JP2012104300A - Organic electroluminescent panel and manufacturing method thereof - Google Patents

Organic electroluminescent panel and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JP2012104300A
JP2012104300A JP2010250403A JP2010250403A JP2012104300A JP 2012104300 A JP2012104300 A JP 2012104300A JP 2010250403 A JP2010250403 A JP 2010250403A JP 2010250403 A JP2010250403 A JP 2010250403A JP 2012104300 A JP2012104300 A JP 2012104300A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pixel electrodes
column
light emitting
vapor deposition
organic electroluminescence
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010250403A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriharu Matsudate
法治 松舘
Takeshi Ogawara
健 大河原
Toshiyuki Kuroki
俊行 黒木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Japan Display Inc
Original Assignee
Canon Inc
Hitachi Displays Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc, Hitachi Displays Ltd filed Critical Canon Inc
Priority to JP2010250403A priority Critical patent/JP2012104300A/en
Publication of JP2012104300A publication Critical patent/JP2012104300A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the high definition of display without bringing about a reduction in brightness.SOLUTION: There is included a vapor deposition process, in which a plurality of luminescent layers 30 composed of an organic material are formed on a circuit board 10 having a plurality of pixel electrodes 24 by means of vapor deposition using a vapor deposition mask 38 having a plurality of through holes 40. The plurality of pixel electrodes 24 are arranged so as to constitute plural rows. The plurality of through holes 40 are arranged so as to constitute plural rows, and are shaped to be long in a direction along the rows, with two or more of the through holes 40 lined up in each row. The number of pixel electrodes 24 lined up in each row is at least twice or more than the number of through holes 40 lined up in each row. In the vapor deposition process, two or more of pixel electrodes 24 lined up in any row are disposed inside the respective through holes 40, and the plurality of luminescent layers 30 are formed on the plurality of pixel electrodes 24.

Description

本発明は有機エレクトロルミネッセンスパネル及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence panel and a method for manufacturing the same.

有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法では、蒸着マスクに回路基板を載せ、蒸着マスクの下方に設置した蒸発源で有機材料を蒸発させ、回路基板に有機膜を形成する(特許文献1及び2)。   In the method of manufacturing an organic electroluminescence panel, a circuit board is placed on a vapor deposition mask, an organic material is evaporated by an evaporation source placed below the vapor deposition mask, and an organic film is formed on the circuit board (Patent Documents 1 and 2).

特開2002−69619号公報JP 2002-69619 A 特開2003−332057号公報JP 2003-332057 A

ストライプ配列の有機膜を形成するための蒸着マスクは、スリットが長くなるためリブが細長くなっており、剛性が弱い。そのため、高精細化が難しい。これに対して、個々の画素ごとに有機膜を形成すれば、蒸着マスクのスリットが小さくなるためその剛性を上げることができるが、有機膜が小さくなるため、輝度が低下する。   A vapor deposition mask for forming an organic film having a stripe arrangement has a long slit and a long and narrow rib, so that the rigidity is weak. Therefore, high definition is difficult. On the other hand, if an organic film is formed for each pixel, the slit of the vapor deposition mask can be reduced to increase its rigidity. However, since the organic film is reduced, the luminance is reduced.

本発明は、輝度を低下させずに高精細化を図ることを目的とする。   An object of the present invention is to achieve high definition without reducing luminance.

(1)本発明に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法は、複数の画素電極を有する回路基板に、複数の貫通穴を有する蒸着マスクを使用した蒸着によって、有機材料からなる複数の発光層を形成する蒸着工程を含み、前記複数の画素電極は、複数の列をなすように配列され、前記複数の貫通穴は、複数の列をなすように配列され、前記列に沿った方向に長くなる形状を有し、各列で2つ以上の前記貫通穴が並び、各列に並ぶ前記画素電極の数は、少なくとも、各列に並ぶ前記貫通穴の数の2倍以上あり、前記蒸着工程で、それぞれの前記貫通穴の内側に、いずれかの前記列に並ぶ2つ以上の前記画素電極を配置して、前記複数の画素電極上に前記複数の発光層を形成することを特徴とする。本発明によれば、蒸着マスクの1つの貫通穴が、2つ以上の画素電極に対応しているので、有機膜を大きく形成することができ、輝度の低下を抑えることができる。また、各列で2つ以上の貫通穴の間にリブが形成されるので剛性の低下も抑えることができる。   (1) In the method of manufacturing an organic electroluminescence panel according to the present invention, a plurality of light emitting layers made of an organic material are formed on a circuit board having a plurality of pixel electrodes by vapor deposition using a vapor deposition mask having a plurality of through holes. The plurality of pixel electrodes are arranged to form a plurality of rows, and the plurality of through holes are arranged to form a plurality of rows and are elongated in a direction along the rows. Two or more through holes are arranged in each row, and the number of the pixel electrodes arranged in each row is at least twice the number of the through holes arranged in each row, and in the vapor deposition step, Two or more of the pixel electrodes arranged in any one of the columns are arranged inside each of the through holes, and the plurality of light emitting layers are formed on the plurality of pixel electrodes. According to the present invention, since one through hole of the vapor deposition mask corresponds to two or more pixel electrodes, it is possible to form a large organic film and suppress a decrease in luminance. Moreover, since a rib is formed between two or more through holes in each row, it is possible to suppress a decrease in rigidity.

(2)(1)に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、前記複数の画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列されていることを特徴としてもよい。   (2) In the method of manufacturing an organic electroluminescence panel described in (1), the plurality of pixel electrodes may be arranged so that intervals in the direction along the column are equal.

(3)(1)に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、それぞれの前記列に並ぶ前記画素電極を2つ以上の前記画素電極ごとに複数グループに分けたときに、各グループの前記画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列され、各列で異なる前記グループに属しているが隣り合う一対の前記画素電極の間隔は、共通の1つの前記グループに属する前記画素電極の前記間隔よりも大きく、前記蒸着工程で、それぞれの前記貫通穴の内側に、各グループの前記画素電極を配置することを特徴としてもよい。   (3) In the method of manufacturing an organic electroluminescence panel according to (1), when the pixel electrodes arranged in each column are divided into a plurality of groups for each of two or more pixel electrodes, The pixel electrodes are arranged so that intervals in the direction along the column are equal, and each column belongs to the different group but the interval between a pair of adjacent pixel electrodes belongs to one common group. The pixel electrodes of each group may be arranged inside the respective through holes in the vapor deposition step that is larger than the interval between the pixel electrodes.

(4)(1)から(3)のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、隣同士の異なる前記列にそれぞれ並ぶ前記貫通穴の位置が、それぞれの前記列に沿った方向に相互にずれていることを特徴としてもよい。   (4) In the method of manufacturing an organic electroluminescence panel according to any one of (1) to (3), the positions of the through holes arranged in the adjacent rows are along the rows. It is good also as the characteristic which has shifted | deviated mutually in the direction.

(5)本発明に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルは、複数の画素電極を有する回路基板と、前記複数の画素電極に載るように形成された有機材料からなる複数の発光層と、を含み、前記複数の画素電極は、複数の列をなすように配列され、前記複数の発光層は、複数の列をなすように配列され、前記列に沿った方向に長くなる形状を有し、各列で2つ以上の前記発光層が間隔をあけて配置され、各列に並ぶ前記画素電極の数は、少なくとも、各列に並ぶ前記発光層の数の2倍以上あり、いずれかの前記列に並ぶ2つ以上の前記画素電極の上に、1つの前記発光層が一体連続的に形成されていることを特徴とする。本発明によれば、1つの発光層が2つ以上の画素電極に対応しているので、有機材料からなる発光層を大きく形成することができ、輝度の低下を抑えることができる。   (5) An organic electroluminescence panel according to the present invention includes a circuit board having a plurality of pixel electrodes, and a plurality of light emitting layers made of an organic material formed so as to be placed on the plurality of pixel electrodes. The pixel electrodes are arranged so as to form a plurality of columns, and the plurality of light emitting layers are arranged so as to form a plurality of columns and have a shape extending in the direction along the columns, Two or more of the light emitting layers are arranged at intervals, and the number of the pixel electrodes arranged in each column is at least twice as many as the number of the light emitting layers arranged in each column, and 2 arranged in any one of the columns. One light emitting layer is integrally and continuously formed on two or more pixel electrodes. According to the present invention, since one light emitting layer corresponds to two or more pixel electrodes, a large light emitting layer made of an organic material can be formed, and a reduction in luminance can be suppressed.

(6)(5)に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、前記複数の画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列されていることを特徴としてもよい。   (6) In the organic electroluminescence panel described in (5), the plurality of pixel electrodes may be arranged so that intervals in a direction along the column are equal.

(7)(5)に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、それぞれの前記列に並ぶ前記画素電極を2つ以上の前記画素電極ごとに複数グループに分けたときに、各グループの前記画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列され、各列で異なる前記グループに属しているが隣り合う一対の前記画素電極の間隔は、共通の1つの前記グループに属する前記画素電極の前記間隔よりも大きく、それぞれの前記発光層の下に、各グループの前記画素電極が位置することを特徴としてもよい。   (7) In the organic electroluminescence panel described in (5), when the pixel electrodes arranged in each column are divided into a plurality of groups for each of two or more pixel electrodes, the pixel electrodes in each group are The pixel electrodes are arranged so that the intervals in the direction along the columns are equal, and belong to the different groups in each column, but the interval between a pair of adjacent pixel electrodes belongs to one common group. The pixel electrodes of each group may be located under each of the light emitting layers.

(8)(5)から(7)のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、複数の列に並ぶ前記発光層を、隣り合う2つ以上の列ごとに複数グループに分けたときに、隣同士のグループで隣り合う前記発光層の位置が、それぞれの前記列に沿った方向に相互にずれていることを特徴としてもよい。   (8) In the organic electroluminescence panel described in any one of (5) to (7), when the light emitting layers arranged in a plurality of columns are divided into a plurality of groups for every two or more adjacent columns In addition, the positions of the light emitting layers adjacent to each other in the adjacent groups may be shifted from each other in the direction along each column.

本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルを説明する図である。It is a figure explaining the organic electroluminescent panel which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法で使用する蒸着マスクの一部を示す図である。It is a figure which shows a part of vapor deposition mask used with the manufacturing method of the organic electroluminescent panel which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the organic electroluminescent panel which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 蒸着によって形成された発光層を示す図である。It is a figure which shows the light emitting layer formed by vapor deposition. 本発明の第2の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルを説明する図である。It is a figure explaining the organic electroluminescent panel which concerns on the 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルを説明する図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram illustrating an organic electroluminescence panel according to the first embodiment of the present invention.

有機エレクトロルミネッセンスパネルは、回路基板10を有する。回路基板10は、ガラス等からなる基板12を有する。基板12上には、半導体薄膜14が形成され、その上方に絶縁膜を介してゲート電極16が形成され、半導体薄膜14に導通するようにソース/ドレイン配線18が形成されることで、薄膜トランジスタ20が構成されている。なお、薄膜トランジスタ20を覆うように層間絶縁膜22が形成されている。   The organic electroluminescence panel has a circuit board 10. The circuit board 10 has a substrate 12 made of glass or the like. A semiconductor thin film 14 is formed on the substrate 12, a gate electrode 16 is formed thereon via an insulating film, and source / drain wirings 18 are formed so as to be electrically connected to the semiconductor thin film 14, whereby the thin film transistor 20. Is configured. An interlayer insulating film 22 is formed so as to cover the thin film transistor 20.

回路基板10は、複数の画素電極24を有する。画素電極24は、薄膜トランジスタ20によって駆動されるようになっている。画素電極24の一部を開口させるように、例えば有機材料からなるバンク層26が形成されている。バンク層26の開口で画素電極24に載るようにホール注入層28が形成され、その上に、発光層30が形成されている。複数の画素電極24に載るように複数の発光層30が形成されている。発光層30は、電圧をかけることにより発光する周知の有機材料からなる。発光層30の上には、共通電極32(例えばカソード電極)が形成され、その上に充填層34を介して封止板36(例えばガラス板)が設けられている。   The circuit board 10 has a plurality of pixel electrodes 24. The pixel electrode 24 is driven by the thin film transistor 20. A bank layer 26 made of, for example, an organic material is formed so as to open a part of the pixel electrode 24. A hole injection layer 28 is formed so as to be placed on the pixel electrode 24 through the opening of the bank layer 26, and a light emitting layer 30 is formed thereon. A plurality of light emitting layers 30 are formed so as to be placed on the plurality of pixel electrodes 24. The light emitting layer 30 is made of a known organic material that emits light when a voltage is applied. A common electrode 32 (for example, a cathode electrode) is formed on the light emitting layer 30, and a sealing plate 36 (for example, a glass plate) is provided thereon via a filling layer 34.

次に、有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法を説明する。図2は、本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法で使用する蒸着マスクの一部を示す図である。   Next, the manufacturing method of an organic electroluminescent panel is demonstrated. FIG. 2 is a view showing a part of a vapor deposition mask used in the method for manufacturing an organic electroluminescence panel according to the embodiment of the present invention.

蒸着マスク38は、複数の貫通穴40を有する。複数の貫通穴40は、複数の列をなすように配列されている。図2では、複数の貫通穴40が横方向に一列に並び、それぞれ一列に並ぶ貫通穴40の列が、縦方向に複数列を構成するように並んでいる。すなわち、各列で2つ以上の貫通穴40が並んでいる。また、貫通穴40は、列に沿った方向(図2では横方向)に長くなる形状を有している。図2の形状は長方形であるが、長さ方向の両端の形状は特に限定されず、丸くなっていても多角形になっていてもよい。全ての貫通穴40は長さ方向が平行になっている。隣同士の異なる列(図2では上下の二列)にそれぞれ並ぶ貫通穴40の位置が、それぞれの列に沿った方向に相互にずれている。すなわち、貫通穴40は、互い違い、千鳥状又はジグザグに配列されている。   The vapor deposition mask 38 has a plurality of through holes 40. The plurality of through holes 40 are arranged in a plurality of rows. In FIG. 2, a plurality of through holes 40 are arranged in a row in the horizontal direction, and the rows of through holes 40 arranged in a row are arranged to form a plurality of rows in the vertical direction. That is, two or more through holes 40 are arranged in each row. Moreover, the through-hole 40 has a shape which becomes long in the direction (horizontal direction in FIG. 2) along the row. Although the shape of FIG. 2 is a rectangle, the shape of the both ends of a length direction is not specifically limited, It may be round or polygonal. All the through holes 40 are parallel in the length direction. The positions of the through holes 40 arranged in different rows adjacent to each other (upper and lower two rows in FIG. 2) are shifted from each other in the direction along each row. That is, the through holes 40 are alternately arranged in a staggered pattern or a zigzag pattern.

図2には、蒸着マスク38の平面において貫通穴40の最も小さい輪郭が描かれている。貫通穴40の内面が蒸着マスク38の表裏面に直角であれば貫通穴40の大きさは一定であるが、本実施形態の蒸着マスク38は、貫通穴40の内面が傾斜している(図3参照)。すなわち、貫通穴40は、一方の面(図3で上面)の開口42と他方の面(図3で下面)の開口44が連通して構成されているが、両面の開口42,44の大きさが異なる。また、貫通穴40の内面は、それぞれの開口42,44から傾斜している。すなわち、貫通穴40の内面には、開口42,44から貫通穴40の中心方向に向けてテーパーが付けられている。小さい方の開口42側のテーパーの角度(表面と内面のなす部材内での角度)が、大きい方の開口44側のテーパーの角度(表面と内面のなす部材内での角度)よりも大きくなっている。このように蒸着マスク38の上面開口42より下面開口44を大きくする構造を用いることにより、斜め入射時に蒸着材料が蒸着マスク38の縁で影になることが少なくなるので、回路基板10において蒸着材料の膜厚分布を均一に成膜することができる。   In FIG. 2, the smallest outline of the through hole 40 is drawn in the plane of the vapor deposition mask 38. If the inner surface of the through hole 40 is perpendicular to the front and back surfaces of the vapor deposition mask 38, the size of the through hole 40 is constant, but the inner surface of the through hole 40 is inclined in the vapor deposition mask 38 of the present embodiment (see FIG. 3). That is, the through-hole 40 is configured such that the opening 42 on one surface (upper surface in FIG. 3) and the opening 44 on the other surface (lower surface in FIG. 3) communicate with each other. Is different. Further, the inner surface of the through hole 40 is inclined from the respective openings 42 and 44. That is, the inner surface of the through hole 40 is tapered from the openings 42 and 44 toward the center of the through hole 40. The taper angle on the smaller opening 42 side (the angle in the member formed by the surface and the inner surface) is larger than the taper angle on the larger opening 44 side (the angle in the member formed by the surface and the inner surface). ing. By using the structure in which the lower surface opening 44 is made larger than the upper surface opening 42 of the vapor deposition mask 38 in this way, the vapor deposition material is less likely to be shadowed at the edge of the vapor deposition mask 38 when obliquely incident. Can be formed uniformly.

図3は、本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法を説明する図である。本実施形態は蒸着工程を含む。詳しくは、回路基板10に、蒸着マスク38を使用した蒸着(物理蒸着又は化学蒸着)を行う。   FIG. 3 is a diagram illustrating a method for manufacturing an organic electroluminescence panel according to an embodiment of the present invention. This embodiment includes a vapor deposition process. Specifically, vapor deposition (physical vapor deposition or chemical vapor deposition) using the vapor deposition mask 38 is performed on the circuit board 10.

回路基板10は、図3に示すように、蒸着マスク38の上に配置することが一般的である。また、蒸着マスク38は、小さい方の開口42を回路基板10に向ける。そして、図示しない蒸着材料を加熱し、気化もしくは昇華して、上方に置かれた回路基板10の表面に付着させて、薄膜(発光層30)を形成する。   As shown in FIG. 3, the circuit board 10 is generally disposed on the vapor deposition mask 38. Further, the vapor deposition mask 38 directs the smaller opening 42 toward the circuit board 10. Then, a vapor deposition material (not shown) is heated, vaporized or sublimated, and attached to the surface of the circuit board 10 placed above to form a thin film (light emitting layer 30).

図4は、蒸着によって形成された発光層30を示す図である。複数の画素電極24は、複数の列をなすように配列されている。図4において、横方向に一列の画素電極24が並んでいる。各列(図4では横方向の一列)に並ぶ画素電極24の数は、少なくとも、各列(図4では横方向の一列)に並ぶ発光層30の数の2倍以上ある。言い換えると、いずれかの列(図4では横方向の一列)に並ぶ2つ以上の画素電極24の上に、1つの発光層30が一体連続的に形成されている。図4には、1回の蒸着工程で形成された発光層30が示されており、本実施形態では蒸着マスク38をずらして複数回の蒸着工程を行う。   FIG. 4 is a diagram showing the light emitting layer 30 formed by vapor deposition. The plurality of pixel electrodes 24 are arranged to form a plurality of columns. In FIG. 4, a row of pixel electrodes 24 are arranged in the horizontal direction. The number of pixel electrodes 24 arranged in each column (one row in the horizontal direction in FIG. 4) is at least twice the number of light emitting layers 30 arranged in each column (one row in the horizontal direction in FIG. 4). In other words, one light emitting layer 30 is integrally formed continuously on two or more pixel electrodes 24 arranged in any row (one row in the horizontal direction in FIG. 4). FIG. 4 shows the light emitting layer 30 formed by a single vapor deposition process. In this embodiment, the vapor deposition mask 38 is shifted and a plurality of vapor deposition processes are performed.

複数の画素電極24は、列に沿った方向(図4で横方向)の間隔が等しくなるように配列されている。同一の発光層30の下にある2つ以上の画素電極24の間隔dと、各列で隣同士の発光層30の下にある隣同士の画素電極24の間隔dも等しくなっている。 The plurality of pixel electrodes 24 are arranged so that intervals in the direction along the column (lateral direction in FIG. 4) are equal. The distance d 1 between two or more pixel electrodes 24 under the same light emitting layer 30 is also equal to the distance d 2 between adjacent pixel electrodes 24 under the adjacent light emitting layer 30 in each column. .

本実施形態によれば、1つの発光層30が2つ以上の画素電極24に対応しているので、有機材料からなる発光層30を大きく形成することができ、輝度の低下を抑えることができる。   According to this embodiment, since one light emitting layer 30 corresponds to two or more pixel electrodes 24, the light emitting layer 30 made of an organic material can be formed large, and a reduction in luminance can be suppressed. .

複数の発光層30は、複数の列をなすように配列されている。発光層30は、列に沿った方向に長くなる形状を有している。各列で2つ以上の発光層30が間隔をあけて配置されている。   The plurality of light emitting layers 30 are arranged in a plurality of rows. The light emitting layer 30 has a shape that becomes longer in the direction along the column. Two or more light emitting layers 30 are arranged at intervals in each row.

本実施形態では、蒸着工程で、それぞれの貫通穴40の内側に、いずれかの列に並ぶ2つ以上の画素電極24を配置して、複数の画素電極24上に複数の発光層30を形成する。したがって、蒸着マスク38の1つの貫通穴40が、2つ以上の画素電極24に対応しているので、有機膜を大きく形成することができ、輝度の低下を抑えることができる。また、各列で2つ以上の貫通穴40の間にリブが形成されるので剛性の低下も抑えることができる。   In the present embodiment, in the vapor deposition process, two or more pixel electrodes 24 arranged in any row are arranged inside each through hole 40 to form a plurality of light emitting layers 30 on the plurality of pixel electrodes 24. To do. Accordingly, since one through hole 40 of the vapor deposition mask 38 corresponds to two or more pixel electrodes 24, an organic film can be formed large, and a reduction in luminance can be suppressed. Moreover, since a rib is formed between two or more through holes 40 in each row, it is possible to suppress a decrease in rigidity.

[第2の実施形態]
図5は、本発明の第2の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンスパネルを説明する図である。
[Second Embodiment]
FIG. 5 is a diagram illustrating an organic electroluminescence panel according to the second embodiment of the present invention.

本実施形態では、それぞれの列(図5では横方向の一列)に並ぶ画素電極124を2つ以上の画素電極124ごとに複数グループに分ける。なお、同一の発光層130の下に位置する2つ以上の画素電極124を1グループとする。   In the present embodiment, the pixel electrodes 124 arranged in each column (one column in the horizontal direction in FIG. 5) are divided into a plurality of groups for each of two or more pixel electrodes 124. Note that two or more pixel electrodes 124 positioned under the same light emitting layer 130 are made into one group.

各グループの画素電極124は、列に沿った方向の間隔d21が等しくなるように配列されている。しかし、各列で異なるグループに属しているが隣り合う一対の画素電極124の間隔d22は、共通の1つのグループに属する画素電極124の間隔d21よりも大きい。本実施形態では、蒸着工程で、図示しない蒸着マスクのそれぞれの貫通穴の内側に、各グループの画素電極124を配置する。 The pixel electrodes 124 of each group are arranged so that the distance d 21 in the direction along the column is equal. However, distance d 22 different pair of pixel electrodes although belonging to the group of adjacent 124 in each row is greater than the distance d 21 of the pixel electrode 124 belonging to one common group. In this embodiment, the pixel electrodes 124 of each group are arranged inside each through hole of a vapor deposition mask (not shown) in the vapor deposition step.

本実施形態で、複数の列に並ぶ発光層130を、隣り合う2つ以上の列ごとに複数グループに分ける。図5の例では、3列に並ぶ発光層130で1グループである。この場合、隣同士のグループで隣り合う発光層130の位置が、それぞれの列に沿った方向に相互にずれている。この内容は、上記第1の実施形態にも該当する。   In the present embodiment, the light emitting layers 130 arranged in a plurality of columns are divided into a plurality of groups for every two or more adjacent columns. In the example of FIG. 5, the light emitting layers 130 arranged in three rows form one group. In this case, the positions of the light emitting layers 130 adjacent to each other in the adjacent groups are shifted from each other in the direction along each column. This content also corresponds to the first embodiment.

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made. For example, the configuration described in the embodiment can be replaced with substantially the same configuration, a configuration that exhibits the same operational effects, or a configuration that can achieve the same purpose.

10 回路基板、12 基板、14 半導体薄膜、16 ゲート電極、18 ソース/ドレイン配線、20 薄膜トランジスタ、22 層間絶縁膜、24 画素電極、26 バンク層、28 ホール注入層、30 発光層、32 共通電極、34 充填層、36 封止板、38 蒸着マスク、40 貫通穴、42 開口、44 開口、124 画素電極、130 発光層。   10 circuit board, 12 substrate, 14 semiconductor thin film, 16 gate electrode, 18 source / drain wiring, 20 thin film transistor, 22 interlayer insulating film, 24 pixel electrode, 26 bank layer, 28 hole injection layer, 30 light emitting layer, 32 common electrode, 34 filling layer, 36 sealing plate, 38 vapor deposition mask, 40 through hole, 42 opening, 44 opening, 124 pixel electrode, 130 light emitting layer.

Claims (8)

複数の画素電極を有する回路基板に、複数の貫通穴を有する蒸着マスクを使用した蒸着によって、有機材料からなる複数の発光層を形成する蒸着工程を含み、
前記複数の画素電極は、複数の列をなすように配列され、
前記複数の貫通穴は、複数の列をなすように配列され、前記列に沿った方向に長くなる形状を有し、各列で2つ以上の前記貫通穴が並び、
各列に並ぶ前記画素電極の数は、少なくとも、各列に並ぶ前記貫通穴の数の2倍以上あり、
前記蒸着工程で、それぞれの前記貫通穴の内側に、いずれかの前記列に並ぶ2つ以上の前記画素電極を配置して、前記複数の画素電極上に前記複数の発光層を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
A circuit board having a plurality of pixel electrodes includes a vapor deposition step of forming a plurality of light emitting layers made of an organic material by vapor deposition using a vapor deposition mask having a plurality of through holes,
The plurality of pixel electrodes are arranged to form a plurality of columns,
The plurality of through holes are arranged to form a plurality of rows, have a shape that is elongated in the direction along the rows, and two or more through holes are arranged in each row,
The number of the pixel electrodes arranged in each column is at least twice the number of the through holes arranged in each column,
In the vapor deposition step, two or more pixel electrodes arranged in any one of the columns are arranged inside each through hole, and the plurality of light emitting layers are formed on the plurality of pixel electrodes. A manufacturing method of an organic electroluminescence panel characterized by the above.
請求項1に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、
前記複数の画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent panel described in Claim 1,
The method of manufacturing an organic electroluminescence panel, wherein the plurality of pixel electrodes are arranged so that intervals in a direction along the column are equal.
請求項1に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、
それぞれの前記列に並ぶ前記画素電極を2つ以上の前記画素電極ごとに複数グループに分けたときに、各グループの前記画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列され、
各列で異なる前記グループに属しているが隣り合う一対の前記画素電極の間隔は、共通の1つの前記グループに属する前記画素電極の前記間隔よりも大きく、
前記蒸着工程で、それぞれの前記貫通穴の内側に、各グループの前記画素電極を配置することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent panel described in Claim 1,
When the pixel electrodes arranged in each column are divided into a plurality of groups for each of two or more pixel electrodes, the pixel electrodes in each group are arranged so that the intervals in the direction along the column are equal. ,
An interval between a pair of adjacent pixel electrodes belonging to different groups in each column is larger than the interval between the pixel electrodes belonging to one common group,
The method of manufacturing an organic electroluminescence panel, wherein the pixel electrodes of each group are arranged inside each through hole in the vapor deposition step.
請求項1から3のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、
隣同士の異なる前記列にそれぞれ並ぶ前記貫通穴の位置が、それぞれの前記列に沿った方向に相互にずれていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent panel as described in any one of Claim 1 to 3,
The method of manufacturing an organic electroluminescence panel, wherein the positions of the through holes arranged in adjacent rows are different from each other in the direction along the row.
複数の画素電極を有する回路基板と、
前記複数の画素電極に載るように形成された有機材料からなる複数の発光層と、
を含み、
前記複数の画素電極は、複数の列をなすように配列され、
前記複数の発光層は、複数の列をなすように配列され、前記列に沿った方向に長くなる形状を有し、各列で2つ以上の前記発光層が間隔をあけて配置され、
各列に並ぶ前記画素電極の数は、少なくとも、各列に並ぶ前記発光層の数の2倍以上あり、
いずれかの前記列に並ぶ2つ以上の前記画素電極の上に、1つの前記発光層が一体連続的に形成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。
A circuit board having a plurality of pixel electrodes;
A plurality of light-emitting layers made of an organic material formed to be placed on the plurality of pixel electrodes;
Including
The plurality of pixel electrodes are arranged to form a plurality of columns,
The plurality of light emitting layers are arranged to form a plurality of rows, have a shape that is elongated in a direction along the rows, and two or more light emitting layers are arranged at intervals in each row,
The number of the pixel electrodes arranged in each column is at least twice the number of the light emitting layers arranged in each column,
One organic light-emitting layer is integrally formed continuously on two or more pixel electrodes arranged in any one of the columns.
請求項5に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、
前記複数の画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。
The organic electroluminescence panel according to claim 5,
The organic electroluminescence panel, wherein the plurality of pixel electrodes are arranged so that intervals in a direction along the column are equal.
請求項5に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、
それぞれの前記列に並ぶ前記画素電極を2つ以上の前記画素電極ごとに複数グループに分けたときに、各グループの前記画素電極は、前記列に沿った方向の間隔が等しくなるように配列され、
各列で異なる前記グループに属しているが隣り合う一対の前記画素電極の間隔は、共通の1つの前記グループに属する前記画素電極の前記間隔よりも大きく、
それぞれの前記発光層の下に、各グループの前記画素電極が位置することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。
The organic electroluminescence panel according to claim 5,
When the pixel electrodes arranged in each column are divided into a plurality of groups for each of two or more pixel electrodes, the pixel electrodes in each group are arranged so that the intervals in the direction along the column are equal. ,
An interval between a pair of adjacent pixel electrodes belonging to different groups in each column is larger than the interval between the pixel electrodes belonging to one common group,
2. The organic electroluminescence panel according to claim 1, wherein the pixel electrodes of each group are located under each of the light emitting layers.
請求項5から7のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、
複数の列に並ぶ前記発光層を、隣り合う2つ以上の列ごとに複数グループに分けたときに、隣同士のグループで隣り合う前記発光層の位置が、それぞれの前記列に沿った方向に相互にずれていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。
In the organic electroluminescence panel according to any one of claims 5 to 7,
When the light emitting layers arranged in a plurality of columns are divided into a plurality of groups for each of two or more adjacent columns, the positions of the light emitting layers adjacent to each other in the adjacent groups are in a direction along each of the columns. An organic electroluminescence panel characterized by being shifted from each other.
JP2010250403A 2010-11-09 2010-11-09 Organic electroluminescent panel and manufacturing method thereof Pending JP2012104300A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010250403A JP2012104300A (en) 2010-11-09 2010-11-09 Organic electroluminescent panel and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010250403A JP2012104300A (en) 2010-11-09 2010-11-09 Organic electroluminescent panel and manufacturing method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012104300A true JP2012104300A (en) 2012-05-31

Family

ID=46394470

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010250403A Pending JP2012104300A (en) 2010-11-09 2010-11-09 Organic electroluminescent panel and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012104300A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016047349A1 (en) * 2014-09-25 2016-03-31 コニカミノルタ株式会社 Method for producing organic electroluminescent element

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003203767A (en) * 2002-01-08 2003-07-18 Sony Corp Display device, method of manufacturing display device, and evaporation mask used for the manufacturing method
JP2004207126A (en) * 2002-12-26 2004-07-22 Denso Corp Organic el panel
JP2005183153A (en) * 2003-12-18 2005-07-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Manufacturing method of mask for vapor deposition
US20070266943A1 (en) * 2006-05-18 2007-11-22 Au Optronics Corp. Shadow mask and evaporation system incorporating the same
JP2009074160A (en) * 2007-08-24 2009-04-09 Dainippon Printing Co Ltd Vapor deposition mask and method for producing vapor deposition mask
JP2009111047A (en) * 2007-10-29 2009-05-21 Sony Corp Color image display device, shadow mask, and method of manufacturing color image display device using shadow mask
JP2010165587A (en) * 2009-01-16 2010-07-29 Hitachi Displays Ltd Organic electroluminescent display device and method of manufacturing the same
JP2010196091A (en) * 2009-02-24 2010-09-09 Sony Corp Mask for vapor deposition and method of manufacturing the same
JP2010216000A (en) * 2009-03-19 2010-09-30 Seiko Epson Corp Vapor deposition mask
JP2010262920A (en) * 2009-04-28 2010-11-18 Samsung Mobile Display Co Ltd Organic light-emitting display device

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003203767A (en) * 2002-01-08 2003-07-18 Sony Corp Display device, method of manufacturing display device, and evaporation mask used for the manufacturing method
JP2004207126A (en) * 2002-12-26 2004-07-22 Denso Corp Organic el panel
JP2005183153A (en) * 2003-12-18 2005-07-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Manufacturing method of mask for vapor deposition
US20070266943A1 (en) * 2006-05-18 2007-11-22 Au Optronics Corp. Shadow mask and evaporation system incorporating the same
JP2009074160A (en) * 2007-08-24 2009-04-09 Dainippon Printing Co Ltd Vapor deposition mask and method for producing vapor deposition mask
JP2009111047A (en) * 2007-10-29 2009-05-21 Sony Corp Color image display device, shadow mask, and method of manufacturing color image display device using shadow mask
JP2010165587A (en) * 2009-01-16 2010-07-29 Hitachi Displays Ltd Organic electroluminescent display device and method of manufacturing the same
JP2010196091A (en) * 2009-02-24 2010-09-09 Sony Corp Mask for vapor deposition and method of manufacturing the same
JP2010216000A (en) * 2009-03-19 2010-09-30 Seiko Epson Corp Vapor deposition mask
JP2010262920A (en) * 2009-04-28 2010-11-18 Samsung Mobile Display Co Ltd Organic light-emitting display device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016047349A1 (en) * 2014-09-25 2016-03-31 コニカミノルタ株式会社 Method for producing organic electroluminescent element

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5679161B2 (en) Organic electroluminescence display device
US10079272B2 (en) Substrate assembly and manufacturing method thereof and display device
JP4925566B2 (en) Shadow mask
KR101479994B1 (en) Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same
KR101663564B1 (en) Organic electro-luminescence device and method of fabricating the same
TWI585726B (en) Pixel structure
TWI413448B (en) Method of depositing light emitting layer of organic el device, method of manufacturing organic el device, and organic el device manufactured by the method
JP2018110118A (en) Electroluminescent display device
JP6741431B2 (en) Display panel and manufacturing method thereof
WO2015178028A1 (en) Organic el display panel and organic el display device
WO2020042806A1 (en) Display substrate, display device and manufacturing method for display substrate
US8866384B2 (en) OLED display
JP2007299729A5 (en)
JP2009038243A (en) Organic el display device
US20150287767A1 (en) Organic Light-Emitting Diode Display With Varying Anode Pitch
KR20120041510A (en) Organic electro luminescent device and shadow mask for fabricating the same
CN112673476A (en) Display substrate and display device
JP2011096378A (en) Organic el display device
US20180287091A1 (en) Organic el display device and method for producing organic el display device
JP5557653B2 (en) Thin film deposition apparatus and organic light emitting display device manufacturing method using the same
US9929218B2 (en) Organic light emitting display apparatus and thin film deposition mask for manufacturing the same
KR102269134B1 (en) Organin Light emitting display apparatus and deposition mask for the same
KR101192798B1 (en) Shadow Mask and Method for Manufacturing Organic Emitting Light Device
JP2012104300A (en) Organic electroluminescent panel and manufacturing method thereof
KR100959110B1 (en) Mask Pattern using deposition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131008

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140411

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140415

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140611

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140924

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20150210