JP2012202721A - 磁気センサ並びにそれを用いた電流センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁気センサ10は、外径125μmの光ファイバークラッドからなる円柱状のベース部材11の外周面に磁気抵抗薄膜12を被膜すると共に、その磁気抵抗効果膜12の軸方向両端に導体膜13を成膜して形成される。導体膜が電極部となる。導体膜間にセンス電流を流すことで、このセンス電流ベクトルと外部磁界による円柱周囲の確気抵抗薄膜の磁化ベクトルとの成す角度に応じて、磁気抵抗薄膜の抵抗変化が生じ、端子間の電圧変化として検出可能となる。
【選択図】 図1
Description
ベース部材11は、光ファイバークラッドを用いたが、ガラスファイバーその他の材料で構成することができる。
11 ベース部材
12 磁気抵抗効果膜
13 導体膜
20 環状磁気コア
21 ギャップ
25 被測定導線
Claims (5)
- 非磁性体から形成される円柱状のベース部材と、
そのベース部材の外周面に形成した磁気抵抗薄膜と、
を備えた磁気センサ。 - 前記ベース部材は、ガラスファイバーまたは光ファイバーで形成されることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗薄膜の軸方向に所定の距離をおいて導体膜を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気センサ。
- 磁気抵抗薄膜材料のキュリー温度が150℃以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の磁気センサ。
- 被測定導線を貫通させる環状磁気コアにギャップを設け、
このギャップに請求項1〜4のいずれかに記載の磁気センサを配置したことを特徴とする電流センサ。
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JP2002118306A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気抵抗素子および多素子型磁気抵抗素子 |
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