JP2012202746A - Radiation detection device - Google Patents
Radiation detection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012202746A JP2012202746A JP2011065820A JP2011065820A JP2012202746A JP 2012202746 A JP2012202746 A JP 2012202746A JP 2011065820 A JP2011065820 A JP 2011065820A JP 2011065820 A JP2011065820 A JP 2011065820A JP 2012202746 A JP2012202746 A JP 2012202746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- radiation detection
- detection panel
- radiation
- moisture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
本発明の実施形態は、X線やガンマ線等の放射線を検出する放射線検出装置に関する。 Embodiments described herein relate generally to a radiation detection apparatus that detects radiation such as X-rays and gamma rays.
近年、放射線(特にX線)を光に変換する蛍光体膜と当該光を電気信号に変換する光電変換素子とを構成要素として含む平面型放射線検出装置が実用化されている。 2. Description of the Related Art In recent years, a planar radiation detection apparatus including a phosphor film that converts radiation (particularly X-rays) into light and a photoelectric conversion element that converts the light into an electrical signal has been put into practical use.
従来のX線イメージ管では真空管内の電子レンズ構成を必要としたため大きく重い検出装置となったが、平面型放射線検出装置では光電変換素子を含む画素をガラス基板上に2次元状に複数個形成することにより、薄い平面型に構成することが可能となる。 The conventional X-ray image tube requires a large and heavy detector because it requires an electron lens configuration in the vacuum tube, but the planar radiation detector forms a plurality of pixels including photoelectric conversion elements in a two-dimensional form on a glass substrate. By doing so, it becomes possible to constitute a thin planar type.
また、この平面型放射線検出装置では、上記の如く画素を2次元状にガラス基板上に複数個形成し当該画素上に蛍光体膜を形成したX線検出パネルと、回路基板とを並行配置とする構造とし、これらX線検出パネルと回路基板とを包含する筐体からなる主要構成部とすることで、小型軽量化を実現している。 In this planar radiation detection apparatus, an X-ray detection panel in which a plurality of pixels are two-dimensionally formed on a glass substrate as described above, and a phosphor film is formed on the pixels, and a circuit board are arranged in parallel. By adopting the structure as described above and using the main components including a housing including the X-ray detection panel and the circuit board, a reduction in size and weight is realized.
このような平面型放射線検出装置は、患者診断や治療に使用する医療用や歯科用、非破壊検査などの工業用、構解析などの科学研究用、など広い分野で使われている。それぞれの分野において、デジタル情報処理による高精度な画像抽出、高速度な画像検出が可能となることにより、不要なX線被爆量の低減や、迅速な検査、診断などが期待できる。 Such planar radiation detectors are used in a wide range of fields such as medical and dental use for patient diagnosis and treatment, industrial use such as non-destructive inspection, and scientific research such as structural analysis. In each field, high-accuracy image extraction and high-speed image detection by digital information processing become possible, so that reduction of unnecessary X-ray exposure, rapid inspection, diagnosis, and the like can be expected.
上記X線検出パネルの蛍光体膜には、従来のX線イメージ管で用いられているCs及びIを主成分とするシンチレータ材の技術を転用することが多い。これは、主成分であるヨウ化セシウム(以下、CsI)が柱状結晶を成すため、他の粒子状結晶からなるシンチレータ材に比較し、光ガイド効果による感度と解像度の向上を成すことができるためである。 For the phosphor film of the X-ray detection panel, the scintillator material technology mainly containing Cs and I used in the conventional X-ray image tube is often used. This is because cesium iodide (hereinafter referred to as CsI), which is the main component, forms a columnar crystal, so that sensitivity and resolution can be improved by the light guide effect as compared with scintillator materials made of other particulate crystals. It is.
例えば、特許文献1においては、蛍光体膜としてCsIを主成分としたプレート状の放射線シンチレータが開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses a plate-shaped radiation scintillator mainly containing CsI as a phosphor film.
しかし、CsI膜は優れた解像度特性とX線感度を有するものの、潮解性があって水分による光特性劣化の問題があり、防湿構造が必要である。 However, although the CsI film has excellent resolution characteristics and X-ray sensitivity, it has deliquescence and a problem of optical characteristics deterioration due to moisture, and requires a moisture-proof structure.
このため、水分進入を防止する構造として、例えば、特許文献2には、ポリパラキシリレン樹脂を用いたX線検出パネルの防湿構造が開示されている。 For this reason, for example, Patent Document 2 discloses a moisture-proof structure of an X-ray detection panel using a polyparaxylylene resin as a structure for preventing moisture from entering.
このように、従来の放射線検出装置においては、蛍光体膜の防湿性やX線検出パネルの防湿構造は配慮されているが、X線検出パネルと回路基板とを包含する筐体内部の防湿性はほとんど考慮されていない。 As described above, in the conventional radiation detection apparatus, the moisture-proof property of the phosphor film and the moisture-proof structure of the X-ray detection panel are taken into consideration, but the moisture-proof property inside the housing including the X-ray detection panel and the circuit board is taken into consideration. Is hardly considered.
これは通常の使用環境として、業務中の病院など定常的な温湿度環境を想定しているためである。 This is because a normal temperature and humidity environment such as a hospital in operation is assumed as a normal use environment.
このような定常的な環境においては、潮解性の弱点を有するCsI膜などの防湿性のみに配慮すれば防湿性は十分と考えられる。 In such a steady environment, it is considered that the moisture resistance is sufficient if only the moisture resistance such as a CsI film having a deliquescent weakness is considered.
しかしながら、実際の放射線検出装置の使用環境では過渡的な温湿度変化に曝されることがある。 However, in an actual environment where the radiation detection apparatus is used, it may be exposed to a transient temperature and humidity change.
このような場合、放射線検出装置の筐体内部の温湿度環境と放射線検出装置の周囲の温湿度環境との間に過渡的なずれが生じ得る。 In such a case, a transient shift may occur between the temperature and humidity environment inside the housing of the radiation detection device and the temperature and humidity environment around the radiation detection device.
特に、高温高湿度の環境に曝された後、急に冷涼な環境に変化した場合、筐体内部には高温高湿の空気が残存した状態で筐体外壁または筐体の一部を成すヒートシンク等が筐体外部の環境により冷却されることによって、筐体内壁やヒートシンク内壁に結露が発生する。 In particular, when exposed to a high temperature and high humidity environment and then suddenly changes to a cool environment, the heat sink that forms the outer wall of the case or part of the case with high temperature and high humidity air remaining inside the case. And the like are cooled by the environment outside the casing, dew condensation occurs on the inner wall of the casing and the inner wall of the heat sink.
この結露した水分が、回路基板やX線検出パネル、またはそれぞれの電気接合部などに接触すると電気的ショートや腐食などの原因となり、実使用面における信頼性低下を引き起こすという課題があった。 When the condensed moisture comes into contact with the circuit board, the X-ray detection panel, or the respective electrical joints, it causes an electrical short circuit or corrosion, causing a problem of reducing reliability in actual use.
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、実際の過渡的な使用環境においても信頼性を確保できる放射線検出装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a radiation detection apparatus that can ensure reliability even in an actual transient use environment.
上述の目的を達成するため、本放射線検出装置は、放射線を光に変換する蛍光体膜及び前記光を電気信号に変換する光電変換素子を有する放射線検出パネルと、前記放射線検出パネルを機械的に保持する支持基板と、前記支持基板において前記放射線検出パネルが保持された面とは反対側の面に配置され、前記放射線検出パネルを駆動する集積回路素子を搭載した回路基板と、前記放射線検出パネル、前記支持基板、及び前記回路基板を包含する筐体と、を有する放射線検出装置において、前記筐体の一部に前記筐体内部から外部に貫通して設けられ、かつ前記筐体内部に形成されて前記筐体内部で生じる水分を結露させる冷却部と前記冷却部にて結露した水分を前記筐体外部へ導出する導水部とを含む除湿機構を備えることを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, the present radiation detection apparatus mechanically combines a radiation detection panel having a phosphor film that converts radiation into light, a photoelectric conversion element that converts the light into an electrical signal, and the radiation detection panel. A support substrate to be held; a circuit board on which an integrated circuit element for driving the radiation detection panel is mounted; and a radiation detection panel disposed on a surface of the support substrate opposite to a surface on which the radiation detection panel is held A radiation detection device having a housing including the support substrate and the circuit board, wherein the radiation detection device is provided in a part of the housing so as to penetrate from the inside of the housing to the outside, and is formed inside the housing. And a dehumidifying mechanism including a cooling unit that condenses moisture generated inside the casing and a water guide unit that guides moisture condensed in the cooling unit to the outside of the casing.
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明の一実施の形態に係る放射線検出装置を示すものである。 FIG. 1 shows a radiation detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
この放射線検出装置10では、X線検出パネル2が支持基板4の上に固定され、さらにそのX線検出パネル2の入射X線1側に防湿カバー3が封着されている。 In this radiation detection apparatus 10, an X-ray detection panel 2 is fixed on a support substrate 4, and a moisture-proof cover 3 is sealed on the incident X-ray 1 side of the X-ray detection panel 2.
また、支持基板4は、X線検出パネル2の固定面とは反対側の面において、X線遮蔽用の鉛プレート6と放熱絶縁シート7とを挟んで回路基板5を保持している。また、支持基板4は、支柱8によって筐体9と結合されている。さらに、筐体9のX線検出パネル2対向面側には保護板11が配置される一方、筐体9の回路基板5対向面側には放熱板13が放熱面を筐体9の外側に向け配置されるとともに、除湿機構20が設けられている。
Further, the support substrate 4 holds the circuit substrate 5 on the surface opposite to the fixed surface of the X-ray detection panel 2 with the X-ray shielding lead plate 6 and the heat radiation insulating sheet 7 interposed therebetween. Further, the support substrate 4 is coupled to the housing 9 by a support column 8. Further, a protective plate 11 is disposed on the side of the housing 9 facing the X-ray detection panel 2, while a heat radiating plate 13 is disposed on the surface of the housing 9 facing the circuit board 5, with the heat radiating surface outside the housing 9. The
以下、各構成要素について更に詳しく説明する。 Hereinafter, each component will be described in more detail.
(X線検出パネル2)
X線検出パネル2は、光電変換素子を含む光電変換基板上に蛍光体膜を設けて形成される。
(X-ray detection panel 2)
The X-ray detection panel 2 is formed by providing a phosphor film on a photoelectric conversion substrate including a photoelectric conversion element.
本実施の形態では、蛍光体膜としてCsIにTlを添加した材料を使用し、蒸着法により500μmの厚さで光電変換基板上に膜状に形成した。 In this embodiment, a material in which Tl is added to CsI is used as the phosphor film, and a film is formed on the photoelectric conversion substrate with a thickness of 500 μm by a vapor deposition method.
なお、X線検出装置用としては、CsI膜厚は100μmから1000μmの範囲が用いられ、より好ましくは、200μmから600μmの範囲から、所望の感度と画像解像度を評価して設定する。 For the X-ray detection apparatus, the CsI film thickness is in the range of 100 μm to 1000 μm, and more preferably, the desired sensitivity and image resolution are evaluated and set from the range of 200 μm to 600 μm.
光電変換基板は、例えば、0.7mm厚のガラス基板上に、アモルファスシリコン(a−Si)を基材とした薄膜トランジスタ素子(TFT)とフォトダイオード素子とを含む画素を2次元状に複数個形成して構成される。 The photoelectric conversion substrate is formed, for example, on a 0.7 mm thick glass substrate in a two-dimensional form including a plurality of pixels including a thin film transistor element (TFT) and a photodiode element based on amorphous silicon (a-Si). Configured.
また、この光電変換基板の外周部には、駆動のための電気信号と出力信号とを外部と接続するための複数の端子パッドも形成されている。 In addition, a plurality of terminal pads for connecting electrical signals for driving and output signals to the outside are also formed on the outer periphery of the photoelectric conversion substrate.
端子パッドはフレキシブル回路基板15と接続されている。この端子パッドとフレキシブル回路基板15との接続には、例えば、非等方性導電フィルム(以下ACFと記す)による熱圧着法を用いることができる。この方法により、複数の微細な信号線の電気的接続を確保し得る。
The terminal pads are connected to the
(防湿カバー3)
防湿カバー3は、厚すぎるとX線が減衰し感度の低下を生じるため、なるべく薄いことが望ましい。
(Dampproof cover 3)
If the moisture-proof cover 3 is too thick, X-rays attenuate and the sensitivity is lowered.
防湿カバー3の寸法は、カバー形状の安定性と工程作業に耐える強度、対するX線減衰とのバランスより、50μmから500μmの範囲から選択することができる。本実施の形態では、200μmのAL合金にて形成した。 The dimension of the moisture-proof cover 3 can be selected from the range of 50 μm to 500 μm based on the balance between the stability of the cover shape, the strength to withstand process operations, and the X-ray attenuation. In this embodiment, it is formed of a 200 μm AL alloy.
(支持基板4)
上述のように、X線検出パネル2は薄い部材を積層した構成となっており、その結果、X線検出パネル2は軽く低強度であり、何らかの保持が必要となる。この保持のため、X線検出パネル2は支持基板4上に固定している。
(Support substrate 4)
As described above, the X-ray detection panel 2 has a configuration in which thin members are stacked. As a result, the X-ray detection panel 2 is light and low in strength and needs to be held in some way. For this holding, the X-ray detection panel 2 is fixed on the support substrate 4.
支持基板4は、X線検出パネル2を安定して保持するために十分な強度と平坦面を有すると共に、回路基板5を保持する機能も併せ持つ。 The support substrate 4 has sufficient strength and a flat surface to stably hold the X-ray detection panel 2 and also has a function of holding the circuit board 5.
本実施の形態では、支持基板4をAL合金で形成して、支持基板4によりX線遮蔽用の鉛プレート6と放熱絶縁シート7とを挟んで回路基板5を保持し、さらに支持基板4を支柱8により筐体9と結合させた。 In the present embodiment, the support substrate 4 is formed of an AL alloy, the circuit board 5 is held by the support substrate 4 with the lead plate 6 for shielding X-rays and the heat radiation insulating sheet 7 interposed therebetween, and the support substrate 4 is It was combined with the housing 9 by the support column 8.
回路基板5は、支持基板4に形成された鉛プレート6上に、放熱絶縁シート7を介してネジなどで固定される。 The circuit board 5 is fixed on the lead plate 6 formed on the support board 4 with screws or the like via the heat radiation insulating sheet 7.
また、回路基板5には、フレキシブル回路基板15に対応するコネクタが実装してあり、このコネクタでX線検出パネル2と電気的に接続される。
Further, a connector corresponding to the
(筐体9、保護板11)
筐体9のX線検出パネル2対向面側(入射X線1側)には、保護板11が配置されている。
(Case 9 and protective plate 11)
A protective plate 11 is disposed on the side of the housing 9 facing the X-ray detection panel 2 (incident X-ray 1 side).
通常、この保護板11を通してX線1が入射するため、X線の散乱を押さえてX線の感度を確保するために、保護板11は薄くX線吸収率の低い材料であることが好ましい。 Usually, since X-rays 1 are incident through the protective plate 11, the protective plate 11 is preferably made of a thin material having a low X-ray absorption rate in order to suppress X-ray scattering and ensure X-ray sensitivity.
さらに、薄く軽量な放射線検出装置10を実現するためにも保護板11は薄いことが望ましい。 Further, it is desirable that the protective plate 11 is thin in order to realize the thin and light radiation detection apparatus 10.
一方、筐体9は、有機樹脂材、例えば、ポリフェニレンサルファイトやポリカーボネイト、またカーボン繊維を含ませたエポキシなどを用いて構成される。 On the other hand, the housing 9 is configured by using an organic resin material, for example, polyphenylene sulfite, polycarbonate, epoxy containing carbon fiber, or the like.
また、有機樹脂材からなる筐体9の内壁14には、導電性樹脂を塗布して接地電極に導通することにより、筐体9内部にある回路基板5やX線検出パネル2に対する電気シールド効果を持たせることもできる。 In addition, by applying a conductive resin to the inner wall 14 of the housing 9 made of an organic resin material and conducting it to the ground electrode, an electric shielding effect on the circuit board 5 and the X-ray detection panel 2 inside the housing 9 is achieved. Can also be given.
さらに、筐体9において、入射X線1側とは反対側である裏面側に、放熱板13が配置される。 Further, in the housing 9, a heat radiating plate 13 is disposed on the back surface side opposite to the incident X-ray 1 side.
(放熱板13)
放熱板13は、放熱面を筐体9の外側に向けると共に、放熱板13の突起部が筐体9の有機樹脂材の一部を貫通し、回路基板5上に実装された集積回路素子12と熱的に接触している。
(Heatsink 13)
The heat radiating plate 13 has the heat radiating surface directed to the outside of the housing 9, and the protrusion of the heat radiating plate 13 penetrates a part of the organic resin material of the housing 9, and is mounted on the circuit board 5. And is in thermal contact.
また、放熱板13の放熱面には、放熱効率を向上するため、薄板の放熱フィンが形成されている。 Further, thin heat dissipating fins are formed on the heat dissipating surface of the heat dissipating plate 13 in order to improve heat dissipating efficiency.
放熱板13は、薄板のCu、AL等の金属板で形成される。 The heat radiating plate 13 is formed of a thin metal plate such as Cu or AL.
(除湿機構20)
除湿機構20は、筐体9の一部において、筐体9の内面側と外面側を貫通して形成される。
(Dehumidifying mechanism 20)
The
図2に、除湿機構20を拡大した模式図を示す。
In FIG. 2, the schematic diagram which expanded the
除湿機構20では、筐体9の内面側の一部に冷却部16が形成される一方、外面側の一部には加温部17が形成され、加温部17と冷却部16との間に導水部18が配置されている。
In the
また、冷却部16の冷却と加温部17の加温を行うため、ペルチエ素子19が筐体9の外面側に設けられている。 A Peltier element 19 is provided on the outer surface side of the housing 9 in order to cool the cooling unit 16 and heat the heating unit 17.
ペルチエ素子19では、通電により対向面がそれぞれ吸熱と放熱の状態になる。このため、ペルチエ素子19の吸熱面と放熱面のそれぞれに、ALなど熱伝導率の高い金属からなる熱伝導板21a,21bが絶縁薄板22a,22bを介してペルチエ素子19と熱的に接触して配置される。 In the Peltier element 19, the opposing surfaces are in a state of heat absorption and heat dissipation by energization. For this reason, the heat conducting plates 21a and 21b made of a metal having a high thermal conductivity such as AL are in thermal contact with the Peltier device 19 via the insulating thin plates 22a and 22b on the heat absorbing surface and the heat radiating surface of the Peltier device 19, respectively. Arranged.
また、熱伝導板21aは、筐体9の外部から筐体9内部へ貫通してさらに筐体9の内側面で延伸し、その先端部分が冷却部16を構成している。 The heat conduction plate 21 a penetrates from the outside of the housing 9 to the inside of the housing 9 and further extends on the inner surface of the housing 9, and the tip portion forms the cooling unit 16.
他方、ペルチエ素子19の放熱面に熱的に接して配置された熱伝導板21bは、筐体9の外面側で延伸し、加温部17を構成している。 On the other hand, the heat conductive plate 21 b disposed in thermal contact with the heat radiating surface of the Peltier element 19 extends on the outer surface side of the housing 9 and constitutes the heating unit 17.
なお、熱伝導板21a、21bは、それぞれ保護皮膜23a、保護皮膜23bで覆われている。 The heat conductive plates 21a and 21b are covered with a protective film 23a and a protective film 23b, respectively.
さらに、冷却部16と加温部17は、導水部18と熱的に接続されている。 Furthermore, the cooling unit 16 and the heating unit 17 are thermally connected to the water guide unit 18.
導水部18には、例えば、シート状で、かつ細かいメッシュ構造を有するものが用いられる。このため、表面に水分が付着した場合、水分の浸透濡れを生じて導水部18全体に拡散し、吸収されることになる。 As the water guide portion 18, for example, a sheet-like one having a fine mesh structure is used. For this reason, when moisture adheres to the surface, moisture permeation and wetting are caused and diffused throughout the water guide portion 18 and absorbed.
水分の浸透濡れを生じるものとしては、物理的には導水部18の構成材の微細な隙間にて水の表面張力による吸水現象が生じることを利用し得るものであればよく、織布構造なども有効である。 Any material that can permeate and penetrate moisture may be used as long as it can take advantage of the fact that water absorption occurs due to the surface tension of water in the minute gaps between the constituent members of the water guide portion 18. Is also effective.
以下、除湿機構20の除湿メカニズムについて、説明する。
Hereinafter, the dehumidifying mechanism of the
先ず、筐体9内部の湿度が高い場合には、冷却部16にて結露が発生する。 First, when the humidity inside the housing 9 is high, condensation occurs in the cooling unit 16.
結露した水分は、浸透濡れにより導水部18に吸水される。 The condensed moisture is absorbed by the water guide 18 by permeation wetting.
吸水された水分は、浸透濡れにより導水部18全体に拡散した後、加温部17側に到達し、加温により水分蒸発が生じる。 The absorbed water is diffused throughout the water guide portion 18 by permeation wetting, and then reaches the heating portion 17 side, and moisture evaporation occurs due to the heating.
ここで、ペルチエ素子19に印加する電圧に関しては、除湿の初期段階ではペルチエ素子19に低電圧を印加するが、結露水分が加温部17に到達した段階では水分の蒸発により気化熱が奪われるため、より高い電圧を印加する。その後、除湿の終期段階では、再度、低電圧印加のコントロールを行う。 Here, regarding the voltage applied to the Peltier element 19, a low voltage is applied to the Peltier element 19 in the initial stage of dehumidification, but when the condensed moisture reaches the heating unit 17, the heat of vaporization is lost due to the evaporation of moisture. Therefore, a higher voltage is applied. Thereafter, in the final stage of dehumidification, the low voltage application is controlled again.
このようにすることにより、筐体9内部の湿度を効率よく除湿し、筐体9外部へ放出することが可能となる。 By doing in this way, it becomes possible to dehumidify the humidity inside the housing 9 efficiently and release it to the outside of the housing 9.
なお、ペルチエ素子19の過大負荷状態を防止するためには、ペルチエ素子19の放熱面又は加温部17の一部に、熱電対などの熱センサを取り付け、熱センサからの信号に基づき、ペルチエ素子19への電圧印加を調整すると良い。 In order to prevent the Peltier element 19 from being overloaded, a heat sensor such as a thermocouple is attached to the heat radiation surface of the Peltier element 19 or a part of the heating unit 17, and the Peltier element is based on a signal from the heat sensor. The voltage application to the element 19 may be adjusted.
また、上記実施の形態では冷却・加温の方法としてペルチエ素子19を用いた例を示したが、これ以外にも、冷却部16と加温部17とにそれぞれパイプを通し、冷却部16には冷媒や冷水を流す一方、加温部17には温水などを流すことによっても所望の温度差を形成することができる。 Moreover, although the example which used the Peltier element 19 was shown as a cooling and heating method in the said embodiment, a pipe is passed through the cooling part 16 and the heating part 17 in addition to this, and the cooling part 16 is passed through. While a coolant or cold water is allowed to flow, a desired temperature difference can also be formed by causing warm water or the like to flow through the heating portion 17.
さらに、上記実施の形態では、筐体9の外側に加温部17を形成したが、外部環境の温度が高い場合は加温部17を省略し、単なる室温乾燥によって湿度を除去することも可能である。 Further, in the above embodiment, the heating unit 17 is formed outside the housing 9, but when the temperature of the external environment is high, the heating unit 17 can be omitted and the humidity can be removed by simple room temperature drying. It is.
(実施形態の効果)
以上説明したように、本実施の形態の放射線検出装置10では、実際の多様な環境下においても、過渡的に筐体9内部に閉じ込められた高湿空気を除湿し、環境変化による筐体9内部の結露の発生を抑制できる。
(Effect of embodiment)
As described above, the radiation detection apparatus 10 according to the present embodiment dehumidifies the high-humidity air that is transiently confined inside the housing 9 even in various actual environments, and the housing 9 due to environmental changes. Generation of internal condensation can be suppressed.
この結果、電気的ショートの発生や回路基板・X線検出パネルなどの腐食を防止することが可能となる。 As a result, it is possible to prevent the occurrence of an electrical short circuit and the corrosion of the circuit board / X-ray detection panel.
従って、高信頼性を確保した平面型放射線検出装置を実現することができる。 Therefore, it is possible to realize a planar radiation detection apparatus that ensures high reliability.
1 入射X線
2 X線検出パネル(放射線検出パネル)
3 防湿カバー
4 支持基板
5 回路基板
6 鉛プレート
7 放熱絶縁シート
8 支柱
9 筐体
10 放射線検出装置
11 保護板
12 集積回路素子
13 放熱板
14 内壁
15 フレキシブル回路基板
16 冷却部
17 加温部
18 導水部
19 ペルチエ素子
20 除湿機構
21a,21b 熱伝導板
22a,22b 絶縁薄板
23a,23b 保護皮膜
1 incident X-ray 2 X-ray detection panel (radiation detection panel)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Moisture-proof cover 4 Support substrate 5 Circuit board 6 Lead plate 7 Radiation insulation sheet 8 Support column 9 Case 10 Radiation detection device 11 Protection plate 12 Integrated circuit element 13 Heat radiation plate 14
Claims (4)
前記筐体の一部に前記筐体内部から外部に貫通して設けられ、かつ前記筐体内部に形成されて前記筐体内部で生じる水分を結露させる冷却部と前記冷却部にて結露した水分を前記筐体外部へ導出する導水部とを含む除湿機構を備えることを特徴とする放射線検出装置。 A radiation detection panel having a phosphor film that converts radiation into light, a photoelectric conversion element that converts the light into an electrical signal, a support substrate that mechanically holds the radiation detection panel, and the radiation detection panel in the support substrate A circuit board on which an integrated circuit element that drives the radiation detection panel is mounted, a housing that includes the radiation detection panel, the support substrate, and the circuit board. In a radiation detection apparatus comprising:
A cooling part that is provided in a part of the casing so as to penetrate from the inside of the casing to the outside and that is formed inside the casing to condense moisture generated in the casing, and moisture condensed in the cooling part A radiation detection apparatus comprising a dehumidifying mechanism including a water guide portion that guides water to the outside of the housing.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011065820A JP2012202746A (en) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | Radiation detection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011065820A JP2012202746A (en) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | Radiation detection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012202746A true JP2012202746A (en) | 2012-10-22 |
Family
ID=47183926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011065820A Withdrawn JP2012202746A (en) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | Radiation detection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012202746A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019012313A1 (en) * | 2017-07-13 | 2019-01-17 | Foss Analytical A/S | Optical analyzer with dehumidifier |
-
2011
- 2011-03-24 JP JP2011065820A patent/JP2012202746A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019012313A1 (en) * | 2017-07-13 | 2019-01-17 | Foss Analytical A/S | Optical analyzer with dehumidifier |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130308755A1 (en) | Radiation detection apparatus and radiation detection system | |
JP5358509B2 (en) | Radiation detector module | |
JP5693173B2 (en) | Radiation detection apparatus and radiation detection system | |
KR101269782B1 (en) | Radiation detection device and radiation photographing apparatus | |
JP5702220B2 (en) | Radiography equipment | |
JP2009122059A (en) | Radiation detection device | |
JP2012088152A (en) | Radiation detection device | |
JP5646289B2 (en) | Radiation detector | |
JP2017200522A (en) | Radiation imaging device and radiation imaging system | |
JP2012202746A (en) | Radiation detection device | |
JP2005283262A (en) | Two-dimensional image detector | |
JP5499851B2 (en) | 2D image detector | |
JP5461823B2 (en) | Radiation detector and manufacturing method thereof | |
WO2011152323A1 (en) | Radiological imaging device | |
JP2011194212A (en) | Radiation detecting device | |
JP5725753B2 (en) | Radiation detector | |
JP2008032407A (en) | Scintillator panel and radiation detector | |
JP2013076577A (en) | X-ray detection panel | |
JP6731757B2 (en) | Radiation imaging apparatus and radiation imaging system | |
JP6673600B2 (en) | Radiation detector and manufacturing method thereof | |
JP2011058964A (en) | X-ray plane detector, and method for manufacturing the same | |
US20160128651A1 (en) | Radiation detection module and radiation detection unit | |
JP2016151446A (en) | Radiation imaging device and radiation imaging system | |
JP2014137373A (en) | High resolution x-ray imaging with thin, flexible digital sensors | |
JP6968668B2 (en) | Radiation detection module and radiation detector |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130621 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130625 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130621 |
|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140603 |