JP2012156249A - Electronic apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic apparatus which is easily manufactured while suppressing the deterioration of heat exchange performance.SOLUTION: A power module 11 includes: a heat exchange member 12 made of a ceramic; a wiring layer 14 adhered to the heat exchange member 12 with an adhesion sheet 15 containing metal nano filler that carboxyl groups are modified on its surface and an epoxy resin; and a power element 16 soldered to the wiring layer 14.

Description

本発明は、電子機器に関する。   The present invention relates to an electronic device.

従来から、絶縁基板にパワー素子(半導体素子)などの電子部品が実装される配線層を配設するとともに、絶縁基板においてパワー素子の実装面とは反対側の面に冷却用の金属フィンを設けた電子機器としてのパワーモジュールが提供されている(例えば、特許文献1)。   Conventionally, a wiring layer on which electronic components such as power elements (semiconductor elements) are mounted is provided on an insulating substrate, and a cooling metal fin is provided on the surface of the insulating substrate opposite to the mounting surface of the power element. A power module as an electronic device is provided (for example, Patent Document 1).

特許文献1のパワーモジュールでは、パワー素子の駆動に伴って生じる熱を配線層、絶縁基板、及び放熱層を介してアルミニウム製のコルゲートフィンに伝達し、効率的な放熱を可能としている。   In the power module disclosed in Patent Document 1, heat generated when the power element is driven is transmitted to the aluminum corrugated fin through the wiring layer, the insulating substrate, and the heat dissipation layer, thereby enabling efficient heat dissipation.

特開2006−310486号公報JP 2006-310486 A

ところで、特許文献1のパワーモジュールは、例えば、以下に説明するように製造される。すなわち、特許文献1のパワーモジュールは、まず、絶縁基板の両面にアルミニウムクラッド材料製の薄板を積層して加熱し、配線層、絶縁基板、及び放熱層が接合された積層体を得る。次に、この積層体の放熱層に対してコルゲートフィンをアルミロウ付けするとともに、配線層の表面にパワー素子をはんだ付けなどにより実装する。しかしながら、上記積層体を得る工程や、真空ロウ付け工程では、高温(例えば580℃)で加熱処理する必要があり、各部材を構成する材料の熱膨張係数(線膨張係数)の違いに起因して各部材に反りや歪が生じ、電子部品のはんだ付けが困難になる虞がある。また、上記加熱処理は、一般に特殊な環境下(真空中や還元雰囲気下)で行う必要があり、熱交換性能が低下することを抑制しつつも、部材点数の削減と併せてより簡便に製造できる電子機器の提供が期待されていた。   By the way, the power module of patent document 1 is manufactured as described below, for example. That is, in the power module of Patent Document 1, first, a thin plate made of an aluminum clad material is laminated on both sides of an insulating substrate and heated to obtain a laminated body in which a wiring layer, an insulating substrate, and a heat dissipation layer are bonded. Next, corrugated fins are brazed with aluminum to the heat dissipation layer of the laminate, and a power element is mounted on the surface of the wiring layer by soldering or the like. However, in the process of obtaining the laminate and the vacuum brazing process, it is necessary to perform heat treatment at a high temperature (for example, 580 ° C.), which is caused by the difference in the thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient) of the materials constituting each member. As a result, warpage and distortion may occur in each member, and soldering of electronic components may be difficult. In addition, the heat treatment generally needs to be performed in a special environment (in a vacuum or in a reducing atmosphere), and it is easier to manufacture while reducing the number of components while suppressing a decrease in heat exchange performance. It was expected to provide electronic devices that could be used.

本発明は、上記従来技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的は、熱交換性能が低下することを抑制しつつ、簡便に製造できる電子機器を提供することにある。   The present invention has been made by paying attention to the problems existing in the above-described prior art, and an object thereof is to provide an electronic device that can be easily manufactured while suppressing a decrease in heat exchange performance. .

上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、絶縁材料からなる熱交換部材と、表面を官能基で修飾した無機微粒子、及び樹脂材料を含む接合材によって、前記熱交換部材に接合された配線層と、前記配線層に実装され、前記熱交換部材と熱的に結合される電子部品と、を備えたことを要旨とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is characterized in that the heat exchange member is made of a heat exchange member made of an insulating material, an inorganic fine particle whose surface is modified with a functional group, and a bonding material containing a resin material. The gist of the invention is to include a joined wiring layer and an electronic component mounted on the wiring layer and thermally coupled to the heat exchange member.

なお、熱交換部材と熱的に結合される電子部品とは、発熱または吸熱のように熱交換部材との間で熱の授受が可能な電子部品を指す。これによれば、熱交換部材を絶縁材料で形成することにより、熱交換用の部材と絶縁用の部材とを兼用し、部材点数を削減できる。また、電子部品が実装される配線層は、熱交換部材に対し樹脂材料を含む接合材により接合される。一般に、樹脂材料を含む接合材は、ロウ付けといった接合方法に比べて低温で接合することができる。このため、ロウ付けといった高温での加熱処理が必要な接合方法と比較して、低い温度により熱交換部材に配線層を付与できるため、反りや歪によって電子部品の実装が困難となることを抑制できる。また、接合材は、表面を官能基で修飾した無機微粒子、及び樹脂材料を含んでおり、接合材内における無機微粒子の凝集が抑制されることにより、表面を官能基で修飾した無機微粒子を含まない接合材と比較して高い熱伝導性を有する。すなわち、配線層と熱交換部材との間における熱交換が妨げられることを抑制できる。したがって、請求項1に記載の発明によれば、熱交換性能が低下することを抑制しつつ、簡便に製造できる。   Note that an electronic component that is thermally coupled to the heat exchange member refers to an electronic component that can exchange heat with the heat exchange member, such as heat generation or heat absorption. According to this, by forming the heat exchange member with the insulating material, the heat exchange member and the insulation member can be used together, and the number of members can be reduced. In addition, the wiring layer on which the electronic component is mounted is bonded to the heat exchange member with a bonding material including a resin material. In general, a bonding material including a resin material can be bonded at a lower temperature than a bonding method such as brazing. For this reason, compared to bonding methods that require high-temperature heat treatment such as brazing, the wiring layer can be applied to the heat exchange member at a low temperature, so it is difficult to mount electronic components due to warpage and distortion. it can. In addition, the bonding material includes inorganic fine particles whose surfaces are modified with functional groups, and a resin material, and includes inorganic fine particles whose surfaces are modified with functional groups by suppressing aggregation of the inorganic fine particles in the bonding material. High thermal conductivity compared to no bonding material. That is, it can suppress that the heat exchange between a wiring layer and a heat exchange member is prevented. Therefore, according to invention of Claim 1, it can manufacture simply, suppressing that heat exchange performance falls.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の電子機器において、前記接合材は、シート状に形成された接着シートであることを要旨とする。
これによれば、接合材がシート状に形成されているため、接合剤を用いた熱交換部材と配線層との接合を容易にできる。
The gist of the invention described in claim 2 is the electronic device according to claim 1, wherein the bonding material is an adhesive sheet formed in a sheet shape.
According to this, since the bonding material is formed in a sheet shape, the heat exchange member using the bonding agent and the wiring layer can be easily bonded.

請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の電子機器において、前記電子部品は前記配線層にはんだ付けにより実装され、前記接合材を構成する樹脂材料の熱分解温度は、前記はんだの融点よりも高い温度であることを要旨とする。   According to a third aspect of the present invention, in the electronic device according to the first or second aspect, the electronic component is mounted on the wiring layer by soldering, and a thermal decomposition temperature of the resin material constituting the bonding material is The gist is that the temperature is higher than the melting point of the solder.

これによれば、はんだ付けの際に、はんだの融点まで接合材を加熱したとしても、接合材が熱分解しないため、接合材による接合が剥離することを抑制できる。したがって、熱交換部材と配線層を接合した後に電子部品をはんだ付けすることが可能となる。したがって、電子部品のはんだ付け工程は、熱交換部材と配線層との接合工程の前後の何れに設定することも可能となり、製造工程における自由度を高めることができる。   According to this, even when the bonding material is heated to the melting point of the solder at the time of soldering, since the bonding material is not thermally decomposed, it is possible to prevent the bonding by the bonding material from peeling off. Therefore, it is possible to solder the electronic component after joining the heat exchange member and the wiring layer. Accordingly, the soldering process of the electronic component can be set before or after the joining process of the heat exchange member and the wiring layer, and the degree of freedom in the manufacturing process can be increased.

請求項4に記載の発明は、請求項1〜請求項3のうち何れか一項に記載の電子機器において、前記熱交換部材は、第1の熱交換部材、及び第2の熱交換部材を含み、前記配線層は、前記第1の熱交換部材に接合される第1の配線層、及び前記第2の熱交換部材に接合される第2の配線層を含み、前記電子部品は、前記第1の配線層、及び前記第2の配線層に実装されたことを要旨とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the electronic device according to any one of the first to third aspects, the heat exchange member includes a first heat exchange member and a second heat exchange member. The wiring layer includes a first wiring layer bonded to the first heat exchange member, and a second wiring layer bonded to the second heat exchange member; The gist is that it is mounted on the first wiring layer and the second wiring layer.

これによれば、第1の熱交換部材、及び第2の熱交換部材から熱交換を行うことができる。そして、このような複数の熱交換部材を含む電子機器であっても、熱交換性能が低下することを抑制しつつ、簡便に製造できる。   According to this, heat exchange can be performed from the first heat exchange member and the second heat exchange member. And even if it is an electronic device containing such a some heat exchange member, it can manufacture simply, suppressing that heat exchange performance falls.

請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の電子機器において、前記電子部品は、n型半導体素子、及びp型半導体素子を含み、前記第1の配線層、及び前記第2の配線層には、前記n型半導体素子、及び前記p型半導体素子が直列となるように実装されたことを要旨とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the electronic device according to the fourth aspect, the electronic component includes an n-type semiconductor element and a p-type semiconductor element, the first wiring layer, and the second wiring. The gist is that the n-type semiconductor element and the p-type semiconductor element are mounted on the layer so as to be in series.

これによれば、各半導体素子に通電することによりペルチェ効果による加熱及び冷却をすることができる。   According to this, heating and cooling by the Peltier effect can be performed by energizing each semiconductor element.

本発明によれば、熱交換性能が低下することを抑制しつつ、簡便に製造できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can manufacture simply, suppressing that heat exchange performance falls.

第1の実施形態における電子機器の模式断面図。1 is a schematic cross-sectional view of an electronic device according to a first embodiment. 第2の実施形態における電子機器の模式断面図。The schematic cross section of the electronic device in 2nd Embodiment.

(第1の実施形態)
以下、本発明を電子機器としてのパワーモジュールに具体化した第1の実施形態を図1にしたがって説明する。
(First embodiment)
A first embodiment in which the present invention is embodied in a power module as an electronic device will be described below with reference to FIG.

図1に示すように、パワーモジュール11は、セラミックスなどの絶縁材料(非導電性材料)からなる熱交換部材12を備える。本実施形態の熱交換部材12は、熱膨張係数(線膨張係数)が4ppm/Kである窒化アルミニウムから形成されている。また、熱交換部材12は、矩形平板状をなす基部12aの一面に対して、複数の突条12bを一定の間隔をおいて並設して形成されている。そして、熱交換部材12には、各突条12bを覆うようにケース13が組み付けられているとともに、各突条12bの間には、熱交換媒体(例えば水や空気)を流すための媒体流路13aが形成されている。   As shown in FIG. 1, the power module 11 includes a heat exchange member 12 made of an insulating material (non-conductive material) such as ceramics. The heat exchange member 12 of this embodiment is formed from aluminum nitride having a thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient) of 4 ppm / K. In addition, the heat exchange member 12 is formed by arranging a plurality of protrusions 12b side by side with a certain interval on one surface of a base 12a having a rectangular flat plate shape. A case 13 is assembled to the heat exchange member 12 so as to cover each protrusion 12b, and a medium flow for flowing a heat exchange medium (for example, water or air) between the protrusions 12b. A path 13a is formed.

また、熱交換部材12において、突条12bの形成面の反対側面は、平滑(平ら)に形成されており、配線層14を接着(接合)するための接着面12cとされている。熱交換部材12の接着面12cには、接合材(接着材)としての接着シート15によって配線層14が接着(接合)されている。この接着シート15は、熱交換部材12における接着面12cの形状に対応させて薄い矩形のシート状とされている。接着シート15の厚みt1は、100μm以下であり、より好ましくは5〜40μmである。この接着シート15の組成及び物性については、後に詳細に説明する。   Further, in the heat exchange member 12, the side surface opposite to the surface on which the protrusions 12b are formed is smooth (flat), and serves as an adhesive surface 12c for adhering (joining) the wiring layer 14. A wiring layer 14 is bonded (bonded) to the bonding surface 12 c of the heat exchange member 12 by an adhesive sheet 15 as a bonding material (adhesive). The adhesive sheet 15 has a thin rectangular sheet shape corresponding to the shape of the adhesive surface 12 c of the heat exchange member 12. The thickness t1 of the adhesive sheet 15 is 100 μm or less, and more preferably 5 to 40 μm. The composition and physical properties of the adhesive sheet 15 will be described in detail later.

本実施形態の配線層14は、厚さ0.4mmのアルミニウムからなる薄膜(平板)により構成されている。なお、アルミニウムの熱膨張係数(線膨張係数)は、24ppm/Kである。配線層14において、接着シート15による接着面の反対側面には、電子部品としてのパワー素子16がはんだ17によりはんだ付け(実装)されている。パワー素子16には、例えば、IGBT、MOSFETなどが用いられる。パワー素子16は、駆動(通電)によって発熱(放熱)する発熱体(発熱素子)として把握できる。   The wiring layer 14 of the present embodiment is configured by a thin film (flat plate) made of aluminum having a thickness of 0.4 mm. The thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient) of aluminum is 24 ppm / K. In the wiring layer 14, a power element 16 as an electronic component is soldered (mounted) with a solder 17 on the side surface opposite to the adhesive surface of the adhesive sheet 15. For the power element 16, for example, IGBT, MOSFET or the like is used. The power element 16 can be grasped as a heating element (heating element) that generates heat (dissipates heat) by driving (energization).

次に、接着シート15の組成、及び物性について詳しく説明する。
本実施形態の接着シート15は、無機微粒子としての金属ナノフィラー、及び樹脂材料としてのエポキシ樹脂から構成されている。エポキシ樹脂の熱分解温度は、300℃以上であり、はんだ(スズ(Sn)−銀(Ag)−銅(Cu))の融点(溶融温度)である220℃よりも高い温度である。
Next, the composition and physical properties of the adhesive sheet 15 will be described in detail.
The adhesive sheet 15 of the present embodiment is composed of a metal nanofiller as inorganic fine particles and an epoxy resin as a resin material. The thermal decomposition temperature of the epoxy resin is 300 ° C. or higher, and is higher than 220 ° C., which is the melting point (melting temperature) of solder (tin (Sn) -silver (Ag) -copper (Cu)).

本実施形態の金属ナノフィラーは、ニッケル(Ni)からなる金属微粒子を用いている。金属ナノフィラーの粒子径は、500nm以下であり、好ましくは100nm以下である。なお、本実施形態に示す粒子径は、走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察された平均粒子径である。金属ナノフィラーの熱伝導率は、熱伝導率が50W/mK以上であり、好ましくは70W/mK以上である。   The metal nanofiller of this embodiment uses metal fine particles made of nickel (Ni). The particle diameter of the metal nanofiller is 500 nm or less, preferably 100 nm or less. In addition, the particle diameter shown to this embodiment is an average particle diameter observed with the scanning electron microscope (SEM). The thermal conductivity of the metal nanofiller is 50 W / mK or more, preferably 70 W / mK or more.

また、本実施形態の金属ナノフィラーは、その表面全体に、所定の官能基を有する有機分子が化学結合されていることにより、表面全体が官能基によって修飾されている。本実施形態では、官能基としてカルボキシル基を有し、カルボン酸の一種であるデカン酸が上記有機分子として用いられている。なお、本実施形態において、金属ナノフィラー表面への官能基の修飾(デカン酸の化学結合)は、公知である超臨界水熱合成反応を用いて行われる。   In addition, the metal nanofiller of the present embodiment is modified with functional groups on the entire surface by organic bonding of organic molecules having a predetermined functional group to the entire surface. In this embodiment, decanoic acid which has a carboxyl group as a functional group and is a kind of carboxylic acid is used as the organic molecule. In the present embodiment, functional group modification (chemical binding of decanoic acid) to the surface of the metal nanofiller is performed using a known supercritical hydrothermal synthesis reaction.

一般に、粒子径が500nm以下の金属ナノフィラーは、非常に活性が高く、エポキシ樹脂に単に分散させただけでは容易に凝集し、接着シート15内における金属ナノフィラー密度が不均一になる。同様の理由で、金属ナノフィラー表面の一部を官能基で修飾した場合には、未修飾部位の存在によって凝集を十分に抑制することができない。これに対し、本実施形態の金属ナノフィラーは、その表面全体がカルボキシル基によって修飾されており、エポキシ樹脂(接着シート15)内における金属ナノフィラーの凝集を抑制し、エポキシ樹脂中における分散性を好適に向上させることができる。すなわち、金属ナノフィラー表面の有機分子層は、凝集抑制層として機能する。このため、本実施形態の接着シート15では、表面を官能基で修飾していない金属ナノフィラーを用いた場合と比較して、金属ナノフィラーの体積分率を向上させることができる。本実施形態の接着シート15において、金属ナノフィラーの体積分率は、70%以上であり、好ましくは80〜95%である。このため、本実施形態の接着シート15によれば、表面を官能基で修飾していない金属ナノフィラーを用いた場合と比較して熱伝導性を向上させることができる。   In general, a metal nanofiller having a particle size of 500 nm or less is very active and easily aggregates when simply dispersed in an epoxy resin, resulting in non-uniform metal nanofiller density in the adhesive sheet 15. For the same reason, when a part of the surface of the metal nanofiller is modified with a functional group, aggregation cannot be sufficiently suppressed due to the presence of an unmodified site. On the other hand, the entire surface of the metal nanofiller of the present embodiment is modified with a carboxyl group, which suppresses the aggregation of the metal nanofiller in the epoxy resin (adhesive sheet 15) and has a dispersibility in the epoxy resin. It can improve suitably. That is, the organic molecular layer on the surface of the metal nanofiller functions as an aggregation suppressing layer. For this reason, in the adhesive sheet 15 of this embodiment, the volume fraction of a metal nanofiller can be improved compared with the case where the metal nanofiller whose surface is not modified with the functional group is used. In the adhesive sheet 15 of the present embodiment, the volume fraction of the metal nanofiller is 70% or more, preferably 80 to 95%. For this reason, according to the adhesive sheet 15 of this embodiment, heat conductivity can be improved compared with the case where the metal nano filler whose surface is not modified with the functional group is used.

次に、パワーモジュール11の製造方法について説明する。
最初に、熱交換部材12を射出成型するとともに、成型した熱交換部材12を焼成して熱交換部材12を得る(熱交換部材形成工程)。次に、熱交換部材12の接着面12cに接着シート15を積層するとともに、積層した接着シート15にさらに配線層14を積層する(積層工程)。その後、熱交換部材12、接着シート15、及び配線層14の積層体を200℃で加熱しつつ冶具で加圧し、熱交換部材12と配線層14を接着シート15により熱圧着(接着)する(熱圧着工程)。なお、この熱圧着工程は、大気雰囲気(常圧、且つ空気中)で行う。続けて、熱交換部材12に接着された配線層14に対し、リフロー方式によりパワー素子16をはんだ17ではんだ付けする(はんだ付け工程)。このはんだ付け工程は、たとえば、還元雰囲気のもと、30分間、本実施の形態においてはエポキシ樹脂の熱分解温度よりも低い250℃に加熱して行われる。
Next, a method for manufacturing the power module 11 will be described.
First, the heat exchange member 12 is injection molded, and the molded heat exchange member 12 is fired to obtain the heat exchange member 12 (heat exchange member forming step). Next, the adhesive sheet 15 is laminated on the adhesive surface 12c of the heat exchange member 12, and the wiring layer 14 is further laminated on the laminated adhesive sheet 15 (lamination process). Thereafter, the laminate of the heat exchange member 12, the adhesive sheet 15, and the wiring layer 14 is heated with a jig while being heated at 200 ° C., and the heat exchange member 12 and the wiring layer 14 are thermocompression bonded (adhered) with the adhesive sheet 15 ( Thermocompression process). This thermocompression bonding step is performed in an air atmosphere (at normal pressure and in air). Subsequently, the power element 16 is soldered to the wiring layer 14 bonded to the heat exchange member 12 with solder 17 by a reflow method (soldering process). This soldering step is performed, for example, under a reducing atmosphere by heating for 30 minutes to 250 ° C., which is lower than the thermal decomposition temperature of the epoxy resin in the present embodiment.

次に、パワーモジュール11の作用について説明する。
パワーモジュール11のパワー素子16は、通電による駆動によって発熱する。このパワー素子16の熱は、はんだ17、配線層14、及び接着シート15の順に伝達され、さらに熱交換部材12に伝達される。熱交換部材12に伝達された熱は、媒体流路13aを流れる熱交換媒体との間における熱交換により放熱される。このように、本実施形態において、パワー素子16は、熱交換部材12と熱的に結合される。
Next, the operation of the power module 11 will be described.
The power element 16 of the power module 11 generates heat when driven by energization. The heat of the power element 16 is transmitted in the order of the solder 17, the wiring layer 14, and the adhesive sheet 15, and further transmitted to the heat exchange member 12. The heat transferred to the heat exchange member 12 is radiated by heat exchange with the heat exchange medium flowing through the medium flow path 13a. Thus, in this embodiment, the power element 16 is thermally coupled to the heat exchange member 12.

上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)本実施形態では、熱交換部材12を絶縁材料のセラミックスから形成することにより、熱交換用の部材と絶縁用の部材とを兼用し、部材点数を削減できる。また、パワー素子16がはんだ付けされる配線層14は、熱交換部材12に対し接着シート15により接着される。このため、本実施形態では、真空中でたとえば580℃の加熱処理が必要な真空ロウ付け法や、還元雰囲気又は真空中で1300℃以上の加熱処理が必要なメタライズ法といった接合方法と比較して、低い温度により熱交換部材12に配線層14を付与できる。このため、各部材を構成する材料の熱膨張係数(線膨張係数)の違いに起因して反りや歪が生じることを抑制し、はんだ付け工程におけるパワー素子16のはんだ付け(実装)が困難となることを抑制できる。また、接着シート15は、表面にカルボキシル基を修飾した金属ナノフィラー、及びエポキシ樹脂を含んでおり、接着シート15内における金属ナノフィラーの凝集が抑制されることにより、表面を官能基で修飾した金属ナノフィラーを含まない接着シート15と比較して、高い熱伝導性を有する。すなわち、配線層14と熱交換部材12との間における熱交換が妨げられることを抑制できる。したがって、本実施形態では、熱交換性能が低下することを抑制しつつ、簡便に製造できる。
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1) In this embodiment, by forming the heat exchange member 12 from an insulating material ceramic, the heat exchange member and the insulation member can be used together, and the number of members can be reduced. The wiring layer 14 to which the power element 16 is soldered is bonded to the heat exchange member 12 with an adhesive sheet 15. For this reason, in this embodiment, compared with a joining method such as a vacuum brazing method that requires a heat treatment at 580 ° C. in a vacuum or a metallization method that requires a heat treatment at 1300 ° C. or higher in a reducing atmosphere or vacuum. The wiring layer 14 can be applied to the heat exchange member 12 at a low temperature. For this reason, it is difficult to cause warping or distortion due to the difference in thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient) of the material constituting each member, and it is difficult to solder (mount) the power element 16 in the soldering process. Can be suppressed. In addition, the adhesive sheet 15 includes a metal nanofiller whose surface is modified with a carboxyl group and an epoxy resin, and the surface is modified with a functional group by suppressing aggregation of the metal nanofiller in the adhesive sheet 15. Compared to the adhesive sheet 15 that does not contain the metal nanofiller, it has high thermal conductivity. That is, it is possible to suppress the heat exchange between the wiring layer 14 and the heat exchange member 12 from being hindered. Therefore, in this embodiment, it can manufacture simply, suppressing that heat exchange performance falls.

(2)また、本実施形態では、従来のパワーモジュールと比較して、熱交換用及び絶縁用の部材を熱交換部材12で兼用して部材点数を削減するとともに、絶縁基板に熱交換部材12を接合する工程を省略できる。したがって、製造コストを削減できる。   (2) Further, in the present embodiment, the heat exchange member 12 is used as the heat exchange member and the heat exchange member 12 to reduce the number of members as compared with the conventional power module, and the heat exchange member 12 is provided on the insulating substrate. The process of joining can be omitted. Therefore, the manufacturing cost can be reduced.

(3)シート状に形成した接着シート15を用いて配線層14と熱交換部材12を接着している。したがって、熱交換部材12と配線層14の接着を簡便にできる。
(4)接着シート15を構成するエポキシ樹脂の熱分解温度(300℃)は、配線層14にパワー素子16を実装する際に用いるはんだ17の融点(220℃)よりも高い温度である。このため、熱交換部材12と配線層14を接着した後にパワー素子16をはんだ付けできる。したがって、パワー素子16のはんだ付け工程は、熱交換部材12と配線層14の熱圧着工程の前後の何れに設定することも可能となり、製造工程における自由度を高めることができる。
(3) The wiring layer 14 and the heat exchange member 12 are bonded using the adhesive sheet 15 formed in a sheet shape. Therefore, adhesion between the heat exchange member 12 and the wiring layer 14 can be simplified.
(4) The thermal decomposition temperature (300 ° C.) of the epoxy resin constituting the adhesive sheet 15 is higher than the melting point (220 ° C.) of the solder 17 used when the power element 16 is mounted on the wiring layer 14. For this reason, the power element 16 can be soldered after the heat exchange member 12 and the wiring layer 14 are bonded. Therefore, the soldering process of the power element 16 can be set before and after the thermocompression bonding process of the heat exchange member 12 and the wiring layer 14, and the degree of freedom in the manufacturing process can be increased.

(5)金属ナノフィラーは熱伝導率が50W/mK以上であるので、接着シート15の熱伝導率を高くしやすい。
(6)接着シート15の厚みt1を100μm以下とした。このため、金属ナノフィラー及びエポキシ樹脂の使用量を削減できるとともに、熱伝導性を向上できる。
(5) Since the metal nanofiller has a thermal conductivity of 50 W / mK or more, it is easy to increase the thermal conductivity of the adhesive sheet 15.
(6) The thickness t1 of the adhesive sheet 15 was 100 μm or less. For this reason, while being able to reduce the usage-amount of a metal nano filler and an epoxy resin, thermal conductivity can be improved.

(7)金属ナノフィラーの粒子径を500nm以下とした。このため、厚みが100μm以下である接着シート15に金属ナノフィラーを高い体積分率で配合するのに好適である。   (7) The particle diameter of the metal nanofiller was 500 nm or less. For this reason, it is suitable for mix | blending a metal nano filler with the high volume fraction to the adhesive sheet 15 whose thickness is 100 micrometers or less.

(8)金属ナノフィラーの表面の全体をカルボキシル基で修飾した。このため、エポキシ樹脂中(接着シート15)における金属ナノフィラーの凝集を抑制するとともに分散性を向上できる。そして、表面を官能基で修飾していない金属ナノフィラーを用いる場合と比較して、接着シート15の熱伝導性を向上させることができる。
(第2の実施形態)
次に、本発明を電子機器としてのペルチェモジュールに具体化した第2の実施形態を図2にしたがって説明する。なお、以下の説明では、既に説明した実施形態と同一構成について同一の符号を付すなどし、その重複する説明を省略又は簡略化する。
(8) The entire surface of the metal nanofiller was modified with a carboxyl group. For this reason, the dispersibility can be improved while suppressing aggregation of the metal nanofiller in the epoxy resin (adhesive sheet 15). And the heat conductivity of the adhesive sheet 15 can be improved compared with the case where the metal nano filler whose surface is not modified with the functional group is used.
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment in which the present invention is embodied in a Peltier module as an electronic device will be described with reference to FIG. In the following description, the same reference numerals are given to the same configurations as those of the already described embodiments, and the overlapping description is omitted or simplified.

図2に示すように、ペルチェモジュール21は、第1の実施形態と同一構成の熱交換部材12を備えている。熱交換部材12の接着面12cには、金属(本実施形態ではアルミニウム)からなり、平板状に伸びる複数の配線板14aが接着シート15により接着されている。本実施形態では、この複数の配線板14aにより、第1の配線層としての配線層14が形成されている。   As shown in FIG. 2, the Peltier module 21 includes a heat exchange member 12 having the same configuration as that of the first embodiment. A plurality of wiring boards 14 a made of metal (aluminum in this embodiment) and extending in a flat plate shape are bonded to the bonding surface 12 c of the heat exchange member 12 by an adhesive sheet 15. In the present embodiment, a wiring layer 14 as a first wiring layer is formed by the plurality of wiring boards 14a.

各配線板14aには、電子部品としてのn型半導体素子22n及びp型半導体素子22pからなる一対の半導体素子対22がそれぞれはんだ付け(実装)されている。各半導体素子対22の半導体素子22n,22pにおいて、配線板14aがはんだ付けされた端部とは反対側の各端部には、アルミニウムから形成された平板状に延びる配線板24aがそれぞれはんだ付けされている。そして、本実施形態において、各配線板24aは、1つの半導体素子対22のうちn型半導体素子22nと、他の半導体素子対22のうちp型半導体素子22pとを電気的に接続するようにはんだ付け(実装)されている。すなわち、本実施形態のペルチェモジュール21では、n型→p型→n型・・・というように、複数のn型半導体素子22n、及び複数のp型半導体素子22pが直列に、且つ交互に接続されている。   A pair of semiconductor elements 22 including an n-type semiconductor element 22n and a p-type semiconductor element 22p as electronic components is soldered (mounted) to each wiring board 14a. In each of the semiconductor elements 22n and 22p of each semiconductor element pair 22, a wiring board 24a extending in a flat plate shape made of aluminum is soldered at each end opposite to the end where the wiring board 14a is soldered. Has been. In the present embodiment, each wiring board 24 a electrically connects the n-type semiconductor element 22 n in one semiconductor element pair 22 and the p-type semiconductor element 22 p in the other semiconductor element pair 22. Soldered (mounted). That is, in the Peltier module 21 of this embodiment, a plurality of n-type semiconductor elements 22n and a plurality of p-type semiconductor elements 22p are connected in series and alternately, such as n-type → p-type → n-type. Has been.

本実施形態では、複数の配線板24aによって第2の配線層としての配線層24が形成されている。本実施形態では、配線層14、及び半導体素子対22(半導体素子22n,22p)によって、1つの熱電変換素子(ペルチェ素子)が形成され、さらに配線板24a(配線層24)によって複数の熱電変換素子が直列に接続された熱電変換素子群が形成されていると把握することもできる。配線層24は、接着シート15と同一構成とされた接着シート26によって、熱交換部材25の接着面25cに接着されている。なお、熱交換部材25は、熱交換部材12と同一材料及び構成とされており、熱交換部材12と同様に基部25aに複数の突条25bを並設した構成とされている。本実施形態では、熱交換部材12が、第1の熱交換部材となり、熱交換部材25が第2の熱交換部材となる。   In the present embodiment, the wiring layer 24 as the second wiring layer is formed by the plurality of wiring boards 24a. In the present embodiment, one thermoelectric conversion element (Peltier element) is formed by the wiring layer 14 and the semiconductor element pair 22 (semiconductor elements 22n, 22p), and a plurality of thermoelectric conversions are performed by the wiring board 24a (wiring layer 24). It can also be understood that a thermoelectric conversion element group in which elements are connected in series is formed. The wiring layer 24 is bonded to the bonding surface 25 c of the heat exchange member 25 by an adhesive sheet 26 having the same configuration as the adhesive sheet 15. The heat exchange member 25 has the same material and configuration as the heat exchange member 12, and has a configuration in which a plurality of protrusions 25 b are arranged in parallel on the base portion 25 a in the same manner as the heat exchange member 12. In the present embodiment, the heat exchange member 12 is a first heat exchange member, and the heat exchange member 25 is a second heat exchange member.

次に、ペルチェモジュール21の製造方法について説明する。
最初に、熱交換部材12,25を射出成型するとともに、成型した熱交換部材12,25を焼成して熱交換部材12,25を得る(熱交換部材形成工程)。次に、熱交換部材12の接着面12cに接着シート15を積層するとともに、積層した接着シート15にさらに配線層14(各配線板14a)を積層する(第1積層工程)。その後、熱交換部材12、接着シート15、及び配線層14の積層体を200℃で加熱しつつ冶具で加圧し、熱交換部材12と配線層14を接着シート15により熱圧着(接着)する(第1熱圧着工程)。
Next, a method for manufacturing the Peltier module 21 will be described.
First, the heat exchange members 12 and 25 are injection molded, and the molded heat exchange members 12 and 25 are fired to obtain the heat exchange members 12 and 25 (heat exchange member forming step). Next, the adhesive sheet 15 is laminated on the adhesive surface 12c of the heat exchange member 12, and the wiring layer 14 (each wiring board 14a) is further laminated on the laminated adhesive sheet 15 (first laminating step). Thereafter, the laminate of the heat exchange member 12, the adhesive sheet 15, and the wiring layer 14 is heated with a jig while being heated at 200 ° C., and the heat exchange member 12 and the wiring layer 14 are thermocompression bonded (adhered) with the adhesive sheet 15 ( First thermocompression bonding step).

同様に、熱交換部材25の接着面25cに接着シート26を積層するとともに、積層した接着シート26にさらに配線層24(各配線板24a)を積層する(第2積層工程)。その後、熱交換部材25、接着シート26、及び配線層24の積層体を200℃で加熱しつつ冶具で加圧し、熱交換部材25と配線層24を接着シート26により熱圧着(接着)する(第2熱圧着工程)。なお、第1,第2熱圧着工程は、大気雰囲気(常圧、且つ空気中)で行う。   Similarly, the adhesive sheet 26 is laminated on the adhesive surface 25c of the heat exchange member 25, and the wiring layer 24 (each wiring board 24a) is further laminated on the laminated adhesive sheet 26 (second laminating step). Thereafter, the laminate of the heat exchange member 25, the adhesive sheet 26, and the wiring layer 24 is heated with a jig while being heated at 200 ° C., and the heat exchange member 25 and the wiring layer 24 are thermocompression bonded (adhered) with the adhesive sheet 26 ( Second thermocompression bonding step). Note that the first and second thermocompression bonding steps are performed in an air atmosphere (at normal pressure and in air).

続けて、熱交換部材12に接着された配線層14、及び熱交換部材25に接着された配線層24とで、各半導体素子22n,22pを挟持するように積層するとともに、リフロー方式により各半導体素子22n,22pをはんだ付けする(はんだ付け工程)。このはんだ付け工程は、還元雰囲気のもと、30分間、たとえば、250℃に加熱して行われる。   Subsequently, the wiring layer 14 bonded to the heat exchanging member 12 and the wiring layer 24 bonded to the heat exchanging member 25 are stacked so as to sandwich the semiconductor elements 22n and 22p, and each semiconductor is reflowed. The elements 22n and 22p are soldered (soldering process). This soldering step is performed in a reducing atmosphere by heating to, for example, 250 ° C. for 30 minutes.

次に、ペルチェモジュール21の作用について説明する。
ペルチェモジュール21では、各半導体素子22n,22pに通電することで生じるペルチェ効果により、配線層14及び配線層24のうち、何れか一方の配線層を発熱(加熱)側配線層とする一方で、他方の配線層を吸熱(冷却)側配線層とすることができる。すなわち、本実施形態のペルチェモジュール21は、熱交換部材12,25のうち、一方の熱交換部材によって熱交換媒体を加熱する一方で、他方の熱交換部材によって熱交換媒体を冷却することができる。このように、本実施形態において、各半導体素子対22(半導体素子22n,22p)は、熱交換部材12,25と熱的に結合される。
Next, the operation of the Peltier module 21 will be described.
In the Peltier module 21, one of the wiring layers 14 and 24 is used as a heat generation (heating) side wiring layer due to the Peltier effect generated by energizing the semiconductor elements 22 n and 22 p. The other wiring layer can be a heat absorption (cooling) side wiring layer. That is, the Peltier module 21 of the present embodiment can heat the heat exchange medium with one of the heat exchange members 12 and 25 while cooling the heat exchange medium with the other heat exchange member. . Thus, in this embodiment, each semiconductor element pair 22 (semiconductor elements 22n and 22p) is thermally coupled to the heat exchange members 12 and 25.

したがって、第2の実施形態によれば、第1の実施形態における(1)〜(8)の効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
(9)本実施形態では、熱交換部材12、及び熱交換部材25の複数(2つ)の熱交換部材から熱交換を行うことが可能となる。そして、それぞれ配線層が付与された複数の熱交換部材12,25を含むペルチェモジュール21であっても、熱交換性能が低下することを抑制しつつ、簡便に製造できる。
Therefore, according to the second embodiment, in addition to the effects (1) to (8) in the first embodiment, the following effects can be obtained.
(9) In the present embodiment, heat exchange can be performed from a plurality (two) of heat exchange members 12 and heat exchange members 25. And even if it is the Peltier module 21 containing the several heat exchange members 12 and 25 to which the wiring layer was respectively provided, it can manufacture simply, suppressing that heat exchange performance falls.

(10)各半導体素子対22では、半導体素子22n,22pが直列となるように配線層14,24にはんだ付けされている。したがって、各半導体素子22n,22pに通電することにより、ペルチェ効果による加熱及び冷却をすることができる。   (10) In each semiconductor element pair 22, the semiconductor elements 22n and 22p are soldered to the wiring layers 14 and 24 so as to be in series. Therefore, heating and cooling by the Peltier effect can be performed by energizing the semiconductor elements 22n and 22p.

(11)特に、本実施形態では、接着シート15,26を用い、熱交換部材12,25に対して直接、且つ簡便に配線層を付与することが出来るため、ペルチェモジュール21を構成する部材点数を削減し、製造コストを削減できる。   (11) In particular, in this embodiment, since the wiring layers can be applied directly and simply to the heat exchange members 12 and 25 using the adhesive sheets 15 and 26, the number of members constituting the Peltier module 21 Manufacturing costs can be reduced.

なお、上記各実施形態には、以下のように変更してもよい。
○ 上記第1の実施形態において、ケース13を省略した状態のパワーモジュール11を熱交換部材12が相互に対向するように配置するとともに、各熱交換部材12の側方を覆うようにケースを組み付けてもよい。このように構成することで、両面にパワー素子16を実装したパワーモジュールを形成できる。
The above embodiments may be modified as follows.
In the first embodiment, the power module 11 with the case 13 omitted is arranged so that the heat exchange members 12 face each other, and the cases are assembled so as to cover the sides of the heat exchange members 12. May be. With this configuration, it is possible to form a power module in which the power elements 16 are mounted on both sides.

○ 上記第1の実施形態において、熱交換部材12の接着面12c上に複数の配線層14を接着してもよい。また、熱交換部材12上に接着した1又は複数の配線層14に、それぞれ1又は複数のパワー素子16をはんだ付けしてもよい。   In the first embodiment, a plurality of wiring layers 14 may be bonded onto the bonding surface 12 c of the heat exchange member 12. Alternatively, one or more power elements 16 may be soldered to one or more wiring layers 14 bonded on the heat exchange member 12.

○ 上記第1の実施形態において、ケース13を省略してもよく、第2の実施形態において、各熱交換部材12,25の少なくとも何れか一方にケースを配設してもよい。
○ 上記第2の実施形態において、熱交換部材12,25のうち、何れか一方を省略した構成としてもよい。
In the first embodiment, the case 13 may be omitted, and in the second embodiment, a case may be disposed on at least one of the heat exchange members 12 and 25.
(Circle) in the said 2nd Embodiment, it is good also as a structure which abbreviate | omitted any one among the heat exchange members 12 and 25. FIG.

○ 上記各実施形態において、熱交換部材12、及び熱交換部材25は、材料を変更してもよい。例えば、熱膨張係数が7ppm/Kの酸化アルミニウム(アルミナ)や、熱膨張係数が3ppm/Kの窒化ケイ素などにより形成してもよい。   (Circle) in each said embodiment, the heat exchange member 12 and the heat exchange member 25 may change material. For example, aluminum oxide (alumina) having a thermal expansion coefficient of 7 ppm / K, silicon nitride having a thermal expansion coefficient of 3 ppm / K, or the like may be used.

○ 上記各実施形態において、異なる融点のはんだを用いてもよい。例えば、スズ(Sn)−亜鉛(Zn)−ビスマス(Bi)からなる融点が183℃のはんだを用いてもよい。すなわち、接着シート15,26を構成する樹脂材料の熱分解温度より低い融点のはんだを用いればよい。   In the above embodiments, solders having different melting points may be used. For example, a solder having a melting point of 183 ° C. made of tin (Sn) -zinc (Zn) -bismuth (Bi) may be used. That is, solder having a melting point lower than the thermal decomposition temperature of the resin material constituting the adhesive sheets 15 and 26 may be used.

○ 上記各実施形態において、接着シート15,26の厚さt1を変更してもよい。
○ 上記各実施形態において、接着シートに用いる樹脂材料は、エポキシ樹脂に代えて異なる熱硬化性樹脂である樹脂材料を用いてもよい。
In the above embodiments, the thickness t1 of the adhesive sheets 15 and 26 may be changed.
In each of the above embodiments, the resin material used for the adhesive sheet may be a resin material that is a different thermosetting resin instead of the epoxy resin.

○ 上記各実施形態において、接着シート15,26に代えて、金属ナノフィラーを分散させたペースト状、あるいは液状の接合材としての接着剤を用いてもよい。
○ 上記各実施形態において、金属ナノフィラーの表面にカルボン酸の一種であるデカン酸を化学結合させたが、デカン酸に代えて、例えば、2−エチルヘキサン酸、n−オクタン酸、ドデカン酸、トリデカン酸、テトラデカン酸、ヘキサデカン酸、オクタデカン酸、オレイン酸、リノール酸、又はリノレン酸を化学結合させてもよい。
In each of the above embodiments, instead of the adhesive sheets 15 and 26, an adhesive as a paste or liquid bonding material in which metal nanofillers are dispersed may be used.
In each of the above embodiments, decanoic acid, which is a kind of carboxylic acid, was chemically bonded to the surface of the metal nanofiller. Instead of decanoic acid, for example, 2-ethylhexanoic acid, n-octanoic acid, dodecanoic acid, Tridecanoic acid, tetradecanoic acid, hexadecanoic acid, octadecanoic acid, oleic acid, linoleic acid, or linolenic acid may be chemically bonded.

○ 上記各実施形態において、金属ナノフィラーの表面に化学結合させる有機分子は、カルボキシル基とは異なる官能基を有する有機分子に適宜変更してもよい。官能基としては他にたとえばフェノール基などがある。なお、カルボキシル基を有するカルボン酸は、エポキシ樹脂との相性がよく、接着シート15,26(接合材)を構成する樹脂材料に適した種類の官能基を有する有機分子を適宜用いればよい。   In the above embodiments, the organic molecule that is chemically bonded to the surface of the metal nanofiller may be appropriately changed to an organic molecule having a functional group different from the carboxyl group. Other functional groups include, for example, phenol groups. In addition, the carboxylic acid which has a carboxyl group has good compatibility with an epoxy resin, and what is necessary is just to use suitably the organic molecule which has a kind of functional group suitable for the resin material which comprises the adhesive sheets 15 and 26 (joining material).

○ 上記各実施形態において、接着シート15,26(接合材)には、金属ナノフィラーの表面を修飾する官能基を異ならせた複数種類の金属ナノフィラーを配合してもよい。
○ 上記各実施形態において、接着シート15,26(接合材)に配合する金属ナノフィラーとして、クロム(Cr)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、銀(Ag)、スズ(Sn)、白金(Pt)、又は金(Au)を用いてもよい。また、接着シート15,26(接合材)は、異なる金属からなる複数種類の金属ナノフィラーを配合してもよい。
In each of the above embodiments, the adhesive sheets 15 and 26 (bonding material) may contain a plurality of types of metal nanofillers having different functional groups that modify the surface of the metal nanofiller.
In each of the above embodiments, the metal nanofiller blended in the adhesive sheets 15 and 26 (joining material) is chromium (Cr), iron (Fe), cobalt (Co), copper (Cu), zinc (Zn), silver (Ag), tin (Sn), platinum (Pt), or gold (Au) may be used. Moreover, the adhesive sheets 15 and 26 (bonding material) may contain a plurality of types of metal nanofillers made of different metals.

○ 上記各実施形態において、接着シート15,26(接合材)は、表面を官能基で修飾した金属ナノフィラーが含まれておればよく、表面が修飾されていない金属ナノフィラーを含んで構成されていてもよい。   In each of the above embodiments, the adhesive sheets 15 and 26 (joining material) only need to include metal nanofillers whose surfaces are modified with functional groups, and are configured to include metal nanofillers whose surfaces are not modified. It may be.

○ 上記各実施形態において、金属ナノフィラーの表面全体が官能基で修飾されていなくてもよい。
○ 上記各実施形態において、はんだ付けにより配線層にパワー素子16や半導体素子22n,22pを実装したが、異なる方法で実装してもよい。たとえば、導電性接着材や、導電性ペースト、金属ナノ粒子ペーストなどを用いてもよい。
In the above embodiments, the entire surface of the metal nanofiller may not be modified with a functional group.
In each of the above embodiments, the power element 16 and the semiconductor elements 22n and 22p are mounted on the wiring layer by soldering, but may be mounted by different methods. For example, a conductive adhesive, a conductive paste, a metal nanoparticle paste, or the like may be used.

11…パワーモジュール(電子機器)、12…熱交換部材(第1の熱交換部材)、14…配線層(第1の配線層)、14a…配線板、15…接着シート(接合材)、16…パワー素子(電子部品)、17…はんだ、21…ペルチェモジュール(電子機器)、22…半導体素子対、22n…n型半導体素子(電子部品)、22p…p型半導体素子(電子部品)、24…配線層(第2の配線層)、24a…配線板、25…熱交換部材(第2の熱交換部材)、26…接着シート(接合材)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Power module (electronic device), 12 ... Heat exchange member (1st heat exchange member), 14 ... Wiring layer (1st wiring layer), 14a ... Wiring board, 15 ... Adhesive sheet (joining material), 16 ... Power element (electronic component), 17 ... Solder, 21 ... Peltier module (electronic device), 22 ... Semiconductor element pair, 22n ... n-type semiconductor element (electronic component), 22p ... p-type semiconductor element (electronic component), 24 ... wiring layer (second wiring layer), 24a ... wiring board, 25 ... heat exchange member (second heat exchange member), 26 ... adhesive sheet (bonding material).

Claims (5)

絶縁材料からなる熱交換部材と、
表面を官能基で修飾した無機微粒子、及び樹脂材料を含む接合材によって、前記熱交換部材に接合された配線層と、
前記配線層に実装され、前記熱交換部材と熱的に結合される電子部品と、を備えた電子機器。
A heat exchange member made of an insulating material;
A wiring layer bonded to the heat exchange member by a bonding material containing inorganic fine particles whose surface is modified with a functional group, and a resin material;
An electronic device comprising: an electronic component mounted on the wiring layer and thermally coupled to the heat exchange member.
前記接合材は、シート状に形成された接着シートである請求項1に記載の電子機器。   The electronic device according to claim 1, wherein the bonding material is an adhesive sheet formed in a sheet shape. 前記電子部品は前記配線層にはんだ付けにより実装され、
前記接合材を構成する樹脂材料の熱分解温度は、前記はんだの融点よりも高い温度である請求項1又は請求項2に記載の電子機器。
The electronic component is mounted on the wiring layer by soldering,
The electronic device according to claim 1, wherein a thermal decomposition temperature of the resin material constituting the bonding material is higher than a melting point of the solder.
前記熱交換部材は、第1の熱交換部材、及び第2の熱交換部材を含み、
前記配線層は、前記第1の熱交換部材に接合される第1の配線層、及び前記第2の熱交換部材に接合される第2の配線層を含み、
前記電子部品は、前記第1の配線層、及び前記第2の配線層に実装された請求項1〜請求項3のうち何れか一項に記載の電子機器。
The heat exchange member includes a first heat exchange member and a second heat exchange member,
The wiring layer includes a first wiring layer bonded to the first heat exchange member, and a second wiring layer bonded to the second heat exchange member,
The electronic device according to any one of claims 1 to 3, wherein the electronic component is mounted on the first wiring layer and the second wiring layer.
前記電子部品は、n型半導体素子、及びp型半導体素子を含み、
前記第1の配線層、及び前記第2の配線層には、前記n型半導体素子、及び前記p型半導体素子が直列となるように実装された請求項4に記載の電子機器。
The electronic component includes an n-type semiconductor element and a p-type semiconductor element,
The electronic device according to claim 4, wherein the n-type semiconductor element and the p-type semiconductor element are mounted on the first wiring layer and the second wiring layer so as to be in series.
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