JP2012109081A - Socket for semiconductor device - Google Patents

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Katsunori Takahashi
克典 高橋
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To avoid interference of the electrode of a semiconductor device and the tip of the movable contact of a contact terminal reliably when the semiconductor device is attached.SOLUTION: When a cover member 12 is made to descend for a socket body 10 and approaches the socket body 10, a positioning member 14 to which a semiconductor device DV is attached is pushed up temporarily by the abutting part 26t of lever members 26, 26' for the contact part of the movable side contact piece 20m and the fixed side contact piece 20f of a contact terminal 20ai so as to be separated.

Description

本発明は、試験に供される半導体装置をプリント配線基板に電気的に接続するための半導体装置用ソケットに関する。   The present invention relates to a semiconductor device socket for electrically connecting a semiconductor device to be tested to a printed wiring board.

電子機器などに実装される半導体装置において、一般に、実装される以前の段階でその潜在的欠陥を除去するために例えば、初期動作不良集積回路の除去に有効とされるバーンイン(burn in)試験が半導体装置用ソケットを介してなされる。   In a semiconductor device mounted on an electronic device or the like, generally, for example, a burn-in test effective for removing an initial malfunction integrated circuit is performed in order to remove a potential defect in a stage before being mounted. This is done through a semiconductor device socket.

このような試験に供される半導体装置用ソケットは、一般に、ICソケットと称され、例えば、特許文献1にも示されるように、プリント配線基板(テストボード)上に配される。   The socket for a semiconductor device used for such a test is generally called an IC socket, and is arranged on a printed wiring board (test board) as disclosed in Patent Document 1, for example.

例えば、オープントップタイプソケットにおいて、半導体装置用ソケットは、後述するコンタクト作動用部材を、コンタクト端子の一対の可動接点部に対し相対的に移動可能に収容する収容部を有するソケット本体と、半導体装置として、例えば、BGA型(Ball Grid Array)の半導体装置が装着される収容部を有し、半導体装置を収容部に案内するとともに半導体装置の電極部のコンタクト端子に対する相対位置を位置決めする位置決め部材と、所定の方向に沿って往復動可能にソケット本体内に配され、コンタクト端子の一方の可動接点部を他方の可動接点部に対し互いに近接または離隔させるコンタクト作動用部材と、作業者によるマニュアル操作力あるいは搬送ロボットのハンドラーにより作用される操作力をコンタクト作動用部材の駆動機構を介して駆動力としてコンタクト作動用部材に伝達するカバー部材とを含んで構成されている。   For example, in an open top type socket, a semiconductor device socket includes a socket body having a housing portion that houses a contact actuating member, which will be described later, movably relative to a pair of movable contact portions of a contact terminal, and a semiconductor device For example, a positioning member that has a housing portion to which a BGA type (Ball Grid Array) semiconductor device is mounted, guides the semiconductor device to the housing portion, and positions the relative position of the electrode portion of the semiconductor device to the contact terminal; A contact actuating member disposed in the socket main body so as to be reciprocable along a predetermined direction and moving one movable contact portion of the contact terminal close to or away from the other movable contact portion, and manual operation by an operator Contouring force or operating force applied by the robot handler And a cover member that transmits the driving force to the contact actuating member via the drive mechanism for the actuating member.

ソケット本体は、複数のコンタクト端子の一対の可動接点部が突出する収容部を内側に有している。各コンタクト端子は、装着される半導体装置の各電極部に対応してソケット本体に設けられる基端側の固定側端子と、その端子に結合され半導体装置の各電極部を選択的に挟持、または解放する一対の可動接点部と、からなる。一対の可動接点部は、コンタクト作動用部材の移動に応じて互いに近接し半導体装置の各電極部を挟持し、または、互いに離隔し半導体装置の各電極部を解放するものとされる。   The socket body has an accommodating portion on the inside from which a pair of movable contact portions of a plurality of contact terminals protrude. Each contact terminal is a base-side fixed side terminal provided in the socket body corresponding to each electrode portion of the semiconductor device to be mounted, and selectively sandwiching each electrode portion of the semiconductor device coupled to the terminal, or And a pair of movable contact portions to be released. The pair of movable contact portions are close to each other in accordance with the movement of the contact actuating member, sandwich each electrode portion of the semiconductor device, or are separated from each other to release each electrode portion of the semiconductor device.

コンタクト作動用部材は、ソケット本体の収容部に、例えば、各コンタクト端子の可動接点部の運動方向に対し略直交する方向に沿って移動可能に配されている。なお、コンタクト作動用部材は、特許文献2にも示されるように、ソケット本体の収容部に、各コンタクト端子の可動接点部の運動方向に沿って移動可能に配されているものも実用に供されている。   The contact actuating member is arranged in the accommodating portion of the socket body so as to be movable along a direction substantially orthogonal to the direction of movement of the movable contact portion of each contact terminal, for example. In addition, as disclosed in Patent Document 2, the contact actuating member is also practically used in the socket main body accommodating part so as to be movable along the moving direction of the movable contact part of each contact terminal. Has been.

コンタクト作動用部材は、各コンタクト端子の可動接点部がそれぞれ突出する開口部を内側に縦横に有している。異なる列の各開口部は、それぞれ、隔壁により仕切られている。   The contact actuating member has openings vertically and horizontally inside from which the movable contact portions of the contact terminals protrude. Each opening in a different row is partitioned by a partition wall.

コンタクト作動用部材において、同一列の各コンタクト端子の可動接点部が突出する隣接する各開口部相互間には、一方の可動接点部と他方の可動接点部との間を仕切るように形成される可動接点押圧部(特許文献1においては仕切壁と呼称されている)がそれぞれ設けられている。さらに、コンタクト作動用部材の一端とソケット本体の収容部の内周部との間には、コンタクト作動用部材を初期位置に戻すべく付勢する付勢部材が設けられている。   In the contact actuating member, between the adjacent openings from which the movable contact portions of the contact terminals in the same row project, the one movable contact portion and the other movable contact portion are formed so as to partition each other. A movable contact pressing portion (referred to as a partition wall in Patent Document 1) is provided. Further, an urging member that urges the contact actuating member to return to the initial position is provided between one end of the contact actuating member and the inner peripheral part of the housing portion of the socket body.

さらに、コンタクト作動用部材は、特許文献1にも示されるような回動可能なレバー部材、および、作動軸からなる駆動機構に連結されている。その駆動機構のレバー部材の一端は、下降せしめられるカバー部材のカム面に当接するものとされる。   Further, the contact actuating member is connected to a drive mechanism including a pivotable lever member and an actuating shaft as shown in Patent Document 1. One end of the lever member of the drive mechanism is in contact with the cam surface of the cover member that is lowered.

これにより、カバー部材の下降動作に応じてレバー部材の一端が回動されることにより、コンタクト作動用部材が付勢手段の付勢力に抗して移動せしめられるとき、上述の可動接点押圧部が各コンタクト端子の一方の可動接点部および他方の可動接点部を互いに離隔させるように移動せしめられる。一方、カバー部材の上昇動作に応じて、コンタクト作動用部材が付勢手段の付勢力の復元力により初期の位置まで移動せしめられる。   Thus, when the contact actuating member is moved against the urging force of the urging means by rotating one end of the lever member according to the lowering operation of the cover member, the above-mentioned movable contact pressing portion is One movable contact part and the other movable contact part of each contact terminal are moved apart from each other. On the other hand, according to the raising operation of the cover member, the contact operating member is moved to the initial position by the restoring force of the urging force of the urging means.

カバー部材は、ソケット本体に対し昇降動可能にソケット本体に支持されている。また、カバー部材は、位置決め部材の外周を包囲するように開口を内側に有している。   The cover member is supported by the socket body so as to be movable up and down with respect to the socket body. Moreover, the cover member has an opening on the inner side so as to surround the outer periphery of the positioning member.

斯かる構成において、搬送ロボットのハンドラーまたは作業者の指等に保持される半導体装置が、カバー部材の開口を通じて位置決め部材の収容部内に装着される場合、先ず、カバー部材が搬送ロボットのハンドラー等により最下端位置まで下降せしめられるとともにその半導体装置が下降せしめられる。これにより、コンタクト作動用部材が付勢手段の付勢力に抗して移動せしめられる。その際、コンタクト作動用部材が最下端位置で保持された状態で、突出した一方の可動接点部と他方の可動接点部とが離隔した状態に保持される。   In such a configuration, when the semiconductor device held by the handler of the transfer robot or the operator's finger or the like is mounted in the positioning member housing through the opening of the cover member, first, the cover member is moved by the handler of the transfer robot or the like. The semiconductor device is lowered while being lowered to the lowermost position. As a result, the contact actuating member is moved against the urging force of the urging means. At that time, with the contact actuating member held at the lowermost position, the protruding one movable contact portion and the other movable contact portion are held apart.

次に、半導体装置が所定の高さからの落下によって位置決め部材の収容部に載置されることにより、半導体装置の電極部が各コンタクト端子の一方の可動接点部と他方の可動接点部との間に対し位置決めされる。   Next, the semiconductor device is placed on the positioning member housing portion by dropping from a predetermined height, so that the electrode portion of the semiconductor device is connected to one movable contact portion and the other movable contact portion of each contact terminal. Positioned relative to the gap.

そして、半導体装置の各電極が各コンタクト端子の一対の可動接点部の相互間に配された状態で、カバー部材が上昇せしめられるとき、コンタクト作動用部材が付勢手段の付勢力の復元力により初期の位置まで上昇せしめられることにより、可動接点押圧部が上昇され、一方の可動接点部および他方の可動接点部が互いに近接することとなる。   When the cover member is raised in a state where each electrode of the semiconductor device is disposed between the pair of movable contact portions of each contact terminal, the contact operating member is caused by the restoring force of the urging force of the urging means. By being raised to the initial position, the movable contact pressing portion is raised, and one movable contact portion and the other movable contact portion are close to each other.

従って、半導体装置の各電極部が各コンタクト端子の一対の可動接点部により挟持されることにより、半導体装置の各電極部が各コンタクト端子に電気的に接続状態となる。   Therefore, each electrode part of the semiconductor device is electrically connected to each contact terminal by sandwiching each electrode part of the semiconductor device between the pair of movable contact parts of each contact terminal.

特開2004−111215号公報JP 2004-1111215 A 特開2004−47137号公報JP 2004-47137 A

上述のようにコンタクト作動用部材が最下端位置で保持された状態で、突出した一方の可動接点部と他方の可動接点部とが離隔した状態に保持される場合、一対の可動接点部の先端部は、位置決め部材における半導体装置載置面より所定の長さだけ突出している。   When the contact actuating member is held at the lowermost position as described above, when the protruding one movable contact portion and the other movable contact portion are held apart, the tips of the pair of movable contact portions The portion protrudes from the semiconductor device mounting surface of the positioning member by a predetermined length.

このような場合、例えば、作業者のマニュアル操作によって半導体装置が位置決め部材の半導体装置載置面に落下されるとき、誤って傾いた姿勢となった半導体装置の電極部が、可動接点部の先端部に干渉する虞がある。特に、半導体装置の重量が比較的重いとき、例えば、ヒートスプレッター付きの半導体装置、あるいは、電極総数が2200個を越える比較的大きいサイズの半導体装置のとき、そのような半導体装置の電極部が可動接点部の先端部に干渉することにより、一対の可動接点部の先端部が変形、あるいは、破損する虞がある。   In such a case, for example, when the semiconductor device is dropped on the semiconductor device mounting surface of the positioning member by an operator's manual operation, the electrode portion of the semiconductor device that is in a tilted posture is the tip of the movable contact portion. There is a possibility of interfering with the part. In particular, when the weight of the semiconductor device is relatively heavy, for example, when the semiconductor device has a heat spreader or the semiconductor device has a relatively large size in which the total number of electrodes exceeds 2200, the electrode portion of such a semiconductor device is movable. By interfering with the tip of the contact portion, the tip of the pair of movable contact portions may be deformed or damaged.

以上の問題点を考慮し、本発明は、試験に供される半導体装置をプリント配線基板に電気的に接続するための半導体装置用ソケットであって、半導体装置の装着のとき、半導体装置の電極部とコンタクト端子の可動接点部の先端部との干渉を確実に回避できる半導体装置用ソケットを提供することを目的とする。   In view of the above problems, the present invention is a socket for a semiconductor device for electrically connecting a semiconductor device to be tested to a printed wiring board, and the electrode of the semiconductor device when the semiconductor device is mounted. An object of the present invention is to provide a socket for a semiconductor device capable of reliably avoiding interference between the contact portion and the tip of the movable contact portion of the contact terminal.

上述の目的を達成するために、本発明に係る半導体装置用ソケットは、半導体装置の端子を選択的に挟持し電気的に接続する一対の接触片部を有するコンタクト端子を備えるソケット本体と、ソケット本体に移動可能に配され、コンタクト端子の一対の接触片部における一方の接触片部を他方の接触片部に対し相対的に近接または離隔させるように少なくとも一方の接触片部を移動させる押圧部を有するコンタクト作動用部材と、コンタクト作動用部材およびコンタクト端子の一対の接触片部に対し近接または離隔可能に該コンタクト用作動用部材に配され、半導体装置を着脱可能に収容し、半導体装置の電極部のコンタクト端子の一対の接触片部に対する位置決めを行なう半導体装置収容部を有する位置決め部材と、コンタクト作動用部材と位置決め部材との間に揺動可能に配され、位置決め部材をコンタクト作動用部材に対し近接または離隔させるレバー部材と、ソケット本体に移動可能に支持され半導体装置の半導体装置収容部への着脱に応じてコンタクト作動用部材の押圧部に動作を行わせ、コンタクト端子の一対の接触片部を半導体装置の端子に対し当接または離隔させるとともに、半導体装置の前記半導体装置収容部への装着のとき、レバー部材に、半導体装置が収容された位置決め部材をコンタクト作動用部材およびコンタクト端子の一対の接触片部に対し一旦、離隔させた後、近接させる動作を行わせるカバー部材と、を備えて構成される。   In order to achieve the above-described object, a socket for a semiconductor device according to the present invention includes a socket body including a contact terminal having a pair of contact pieces for selectively holding and electrically connecting terminals of the semiconductor device, and a socket. A pressing portion that is movably arranged on the main body and moves at least one contact piece so that one contact piece of the pair of contact pieces of the contact terminal is relatively close to or separated from the other contact piece. A contact actuating member having a contact actuating member and a contact actuating member and a pair of contact pieces of the contact terminal. A positioning member having a semiconductor device housing portion for positioning a pair of contact pieces of a contact terminal of the electrode portion; and a contact actuating member A lever member that is swingably disposed between the positioning member and moves the positioning member close to or away from the contact actuating member, and is movably supported by the socket body and is attached to and detached from the semiconductor device housing portion. When the contact operating member is operated, the pair of contact pieces of the contact terminals are brought into contact with or separated from the terminals of the semiconductor device, and when the semiconductor device is mounted on the semiconductor device housing portion, The lever member is configured to include a positioning member that accommodates the semiconductor device, and a cover member that performs an operation of separating the contact member from the contact actuating member and the contact terminal portion of the contact terminal, and then bringing the contact member into proximity. The

本発明に係る半導体装置用ソケットによれば、カバー部材が、半導体装置の半導体装置収容部への着脱に応じてコンタクト作動用部材の押圧部に動作を行わせ、コンタクト端子の一対の接触片部を半導体装置の端子に対し当接または離隔させるとともに、半導体装置の前記半導体装置収容部への装着のとき、レバー部材に、半導体装置が収容された位置決め部材をコンタクト作動用部材およびコンタクト端子の一対の接触片部に対し一旦、離隔させた後、近接させる動作を行わせることにより、半導体装置の端子がコンタクト端子の一対の接触片部に衝突する虞がないので半導体装置の装着のとき、半導体装置の電極部とコンタクト端子の可動接点部の先端部との干渉を回避できる。   According to the semiconductor device socket according to the present invention, the cover member causes the pressing portion of the contact actuating member to operate in accordance with attachment / detachment of the semiconductor device to / from the semiconductor device housing portion, and the pair of contact pieces of the contact terminal. Is placed in contact with or separated from the terminal of the semiconductor device, and when the semiconductor device is mounted on the semiconductor device housing portion, a positioning member housing the semiconductor device is placed on the lever member as a pair of the contact operating member and the contact terminal. When the semiconductor device is mounted, the semiconductor device terminals do not collide with the pair of contact pieces of the contact terminals by causing the contact piece portions to be separated from each other and then approaching each other. Interference between the electrode portion of the apparatus and the tip of the movable contact portion of the contact terminal can be avoided.

本発明に係る半導体装置用ソケットの一例の要部を部分的に拡大して示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which expands and shows the principal part of an example of the socket for semiconductor devices which concerns on this invention partially. 図1に示される例における構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure in the example shown by FIG. 図1に示される例における構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure in the example shown by FIG. 図1に示される例における動作説明に供される断面図である。It is sectional drawing with which it uses for operation | movement description in the example shown by FIG. 図1に示される例において用いられるスライダ部材を、レバー部材とともに示す平面図である。It is a top view which shows the slider member used in the example shown by FIG. 1 with a lever member. 図1に示される例において用いられるスライダ部材を示す平面図である。It is a top view which shows the slider member used in the example shown by FIG. (A)は、図1に示される例において用いられるレバー部材を示す斜視図であり、(B)は、(A)における側面図である。(A) is a perspective view which shows the lever member used in the example shown by FIG. 1, (B) is a side view in (A). 図1に示される例における動作説明に供される断面図である。It is sectional drawing with which it uses for operation | movement description in the example shown by FIG. 図1に示される例における動作説明に供される断面図である。It is sectional drawing with which it uses for operation | movement description in the example shown by FIG.

図1は、本発明に係る半導体装置用ソケットの一例を、テストボードとしてのプリント配線基板とともに拡大して示す。なお、図1においては、プリント配線基板上に複数個配置される半導体装置用ソケットのうちの1個を代表して示す。   FIG. 1 is an enlarged view of an example of a socket for a semiconductor device according to the present invention, together with a printed wiring board as a test board. In FIG. 1, one of the plurality of semiconductor device sockets arranged on the printed wiring board is shown as a representative.

半導体装置用ソケットは、所定の板厚を有するプリント配線基板18に形成される導体パターンにおける所定位置にそれぞれ配されている。その導体パターンにおける所定位置には、後述するコンタクト端子の固定側端子が半田付け固定されるめっきスルーホール群が形成されている。また、導体パターンの周囲には、後述のソケット本体の各位置決めピン部が挿入される孔が形成されている。   The semiconductor device sockets are respectively arranged at predetermined positions in a conductor pattern formed on the printed wiring board 18 having a predetermined plate thickness. A plated through hole group is formed at a predetermined position in the conductor pattern, to which a fixed terminal of a contact terminal, which will be described later, is fixed by soldering. In addition, a hole into which each positioning pin portion of a socket body described later is inserted is formed around the conductor pattern.

半導体装置用ソケットは、図1および図2に示されるように、上述のプリント配線基板18上に固定されるソケット本体10と、ソケット本体10内の中央のコンタクト収容部に配され後述する半導体装置とプリント配線基板18の導体パターンとを電気的に接続する複数のコンタクト端子20ai(i=1〜n,nは正の整数)と、ソケット本体10に昇降動可能に支持され後述するラッチ機構に操作力を伝達するカバー部材12と、半導体装置DVを着脱可能に収容するとともに半導体装置DVの電極部のコンタクト端子に対する相対位置を位置決めする位置決め部材14を有するスライダ部材22と、位置決め部材14内に収容された半導体装置DVの各電極部を複数のコンタクト端子に向けて押圧するとともに半導体装置DVを保持する押え部材16Aおよび16Bを含んでなるラッチ機構とを主な要素として含んで構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the semiconductor device socket is arranged in a socket main body 10 fixed on the above-described printed wiring board 18 and a central contact accommodating portion in the socket main body 10, and will be described later. A plurality of contact terminals 20ai (i = 1 to n, n are positive integers) that electrically connect the conductor pattern of the printed wiring board 18 and a latch mechanism that is supported by the socket body 10 so as to be movable up and down. A cover member 12 for transmitting an operating force, a slider member 22 having a positioning member 14 for detachably housing the semiconductor device DV and positioning a relative position of the electrode portion of the semiconductor device DV with respect to a contact terminal, and a positioning member 14 The semiconductor device DV is held while pressing each electrode portion of the accommodated semiconductor device DV toward the plurality of contact terminals. And a latch mechanism comprising a Ruosae members 16A and 16B is configured to include as main components.

斯かる半導体装置用ソケットに供される半導体装置DVは、例えば、BGA型の一辺約50mmの略正方形の半導体装置とされ、約2200個を超える複数の球状の電極部DVaが縦横に形成される電極面を有している(図8参照)。   A semiconductor device DV provided in such a socket for a semiconductor device is, for example, a BGA type substantially square semiconductor device having a side of about 50 mm, and a plurality of spherical electrode portions DVa exceeding about 2200 are formed vertically and horizontally. It has an electrode surface (see FIG. 8).

樹脂製のソケット本体10は、後述するカバー部材12が下降せしめられるとき、そのアーム部の下端、および、押え部材16Aおよび16Bの基端部が侵入する凹部(不図示)を相対向する端部にそれぞれ、有している。また、図3に示されるように、ソケット本体10の内部の中央には、複数のコンタクト端子20aiが半導体装置DVの電極部に対応して配されるコンタクト収容部が形成されている。   The resin socket main body 10 is configured so that when a cover member 12 described later is lowered, the lower ends of the arm portions and the recesses (not shown) into which the base end portions of the pressing members 16A and 16B enter are opposed to each other. Respectively. As shown in FIG. 3, a contact housing portion in which a plurality of contact terminals 20ai are arranged corresponding to the electrode portions of the semiconductor device DV is formed in the center of the socket body 10.

コンタクト収容部は、プリント配線基板18の表面に向けて開口する凹部と、その凹部に連通し各コンタクト端子20aiをそれぞれ、収容する複数のセルと、から構成されている。各セルは、所定の間隔で縦横に形成されている。同一列における隣接するセル相互間は、仕切壁10Pai(i=1〜n,nは正の整数)により仕切られている。セルの内部には、コンタクト端子20aiの固定部20Bを内壁面で支持する圧入部が形成されている。そのセルの開口端が開口するコンタクト収容部の上面部には、後述するコンタクト作動用部材としてのスライダ部材22が移動可能に配されている平坦面が形成されている。   The contact accommodating portion is composed of a concave portion that opens toward the surface of the printed wiring board 18 and a plurality of cells that communicate with the concave portion and accommodate the respective contact terminals 20ai. Each cell is formed vertically and horizontally at a predetermined interval. Adjacent cells in the same row are partitioned by a partition wall 10Pai (i = 1 to n, n is a positive integer). A press-fit portion that supports the fixed portion 20B of the contact terminal 20ai on the inner wall surface is formed inside the cell. A flat surface on which a slider member 22 as a contact actuating member, which will be described later, is movably disposed is formed on the upper surface of the contact accommodating portion where the open end of the cell opens.

コンタクト端子20aiは、弾性のある薄板状の金属材料でプレス加工により一体成形され、図1に拡大されて示されるように、プリント配線基板18の表面に対し略直交する方向に延びている。コンタクト端子20aiは、上述の半導体装置DVにおける球状の電極部DVaを選択的に挟持する一対の可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fと、プリント配線基板18のめっきスルーホールに半田付け固定される固定側端子20Cと、可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fと固定側端子20Cとを連結する固定部20Bとを含んで構成されている。   The contact terminals 20ai are integrally formed by pressing with an elastic thin plate-like metal material, and extend in a direction substantially orthogonal to the surface of the printed wiring board 18 as shown in an enlarged manner in FIG. The contact terminal 20ai is soldered to a pair of the movable contact piece 20m and the fixed contact piece 20f that selectively sandwich the spherical electrode portion DVa in the semiconductor device DV and the plated through hole of the printed wiring board 18. The fixed side terminal 20C is fixed, and includes a movable side contact piece 20m, a fixed side contact piece 20f, and a fixed portion 20B that connects the fixed side terminal 20C.

可動側接触片部20mは、固定側接触片部20fに対し近接または離隔可能となるように弾性を有している。可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける上端部には、それぞれ、半導体装置DVにおける球状の電極部に当接する接点部が形成されている。各接点部は、図3に拡大されて示されるように、スライダ部材22のスリット22bを通じて位置決め部材14の細孔近傍の位置まで突出している。   The movable side contact piece 20m has elasticity so as to be close to or separated from the fixed side contact piece 20f. At the upper ends of the movable-side contact piece 20m and the fixed-side contact piece 20f, contact portions that contact the spherical electrode portions of the semiconductor device DV are formed. Each contact portion projects through the slit 22b of the slider member 22 to a position near the pore of the positioning member 14 as shown in an enlarged manner in FIG.

また、図4において、スライダ部材22が矢印Fの示す方向に移動せしめられる場合、可動側接触片部20mの接点部は、破線で示されるように、スライダ部材22の押圧部22aにより押圧され、固定側接触片部20fの接点部に対し離隔せしめられる。一方、スライダ部材22が矢印Rの示す方向に移動され、その離隔した位置から初期位置に戻される場合、可動側接触片部20mの接点部は、固定側接触片部20fの接点部に対し近接せしめられる。   Further, in FIG. 4, when the slider member 22 is moved in the direction indicated by the arrow F, the contact portion of the movable contact piece 20m is pressed by the pressing portion 22a of the slider member 22 as indicated by a broken line, The fixed side contact piece 20f is separated from the contact portion. On the other hand, when the slider member 22 is moved in the direction indicated by the arrow R and returned from the separated position to the initial position, the contact portion of the movable contact piece 20m is close to the contact portion of the fixed contact piece 20f. I'm damned.

スライダ部材22は、カバー部材12の下降動作に応じてカム機構(不図示)により図5における矢印Fの示す方向に移動せしめられる。そのカム機構は、例えば、特開2003−17207号公報にも示されるような、レバー部材およびコイルスプリングを含んで構成されている。   The slider member 22 is moved in a direction indicated by an arrow F in FIG. 5 by a cam mechanism (not shown) according to the lowering operation of the cover member 12. The cam mechanism is configured to include a lever member and a coil spring as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-17207, for example.

また、スライダ部材22は、図3に拡大されて示されるように、コンタクト端子20aiにおける一対の可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fが通過するスリット22bを縦横に有している。同一列における隣接するスリット22b相互間は、内部に形成される押圧部22aにより仕切られている。隣接する異なる列相互間におけるスリット22b相互間は、隔壁により仕切られている。また、スライダ部材22の略中央部における隣接する異なる列相互間におけるスリット22b相互間に対応する上面には、所定の長さおよび高さの補強用のリブ22ra(i=1〜n,nは正の整数)が形成されている。   Further, as shown in an enlarged view in FIG. 3, the slider member 22 has slits 22b through which the pair of movable side contact piece portions 20m and fixed side contact piece portions 20f of the contact terminals 20ai pass vertically and horizontally. Adjacent slits 22b in the same row are partitioned by a pressing portion 22a formed inside. The slits 22b between adjacent rows are separated by a partition wall. Further, a reinforcing rib 22ra having a predetermined length and height (i = 1 to n, n is defined on the upper surface corresponding to the slits 22b between the adjacent different rows in the substantially central portion of the slider member 22. A positive integer) is formed.

スライダ部材22は、図5に示されるように、互いに直交する座標系における座標軸Xに平行な辺におけるスリット22b群の周辺に、後述する位置決め部材の第1のガイドポストの脚部(不図示)が挿入される孔22Rを座標軸Xに沿って所定の間隔で2箇所ずつ有している。座標軸Xに沿った孔22Rと孔22Rとの間には、位置決め部材の第2のガイドポストのフック部(不図示)が通過する孔22Hが、所定の間隔で2箇所に形成されている。なお、スライダ部材22は、座標軸Xに沿って往復動可能にコンタクト収容部の上面部に支持されている。   As shown in FIG. 5, the slider member 22 has legs (not shown) of a first guide post of a positioning member to be described later around a slit 22b group on a side parallel to the coordinate axis X in a mutually orthogonal coordinate system. Are inserted at two predetermined intervals along the coordinate axis X. Between the hole 22R and the hole 22R along the coordinate axis X, two holes 22H through which a hook portion (not shown) of the second guide post of the positioning member passes are formed at two predetermined intervals. The slider member 22 is supported on the upper surface portion of the contact accommodating portion so as to be able to reciprocate along the coordinate axis X.

各孔22Rに隣接してスリット22b群から離隔して外周部に近い位置には、それぞれ、レバー部材26および26’が揺動可能に設けられる溝22GA,22GB,22GC,および、22GDが形成されている。   Grooves 22GA, 22GB, 22GC, and 22GD in which the lever members 26 and 26 'are swingably provided are formed at positions close to the outer peripheral portion and adjacent to the respective holes 22R and separated from the slit 22b group. ing.

細長い溝22GAは、図6に示されるように、座標軸Xに沿って形成される斜面部22BSと、斜面部22BSの一端に連なる平坦部22Bfと、平坦部22Bfの端部から座標軸Yに沿って屈曲するように形成される窪み22Bdとから構成されている。   As shown in FIG. 6, the elongated groove 22GA includes a slope portion 22BS formed along the coordinate axis X, a flat portion 22Bf connected to one end of the slope portion 22BS, and an end portion of the flat portion 22Bf along the coordinate axis Y. It is comprised from the hollow 22Bd formed so that it may be bent.

斜面部22BSは、図3に示されるように、右下方に向けて傾斜する所定の勾配を有している。斜面部22BSと平坦部22Bfとの境界部分には、後述するレバー部材26における回動支点としての突起部26BPを受け止める凹部22Bpが形成されている。   As shown in FIG. 3, the slope portion 22BS has a predetermined slope that slopes downward to the right. A concave portion 22Bp that receives a protrusion 26BP as a pivot point of a lever member 26 described later is formed at a boundary portion between the slope portion 22BS and the flat portion 22Bf.

座標軸Xに沿って溝22GAに対向して共通の直線上に形成される溝22GBは、座標軸Xに沿って形成される斜面部22BSと、斜面部22BSの一端に連なる平坦部22Bfと、平坦部22Bfの端部から座標軸Yに沿って溝22GAの窪み22Bdの屈曲方向と同一方向に屈曲するように形成される窪み22Bdとから構成されている。   A groove 22GB formed on a common straight line facing the groove 22GA along the coordinate axis X includes a slope portion 22BS formed along the coordinate axis X, a flat portion 22Bf connected to one end of the slope portion 22BS, and a flat portion. The recess 22Bd is formed so as to be bent in the same direction as the bending direction of the recess 22Bd of the groove 22GA from the end of 22Bf along the coordinate axis Y.

斜面部22BSは、図3に示されるように、左下方に向けて傾斜する所定の勾配を有している。斜面部22BSと平坦部22Bfとの境界部分には、後述するレバー部材26’における回動支点としての突起部26BPを受け止める凹部22Bpが形成されている。   As shown in FIG. 3, the slope portion 22BS has a predetermined slope that slopes toward the lower left. At the boundary portion between the slope portion 22BS and the flat portion 22Bf, a concave portion 22Bp is formed for receiving a projection portion 26BP as a rotation fulcrum in a lever member 26 'described later.

座標軸Yに沿って溝22GBに対向して形成される溝22GCは、座標軸Xに沿って形成される斜面部22BSと、斜面部22BSの一端に連なる平坦部22Bfと、平坦部22Bfの端部から座標軸Yに沿って溝22GAおよび22GBの窪み22Bdの屈曲方向とは逆方向に屈曲するように形成される窪み22Bdとから構成されている。   The groove 22GC formed to face the groove 22GB along the coordinate axis Y includes a slope portion 22BS formed along the coordinate axis X, a flat portion 22Bf connected to one end of the slope portion 22BS, and an end portion of the flat portion 22Bf. A recess 22Bd is formed along the coordinate axis Y so as to be bent in a direction opposite to the bending direction of the recess 22Bd of the grooves 22GA and 22GB.

斜面部22BSは、図3に示されるように、左下方に向けて傾斜する所定の勾配を有している。斜面部22BSと平坦部22Bfとの境界部分には、後述するレバー部材26における回動支点としての突起部26BPを受け止める凹部22Bpが形成されている。   As shown in FIG. 3, the slope portion 22BS has a predetermined slope that slopes toward the lower left. A concave portion 22Bp that receives a protrusion 26BP as a pivot point of a lever member 26 described later is formed at a boundary portion between the slope portion 22BS and the flat portion 22Bf.

座標軸Xに沿って溝22GCに対向して共通の直線上に形成される溝22GDは、座標軸Xに沿って形成される斜面部22BSと、斜面部22BSの一端に連なる平坦部22Bfと、平坦部22Bfの端部から座標軸Yに沿って溝22GAおよび22GBの窪み22Bdの屈曲方向とは逆方向に屈曲するように形成される窪み22Bdとから構成されている。   A groove 22GD formed on a common straight line facing the groove 22GC along the coordinate axis X includes a slope portion 22BS formed along the coordinate axis X, a flat portion 22Bf connected to one end of the slope portion 22BS, and a flat portion. The recess 22Bd is formed so as to bend in the direction opposite to the bending direction of the recess 22Bd of the grooves 22GA and 22GB from the end of 22Bf along the coordinate axis Y.

斜面部22BSは、図3に示されるように、右下方に向けて傾斜する所定の勾配を有している。斜面部22BSと平坦部22Bfとの境界部分には、後述するレバー部材26’における回動支点としての突起部26BPを受け止める凹部22Bpが形成されている。   As shown in FIG. 3, the slope portion 22BS has a predetermined slope that slopes downward to the right. At the boundary portion between the slope portion 22BS and the flat portion 22Bf, a concave portion 22Bp is formed for receiving a projection portion 26BP as a rotation fulcrum in a lever member 26 'described later.

レバー部材26および26’は、それぞれ、後述するガイド部を除き、互いに同一構造を有するのでレバー部材26について説明し、レバー部材26’についての説明を省略する。   Since the lever members 26 and 26 'have the same structure except for a guide portion described later, the lever member 26 will be described and the description of the lever member 26' will be omitted.

レバー部材26は、上述の溝22GAおよび22GCに配され、一方、レバー部材26’は、上述の溝22GBおよび22GDに配される。   The lever member 26 is disposed in the above-described grooves 22GA and 22GC, while the lever member 26 'is disposed in the above-described grooves 22GB and 22GD.

レバー部材26は、図7(A)および(B)に拡大されて示されるように、樹脂材料で成形され、支点としての突起部26BPを有するアーム部26Bと、アーム部26Bの一端に形成されるカバー部材当接部26URと、アーム部26Bの他端に形成されるガイド部26Cとから構成されている。   As shown in FIGS. 7A and 7B in an enlarged manner, the lever member 26 is formed of a resin material and is formed at one end of the arm portion 26B. The arm portion 26B has a protrusion 26BP as a fulcrum. Cover member abutting portion 26UR and a guide portion 26C formed at the other end of the arm portion 26B.

アーム部26Bは、上述の溝22GAおよび22GCにおける斜面部22BSおよび平坦部22Bf上に載置される。突起部26BPは、アーム部26Bにおける溝に載置される面に所定の高さだけ隆起している。突起部26BPは、カバー部材当接部26UR側に概ね近い位置に形成されている。   The arm portion 26B is placed on the slope portion 22BS and the flat portion 22Bf in the above-described grooves 22GA and 22GC. The protruding portion 26BP is raised by a predetermined height on the surface of the arm portion 26B placed on the groove. The protrusion 26BP is formed at a position substantially close to the cover member contact portion 26UR side.

カバー部材当接部26URは、図7(A)においてアーム部26Bの中心軸線に対して略直交し、カバー部材12に向けて(即ち、上方に向けて)突出するように形成されている。これにより、カバー部材12が下降せしめられる場合、図4に拡大されて示されるように、カバー部材当接部26URの先端が、カバー部材12の内周面に力点として当接するものとされる。   The cover member contact portion 26UR is formed so as to be substantially orthogonal to the central axis of the arm portion 26B in FIG. 7A and project toward the cover member 12 (ie, upward). As a result, when the cover member 12 is lowered, the tip of the cover member contact portion 26UR comes into contact with the inner peripheral surface of the cover member 12 as a force point, as shown in an enlarged manner in FIG.

ガイド部26Cは、図7(A)においてアーム部26Bの中心軸線に対して共通の平面上で一方に向けて略直交するように形成されている。ガイド部26Cの一端は、図7(B)に示されるように、下方に向けて突出している。ガイド部26Cにおけるアーム部26Bと共通の平面上には、後述の位置決め部材14の下面に当接する当接部26tが作用点として形成されている。   The guide part 26C is formed so as to be substantially orthogonal to one side on a common plane with respect to the central axis of the arm part 26B in FIG. As shown in FIG. 7B, one end of the guide portion 26C protrudes downward. On the same plane as the arm portion 26B in the guide portion 26C, an abutting portion 26t that abuts on a lower surface of a positioning member 14 described later is formed as an action point.

なお、レバー部材26’におけるガイド部26Cは、レバー部材26のガイド部26Cとは異なり、図7(A)においてアーム部26Bの中心軸線に対して共通の平面上で他方に向けて略直交するように形成されている。   Unlike the guide portion 26C of the lever member 26, the guide portion 26C in the lever member 26 'is substantially orthogonal to the other on the common plane with respect to the central axis of the arm portion 26B in FIG. 7A. It is formed as follows.

上述のスライダ部材22の上面に、レバー部材26およびレバー部材26’を介して載置される位置決め部材14は、図3に示されるように、半導体装置DVを収容するとともに、半導体装置DVの電極部のコンタクト端子20aiの各接点部に対する位置決めを行うガイド部を有する半導体装置収容部14Aを備えている。半導体装置収容部14Aは、底部の一部を形成する半導体装置載置面14asを有している。   The positioning member 14 mounted on the upper surface of the slider member 22 via the lever member 26 and the lever member 26 ′ accommodates the semiconductor device DV and the electrodes of the semiconductor device DV as shown in FIG. A semiconductor device housing portion 14A having a guide portion for positioning each contact portion of the contact terminal 20ai. The semiconductor device housing portion 14A has a semiconductor device mounting surface 14as that forms part of the bottom.

図3に示されるように、カバー部材12がソケット本体10に対し離隔され最上端位置にある場合、その半導体装置収容部14A内には、上述のコンタクト端子20aiの可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部が突出している。一方、図4に示されるように、カバー部材12がソケット本体10に対し近接され最下端位置にある場合、位置決め部材14は、レバー部材26および26’のガイド部26Cにおける当接部26tによりスライダ部材22に対し離隔するように所定の距離だけ押し上げられ、その半導体装置収容部14A内には、上述のコンタクト端子20aiの可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部が突出しない状態とされる。   As shown in FIG. 3, when the cover member 12 is spaced apart from the socket body 10 and is at the uppermost position, the movable-side contact piece 20 m of the contact terminal 20 ai and the fixed portion are fixed in the semiconductor device housing portion 14 </ b> A. A contact portion of the side contact piece 20f protrudes. On the other hand, as shown in FIG. 4, when the cover member 12 is close to the socket body 10 and is at the lowermost position, the positioning member 14 is moved by the contact portion 26 t of the guide portions 26 C of the lever members 26 and 26 ′. It is pushed up by a predetermined distance so as to be separated from the member 22, and the contact portions of the movable contact piece 20m and the fixed contact piece 20f of the contact terminal 20ai do not protrude into the semiconductor device housing portion 14A. State.

半導体装置収容部14Aを形成する相対向する壁部には、それぞれ、後述する押え部材16Aおよび16Bがそれぞれ通過する開口部が形成されている。   Opening portions through which pressing members 16A and 16B, which will be described later, respectively pass, are formed in opposing wall portions forming the semiconductor device housing portion 14A.

カバー部材12は、上述の位置決め部材14が移動可能に配される開口部を中央に有している。半導体装置DVが位置決め部材14に対し着脱されるとき、半導体装置DVがその開口部を通過することとなる。   The cover member 12 has an opening at the center where the positioning member 14 is movably disposed. When the semiconductor device DV is attached to or detached from the positioning member 14, the semiconductor device DV passes through the opening.

カバー部材12は、その複数の脚部(不図示)がそれぞれ、ソケット本体10の外周部に形成される各溝に案内されて昇降動可能に支持されている。また、図1に示されるように、カバー部材12におけるスプリング受け部とソケット本体10との間には、カバー部材12を上方に、即ち、カバー部材12をソケット本体10に対し離隔する方向に付勢するコイルスプリング17が複数個設けられている。その際、カバー部材12の脚部の先端に設けられる爪部が溝の端部に係合される。これにより、カバー部材12が最上端位置に保持されることとなる。なお、図1および図3は、それぞれ、カバー部材12が最上端位置に保持された状態を示す。   The cover member 12 has a plurality of leg portions (not shown) supported by the respective grooves formed on the outer peripheral portion of the socket body 10 so as to be movable up and down. Further, as shown in FIG. 1, the cover member 12 is provided between the spring receiving portion of the cover member 12 and the socket body 10 in the direction in which the cover member 12 is separated upward from the socket body 10. A plurality of coil springs 17 are provided. At that time, a claw provided at the tip of the leg of the cover member 12 is engaged with the end of the groove. As a result, the cover member 12 is held at the uppermost position. 1 and 3 each show a state where the cover member 12 is held at the uppermost position.

カバー部材12は、図4に示されるように、下降せしめられる場合、ラッチ機構を構成する押え部材16Aおよび16Bの基端部を押圧するアーム部(不図示)を有している。   As shown in FIG. 4, the cover member 12 has an arm portion (not shown) that presses the proximal end portions of the pressing members 16 </ b> A and 16 </ b> B constituting the latch mechanism when the cover member 12 is lowered.

押え部材16Aおよび16Bは、図5に示されるように、それぞれ、スライダ部材12における座標軸Xに平行な各辺に回動可能に支持されている。   As shown in FIG. 5, the pressing members 16 </ b> A and 16 </ b> B are rotatably supported on each side parallel to the coordinate axis X in the slider member 12.

また、押え部材16Aおよび16Bの基端部は、それぞれ、コイルスプリング(不図示)により、位置決め部材14に装着された半導体装置DVをその先端部で押さえ付ける方向に付勢されている。これにより、押え部材16Aおよび16Bの先端部は、位置決め部材14の上方となる位置に配される。一方、カバー部材12のアーム部により押え部材16Aおよび16Bの基端部がコイルスプリング17の付勢力に抗して押圧される場合、押え部材16Aおよび16Bの先端部は、位置決め部材14から離隔して所定の待機位置に配される。   In addition, the base end portions of the pressing members 16A and 16B are urged by coil springs (not shown) in a direction in which the semiconductor device DV mounted on the positioning member 14 is pressed by the distal end portion thereof. Thereby, the front ends of the pressing members 16A and 16B are arranged at positions above the positioning member 14. On the other hand, when the base ends of the pressing members 16A and 16B are pressed against the biasing force of the coil spring 17 by the arm portion of the cover member 12, the distal ends of the pressing members 16A and 16B are separated from the positioning member 14. And placed at a predetermined standby position.

斯かる構成において、半導体装置DVの試験を行うにあたっては、先ず、図示が省略される搬送ロボットに設けられる押圧部材の押圧面部がカバー部材12の上面に当接されて上述のコイルスプリング17の付勢力に抗して下方に向けて所定のストロークで所定の最下端位置まで押圧される。その際、図4に示されるように、レバー部材26および26’のカバー部材当接部26URが押し下げられることにより、位置決め部材14が当接部26tにより所定の距離だけ押し上げられる。   In such a configuration, when testing the semiconductor device DV, first, the pressing surface portion of the pressing member provided in the transport robot (not shown) is brought into contact with the upper surface of the cover member 12 to attach the coil spring 17 described above. It is pressed down to a predetermined lowermost position with a predetermined stroke in a downward direction against the force. At this time, as shown in FIG. 4, the cover member contact portion 26UR of the lever members 26 and 26 'is pushed down, so that the positioning member 14 is pushed up by a predetermined distance by the contact portion 26t.

これにより、押え部材16Aおよび16Bが互いに離隔し待機位置とされる。また、例えば、被検査物としての半導体装置DVが、図示が省略される搬送ロボットの搬送アームにより吸引保持されてカバー部材12の開口部および位置決め部材14の真上となる位置まで搬送される。   As a result, the pressing members 16A and 16B are separated from each other and set to the standby position. Further, for example, the semiconductor device DV as an object to be inspected is sucked and held by a transfer arm of a transfer robot (not shown) and transferred to a position directly above the opening of the cover member 12 and the positioning member 14.

次に、搬送アームにより吸引保持された半導体装置DVは、カバー部材12の開口部を通じて下降せしめられて位置決め部材14の半導体装置収容部14Aに位置決めされ装着される。   Next, the semiconductor device DV sucked and held by the transfer arm is lowered through the opening of the cover member 12 and positioned and mounted in the semiconductor device housing portion 14A of the positioning member 14.

その際、図8に示されるように、所定の高さから落下した半導体装置DVの姿勢が傾くように半導体装置DVが誤って装着された場合であっても、半導体装置DVの電極部DVaは、可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部から所定距離、離隔しているので可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部が損傷する虞がない。   At this time, as shown in FIG. 8, even when the semiconductor device DV is erroneously mounted so that the posture of the semiconductor device DV dropped from a predetermined height is inclined, the electrode portion DVa of the semiconductor device DV is Since the movable contact piece 20m and the fixed contact piece 20f are spaced apart from each other by a predetermined distance, the movable contact piece 20m and the fixed contact piece 20f are not damaged.

また、図9に示されるように、所定の高さから落下した半導体装置DVの電極部DVaが、誤ってコンタクト端子20aiの可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部の一方側に偏るように半導体装置DVが装着された場合であっても、半導体装置DVの電極部DVaは、可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部から所定距離、離隔しているので可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部が損傷する虞がない。   Further, as shown in FIG. 9, the electrode portion DVa of the semiconductor device DV dropped from a predetermined height is erroneously moved to one of the contact portions of the movable contact piece 20m and the fixed contact piece 20f of the contact terminal 20ai. Even when the semiconductor device DV is mounted so as to be biased to the side, the electrode portion DVa of the semiconductor device DV is separated by a predetermined distance from the contact portions of the movable contact piece 20m and the fixed contact piece 20f. Therefore, there is no possibility that the contact portions in the movable contact piece 20m and the fixed contact piece 20f are damaged.

続いて、カバー部材12は、上述の押圧部材の押圧面部がカバー部材12の上面に当接された状態で上昇されるとき、上述のコイルスプリング17の付勢力等により最上端位置まで上昇せしめられる。その際、押え部材16Aおよび16Bの先端の当接部は、それぞれ、略同一のタイミングで、回動され、半導体装置DVをコンタクト端子20aiに向けて押圧することとなる。また、カバー部材12の上昇開始と同時に、レバー部材26および26’のカバー部材当接部26URが自重により押し上げられることにより、位置決め部材14が所定の距離だけ押し下げられた後、所定のタイミングでスライダ部材12における初期位置への移動が開始されるので半導体装置DVの電極部DVaが、可動側接触片部20mおよび固定側接触片部20fにおける接点部相互間で挟持される。   Subsequently, the cover member 12 is raised to the uppermost position by the urging force of the coil spring 17 and the like when the pressure surface portion of the pressure member is raised with the upper surface of the cover member 12 being in contact therewith. . At that time, the contact portions at the tips of the pressing members 16A and 16B are rotated at substantially the same timing, and press the semiconductor device DV toward the contact terminal 20ai. At the same time when the cover member 12 starts to rise, the cover member contact portions 26UR of the lever members 26 and 26 'are pushed up by their own weight, so that the positioning member 14 is pushed down by a predetermined distance, and then the slider is moved at a predetermined timing. Since the movement of the member 12 to the initial position is started, the electrode part DVa of the semiconductor device DV is held between the contact parts of the movable side contact piece part 20m and the fixed side contact piece part 20f.

そして、カバー部材12が最上端位置に維持されるもとでプリント配線基板18の入出力部に検査信号が供給されるとき、コンタクト端子20aiを通じてその検査信号が半導体装置DVに供給されるとともにその回路の異常が検出される場合、半導体装置DVからの異常検出信号が入出力部を通じて外部の故障診断装置に供給されることとなる。   When an inspection signal is supplied to the input / output unit of the printed wiring board 18 with the cover member 12 maintained at the uppermost position, the inspection signal is supplied to the semiconductor device DV through the contact terminal 20ai and When a circuit abnormality is detected, an abnormality detection signal from the semiconductor device DV is supplied to an external failure diagnosis device through the input / output unit.

上述の例においては、本発明の一例が、コンタクト収容部の上面部における平坦面に摺動されるスライダ部材22が、所定の方向に移動せしめられる場合、可動側接触片部20mの接点部は、スライダ部材22の押圧部22aにより押圧され、固定側接触片部20fの接点部に対し離隔せしめられる構成を備える半導体装置用ソケットに適用されているが、斯かる例に限られることなく、例えば、特許文献1にも示されるように、一対の接触片部の相互間に配される仕切壁を備える移動板がソケット本体における上下方向に沿って移動せしめられることにより、一対の接触片部双方が互いに離隔するように移動せしめられる構成を備える半導体装置用ソケットに適用されてもよいことは勿論である。   In the above example, when the slider member 22 that slides on the flat surface of the upper surface portion of the contact accommodating portion is moved in a predetermined direction, the contact portion of the movable contact piece portion 20m is Although applied to a socket for a semiconductor device having a configuration that is pressed by the pressing portion 22a of the slider member 22 and separated from the contact portion of the fixed-side contact piece 20f, the present invention is not limited to such an example. As shown also in Patent Document 1, both of the pair of contact pieces are obtained by moving a moving plate including a partition wall disposed between the pair of contact pieces along the vertical direction of the socket body. It goes without saying that the present invention may be applied to a socket for a semiconductor device having a configuration in which these are moved apart from each other.

10 ソケット本体
12 カバー部材
14 位置決め部材
20ai コンタクト端子
22 スライダ部材
26、26’ レバー部材
DV 半導体装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Socket main body 12 Cover member 14 Positioning member 20ai Contact terminal 22 Slider member 26, 26 'Lever member DV Semiconductor device

Claims (2)

半導体装置の端子を選択的に挟持し電気的に接続する一対の接触片部を有するコンタクト端子を備えるソケット本体と、
前記ソケット本体に移動可能に配され、前記コンタクト端子の一対の接触片部における一方の接触片部を他方の接触片部に対し相対的に近接または離隔させるように少なくとも該一方の接触片部を移動させる押圧部を有するコンタクト作動用部材と、
前記コンタクト作動用部材およびコンタクト端子の一対の接触片部に対し近接または離隔可能に該コンタクト用作動用部材に配され、前記半導体装置を着脱可能に収容し、該半導体装置の電極部の該コンタクト端子の一対の接触片部に対する位置決めを行なう半導体装置収容部を有する位置決め部材と、
前記コンタクト作動用部材と前記位置決め部材との間に揺動可能に配され、該位置決め部材を該コンタクト作動用部材に対し近接または離隔させるレバー部材と、
前記ソケット本体に移動可能に支持され前記半導体装置の前記半導体装置収容部への着脱に応じて前記コンタクト作動用部材の押圧部に動作を行わせ、前記コンタクト端子の一対の接触片部を該半導体装置の端子に対し当接または離隔させるとともに、前記半導体装置の前記半導体装置収容部への装着のとき、前記レバー部材に、前記半導体装置が収容された前記位置決め部材を前記コンタクト作動用部材および前記コンタクト端子の一対の接触片部に対し一旦、離隔させた後、近接させる動作を行わせるカバー部材と、
を具備して構成される半導体装置用ソケット。
A socket body including a contact terminal having a pair of contact pieces for selectively holding and electrically connecting terminals of a semiconductor device;
At least one of the contact pieces is disposed so as to be movable in the socket body, and one contact piece of the pair of contact pieces of the contact terminal is relatively close to or separated from the other contact piece. A contact actuating member having a pressing portion to be moved;
The contact actuating member and the contact terminal are arranged on the contact actuating member so as to be close to or separated from a pair of contact pieces, and the semiconductor device is detachably accommodated, and the contact of the electrode portion of the semiconductor device A positioning member having a semiconductor device housing for positioning the pair of contact pieces of the terminal;
A lever member that is swingably disposed between the contact actuating member and the positioning member, and moves the positioning member toward or away from the contact actuating member;
The pressing portion of the contact actuating member is operated according to attachment / detachment of the semiconductor device to / from the semiconductor device housing portion supported movably on the socket body, and the pair of contact pieces of the contact terminal are connected to the semiconductor device. The contact member is brought into contact with or separated from a terminal of the device, and when the semiconductor device is mounted in the semiconductor device housing portion, the positioning member in which the semiconductor device is housed is attached to the lever member. A cover member for performing an operation of bringing the contact terminals into contact with each other after being separated from the pair of contact pieces of the contact terminal;
A socket for a semiconductor device comprising:
前記カバー部材は、前記位置決め部材の半導体装置収容部に着脱される前記半導体装置が通過する開口部を有し、前記ソケット本体に対し昇降動可能に支持されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用ソケット。   The said cover member has an opening part through which the said semiconductor device attached to or detached from the semiconductor device accommodating part of the said positioning member passes, and is supported so that raising / lowering is possible with respect to the said socket main body. Socket for semiconductor devices.
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