JP2012147338A - Imaging element manufacturing device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging element manufacturing device for suppressing an increase of an imaging pixel which cannot interpolate output when an optical member is arranged on a focus detection pixel which is a part of a plurality of imaging pixels which are two-dimensionally disposed in the imaging element.SOLUTION: The imaging element manufacturing device includes: a defect pixel detecting section 130 detecting a defect pixel among a plurality of imaging pixels; an analysis section 131 obtaining an arrangement pattern in which the number of imaging pixels in which outputs cannot be interpolated by the defect pixel or a focus detection pixel is the smallest among a plurality of arrangement patterns of an optical member 211; and an instruction output section 132 adjusting a position of the imaging element 127 to the optical member 211 so that the optical member 211 is arranged by the arrangement pattern obtained by the analysis section 131.

Description

本発明は、撮像素子において二次元状に配置された複数の撮像画素の一部の焦点検出用画素上に光学部材を配置する撮像素子製造装置に関する。   The present invention relates to an image sensor manufacturing apparatus that arranges an optical member on focus detection pixels that are part of a plurality of image pickup pixels that are two-dimensionally arranged in an image sensor.

二次元状に配列された複数の撮像画素の一部を位相差検出方式の焦点検出用画素として使用し、撮像と焦点検出とを1つの撮像素子で行う撮像装置が提案されている。この撮像装置では、位相差検出方式の遮光マスクとして光学部材が焦点検出用画素上に配置されるため、その焦点検出用画素を擬似的に欠陥画素として取り扱う必要がある。   There has been proposed an imaging apparatus that uses a part of a plurality of imaging pixels arranged two-dimensionally as a focus detection pixel of a phase difference detection method and performs imaging and focus detection with one imaging element. In this imaging apparatus, since the optical member is arranged on the focus detection pixel as a phase difference detection type light shielding mask, the focus detection pixel needs to be handled as a defective pixel in a pseudo manner.

そのため、焦点検出用画素の出力をその焦点検出用画素の周囲の撮像画素の出力により補間する撮像装置が提案されている。   For this reason, there has been proposed an imaging apparatus that interpolates the output of the focus detection pixel by the output of the imaging pixels around the focus detection pixel.

例えば、焦点検出用画素をG色のフィルタに相当する画素で形成し、撮影画像を形成する場合には、焦点検出用画素の出力をその周辺の撮像画素の出力を用いて補間する撮像装置がある(例えば、特許文献1参照)。   For example, when a focus detection pixel is formed by a pixel corresponding to a G color filter and a captured image is formed, an imaging apparatus that interpolates the output of the focus detection pixel using the output of the surrounding imaging pixels is used. Yes (see, for example, Patent Document 1).

また、例えば、焦点検出用画素の周辺に配置された撮像画素の出力を連続性がある方向に応じて処理し、焦点検出用画素の出力を求める撮像装置がある(例えば、特許文献2参照)。   In addition, for example, there is an imaging apparatus that processes the output of imaging pixels arranged around focus detection pixels in accordance with a direction having continuity and obtains the output of focus detection pixels (see, for example, Patent Document 2). .

これらの撮像装置によれば、撮像画素の一部を焦点検出用画素として使用しても、良好な画素補間が可能になり、劣化の少ない画像を得ることができる。   According to these imaging devices, even if a part of the imaging pixels is used as the focus detection pixel, it is possible to perform good pixel interpolation and obtain an image with little deterioration.

特開2000−156823号公報JP 2000-156823 A 特開2009−094881号公報JP 2009-094881 A

しかしながら、上述のいずれの撮像装置も、例えば、撮像素子製造時に発生した欠陥画素と、焦点検出用画素とが互いに接して見かけ上、大きな欠陥画素ブロックが生じてしまう場合、その欠陥画素ブロック内のある撮像画素の出力の補間のために使用される撮像画素に欠陥画素が含まれてしまう確率が高くなるため、出力を補間することができなくなる欠陥画素が増えてしまうおそれがある。また、撮像画素の出力の補間のために使用される撮像画素に欠陥画素が含まれてしまう確率が高くなると、撮影画像の画質が低下してしまうという問題もある。   However, in any of the above-described imaging devices, for example, when a defective pixel generated at the time of manufacturing the imaging device and a focus detection pixel come into contact with each other and an apparently large defective pixel block is generated, Since there is a high probability that a defective pixel is included in an imaging pixel used for interpolation of an output of a certain imaging pixel, there is a possibility that defective pixels that cannot interpolate the output increase. In addition, when the probability that a defective pixel is included in an imaging pixel used for interpolation of the output of the imaging pixel increases, there is a problem that the image quality of the captured image is degraded.

そこで、本発明は、撮像素子において二次元状に配置された複数の撮像画素の一部の焦点検出用画素上に光学部材を配置する場合において、出力を補間することができなくなる撮像画素の増加を抑えることが可能な撮像素子製造装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention increases the number of imaging pixels that cannot interpolate the output when an optical member is arranged on some focus detection pixels of a plurality of imaging pixels arranged two-dimensionally in the imaging device. An object of the present invention is to provide an image pickup device manufacturing apparatus capable of suppressing the above.

本発明の撮像素子製造装置は、撮像素子において二次元状に配置された複数の撮像画素の一部の焦点検出用画素上に光学部材を配置する撮像素子製造装置であって、欠陥画素検出手段と、解析手段と、位置調整手段とを備える。   An image sensor manufacturing apparatus according to the present invention is an image sensor manufacturing apparatus in which an optical member is disposed on focus detection pixels of some of a plurality of image pixels that are two-dimensionally arranged in an image sensor, and includes defective pixel detection means. And an analysis means and a position adjustment means.

前記欠陥画素検出手段は、前記複数の撮像画素のうち、欠陥画素を検出する。   The defective pixel detection means detects a defective pixel among the plurality of imaging pixels.

前記解析手段は、前記光学部材の複数の配置パターンのうち、前記欠陥画素又は前記焦点検出用画素によって出力を補間することができない前記撮像画素の数が最も少ない配置パターンを求める。   The analysis unit obtains an arrangement pattern having the smallest number of the imaging pixels whose output cannot be interpolated by the defective pixel or the focus detection pixel among the plurality of arrangement patterns of the optical member.

前記位置調整手段は、前記解析手段により求められた配置パターンで前記光学部材が配置されるように、前記光学部材に対する前記撮像素子の位置を調整する。   The position adjusting unit adjusts the position of the imaging element with respect to the optical member so that the optical member is arranged in an arrangement pattern obtained by the analyzing unit.

本発明によれば、撮像素子において二次元状に配置された複数の撮像画素の一部の焦点検出用画素上に光学部材を配置する場合において、出力を補間することができなくなる撮像画素の増加を抑えることができる。   According to the present invention, when an optical member is arranged on some focus detection pixels of a plurality of imaging pixels arranged two-dimensionally in the imaging device, the number of imaging pixels that cannot interpolate the output is increased. Can be suppressed.

本発明の実施形態の撮像素子製造装置を示す図である。It is a figure which shows the image pick-up element manufacturing apparatus of embodiment of this invention. 撮像素子の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of an image pick-up element. 光学部材の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of an optical member. 制御部の動作を説明するフローチャートを示す図である。It is a figure which shows the flowchart explaining operation | movement of a control part. S304の動作を説明するフローチャートを示す図である。It is a figure which shows the flowchart explaining the operation | movement of S304. 欠陥画素及び光学部材の配置パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the arrangement pattern of a defective pixel and an optical member. 焦点検出用画素を示す図である。It is a figure which shows the pixel for a focus detection. 欠陥画素及び光学部材の配置パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the arrangement pattern of a defective pixel and an optical member. 焦点検出用画素を示す図である。It is a figure which shows the pixel for a focus detection. 欠陥画素及び光学部材の配置パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the arrangement pattern of a defective pixel and an optical member. 焦点検出用画素を示す図である。It is a figure which shows the pixel for a focus detection. 欠陥画素及び光学部材の配置パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the arrangement pattern of a defective pixel and an optical member. 焦点検出用画素を示す図である。It is a figure which shows the pixel for a focus detection. 制御部の動作を説明するフローチャートを示す図である。It is a figure which shows the flowchart explaining operation | movement of a control part. S706の動作を説明するフローチャートを示す図である。It is a figure which shows the flowchart explaining the operation | movement of S706.

図1は、本発明の実施形態の撮像素子製造装置を示す図である。   FIG. 1 is a diagram illustrating an image sensor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

図1に示す撮像素子製造装置は、操作部111(例えば、タッチパネルなど)と、表示部112(例えば、モニタ)と、装置制御部113と、制御部116(例えば、CPUなど)と、光源117と、Yステージ119と、画像読み込み部120と、ステージコントロール部121と、電源ドライバ122と、Yステージモータ123と、Xステージ124と、電源ドライバ125と、Xステージモータ126とを備える。   1 includes an operation unit 111 (for example, a touch panel), a display unit 112 (for example, a monitor), an apparatus control unit 113, a control unit 116 (for example, a CPU), and a light source 117. A Y stage 119, an image reading unit 120, a stage control unit 121, a power driver 122, a Y stage motor 123, an X stage 124, a power driver 125, and an X stage motor 126.

制御部116は、欠陥画素検出部130(欠陥画素検出手段)と、解析部131(解析手段)と、指示出力部132と、記憶部133とを備える。   The control unit 116 includes a defective pixel detection unit 130 (defective pixel detection unit), an analysis unit 131 (analysis unit), an instruction output unit 132, and a storage unit 133.

欠陥画素検出部130は、撮像素子127において二次元状に配置される複数の撮像画素のうち、撮像素子127の製造時に発生する欠陥画素を検出する。この欠陥画素検出部130は、例えば、後述するS804やS1006などの制御部116の動作に相当し、ハードウェアにより構成されてもよいし、ソフトウェアにより構成されてもよい。   The defective pixel detection unit 130 detects a defective pixel that is generated when the image sensor 127 is manufactured among a plurality of image pixels that are two-dimensionally arranged in the image sensor 127. The defective pixel detection unit 130 corresponds to the operation of the control unit 116 such as S804 and S1006 described later, and may be configured by hardware or software.

解析部131は、光学部材211の複数の配置パターンのうち、欠陥画素又は位相差検出方式の焦点検出用画素によって出力を補間することができない撮像画素の数が最も少ない配置パターンを求める。この解析部131は、例えば、後述するS802〜S807及びS308やS1002〜S1013などの制御部116の動作に相当し、ハードウェアにより構成されてもよいし、ソフトウェアにより構成されてもよい。   The analysis unit 131 obtains an arrangement pattern having the smallest number of image pickup pixels whose output cannot be interpolated by defective pixels or phase difference detection type focus detection pixels among the plurality of arrangement patterns of the optical member 211. The analysis unit 131 corresponds to the operation of the control unit 116 such as S802 to S807 and S308 and S1002 to S1013, which will be described later, and may be configured by hardware or software.

指示出力部132は、光学部材211に対する撮像素子127の位置を調整するための制御信号をステージコントロール部121に出力する。この指示出力部132は、例えば、後述するS309やS707などの制御部116の動作に相当し、ハードウェアにより構成されてもよいし、ソフトウェアにより構成されてもよい。また、特許請求の範囲における位置調整手段は、例えば、指示出力部132、ステージコントロール部121、電源ドライバ122、Yステージモータ123、Xステージ124、電源ドライバ125、及びXステージモータ126などを含んで構成されてもよい。   The instruction output unit 132 outputs a control signal for adjusting the position of the imaging element 127 relative to the optical member 211 to the stage control unit 121. This instruction output unit 132 corresponds to, for example, the operation of the control unit 116 such as S309 and S707 described later, and may be configured by hardware or software. Further, the position adjustment means in the claims includes, for example, an instruction output unit 132, a stage control unit 121, a power driver 122, a Y stage motor 123, an X stage 124, a power driver 125, and an X stage motor 126. It may be configured.

本実施形態の撮像素子製造装置における撮影画像の生成動作について説明する。   A captured image generation operation in the image sensor manufacturing apparatus according to the present embodiment will be described.

まず、撮像素子127がYステージ119及びXステージ124上にセットされる。例えば、(i,j)の二次元座標において配列される、複数の撮像画素(図2では、複数の撮像画素のうちの一部の撮像画素として16×24の撮像画素を示している)からなる撮像素子127がYステージ119及びXステージ124上にセットされる。このとき、例えば、図3に示すように、複数の遮光マスク212を備える光学部材211が撮像素子127上に配置されているものとする。   First, the image sensor 127 is set on the Y stage 119 and the X stage 124. For example, from a plurality of imaging pixels (16 × 24 imaging pixels are shown as some of the plurality of imaging pixels) arranged in the two-dimensional coordinates of (i, j). The image sensor 127 is set on the Y stage 119 and the X stage 124. At this time, for example, as shown in FIG. 3, it is assumed that an optical member 211 including a plurality of light shielding masks 212 is disposed on the image sensor 127.

次に、オペレータなどにより操作部111が操作されるなどして制御部116から装置制御部113に光源制御信号が出力されると、装置制御部113は、光源117を点灯させる。なお、光源は一様光源とする。   Next, when a light source control signal is output from the control unit 116 to the device control unit 113 by operating the operation unit 111 by an operator or the like, the device control unit 113 turns on the light source 117. The light source is a uniform light source.

次に、光源117からの光が不図示の集光レンズ及び光学部材211を介して撮像素子127に集光すると、撮像素子127は、各撮像画素において輝度を電圧に変換し、それら電圧を連続した各画素値として画像読み込み部120に出カする。   Next, when the light from the light source 117 is condensed on the image sensor 127 via a condensing lens (not shown) and the optical member 211, the image sensor 127 converts the luminance into a voltage in each imaging pixel, and continuously outputs these voltages. Each pixel value is output to the image reading unit 120.

次に、画像読み込み部120に備えられるA/D変換器は、撮像素子127から出力される各画素値を時間軸で分割してアナログからデジタルに変換した後、制御部116に出力する。   Next, the A / D converter provided in the image reading unit 120 divides each pixel value output from the image sensor 127 on the time axis to convert from analog to digital, and then outputs the converted value to the control unit 116.

そして、制御部116は、画像読み込み部120から出力される各画素値により撮影画像を生成して表示部112などに表示する。このとき、制御部116は、欠陥画素の周囲に配置される撮像画素から出力される画素値を使用して欠陥画素の画素値を補間する。すなわち、例えば、図2に示す撮像素子127において、(3,4)に位置する撮像画素を欠陥画素とし、その欠陥画素を補間するために使用される撮像画素を(1,4)、(5,4)、(3,2)、(3,6)にそれぞれ位置する撮像画素とし、それら撮像画素のそれぞれの画素値をGr14、Gr54、Gr32、Gr36とすると、(3,4)に位置する撮像画素の補間画素値Gr34は、Gr34=(Gr14+Gr54+Gr32+Gr36)/4を計算することにより求められる。このように、欠陥画素の画素値を補間する場合、その欠陥画素を中心に5画素×5画素の領域の撮像画素が必要になる。   Then, the control unit 116 generates a captured image based on each pixel value output from the image reading unit 120 and displays it on the display unit 112 or the like. At this time, the control unit 116 interpolates the pixel value of the defective pixel using the pixel value output from the imaging pixel arranged around the defective pixel. That is, for example, in the imaging device 127 shown in FIG. 2, the imaging pixel located at (3, 4) is defined as a defective pixel, and the imaging pixels used to interpolate the defective pixel are (1, 4), (5 , 4), (3, 2), (3, 6), and assuming that the pixel values of these imaging pixels are Gr14, Gr54, Gr32, Gr36, respectively, (3, 4) The interpolation pixel value Gr34 of the image pickup pixel is obtained by calculating Gr34 = (Gr14 + Gr54 + Gr32 + Gr36) / 4. As described above, when the pixel value of the defective pixel is interpolated, an imaging pixel in a region of 5 pixels × 5 pixels around the defective pixel is necessary.

次に、本実施形態の撮像素子製造装置において撮像素子127を目標位置に移動させる際の制御部116の動作について説明する。なお、撮像素子127は、Xステージ124及びYステージ119により、Xステージ124の移動方向であるX方向、又は、Yステージ119の移動方向であるY方向に移動するものとする。また、撮像素子127は、X方向及びY方向からなる二次元座標のある点を中心としてθ方向に回転させてもよい。   Next, the operation of the control unit 116 when moving the image sensor 127 to the target position in the image sensor manufacturing apparatus of the present embodiment will be described. Note that the image sensor 127 is moved by the X stage 124 and the Y stage 119 in the X direction that is the movement direction of the X stage 124 or the Y direction that is the movement direction of the Y stage 119. Further, the image sensor 127 may be rotated in the θ direction around a point having a two-dimensional coordinate composed of the X direction and the Y direction.

まず、制御部116は、現在の撮像素子127の位置(例えば、二次元座標における撮像素子127の中央の画素の位置)から目標位置までの距離(例えば、画素数)を算出する。   First, the control unit 116 calculates the distance (for example, the number of pixels) from the current position of the image sensor 127 (for example, the position of the center pixel of the image sensor 127 in two-dimensional coordinates) to the target position.

次に、制御部116は、算出した距離を、予め校正しておいた撮像素子127の1画素の長さに基づいて、Xステージ124及びYステージ119上の物理長に換算し、その換算した距離を示す制御信号をステージコントロール部121に出力する。   Next, the control unit 116 converts the calculated distance into a physical length on the X stage 124 and the Y stage 119 based on the length of one pixel of the image sensor 127 that has been calibrated in advance, and the conversion is performed. A control signal indicating the distance is output to the stage control unit 121.

次に、ステージコントロール部121は、制御部116から出力される制御信号に示される距離に基づいて、Xステージ124の移動距離LxとYステージ119の移動距離Lyを求める。   Next, the stage control unit 121 obtains the movement distance Lx of the X stage 124 and the movement distance Ly of the Y stage 119 based on the distance indicated by the control signal output from the control unit 116.

そして、ステージコントロール部121は、移動距離Lxに相当する駆動信号(例えば、パルス電圧)を電源ドライバ125を介してXステージモータ126に出力してXステージモータ126を駆動するとともに、移動距離Lyに相当する駆動信号を電源ドライバ122を介してYステージモータ123に出力してYステージモータ123を駆動する。   Then, the stage control unit 121 outputs a drive signal (for example, a pulse voltage) corresponding to the movement distance Lx to the X stage motor 126 via the power supply driver 125 to drive the X stage motor 126, and at the movement distance Ly. A corresponding drive signal is output to the Y stage motor 123 via the power driver 122 to drive the Y stage motor 123.

これにより、撮像素子127を目標位置に移動させることができる。   Thereby, the image sensor 127 can be moved to the target position.

なお、ステージコントロール部121から電源ドライバ125や電源ドライバ122を介してXステージモータ126やYステージモータ123に出力される駆動信号のパルス数のカウントミスが発生し、撮像素子127が目標位置に移動しなかった場合、再度、制御部116において、現在の撮像素子127の位置から目標位置までの距離が算出され、新たな制御信号がステージコントロール部121に出力されるものとする。   In addition, a count error of the number of pulses of the drive signal output from the stage control unit 121 to the X stage motor 126 or the Y stage motor 123 via the power driver 125 or the power driver 122 occurs, and the image sensor 127 moves to the target position. If not, the control unit 116 again calculates the distance from the current position of the image sensor 127 to the target position, and a new control signal is output to the stage control unit 121.

次に、撮像素子127に光学部材211を配置する際の制御部116の動作について説明する。   Next, the operation of the control unit 116 when arranging the optical member 211 on the image sensor 127 will be described.

図4は、撮像素子127に光学部材211を配置する際の制御部116の動作を説明するためのフローチャートを示す図である。なお、光学部材211は撮像素子127上に配置されており、撮像素子127の移動に伴って光学部材211の配置パターンが変化し、焦点検出用画素(擬似的欠陥画素)として使用される撮像画素の位置も変化するものとする。   FIG. 4 is a flowchart illustrating the operation of the control unit 116 when the optical member 211 is disposed on the image sensor 127. The optical member 211 is arranged on the image sensor 127, and the arrangement pattern of the optical member 211 changes with the movement of the image sensor 127, and the image pixel used as a focus detection pixel (pseudo defective pixel). The position of is also changed.

処理が開始されると(S301)、まず、制御部116は、撮像素子127の複数の撮像画素において、撮像素子127の製造時に発生した欠陥画素の有無をチェックした後、Xステージ124及びYステージ119のそれぞれの位置の初期化を行う(S302)。例えば、制御部116は、撮像素子127から出力される各画素値のうち、予め設定される規定値以上の画素値を出力している画素を欠陥画素とする。また、例えば、制御部116は、ステージコントロール部121に制御信号を出力して、Xステージ124を予め設定されるX方向の初期位置に移動させるとともに、Yステージ119を予め設定されるY方向の位置に移動させる。   When the processing is started (S301), first, the control unit 116 checks the presence or absence of defective pixels generated during the manufacture of the image sensor 127 in the plurality of image sensors of the image sensor 127, and then the X stage 124 and the Y stage. Each position of 119 is initialized (S302). For example, among the pixel values output from the image sensor 127, the control unit 116 sets a pixel that outputs a pixel value that is equal to or greater than a preset specified value as a defective pixel. In addition, for example, the control unit 116 outputs a control signal to the stage control unit 121 to move the X stage 124 to a preset initial position in the X direction and to move the Y stage 119 in a preset Y direction. Move to position.

次に、制御部116は、画像読み込み部120に撮影指示を出力し、画像読み込み部120から出力される各画素値を記憶部133に記憶する(S303)。   Next, the control unit 116 outputs a shooting instruction to the image reading unit 120 and stores each pixel value output from the image reading unit 120 in the storage unit 133 (S303).

次に、制御部116は、記憶部133に記憶した各画素値を解析して(S304)、その解析結果を記憶部133に記憶する(S305)。   Next, the control unit 116 analyzes each pixel value stored in the storage unit 133 (S304), and stores the analysis result in the storage unit 133 (S305).

次に、制御部116は、予め設定される複数の解析用目標位置のうちの次の解析用目標位置に撮像素子127を移動させる(S306)。このとき、例えば、制御部116は、1画素ずつ又は所定数の画素ずつ撮像素子127を移動させる。   Next, the control unit 116 moves the image sensor 127 to the next analysis target position among the plurality of analysis target positions set in advance (S306). At this time, for example, the control unit 116 moves the image sensor 127 pixel by pixel or a predetermined number of pixels.

次に、制御部116は、すべての解析用目標位置に撮像素子127を移動させたか否かを判断する(S307)。   Next, the control unit 116 determines whether or not the image sensor 127 has been moved to all analysis target positions (S307).

すべての解析用目標位置に撮像素子127を移動させていないと判断した場合(S307がNo)、制御部116は、S303に戻る。   When it is determined that the image sensor 127 has not been moved to all analysis target positions (No in S307), the control unit 116 returns to S303.

一方、すべての解析用目標位置に撮像素子127を移動させたと判断した場合(S307がYes)、制御部116は、記憶部133に記憶されている、解析用目標位置毎の解析結果に基づいて、欠陥画素又は焦点検出用画素によって出力を補間することができない撮像画素の数が最も少なくなる場合の撮像素子127の最適な目標位置を求める(S308)。   On the other hand, when it is determined that the image sensor 127 has been moved to all analysis target positions (Yes in S307), the control unit 116 is based on the analysis result for each analysis target position stored in the storage unit 133. Then, an optimum target position of the image sensor 127 when the number of image pickup pixels whose output cannot be interpolated by the defective pixel or the focus detection pixel is the smallest is obtained (S308).

次に、制御部116は、その最適な目標位置に撮像素子127を移動させる(S309)。   Next, the control unit 116 moves the image sensor 127 to the optimal target position (S309).

次に、制御部116は、移動後の撮像素子127を仮固定した後、撮像素子127と光学部材211との間の熱硬化性接着剤を加熱して熱硬化性接着剤を軟化させた後、その熱硬化性接着剤を冷却して熱硬化性接着剤を硬化させることにより、撮像素子127と光学部材211を接着させる(S310)。   Next, the control unit 116 temporarily fixes the moved image sensor 127 and then heats the thermosetting adhesive between the image sensor 127 and the optical member 211 to soften the thermosetting adhesive. Then, by cooling the thermosetting adhesive and curing the thermosetting adhesive, the image sensor 127 and the optical member 211 are bonded (S310).

そして、制御部116は、画像読み込み部120から出力される各画素値に基づいて、撮像素子127の電気的な最終チェックを行って終了する(S311)。   Then, the control unit 116 performs an electrical final check of the image sensor 127 based on each pixel value output from the image reading unit 120 and ends (S311).

次に、図4のS304の動作について説明する。   Next, the operation of S304 in FIG. 4 will be described.

図5は、S304の動作を説明するためのフローチャートを示す図である。   FIG. 5 is a flowchart illustrating the operation of S304.

まず、制御部116は、図4のS303において記憶部133に記憶した各画素値を2つの閾値th1,th2(th1<th2)を用いて2値化する(S802)。例えば、制御部116は、画素値をPとするとき、th1<P<th2の範囲の画素を出力する撮像画素は正常な撮像画素として0(ゼロ)、それ以外の撮像画素は欠陥画素として1とする。   First, the control unit 116 binarizes each pixel value stored in the storage unit 133 in S303 of FIG. 4 using two threshold values th1 and th2 (th1 <th2) (S802). For example, when the pixel value is P, the control unit 116 outputs 0 (zero) as a normal imaging pixel and outputs 1 as a defective pixel for imaging pixels that output pixels in the range of th1 <P <th2. And

次に、制御部116は、ある解析用目標位置に撮像素子127を移動させた場合において、欠陥画素や焦点検出用画素とにより出力を補間することができない撮像画素を有する欠陥画素ブロックの数を示す補間可能評価値を初期化する(S803)。   Next, when the image sensor 127 is moved to a certain target position for analysis, the control unit 116 determines the number of defective pixel blocks having imaging pixels whose output cannot be interpolated with defective pixels or focus detection pixels. The evaluation value that can be interpolated is initialized (S803).

次に、制御部116は、S802において2値化した各画素値を用いて、欠陥画素ブロックを検出する(S804)。例えば、制御部116は、ある解析用目標位置に撮像素子127が移動された場合の撮像素子127の全画素において、1つの欠陥画素を検出すると、その欠陥画素を欠陥画素ブロックの一部とし、さらに、その欠陥画素に隣り合う撮像画素が欠陥画素である場合、その欠陥画素も欠陥画素ブロックの一部とし、この処理を隣り合う撮像画素が欠陥画素でなくなるまで繰り返す。   Next, the control unit 116 detects a defective pixel block using each pixel value binarized in S802 (S804). For example, when the control unit 116 detects one defective pixel in all the pixels of the image sensor 127 when the image sensor 127 is moved to a certain analysis target position, the control unit 116 sets the defective pixel as a part of the defective pixel block, Furthermore, when the imaging pixel adjacent to the defective pixel is a defective pixel, the defective pixel is also a part of the defective pixel block, and this process is repeated until the adjacent imaging pixel is no longer a defective pixel.

次に、制御部116は、検出した欠陥画素ブロック内に補間不可能な撮像画素があるか否かを判断する(S805)。例えば、制御部116は、欠陥画素ブロック内のある撮像画素を補間するために必要な周囲の複数の撮像画素がすべて欠陥画素や焦点検出用画素であった場合、その撮像画素を補間不可能な欠陥画素であると判断する。また、制御部116は、その撮像画素を補間するために必要な周囲の複数の撮像画素がすべて欠陥画素や焦点検出用画素でない場合、その欠陥画素を補間可能な欠陥画素であると判断する。   Next, the control unit 116 determines whether there is an imaging pixel that cannot be interpolated in the detected defective pixel block (S805). For example, the control unit 116 cannot interpolate an imaging pixel when a plurality of surrounding imaging pixels necessary to interpolate a certain imaging pixel in the defective pixel block are all defective pixels or focus detection pixels. Judged as a defective pixel. The control unit 116 determines that the defective pixel is a defective pixel that can be interpolated when all the plurality of surrounding imaging pixels necessary for interpolating the imaging pixel are not defective pixels or focus detection pixels.

検出した欠陥画素ブロック内に補間不可能な欠陥画素があると判断した場合(S805がYes)、制御部116は、補間可能評価値をカウントアップして(S806)、ある解析用目標位置に撮像素子127が移動された場合の撮影画像の全画素において、欠陥画素ブロックをすべて検出したか否かを判断する(S807)。   When it is determined that there is a defective pixel that cannot be interpolated in the detected defective pixel block (Yes in S805), the control unit 116 counts up the interpolation possible evaluation value (S806) and captures an image at a certain target position for analysis. It is determined whether or not all defective pixel blocks have been detected in all the pixels of the captured image when the element 127 is moved (S807).

欠陥画素ブロックをすべて検出していないと判断した場合(S807がNo)、制御部116は、S804に戻り、次の欠陥画素ブロックを検出する。   If it is determined that all defective pixel blocks have not been detected (No in S807), the control unit 116 returns to S804 and detects the next defective pixel block.

一方、欠陥画素ブロックをすべて検出したと判断した場合(S807がYes)制御部116は、図4のS305に進み、解析結果としての補間可能評価値を記憶部133に記憶する。   On the other hand, if it is determined that all defective pixel blocks have been detected (Yes in S807), the control unit 116 proceeds to S305 in FIG. 4 and stores the interpolable evaluation value as the analysis result in the storage unit 133.

そして、制御部116は、記憶部133に記憶される、解析用目標位置毎に記憶される補間可能評価値(上記解析用目標位置毎の解析結果)のうち最も小さい補間可能評価値に対応する解析用目標位置を、図4のS308における最適な目標位置とする。   And the control part 116 respond | corresponds to the smallest interpolable evaluation value among the interpolation possible evaluation values memorize | stored for every analysis target position (analysis result for every said analysis target position) memorize | stored in the memory | storage part 133. FIG. The analysis target position is set as the optimum target position in S308 of FIG.

例えば、図6に示すように、撮像素子127の全撮像画素において(1,4)に位置する撮像画素が欠陥画素128であり、かつ、光学部材211の左上端部が(2,2)に位置する撮像画素と重なるような配置パターンで光学部材211が撮像素子127上に配置されている場合、図7に示すように、(2,2)〜(2,7)、(3,2)〜(3,7)、(4,2)〜(4,7)、(5,2)〜(5,7)、(2,14)〜(2,19)、(3,14)〜(3,19)、(4,14)〜(4,19)、(5,14)〜(5,19)にそれぞれ位置する撮像画素が焦点検出用画素(擬似的欠陥画素)129となる。このとき、(3,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間する際に使用される撮像画素は、(1,4)、(5,4)、(3,2)、(3,6)にそれぞれ位置する撮像画素となり、これらの撮像画素は、すべて欠陥画素128や焦点検出用画素129であるため、(3,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間することができない。   For example, as shown in FIG. 6, the imaging pixel located at (1, 4) in all the imaging pixels of the imaging device 127 is the defective pixel 128, and the upper left end of the optical member 211 is at (2, 2). When the optical member 211 is arranged on the image sensor 127 in an arrangement pattern that overlaps with the imaging pixels that are positioned, as shown in FIG. 7, (2, 2) to (2, 7), (3, 2) ~ (3,7), (4,2) ~ (4,7), (5,2) ~ (5,7), (2,14) ~ (2,19), (3,14) ~ ( 3, 19), (4, 14) to (4, 19), and (5, 14) to (5, 19), the imaging pixels are the focus detection pixels (pseudo defective pixels) 129, respectively. At this time, the imaging pixels used when the output of the focus detection pixel 129 located at (3, 4) is interpolated are (1, 4), (5, 4), (3, 2), (3 , 6), and these imaging pixels are all defective pixels 128 and focus detection pixels 129. Therefore, the output of the focus detection pixel 129 located at (3,4) is interpolated. I can't.

一方、例えば、図8に示すように、撮像素子127の全撮像画素において(1,4)に位置する撮像画素が欠陥画素128であり、かつ、光学部材211の左上端部が(2,4)に位置する撮像画素と重なるような配置パターンで光学部材211が撮像素子127上に配置されている場合、図9に示すように、(2,4)〜(2,9)、(3,4)〜(3,9)、(4,4)〜(4,9)、(5,4)〜(5,9)、(2,16)〜(2,21)、(3,16)〜(3,21)、(4,16)〜(4,21)、(5,16)〜(5,21)にそれぞれ位置する撮像画素が焦点検出用画素129となる。このとき、(3,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間する際に使用される撮像画素は、(1,4)、(5,4)、(3,2)、(3,6)にそれぞれ位置する撮像画素となり、(3,2)に位置する撮像画素が欠陥画素128や焦点検出用画素129ではないため、その(3,2)に位置する撮像画素を使用して(3,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間することができる。   On the other hand, for example, as shown in FIG. 8, the imaging pixel located at (1, 4) in all the imaging pixels of the imaging element 127 is the defective pixel 128 and the upper left end of the optical member 211 is (2, 4). When the optical member 211 is arranged on the image sensor 127 in an arrangement pattern that overlaps with the image pickup pixel located at (), as shown in FIG. 9, (2, 4) to (2, 9), (3, 4) to (3, 9), (4, 4) to (4, 9), (5, 4) to (5, 9), (2, 16) to (2, 21), (3, 16) The imaging pixels positioned at (3, 21), (4, 16) to (4, 21), (5, 16) to (5, 21) are the focus detection pixels 129, respectively. At this time, the imaging pixels used when the output of the focus detection pixel 129 located at (3, 4) is interpolated are (1, 4), (5, 4), (3, 2), (3 , 6) and the imaging pixel located at (3, 2) is not the defective pixel 128 or the focus detection pixel 129. Therefore, the imaging pixel located at (3, 2) is used. The output of the focus detection pixel 129 located at (3, 4) can be interpolated.

また、例えば、図10に示すように、撮像素子127の全撮像画素において(1,4)、(7,4)にそれぞれ位置する撮像画素が欠陥画素128であり、かつ、光学部材211の左上端部が(2,2)に位置する撮像画素と重なるような配置パターンで光学部材211が撮像素子127上に配置されている場合、図11に示すように、(2,2)〜(2,7)、(3,2)〜(3,7)、(4,2)〜(4,7)、(5,2)〜(5,7)、(2,14)〜(2,19)、(3,14)〜(3,19)、(4,14)〜(4,19)、(5,14)〜(5,19)にそれぞれ位置する撮像画素が焦点検出用画素129となる。このとき、(3,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間する際に使用される撮像画素は、(1,4)、(5,4)、(3,2)、(3,6)にそれぞれ位置する撮像画素となる。また、(5,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間する際に使用される撮像画素は、(3,4)、(7,4)、(5,2)、(5,6)にそれぞれ位置する撮像画素となる。これらの補間に使用される各撮像画素は、すべて欠陥画素128や焦点検出用画素129であるため、(3,4)、(5,4)にそれぞれ位置する焦点検出用画素129の出力を補間することができない。   Further, for example, as shown in FIG. 10, in all the imaging pixels of the imaging element 127, the imaging pixels located at (1, 4) and (7, 4) are the defective pixels 128 and the upper left of the optical member 211. When the optical member 211 is arranged on the image sensor 127 in an arrangement pattern in which the end portion overlaps with the imaging pixel located at (2, 2), as shown in FIG. 11, (2, 2) to (2 , 7), (3,2) to (3,7), (4,2) to (4,7), (5,2) to (5,7), (2,14) to (2,19) ), (3, 14) to (3, 19), (4, 14) to (4, 19), and (5, 14) to (5, 19), the imaging pixels respectively are the focus detection pixels 129. Become. At this time, the imaging pixels used when the output of the focus detection pixel 129 located at (3, 4) is interpolated are (1, 4), (5, 4), (3, 2), (3 , 6) respectively. The imaging pixels used when the output of the focus detection pixel 129 located at (5, 4) is interpolated are (3,4), (7, 4), (5, 2), (5, 6) are the imaging pixels respectively located. Since each imaging pixel used for these interpolations is the defective pixel 128 and the focus detection pixel 129, the output of the focus detection pixel 129 located at (3, 4) and (5, 4) is interpolated. Can not do it.

一方、例えば、図12に示すように、撮像素子127の全撮像画素において(1,4)、(7,4)にそれぞれ位置する撮像画素が欠陥画素128であり、かつ、光学部材211の左上端部が撮像素子127の(2,4)に位置する撮像画素と重なるような配置パターンで光学部材211が撮像素子127上に配置されている場合、図13に示すように、(2,4)〜(2,9)、(3,4)〜(3,9)、(4,4)〜(4,9)、(5,4)〜(5,9)、(2,16)〜(2,21)、(3,16)〜(3,21)、(4,16)〜(4,21)、(5,16)〜(5,21)にそれぞれ位置する撮像画素が焦点検出用画素129となる。このとき、(3,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間する際に使用される撮像画素は、(1,4)、(5,4)、(3,2)、(3,6)にそれぞれ位置する撮像画素となる。また、(5,4)に位置する焦点検出用画素129の出力を補間する際に使用される撮像画素は、(3,4)、(7,4)、(5,2)、(5,6)にそれぞれ位置する撮像画素となる。(3,2)、(5,2)にそれぞれ位置する撮像画素が欠陥画素128や焦点検出用画素129ではないため、(3,4)、(5,4)にそれぞれ位置する擬似的欠陥画素の出力を補間することができる。   On the other hand, for example, as illustrated in FIG. 12, in all the imaging pixels of the imaging element 127, the imaging pixels located at (1, 4) and (7, 4) are defective pixels 128 and the upper left of the optical member 211. When the optical member 211 is arranged on the image pickup device 127 in an arrangement pattern in which the end portion overlaps the image pickup pixel located at (2, 4) of the image pickup device 127, as shown in FIG. ) To (2,9), (3,4) to (3,9), (4,4) to (4,9), (5,4) to (5,9), (2,16) to Image pickup pixels located at (2, 21), (3, 16) to (3, 21), (4, 16) to (4, 21), and (5, 16) to (5, 21) are focus-detected. Pixel 129. At this time, the imaging pixels used when the output of the focus detection pixel 129 located at (3, 4) is interpolated are (1, 4), (5, 4), (3, 2), (3 , 6) respectively. The imaging pixels used when the output of the focus detection pixel 129 located at (5, 4) is interpolated are (3,4), (7, 4), (5, 2), (5, 6) are the imaging pixels respectively located. Since the imaging pixels located at (3, 2) and (5, 2) are not the defective pixel 128 and the focus detection pixel 129, the pseudo defective pixels located at (3, 4) and (5, 4), respectively. Can be interpolated.

このように、本実施形態の撮像素子製造装置では、複数の解析用目標位置毎に記憶された補間可能評価値のうち最も小さい補間可能評価値に対応する解析用目標位置を、撮像素子127の最適な目標位置としている。すなわち、光学部材211の複数の配置パターンのうち、欠陥画素や焦点検出用画素によって出力を補間することができない撮像画素の数が最も少なくなるような配置パターンにより、撮像素子127を移動させる構成である。これにより、撮像素子127の複数の撮像画素の一部を焦点検出用画素として使用する場合においても、出力を補間することができなくなる撮像画素の増加を抑えることができるため、撮影画像の画質が低下してしまうことを抑制することができる。また、撮像素子127の歩留まりが向上するため、コストの抑制も期待することができる。   As described above, in the image sensor manufacturing apparatus according to the present embodiment, the analysis target position corresponding to the smallest interpolable evaluation value among the interpolable evaluation values stored for each of the plurality of analysis target positions is set to the image sensor 127. It is the optimum target position. In other words, the image sensor 127 is moved by an arrangement pattern in which the number of image pickup pixels whose output cannot be interpolated by defective pixels or focus detection pixels among the plurality of arrangement patterns of the optical member 211 is minimized. is there. As a result, even when some of the plurality of imaging pixels of the imaging element 127 are used as focus detection pixels, an increase in imaging pixels that cannot interpolate the output can be suppressed. It can suppress that it falls. In addition, since the yield of the image sensor 127 is improved, cost reduction can be expected.

次に、撮像素子127に光学部材211を配置する際の制御部116の他の動作を説明する。   Next, another operation of the control unit 116 when the optical member 211 is arranged on the image sensor 127 will be described.

図14は、撮像素子127に光学部材211を配置する際の制御部116の他の動作を説明するためのフローチャートを示す図である。なお、光学部材211は、撮像素子127の最適な目標位置が求まるまで(S706)、撮像素子127上に配置しないものとする。   FIG. 14 is a flowchart illustrating another operation of the control unit 116 when the optical member 211 is disposed on the image sensor 127. The optical member 211 is not disposed on the image sensor 127 until the optimum target position of the image sensor 127 is obtained (S706).

処理が開始されると(S701)、まず、制御部116は、撮像素子127の複数の撮像画素において、撮像素子127の製造時に発生した欠陥画素の有無をチェックした後、Xステージ124及びYステージ119のそれぞれの位置の初期化を行う(S702)。例えば、制御部116は、撮像素子127から出力される各画素値のうち、予め設定される規定値以上の画素値を出力している画素を欠陥画素とする。また、例えば、制御部116は、ステージコントロール部121に制御信号を出力して、Xステージ124を予め設定されるX方向の初期位置に移動させるとともに、Yステージ119を予め設定されるY方向の位置に移動させる。   When the process is started (S701), first, the control unit 116 checks the presence or absence of defective pixels generated during the manufacture of the image sensor 127 in the plurality of image sensors of the image sensor 127, and then the X stage 124 and the Y stage. Each position of 119 is initialized (S702). For example, among the pixel values output from the image sensor 127, the control unit 116 sets a pixel that outputs a pixel value that is equal to or greater than a preset specified value as a defective pixel. In addition, for example, the control unit 116 outputs a control signal to the stage control unit 121 to move the X stage 124 to a preset initial position in the X direction and to move the Y stage 119 in a preset Y direction. Move to position.

次に、制御部116は、画像読み込み部120に撮影指示を出力し、画像読み込み部120から出力される各画素値を記憶部133に記憶する(S703)。   Next, the control unit 116 outputs a shooting instruction to the image reading unit 120 and stores each pixel value output from the image reading unit 120 in the storage unit 133 (S703).

次に、制御部116は、記憶部133に記憶した各画素値により、欠陥画素ブロックを検出して、その欠陥画素ブロックの位置を記憶部133に記憶する(S704)。例えば、制御部116は、ある解析用目標位置に撮像素子127が移動された場合の撮像素子127の全画素値を2値化(例えば、正常な撮像画素を0(ゼロ)、欠陥画素を1)し、その2値化した全画素値に基づいて、全画素においてある1つの欠陥画素を検出すると、その欠陥画素を欠陥画素ブロックの一部とし、さらに、その欠陥画素に隣り合う撮像画素が欠陥画素である場合、その欠陥画素も欠陥画素ブロックの一部とし、この処理を隣り合う撮像画素が欠陥画素でなくなるまで繰り返す。   Next, the control unit 116 detects a defective pixel block from each pixel value stored in the storage unit 133 and stores the position of the defective pixel block in the storage unit 133 (S704). For example, the control unit 116 binarizes all pixel values of the image sensor 127 when the image sensor 127 is moved to a certain analysis target position (for example, 0 (zero) for normal image pixels and 1 for defective pixels). ) And detecting one defective pixel in all pixels based on the binarized all pixel values, the defective pixel is made a part of the defective pixel block, and an imaging pixel adjacent to the defective pixel is If it is a defective pixel, the defective pixel is also made a part of the defective pixel block, and this process is repeated until the adjacent imaging pixel is no longer a defective pixel.

次に、制御部116は、光学部材211の複数種類の配置パターンを取得する(S705)。なお、光学部材211の複数種類の配置パターンは、予め記憶部133に記憶されていてもよいし、オペレータによる操作部111の操作により入力されてもよい。   Next, the control unit 116 acquires a plurality of types of arrangement patterns of the optical member 211 (S705). Note that a plurality of types of arrangement patterns of the optical member 211 may be stored in the storage unit 133 in advance, or may be input by operating the operation unit 111 by an operator.

次に、制御部116は、その光学部材211の複数種類の配置パターンと、記憶部133に記憶されている欠陥画素ブロックの位置とに基づいて、撮像素子127の最適な目標位置を求める(S706)。   Next, the control unit 116 obtains the optimum target position of the image sensor 127 based on the plurality of types of arrangement patterns of the optical member 211 and the position of the defective pixel block stored in the storage unit 133 (S706). ).

次に、制御部116は、その最適な目標位置に撮像素子127を移動させる(S707)。このとき、例えば、制御部116は、1画素ずつ又は所定数の画素ずつ撮像素子127を移動させる。   Next, the control unit 116 moves the image sensor 127 to the optimal target position (S707). At this time, for example, the control unit 116 moves the image sensor 127 pixel by pixel or a predetermined number of pixels.

次に、制御部116は、移動後の撮像素子127を仮固定した後、撮像素子127と光学部材211との間の熱硬化性接着剤を加熱して熱硬化性接着剤を軟化させた後、その熱硬化性接着剤を冷却して熱硬化性接着剤を硬化させることにより、撮像素子127と光学部材211を接着させる(S708)。   Next, the control unit 116 temporarily fixes the moved image sensor 127 and then heats the thermosetting adhesive between the image sensor 127 and the optical member 211 to soften the thermosetting adhesive. Then, by cooling the thermosetting adhesive and curing the thermosetting adhesive, the image sensor 127 and the optical member 211 are bonded (S708).

そして、制御部116は、画像読み込み部120から出力される各画素値に基づいて、撮像素子127の電気的な最終チェックを行って終了する(S709)。   Then, the control unit 116 performs an electrical final check of the image sensor 127 based on each pixel value output from the image reading unit 120 and ends (S709).

次に、図14のS706の動作について説明する。   Next, the operation of S706 in FIG. 14 will be described.

図15は、図14のS706の動作を説明するためのフローチャートを示す図である。   FIG. 15 is a flowchart for explaining the operation of S706 of FIG.

まず、制御部116は、図5のS703で記憶部133に記憶した各画素値を2つの閾値th1,th2(th1<th2)を用いて2値化する(S1002)。例えば、制御部116は、画素値をPとするとき、th1<P<th2の範囲の画素を出力する画素は正常な画素として0(ゼロ)、それ以外の画素は欠陥画素として1とする。   First, the control unit 116 binarizes each pixel value stored in the storage unit 133 in S703 of FIG. 5 using two threshold values th1 and th2 (th1 <th2) (S1002). For example, when the pixel value is P, the control unit 116 sets 0 (zero) as a normal pixel and 1 as a defective pixel for pixels that output pixels in the range of th1 <P <th2.

次に、制御部116は、2値化した各画素値からなる撮影画像の位置と光学部材211の位置をそれぞれ予め決められている初期位置に設定する(S1003)。   Next, the control unit 116 sets the position of the captured image including the binarized pixel values and the position of the optical member 211 to predetermined initial positions (S1003).

次に、制御部116は、撮像画像と光学部材211との互いの位置関係に基づいて、再度撮像画像を2値化する(S1004)。例えば、制御部116は、初期位置に設定された撮影画像を構成する各画素値において、初期位置に設定された光学部材211と重ならない画素値を正常な画素として0(ゼロ)、初期位置に設定された光学部材211と重なる画素値を欠陥画素として1とする。   Next, the control unit 116 binarizes the captured image again based on the positional relationship between the captured image and the optical member 211 (S1004). For example, the control unit 116 sets the pixel value that does not overlap the optical member 211 set at the initial position to 0 (zero) as a normal pixel and sets the pixel value that forms the captured image set at the initial position to the initial position. A pixel value overlapping the set optical member 211 is set to 1 as a defective pixel.

次に、制御部116は、補間可能評価値を初期化する(S1005)。   Next, the control unit 116 initializes an interpolable evaluation value (S1005).

次に、制御部116は、S1004で2値化した各画素値を用いて、欠陥画素ブロックを検出する(S1006)。例えば、制御部116は、ある解析用目標位置に撮像素子127が移動された場合の撮像素子127の全画素において、1つの欠陥画素を検出すると、その欠陥画素を欠陥画素ブロックの一部とし、さらに、その欠陥画素に隣り合う撮像画素が欠陥画素である場合、その欠陥画素も欠陥画素ブロックの一部とし、この処理を隣り合う撮像画素が欠陥画素でなくなるまで繰り返す。   Next, the control unit 116 detects a defective pixel block using each pixel value binarized in S1004 (S1006). For example, when the control unit 116 detects one defective pixel in all the pixels of the image sensor 127 when the image sensor 127 is moved to a certain analysis target position, the control unit 116 sets the defective pixel as a part of the defective pixel block, Furthermore, when the imaging pixel adjacent to the defective pixel is a defective pixel, the defective pixel is also a part of the defective pixel block, and this process is repeated until the adjacent imaging pixel is no longer a defective pixel.

次に、制御部116は、検出した欠陥画素ブロック内に補間不可能な撮像画素があるか否かを判断する(S1007)。例えば、制御部116は、欠陥画素ブロック内のある撮像画素を補間するために必要な周囲の複数の撮像画素がすべて欠陥画素や焦点検出用画素であった場合、その撮像画素を補間不可能な欠陥画素であると判断する。また、制御部116は、その撮像画素を補間するために必要な周囲の複数の撮像画素がすべて欠陥画素や焦点検出用画素でない場合、その欠陥画素を補間可能な欠陥画素であると判断する。   Next, the control unit 116 determines whether or not there is an imaging pixel that cannot be interpolated in the detected defective pixel block (S1007). For example, the control unit 116 cannot interpolate an imaging pixel when a plurality of surrounding imaging pixels necessary to interpolate a certain imaging pixel in the defective pixel block are all defective pixels or focus detection pixels. Judged as a defective pixel. The control unit 116 determines that the defective pixel is a defective pixel that can be interpolated when all the plurality of surrounding imaging pixels necessary for interpolating the imaging pixel are not defective pixels or focus detection pixels.

検出した欠陥画素ブロック内に補間不可能な欠陥画素があると判断した場合(S1007がYes)、制御部116は、補間可能評価値をカウントアップして(S1008)、ある解析用目標位置に撮像素子127が移動された場合の撮影画像の全画素において、欠陥画素ブロックをすべて検出したか否かを判断する(S1009)。   If it is determined that there is a defective pixel that cannot be interpolated in the detected defective pixel block (Yes in S1007), the control unit 116 counts up the interpolation possible evaluation value (S1008) and captures an image at a certain target position for analysis. It is determined whether or not all defective pixel blocks have been detected in all the pixels of the captured image when the element 127 is moved (S1009).

欠陥画素ブロックをすべて検出していないと判断した場合(S1009がNo)、制御部116は、S1006に戻り、次の欠陥画素ブロックを検出する。   When determining that all defective pixel blocks have not been detected (No in S1009), the control unit 116 returns to S1006 and detects the next defective pixel block.

一方、欠陥画素ブロックをすべて検出したと判断した場合(S1009がYes)制御部116は、補間可能評価値を記憶部133に記憶する(S1010)。   On the other hand, if it is determined that all defective pixel blocks have been detected (Yes in S1009), the control unit 116 stores the interpolation possible evaluation value in the storage unit 133 (S1010).

次に、制御部116は、予め設定される複数の解析用目標位置のうちの次の解析用目標位置に撮像素子127を移動させた場合の2値化された撮影画像を求める(S1011)。   Next, the control unit 116 obtains a binarized captured image when the image sensor 127 is moved to the next analysis target position among a plurality of preset analysis target positions (S1011).

次に、制御部116は、すべての解析用目標位置に撮像素子127を移動させて2値化された撮影画像を求めたか否かを判断する(S1012)。   Next, the control unit 116 determines whether or not the binarized captured image is obtained by moving the image sensor 127 to all analysis target positions (S1012).

すべての解析用目標位置に撮像素子127を移動させて2値化された撮影画像を求めていないと判断した場合(S1012がNo)、制御部116は、S1004に戻る。   When determining that the binarized captured image is not obtained by moving the image sensor 127 to all analysis target positions (No in S1012), the control unit 116 returns to S1004.

一方、すべての解析用目標位置に撮像素子127を移動させて2値化された撮影画像を求めたと判断した場合(S1012がYes)、制御部116は、記憶部133に記憶されている、解析用目標位置毎の解析結果に基づいて、最適な目標位置を求める(S1013)。例えば、制御部116は、記憶部133に記憶される、解析用目標位置毎に記憶される補間可能評価値(上記解析用目標位置毎の解析結果)のうち最も小さい補間可能評価値に対応する解析用目標位置を最適な目標位置とする。   On the other hand, if it is determined that the binarized captured image is obtained by moving the image sensor 127 to all analysis target positions (Yes in S1012), the control unit 116 stores the analysis stored in the storage unit 133. An optimum target position is obtained based on the analysis result for each target position (S1013). For example, the control unit 116 corresponds to the smallest interpolable evaluation value among the interpolable evaluation values stored for each analysis target position (the analysis result for each analysis target position) stored in the storage unit 133. The target position for analysis is set as the optimal target position.

そして、制御部116は、図14のS707に進む。   Then, the control unit 116 proceeds to S707 in FIG.

このように、焦点検出用画素上に光学部材211が配置されていると仮定(シミュレーション)した状態において、欠陥画素又は焦点検出用画素によって出力を補間することができない撮像画素ブロックの数を求め、その数が最も少ないときの光学部材211の配置パターンとなるように、撮像素子127を移動させるようにしてもよい。   In this way, in the state assumed (simulated) that the optical member 211 is disposed on the focus detection pixel, the number of imaging pixel blocks whose output cannot be interpolated by the defective pixel or the focus detection pixel is obtained. The imaging element 127 may be moved so that the arrangement pattern of the optical members 211 when the number is the smallest is obtained.

このように構成しても、出力を補間することができなくなる撮像画素の増加を抑えることができるため、撮影画像の画質が低下してしまうことを抑制することができる。   Even if comprised in this way, since the increase in the imaging pixel which cannot interpolate an output can be suppressed, it can suppress that the image quality of a picked-up image falls.

なお、上記実施形態では、欠陥画素ブロックに補間不可能な撮像素子が含まれている場合に、補間可能評価値をカウントアップする構成であるが、全撮像画素における補間不可能な撮像素子の数を補間可能評価値としてもよい。   In the above embodiment, when the defective pixel block includes an image element that cannot be interpolated, the interpolation evaluation value is counted up. However, the number of image elements that cannot be interpolated in all the image pixels. May be set as an interpolable evaluation value.

111 操作部
112 表示部
113 装置制御部
116 制御部
117 光源
119 Yステージ
120 画像読み込み部
121 ステージコントロール部
122 電源ドライバ
123 Yステージモータ
124 Xステージ
125 電源ドライバ
126 Xステージモータ
127 撮像素子
128 欠陥画素
129 焦点検出用画素
130 欠陥画素検出部
131 解析部
132 指示出力部
133 記憶部
211 光学部材
212 遮光マスク
111 Operation Unit 112 Display Unit 113 Device Control Unit 116 Control Unit 117 Light Source 119 Y Stage 120 Image Reading Unit 121 Stage Control Unit 122 Power Driver 123 Y Stage Motor 124 X Stage 125 Power Driver 126 X Stage Motor 127 Image Sensor 128 Defective Pixel 129 Focus detection pixel 130 Defective pixel detection unit 131 Analysis unit 132 Instruction output unit 133 Storage unit 211 Optical member 212 Shading mask

Claims (4)

撮像素子において二次元状に配置された複数の撮像画素の一部の焦点検出用画素上に光学部材を配置する撮像素子製造装置であって、
前記複数の撮像画素のうち、欠陥画素を検出する欠陥画素検出手段と、
前記光学部材の複数の配置パターンのうち、前記欠陥画素又は前記焦点検出用画素によって出力を補間することができない前記撮像画素の数が最も少ない配置パターンを求める解析手段と、
前記解析手段により求められた配置パターンで前記光学部材が配置されるように、前記光学部材に対する前記撮像素子の位置を調整する位置調整手段と、
を備える撮像素子製造装置。
An imaging device manufacturing apparatus that arranges an optical member on a part of focus detection pixels of a plurality of imaging pixels arranged two-dimensionally in the imaging device,
Defective pixel detection means for detecting defective pixels among the plurality of imaging pixels;
An analyzing means for obtaining an arrangement pattern having the smallest number of the imaging pixels, the output of which cannot be interpolated by the defective pixel or the focus detection pixel among the plurality of arrangement patterns of the optical member;
Position adjusting means for adjusting the position of the imaging element with respect to the optical member so that the optical member is arranged in an arrangement pattern obtained by the analyzing means;
An imaging device manufacturing apparatus comprising:
請求項1に記載の撮像素子製造装置であって、
前記解析手段は、前記焦点検出用画素上に前記光学部材が配置されている状態において、前記欠陥画素又は前記焦点検出用画素によって出力を補間することができない前記撮像画素の数を求める
ことを特徴とする撮像素子製造装置。
The imaging device manufacturing apparatus according to claim 1,
The analysis unit obtains the number of the imaging pixels whose output cannot be interpolated by the defective pixel or the focus detection pixel in a state where the optical member is arranged on the focus detection pixel. An imaging device manufacturing apparatus.
請求項1に記載の撮像素子製造装置であって、
前記解析手段は、前記焦点検出用画素上に前記光学部材が配置されていると仮定した状態において、前記欠陥画素又は前記焦点検出用画素によって出力を補間することができない前記撮像画素の数を求める
ことを特徴とする撮像素子製造装置。
The imaging device manufacturing apparatus according to claim 1,
The analysis unit obtains the number of imaging pixels whose output cannot be interpolated by the defective pixel or the focus detection pixel in a state where the optical member is assumed to be disposed on the focus detection pixel. An image pickup device manufacturing apparatus.
請求項1に記載の撮像素子製造装置であって、
前記解析手段は、前記欠陥画素又は前記焦点検出用画素によって出力を補間することができない前記撮像画素の数が最も少ない配置パターンを求める際、前記撮像素子を1画素ずつ移動させる
ことを特徴とする撮像素子製造装置。
The imaging device manufacturing apparatus according to claim 1,
The analysis unit moves the image sensor one pixel at a time when obtaining an arrangement pattern with the smallest number of the image pickup pixels whose output cannot be interpolated by the defective pixel or the focus detection pixel. Imaging device manufacturing apparatus.
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