JP2012078462A - Photosensitive resin composition, photosensitive solder resist composition and photosensitive solder resist film, and permanent pattern and method for forming the same and print circuit board - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition capable of obtaining a high-performance cured film having excellent pattern forming properties, crack resistance, heat resistance, electrical insulating properties, developability and mechanical properties, a photosensitive solder resist composition using the photosensitive resin composition and a photosensitive solder resist film using the photosensitive solder resist composition, and a permanent pattern, an efficient method for forming the same and a print circuit board in which a permanent pattern is formed by the forming method.SOLUTION: The photosensitive resin composition contains a polyurethane resin, a thermal crosslinking agent and an imide resin having an urethane bond.

Description

本発明は、ソルダーレジストなどに好適に用いられる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性ソルダーレジスト組成物及び該感光性ソルダーレジスト組成物を用いた感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、高精細な永久パターン(保護膜、層間絶縁膜、ソルダーレジストなど)、その形成方法及びプリント基板に関する。   The present invention is a photosensitive resin composition suitably used for a solder resist, a photosensitive solder resist composition using the photosensitive resin composition, and a photosensitive solder resist film using the photosensitive solder resist composition, In addition, the present invention relates to a high-definition permanent pattern (protective film, interlayer insulating film, solder resist, etc.), a method for forming the same, and a printed circuit board.

近年、電子機器は、移動体通信機器に代表されるように小型、薄型、軽量と共に、高性能、高機能、高品質、高信頼性が要求されるようになってきており、このような電子機器に搭載される電子部品モジュールも小型、高密度化が要求されるようになってきている。このような要求に対して、近年、酸化アルミニウム質焼結体等のセラミックスを素材とするセラミック配線基板から、より軽量化、高密度化が可能なガラス繊維とエポキシ樹脂とからなる絶縁基板の表面に低抵抗金属である銅や金等を用いて薄膜形成法により配線導体層を形成したいわゆるプリント基板が、電子部品モジュールに用いられるようになってきている。また、このプリント基板も、より高密度配線化が可能なビルドアップ配線基板へ変わりつつある。   In recent years, electronic devices have been required to have high performance, high functionality, high quality, and high reliability as well as small size, thinness, and light weight as represented by mobile communication devices. Electronic component modules mounted on devices are also required to be small and high in density. In response to such demands, in recent years, the surface of an insulating substrate made of a glass fiber and an epoxy resin that can be made lighter and densified from a ceramic wiring substrate made of ceramics such as an aluminum oxide sintered body. In addition, a so-called printed circuit board in which a wiring conductor layer is formed by a thin film forming method using copper, gold or the like which is a low resistance metal has been used for an electronic component module. In addition, this printed board is also changing to a build-up wiring board capable of higher density wiring.

このようなビルドアップ配線基板は、例えば、ガラス繊維とエポキシ樹脂とからなる絶縁基板上に、熱硬化性樹脂からなるフィルムをラミネートし熱硬化して絶縁層を形成した後、これに炭酸ガスレーザーで開口を穿設し、しかる後、絶縁層表面を化学粗化して無電解銅めっき法及び電解銅めっき法を用いて銅膜を被着形成することにより、開口内に導体層を形成するとともに絶縁層表面に配線導体層を形成し、更に、このような絶縁層と配線導体層の形成を繰り返すことにより製作される。   For example, such a build-up wiring board is formed by laminating a film made of a thermosetting resin on an insulating board made of glass fiber and epoxy resin, and thermosetting the insulating layer to form an insulating layer. Then, the conductor layer is formed in the opening by chemically roughening the surface of the insulating layer and depositing a copper film using an electroless copper plating method and an electrolytic copper plating method. The wiring conductor layer is formed on the surface of the insulating layer, and the insulating layer and the wiring conductor layer are repeatedly formed.

また、配線基板の表面には、配線導体層の酸化や腐蝕の防止、及び配線基板に電子部品を実装する際の熱から絶縁層を保護するために、厚みが20μm〜50μmのソルダーレジスト層が被着形成されている。このソルダーレジスト層は、一般に配線導体層及び絶縁層との密着性が良好なアルカリ可溶性光架橋性樹脂と、可撓性を有する樹脂とからなり、熱膨張係数を絶縁層や配線導体層の熱膨張係数と整合させるために無機充填剤を5質量%〜75質量%含有している。
更に、この配線基板は、配線導体層上のソルダーレジスト層に露光及び現像により開口を形成し、開口内の配線導体層に半田等からなる導体バンプを介して電子部品を電気的に接続することにより半導体装置等の電子部品モジュールとなる。
一般に、このような電子部品モジュールに用いられるソルダーレジスト層は、乾燥状態での絶縁抵抗が1011Ω〜1013Ωである。
Further, a solder resist layer having a thickness of 20 μm to 50 μm is provided on the surface of the wiring board in order to prevent oxidation and corrosion of the wiring conductor layer and to protect the insulating layer from heat when mounting electronic components on the wiring board. It is deposited. This solder resist layer is generally composed of an alkali-soluble photocrosslinkable resin that has good adhesion to the wiring conductor layer and the insulating layer, and a flexible resin, and has a coefficient of thermal expansion that is the same as that of the insulating layer and the wiring conductor layer. In order to match the expansion coefficient, the inorganic filler is contained in an amount of 5 to 75% by mass.
In addition, the wiring board has an opening formed in the solder resist layer on the wiring conductor layer by exposure and development, and an electronic component is electrically connected to the wiring conductor layer in the opening via a conductor bump made of solder or the like. Thus, an electronic component module such as a semiconductor device is obtained.
In general, a solder resist layer used in such an electronic component module has an insulation resistance of 10 11 Ω to 10 13 Ω in a dry state.

しかしながら、このソルダーレジスト層は、一般に、含有するアルカリ可溶性光架橋性樹脂がソルダーレジスト層に露光及び現像により開口を形成する際の現像性を発現させるために水酸基やカルボキシル基を含有することから、吸水率が高く空気中の水分を徐々に吸収して、この水分がソルダーレジスト層の絶縁抵抗を10Ω以下にまで低下させてしまい配線導体層間を短絡させたり、更には、この水分が配線導体層を腐食させたりしてしまい、その結果、配線基板の電気信頼性を劣化させてしまうという問題点を有していた。 However, this solder resist layer generally contains a hydroxyl group or a carboxyl group in order for the alkali-soluble photocrosslinkable resin to be contained to develop developability when an opening is formed in the solder resist layer by exposure and development. The water absorption rate is high and the moisture in the air is gradually absorbed, and this moisture reduces the insulation resistance of the solder resist layer to 10 8 Ω or less, causing short circuit between the wiring conductor layers. As a result, the conductor layer is corroded, and as a result, the electrical reliability of the wiring board is deteriorated.

また、BGA(ボールグリッドアレイ)、CSP(チップサイズパッケージ)等の半導体パッケージ基板において、予めクリーム半田を必要部分に印刷し、全体を赤外線で加熱し、半田をリフローして固定するので、パッケージ内外部の到達温度は220℃〜240℃と著しく高くなり、熱衝撃により塗膜にクラックが発生したり、基板や射止材から剥離したりしてしまうという、いわゆる耐リフロー性(はんだ耐熱性)低下の問題があり、この改良が求められていた。   Also, in semiconductor package substrates such as BGA (ball grid array) and CSP (chip size package), cream solder is printed in advance on necessary parts, the whole is heated with infrared rays, and the solder is reflowed and fixed. The external temperature reached is extremely high at 220 ° C to 240 ° C, so that the coating film is cracked or peeled off from the substrate or the gunning material by thermal shock, so-called reflow resistance (solder heat resistance) There was a problem of decline, and this improvement was demanded.

このような問題の解決のため、カルボキシル基と数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造とウレタン結合とイミド環とイソシアヌレート環と環式脂肪族構造とを有するイミド樹脂と、エポキシ樹脂とを含有する熱硬化性イミド樹脂組成物が提案されている(特許文献1参照)。この熱硬化性イミド樹脂組成物は、耐熱性に優れ、誘電率と誘電正接が低く、引張強度や引張伸度等の機械物性が良好なものである。
しかしながら、前記樹脂組成物は、パターン形成性が十分ではなく、クラックが発生するなどの点で問題であった。
In order to solve such a problem, an imide resin having a carboxyl group, a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 700 to 4,500, a urethane bond, an imide ring, an isocyanurate ring and a cyclic aliphatic structure, and an epoxy A thermosetting imide resin composition containing a resin has been proposed (see Patent Document 1). This thermosetting imide resin composition is excellent in heat resistance, has a low dielectric constant and dielectric loss tangent, and has good mechanical properties such as tensile strength and tensile elongation.
However, the resin composition has a problem in that pattern formation is not sufficient and cracks are generated.

したがって、耐熱性、誘電特性、機械物性に優れるだけでなく、パターン形成性及び耐クラック性にも優れる感光性樹脂組成物の提供が求められているのが現状である。   Therefore, at present, there is a demand for providing a photosensitive resin composition that is not only excellent in heat resistance, dielectric properties, and mechanical properties, but also excellent in pattern formability and crack resistance.

特許第4217952号Japanese Patent No. 4217952

本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、パターン形成性、耐クラック性、耐熱性、電気絶縁性、現像性、機械物性に優れた高性能な硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性ソルダーレジスト組成物及び該感光性ソルダーレジスト組成物を用いた感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、永久パターン、その効率的な形成方法及び該形成方法により永久パターンが形成されたプリント基板を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to solve the above-described problems and achieve the following objects. That is, the present invention provides a photosensitive resin composition capable of obtaining a high-performance cured film excellent in pattern formability, crack resistance, heat resistance, electrical insulation, developability, and mechanical properties, and the photosensitive resin composition. Photosensitive solder resist composition using the product, photosensitive solder resist film using the photosensitive solder resist composition, and permanent pattern, efficient formation method thereof, and print having a permanent pattern formed by the formation method An object is to provide a substrate.

前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
<1> ポリウレタン樹脂と、熱架橋剤と、ウレタン結合を有するイミド樹脂とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
<2> ポリウレタン樹脂が、ビニル基及び酸基を有する前記<1>に記載の感光性樹脂組成物である。
<3> ポリウレタン樹脂が、側鎖に、下記一般式(1)〜(3)で表される官能基の少なくとも1種を有する前記<1>から<2>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
前記一般式(1)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表し、前記R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。
前記一般式(2)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Yは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表す。前記R12は、前記一般式(1)のR12の場合と同義である。
前記一般式(3)中、R〜R11は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Zは、酸素原子、硫黄原子、−N(R13)−、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。前記R13は、置換基を有してもよいアルキル基を表す。
<4> ポリウレタン樹脂が、側鎖に、一般式(1)で表される官能基を有する前記<3>に記載の感光性樹脂組成物である。
<5> ポリウレタン樹脂が、ジイソシアネート化合物とジオール化合物との反応生成物であり、該ジオール化合物が、(i)ビニル基を有し、少なくとも1つが2級アルコールであるジオール化合物の少なくとも1種と、(ii)カルボキシル基を有するジオール化合物の少なくとも1種とを含有する前記<1>から<4>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
<6> ビニル基を有するジオール化合物が、下記一般式(G)で表される化合物である前記<5>に記載の感光性樹脂組成物である。
前記一般式(G)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表し、前記R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。
<7> ウレタン結合を有するイミド樹脂が、下記一般式(I)で表される構造単位と、下記一般式(II)で表される構造単位とを有し、かつ、下記一般式(III)から(V)で表される末端構造のいずれか1種以上を有する前記<1>から<6>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
前記一般式(I)及び(II)中、Rは、炭素数原子6〜13の環式脂肪族構造を有する有機基を表し、前記一般式(II)中、Rは、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造を表す。
<8> ウレタン結合を有するイミド樹脂が、酸価が20〜250で、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700〜4,500で、線状炭化水素構造部分の含有率が20質量%〜40質量%で、イソシアヌレート環の濃度が0.3mmol/g〜1.2mmol/gで、数平均分子量が2,000〜30,000で、かつ、重量平均分子量が3,000〜100,000である前記<7>に記載の感光性樹脂組成物である。
<9> ポリウレタン樹脂と、ウレタン結合を有するイミド樹脂との質量比(ポリウレタン樹脂/イミド樹脂)が、1〜19である前記<1>から<8>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
<10> 重合性化合物と、光重合開始剤とを更に含有する前記<1>から<9>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
<11> 熱可塑性エラストマーを更に含有する前記<1>から<10>に記載の感光性樹脂組成物である。
<12> 熱可塑性エラストマーが、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、及びシリコーン系エラストマーから選択される少なくとも1種のエラストマーである前記<11>に記載の感光性樹脂組成物。
<13> 前記<1>から<12>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を含有することを特徴とする感光性ソルダーレジスト組成物である。
<14> 支持体と、該支持体上に、前記<13>に記載の感光性ソルダーレジスト組成物が積層されてなる感光層と、を有することを特徴とする感光性ソルダーレジストフィルムである。
<15> 前記<14>に記載の感光性ソルダーレジスト組成物を、基体の表面に塗布し、乾燥して感光層を積層して積層体を形成した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法である。
<16> 前記<15>に記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターンである。
<17> 前記<15>に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板である。
Means for solving the problems are as follows. That is,
<1> A photosensitive resin composition comprising a polyurethane resin, a thermal crosslinking agent, and an imide resin having a urethane bond.
<2> The photosensitive resin composition according to <1>, wherein the polyurethane resin has a vinyl group and an acid group.
<3> The photosensitive resin according to any one of <1> to <2>, wherein the polyurethane resin has at least one of functional groups represented by the following general formulas (1) to (3) in a side chain. It is a composition.
In the general formula (1), R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —, R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.
In the general formula (2), R 4 to R 8 each independently represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —. Wherein R 12 has the same meaning as that of the R 12 of the general formula (1).
In the general formula (3), R 9 to R 11 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, and Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, —N (R 13 ) —, or a substituent. The phenylene group which may have is represented. R 13 represents an alkyl group which may have a substituent.
<4> The photosensitive resin composition according to <3>, wherein the polyurethane resin has a functional group represented by the general formula (1) in a side chain.
<5> The polyurethane resin is a reaction product of a diisocyanate compound and a diol compound, and the diol compound has (i) at least one diol compound having a vinyl group and at least one being a secondary alcohol; (Ii) The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4>, containing at least one diol compound having a carboxyl group.
<6> The photosensitive resin composition according to <5>, wherein the diol compound having a vinyl group is a compound represented by the following general formula (G).
In the general formula (G), R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, A represents a divalent organic residue, and X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —, wherein R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.
<7> The imide resin having a urethane bond has a structural unit represented by the following general formula (I) and a structural unit represented by the following general formula (II), and the following general formula (III) To (V). The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <6>, which has any one or more of the terminal structures represented by (V).
In the general formulas (I) and (II), R 1 represents an organic group having a cycloaliphatic structure having 6 to 13 carbon atoms. In the general formula (II), R 2 represents a number average molecular weight. Represents a 700 to 4,500 linear hydrocarbon structure.
<8> The imide resin having a urethane bond has an acid value of 20 to 250, a number average molecular weight of the linear hydrocarbon structure portion of 700 to 4,500, and a content of the linear hydrocarbon structure portion of 20% by mass. -40% by mass, the concentration of the isocyanurate ring is 0.3 mmol / g to 1.2 mmol / g, the number average molecular weight is 2,000 to 30,000, and the weight average molecular weight is 3,000 to 100,000. The photosensitive resin composition according to <7>, which is 000.
<9> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <8>, wherein a mass ratio of the polyurethane resin and the imide resin having a urethane bond (polyurethane resin / imide resin) is 1 to 19. It is.
<10> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <9>, further including a polymerizable compound and a photopolymerization initiator.
<11> The photosensitive resin composition according to <1> to <10>, further including a thermoplastic elastomer.
<12> The above-mentioned <11, wherein the thermoplastic elastomer is at least one elastomer selected from a styrene elastomer, an olefin elastomer, a urethane elastomer, a polyester elastomer, a polyamide elastomer, an acrylic elastomer, and a silicone elastomer. > Photosensitive resin composition.
<13> A photosensitive solder resist composition comprising the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <12>.
<14> A photosensitive solder resist film comprising a support and a photosensitive layer obtained by laminating the photosensitive solder resist composition according to <13> on the support.
<15> The photosensitive solder resist composition according to <14> is applied to a surface of a substrate, dried to form a laminate by forming a photosensitive layer, and then exposed and developed. This is a permanent pattern forming method.
<16> A permanent pattern formed by the method for forming a permanent pattern according to <15>.
<17> A printed circuit board wherein a permanent pattern is formed by the method for forming a permanent pattern according to <15>.

本発明によれば、従来における前記諸問題を解決し、前記目的を達成することができ、耐熱性、パターン形成性、耐クラック性、耐熱性、電気絶縁性、現像性、機械物性に優れた高性能な硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性ソルダーレジスト組成物及び該感光性ソルダーレジスト組成物を用いた感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、永久パターン、その効率的な形成方法及び該形成方法により永久パターンが形成されたプリント基板を提供することができる。   According to the present invention, the conventional problems can be solved and the object can be achieved, and the heat resistance, pattern formation, crack resistance, heat resistance, electrical insulation, developability, and mechanical properties are excellent. Photosensitive resin composition capable of obtaining high performance cured film, photosensitive solder resist composition using the photosensitive resin composition, photosensitive solder resist film using the photosensitive solder resist composition, and A permanent pattern, an efficient formation method thereof, and a printed circuit board on which the permanent pattern is formed by the formation method can be provided.

図1は、感光性ソルダーレジストフィルムの層構成の一例を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing an example of a layer structure of a photosensitive solder resist film.

(感光性樹脂組成物)
本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも、ポリウレタン樹脂と、熱架橋剤と、イミド樹脂と、を含有し、好ましくは、更に重合性化合物、光重合開始剤、熱可塑性エラストマー、熱硬化促進剤、密着促進剤、熱重合禁止剤、無機充填剤、着色剤、有機溶剤などを含有し、必要に応じて更にその他の成分を含有してなる。
(Photosensitive resin composition)
The photosensitive resin composition of the present invention contains at least a polyurethane resin, a thermal crosslinking agent, and an imide resin, and preferably further includes a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, a thermoplastic elastomer, and a thermosetting accelerator. Further, it contains an adhesion promoter, a thermal polymerization inhibitor, an inorganic filler, a colorant, an organic solvent, and the like, and further contains other components as necessary.

<ポリウレタン樹脂>
前記ポリウレタン樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、ポリイソシアネートとポリイソシアネートに由来する構造を有しており、アルカリ現像性と硬化膜の強靭性という点から酸変性ビニル基含有ポリウレタン樹脂を使用することが好ましい。
<Polyurethane resin>
The polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but has a structure derived from polyisocyanate and polyisocyanate, from the viewpoint of alkali developability and toughness of a cured film. It is preferable to use an acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin.

<<酸変性ビニル基含有ポリウレタン樹脂>>
前記酸変性ビニル基含有ポリウレタン樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、(i)側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂、(ii)カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とビニル基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂などが挙げられる。
<< Acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin >>
The acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, (i) a polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain, (ii) a carboxyl group Examples thereof include a polyurethane resin obtained by reacting a containing polyurethane with a compound having an epoxy group and a vinyl group in the molecule.

−(i)側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂−
前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、その側鎖に、下記一般式(1)〜(3)で表される官能基のうち少なくとも1つを有するものが挙げられる。
-(I) Polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain-
The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. What has at least 1 among the functional groups represented is mentioned.

前記一般式(1)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。
前記Rとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基が好ましい。
また、前記R及びRとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、それぞれ独立に、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。
In the general formula (1), R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group.
Examples of R 1, is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, for example, a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent. Among these, a hydrogen atom and a methyl group are preferable in terms of high radical reactivity.
The R 2 and R 3 are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, each of R 2 and R 3 is independently a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group. Group, nitro group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryl which may have a substituent An oxy group, an alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent Etc. Among these, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable because of high radical reactivity.

前記一般式(1)中、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表し、前記R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。前記R12としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 In the general formula (1), X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —, and R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. R 12 is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include an alkyl group which may have a substituent. Among these, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable because of high radical reactivity.

ここで、導入し得る前記置換基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、アミド基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基などが挙げられる。   Here, the substituent that can be introduced is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, and a halogen atom. Amino group, alkylamino group, arylamino group, carboxyl group, alkoxycarbonyl group, sulfo group, nitro group, cyano group, amide group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group and the like.

前記一般式(2)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。前記R〜Rとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。 In the general formula (2), R 4 to R 8 each independently represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. The R 4 to R 8 are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, Nitro group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryloxy group which may have a substituent An alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent, and the like Can be mentioned. Among these, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable because of high radical reactivity.

導入し得る置換基としては、前記一般式(1)と同様のものなどが挙げられる。また、Yは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表す。前記R12は、前記一般式(1)のR12の場合と同義であり、好ましい例も同様である。 Examples of the substituent that can be introduced include the same as those in the general formula (1). Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —. Wherein R 12 has the same meaning as R 12 in the general formula (1), and preferred examples are also the same.

前記一般式(3)中、R〜R11は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。
前記Rとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基が好ましい。
前記R10及びR11としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。
In the general formula (3), R 9 to R 11 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group.
Examples of R 9, is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, for example, an alkyl group which may have a hydrogen atom or a substituent. Among these, a hydrogen atom and a methyl group are preferable in terms of high radical reactivity.
R 10 and R 11 are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, Nitro group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryloxy group which may have a substituent An alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent, and the like Can be mentioned. Among these, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable because of high radical reactivity.

ここで、導入し得る置換基としては、前記一般式(1)と同様のものなどが例示される。また、前記一般式(3)中、Zは、酸素原子、硫黄原子、−N(R13)−、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。前記R13としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 Here, examples of the substituent that can be introduced include those similar to those in the general formula (1). Moreover, in the said General formula (3), Z represents the phenylene group which may have an oxygen atom, a sulfur atom, -N (R < 13 >)-, or a substituent. R 13 is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include an alkyl group which may have a substituent. Among these, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable in terms of high radical reactivity.

前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するウレタン樹脂は、下記一般式(4)で表されるジイソシアネート化合物の少なくとも1種と、下記一般式(5)で表されるジオール化合物の少なくとも1種と、の反応生成物で表される構造単位を基本骨格とするポリウレタン樹脂である。   The urethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain includes at least one diisocyanate compound represented by the following general formula (4) and at least one diol compound represented by the following general formula (5): A polyurethane resin having a structural unit represented by the reaction product as a basic skeleton.

OCN−X−NCO ・・・一般式(4)
HO−Y−OH ・・・一般式(5)
前記一般式(4)及び前記一般式(5)中、X、Yは、それぞれ独立に2価の有機残基を表す。
OCN-X 0 -NCO: General formula (4)
HO-Y 0 -OH ··· the general formula (5)
In the general formula (4) and the general formula (5), X 0 and Y 0 each independently represent a divalent organic residue.

前記一般式(4)で表されるジイソシアネート化合物、又は、前記一般式(5)で表されるジオール化合物の少なくともどちらか一方が、前記一般式(1)〜(3)で表される基のうち少なくとも1つを有していれば、該ジイソシアネート化合物と該ジオール化合物との反応生成物として、側鎖に前記一般式(1)〜(3)で表される基が導入されたポリウレタン樹脂が生成される。前記方法によれば、ポリウレタン樹脂の反応生成後に所望の側鎖を置換及び/又は導入するよりも、側鎖に前記一般式(1)〜(3)で表される基が導入されたポリウレタン樹脂を容易に製造することができる。   At least one of the diisocyanate compound represented by the general formula (4) and the diol compound represented by the general formula (5) is a group represented by the general formulas (1) to (3). If it has at least one of them, a polyurethane resin in which the groups represented by the general formulas (1) to (3) are introduced into the side chain as a reaction product of the diisocyanate compound and the diol compound Generated. According to the method, rather than substituting and / or introducing a desired side chain after reaction of the polyurethane resin, the polyurethane resin in which the groups represented by the general formulas (1) to (3) are introduced into the side chain Can be easily manufactured.

前記一般式(4)で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、トリイソシアネート化合物と不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させることにより得ることできるジイソシアネート化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound represented by the said General formula (4), According to the objective, it can select suitably, For example, the monofunctional alcohol or monofunctional alcohol which has a triisocyanate compound and an unsaturated group Examples thereof include diisocyanate compounds that can be obtained by addition reaction with 1 equivalent of an amine compound.

前記トリイソシアネート化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0034」〜「0035」に記載された化合物などが挙げられる。   The triisocyanate compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. Examples thereof include compounds described in paragraphs “0034” to “0035” of JP-A-2005-250438. Is mentioned.

前記不飽和基を有する単官能のアルコール又は前記単官能のアミン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0037」〜「0040」に記載された化合物などが挙げられる。   The monofunctional alcohol having an unsaturated group or the monofunctional amine compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, paragraph “0037” of JP-A-2005-250438 To the compounds described in “0040”.

ここで、前記ポリウレタン樹脂の側鎖に不飽和基を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖に不飽和基を含有するジイソシアネート化合物を用いる方法が好ましい。前記ジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、トリイソシアネート化合物と不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させることにより得ることできるジイソシアネート化合物であって、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0042」〜「0049」に記載された側鎖に不飽和基を有する化合物などが挙げられる。   Here, the method for introducing an unsaturated group into the side chain of the polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. A method using a diisocyanate compound containing is preferable. There is no restriction | limiting in particular as said diisocyanate compound, According to the objective, it can select suitably, By carrying out addition reaction of the monoisocyanate which has a triisocyanate compound, and a monofunctional amine compound or monofunctional amine compound. Examples of the diisocyanate compound that can be obtained include compounds having an unsaturated group in the side chain described in paragraphs “0042” to “0049” of JP-A-2005-250438.

前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、感光性樹脂組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記不飽和基を含有するジイソシアネート化合物以外のジイソシアネート化合物を共重合させることもできる。   The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain contains the unsaturated group from the viewpoint of improving compatibility with other components in the photosensitive resin composition and improving storage stability. Diisocyanate compounds other than diisocyanate compounds can also be copolymerized.

前記共重合させるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、下記一般式(6)で表されるジイソシアネート化合物などが挙げられる。
OCN−L−NCO ・・・一般式(6)
前記一般式(6)中、Lは、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲノ基のいずれかが好ましい。)を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表す。必要に応じて、Lは、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基のいずれかを有していてもよい。
The diisocyanate compound to be copolymerized is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a diisocyanate compound represented by the following general formula (6).
OCN-L 1 -NCO ··· general formula (6)
In the general formula (6), L 1 is a divalent aliphatic which may have a substituent (for example, any of an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, and a halogeno group is preferable). Or represents an aromatic hydrocarbon group. If necessary, L 1 may have any other functional group that does not react with an isocyanate group, such as an ester group, a urethane group, an amide group, or a ureido group.

前記一般式(6)で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、2,4−トリレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネートの二量体、2,6−トリレンジレンジイソシアネート、p−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5−ナフチレンジイソシアネート、3,3’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジイソシアネート等のような芳香族ジイソシアネート化合物;ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物;イソホロンジイソシアネート、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、メチルシクロヘキサン−2,4(又は2,6)ジイソシアネート、1,3−(イソシアネートメチル)シクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート化合物;1,3−ブチレングリコール1モルとトリレンジイソシアネート2モルとの付加体等のジオールとジイソシアネートとの反応物であるジイソシアネート化合物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。   There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound represented by the said General formula (6), According to the objective, it can select suitably, For example, the dimer of 2, 4- tolylene diisocyanate and 2, 4- tolylene diisocyanate 2,6-tolylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 1,5-naphthylene diisocyanate, 3,3′-dimethylbiphenyl-4,4 Aromatic diisocyanate compounds such as '-diisocyanate; aliphatic diisocyanate compounds such as hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, lysine diisocyanate, dimer acid diisocyanate; isophorone diisocyanate, 4, 4' Alicyclic diisocyanate compounds such as methylene bis (cyclohexyl isocyanate), methylcyclohexane-2,4 (or 2,6) diisocyanate, 1,3- (isocyanatomethyl) cyclohexane; 1 mol of 1,3-butylene glycol and tolylene diisocyanate 2 Examples thereof include a diisocyanate compound which is a reaction product of a diol such as an adduct with a mole and a diisocyanate. These may be used alone or in combination of two or more.

前記一般式(5)で表されるジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物、などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a diol compound represented by the said General formula (5), According to the objective, it can select suitably, For example, a polyether diol compound, a polyester diol compound, a polycarbonate diol compound etc. are mentioned. .

ここで、ポリウレタン樹脂の側鎖に不飽和基を導入する方法としては、前述の方法の他に、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物を用いる方法も好ましい。前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物は、例えば、トリメチロールプロパンモノアリルエーテルのように市販されているものでもよいし、ハロゲン化ジオール化合物、トリオール化合物、アミノジオール化合物等の化合物と、ビニル基を含有する、カルボン酸、酸塩化物、イソシアネート、アルコール、アミン、チオール、ハロゲン化アルキル化合物等の化合物との反応により容易に製造される化合物などが挙げられる。   Here, as a method for introducing an unsaturated group into the side chain of the polyurethane resin, in addition to the above-described method, a method using a diol compound containing an unsaturated group in the side chain as a raw material for producing the polyurethane resin is also preferable. The diol compound containing an unsaturated group in the side chain may be, for example, a commercially available product such as trimethylolpropane monoallyl ether, and a compound such as a halogenated diol compound, a triol compound, or an aminodiol compound; Examples thereof include compounds that are easily produced by reaction with compounds such as carboxylic acids, acid chlorides, isocyanates, alcohols, amines, thiols, and halogenated alkyl compounds containing vinyl groups.

前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0057」〜「0060」に記載された化合物、下記一般式(G)で表される特開2005−250438号公報の段落「0064」〜「0066」に記載された化合物などが挙げられる。これらの中でも、下記一般式(G)で表される特開2005−250438号公報の段落「0064」〜「0066」に記載された化合物が好ましい。
前記一般式(G)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表し、前記R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。
なお、前記一般式(G)におけるR〜R及びXは、前記一般式(1)におけるR〜R及びXと同義であり、好ましい態様もまた同様である。
前記一般式(G)で表されるジオール化合物に由来するポリウレタン樹脂を用いることにより、立体障害の大きい2級アルコールに起因するポリマー主鎖の過剰な分子運動を抑制効果により、層の被膜強度の向上が達成できるものと考えられる。
The diol compound containing an unsaturated group in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, in paragraphs “0057” to “0060” of JP-A-2005-250438 And the compounds described in paragraphs “0064” to “0066” of JP-A-2005-250438 represented by the following general formula (G). Among these, the compounds described in paragraphs “0064” to “0066” of JP-A-2005-250438 represented by the following general formula (G) are preferable.
In the general formula (G), R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, A represents a divalent organic residue, and X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —, wherein R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.
Incidentally, R 1 to R 3 and X in the general formula (G) has the same meaning as R 1 to R 3 and X in the general formula (1), preferred embodiments versa.
By using the polyurethane resin derived from the diol compound represented by the general formula (G), the effect of suppressing the excessive molecular movement of the polymer main chain caused by the secondary alcohol having a large steric hindrance can be reduced. It is thought that improvement can be achieved.

前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、例えば、感光性樹脂組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物を共重合させることができる。
前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物、などが挙げられる。
The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain is not suitable for the side chain from the viewpoint of, for example, improving compatibility with other components in the photosensitive resin composition and improving storage stability. Diol compounds other than diol compounds containing saturated groups can be copolymerized.
The diol compound other than the diol compound containing an unsaturated group in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected according to the purpose. For example, a polyether diol compound, a polyester diol compound, a polycarbonate diol compound, Etc.

前記ポリエーテルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0068」〜「0076」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polyether diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0068"-"0076" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 etc. are mentioned. It is done.

前記ポリエステルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0077」〜「0079」、段落「0083」〜「0085」におけるNo.1〜No.8及びNo.13〜No.18に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polyester diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, Paragraph "0077"-"0079" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438, Paragraph "0083"-"0085" No. 1-No. 8 and no. 13-No. 18 and the like.

前記ポリカーボネートジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0080」〜「0081」及び段落「0084」におけるNo.9〜No.12記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polycarbonate diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 Paragraph "0080"-"0081" and Paragraph "0084" No. 9-No. 12 listed compounds.

また、前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物を併用することもできる。
前記イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0087」〜「0088」に記載された化合物などが挙げられる。
Moreover, in the synthesis | combination of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain, the diol compound which has a substituent which does not react with an isocyanate group other than the diol compound mentioned above can also be used together.
The diol compound having a substituent that does not react with the isocyanate group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, in paragraphs “0087” to “0088” of JP-A-2005-250438 And the compounds described.

更に、前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、カルボキシル基を有するジオール化合物を併用することもできる。前記カルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、下記一般式(8)〜(10)で表される化合物などが挙げられる。   Furthermore, in the synthesis | combination of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain, the diol compound which has a carboxyl group other than the diol compound mentioned above can also be used together. The diol compound having a carboxyl group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds represented by the following general formulas (8) to (10).

前記一般式(8)〜(10)中、R15としては、水素原子、水素原子、置換基(例えば、シアノ基、二トロ基、ハロゲン原子(−F、−Cl、−Br、−I)、−CONH、−COOR16、−OR16、−NHCONHR16、−NHCOOR16、−NHCOR16、−OCONHR16(ここで、前記R16は、炭素数1〜10のアルキル基、又は炭素数7〜15のアラルキル基を表す。)などの各基が含まれる。)を有していてもよいアルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基を表す。これらの中でも、水素原子、炭素数1〜8個のアルキル基、炭素数6〜15個のアリール基が好ましい。
前記一般式(8)〜(10)中、L、L10、L11は、それぞれ同一でもよいし、相違していてもよく、単結合、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲノ基の各基が好ましい)を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表す。これらの中でも、炭素数1〜20個のアルキレン基、炭素数6〜15個のアリーレン基が好ましく、炭素数1〜8個のアルキレン基がより好ましい。また、必要に応じ、前記L〜L11中にイソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、カルボニル基、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、エーテル基を有していてもよい。なお、前記R15、L、L、Lのうちの2個又は3個で環を形成してもよい。
前記一般式(9)中、Arとしては、置換基を有していてもよい3価の芳香族炭化水素基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、炭素数6〜15個の芳香族基が好ましい。
In the general formulas (8) to (10), R 15 is a hydrogen atom, a hydrogen atom, a substituent (for example, a cyano group, a ditro group, a halogen atom (—F, —Cl, —Br, —I)). , —CONH 2 , —COOR 16 , —OR 16 , —NHCONHR 16 , —NHCOOR 16 , —NHCOR 16 , —OCONHR 16 (wherein R 16 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or 7 carbon atoms) Represents an aralkyl group of ˜15.), And the like may represent an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group that may have. Among these, a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 15 carbon atoms are preferable.
In the general formulas (8) to (10), L 9 , L 10 and L 11 may be the same or different from each other, and may be a single bond, a substituent (for example, an alkyl group, an aralkyl group, an aryl). A divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group optionally having a group, an alkoxy group, or a halogeno group. Among these, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and an arylene group having 6 to 15 carbon atoms are preferable, and an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable. Further, if necessary, the L 9 to L 11 may have other functional groups that do not react with the isocyanate group, such as a carbonyl group, an ester group, a urethane group, an amide group, a ureido group, and an ether group. . In addition, you may form a ring by 2 or 3 of said R < 15 >, L < 7 >, L < 8 >, L < 9 >.
In the general formula (9), Ar is not particularly limited as long as it represents a trivalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent, and may be appropriately selected according to the purpose. An aromatic group having 6 to 15 carbon atoms is preferable.

上記一般式(8)〜(10)で表されるカルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、3,5−ジヒドロキシ安息香酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸、2,2−ビス(2−ヒドロキシエチル)プロピオン酸、2,2−ビス(3−ヒドロキシプロピル)プロピオン酸、ビス(ヒドロキシメチル)酢酸、ビス(4−ヒドロキシフェニル)酢酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)酪酸、4,4−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ペンタン酸、酒石酸、N,N−ジヒドロキシエチルグリシン、N,N―ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−カルボキシ−プロピオンアミドなどが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has a carboxyl group represented by the said General formula (8)-(10), According to the objective, it can select suitably, For example, 3, 5- dihydroxy benzoic acid, 2 , 2-bis (hydroxymethyl) propionic acid, 2,2-bis (2-hydroxyethyl) propionic acid, 2,2-bis (3-hydroxypropyl) propionic acid, bis (hydroxymethyl) acetic acid, bis (4- Hydroxyphenyl) acetic acid, 2,2-bis (hydroxymethyl) butyric acid, 4,4-bis (4-hydroxyphenyl) pentanoic acid, tartaric acid, N, N-dihydroxyethylglycine, N, N-bis (2-hydroxyethyl) ) -3-carboxy-propionamide and the like.

このようなカルボキシル基の存在により、ポリウレタン樹脂に水素結合性とアルカリ可溶性といった特性を付与できる点で好ましい。より具体的には、前記側鎖にエチレン性不飽和結合基を有するポリウレタン樹脂が、更に側鎖にカルボキシル基を有する樹脂であり、より具体的には、側鎖のビニル基が、0.05mmol/g〜3.0mmol/gであることが好ましく、0.5mmol/g〜2.7mmol/gであることがより好ましく、0.75mmol/g〜2.4mmol/gであることが特に好ましく、且つ、側鎖にカルボキシル基を有することが好ましく、酸価が、20mgKOH/g〜120mgKOH/gであることが好ましく、30mgKOH/g〜110mgKOH/gであることがより好ましく、35mgKOH/g〜100mgKOH/gが特に好ましい。
なお、前記酸価は、例えば、JIS K0070に準拠して測定することができる。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。
The presence of such a carboxyl group is preferable in that the polyurethane resin can be provided with characteristics such as hydrogen bonding properties and alkali solubility. More specifically, the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond group in the side chain is a resin having a carboxyl group in the side chain, and more specifically, the vinyl group in the side chain is 0.05 mmol. / G to 3.0 mmol / g, preferably 0.5 mmol / g to 2.7 mmol / g, more preferably 0.75 mmol / g to 2.4 mmol / g, In addition, the side chain preferably has a carboxyl group, and the acid value is preferably 20 mgKOH / g to 120 mgKOH / g, more preferably 30 mgKOH / g to 110 mgKOH / g, and 35 mgKOH / g to 100 mgKOH / g. g is particularly preferred.
In addition, the said acid value can be measured based on JISK0070, for example. However, when the sample does not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran is used as a solvent.

また、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物を併用することもできる。
前記テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0095」〜「0101」に記載された化合物などが挙げられる。
Moreover, in the synthesis | combination of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in a side chain, the compound which ring-opened tetracarboxylic dianhydride with the diol compound other than the diol compound mentioned above can also be used together.
The compound obtained by ring-opening the tetracarboxylic dianhydride with a diol compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, JP-A-2005-250438, paragraph "0095" And the compounds described in “0101”.

前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、上記ジイソシアネート化合物及びジオール化合物を、非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知の触媒を添加し、加熱することにより合成される。合成に使用されるジイソシアネート及びジオール化合物のモル比(M:M)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、1:1〜1.2:1が好ましく、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、分子量あるいは粘度といった所望の物性の生成物が、最終的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。 The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain is synthesized by adding the above-mentioned diisocyanate compound and diol compound to an aprotic solvent by adding a known catalyst having an activity depending on the reactivity and heating. Is done. The molar ratio of diisocyanate and diol compound used for synthesis (M a : M b ) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, preferably 1: 1 to 1.2: 1. By treating with alcohols or amines, a product having desired physical properties such as molecular weight or viscosity is synthesized in a form in which no isocyanate group remains finally.

また、前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂としては、ポリマー末端、主鎖に不飽和基を有するものも好適に使用される。ポリマー末端、主鎖に不飽和基を有することにより、更に、感光性樹脂組成物と側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂との間、又は側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂間で架橋反応性が向上し、光硬化物強度が増す。その結果、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂を平版印刷版等に使用した際、強靭性に優れる材料を与えることができる。ここで、不飽和基としては、架橋反応の起こり易さから、炭素−炭素二重結合を有することが特に好ましい。   Further, as the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain, those having an unsaturated group in the polymer terminal and main chain are also preferably used. Polyurethane having an ethylenically unsaturated bond in the side chain, or between the photosensitive resin composition and the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain, by having an unsaturated group at the polymer terminal and main chain Crosslinking reactivity is improved between the resins, and the strength of the photocured product is increased. As a result, when a polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain is used for a lithographic printing plate, a material having excellent toughness can be provided. Here, as an unsaturated group, it is especially preferable to have a carbon-carbon double bond from the viewpoint of easy occurrence of a crosslinking reaction.

ポリマー末端に不飽和基を導入する方法としては、以下に示す方法がある。即ち、上述した側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の合成の工程での、ポリマー末端の残存イソシアネート基と、アルコール類又はアミン類等で処理する工程において、不飽和基を有するアルコール類又はアミン類等を用いればよい。
このような化合物としては、具体的には、先に、不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物として挙げられた例示化合物と同様のものを挙げることができる。
なお、不飽和基は、導入量の制御が容易で導入量を増やすことができ、また、架橋反応効率が向上するといった観点から、ポリマー末端よりもポリマー側鎖に導入されることが好ましい。
As a method for introducing an unsaturated group into the polymer terminal, there are the following methods. That is, in the step of synthesizing the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain as described above, in the step of treating with the residual isocyanate group at the polymer end and the alcohol or amine, the alcohol having an unsaturated group. Alternatively, amines or the like may be used.
Specific examples of such a compound include the same compounds as those exemplified above as the monofunctional alcohol or monofunctional amine compound having an unsaturated group.
The unsaturated group is preferably introduced into the polymer side chain rather than the polymer terminal from the viewpoint that the introduction amount can be easily controlled and the introduction amount can be increased, and that the crosslinking reaction efficiency is improved.

導入されるエチレン性不飽和結合基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、架橋硬化膜形成性の点で、メタクリロイル基、アクリロイル基、スチリル基が好ましく、メタクリロイル基、アクリロイル基がより好ましく、架橋硬化膜の形成性と生保存性との両立の点で、メタクリロイル基が特に好ましい。
また、メタクリロイル基の導入量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、ビニル基当量としては、0.05mmol/g〜3.0mmol/gが好ましく、0.5mmol/g〜2.7mmol/gがより好ましく、0.75mmol/g〜2.4mmol/gが特に好ましい。
The ethylenically unsaturated bond group to be introduced is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. From the viewpoint of forming a crosslinked cured film, a methacryloyl group, an acryloyl group, and a styryl group are preferable, and methacryloyl Group and acryloyl group are more preferable, and methacryloyl group is particularly preferable in terms of both the formability of the crosslinked cured film and the raw storage stability.
The amount of methacryloyl group introduced is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. The vinyl group equivalent is preferably 0.05 mmol / g to 3.0 mmol / g, preferably 0.5 mmol. / G to 2.7 mmol / g is more preferable, and 0.75 mmol / g to 2.4 mmol / g is particularly preferable.

主鎖に不飽和基を導入する方法としては、主鎖方向に不飽和基を有するジオール化合物をポリウレタン樹脂の合成に用いる方法がある。前記主鎖方向に不飽和基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、cis−2−ブテン−1,4−ジオール、trans−2−ブテン−1,4−ジオール、ポリブタジエンジオール、などが挙げられる。   As a method of introducing an unsaturated group into the main chain, there is a method of using a diol compound having an unsaturated group in the main chain direction for the synthesis of a polyurethane resin. There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has an unsaturated group in the said principal chain direction, According to the objective, it can select suitably, cis-2-butene-1, 4-diol, trans-2-butene-1 , 4-diol, polybutadiene diol, and the like.

前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、該特定ポリウレタン樹脂とは異なる構造を有するポリウレタン樹脂を含むアルカリ可溶性高分子を併用することも可能である。例えば、前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、は、主鎖及び/又は側鎖に芳香族基を含有したポリウレタン樹脂を併用することが可能である。   The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain can be used in combination with an alkali-soluble polymer containing a polyurethane resin having a structure different from that of the specific polyurethane resin. For example, the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain can be used in combination with a polyurethane resin containing an aromatic group in the main chain and / or side chain.

前記(i)側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の具体例としては、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0293」〜「0310」に示されたP−1〜P−31のポリマー、などが挙げられる。これらの中でも、段落「0308」及び「0309」に示されたP−27及びP−28のポリマーが好ましい。   Specific examples of the polyurethane resin (i) having an ethylenically unsaturated bond in the side chain include, for example, P-1 to P— shown in paragraphs “0293” to “0310” of JP-A-2005-250438. 31 polymers, and the like. Among these, the polymers of P-27 and P-28 shown in paragraphs “0308” and “0309” are preferable.

−(ii)カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とビニル基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂−
前記ポリウレタン樹脂は、ジイソシアネートと、カルボン酸基含有ジオールとを必須成分とするカルボキシル基含有ポリウレタンと、分子中にエポキシ基とビニル基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂である。目的に応じて、ジオール成分として、重量平均分子量300以下の低分子ジオールや重量平均分子量500以上の低分子ジオールを共重合成分として加えてもよい。
前記ポリウレタン樹脂を用いることにより、無機充填剤との安定した分散性や耐クラック性や耐衝撃性に優れることから、耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電気特性が向上する。
-(Ii) Polyurethane resin obtained by reacting a carboxyl group-containing polyurethane with a compound having an epoxy group and a vinyl group in the molecule-
The polyurethane resin is a polyurethane resin obtained by reacting a carboxyl group-containing polyurethane having a diisocyanate and a carboxylic acid group-containing diol as essential components with a compound having an epoxy group and a vinyl group in the molecule. Depending on the purpose, a low molecular diol having a weight average molecular weight of 300 or less or a low molecular diol having a weight average molecular weight of 500 or more may be added as a copolymer component as a diol component.
By using the polyurethane resin, it is excellent in stable dispersibility with an inorganic filler, crack resistance and impact resistance, so that heat resistance, moist heat resistance, adhesion, mechanical properties, and electrical properties are improved.

また、前記ポリウレタン樹脂としては、置換基を有していてもよい二価の脂肪族及び芳香族炭化水素のジイソシアネートと、C原子及びN原子のいずれかを介してCOOH基と2つのOH基を有するカルボン酸含有ジオールとを必須成分とした反応物であって、得られた反応物と、−COO−結合を介して分子中にエポキシ基とビニル基を有する化合物とを反応して得られるものであってもよい。   The polyurethane resin includes a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon diisocyanate which may have a substituent, a COOH group and two OH groups via any one of a C atom and an N atom. A reaction product comprising a carboxylic acid-containing diol as an essential component, which is obtained by reacting the obtained reaction product with a compound having an epoxy group and a vinyl group in the molecule via a —COO— bond It may be.

また、前記ポリウレタン樹脂としては、下記一般式(11)で示されるジイソシアネートと、下記一般式(12−1)〜(12−3)で示されるカルボン酸基含有ジオールから選ばれた少なくとも1種とを必須成分とし、目的に応じて下記一般式(13−1)〜(13−5)で示される重量平均分子量が800〜3,000の範囲にある高分子ジオールから選ばれた少なくとも1種との反応物であって、得られた反応物と、下記一般式(14−1)〜(14−16)で示される分子中にエポキシ基とビニル基を有する化合物とを反応して得られるものであってもよい。
ただし、前記一般式(11)中、Rは、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲノ基のいずれかが好ましい)を有していてもよい二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を表す。必要に応じ、前記Rは、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基のいずれかを有していてもよい。前記一般式(12−1)中、Rは、水素原子、置換基(例えば、シアノ基、二トロ基、ハロゲン原子(−F、−Cl、−Br、−I)、−CONH、−COOR、−OR、−NHCONHR、−NHCOOR、−NHCOR、−OCONHR、−CONHR(ここで、Rは、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数7〜15のアラルキル基のいずれかを表す)、などの各基が含まれる)を有していてもよいアルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、又はアリーロキシ基を表す。これらの中でも、水素原子、炭素数1個〜3個のアルキル基、炭素数6個〜15個のアリール基が好ましい。前記一般式(12−1)、(12−2)及び(12−3)中、R、R及びRは、それぞれ同一でも相異していてもよく、単結合、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲノ基の各基が好ましい)を有していてもよい二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を表す。これらの中でも、炭素数1〜20個のアルキレン基、炭素数6〜15個のアリーレン基が好ましく、炭素数1〜8個のアルキレン基が更に好ましい。また、必要に応じ、前記R、R及びR中にイソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、カルボニル基、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、エーテル基のいずれかを有していてもよい。なお、前記R、R、R及びRのうちの2個又は3個で環を形成してもよい。Arは置換基を有していてもよい三価の芳香族炭化水素を表し、炭素数6個〜15個の芳香族基が好ましい。
Moreover, as said polyurethane resin, at least 1 sort (s) chosen from the diisocyanate shown by the following general formula (11), and the carboxylic acid group containing diol shown by the following general formula (12-1)-(12-3), And at least one selected from polymer diols having a weight average molecular weight in the range of 800 to 3,000 represented by the following general formulas (13-1) to (13-5) according to the purpose: A reaction product obtained by reacting the obtained reaction product with a compound having an epoxy group and a vinyl group in the molecule represented by the following general formulas (14-1) to (14-16) It may be.
However, in the general formula (11), R 1 may have a substituent (for example, any of an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, and a halogeno group is preferable). Represents an aromatic or aromatic hydrocarbon. If necessary, R 1 may have any other functional group that does not react with an isocyanate group, such as an ester group, a urethane group, an amide group, or a ureido group. In the general formula (12-1), R 2 represents a hydrogen atom, a substituent (for example, a cyano group, a ditro group, a halogen atom (—F, —Cl, —Br, —I), —CONH 2 , — COOR 6 , —OR 6 , —NHCONHR 6 , —NHCOOR 6 , —NHCOR 6 , —OCONHR 6 , —CONHR 6 (where R 6 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, aralkyl having 7 to 15 carbon atoms) Each group is included), which may have an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group. Among these, a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 15 carbon atoms are preferable. In the general formulas (12-1), (12-2) and (12-3), R 3 , R 4 and R 5 may be the same or different from each other, and may be a single bond or a substituent (for example, , An alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, and a halogeno group are preferable), and may represent a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon. Among these, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and an arylene group having 6 to 15 carbon atoms are preferable, and an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable. Further, if necessary, in R 3 , R 4 and R 5 , any other functional group that does not react with an isocyanate group, for example, a carbonyl group, an ester group, a urethane group, an amide group, a ureido group, or an ether group. You may have. In addition, you may form a ring by 2 or 3 of said R < 2 >, R < 3 >, R < 4 > and R < 5 >. Ar represents a trivalent aromatic hydrocarbon which may have a substituent, and an aromatic group having 6 to 15 carbon atoms is preferable.

ただし、前記一般式(13−1)〜(13−3)中、R、R、R、R10及びR11は、それぞれ同一でもよいし、相異していてもよく、二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を表す。前記R、R、R10及びR11は、それぞれ炭素数2個〜20個のアルキレン基又は炭素数6個〜15個のアリーレン基が好ましく、炭素数2個〜10個のアルキレン又は炭素数6個〜10個のアリーレン基がより好ましい。前記Rは、炭素数1個〜20個のアルキレン基又は炭素数6個〜15個のアリーレン基を表し、炭素数1個〜10個のアルキレン又は炭素数6個〜10個のアリーレン基がより好ましい。また、前記R、R、R、R10及びR11中には、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エーテル基、カルボニル基、エステル基、シアノ基、オレフィン基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、又はハロゲン原子などがあってもよい。
前記一般式(13−4)中、R12は、水素原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。水素原子、炭素数1個〜10個のアルキル基、炭素数6個〜15個のアリール基、炭素数7個〜15個のアラルキル、シアノ基又はハロゲン原子が好ましく、水素原子、炭素数1個〜6個のアルキル及び炭素数6個〜10個のアリール基がより好ましい。また、前記R12中には、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、アルコキシ基、カルボニル基、オレフィン基、エステル基又はハロゲン原子などがあってもよい。
前記一般式(13−5)中、R13は、アリール基又はシアノ基を表し、炭素数6個〜10個のアリール基又はシアノ基が好ましい。前記一般式(13−4)中、mは、2〜4の整数を表す。前記一般式(13−1)〜(13−5)中、n、n、n、n及びnは、それぞれ2以上の整数を表し、2〜100の整数が好ましい。前記一般式(13−5)中、nは、0又は2以上の整数を示し、0又は2〜100の整数が好ましい。
However, in the general formulas (13-1) to (13-3), R 7 , R 8 , R 9 , R 10, and R 11 may be the same or different, and may be divalent. Represents an aliphatic or aromatic hydrocarbon. R 7 , R 9 , R 10 and R 11 are each preferably an alkylene group having 2 to 20 carbon atoms or an arylene group having 6 to 15 carbon atoms, and an alkylene or carbon having 2 to 10 carbon atoms. Several to 10 arylene groups are more preferable. R 8 represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms or an arylene group having 6 to 15 carbon atoms, and an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or an arylene group having 6 to 10 carbon atoms is More preferred. In addition, in R 7 , R 8 , R 9 , R 10 and R 11 , other functional groups that do not react with isocyanate groups, such as ether groups, carbonyl groups, ester groups, cyano groups, olefin groups, urethane groups , An amide group, a ureido group, or a halogen atom.
In the general formula (13-4), R 12 represents a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, a cyano group, or a halogen atom. A hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 15 carbon atoms, an aralkyl having 7 to 15 carbon atoms, a cyano group, or a halogen atom is preferable, and a hydrogen atom or one carbon atom is preferable. More preferred are ˜6 alkyl and aryl groups having 6 to 10 carbon atoms. R 12 may have other functional groups that do not react with isocyanate groups, such as alkoxy groups, carbonyl groups, olefin groups, ester groups, or halogen atoms.
In the general formula (13-5), R 13 represents an aryl group or a cyano group, and preferably an aryl group or a cyano group having 6 to 10 carbon atoms. In the general formula (13-4), m represents an integer of 2 to 4. In the general formulas (13-1) to (13-5), n 1 , n 2 , n 3 , n 4 and n 5 each represent an integer of 2 or more, and an integer of 2 to 100 is preferable. In the general formula (13-5), n 6 represents 0 or an integer of 2 or more, and 0 or an integer of 2 to 100 is preferable.

ただし、前記一般式(14−1)〜(14−16)中、R14は、水素原子又はメチル基を表し、R15は、炭素数1〜10のアルキレン基を表し、R16は、炭素数1〜10の炭化水素基を表す。pは、0又は1〜10の整数を表す。 In the general formula (14-1) ~ (14-16), R 14 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 15 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, R 16 is a carbon The hydrocarbon group of number 1-10 is represented. p represents 0 or an integer of 1 to 10.

また、前記ポリウレタン樹脂は、更に第5成分として、カルボン酸基非含有の低分子量ジオールを共重合させてもよく、該低分子量ジオールとしては、前記一般式(13−1)〜(13−5)で表され、重量平均分子量が500以下のものである。該カルボン酸基非含有低分子量ジオールは、アルカリ溶解性が低下しない限り、また、硬化膜の弾性率が十分低く保つことができる範囲で添加することができる。   The polyurethane resin may further be copolymerized with a low molecular weight diol that does not contain a carboxylic acid group as a fifth component. Examples of the low molecular weight diol include those represented by the general formulas (13-1) to (13-5). The weight average molecular weight is 500 or less. The low molecular weight diol containing no carboxylic acid group can be added as long as the alkali solubility is not lowered and the elastic modulus of the cured film can be kept sufficiently low.

前記ポリウレタン樹脂としては、特に、一般式(11)で示されるジイソシアネートと、一般式(12−1)〜(12−3)で示されるカルボン酸基含有ジオールから選ばれた少なくとも1種とを必須成分とし、目的に応じて、一般式(13−1)〜(13−5)で示される重量平均分子量が800〜3,000の範囲にある高分子ジオールから選ばれた少なくとも1種や、一般式(13−1)〜(13−5)で示される重量平均分子量が500以下のカルボン酸基非含有の低分子量ジオールとの反応物に、更に一般式(14−1)〜(14−16)のいずれかで示される分子中に1個のエポキシ基と少なくとも1個の(メタ)アクリル基を有する化合物を反応して得られる、酸価が20mgKOH/g〜120mgKOH/gであるアルカリ可溶性光架橋性ポリウレタン樹脂が好適である。   As the polyurethane resin, in particular, a diisocyanate represented by the general formula (11) and at least one selected from carboxylic acid group-containing diols represented by the general formulas (12-1) to (12-3) are essential. As a component, depending on the purpose, at least one selected from polymer diols having a weight average molecular weight in the range of 800 to 3,000 represented by general formulas (13-1) to (13-5), In addition to the reaction product of the low molecular weight diol containing no carboxylic acid group having a weight average molecular weight of 500 or less represented by the formulas (13-1) to (13-5), the formulas (14-1) to (14-16) ), Which is obtained by reacting a compound having one epoxy group and at least one (meth) acrylic group in the molecule represented by any of the above formulas, and having an acid value of 20 mgKOH / g to 120 mgKOH / g Soluble photocrosslinking polyurethane resin is preferable.

これらの高分子化合物は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   These polymer compounds may be used alone or in combination of two or more.

−−カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とビニル基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂の合成法−−
前記ポリウレタン樹脂の合成方法としては、上記ジイソシアネート化合物及びジオール化合物を非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知な触媒を添加し、加熱することにより合成される。使用するジイソシアネート及びジオール化合物のモル比は好ましくは、0.8:1〜1.2:1であり、ポリマー末端にイソシアネート基が残存した場合、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、最絡的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。
--Synthesis of polyurethane resin obtained by reacting carboxyl group-containing polyurethane with compound having epoxy group and vinyl group in molecule--
As a method for synthesizing the polyurethane resin, the diisocyanate compound and the diol compound are synthesized in an aprotic solvent by adding a known catalyst having an activity corresponding to each reactivity and heating. The molar ratio of the diisocyanate and diol compound to be used is preferably 0.8: 1 to 1.2: 1. When an isocyanate group remains at the end of the polymer, it can be treated with alcohols or amines to obtain It is synthesized in such a way that no isocyanate groups remain entangled.

−−ジイソシアネート−−
前記一般式(11)で示されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0021」に記載された化合物、などが挙げられる。
--Diisocyanate--
There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound shown by the said General formula (11), According to the objective, it can select suitably, For example, the compound described in Paragraph "0021" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030, Etc.

−−高分子量ジオール−−
前記一般式(13−1)〜(13−5)で示される高分子量ジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0022」〜「0046」に記載された化合物、などが挙げられる。
--High molecular weight diol--
The high molecular weight diol compound represented by the general formulas (13-1) to (13-5) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, as disclosed in JP-A-2007-2030 And compounds described in paragraphs “0022” to “0046”.

−−カルボン酸基含有ジオール−−
また、前記一般式(12−1)〜(12−3)で表されるカルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0047」に記載された化合物、などが挙げられる。
--Carboxylic acid group-containing diol--
Further, the diol compound having a carboxyl group represented by the general formulas (12-1) to (12-3) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. And the compounds described in paragraph “0047” of No. 2030 publication.

−−カルボン酸基非含有低分子量ジオール−−
前記カルボン酸基非含有低分子量ジオールとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0048」に記載された化合物、などが挙げられる。
前記カルボン酸基非含有ジオールの共重合量としては、低分子量ジオール中の95モル%以下が好ましく、80%以下がより好ましく、50%以下が特に好ましい。前記共重合量が、95モル%を超えると現像性のよいウレタン樹脂が得られないことがある。
--Carboxylic acid group-free low molecular weight diol--
The carboxylic acid group-free low molecular weight diol is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds described in paragraph “0048” of JP-A-2007-2030. Can be mentioned.
The copolymerization amount of the carboxylic acid group-free diol is preferably 95 mol% or less, more preferably 80% or less, and particularly preferably 50% or less in the low molecular weight diol. When the copolymerization amount exceeds 95 mol%, a urethane resin having good developability may not be obtained.

前記(ii)カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とビニル基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂の具体例としては、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0314」〜「0315」に示されたU1〜U13、U1〜U4、U6〜U11のポリマーにおけるエポキシ基及びビニル基含有化合物としてのグリシジルアクリレートを、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート(商品名:サイクロマーA400(ダイセル化学製))、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(商品名:サイクロマーM400(ダイセル化学製))に代えたポリマー、などが挙げられる。   Specific examples of the polyurethane resin obtained by reacting the above (ii) carboxyl group-containing polyurethane with a compound having an epoxy group and a vinyl group in the molecule include, for example, paragraphs “0314” to JP-A-2007-2030. Glycidyl acrylate as an epoxy group and vinyl group-containing compound in the polymers of U1 to U13, U1 to U4, and U6 to U11 shown in “0315” is converted into glycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate (trade name: Cyclo Mer A400 (manufactured by Daicel Chemical Industries)), 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate (trade name: Cyclomer M400 (manufactured by Daicel Chemical Industries)), and the like.

なお、本発明の感光性樹脂組成物には、前記ポリウレタン樹脂以外にも、更に必要に応じてその他の樹脂を前記ポリウレタン樹脂に対し50質量%以下の量添加することが好ましい。前記その他の樹脂としては、例えば、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアセタール樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などが挙げられる。   In addition to the said polyurethane resin, it is preferable to add other resin to the photosensitive resin composition of this invention in the quantity of 50 mass% or less with respect to the said polyurethane resin further as needed. Examples of the other resin include polyamide resin, epoxy resin, polyacetal resin, acrylic resin, methacrylic resin, polystyrene resin, and novolac type phenol resin.

前記樹脂の含有量としては、前記感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、5質量部〜80質量部が好ましく、30質量部〜70質量部がより好ましい。前記含有量が、5質量部以上であれば、現像性、露光感度が良好となり、80質量部以下であれば、感光層の粘着性が強くなりすぎることを防止できる。   As content of the said resin, 5 mass parts-80 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts of solid content of the said photosensitive resin composition, and 30 mass parts-70 mass parts are more preferable. When the content is 5 parts by mass or more, developability and exposure sensitivity are good, and when the content is 80 parts by mass or less, the adhesiveness of the photosensitive layer can be prevented from becoming too strong.

前記ポリウレタン樹脂を用いることによりパターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、電気絶縁性、及び機械特性に優れる点で有利である。   Use of the polyurethane resin is advantageous in that it is excellent in pattern formability, crack resistance, developability, heat resistance, electrical insulation, and mechanical properties.

<<ポリウレタン樹脂の重量平均分子量>>
前記ポリウレタン樹脂の重量平均分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2,000〜60,000が好ましく、3,000〜50,000がより好ましく、3,000〜30,000が特に好ましい。前記重量平均分子量が2,000未満であると、硬化膜の高温時の十分な低弾性率が得られないことがあり、60,000を超えると、塗布適性及び現像性が悪化することがある。一方、重量平均分子量が2,000〜60,000であると、前記感光性樹脂組成物を感光性ソルダーレジストに用いた場合には、クラック耐性、耐熱性に優れ、アルカリ性現像液による非画像部の現像性に優れる。
なお、前記重量平均分子量は、例えば、高速GPC装置(東洋曹達工業株式会社製HLC−802A)を使用して、0.5質量%のTHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgel HZM−M 1本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25℃で屈折率検出器あるいはUV検出器(検出波長254nm)により測定することができる。
<< Weight average molecular weight of polyurethane resin >>
There is no restriction | limiting in particular as a weight average molecular weight of the said polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 2,000-60,000 are preferable, 3,000-50,000 are more preferable, 3, 000 to 30,000 is particularly preferred. When the weight average molecular weight is less than 2,000, a sufficiently low elastic modulus at a high temperature of the cured film may not be obtained, and when it exceeds 60,000, coating suitability and developability may be deteriorated. . On the other hand, when the photosensitive resin composition is used as a photosensitive solder resist when the weight average molecular weight is 2,000 to 60,000, it is excellent in crack resistance and heat resistance, and is a non-image part by an alkaline developer. Excellent developability.
The weight average molecular weight is, for example, a high-speed GPC device (HLC-802A manufactured by Toyo Soda Kogyo Co., Ltd.), a 0.5% by mass THF solution as a sample solution, and a column of one TSKgel HZM-M. 200 μL of sample is injected, eluted with the THF solution, and measured at 25 ° C. with a refractive index detector or UV detector (detection wavelength 254 nm).

<<ポリウレタン樹脂の酸価>>
前記ポリウレタン樹脂の酸価としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20mgKOH/g〜120mgKOH/gが好ましく、30mgKOH/g〜110mgKOH/gがより好ましく、35mgKOH/g〜100mgKOH/gが特に好ましい。前記酸価が、20mgKOH/g未満であると現像性が不十分となることがあり、120mgKOH/gを超えると現像速度が高すぎるため現像のコントロールが難しくなることがある。
なお、前記酸価は、例えば、JIS K0070に準拠して測定することができる。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。
<< Acid value of polyurethane resin >>
There is no restriction | limiting in particular as an acid value of the said polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 20 mgKOH / g-120 mgKOH / g is preferable, 30 mgKOH / g-110 mgKOH / g is more preferable, 35 mgKOH / g ˜100 mg KOH / g is particularly preferred. If the acid value is less than 20 mgKOH / g, the developability may be insufficient, and if it exceeds 120 mgKOH / g, the development rate may be too high, and development control may be difficult.
In addition, the said acid value can be measured based on JISK0070, for example. However, when the sample does not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran is used as a solvent.

<<ポリウレタン樹脂のビニル基当量>>
前記ポリウレタン樹脂のビニル基当量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.05mmol/g〜3mmol/gが好ましく、0.5mmol/g〜2.7mmol/gがより好ましく、0.75mmol/g〜2.4mmol/gが特に好ましい。前記ビニル基当量が、0.05mmol/g未満であると、硬化膜の耐熱性が劣ることがあり、3mmol/gを超えると、硬化膜の脆性が上がることがある。
前記ビニル基当量は、例えば、臭素価を測定することにより求めることができる。なお、前記臭素価は、例えば、JIS K2605に準拠して測定することができる。
<< Vinyl group equivalent of polyurethane resin >>
There is no restriction | limiting in particular as a vinyl group equivalent of the said polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 0.05 mmol / g-3 mmol / g are preferable, 0.5 mmol / g-2.7 mmol / g Is more preferable, and 0.75 mmol / g to 2.4 mmol / g is particularly preferable. When the vinyl group equivalent is less than 0.05 mmol / g, the heat resistance of the cured film may be inferior, and when it exceeds 3 mmol / g, the brittleness of the cured film may increase.
The vinyl group equivalent can be determined, for example, by measuring the bromine number. In addition, the said bromine number can be measured based on JISK2605, for example.

<<ポリウレタン樹脂の含有量>>
前記ポリウレタン樹脂の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5質量%〜80質量%が好ましく、20質量%〜75質量%がより好ましく、30質量%〜70質量%が特に好ましい。
前記含有量が5質量%未満であると、パターン形成性、耐クラック性、現像性、絶縁性に悪化することがあり、80質量%を超えると、耐熱性が破綻をきたすことがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好な耐クラック性との耐熱性の両立の点で有利である。
<< Content of polyurethane resin >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 5 mass%-80 mass% are preferable, 20 mass%-75 mass% Is more preferable, and 30% by mass to 70% by mass is particularly preferable.
When the content is less than 5% by mass, the pattern formability, crack resistance, developability, and insulation may be deteriorated. When the content exceeds 80% by mass, the heat resistance may be broken. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, it is advantageous in terms of achieving both good crack resistance and heat resistance.

<熱架橋剤>
前記熱架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物、特開2007−2030号公報の段落「0098」〜「0100」に記載された化合物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
これらの中でも、1分子内に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ樹脂化合物、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物が好ましい。
<Thermal crosslinking agent>
The thermal crosslinking agent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include epoxy resins, polyfunctional oxetane compounds, and paragraphs “0098” to “0100” of JP-A-2007-2030. And the compounds described. These may be used alone or in combination of two or more.
Among these, an epoxy resin compound having at least two oxirane groups in one molecule and an oxetane compound having at least two oxetanyl groups in one molecule are preferable.

前記エポキシ樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0095」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said epoxy resin, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0095" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 etc. are mentioned.

前記多官能オキセタン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0096」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polyfunctional oxetane compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 paragraph "0096" etc. are mentioned.

前記熱架橋剤の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1質量%〜50質量%が好ましく、2質量%〜40質量%がより好ましく、3質量%〜30質量%が特に好ましい。前記熱架橋剤の含有量が、1質量%未満であると、耐熱性が悪化することがあり、50質量%を超えると、現像性や耐クラック性が悪化することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好な感度で硬化膜が作製でき、形成された硬化膜も、耐熱性と耐クラック性とを両立できる点で有利である。   There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said thermal crosslinking agent, Although it can select suitably according to the objective, 1 mass%-50 mass% are preferable, and 2 mass%-40 mass. % Is more preferable, and 3% by mass to 30% by mass is particularly preferable. When the content of the thermal crosslinking agent is less than 1% by mass, heat resistance may be deteriorated, and when it exceeds 50% by mass, developability and crack resistance may be deteriorated. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, a cured film can be produced with good sensitivity, and the formed cured film is advantageous in that both heat resistance and crack resistance can be achieved.

<イミド樹脂>
本発明の感光性樹脂組成物に含まれるイミド樹脂は、ウレタン結合を有するイミド樹脂である。
前記イミド樹脂としては、ウレタン結合を有するものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、イミド環と、イソシアヌレート環を更に有するイミド樹脂が好ましく、汎用溶剤(例えば、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤等の非プロトン系極性有機溶剤)に対する溶解性と耐熱性と機械物性に優れることから、下記一般式(I)で表される構造単位と、下記一般式(II)で表される構造単位とを有し、かつ、下記一般式(III)〜(V)で表される末端構造の少なくともいずれかを有するイミド樹脂が特に好ましい。
上記一般式(I)及び(II)中、Rは炭素数原子6〜13の環式脂肪族構造を有する有機基を表し、Rは数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造を表す。
<Imide resin>
The imide resin contained in the photosensitive resin composition of the present invention is an imide resin having a urethane bond.
The imide resin is not particularly limited as long as it has a urethane bond, and can be appropriately selected according to the purpose. However, an imide resin further having an imide ring and an isocyanurate ring is preferable, and a general-purpose solvent ( For example, since it is excellent in solubility in aprotic polar organic solvents such as ketone solvents, ester solvents, ether solvents, etc., heat resistance and mechanical properties, a structural unit represented by the following general formula (I): An imide resin having a structural unit represented by the following general formula (II) and at least one of terminal structures represented by the following general formulas (III) to (V) is particularly preferable.
In the general formulas (I) and (II), R 1 represents an organic group having a cyclic aliphatic structure having 6 to 13 carbon atoms, and R 2 is a linear hydrocarbon having a number average molecular weight of 700 to 4,500. Represents the structure.

<<イミド樹脂の製造方法>>
前記イミド樹脂の製造方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリイソシアネート化合物(a1)と、線状炭化水素構造を有するポリオール化合物であって、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が300〜6,000のポリオール化合物(a2)とを反応させて得られる末端にイソシアネート基を有するプレポリマー(A)と、3個以上のカルボキシル基を有するポリカルボン酸の酸無水物(B)を有機溶剤中で反応させる方法などが挙げられる。前記製造方法としては、例えば、特許第4217952号に記載の方法を用いることができる。
<< Method for producing imide resin >>
There is no restriction | limiting in particular as a manufacturing method of the said imide resin, According to the objective, it can select suitably, For example, it is a polyol compound which has a polyisocyanate compound (a1) and a linear hydrocarbon structure, Comprising: Prepolymer (A) having an isocyanate group at the terminal obtained by reacting with a polyol compound (a2) having a hydrocarbon structure portion having a number average molecular weight of 300 to 6,000, and a polycarboxylic acid having three or more carboxyl groups Examples thereof include a method of reacting an acid anhydride (B) in an organic solvent. As the manufacturing method, for example, the method described in Japanese Patent No. 4217952 can be used.

具体例としては、炭素原子数が6〜13の環式脂肪族構造を有するジイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネートと線状炭化水素構造を有するポリオール化合物であって、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700〜4,500のポリオール化合物とを反応させて得られる末端にイソシアネート基を有するプレポリマーと、トリカルボン酸の酸無水物を有機溶剤中で反応させる方法などが挙げられる。   Specific examples include a polyisocyanate having an isocyanurate ring derived from a diisocyanate having a cycloaliphatic structure having 6 to 13 carbon atoms and a polyol compound having a linear hydrocarbon structure, which is a linear hydrocarbon. Examples thereof include a method of reacting a prepolymer having an isocyanate group at the terminal obtained by reacting a polyol compound having a number average molecular weight of 700 to 4,500 with a structural portion and an acid anhydride of tricarboxylic acid in an organic solvent. .

−プレポリマー(A)−
−−ポリイソシアネート化合物(a1)−−
前記ポリイソシアネート化合物(a1)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、分子内に2個以上のイソシアネート基を有する化合物が好ましく、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート(環式脂肪族ポリイソシアネートを含む);これらポリイソシアネートのヌレート体、ビュレット体、アダクト体、アロハネート体などが挙げられる。
前記芳香族ポリイソシアネートの具体例としては、例えば、特許第4217952号の段落「0018」に記載された化合物などが挙げられ、前記脂肪族ポリイソシアネートの具体例としては、例えば、特許第4217952号の段落「0019」に記載された化合物などが挙げられる。
-Prepolymer (A)-
--Polyisocyanate compound (a1)-
There is no restriction | limiting in particular as said polyisocyanate compound (a1), Although it can select suitably according to the objective, The compound which has a 2 or more isocyanate group in a molecule | numerator is preferable, for example, aromatic polyisocyanate, fat Group polyisocyanates (including cycloaliphatic polyisocyanates); examples thereof include nurate bodies, burette bodies, adduct bodies, and allohanate bodies of these polyisocyanates.
Specific examples of the aromatic polyisocyanate include, for example, compounds described in paragraph “0018” of Japanese Patent No. 4217952, and specific examples of the aliphatic polyisocyanate include, for example, those of Japanese Patent No. 4217952 Examples include the compounds described in paragraph “0019”.

前記ポリイソシアネート化合物(a1)としては、有機溶剤溶解性やエポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性が良好で、硬化物の誘電率と誘電正接が低いイミド樹脂が得られることから、脂肪族ポリイソシアネートが好ましい。また、硬化物の耐熱性の良好なイミド樹脂が得られることからイソシアヌレート型ポリイソシアネートが好ましい。   As the polyisocyanate compound (a1), an aliphatic polyisocyanate is obtained because an imide resin having good solubility in an organic solvent, compatibility with an epoxy resin or an organic solvent, and a low dielectric constant and dielectric loss tangent of a cured product can be obtained. Is preferred. In addition, an isocyanurate type polyisocyanate is preferable because an imide resin having good heat resistance of the cured product can be obtained.

更に、前記ポリイソシアネート化合物(a1)としては、有機溶剤溶解性やエポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性が良好で、硬化物の誘電率と誘電正接が低く、耐熱性が良好なイミド樹脂が得られることから、脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物(a11)がより好ましく、環式脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物が更に好ましい。前記環式脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物としては、イソシアヌレート環の1モルに対して環式脂肪族構造を2モル倍〜3モル倍有するものが好ましく、2.5モル倍〜3モル倍有するものがより好ましい。   Furthermore, as the polyisocyanate compound (a1), an imide resin having good solubility in organic solvents and compatibility with epoxy resins and organic solvents, low dielectric constant and dielectric loss tangent of cured products, and good heat resistance is obtained. Therefore, the polyisocyanate compound (a11) having an isocyanurate ring derived from an aliphatic polyisocyanate is more preferable, and a polyisocyanate compound having an isocyanurate ring derived from a cyclic aliphatic polyisocyanate is more preferable. The polyisocyanate compound having an isocyanurate ring derived from the cycloaliphatic polyisocyanate preferably has 2 to 3 moles of a cyclic aliphatic structure with respect to 1 mole of the isocyanurate ring. What has 5 mol times-3 mol times is more preferable.

前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、1種又は2種以上の脂肪族ジイソシアネート化合物を、第4級アンモニウム塩等のイソシアヌレート化触媒の存在下あるいは非存在下において、イソシアヌレート化することにより得られるものであって、3量体、5量体、7量体等のイソシアヌレートの混合物からなるものなどが挙げられる。   The polyisocyanate compound (a11) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, one or more aliphatic diisocyanate compounds may be used as an isocyanurate such as a quaternary ammonium salt. Examples thereof include those obtained by isocyanurate formation in the presence or absence of an oxidization catalyst, and composed of a mixture of isocyanurates such as trimer, pentamer, and heptamer.

前記ポリイソシアネート化合物(a11)の具体例としては、イソホロンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネート、水素添加キシレンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネートなどが挙げられる。   Specific examples of the polyisocyanate compound (a11) include isocyanurate type polyisocyanate of isophorone diisocyanate, isocyanurate type polyisocyanate of hexamethylene diisocyanate, isocyanurate type polyisocyanate of hydrogenated xylene diisocyanate, isocyanurate type polyisocyanate of norbornane diisocyanate. An isocyanate etc. are mentioned.

前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、有機溶剤溶解性や硬化物の耐熱性が良好なイミド樹脂が得られることから、ポリイソシアネート化合物(a1)100質量部中に3量体のイソシアヌレートを30質量部以上含有するものが好ましく、50質量部以上含有するものが特に好ましい。   As the polyisocyanate compound (a11), an imide resin having good solubility in organic solvents and heat resistance of a cured product is obtained. Therefore, 30 isocyanurates of trimer are added to 100 parts by mass of the polyisocyanate compound (a1). Those containing at least 50 parts by mass are preferred, and those containing at least 50 parts by mass are particularly preferred.

また、前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、イソシアネート基の含有率が10質量%〜30質量%であることが、有機溶剤溶解性や硬化物の耐熱性が良好なイミド樹脂が得られることからより好ましい。したがって、前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、環式脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物であって、イソシアネート基の含有率が10質量%〜30質量%であるものが特に好ましい。   Moreover, as said polyisocyanate compound (a11), since the content rate of an isocyanate group is 10 mass%-30 mass%, since the imide resin with favorable organic solvent solubility and heat resistance of hardened | cured material is obtained. More preferred. Therefore, the polyisocyanate compound (a11) is a polyisocyanate compound having an isocyanurate ring derived from a cyclic aliphatic polyisocyanate, and the isocyanate group content is 10% by mass to 30% by mass. Is particularly preferred.

前記イソシアヌレート環を有するポリイソシアネートは、他のポリイソシアネートと併用してもよいが、イソシアヌレート型ポリイソシアネートを単独で使用することが好ましい。   The polyisocyanate having an isocyanurate ring may be used in combination with other polyisocyanates, but isocyanurate type polyisocyanates are preferably used alone.

−−ポリイソシアネート化合物(a2)−−
前記ポリオール化合物(a2)は、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が300〜6,000のポリオール化合物であることが好ましく、これらの中でも、有機溶剤溶解性やエポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性と機械物性が良好で、硬化物の誘電率と誘電正接が低く、造膜性に優れるイミド樹脂が得られることから、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700〜4,500のポリオール化合物がより好ましく、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が800〜4,200のポリオール化合物が特に好ましい。線状炭化水素構造部分の数平均分子量が300未満のポリオール化合物であると、硬化物の誘電率と誘電正接が高くなることがあり、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が6,000を超えると、ポリオール化合物では、有機溶剤溶解性やエポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性と機械物性が不良となることがある。
--Polyisocyanate compound (a2)-
The polyol compound (a2) is preferably a polyol compound having a linear hydrocarbon structure portion having a number average molecular weight of 300 to 6,000. Among these, the organic solvent solubility and the phase with an epoxy resin or an organic solvent are preferable. A polyol having a number average molecular weight of 700 to 4,500 in a linear hydrocarbon structure portion because an imide resin having good solubility and mechanical properties, low dielectric constant and dielectric loss tangent of cured product, and excellent film-forming properties can be obtained. A compound is more preferable, and a polyol compound having a linear hydrocarbon structure part number average molecular weight of 800 to 4,200 is particularly preferable. When the number average molecular weight of the linear hydrocarbon structure portion is less than 300, the cured product may have a high dielectric constant and dielectric loss tangent, and the number average molecular weight of the linear hydrocarbon structure portion may be 6,000. If it exceeds, the polyol compound may have poor organic solvent solubility, compatibility with an epoxy resin or an organic solvent, and mechanical properties.

前記ポリオール化合物(a2)としては、例えば、線状炭化水素構造の末端及び/又は側鎖に結合した水酸基を合計で1分子当たり平均1.5個以上有する化合物が挙げられる。前記線状炭化水素構造は、直鎖状でもよいし分岐状でもよい。また、前記線状炭化水素構造は、飽和の炭化水素鎖でもよいし不飽和の炭化水素鎖でもよいが、加熱時の物性変化や安定性の面から飽和の炭化水素鎖がより好ましい。   Examples of the polyol compound (a2) include compounds having an average of 1.5 or more hydroxyl groups bonded to the terminal and / or side chain of the linear hydrocarbon structure in total per molecule. The linear hydrocarbon structure may be linear or branched. The linear hydrocarbon structure may be a saturated hydrocarbon chain or an unsaturated hydrocarbon chain, but a saturated hydrocarbon chain is more preferable from the viewpoint of changes in physical properties and stability during heating.

前記ポリオール化合物(a2)としては、ポリオレフィン構造やポリジエン構造を有するポリオール化合物であって、ポリオレフィン構造やポリジエン構造を有するポリオールの数平均分子量が300〜6,000のポリオール化合物及びその水素添加物が挙げられる。
前記オレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、ブテン、イソブチレン、ペンテン、メチルペンテン等が挙げられ、前記ジエンとしては、例えば、ペンタジエン、ヘキサジエン、ペンタジエン、イソプレン、ブタジエン、プロパジエン、ジメチルブタジエンなどが挙げられる。
Examples of the polyol compound (a2) include polyol compounds having a polyolefin structure or a polydiene structure, wherein the polyol compound having a polyolefin structure or a polydiene structure has a number average molecular weight of 300 to 6,000 and hydrogenated products thereof. It is done.
Examples of the olefin include ethylene, propylene, butene, isobutylene, pentene, and methylpentene. Examples of the diene include pentadiene, hexadiene, pentadiene, isoprene, butadiene, propadiene, and dimethylbutadiene.

前記ポリオール化合物(a2)の具体例としては、ポリエチレン系ポリオール、ポリプロピレン系ポリオール、ポリブタジエンポリオール、水素添加ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール、水素添加ポリイソプレンポリオール等であって、線状炭化水素構造部分の数平均分子量300〜6,000のポリオール化合物が挙げられる。これらは、単独で用いても、2種以上併用してもよい。   Specific examples of the polyol compound (a2) include polyethylene polyol, polypropylene polyol, polybutadiene polyol, hydrogenated polybutadiene polyol, polyisoprene polyol, hydrogenated polyisoprene polyol, etc., and the number of linear hydrocarbon structure portions. Examples include polyol compounds having an average molecular weight of 300 to 6,000. These may be used alone or in combination of two or more.

前記ポリオール化合物(a2)の水酸基の数は、平均1.5個〜3個であることが、ゲル化しにくく、分子成長が良好で、機械物性が優れるイミド樹脂が得られることから好ましい。更に水酸基の数は、平均1.8個〜2.2個のものが特に好ましい。   The number of hydroxyl groups in the polyol compound (a2) is preferably from 1.5 to 3 on average because an imide resin that is difficult to gel, has good molecular growth, and has excellent mechanical properties can be obtained. Further, the number of hydroxyl groups is particularly preferably an average of 1.8 to 2.2.

前記ポリオール化合物(a2)の市販品としては、例えば、日本曹達株式会社製のNISSO PB(Gシリーズ)、出光石油化学株式会社製のPoly−bd等の両末端に水酸基を有する液状ポリブタジエン;日本曹達株式会社製のNISSO PB(GIシリーズ)、三菱化学株式会社製のポリテールH、ポリテールHA等の両末端に水酸基を有する水素添加ポリブタジエン;出光石油化学株式会社製のPoly−iP等の両末端に水酸基を有する液状C5系重合体;出光石油化学株式会社製のエポール、クラレ株式会社製のTH−1、TH−2、TH−3等の両末端に水酸基を有する水素添加ポリイソプレンなどが挙げられる。   Examples of commercially available products of the polyol compound (a2) include liquid polybutadiene having hydroxyl groups at both ends, such as NISSO PB (G series) manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., Poly-bd manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd .; Hydrogenated polybutadiene having hydroxyl groups at both ends such as NISSO PB (GI series) manufactured by Mitsubishi Corporation, Polytail H manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, and Polytail HA; Hydroxyl groups at both ends such as Poly-iP manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd. Examples include liquid C5 polymers having a hydroxyl group; Epole manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd., hydrogenated polyisoprene having hydroxyl groups at both ends such as TH-1, TH-2, TH-3 manufactured by Kuraray Co., Ltd., and the like.

更に、前記ポリオール化合物(a2)としては、前記線状炭化水素構造を有するポリオール化合物に各種多塩基酸やポリイソシアネートを反応させて得られるエステル変性ポリオール化合物やウレタン変性ポリオール化合物も使用可能である。   Furthermore, as the polyol compound (a2), ester-modified polyol compounds and urethane-modified polyol compounds obtained by reacting various polybasic acids and polyisocyanates with the polyol compound having the linear hydrocarbon structure can also be used.

前記ポリオール化合物(a2)としては、ポリブタジエンポリオール及び/又は水素添加ポリブタジエンポリオールが好ましく、水素添加ポリブタジエンポリオールが特に好ましい。   As the polyol compound (a2), polybutadiene polyol and / or hydrogenated polybutadiene polyol are preferable, and hydrogenated polybutadiene polyol is particularly preferable.

前記イミド樹脂において、前記ポリオール化合物(2a)由来の線状炭化水素構造は、イミド結合を有する剛直な骨格間に導入される。
前記ポリオール化合物(a2)のガラス転移点としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、−120℃〜0℃が好ましい。
In the imide resin, the linear hydrocarbon structure derived from the polyol compound (2a) is introduced between rigid skeletons having an imide bond.
There is no restriction | limiting in particular as a glass transition point of the said polyol compound (a2), Although it can select suitably according to the objective, -120 to 0 degreeC is preferable.

前記イミド樹脂の製造において、前記ポリオール化合物(a2)は、本発明の効果を損なわない限り、その他の水酸基含有化合物と併用してもよい。このとき前記その他の水酸基含有化合物は、全水酸基含有化合物中の50質量%以下で使用することが好ましい。   In the production of the imide resin, the polyol compound (a2) may be used in combination with other hydroxyl group-containing compounds as long as the effects of the present invention are not impaired. At this time, the other hydroxyl group-containing compound is preferably used at 50% by mass or less based on the total hydroxyl group-containing compound.

前記その他の水酸基含有化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択でき、飽和のポリオールでも、不飽和のポリオールでも、アルコールでもよいが、ポリオールが好ましい。前記その他の水酸基含有化合物は、例えば、特許第4217952号の段落「0036」〜「0037」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said other hydroxyl-containing compound, According to the objective, it can select suitably, A saturated polyol, unsaturated polyol, or alcohol may be sufficient, However A polyol is preferable. Examples of the other hydroxyl group-containing compounds include compounds described in paragraphs “0036” to “0037” of Japanese Patent No. 4217952.

−ポリカルボン酸の酸無水物(B)−
前記3個以上のカルボキシル基を有するポリカルボン酸の酸無水物(B)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、トリカルボン酸の酸無水物、テトラカルボン酸の酸無水物などが挙げられる。
-Acid anhydride (B) of polycarboxylic acid-
The acid anhydride (B) of the polycarboxylic acid having three or more carboxyl groups is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include tricarboxylic acid anhydrides and tetracarboxylic acids. And acid anhydrides.

前記トリカルボン酸の酸無水物としては、例えば、無水トリメリット酸、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸無水物などが挙げられる。   Examples of the acid anhydride of the tricarboxylic acid include trimellitic anhydride and naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid anhydride.

前記テトラカルボン酸の酸無水物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特許第4217952号の段落「0040」〜「0041」に記載された化合物などが挙げられる。   The acid anhydride of the tetracarboxylic acid is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds described in paragraphs “0040” to “0041” of Japanese Patent No. 4217952. It is done.

前記イミド樹脂の具体例としては、例えば、特許第4217952号の段落「0069」〜「0083」に示されるX−1〜X−8などが挙げられる。また、前記イミド樹脂は、市販品を用いることもでき、例えば、ユニディックV8000シリーズ(DIC株式会社製)などが挙げられる。   Specific examples of the imide resin include, for example, X-1 to X-8 shown in paragraphs “0069” to “0083” of Japanese Patent No. 4217952. Moreover, a commercial item can also be used for the said imide resin, for example, Unidic V8000 series (made by DIC Corporation) etc. are mentioned.

<<イミド樹脂の分子量>>
前記イミド樹脂の分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、数平均分子量が2,000〜30,000で、且つ、重量平均分子量が3,000〜100,000のイミド樹脂が特に好ましい。
なお、前記一般式(II)において、Rは数平均分子量800〜4,200の線状炭化水素構造であることが好ましい。
前記イミド樹脂の数平均分子量及び重量平均分子量は、ゲルパーミネーションクロマトグラフィー(GPC)によりポリスチレン換算の数平均分子量と重量平均分子量を求めることができる。
<< Molecular weight of imide resin >>
The molecular weight of the imide resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. The number average molecular weight is 2,000 to 30,000 and the weight average molecular weight is 3,000 to 100,000. 000 imide resins are particularly preferred.
In the general formula (II), R 2 preferably has a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 800 to 4,200.
The number average molecular weight and the weight average molecular weight of the imide resin can be determined by gel permeation chromatography (GPC) as the number average molecular weight and the weight average molecular weight in terms of polystyrene.

<<イミド樹脂の酸価>>
前記イミド樹脂の酸価としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20mgKOH/g〜250mgKOH/gが好ましい。
なお、前記酸価は、例えば、JIS K0070に準拠して測定することができる。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。
<< Acid value of imide resin >>
There is no restriction | limiting in particular as an acid value of the said imide resin, Although it can select suitably according to the objective, 20 mgKOH / g-250 mgKOH / g are preferable.
In addition, the said acid value can be measured based on JISK0070, for example. However, when the sample does not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran is used as a solvent.

<<イミド樹脂のイソシアヌレート環の濃度>>
前記イミド樹脂のイソシアヌレート環の濃度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.3mmol/g〜1.2mmol/gが好ましい。
なお、前記イミド樹脂のイソシアヌレート環の濃度は、13C−NMR分析(溶媒:重水素化ジメチルスルホキシド(DMSO−d))を行い、149ppmにあるイソシアヌレート環に起因する炭素原子のスペクトル強度から検量線を用いてイミド樹脂1g当たりのイソシアヌレート環の濃度(mmol)を求めることができる。また、13C−NMR分析により169ppmにあるイミド環に起因する炭素原子のスペクトル強度から同様にイミド環の濃度を求めることもできる。
<< Concentration of isocyanurate ring of imide resin >>
There is no restriction | limiting in particular as a density | concentration of the isocyanurate ring of the said imide resin, Although it can select suitably according to the objective, 0.3 mmol / g-1.2 mmol / g are preferable.
The concentration of the isocyanurate ring of the imide resin was determined by performing 13 C-NMR analysis (solvent: deuterated dimethyl sulfoxide (DMSO-d 6 )), and the spectral intensity of carbon atoms caused by the isocyanurate ring at 149 ppm. From this, the concentration (mmol) of the isocyanurate ring per 1 g of the imide resin can be determined using a calibration curve. Moreover, the density | concentration of an imide ring can be similarly calculated | required from the spectral intensity of the carbon atom resulting from an imide ring in 169 ppm by < 13 > C-NMR analysis.

<<イミド樹脂の線状炭化水素構造部分の含有率>>
前記イミド樹脂の線状炭化水素構造部分の含有率としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20質量%〜40質量%が好ましい。
なお、前記イミド樹脂中における線状炭化水素構造部分の含有率と数平均分子量は、イミド樹脂を通常の加水分解法、例えば、有機アミンの存在下で熱処理してウレタン結合を分解して線状炭化水素構造部分を前記イミド樹脂から切り離し、線状炭化水素構造部分がイミド構造部分に比較して低極性であることを利用して、ジクロロメタン等の低極性有機溶剤で線状炭化水素構造部分を抽出し、抽出量の測定とGPC分析とを行うことで求めることができる。
なお、前記イミド樹脂を前記製造方法で製造する場合は、前記イミド樹脂中における線状炭化水素構造部分の含有率は、合成原料中におけるポリオール化合物(a2)の使用重量割合から求めることができ、前記線状炭化水素構造部分の数平均分子量は前記ポリオール化合物(a2)の数平均分子量から求めることができる。
<< Content of linear hydrocarbon structure portion of imide resin >>
There is no restriction | limiting in particular as content rate of the linear hydrocarbon structure part of the said imide resin, Although it can select suitably according to the objective, 20 mass%-40 mass% are preferable.
The content of the linear hydrocarbon structure portion and the number average molecular weight in the imide resin are linear by decomposing urethane bonds by heat treatment of the imide resin in the presence of an organic amine, for example, in the presence of an organic amine. The hydrocarbon structure portion is separated from the imide resin, and the linear hydrocarbon structure portion is less polar than the imide structure portion. It can be obtained by extracting and measuring the amount of extraction and GPC analysis.
In addition, when manufacturing the said imide resin with the said manufacturing method, the content rate of the linear hydrocarbon structure part in the said imide resin can be calculated | required from the use weight ratio of the polyol compound (a2) in a synthetic raw material, The number average molecular weight of the linear hydrocarbon structure portion can be determined from the number average molecular weight of the polyol compound (a2).

<<イミド樹脂におけるウレタン基のモル含有率>>
前記イミド樹脂におけるウレタン基のモル含有率としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5%〜50%が好ましく、10%〜45%がより好ましい。前記含有率が、5%未満であると、充分な耐熱性への効果が現れないことがあり、50%を超えると組成物を乾燥した際に膜にヒビが入るなど脆性に劣ることがある。
なお、前記ウレタン基のモル含有率は、FT−IR(赤外分光法)により測定することができる。
<< Mole content of urethane group in imide resin >>
There is no restriction | limiting in particular as the molar content rate of the urethane group in the said imide resin, Although it can select suitably according to the objective, 5 to 50% is preferable and 10 to 45% is more preferable. If the content is less than 5%, sufficient heat resistance effect may not appear, and if it exceeds 50%, the film may be inferior in brittleness such as cracking when the composition is dried. .
The molar content of the urethane group can be measured by FT-IR (infrared spectroscopy).

<<イミド樹脂の含有量>>
前記イミド樹脂の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2質量%〜40質量%が好ましく、5質量%〜30質量%がより好ましく、5質量%〜25質量%が特に好ましい。前記イミド樹脂の含有量が、2質量%未満であると、耐熱性が悪化することがあり、40質量%を超えると、感光性樹脂組成物を乾燥した際に膜にヒビが入るなど脆性に劣ることがある。
<< Content of imide resin >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said imide resin, Although it can select suitably according to the objective, 2 mass%-40 mass% are preferable, and 5 mass%-30 mass% are preferable. Is more preferable, and 5% by mass to 25% by mass is particularly preferable. When the content of the imide resin is less than 2% by mass, heat resistance may be deteriorated. When it exceeds 40% by mass, the film is cracked when the photosensitive resin composition is dried. May be inferior.

<<ポリウレタン樹脂/イミド樹脂(質量比)>>
また、前記ポリウレタン樹脂と、前記ウレタン結合を有するイミド樹脂の質量比(ポリウレタン樹脂/イミド樹脂)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1〜19が好ましく、1〜10がより好ましく、2〜5が特に好ましい。前記質量比が、1未満であると、現像性が悪化することがあり、19を超えると、パターン形成性、耐クラック性、現像性、絶縁性が悪化することがある。
<< Polyurethane resin / imide resin (mass ratio) >>
Further, the mass ratio of the polyurethane resin and the imide resin having a urethane bond (polyurethane resin / imide resin) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. 1-10 are more preferable and 2-5 are especially preferable. If the mass ratio is less than 1, developability may be deteriorated, and if it exceeds 19, pattern formability, crack resistance, developability, and insulation properties may be deteriorated.

<重合性化合物>
前記重合性化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、分子中に少なくとも1個の付加重合可能な基を有し、沸点が常圧で100℃以上である化合物が好ましく、例えば、(メタ)アクリル基を有するモノマーから選択される少なくとも1種が好適に挙げられる。
<Polymerizable compound>
The polymerizable compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. The compound has at least one addition-polymerizable group in the molecule and has a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. For example, at least one selected from monomers having a (meth) acryl group is preferable.

前記(メタ)アクリル基を有するモノマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグリセリン、ビスフェノールなどの多官能アルコールに、エチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加反応した後で(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報、特開昭51−37193号公報などの各公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報、特公昭52−30490号公報などの各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類などの多官能アクリレートやメタクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレートがより好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as a monomer which has the said (meth) acryl group, According to the objective, it can select suitably, For example, polyethyleneglycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) ) Monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as acrylates; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentylglycol di (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hex (Meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, Polyfunctional alcohols such as glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane, glycerin, bisphenol, and the like, and (meth) acrylated after addition reaction of ethylene oxide or propylene oxide, Japanese Patent Publication No. 48-41708, Japanese Patent Publication Urethane acrylates described in publications such as JP 50-6034 and JP 51-37193; JP 48-64183, JP 49-4319 Polyester acrylates described in various publications such as JP, JP 30-30490, and polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of an epoxy resin and (meth) acrylic acid. It is done. Among these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are more preferable.

<<重合性化合物の含有量>>
前記重合性化合物の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2質量%〜50質量%が好ましく、3質量%〜40質量%がより好ましく、4質量%〜35質量%が特に好ましい。前記重合性化合物の含有量が、2質量%未満であると、パターン形成ができないことがあり、50質量%を超えると、耐クラック性が劣ることがある。一方、前記重合性化合物の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、パターン形成性、耐クラック性が向上する点で有利である。
<< Content of polymerizable compound >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said polymeric compound, Although it can select suitably according to the objective, 2 mass%-50 mass% are preferable, and 3 mass%-40 mass are preferable. % Is more preferable, and 4% by mass to 35% by mass is particularly preferable. When the content of the polymerizable compound is less than 2% by mass, pattern formation may not be possible, and when it exceeds 50% by mass, crack resistance may be inferior. On the other hand, when the content of the polymerizable compound is within the particularly preferable range, it is advantageous in that pattern forming properties and crack resistance are improved.

<光重合開始剤>
前記光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの)、ホスフィンオキサイド、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテルなどが挙げられる。
<Photopolymerization initiator>
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate polymerization of the polymerizable compound, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, a halogenated hydrocarbon derivative (for example, a triazine skeleton) And those having an oxadiazole skeleton), phosphine oxide, hexaarylbiimidazole, oxime derivatives, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketoxime ethers, and the like.

前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)に記載された化合物、英国特許1388492号明細書に記載された化合物、特開昭53−133428号公報に記載された化合物、独国特許3337024号明細書に記載された化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)に記載された化合物、特開昭62−58241号公報に記載された化合物、特開平5−281728号公報に記載された化合物、特開平5−34920号公報に記載された化合物などが挙げられ、前記オキサジアゾール骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、米国特許第4212976号明細書に記載された化合物などが挙げられる。   The halogenated hydrocarbon compound having a triazine skeleton is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc. Japan, 42, 2924 (1969), compounds described in British Patent No. 1388492, compounds described in Japanese Patent Laid-Open No. 53-133428, German Patent No. 3337024 Compounds, F.I. C. J. Schaefer et al. Org. Chem. 29, 1527 (1964), compounds described in JP-A-62-258241, compounds described in JP-A-5-281728, and JP-A-5-34920 Examples of the halogenated hydrocarbon compound having an oxadiazole skeleton include the compounds described in US Pat. No. 4,221,976.

前記オキシム誘導体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0085」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said oxime derivative, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0085" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 etc. are mentioned.

前記ケトン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0087」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said ketone compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0087" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 etc. are mentioned.

また、上記以外の光重合開始剤として、特開2007−2030号公報の段落「0086」に記載された化合物などが挙げられる。   Examples of photopolymerization initiators other than those described above include compounds described in paragraph “0086” of JP-A-2007-2030.

また、後述する感光層への露光における露光感度や感光波長を調整する目的で、前記光重合開始剤に加えて、増感剤を添加することが可能である。
前記増感剤は、後述する光照射手段としての可視光線や紫外光レーザ、可視光レーザなどにより適宜選択することができる。
前記増感剤は、活性エネルギー線により励起状態となり、他の物質(例えば、ラジカル発生剤、酸発生剤など)と相互作用(例えば、エネルギー移動、電子移動など)することにより、ラジカルや酸などの有用基を発生することが可能である。
In addition to the photopolymerization initiator, a sensitizer can be added for the purpose of adjusting the exposure sensitivity and the photosensitive wavelength in exposure to the photosensitive layer described later.
The sensitizer can be appropriately selected by a visible light, an ultraviolet laser, a visible light laser or the like as a light irradiation means described later.
The sensitizer is excited by active energy rays and interacts with other substances (for example, radical generator, acid generator, etc.) (for example, energy transfer, electron transfer, etc.), thereby generating radicals, acids, etc. It is possible to generate a useful group of

前記増感剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0089」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said sensitizer, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0089" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned.

前記光重合開始剤と前記増感剤との組合せとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2001−305734号公報に記載の電子移動型開始系[(1)電子供与型開始剤及び増感色素、(2)電子受容型開始剤及び増感色素、(3)電子供与型開始剤、増感色素及び電子受容型開始剤(三元開始系)]などの組合せが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a combination of the said photoinitiator and the said sensitizer, According to the objective, it can select suitably, For example, the electron transfer type | mold start system of Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-305734 [ (1) Electron donating initiator and sensitizing dye, (2) Electron accepting initiator and sensitizing dye, (3) Electron donating initiator, sensitizing dye and electron accepting initiator (ternary initiation system) ] Etc. are mentioned.

前記増感剤の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性樹脂組成物中の全成分に対し、0.05質量%〜30質量%が好ましく、0.1質量%〜20質量%がより好ましく、0.2質量%〜10質量%が特に好ましい。前記増感剤の含有量が、0.05質量%未満であると、活性エネルギー線への感度が低下し、露光プロセスに時間がかかり、生産性が低下することがあり、30質量%を超えると、保存時に前記感光層から前記増感剤が析出することがある。   There is no restriction | limiting in particular as content of the said sensitizer, Although it can select suitably according to the objective, 0.05 mass%-30 mass% are with respect to all the components in the said photosensitive resin composition. Preferably, 0.1% by mass to 20% by mass is more preferable, and 0.2% by mass to 10% by mass is particularly preferable. When the content of the sensitizer is less than 0.05% by mass, the sensitivity to active energy rays decreases, the exposure process takes time, and the productivity may decrease, exceeding 30% by mass. In some cases, the sensitizer may precipitate from the photosensitive layer during storage.

前記光重合開始剤は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記光重合開始剤の特に好ましい例としては、後述する露光において、波長が405nmのレーザ光に対応可能である、前記ホスフィンオキサイド類、前記α−アミノアルキルケトン類、前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物と後述する増感剤としてのアミン化合物とを組合せた複合光開始剤、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、あるいは、チタノセンなどが挙げられる。
The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
Particularly preferable examples of the photopolymerization initiator include halogenated carbonization having the phosphine oxides, the α-aminoalkyl ketones, and the triazine skeleton, which can cope with laser light having a wavelength of 405 nm in the later-described exposure. Examples include a composite photoinitiator, a hexaarylbiimidazole compound, or titanocene, which is a combination of a hydrogen compound and an amine compound as a sensitizer described later.

<<光重合開始剤の含有量>>
前記光重合開始剤の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.5質量%〜20質量%が好ましく、0.5質量%〜15質量%がより好ましく、1質量%〜10質量%が特に好ましい。前記光重合開始剤の含有量が、0.5質量%未満であると、露光部が現像中に溶出する傾向があり、20質量%を超えると、耐熱性が低下することがある。一方、前記光重合開始剤の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好なパターン形成ができ、耐熱性も良好になる点で有利である。
<< Content of photopolymerization initiator >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said photoinitiator, Although it can select suitably according to the objective, 0.5 mass%-20 mass% are preferable, 0.5 More preferably, 15% by mass to 15% by mass is preferable, and 1% by mass to 10% by mass is particularly preferable. When the content of the photopolymerization initiator is less than 0.5% by mass, the exposed area tends to be eluted during development, and when it exceeds 20% by mass, the heat resistance may be lowered. On the other hand, when the content of the photopolymerization initiator is within the particularly preferable range, it is advantageous in that a good pattern can be formed and heat resistance is also improved.

<熱可塑性エラストマー>
前記感光性樹脂組成物に前記エラストマーを添加することで、前記感光性樹脂組成物に耐熱性、柔軟性及び強靭性を付与することができる。
<Thermoplastic elastomer>
Heat resistance, flexibility, and toughness can be imparted to the photosensitive resin composition by adding the elastomer to the photosensitive resin composition.

前記エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、シリコーン系エラストマーなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
これらのエラストマーは、ハードセグメント成分とソフトセグメント成分から成り立っており、一般に前者が耐熱性、強度に、後者が柔軟性、強靭性に寄与している。また、前記エラストマーの性質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像工程の生産効率性などの点で、アルカリ可溶性又は膨潤性があることが好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as said elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, a styrene elastomer, an olefin elastomer, a urethane elastomer, a polyester elastomer, a polyamide elastomer, an acrylic elastomer, a silicone elastomer Etc. These may be used alone or in combination of two or more.
These elastomers are composed of a hard segment component and a soft segment component. In general, the former contributes to heat resistance and strength, and the latter contributes to flexibility and toughness. Moreover, there is no restriction | limiting in particular as a characteristic of the said elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, it is preferable that it is alkali-soluble or swellable in terms of the production efficiency of a image development process.

<<スチレン系エラストマー>>
前記スチレン系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー、スチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロックコポリマーなどが挙げられる。
また、前記スチレン系エラストマーを構成する成分であるスチレンのほかに、α−メチルスチレン、3−メチルスチレン、4−プロピルスチレン、4−シクロヘキシルスチレン等のスチレン誘導体を用いることができる。
<< Styrenic elastomer >>
There is no restriction | limiting in particular as said styrene-type elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, a styrene-butadiene-styrene block copolymer, a styrene-isoprene-styrene block copolymer, a styrene-ethylene-butylene-styrene block copolymer And styrene-ethylene-propylene-styrene block copolymer.
In addition to styrene which is a component constituting the styrene elastomer, styrene derivatives such as α-methyl styrene, 3-methyl styrene, 4-propyl styrene and 4-cyclohexyl styrene can be used.

前記スチレン系エラストマーとしては、具体的には、市販品として、タフプレン、ソルプレンT、アサプレンT、タフテック(以上、旭化成株式会社製)、エラストマーAR(アロン化成株式会社製)、クレイトンG、過リフレックス(以上、シェルジャパン製)、JSR−TR、TSR−SIS、ダイナロン(以上、日本合成ゴム株式会社製)、デンカSTR(電気化学工業株式会社製)、クインタック(日本ゼオン製)、TPE−SBシリーズ(住友化学株式会社製)、ラバロン(三菱化学株式会社製)、セプトン、ハイブラー(以上、クラレ製)、スミフレックス(住友ベークライト株式会社製)、レオストマー、アクティマー(以上、理研ビニル工業株式会社製)などが挙げられる。   Specific examples of the styrene-based elastomer include commercially available products such as TUFPRENE, SORPRENE T, ASAPRENE T, TUFTEC (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.), Elastomer AR (manufactured by Aron Kasei Co., Ltd.), Kraton G, and Superflex. (Shell Japan), JSR-TR, TSR-SIS, Dynalon (Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), Denka STR (Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.), Quintac (Zeon Japan), TPE-SB Series (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), Lavalon (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), Septon, Hibler (manufactured by Kuraray Co., Ltd.), Sumiflex (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.), Rheostomer, Actimer (manufactured by Riken Vinyl Industries, Ltd. Manufactured).

<<オレフィン系エラストマー>>
前記オレフィン系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、エチレン、プロピレン、1−ブテン、1−ヘキセン、4−メチル−ペンテン等の炭素数2〜20のα−オレフィンの共重合体であり、例えば、エチレン−プロピレン共重合体(EPR)、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体(EPDM)等が挙げられ、また、ジシクロペンタジエン、1,4−ヘキサジエン、シクロオクタジエン、メチレンノルボルネン、エチリデンノルボルネン、ブタジエン、イソプレンなどの炭素数2〜20の非共役ジエンとα−オレフィン共重合体などが挙げられる。
また、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体にメタクリル酸を共重合したカルボキシ変性NBRが挙げられる。具体的には、エチレン・α−オレフィン共重合体ゴム、エチレン・α−オレフィン・非共役ジエン共重合体ゴム、プロピレン・α−オレフィン共重合体ゴム、ブテン・α−オレフィン共重合体ゴムなどが挙げられる。
<< Olefin elastomer >>
There is no restriction | limiting in particular as said olefin type elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, C2-C20, such as ethylene, propylene, 1-butene, 1-hexene, 4-methyl-pentene, etc. α-olefin copolymer, for example, ethylene-propylene copolymer (EPR), ethylene-propylene-diene copolymer (EPDM), etc., and dicyclopentadiene, 1,4-hexadiene, Examples thereof include non-conjugated dienes having 2 to 20 carbon atoms such as cyclooctadiene, methylene norbornene, ethylidene norbornene, butadiene, and isoprene, and α-olefin copolymers.
Moreover, the carboxy modified NBR which copolymerized methacrylic acid to the butadiene-acrylonitrile copolymer is mentioned. Specifically, ethylene / α-olefin copolymer rubber, ethylene / α-olefin / non-conjugated diene copolymer rubber, propylene / α-olefin copolymer rubber, butene / α-olefin copolymer rubber, etc. Can be mentioned.

前記オレフィン系エラストマーとしては、具体的には、市販品として、ミラストマ(三井化学株式会社製)、EXACT(エクソン化学製)、ENGAGE(ダウケミカル製)、R−45HT(出光興産株式会社製)、BAC−45(大阪有機化学工業株式会社製)、PB3600(ダイセル化学工業株式会社工業製)、水添スチレン−ブタジエンラバー(DYNABON HSBR 日本合成ゴム株式会社製)、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体(NBRシリーズ 日本合成ゴム株式会社製)、あるいは架橋点を有する両末端カルボキシル基変性ブタジエン−アクリロニトリル共重合体(XERシリーズ 日本合成ゴム株式会社製)などが挙げられる。   Specifically, as the olefin-based elastomer, commercially available products include milastoma (manufactured by Mitsui Chemicals), EXACT (manufactured by Exxon Chemical), ENGAGE (manufactured by Dow Chemical), R-45HT (manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), BAC-45 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industries, Ltd.), PB3600 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), hydrogenated styrene-butadiene rubber (DYNABON HSBR, manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), butadiene-acrylonitrile copolymer (NBR series) Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), or both-end carboxyl group-modified butadiene-acrylonitrile copolymers having a crosslinking point (XER series, Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.).

<<ウレタン系エラストマー>>
前記ウレタン系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、低分子のグリコールとジイソシアネートからなるハードセグメントと高分子(長鎖)ジオールとジイソシアネートからなるソフトセグメントとの構造単位からなり、高分子(長鎖)ジオールとしてポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレンオキサイド、ポリ(1,4−ブチレンアジペート)、ポリ(エチレン・1,4−ブチレンアジペート)、ポリカプロラクトン、ポリ(1,6−ヘキシレンカーボネート)、ポリ(1,6−ヘキシレン・ネオペンチレンアジペート)などが挙げられる。
<< Urethane elastomer >>
The urethane-based elastomer is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. For example, a hard segment composed of a low molecular glycol and a diisocyanate, and a soft segment composed of a high molecular (long chain) diol and a diisocyanate As a polymer (long chain) diol, polypropylene glycol, polytetramethylene oxide, poly (1,4-butylene adipate), poly (ethylene / 1,4-butylene adipate), polycaprolactone, poly (1 , 6-hexylene carbonate), poly (1,6-hexylene neopentylene adipate) and the like.

前記高分子(長鎖)ジオールの数平均分子量としては、500〜10,000が好ましく、エチレングリコールの他に、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、ビスフェノールA等の短鎖ジオールを用いることができ、短鎖ジオールの数平均分子量は、48〜500が好ましい。前記ウレタンエラストマーの市販品としては、PANDEX T−5205LL、T−5210、T−5265L、T−R01、T−2185、T−2983N(DIC株式会社製)、シラクトランE790などが挙げられる。   The number average molecular weight of the polymer (long chain) diol is preferably 500 to 10,000, and in addition to ethylene glycol, short chain diols such as propylene glycol, 1,4-butanediol, and bisphenol A may be used. The number average molecular weight of the short-chain diol is preferably 48 to 500. Examples of commercially available urethane elastomers include PANDEX T-5205LL, T-5210, T-5265L, T-R01, T-2185, T-2983N (manufactured by DIC Corporation), and Syractran E790.

<<ポリエステル系エラストマー>>
前記ポリエステル系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ジカルボン酸又はその誘導体及びジオール化合物又はその誘導体を重縮合して得られるものが挙げられる。
前記ジカルボン酸としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸及びこれらの芳香核の水素原子がメチル基、エチル基、フェニル基等で置換された芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデカンジカルボン酸等の炭素数2〜20の脂肪族ジカルボン酸、及びシクロヘキサンジカルボン酸などの脂環式ジカルボン酸などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。
<< Polyester elastomer >>
There is no restriction | limiting in particular as said polyester-type elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, what is obtained by polycondensing dicarboxylic acid or its derivative (s) and a diol compound or its derivative (s) is mentioned.
Examples of the dicarboxylic acid include aromatic dicarboxylic acids such as terephthalic acid, isophthalic acid, and naphthalenedicarboxylic acid, and aromatic dicarboxylic acids in which hydrogen atoms of these aromatic nuclei are substituted with a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, and the like. Examples thereof include aliphatic dicarboxylic acids having 2 to 20 carbon atoms such as adipic acid, sebacic acid and dodecanedicarboxylic acid, and alicyclic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid. These may be used alone or in combination of two or more.

前記ジオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,10−デカンジオール、1,4−シクロヘキサンジオールなどの脂肪族ジオール及び脂環式ジオール、下記構造式で表される二価フェノールなどが挙げられる。   Examples of the diol compound include aliphatic diols such as ethylene glycol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, 1,10-decanediol, and 1,4-cyclohexanediol. And alicyclic diols and dihydric phenols represented by the following structural formulas.

但し、前記構造式中、Yは、炭素原子数1〜10のアルキレン基、炭素原子数4〜8のシクロアルキレン基、−O−、−S−、及び−SO−のいずれかを表すか、ベンゼン環同士の直接結合を表す。R及びRは、ハロゲン又は炭素原子数1〜12のアルキル基を表す。l及びmは、0〜4の整数を表し、pは、0又は1である。 However, in the structural formula, Y represents any one of an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkylene group having 4 to 8 carbon atoms, —O—, —S—, and —SO 2 —. Represents a direct bond between benzene rings. R 1 and R 2 represent halogen or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. l and m represent an integer of 0 to 4, and p is 0 or 1.

前記ポリエステルエラストマーの具体例としては、ビスフェノールA、ビス−(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス−(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)プロパン、レゾルシンなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上併用して用いてもよい。
また、前記ポリエステルエラストマーとして、芳香族ポリエステル(例えば、ポリブチレンテレフタレート)部分をハードセグメント成分に、脂肪族ポリエステル(例えば、ポリテトラメチレングリコール)部分をソフトセグメント成分にしたマルチブロック共重合体を用いることもできる。
前記マルチブロック共重合体としては、ハードセグメントとソフトセグメントとの種類、比率、及び分子量の違いによりさまざまなグレードのものが挙げられる。具体例としては、ハイトレル(デュポン−東レ株式会社製)、ペルプレン(東洋紡績株式会社製)、エスペル(日立化成工業株式会社製)などが挙げられる。
Specific examples of the polyester elastomer include bisphenol A, bis- (4-hydroxyphenyl) methane, bis- (4-hydroxy-3-methylphenyl) propane, and resorcin. These may be used alone or in combination of two or more.
Further, as the polyester elastomer, a multi-block copolymer having an aromatic polyester (for example, polybutylene terephthalate) portion as a hard segment component and an aliphatic polyester (for example, polytetramethylene glycol) portion as a soft segment component is used. You can also.
Examples of the multi-block copolymer include various grades depending on the types, ratios, and molecular weights of the hard segment and the soft segment. Specific examples include Hytrel (manufactured by DuPont-Toray Industries, Inc.), Perprene (manufactured by Toyobo Co., Ltd.), Espel (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and the like.

<<ポリアミド系エラストマー>>
前記ポリアミド系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ハード相にポリアミドを、ソフト相にポリエーテルやポリエステルを用いたポリエーテルブロックアミド型とポリエーテルエステルブロックアミド型の2種類に大別され、ポリアミドとしては、ポリアミド−6、11、12などが用いられ、ポリエーテルとしては、ポリオキシエチレン、ポリオキシプロピレン、ポリテトラメチレングリコールなどが用いられる。具体的には、市販品として、UBEポリアミドエラストマ(宇部興産株式会社製)、ダイアミド(ダイセルヒュルス株式会社製)、PEBAX(東レ株式会社製)、グリロンELY(エムスジャパン株式会社製)、ノパミッド(三菱化学株式会社製)、グリラックス(DIC株式会社製)、TAPE−617(富士化成製)などが挙げられる。
<< Polyamide elastomer >>
There is no restriction | limiting in particular as said polyamide-type elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, the polyether block amide type | mold and polyether ester which used polyamide for the hard phase, and used polyether and polyester for the soft phase. The polyamide is roughly classified into two types of block amide type, and polyamide-6, 11, 12 or the like is used as the polyamide, and polyoxyethylene, polyoxypropylene, polytetramethylene glycol or the like is used as the polyether. Specifically, as commercially available products, UBE polyamide elastomer (manufactured by Ube Industries Co., Ltd.), Daiamide (manufactured by Daicel Huls Co., Ltd.), PEBAX (manufactured by Toray Industries, Inc.), Grilon ELY (manufactured by MMS Japan Co., Ltd.), Nopamid ( Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), Relax (DIC Co., Ltd.), TAPE-617 (Fuji Kasei Co., Ltd.) and the like.

<<アクリル系エラストマー>>
前記アクリル系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アクリル酸エステルを主成分とし、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、メトキシエチルアクリレート、エトキシエチルアクリレートなどが挙げられ、また、架橋点モノマーとして、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテルなどが挙げられる。更に、アクリロニトリルやエチレンを共重合することもできる。具体的には、アクリロニトリル−ブチルアクリレート共重合体、アクリロニトリル−ブチルアクリレート−エチルアクリレート共重合体、アクリロニトリル−ブチルアクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体などが挙げられる。具体的には、市販品として、LAポリマー(クラレ株式会社製)などが挙げられる。
<< Acrylic elastomer >>
The acrylic elastomer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. Examples thereof include ethyl acrylate, butyl acrylate, methoxyethyl acrylate, ethoxyethyl acrylate, and the like based on an acrylic ester. Examples of the crosslinking point monomer include glycidyl methacrylate and allyl glycidyl ether. Furthermore, acrylonitrile and ethylene can be copolymerized. Specific examples include acrylonitrile-butyl acrylate copolymer, acrylonitrile-butyl acrylate-ethyl acrylate copolymer, acrylonitrile-butyl acrylate-glycidyl methacrylate copolymer, and the like. Specifically, LA polymer (made by Kuraray Co., Ltd.) etc. are mentioned as a commercial item.

<<シリコーン系エラストマー>>
前記シリコーン系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、オルガノポリシロキサンを主成分としたもので、ポリジメチルシロキサン系、ポリメチルフェニルシロキサン系、ポリジフェニルシロキサンなどが挙げられる。市販品の具体例としては、KEシリーズ、X−22−169B、X−22−164B、X−22−9002(信越化学工業株式会社製)、BYシリーズ、SFシリーズ(以上、東レダウコーニングシリコーン株式会社製)などが挙げられる。
<< Silicone-based elastomer >>
The silicone elastomer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, the silicone elastomer is mainly composed of organopolysiloxane, such as polydimethylsiloxane, polymethylphenylsiloxane, polydiphenylsiloxane. Etc. Specific examples of commercially available products include KE series, X-22-169B, X-22-164B, X-22-9002 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), BY series, SF series (above, Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.) Company-made).

また、前記エラストマー以外に、ゴム変性したエポキシ樹脂を用いることができる。ゴム変性したエポキシ樹脂は、例えば、上述のビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、サリチルアルデヒド型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂あるいはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂の一部又は全部のエポキシ基を両末端カルボン酸変性型ブタジエン−アクリロニトリルゴム、末端アミノ変性シリコーンゴム等で変性することによって得られる。これらのエラストマーの中で、せん断接着性の点で、両末端カルボキシル基変性ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、ヒドロキシル基を有するポリエステル系エラストマー、可溶性ポリウレタンエラストマーであるパンデックスTシリーズ(DIC株式会社製)が好ましい。   In addition to the elastomer, a rubber-modified epoxy resin can be used. The rubber-modified epoxy resin includes, for example, a part or all of the epoxy groups of the bisphenol F type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, salicylaldehyde type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin or cresol novolac type epoxy resin. It is obtained by modifying with a terminal carboxylic acid-modified butadiene-acrylonitrile rubber, a terminal amino-modified silicone rubber or the like. Among these elastomers, in terms of shear adhesion, Pandex T series (manufactured by DIC Corporation), which is a carboxyl group-modified butadiene-acrylonitrile copolymer, a polyester-based elastomer having a hydroxyl group, and a soluble polyurethane elastomer, is available. preferable.

<<エラストマーの含有量>>
前記エラストマーの前記感光性樹脂組成物における含有量としては、前記感光性樹脂組成物100質量部に対して、1質量部〜50質量部が好ましく、2質量部〜20質量部がより好ましく、3質量部〜10質量部が特に好ましい。前記含有量が、1質量部未満であると、耐クラック性が劣ることができないことがあり、50質量部を超えると、未露光部が現像液で溶出しない傾向がある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、現像性や耐クラック性が向上する点で有利である。
<< Elastomer content >>
As content in the said photosensitive resin composition of the said elastomer, 1 mass part-50 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts of the said photosensitive resin compositions, 2 mass parts-20 mass parts are more preferable, 3 Part by mass to 10 parts by mass are particularly preferred. If the content is less than 1 part by mass, the crack resistance may not be inferior, and if it exceeds 50 parts by mass, the unexposed part tends not to be eluted with the developer. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, it is advantageous in terms of improving developability and crack resistance.

<熱硬化促進剤>
前記熱硬化促進剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0101」に記載された化合物が挙げられる。
<Thermosetting accelerator>
There is no restriction | limiting in particular as said thermosetting accelerator, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound described in Paragraph "0101" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 is mentioned.

<<熱硬化促進剤の含有量>>
前記熱硬化促進剤の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.01質量%〜20質量%が好ましく、0.05質量%〜15質量%がより好ましく、0.1質量%〜10質量%が特に好ましい。前記熱硬化促進剤の含有量が、0.01質量%未満であると、硬化膜の強靭性を発現することができないことがあり、20質量%を超えると、感光性樹脂組成物の保存安定性が悪化することがある。一方、前記熱硬化促進剤の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、感光性樹脂組成物の保存安定性、硬化膜物性が向上する点で有利である。
<< Content of thermosetting accelerator >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said thermosetting accelerator, Although it can select suitably according to the objective, 0.01 mass%-20 mass% are preferable, 0.05 More preferably, 15% by mass to 15% by mass is preferable, and 0.1% by mass to 10% by mass is particularly preferable. When the content of the thermosetting accelerator is less than 0.01% by mass, the toughness of the cured film may not be expressed, and when it exceeds 20% by mass, the storage stability of the photosensitive resin composition is stabilized. Sexuality may worsen. On the other hand, when the content of the thermosetting accelerator is within the particularly preferable range, it is advantageous in that the storage stability and the cured film physical properties of the photosensitive resin composition are improved.

<密着促進剤>
前記密着促進剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0108」に記載された化合物が挙げられる。
<Adhesion promoter>
There is no restriction | limiting in particular as said adhesion promoter, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound described in Paragraph "0108" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 is mentioned.

<<密着促進剤の含有量>>
前記密着促進剤の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.01質量%〜20質量%が好ましく、0.05質量%〜15質量%がより好ましく、0.1質量%〜10質量%が特に好ましい。前記密着促進剤の含有量が、0.01質量%未満であると、硬化膜の強靭性を発現することができないことがあり、20質量%を超えると、感光性樹脂組成物の保存性が悪化することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、感光性樹脂組成物の保存安定性、硬化膜物性が向上する点で有利である。
<< Content of adhesion promoter >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said adhesion promoter, Although it can select suitably according to the objective, 0.01 mass%-20 mass% are preferable, 0.05 mass % To 15% by mass is more preferable, and 0.1% to 10% by mass is particularly preferable. When the content of the adhesion promoter is less than 0.01% by mass, it may not be possible to express the toughness of the cured film. May get worse. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, it is advantageous in that the storage stability and the cured film properties of the photosensitive resin composition are improved.

<熱重合禁止剤>
前記密着促進剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0113」に記載された化合物が挙げられる。
<Thermal polymerization inhibitor>
There is no restriction | limiting in particular as said adhesion promoter, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound described in Paragraph "0113" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 is mentioned.

<無機充填剤>
前記無機充填剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、平均粒径(d50)が0.2μm〜3.0μmであるシリカ粒子を含有することが好ましい。前記無機充填剤がシリカ粒子を含有することにより、硬化膜の耐熱性を向上させるとともに、ポリウレタン樹脂との分散性が良好となり、感光性樹脂組成物の粘度を好適な範囲に維持することができ、好適な塗布適性が得られる。
<Inorganic filler>
There is no restriction | limiting in particular as said inorganic filler, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable to contain the silica particle whose average particle diameter (d50) is 0.2 micrometer-3.0 micrometers. When the inorganic filler contains silica particles, the heat resistance of the cured film is improved, the dispersibility with the polyurethane resin is improved, and the viscosity of the photosensitive resin composition can be maintained in a suitable range. , Suitable applicability is obtained.

前記シリカ粒子におけるシリカとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択でき、例えば、気相法シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカなどが挙げられる。
前記シリカ粒子の平均粒径(d50)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.2μm〜3.0μmが好ましく、0.3μm〜2.5μmがより好ましく、0.5μm〜2.5μmが特に好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as a silica in the said silica particle, According to the objective, it can select suitably, For example, vapor phase method silica, crystalline silica, fused silica etc. are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as an average particle diameter (d50) of the said silica particle, Although it can select suitably according to the objective, 0.2 micrometer-3.0 micrometers are preferable, and 0.3 micrometer-2.5 micrometers are more preferable. 0.5 μm to 2.5 μm is particularly preferable.

前記シリカ粒子の平均粒径(d50)が、0.2μm未満であると、塗布粘度が高くなることがあり、3.0μmを超えると、平滑性を維持することができないことがある。一方、前記シリカ粒子の平均粒径(d50)が、前記特に好ましい範囲内であると、塗布粘度と硬化膜の平滑性や耐熱性の点で有利である。
なお、前記シリカ粒子の平均粒径(d50)は、積算(累積)質量百分率で表したときの積算値50%の粒度で定義されるもので、d50(D50)などと定義されるものであり、例えば、ダイナミック光散乱光度計(商品名DLS7000、大塚電子株式会社製)を用いて、測定原理を動的光散乱法とし、サイズ分布解析手法をキュムラント法及び/又はヒストグラム法として、測定することができる。
When the average particle diameter (d50) of the silica particles is less than 0.2 μm, the coating viscosity may be high, and when it exceeds 3.0 μm, the smoothness may not be maintained. On the other hand, when the average particle diameter (d50) of the silica particles is within the particularly preferable range, it is advantageous in terms of coating viscosity, smoothness of a cured film and heat resistance.
The average particle size (d50) of the silica particles is defined as a particle size of an integrated value of 50% when expressed as an integrated (cumulative) mass percentage, and is defined as d50 (D 50 ) or the like. Yes, for example, using a dynamic light scattering photometer (trade name DLS7000, manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the measurement principle is a dynamic light scattering method, and the size distribution analysis method is a cumulant method and / or a histogram method. be able to.

<<無機充填剤の含有量>>
前記シリカ粒子の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1質量%〜50質量%が好ましく、3質量%〜50質量%がより好ましく、5質量%〜45質量%が特に好ましい。前記シリカ粒子の含有量が、1質量%未満であると、耐熱性が劣ることがあり、50質量%を超えると、パターン形成性が劣ることがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、パターン形成性と耐熱性が向上する点で有利である。
<< Content of inorganic filler >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said silica particle, Although it can select suitably according to the objective, 1 mass%-50 mass% are preferable, and 3 mass%-50 mass% are preferable. Is more preferable, and 5% by mass to 45% by mass is particularly preferable. When the content of the silica particles is less than 1% by mass, the heat resistance may be inferior, and when it exceeds 50% by mass, the pattern formability may be inferior. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, it is advantageous in that the pattern formability and heat resistance are improved.

<着色剤>
前記着色剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、着色顔料や、公知の染料の中から、適宜選択した染料を使用することができる。
前記着色顔料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0106」に記載された化合物が挙げられる。
前記着色剤の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
<Colorant>
There is no restriction | limiting in particular as said coloring agent, According to the objective, it can select suitably, The dye selected suitably from a coloring pigment and well-known dye can be used.
There is no restriction | limiting in particular as said coloring pigment, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound described in Paragraph "0106" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 is mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said coloring agent, According to the objective, it can select suitably.

<有機溶剤>
前記有機溶剤は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開平11−240930号公報の段落「0043」に記載された化合物、特開2007−2030号公報の段落「0121」に記載された化合物などが挙げられる。
<Organic solvent>
The organic solvent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds described in paragraph “0043” of JP-A No. 11-240930 and paragraphs of JP-A No. 2007-2030. And the compounds described in “0121”.

<<有機溶剤の含有量>>
前記有機溶剤の前記感光性樹脂組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1質量%〜80質量%が好ましく、2質量%〜70質量%がより好ましく、3質量%〜60質量%が特に好ましい。前記有機溶剤の含有量が、1質量%未満であると、組成物の粘度が高く塗膜の形成が困難になることがあり、80質量%を超えると、所望の膜厚の制御が困難になることがある。一方、前記有機溶剤の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、塗膜製造適性の点で有利である。
<< Content of organic solvent >>
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive resin composition of the said organic solvent, Although it can select suitably according to the objective, 1 mass%-80 mass% are preferable, and 2 mass%-70 mass% are preferable. Is more preferable, and 3% by mass to 60% by mass is particularly preferable. When the content of the organic solvent is less than 1% by mass, the viscosity of the composition may be high and it may be difficult to form a coating film. When the content exceeds 80% by mass, it is difficult to control the desired film thickness. May be. On the other hand, when the content of the organic solvent is within the particularly preferable range, it is advantageous from the viewpoint of coating film production suitability.

<その他の成分>
前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ベントン、モンモリロナイト、エアロゾル、アミドワックス等のチキソ性付与剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤、レベリング剤のような添加剤類を用いることができる。
<Other ingredients>
The other components are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include thixotropic agents such as benton, montmorillonite, aerosol, amide wax, silicone-based, fluorine-based, polymer-based, etc. Additives such as antifoaming agents and leveling agents can be used.

(感光性ソルダーレジスト組成物)
本発明の感光性ソルダーレジスト組成物は、前記本発明の感光性樹脂組成物を含有するものである。
本発明の感光性ソルダーレジスト組成物によれば、パターン形成性、耐クラック性、耐熱性、電気絶縁性、現像性、機械物性に優れたソルダーレジストを得ることができる。
本発明の感光性ソルダーレジスト組成物には、前記感光性樹脂組成物とともに、従来のアルカリ可溶性光架橋性樹脂を混合して使用することができる。
前記アルカリ可溶性光架橋性樹脂とは、分子中にアルカリ可溶基と光重合に関与する架橋性基を含有する1%炭酸ソーダ水溶液(pH=10)に可溶性の樹脂である。
前記従来のアルカリ可溶性光架橋性樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0050」〜「0070」に記載されたものなどが挙げられる。
(Photosensitive solder resist composition)
The photosensitive solder resist composition of the present invention contains the photosensitive resin composition of the present invention.
According to the photosensitive solder resist composition of the present invention, a solder resist having excellent pattern formability, crack resistance, heat resistance, electrical insulation, developability, and mechanical properties can be obtained.
In the photosensitive solder resist composition of the present invention, a conventional alkali-soluble photocrosslinkable resin can be mixed and used together with the photosensitive resin composition.
The alkali-soluble photocrosslinkable resin is a resin that is soluble in a 1% aqueous sodium carbonate solution (pH = 10) containing an alkali-soluble group and a crosslinkable group involved in photopolymerization in the molecule.
The conventional alkali-soluble photocrosslinkable resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, it is described in paragraphs “0050” to “0070” of JP-A-2007-2030. Things.

(感光性ソルダーレジストフィルム)
本発明の感光性ソルダーレジスト組成物は、導体配線の形成された基板上に塗布乾燥することにより液状レジストとしても使用可能であるが、感光性ソルダーレジストフィルムの製造に特に有用である。
前記感光性ソルダーレジストフィルムは、図1に示すように、少なくとも支持体1と、感光層2とを有してなり、好ましくは保護フィルム3を有してなり、更に必要に応じて、クッション層、酸素遮断層(以下「PC層」と省略することがある。)などのその他の層を有してなる。
前記感光性トフィルムの形態としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記支持体上に、前記感光層、前記保護膜フィルムをこの順に有してなる形態、前記支持体上に、前記PC層、前記感光性層、前記保護フィルムをこの順に有してなる形態、前記支持体上に、前記クッション層、前記PC層、前記感光層、前記保護フィルムをこの順に有してなる形態などが挙げられる。なお、前記感光層は、単層であってもよいし、複数層であってもよい。
(Photosensitive solder resist film)
The photosensitive solder resist composition of the present invention can be used as a liquid resist by coating and drying on a substrate on which a conductor wiring is formed, but is particularly useful for the production of a photosensitive solder resist film.
As shown in FIG. 1, the photosensitive solder resist film has at least a support 1 and a photosensitive layer 2, preferably a protective film 3, and, if necessary, a cushion layer. And other layers such as an oxygen blocking layer (hereinafter sometimes abbreviated as “PC layer”).
The form of the photosensitive film is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. For example, the photosensitive layer and the protective film are provided in this order on the support, The PC layer, the photosensitive layer, and the protective film are provided in this order on the support, and the cushion layer, the PC layer, the photosensitive layer, and the protective film are provided on the support. The form etc. which have in order are mentioned. The photosensitive layer may be a single layer or a plurality of layers.

<支持体>
前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光層を剥離可能であり、かつ光の透過性が良好であるのが好ましく、更に表面の平滑性が良好であるのがより好ましい。
<Support>
The support is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. However, it is preferable that the photosensitive layer can be peeled off and that light transmittance is good, and that the surface is smooth. Is more preferable.

前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、透明な合成樹脂製フィルムが挙げられる。
前記透明な合成樹脂製フィルムとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、ポリ(メタ)アクリル酸アルキルエステル、ポリ(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、セロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド、ポリイミド、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリテトラフロロエチレン、ポリトリフロロエチレン、セルロース系フィルム、ナイロンフィルム等の各種のプラスチックフィルムなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、前記透明な合成樹脂製フィルムは、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。
前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開平4−208940号公報、特開平5−80503号公報、特開平5−173320号公報、特開平5−72724号公報などに記載の支持体などが挙げられる。
There is no restriction | limiting in particular as said support body, According to the objective, it can select suitably, For example, a transparent synthetic resin film is mentioned.
The transparent synthetic resin film is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polypropylene, polyethylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate, poly (meta) ) Acrylic acid alkyl ester, poly (meth) acrylic acid ester copolymer, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polystyrene, cellophane, polyvinylidene chloride copolymer, polyamide, polyimide, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer, Examples include various plastic films such as polytetrafluoroethylene, polytrifluoroethylene, cellulose-based films, and nylon films. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, the transparent synthetic resin film is preferably polyethylene terephthalate.
The support is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, JP-A-4-208940, JP-A-5-80503, JP-A-5-173320, JP-A-5-173320 Examples include the support described in JP-A-5-72724.

前記支持体の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、4μm〜300μmが好ましく、5μm〜175μmがより好ましい。
前記支持体の形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、長尺状が好ましい。前記長尺状の支持体の長さとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、10m〜20,000mが好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, 4 micrometers-300 micrometers are preferable, and 5 micrometers-175 micrometers are more preferable.
There is no restriction | limiting in particular as a shape of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, A long shape is preferable. There is no restriction | limiting in particular as the length of the said elongate support body, Although it can select suitably according to the objective, 10m-20,000m are preferable.

<感光層>
前記層は、本発明の前記感光性ソルダーレジスト組成物により形成される。
前記感光層の前記感光性フィルムにおいて設けられる箇所としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、通常、前記支持体上に積層される。
<Photosensitive layer>
The layer is formed by the photosensitive solder resist composition of the present invention.
There is no restriction | limiting in particular as a location provided in the said photosensitive film of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, Usually, it laminates | stacks on the said support body.

前記感光層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、3μm〜100μmが好ましく、5μm〜70μmがより好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, 3 micrometers-100 micrometers are preferable, and 5 micrometers-70 micrometers are more preferable.

前記感光層の形成方法としては、前記支持体の上に、本発明の前記感光性ソルダーレジスト組成物を、水又は溶剤に溶解、乳化又は分散させて感光性ソルダーレジスト組成物溶液を調製し、該溶液を直接塗布し、乾燥させることにより積層する方法が挙げられる。   As the method for forming the photosensitive layer, a photosensitive solder resist composition solution is prepared by dissolving, emulsifying, or dispersing the photosensitive solder resist composition of the present invention in water or a solvent on the support, The method of laminating | stacking by apply | coating this solution directly and drying is mentioned.

前記感光性ソルダーレジスト組成物溶液の溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、sec−ブタノール、n−ヘキサノール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジイソブチルケトン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸−n−アミル、硫酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安息香酸エチル、及びメトキシプロピルアセテート等のエステル類;トルエン、キシレン、ベンゼン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;四塩化炭素、トリクロロエチレン、クロロホルム、1,1,1−トリクロロエタン、塩化メチレン、モノクロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素類;テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール等のエーテル類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、スルホランなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。また、公知の界面活性剤を添加してもよい。これらの中でも、メチルエチルケトン、メトキシプロピルアセテート、これらの混合溶剤などが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as a solvent of the said photosensitive soldering resist composition solution, According to the objective, it can select suitably, For example, methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, sec-butanol, n Alcohols such as hexanol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, diisobutyl ketone; ethyl acetate, butyl acetate, acetic acid-n-amyl, methyl sulfate, ethyl propionate, dimethyl phthalate, ethyl benzoate Esters such as methoxypropyl acetate; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, benzene, ethylbenzene; carbon tetrachloride, trichloroethylene, chloroform, 1,1,1-trichloroethane, methylene chloride, monochloro Halogenated hydrocarbons such as benzene; ethers such as tetrahydrofuran, diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 1-methoxy-2-propanol; dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, sulfolane, etc. Can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. Moreover, you may add a well-known surfactant. Among these, methyl ethyl ketone, methoxypropyl acetate, a mixed solvent thereof and the like are preferable.

前記感光性ソルダーレジスト組成物溶液の固形分濃度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、10質量%〜90質量%が好ましく、15質量%〜50質量%がより好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as solid content concentration of the said photosensitive soldering resist composition solution, Although it can select suitably according to the objective, 10 mass%-90 mass% are preferable, and 15 mass%-50 mass% are More preferred.

前記塗布の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スピンコーター、スリットスピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーターなどを用いて、前記支持体に直接塗布する方法が挙げられる。
前記乾燥の条件としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、各成分、溶媒の種類、使用割合などによっても異なるが、通常、60℃〜110℃の温度で30秒間〜15分間程度である。
The application method is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, using a spin coater, slit spin coater, roll coater, die coater, curtain coater, etc. The method of apply | coating is mentioned.
The drying conditions are not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. The conditions vary depending on each component, the type of solvent, the ratio of use, etc., but usually at a temperature of 60 ° C. to 110 ° C. for 30 seconds. ~ 15 minutes.

<保護フィルム>
前記保護フィルムは、前記感光層の汚れや損傷を防止し、保護する機能を有する。
前記保護フィルムの前記感光性フィルムにおいて設けられる箇所としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、通常、前記感光層上に設けられる。
前記保護フィルムとしては、例えば、前記支持体に使用されるもの、シリコーン紙、ポリエチレン、ポリプロピレンがラミネートされた紙、ポリオレフィン又はポリテトラフルオルエチレンシートなどが挙げられる。これらの中でも、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが好ましい。
前記保護フィルムの厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5μm〜100μmが好ましく、8μm〜30μmがより好ましい。
<Protective film>
The protective film has a function of preventing and protecting the photosensitive layer from being stained and damaged.
There is no restriction | limiting in particular as a location provided in the said photosensitive film of the said protective film, Although it can select suitably according to the objective, Usually, it provides on the said photosensitive layer.
Examples of the protective film include those used for the support, silicone paper, polyethylene, paper laminated with polypropylene, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet. Among these, a polyethylene film and a polypropylene film are preferable.
There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said protective film, Although it can select suitably according to the objective, 5 micrometers-100 micrometers are preferable, and 8 micrometers-30 micrometers are more preferable.

前記保護フィルムを用いる場合、前記感光層及び前記支持体の接着力Aと、前記感光層及び保護フィルムの接着力Bとが、接着力A>接着力Bの関係であることが好ましい。
前記支持体と保護フィルムとの組合せ(支持体/保護フィルム)としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレン、ポリ塩化ビニル/セロフアン、ポリイミド/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレンテレフタレートなどが挙げられる。
また、支持体及び保護フィルムの少なくともいずれかを表面処理することにより、上述のような接着力の関係を満たすことができる。前記支持体の表面処理は、前記感光層との接着力を高めるために施されてもよく、例えば、下塗層の塗設、コロナ放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、高周波照射処理、グロー放電照射処理、活性プラズマ照射処理、レーザ光線照射処理などを挙げることができる。
When the protective film is used, it is preferable that the adhesive force A between the photosensitive layer and the support and the adhesive force B between the photosensitive layer and the protective film satisfy the relationship of adhesive force A> adhesive force B.
Examples of the combination of the support and the protective film (support / protective film) include polyethylene terephthalate / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene, polyvinyl chloride / cellophane, polyimide / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene terephthalate, and the like. .
Moreover, the relationship of the above adhesive forces can be satisfy | filled by surface-treating at least any one of a support body and a protective film. The surface treatment of the support may be performed in order to increase the adhesive force with the photosensitive layer. For example, coating of a primer layer, corona discharge treatment, flame treatment, ultraviolet irradiation treatment, high frequency irradiation treatment, glow treatment Examples thereof include a discharge irradiation process, an active plasma irradiation process, and a laser beam irradiation process.

また、前記支持体と前記保護フィルムとの静摩擦係数としては、0.3〜1.4が好ましく、0.5〜1.2がより好ましい。前記静摩擦係数が、0.3未満であると、滑り過ぎるため、ロール状にした場合に巻ズレが発生することがあり、1.4を超えると、良好なロール状に巻くことが困難となることがある。   Moreover, as a static friction coefficient of the said support body and the said protective film, 0.3-1.4 are preferable and 0.5-1.2 are more preferable. When the coefficient of static friction is less than 0.3, slipping is excessive, so that winding deviation may occur when the roll is formed, and when it exceeds 1.4, it is difficult to wind into a good roll. Sometimes.

前記感光性ソルダーレジストフィルムは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、円筒状の巻芯に巻き取って、長尺状でロール状に巻かれて保管されることが好ましい。
前記長尺状の感光性ソルダーレジストフィルムの長さとしては、特に制限はなく、例えば、10m〜20,000mの範囲から適宜選択することができる。また、ユーザーが使いやすいようにスリット加工し、100m〜1,000mの範囲の長尺体をロール状にしてもよい。なお、この場合には、前記支持体が一番外側になるように巻き取られることが好ましい。また、前記ロール状の感光性フィルムをシート状にスリットしてもよい。保管の際、端面の保護、エッジフュージョンを防止する観点から、端面にはセパレーター(特に防湿性のもの、乾燥剤入りのもの)を設置することが好ましく、また梱包も透湿性の低い素材を用いることが好ましい。
The photosensitive solder resist film is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose. Is preferred.
There is no restriction | limiting in particular as length of the said elongate photosensitive soldering resist film, For example, it can select suitably from the range of 10m-20,000m. Further, slitting may be performed so that the user can easily use, and a long body in the range of 100 m to 1,000 m may be formed into a roll. In this case, it is preferable that the support is wound up so as to be the outermost side. Moreover, you may slit the said roll-shaped photosensitive film in a sheet form. From the viewpoint of protecting the end face and preventing edge fusion during storage, it is preferable to install a separator (especially moisture-proof and desiccant-containing) on the end face, and use a low moisture-permeable material for packaging. It is preferable.

前記保護フィルムは、前記保護フィルムと前記感光層との接着性を調整するために表面処理してもよい。前記表面処理は、例えば、前記保護フィルムの表面に、ポリオルガノシロキサン、弗素化ポリオレフィン、ポリフルオロエチレン、ポリビニルアルコールなどのポリマーからなる下塗層を形成させる。該下塗層の形成は、前記ポリマーの塗布液を前記保護フィルムの表面に塗布した後、30℃〜150℃(特に、50℃〜120℃)で1分間〜30分間乾燥させることにより形成させることができる。
また、前記感光層、前記支持体、前記保護フィルムの他に、クッション層、酸素遮断層(PC層)、剥離層、接着層、光吸収層、表面保護層などの層を有してもよい。
前記クッション層は、常温ではタック性が無く、真空及び加熱条件で積層した場合に溶融し、流動する層である。
前記PC層は、通常ポリビニルアルコールを主成分として形成された1.5μm程度の被膜である。
The protective film may be surface-treated in order to adjust the adhesion between the protective film and the photosensitive layer. In the surface treatment, for example, an undercoat layer made of a polymer such as polyorganosiloxane, fluorinated polyolefin, polyfluoroethylene, or polyvinyl alcohol is formed on the surface of the protective film. The undercoat layer is formed by applying the polymer coating solution on the surface of the protective film and then drying it at 30 to 150 ° C. (especially 50 to 120 ° C.) for 1 to 30 minutes. be able to.
In addition to the photosensitive layer, the support, and the protective film, a cushion layer, an oxygen blocking layer (PC layer), a release layer, an adhesive layer, a light absorption layer, a surface protective layer, and the like may be included. .
The cushion layer is a layer that has no tackiness at room temperature and melts and flows when laminated under vacuum and heating conditions.
The PC layer is usually a film of about 1.5 μm formed mainly of polyvinyl alcohol.

前記感光性ソルダーレジストフィルムは、表面のタック性が小さく、ラミネート性及び取扱い性が良好で、パターン形成性、耐クラック性、耐熱性、電気絶縁性、現像性、機械物性に優れた感光性ソルダーレジスト組成物が積層された感光層を有してなる。このため、プリント配線板、カラーフィルタや柱材、リブ材、スペーサー、隔壁などのディスプレイ用部材、ホログラム、マイクロマシン、プルーフなどの永久パターン形成用として広く用いることができ、本発明の永久パターン及びその形成方法に好適に用いることができる。
特に、本発明の感光性ソルダーレジストフィルムは、該フィルムの厚みが均一であるため、永久パターンの形成に際し、基材への積層がより精細に行われる。
The photosensitive solder resist film has a small surface tackiness, a good laminating property and handleability, and a photosensitive solder having excellent pattern forming properties, crack resistance, heat resistance, electrical insulation properties, developability, and mechanical properties. It has a photosensitive layer on which a resist composition is laminated. For this reason, it can be widely used for the formation of permanent patterns such as printed wiring boards, color filters, pillar materials, rib materials, spacers, partition walls and other display members, holograms, micromachines, proofs, etc. It can be suitably used for the forming method.
In particular, since the photosensitive solder resist film of the present invention has a uniform thickness, it is more accurately laminated on a substrate when a permanent pattern is formed.

(永久パターン及び永久パターン形成方法)
本発明の永久パターンは、本発明の永久パターン形成方法により得られる。
前記永久パターンとしては、保護膜、層間絶縁膜及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかであるのが好ましい。
前記永久パターンがソルダーレジストパターンの場合は、220℃における動的弾性率が、20MPa〜100MPaであるのが好ましく、25MPa〜80MPaがより好ましく、30MPa〜50MPaが特に好ましい。該動的弾性率が、20MPa未満であると耐熱性が劣ることがあり、100MPa超であると、耐熱衝撃性に劣り、硬化膜にクラックを生じることがある。
(Permanent pattern and permanent pattern forming method)
The permanent pattern of the present invention is obtained by the permanent pattern forming method of the present invention.
The permanent pattern is preferably at least one of a protective film, an interlayer insulating film, and a solder resist pattern.
When the permanent pattern is a solder resist pattern, the dynamic elastic modulus at 220 ° C. is preferably 20 MPa to 100 MPa, more preferably 25 MPa to 80 MPa, and particularly preferably 30 MPa to 50 MPa. If the dynamic elastic modulus is less than 20 MPa, the heat resistance may be inferior, and if it exceeds 100 MPa, the thermal shock resistance may be inferior and cracks may occur in the cured film.

本発明の永久パターン形成方法は、第1の態様として、本発明の感光性ソルダーレジスト組成物を、基材の表面に塗布し、乾燥して感光層を形成した後、露光し、現像する。
また、本発明の永久パターン形成方法は、第2の態様として、本発明の感光性ソルダーレジストフィルムを、加熱及び加圧の少なくともいずれかの下において基材の表面に積層した後、露光し、現像する。
以下、本発明の永久パターン形成方法の説明を通じて、本発明の永久パターンの詳細も明らかにする。
In the method for forming a permanent pattern of the present invention, as a first aspect, the photosensitive solder resist composition of the present invention is applied to the surface of a substrate, dried to form a photosensitive layer, and then exposed and developed.
Moreover, in the permanent pattern formation method of the present invention, as a second aspect, the photosensitive solder resist film of the present invention is laminated on the surface of the substrate under at least one of heating and pressurization, and then exposed. develop.
Hereinafter, the details of the permanent pattern of the present invention will be clarified through the description of the method for forming a permanent pattern of the present invention.

<基材>
前記基材としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、銅張積層板等のプリント配線板形成用基板、ソーダガラス板等のガラス板、合成樹脂性のフィルム、紙、金属板などが挙げられる。
これらの中でも、多層配線基板やビルドアップ配線基板などへの半導体等の高密度実装化が可能となる点で、配線形成済みのプリント配線板形成用基板が好ましい。
<Base material>
The substrate is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a printed wiring board forming substrate such as a copper-clad laminate, a glass plate such as a soda glass plate, or a synthetic resin film , Paper, metal plate and the like.
Among these, a printed wiring board forming substrate on which wiring is already formed is preferable in that high-density mounting of a semiconductor or the like on a multilayer wiring board or a build-up wiring board is possible.

前記基材は、前記第1の態様として、該基材上に前記感光性ソルダーレジスト組成物による感光層が形成されてなる積層体、又は前記第2の態様として、前記感光性ソルダーレジストフィルムにおける感光層が重なるようにして積層されてなる積層体を形成して用いることができる。即ち、前記積層体における前記感光層に対して後述する露光することにより、露光した領域を硬化させ、後述する現像により永久パターンを形成することができる。   The substrate is a laminate in which a photosensitive layer made of the photosensitive solder resist composition is formed on the substrate as the first aspect, or the photosensitive solder resist film as the second aspect. It is possible to use by forming a laminate in which the photosensitive layers are laminated so as to overlap each other. That is, by exposing the photosensitive layer in the laminated body to be described later, the exposed region can be cured, and a permanent pattern can be formed by development to be described later.

<積層体>
前記第1の態様の積層体の形成方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記基材上に、前記感光性ソルダーレジスト組成物を塗布及び乾燥して形成した感光層を積層するのが好ましい。
前記塗布及び乾燥の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記感光性ソルダーレジスト組成物溶液をスピンコーター、スリットスピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーターなどを用いて塗布する方法が挙げられる。
<Laminated body>
There is no restriction | limiting in particular as a formation method of the laminated body of a said 1st aspect, Although it can select suitably according to the objective, The said photosensitive soldering resist composition is apply | coated and dried on the said base material. The formed photosensitive layer is preferably laminated.
The method for coating and drying is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, the photosensitive solder resist composition solution is spin coater, slit spin coater, roll coater, die coater, curtain. The method of apply | coating using a coater etc. is mentioned.

前記第2の態様の積層体の形成方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記基材上に前記感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層する方法が好ましい。なお、前記感光性フィルムが前記保護フィルムを有する場合には、該保護フィルムを剥離し、前記基材に前記感光層が重なるようにして積層するのが好ましい。
前記加熱の温度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、70℃〜130℃が好ましく、80℃〜110℃がより好ましい。
前記加圧の圧力としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.01MPa〜1.0MPaが好ましく、0.05MPa〜1.0MPaがより好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as a formation method of the laminated body of the said 2nd aspect, Although it can select suitably according to the objective, At least any one of a heating and pressurization of the said photosensitive film on the said base material is carried out. A method of laminating while performing is preferable. In addition, when the said photosensitive film has the said protective film, it is preferable to peel this protective film and to laminate | stack so that the said photosensitive layer may overlap with the said base material.
There is no restriction | limiting in particular as the temperature of the said heating, Although it can select suitably according to the objective, 70 to 130 degreeC is preferable and 80 to 110 degreeC is more preferable.
There is no restriction | limiting in particular as said pressurization pressure, Although it can select suitably according to the objective, 0.01 MPa-1.0 MPa are preferable and 0.05 MPa-1.0 MPa are more preferable.

前記加熱及び加圧の少なくともいずれかを行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ヒートプレス、ヒートロールラミネータ(例えば、大成ラミネータ株式会社製、VP−II)、真空ラミネータ(例えば、株式会社名機製作所製、MVLP500)などが好適な装置として挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs at least any one of the said heating and pressurization, According to the objective, it can select suitably, For example, heat press, a heat roll laminator (For example, Taisei Laminator Co., Ltd. make, VP- II), a vacuum laminator (for example, MVLP500 manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) and the like can be mentioned as suitable devices.

<露光工程>
前記露光工程は、前記感光層に対し、パターン露光を行う工程である。
<Exposure process>
The exposure step is a step of performing pattern exposure on the photosensitive layer.

前記露光の対象としては、感光層を有する材料である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、基材上に前記感光性ソルダーレジスト組成物又は前記感光性ソルダーレジストフィルムが形成されてなる前記積層体に対して行われることが好ましい。   The subject of the exposure is not particularly limited as long as it is a material having a photosensitive layer, and can be appropriately selected according to the purpose. However, the photosensitive solder resist composition or the photosensitive solder resist is formed on a substrate. It is preferable to be performed on the laminate formed with a film.

前記積層体への露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記支持体、クッション層及びPC層を介して前記感光層を露光してもよく、前記支持体を剥離した後、前記クッション層及びPC層を介して前記感光層を露光してもよく、前記支持体及びクッション層を剥離した後、前記PC層を介して前記感光層を露光してもよく、前記支持体、クッション層及びPC層を剥離した後、前記感光層を露光してもよい。   There is no restriction | limiting in particular as exposure to the said laminated body, According to the objective, it can select suitably, For example, you may expose the said photosensitive layer through the said support body, cushion layer, and PC layer, After peeling the support, the photosensitive layer may be exposed through the cushion layer and the PC layer. After peeling the support and cushion layer, the photosensitive layer is exposed through the PC layer. Alternatively, the photosensitive layer may be exposed after the support, the cushion layer and the PC layer are peeled off.

前記露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、デジタル露光、アナログ露光などが挙げられる。これらの中でも、デジタル露光が好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as said exposure, According to the objective, it can select suitably, Digital exposure, analog exposure, etc. are mentioned. Among these, digital exposure is preferable.

前記デジタル露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、形成するパターン形成情報に基づいて制御信号を生成し、該制御信号に応じて変調させた光を用いて行うのが好ましい。   The digital exposure is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose.For example, a control signal is generated based on pattern formation information to be formed, and light modulated in accordance with the control signal is generated. It is preferable to use.

前記デジタル露光の手段としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、光を照射する光照射手段、形成するパターン情報に基づいて該光照射手段から照射される光を変調させる光変調手段などが挙げられる。   The digital exposure means is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, light irradiation means for irradiating light, light emitted from the light irradiation means based on pattern information to be formed And a light modulation means for modulating the light intensity.

<<光変調手段>>
前記光変調手段としては、光を変調することができる限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、n個の描素部を有するものが好ましい。
前記n個の描素部を有する光変調手段としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、空間光変調素子が好ましい。
<< light modulation means >>
The light modulation means is not particularly limited as long as it can modulate light, and can be appropriately selected according to the purpose, but preferably has n pixel portions.
The light modulation means having the n picture elements is not particularly limited and may be appropriately selected according to the purpose, but a spatial light modulation element is preferable.

前記空間光変調素子としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)タイプの空間光変調素子(SLM;Special Light Modulator)、電気光学効果により透過光を変調する光学素子(PLZT素子)、液晶光シャッタ(FLC)などが挙げられる。
これらの中でも、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)が好ましい。
The spatial light modulation element is not particularly limited and may be appropriately selected according to the purpose. For example, a spatial light modulation element of a digital micromirror device (DMD) or a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) type ( Examples thereof include SLM (Special Light Modulator), an optical element (PLZT element) that modulates transmitted light by an electro-optic effect, and a liquid crystal light shutter (FLC).
Among these, a digital micromirror device (DMD) is preferable.

また、前記光変調手段は、形成するパターン情報に基づいて制御信号を生成するパターン信号生成手段を有するのが好ましい。この場合、前記光変調手段は、前記パターン信号生成手段が生成した制御信号に応じて光を変調させる。
前記制御信号としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、デジタル信号が挙げられる。
The light modulation means preferably includes pattern signal generation means for generating a control signal based on pattern information to be formed. In this case, the light modulation unit modulates light according to the control signal generated by the pattern signal generation unit.
There is no restriction | limiting in particular as said control signal, According to the objective, it can select suitably, For example, a digital signal is mentioned.

<現像工程>
前記現像工程は、前記露光工程により前記感光層を露光し、該感光層の露光した領域を硬化させた後、未硬化領域を除去することにより現像し、永久パターンを形成する工程である。
<Development process>
The developing step is a step of forming a permanent pattern by exposing the photosensitive layer by the exposing step, curing the exposed region of the photosensitive layer, and then developing by removing the uncured region.

前記未硬化領域の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像液を用いて除去する方法などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as the removal method of the said unhardened area | region, According to the objective, it can select suitably, For example, the method etc. which remove using a developing solution are mentioned.

前記現像液としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の水酸化物若しくは炭酸塩、炭酸水素塩、アンモニア水、4級アンモニウム塩の水溶液などが挙げられる。これらの中でも、炭酸ナトリウム水溶液が好ましい。   The developer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, alkali metal or alkaline earth metal hydroxide or carbonate, hydrogen carbonate, aqueous ammonia, quaternary ammonium salt An aqueous solution of Among these, an aqueous sodium carbonate solution is preferable.

前記現像液は、界面活性剤、消泡剤、有機塩基や、現像を促進させるため有機溶剤などと併用してもよい。
前記有機塩基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ベンジルアミン、エチレンジアミン、エタノールアミン、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド、ジエチレントリアミン、トリエチレンペンタミン、モルホリン、トリエタノールアミンなどが挙げられる。
前記有機溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテル類、アミド類、ラクトン類などが挙げられる。
また、前記現像液は、水又はアルカリ水溶液と有機溶剤を混合した水系現像液であってもよく、有機溶剤単独であってもよい。
The developer may be used in combination with a surfactant, an antifoaming agent, an organic base, an organic solvent or the like for accelerating development.
The organic base is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, benzylamine, ethylenediamine, ethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, diethylenetriamine, triethylenepentamine, morpholine, triethanol An amine etc. are mentioned.
The organic solvent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include alcohols, ketones, esters, ethers, amides, and lactones.
The developer may be an aqueous developer obtained by mixing water or an aqueous alkali solution and an organic solvent, or may be an organic solvent alone.

<硬化処理工程>
本発明の永久パターン形成方法は、更に、硬化処理工程を含むことが好ましい。
前記硬化処理工程は、前記現像工程が行われた後、形成された永久パターンにおける感光層に対して硬化処理を行う工程である。
<Curing process>
The permanent pattern forming method of the present invention preferably further includes a curing treatment step.
The curing treatment step is a step of performing a curing treatment on the photosensitive layer in the formed permanent pattern after the development step is performed.

前記硬化処理としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、全面露光処理、全面加熱処理などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said hardening process, According to the objective, it can select suitably, For example, a whole surface exposure process, a whole surface heat processing, etc. are mentioned.

前記全面露光処理の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記現像工程の後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を露光する方法などが挙げられる。該全面露光により、前記感光層を形成する感光性ソルダーレジスト組成物中の樹脂の硬化が促進され、前記永久パターンの表面が硬化される。
前記全面露光を行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、超高圧水銀灯などのUV露光機などが挙げられる。
The method for the entire surface exposure treatment is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose. For example, a method for exposing the entire surface of the laminate on which the permanent pattern is formed after the development step. Etc. The entire surface exposure accelerates the curing of the resin in the photosensitive solder resist composition forming the photosensitive layer, and the surface of the permanent pattern is cured.
There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs the said whole surface exposure, According to the objective, it can select suitably, For example, UV exposure machines, such as a super-high pressure mercury lamp, etc. are mentioned.

前記全面加熱処理の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記現像工程の後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を加熱する方法などが挙げられる。該全面加熱により、前記永久パターンの表面の膜強度が高められる。
前記全面加熱における加熱温度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、120℃〜250℃が好ましく、120℃〜200℃がより好ましい。前記加熱温度が120℃未満であると、加熱処理による膜強度の向上が得られないことがあり、250℃を超えると、前記感光性ソルダーレジスト組成物中の樹脂の分解が生じ、膜質が弱く脆くなることがある。
前記全面加熱における加熱時間としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、10分間〜120分間が好ましく、15分間〜60分間がより好ましい。
前記全面加熱を行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ドライオーブン、ホットプレート、IRヒーターなどが挙げられる。
The entire surface heat treatment method is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, after the development step, the entire surface on the laminate on which the permanent pattern is formed is heated. Etc. By heating the entire surface, the film strength of the surface of the permanent pattern is increased.
There is no restriction | limiting in particular as heating temperature in the said whole surface heating, Although it can select suitably according to the objective, 120 to 250 degreeC is preferable and 120 to 200 degreeC is more preferable. When the heating temperature is less than 120 ° C., the film strength may not be improved by heat treatment. When the heating temperature exceeds 250 ° C., the resin in the photosensitive solder resist composition is decomposed and the film quality is weak. May become brittle.
There is no restriction | limiting in particular as heating time in the said whole surface heating, Although it can select suitably according to the objective, 10 minutes-120 minutes are preferable, and 15 minutes-60 minutes are more preferable.
There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs the said whole surface heating, According to the objective, it can select suitably, For example, a dry oven, a hot plate, IR heater etc. are mentioned.

なお、前記基材が多層配線基板などのプリント配線板である場合には、該プリント配線板上に本発明の永久パターンを形成し、更に、以下のように半田付けを行うことができる。
即ち、前記現像工程により、前記永久パターンである硬化層が形成され、前記プリント配線板の表面に金属層が露出される。該プリント配線板の表面に露出した金属層の部位に対して金メッキを行った後、半田付けを行う。そして、半田付けを行った部位に、半導体や部品などを実装する。このとき、前記硬化層による永久パターンが、保護膜あるいは絶縁膜(層間絶縁膜)としての機能を発揮し、外部からの衝撃や隣同士の電極の導通が防止される。
When the substrate is a printed wiring board such as a multilayer wiring board, the permanent pattern of the present invention can be formed on the printed wiring board, and further soldered as follows.
That is, the development step forms a hardened layer that is the permanent pattern, and the metal layer is exposed on the surface of the printed wiring board. Gold plating is performed on the portion of the metal layer exposed on the surface of the printed wiring board, and then soldering is performed. Then, a semiconductor or a component is mounted on the soldered portion. At this time, the permanent pattern by the hardened layer exhibits a function as a protective film or an insulating film (interlayer insulating film), and prevents external impact and conduction between adjacent electrodes.

本発明の永久パターン形成方法においては、保護膜及び層間絶縁膜の少なくともいずれかを形成するのが好ましい。前記永久パターン形成方法により形成される永久パターンが、前記保護膜又は前記層間絶縁膜であると、配線を外部からの衝撃や曲げから保護することができ、特に、前記層間絶縁膜である場合には、例えば、多層配線基板やビルドアップ配線基板などへの半導体や部品の高密度実装に有用である。   In the permanent pattern forming method of the present invention, it is preferable to form at least one of a protective film and an interlayer insulating film. When the permanent pattern formed by the permanent pattern forming method is the protective film or the interlayer insulating film, the wiring can be protected from external impact and bending, particularly when the interlayer insulating film is the interlayer insulating film. Is useful for high-density mounting of semiconductors and components on, for example, multilayer wiring boards and build-up wiring boards.

本発明の永久パターン形成方法は、高速でパターン形成が可能であるため、各種パターンの形成に広く用いることができ、特に、配線パターンの形成に好適に使用することができる。
また、本発明の永久パターン形成方法により形成される永久パターンは、優れた表面硬度、絶縁性、耐熱性、耐湿性などを有し、保護膜、層間絶縁膜、ソルダーレジストパターン、として好適に使用することができる。
The permanent pattern forming method of the present invention can be widely used for forming various patterns because the pattern can be formed at a high speed, and can be particularly suitably used for forming a wiring pattern.
Further, the permanent pattern formed by the permanent pattern forming method of the present invention has excellent surface hardness, insulation, heat resistance, moisture resistance, etc., and is suitably used as a protective film, interlayer insulation film, solder resist pattern, etc. can do.

(プリント基板)
本発明のプリント基板は、少なくとも基体と、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンと、を有してなり、更に、必要に応じて適宜選択した、その他の構成を有する。
その他の構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材と前記永久パターン間に、更に絶縁層が設けられたビルドアップ基板などが挙げられる。
(Printed board)
The printed circuit board of the present invention comprises at least a substrate and a permanent pattern formed by the permanent pattern forming method, and further has other configurations appropriately selected as necessary.
There is no restriction | limiting in particular as another structure, According to the objective, it can select suitably, For example, the buildup board | substrate etc. in which the insulating layer was further provided between the base material and the said permanent pattern are mentioned.

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明は下記実施例に何ら限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following examples.

ポリウレタン樹脂(U−1)〜(U−3)(合成例1〜3)を以下のように合成した。   Polyurethane resins (U-1) to (U-3) (Synthesis Examples 1 to 3) were synthesized as follows.

(合成例1:ポリウレタン樹脂(U−1)の合成)
コンデンサー、撹拌機を備えた500mLの3つ口丸底フラスコに、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)10.86g(0.081モル)とグリセロールモノメタクリレート(GLM)16.82g(0.105モル)をプロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテート79mLに溶解した。これに、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)37.54g(0.15モル)、2,6−ジ−t−ブチルヒドロキシトルエン0.1g、触媒として、商品名:ネオスタンU−600(日東化成株式会社製)0.2gを添加し、75℃にて、5時間加熱撹拌した。その後、メチルアルコール9.61mLにて希釈し30分撹拌し、145gのポリマー溶液を得た。合成されたポリウレタン樹脂は下記表中(U−1)で表される。
上記で得られたポリウレタン樹脂(U−1)は、固形分酸価が70mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が8,000であり、ビニル基当量が1.5mmol/gであった。
(Synthesis Example 1: Synthesis of polyurethane resin (U-1))
A 500 mL three-necked round bottom flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 10.86 g (0.081 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 16.82 g of glycerol monomethacrylate (GLM). (0.105 mol) was dissolved in 79 mL of propylene glycol monomethyl ether monoacetate. To this, 37.54 g (0.15 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI), 0.1 g of 2,6-di-t-butylhydroxytoluene, as a catalyst, trade name: Neostan U-600 (Nitto Kasei) 0.2 g) was added and stirred at 75 ° C. for 5 hours. Thereafter, it was diluted with 9.61 mL of methyl alcohol and stirred for 30 minutes to obtain 145 g of a polymer solution. The synthesized polyurethane resin is represented by (U-1) in the following table.
The polyurethane resin (U-1) obtained above has a solid content acid value of 70 mgKOH / g, and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) is 8,000. The vinyl group equivalent was 1.5 mmol / g.

前記酸価は、JIS K0070に準拠して測定した。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用した。   The acid value was measured according to JIS K0070. However, when the sample did not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran was used as a solvent.

前記重量平均分子量は、高速GPC装置(東洋曹達工業株式会社製HLC−802A)を使用して測定した。即ち、0.5質量%のTHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelGMH62本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25℃で屈折率検出器により測定した。次に、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より重量平均分子量を求めた。   The weight average molecular weight was measured using a high-speed GPC apparatus (HLC-802A manufactured by Toyo Soda Industry Co., Ltd.). That is, a 0.5 mass% THF solution was used as a sample solution, 62 columns of TSKgelGMH were used, 200 μL of a sample was injected, eluted with the THF solution, and measured with a refractive index detector at 25 ° C. Next, the weight average molecular weight was determined from the molecular weight distribution curve calibrated with standard polystyrene.

前記ビニル基当量は、臭素価をJIS K2605に準拠して測定することにより求めた。   The said vinyl group equivalent was calculated | required by measuring a bromine number based on JISK2605.

(合成例2:ポリウレタン樹脂(U−2)の合成)
合成例1において、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)37.54g(0.15モル)を、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)とヘキサメチレンジイソシアナート(HMDI)5.05g(0.03モル)との組合せに代え、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)10.86g(0.081モル)とグリセロールモノメタクリレート(GLM)16.82g(0.105モル)の組み合わせを、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)10.22g(0.069モル)と、グリセロールモノメタクリレート(GLM)12.97g(0.081モル)と、ポリプロピレングリコール(分子量400)(PPG400)4.80g(0.012モル)との組合せに代え、プロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテートの添加量を79mLから77mLに変えたこと以外は、合成例1と同様にして、ポリウレタン樹脂(U−2)を合成した。
上記で得られたポリウレタン樹脂(U−2)の酸価、重量平均分子量、及びビニル基当量を合成例1と同様の方法で測定したところ、固形分酸価が65mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が15,000であり、ビニル基当量が1.26mmol/gであった。
(Synthesis Example 2: Synthesis of polyurethane resin (U-2))
In Synthesis Example 1, 37.54 g (0.15 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) was mixed with 30.03 g (0.12 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and hexamethylene diisocyanate ( In place of the combination with 5.05 g (0.03 mol) of HMDI), 10.86 g (0.081 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 16.82 g of glycerol monomethacrylate (GLM) (0.105 mol) is combined with 10.22 g (0.069 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 12.97 g (0.081 mol) of glycerol monomethacrylate (GLM). And 4.80 g of polypropylene glycol (molecular weight 400) (PPG400) Instead of the combination of 0.012 moles), except for changing the addition amount of propylene glycol monomethyl ether monoacetate from 79mL to 77 mL, in the same manner as in Synthesis Example 1, was synthesized polyurethane resin (U-2).
When the acid value, weight average molecular weight, and vinyl group equivalent of the polyurethane resin (U-2) obtained above were measured by the same method as in Synthesis Example 1, the solid content acid value was 65 mgKOH / g, The weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by an association chromatography (GPC) was 15,000, and the vinyl group equivalent was 1.26 mmol / g.

(合成例3:ポリウレタン樹脂(U−3)の合成)
合成例1において、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)37.54g(0.15モル)を、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)とヘキサメチレンジイソシアナート(HMDI)5.05g(0.03モル)との組合せに代え、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)10.86g(0.081モル)とグリセロールモノメタクリレート(GLM)16.82g(0.105モル)との組合せを、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)7.24g(0.054モル)と、グリセロールモノメタクリレート(GLM)10.09g(0.063モル)と、ポリプロピレングリコール(分子量400)(PPG400)15.60g(0.039モル)との組合せに代え、プロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテートの添加量を79mLから83mLに変えたこと以外は、合成例1と同様にして、ポリウレタン樹脂(U−3)を合成した。
上記で得られたポリウレタン樹脂(U−3)の酸価、重量平均分子量、及びビニル基当量を合成例1と同様の方法で測定したところ、固形分酸価が45mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が20,000であり、ビニル基当量が0.9mmol/gであった。
(Synthesis Example 3: Synthesis of polyurethane resin (U-3))
In Synthesis Example 1, 37.54 g (0.15 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) was mixed with 30.03 g (0.12 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and hexamethylene diisocyanate ( In place of the combination with 5.05 g (0.03 mol) of HMDI), 10.86 g (0.081 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 16.82 g of glycerol monomethacrylate (GLM) (0.105 mol) is combined with 7.24 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 10.09 g (0.063 mol) of glycerol monomethacrylate (GLM). ) And polypropylene glycol (molecular weight 400) (PPG400) 15.60. A polyurethane resin (U-3) was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the amount of propylene glycol monomethyl ether monoacetate was changed from 79 mL to 83 mL instead of the combination with (0.039 mol). .
When the acid value, weight average molecular weight, and vinyl group equivalent of the polyurethane resin (U-3) obtained above were measured by the same method as in Synthesis Example 1, the solid content acid value was 45 mgKOH / g, The weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by an association chromatography (GPC) was 20,000, and the vinyl group equivalent was 0.9 mmol / g.

(実施例1)
<感光性ソルダーレジストフィルム1の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1の調製−
下記の各成分を混合し、感光性ソルダーレジスト組成物塗付液1を調製した。
[感光性樹脂組成物の組成]
合成例1で合成したポリウレタン樹脂(U−1)(固形分:45質量%)32.3質量部
イミド樹脂:V−8001BM 9.3質量部
(固形分:40質量%、ウレタン基モル含有率:12%、DIC株式会社製)
重合性化合物:DCP−A(共栄社化学株式会社製) 5.3質量部
開始剤:IRG907(チバスペシャリティケミカル株式会社製) 1.9質量部
増感剤:DETX(日本化薬株式会社製) 0.02質量部
増感剤:EAB−F(保土ヶ谷化学株式会社製) 0.06質量部
硬化剤:DICY−7(油化シェルエポキシ株式会社製) 2.6質量部
熱架橋剤:エポトートYDF−170(東都化成株式会社製) 7.5質量部
ポリアミド系熱可塑性エラストマー:TAPE−617 1.8質量部
(富士化成工工業株式会社製)
顔料分散液: 38.0質量部
その他:メガファックF−780F 0.13質量部
(大日本インキ株式会社製:30質量%メチルエチルケトン溶液)
シクロヘキサノン(溶媒) 8.0質量部
Example 1
<Preparation of photosensitive solder resist film 1>
-Preparation of photosensitive solder resist composition coating solution 1-
The following components were mixed to prepare a photosensitive solder resist composition coating solution 1.
[Composition of photosensitive resin composition]
Polyurethane resin (U-1) synthesized in Synthesis Example 1 (solid content: 45 mass%) 32.3 mass parts imide resin: V-8001BM 9.3 mass parts (solid content: 40 mass%, urethane group molar content : 12%, manufactured by DIC Corporation)
Polymerizable compound: DCP-A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 5.3 parts by mass Initiator: IRG907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 1.9 parts by mass sensitizer: DETX (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 0 0.02 parts by mass sensitizer: EAB-F (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0.06 parts by mass Curing agent: DICY-7 (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.) 2.6 parts by mass Thermal cross-linking agent: Epototo YDF- 170 (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) 7.5 parts by mass Polyamide-based thermoplastic elastomer: TAPE-617 1.8 parts by mass (manufactured by Fuji Kasei Kogyo Co., Ltd.)
Pigment dispersion: 38.0 parts by mass Other: 0.13 parts by mass of Megafac F-780F (manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd .: 30% by mass methyl ethyl ketone solution)
Cyclohexanone (solvent) 8.0 parts by mass

なお、前記顔料分散液は、下記の通り調製して得たものである。即ち、下記組成を予め混合した後、モーターミルM−250(アイガー社製)で、直径1.0mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sにて3時間分散して調製した。
[顔料分散液の組成]
シリカ:(アドマテックス社、SO−C2、平均粒子径0.5μm) 4.9質量部
合成例1で合成したポリウレタン樹脂(U−1)(固形分:45質量%) 2.4質量部
フタロシアニンブルー 0.021質量部
アントラキノン系黄色顔料(PY24) 0.006質量部
シクロヘキサノン 30.7質量部
The pigment dispersion is prepared and prepared as follows. That is, after the following composition was mixed in advance, a motor mill M-250 (manufactured by Eiger) was used by using zirconia beads having a diameter of 1.0 mm and dispersing at a peripheral speed of 9 m / s for 3 hours.
[Composition of pigment dispersion]
Silica: (Admatex, SO-C2, average particle size 0.5 μm) 4.9 parts by mass Polyurethane resin (U-1) synthesized in Synthesis Example 1 (solid content: 45% by mass) 2.4 parts by mass phthalocyanine Blue 0.021 parts by mass Anthraquinone yellow pigment (PY24) 0.006 parts by mass Cyclohexanone 30.7 parts by mass

−感光性ソルダーレジストフィルム1の作製−
図1に示すように、支持体1として、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィム(PET)を用い、該支持体1上に前記感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1をバーコーターにより、乾燥後の感光層2の厚みが約30μmになるように塗布し、80℃、30分間熱風循環式乾燥機中で乾燥させ、感光性ソルダーレジストフィルム1を作製した。
-Production of photosensitive solder resist film 1-
As shown in FIG. 1, a polyethylene terephthalate film (PET) having a thickness of 25 μm is used as a support 1, and the photosensitive solder resist composition coating solution 1 is dried on the support 1 by a bar coater. 2 was applied to a thickness of about 30 μm and dried in a hot air circulating drier at 80 ° C. for 30 minutes to prepare a photosensitive solder resist film 1.

<永久パターンの形成>
−積層体の調製−
前記基材として、配線形成済みの銅張積層板(スルーホールなし、銅厚み12μmのプリント配線板)の表面に化学研磨処理を施して調製した。該銅張積層板上に、前記感光性ソルダーレジストフィルム1の感光層が前記銅張積層板に接するようにして、真空ラミネータ(株式会社名機製作所製、MVLP500)を用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)とがこの順に積層された積層体を調製した。
圧着条件は、圧着温度90℃、圧着圧力0.4MPa、ラミネート速度1m/分間とした。
前記得られた積層体について、以下に示す評価方法で、現像性を評価した。
<Formation of permanent pattern>
-Preparation of laminate-
The substrate was prepared by subjecting a surface of a copper-clad laminate (no through-hole, printed wiring board with a copper thickness of 12 μm) to which a wiring had been formed, subjected to a chemical polishing treatment. The copper-clad laminate is laminated using a vacuum laminator (MVLP500, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) so that the photosensitive layer of the photosensitive solder resist film 1 is in contact with the copper-clad laminate. A laminate in which a tension laminate, the photosensitive layer, and the polyethylene terephthalate film (support) were laminated in this order was prepared.
The pressure bonding conditions were a pressure bonding temperature of 90 ° C., a pressure bonding pressure of 0.4 MPa, and a laminating speed of 1 m / min.
The developability of the obtained laminate was evaluated by the following evaluation method.

−露光工程−
前記調製した積層体における感光層に対し、ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)側から、所定のパターンを有する青紫色レーザ露光によるパターン形成装置を用いて、405nmのレーザ光を、所定のパターンが得られるようにエネルギー量40mJ/cmを照射し露光し、前記感光層の一部の領域を硬化させた。
-Exposure process-
A predetermined pattern can be obtained with a laser beam of 405 nm from the polyethylene terephthalate film (support) side using a pattern forming apparatus by blue-violet laser exposure having a predetermined pattern with respect to the photosensitive layer in the prepared laminate. In this way, an energy amount of 40 mJ / cm 2 was irradiated for exposure, and a partial region of the photosensitive layer was cured.

−現像工程−
室温にて10分間静置した後、前記積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)を剥がし取り、銅張積層板上の感光層の全面に、アルカリ現像液として、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用い、30℃にて60秒間、0.18MPa(1.8kgf/cm)の圧力でスプレー現像し、未露光の領域を溶解除去した。その後、水洗し、乾燥させ、永久パターンを形成した。
-Development process-
After standing at room temperature for 10 minutes, the polyethylene terephthalate film (support) is peeled off from the laminate, and a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution is used as an alkaline developer on the entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate. Spray development was performed at 30 ° C. for 60 seconds at a pressure of 0.18 MPa (1.8 kgf / cm 2 ) to dissolve and remove unexposed areas. Thereafter, it was washed with water and dried to form a permanent pattern.

−硬化処理工程−
前記永久パターンが形成された積層体の全面に対して、150℃で1時間、加熱処理を施し、永久パターンの表面を硬化し、膜強度を高め、試験板を作製した。
前記得られた試験板について、以下に示す評価方法で、パターン形成性(永久パターン表面形状)、耐熱衝撃性(耐クラック性)、耐熱性、及び絶縁性を評価した。
-Curing process-
The entire surface of the laminate on which the permanent pattern was formed was subjected to heat treatment at 150 ° C. for 1 hour to cure the surface of the permanent pattern, increase the film strength, and prepare a test plate.
About the obtained test board, pattern formation property (permanent pattern surface shape), thermal shock resistance (crack resistance), heat resistance, and insulation were evaluated by the following evaluation methods.

<評価方法>
−永久パターン表面形状−
前記現像工程において形成した永久パターン面(50μm×50μm)について走査型電子顕微鏡(SEM)により撮影し、形成した永久パターン表面の形状について、以下の評価基準にしたがって評価した。結果を表2に示す。
[評価基準]
○ :欠陥が全くないか、又は1個〜5個の欠陥があり、形成した永久パターンの形状に影響が無いもの
○△:6個〜10個の欠陥があるが、形成した永久パターンの形状に影響が無いもの
△ :11個〜20個の欠陥があり、該欠陥が永久パターンの端面において形状異常を生じさせ得るもの
× :21個以上の欠陥があり、該欠陥が永久パターンの端面において形状異常を生じさせるもの
<Evaluation method>
-Permanent pattern surface shape-
The permanent pattern surface (50 μm × 50 μm) formed in the development step was photographed with a scanning electron microscope (SEM), and the shape of the formed permanent pattern surface was evaluated according to the following evaluation criteria. The results are shown in Table 2.
[Evaluation criteria]
○: There is no defect or there are 1 to 5 defects, and the shape of the formed permanent pattern is not affected. ○ Δ: There are 6 to 10 defects, but the shape of the formed permanent pattern. Δ: There are 11 to 20 defects, and the defects may cause shape abnormality on the end face of the permanent pattern. ×: There are 21 or more defects, and the defects are on the end face of the permanent pattern. What causes shape abnormalities

−耐熱衝撃性(耐クラック性)−
前記感光性積層体に、厚み12μmの銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント基板上にソルダーレジスト層を定法にて形成し、2mm角フォトマスクを介し、オーク製作所社製HMW−201GX型露光機を使用して、2mm角パターンが形成できる最適露光量(300mJ/cm〜1J/cm)で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液にて60秒間スプレー現像を行い、更に80℃で10分間加熱(乾燥)した。続いて、オーク製作所社製紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を150℃で60分間加熱処理を行うことにより、2mm角の矩形開口部を有するソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。
得られた基板を−65℃の大気中に15分間晒した後、次いで150℃の大気中に15分間晒した後、再度−65℃の大気中に晒す熱サイクルを1,000回繰り返した。熱サイクルを通した評価用基板のソルダーレジスト上のひび及び剥離程度を光学顕微鏡により観察した。結果を下記表2に示す。
[評価基準]
○ :ソルダーレジストにひび、剥れが無く、強靭性に優れる
○△:ソルダーレジストに僅かにひびがあるものの、強靭性は良好である
△ :ソルダーレジストに僅かにひび、剥れがあり、強靭性にやや劣る
× :ソルダーレジストに明らかなひび、剥れがあり、強靭性が劣る
-Thermal shock resistance (crack resistance)-
A solder resist layer is formed on a printed circuit board obtained by laminating a copper foil having a thickness of 12 μm on a glass epoxy base material on the photosensitive laminate, and a HMW-201GX type exposure made by Oak Manufacturing Co., Ltd. through a 2 mm square photomask. The exposure was performed with an optimum exposure dose (300 mJ / cm 2 to 1 J / cm 2 ) that can form a 2 mm square pattern. Next, after standing at room temperature for 1 hour, spray development was performed for 60 seconds with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C., followed by heating (drying) at 80 ° C. for 10 minutes. Subsequently, the photosensitive layer was irradiated with ultraviolet rays with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Seisakusho. Further, the photosensitive layer was heat-treated at 150 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation substrate on which a solder resist having a 2 mm square opening was formed.
The obtained substrate was exposed to an atmosphere of −65 ° C. for 15 minutes, then exposed to an atmosphere of 150 ° C. for 15 minutes, and then repeatedly exposed to the air of −65 ° C. 1,000 times. The crack and peeling degree on the solder resist of the evaluation substrate through the thermal cycle were observed with an optical microscope. The results are shown in Table 2 below.
[Evaluation criteria]
○: Solder resist is not cracked and peeled and is excellent in toughness ○ △: Solder resist is slightly cracked but has good toughness △: Solder resist is slightly cracked and peeled, tough Slightly inferior ×: Solder resist has obvious cracks and peeling, and has poor toughness

−現像性−
基板上の厚み10μmの未露光の感光層を、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃で、スプレー現像し、10秒間から60秒間で除去できるか否かで以下の評価基準にしたがって評価した。結果を表2に示す。
[評価基準]
○ :5秒間以上40秒間未満で除去され、現像残渣無し
○△:40以上50秒間未満で除去される
△ :50以上60秒間未満で除去される
× :60秒間後でも現像残渣有り
-Developability-
An unexposed photosensitive layer having a thickness of 10 μm on a substrate is spray-developed at 30 ° C. using a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution and evaluated according to the following evaluation criteria based on whether it can be removed in 10 to 60 seconds. did. The results are shown in Table 2.
[Evaluation criteria]
○: Removed in 5 seconds or more but less than 40 seconds, no development residue ○ △: Removed in 40 or more but less than 50 seconds Δ: Removed in 50 or more but less than 60 seconds ×: Development residue still present after 60 seconds

−はんだ耐熱性(耐リフロー性)−
試験片にロジン系フラックス又は水溶性フラックスを塗布し、260℃のはんだ槽に10秒間浸漬した。これを1サイクルとして、6サイクル繰り返した後、塗膜外観を目視で観察し、以下の評価基準にしたがって評価した。結果を表2に示す。
[評価基準]
○ :塗膜外観に異常(剥離、フクレ)が無く、はんだのもぐりの無いもの
○△:塗膜外観に微小な膨れが有るが、フクレ・はんだもぐりの無いもの
△ :塗膜外観に剥離又はフクレが有り、ややはんだもぐりの有るもの
× :塗膜外観に剥離又はフクレが有り、はんだのもぐりの有るもの
-Solder heat resistance (Reflow resistance)-
A rosin-based flux or a water-soluble flux was applied to the test piece and immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds. After repeating this for 6 cycles, the appearance of the coating film was visually observed and evaluated according to the following evaluation criteria. The results are shown in Table 2.
[Evaluation criteria]
○: There is no abnormality (peeling or blistering) in the coating film appearance, and there is no solder flaking. ○ △: There is a slight swelling in the coating film appearance, but there is no blistering or solder flaking. There is swelling and there is some solder peeling ×: There is peeling or swelling on the coating film appearance and there is solder peeling

−絶縁性−
12μm厚の銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント基板の銅箔にエッチングを施して、ライン幅/スペース幅が50μm/50μmであり、互いのラインが接触しておらず、互いに対向した同一面上の櫛形電極を得た。この基板の櫛形電極上にソルダーレジスト層を定法にて形成し、最適露光量(300mJ/cm〜1J/cm)で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液にて60秒間スプレー現像を行い、更に80℃で10分間加熱(乾燥)した。続いて、株式会社オーク製作所社製の紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を150℃で60分間加熱処理を行うことにより、ソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。
加熱後の評価用積層体の櫛形電極間に電圧が印加されるように、ポリテトラフルオロエチレン製のシールド線をSn/Pbはんだによりそれらの櫛形電極に接続した後、評価用積層体に5Vの電圧を印可した状態で、該評価用積層体を130℃、85%RHの超加速高温高湿寿命試験(HAST)槽内に200時間静置した。その後の評価用積層体のソルダーレジストのマイグレーションの発生程度を100倍の金属顕微鏡により観察し、以下の評価基準にしたがって評価した。結果を表2に示す。
[評価基準]
○ :マイグレーションの発生が確認できず、絶縁性に優れる
○△:マイグレーションの発生が銅上僅かに確認されるが、絶縁性良好である
△ :マイグレーションの発生が確認され、絶縁性にやや劣る
× :電極間が短絡し、絶縁性に劣る
−Insulation−
Etching was performed on the copper foil of a printed circuit board in which a 12 μm thick copper foil was laminated on a glass epoxy base material, the line width / space width was 50 μm / 50 μm, the lines were not in contact with each other, and the same facing each other A comb electrode on the surface was obtained. A solder resist layer was formed on the comb-shaped electrode of this substrate by a conventional method, and exposure was performed with an optimum exposure amount (300 mJ / cm 2 to 1 J / cm 2 ). Next, after standing at room temperature for 1 hour, spray development was performed for 60 seconds with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C., followed by heating (drying) at 80 ° C. for 10 minutes. Subsequently, the photosensitive layer was irradiated with ultraviolet rays with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. Further, the photosensitive layer was heat-treated at 150 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation substrate on which a solder resist was formed.
After connecting the polytetrafluoroethylene shield wires to the comb electrodes with Sn / Pb solder so that a voltage is applied between the comb electrodes of the evaluation laminate after heating, 5 V is applied to the evaluation laminate. With the voltage applied, the evaluation laminate was allowed to stand in a super accelerated high temperature and high humidity life test (HAST) bath at 130 ° C. and 85% RH for 200 hours. Thereafter, the degree of migration of the solder resist in the evaluation laminate was observed with a 100-fold metal microscope and evaluated according to the following evaluation criteria. The results are shown in Table 2.
[Evaluation criteria]
○: Occurrence of migration cannot be confirmed and insulation is excellent ○ △: Occurrence of migration is confirmed slightly on copper, but insulation is good △: Occurrence of migration is confirmed, and insulation is slightly inferior × : Short circuit between electrodes and poor insulation

(実施例2)
<感光性ソルダーレジストフィルム2の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液2の調製−
実施例1において、合成例1で合成したポリウレタン樹脂(U−1)の添加量を、32.3質量部に変えて27.5質量部とし、イミド樹脂の添加量を、9.3質量部に変えて14.1質量部としたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジスト組成物塗布液2を調製した。
(Example 2)
<Preparation of photosensitive solder resist film 2>
-Preparation of Photosensitive Solder Resist Composition Coating Solution 2-
In Example 1, the addition amount of the polyurethane resin (U-1) synthesized in Synthesis Example 1 was changed to 37.5 parts by mass to 27.5 parts by mass, and the addition amount of the imide resin was 9.3 parts by mass. A photosensitive solder resist composition coating solution 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the content was changed to 14.1 parts by mass.

−感光性ソルダーレジストフィルム2の作製−
実施例1において、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1に代えて、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液2を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジストフィルム2を作製した。
-Production of photosensitive solder resist film 2-
In Example 1, it replaced with the photosensitive soldering resist composition coating liquid 1, and produced the photosensitive soldering resist film 2 by the method similar to Example 1 except having used the photosensitive soldering resist composition coating liquid 2. did.

<永久パターンの形成>
実施例1において、感光性ソルダーレジストフィルム1に代えて、感光性ソルダーレジストフィルム2を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で永久パターンを形成し、実施例1と同様の方法で、パターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、及び絶縁性の評価を行なった。結果を表2に示す。
<Formation of permanent pattern>
In Example 1, a permanent pattern was formed by the same method as in Example 1 except that the photosensitive solder resist film 2 was used in place of the photosensitive solder resist film 1, and the same method as in Example 1 was used. Then, pattern formation, crack resistance, developability, heat resistance, and insulation were evaluated. The results are shown in Table 2.

(実施例3)
<感光性ソルダーレジストフィルム3の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液3の調製−
実施例1において、合成例1で合成したポリウレタン樹脂(U−1)の添加量を、32.3質量部に変えて36.7質量部とし、イミド樹脂の添加量を、9.3質量部に変えて4.9質量部としたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジスト組成物塗布液3を調製した。
(Example 3)
<Preparation of photosensitive solder resist film 3>
-Preparation of photosensitive solder resist composition coating solution 3-
In Example 1, the addition amount of the polyurethane resin (U-1) synthesized in Synthesis Example 1 was changed to 32.3 parts by mass to 36.7 parts by mass, and the addition amount of the imide resin was 9.3 parts by mass. A photosensitive solder resist composition coating solution 3 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the content was changed to 4.9 parts by mass.

−感光性ソルダーレジストフィルム3の作製−
実施例1において、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1に代えて、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液3を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジストフィルム3を作製した。
-Production of photosensitive solder resist film 3-
In Example 1, it replaced with the photosensitive soldering resist composition coating liquid 1, and produced the photosensitive soldering resist film 3 by the method similar to Example 1 except having used the photosensitive soldering resist composition coating liquid 3. did.

<永久パターンの形成>
実施例1において、感光性ソルダーレジストフィルム1に代えて、感光性ソルダーレジストフィルム3を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で永久パターンを形成し、実施例1と同様の方法で、パターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、及び絶縁性の評価を行なった。結果を表2に示す。
<Formation of permanent pattern>
In Example 1, a permanent pattern was formed by the same method as in Example 1 except that the photosensitive solder resist film 3 was used in place of the photosensitive solder resist film 1, and the same method as in Example 1 was used. Then, pattern formation, crack resistance, developability, heat resistance, and insulation were evaluated. The results are shown in Table 2.

(実施例4)
<感光性ソルダーレジストフィルム4の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液4の調製−
実施例1において、合成例1で合成したポリウレタン樹脂(U−1)に代えて、合成例2で合成したポリウレタン樹脂(U−2)(固形分:45質量%)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジスト組成物塗布液4を調製した。
Example 4
<Preparation of photosensitive solder resist film 4>
-Preparation of photosensitive solder resist composition coating solution 4-
In Example 1, in place of the polyurethane resin (U-1) synthesized in Synthesis Example 1, the polyurethane resin (U-2) synthesized in Synthesis Example 2 (solid content: 45% by mass) was used. A photosensitive solder resist composition coating solution 4 was prepared in the same manner as in Example 1.

−感光性ソルダーレジストフィルム4の作製−
実施例1において、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1に代えて、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液4を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジストフィルム4を作製した。
-Production of photosensitive solder resist film 4-
In Example 1, a photosensitive solder resist composition film 4 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive solder resist composition coating liquid 4 was used instead of the photosensitive solder resist composition coating liquid 1. did.

<永久パターンの形成>
実施例1において、感光性ソルダーレジストフィルム1に代えて、感光性ソルダーレジストフィルム4を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で永久パターンを形成し、実施例1と同様の方法で、パターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、及び絶縁性の評価を行なった。結果を表2に示す。
<Formation of permanent pattern>
In Example 1, a permanent pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive solder resist film 4 was used in place of the photosensitive solder resist film 1, and in the same manner as in Example 1. Then, pattern formation, crack resistance, developability, heat resistance, and insulation were evaluated. The results are shown in Table 2.

(実施例5)
<感光性ソルダーレジストフィルム5の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液5の調製−
実施例1において、合成例1で合成したポリウレタン樹脂(U−1)に代えて、合成例3で合成したポリウレタン樹脂(U−3)(固形分:45質量%)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジスト組成物塗布液5を調製した。
(Example 5)
<Preparation of photosensitive solder resist film 5>
-Preparation of photosensitive solder resist composition coating solution 5-
In Example 1, instead of the polyurethane resin (U-1) synthesized in Synthesis Example 1, the polyurethane resin (U-3) synthesized in Synthesis Example 3 (solid content: 45% by mass) was used. A photosensitive solder resist composition coating solution 5 was prepared in the same manner as in Example 1.

−感光性ソルダーレジストフィルム5の作製−
実施例1において、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1に代えて、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液5を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジストフィルム5を作製した。
-Preparation of photosensitive solder resist film 5-
In Example 1, it replaced with the photosensitive soldering resist composition coating liquid 1, and produced the photosensitive soldering resist film 5 by the method similar to Example 1 except having used the photosensitive soldering resist composition coating liquid 5. did.

<永久パターンの形成>
実施例1において、感光性ソルダーレジストフィルム1に代えて、感光性ソルダーレジストフィルム5を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で永久パターンを形成し、実施例1と同様の方法で、パターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、及び絶縁性の評価を行なった。結果を表2に示す。
<Formation of permanent pattern>
In Example 1, a permanent pattern was formed by the same method as in Example 1 except that the photosensitive solder resist film 5 was used in place of the photosensitive solder resist film 1, and the same method as in Example 1 was used. Then, pattern formation, crack resistance, developability, heat resistance, and insulation were evaluated. The results are shown in Table 2.

(実施例6)
<感光性ソルダーレジストフィルム7の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液6の調製−
実施例1において、ポリアミド系熱可塑性エラストマーを添加しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジスト組成物塗布液6を調製した。
(Example 6)
<Preparation of photosensitive solder resist film 7>
-Preparation of photosensitive solder resist composition coating solution 6-
In Example 1, a photosensitive solder resist composition coating solution 6 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamide-based thermoplastic elastomer was not added.

−感光性ソルダーレジストフィルム6の作製−
実施例1において、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1に代えて、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液6を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジストフィルム6を作製した。
-Production of photosensitive solder resist film 6-
In Example 1, it replaced with the photosensitive soldering resist composition coating liquid 1, and produced the photosensitive soldering resist film 6 by the method similar to Example 1 except having used the photosensitive soldering resist composition coating liquid 6. did.

<永久パターンの形成>
実施例1において、感光性ソルダーレジストフィルム1に代えて、感光性ソルダーレジストフィルム6を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で永久パターンを形成し、実施例1と同様の方法で、パターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、及び絶縁性の評価を行なった。結果を表2に示す。
<Formation of permanent pattern>
In Example 1, a permanent pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive solder resist film 6 was used instead of the photosensitive solder resist film 1, and in the same manner as in Example 1. Then, pattern formation, crack resistance, developability, heat resistance, and insulation were evaluated. The results are shown in Table 2.

(比較例1)
<感光性ソルダーレジストフィルム7の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液7の調製−
実施例1において、ポリウレタン樹脂(U−1)を添加しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジスト組成物塗布液8を調製した。
(Comparative Example 1)
<Preparation of photosensitive solder resist film 7>
-Preparation of photosensitive solder resist composition coating solution 7-
In Example 1, a photosensitive solder resist composition coating solution 8 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyurethane resin (U-1) was not added.

−感光性ソルダーレジストフィルム7の作製−
実施例1において、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1に代えて、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液7を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジストフィルム7を作製した。
-Production of photosensitive solder resist film 7-
In Example 1, the photosensitive solder resist composition film 7 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive solder resist composition coating liquid 7 was used instead of the photosensitive solder resist composition coating liquid 1. did.

<永久パターンの形成>
実施例1において、感光性ソルダーレジストフィルム1に代えて、感光性ソルダーレジストフィルム7を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で永久パターンを形成し、実施例1と同様の方法で、パターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、及び絶縁性の評価を行なった。結果を表2に示す。
<Formation of permanent pattern>
In Example 1, a permanent pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive solder resist film 7 was used instead of the photosensitive solder resist film 1, and in the same manner as in Example 1. Then, pattern formation, crack resistance, developability, heat resistance, and insulation were evaluated. The results are shown in Table 2.

(比較例2)
<感光性ソルダーレジストフィルム8の作製>
−感光性ソルダーレジスト組成物塗布液8の調製−
実施例1において、熱架橋剤を添加しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジスト組成物塗布液8を調製した。
(Comparative Example 2)
<Preparation of photosensitive solder resist film 8>
-Preparation of photosensitive solder resist composition coating solution 8-
In Example 1, a photosensitive solder resist composition coating solution 8 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thermal crosslinking agent was not added.

−感光性ソルダーレジストフィルム8の作製−
実施例1において、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液1に代えて、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液8を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で感光性ソルダーレジストフィルム8を作製した。
-Production of photosensitive solder resist film 8-
In Example 1, a photosensitive solder resist composition film 8 was produced in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive solder resist composition coating liquid 8 was used instead of the photosensitive solder resist composition coating liquid 1. did.

<永久パターンの形成>
実施例1において、感光性ソルダーレジストフィルム1に代えて、感光性ソルダーレジストフィルム8を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で永久パターンを形成し、実施例1と同様の方法で、パターン形成性、耐クラック性、現像性、耐熱性、及び絶縁性の評価を行なった。結果を表2に示す。
<Formation of permanent pattern>
In Example 1, a permanent pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive solder resist film 8 was used instead of the photosensitive solder resist film 1, and in the same manner as in Example 1. Then, pattern formation, crack resistance, developability, heat resistance, and insulation were evaluated. The results are shown in Table 2.

下記表1に実施例1〜6及び比較例1〜2における感光性ソルダーレジスト組成物1〜8の各成分の添加量を固形分換算した値を示す。また、下記表2に実施例1〜6及び比較例1〜2の結果をまとめて示す。   Table 1 below shows values obtained by converting the addition amount of each component of the photosensitive solder resist compositions 1 to 8 in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 2 into solid content. Table 2 below collectively shows the results of Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 and 2.

表2に示す結果より、ポリウレタン樹脂と、熱架橋剤と、ウレタン結合を有するイミド樹脂とを組み合わせた感光性樹脂組成物は、耐熱性、誘電特性に優れるだけでなく、パターン形成性及び耐クラック性にも優れることがわかった。   From the results shown in Table 2, the photosensitive resin composition in which the polyurethane resin, the thermal crosslinking agent, and the imide resin having a urethane bond are combined has not only excellent heat resistance and dielectric properties, but also pattern formability and crack resistance. It was found to be excellent in performance.

本発明の感光性樹脂組成物は、パターン形成性、耐クラック性、耐熱性、電気絶縁性、現像性、機械物性に優れた高性能な硬化膜を得ることができるため、ソルダーレジストに好適に用いることができる。
本発明の感光性ソルダーレジストフィルムは、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターン等の永久パターン等の各種パターン形成、カラーフィルタ、柱材、リブ材、スペーサー、隔壁などの液晶構造部材の製造、ホログラム、マイクロマシン、プルーフの製造等に好適に用いることができ、特にプリント基板の永久パターン形成用に好適に用いることができる。
本発明のパターン形成方法は、前記感光性樹脂組成物を用いるため、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターン等の永久パターン等の各種パターン形成用、カラーフィルタ、柱材、リブ材、スペーサー、隔壁等の液晶構造部材の製造、ホログラム、マイクロマシン、プルーフの製造等に好適に用いることができ、特にプリント基板の永久パターン形成に好適に用いることができる。
The photosensitive resin composition of the present invention can obtain a high-performance cured film excellent in pattern formability, crack resistance, heat resistance, electrical insulation, developability, and mechanical properties, and is therefore suitable for a solder resist. Can be used.
The photosensitive solder resist film of the present invention is a liquid crystal structure member such as a protective film, an interlayer insulating film, various patterns such as permanent patterns such as a solder resist pattern, a color filter, a pillar material, a rib material, a spacer, and a partition wall. It can be suitably used for the production of holograms, micromachines, proofs, etc., and can be particularly suitably used for forming a permanent pattern on a printed circuit board.
Since the pattern forming method of the present invention uses the photosensitive resin composition, it is used for forming various patterns such as a protective film, an interlayer insulating film, and a permanent pattern such as a solder resist pattern, a color filter, a pillar material, a rib material, a spacer. It can be suitably used for the production of liquid crystal structural members such as partition walls, the production of holograms, micromachines, proofs, and the like, and can be particularly suitably used for the formation of permanent patterns on printed boards.

1 支持体
2 感光層
3 保護フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support body 2 Photosensitive layer 3 Protective film

Claims (14)

ポリウレタン樹脂と、熱架橋剤と、ウレタン結合を有するイミド樹脂とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition comprising a polyurethane resin, a thermal crosslinking agent, and an imide resin having a urethane bond. ポリウレタン樹脂が、ビニル基及び酸基を有する請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the polyurethane resin has a vinyl group and an acid group. ポリウレタン樹脂が、側鎖に、下記一般式(1)で表される官能基を有する請求項1から2のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
前記一般式(1)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表し、前記R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。
The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 2, wherein the polyurethane resin has a functional group represented by the following general formula (1) in a side chain.
In the general formula (1), R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —, R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.
ポリウレタン樹脂が、ジイソシアネート化合物とジオール化合物との反応生成物であり、該ジオール化合物が、(i)ビニル基を有し、少なくとも1つが2級アルコールであるジオール化合物の少なくとも1種と、(ii)カルボキシル基を有するジオール化合物の少なくとも1種とを含有する請求項1から3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The polyurethane resin is a reaction product of a diisocyanate compound and a diol compound, and the diol compound is (i) at least one diol compound having a vinyl group and at least one being a secondary alcohol, and (ii) The photosensitive resin composition in any one of Claim 1 to 3 containing at least 1 sort (s) of the diol compound which has a carboxyl group. ウレタン結合を有するイミド樹脂が、下記一般式(I)で表される構造単位と、下記一般式(II)で表される構造単位とを有し、かつ、下記一般式(III)から(V)で表される末端構造のいずれか1種以上を有する請求項1から4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
前記一般式(I)及び(II)中、Rは、炭素数原子6〜13の環式脂肪族構造を有する有機基を表し、前記一般式(II)中、Rは、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造を表す。
The imide resin having a urethane bond has a structural unit represented by the following general formula (I) and a structural unit represented by the following general formula (II), and from the following general formula (III) to (V The photosensitive resin composition in any one of Claim 1 to 4 which has any 1 or more types of the terminal structure represented by this.
In the general formulas (I) and (II), R 1 represents an organic group having a cycloaliphatic structure having 6 to 13 carbon atoms. In the general formula (II), R 2 represents a number average molecular weight. Represents a 700 to 4,500 linear hydrocarbon structure.
ウレタン結合を有するイミド樹脂が、酸価が20〜250で、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700〜4,500で、線状炭化水素構造部分の含有率が20質量%〜40質量%で、イソシアヌレート環の濃度が0.3mmol/g〜1.2mmol/gで、数平均分子量が2,000〜30,000で、かつ、重量平均分子量が3,000〜100,000である請求項5に記載の感光性樹脂組成物。   The imide resin having a urethane bond has an acid value of 20 to 250, a number average molecular weight of the linear hydrocarbon structure part of 700 to 4,500, and a content of the linear hydrocarbon structure part of 20% by mass to 40% by mass. %, The concentration of the isocyanurate ring is from 0.3 mmol / g to 1.2 mmol / g, the number average molecular weight is from 2,000 to 30,000, and the weight average molecular weight is from 3,000 to 100,000. The photosensitive resin composition of Claim 5. ポリウレタン樹脂と、ウレタン結合を有するイミド樹脂との質量比(ポリウレタン樹脂/イミド樹脂)が、1〜19である請求項1から6のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein a mass ratio of the polyurethane resin and the imide resin having a urethane bond (polyurethane resin / imide resin) is 1 to 19. 重合性化合物と、光重合開始剤とを更に含有する請求項1から7のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 7, further comprising a polymerizable compound and a photopolymerization initiator. 熱可塑性エラストマーを更に含有する請求項1から8のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 8, further comprising a thermoplastic elastomer. 請求項1から9のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を含有することを特徴とする感光性ソルダーレジスト組成物。   A photosensitive solder resist composition comprising the photosensitive resin composition according to claim 1. 支持体と、該支持体上に、請求項10に記載の感光性ソルダーレジスト組成物が積層されてなる感光層と、を有することを特徴とする感光性ソルダーレジストフィルム。   A photosensitive solder resist film comprising: a support; and a photosensitive layer obtained by laminating the photosensitive solder resist composition according to claim 10 on the support. 請求項10に記載の感光性ソルダーレジスト組成物を、基体の表面に塗布し、乾燥して感光層を積層して積層体を形成した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法。   A photosensitive solder resist composition according to claim 10 is applied to the surface of a substrate, dried to form a laminate by laminating a photosensitive layer, and then exposed and developed to form a permanent pattern. Method. 請求項12に記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターン。   It forms with the permanent pattern formation method of Claim 12, The permanent pattern characterized by the above-mentioned. 請求項12に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板。   A printed circuit board, wherein a permanent pattern is formed by the permanent pattern forming method according to claim 12.
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