JP2012076368A - Scribing head and method for setting reference angle thereof - Google Patents

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康宏 藤原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scribing head in which the reference angle of a motor for changing the angle of a scribe line can be easily set when the scribe line is curved.SOLUTION: An encoder 32 is attached to the turning motor 31, so that rotational force of the turning motor is transmitted to a kingpin 51 to which a scribing wheel is attached via a clutch plate 41. Since the clutch plate 41 has a pair of projection parts disposed linearly, the direction is set by a reset bar 70 having a lateral-side groove and the set direction is used as the reference angle.

Description

本発明はスクライブ装置に用いられるスクライブヘッドに関し、特にホルダジョイントの方向を回転させることができるスクライブヘッドにおいて、基準となる角度を容易に設定できるようしたスクライブヘッド及びその基準角度設定方法に関するものである。   The present invention relates to a scribe head used in a scribe device, and more particularly to a scribe head capable of easily setting a reference angle in a scribe head capable of rotating the direction of a holder joint and a reference angle setting method thereof. .

従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ(FPD)等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルとなるように分断される。マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。FPDの製造では、一枚のマザー基板をスクライブして、ブレイク工程により複数個のパネル基板を取り出す。   Conventionally, in a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display panel or a liquid crystal projector substrate, a mother glass substrate is bonded together in a manufacturing process, and then divided into a single panel of a predetermined size. For dividing a brittle material substrate such as a mother glass substrate, there are a scribing process and a breaking process, and a scribing apparatus is used in the scribing process. In manufacturing an FPD, a single mother substrate is scribed, and a plurality of panel substrates are taken out by a breaking process.

スクライブ装置には、例えば特許文献1,2に示されるように、脆性材料基板を載置して保持するテーブルと、脆性材料基板に対して相対的に水平方向に移動することができ、上下方向にも移動自在のスクライブヘッドとが設けられている。スクライブヘッドの下端部には、ホルダジョイントが取付けられている。ホルダジョイントはその下端にスクライビングホイール(以下、単に刃先ともいう)を回転自在に保持するものである。   In the scribe device, for example, as shown in Patent Documents 1 and 2, a table for placing and holding a brittle material substrate and a horizontal direction relative to the brittle material substrate can be moved in the vertical direction. Also, a movable scribe head is provided. A holder joint is attached to the lower end of the scribe head. The holder joint rotatably holds a scribing wheel (hereinafter also simply referred to as a cutting edge) at its lower end.

さて図1(a)に示す液晶パネル等の貼り合わせ基板100は、上下のガラス基板101,102が貼り合わされて構成される。貼り合わせ基板100から単個のパネルを切り出す際に通常は長方形状部分について上下のスクライブヘッドの位置を合わせて上下同時にスクライブするようにしている。しかし図1(a)の円形部分の拡大図を図1(b)、側面図を図1(c)に示すように、貼り合わせ基板100の端部では下方のガラス基板102上に形成された電極を露出させる必要がある。そのため上部のガラス基板101の面をより小さく切断する。この場合には上部のガラス基板101のスクライブラインと下部のガラス基板102のスクライブラインの位置をわずかに異ならせたスクライブが必要となる。このようにスクライブラインをずらせる場合であっても、マザー基板の端部から外部シール103の内端までは上下のガラス基板101,102のスクライブラインを合わせてスクライブする必要がある。例えば図1(b)において上下のスクライブラインを夫々L1,L2とすると、外周より外部シール103の内端までスクライブラインL1,L2に示すように上下同時にスクライブする。更に外部シール103よりも内側に入ると、上部のスクライブラインL1はそのまま進行させ、下方のスクライブヘッドのみを蛇行させて上部のスクライブヘッドとわずかに位置をずらせスクライブラインL2に沿ってスクライブする。このようにスクライブを行えばその後のブレイク工程によって下方のガラス基板102に形成された電極を露出させることができる。   Now, a bonded substrate 100 such as a liquid crystal panel shown in FIG. 1A is configured by bonding upper and lower glass substrates 101 and 102. When a single panel is cut out from the bonded substrate 100, the positions of the upper and lower scribe heads are usually aligned with respect to the rectangular portion so as to be simultaneously scribed. However, as shown in FIG. 1B and an enlarged side view of the circular portion in FIG. 1A, and in FIG. 1C, the end portion of the bonded substrate 100 is formed on the lower glass substrate 102. The electrode needs to be exposed. Therefore, the surface of the upper glass substrate 101 is cut smaller. In this case, scribing is required in which the scribe lines of the upper glass substrate 101 and the scribe lines of the lower glass substrate 102 are slightly different. Even when the scribe lines are shifted as described above, it is necessary to scribe the scribe lines of the upper and lower glass substrates 101 and 102 from the end of the mother substrate to the inner end of the outer seal 103. For example, if the upper and lower scribe lines are L1 and L2 in FIG. When entering further inside the outer seal 103, the upper scribe line L1 advances as it is, and only the lower scribe head is meandered so that it is slightly displaced from the upper scribe head and scribed along the scribe line L2. If scribing is performed in this manner, the electrode formed on the lower glass substrate 102 can be exposed by a subsequent breaking process.

このとき従来ではホルダジョイントのシャフトをボールベアリングによって保持することで回転自在とし、スクライブヘッドの移動方向を変えてキャスタ効果によって刃先の向きを変えスクライブラインを蛇行させるようにしていた。   At this time, conventionally, the shaft of the holder joint is held freely by a ball bearing so that the shaft can rotate freely, and the direction of the cutting edge is changed by the caster effect by changing the moving direction of the scribe head to meander the scribe line.

WO2008−149515号公報WO2008-149515 WO2009−154022号公報WO2009-154022

このように従来のスクライブ装置では、キャスタ効果によって刃先の向きを変更させていたので、所望の方向にスクライブできるようになるまでの助走距離が長くなってしまうという欠点があった。又スクライブラインの軌跡が不確定になってしまうという欠点もあった。   Thus, in the conventional scribing device, the direction of the blade edge is changed by the caster effect, so that there is a drawback that the running distance until the scribing in a desired direction becomes long. There is also a drawback that the trajectory of the scribe line becomes uncertain.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、刃先が取り付けられたホルダジョイントをモータによって回転させ、無駄なスクライブ距離を短くすると共に、その基準角度を容易に設定できるようにすることを目的とする。   The present invention has been made paying attention to such a conventional problem, and a holder joint to which a cutting edge is attached is rotated by a motor to shorten a useless scribe distance and easily set a reference angle thereof. The purpose is to be able to.

この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドは、ベースプレートと、エンコーダが連結された旋回モータと、前記旋回モータの回転力を伝える回転力伝達機構と、下端にスクライビングホイールが取り付けられ、前記回転力伝達機構によって伝えられた回転力によりその軸に沿って回転するキングピンを有するホルダジョイントと、前記ホルダジョイントを保持するホルダフランジと、を具備し、前記回転力伝達機構は、前記旋回モータによって回転駆動されるシャフトと、直線状に一対の突出部を有し、前記シャフトに取り付けられてシャフトと共に回転し、その回転力を前記キングピンに伝えるクラッチプレートと、を有し、前記ベースプレートは、軸に沿った溝と先端の切欠きを有するリセットバーをその溝が前記クラッチプレートの突出部に嵌まり込むように挿入したときに、前記リセットバーの先端部を位置決めする位置決め手段を有し、前記ホルダフランジは、前記クラッチプレートの一対の突出部に相当する側壁の位置に貫通孔を有するものである。   In order to solve this problem, a scribe head of the present invention includes a base plate, a swing motor to which an encoder is connected, a rotational force transmission mechanism that transmits the rotational force of the swing motor, and a scribing wheel attached to a lower end. A holder joint having a king pin that rotates along its axis by the rotational force transmitted by the rotational force transmission mechanism; and a holder flange that holds the holder joint. The rotational force transmission mechanism is provided by the turning motor. A shaft that is rotationally driven, a clutch plate that has a pair of protrusions in a straight line, is attached to the shaft and rotates together with the shaft, and transmits the rotational force to the king pin, and the base plate has a shaft A reset bar having a groove along the tip and a notch at the tip of the clutch Positioning means for positioning the tip of the reset bar when inserted so as to fit into the protrusion of the rate, and the holder flange is positioned at a side wall corresponding to the pair of protrusions of the clutch plate. It has a through hole.

ここで前記ホルダフランジを覆うボトムカバーを有し、前記ボトムカバーの前記クラッチプレートの突出部に相当する位置に貫通孔を設けるようにしてもよい。   Here, a bottom cover that covers the holder flange may be provided, and a through hole may be provided at a position corresponding to the protruding portion of the clutch plate of the bottom cover.

ここで前記ボトムカバーの貫通孔に開閉自在の板を設けるようにしてもよい。   Here, an openable / closable plate may be provided in the through hole of the bottom cover.

この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドの基準角度設定方法は、スクライブヘッドにおいて、前記軸に沿った溝を有するリセットバーを前記クラッチプレートの突出部に嵌まり込むように挿入し、リセットバーの先端を前記ベースプレートの位置決め手段に接触させて保持し、前記旋回モータのそのときの角度を示す前記エンコーダの値を基準角度として設定するものである。   In order to solve this problem, the scribing head reference angle setting method of the present invention, in the scribing head, insert a reset bar having a groove along the axis so as to fit into the protruding portion of the clutch plate, The tip of the reset bar is held in contact with the positioning means of the base plate, and the value of the encoder indicating the current angle of the swing motor is set as a reference angle.

このような特徴を有する本発明によれば、スクライブヘッドにホルダジョイントを取り付ける前に、クラッチプレートが所定角度となるようにリセットバーを挿入して基準角度として設定することによって、旋回モータの基準角度を設定することができる。その後旋回モータを回転駆動することでスクライブ中に刃先の方向を能動的に変えることができる。このため貼り合わせ基板をスクライブする際に、上下の刃先を同位置にして外部シール部をスクライブしたり、電極を露出させる必要がある部分では上下のスクライブラインをずらせてスクライブするなど、刃先を自由に制御することができるという効果が得られる。又刃先の方向を自由に制御できるため、キャスタ効果で刃先の向きを変える場合に比べてスクライブラインの軌跡が安定し、短距離で所望の方向にスクライブできるようになるという効果が得られる。   According to the present invention having such characteristics, before attaching the holder joint to the scribe head, the reference angle of the swing motor is set by inserting the reset bar and setting the reference angle so that the clutch plate is at a predetermined angle. Can be set. Thereafter, the direction of the cutting edge can be actively changed during scribing by rotationally driving the turning motor. For this reason, when scribing a bonded substrate, the upper and lower cutting edges are placed in the same position, the external seal part is scribed, and the part where the electrodes need to be exposed is scribed by shifting the upper and lower scribe lines. It is possible to obtain an effect that the control can be performed. In addition, since the direction of the cutting edge can be freely controlled, the trajectory of the scribe line is more stable than when changing the direction of the cutting edge by the caster effect, and the effect of being able to scribe in a desired direction at a short distance can be obtained.

図1は貼り合わせ基板のスクライブを示す図である。FIG. 1 is a diagram showing scribe of a bonded substrate. 図2は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a scribe head according to the embodiment of the present invention. 図3は本実施の形態によるスクライブヘッドの中央縦断面図である。FIG. 3 is a central longitudinal sectional view of the scribe head according to the present embodiment. 図4は本実施の形態によるボトムプレート13を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the bottom plate 13 according to the present embodiment. 図5は本実施の形態によるボトムプレート13の平面図及び部分断面図である。FIG. 5 is a plan view and a partial cross-sectional view of the bottom plate 13 according to the present embodiment. 図6は本実施の形態によるスライダの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the slider according to the present embodiment. 図7は本実施の形態によるホルダフランジを示す斜視図及び断面図である。FIG. 7 is a perspective view and a sectional view showing a holder flange according to the present embodiment. 図8は本実施の形態によるスプラインシャフトとホルダブラケットの周辺部分を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing peripheral portions of the spline shaft and the holder bracket according to the present embodiment. 図9は本実施の形態によるスプラインシャフトとホルダブラケットの周辺部分を示す断面図である。FIG. 9 is a sectional view showing a peripheral portion of the spline shaft and the holder bracket according to the present embodiment. 図10は本実施の形態によるクラッチプレートを示す図である。FIG. 10 shows a clutch plate according to the present embodiment. 図11は本実施の形態によるホルダジョイントの側面図及び断面図である。FIG. 11 is a side view and a sectional view of the holder joint according to the present embodiment. 図12は本実施の形態による連結ボスを示す平面図、断面図、側面図及び斜視図である。FIG. 12 is a plan view, a cross-sectional view, a side view, and a perspective view showing a connecting boss according to this embodiment. 図13(a)は本実施の形態によるボトムカバーを示す平面図、(b)は断面図、(c)は側面図、(d)は斜視図である。FIG. 13A is a plan view showing a bottom cover according to the present embodiment, FIG. 13B is a sectional view, FIG. 13C is a side view, and FIG. 図14は本実施の形態によるリセットバーを示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a reset bar according to the present embodiment. 図15は本実施の形態において旋回モータの基準角度を設定する状態を示す断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view showing a state in which the reference angle of the swing motor is set in the present embodiment.

図2は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図であり、図3はスクライブヘッドの中央縦断面図である。これらの図に示すようにスクライブヘッドは図示しないブリッジに垂直に取り付けられる長方形状のベースプレート11を有している。ベースプレート11の上部にトッププレート12が水平に設けられ、ベースプレート11の下部にトッププレート12と平行にボトムプレート13が設けられる。トッププレート12の上部にはサーボモータ14がその回転軸を下方に向けて固定されている。又サーボモータ14の上部には、その回転角を検出するエンコーダ15が設けられている。サーボモータ14のモータ軸には、図3に示すようにカップリング16を介してボールねじ17のシャフト17aが取り付けられる。又ベースプレート11にはトッププレート12とボトムプレート13の間にスライダ18がリニアウェイ19を介して上下動自在に取り付けられている。スライダ18にはボールねじ17のナット部17bが取り付けられ、サーボモータ14の回転に伴ってスライダ18を上下動させることができる。スライダ18の下端にはホルダブラケット20が取り付けられ、更にホルダブラケット20の下端にはホルダフランジ21が取り付けられる。ここでベースプレート11には下端中央部にボトムプレート13側に向けて突出したピン11aが形成されている。このピン11aは後述するリセットバーの先端を位置決めする位置決め手段を構成している。   FIG. 2 is a perspective view showing an example of a scribe head according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a central longitudinal sectional view of the scribe head. As shown in these drawings, the scribe head has a rectangular base plate 11 that is vertically attached to a bridge (not shown). A top plate 12 is provided horizontally above the base plate 11, and a bottom plate 13 is provided parallel to the top plate 12 below the base plate 11. A servo motor 14 is fixed on the top of the top plate 12 with its rotational axis facing downward. In addition, an encoder 15 for detecting the rotation angle is provided on the servo motor 14. As shown in FIG. 3, a shaft 17 a of a ball screw 17 is attached to the motor shaft of the servo motor 14 via a coupling 16. A slider 18 is attached to the base plate 11 between the top plate 12 and the bottom plate 13 via a linear way 19 so as to be movable up and down. A nut portion 17 b of a ball screw 17 is attached to the slider 18, and the slider 18 can be moved up and down as the servo motor 14 rotates. A holder bracket 20 is attached to the lower end of the slider 18, and a holder flange 21 is attached to the lower end of the holder bracket 20. Here, the base plate 11 is formed with a pin 11a protruding toward the bottom plate 13 at the center of the lower end. This pin 11a constitutes a positioning means for positioning the tip of a reset bar described later.

次に各部材について、より詳細に説明する。図4(a),(b)は上方及び下方から見たボトムプレート13を示す斜視図、図5(a),(b)はその平面図及び部分断面図である。ボトムプレート13は平板状の部材であって、一端には側面に沿った突起部13aが形成されており、この突起部13aに設けられたねじ孔によってベースプレート11にねじ止めされてベースプレート11に対し垂直に接続される。この突起部13aに隣接して長方形状の貫通孔13bが形成される。ボトムプレート13の他端には、ボトムプレート13の長手方向に平行な一対の側壁13c,13dが形成されており、側壁13c,13dのそれぞれの頂面にはねじ溝が設けられている。ボトムプレート13の中央には円形の貫通孔13eが形成され、その底面側には凹部13fが設けられ、凹部13fには後述のホルダフランジ21の上面が嵌まり込む。更に凹部13fの直上には径の小さい段差部13gが形成されている。   Next, each member will be described in more detail. 4A and 4B are perspective views showing the bottom plate 13 viewed from above and below, and FIGS. 5A and 5B are a plan view and a partial cross-sectional view thereof. The bottom plate 13 is a flat plate-like member, and has a protruding portion 13a formed along the side surface at one end. The bottom plate 13 is screwed to the base plate 11 by a screw hole provided in the protruding portion 13a. Connected vertically. A rectangular through hole 13b is formed adjacent to the protrusion 13a. A pair of side walls 13c and 13d parallel to the longitudinal direction of the bottom plate 13 is formed at the other end of the bottom plate 13, and screw grooves are provided on the top surfaces of the side walls 13c and 13d. A circular through-hole 13e is formed in the center of the bottom plate 13, a recess 13f is provided on the bottom side thereof, and an upper surface of a holder flange 21 described later is fitted into the recess 13f. Further, a step 13g having a small diameter is formed immediately above the recess 13f.

図6(a),(b)は上方及び下方から見たスライダ18を示す斜視図である。スライダ18は図示のように前面に開口を有する筐体状の部材であり、上面にはボールねじ17が貫通するためのU字状の切欠き18aが形成される。又スライダ18の下面には後述するスプラインシャフトを回動自在に保持する貫通孔18b、ホルダブラケット20を連結するためのねじ溝18c,18d等が形成されている。   6A and 6B are perspective views showing the slider 18 as viewed from above and below. As shown in the figure, the slider 18 is a housing-like member having an opening on the front surface, and a U-shaped notch 18a through which the ball screw 17 passes is formed on the upper surface. Further, a through hole 18b for rotatably holding a spline shaft, which will be described later, screw grooves 18c, 18d for connecting the holder bracket 20 and the like are formed on the lower surface of the slider 18.

この実施の形態では図3に示すように、ボトムプレート13に設けられた貫通孔13bにホルダブラケット20が貫通しており、上部のスライダ18とホルダフランジ21とがホルダブラケット20を介して連結されている。   In this embodiment, as shown in FIG. 3, the holder bracket 20 passes through the through hole 13 b provided in the bottom plate 13, and the upper slider 18 and the holder flange 21 are connected via the holder bracket 20. ing.

ホルダフランジ21は図7(a)に斜視図、(b)に中央縦断面図、(c)に斜視図を示すように、円筒形の部材であって、上面の一端にはフランジ部21aが形成される。フランジ部21aに一対の貫通孔21b,21cが形成されて前述したホルダブラケット20の下端にねじ止めして固定される。又ホルダフランジ21の下方の円筒形部分には金属カラー23が取り付けられる。金属カラー23の内壁にはホルダジョイント50が圧入されて固定される。又ホルダフランジ21のフランジ部21a側方の環状部分には図示のように中心軸と平行に平面状の切欠き21d,21eが形成され、その中央部分には中心に向けたねじ溝が形成されている。更に環状部分の直下にベースプレート11の面に垂直な中心軸を有する貫通孔21f,21gが形成されている。   The holder flange 21 is a cylindrical member as shown in a perspective view in FIG. 7A, a central longitudinal sectional view in FIG. 7B, and a perspective view in FIG. 7C, and has a flange portion 21a at one end of the upper surface. It is formed. A pair of through holes 21b and 21c are formed in the flange portion 21a, and are fixed to the lower end of the holder bracket 20 by screws. A metal collar 23 is attached to the cylindrical portion below the holder flange 21. A holder joint 50 is press-fitted and fixed to the inner wall of the metal collar 23. Further, as shown in the drawing, planar cutouts 21d and 21e are formed in the annular portion on the side of the flange portion 21a of the holder flange 21 and a screw groove directed toward the center is formed in the central portion. ing. Further, through holes 21f and 21g having a central axis perpendicular to the surface of the base plate 11 are formed immediately below the annular portion.

次にボトムプレート13にはスクライビングホイールの方向を回転させるための機構が取り付けられている。図3に示すように、ボトムプレート13の上部には旋回モータ31がその回転軸を下方に向けて固定されている。具体的には、旋回モータ31を収納した筐体がボトムプレート13の側壁13c,13dの頂面のねじ溝にねじ又はボルトで取り付けられて固定される。旋回モータ31の上部にはその回転角を検出するアブソリュート型のエンコーダ32が設けられている。旋回モータ31の出力軸にはギア33が固定されている。ギア33は、旋回モータ31がボトムプレート13に取り付けられた状態において、ボトムプレート13の側壁13cと13dの間の空間に位置付けられる。   Next, a mechanism for rotating the direction of the scribing wheel is attached to the bottom plate 13. As shown in FIG. 3, a swing motor 31 is fixed to the upper portion of the bottom plate 13 with its rotating shaft directed downward. Specifically, the housing that houses the turning motor 31 is fixed to the screw grooves on the top surfaces of the side walls 13c and 13d of the bottom plate 13 by screws or bolts. An absolute encoder 32 for detecting the rotation angle is provided on the upper part of the swing motor 31. A gear 33 is fixed to the output shaft of the turning motor 31. The gear 33 is positioned in a space between the side walls 13 c and 13 d of the bottom plate 13 in a state where the turning motor 31 is attached to the bottom plate 13.

図8は回転力伝達機構のうちホルダブラケット20に取り付けられたスプラインシャフトの周辺部分をホルダブラケット20と共により詳細に示す斜視図、図9はその断面図である。回転力伝達機構はこれらの図に示すように、ボールスプラインを構成する円柱状のスプラインシャフト34とその外筒35を有している。スプラインシャフト34の上部にはベアリング36が取り付けられており、ベアリング36がホルダブラケット20の貫通孔に挿入されて保持される。スプラインシャフト34の中央部分にはボールスプラインギア37とボールスプラインの外筒35が設けられる。ボールスプラインギア37は上部に筒状部37a,下部にこれと同軸で外径の小さい筒状部37bを有し、上部筒状部37aの外周にギア部37cが設けられる。ボールスプラインの外筒35は側方よりねじによってボールスプラインギア37の上部筒状部37a内に固定される。ボールスプラインギア37のギア部37cはギア33と噛合するものである。又ボトムプレート13の貫通孔13eにはベアリング38,39が挿入され、段差部13gによって保持されている。これらのベアリング38,39はボールスプラインギアの下部筒状部37bの外周を保持することにより、ボールスプラインギア37を回転自在とするベアリングである。更にスプラインシャフト34の下端にはボールベアリング40及びクラッチプレート41が取り付けられる。スプラインシャフト34はサーボモータ14の回転に伴ってスライダ18、ホルダブラケット20と共に上下動し、旋回モータ31の回転に伴って回転するものである。   FIG. 8 is a perspective view showing the peripheral portion of the spline shaft attached to the holder bracket 20 in the rotational force transmission mechanism in more detail together with the holder bracket 20, and FIG. 9 is a sectional view thereof. As shown in these drawings, the rotational force transmission mechanism has a cylindrical spline shaft 34 constituting a ball spline and an outer cylinder 35 thereof. A bearing 36 is attached to the upper portion of the spline shaft 34, and the bearing 36 is inserted and held in the through hole of the holder bracket 20. A ball spline gear 37 and a ball spline outer cylinder 35 are provided at the center of the spline shaft 34. The ball spline gear 37 has a cylindrical portion 37a in the upper portion and a cylindrical portion 37b having a small outer diameter which is coaxial with the lower portion, and a gear portion 37c is provided on the outer periphery of the upper cylindrical portion 37a. The outer cylinder 35 of the ball spline is fixed in the upper cylindrical portion 37a of the ball spline gear 37 by screws from the side. The gear portion 37 c of the ball spline gear 37 is engaged with the gear 33. Also, bearings 38 and 39 are inserted into the through holes 13e of the bottom plate 13 and are held by the stepped portions 13g. These bearings 38 and 39 are bearings that allow the ball spline gear 37 to rotate by holding the outer periphery of the lower cylindrical portion 37b of the ball spline gear. Further, a ball bearing 40 and a clutch plate 41 are attached to the lower end of the spline shaft 34. The spline shaft 34 moves up and down together with the slider 18 and the holder bracket 20 with the rotation of the servo motor 14, and rotates with the rotation of the turning motor 31.

図10(a)はクラッチプレート41を示す正面図、(b)は底面図及び(c)は斜視図である。これらの図に示すようにクラッチプレート41は円板状の部材であって、スプラインシャフト34の下端に取り付けられている。クラッチプレート41の下面には180度対称な位置に一対の突出部41a,41bが形成され、中央部は円形に切欠かれている。ここでこの突出部の幅をT1とする。又円板部の切欠かれた側面には両側よりねじ溝が形成されている。   10A is a front view showing the clutch plate 41, FIG. 10B is a bottom view, and FIG. 10C is a perspective view. As shown in these drawings, the clutch plate 41 is a disk-shaped member and is attached to the lower end of the spline shaft 34. A pair of projecting portions 41a and 41b are formed on the lower surface of the clutch plate 41 at positions symmetrical to 180 degrees, and the central portion is cut out in a circular shape. Here, the width of this protrusion is T1. In addition, threaded grooves are formed on both sides of the disc portion from both sides.

次にホルダフランジ21の金属カラー23に圧入されるホルダジョイント50について説明する。図11の左側はホルダジョイント50の側面図、右側は断面図である。ホルダジョイント50は中央に円柱状のキングピン51を有している。キングピン51はスプラインシャフト34の回転に伴って回転するものであり、その円柱状部には、上部と中央部にキングピン51を回動自在に保持するための第1,第2のベアリング52,53が円筒形のスペーサ54を介して設けられている。又キングピン51の下方にはキングピン押さえ55とベアリングカバー56が設けられる。キングピン51の下方にはピン57によりスクライビングホイール58が回転自在に保持されている。更にキングピン51の上部には連結ボス59がねじ止めにより固定されている。   Next, the holder joint 50 press-fitted into the metal collar 23 of the holder flange 21 will be described. The left side of FIG. 11 is a side view of the holder joint 50, and the right side is a cross-sectional view. The holder joint 50 has a cylindrical king pin 51 in the center. The king pin 51 rotates with the rotation of the spline shaft 34, and the cylindrical portion thereof has first and second bearings 52, 53 for holding the king pin 51 rotatably at the upper part and the central part. Is provided via a cylindrical spacer 54. Also, a king pin presser 55 and a bearing cover 56 are provided below the king pin 51. A scribing wheel 58 is rotatably held by a pin 57 below the king pin 51. Further, a connecting boss 59 is fixed to the upper portion of the king pin 51 by screwing.

図12(a)は連結ボス59の平面図、(b)は断面図、(c)は側面図、(d)は斜視図である。これらの図に示すように連結ボス59は円筒部材であって、上部の側壁には180°対称な位置に切欠き59a,59bが設けられている。切欠き59a,59bは上向きに角度α(例えば15°)の角度で拡がるように切欠かれており、この切欠き部分には前述したクラッチプレート41の左右の突出部41a,41bが係合することとなる。ここで切欠きの幅T2は前述したクラッチプレート41の突出部の幅T1よりわずかに大きくしておき、回転力を伝達する際の遊びを設けておく。   12A is a plan view of the connecting boss 59, FIG. 12B is a sectional view, FIG. 12C is a side view, and FIG. 12D is a perspective view. As shown in these drawings, the connecting boss 59 is a cylindrical member, and notches 59a and 59b are provided on the upper side wall at positions 180.degree. Symmetrical. The notches 59a and 59b are notched so as to expand upward at an angle α (for example, 15 °), and the left and right protrusions 41a and 41b of the clutch plate 41 are engaged with the notches. It becomes. Here, the width T2 of the notch is slightly larger than the width T1 of the protruding portion of the clutch plate 41 described above, and play is provided when the rotational force is transmitted.

次にホルダジョイント50の下方に取り付けられるボトムカバー60について説明する。図13(a)はボトムカバー60を示す平面図、(b)は断面図、(c)は側面図、(d)は斜視図である。これらの図に示すように、ボトムカバーは直方体状の筐体部60aの下面に円筒部60bが一体に構成されたものである。筐体部60aの側壁には図13(b),(d)に示すように、右側部分に径の大きい貫通孔60cが形成され、ゴム製の蓋61が取り付けられる。筐体部60aの左側の側壁に貫通孔60cと同軸に貫通孔60dが形成される。更にこの貫通孔60dを含む幅広の浅い切欠き60eが左側壁の下端まで設けられる。この切欠き60e内で貫通孔60dの下方にはねじ溝60fが形成されている。切欠き60eにはL字形のブランクプレート62がローレットねじ63を介して取り付けられる。ブランクプレート62は下方に長穴62aを有しており、ローレットねじ63を緩めてブランクプレート62を長穴62aの範囲で切欠き60eに沿って上下動させたり、締め付けて固定することによって、貫通孔60dを開いたり閉じたりすることができる。   Next, the bottom cover 60 attached below the holder joint 50 will be described. 13A is a plan view showing the bottom cover 60, FIG. 13B is a sectional view, FIG. 13C is a side view, and FIG. 13D is a perspective view. As shown in these drawings, the bottom cover is configured such that a cylindrical portion 60b is integrally formed on a lower surface of a rectangular parallelepiped housing portion 60a. As shown in FIGS. 13B and 13D, a through hole 60c having a large diameter is formed on the right side portion, and a rubber lid 61 is attached to the side wall of the housing portion 60a. A through hole 60d is formed coaxially with the through hole 60c on the left side wall of the housing 60a. Furthermore, a wide shallow notch 60e including the through hole 60d is provided to the lower end of the left side wall. A thread groove 60f is formed in the notch 60e below the through hole 60d. An L-shaped blank plate 62 is attached to the notch 60e via a knurled screw 63. The blank plate 62 has a long hole 62a on the lower side. By loosening the knurled screw 63, the blank plate 62 is moved up and down along the notch 60e within the range of the long hole 62a, or fixed by tightening. The hole 60d can be opened or closed.

次に本実施の形態において基準角度を設定するための設定治具として用いられるリセットバー70について説明する。図14(a)はこのリセットバー70を示す一部切欠き断面図、(b)は正面図、(c)は斜視図である。これらの図に示すように、リセットバー70は細い円柱状の部材であって、取手部70aと円柱部70bから構成される。取手部70aは円柱の両側が切欠かれた構造となっている。又円柱部70bの上面には断面がコ字状となる切欠き溝70cがそのリセットバー70の中心軸に平行に形成されている。又円柱部70bの下面の先端部分は一定範囲まで円弧状に切欠かれた切欠き70dを有している。   Next, the reset bar 70 used as a setting jig for setting the reference angle in the present embodiment will be described. FIG. 14A is a partially cutaway sectional view showing the reset bar 70, FIG. 14B is a front view, and FIG. 14C is a perspective view. As shown in these drawings, the reset bar 70 is a thin cylindrical member, and includes a handle portion 70a and a cylindrical portion 70b. The handle portion 70a has a structure in which both sides of a cylinder are cut out. A cutout groove 70c having a U-shaped cross section is formed on the upper surface of the cylindrical portion 70b in parallel with the central axis of the reset bar 70. Further, the tip portion of the lower surface of the cylindrical portion 70b has a notch 70d that is notched in a circular arc shape up to a certain range.

ここで本実施の形態において、ギア33、ボールスプラインギア37、スプラインシャフト34、クラッチプレート41及び連結ボス59は、旋回モータ31の回転力を遊びを伴ってホルダジョイント50のキングピン51に伝える回転力伝達機構を構成している。   Here, in the present embodiment, the gear 33, the ball spline gear 37, the spline shaft 34, the clutch plate 41, and the connecting boss 59 transmit the rotational force of the turning motor 31 to the king pin 51 of the holder joint 50 with play. A transmission mechanism is configured.

次にこの実施の形態の動作開始前に行う基準角度の設定について図15を用いて説明する。まずクラッチプレート41の一対の突出部41a,41bがベースプレート11の面に垂直な方向に並ぶように旋回モータ31を回転させておく。次いでローレットねじ63を緩めてブランクプレート62を下方にスライドさせ、貫通孔60dを開く。又ボトムカバー60の貫通孔60cを封止してある蓋61を取り外し、この開口よりリセットバー70を挿入する。このときリセットバー70の先端にある円形の切欠き70dを下向きに、切欠き溝70cを上側にしてホルダフランジ21の貫通孔21f,21g及びボトムカバー60の貫通孔60dに挿入する。こうすればクラッチプレート41の突出部41a,41bが切欠き溝70cに嵌まり込むこととなって、リセットバー70を水平に挿入することができる。そしてリセットバー70がベースプレート11に達すると、ベースプレート11の中央下端に取り付けられているピン11aに円弧状の切欠き70dが嵌まり合い、リセットバー70を正確に水平に保持することができる。この状態で旋回モータ31に連結されているエンコーダ32の値で示される現在の角度を基準角度として設定する。   Next, the setting of the reference angle performed before starting the operation of this embodiment will be described with reference to FIG. First, the turning motor 31 is rotated so that the pair of protrusions 41 a and 41 b of the clutch plate 41 are aligned in a direction perpendicular to the surface of the base plate 11. Next, the knurled screw 63 is loosened and the blank plate 62 is slid downward to open the through hole 60d. Also, the lid 61 sealing the through hole 60c of the bottom cover 60 is removed, and the reset bar 70 is inserted from this opening. At this time, the circular notch 70d at the tip of the reset bar 70 is inserted downward into the through holes 21f and 21g of the holder flange 21 and the through hole 60d of the bottom cover 60 with the notch groove 70c facing upward. In this way, the protrusions 41a and 41b of the clutch plate 41 are fitted into the notch groove 70c, and the reset bar 70 can be inserted horizontally. When the reset bar 70 reaches the base plate 11, the arc-shaped notch 70d fits into the pin 11a attached to the lower center of the base plate 11, so that the reset bar 70 can be accurately held horizontally. In this state, the current angle indicated by the value of the encoder 32 connected to the turning motor 31 is set as the reference angle.

こうして基準角度を設定した後、リセットバー70を取り外し、ブランクプレート62を上方にスライドさせ貫通孔60dを閉じてローレットねじ63でブランクプレート62を固定する。更に貫通孔60cを蓋61によって閉じる。次いでホルダフランジ21の下方よりホルダジョイント50を挿入し、金属カラー23に圧入する。これによってクラッチプレート41と連結ボス59とを連結することができる。こうすればこれ以降は、基準角度を基準として旋回モータ31を回転させ、エンコーダ32の角度を検出することにより、正確にスクライビングホイールの角度を制御することができる。   After setting the reference angle in this way, the reset bar 70 is removed, the blank plate 62 is slid upward, the through hole 60d is closed, and the blank plate 62 is fixed with the knurled screw 63. Further, the through hole 60 c is closed by the lid 61. Next, the holder joint 50 is inserted from below the holder flange 21 and press-fitted into the metal collar 23. As a result, the clutch plate 41 and the connecting boss 59 can be connected. If it carries out like this, after that, the rotation motor 31 is rotated on the basis of the reference angle, and the angle of the scribing wheel can be accurately controlled by detecting the angle of the encoder 32.

次に本実施の形態の動作について説明する。トッププレート12の上面に取り付けられているサーボモータ14を駆動することによってボールねじ17が回転する。これによりスライダ18は図3に示すリニアウェイ19の最も高い位置と、最も低い位置との間を上下動することができる。スライダ18の上下動に伴いスライダ18と連結されているホルダブラケット20とホルダフランジ21及びスプラインシャフト34も同時に上下動することとなる。このようにスライダ18とホルダフランジ21との間隔が大きい場合にもこれらを連結して上下動させることができる。   Next, the operation of the present embodiment will be described. The ball screw 17 is rotated by driving a servo motor 14 attached to the upper surface of the top plate 12. Thereby, the slider 18 can move up and down between the highest position and the lowest position of the linear way 19 shown in FIG. As the slider 18 moves up and down, the holder bracket 20, the holder flange 21, and the spline shaft 34 connected to the slider 18 also move up and down at the same time. Thus, even when the distance between the slider 18 and the holder flange 21 is large, they can be connected and moved up and down.

次に曲線状のスクライブラインを形成する際の動作について説明する。ボトムプレート13の上部に保持されている旋回モータ31を駆動することによって、旋回モータ31に連結されたギア33が回転する。これによってこのギア33に噛合するボールスプラインギア37を介してスプラインシャフト34も回転することとなり、この下端に固定されたクラッチプレート41が回転する。これに伴ってキングピン51の上部に固定されている連結ボス59を介してキングピン51が回転することとなり、キングピン51の下方に保持されているスクライビングホイール58の角度を変化させることができる。従って図1に示すように容易にスクライブラインを曲線とすることができる。   Next, the operation when forming a curved scribe line will be described. By driving the turning motor 31 held on the top of the bottom plate 13, the gear 33 connected to the turning motor 31 rotates. As a result, the spline shaft 34 also rotates through the ball spline gear 37 meshed with the gear 33, and the clutch plate 41 fixed to the lower end rotates. Along with this, the king pin 51 rotates through the connecting boss 59 fixed to the upper portion of the king pin 51, and the angle of the scribing wheel 58 held below the king pin 51 can be changed. Accordingly, as shown in FIG. 1, the scribe line can be easily formed into a curve.

尚この実施の形態においては位置決め手段としてベースプレート11にピン11aを設けているが、これに代えてベースプレート11に窪みを設け、リセットバー70の先端を所定角度でのみ挿入可能として位置決めできるようにしてもよい。   In this embodiment, the pin 11a is provided on the base plate 11 as positioning means. Instead, a recess is provided in the base plate 11 so that the tip of the reset bar 70 can be inserted only at a predetermined angle. Also good.

本発明はスクライビングホイールの走行方向自体をモータによって変化させることでスクライブラインを容易に湾曲させることができ、貼り合わせ基板のスクライブに好適に用いることができる。   In the present invention, the scribe line can be easily bent by changing the traveling direction of the scribing wheel by a motor, and can be suitably used for scribing a bonded substrate.

10 スクライブヘッド
11 ベースプレート
12 トッププレート
13 ボトムプレート
14 サーボモータ
15 エンコーダ
16 カップリング
17 ボールねじ
18 スライダ
19 リニアウェイ
20 ホルダブラケット
21 ホルダフランジ
23 金属カラー
31 旋回モータ
32 エンコーダ
33 ギア
34 スプラインシャフト
35 外筒
37 ボールスプラインギア
38,39 ベアリング
41 クラッチプレート
50 ホルダジョイント
51 キングピン
58 スクライビングホイール
59 連結ボス
60 ボトムカバー
61 蓋
62 ブランクプレート
63 ローレットねじ
70 リセットバー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Scribe head 11 Base plate 12 Top plate 13 Bottom plate 14 Servo motor 15 Encoder 16 Coupling 17 Ball screw 18 Slider 19 Linear way 20 Holder bracket 21 Holder flange 23 Metal collar 31 Turning motor 32 Encoder 33 Gear 34 Spline shaft 35 Outer cylinder 37 Ball spline gear 38, 39 Bearing 41 Clutch plate 50 Holder joint 51 King pin 58 Scribing wheel 59 Connecting boss 60 Bottom cover 61 Lid 62 Blank plate 63 Knurled screw 70 Reset bar

Claims (4)

ベースプレートと、
エンコーダが連結された旋回モータと、
前記旋回モータの回転力を伝える回転力伝達機構と、
下端にスクライビングホイールが取り付けられ、前記回転力伝達機構によって伝えられた回転力によりその軸に沿って回転するキングピンを有するホルダジョイントと、
前記ホルダジョイントを保持するホルダフランジと、を具備し、
前記回転力伝達機構は、
前記旋回モータによって回転駆動されるシャフトと、
直線状に一対の突出部を有し、前記シャフトに取り付けられてシャフトと共に回転し、その回転力を前記キングピンに伝えるクラッチプレートと、を有し、
前記ベースプレートは、軸に沿った溝と先端の切欠きを有するリセットバーをその溝が前記クラッチプレートの突出部に嵌まり込むように挿入したときに、前記リセットバーの先端部を位置決めする位置決め手段を有し、
前記ホルダフランジは、前記クラッチプレートの一対の突出部に相当する側壁の位置に貫通孔を有するスクライブヘッド。
A base plate;
A swivel motor with an encoder connected thereto;
A rotational force transmission mechanism for transmitting the rotational force of the turning motor;
A holder joint having a king pin attached to a lower end, and having a king pin that rotates along its axis by the rotational force transmitted by the rotational force transmission mechanism;
A holder flange for holding the holder joint,
The rotational force transmission mechanism is
A shaft that is rotationally driven by the turning motor;
A pair of protrusions in a straight line, a clutch plate attached to the shaft and rotating together with the shaft, and transmitting the rotational force to the kingpin;
The base plate is a positioning means for positioning the tip of the reset bar when a reset bar having a groove along the axis and a notch at the tip is inserted so that the groove fits into the protruding portion of the clutch plate. Have
The holder flange is a scribe head having a through hole at a position of a side wall corresponding to a pair of projecting portions of the clutch plate.
前記ホルダフランジを覆うボトムカバーを有し、前記ボトムカバーの前記クラッチプレートの突出部に相当する位置に貫通孔を設けた請求項1記載のスクライブヘッド。   The scribe head according to claim 1, further comprising a bottom cover that covers the holder flange, and a through hole provided at a position corresponding to a protruding portion of the clutch plate of the bottom cover. 前記ボトムカバーの貫通孔に開閉自在の板を設けた請求項2記載のスクライブヘッド。   The scribe head according to claim 2, wherein an openable / closable plate is provided in the through hole of the bottom cover. 請求項1記載のスクライブヘッドにおいて、
前記軸に沿った溝を有するリセットバーを前記クラッチプレートの突出部に嵌まり込むように挿入し、
リセットバーの先端を前記ベースプレートの位置決め手段に接触させて保持し、
前記旋回モータのそのときの角度を示す前記エンコーダの値を基準角度として設定するスクライブヘッドの基準角度設定方法。
The scribe head according to claim 1, wherein
Insert a reset bar having a groove along the axis so as to fit into the protrusion of the clutch plate,
Hold the tip of the reset bar in contact with the positioning means of the base plate,
A scribing head reference angle setting method for setting a value of the encoder indicating a current angle of the swing motor as a reference angle.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106808606A (en) * 2017-03-24 2017-06-09 合肥智慧龙图腾知识产权股份有限公司 One kind is applied to many specification crystal column double screw processing devices

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