JP2012144617A - Die-bonding material for optical semiconductor device and optical semiconductor device using the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a die-bonding material for optical semiconductor devices, with which bondability during wire bonding is improved and the thermal cracking resistance of a cured material is enhanced.SOLUTION: The die-bonding material for optical semiconductor devices includes: a first silicone resin represented by formula (1) and having an aryl group and a hydrogen atom bonded to silicon atom; a second silicone resin represented by formula (51), having no hydrogen atom bonded to silicon atom and having an aryl group and alkenyl group; a catalyst for hydrosilylation reaction; and silicon oxide particles. In the die-bonding material for optical semiconductor devices, the first silicone resin has no dimethylsiloxane skeleton and the second silicone resin has no dimethylsiloxane skeleton.

Description

本発明は、発光ダイオード(LED)素子などの光半導体素子をダイボンディングするために用いられる光半導体装置用ダイボンド材、並びに該光半導体装置用ダイボンド材を用いた光半導体装置に関する。   The present invention relates to a die bond material for an optical semiconductor device used for die bonding of an optical semiconductor element such as a light emitting diode (LED) element, and an optical semiconductor device using the die bond material for an optical semiconductor device.

発光ダイオード(LED)素子などの光半導体素子が、表示装置の光源等に広く用いられている。光半導体素子を用いた光半導体装置の消費電力は低く、かつ寿命は長い。また、光半導体装置は、過酷な環境下でも使用され得る。従って、光半導体装置は、携帯電話用バックライト、液晶テレビ用バックライト、自動車用ランプ、照明器具及び看板などの幅広い用途で使用されている。   Optical semiconductor elements such as light emitting diode (LED) elements are widely used as light sources for display devices. An optical semiconductor device using an optical semiconductor element has low power consumption and long life. Moreover, the optical semiconductor device can be used even in a harsh environment. Accordingly, optical semiconductor devices are used in a wide range of applications such as mobile phone backlights, liquid crystal television backlights, automobile lamps, lighting fixtures, and signboards.

下記の特許文献1には、LED素子が基板上に実装された光半導体装置が開示されている。この光半導体装置では、LED素子は、基板の上面にダイボンド材を用いて接合されている。このダイボンド材は、アルケニル基含有ポリオルガノシロキサンと、珪素原子に結合した水素原子を3個以上有するポリオルガノハイドロジェンシロキサンと、白金触媒と、接着性付与剤とを含む。上記アルケニル基含有ポリオルガノシロキサンは、珪素原子に結合する水酸基量が50〜3000ppmであり、珪素原子に結合したアルケニル基を平均1個以上有し、かつSiO4/2単位を有するポリオルガノシロキサンを含む。 Patent Document 1 below discloses an optical semiconductor device in which an LED element is mounted on a substrate. In this optical semiconductor device, the LED element is bonded to the upper surface of the substrate using a die bond material. This die bond material includes an alkenyl group-containing polyorganosiloxane, a polyorganohydrogensiloxane having three or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms, a platinum catalyst, and an adhesion promoter. The alkenyl group-containing polyorganosiloxane is a polyorganosiloxane having a hydroxyl group amount of 50 to 3000 ppm bonded to a silicon atom, an average of one or more alkenyl groups bonded to a silicon atom, and SiO 4/2 units. Including.

特開2009−114365号公報JP 2009-114365 A

上記光半導体装置を得る際には、先ず、ダイボンダーと呼ばれる塗布装置を用いて、基板上にダイボンド材を塗布又は積層し、ダイボンド層を形成する。次に、ダイボンド層上に、光半導体素子を積層し、ダイボンド層を硬化させる。その後、光半導体素子の電気的な接続を行うために、ワイヤーボンディングを行う。   In obtaining the optical semiconductor device, first, a die bonding material is applied or laminated on a substrate by using a coating device called a die bonder to form a die bonding layer. Next, an optical semiconductor element is laminated on the die bond layer, and the die bond layer is cured. Thereafter, wire bonding is performed to electrically connect the optical semiconductor elements.

特許文献1に記載のような従来のダイボンド材では、ダイボンド材の硬化物が比較的軟らかいことなどに起因して、ワイヤーボンディングを精度よく行うことが困難なことがある。例えば、ワイヤーボンディング時に、ダイボンド材の硬化物が超音波振動を吸収することで、接合を阻害して、ワイヤーボンディング不良が生じることがある。   In the conventional die-bonding material as described in Patent Document 1, it is sometimes difficult to perform wire bonding with high accuracy due to the fact that the cured product of the die-bonding material is relatively soft. For example, during wire bonding, the cured product of the die bond material absorbs ultrasonic vibration, which may inhibit bonding and cause wire bonding failure.

さらに、従来のダイボンド材を用いた光半導体装置では、光半導体素子からの発光等に起因してダイボンド材の硬化物が高温に晒されると、該硬化物にクラックが生じることがある。   Furthermore, in a conventional optical semiconductor device using a die bond material, when the cured product of the die bond material is exposed to a high temperature due to light emission from the optical semiconductor element, cracks may occur in the cured product.

本発明の目的は、ワイヤーボンディング時におけるボンダビィリティーを良好にすることができ、更に硬化物の耐熱クラック特性を高めることができる光半導体装置用ダイボンド材、並びに該光半導体装置用ダイボンド材を用いた光半導体装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a die bond material for an optical semiconductor device that can improve bondability at the time of wire bonding and can further improve the heat-resistant crack characteristics of a cured product, and the die bond material for an optical semiconductor device. It is to provide an optical semiconductor device.

本発明の広い局面によれば、下記式(1)で表され、かつアリール基及び珪素原子に結合した水素原子を有する第1のシリコーン樹脂と、下記式(51)で表され、かつ珪素原子に結合した水素原子を有さず、かつアリール基及びアルケニル基を有する第2のシリコーン樹脂と、ヒドロシリル化反応用触媒と、酸化珪素粒子とを含み、上記第1のシリコーン樹脂が、ジメチルシロキサン骨格を有さず、かつ上記第2のシリコーン樹脂が、ジメチルシロキサン骨格を有さない、光半導体装置用ダイボンド材が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, the first silicone resin represented by the following formula (1) and having a hydrogen atom bonded to an aryl group and a silicon atom, and represented by the following formula (51) and a silicon atom And a second silicone resin having no aryl atom and alkenyl group, a hydrosilylation catalyst, and silicon oxide particles, wherein the first silicone resin comprises a dimethylsiloxane skeleton. There is provided a die bond material for an optical semiconductor device in which the second silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(1)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0.05〜0.50、b/(a+b+c)=0〜0.20及びc/(a+b+c)=0.30〜0.90を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(1)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、R4及びR5の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。 In the above formula (1), a, b and c are a / (a + b + c) = 0.05 to 0.50, b / (a + b + c) = 0 to 0.20 and c / (a + b + c) = 0.30. 0.90 is satisfied, R1 to R6 each represents at least one aryl group, at least one represents a hydrogen atom, and R1 to R6 other than the aryl group and the hydrogen atom are hydrocarbon groups having 1 to 8 carbon atoms. Represents. However, in the above formula (1), in the structural unit represented by (R4R5SiO2 / 2 ), both R4 and R5 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(51)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.05〜0.50、q/(p+q+r)=0.05〜0.50及びr/(p+q+r)=0.05〜0.50を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(51)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、R54及びR55の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。 In the above formula (51), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r) = 0.05 to 0.50 and r / (p + q + r) = 0. R51 to R56, at least one represents an aryl group, at least one represents an alkenyl group, and R51 to R56 other than the aryl group and the alkenyl group are carbon atoms having 1 to 8 carbon atoms. Represents a hydrogen group. However, in the above formula (51), in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ), both R54 and R55 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材のある特定の局面では、上記式(1)で表される第1のシリコーン樹脂は、下記式(1A)で表される第1のシリコーン樹脂である。   In a specific aspect of the die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention, the first silicone resin represented by the above formula (1) is a first silicone resin represented by the following formula (1A).

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(1A)中、a、b、c1及びc2は、a/(a+b+c1+c2)=0.05〜0.50、b/(a+b+c1+c2)=0〜0.20、(c1+c2)/(a+b+c1+c2)=0.30〜0.90、c1/(a+b+c1+c2)=0.30〜0.90及びc2/(a+b+c1+c2)=0〜0.20を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(1A)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、R4及びR5の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。 In the above formula (1A), a, b, c1 and c2 are a / (a + b + c1 + c2) = 0.05 to 0.50, b / (a + b + c1 + c2) = 0 to 0.20, (c1 + c2) / (a + b + c1 + c2) = 0.30-0.90, satisfying c1 / (a + b + c1 + c2) = 0.30-0.90 and c2 / (a + b + c1 + c2) = 0-0.20, R1 to R6 each represents at least one aryl group, At least one represents a hydrogen atom, and R1 to R6 other than the aryl group and the hydrogen atom represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. However, in the above formula (1A), the structural unit represented by (R4R5SiO2 / 2 ) is not a methyl group in R4 and R5, and is not a dimethylsiloxane structural unit.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材の他の特定の局面では、上記式(51)で表される第2のシリコーン樹脂は、下記式(51A)で表される第2のシリコーン樹脂である。   In another specific aspect of the die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention, the second silicone resin represented by the above formula (51) is a second silicone resin represented by the following formula (51A). .

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(51A)中、p、q、r1及びr2は、p/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、q/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、(r1+r2)/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、r1/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.40及びr2/(p+q+r1+r2)=0〜0.50を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(51A)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、R54及びR55の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。 In the above formula (51A), p, q, r1 and r2 are p / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.50, (r1 + r2) / (p + q + r1 + r2) ) = 0.05 to 0.50, r1 / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.40 and r2 / (p + q + r1 + r2) = 0 to 0.50, R51 to R56 are at least one aryl group And at least one represents an alkenyl group, and R51 to R56 other than an aryl group and an alkenyl group represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. However, in the above formula (51A), in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ), both R54 and R55 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units.

上記第1のシリコーン樹脂と上記第2のシリコーン樹脂とのそれぞれのE型粘度計を用いて測定された25℃及び10rpmでの粘度が1200mPa・s以上、6000mPa・s以下であることが好ましい。   It is preferable that the viscosities at 25 ° C. and 10 rpm measured with the respective E-type viscometers of the first silicone resin and the second silicone resin are 1200 mPa · s or more and 6000 mPa · s or less.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材の他の特定の局面では、上記第1のシリコーン樹脂は、アリール基と、珪素原子に結合した水素原子と、アルケニル基とを有する第1のシリコーン樹脂である。   In another specific aspect of the die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention, the first silicone resin is a first silicone resin having an aryl group, a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and an alkenyl group. is there.

本発明に係る光半導体装置は、本発明に従って構成された光半導体装置用ダイボンド材と、接続対象部材と、上記光半導体装置用ダイボンド材を用いて上記接続対象部材に接続された光半導体素子とを備える。   An optical semiconductor device according to the present invention includes an optical semiconductor device die-bonding material configured according to the present invention, a connection target member, and an optical semiconductor element connected to the connection target member using the optical semiconductor device die-bonding material. Is provided.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材は、式(1)で表され、アリール基及び珪素原子に結合した水素原子を有する第1のシリコーン樹脂と、式(51)で表され、珪素原子に結合した水素原子を有さずかつアリール基及びアルケニル基を有する第2のシリコーン樹脂と、ヒドロシリル化反応用触媒と、酸化珪素粒子とを含み、更に上記第1のシリコーン樹脂がジメチルシロキサン骨格を有さず、かつ上記第2のシリコーン樹脂がジメチルシロキサン骨格を有さないので、ワイヤーボンディング時におけるボンダビィリティーを良好にすることができ、更に硬化物の耐熱クラック特性を高めることができる。   A die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention is represented by the formula (1), a first silicone resin having an aryl group and a hydrogen atom bonded to a silicon atom, a formula (51), and a silicon atom. A second silicone resin having no bonded hydrogen atom and having an aryl group and an alkenyl group; a hydrosilylation reaction catalyst; and silicon oxide particles, wherein the first silicone resin has a dimethylsiloxane skeleton. In addition, since the second silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton, bondability at the time of wire bonding can be improved, and heat-resistant crack characteristics of the cured product can be further improved.

図1は、本発明の一実施形態に係る光半導体装置を示す正面断面図である。FIG. 1 is a front sectional view showing an optical semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材は、第1のシリコーン樹脂と、第2のシリコーン樹脂と、ヒドロシリル化反応用触媒と、酸化珪素粒子とを含む。上記第1のシリコーン樹脂は、式(1)で表され、アリール基と、珪素原子に結合した水素原子とを有する。上記第2のシリコーン樹脂は、式(51)で表され、珪素原子に結合した水素原子を有さず、かつアリール基とアルケニル基とを有する。すなわち、本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材は、ヒドロシリル化反応可能なシリコーン樹脂を含み、該ヒドロシリル化反応可能なシリコーン樹脂が、上記第1のシリコーン樹脂と上記第2のシリコーン樹脂とを含む。   The die-bonding material for optical semiconductor devices according to the present invention includes a first silicone resin, a second silicone resin, a hydrosilylation catalyst, and silicon oxide particles. The first silicone resin is represented by the formula (1), and has an aryl group and a hydrogen atom bonded to a silicon atom. The second silicone resin is represented by the formula (51), does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and has an aryl group and an alkenyl group. That is, the die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention includes a silicone resin capable of hydrosilylation reaction, and the silicone resin capable of hydrosilylation reaction includes the first silicone resin and the second silicone resin. .

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材では、上記第1のシリコーン樹脂はジメチルシロキサン骨格を有さず、かつ上記第2のシリコーン樹脂はジメチルシロキサン骨格を有さない。すなわち、本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材に含まれている上記ヒドロシリル化反応可能なシリコーン樹脂は、ジメチルシロキサン骨格を有さない。   In the die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention, the first silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton, and the second silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton. That is, the silicone resin capable of hydrosilylation contained in the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention does not have a dimethylsiloxane skeleton.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材における上記組成の採用により、ダイボンダー等の塗布装置を用いて、本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材を基板等の塗布対象部材上に塗布し、該ダイボンド材上に光半導体素子を積層し、ダイボンド材を硬化させた後、光半導体素子の電気的な接続を行うために、ワイヤーボンディングを行ったときに、ワイヤーボンディングを精度よく行うことができる。すなわち、上記組成の採用により、ワイヤーボンディング時におけるボンダビィリティーを良好にすることができる。特に、上記第1のシリコーン樹脂がジメチルシロキサン骨格を有さず、かつ上記第2のシリコーン樹脂がジメチルシロキサン骨格を有さないことは、ワイヤーボンディング時の超音波振動を吸収することなく光半導体素子に効率的に伝達し、ワイヤーボンディング時におけるボンダビィリティーを向上することに大きく寄与する。   By adopting the above composition in the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention, the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention is coated on a coating target member such as a substrate using a coating device such as a die bonder, and the die bond After the optical semiconductor element is laminated on the material and the die bond material is cured, the wire bonding can be performed with high precision when wire bonding is performed in order to electrically connect the optical semiconductor element. That is, by adopting the above composition, bondability during wire bonding can be improved. In particular, the fact that the first silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton and the second silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton means that an optical semiconductor element can be obtained without absorbing ultrasonic vibration during wire bonding. It contributes to improving the bondability at the time of wire bonding.

さらに、本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材における上記組成の採用により、特に第1,第2のシリコーン樹脂の双方がアリール基を有するので、ダイボンド材の硬化物の耐熱クラック特性を高めることができる。ダイボンド材を用いた光半導体装置では、光半導体素子の発光時などに、ダイボンド材の硬化物が高温下に晒される。本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材の硬化物は、高温に晒されてもクラックが生じ難いので、光半導体装置の信頼性を高めることができる。   Furthermore, by adopting the above composition in the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention, both the first and second silicone resins have an aryl group, so that the heat-resistant crack characteristics of the cured product of the die bond material can be improved. it can. In an optical semiconductor device using a die bond material, a cured product of the die bond material is exposed to a high temperature when the optical semiconductor element emits light. Since the hardened | cured material of the die-bonding material for optical semiconductor devices which concerns on this invention does not produce a crack easily even if it exposes to high temperature, the reliability of an optical semiconductor device can be improved.

(第1のシリコーン樹脂)
本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材に含まれている第1のシリコーン樹脂は、下記式(1)で表され、アリール基と、珪素原子に結合した水素原子とを有する。上記第1のシリコーン樹脂は、ジメチルシロキサン骨格(ジメチルシロキサン構造単位)を有さない。上記水素原子は、珪素原子に直接結合している。上記アリール基としては、無置換のフェニル基及び置換フェニル基が挙げられる。上記第1のシリコーン樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(First silicone resin)
The 1st silicone resin contained in the die-bonding material for optical semiconductor devices which concerns on this invention is represented by following formula (1), and has an aryl group and the hydrogen atom couple | bonded with the silicon atom. The first silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton (dimethylsiloxane structural unit). The hydrogen atom is directly bonded to the silicon atom. As said aryl group, an unsubstituted phenyl group and a substituted phenyl group are mentioned. As for the said 1st silicone resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(1)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0.05〜0.50、b/(a+b+c)=0〜0.20及びc/(a+b+c)=0.30〜0.90を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(1)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、R4及びR5の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。なお、上記式(1)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位及び(R6SiO3/2)で表される構造単位はそれぞれ、アルコキシ基を有していてもよく、ヒドロキシ基を有していてもよい。 In the above formula (1), a, b and c are a / (a + b + c) = 0.05 to 0.50, b / (a + b + c) = 0 to 0.20 and c / (a + b + c) = 0.30. 0.90 is satisfied, R1 to R6 each represents at least one aryl group, at least one represents a hydrogen atom, and R1 to R6 other than the aryl group and the hydrogen atom are hydrocarbon groups having 1 to 8 carbon atoms. Represents. However, in the above formula (1), in the structural unit represented by (R4R5SiO2 / 2 ), both R4 and R5 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units. In the above formula (1), the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) and the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) each may have an alkoxy group, You may have.

上記のように、上記第1のシリコーン樹脂は、ジメチルシロキサン骨格を有さない。従って、上記式(1)で表される第1のシリコーン樹脂は、下記式(101)で表される構造単位を有さない。   As described above, the first silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton. Therefore, the first silicone resin represented by the above formula (1) does not have a structural unit represented by the following formula (101).

Figure 2012144617
Figure 2012144617

ダイボンド材の硬化物の耐熱クラック特性及び耐冷熱サイクル特性の双方をより一層高める観点からは、上記式(1)で表される第1のシリコーン樹脂は、(CHSiO3/2)で表される構造単位を有することが好ましい。この構造単位の導入により、ダイボンド材の硬化物が冷熱サイクルに晒されても、硬化物にクラックが生じ難くなる。 From the viewpoint of further improving both the heat-resistant crack characteristics and the cold-heat cycle characteristics of the cured product of the die bond material, the first silicone resin represented by the above formula (1) is represented by (CH 3 SiO 3/2 ). It is preferable to have a structural unit. By introducing this structural unit, even if the cured product of the die bond material is exposed to a thermal cycle, cracks are hardly generated in the cured product.

ダイボンド材の硬化物の耐熱クラック特性及び耐冷熱サイクル特性の双方をより一層高める観点からは、上記式(1)で表される第1のシリコーン樹脂は、下記式(1A)で表される第1のシリコーン樹脂であることが好ましい。   From the viewpoint of further improving both the heat-resistant crack characteristics and the cold-heat cycle characteristics of the cured product of the die bond material, the first silicone resin represented by the above formula (1) is the first silicone resin represented by the following formula (1A). 1 is preferable.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(1A)中、a、b、c1及びc2は、a/(a+b+c1+c2)=0.05〜0.50、b/(a+b+c1+c2)=0〜0.20、(c1+c2)/(a+b+c1+c2)=0.30〜0.90、c1/(a+b+c1+c2)=0.30〜0.90及びc2/(a+b+c1+c2)=0〜0.20を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(1A)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、R4及びR5の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。上記式(1A)中、R6がアリール基及びアルケニル基以外である場合に、R6は、メチル基ではなく、炭素数2〜8の炭化水素基を表すことが好ましい。なお、上記式(1A)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位及び(R6SiO3/2)で表される構造単位はそれぞれ、アルコキシ基を有していてもよく、ヒドロキシ基を有していてもよい。 In the above formula (1A), a, b, c1 and c2 are a / (a + b + c1 + c2) = 0.05 to 0.50, b / (a + b + c1 + c2) = 0 to 0.20, (c1 + c2) / (a + b + c1 + c2) = 0.30-0.90, satisfying c1 / (a + b + c1 + c2) = 0.30-0.90 and c2 / (a + b + c1 + c2) = 0-0.20, R1 to R6 each represents at least one aryl group, At least one represents a hydrogen atom, and R1 to R6 other than the aryl group and the hydrogen atom represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. However, in the above formula (1A), the structural unit represented by (R4R5SiO2 / 2 ) is not a methyl group in R4 and R5, and is not a dimethylsiloxane structural unit. In the above formula (1A), when R6 is other than an aryl group or an alkenyl group, R6 preferably represents a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms, not a methyl group. In the above formula (1A), the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) and the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) may each have an alkoxy group, and have a hydroxy group. You may have.

ガスバリア性にさらに一層優れたダイボンド材を得る観点からは、上記第1のシリコーン樹脂は、アリール基と、珪素原子に結合した水素原子と、アルケニル基とを有する第1のシリコーン樹脂であることが好ましい。ガスバリア性にさらに一層優れたダイボンド材を得る観点からは、上記式(1)及び上記式(1A)中、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基、水素原子及びアルケニル基以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表すことが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a die bond material that is further excellent in gas barrier properties, the first silicone resin may be a first silicone resin having an aryl group, a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and an alkenyl group. preferable. From the viewpoint of obtaining a die bond material that is further excellent in gas barrier properties, in the formula (1) and the formula (1A), at least one of R1 to R6 represents an aryl group, and at least one represents a hydrogen atom. , At least one represents an alkenyl group, and R1 to R6 other than an aryl group, a hydrogen atom and an alkenyl group preferably represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.

上記式(1)及び上記式(1A)は平均組成式を示す。上記式(1)及び上記式(1A)における炭化水素基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。上記式(1)及び上記式(1A)中のR1〜R6は同一であってもよく、異なっていてもよい。   The above formula (1) and the above formula (1A) show an average composition formula. The hydrocarbon group in the above formula (1) and the above formula (1A) may be linear or branched. R1 to R6 in the above formula (1) and the above formula (1A) may be the same or different.

上記式(1)及び上記式(1A)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位における酸素原子部分、及び(R6SiO3/2)で表される構造単位における酸素原子部分はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子部分、アルコキシ基の酸素原子部分、又はヒドロキシ基の酸素原子部分を示す。 In the above formula (1) and the above formula (1A), the oxygen atom part in the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) and the oxygen atom part in the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) are respectively An oxygen atom part forming a siloxane bond, an oxygen atom part of an alkoxy group, or an oxygen atom part of a hydroxy group is shown.

なお、一般に、上記式(1)及び上記式(1A)の各構造単位において、アルコキシ基の含有量は少なく、更にヒドロキシ基の含有量も少ない。これは、一般に、第1のシリコーン樹脂を得るために、アルコキシシラン化合物などの有機珪素化合物を加水分解し、重縮合させると、アルコキシ基及びヒドロキシ基の多くは、シロキサン結合の部分骨格に変換されるためである。すなわち、アルコキシ基の酸素原子及びヒドロキシ基の酸素原子の多くは、シロキサン結合を形成している酸素原子に変換される。上記式(1)及び上記式(1A)の各構造単位がアルコキシ基又はヒドロキシ基を有する場合には、シロキサン結合の部分骨格に変換されなかった未反応のアルコキシ基又はヒドロキシ基がわずかに残存していることを示す。後述の式(51)及び後述の式(51A)の各構造単位がアルコキシ基又はヒドロキシ基を有する場合に関しても、同様のことがいえる。   In general, in each structural unit of the above formula (1) and the above formula (1A), the content of alkoxy groups is small, and the content of hydroxy groups is also small. In general, when an organosilicon compound such as an alkoxysilane compound is hydrolyzed and polycondensed in order to obtain a first silicone resin, most of the alkoxy groups and hydroxy groups are converted into partial skeletons of siloxane bonds. Because. That is, most of oxygen atoms of the alkoxy group and oxygen atoms of the hydroxy group are converted into oxygen atoms forming a siloxane bond. When each structural unit of the above formula (1) and the above formula (1A) has an alkoxy group or a hydroxy group, a slight amount of unreacted alkoxy group or hydroxy group that has not been converted into a partial skeleton of a siloxane bond remains. Indicates that The same applies to the case where each structural unit of formula (51) described later and formula (51A) described below has an alkoxy group or a hydroxy group.

上記式(1)及び上記式(1A)における炭素数1〜8の炭化水素基としては特に限定されず、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、t−ペンチル基、イソへキシル基、シクロヘキシル基、ビニル基及びアリル基等が挙げられる。   It does not specifically limit as a C1-C8 hydrocarbon group in the said Formula (1) and said Formula (1A), For example, a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group N-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, neopentyl group, t-pentyl group, isohexyl group, cyclohexyl group , Vinyl group and allyl group.

上記式(1)及び上記式(1A)中にアルケニル基がある場合には、該アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基及びヘキセニル基等が挙げられる。ガスバリア性をより一層高める観点からは、第1のシリコーン樹脂におけるアルケニル基及び上記式(1)及び上記式(1A)中のアルケニル基は、ビニル基又はアリル基であることが好ましく、ビニル基であることがより好ましい。   When there is an alkenyl group in the formula (1) and the formula (1A), examples of the alkenyl group include a vinyl group, an allyl group, a butenyl group, a pentenyl group, and a hexenyl group. From the viewpoint of further enhancing the gas barrier property, the alkenyl group in the first silicone resin and the alkenyl group in the above formula (1) and the above formula (1A) are preferably vinyl groups or allyl groups. More preferably.

上記第1のシリコーン樹脂における下記式(X1)より求められるアリール基の含有比率は3モル%以上、30モル%以下であることが好ましい。このアリール基の含有比率が3モル%以上であると、ガスバリア性がより一層高くなる。アリール基の含有比率が30モル%以下であると、ダイボンド材の剥離が生じ難くなる。ガスバリア性を更に一層高める観点からは、アリール基の含有比率は5モル%以上であることがより好ましい。ダイボンド材の剥離をより一層生じ難くする観点からは、アリール基の含有比率は、20モル%以下であることがより好ましい。   It is preferable that the content ratio of the aryl group calculated | required from the following formula (X1) in the said 1st silicone resin is 3 mol% or more and 30 mol% or less. When the content ratio of the aryl group is 3 mol% or more, the gas barrier property is further enhanced. When the content ratio of the aryl group is 30 mol% or less, the die bond material is hardly peeled off. From the viewpoint of further improving the gas barrier properties, the content ratio of the aryl group is more preferably 5 mol% or more. From the viewpoint of making the peeling of the die bond material more difficult to occur, the content ratio of the aryl group is more preferably 20 mol% or less.

アリール基の含有比率(モル%)=(上記第1のシリコーン樹脂の1分子あたりに含まれるアリール基の平均個数×アリール基の分子量/上記第1のシリコーン樹脂の数平均分子量)×100 ・・・式(X1)   Aryl group content ratio (mol%) = (average number of aryl groups contained in one molecule of the first silicone resin × molecular weight of aryl group / number average molecular weight of the first silicone resin) × 100・ Formula (X1)

上記式(X1)中、「第1のシリコーン樹脂」は、「平均組成式が上記式(1)又は上記式(1A)で表される第1のシリコーン樹脂」を示す。   In the above formula (X1), “first silicone resin” means “first silicone resin whose average composition formula is represented by the above formula (1) or the above formula (1A)”.

フェニル基を有する第1のシリコーン樹脂を用いる場合には、上記式(X1)におけるアリール基はフェニル基を示し、アリール基の含有比率はフェニル基の含有比率を示す。   When using the 1st silicone resin which has a phenyl group, the aryl group in the said formula (X1) shows a phenyl group, and the content rate of an aryl group shows the content rate of a phenyl group.

上記式(1)又は上記式(1A)で表される第1のシリコーン樹脂において、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位(以下、二官能構造単位ともいう)は、下記式(1−2)で表される構造、すなわち、二官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the first silicone resin represented by the above formula (1) or the above formula (1A), the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) (hereinafter also referred to as a bifunctional structural unit) is represented by the following formula (1 -2), that is, a structure in which one of oxygen atoms bonded to a silicon atom in the bifunctional structural unit constitutes a hydroxy group or an alkoxy group may be included.

(R4R5SiXO1/2) ・・・式(1−2) (R4R5SiXO 1/2 ) (Formula (1-2))

(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(1−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(1−2−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R4及びR5で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位に含まれる。具体的には、アルコキシ基がシロキサン結合の部分骨格に変換された場合には、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(1−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を示す。未反応のアルコキシ基が残存している場合、又はアルコキシ基がヒドロキシ基に変換された場合には、残存アルコキシ基又はヒドロキシ基を有する(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(1−2−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を示す。なお、下記式(1−b)で表される構造単位において、末端の酸素原子は、一般に隣接する珪素原子とシロキサン結合を形成しており、隣接する構造単位と酸素原子を共有している。従って、末端の1つの酸素原子を「O1/2」とする。 The structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (1-b), and is further represented by the following formula (1-2b). A portion surrounded by a broken line of the structural unit may be included. That is, a structural unit having a group represented by R4 and R5 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ). Specifically, when the alkoxy group is converted into a partial skeleton of a siloxane bond, the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) is a broken line of the structural unit represented by the following formula (1-b) The part enclosed by is shown. When an unreacted alkoxy group remains, or when the alkoxy group is converted to a hydroxy group, the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) having the remaining alkoxy group or hydroxy group has the following formula: The part enclosed with the broken line of the structural unit represented by (1-2-b) is shown. In the structural unit represented by the following formula (1-b), the terminal oxygen atom generally forms a siloxane bond with an adjacent silicon atom, and shares an oxygen atom with the adjacent structural unit. Therefore, one oxygen atom at the terminal is defined as “O 1/2 ”.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(1−2)及び(1−2−b)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(1−b)、(1−2)及び(1−2−b)中のR4及びR5は、上記式(1)又は上記式(1A)中のR4及びR5と同様の基である。   In the above formulas (1-2) and (1-2-b), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. R4 and R5 in the above formulas (1-b), (1-2) and (1-2b) are the same groups as R4 and R5 in the above formula (1) or the above formula (1A). .

上記式(1)又は上記式(1A)で表される第1のシリコーン樹脂において、(R6SiO3/2)で表される構造単位(以下、三官能構造単位ともいう)は、下記式(1−3)又は(1−4)で表される構造、すなわち、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の2つがそれぞれヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造、又は、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the first silicone resin represented by the above formula (1) or the above formula (1A), the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) (hereinafter also referred to as trifunctional structural unit) is represented by the following formula (1 -3) or (1-4), that is, a structure in which two oxygen atoms bonded to a silicon atom in the trifunctional structural unit each constitute a hydroxy group or an alkoxy group, or a trifunctional structural unit One of the oxygen atoms bonded to the silicon atom therein may include a structure constituting a hydroxy group or an alkoxy group.

(R6SiX1/2) ・・・式(1−3)
(R6SiXO2/2) ・・・式(1−4)
(R6SiX 2 O 1/2 ) Formula (1-3)
(R6SiXO 2/2 ) Formula (1-4)

(R6SiO3/2)で表される構造単位は、下記式(1−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(1−3−c)又は(1−4−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R6で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R6SiO3/2)で表される構造単位に含まれる。 The structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (1-c), and further includes the following formula (1-3-c) or (1 The part enclosed with the broken line of the structural unit represented by -4-c) may be included. That is, a structural unit having a group represented by R6 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ).

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(1−3)、(1−3−c)、(1−4)及び(1−4−c)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(1−c)、(1−3)、(1−3−c)、(1−4)及び(1−4−c)中のR6は、上記式(1)又は上記式(1A)中のR6と同様の基である。   In the above formulas (1-3), (1-3-c), (1-4) and (1-4-c), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched group. An alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is represented. R6 in the above formulas (1-c), (1-3), (1-3-c), (1-4) and (1-4-c) represents the above formula (1) or the above formula (1A). It is the same group as R6 in).

上記式(1−b)及び(1−c)、式(1−2)〜(1−4)、並びに式(1−2−b)、(1−3−c)及び(1−4−c)において、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基としては特に限定されず、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基及びt−ブトキシ基が挙げられる。   The above formulas (1-b) and (1-c), formulas (1-2) to (1-4), and formulas (1-2b), (1-3-c) and (1-4- In c), the linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is not particularly limited, and examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an n-butoxy group, an isopropoxy group, and an isobutoxy group. , Sec-butoxy group and t-butoxy group.

上記式(1)中のa/(a+b+c)及び上記式(1A)中のa/(a+b+c1+c2)は、0.05以上、0.50以下である。a/(a+b+c)及びa/(a+b+c1+c2)が上記下限以上及び上記上限以下であると、ダイボンド材の耐熱性がより一層高くなり、かつダイボンド材の剥離をより一層抑制できる。上記式(1)中のa/(a+b+c)及び上記式(1A)中のa/(a+b+c1+c2)は、好ましくは0.10以上、より好ましくは0.15以上、好ましくは0.45以下、より好ましくは0.40以下である。   A / (a + b + c) in the formula (1) and a / (a + b + c1 + c2) in the formula (1A) are 0.05 or more and 0.50 or less. When a / (a + b + c) and a / (a + b + c1 + c2) are not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the heat resistance of the die bond material can be further enhanced, and peeling of the die bond material can be further suppressed. A / (a + b + c) in the above formula (1) and a / (a + b + c1 + c2) in the above formula (1A) are preferably 0.10 or more, more preferably 0.15 or more, preferably 0.45 or less. Preferably it is 0.40 or less.

上記式(1)中のb/(a+b+c)及び上記式(1A)中のb/(a+b+c1+c2)は、0以上、0.20以下である。b/(a+b+c)及びb(a+b+c1+c2)が上記上限以下であると、高温での貯蔵弾性率が高くなる。b/(a+b+c)及びb(a+b+c1+c2)は、0を超えていてもよく、0.01以上であってもよい。上記式(1)及び上記式(1A)中、(R4R5SiO2/2)の構造単位が存在していても、ダイボンド材の硬化物のボンダビィリティーを良好にし、かつ耐熱クラック特性を高めることができる。なお、bが0であり、b/(a+b+c)及びb/(a+b+c1+c2)が0である場合、上記式(1)及び上記式(1A)中、(R4R5SiO2/2)の構造単位は存在しない。 B / (a + b + c) in the above formula (1) and b / (a + b + c1 + c2) in the above formula (1A) are 0 or more and 0.20 or less. When b / (a + b + c) and b (a + b + c1 + c2) are less than or equal to the above upper limit, the storage elastic modulus at a high temperature is increased. b / (a + b + c) and b (a + b + c1 + c2) may exceed 0, and may be 0.01 or more. In the above formula (1) and the above formula (1A), even if the structural unit of (R4R5SiO 2/2 ) is present, the bondability of the cured product of the die bond material can be improved and the heat cracking property can be improved. it can. When b is 0 and b / (a + b + c) and b / (a + b + c1 + c2) are 0, there is no structural unit of (R4R5SiO 2/2 ) in the above formula (1) and the above formula (1A). .

上記式(1)中のc/(a+b+c)及び上記式(1A)中の(c1+c2)/(a+b+c1+c2)は、0.30以上、0.90以下である。c/(a+b+c)及び(c1+c2)/(a+b+c1+c2)が上記下限以上であると、ダイボンド材の高温での貯蔵弾性率が高くなる。c/(a+b+c)が上記上限以下であると、ダイボンド材の耐熱性が高くなる。上記式(1)中のc/(a+b+c)及び上記式(1A)中の(c1+c2)/(a+b+c1+c2)は、好ましくは0.40以上、より好ましくは0.50以上、好ましくは0.80以下、より好ましくは0.75以下である。   C / (a + b + c) in the above formula (1) and (c1 + c2) / (a + b + c1 + c2) in the above formula (1A) are 0.30 or more and 0.90 or less. When c / (a + b + c) and (c1 + c2) / (a + b + c1 + c2) are equal to or higher than the lower limit, the storage elastic modulus at a high temperature of the die bond material is increased. When c / (a + b + c) is not more than the above upper limit, the heat resistance of the die bond material is increased. C / (a + b + c) in the above formula (1) and (c1 + c2) / (a + b + c1 + c2) in the above formula (1A) are preferably 0.40 or more, more preferably 0.50 or more, preferably 0.80 or less. More preferably, it is 0.75 or less.

上記式(1A)中のc1/(a+b+c1+c2)は、0.30以上、0.90以下であり、かつc2/(a+b+c1+c2)は、0以上、0.20以下である。c1/(a+b+c1+c2)及びc2/(a+b+c1+c2)が上記下限以上及び上記上限以下であると、ダイボンド材の硬化物の耐熱クラック特性及び耐冷熱サイクル特性の双方を大きく高めることができる。上記式(1A)中のc1/(a+b+c1+c2)は、好ましくは0.35以上、より好ましくは0.40以上、好ましくは0.80以下、より好ましくは0.75以下である。c2/(a+b+c1+c2)は、0を超えていてもよく、0.01以上であってもよい。なお、c2が0であり、c2/(a+b+c1+c2)が0である場合、上記式(1A)中、(R6SiO3/2)の構造単位は存在しない。 In the above formula (1A), c1 / (a + b + c1 + c2) is 0.30 or more and 0.90 or less, and c2 / (a + b + c1 + c2) is 0 or more and 0.20 or less. When c1 / (a + b + c1 + c2) and c2 / (a + b + c1 + c2) are not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, both the heat-resistant crack characteristics and the cold-heat cycle characteristics of the cured product of the die bond material can be greatly enhanced. C1 / (a + b + c1 + c2) in the above formula (1A) is preferably 0.35 or more, more preferably 0.40 or more, preferably 0.80 or less, more preferably 0.75 or less. c2 / (a + b + c1 + c2) may exceed 0 or may be 0.01 or more. In addition, when c2 is 0 and c2 / (a + b + c1 + c2) is 0, the structural unit of (R6SiO 3/2 ) does not exist in the above formula (1A).

上記第1のシリコーン樹脂について、テトラメチルシラン(以下、TMS)を基準に29Si−核磁気共鳴分析(以下、NMR)を行うと、置換基の種類によって若干の変動は見られるものの、上記式(1)及び上記式(1A)中の(R1R2R3SiO1/2)で表される構造単位に相当するピークは+10〜−5ppm付近に現れ、上記式(1)及び上記式(1A)中の(R4R5SiO2/2)及び(1−2)の二官能構造単位に相当する各ピークは−10〜−50ppm付近に現れ、上記式(1)及び上記式(1A)中の(R6SiO3/2)、(CHSiO3/2)、並びに(1−3)及び(1−4)の三官能構造単位に相当する各ピークは−50〜−80ppm付近に現れる。 When the first silicone resin is subjected to 29 Si-nuclear magnetic resonance analysis (hereinafter referred to as NMR) based on tetramethylsilane (hereinafter referred to as TMS), although the above formula shows a slight variation depending on the type of substituent. The peak corresponding to the structural unit represented by (R1R2R3SiO 1/2 ) in (1) and the above formula (1A) appears in the vicinity of +10 to −5 ppm, and in the above formula (1) and the above formula (1A), Each peak corresponding to the bifunctional structural unit of (R4R5SiO2 / 2 ) and (1-2) appears in the vicinity of −10 to −50 ppm, and (R6SiO3 / 2 ) in the above formula (1) and the above formula (1A). , (CH 3 SiO 3/2 ), and peaks corresponding to the trifunctional structural units of (1-3) and (1-4) appear in the vicinity of −50 to −80 ppm.

従って、29Si−NMRを測定し、それぞれのシグナルのピーク面積を比較することによって上記式(1)及び上記式(1A)中の各構造単位の比率を測定できる。 Therefore, the ratio of each structural unit in the above formula (1) and the above formula (1A) can be measured by measuring 29 Si-NMR and comparing the peak areas of the respective signals.

但し、上記TMSを基準にした29Si−NMRの測定で上記式(1)及び上記式(1A)中の構造単位の見分けがつかない場合は、29Si−NMRの測定結果だけではなく、H−NMRの測定結果を必要に応じて用いることにより、上記式(1)及び上記式(1A)中の各構造単位の比率を見分けることができる。 However, in the case where the structural unit in the above formula (1) and the above formula (1A) cannot be distinguished by the 29 Si-NMR measurement based on the TMS, not only the 29 Si-NMR measurement result but also 1 By using the measurement results of H-NMR as necessary, the ratio of each structural unit in the above formula (1) and the above formula (1A) can be distinguished.

(第2のシリコーン樹脂)
本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材に含まれている第2のシリコーン樹脂は、下記式(51)で表され、アリール基と、アルケニル基とを有する。上記第2のシリコーン樹脂は、ジメチルシロキサン骨格(ジメチルシロキサン構造単位)を有さない。上記アルケニル基は、珪素原子に直接結合している。上記アルケニル基の炭素−炭素二重結合における炭素原子が、珪素原子に結合していてもよく、上記アルケニル基の炭素−炭素二重結合における炭素原子とは異なる炭素原子が、珪素原子に結合していてもよい。上記アリール基としては、無置換のフェニル基及び置換フェニル基が挙げられる。上記第2のシリコーン樹脂は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Second silicone resin)
The 2nd silicone resin contained in the die-bonding material for optical semiconductor devices which concerns on this invention is represented by following formula (51), and has an aryl group and an alkenyl group. The second silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton (dimethylsiloxane structural unit). The alkenyl group is directly bonded to the silicon atom. The carbon atom in the carbon-carbon double bond of the alkenyl group may be bonded to the silicon atom, and the carbon atom different from the carbon atom in the carbon-carbon double bond of the alkenyl group is bonded to the silicon atom. It may be. As said aryl group, an unsubstituted phenyl group and a substituted phenyl group are mentioned. As for the said 2nd silicone resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(51)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.05〜0.50、q/(p+q+r)=0.05〜0.50及びr/(p+q+r)=0.05〜0.50を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(51)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、R54及びR55の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。なお、上記式(51)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位及び(R56SiO3/2)で表される構造単位はそれぞれ、アルコキシ基を有していてもよく、ヒドロキシ基を有していてもよい。 In the above formula (51), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r) = 0.05 to 0.50 and r / (p + q + r) = 0. R51 to R56, at least one represents an aryl group, at least one represents an alkenyl group, and R51 to R56 other than the aryl group and the alkenyl group are carbon atoms having 1 to 8 carbon atoms. Represents a hydrogen group. However, in the above formula (51), in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ), both R54 and R55 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units. In the above formula (51), the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) and the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) may each have an alkoxy group, and have a hydroxy group. You may have.

上記のように、上記第2のシリコーン樹脂は、ジメチルシロキサン骨格を有さない。従って、上記式(51)で表される第2のシリコーン樹脂は、下記式(101)で表される構造単位を有さない。   As described above, the second silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton. Therefore, the second silicone resin represented by the above formula (51) does not have a structural unit represented by the following formula (101).

Figure 2012144617
Figure 2012144617

ダイボンド材の硬化物の耐熱クラック特性及び耐冷熱サイクル特性の双方をより一層高める観点からは、上記式(51)で表される第2のシリコーン樹脂は、(CHSiO3/2)で表される構造単位を有することが好ましい。この構造単位の導入により、ダイボンド材の硬化物が冷熱サイクルに晒されても、硬化物にクラックが生じ難くなる。 From the viewpoint of further enhancing both the heat cracking characteristics and the thermal cycle resistance characteristics of the cured product of the die bond material, the second silicone resin represented by the above formula (51) is represented by (CH 3 SiO 3/2 ). It is preferable to have a structural unit. By introducing this structural unit, even if the cured product of the die bond material is exposed to a thermal cycle, cracks are hardly generated in the cured product.

ダイボンド材の硬化物の耐熱クラック特性及び耐冷熱サイクル特性の双方をより一層高める観点からは、上記式(51)で表される第2のシリコーン樹脂は、下記式(51A)で表される第2のシリコーン樹脂であることが好ましい。   From the standpoint of further enhancing both the heat-resistant crack characteristics and the cold-heat cycle characteristics of the cured product of the die bond material, the second silicone resin represented by the above formula (51) is a second silicone resin represented by the following formula (51A). 2 is preferable.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(51A)中、p、q、r1及びr2は、p/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、q/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、(r1+r2)/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、r1/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.40及びr2/(p+q+r1+r2)=0〜0.50を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、上記式(51A)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、R54及びR55の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。上記式(51A)中、R56がアリール基及びアルケニル基以外である場合に、R56は、メチル基ではなく、炭素数2〜8の炭化水素基を表すことが好ましい。なお、上記式(51A)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位及び(R56SiO3/2)で表される構造単位はそれぞれ、アルコキシ基を有していてもよく、ヒドロキシ基を有していてもよい。 In the above formula (51A), p, q, r1 and r2 are p / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.50, (r1 + r2) / (p + q + r1 + r2) ) = 0.05 to 0.50, r1 / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.40 and r2 / (p + q + r1 + r2) = 0 to 0.50, R51 to R56 are at least one aryl group And at least one represents an alkenyl group, and R51 to R56 other than an aryl group and an alkenyl group represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. However, in the above formula (51A), in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ), both R54 and R55 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units. In the above formula (51A), when R56 is other than an aryl group and an alkenyl group, R56 preferably represents a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms, not a methyl group. In the formula (51A), the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) and the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) may each have an alkoxy group, You may have.

上記式(51)及び上記式(51A)は平均組成式を示す。上記式(51)及び上記式(51A)における炭化水素基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。上記式(51)及び上記式(51A)中のR51〜R56は同一であってもよく、異なっていてもよい。   The above formula (51) and the above formula (51A) show the average composition formula. The hydrocarbon group in the above formula (51) and the above formula (51A) may be linear or branched. R51 to R56 in the above formula (51) and the above formula (51A) may be the same or different.

上記式(51)及び上記式(51A)中、アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基及びヘキセニル基等が挙げられる。ガスバリア性をより一層高める観点からは、第2のシリコーン樹脂におけるアルケニル基及び上記式(51)及び上記式(51A)中のアルケニル基は、ビニル基又はアリル基であることが好ましく、ビニル基であることがより好ましい。   In the above formula (51) and the above formula (51A), examples of the alkenyl group include a vinyl group, an allyl group, a butenyl group, a pentenyl group, and a hexenyl group. From the viewpoint of further enhancing the gas barrier properties, the alkenyl group in the second silicone resin and the alkenyl group in the above formula (51) and the above formula (51A) are preferably vinyl groups or allyl groups, More preferably.

上記式(51)及び上記式(51A)における炭素数1〜8の炭化水素基としては特に限定されず、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、t−ペンチル基、イソへキシル基、シクロヘキシル基、ビニル基及びアリル基等が挙げられる。   It does not specifically limit as a C1-C8 hydrocarbon group in the said Formula (51) and said Formula (51A), For example, a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group N-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, neopentyl group, t-pentyl group, isohexyl group, cyclohexyl group , Vinyl group and allyl group.

上記第2のシリコーン樹脂における下記式(X51)より求められるアリール基の含有比率は3モル%以上、30モル%以下であることが好ましい。このアリール基の含有比率が3モル%以上であると、ガスバリア性がより一層高くなる。アリール基の含有比率が30モル%以下であると、ダイボンド材の剥離が生じ難くなる。ガスバリア性を更に一層高める観点からは、アリール基の含有比率は5モル%以上であることがより好ましい。剥離をより一層生じ難くする観点からは、アリール基の含有比率は、20モル%以下であることがより好ましい。   It is preferable that the content ratio of the aryl group calculated | required from the following formula (X51) in the said 2nd silicone resin is 3 mol% or more and 30 mol% or less. When the content ratio of the aryl group is 3 mol% or more, the gas barrier property is further enhanced. When the content ratio of the aryl group is 30 mol% or less, the die bond material is hardly peeled off. From the viewpoint of further improving the gas barrier properties, the content ratio of the aryl group is more preferably 5 mol% or more. From the viewpoint of making peeling more difficult, the aryl group content is more preferably 20 mol% or less.

アリール基の含有比率(モル%)=(第2のシリコーン樹脂の1分子あたりに含まれるアリール基の平均個数×アリール基の分子量/第2のシリコーン樹脂の数平均分子量)×100 ・・・式(X51)   Aryl group content ratio (mol%) = (average number of aryl groups contained in one molecule of second silicone resin × molecular weight of aryl group / number average molecular weight of second silicone resin) × 100 Formula (X51)

上記式(X51)中、「第2のシリコーン樹脂」は、「平均組成式が上記式(51)又は上記式(51A)で表される第2のシリコーン樹脂」を示す。   In the above formula (X51), “second silicone resin” indicates “second silicone resin whose average composition formula is represented by the above formula (51) or the above formula (51A)”.

上記式(51)又は上記式(51A)で表され、フェニル基を有する第2のシリコーン樹脂を用いる場合には、上記式(X51)におけるアリール基はフェニル基を示し、アリール基の含有比率はフェニル基の含有比率を示す。   When the second silicone resin represented by the above formula (51) or the above formula (51A) and having a phenyl group is used, the aryl group in the above formula (X51) represents a phenyl group, and the content ratio of the aryl group is The content ratio of the phenyl group is shown.

上記式(51)又は上記式(51A)で表される第2のシリコーン樹脂において、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位(以下、二官能構造単位ともいう)は、下記式(51−2)で表される構造、すなわち、二官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the second silicone resin represented by the above formula (51) or the above formula (51A), the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) (hereinafter also referred to as a bifunctional structural unit) has the following formula (51 -2), that is, a structure in which one of oxygen atoms bonded to a silicon atom in the bifunctional structural unit constitutes a hydroxy group or an alkoxy group may be included.

(R54R55SiXO1/2) ・・・式(51−2) (R54R55SiXO 1/2 ) Formula (51-2)

(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(51−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(51−2−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R54及びR55で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位に含まれる。 The structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (51-b), and is further represented by the following formula (51-2-b). A portion surrounded by a broken line of the structural unit may be included. That is, a structural unit having a group represented by R54 and R55 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ).

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(51−2)及び(51−2−b)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(51−b)、(51−2)及び(51−2−b)中のR54及びR55は、上記式(51)又は上記式(51A)中のR54及びR55と同様の基である。   In the above formulas (51-2) and (51-2-b), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. R54 and R55 in the above formulas (51-b), (51-2) and (51-2-b) are the same groups as R54 and R55 in the above formula (51) or the above formula (51A). .

上記式(51)又は上記式(51A)で表される第2のシリコーン樹脂において、(R56SiO3/2)で表される構造単位(以下、三官能構造単位ともいう)は、下記式(51−3)又は(51−4)で表される構造、すなわち、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の2つがそれぞれヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造、又は、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the second silicone resin represented by the above formula (51) or the above formula (51A), the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) (hereinafter also referred to as trifunctional structural unit) is represented by the following formula (51 -3) or (51-4), that is, a structure in which two oxygen atoms bonded to a silicon atom in a trifunctional structural unit each constitute a hydroxy group or an alkoxy group, or a trifunctional structural unit One of the oxygen atoms bonded to the silicon atom therein may include a structure constituting a hydroxy group or an alkoxy group.

(R56SiX1/2) ・・・式(51−3)
(R56SiXO2/2) ・・・式(51−4)
(R56SiX 2 O 1/2 ) (Formula (51-3)
(R56SiXO 2/2 ) Formula (51-4)

(R56SiO3/2)で表される構造単位は、下記式(51−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(51−3−c)又は(51−4−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R56で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R56SiO3/2)で表される構造単位に含まれる。 The structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (51-c), and further includes the following formula (51-3-c) or (51 The part enclosed with the broken line of the structural unit represented by -4-c) may be included. That is, a structural unit having a group represented by R56 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ).

Figure 2012144617
Figure 2012144617

上記式(51−3)、(51−3−c)、(51−4)及び(51−4−c)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(51−c)、(51−3)、(51−3−c)、(51−4)及び(51−4−c)中のR56は、上記式(51)及び上記(51A)中のR56と同様の基である。   In the above formulas (51-3), (51-3-c), (51-4) and (51-4-c), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched group. An alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is represented. R56 in the above formulas (51-c), (51-3), (51-3-c), (51-4) and (51-4-c) represents the above formula (51) and the above (51A). It is the same group as R56 in the inside.

上記式(51−b)及び(51−c)、式(51−2)〜(51−4)、並びに式(51−2−b)、(51−3−c)及び(51−4−c)において、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基としては特に限定されず、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基及びt−ブトキシ基が挙げられる。   The above formulas (51-b) and (51-c), formulas (51-2) to (51-4), and formulas (51-2-b), (51-3-c) and (51-4-) In c), the linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is not particularly limited, and examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an n-butoxy group, an isopropoxy group, and an isobutoxy group. , Sec-butoxy group and t-butoxy group.

上記式(51)中のp/(p+q+r)及び上記式(51A)中のp/(p+q+r1+r2)は、0.05以上、0.50以下である。p/(p+q+r)及びp/(p+q+r1+r2)が上記下限以上及び上限以下であると、ダイボンド材の耐熱性がより一層高くなり、かつダイボンド材の剥離をより一層抑制できる。上記式(51)中のp/(p+q+r)及び上記式(51A)中のp/(p+q+r1+r2)は、好ましくは0.10以上、より好ましくは0.15以上、好ましくは0.45以下、より好ましくは0.40以下である。   P / (p + q + r) in the above formula (51) and p / (p + q + r1 + r2) in the above formula (51A) are 0.05 or more and 0.50 or less. When p / (p + q + r) and p / (p + q + r1 + r2) are not less than the above lower limit and not more than the upper limit, the heat resistance of the die bond material can be further enhanced, and peeling of the die bond material can be further suppressed. P / (p + q + r) in the above formula (51) and p / (p + q + r1 + r2) in the above formula (51A) are preferably 0.10 or more, more preferably 0.15 or more, preferably 0.45 or less, more Preferably it is 0.40 or less.

上記式(51)中のq/(p+q+r)及び上記式(51A)中のq/(p+q+r1+r2)は、0.05以上、0.50以下である。q/(p+q+r)及びq/(p+q+r1+r2)が上記上限以下であると、ダイボンド材の高温での貯蔵弾性率が高くなる。上記式(51)中のq/(p+q+r)及び上記式(51A)中のq/(p+q+r1+r2)は、好ましくは0.40以下、より好ましくは0.35以下である。   Q / (p + q + r) in the above formula (51) and q / (p + q + r1 + r2) in the above formula (51A) are 0.05 or more and 0.50 or less. When q / (p + q + r) and q / (p + q + r1 + r2) are not more than the above upper limits, the storage elastic modulus at a high temperature of the die bond material is increased. Q / (p + q + r) in the above formula (51) and q / (p + q + r1 + r2) in the above formula (51A) are preferably 0.40 or less, more preferably 0.35 or less.

上記式(51)中のr/(p+q+r)及び上記式(51A)中の(r1+r2)/(p+q+r1+r2)は、0.05以上、0.50以下である。r/(p+q+r)及び(r1+r2)/(p+q+r1+r2)が上記下限以上であると、ダイボンド材の高温での貯蔵弾性率が高くなる。r/(p+q+r)及び(r1+r2)/(p+q+r1+r2)が上記上限以下であると、ダイボンド材の耐熱性が高くなる。   R / (p + q + r) in the above formula (51) and (r1 + r2) / (p + q + r1 + r2) in the above formula (51A) are 0.05 or more and 0.50 or less. When r / (p + q + r) and (r1 + r2) / (p + q + r1 + r2) are equal to or higher than the lower limit, the storage elastic modulus at a high temperature of the die bond material is increased. When r / (p + q + r) and (r1 + r2) / (p + q + r1 + r2) are less than or equal to the above upper limit, the heat resistance of the die bond material is increased.

上記式(51A)中のr1/(p+q+r1+r2)は、0.05以上、0.40以下であり、かつr2/(p+q+r1+r2)は、0以上、0.50以下である。r1/(p+q+r1+r2)及びr2/(p+q+r1+r2)が上記下限以上及び上記上限以下であると、ダイボンド材の硬化物の耐熱クラック特性及び耐冷熱サイクル特性の双方を大きく高めることができる。r2/(p+q+r1+r2)は、0を超えていてもよく、0.01以上であってもよい。なお、r2が0であり、r2/(p+q+r1+r2)が0である場合、上記式(51A)中、(R56SiO3/2)の構造単位は存在しない。 In the above formula (51A), r1 / (p + q + r1 + r2) is 0.05 or more and 0.40 or less, and r2 / (p + q + r1 + r2) is 0 or more and 0.50 or less. When r1 / (p + q + r1 + r2) and r2 / (p + q + r1 + r2) are not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, both the heat-resistant crack characteristics and the cold-heat cycle characteristics of the cured product of the die bond material can be greatly enhanced. r2 / (p + q + r1 + r2) may exceed 0 or 0.01 or more. Note that when r2 is 0 and r2 / (p + q + r1 + r2) is 0, there is no structural unit of (R56SiO 3/2 ) in the above formula (51A).

上記第2のシリコーン樹脂について、テトラメチルシラン(以下、TMS)を基準に29Si−核磁気共鳴分析(以下、NMR)を行うと、置換基の種類によって若干の変動は見られるものの、上記式(51)及び上記式(51A)中の(R51R52R53SiO1/2)で表される構造単位に相当するピークは+10〜−5ppm付近に現れ、上記式(51)及び上記式(51A)中の(R54R55SiO2/2)及び(51−2)の二官能構造単位に相当する各ピークは−10〜−50ppm付近に現れ、上記式(51)及び上記式(51A)中の(R56SiO3/2)、(CHSiO2/2)並びに(51−3)及び(51−4)の三官能構造単位に相当する各ピークは−50〜−80ppm付近に現れる。 For the second silicone resin, when 29 Si-nuclear magnetic resonance analysis (hereinafter referred to as NMR) is performed with reference to tetramethylsilane (hereinafter referred to as TMS), although some variation is observed depending on the type of substituent, the above formula (51) and the peak corresponding to the structural unit represented by (R51R52R53SiO 1/2 ) in the formula (51A) appears in the vicinity of +10 to −5 ppm, and in the formula (51) and the formula (51A) ( R54R55SiO 2/2 ) and peaks corresponding to the bifunctional structural units of (51-2) appear in the vicinity of −10 to −50 ppm, and (R56SiO 3/2 ) in the above formula (51) and the above formula (51A). , (CH 3 SiO 2/2 ) and the peaks corresponding to the trifunctional structural units of (51-3) and (51-4) appear in the vicinity of −50 to −80 ppm.

従って、29Si−NMRを測定し、それぞれのシグナルのピーク面積を比較することによって上記式(51)及び上記式(51A)中の各構造単位の比率を測定できる。 Therefore, by measuring 29 Si-NMR and comparing the peak areas of the respective signals, the ratio of each structural unit in the above formula (51) and the above formula (51A) can be measured.

但し、上記TMSを基準にした29Si−NMRの測定で上記式(51)及び上記式(51A)中の構造単位の見分けがつかない場合は、29Si−NMRの測定結果だけではなく、H−NMRの測定結果を必要に応じて用いることにより、上記式(51)及び上記式(51A)中の各構造単位の比率を見分けることができる。 However, in the case where the structural unit in the above formula (51) and the above formula (51A) cannot be distinguished by the 29 Si-NMR measurement based on the above TMS, not only the 29 Si-NMR measurement result but also 1 By using the measurement result of H-NMR as necessary, the ratio of each structural unit in the above formula (51) and the above formula (51A) can be distinguished.

上記第1のシリコーン樹脂100重量部に対して、上記第2のシリコーン樹脂の含有量は、好ましくは10重量部以上、より好ましくは30重量部以上、好ましくは400重量部以下、より好ましくは200重量部以下である。第1,第2のシリコーン樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、高温での貯蔵弾性率がより一層高く、かつガスバリア性により一層優れたダイボンド材を得ることができる。   The content of the second silicone resin with respect to 100 parts by weight of the first silicone resin is preferably 10 parts by weight or more, more preferably 30 parts by weight or more, preferably 400 parts by weight or less, more preferably 200 parts by weight. Less than parts by weight. When the content of the first and second silicone resins is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, a die bond material having a higher storage elastic modulus at a high temperature and more excellent gas barrier properties can be obtained.

(第1,第2のシリコーン樹脂の他の性質及びその合成方法)
上記第1,第2のオルガノポリシロキサンのアルコキシ基の含有量は、好ましくは0.5モル%以上、より好ましくは1モル%以上、好ましくは10モル%以下、より好ましくは5モル%以下である。アルコキシ基の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、ダイボンド材の密着性を高めることができる。アルコキシ基の含有量が上記下限以上であると、ダイボンド材の密着性を高めることができる。アルコキシ基の含有量が上記上限以下であると、第1,第2のシリコーン樹脂及びダイボンド材の貯蔵安定性が高くなり、ダイボンド材の耐熱性がより一層高くなる。
(Other properties of the first and second silicone resins and their synthesis methods)
The alkoxy group content of the first and second organopolysiloxanes is preferably 0.5 mol% or more, more preferably 1 mol% or more, preferably 10 mol% or less, more preferably 5 mol% or less. is there. When the content of the alkoxy group is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the adhesion of the die bond material can be improved. The adhesiveness of a die-bonding material can be improved as content of an alkoxy group is more than the said minimum. When the alkoxy group content is not more than the above upper limit, the storage stability of the first and second silicone resins and the die bond material is increased, and the heat resistance of the die bond material is further increased.

上記アルコキシ基の含有量は、第1,第2のシリコーン樹脂の平均組成式中に含まれる上記アルコキシ基の量を意味する。   The content of the alkoxy group means the amount of the alkoxy group contained in the average composition formula of the first and second silicone resins.

上記第1,第2のシリコーン樹脂はシラノール基を含有しないほうが好ましい。第1,第2のシリコーン樹脂がシラノール基を含有しないと、第1,第2のシリコーン樹脂及びダイボンド材の貯蔵安定性が高くなる。上記シラノール基は、真空下での加熱により減少させることができる。シラノール基の含有量は、赤外分光法を用いて測定できる。   The first and second silicone resins preferably do not contain silanol groups. When the first and second silicone resins do not contain silanol groups, the storage stability of the first and second silicone resins and the die bond material is increased. The silanol group can be reduced by heating under vacuum. The content of silanol groups can be measured using infrared spectroscopy.

上記第1,第2のシリコーン樹脂の数平均分子量(Mn)は好ましくは500以上、より好ましくは800以上、更に好ましくは1000以上、好ましくは50000以下、より好ましくは15000以下である。数平均分子量が上記下限以上であると、熱硬化時に揮発成分が少なくなり、高温環境下でダイボンド材の硬化物の厚みが減少しにくくなる。数平均分子量が上記上限以下であると、粘度調節が容易である。   The number average molecular weight (Mn) of the first and second silicone resins is preferably 500 or more, more preferably 800 or more, still more preferably 1000 or more, preferably 50000 or less, more preferably 15000 or less. When the number average molecular weight is equal to or more than the above lower limit, the volatile components are reduced at the time of thermosetting, and the thickness of the cured product of the die bond material is hardly reduced under a high temperature environment. When the number average molecular weight is not more than the above upper limit, viscosity adjustment is easy.

上記数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて、ポリスチレンを標準物質して求めた値である。上記数平均分子量(Mn)は、Waters社製の測定装置(カラム:昭和電工社製 Shodex GPC LF−804(長さ300mm)を2本、測定温度:40℃、流速:1mL/分、溶媒:テトラヒドロフラン、標準物質:ポリスチレン)を用いて測定された値を意味する。   The number average molecular weight (Mn) is a value obtained by using polystyrene as a standard substance using gel permeation chromatography (GPC). The number average molecular weight (Mn) was measured using two measuring devices manufactured by Waters (column: Shodex GPC LF-804 (length: 300 mm) manufactured by Showa Denko KK), measuring temperature: 40 ° C., flow rate: 1 mL / min, solvent: Tetrahydrofuran, standard substance: polystyrene) means a value measured.

上記第1,第2のシリコーン樹脂を合成する方法としては特に限定されず、アルコキシシラン化合物を加水分解し縮合反応させる方法、クロロシラン化合物を加水分解し縮合させる方法が挙げられる。なかでも、反応の制御の観点からアルコキシシラン化合物を加水分解する方法が好ましい。   The method for synthesizing the first and second silicone resins is not particularly limited, and examples thereof include a method in which an alkoxysilane compound is hydrolyzed and subjected to a condensation reaction, and a method in which a chlorosilane compound is hydrolyzed and condensed. Especially, the method of hydrolyzing an alkoxysilane compound from a viewpoint of control of reaction is preferable.

アルコキシシラン化合物を加水分解し縮合反応させる方法としては、例えば、アルコキシシラン化合物を、水と酸性触媒又は塩基性触媒との存在下で反応させる方法が挙げられる。また、ジシロキサン化合物を加水分解して用いてもよい。   Examples of the method for hydrolyzing and condensing the alkoxysilane compound include a method of reacting the alkoxysilane compound in the presence of water and an acidic catalyst or a basic catalyst. Further, the disiloxane compound may be hydrolyzed and used.

上記第1,第2のシリコーン樹脂にアリール基を導入するための有機珪素化合物としては、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチル(フェニル)ジメトキシシラン、及びフェニルトリメトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the organosilicon compound for introducing an aryl group into the first and second silicone resins include triphenylmethoxysilane, triphenylethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, methyl (phenyl) dimethoxysilane, and Examples thereof include phenyltrimethoxysilane.

上記第1,第2のシリコーン樹脂にアルケニル基を導入するための有機珪素化合物としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、メトキシジメチルビニルシラン、ビニルジメチルエトキシシラン及び1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン等が挙げられる。   Examples of organosilicon compounds for introducing alkenyl groups into the first and second silicone resins include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinylmethyldimethoxysilane, methoxydimethylvinylsilane, vinyldimethylethoxysilane, and 1,3. -Divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane and the like.

上記第1のシリコーン樹脂に珪素原子に結合した水素原子を導入するための有機珪素化合物としては、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、及び1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン等が挙げられる。   Examples of the organosilicon compound for introducing a hydrogen atom bonded to a silicon atom into the first silicone resin include trimethoxysilane, triethoxysilane, methyldimethoxysilane, methyldiethoxysilane, and 1,1,3,3. -Tetramethyldisiloxane and the like.

上記第1,第2のシリコーン樹脂を得るために用いることができる他の有機珪素化合物としては、例えば、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、イソプロピル(メチル)ジメトキシシラン、シクロヘキシル(メチル)ジメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン及びオクチルトリメトキシシラン等が挙げられる。   Examples of other organosilicon compounds that can be used to obtain the first and second silicone resins include trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, and isopropyl (methyl) dimethoxysilane. Cyclohexyl (methyl) dimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, and octyltrimethoxysilane.

上記酸性触媒としては、例えば、無機酸、有機酸、無機酸の酸無水物及びその誘導体、並びに有機酸の酸無水物及びその誘導体が挙げられる。   Examples of the acidic catalyst include inorganic acids, organic acids, acid anhydrides of inorganic acids and derivatives thereof, and acid anhydrides of organic acids and derivatives thereof.

上記無機酸としては、例えば、塩酸、リン酸、ホウ酸及び炭酸が挙げられる。上記有機酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、乳酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、フマル酸、マレイン酸及びオレイン酸が挙げられる。   Examples of the inorganic acid include hydrochloric acid, phosphoric acid, boric acid, and carbonic acid. Examples of the organic acid include formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, lactic acid, malic acid, tartaric acid, citric acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, fumaric acid, maleic acid and oleic acid. Is mentioned.

上記塩基性触媒としては、例えば、アルカリ金属の水酸化物、アルカリ金属のアルコキシド及びアルカリ金属のシラノール化合物が挙げられる。   Examples of the basic catalyst include alkali metal hydroxides, alkali metal alkoxides, and alkali metal silanol compounds.

上記アルカリ金属の水酸化物としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及び水酸化セシウムが挙げられる。上記アルカリ金属のアルコキシドとしては、例えば、ナトリウム−t−ブトキシド、カリウム−t−ブトキシド及びセシウム−t−ブトキシドが挙げられる。   Examples of the alkali metal hydroxide include sodium hydroxide, potassium hydroxide, and cesium hydroxide. Examples of the alkali metal alkoxide include sodium-t-butoxide, potassium-t-butoxide, and cesium-t-butoxide.

上記アルカリ金属のシラノール化合物としては、例えば、ナトリウムシラノレート化合物、カリウムシラノレート化合物及びセシウムシラノレート化合物が挙げられる。なかでも、カリウム系触媒又はセシウム系触媒が好適である。   Examples of the alkali metal silanol compound include a sodium silanolate compound, a potassium silanolate compound, and a cesium silanolate compound. Of these, a potassium-based catalyst or a cesium-based catalyst is preferable.

上記第1のシリコーン樹脂と上記第2のシリコーン樹脂とのそれぞれのE型粘度計を用いて測定された25℃及び10rpmでの粘度は、1200mPa・s以上、6000mPa・s以下であることが好ましい。粘度がこの範囲内であることにより、ダイボンド材の糸曳きと滲みとの双方を抑制できる。ダイボンド材の糸曳きと滲みとの双方をより一層抑制する観点からは、上記第2のシリコーン樹脂のE型粘度計を用いて測定された25℃における10rpmでの粘度は、好ましくは1300mPa・s以上、好ましくは4000mPa・s以下である。   The viscosities at 25 ° C. and 10 rpm measured with the respective E-type viscometers of the first silicone resin and the second silicone resin are preferably 1200 mPa · s or more and 6000 mPa · s or less. . When the viscosity is within this range, both the stringing and bleeding of the die bond material can be suppressed. From the viewpoint of further suppressing both stringing and bleeding of the die bond material, the viscosity at 10 rpm at 25 ° C. measured using the E-type viscometer of the second silicone resin is preferably 1300 mPa · s. As mentioned above, Preferably it is 4000 mPa * s or less.

また、本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材のE型粘度計を用いて測定された25℃における10rpmでの粘度η1は、好ましくは8000mPa・s以上、好ましくは30000mPa・s以下である。さらに、本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材のE型粘度計を用いて測定された25℃における1rpmでの粘度η2(mPa・s)のE型粘度計を用いて測定された25℃における10rpmでの粘度η1(mPa・s)に対する比(η2/η1)は好ましくは1.5以上、好ましくは4.0以下である。本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材が特定の上記粘度を有することにより、ダイボンド材の糸曳きと滲みとの双方を顕著に抑制できる。   Moreover, the viscosity η1 at 10 rpm at 25 ° C. measured using the E-type viscometer of the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention is preferably 8000 mPa · s or more, preferably 30000 mPa · s or less. Furthermore, at 25 ° C. measured using an E-type viscometer having a viscosity η2 (mPa · s) at 1 rpm at 25 ° C. measured using an E-type viscometer of a die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention. The ratio (η2 / η1) to the viscosity η1 (mPa · s) at 10 rpm is preferably 1.5 or more, and preferably 4.0 or less. When the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention has the specific viscosity, both the stringing and bleeding of the die bond material can be remarkably suppressed.

ダイボンド材の糸曳きと滲みとの双方をより一層抑制する観点からは、上記粘度η1は、より好ましくは12000mPa・s以上、より好ましくは25000mPa・s以下である。ダイボンド材の糸曳きと滲みとの双方をより一層抑制する観点からは、上記比(η2/η1)は、より好ましくは1.6以上、より好ましくは2.8以下である。   From the viewpoint of further suppressing both stringing and bleeding of the die bond material, the viscosity η1 is more preferably 12000 mPa · s or more, and more preferably 25000 mPa · s or less. From the viewpoint of further suppressing both the stringing and bleeding of the die bond material, the ratio (η2 / η1) is more preferably 1.6 or more, and more preferably 2.8 or less.

なお、シリコーン樹脂及び光半導体装置用ダイボンド材における上記「粘度」は、E型粘度計(TV−22型、東機産業社製)を用いて測定された値である。   In addition, the said "viscosity" in the silicone resin and the die bond material for optical semiconductor devices is a value measured using an E-type viscometer (TV-22 type, manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

(ヒドロシリル化反応用触媒)
本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材に含まれているヒドロシリル化反応用触媒は、上記第1のシリコーン樹脂中の珪素原子に結合した水素原子と、上記第2のシリコーン樹脂中のアルケニル基とをヒドロシリル化反応させる触媒である。
(Catalyst for hydrosilylation reaction)
The hydrosilylation reaction catalyst contained in the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention includes a hydrogen atom bonded to a silicon atom in the first silicone resin, and an alkenyl group in the second silicone resin. Is a catalyst for hydrosilylation reaction.

上記ヒドロシリル化反応用触媒として、ヒドロシリル化反応を進行させる各種の触媒を用いることができる。上記ヒドロシリル化反応用触媒は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   As the hydrosilylation reaction catalyst, various catalysts that cause the hydrosilylation reaction to proceed can be used. As for the said catalyst for hydrosilylation reaction, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記ヒドロシリル化反応用触媒としては、例えば、白金系触媒、ロジウム系触媒及びパラジウム系触媒等が挙げられる。ダイボンド材の透明性を高くすることができるため、白金系触媒が好ましい。   Examples of the hydrosilylation reaction catalyst include platinum-based catalysts, rhodium-based catalysts, and palladium-based catalysts. A platinum-based catalyst is preferable because the transparency of the die-bonding material can be increased.

上記白金系触媒としては、白金粉末、塩化白金酸、白金−アルケニルシロキサン錯体、白金−オレフィン錯体及び白金−カルボニル錯体が挙げられる。特に、白金−アルケニルシロキサン錯体又は白金−オレフィン錯体が好ましい。   Examples of the platinum-based catalyst include platinum powder, chloroplatinic acid, a platinum-alkenylsiloxane complex, a platinum-olefin complex, and a platinum-carbonyl complex. In particular, a platinum-alkenylsiloxane complex or a platinum-olefin complex is preferable.

上記白金−アルケニルシロキサン錯体におけるアルケニルシロキサンとしては、例えば、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、及び1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。上記白金−オレフィン錯体におけるオレフィンとしては、例えば、アリルエーテル及び1,6−ヘプタジエン等が挙げられる。   Examples of the alkenylsiloxane in the platinum-alkenylsiloxane complex include 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane and 1,3,5,7-tetramethyl-1,3,5. , 7-tetravinylcyclotetrasiloxane and the like. Examples of the olefin in the platinum-olefin complex include allyl ether and 1,6-heptadiene.

上記白金−アルケニルシロキサン錯体及び白金−オレフィン錯体の安定性を向上させることができるため、上記白金−アルケニルシロキサン錯体又は白金−オレフィン錯体に、アルケニルシロキサン、オルガノシロキサンオリゴマー、アリルエーテル又はオレフィンを添加することが好ましい。上記アルケニルシロキサンは、好ましくは1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンである。上記オルガノシロキサンオリゴマーは、好ましくはジメチルシロキサンオリゴマーである。上記オレフィンは、好ましくは1,6−ヘプタジエンである。   Since the stability of the platinum-alkenylsiloxane complex and platinum-olefin complex can be improved, alkenylsiloxane, organosiloxane oligomer, allyl ether or olefin is added to the platinum-alkenylsiloxane complex or platinum-olefin complex. Is preferred. The alkenylsiloxane is preferably 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane. The organosiloxane oligomer is preferably a dimethylsiloxane oligomer. The olefin is preferably 1,6-heptadiene.

ダイボンド材100重量%中、上記ヒドロシリル化反応用触媒の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.02重量%以上、好ましくは0.5重量%以下、より好ましくは0.3重量%以下である。上記ヒドロシリル化反応用触媒の含有量が上記下限以上であると、ダイボンド材を十分に硬化させることが容易であり、ダイボンド材のガスバリア性をより一層高めることができる。上記ヒドロシリル化反応用触媒の含有量が上記上限以下であると、ダイボンド材がより一層変色し難くなる。   The content of the hydrosilylation reaction catalyst in 100% by weight of the die bond material is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.02% by weight or more, preferably 0.5% by weight or less, more preferably 0%. .3% by weight or less. When the content of the catalyst for hydrosilylation reaction is not less than the above lower limit, it is easy to sufficiently cure the die bond material, and the gas barrier property of the die bond material can be further enhanced. When the content of the catalyst for hydrosilylation reaction is not more than the above upper limit, the die bond material is more difficult to discolor.

(酸化珪素粒子)
本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材に酸化珪素粒子が含まれていることにより、ダイボンド材の硬化物の耐熱性及び耐光性を損なうことなく、硬化前のダイボンド材の粘度を適当な範囲に調整できる。従って、ダイボンド材の取り扱い性を高めることができる。
(Silicon oxide particles)
By including silicon oxide particles in the die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention, the viscosity of the die bond material before curing is within an appropriate range without impairing the heat resistance and light resistance of the cured product of the die bond material. Can be adjusted. Therefore, the handleability of the die bond material can be improved.

上記酸化珪素粒子の一次粒子径は好ましくは5nm以上、より好ましくは8nm以上、好ましくは200nm以下、より好ましくは150nm以下である。上記酸化珪素粒子の一次粒子径が上記下限以上であると、酸化珪素粒子の分散性がより一層高くなり、ダイボンド材の硬化物の透明性がより一層高くなる。上記酸化珪素粒子の一次粒子径が上記上限以下であると、25℃における粘度の上昇効果を充分に得ることができ、かつ温度上昇における粘度の低下を抑制できる。   The primary particle diameter of the silicon oxide particles is preferably 5 nm or more, more preferably 8 nm or more, preferably 200 nm or less, more preferably 150 nm or less. When the primary particle diameter of the silicon oxide particles is not less than the above lower limit, the dispersibility of the silicon oxide particles is further increased, and the transparency of the cured product of the die bond material is further increased. When the primary particle diameter of the silicon oxide particles is not more than the above upper limit, it is possible to sufficiently obtain the effect of increasing the viscosity at 25 ° C. and to suppress the decrease in the viscosity due to the temperature increase.

上記酸化珪素粒子の一次粒子径は、以下のようにして測定される。光半導体装置用ダイボンド材の硬化物を透過型電子顕微鏡(商品名「JEM−2100」、日本電子社製)を用いて観察する。視野中の100個の酸化珪素粒子の一次粒子の大きさをそれぞれ測定し、測定値の平均値を一次粒子径とする。上記一次粒子径は、上記酸化珪素粒子が球形である場合には酸化珪素粒子の直径の平均値を意味し、非球形である場合には酸化珪素粒子の長径の平均値を意味する。   The primary particle diameter of the silicon oxide particles is measured as follows. The cured product of the die bond material for an optical semiconductor device is observed using a transmission electron microscope (trade name “JEM-2100”, manufactured by JEOL Ltd.). The size of the primary particles of 100 silicon oxide particles in the visual field is measured, and the average value of the measured values is defined as the primary particle diameter. The primary particle diameter means an average value of the diameters of the silicon oxide particles when the silicon oxide particles are spherical, and an average value of the major diameters of the silicon oxide particles when the silicon oxide particles are non-spherical.

上記酸化珪素粒子のBET比表面積は、好ましくは30m/g以上、好ましくは400m/g以下である。上記酸化珪素粒子のBET比表面積が30m/g以上であると、ダイボンド材の25℃における粘度を好適な範囲に制御でき、温度上昇における粘度の低下を抑制できる。上記酸化珪素粒子のBET比表面積が400m/g以下であると、酸化珪素粒子の凝集が生じ難くなり、分散性を高くすることができ、更にダイボンド材の硬化物の透明性をより一層高くすることができる。 The BET specific surface area of the silicon oxide particles is preferably 30 m 2 / g or more, and preferably 400 m 2 / g or less. When the BET specific surface area of the silicon oxide particles is 30 m 2 / g or more, the viscosity of the die bond material at 25 ° C. can be controlled within a suitable range, and the decrease in viscosity due to temperature rise can be suppressed. When the BET specific surface area of the silicon oxide particles is 400 m 2 / g or less, the aggregation of the silicon oxide particles hardly occurs, the dispersibility can be increased, and the transparency of the cured product of the die bond material can be further increased. can do.

上記酸化珪素粒子としては特に限定されず、例えば、フュームドシリカ、溶融シリカ等の乾式法で製造されたシリカ、並びにコロイダルシリカ、ゾルゲルシリカ、沈殿シリカ等の湿式法で製造されたシリカ等が挙げられる。なかでも、揮発成分が少なく、かつ透明性がより一層高いダイボンド材を得る観点からは、上記酸化珪素粒子として、フュームドシリカが好適に用いられる。   The silicon oxide particles are not particularly limited, and examples thereof include silica produced by a dry method such as fumed silica and fused silica, and silica produced by a wet method such as colloidal silica, sol-gel silica and precipitated silica. It is done. Among these, fumed silica is preferably used as the silicon oxide particles from the viewpoint of obtaining a die-bonding material with less volatile components and higher transparency.

上記フュームドシリカとしては、例えば、Aerosil 50(比表面積:50m/g)、Aerosil 90(比表面積:90m/g)、Aerosil 130(比表面積:130m/g)、Aerosil 200(比表面積:200m/g)、Aerosil 300(比表面積:300m/g)、及びAerosil 380(比表面積:380m/g)(いずれも日本アエロジル社製)等が挙げられる。 Examples of the fumed silica include Aerosil 50 (specific surface area: 50 m 2 / g), Aerosil 90 (specific surface area: 90 m 2 / g), Aerosil 130 (specific surface area: 130 m 2 / g), Aerosil 200 (specific surface area). : 200 m 2 / g), Aerosil 300 (specific surface area: 300 m 2 / g), Aerosil 380 (specific surface area: 380 m 2 / g) (all manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) and the like.

上記酸化珪素粒子は、有機珪素化合物により表面処理されていることが好ましい。この表面処理により、酸化珪素粒子の分散性が非常に高くなり、硬化前のダイボンド材の温度上昇による粘度の低下をより一層抑制できる。   The silicon oxide particles are preferably surface-treated with an organosilicon compound. By this surface treatment, the dispersibility of the silicon oxide particles becomes very high, and it is possible to further suppress the decrease in viscosity due to the temperature increase of the die bond material before curing.

上記有機珪素化合物としては特に限定されず、例えば、アルキル基を有するシラン系化合物、ジメチルシロキサン等のシロキサン骨格を有する珪素系化合物、アミノ基を有する珪素系化合物、(メタ)アクリロイル基を有する珪素系化合物、及びエポキシ基を有する珪素系化合物等が挙げられる。上記「(メタ)アクリロイル基」は、アクリロイル基とメタクリロイル基とを意味する。   The organosilicon compound is not particularly limited. For example, a silane compound having an alkyl group, a silicon compound having a siloxane skeleton such as dimethylsiloxane, a silicon compound having an amino group, and a silicon compound having a (meth) acryloyl group. Examples thereof include a compound and a silicon compound having an epoxy group. The “(meth) acryloyl group” means an acryloyl group and a methacryloyl group.

酸化珪素粒子の分散性をさらに一層高める観点からは、表面処理に用いられる上記有機珪素化合物は、トリメチルシリル基を有する有機珪素化合物及びポリジメチルシロキサン基を有する有機珪素化合物の内の少なくとも1種であることが好ましい。上記酸化珪素粒子は、トリメチルシリル基を有する有機珪素化合物及びポリジメチルシロキサン基を有する有機珪素化合物の内の少なくとも1種により表面処理されていることが好ましい。   From the viewpoint of further enhancing dispersibility of the silicon oxide particles, the organosilicon compound used for the surface treatment is at least one of an organosilicon compound having a trimethylsilyl group and an organosilicon compound having a polydimethylsiloxane group. It is preferable. The silicon oxide particles are preferably surface-treated with at least one of an organosilicon compound having a trimethylsilyl group and an organosilicon compound having a polydimethylsiloxane group.

有機珪素化合物により表面処理する方法の一例として、トリメチルシリル基を有する有機珪素化合物を用いる場合には、例えば、ヘキサメチルジシラザン、トリメチルシリルクロライド及びトリメチルメトキシシラン等を用いて、酸化珪素粒子を表面処理する方法が挙げられる。ポリジメチルシロキサン基を有する有機珪素化合物を用いる場合には、ポリジメチルシロキサン基の末端にシラノール基を有する化合物及び環状シロキサン等を用いて、酸化珪素粒子を表面処理する方法が挙げられる。   As an example of a method for surface treatment with an organosilicon compound, when an organosilicon compound having a trimethylsilyl group is used, the silicon oxide particles are surface treated using, for example, hexamethyldisilazane, trimethylsilyl chloride, trimethylmethoxysilane, or the like. A method is mentioned. In the case of using an organosilicon compound having a polydimethylsiloxane group, a method of surface-treating silicon oxide particles using a compound having a silanol group at the terminal of the polydimethylsiloxane group, cyclic siloxane, or the like can be mentioned.

上記トリメチルシリル基を有する有機珪素化合物により表面処理された酸化珪素粒子の市販品としては、RX200(比表面積:140m/g)、及びR8200(比表面積:140m/g)(いずれも日本アエロジル社製)等が挙げられる。 Commercially available silicon oxide particles surface-treated with the above organosilicon compound having a trimethylsilyl group include RX200 (specific surface area: 140 m 2 / g) and R8200 (specific surface area: 140 m 2 / g) (both from Nippon Aerosil Co., Ltd.) Manufactured) and the like.

上記ポリジメチルシロキサン基を有する有機珪素化合物により表面処理された酸化珪素粒子の市販品としては、RY200(比表面積:120m/g)(日本アエロジル社製)等が挙げられる。 RY200 (specific surface area: 120 m 2 / g) (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) and the like can be mentioned as a commercial product of silicon oxide particles surface-treated with an organosilicon compound having a polydimethylsiloxane group.

上記有機珪素化合物により酸化珪素粒子を表面処理する方法は特に限定されない。この方法としては、例えば、ミキサー中に酸化珪素粒子を添加し、攪拌しながら有機珪素化合物を添加する乾式法、酸化珪素粒子のスラリー中に有機珪素化合物を添加するスラリー法、並びに、酸化珪素粒子の乾燥後に有機珪素化合物をスプレー付与するスプレー法などの直接処理法等が挙げられる。上記乾式法で用いられるミキサーとしては、ヘンシェルミキサー及びV型ミキサー等が挙げられる。上記乾式法では、有機珪素化合物は、直接、又は、アルコール水溶液、有機溶媒溶液若しくは水溶液として添加される。   The method for surface-treating the silicon oxide particles with the organosilicon compound is not particularly limited. As this method, for example, a dry method in which silicon oxide particles are added to a mixer and an organosilicon compound is added while stirring, a slurry method in which an organosilicon compound is added to a slurry of silicon oxide particles, and silicon oxide particles And a direct treatment method such as a spray method in which an organosilicon compound is sprayed after drying. Examples of the mixer used in the dry method include a Henschel mixer and a V-type mixer. In the dry method, the organosilicon compound is added directly or as an alcohol aqueous solution, an organic solvent solution or an aqueous solution.

上記有機珪素化合物により表面処理されている酸化珪素粒子を得るために、光半導体装置用ダイボンド材を調製する際に、酸化珪素粒子と上記第1,第2のシリコーン樹脂等のマトリクス樹脂との混合時に、有機珪素化合物を直接添加するインテグレルブレンド法等を用いてもよい。   When preparing a die bond material for an optical semiconductor device in order to obtain silicon oxide particles surface-treated with the organosilicon compound, the silicon oxide particles are mixed with a matrix resin such as the first and second silicone resins. Sometimes, an integral blend method or the like in which an organosilicon compound is directly added may be used.

上記光半導体装置用ダイボンド材100重量%中、上記酸化珪素粒子の含有量は、好ましくは5重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは25重量%以下である。上記酸化珪素粒子の含有量が上記下限以上であると、ダイボンド材の硬化物の耐熱性及び耐光性を損なうことなく、硬化前のダイボンド材の粘度を適当な範囲に調整できる。上記酸化珪素粒子の含有量が上記上限以下であると、ダイボンド材の粘度をより一層適正な範囲に制御でき、かつダイボンド材の透明性をより一層高めることができる。本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材では、上記酸化珪素粒子の含有量が30重量%以下であっても、高温での貯蔵弾性率が高くなる。   In 100% by weight of the die bond material for an optical semiconductor device, the content of the silicon oxide particles is preferably 5% by weight or more, preferably 30% by weight or less, more preferably 25% by weight or less. When the content of the silicon oxide particles is not less than the above lower limit, the viscosity of the die bond material before curing can be adjusted to an appropriate range without impairing the heat resistance and light resistance of the cured product of the die bond material. When the content of the silicon oxide particles is not more than the above upper limit, the viscosity of the die bond material can be controlled to a more appropriate range, and the transparency of the die bond material can be further enhanced. In the die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention, even when the content of the silicon oxide particles is 30% by weight or less, the storage elastic modulus at a high temperature is increased.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材が、上記有機珪素化合物により表面処理された酸化珪素粒子を含有することにより、アリール基を有する第2のシリコーン樹脂又はアリール基を有する第1のシリコーン樹脂を含有していても、ダイボンド材の高温での粘度を十分な高さに維持できる。これにより、ダイボンド材が高温に加熱された時の粘度を適切な範囲に調整でき、ダイボンド材中の酸化珪素粒子の分散状態を良好にすることができる。このため、ダイボンド材の透明性をより一層高めることができる。   The die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention contains the silicon oxide particles surface-treated with the organosilicon compound, whereby the second silicone resin having an aryl group or the first silicone resin having an aryl group Even if it contains, the viscosity at the high temperature of a die-bonding material can be maintained at sufficient height. Thereby, the viscosity when the die bond material is heated to a high temperature can be adjusted to an appropriate range, and the dispersed state of the silicon oxide particles in the die bond material can be improved. For this reason, the transparency of the die bond material can be further enhanced.

(カップリング剤)
本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材は、接着性を付与するために、カップリング剤をさらに含んでいてもよい。
(Coupling agent)
The die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention may further contain a coupling agent in order to impart adhesiveness.

上記カップリング剤としては特に限定されず、例えば、シランカップリング剤等が挙げられる。該シランカップリング剤としては、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、及びN−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。カップリング剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   It does not specifically limit as said coupling agent, For example, a silane coupling agent etc. are mentioned. Examples of the silane coupling agent include vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and γ-methacryloxypropyltrimethoxy. Examples include silane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, and N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane. As for a coupling agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

(他の成分)
本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材は、必要に応じて、紫外線吸収剤、酸化防止剤、溶剤、着色剤、充填剤、消泡剤、表面処理剤、難燃剤、粘度調節剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、可塑剤、防黴剤、レベリング剤、安定剤、カップリング剤、タレ防止剤又は蛍光体等を含有してもよい。
(Other ingredients)
The die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention includes an ultraviolet absorber, an antioxidant, a solvent, a colorant, a filler, an antifoaming agent, a surface treatment agent, a flame retardant, a viscosity modifier, and a dispersant as necessary. , A dispersion aid, a surface modifier, a plasticizer, an antifungal agent, a leveling agent, a stabilizer, a coupling agent, an anti-sagging agent, or a phosphor.

(光半導体装置用ダイボンド材の詳細及び用途)
本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材は、ペースト状であってもよく、フィルム状であってもよい。本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材は、ペースト状であることが好ましい。
(Details and applications of die bond materials for optical semiconductor devices)
The die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention may be in the form of a paste or a film. The die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention is preferably in a paste form.

上記第1のシリコーン樹脂と、上記第2のシリコーン樹脂と、上記ヒドロシリル化反応用触媒とは、これらを1種又は2種以上含む液を別々に調製しておき、使用直前に複数の液を混合して、本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材を調製してもよい。この場合に、酸化珪素粒子及びカップリング剤はそれぞれ、A液に添加してもよく、B液に添加してもよい。例えば、上記第2のシリコーン樹脂及び上記ヒドロシリル化反応用触媒を含むA液と、第1のシリコーン樹脂を含むB液とを別々に調製しておき、使用直前にA液とB液を混合して、ダイボンド材を調製してもよい。この場合に、酸化珪素粒子及びカップリング剤はA液に添加してもよく、B液に添加してもよい。このように上記第2のシリコーン樹脂及び上記ヒドロシリル化反応用触媒と上記第1のシリコーン樹脂とを別々に、第1の液と第2の液との2液にすることによって保存安定性を向上させることができる。   The first silicone resin, the second silicone resin, and the hydrosilylation reaction catalyst are prepared separately in a liquid containing one or more of them, and a plurality of liquids are prepared immediately before use. The die-bonding material for optical semiconductor devices according to the present invention may be prepared by mixing. In this case, the silicon oxide particles and the coupling agent may be added to the liquid A or the liquid B, respectively. For example, the liquid A containing the second silicone resin and the hydrosilylation reaction catalyst and the liquid B containing the first silicone resin are prepared separately, and the liquid A and the liquid B are mixed immediately before use. A die bond material may be prepared. In this case, the silicon oxide particles and the coupling agent may be added to the A liquid or may be added to the B liquid. Thus, the storage stability is improved by separately forming the second silicone resin and the hydrosilylation reaction catalyst and the first silicone resin into two liquids of the first liquid and the second liquid. Can be made.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材の製造方法としては特に限定されず、例えば、ホモディスパー、ホモミキサー、万能ミキサー、プラネタリウムミキサー、ニーダー、三本ロール又はビーズミル等の混合機を用いて、常温又は加温下で、上記第1のシリコーン樹脂、上記第2のシリコーン樹脂、上記ヒドロシリル化反応用触媒及び必要に応じて配合される他の成分を混合する方法等が挙げられる。   The method for producing a die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention is not particularly limited. For example, using a mixer such as a homodisper, a homomixer, a universal mixer, a planetarium mixer, a kneader, a triple roll or a bead mill, Or the method of mixing the said 1st silicone resin, said 2nd silicone resin, the said catalyst for hydrosilylation reaction, and the other component mix | blended as needed under a heating etc. is mentioned.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材を、基板等の接続対象部材上に配置し、又は光半導体素子の下面に配置し、ダイボンド材を介して接続対象部材と光半導体素子とを接続することにより、光半導体装置を得ることができる。   The die bond material for an optical semiconductor device according to the present invention is disposed on a connection target member such as a substrate or disposed on the lower surface of the optical semiconductor element, and the connection target member and the optical semiconductor element are connected via the die bond material. Thus, an optical semiconductor device can be obtained.

本発明に係る光半導体装置用ダイボンド材の硬化温度は特に限定されない。光半導体装置用ダイボンド材の硬化温度は、好ましくは80℃以上、より好ましくは100℃以上、好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。硬化温度が上記下限以上であると、ダイボンド材の硬化が充分に進行する。硬化温度が上記上限以下であると、ダイボンド材及びダイボンド材により接合される部材の熱劣化が起こり難い。   The curing temperature of the die bond material for optical semiconductor devices according to the present invention is not particularly limited. The curing temperature of the die bond material for optical semiconductor devices is preferably 80 ° C. or higher, more preferably 100 ° C. or higher, preferably 200 ° C. or lower, and more preferably 180 ° C. or lower. When the curing temperature is equal to or higher than the above lower limit, the die bond material is sufficiently cured. When the curing temperature is not more than the above upper limit, thermal deterioration of the die bond material and the member bonded by the die bond material hardly occurs.

硬化方法として、特に限定されないが、ステップキュア方式を用いることが好ましい。ステップキュア方式は、一旦低温で仮硬化させておき、その後に高温で硬化させる方法である。ステップキュア方式の使用により、ダイボンド材の硬化収縮を抑えることができる。   Although it does not specifically limit as a hardening method, It is preferable to use a step cure system. The step cure method is a method in which the resin is temporarily cured at a low temperature and then cured at a high temperature. By using the step cure method, curing shrinkage of the die bond material can be suppressed.

(光半導体装置)
本発明に係る光半導体装置は、光半導体装置用ダイボンド材と、接続対象部材と、上記光半導体装置用ダイボンド材を用いて上記接続対象部材に接続された光半導体素子とを備える。
(Optical semiconductor device)
An optical semiconductor device according to the present invention includes a die bond material for an optical semiconductor device, a connection target member, and an optical semiconductor element connected to the connection target member using the die bond material for an optical semiconductor device.

本発明に係る光半導体装置としては、具体的には、例えば、発光ダイオード装置、半導体レーザー装置及びフォトカプラ等が挙げられる。このような光半導体装置は、例えば、液晶ディスプレイ等のバックライト、照明、各種センサー、プリンター及びコピー機等の光源、車両用計測器光源、信号灯、表示灯、表示装置、面状発光体の光源、ディスプレイ、装飾、各種ライト並びにスイッチング素子等に好適に用いることができる。   Specific examples of the optical semiconductor device according to the present invention include a light emitting diode device, a semiconductor laser device, and a photocoupler. Such optical semiconductor devices include, for example, backlights such as liquid crystal displays, illumination, various sensors, light sources such as printers and copiers, vehicle measuring instrument light sources, signal lights, indicator lights, display devices, and light sources for planar light emitters. , Displays, decorations, various lights, switching elements and the like.

上記光半導体素子である発光素子としては、半導体を用いた発光素子であれば特に限定されず、例えば、上記発光素子が発光ダイオードである場合、例えば、基板上にLED形式用半導体材料を積層した構造が挙げられる。この場合、半導体材料としては、例えば、GaAs、GaP、GaAlAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InN、AlN、InGaAlN、及びSiC等が挙げられる。   The light-emitting element that is the optical semiconductor element is not particularly limited as long as it is a light-emitting element using a semiconductor. Structure is mentioned. In this case, examples of the semiconductor material include GaAs, GaP, GaAlAs, GaAsP, AlGaInP, GaN, InN, AlN, InGaAlN, and SiC.

上記基板の材料としては、例えば、サファイア、スピネル、SiC、Si、ZnO、及びGaN単結晶等が挙げられる。また、必要に応じ基板と半導体材料との間にバッファー層が形成されていてもよい。上記バッファー層の材料としては、例えば、GaN及びAlN等が挙げられる。   Examples of the material for the substrate include sapphire, spinel, SiC, Si, ZnO, and GaN single crystal. Further, a buffer layer may be formed between the substrate and the semiconductor material as necessary. Examples of the material of the buffer layer include GaN and AlN.

図1は、本発明の一実施形態に係る光半導体装置を示す正面断面図である。   FIG. 1 is a front sectional view showing an optical semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

本実施形態の光半導体装置1は、接続対象部材であるハウジング2と、光半導体素子3とを有する。ハウジング2内にLED素子である光半導体素子3が実装されている。この光半導体素子3の周囲を、ハウジング2の光反射性を有する内面2aが取り囲んでいる。本実施形態では、光半導体により形成された発光素子として、光半導体素子3が用いられている。   The optical semiconductor device 1 of the present embodiment includes a housing 2 that is a connection target member and an optical semiconductor element 3. An optical semiconductor element 3 that is an LED element is mounted in the housing 2. The optical semiconductor element 3 is surrounded by an inner surface 2 a having light reflectivity of the housing 2. In the present embodiment, the optical semiconductor element 3 is used as a light emitting element formed of an optical semiconductor.

ハウジング2の内面2aは、内面2aの径が開口端に向かうにつれて大きくなるように形成されている。従って、光半導体素子3から発せられた光のうち、内面2aに到達した光B1が内面2aにより反射され、光半導体素子3の前方側に進行する。   The inner surface 2a of the housing 2 is formed so that the diameter of the inner surface 2a increases toward the opening end. Accordingly, among the light emitted from the optical semiconductor element 3, the light B <b> 1 that has reached the inner surface 2 a is reflected by the inner surface 2 a and travels forward of the optical semiconductor element 3.

光半導体素子3は、ハウジング2に設けられたリード電極4に、ダイボンド材5を用いて接続されている。ダイボンド材5は、光半導体装置用ダイボンド材である。光半導体素子3に設けられたボンディングパッド(図示せず)とリード電極4とが、ボンディングワイヤー6により電気的に接続されている。光半導体素子3及びボンディングワイヤー6を封止するように、内面2aで囲まれた領域内には、封止剤7が充填されている。   The optical semiconductor element 3 is connected to a lead electrode 4 provided in the housing 2 using a die bond material 5. The die bond material 5 is a die bond material for optical semiconductor devices. A bonding pad (not shown) provided on the optical semiconductor element 3 and the lead electrode 4 are electrically connected by a bonding wire 6. A sealing agent 7 is filled in a region surrounded by the inner surface 2 a so as to seal the optical semiconductor element 3 and the bonding wire 6.

ダイボンド材5は、光半導体素子3の底部からはみ出してその周囲を囲むように配置されてもよく、光半導体素子3の底部からはみ出さないように配置されてもよい。ダイボンド材5の厚みは、2〜50μmの範囲内であることが好ましい。   The die bond material 5 may be disposed so as to protrude from the bottom of the optical semiconductor element 3 and surround the periphery thereof, or may be disposed so as not to protrude from the bottom of the optical semiconductor element 3. The thickness of the die bond material 5 is preferably in the range of 2 to 50 μm.

光半導体装置1では、光半導体素子3を駆動すると、破線Aで示すように光が発せられる。この場合、光半導体素子3からリード電極4の上面とは反対側すなわち上方に照射される光だけでなく、ダイボンド材5に到達した光が矢印B2で示すように反射される光もある。   In the optical semiconductor device 1, when the optical semiconductor element 3 is driven, light is emitted as indicated by a broken line A. In this case, not only the light irradiated from the optical semiconductor element 3 to the side opposite to the upper surface of the lead electrode 4, that is, the upper side, but also the light that reaches the die bond material 5 is reflected as indicated by the arrow B 2.

なお、図1に示す構造は、本発明に係る光半導体装置の一例にすぎず、光半導体素子3の実装構造等には適宜変形され得る。   The structure shown in FIG. 1 is merely an example of an optical semiconductor device according to the present invention, and can be appropriately modified to the mounting structure of the optical semiconductor element 3.

以下に、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The present invention is not limited to the following examples.

(第1,第2のシリコーン樹脂)
第1,第2のシリコーン樹脂を以下のようにして合成した。
(First and second silicone resin)
The first and second silicone resins were synthesized as follows.

(合成例1)第1のシリコーン樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン40g、エチルトリメトキシシラン185g、及びフェニルトリメトキシシラン120gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸1.2gと水83gとの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(A)を得た。
(Synthesis Example 1) Synthesis of first silicone resin In a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 40 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 185 g of ethyltrimethoxysilane, and 120 g of phenyltrimethoxysilane was added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 1.2 g of hydrochloric acid and 83 g of water was slowly added dropwise. After the addition, the solution was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (A) was obtained.

得られたポリマー(A)の数平均分子量(Mn)は1500であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(A)は、下記の平均組成式(A1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (A) was 1500. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (A) had the following average composition formula (A1).

(HMeSiO1/20.20(EtSiO3/20.50(PhSiO3/20.30 …式(A1) (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.20 (EtSiO 3/2 ) 0.50 (PhSiO 3/2 ) 0.30 ... Formula (A1)

上記式(A1)中、Meはメチル基を、Etはエチル基を、Phはフェニル基を示す。   In the above formula (A1), Me represents a methyl group, Et represents an ethyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(A)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は15.6モル%であった。   The phenyl group content ratio (aryl group content ratio) of the obtained polymer (A) was 15.6 mol%.

なお、合成例1及び合成例2〜9で得られた各ポリマーの分子量は、10mgにテトラヒドロフラン1mLを加え、溶解するまで攪拌し、GPC測定により測定した。GPC測定では、Waters社製の測定装置(カラム:昭和電工社製 Shodex GPC
LF−804(長さ300mm)×2本、測定温度:40℃、流速:1mL/min、溶媒:テトラヒドロフラン、標準物質:ポリスチレン)を用いた。
In addition, the molecular weight of each polymer obtained in Synthesis Example 1 and Synthesis Examples 2 to 9 was measured by GPC measurement by adding 1 mL of tetrahydrofuran to 10 mg, stirring until dissolved. In GPC measurement, a measuring device manufactured by Waters (column: Shodex GPC manufactured by Showa Denko KK)
LF-804 (length: 300 mm) × 2, measurement temperature: 40 ° C., flow rate: 1 mL / min, solvent: tetrahydrofuran, standard substance: polystyrene) were used.

(合成例2)第1のシリコーン樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン40g、メチルトリメトキシシラン165g、及びフェニルトリメトキシシラン120gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸1.2gと水83gとの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(B)を得た。
(Synthesis Example 2) Synthesis of first silicone resin In a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device, and a stirrer, 40 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 165 g of methyltrimethoxysilane, and 120 g of phenyltrimethoxysilane was added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 1.2 g of hydrochloric acid and 83 g of water was slowly added dropwise. After the addition, the solution was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (B) was obtained.

得られたポリマー(B)の数平均分子量(Mn)は1500であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(B)は、下記の平均組成式(B1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (B) was 1500. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (B) had the following average composition formula (B1).

(HMeSiO1/20.20(MeSiO3/20.50(PhSiO3/20.30 …式(B1) (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.20 (MeSiO 3/2 ) 0.50 (PhSiO 3/2 ) 0.30 ... Formula (B1)

上記式(B1)中、Meはメチル基、Phはフェニル基を示す。   In said formula (B1), Me shows a methyl group and Ph shows a phenyl group.

得られたポリマー(B)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は15.6モル%であった。   The obtained polymer (B) had a phenyl group content (aryl group content) of 15.6 mol%.

(合成例3)第1のシリコーン樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン40g、ビニルメチルジメトキシシラン26g、メチルトリメトキシシラン132g、及びフェニルトリメトキシシラン40gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸1.2gと水83gとの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(C)を得た。
(Synthesis Example 3) Synthesis of first silicone resin In a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 40 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 26 g of vinylmethyldimethoxysilane, methyl 132 g of trimethoxysilane and 40 g of phenyltrimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 1.2 g of hydrochloric acid and 83 g of water was slowly added dropwise. After the addition, the solution was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (C) was obtained.

得られたポリマー(C)の数平均分子量(Mn)は1300であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(C)は、下記の平均組成式(C1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (C) was 1300. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (C) had the following average composition formula (C1).

(HMeSiO1/20.20(ViMeSiO2/20.10(MeSiO3/20.60(PhSiO3/20.10 …式(C1) (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.20 (ViMeSiO 2/2 ) 0.10 (MeSiO 3/2 ) 0.60 (PhSiO 3/2 ) 0.10 Formula (C1)

上記式(C1)中、Meはメチル基、Viはビニル基、Phはフェニル基を示す。   In the above formula (C1), Me represents a methyl group, Vi represents a vinyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(C)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は6モル%であった。   The phenyl group content ratio (aryl group content ratio) of the obtained polymer (C) was 6 mol%.

(合成例4)第2のシリコーン樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシラン62g、ビニルメチルジメトキシシラン78g、及びフェニルトリメトキシシラン81gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム0.8gを水114gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、反応液に酢酸0.9gを加え、減圧して揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマー(D)を得た。
(Synthesis Example 4) Synthesis of Second Silicone Resin 62 g of trimethylmethoxysilane, 78 g of vinylmethyldimethoxysilane, and 81 g of phenyltrimethoxysilane were placed in a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device, and a stirrer. Stir at ° C. A solution obtained by dissolving 0.8 g of potassium hydroxide in 114 g of water was slowly dropped therein, and after the dropwise addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, 0.9 g of acetic acid was added to the reaction solution, the pressure was reduced to remove volatile components, and potassium acetate was removed by filtration to obtain a polymer (D).

得られたポリマー(D)の数平均分子量(Mn)は2000であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(D)は、下記の平均組成式(D1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (D) was 2000. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (D) had the following average composition formula (D1).

(MeSiO1/20.30(ViMeSiO2/20.30(PhSiO3/20.40 …式(D1) (Me 3 SiO 1/2 ) 0.30 (ViMeSiO 2/2 ) 0.30 (PhSiO 3/2 ) 0.40 ... Formula (D1)

上記式(D1)中、Meはメチル基、Viはビニル基、Phはフェニル基を示す。   In the above formula (D1), Me represents a methyl group, Vi represents a vinyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(D)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は15.6モル%であった。   The polymer group (D) had a phenyl group content (aryl group content) of 15.6 mol%.

(合成例5)第2のシリコーン樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシラン62g、ビニルメチルジメトキシシラン78g、メチルトリメトキシシラン66g及びフェニルトリメトキシシラン81gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム0.8gを水114gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、反応液に酢酸0.9gを加え、減圧して揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマー(E)を得た。
(Synthesis Example 5) Synthesis of Second Silicone Resin In a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 62 g of trimethylmethoxysilane, 78 g of vinylmethyldimethoxysilane, 66 g of methyltrimethoxysilane and phenyltrimethoxysilane 81 g was added and stirred at 50 ° C. A solution obtained by dissolving 0.8 g of potassium hydroxide in 114 g of water was slowly dropped therein, and after the dropwise addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, 0.9 g of acetic acid was added to the reaction solution, the pressure was reduced to remove volatile components, and potassium acetate was removed by filtration to obtain a polymer (E).

得られたポリマー(E)の数平均分子量(Mn)は1800であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(E)は、下記の平均組成式(E1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (E) was 1800. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (E) had the following average composition formula (E1).

(MeSiO1/20.30(ViMeSiO2/20.30(MeSiO3/20.20(PhSiO3/20.20 …式(E1) (Me 3 SiO 1/2 ) 0.30 (ViMeSiO 2/2 ) 0.30 (MeSiO 3/2 ) 0.20 (PhSiO 3/2 ) 0.20 ... Formula (E1)

上記式(E1)中、Meはメチル基、Viはビニル基、Phはフェニル基を示す。   In the above formula (E1), Me represents a methyl group, Vi represents a vinyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(E)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は8.6モル%であった。   The phenyl group content ratio (aryl group content ratio) of the obtained polymer (E) was 8.6 mol%.

(合成例6)第1のシリコーン樹脂に類似した樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン40g、フェニルメチルジメトキシシラン75g、メチルトリメトキシシラン66g、及びフェニルトリメトキシシラン120gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸1.2gと水83gとの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(F)を得た。
Synthesis Example 6 Synthesis of Resin Similar to First Silicone Resin Into a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 40 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, phenylmethyldimethoxy 75 g of silane, 66 g of methyltrimethoxysilane and 120 g of phenyltrimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 1.2 g of hydrochloric acid and 83 g of water was slowly added dropwise. After the addition, the solution was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (F) was obtained.

得られたポリマー(F)の数平均分子量(Mn)は2500であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(F)は、下記の平均組成式(F1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (F) was 2500. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (F) had the following average composition formula (F1).

(HMeSiO1/20.20(PhMeSiO2/20.30(MeSiO3/20.20(PhSiO3/20.30 …式(F1) (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.20 (PhMeSiO 2/2 ) 0.30 (MeSiO 3/2 ) 0.20 (PhSiO 3/2 ) 0.30 ... Formula (F1)

上記式(F1)中、Meはメチル基を、Phはフェニル基を示す。   In the formula (F1), Me represents a methyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(F)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は18.7モル%であった。   The polymer group (F) had a phenyl group content (aryl group content) of 18.7 mol%.

(合成例7)第1のシリコーン樹脂に類似した樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン40g、ジメチルジメトキシシラン48g、メチルトリメトキシシラン99g、及びフェニルトリメトキシシラン120gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸1.2gと水83gとの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(G)を得た。
(Synthesis Example 7) Synthesis of Resin Similar to First Silicone Resin Into a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 40 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane and dimethyldimethoxysilane 48 g, 99 g of methyltrimethoxysilane and 120 g of phenyltrimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 1.2 g of hydrochloric acid and 83 g of water was slowly added dropwise. After the addition, the solution was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (G) was obtained.

得られたポリマー(G)の数平均分子量(Mn)は2300であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(G)は、下記の平均組成式(G1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (G) was 2300. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (G) had the following average composition formula (G1).

(HMeSiO1/20.20(MeSiO2/20.20(MeSiO3/20.30(PhSiO3/20.30 …式(G1) (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.20 (Me 2 SiO 2/2 ) 0.20 (MeSiO 3/2 ) 0.30 (PhSiO 3/2 ) 0.30 ... Formula (G1)

上記式(G1)中、Meはメチル基を、Phはフェニル基を示す。   In the above formula (G1), Me represents a methyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(G)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は10.1モル%であった。   The phenyl group content ratio (aryl group content ratio) of the obtained polymer (G) was 10.1 mol%.

(合成例8)第2のシリコーン樹脂に類似した樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシラン41g、ビニルメチルジメトキシシラン156g、メチルトリメトキシシラン33g、及びフェニルトリメトキシシラン40gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム0.8gを水114gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、反応液に酢酸0.9gを加え、減圧して揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマー(H)を得た。
Synthesis Example 8 Synthesis of Resin Similar to Second Silicone Resin In a 1000 mL separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 41 g of trimethylmethoxysilane, 156 g of vinylmethyldimethoxysilane, 33 g of methyltrimethoxysilane, And 40 g of phenyltrimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. A solution obtained by dissolving 0.8 g of potassium hydroxide in 114 g of water was slowly dropped therein, and after the dropwise addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, 0.9 g of acetic acid was added to the reaction solution, the pressure was reduced to remove volatile components, and potassium acetate was removed by filtration to obtain a polymer (H).

得られたポリマー(H)の数平均分子量(Mn)は1800であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(H)は、下記の平均組成式(H1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (H) was 1800. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (H) had the following average composition formula (H1).

(MeSiO1/20.20(ViMeSiO2/20.60(MeSiO3/20.10(PhSiO3/20.10 …式(H1) (Me 3 SiO 1/2 ) 0.20 (ViMeSiO 2/2 ) 0.60 (MeSiO 3/2 ) 0.10 (PhSiO 3/2 ) 0.10 Formula (H1)

上記式(H1)中、Meはメチル基、Viはビニル基、Phはフェニル基を示す。   In the above formula (H1), Me represents a methyl group, Vi represents a vinyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(H)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は4.3モル%であった。   The phenyl group content ratio (aryl group content ratio) of the obtained polymer (H) was 4.3 mol%.

(合成例9)第2のシリコーン樹脂に類似した樹脂の合成
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシラン41g、ジメチルジメトキシシラン24g、ビニルメチルジメトキシシラン78g、メチルトリメトキシシラン66g、及びフェニルトリメトキシシラン80gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム0.8gを水114gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、反応液に酢酸0.9gを加え、減圧して揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマー(I)を得た。
(Synthesis Example 9) A synthetic thermometer of a resin similar to the second silicone resin, a 1000 mL separable flask equipped with a dropping device and a stirrer, 41 g of trimethylmethoxysilane, 24 g of dimethyldimethoxysilane, 78 g of vinylmethyldimethoxysilane, methyl 66 g of trimethoxysilane and 80 g of phenyltrimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. A solution obtained by dissolving 0.8 g of potassium hydroxide in 114 g of water was slowly dropped therein, and after the dropwise addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, 0.9 g of acetic acid was added to the reaction solution, the pressure was reduced to remove volatile components, and potassium acetate was removed by filtration to obtain polymer (I).

得られたポリマー(I)の数平均分子量(Mn)は1900であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(I)は、下記の平均組成式(I1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (I) was 1900. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (I) had the following average composition formula (I1).

(MeSiO1/20.20(MeSiO2/20.10(ViMeSiO2/20.30(MeSiO3/20.20(PhSiO3/20.20 …式(I1) (Me 3 SiO 1/2 ) 0.20 (Me 2 SiO 2/2 ) 0.10 (ViMeSiO 2/2 ) 0.30 (MeSiO 3/2 ) 0.20 (PhSiO 3/2 ) 0.20 ... Formula (I1)

上記式(I1)中、Meはメチル基、Viはビニル基、Phはフェニル基を示す。   In the above formula (I1), Me represents a methyl group, Vi represents a vinyl group, and Ph represents a phenyl group.

得られたポリマー(I)のフェニル基の含有比率(アリール基の含有比率)は8.2モル%であった。   The polymer (I) had a phenyl group content (aryl group content) of 8.2 mol%.

(実施例1)
ポリマーA5重量部、ポリマーD5重量部、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体0.02重量部、及び酸化珪素微粒子(AEROSIL RY200、ポリジメチルシロキサン基を有する有機ケイ素化合物により表面処理された酸化ケイ素粒子、比表面積120m/g、日本アエロジル社製)2.2重量部を混合し、脱泡を行い、光半導体素子用ダイボンド材を得た。
Example 1
Polymer A 5 parts by weight, polymer D 5 parts by weight, platinum 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex 0.02 part by weight, and silicon oxide fine particles (AEROSIL RY200, polydimethylsiloxane group) 2.2 parts by weight of silicon oxide particles surface-treated with an organosilicon compound having a specific surface area of 120 m 2 / g, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd. were mixed and defoamed to obtain a die bond material for an optical semiconductor element.

(実施例2〜5及び比較例1〜4)
使用した材料の種類及び配合量を、下記の表1に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置用ダイボンド材を得た。
(Examples 2-5 and Comparative Examples 1-4)
A die bond material for an optical semiconductor device was obtained in the same manner as in Example 1 except that the type and blending amount of the materials used were changed as shown in Table 1 below.

(評価)
(1)25℃における粘度の測定
E型粘度計(TV−22型、東機産業社製)を用いて、光半導体装置用ダイボンド材に用いたシリコーン樹脂(第1,第2のシリコーン樹脂)の25℃における10rpmでの粘度(mPa・s)を測定した。
(Evaluation)
(1) Viscosity measurement at 25 ° C. Silicone resin (first and second silicone resins) used for an optical semiconductor device die bond material using an E-type viscometer (TV-22 type, manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) The viscosity (mPa · s) at 10 rpm at 25 ° C. was measured.

(2)ワイヤーボンディング時におけるワイヤーボンダビリティー
ダイボンダー(キャノンマシナリー社製「BESTEM−D01R」)を用いて、銀メッキされた銅基板上に得られた光半導体装置用ダイボンド材を、厚みが5μmでダイボンド材上に積層される光半導体素子の大きさとなるように塗布し、ダイボンド層を形成した。次に、ダイボンド層上に光半導体素子を積層し、積層体を得た。
(2) Wire bondability at the time of wire bonding Using a die bonder ("BESTEM-D01R" manufactured by Canon Machinery Co., Ltd.), a die bond material for an optical semiconductor device obtained on a silver-plated copper substrate has a thickness of 5 m. It apply | coated so that it might become the magnitude | size of the optical semiconductor element laminated | stacked on a die-bonding material, and the die-bonding layer was formed. Next, an optical semiconductor element was stacked on the die bond layer to obtain a stacked body.

得られた積層体を150℃で3時間加熱し、ダイボンド層を硬化させた。次に、ダイボンド層上の光半導体素子上に設けられた電極パッド上にワイヤーボンディングを行った。このときのワイヤーボンダビリティーを下記の判定基準で判定した。   The obtained laminate was heated at 150 ° C. for 3 hours to cure the die bond layer. Next, wire bonding was performed on the electrode pad provided on the optical semiconductor element on the die bond layer. The wire bondability at this time was determined according to the following criteria.

[ワイヤーボンダビリティーの判定基準]
○○:1000サンプル中ワイヤーボンドNG(不良)無し
○:1000サンプル中ワイヤーボンドNG1サンプル
△:1000サンプル中ワイヤーボンドNG2サンプル
×:1000サンプル中ワイヤーボンドNG3サンプル以上
[Criteria for wire bondability]
○○: No wire bond NG (defective) in 1000 samples ○: Wire bond NG1 sample in 1000 samples Δ: Wire bond NG2 sample in 1000 samples ×: Wire bond NG3 sample in 1000 samples or more

(3)耐熱クラック特性
AgメッキしたCu基板上に、接着面積が3mm×3mmになるように光半導体装置用ダイボンド材を塗布し、3mm角のSiチップを載せた。その後、150℃で3時間加熱し、ダイボンド材を硬化させ、硬化物により上記基板と上記Siチップとが接合された接合体(テストサンプル)を得た。得られた接合体1000個をオーブン内に入れ、270℃で5分間加熱した。
(3) Heat-resistant crack characteristics A die-bonding material for an optical semiconductor device was applied on an Ag-plated Cu substrate so that the adhesion area was 3 mm × 3 mm, and a 3 mm square Si chip was placed thereon. Then, it heated at 150 degreeC for 3 hours, the die-bonding material was hardened, and the joined body (test sample) by which the said board | substrate and the said Si chip were joined by hardened | cured material was obtained. 1000 pieces of the obtained joined bodies were put in an oven and heated at 270 ° C. for 5 minutes.

加熱後の接合体1000個中、クラックが生じている接合体の数を数え、耐熱クラック特性を下記の判定基準で判定した。   The number of bonded bodies in which cracks had occurred was counted in 1000 bonded bodies after heating, and the heat-resistant crack characteristics were determined according to the following criteria.

[耐熱クラック特性の判定基準]
○○:1000サンプル中、硬化物にクラックが発生したサンプル(不良)無し
○:1000サンプル中、2サンプルで硬化物にクラックが発生した
△:1000サンプル中、2サンプルで硬化物にクラックが発生した
×:1000サンプル中、3サンプル以上で硬化物にクラックが発生した
[Criteria for heat-resistant crack characteristics]
○○: No cracked sample in 1000 samples (defect) in cured samples ○: Cracked in cured samples in 2 samples in 1000 samples Δ: Cracked in cured products in 2 samples in 1000 samples ×: Cracks occurred in the cured product in 3 or more samples out of 1000 samples

(4)耐冷熱サイクル特性
AgメッキしたCu基板上に、接着面積が3mm×3mmになるように光半導体装置用ダイボンド材を塗布し、3mm角のSiチップを載せた。その後、150℃で3時間加熱し、ダイボンド材を硬化させ、硬化物により上記基板と上記Siチップとが接合された接合体(テストサンプル)を得た。得られたテストサンプル1000個を用いて、かつ液槽式熱衝撃試験機(「TSB−51」、ESPEC社製)を用いて、−50℃で5分間保持した後、135℃まで昇温し、135℃で5分間保持した後−50℃まで降温する過程を1サイクルとする冷熱サイクル試験を実施した。1000サイクル後に接合体1000個中、クラックが生じている接合体の数を数え、耐冷熱サイクル特性を下記の判定基準で判定した。
(4) Cooling and heat cycle characteristics A die-bonding material for an optical semiconductor device was applied on an Ag-plated Cu substrate so that the adhesion area was 3 mm × 3 mm, and a 3 mm square Si chip was placed thereon. Then, it heated at 150 degreeC for 3 hours, the die-bonding material was hardened, and the joined body (test sample) by which the said board | substrate and the said Si chip were joined by hardened | cured material was obtained. Using 1000 test samples obtained and using a liquid thermal shock tester (“TSB-51”, manufactured by ESPEC), the sample was held at −50 ° C. for 5 minutes, and then heated to 135 ° C. Then, a thermal cycle test was performed in which the process of holding at 135 ° C. for 5 minutes and then lowering the temperature to −50 ° C. was one cycle. After 1000 cycles, the number of bonded bodies in which cracks occurred in 1000 bonded bodies was counted, and the cold-heat cycle characteristics were determined according to the following criteria.

[耐冷熱サイクル特性の判定基準]
○○:1000サンプル中、硬化物にクラックが発生したサンプル(不良)無し
○:1000サンプル中、1サンプルで硬化物にクラックが発生した
△:1000サンプル中、2サンプルで硬化物にクラックが発生した
×:1000サンプル中、3サンプル以上で硬化物にクラックが発生した
結果を下記の表1に示す。
[Criteria for cold cycle resistance characteristics]
○○: No cracked sample in 1000 samples (defect) in cured sample ○: Cracked in cured sample in 1 sample in 1000 sample Δ: Cracked in cured product in 2 samples in 1000 sample X: The results of cracks occurring in the cured product in three or more samples out of 1000 samples are shown in Table 1 below.

(5)接着性(ダイシェア強度)
AgメッキしたCu基板上に、接着面積が3mm×3mmになるように光半導体装置用ダイボンド材を塗布し、3mm角のSiチップを載せて、テストサンプルを得た。
(5) Adhesiveness (die shear strength)
A die-bonding material for an optical semiconductor device was applied on an Ag-plated Cu substrate so that the adhesion area was 3 mm × 3 mm, and a 3 mm square Si chip was placed thereon to obtain a test sample.

得られたテストサンプルを150℃で3時間加熱し、ダイボンド材を硬化させた。次に、ダイシェアテスター(アークテック社製、型番:DAGE 4000)を用いて、300μ/秒の速度で、185℃でのダイシェア強度を評価した。   The obtained test sample was heated at 150 ° C. for 3 hours to cure the die bond material. Next, the die shear strength at 185 ° C. was evaluated at a speed of 300 μ / sec using a die shear tester (manufactured by Arctech, model number: DAGE 4000).

[ダイシェア強度の判定基準]
○○:ダイシェア強度が1800g以上
○:ダイシェア強度が1000g以上、1800g未満
×:ダイシェア強度が1000g未満
[Die shear strength criteria]
○○: Die shear strength is 1800 g or more ○: Die shear strength is 1000 g or more and less than 1800 g ×: Die shear strength is less than 1000 g

(6)滲み
ダイボンダー(キャノンマシナリー社製「BESTEM-D01R」)を用いて銀めっきされた銅基板上に得られた光半導体装置用ダイボンド材を、厚みが5μmでダイボンド材上に積層される光半導体素子の大きさとなるように塗布し、基板上にダイボンド材が塗布された塗布物を得た。
(6) Bleeding Light that is obtained by stacking a die bond material for an optical semiconductor device obtained on a silver-plated copper substrate using a die bonder (“BESTEM-D01R” manufactured by Canon Machinery Co., Ltd.) with a thickness of 5 μm on the die bond material. It apply | coated so that it might become the magnitude | size of a semiconductor element, and the coating material by which the die-bonding material was apply | coated on the board | substrate was obtained.

得られた塗布物を平面視して、光半導体装置用ダイボンド材の塗布面積を評価した。滲みを下記の判定基準で判定した。   The obtained coated material was viewed in plan and the coated area of the die bond material for optical semiconductor devices was evaluated. Bleeding was determined according to the following criteria.

[滲みの判定基準]
○○:ダイボンド材上に積層される光半導体素子の面積に対して、はみ出した光半導体装置用ダイボンド材の塗布面積が1%未満
○:ダイボンド材上に積層される光半導体素子の面積に対して、はみ出した光半導体装置用ダイボンド材の塗布面積が1%以上、3%未満
×:ダイボンド材上に積層される光半導体素子の面積に対して、はみ出した光半導体装置用ダイボンド材の塗布面積が3%以上
[Judgment criteria for bleeding]
○○: Less than 1% of the projected area of the optically bonded semiconductor device to be bonded to the die-bonding material is less than 1%. ○: To the area of the optically-semiconductor device stacked on the die-bonding material. The application area of the protruding die bond material for an optical semiconductor device is 1% or more and less than 3%. X: The application area of the protruding die bond material for an optical semiconductor device with respect to the area of the optical semiconductor element laminated on the die bond material. 3% or more

結果を下記の表1に示す。   The results are shown in Table 1 below.

Figure 2012144617
Figure 2012144617

1…光半導体装置
2…ハウジング
2a…内面
3…光半導体素子
4…リード電極
5…ダイボンド材
6…ボンディングワイヤー
7…封止剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical semiconductor device 2 ... Housing 2a ... Inner surface 3 ... Optical semiconductor element 4 ... Lead electrode 5 ... Die-bonding material 6 ... Bonding wire 7 ... Sealing agent

Claims (6)

下記式(1)で表され、かつアリール基及び珪素原子に結合した水素原子を有する第1のシリコーン樹脂と、
下記式(51)で表され、かつ珪素原子に結合した水素原子を有さず、かつアリール基及びアルケニル基を有する第2のシリコーン樹脂と、
ヒドロシリル化反応用触媒と、
酸化珪素粒子とを含み
前記第1のシリコーン樹脂が、ジメチルシロキサン骨格を有さず、かつ前記第2のシリコーン樹脂が、ジメチルシロキサン骨格を有さない、光半導体装置用ダイボンド材。
Figure 2012144617
前記式(1)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0.05〜0.50、b/(a+b+c)=0〜0.20及びc/(a+b+c)=0.30〜0.90を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、前記式(1)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、R4及びR5の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。
Figure 2012144617
前記式(51)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.05〜0.50、q/(p+q+r)=0.05〜0.50及びr/(p+q+r)=0.05〜0.50を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、前記式(51)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、R54及びR55の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。
A first silicone resin represented by the following formula (1) and having a hydrogen atom bonded to an aryl group and a silicon atom;
A second silicone resin represented by the following formula (51) and having no hydrogen atom bonded to a silicon atom and having an aryl group and an alkenyl group;
A catalyst for hydrosilylation reaction;
A die bond material for an optical semiconductor device, comprising: silicon oxide particles, wherein the first silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton, and the second silicone resin does not have a dimethylsiloxane skeleton.
Figure 2012144617
In the formula (1), a, b and c are a / (a + b + c) = 0.05 to 0.50, b / (a + b + c) = 0 to 0.20 and c / (a + b + c) = 0.30. 0.90 is satisfied, R1 to R6 each represents at least one aryl group, at least one represents a hydrogen atom, and R1 to R6 other than the aryl group and the hydrogen atom are hydrocarbon groups having 1 to 8 carbon atoms. Represents. However, in the formula (1), in the structural unit represented by (R4R5SiO2 / 2 ), both R4 and R5 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units.
Figure 2012144617
In the formula (51), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r) = 0.05 to 0.50 and r / (p + q + r) = 0. R51 to R56, at least one represents an aryl group, at least one represents an alkenyl group, and R51 to R56 other than the aryl group and the alkenyl group are carbon atoms having 1 to 8 carbon atoms. Represents a hydrogen group. However, in the formula (51), in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ), both R54 and R55 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units.
前記式(1)で表される第1のシリコーン樹脂が、下記式(1A)で表される第1のシリコーン樹脂である、請求項1に記載の光半導体装置用ダイボンド材。
Figure 2012144617
前記式(1A)中、a、b、c1及びc2は、a/(a+b+c1+c2)=0.05〜0.50、b/(a+b+c1+c2)=0〜0.20、(c1+c2)/(a+b+c1+c2)=0.30〜0.90、c1/(a+b+c1+c2)=0.30〜0.90及びc2/(a+b+c1+c2)=0〜0.20を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、前記式(1A)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、R4及びR5の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。
The die-bonding material for optical semiconductor devices according to claim 1, wherein the first silicone resin represented by the formula (1) is a first silicone resin represented by the following formula (1A).
Figure 2012144617
In the formula (1A), a, b, c1 and c2 are a / (a + b + c1 + c2) = 0.05 to 0.50, b / (a + b + c1 + c2) = 0 to 0.20, (c1 + c2) / (a + b + c1 + c2) = 0.30-0.90, satisfying c1 / (a + b + c1 + c2) = 0.30-0.90 and c2 / (a + b + c1 + c2) = 0-0.20, R1 to R6 each represents at least one aryl group, At least one represents a hydrogen atom, and R1 to R6 other than the aryl group and the hydrogen atom represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. However, in the formula (1A), the structural unit represented by (R4R5SiO2 / 2 ) is not a methyl group in R4 and R5, and is not a dimethylsiloxane structural unit.
前記式(51)で表される第2のシリコーン樹脂が、下記式(51A)で表される第2のシリコーン樹脂である、請求項1又は2に記載の光半導体装置用ダイボンド材。
Figure 2012144617
前記式(51A)中、p、q、r1及びr2は、p/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、q/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、(r1+r2)/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.50、r1/(p+q+r1+r2)=0.05〜0.40及びr2/(p+q+r1+r2)=0〜0.50を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。但し、前記式(51A)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、R54及びR55の双方がメチル基ではなく、ジメチルシロキサン構造単位ではない。
The die-bonding material for optical semiconductor devices according to claim 1 or 2, wherein the second silicone resin represented by the formula (51) is a second silicone resin represented by the following formula (51A).
Figure 2012144617
In the formula (51A), p, q, r1 and r2 are p / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.50, (r1 + r2) / (p + q + r1 + r2) ) = 0.05 to 0.50, r1 / (p + q + r1 + r2) = 0.05 to 0.40 and r2 / (p + q + r1 + r2) = 0 to 0.50, R51 to R56 are at least one aryl group And at least one represents an alkenyl group, and R51 to R56 other than an aryl group and an alkenyl group represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. However, in the formula (51A), in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ), both R54 and R55 are not methyl groups and are not dimethylsiloxane structural units.
前記第1のシリコーン樹脂と前記第2のシリコーン樹脂とのそれぞれのE型粘度計を用いて測定された25℃及び10rpmでの粘度が1200mPa・s以上、6000mPa・s以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光半導体装置用ダイボンド材。   2. The viscosity at 25 ° C. and 10 rpm measured using an E-type viscometer of each of the first silicone resin and the second silicone resin is 1200 mPa · s or more and 6000 mPa · s or less. The die-bonding material for optical semiconductor devices of any one of -3. 前記第1のシリコーン樹脂が、アリール基と、珪素原子に結合した水素原子と、アルケニル基とを有する第1のシリコーン樹脂である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光半導体装置用ダイボンド材。   5. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein the first silicone resin is a first silicone resin having an aryl group, a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and an alkenyl group. Die bond material. 請求項1〜5のいずれか1項の光半導体装置用ダイボンド材と、
接続対象部材と、
前記光半導体装置用ダイボンド材を用いて前記接続対象部材に接続された光半導体素子とを備える、光半導体装置。
The die-bonding material for optical semiconductor devices according to any one of claims 1 to 5,
A connection target member;
An optical semiconductor device comprising: an optical semiconductor element connected to the connection target member using the die bond material for an optical semiconductor device.
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