JP2012123087A - Method for manufacturing optical scanner and optical scanner - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光走査装置の製造方法及び光走査装置に関するものである。 The present invention relates to an optical scanning device manufacturing method and an optical scanning device.
従来、レーザー光等の光ビームを走査する光走査装置は、バーコードリーダ、レーザープリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の光学機器、あるいは赤外線カメラ等入力デバイスの光取り入れ装置として用いられている。このような光走査装置として、例えば、ミラー部を支持する捩れ梁部を有する基板に圧電体を配置して、ミラー部に捩れ振動を発生する光走査装置がある(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, an optical scanning device that scans a light beam such as a laser beam is used as an optical device such as a barcode reader, a laser printer, or a head-mounted display, or a light input device of an input device such as an infrared camera. As such an optical scanning device, for example, there is an optical scanning device in which a piezoelectric body is arranged on a substrate having a torsion beam portion that supports a mirror portion, and torsional vibration is generated in the mirror portion (see, for example, Patent Document 1). .
ところで、このような光走査装置を構成する基板は、台座に固定されて使用される。基板が金属製の板材から形成される場合、基板を溶接により台座に固定するが、溶接のときに発生する金属粉等などの飛散物によりミラー部の鏡面に汚れが付着すると、光走査装置の機能が低下するおそれがある。 By the way, the substrate constituting such an optical scanning device is used by being fixed to a pedestal. When the substrate is formed from a metal plate, the substrate is fixed to the pedestal by welding. However, if the mirror surface of the mirror part is contaminated by scattered objects such as metal powder generated during welding, the optical scanning device Function may be degraded.
本発明は、光走査装置を構成する構造体を台座に溶接固定するときに、ミラー部の鏡面に溶接により発生する金属粉等の汚れが付着して、光走査装置の機能が低下するのを防止することができる光走査装置の製造方法及び光走査装置を提供することを目的とする。 In the present invention, when the structure constituting the optical scanning device is welded and fixed to the pedestal, dirt such as metal powder generated by welding adheres to the mirror surface of the mirror portion, and the function of the optical scanning device is deteriorated. An object of the present invention is to provide an optical scanning device manufacturing method and an optical scanning device that can be prevented.
上記目的を達成するために、第1発明の光走査装置の製造方法は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置の製造方法であって、金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする。 In order to achieve the above object, a method for manufacturing an optical scanning device according to a first aspect of the present invention includes a structure including a mirror portion having a mirror surface that reflects light, and a drive portion that swings the mirror portion, and the structure. And a structure forming step of forming the plate-like structure from a metal plate, and the structure formed in the structure forming step. A driving unit forming step of forming the driving unit, and a welding step of welding the structure on which the driving unit is formed by the driving unit forming step to the pedestal from a surface opposite to the mirror surface. It is characterized by that.
第2発明の光走査装置の製造方法は、上記第1発明の構成に加えて、前記金属製の板材の表面を研磨することにより前記鏡面を形成する鏡面形成工程を備え、前記構造体形成工程は、前記鏡面形成工程により前記鏡面が形成された前記板材から前記構造体を形成することを特徴とする。 In addition to the structure of the first invention, the method for manufacturing an optical scanning device of the second invention includes a mirror surface forming step of forming the mirror surface by polishing the surface of the metal plate material, and the structure forming step Is characterized in that the structure is formed from the plate material on which the mirror surface is formed by the mirror surface forming step.
第3発明の光走査装置の製造方法は、上記第1発明の構成に加えて、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体において、前記ミラー部の表面に、鏡面を有する薄片部材を貼り付けることにより前記鏡面を形成する鏡面貼付工程を備え、前記溶接工程は、前記鏡面貼付工程により貼り付けられた前記鏡面とは反対側の面側から、前記構造体を前記台座に溶接することを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical scanning device, wherein, in addition to the configuration of the first aspect, the structure in which the driving unit is formed by the driving unit forming step has a mirror surface on the surface of the mirror unit. A mirror surface pasting step of forming the mirror surface by pasting a thin piece member, the welding step from the surface side opposite to the mirror surface pasted by the mirror surface pasting step, the structure to the pedestal It is characterized by welding.
第4発明の光走査装置の製造方法は、上記第1発明ないし第3発明のいずれかの構成に加えて、前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing an optical scanning device according to any one of the first to third aspects, wherein the mirror portion is provided on one side of the structure relative to the drive portion. The fixing part is provided on the other side of the structure with respect to the driving part.
第5発明の光走査装置は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備える構造体と、前記構造体を固定する台座とを有する光走査装置であって、前記構造体は金属製の平板状の板材であって、前記鏡面が形成された面と反対の面側から前記構造体を前記台座に溶接して固定する固定部を有することを特徴とする。 An optical scanning device according to a fifth aspect of the present invention is an optical scanning device having a structure including a mirror part having a mirror surface that reflects light, a drive unit that swings the mirror part, and a pedestal that fixes the structure. The structure is a metal plate-like plate member, and has a fixing part that welds and fixes the structure to the pedestal from the side opposite to the surface on which the mirror surface is formed. And
第6発明の光走査装置は、上記第5発明に加えて、前記ミラー部は前記駆動部に対して前記構造体の一側に設けられ、前記固定部は前記駆動部に対して前記構造体の他側に設けられることを特徴とする。 In addition to the fifth invention, the optical scanning device according to a sixth aspect of the invention is characterized in that the mirror portion is provided on one side of the structure relative to the drive portion, and the fixed portion is located on the structure relative to the drive portion. It is provided in the other side.
第7発明の光走査装置は、光を反射する鏡面を備えたミラー部と前記ミラー部を揺動させる駆動部とを備えると共に金属製の平板状の板材からなる構造体と、前記構造体を溶接により固定する台座とを有する光走査装置であって、前記構造体が前記台座に固定された場合に、前記鏡面と前記台座が前記構造体に対して同じ面側に配置されることを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an optical scanning apparatus including a mirror body having a mirror surface for reflecting light and a drive section for swinging the mirror section, and a structure made of a metal plate. An optical scanning device having a pedestal fixed by welding, wherein the mirror surface and the pedestal are arranged on the same surface side with respect to the structure when the structure is fixed to the pedestal. And
第1発明の光走査装置の製造方法によれば、ミラー部の鏡面とは反対側の面側から、駆動部形成工程により駆動部が形成された構造体を台座に溶接する溶接工程を有するため、溶接により発生する金属粉などの飛散物がミラー部の鏡面に付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。 According to the method of manufacturing the optical scanning device of the first aspect of the invention, there is a welding step of welding the structure in which the driving portion is formed by the driving portion forming step to the pedestal from the surface side opposite to the mirror surface of the mirror portion. Further, it is possible to prevent the scattered materials such as metal powder generated by welding from adhering to the mirror surface of the mirror portion and deteriorating the function of the optical scanning device.
第2発明の光走査装置の製造方法によれば、第1発明の効果に加え、ミラー部の鏡面が研磨により形成される鏡面形成工程を有する場合に、ミラー部の鏡面に溶接により発生する金属粉などの飛散物が付着して光走査装置の機能が低下するのを確実に防止することができる。 According to the method for manufacturing an optical scanning device of the second invention, in addition to the effect of the first invention, when the mirror surface of the mirror portion has a mirror surface forming step formed by polishing, the metal generated by welding on the mirror surface of the mirror portion It is possible to reliably prevent the scattering function of the optical scanning device from being deteriorated due to scattered matter such as powder.
第3発明の光走査装置の製造方法によれば、第1発明に加え、鏡面を有する薄片部材をミラー部に貼り付ける鏡面貼付工程を有する場合に、ミラー部の鏡面に溶接により発生する飛散物が付着して光走査装置の機能が低下するのを確実に防止することができる。また、駆動部形成工程の後に薄片部材が貼り付けられるので、駆動部を形成する際の影響により、ミラー部に貼り付けた薄片部材が剥がれたりすることを防止できる。 According to the method for manufacturing an optical scanning device of the third invention, in addition to the first invention, when there is a mirror surface pasting step for pasting a thin piece member having a mirror surface to the mirror part, the scattered matter generated by welding on the mirror surface of the mirror part It is possible to reliably prevent the function of the optical scanning device from being deteriorated due to adhesion. Moreover, since the thin piece member is affixed after the drive part forming step, it is possible to prevent the thin piece member attached to the mirror part from being peeled off due to the influence of forming the drive part.
第4発明の光走査装置の製造方法によれば、第1発明ないし第3発明のいずれかに加え、ミラー部は駆動部に対して構造体の一側に設けられ、固定部は駆動部に対して構造体の他側に設けられるため、ミラー部と固定部が離間される。そのため、溶接により発生する飛散物が、ミラー部の鏡面に付着して光走査装置の機能が低下するのをより確実に防止することができる。 According to the method for manufacturing an optical scanning device of the fourth invention, in addition to any one of the first to third inventions, the mirror part is provided on one side of the structure with respect to the drive part, and the fixed part is provided on the drive part. On the other hand, since it is provided on the other side of the structure, the mirror part and the fixed part are separated from each other. Therefore, it is possible to more reliably prevent the scattered matter generated by welding from adhering to the mirror surface of the mirror portion and deteriorating the function of the optical scanning device.
第5発明の光走査装置によれば、ミラー部の鏡面が形成された面と反対の面側から構造体を台座に溶接して固定する固定部を有するため、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。 According to the optical scanning device of the fifth aspect of the present invention, since the structure has the fixing portion that welds and fixes the structure to the pedestal from the side opposite to the surface on which the mirror surface of the mirror portion is formed, the mirror surface of the mirror portion is generated by welding. Therefore, it is possible to prevent the function of the optical scanning device from being deteriorated due to the contamination.
第6発明の光走査装置によれば、第5発明に加え、ミラー部は駆動部に対して構造体の一側に設けられ、固定部は駆動部に対して構造体の他側に設けられるため、ミラー部と固定部が離間される。これにより、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのをより確実に防止することができる。 According to the optical scanning device of the sixth invention, in addition to the fifth invention, the mirror part is provided on one side of the structure with respect to the drive part, and the fixed part is provided on the other side of the structure with respect to the drive part. Therefore, the mirror part and the fixed part are separated. Thereby, it can prevent more reliably that the stain | pollution | contamination produced | generated by welding adheres to the mirror surface of a mirror part, and the function of an optical scanning device falls.
第7発明の光走査装置によれば、構造体が台座に固定された場合に、鏡面と台座が構造体に対して同じ面側に配置されるため、ミラー部の鏡面に溶接により発生する汚れが付着して光走査装置の機能が低下するのを防止することができる。 According to the optical scanning device of the seventh aspect of the invention, when the structure is fixed to the pedestal, the mirror surface and the pedestal are arranged on the same surface side with respect to the structure. It is possible to prevent the function of the optical scanning device from being deteriorated due to adhesion.
(光走査装置について)
以下に図面を参照しつつ、本発明の好ましい光走査装置の実施形態について図1ないし図3を用いて説明する。図1及び図2に示すように、本発明の光走査装置10は略長方形形状である構造体11と台座30とを有する。構造体11は、固定部15にレーザー溶接を行って台座30に固定される。以下、光走査装置10を構成する各構成部材について説明する。
(About optical scanning device)
A preferred embodiment of an optical scanning device of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3 with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, the
構造体11は、ステンレスやチタンなどの金属製の板材から形成される。構造体11は、図1のX軸方向に長い略長方形の平板状である。構造体11の厚さは約30〜500μmである。構造体11には、金属製の板材をエッチング加工やプレス加工等の除去加工することにより、板部19、ミラー部12、梁部13、開口部16,16が形成される。なお、構造体11の中央部には長方形状の開口部16,16が梁部13に対して対称に2箇所形成される。
The
ミラー部12は、レーザー光等の光を反射する後述の鏡面121を有している(図2、3参照)。また、ミラー部12は図1及び図2のY軸方向に形成された梁部13に支持されて、開口部16,16の中央に配置される。ミラー部12は揺動される際の中心軸である揺動軸L1に対して、線対称になるように設けられる。ミラー部12は本実施形態では長方形状に形成されているが、形状は特に限定されず、円形、楕円形、菱形、多角形等であってもよい。
The
また、ミラー部12は、図3において、後述の第一駆動部20A、第2駆動部20Bを挟んで、固定部15とは反対側に配置されている。具体的には、ミラー部12は第一駆動部20Aに対して、X軸正側(図3の右側)に配置され、固定部15は第一駆動部20Aに対して、X軸負側(図3の左側)に配置される。また、ミラー部12は第2駆動部20Bに対して、X軸負側(図3の左側)に配置され、固定部15は第二駆動部20Bに対して、X軸正側(図3の右側)に配置される。
Moreover, the
このように、ミラー部12と固定部15が第一駆動部20A及び第2駆動部20Bのそれぞれに対して、反対側に配置されて離間されることで、溶接により固定部15を形成するときに発生する金属製の飛散物等の汚れが鏡面121に付着しにくくなる。そのため、光走査装置10の機能低下を防止することができる。
Thus, when the
鏡面121は、図3に示すように、固定部15が形成された構造体11の一面側17(Z軸正側)とは反対の他面側18(Z軸負側)に形成される。鏡面121は、表面に鏡面を有するアルミニウムや銀などの金属薄膜が設けられた透明誘電体125が、ミラー部12のZ方向負側の表面に熱硬化などにより接着されて形成されてもよい。透明誘電体125としては、ダイヤモンドやサファイヤなどがあげられる。なお、表面に鏡面を有する透明誘電体125が本発明の薄片部材である。
As shown in FIG. 3, the
加えて、鏡面121は後述の変形例のように、金属製の板材の表面を研磨した後、板材を加工して構造体11を形成することにより、構造体11の他面側18に鏡面121が形成されてもよい。その他に、アルミや銀などの金属薄膜が、スパッタリングや蒸着などによって、ミラー部12の表面にコーティングされてもよい。
In addition, the
梁部13は、図1及び図2に示すように、ミラー部12のY軸方向の両端側部から延出して形成され、ミラー部12の揺動軸L1を含むように形成される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
第一駆動部20A及び第二駆動部20Bは、図2及び図3のように、構造体11の板部19の他面側18にミラー部12に対して対称的に1つずつ設けられる。本実施形態では構造体11に第一駆動部20A及び第2駆動部20Bが設けられているが、後述の変形例のように、駆動部は1つだけ形成されてもよい。なお、第一駆動部20A及び第二駆動部20Bは、説明のために区別しているが、構成としては同じ構成であるため、以下第一駆動部20Aについて説明する。
As shown in FIGS. 2 and 3, the first drive unit 20 </ b> A and the second drive unit 20 </ b> B are provided one by one symmetrically with respect to the
第一駆動部20Aは、圧電素子により構成され、例えば熱硬化性のエポキシ系、アクリル系、シリコン系等の合成樹脂材料で形成された導電性を有する導電性接着剤によって構造体11に接着される。
The
第一駆動部20Aの上下面は、それぞれ全面に渡って金や白金等が積層されて、図示しない上部電極と下部電極が形成されている。第一駆動部20Aの上部電極と下部電極との間に交番電圧を印加することによって、構造体11に揺動軸L1を軸とする定在的な波を発生させ、ミラー部12を揺動軸L1回りに揺動させることができる。
An upper electrode and a lower electrode (not shown) are formed on the upper and lower surfaces of the
固定部15は、図1のように、構造体11を台座30に固定するために、構造体11の一面側17の4隅に形成される。本実施形態では後述のように、固定部15はレーザー溶接により形成され、固定部15により構造体11が台座30に固定される。構造体11は台座30に固定されると、図3に示されるように、鏡面121と台座30が構造体11に対してZ軸負側の同じ面側(他面側18)に配置され、鏡面121の反対側(一面側17)からレーザー溶接される。このように配置されることで、固定部15を形成するときにレーザー溶接により発生する金属製の飛散物等の汚れが、鏡面121に付着しにくくなり光走査装置の機能低下を防止することができる。
As shown in FIG. 1, the fixing
(光走査装置の製造方法)
次に、図4を用いて本実施形態の光走査装置の製造方法について説明する。
(Method for manufacturing optical scanning device)
Next, a method for manufacturing the optical scanning device of this embodiment will be described with reference to FIG.
ステップS101において、構造体11が形成される。具体的には、まず、金属製の板材が構造体10の外形と等しい大きさに分割される。そして、ミラー部12、梁部13、板部19に対応する位置に、マスキングのためのレジスト膜が形成される。ウェットエッチングによって構造体11が形成された後に、レジスト膜が除去される。なお、構造体11の外形に比して十分大きな板材に複数の構造体11の外形が形成された後に、個々の複数の構造体11に分割されてもよい。
In step S101, the
ステップS102は、第一駆動部20Aと第二駆動部20Bを構造体11に接着するための接着剤が、構造体11に塗布される。具体的には、水平に置かれた構造体11の図2の他面側18表面に、第一駆動部20Aと第二駆動部20Bに対応する位置の2箇所に、ディスペンサなどによって接着剤が塗布される。接着剤としては、例えば、エポキシ系、アクリル系、シリコン系等の合成樹脂材料に銀フィラーなどの導電材を含有する導電性接着剤が用いられる。導電性接着剤の塗布後、ステップS103が実行される。
In step S <b> 102, an adhesive for bonding the first drive unit 20 </ b> A and the second drive unit 20 </ b> B to the
次に、ステップS103は、第一駆動部20Aと第二駆動部20Bが、ステップS102にて塗布された導電性接着剤の上に設置される。第一駆動部20Aと第二駆動部20Bとして、あらかじめ圧電素子の両面に電極層を備えたバルクの圧電材料が用いられる。先ず、平面状のプレートに複数のエア吸引用の孔を有する吸着ヘッドによって、第一駆動部20Aが吸着される。そして、吸着された第一駆動部20Aが、図2の直線L2上に圧電材料の中心位置21が位置するようにして、導電性接着剤の上に設置される。他方の第二駆動部20Bも同様に、構造体11に接着される。
Next, in step S103, the
そして、ステップS104は、第一駆動部20Aと第二駆動部20Bそれぞれと構造体11とを接着する導電性接着剤が硬化される。具体的には、第一駆動部20Aと第二駆動部20Bが設置された構造体11が、100〜200℃の雰囲気に保たれた加熱炉内に30〜60分間装入される。これにより、導電性接着剤は熱硬化される。導電性接着剤の硬化後、ステップS105が実行される。
In step S104, the conductive adhesive that bonds the
ステップS105は、ステップS101で形成したミラー部12の表面であって、構造体11の他面側18に、鏡面が形成された透明誘電体125が貼り付けられる。なお、透明誘電体125にはあらかじめアルミや銀などの金属薄膜が接着剤により貼り付けて鏡面が形成されている。
Step S105 is a surface of the
ステップS106は、第一駆動部20Aと第二駆動部20Bと構造体11とに対して、ワイヤボンディングによって信号線が接続される。この信号線は、非図示の交流電源に接続される。構造体11と第一駆動部20A、第二駆動部20Bとは導電性接着剤によって接着されているので、この信号線を介して第一駆動部20A、第二駆動部20Bと構造体11との間に電圧が印加されることによって、第一駆動部20A、第二駆動部20BのZ方向に電位差が生じる。
In step S106, signal lines are connected to the
ステップS107は、構造体11の両端側を台座30上に載置して、図1の一面側17からレーザー溶接により固定する。即ち、図3の矢印A方向であって、ミラー部12に鏡面121が貼り付けられた側(他面側18)とは反対側(一面側17)から、台座30に対して構造体11の4隅にレーザー溶接を行う。本実施形態では、構造体11の4隅に固定部15が形成されて、台座30に固定されている(図1、3参照)。なお、スポット溶接などにより、構造体11が台座30に固定されてもよい。以上で、光走査装置10の製造工程が終了する。
In step S107, both end sides of the
以上説明した本実施形態の光走査装置の製造方法によれば、ステップS107の溶接固定工程でミラー部12に鏡面121が貼り付けられた側(他面側18)とは反対側からレーザー溶接を行う。そのため、溶接による金属製の飛散物が空気中へ分散しても、溶接を行う側(一面側17)とは反対側(他面側18)に鏡面121が備えられているので、鏡面121に飛散物が付着することを防止することができる。即ち、レーザー溶接により生じる金属製の飛散物等の汚れが鏡面121に付着することにより、光走査装置10の機能が低下することを防止することができる。
According to the manufacturing method of the optical scanning device of the present embodiment described above, laser welding is performed from the side opposite to the side (other surface side 18) on which the
また、本実施形態では、ステップS105の鏡面貼り付け工程をステップS104の駆動部20を熱硬化する工程の後に行う。仮に、熱硬化の前に鏡面121をミラー部12に貼り付けると、ステップS104で熱を加えることによって構造体11に歪が生じるおそれがあり、この影響でミラー部12に貼り付けた鏡面121が剥がれたりするのを防ぐことができる。
Moreover, in this embodiment, the mirror surface sticking process of step S105 is performed after the process of thermosetting the drive unit 20 of step S104. If the
上述した光走査装置10の製造方法において、ステップS101の金属製の板材にエッチング加工を行う工程が本発明の構造体形成工程に該当し、ステップS102の接着剤を構造体11に塗布する工程と、ステップS103の構造体11に圧電素子を設置する工程と、その後にステップS104で接着剤を熱硬化させる工程が本発明の駆動部形成工程に該当し、ステップS105で鏡面を有する透明誘電体をミラー部12に貼り付ける工程が本発明の鏡面貼付工程に該当し、ステップS107で構造体11を台座30にレーザー溶接で固定する工程が本発明の溶接工程に該当する。
In the manufacturing method of the
(光走査装置の変形例)
次に、図5ないし図7を用いて、本発明における変形例の光走査装置10Aを説明する。なお、図1ないし図3と同じ符号の構成は同様の構成を示すものとしてその説明を省略する。
(Modification of optical scanning device)
Next, a modified example of the
構造体11Aは、上述の構造体11と同様に、金属製の板材をエッチング加工やプレス加工等の除去加工することにより、板部19、ミラー部12A、梁部13、開口部16,16が形成される。構造体11Aでは、図5のX軸方向の負側に、開口部16,16、ミラー部12A、梁部13が形成されている。板部19は構造体11Aにおいて、図5のX軸正側にのみ設けられており、上述の構造体11よりも構造体11AのX軸方向の長さが短く形成されている。
Similar to the above-described
ミラー部12Aは、図7において、第一駆動部20Aに対して、固定部15とはX軸方向の反対側に配置され、上述した実施形態同様にミラー部12Aと固定部15が離間して配置される。具体的には、ミラー部12Aは第一駆動部20Aに対して、X軸負側(図7の左側)に配置され、固定部15は、第一駆動部20Aに対して、X軸正側(図7の右側)に配置される。
In FIG. 7, the
また、ミラー部12Aは、鏡面121にかえて、図6の鏡面121Aを有している点が上述のミラー部12と異なる。金属製の板材の表面を研磨して鏡面を形成した後、板材を加工して構造体11Aを作製することにより、構造体11Aの他面側18に鏡面が形成される。すなわち、鏡面121Aは、図6のY軸方向に形成された梁部13に支持されたミラー部12Aの他面側18に形成される。
Further, the
第一駆動部20Aは、図6のように、構造体11Aの板部19の他面側18にミラー部12Aに対してX軸方向正側(図6の右側)に設けられる。上述の実施形態とは異なり、構造体11Aに第一駆動部20Aが1つ備えられる。
As shown in FIG. 6, the
固定部15は、図5及び図7のように、構造体11Aを台座30に固定するために、構造体11Aの一面側17のX軸正側の端部に4個所、図7の矢印A方向からレーザー溶接を行って形成される。図5では固定部15は構造体11AのX軸正側端部に4箇所形成されているが、固定部15の数や位置は特に限定されず、構造体11Aをレーザー溶接で台座30に固定できればよい。すなわち、上述の実施形態では、構造体11Aは固定部15により台座30に両持ち支持されていたが、本変形例では、構造体11Aは固定部15により台座30に片持ち支持される。
As shown in FIGS. 5 and 7, there are four fixing
(変形例の光走査装置の製造方法)
次に、変形例の光走査装置10Aの製造方法について図8を用いて説明する。なお、図4と同じ符号の工程は、同様の工程内容であるのでその説明を省略する。図8では、図4と異なり、ステップS100の表面研磨工程が追加され、ステップS105の鏡面貼り付け工程が省略される点が異なる。
(Manufacturing method of optical scanning device of modification)
Next, a manufacturing method of the
ステップS100において、金属製の板材の片面側の表面を研磨して鏡面が形成される。また、鍍金加工等により鏡面が形成される。 In step S100, the surface on one side of the metal plate is polished to form a mirror surface. Further, a mirror surface is formed by plating or the like.
ステップS101では、上述のように金属製の板材にエッチング加工を行って構造体11Aが形成される。このとき、ミラー部12Aを含めた構造体11Aの片側表面である他面側18に鏡面が形成されている。
In step S101, the
ステップS102は、第一駆動部20Aを構造体11Aに接着するための接着剤が、構造体11Aに塗布される。このとき、構造体11Aの鏡面が形成された表面側に接着剤が塗布される。ここで、接着剤が塗布される表面側が図6の他面側18である。構造体11Aの他面側18の板部19表面に接着剤が塗布された後、ステップS103以降の処理が実行される。
In step S102, an adhesive for adhering the
ステップS107は、図5の構造体11AのX軸正側端部を台座30上に載置して、図5の一面側17からレーザー溶接により固定する。即ち、ミラー部12Aの鏡面121Aが形成された側である他面側18とは反対側であって、図7の矢印A方向の一面側17からレーザー溶接を行う。以上で、本変形例の光走査装置10Aの製造工程が終了する。
In step S107, the X-axis positive side end portion of the
以上説明した変形例の光走査装置10Aの製造方法によれば、ステップS107の溶接固定工程でミラー部12Aの鏡面121Aが形成された側である他面側18とは反対側の一面側17からレーザー溶接を行う。そのため、溶接により発生した金属製の飛散物等の汚れが空気中へ飛散しても、鏡面121Aにその汚れが付着することを防止することができる。即ち、レーザー溶接により生じる汚れが鏡面121Aに付着することにより、光走査装置10Aの機能が低下することを防止することができる。
According to the manufacturing method of the
上述した光走査装置10Aの製造方法において、ステップS100の金属製の板材の表面を研磨する工程が本発明の鏡面形成工程に該当する。
In the manufacturing method of the
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加えてもよい。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, You may add a various change in the range which does not deviate from the summary of this invention.
10,10A 光走査装置
11,11A 構造体
12,12A ミラー部
15 固定部
17 一面側
18 他面側
20A,20B 第一駆動部、第二駆動部
30 台座
121,121A 鏡面
125 薄片部材
DESCRIPTION OF
Claims (7)
金属製の板材から平板状の前記構造体を形成する構造体形成工程と、
前記構造体形成工程で形成された前記構造体に前記駆動部を形成する駆動部形成工程と、
前記鏡面とは反対側の面側から、前記駆動部形成工程により前記駆動部が形成された前記構造体を前記台座に溶接する溶接工程とを有することを特徴とする光走査装置の製造方法。 A method of manufacturing an optical scanning device, comprising: a structure having a mirror part having a mirror surface that reflects light; a drive unit that swings the mirror part; and a pedestal that fixes the structure.
A structure forming step of forming the flat plate-like structure from a metal plate;
A drive unit forming step of forming the drive unit on the structure formed in the structure forming step;
A method of manufacturing an optical scanning device, comprising: a welding step of welding the structure on which the driving portion is formed by the driving portion forming step to the pedestal from a surface side opposite to the mirror surface.
前記構造体形成工程は、前記鏡面形成工程により前記鏡面が形成された前記板材から前記構造体を形成することを特徴とする請求項1に記載の光走査装置の製造方法。 Comprising a mirror surface forming step of forming the mirror surface by polishing the surface of the metal plate;
2. The method of manufacturing an optical scanning device according to claim 1, wherein in the structure forming step, the structure is formed from the plate material on which the mirror surface is formed in the mirror surface forming step.
前記溶接工程は、前記鏡面貼付工程により貼り付けられた前記鏡面とは反対側の面側から、前記構造体を前記台座に溶接することを特徴とする請求項1に記載の光走査装置の製造方法。 In the structure in which the driving unit is formed by the driving unit forming step, the mirror unit includes a mirror surface pasting step of forming the mirror surface by pasting a thin piece member having a mirror surface on the surface of the mirror unit,
2. The manufacturing of the optical scanning device according to claim 1, wherein in the welding step, the structure is welded to the pedestal from a surface side opposite to the mirror surface pasted in the mirror surface pasting step. Method.
前記構造体は金属製の平板状の板材であって、前記鏡面が形成された面と反対の面側から前記構造体を前記台座に溶接して固定する固定部を有することを特徴とする光走査装置。 An optical scanning device comprising: a structure having a mirror part having a mirror surface for reflecting light; a drive part for swinging the mirror part; and a pedestal for fixing the structure.
The structure is a metal flat plate member, and has a fixing portion that welds and fixes the structure to the pedestal from the surface opposite to the surface on which the mirror surface is formed. Scanning device.
前記構造体を溶接により固定する台座とを有する光走査装置であって、
前記構造体が前記台座に固定された場合に、前記鏡面と前記台座が前記構造体に対して同じ面側に配置されることを特徴とする光走査装置。 A structure that includes a mirror part having a mirror surface that reflects light and a drive part that swings the mirror part, and is made of a metal plate-like plate material;
An optical scanning device having a base for fixing the structure by welding,
When the structure is fixed to the pedestal, the mirror surface and the pedestal are arranged on the same surface side with respect to the structure.
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CN114460560A (en) * | 2021-12-24 | 2022-05-10 | 宁波永新光学股份有限公司 | Surface mount type multi-surface rotating mirror scanning system and manufacturing method thereof |
CN116609939A (en) * | 2023-07-19 | 2023-08-18 | 上海毫米星光光学有限公司 | Combined type multi-surface rotary reflecting mirror |
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2010
- 2010-12-07 JP JP2010272364A patent/JP2012123087A/en active Pending
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