JP2012147175A - Acoustic wave demultiplexer - Google Patents

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Yuichi Takamine
裕一 高峰
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an acoustic wave demultiplexer that compactly suppresses IMD generation.SOLUTION: An acoustic wave demultiplexer 1 includes: a transmission filter section 20 connected between an antenna terminal 10 and a transmission side signal terminal 11; and a reception filter section 13 connected between the antenna terminal 10 and reception side signal terminals 12a, 12b. The transmission filter 20 has: a series arm 21 connecting the antenna terminal 10 and the transmission side signal terminal 11; a plurality of series arm resonators S1-S4 connected in series on the series arm 21; a plurality of parallel arms 22a-22c connecting the series arm 21 to a ground potential; and parallel arm resonators P1-P3 arranged on the plurality of parallel arms 22a-22c, respectively. The first parallel arm resonator P1 of the plurality of parallel arm resonators P1-P3 which is nearest to the antenna terminal 10 has a higher resonant frequency than the other parallel arm resonators P2, P3.

Description

本発明は、弾性波分波器に関する。特に、本発明は、送信フィルタ部と受信フィルタ部とを有し、送信フィルタ部がラダー型フィルタ部により構成されている弾性波分波器に関する。   The present invention relates to an elastic wave duplexer. In particular, the present invention relates to an acoustic wave duplexer that includes a transmission filter unit and a reception filter unit, and the transmission filter unit includes a ladder-type filter unit.

従来、例えば携帯電話機などの通信機器に、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を利用した弾性波分波器などが用いられるようになってきている。この弾性波分波器は、非線形なデバイスである。このため、弾性波分波器には、相互変調歪み(IMD:Inter Moduration Distortion)が発生しやすいという問題がある。   2. Description of the Related Art Conventionally, for example, elastic wave demultiplexers using elastic waves such as surface acoustic waves and boundary acoustic waves have been used for communication devices such as mobile phones. This elastic wave duplexer is a non-linear device. For this reason, there exists a problem that an intermodulation distortion (IMD: Inter Modulation Distortion) is easy to generate in an elastic wave splitter.

近年、通信の高速化を実現するために占有帯域幅を広げることが携帯電話システムに求められている。しかしながら、占有帯域幅を広くするとノイズレベルが高くなる傾向にある。このため、弾性波分波器においてIMDが発生すると、受信信号の感度が劣化してしまうという問題がある。このことから、従来、フィルタ装置においてIMDの発生を抑制する方策が種々提案されている。   In recent years, mobile phone systems are required to widen the occupied bandwidth in order to realize high-speed communication. However, increasing the occupied bandwidth tends to increase the noise level. For this reason, when IMD occurs in the elastic wave demultiplexer, there is a problem that the sensitivity of the received signal deteriorates. For this reason, conventionally, various measures for suppressing the occurrence of IMD in filter devices have been proposed.

例えば下記の特許文献1では、ラダー型の弾性波分波器において、アンテナ端子に最も近い直列腕共振子または並列腕共振子を、静電容量を変えずに分割することにより、面積を大きくすることが提案されている。このようにすることで、アンテナ端子に最も近い直列腕共振子または並列腕共振子の単位面積あたりの消費電力を低くできる。従って、IMDの発生を抑制することができる。   For example, in Patent Document 1 below, in a ladder-type elastic wave duplexer, the area is increased by dividing the series arm resonator or parallel arm resonator closest to the antenna terminal without changing the capacitance. It has been proposed. By doing so, the power consumption per unit area of the series arm resonator or the parallel arm resonator closest to the antenna terminal can be reduced. Therefore, occurrence of IMD can be suppressed.

特開2007−074698号公報JP 2007-074698 A

しかしながら、特許文献1に記載のように、直列腕共振子や並列腕共振子を分割すると、直列腕共振子や並列腕共振子が大型化してしまう。従って、弾性波分波器の小型化が困難となるという問題がある。   However, as described in Patent Document 1, when the series arm resonator and the parallel arm resonator are divided, the series arm resonator and the parallel arm resonator are increased in size. Accordingly, there is a problem that it is difficult to reduce the size of the elastic wave duplexer.

本発明は、斯かる点に鑑みて成されたものであり、その目的は、小型でありつつ、IMDの発生が抑制された弾性波分波器を提供することにある。   The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide an elastic wave duplexer that is small in size and in which generation of IMD is suppressed.

本発明に係る弾性波分波器は、アンテナ端子と、送信側信号端子及び受信側信号端子と、送信フィルタ部と、受信フィルタ部とを備えている。送信フィルタ部は、アンテナ端子と送信側信号端子との間に接続されている。受信フィルタ部は、アンテナ端子と受信側信号端子との間に接続されている。送信フィルタ部は、直列腕と、複数の直列腕共振子と、複数の並列腕と、並列腕共振子とを有する。直列腕は、アンテナ端子と送信側信号端子とを接続している。複数の直列腕共振子は、直列腕において直列に接続されている。複数の並列腕のそれぞれは、直列腕とグラウンド電位とを接続している。並列腕共振子は、複数の並列腕のそれぞれに設けられている。複数の並列腕共振子のうち、アンテナ端子に最も近い第1の並列腕共振子の共振周波数が、他の並列腕共振子の共振周波数よりも高い。   The elastic wave duplexer according to the present invention includes an antenna terminal, a transmission-side signal terminal and a reception-side signal terminal, a transmission filter unit, and a reception filter unit. The transmission filter unit is connected between the antenna terminal and the transmission-side signal terminal. The reception filter unit is connected between the antenna terminal and the reception side signal terminal. The transmission filter unit includes a series arm, a plurality of series arm resonators, a plurality of parallel arms, and a parallel arm resonator. The serial arm connects the antenna terminal and the transmission side signal terminal. The plurality of series arm resonators are connected in series in the series arm. Each of the plurality of parallel arms connects the series arm and the ground potential. The parallel arm resonator is provided in each of the plurality of parallel arms. Of the plurality of parallel arm resonators, the resonance frequency of the first parallel arm resonator closest to the antenna terminal is higher than the resonance frequency of the other parallel arm resonators.

なお、本発明において、「近い」及び「遠い」は、物理的な距離の短長を示すものではなく、電気回路的な距離の短長を示すものである。従って、「アンテナ端子に最も近い」とは、電気回路的に最も近いことを意味する。   In the present invention, “near” and “far” do not indicate a short physical distance but a short electrical distance. Therefore, “closest to the antenna terminal” means closest to the electric circuit.

本発明に係る弾性波分波器のある特定の局面では、複数の並列腕共振子のそれぞれは、圧電基板と、圧電基板の上に設けられたIDT電極とを有する。第1の並列腕共振子のIDT電極は、複数の並列腕共振子の第1の並列腕共振子以外の並列腕共振子のそれぞれのIDT電極よりも、電極指のピッチが狭いか、デューティー比が小さいか、または電極指のピッチが狭く且つデューティー比が小さい。この場合、第1の並列腕共振子を大型化させることなく、第1の並列腕共振子の共振周波数を他の並列腕共振子の共振周波数よりも高くできる。従って、小型化とIMDの発生の抑制との両方を図ることができる。   In a specific aspect of the elastic wave duplexer according to the present invention, each of the plurality of parallel arm resonators includes a piezoelectric substrate and an IDT electrode provided on the piezoelectric substrate. The IDT electrode of the first parallel arm resonator has a pitch of electrode fingers smaller than each IDT electrode of the parallel arm resonators other than the first parallel arm resonator of the plurality of parallel arm resonators, or a duty ratio Is small, or the pitch of the electrode fingers is narrow and the duty ratio is small. In this case, the resonance frequency of the first parallel arm resonator can be made higher than the resonance frequencies of the other parallel arm resonators without increasing the size of the first parallel arm resonator. Therefore, both downsizing and suppression of occurrence of IMD can be achieved.

本発明に係る弾性波分波器の他の特定の局面では、複数の並列腕共振子のそれぞれは、圧電基板と、圧電基板の上に設けられたIDT電極とを有する。第1の並列腕共振子のIDT電極には、間引き重み付けが施されている。この構成では、弾性波分波器を大型化することなく、IMDの発生をより効果的に抑制することができる。   In another specific aspect of the elastic wave duplexer according to the present invention, each of the plurality of parallel arm resonators includes a piezoelectric substrate and an IDT electrode provided on the piezoelectric substrate. Thinning weighting is applied to the IDT electrodes of the first parallel arm resonator. With this configuration, it is possible to more effectively suppress the occurrence of IMD without increasing the size of the elastic wave duplexer.

本発明に係る弾性波分波器の別の特定の局面では、第1の並列腕共振子には、キャパシタが並列に接続されている。この構成では、弾性波分波器を大型化することなく、IMDの発生をより効果的に抑制することができる。   In another specific aspect of the elastic wave duplexer according to the present invention, a capacitor is connected in parallel to the first parallel arm resonator. With this configuration, it is possible to more effectively suppress the occurrence of IMD without increasing the size of the elastic wave duplexer.

本発明に係る弾性波分波器のさらに他の特定の局面では、送信フィルタ部の通過帯域をfTx1以上fTx2以下とし、受信フィルタ部の通過帯域をfRx1以上fRx2以下とした場合に、送信フィルタ部の通過帯域低域側近傍の減衰域が、2fTx1−fRx1と2fTx2−fRx2との間の周波数帯内にある。 In still another specific aspect of the elastic wave branching filter according to the present invention, when the transmission filter unit has a pass band of f Tx1 or more and f Tx2 or less, and the reception filter unit has a pass band of f Rx1 or more and f Rx2 or less. The attenuation band in the vicinity of the low band side of the pass band of the transmission filter section is in the frequency band between 2f Tx1 -f Rx1 and 2f Tx2 -f Rx2 .

本発明に係る弾性波分波器のさらに別の特定の局面では、複数の直列腕共振子のうちアンテナ端子に最も近い直列腕共振子と、第1の並列腕共振子とのそれぞれが、ひとつの弾性波共振子により構成されている。   In still another specific aspect of the elastic wave duplexer according to the present invention, each of the series arm resonators closest to the antenna terminal among the plurality of series arm resonators and the first parallel arm resonator is one. It is comprised by the elastic wave resonator of this.

本発明によれば、小型でありつつ、IMDの発生が抑制された弾性波分波器を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an elastic wave duplexer that is small and suppresses the occurrence of IMD.

第1の実施形態に係る弾性波デュプレクサの略図的回路図である。1 is a schematic circuit diagram of an elastic wave duplexer according to a first embodiment. 弾性表面波共振子の略図的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a surface acoustic wave resonator. 弾性境界波共振子の略図的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a boundary acoustic wave resonator. 第1の比較例に係る弾性波デュプレクサの略図的回路図である。It is a schematic circuit diagram of an elastic wave duplexer according to a first comparative example. 第1の実施形態に係る第1の並列腕共振子の反射特性(実線)と、第1の比較例に係る第1の並列腕共振子の反射特性(破線)とを表すグラフである。It is a graph showing the reflection characteristic (solid line) of the 1st parallel arm resonator which concerns on 1st Embodiment, and the reflection characteristic (dashed line) of the 1st parallel arm resonator which concerns on a 1st comparative example. 第1の実施形態に係る弾性波デュプレクサのIMD(実線)と、第1の比較例に係る弾性波デュプレクサのIMD(破線)とを表すグラフである。It is a graph showing IMD (solid line) of the elastic wave duplexer which concerns on 1st Embodiment, and IMD (broken line) of the elastic wave duplexer which concerns on a 1st comparative example. 第1の実施形態及び第1の比較例における、送信側信号端子からアンテナ端子への通過特性を表すグラフである。It is a graph showing the passage characteristic from a transmission side signal terminal to an antenna terminal in a 1st embodiment and the 1st comparative example. 第1の実施形態及び第1の比較例における、アンテナ端子から受信側信号端子への通過特性を表すグラフである。It is a graph showing the passage characteristic from an antenna terminal to a receiving side signal terminal in a 1st embodiment and the 1st comparative example. 第1の実施形態及び第1の比較例における、送信側信号端子から受信側信号端子へのアイソレーション特性を表すグラフである。It is a graph showing the isolation characteristic from a transmission side signal terminal to a reception side signal terminal in 1st Embodiment and a 1st comparative example. 第2の実施形態における第1の並列腕共振子のIDT電極の略図的平面図である。It is a schematic plan view of the IDT electrode of the first parallel arm resonator according to the second embodiment. 第3の実施形態における第1〜第3の並列腕共振子のそれぞれの反射特性を表すグラフである。It is a graph showing each reflection characteristic of the 1st-3rd parallel arm resonator in 3rd Embodiment. 第2の比較例における第1〜第3の並列腕共振子のそれぞれの反射特性を表すグラフである。It is a graph showing each reflection characteristic of the 1st-3rd parallel arm resonator in a 2nd comparative example. 第3の実施形態に係る弾性波デュプレクサのIMD(実線)と、第2の比較例に係る弾性波デュプレクサのIMD(破線)とを表すグラフである。It is a graph showing IMD (solid line) of the elastic wave duplexer which concerns on 3rd Embodiment, and IMD (broken line) of the elastic wave duplexer which concerns on a 2nd comparative example. 第3の実施形態及び第2の比較例における、送信側信号端子からアンテナ端子への通過特性を表すグラフである。It is a graph showing the passage characteristic from a transmission side signal terminal to an antenna terminal in a 3rd embodiment and the 2nd comparative example. 第3の実施形態及び第2の比較例における、アンテナ端子から受信側信号端子への通過特性を表すグラフである。It is a graph showing the passage characteristic from an antenna terminal to a receiving side signal terminal in a 3rd embodiment and the 2nd comparative example. 第3の実施形態及び第2の比較例における、送信側信号端子から受信側信号端子へのアイソレーション特性を表すグラフである。It is a graph showing the isolation characteristic from a transmission side signal terminal to a reception side signal terminal in 3rd Embodiment and a 2nd comparative example.

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図1に示す弾性波デュプレクサ1を例に挙げて説明する。但し、弾性波デュプレクサ1は、単なる例示である。本発明は、弾性波デュプレクサ1に何ら限定されない。本発明に係る弾性波分波器は、例えば、弾性波トリプレクサであってもよい。   Hereinafter, a preferred embodiment in which the present invention is implemented will be described by taking the elastic wave duplexer 1 shown in FIG. 1 as an example. However, the elastic wave duplexer 1 is merely an example. The present invention is not limited to the elastic wave duplexer 1 at all. The elastic wave duplexer according to the present invention may be, for example, an elastic wave triplexer.

図1は、本実施形態の弾性波デュプレクサ1の略図的回路図である。図1に示す弾性波デュプレクサ1は、分波器の一種である。弾性波デュプレクサ1は、詳細には、UMTS−BAND8用のデュプレクサである。このため、弾性波デュプレクサ1の送信周波数帯は、880MHz〜915MHzであり、受信周波数帯は、925MHz〜960MHzである。   FIG. 1 is a schematic circuit diagram of an elastic wave duplexer 1 of the present embodiment. The elastic wave duplexer 1 shown in FIG. 1 is a kind of duplexer. Specifically, the elastic wave duplexer 1 is a duplexer for UMTS-BAND8. For this reason, the transmission frequency band of the elastic wave duplexer 1 is 880 MHz to 915 MHz, and the reception frequency band is 925 MHz to 960 MHz.

弾性波デュプレクサ1は、アンテナに接続されるアンテナ端子10と、送信側信号端子11と、第1及び第2の受信側信号端子12a、12bとを有する。アンテナ端子10と第1及び第2の受信側信号端子12a、12bとの間には、受信フィルタ部13が接続されている。一方、アンテナ端子10と送信側信号端子11との間には、送信フィルタ部20が接続されている。送信フィルタ部20と受信フィルタ部13との間の接続点とアンテナ端子10との間の接続点と、グラウンド電位との間には、インピーダンス整合回路としてのインダクタL1が接続されている。   The elastic wave duplexer 1 includes an antenna terminal 10 connected to an antenna, a transmission-side signal terminal 11, and first and second reception-side signal terminals 12a and 12b. A reception filter section 13 is connected between the antenna terminal 10 and the first and second reception signal terminals 12a and 12b. On the other hand, a transmission filter unit 20 is connected between the antenna terminal 10 and the transmission-side signal terminal 11. An inductor L1 as an impedance matching circuit is connected between a connection point between the transmission filter unit 20 and the reception filter unit 13, a connection point between the antenna terminal 10 and the ground potential.

本実施形態においては、受信フィルタ部13は、縦結合共振子型弾性波フィルタ部により構成されている。受信フィルタ部13は、平衡−不平衡変換機能を有する所謂バランス型のフィルタ部である。従って、第1及び第2の受信側信号端子12a、12bからは平衡信号が出力される。なお、受信フィルタ部13は、例えば、弾性表面波を利用するものであってもよいし、弾性境界波を利用するものであってもよい。   In the present embodiment, the reception filter unit 13 is configured by a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit. The reception filter unit 13 is a so-called balanced filter unit having a balanced-unbalanced conversion function. Accordingly, balanced signals are output from the first and second receiving signal terminals 12a and 12b. Note that the reception filter unit 13 may use, for example, a surface acoustic wave or a boundary acoustic wave.

送信フィルタ部20は、所謂ラダー型の弾性波フィルタ部である。送信フィルタ部20は、直列腕21を有する。直列腕21においては、複数の直列腕共振子S1〜S4が直列に接続されている。本実施形態においては、複数の直列腕共振子S1〜S4のうち、直列腕共振子S2,S3は、互いに直列に接続されている2つの弾性波共振子により構成されている。アンテナ端子10に最も近い直列腕共振子S1は、ひとつの弾性波共振子により構成されている。また、本実施形態では、直列腕共振子S2には、キャパシタC2が並列に接続されている。   The transmission filter unit 20 is a so-called ladder-type elastic wave filter unit. The transmission filter unit 20 has a series arm 21. In the series arm 21, a plurality of series arm resonators S1 to S4 are connected in series. In the present embodiment, among the plurality of series arm resonators S1 to S4, the series arm resonators S2 and S3 are configured by two elastic wave resonators connected in series with each other. The series arm resonator S1 closest to the antenna terminal 10 is composed of one elastic wave resonator. In the present embodiment, the capacitor C2 is connected in parallel to the series arm resonator S2.

送信フィルタ部20には、複数の並列腕22a〜22cが設けられている。複数の並列腕22a〜22cのそれぞれは、直列腕21とグラウンド電位とを接続している。複数の並列腕22a〜22cのそれぞれには、並列腕共振子P1〜P3が設けられている。並列腕22aと並列腕22bとの間の接続点とグラウンド電位との間には、インダクタL2が接続されている。一方、並列腕共振子P3とグラウンド電位との間には、インダクタL3が接続されている。   The transmission filter unit 20 is provided with a plurality of parallel arms 22a to 22c. Each of the plurality of parallel arms 22a to 22c connects the serial arm 21 and the ground potential. Parallel arm resonators P1 to P3 are provided in each of the plurality of parallel arms 22a to 22c. An inductor L2 is connected between the connection point between the parallel arm 22a and the parallel arm 22b and the ground potential. On the other hand, an inductor L3 is connected between the parallel arm resonator P3 and the ground potential.

複数の並列腕共振子P1〜P3及び複数の直列腕共振子S1〜S4のそれぞれを構成している弾性波共振子は、図2に示す弾性表面波共振子30または図3に示す弾性境界波共振子40により構成されている。   The elastic wave resonators constituting each of the plurality of parallel arm resonators P1 to P3 and the plurality of series arm resonators S1 to S4 are the surface acoustic wave resonator 30 shown in FIG. 2 or the boundary acoustic wave shown in FIG. The resonator 40 is configured.

弾性表面波共振子30は、圧電基板31と、圧電基板31の上に設けられたIDT電極32とを備えている。弾性表面波共振子30は、圧電基板31の上にIDT電極32を覆うように設けられた誘電体層をさらに備えていてもよい。この誘電体層は、例えば、酸化ケイ素や窒化ケイ素により形成することができる。   The surface acoustic wave resonator 30 includes a piezoelectric substrate 31 and an IDT electrode 32 provided on the piezoelectric substrate 31. The surface acoustic wave resonator 30 may further include a dielectric layer provided on the piezoelectric substrate 31 so as to cover the IDT electrode 32. This dielectric layer can be formed of, for example, silicon oxide or silicon nitride.

弾性境界波共振子40は、圧電基板41と、圧電基板41の上に設けられたIDT電極42と、圧電基板41の上にIDT電極42を覆うように設けられた第1の誘電体層43と、第1の誘電体層43の上に設けられており、第1の誘電体層43よりも速い音速を有する第2の誘電体層44とを備えている。なお、第2の誘電体層44は必須ではなく、弾性境界波共振子は、圧電基板、IDT電極及び第1の誘電体層のみにより構成されていてもよい。   The boundary acoustic wave resonator 40 includes a piezoelectric substrate 41, an IDT electrode 42 provided on the piezoelectric substrate 41, and a first dielectric layer 43 provided on the piezoelectric substrate 41 so as to cover the IDT electrode 42. And a second dielectric layer 44 that is provided on the first dielectric layer 43 and has a sound velocity faster than that of the first dielectric layer 43. Note that the second dielectric layer 44 is not essential, and the boundary acoustic wave resonator may be composed of only the piezoelectric substrate, the IDT electrode, and the first dielectric layer.

圧電基板31,41は、例えば、LiNbO基板、LiTaO基板、水晶基板などにより構成することができる。IDT電極32,42は、例えば、Al,Pt,Au,Ag,Cu,Ni,Ti,Cr及びPdからなる群から選ばれた金属、もしくは、Al,Pt,Au,Ag,Cu,Ni,Ti,Cr及びPdからなる群から選ばれた一種以上の金属を含む合金により形成することができる。また、IDT電極32,42は、例えば、上記金属や合金からなる複数の導電層の積層体により構成されていてもよい。第1の誘電体層43は、例えば、酸化ケイ素により形成することができる。第2の誘電体層44は、例えば、窒化ケイ素により形成することができる。 The piezoelectric substrates 31 and 41 can be composed of, for example, a LiNbO 3 substrate, a LiTaO 3 substrate, a quartz substrate, or the like. The IDT electrodes 32 and 42 are, for example, a metal selected from the group consisting of Al, Pt, Au, Ag, Cu, Ni, Ti, Cr, and Pd, or Al, Pt, Au, Ag, Cu, Ni, and Ti. , Cr and Pd can be used to form an alloy containing one or more metals selected from the group consisting of Cr and Pd. Further, the IDT electrodes 32 and 42 may be constituted by a laminated body of a plurality of conductive layers made of the above metals or alloys, for example. The first dielectric layer 43 can be formed of, for example, silicon oxide. The second dielectric layer 44 can be formed of, for example, silicon nitride.

本実施形態においては、複数の並列腕共振子P1〜P3のうち、アンテナ端子10に最も近い第1の並列腕共振子P1は、ひとつの弾性波共振子により構成されている。第1の並列腕共振子P1には、キャパシタC1(静電容量:0.30pF)が並列に接続されている。一方、その他の並列腕共振子P2,P3には、キャパシタは、並列に接続されていない。これにより、第1の並列腕共振子P1の共振周波数が、他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くされている。具体的には、本実施形態では、第1の並列腕共振子P1の共振周波数は、867.2MHzである。第2の並列腕共振子P2の共振周波数は、866.5MHzである。第3の並列腕共振子P3の共振周波数は、865.0MHzである。   In the present embodiment, among the plurality of parallel arm resonators P1 to P3, the first parallel arm resonator P1 closest to the antenna terminal 10 is configured by one elastic wave resonator. A capacitor C1 (capacitance: 0.30 pF) is connected in parallel to the first parallel arm resonator P1. On the other hand, capacitors are not connected in parallel to the other parallel arm resonators P2 and P3. Thereby, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is set higher than the resonance frequencies of the other parallel arm resonators P2 and P3. Specifically, in the present embodiment, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is 867.2 MHz. The resonance frequency of the second parallel arm resonator P2 is 866.5 MHz. The resonance frequency of the third parallel arm resonator P3 is 865.0 MHz.

ところで、前述したように、弾性波分波器は非線形なデバイスであるため、IMDが発生しやすい。例えば、アンテナから送信信号の2倍の周波数と受信信号の周波数との差と一致する周波数の信号が入力されると、送信信号との相互変調により、受信信号と等しい周波数のIMDが発生する。UMTS−BAND8用の弾性波デュプレクサの場合、送信フィルタ部の通過帯域をfTx1以上fTx2以下とし、受信フィルタ部の通過帯域をfRx1以上fRx2以下としたときの2fTx1−fRx1と2fTx2−fRx2との間の周波数帯(以下、「2Tx−Rx帯」とする。)は、835MHz〜870MHzとなる。この周波数帯に妨害波が入力され、弾性波デュプレクサ内で妨害波による消費電力が大きくなると、受信フィルタ部の通過帯域にIMDが発生する。 As described above, the elastic wave duplexer is a non-linear device, and therefore IMD is likely to occur. For example, when a signal having a frequency that matches the difference between the frequency twice the transmission signal and the frequency of the reception signal is input from the antenna, an IMD having the same frequency as that of the reception signal is generated by intermodulation with the transmission signal. In the case of an elastic wave duplexer for UMTS-BAND8, 2f Tx1 −f Rx1 and 2f when the pass band of the transmission filter unit is f Tx1 or more and f Tx2 or less and the pass band of the reception filter unit is f Rx1 or more and f Rx2 or less. The frequency band between Tx2- f Rx2 (hereinafter referred to as “2Tx-Rx band”) is 835 MHz to 870 MHz. When an interference wave is input to this frequency band and power consumption due to the interference wave increases in the elastic wave duplexer, an IMD is generated in the pass band of the reception filter unit.

本実施形態においては、第1〜第3の並列腕共振子P1〜P3の共振周波数が、2Tx−Rx帯(835MHz〜870MHz)内にあり、送信フィルタ部20の通過帯域近傍の減衰域を形成している。そのため、第1〜第3の並列腕共振子P1〜P3で妨害波による消費電力が大きくなると、大きなIMDが発生する虞がある。特に、並列腕共振子P1は最もアンテナ端子10に近いため、妨害波の消費電力が大きくなる。他の並列腕共振子P2、P3でIMDが発生しても、受信フィルタ部13に伝送するまでに大きく減衰するが、並列腕共振子P1は受信フィルタ部13に近いため、それほど減衰することなく、受信フィルタ部13に伝送してしまう。   In the present embodiment, the resonance frequencies of the first to third parallel arm resonators P1 to P3 are in the 2Tx-Rx band (835 MHz to 870 MHz), and form an attenuation band near the pass band of the transmission filter unit 20. is doing. For this reason, if the power consumption due to the interference wave increases in the first to third parallel arm resonators P1 to P3, a large IMD may occur. In particular, since the parallel arm resonator P1 is closest to the antenna terminal 10, the power consumption of the interference wave is increased. Even if an IMD occurs in the other parallel arm resonators P2 and P3, it is greatly attenuated until it is transmitted to the reception filter unit 13. However, since the parallel arm resonator P1 is close to the reception filter unit 13, it does not attenuate so much. And transmitted to the reception filter unit 13.

しかしながら、本実施形態では、複数の並列腕共振子P1〜P3のうち、アンテナ端子10に最も近い第1の並列腕共振子P1の共振周波数が、他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くされている。このため、IMDの発生を抑制することができる。以下、この効果について、具体例に基づいて詳細に説明する。   However, in this embodiment, among the plurality of parallel arm resonators P1 to P3, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 closest to the antenna terminal 10 is the resonance frequency of the other parallel arm resonators P2 and P3. Is higher than. For this reason, generation | occurrence | production of IMD can be suppressed. Hereinafter, this effect will be described in detail based on specific examples.

本実施形態の弾性波デュプレクサ1の比較例(第1の比較例)として、図4に示すように、アンテナ端子に最も近い第1の並列腕共振子P101にキャパシタが並列に接続されていないこと以外は弾性波デュプレクサ1と実質的に同様の構成を有する弾性波デュプレクサ100を挙げる。この弾性波デュプレクサ100では、第1の並列腕共振子P101の共振周波数は、864.8MHzである。第2の並列腕共振子の共振周波数は、866.5MHzである。第3の並列腕共振子の共振周波数は、865.0MHzである。このため、第1〜第3の並列腕共振子のうちで、第2の並列腕共振子が最も高い共振周波数を有している。   As a comparative example (first comparative example) of the elastic wave duplexer 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 4, no capacitor is connected in parallel to the first parallel arm resonator P101 closest to the antenna terminal. Except for the above, an elastic wave duplexer 100 having substantially the same configuration as the elastic wave duplexer 1 is given. In the elastic wave duplexer 100, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P101 is 864.8 MHz. The resonance frequency of the second parallel arm resonator is 866.5 MHz. The resonance frequency of the third parallel arm resonator is 865.0 MHz. For this reason, the 2nd parallel arm resonator has the highest resonance frequency among the 1st-3rd parallel arm resonators.

本実施形態に係る第1の並列腕共振子P1の反射特性を表すグラフを図5に実線で示す。第1の比較例に係る第1の並列腕共振子P101の反射特性を表すグラフを図5に破線で示す。   A graph showing the reflection characteristic of the first parallel arm resonator P1 according to the present embodiment is shown by a solid line in FIG. A graph showing the reflection characteristic of the first parallel arm resonator P101 according to the first comparative example is shown by a broken line in FIG.

図6は、本実施形態に係る弾性波デュプレクサ1のIMD(実線)と、第1の比較例に係る弾性波デュプレクサ100のIMD(破線)とを表すグラフである。なお、各弾性波デュプレクサのIMDは、受信信号の周波数と送信信号の周波数との差を一定(45MHz)とし、且つ受信信号の周波数と妨害波信号の周波数との差も一定(90MHz)として、受信信号の周波数を925MHz〜960MHzの間で変化させて測定した。例えば、受信信号の周波数を925MHzとした場合は、送信信号の周波数を880MHzとし、妨害波信号の周波数を835MHzとした。また、例えば、受信信号の周波数を960MHzとした場合は、送信信号の周波数を915MHzとし、妨害波信号の周波数を870MHzとした。なお、IMDの測定においては、アンテナ端子における送信信号の電力を+21dBmとし、アンテナ端子における妨害波信号の電力を−15dBmとした。そして、第1及び第2の受信側信号端子にバランを接続し、バランから出力されるIMDを測定した。   FIG. 6 is a graph showing the IMD (solid line) of the elastic wave duplexer 1 according to the present embodiment and the IMD (broken line) of the elastic wave duplexer 100 according to the first comparative example. The IMD of each elastic wave duplexer has a constant difference between the frequency of the received signal and the frequency of the transmitted signal (45 MHz), and a difference between the frequency of the received signal and the frequency of the interference wave signal is also constant (90 MHz). Measurement was performed by changing the frequency of the received signal between 925 MHz and 960 MHz. For example, when the frequency of the reception signal is 925 MHz, the frequency of the transmission signal is 880 MHz, and the frequency of the interference wave signal is 835 MHz. For example, when the frequency of the reception signal is 960 MHz, the frequency of the transmission signal is 915 MHz, and the frequency of the interference wave signal is 870 MHz. In the IMD measurement, the power of the transmission signal at the antenna terminal was +21 dBm, and the power of the jamming signal at the antenna terminal was −15 dBm. And the balun was connected to the 1st and 2nd receiving side signal terminal, and IMD output from the balun was measured.

図7は、本実施形態及び第1の比較例における、送信側信号端子からアンテナ端子への通過特性を表すグラフである。図8は、本実施形態及び第1の比較例における、アンテナ端子から受信側信号端子への通過特性を表すグラフである。図9は、本実施形態及び第1の比較例における、送信側信号端子から受信側信号端子へのアイソレーション特性を表すグラフである。   FIG. 7 is a graph showing pass characteristics from the transmission-side signal terminal to the antenna terminal in the present embodiment and the first comparative example. FIG. 8 is a graph showing the pass characteristics from the antenna terminal to the reception-side signal terminal in the present embodiment and the first comparative example. FIG. 9 is a graph showing the isolation characteristic from the transmission side signal terminal to the reception side signal terminal in the present embodiment and the first comparative example.

図5に示す結果から、キャパシタC1を本実施形態の第1の並列腕共振子P1に並列に接続することにより、第1の並列腕共振子P1の共振周波数を第1の比較例の第1の並列腕共振子P101の共振周波数より高周波数側にシフトさせることができることが分かる。そのため、第1の並列腕共振子P1の共振周波数は、2Tx−Rx帯の上端付近に位置する。そして、2Tx−Rx帯において、第1の並列腕共振子P1の反射損失は、第1の並列腕共振子P101の反射損失より小さくなっている。   From the results shown in FIG. 5, the capacitor C1 is connected in parallel to the first parallel arm resonator P1 of this embodiment, so that the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is the first of the first comparative example. It can be seen that the parallel arm resonator P101 can be shifted to a higher frequency side than the resonance frequency. Therefore, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is located near the upper end of the 2Tx-Rx band. In the 2Tx-Rx band, the reflection loss of the first parallel arm resonator P1 is smaller than the reflection loss of the first parallel arm resonator P101.

また、図6に示すように、第1の並列腕共振子P1の共振周波数が高周波数シフトされた弾性波デュプレクサ1の方が、第1の並列腕共振子P101の共振周波数が高周波数シフトされてない弾性波デュプレクサ100よりも受信周波数帯(925MHz〜960MHz)の高域側部分(約950MHz〜960MHz)においてIMD特性が改善していることが分かる。   Further, as shown in FIG. 6, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P101 is shifted by a higher frequency in the elastic wave duplexer 1 in which the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is shifted by a higher frequency. It can be seen that the IMD characteristics are improved in the high frequency side portion (about 950 MHz to 960 MHz) of the reception frequency band (925 MHz to 960 MHz) than the elastic wave duplexer 100 that is not.

この結果から、第1の並列腕共振子P1の共振周波数を他のいずれの並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くすることにより、弾性波デュプレクサを大型化することなくIMD特性が改善できることが分かる。これは、2Tx−Rx帯において、第1の並列腕共振子P1の反射損失が小さくなったことにより、妨害波が入力されたときにおける第1の並列腕共振子P1の消費電力が低減されたため、IMDの発生が抑制されたものと考えられる。   From this result, the IMD characteristic is improved without increasing the size of the elastic wave duplexer by making the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 higher than the resonance frequency of any of the other parallel arm resonators P2 and P3. I understand that I can do it. This is because in the 2Tx-Rx band, the power loss of the first parallel arm resonator P1 when an interference wave is input is reduced because the reflection loss of the first parallel arm resonator P1 is reduced. It is considered that the occurrence of IMD was suppressed.

なお、図7〜図9に示すように、本実施形態と第1の比較例とで伝送特性が同等であることから、キャパシタC1を設けて第1の並列腕共振子P1の共振周波数を高周波数側にシフトさせても伝送特性は劣化しないことが分かる。   As shown in FIGS. 7 to 9, since the transmission characteristics are the same in this embodiment and the first comparative example, the capacitor C1 is provided to increase the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1. It can be seen that the transmission characteristics do not deteriorate even when shifted to the frequency side.

以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第1の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。   Hereinafter, other examples of preferred embodiments of the present invention will be described. In the following description, members having substantially the same functions as those of the first embodiment are referred to by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

(第2の実施形態)
図10は、第2の実施形態における第1の並列腕共振子P1のIDT電極の略図的平面図である。
(Second Embodiment)
FIG. 10 is a schematic plan view of the IDT electrode of the first parallel arm resonator P1 in the second embodiment.

上記第1の実施形態では、キャパシタC1を第1の並列腕共振子P1に並列に接続することにより第1の並列腕共振子P1の共振周波数を高周波数側にシフトさせる例について説明した。但し、本発明において、第1の並列腕共振子の共振周波数を高周波数側にシフトさせる方法は特に限定されない。   In the first embodiment, an example has been described in which the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is shifted to the high frequency side by connecting the capacitor C1 in parallel to the first parallel arm resonator P1. However, in the present invention, the method for shifting the resonance frequency of the first parallel arm resonator to the high frequency side is not particularly limited.

例えば、キャパシタC1を設けずに、またはキャパシタC1を設けると共に、第1の並列腕共振子P1のIDT電極を、図10に示すような間引き重み付けが施されたIDT電極50により構成することで第1の並列腕共振子P1の共振周波数を高周波数側にシフトさせてもよい。その場合であっても、上記第1の実施形態と同様にIMDの発生を抑制することができる。   For example, the capacitor C1 is not provided, or the capacitor C1 is provided, and the IDT electrode of the first parallel arm resonator P1 is configured by the IDT electrode 50 subjected to thinning weighting as shown in FIG. The resonance frequency of one parallel arm resonator P1 may be shifted to the high frequency side. Even in that case, the occurrence of IMD can be suppressed as in the first embodiment.

さらに、本実施形態では、キャパシタC1を設ける必要もないため、第1の実施形態よりも弾性波デュプレクサをさらに小型化することが可能となる。   Furthermore, in this embodiment, since it is not necessary to provide the capacitor C1, it is possible to further reduce the size of the elastic wave duplexer compared to the first embodiment.

なお、間引き重み付けとは、IDT電極を構成している一対のくし歯状電極の少なくとも一方のくし歯状電極の電極指の一部が除去されることにより、部分的に弾性波が励振しない領域を形成することである。しかし、電極指の一部を完全に除去すると、その部分で弾性波の音速が低下する。そのため、通常は、図10に示すように、一方のくし歯状電極の電極指の一部をバスバーから切り離し、他方のくし歯状電極のバスバーに接続する。   Note that thinning weighting is a region in which elastic waves are not excited partially by removing part of the electrode fingers of at least one of the pair of comb-like electrodes constituting the IDT electrode. Is to form. However, when a part of the electrode finger is completely removed, the acoustic velocity of the elastic wave is reduced at that part. Therefore, usually, as shown in FIG. 10, a part of the electrode fingers of one comb-like electrode is cut off from the bus bar and connected to the bus bar of the other comb-like electrode.

(第3の実施形態)
本実施形態では、第1の並列腕共振子P1のIDT電極の電極指のピッチを他の並列腕共振子P2,P3のIDT電極の電極指のピッチよりも狭くすることにより、第1の並列腕共振子P1の共振周波数を他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くした例について説明する。
(Third embodiment)
In this embodiment, the pitch of the electrode fingers of the IDT electrodes of the first parallel arm resonator P1 is made narrower than the pitch of the electrode fingers of the IDT electrodes of the other parallel arm resonators P2 and P3. An example in which the resonance frequency of the arm resonator P1 is set higher than the resonance frequencies of the other parallel arm resonators P2 and P3 will be described.

具体的には、本実施形態では、第1の並列腕共振子P1のIDT電極の電極指のピッチを2.237μmとし、第2の並列腕共振子P2のIDT電極の電極指のピッチを2.238μmとし、第3の並列腕共振子P3のIDT電極の電極指のピッチを2.244μmとし、キャパシタC1を設けなかったこと以外は、上記第1の実施形態と実質的に同様の構成となっている。図11に示すように、本実施形態では、第1の並列腕共振子P1の共振周波数が他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高い。   Specifically, in this embodiment, the pitch of the electrode fingers of the IDT electrode of the first parallel arm resonator P1 is 2.237 μm, and the pitch of the electrode fingers of the IDT electrode of the second parallel arm resonator P2 is 2. .238 μm, the pitch of the electrode fingers of the IDT electrodes of the third parallel arm resonator P 3 is 2.244 μm, and the capacitor C 1 is not provided, and the configuration is substantially the same as the first embodiment. It has become. As shown in FIG. 11, in this embodiment, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is higher than the resonance frequencies of the other parallel arm resonators P2 and P3.

本実施形態の比較例(第2の比較例)として、第1の並列腕共振子P1のIDT電極の電極指のピッチを2.242μmとし、第2の並列腕共振子P2のIDT電極の電極指のピッチを2.234μmとし、第3の並列腕共振子P3のIDT電極の電極指のピッチを2.241μmとし、図12に示すように、第1〜第3の並列腕共振子P1〜P3のうち、第2の並列腕共振子P2の共振周波数を最も高くした例を挙げる。   As a comparative example (second comparative example) of the present embodiment, the electrode finger pitch of the IDT electrode of the first parallel arm resonator P1 is 2.242 μm, and the IDT electrode electrode of the second parallel arm resonator P2 is used. The finger pitch is 2.234 μm, the electrode finger pitch of the IDT electrode of the third parallel arm resonator P3 is 2.241 μm, and the first to third parallel arm resonators P1 to P1 are shown in FIG. The example which made the resonance frequency of the 2nd parallel arm resonator P2 the highest among P3 is given.

図13は、第3の実施形態に係る弾性波デュプレクサのIMD(実線)と、第2の比較例に係る弾性波デュプレクサのIMD(破線)とを表すグラフである。図14は、第3の実施形態及び第2の比較例における、送信側信号端子とアンテナ端子との間の挿入損失を表すグラフである。図15は、第3の実施形態及び第2の比較例における、アンテナ端子と受信側信号端子の間の挿入損失を表すグラフである。図16は、第3の実施形態及び第2の比較例における、送信側信号端子と受信側信号端子の間の挿入損失を表すグラフである。   FIG. 13 is a graph showing an IMD (solid line) of the elastic wave duplexer according to the third embodiment and an IMD (broken line) of the elastic wave duplexer according to the second comparative example. FIG. 14 is a graph showing insertion loss between the transmission-side signal terminal and the antenna terminal in the third embodiment and the second comparative example. FIG. 15 is a graph showing insertion loss between the antenna terminal and the reception-side signal terminal in the third embodiment and the second comparative example. FIG. 16 is a graph showing insertion loss between the transmission side signal terminal and the reception side signal terminal in the third embodiment and the second comparative example.

図13に示すように、電極指ピッチを調整することにより第1の並列腕共振子P1の共振周波数を他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くした場合であっても、上記第1の実施形態の場合と同様にIMDを効果的に抑制できることが分かる。また、図14〜図16の結果から、電極指ピッチを調整することにより第1の並列腕共振子P1の共振周波数を他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くした場合であっても、伝送特性が劣化しないことが分かる。   As shown in FIG. 13, even when the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is made higher than the resonance frequencies of the other parallel arm resonators P2 and P3 by adjusting the electrode finger pitch, It can be seen that IMD can be effectively suppressed as in the case of the first embodiment. In addition, from the results shown in FIGS. 14 to 16, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 is made higher than the resonance frequencies of the other parallel arm resonators P2 and P3 by adjusting the electrode finger pitch. However, it can be seen that the transmission characteristics do not deteriorate.

同様に、第1の並列腕共振子P1のIDT電極のデューティー比を他の並列腕共振子P2,P3のIDT電極のデューティー比よりも小さくことにより、第1の並列腕共振子P1の共振周波数を他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くした場合であっても、IMDの発生を抑制することができる。また、第1の並列腕共振子P1のIDT電極の電極指のピッチを他の並列腕共振子P2,P3のIDT電極の電極指のピッチよりも狭くすると共に、第1の並列腕共振子P1のIDT電極のデューティー比を他の並列腕共振子P2,P3のIDT電極のデューティー比よりも小さくことにより、第1の並列腕共振子P1の共振周波数を他の並列腕共振子P2,P3の共振周波数よりも高くした場合であっても、IMDの発生を抑制することができる。   Similarly, by making the duty ratio of the IDT electrode of the first parallel arm resonator P1 smaller than the duty ratio of the IDT electrodes of the other parallel arm resonators P2 and P3, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 Can be suppressed even if it is higher than the resonance frequency of the other parallel arm resonators P2 and P3. Further, the pitch of the electrode fingers of the IDT electrodes of the first parallel arm resonator P1 is made narrower than the pitch of the electrode fingers of the IDT electrodes of the other parallel arm resonators P2 and P3, and the first parallel arm resonator P1. By making the duty ratio of the IDT electrode of the other parallel arm resonators P2 and P3 smaller than the duty ratio of the IDT electrode of the other parallel arm resonators P2 and P3, the resonance frequency of the first parallel arm resonator P1 can be reduced. Even when the frequency is higher than the resonance frequency, the occurrence of IMD can be suppressed.

1…弾性波デュプレクサ
10…アンテナ端子
11…送信側信号端子
12a、12b…受信側信号端子
13…受信フィルタ部
20…送信フィルタ部
21…直列腕
22a〜22c…並列腕
30…弾性表面波共振子
40…弾性境界波共振子
31,41…圧電基板
32,42…IDT電極
43…第1の誘電体層
44…第2の誘電体層
50…IDT電極
P1〜P3…並列腕共振子
S1〜S4…直列腕共振子
L1〜L3…インダクタ
C1,C2…キャパシタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Elastic wave duplexer 10 ... Antenna terminal 11 ... Transmission side signal terminal 12a, 12b ... Reception side signal terminal 13 ... Reception filter part 20 ... Transmission filter part 21 ... Series arm 22a-22c ... Parallel arm 30 ... Surface acoustic wave resonator 40 ... boundary acoustic wave resonators 31, 41 ... piezoelectric substrate 32, 42 ... IDT electrode 43 ... first dielectric layer 44 ... second dielectric layer 50 ... IDT electrodes P1-P3 ... parallel arm resonators S1-S4 ... Series arm resonators L1 to L3 ... Inductors C1, C2 ... Capacitors

Claims (6)

アンテナ端子と、
送信側信号端子及び受信側信号端子と、
前記アンテナ端子と前記送信側信号端子との間に接続された送信フィルタ部と、
前記アンテナ端子と前記受信側信号端子との間に接続された受信フィルタ部と、
を備える弾性波分波器であって、
前記送信フィルタ部は、
前記アンテナ端子と前記送信側信号端子とを接続している直列腕と、
前記直列腕において直列に接続されている複数の直列腕共振子と、
前記直列腕とグラウンド電位とを接続している複数の並列腕と、
前記複数の並列腕のそれぞれに設けられている並列腕共振子と、
を有し、
前記複数の並列腕共振子のうち、前記アンテナ端子に最も近い第1の並列腕共振子の共振周波数が、他の並列腕共振子の共振周波数よりも高い、弾性波分波器。
An antenna terminal;
A transmission side signal terminal and a reception side signal terminal;
A transmission filter unit connected between the antenna terminal and the transmission-side signal terminal;
A receiving filter connected between the antenna terminal and the receiving signal terminal;
An elastic wave duplexer comprising:
The transmission filter unit
A series arm connecting the antenna terminal and the transmission side signal terminal;
A plurality of series arm resonators connected in series in the series arm;
A plurality of parallel arms connecting the series arm and a ground potential;
A parallel arm resonator provided in each of the plurality of parallel arms;
Have
An elastic wave duplexer in which a resonance frequency of a first parallel arm resonator closest to the antenna terminal among the plurality of parallel arm resonators is higher than a resonance frequency of other parallel arm resonators.
前記複数の並列腕共振子のそれぞれは、圧電基板と、前記圧電基板の上に設けられたIDT電極とを有し、
前記第1の並列腕共振子のIDT電極は、前記複数の並列腕共振子の前記第1の並列腕共振子以外の並列腕共振子のそれぞれのIDT電極よりも、電極指のピッチが狭いか、デューティー比が小さいか、または電極指のピッチが狭く且つデューティー比が小さい、請求項1に記載の弾性波分波器。
Each of the plurality of parallel arm resonators includes a piezoelectric substrate and an IDT electrode provided on the piezoelectric substrate,
Whether the IDT electrodes of the first parallel arm resonators have electrode finger pitches narrower than the IDT electrodes of the parallel arm resonators other than the first parallel arm resonators of the plurality of parallel arm resonators. The elastic wave duplexer according to claim 1, wherein the duty ratio is small, or the pitch of the electrode fingers is narrow and the duty ratio is small.
前記複数の並列腕共振子のそれぞれは、圧電基板と、前記圧電基板の上に設けられたIDT電極とを有し、
前記第1の並列腕共振子のIDT電極には、間引き重み付けが施されている、請求項1または2に記載の弾性波分波器。
Each of the plurality of parallel arm resonators includes a piezoelectric substrate and an IDT electrode provided on the piezoelectric substrate,
The elastic wave duplexer according to claim 1 or 2, wherein thinning weighting is applied to an IDT electrode of the first parallel arm resonator.
前記第1の並列腕共振子には、キャパシタが並列に接続されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波分波器。   The elastic wave duplexer according to any one of claims 1 to 3, wherein a capacitor is connected in parallel to the first parallel arm resonator. 前記送信フィルタ部の通過帯域をfTx1以上fTx2以下とし、前記受信フィルタ部の通過帯域をfRx1以上fRx2以下とした場合に、前記送信フィルタ部の通過帯域低域側近傍の減衰域が、2fTx1−fRx1と2fTx2−fRx2との間の周波数帯内にある、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波分波器。 When the pass band of the transmission filter unit is f Tx1 or more and f Tx2 or less, and the pass band of the reception filter unit is f Rx1 or more and f Rx2 or less, the attenuation band in the vicinity of the low pass side of the pass band of the transmission filter unit is The elastic wave duplexer according to any one of claims 1 to 4, which is in a frequency band between 2f Tx1 -f Rx1 and 2f Tx2 -f Rx2 . 前記複数の直列腕共振子のうち前記アンテナ端子に最も近い直列腕共振子と、前記第1の並列腕共振子とのそれぞれが、ひとつの弾性波共振子により構成されている、請求項1〜5のいずれか一項に記に記載の弾性波分波器。   Each of the series arm resonator closest to the antenna terminal among the plurality of series arm resonators and the first parallel arm resonator is constituted by one elastic wave resonator. The elastic wave duplexer according to any one of 5 above.
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Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014133084A1 (en) * 2013-02-27 2014-09-04 京セラ株式会社 Elastic wave element, demultiplexer and communication module
JP2015531221A (en) * 2012-08-30 2015-10-29 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag Multiplexer with reduced intermodulation products
WO2017047218A1 (en) * 2015-09-18 2017-03-23 株式会社村田製作所 Elastic wave device
JP2017085262A (en) * 2015-10-26 2017-05-18 株式会社村田製作所 Band pass type filter and duplexer
JP2017103654A (en) * 2015-12-02 2017-06-08 太陽誘電株式会社 Acoustic wave filter, duplexer, and module
WO2017154260A1 (en) * 2016-03-08 2017-09-14 株式会社村田製作所 Elastic wave apparatus and duplexer
WO2019009271A1 (en) * 2017-07-05 2019-01-10 株式会社村田製作所 Multiplexer
KR20190065401A (en) 2016-11-22 2019-06-11 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Filter devices and multiplexers
WO2019131501A1 (en) * 2017-12-25 2019-07-04 株式会社村田製作所 Multiplexer
CN110235364A (en) * 2017-02-06 2019-09-13 株式会社村田制作所 Acoustic wave device, duplexer and filter apparatus
WO2019189634A1 (en) * 2018-03-29 2019-10-03 株式会社村田製作所 Elastic wave resonator and multiplexer
CN111162756A (en) * 2018-11-08 2020-05-15 株式会社村田制作所 Multiplexer
CN111164888A (en) * 2017-09-29 2020-05-15 株式会社村田制作所 Multiplexer, high-frequency front-end circuit and communication device
CN111448759A (en) * 2017-12-12 2020-07-24 株式会社村田制作所 Multiplexer, high-frequency front-end circuit and communication device
KR20210022080A (en) 2018-08-13 2021-03-02 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Acoustic wave filter
CN113054944A (en) * 2019-12-27 2021-06-29 株式会社村田制作所 Elastic wave filter
JPWO2021153458A1 (en) * 2020-01-31 2021-08-05
JPWO2021153459A1 (en) * 2020-01-31 2021-08-05
US11606081B2 (en) 2017-09-05 2023-03-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filter device and method for manufacturing the same
WO2023176814A1 (en) * 2022-03-18 2023-09-21 京セラ株式会社 Ladder filter, module, and communication device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11163664A (en) * 1997-11-28 1999-06-18 Kyocera Corp Acoustic wave filter
JP2004343168A (en) * 2003-05-13 2004-12-02 Tdk Corp Filter apparatus and branching filter employing the same
JP2008160562A (en) * 2006-12-25 2008-07-10 Kyocera Corp Demultiplexer and communication equipment

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11163664A (en) * 1997-11-28 1999-06-18 Kyocera Corp Acoustic wave filter
JP2004343168A (en) * 2003-05-13 2004-12-02 Tdk Corp Filter apparatus and branching filter employing the same
JP2008160562A (en) * 2006-12-25 2008-07-10 Kyocera Corp Demultiplexer and communication equipment

Cited By (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015531221A (en) * 2012-08-30 2015-10-29 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag Multiplexer with reduced intermodulation products
US9985607B2 (en) 2012-08-30 2018-05-29 Snaptrack, Inc. Multiplexer having fewer intermodulation products
US9806692B2 (en) 2013-02-27 2017-10-31 Kyocera Corporation Acoustic wave element, duplexer, and communication module
JP5844939B2 (en) * 2013-02-27 2016-01-20 京セラ株式会社 Elastic wave device, duplexer and communication module
EP2963819A4 (en) * 2013-02-27 2016-08-17 Kyocera Corp Elastic wave element, demultiplexer and communication module
US10541672B2 (en) 2013-02-27 2020-01-21 Kyocera Corporation Acoustic wave element, duplexer, and communication module
WO2014133084A1 (en) * 2013-02-27 2014-09-04 京セラ株式会社 Elastic wave element, demultiplexer and communication module
WO2017047218A1 (en) * 2015-09-18 2017-03-23 株式会社村田製作所 Elastic wave device
JP2017085262A (en) * 2015-10-26 2017-05-18 株式会社村田製作所 Band pass type filter and duplexer
US9985606B2 (en) 2015-12-02 2018-05-29 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave filter, duplexer, and module
JP2017103654A (en) * 2015-12-02 2017-06-08 太陽誘電株式会社 Acoustic wave filter, duplexer, and module
WO2017154260A1 (en) * 2016-03-08 2017-09-14 株式会社村田製作所 Elastic wave apparatus and duplexer
US10630260B2 (en) 2016-03-08 2020-04-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave apparatus and duplexer
KR20190065401A (en) 2016-11-22 2019-06-11 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Filter devices and multiplexers
US10715108B2 (en) 2016-11-22 2020-07-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filter device and multiplexer
CN110235364B (en) * 2017-02-06 2023-04-04 株式会社村田制作所 Elastic wave device, duplexer, and filter device
CN110235364A (en) * 2017-02-06 2019-09-13 株式会社村田制作所 Acoustic wave device, duplexer and filter apparatus
US10924084B2 (en) 2017-02-06 2021-02-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Acoustic wave device, duplexer, and filter device
US11558072B2 (en) 2017-07-05 2023-01-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multiplexer
CN110809858A (en) * 2017-07-05 2020-02-18 株式会社村田制作所 Multiplexer
CN110809858B (en) * 2017-07-05 2023-09-05 株式会社村田制作所 multiplexer
WO2019009271A1 (en) * 2017-07-05 2019-01-10 株式会社村田製作所 Multiplexer
US11606081B2 (en) 2017-09-05 2023-03-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filter device and method for manufacturing the same
CN111164888A (en) * 2017-09-29 2020-05-15 株式会社村田制作所 Multiplexer, high-frequency front-end circuit and communication device
CN111164888B (en) * 2017-09-29 2023-09-12 株式会社村田制作所 Multiplexer, high-frequency front-end circuit, and communication device
CN111448759B (en) * 2017-12-12 2023-10-03 株式会社村田制作所 Multiplexer, high frequency front-end circuit and communication device
CN111448759A (en) * 2017-12-12 2020-07-24 株式会社村田制作所 Multiplexer, high-frequency front-end circuit and communication device
WO2019131501A1 (en) * 2017-12-25 2019-07-04 株式会社村田製作所 Multiplexer
WO2019189634A1 (en) * 2018-03-29 2019-10-03 株式会社村田製作所 Elastic wave resonator and multiplexer
US11863158B2 (en) 2018-03-29 2024-01-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Acoustic wave resonator and multiplexer
US11929737B2 (en) 2018-08-13 2024-03-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Acoustic wave filter
KR20210022080A (en) 2018-08-13 2021-03-02 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Acoustic wave filter
CN111162756B (en) * 2018-11-08 2023-09-08 株式会社村田制作所 Multiplexer
JP7151668B2 (en) 2018-11-08 2022-10-12 株式会社村田製作所 multiplexer
JP2020078048A (en) * 2018-11-08 2020-05-21 株式会社村田製作所 Multiplexer
CN111162756A (en) * 2018-11-08 2020-05-15 株式会社村田制作所 Multiplexer
CN113054944A (en) * 2019-12-27 2021-06-29 株式会社村田制作所 Elastic wave filter
US11863161B2 (en) 2019-12-27 2024-01-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Acoustic wave filter
JP7405159B2 (en) 2020-01-31 2023-12-26 株式会社村田製作所 multiplexer
JP7405158B2 (en) 2020-01-31 2023-12-26 株式会社村田製作所 multiplexer
JPWO2021153459A1 (en) * 2020-01-31 2021-08-05
JPWO2021153458A1 (en) * 2020-01-31 2021-08-05
WO2023176814A1 (en) * 2022-03-18 2023-09-21 京セラ株式会社 Ladder filter, module, and communication device

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