体)、 170…吐出検査ユニット(検出手段)、 190…透明機能液(描画用液状体)、 290…有色機能液(検出用液状体)、 390…検査用機能液(検出用液状体)   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus (drawing apparatus), 15 ... Ultraviolet irradiation apparatus, 20 ... Droplet discharge head (detection liquid arrangement means), 24 ... Discharge nozzle, 70 ... Discharge inspection unit (detection means), 72 ... Imaging camera 101 ... Droplet discharge device (drawing device) 110 ... Inspection sheet (inspection drawing medium) 170 ... Discharge inspection unit (detection means) 190 ... Transparent functional liquid (liquid for drawing) 290 ... Colored functional liquid ( Liquid for detection), 390... Functional liquid for inspection (liquid for detection)

Claims (19)

描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルを備える描画装置における吐出検査方法であって、
検査描画媒体に向けて、検出用吐出ノズルから検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用液配置工程と、
前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて前記描画用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画用液配置工程と、
前記検査描画媒体に配置された前記描画用液状体及び前記検出用液状体の状態を検出する検出工程と、
を有し、
前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程は、いずれか一方の工程を実施した後、当該工程において配置された前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、もうー方の工程を実施し、
前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程においては、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させることを特徴とする吐出検査方法。
A discharge inspection method in a drawing apparatus comprising a discharge nozzle for discharging a drawing liquid as droplets,
A liquid for detection is discharged from a discharge nozzle for detection toward the inspection drawing medium and is landed on the inspection drawing medium, whereby the detection liquid is arranged on the inspection drawing medium. Liquid placement step;
The drawing liquid is disposed on the inspection drawing medium by discharging droplets of the drawing liquid material from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium and landing on the inspection drawing medium. Liquid placement step;
A detection step of detecting a state of the drawing liquid material and the detection liquid material arranged on the inspection drawing medium;
Have
The detection liquid placement step and the drawing liquid placement step are performed after any one of the steps, and after the drawing liquid or the detection liquid placed in the step is in a non-flowing state, Perform the other process,
In the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed after the detection liquid arrangement process and the drawing liquid arrangement process, the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed previously. An ejection inspection method, comprising: landing the drawing liquid material or the detection liquid material at a position at least partially overlapping with the drawing liquid material or the detection liquid material arranged in the step.
前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程では、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置される前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、の双方において、少なくとも一部が重ならない位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させ、
前記検出工程では、前記検査描画媒体上に配置された、前記描画用液状体の液滴と前記検出用液状体の液滴とによって形成された形状を、検出することを特徴とする、請求項1に記載の吐出検査方法。
In the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process to be performed later in the detection liquid arrangement process and the drawing liquid arrangement process, the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed earlier. The drawing liquid or the detection liquid disposed in the step, and the drawing liquid or the detection liquid disposed in the detection liquid placement step or the drawing liquid placement step to be performed later. In both cases, the drawing liquid or the detection liquid is landed at a position where at least part of the liquid does not overlap,
The detection step detects a shape formed by the drawing liquid droplet and the detection liquid droplet disposed on the inspection drawing medium. 2. The discharge inspection method according to 1.
前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程では、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を、配置された複数の前記描画用液状体及び複数の前記検出用液状体で所定の形状を描く位置に配置することを特徴とする、請求項2に記載の吐出検査方法。   In the detection liquid arrangement step and the drawing liquid arrangement step, the drawing liquid body or the detection liquid body is formed into a predetermined shape with the plurality of drawing liquid bodies and the plurality of detection liquid bodies arranged. The ejection inspection method according to claim 2, wherein the ejection inspection method is arranged at a position to draw a pattern. 前記検出工程では、前記検出用液状体又は前記描画用液状体の色調の変化の有無を検出することを特徴とする、請求項1に記載の吐出検査方法。   The ejection inspection method according to claim 1, wherein in the detection step, the presence or absence of a change in color tone of the detection liquid or the drawing liquid is detected. 前記検出用液状体は、前記描画用液状体と反応することで色調が変化する成分を含む液状体、又は前記描画用液状体が前記検出用液状体と反応することで前記描画用液状体の色調が変化する成分を含む液状体であることを特徴とする、請求項4に記載の吐出検査方法。   The detection liquid is a liquid containing a component that changes color tone by reacting with the drawing liquid, or the drawing liquid reacts with the detection liquid by reacting with the detection liquid. The discharge inspection method according to claim 4, wherein the discharge inspection method is a liquid containing a component whose color tone changes. 前記描画用液状体が無色透明な液状体であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の吐出検査方法。   6. The ejection inspection method according to claim 1, wherein the drawing liquid is a colorless and transparent liquid. 前記描画装置は、種類が互いに異なる前記描画用液状体のいずれかをそれぞれ吐出する前記吐出ノズルを備えることで、種類が互いに異なる複数種類の前記描画用液状体を吐出可能であり、
前記検出用液配置工程では、前記複数種類の前記描画用液状体のいずれかの前記描画用液状体を吐出して配置することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の吐出検査方法。
The drawing apparatus is capable of discharging a plurality of types of drawing liquid materials of different types by including the discharge nozzles that discharge each of the drawing liquid materials of different types.
7. The detection liquid disposing step includes discharging and disposing one of the plurality of types of the drawing liquid material. Discharge inspection method.
前記描画装置は、前記検出用液状体を吐出する検出専用吐出ノズルを備え、前記検出用液配置工程では、前記検出専用吐出ノズルから前記検出用液状体を吐出することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の吐出検査方法。   The drawing apparatus includes a detection-dedicated discharge nozzle that discharges the detection liquid, and the detection liquid is discharged from the detection-dedicated discharge nozzle in the detection liquid arrangement step. The discharge inspection method according to any one of 1 to 6. 前記検出用液配置工程と、前記描画用液配置工程と、前記検出工程と、を再度実施することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の吐出検査方法。   The discharge inspection method according to claim 1, wherein the detection liquid arrangement step, the drawing liquid arrangement step, and the detection step are performed again. 前記検出工程において不具合が検出された前記吐出ノズルを検査対象として、前記検出用液配置工程と、前記描画用液配置工程と、前記検出工程と、を再度実施することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の吐出検査方法。   The detection liquid disposing step, the drawing liquid disposing step, and the detecting step are performed again with the discharge nozzle in which a defect has been detected in the detecting step as an inspection target. The discharge inspection method according to any one of 1 to 8. 互いに少なくとも一部が重なり合う前記描画用液状体と前記検出用液状体とを吐出する前記吐出ノズルと前記検出用吐出ノズルとの組方合わせが、最初に実施する前記検出用液配置工程、前記描画用液配置工程、及び前記検出工程と、再度実施する前記検出用液配置工程、前記描画用液配置工程、及び前記検出工程とで、異なることを特徴とする、請求項9又は10に記載の吐出検査方法。   The detection liquid disposing step in which the combination of the discharge nozzle and the detection discharge nozzle for discharging the drawing liquid and the detection liquid that overlap at least partially with each other is performed first, the drawing 11. The method according to claim 9, wherein the liquid placement step and the detection step are different from the detection liquid placement step, the drawing liquid placement step, and the detection step to be performed again. Discharge inspection method. 描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルを備える描画装置が備える吐出検査装置であって、
検査描画媒体に向けて、検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用吐出ノズルを備える検出用液配置手段と、
前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて液滴として吐出され、前記検査描画媒体上に着弾させられて配置された前記描画用液状体、及び前記検出用液配置手段によって前記検査描画媒体上に配置された前記検出用液状体の状態を検出する検出手段と、
を備え、
前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのいずれか一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させた後、着弾させられた前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのもう一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させ、
後に着弾させる前記検出用液状体又は前記描画用液状体を、先に着弾させられている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に着弾させることを特徴とする吐出検査装置。
A discharge inspection apparatus provided in a drawing apparatus including a discharge nozzle for discharging a drawing liquid as droplets,
Detection provided with a detection discharge nozzle for disposing the liquid material for detection on the inspection drawing medium by discharging droplets of the liquid material for detection toward the inspection drawing medium and landing on the inspection drawing medium Liquid arrangement means;
The drawing liquid ejected as droplets from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium and landed on the inspection drawing medium and disposed on the inspection drawing medium by the detection liquid arrangement means Detecting means for detecting a state of the arranged liquid for detection;
With
After the detection liquid material or the drawing liquid material is landed on the inspection drawing medium using either the detection liquid arranging means or the discharge nozzle, the drawn liquid material or the landing liquid material After making the detection liquid material non-flow state, the detection liquid material or the drawing liquid material is landed on the inspection drawing medium using the other of the detection liquid arranging means or the discharge nozzle,
Discharging characterized by causing the detection liquid or the drawing liquid to be landed later to land at a position at least partially overlapping the drawing liquid or the detection liquid previously landed Inspection device.
前記描画装置は、種類が互いに異なる前記描画用液状体のいずれかをそれぞれ吐出する前記吐出ノズルを備えることで、種類が互いに異なる複数種類の前記描画用液状体を吐出可能であり、前記検出用液配置手段が備える検出用吐出ノズルは、前記複数種類の前記描画用液状体のいずれかの前記描画用液状体を吐出する前記吐出ノズルであることを特徴とする、請求項12に記載の吐出検査装置。   The drawing apparatus includes the discharge nozzle that discharges any of the drawing liquid materials of different types, and can discharge a plurality of types of drawing liquid materials of different types. 13. The discharge nozzle according to claim 12, wherein the detection discharge nozzle provided in the liquid arrangement means is the discharge nozzle that discharges the drawing liquid material of any of the plurality of types of the drawing liquid material. Inspection device. 前記検出用液配置手段が備える検出用吐出ノズルは、前記検出用液状体を吐出する検出専用吐出ノズルであることを特徴とする、請求項12に記載の吐出検査装置。   The discharge inspection apparatus according to claim 12, wherein the detection discharge nozzle provided in the detection liquid arrangement unit is a detection-dedicated discharge nozzle that discharges the detection liquid material. 描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルから吐出した前記描画用液状体の前記液滴を被描画媒体に着弾させて、前記被描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画方法であって、
検査描画媒体に向けて、検出用吐出ノズルから検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用液配置工程と、
前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて前記描画用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画用液配置工程と、
前記検査描画媒体に配置された前記描画用液状体及び前記検出用液状体の状態を検出する検出工程と、を有し、
前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程は、いずれか一方の工程を実施した後、当該工程において配置された前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、もう一方の工程を実施し、
前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程においては、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させることを特徴とする描画方法。
In a drawing method, the droplets of the drawing liquid discharged from a discharge nozzle for discharging the drawing liquid as droplets are landed on the drawing medium, and the drawing liquid is arranged on the drawing medium. There,
A liquid for detection is discharged from a discharge nozzle for detection toward the inspection drawing medium and is landed on the inspection drawing medium, whereby the detection liquid is arranged on the inspection drawing medium. Liquid placement step;
The drawing liquid is disposed on the inspection drawing medium by discharging droplets of the drawing liquid material from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium and landing on the inspection drawing medium. Liquid placement step;
Detecting a state of the drawing liquid and the detection liquid disposed on the inspection drawing medium, and
The detection liquid placement step and the drawing liquid placement step are performed after any one of the steps, and after the drawing liquid or the detection liquid placed in the step is in a non-flowing state, Perform the other step,
In the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed after the detection liquid arrangement process and the drawing liquid arrangement process, the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed previously. A drawing method, wherein the drawing liquid material or the detection liquid material is landed at a position at least partially overlapping with the drawing liquid material or the detection liquid material arranged in the above.
前記検出用液配置工程及び前記描画用液配置工程における、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程では、先に実施した前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置されている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、後に実施する前記検出用液配置工程又は前記描画用液配置工程において配置される前記描画用液状体又は前記検出用液状体と、の双方において、少なくとも一部が重ならない位置に、前記描画用液状体又は前記検出用液状体を着弾させ、
前記検出工程では、前記検査描画媒体上に配置された、前記描画用液状体の液滴と前記検出用液状体の液滴とによって形成された形状を、検出することを特徴とする、請求項15に記載の描画方法。
In the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process to be performed later in the detection liquid arrangement process and the drawing liquid arrangement process, the detection liquid arrangement process or the drawing liquid arrangement process performed earlier. The drawing liquid or the detection liquid disposed in the step, and the drawing liquid or the detection liquid disposed in the detection liquid placement step or the drawing liquid placement step to be performed later. In both cases, the drawing liquid or the detection liquid is landed at a position where at least part of the liquid does not overlap,
The detection step detects a shape formed by the drawing liquid droplet and the detection liquid droplet disposed on the inspection drawing medium. 15. The drawing method according to 15.
前記検出工程では、前記検出用液状体又は前記描画用液状体の色調の変化の有無を検出することを特徴とする、請求項15に記載の描画方法。   16. The drawing method according to claim 15, wherein in the detection step, presence or absence of a change in color tone of the detection liquid material or the drawing liquid material is detected. 前記検出用液状体は、前記描画用液状体と反応することで色調が変化する成分を含む液状体、又は前記描画用液状体が前記検出用液状体と反応することで前記描画用液状体の色調が変化する成分を含む液状体であることを特徴とする、請求項15に記載の描画方法。   The detection liquid is a liquid containing a component that changes color tone by reacting with the drawing liquid, or the drawing liquid reacts with the detection liquid by reacting with the detection liquid. The drawing method according to claim 15, wherein the drawing method is a liquid containing a component whose color tone changes. 描画用液状体を液滴として吐出する吐出ノズルを備え、前記吐出ノズルから吐出した前記描画用液状体の前記液滴を被描画媒体に着弾させて、前記被描画媒体上に前記描画用液状体を配置する描画装置であって、
検査描画媒体に向けて、検出用液状体の液滴を吐出し、前記検査描画媒体上に着弾させることで、前記検査描画媒体上に前記検出用液状体を配置する検出用吐出ノズルを備える検出用液配置手段と、
前記吐出ノズルから前記検査描画媒体に向けて液滴として吐出され、前記検査描画媒体上に着弾させられて配置された前記描画用液状体、及び前記検出用液配置手段によって前記検査描画媒体上に配置された前記検出用液状体の状態を検出する検出手段と、
を備え、
前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのいずれか一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させた後、着弾させられた前記描画用液状体又は前記検出用液状体を非流動状態とした後に、前記検出用液配置手段又は前記吐出ノズルのもう一方を用いて前記検出用液状体又は前記描画用液状体を前記検査描画媒体に着弾させ、
後に着弾させる前記検出用液状体又は前記描画用液状体を、先に着弾させられている前記描画用液状体又は前記検出用液状体と少なくとも一部が重なる位置に着弾させることを特徴とする描画装置。
A drawing nozzle for discharging the drawing liquid as droplets, the droplets of the drawing liquid discharged from the discharge nozzles landing on the drawing medium, and the drawing liquid on the drawing medium A drawing device for arranging
Detection provided with a detection discharge nozzle for disposing the liquid material for detection on the inspection drawing medium by discharging droplets of the liquid material for detection toward the inspection drawing medium and landing on the inspection drawing medium Liquid arrangement means;
The drawing liquid ejected as droplets from the discharge nozzle toward the inspection drawing medium and landed on the inspection drawing medium and disposed on the inspection drawing medium by the detection liquid arrangement means Detecting means for detecting a state of the arranged liquid for detection;
With
After the detection liquid material or the drawing liquid material is landed on the inspection drawing medium using either the detection liquid arranging means or the discharge nozzle, the drawn liquid material or the landing liquid material After making the detection liquid material non-flow state, the detection liquid material or the drawing liquid material is landed on the inspection drawing medium using the other of the detection liquid arranging means or the discharge nozzle,
A drawing characterized in that the liquid for detection or the liquid for drawing to be landed later is landed at a position at least partially overlapping the liquid for drawing or the liquid for detection previously landed apparatus.
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