JP2012068287A - Color filter substrate and method of manufacturing the same - Google Patents

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宏希 後藤
Kenji Matsusei
健司 松政
Kenta Nakamura
謙太 中村
Junichiro Tanaka
淳一郎 田中
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter substrate for liquid crystal panels with reduced dignity deterioration of a product by forming a capacitance type touch panel electrode and a color filter on the front/back of a same transparent substrate and forming an overlapped part of XY electrodes with jumpers; and to provide a manufacturing method allowing an inspection by an inspection machine.SOLUTION: The touch panel electrode includes a plurality of first translucent electrodes intermittently disposed in an X-axis direction and a Y-axis direction orthogonally thereto on a same layer; and a plurality of second translucent electrodes disposed in the X-axis direction and the Y-axis direction, the respective second translucent electrodes being disposed at spaces between the rows and between the columns of the first translucent electrodes. The respective first translucent electrodes aligned in the X-axis direction are electrically connected by a plurality of jumpers aligned in the X-axis direction and the Y-axis direction and composed of a conductive material, and the jumpers are formed at prescribed positions superposed on a black matrix of the translucent substrate backside when the substrate display surface is viewed from the vertical direction.

Description

本発明は、タッチパネル式液晶ディスプレイ等に用いられる、タッチパネル機能を有するカラーフィルタ基板に関し、タッチパネル電極とカラーフィルタを同一のガラス基板の表裏に形成したカラーフィルタ基板及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a color filter substrate having a touch panel function, which is used for a touch panel liquid crystal display or the like, and relates to a color filter substrate in which a touch panel electrode and a color filter are formed on the front and back of the same glass substrate and a manufacturing method thereof.

カラー液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタは、カラー液晶表示装置等に不可欠な部材で、液晶表示装置の画質を向上させたり、各画素にそれぞれの原色の色彩を与えたりする役割を有している。このカラーフィルタを構成するフィルタセグメントまたはブラックマトリックスは、ガラス基板などに感光性材料を塗布し、余剰の溶剤を乾燥除去したあと、画素形成のためのフォトマスクを介し、プロキシミティ露光(近接露光)などで超高圧水銀灯を使用して活性エネルギー線を照射し、硬化(ネガ型)またはアルカリ溶解度を高め(ポジ型)、アルカリ溶液などで溶解する部分を除去することにより形成されている。これを各色について繰り返すことにより、カラーフィルタが作製される。   A color filter used in a color liquid crystal display device or the like is an indispensable member for a color liquid crystal display device or the like, and has a role of improving the image quality of the liquid crystal display device or giving each pixel a color of each primary color. Yes. The filter segment or black matrix that constitutes this color filter is coated with a photosensitive material on a glass substrate, etc., dried and removed excess solvent, and then exposed through a photomask for pixel formation (proximity exposure). For example, it is formed by irradiating active energy rays using an ultra-high pressure mercury lamp, curing (negative type) or increasing alkali solubility (positive type), and removing a portion dissolved by an alkali solution or the like. By repeating this for each color, a color filter is produced.

アクティブマトリックス方式の液晶表示装置では、一般に、ガラス基板上に各画素ごとにアクティブ素子(薄膜トランジスタ、TFT)を形成したアレイ基板と、ガラス基板上にカラーフィルタと一様な透明電極を形成したカラーフィルタ基板とが、間に液晶を挟んで対向して配置されている。なお、アレイ基板の各TFT素子のスイッチング作用によって各画素の液晶のシャッター作用を制御している。   In an active matrix liquid crystal display device, generally, an array substrate in which active elements (thin film transistors, TFTs) are formed for each pixel on a glass substrate, and a color filter in which a color filter and a uniform transparent electrode are formed on the glass substrate. The substrate is disposed so as to face the liquid crystal in between. The shutter action of the liquid crystal of each pixel is controlled by the switching action of each TFT element on the array substrate.

近年、カラー液晶表示装置は、液晶カラーテレビや液晶表示装置一体型のノートパソコンとして大きな市場を形成するに至っている。また、携帯電話機や、携帯情報端末、カーナビゲーションシステムを始め、タッチパネルを液晶表示パネルと一体型で構成した、タッチパネル式液晶ディスプレイが市場に普及してきた。タッチパネルは、その構造及び検出方式の違いにより、抵抗膜型や静電容量型等の様々なタイプがある。このうち、静電容量型タッチパネルは、1枚の基板上に透光性導電膜(透光性電極)を有し、指またはペン等が接触(タッチ)することによって形成される静電容量を介して流れる微弱電流量の変化を検出する事によって被接触位置を特定するもので、指示される内容を入力信号として受け取り液晶表示装置を駆動する。静電容量型タッチパネルは、抵抗膜型タッチパネルと比べて、より高い透過率が得られる利点がある。   In recent years, color liquid crystal display devices have formed a large market as liquid crystal color televisions and liquid crystal display device-integrated notebook personal computers. In addition, touch panel type liquid crystal displays in which a touch panel is integrated with a liquid crystal display panel, such as a mobile phone, a portable information terminal, and a car navigation system, have spread in the market. There are various types of touch panels such as a resistance film type and a capacitance type depending on the structure and detection method. Among these, the capacitive touch panel has a translucent conductive film (translucent electrode) on one substrate, and has a capacitance formed by contact (touch) with a finger or a pen. The position to be touched is specified by detecting a change in the amount of weak current flowing therethrough, and the liquid crystal display device is driven by receiving the instructed content as an input signal. The capacitive touch panel has an advantage that higher transmittance can be obtained as compared with the resistive touch panel.

当初は、例えば特許文献1に開示されているように、液晶等の表示素子上に取り付けられて、表示内容と対応しながらペンで手書き入力、ポイント入力、または指で入力する抵抗膜(感圧)方式の透明タッチパネルが開発されていた。しかし、この方式では、タッチパネルを具備した製品の厚さと大きさとが増加するという問題点がある。そこで、静電容量型タッチパネルを用いる場合でも、従来は、タッチパネル電極とカラーフィルタとを別々の基板で作成し、モジュールにする時に貼り合わせる技術が主流であった。しかしながら、タッチパネルのストライプとカラーフィルタのストライプの微妙なズレによる干渉縞の発生や、タッチパネル表面とカラーフィルタ表面との距離により斜め表示で視差が発生する等表示性能面での問題点があった。   Initially, as disclosed in, for example, Patent Document 1, a resistive film (pressure sensitive) that is attached on a display element such as a liquid crystal and that is handwritten, point input, or finger input with a pen while corresponding to the display content ) Type transparent touch panel has been developed. However, this method has a problem that the thickness and size of a product equipped with a touch panel increase. Therefore, even when a capacitive touch panel is used, conventionally, a technique in which a touch panel electrode and a color filter are formed on separate substrates and bonded to form a module has been the mainstream. However, there are problems in display performance, such as generation of interference fringes due to subtle displacement between the touch panel stripe and the color filter stripe, and the occurrence of parallax in oblique display due to the distance between the touch panel surface and the color filter surface.

そこで、タッチパネル電極とカラーフィルタ基板の貼り合わせの工程削減目的と、貼りあわせた時に発生する空隙による光学特性低減防止の為に、タッチパネル電極とカラーフィルタを同一のガラス基板の表裏に形成する技術が各社で検討されている。片面(裏面)に前述した内容でカラーフィルタが作製されているガラス基板の反対面(表面)にタッチパネル電極を形成することになる。   Therefore, there is a technology to form the touch panel electrode and the color filter on the front and back of the same glass substrate for the purpose of reducing the process of bonding the touch panel electrode and the color filter substrate and for preventing the optical characteristics from being reduced due to the gap generated when the panel is bonded. It is being considered by each company. A touch panel electrode is formed on the opposite surface (front surface) of the glass substrate on which the color filter is produced on the one surface (back surface) as described above.

静電容量型のタッチパネル電極を形成する場合、XY電極の重なり部分に金属でのジャンパーを形成し、XYを認識可能な電極形成を行なう。例えば、特許文献2及び特許文献3には、基板上に透明導電性薄膜からなる、X軸方向に等間隔に配置し相互に平行配列する複数のX軸トレース、及び、Y軸方向に等間隔に配置し相互に平行配列する複数のY軸トレースを備え、並びに、X軸トレース及びY軸トレースは、同一平面上において行列式に交差配置されており、個別のX軸トレース上の各センサユニットは相互連結し、個別のY軸トレース上の各センサユニットは連結せず間隔を空けて配列し、導電性の材料よりなるジャンパーを介して電気的に接続している、コンデンサ式タッチパッド(静電容量型タッチパネル電極)が開示されている。   In the case of forming a capacitive touch panel electrode, a metal jumper is formed in an overlapping portion of the XY electrodes, and an electrode capable of recognizing XY is formed. For example, in Patent Document 2 and Patent Document 3, a plurality of X-axis traces that are made of a transparent conductive thin film on a substrate and are arranged at equal intervals in the X-axis direction and arranged parallel to each other, and at equal intervals in the Y-axis direction A plurality of Y-axis traces arranged in parallel to each other, and the X-axis traces and the Y-axis traces are arranged in a deterministic manner on the same plane, and each sensor unit on the individual X-axis traces Are connected to each other, and the sensor units on the individual Y-axis traces are not connected but are spaced apart and electrically connected via a jumper made of a conductive material. A capacitive touch panel electrode) is disclosed.

ジャンパーは、金属やITO(酸化インジウムすず)等で形成する。静電容量型のタッチパネル電極の重なり部にジャンパーを形成する場合、従来は、裏面のカラーフィルタ部の画素開口部にタッチパネル電極のジャンパーがレイアウトされていた。   The jumper is formed of metal, ITO (indium tin oxide) or the like. When forming a jumper in the overlapping part of the capacitive touch panel electrode, conventionally, the jumper of the touch panel electrode has been laid out in the pixel opening of the color filter part on the back surface.

特開平6−139005号公報JP-A-6-139005 登録実用新案第3144563号公報Registered Utility Model No. 3144563 登録実用新案第3144241号公報Registered Utility Model No. 3144241

上記した従来の静電容量型タッチパネル電極は、基板上に、透光性電極、絶縁膜、ジャンパー(導電体)をこの順に積層することにより形成される。この場合、ジャンパーが人に近い側(液晶パネルと反対側)に形成されるので、ジャンパーを金属光沢を有する導電材料で形成した場合、ジャンパーが見た目に目立ちやすくなってしまう。   The above-described conventional capacitive touch panel electrode is formed by laminating a translucent electrode, an insulating film, and a jumper (conductor) in this order on a substrate. In this case, since the jumper is formed on the side close to a person (the side opposite to the liquid crystal panel), when the jumper is formed of a conductive material having a metallic luster, the jumper is easily noticeable visually.

これに対して、本出願人は、特願2009−129326において、基板上に、ジャンパー(導電体)、絶縁膜、透光性電極をこの順に積層することで、ジャンパーが目立ちにくく、断線する可能性の低い構造の静電容量型入力装置を発明し提案している。   On the other hand, the applicant of the present application, in Japanese Patent Application No. 2009-129326, can stack the jumper (conductor), the insulating film, and the translucent electrode in this order, making the jumper less noticeable and disconnecting. We have invented and proposed a capacitance-type input device having a low structure.

しかしながら、上記したどちらの構造の静電容量型のタッチパネル電極であっても、静電容量型のタッチパネル電極とカラーフィルタを同一ガラス基板の表裏形成する場合、静電容量型のタッチパネル電極のXY電極の重なり部のジャンパーが、裏面のカラーフィルタの画素開口部にレイアウトされると、ジャンパーの影響でカラーフィルタの品位が低下する問題がある。(ジャンパーが見えてしまう。)また、カラーフィルタの画素開口部にタッチパネル電極のジャンパーがレイアウトされるとジャンパーの影響で、検査機での画像品質検査が不可能になり製品の品質低下、生産のタクトダウン、製造装置改造の必要による費用アップに繋がる問題があった。   However, in either case of the capacitive touch panel electrode having the above structure, when the capacitive touch panel electrode and the color filter are formed on the same glass substrate, the XY electrode of the capacitive touch panel electrode. If the overlapping jumper is laid out in the pixel opening of the color filter on the back surface, there is a problem that the quality of the color filter is degraded due to the influence of the jumper. (The jumper will be visible.) In addition, if the touch panel electrode jumper is laid out at the pixel opening of the color filter, the image quality inspection by the inspection machine becomes impossible due to the jumper, and the quality of the product deteriorates. There was a problem that led to increased costs due to tact down and the need to modify the manufacturing equipment.

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、静電容量型のタッチパネル電極とカラーフィルタを同一の透明基板の表裏に形成し、かつ、静電容量型のタッチパネル電極のXY電極の重なり部をジャンパーで形成を行なう場合において、製品の品位低下の問題を軽減した優れた液晶パネル用のカラーフィルタ基板を提供し、且つ、検査機による検査を可能として、品質の安定化、装置改造やタクトダウンによるコストアップ抑止にも繋がる製造方法を提供することを課題としている。   The present invention has been made in order to solve the above-described problem. The capacitive touch panel electrode and the color filter are formed on the front and back of the same transparent substrate, and the XY electrode of the capacitive touch panel electrode. When forming overlapping parts with jumpers, we provide an excellent color filter substrate for liquid crystal panels that reduces the problem of product quality degradation, and enables inspection by an inspection machine to stabilize quality and equipment It is an object to provide a manufacturing method that leads to cost increase suppression by remodeling and tact down.

本発明の請求項1に係る発明は、透明基板の表面に静電容量型のタッチパネル電極が形成され、且つ、前記透明基板の裏面にブラックマトリックスで画定された複数色の着色画素を含むカラーフィルタが形成されているタッチパネル機能を有するカラーフィルタ基板において、
前記タッチパネル電極は、同一レイヤーに、X軸方向及びこれと直交するY軸方向に間欠的に配列される複数の第1の透光性電極と、前記X軸方向及び前記Y軸方向に配列されると共に各々が前記第1の透光性電極の行間及び列間に配置される複数の第2の透光性電極とを備え、X軸方向に整列する前記第1の透光性電極の各々は、前記X軸方向及び前記Y軸方向に配列される導電性材料からなる複数のジャンパーによって相互に電気的に接続され、前記ジャンパーは、基板表示面を垂直方向から見たときに前記透明基板裏面の前記ブラックマトリックスと重なる所定の位置に形成されていることを特徴とするカラーフィルタ基板である。
The invention according to claim 1 of the present invention is a color filter in which a capacitive touch panel electrode is formed on the surface of a transparent substrate, and a plurality of colored pixels defined by a black matrix are formed on the back surface of the transparent substrate. In the color filter substrate having a touch panel function formed,
The touch panel electrode is arranged on the same layer in the X-axis direction and the Y-axis direction, and a plurality of first translucent electrodes arranged intermittently in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal thereto. And each of the first translucent electrodes arranged in rows and columns of the first translucent electrodes and aligned in the X-axis direction. Are electrically connected to each other by a plurality of jumpers made of a conductive material arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the jumper is the transparent substrate when the substrate display surface is viewed from the vertical direction. The color filter substrate is formed at a predetermined position overlapping the black matrix on the back surface.

また、本発明の請求項2に係る発明は、前記ジャンパーの導電性材料が金属であることを特徴とする請求項1に記載するカラーフィルタ基板である。   The invention according to claim 2 of the present invention is the color filter substrate according to claim 1, wherein the conductive material of the jumper is a metal.

次に、本発明の請求項3に係る発明は、請求項1に記載するカラーフィルタ基板の製造方法であって、
少なくとも、
(1)透明基板裏面に、画素部に対応する開口領域を画定するブラックマトリックスを形成する工程と、
(2)前記開口領域に複数色の着色画素を形成する工程と、
をこの順に含む裏面加工工程と
少なくとも、
(イ)透明基板表面に、導電性材料よりなるジャンパーを、基板表示面を垂直方向から見たときに透明基板裏面のブラックマトリックスと重なる所定の位置に形成する工程と、
(ロ)前記ジャンパーと前記透明基板表面を覆うように絶縁膜を形成し、かつ、第1の透光性電極とジャンパーとが重なり合う部分の前記絶縁膜にスルーホールを設ける工程と、(ハ)透明導電性材料を用いて、第1及び第2の透光性電極となる透明導電膜を絶縁膜の上全面に形成する工程と
(ニ)前記透明導電膜をパターニングして、所定形状の第1の透光性電極と第2の透光性電極を形成する工程と、
をこの順に含む表面加工工程と、
の表裏両面の加工工程を具備することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法である。
Next, an invention according to claim 3 of the present invention is a method of manufacturing a color filter substrate according to claim 1,
at least,
(1) forming a black matrix that defines an opening region corresponding to the pixel portion on the back surface of the transparent substrate;
(2) forming a plurality of colored pixels in the opening region;
A back surface processing step including at least
(A) forming a jumper made of a conductive material on the transparent substrate surface at a predetermined position overlapping the black matrix on the back surface of the transparent substrate when the substrate display surface is viewed from the vertical direction;
(B) forming an insulating film so as to cover the jumper and the surface of the transparent substrate, and providing a through hole in the insulating film at a portion where the first light-transmissive electrode and the jumper overlap; Forming a transparent conductive film to be the first and second translucent electrodes on the entire surface of the insulating film using a transparent conductive material; and (d) patterning the transparent conductive film, Forming a first translucent electrode and a second translucent electrode;
Surface processing steps including in this order,
A process for producing both the front and back surfaces of the color filter substrate.

本発明のカラーフィルタ基板は、上記したように、静電容量型のタッチパネル電極とカラーフィルタを同一の透明基板の表裏に形成し、かつ、X軸方向に整列する第1の透光性電極の各々をジャンパーで接続し、且つ、そのジャンパーは、基板表示面を垂直方向から見たときに透明基板裏面のブラックマトリックスと重なる所定の位置に形成されている。そのため、製品の品位低下の問題が軽減され、優れた液晶パネル用のカラーフィルタ基板を提供できる。さらに、着色画素部にジャンパーが無いことで、検査機による検査が可能となり、検査保証が可能となるため品質が安定化し、装置改造やタクトダウンによるコストアップを抑止する効果も得られる。   As described above, the color filter substrate of the present invention is a first translucent electrode in which a capacitive touch panel electrode and a color filter are formed on the front and back of the same transparent substrate and aligned in the X-axis direction. Each is connected by a jumper, and the jumper is formed at a predetermined position that overlaps with the black matrix on the back surface of the transparent substrate when the substrate display surface is viewed from the vertical direction. Therefore, the problem of product quality degradation is reduced, and an excellent color filter substrate for a liquid crystal panel can be provided. Furthermore, since there is no jumper in the colored pixel portion, inspection by an inspection machine is possible, and inspection can be guaranteed, so that the quality is stabilized and an effect of suppressing cost increase due to device modification and tact down can be obtained.

本発明のカラーフィルタ基板の、一実施形態例を断面で示した模式図である。It is the schematic diagram which showed one Example of the color filter board | substrate of this invention in the cross section. 図1に示すカラーフィルタ基板の、表面のタッチパネル電極の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the touch-panel electrode of the surface of the color filter board | substrate shown in FIG. 図1に示すカラーフィルタ基板の、表面のタッチパネル電極の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the touch-panel electrode of the surface of the color filter board | substrate shown in FIG. 本発明のカラーフィルタ基板の、タッチパネルとカラーフィルタのレイアウトを透過で示す模式図である。It is a schematic diagram which shows transparently the layout of the touchscreen and color filter of the color filter substrate of this invention. 従来のカラーフィルタ基板の、タッチパネルとカラーフィルタのレイアウトを透過で示す模式図である。It is a schematic diagram which shows transparently the layout of the touchscreen and color filter of the conventional color filter board | substrate. タッチパネル−カラーフィルタ一体型基板の画像検査イメージを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the image test | inspection image of a touchscreen-color filter integrated substrate. 擬似欠陥発生確認での重ね合わせ位置パターンとジャンパー位置を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the superimposition position pattern and jumper position in pseudo defect generation | occurrence | production confirmation.

本発明のカラーフィルタ基板を、一実施形態に基いて以下に詳細に説明する。なお、以下の説明で、従来のカラーフィルタ基板と同じ機能を担う部分については同じ呼称と番号を変えることなく用いて説明する。   The color filter substrate of the present invention will be described in detail below based on one embodiment. In the following description, portions having the same functions as those of the conventional color filter substrate will be described using the same names and numbers without changing them.

一般に、タッチパネル式液晶表示装置は、表示パネル、パネル駆動部、タッチ位置検出部等から構成され、表示パネルはアレイ基板と対向基板および液晶層からなる。本発明のカラーフィルタ基板は、複数の画素部とタッチ位置を感知するための信号ラインとが形成されたタッチパネル−カラーフィルタ一体型基板(以下の説明ではTP−CF一体型基板と略称する)として、アレイ基板との中間に液晶層を挟持する形で用いられる。   In general, a touch panel type liquid crystal display device includes a display panel, a panel drive unit, a touch position detection unit, and the like. The display panel includes an array substrate, a counter substrate, and a liquid crystal layer. The color filter substrate of the present invention is a touch panel-color filter integrated substrate (hereinafter abbreviated as a TP-CF integrated substrate) in which a plurality of pixel portions and signal lines for detecting a touch position are formed. The liquid crystal layer is sandwiched between the substrate and the array substrate.

図1は、本発明のカラーフィルタ基板の、一実施形態例を断面で示した模式図である。本発明のカラーフィルタ基板は、図1に示すように、透明基板2の表面に、複数のジャンパー8と、絶縁膜6と、複数の第1の透光性電極3と、複数の第2の透光性電極4と、保護膜9とを備える静電容量型のタッチパネル電極1が形成されている。ジャンパー8、絶縁膜6、透光性電極(第1の透光性電極3及び第2の透光性電極4)は、透明基板2上にこの順序で形成されたものである。また、透明基板2の裏面には、ブラックマトリックス11で画定された赤(R)、緑(G)、青(B)等複数色の着色画素12、一様な透明電極13が形成されているカラーフィルタ10が形成されている。   FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the color filter substrate of the present invention in cross section. As shown in FIG. 1, the color filter substrate of the present invention has a plurality of jumpers 8, an insulating film 6, a plurality of first translucent electrodes 3, and a plurality of second electrodes on the surface of the transparent substrate 2. A capacitive touch panel electrode 1 including a translucent electrode 4 and a protective film 9 is formed. The jumper 8, the insulating film 6, and the translucent electrodes (the first translucent electrode 3 and the second translucent electrode 4) are formed on the transparent substrate 2 in this order. Further, on the back surface of the transparent substrate 2, a plurality of colored pixels 12 such as red (R), green (G), and blue (B) defined by the black matrix 11 and a uniform transparent electrode 13 are formed. A color filter 10 is formed.

透明基板2は、可視光に対してある程度の透過率を有するものが好ましく、好ましくは80%以上の透過率を有するものを用いることができる。一般に液晶表示装置に用いられているものでよく、ガラス等の無機透明基板、またはポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、環状オレフィンコポリマー等の透明樹脂基板が使用可能である。本発明に係るタッチパネル機能は静電容量型であるため、従来のタッチスクリーン方式のように外力による歪みの必要は無く、適用する表示パネルの仕様によって材質及び厚みは適宜選択できる。   The transparent substrate 2 preferably has a certain degree of transmittance with respect to visible light, and preferably has a transmittance of 80% or more. It may be generally used for liquid crystal display devices, and an inorganic transparent substrate such as glass or a transparent resin substrate such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, and cyclic olefin copolymer can be used. Since the touch panel function according to the present invention is a capacitance type, there is no need for distortion due to an external force unlike the conventional touch screen system, and the material and thickness can be appropriately selected according to the specifications of the display panel to be applied.

ジャンパー8は、導電性材料から形成され、透明基板2の表面にX軸方向及びY軸方向に行列状に配列されている。ジャンパー8の各々は、X軸方向に整列する第1の透光性電極3をX軸方向に接続するためのものであり、両端部がX軸方向に隣接する1対の第1の透光性電極3の各々と重なり合うような位置及び寸法で、且つ、基板表示面を垂直方向から見
たときに透明基板裏面のブラックマトリックスと重なる所定の位置に形成される。ジャンパー8は、例えば、メタル(MAM、APCその他)やITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウムすず)、PEDOT(ポリエチレンジオキシチオフェン)等の導電性高分子で形成することができる。ここで、MAMは、Mo(モリブデン)/Al(アルミニウム)/Moの略称で3層構造の導電材料である。また、APCは銀/パラジウム/銅の合金である。
The jumpers 8 are made of a conductive material, and are arranged in a matrix on the surface of the transparent substrate 2 in the X-axis direction and the Y-axis direction. Each of the jumpers 8 is for connecting the first translucent electrodes 3 aligned in the X-axis direction in the X-axis direction, and a pair of first translucent electrodes whose both ends are adjacent in the X-axis direction. The electrode is formed at a predetermined position that overlaps with the black matrix on the back surface of the transparent substrate when the substrate display surface is viewed from the vertical direction. The jumper 8 can be formed of a conductive polymer such as metal (MAM, APC, etc.), ITO (Indium Tin Oxide), PEDOT (polyethylenedioxythiophene), or the like. Here, MAM is an abbreviation of Mo (molybdenum) / Al (aluminum) / Mo and is a conductive material having a three-layer structure. APC is a silver / palladium / copper alloy.

絶縁膜6は、透光性の絶縁材料をジャンパー8及び透明基板2の表面全体を覆うように積層することにより形成される。第1の透光性電極3とジャンパー8とが重なり合う部分の絶縁膜には、ジャンパー8の表面にまで達するスルーホールが設けられる
図2は、表面に形成される、タッチパネル電極1の概略構成を示す平面図である。図2に示すように、このタッチパネル電極1は、同一レイヤー内に、X軸方向及びこれと直交するY軸方向に間欠的に配列される複数の第1の透光性電極3と、X軸方向及びY軸方向に配列されると共に各々が第1の透光性電極3の行間及び列間に配置される複数の第2の透光性電極4とを備える。まず、ITO等インジウム、スズ、ガリウム、亜鉛などの金属酸化物の複合酸化物の透光性導電材料を用いて、蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等の真空成膜手法を用いた同一工程で絶縁膜6の上全面に透明導電膜を形成する。その後、この透明導電膜を公知の手法でパターニングして、所定形状の第1の透光性電極と第2の透光性電極を形成する。
The insulating film 6 is formed by laminating a translucent insulating material so as to cover the entire surface of the jumper 8 and the transparent substrate 2. A through hole reaching the surface of the jumper 8 is provided in the insulating film where the first translucent electrode 3 and the jumper 8 overlap. FIG. 2 shows a schematic configuration of the touch panel electrode 1 formed on the surface. FIG. As shown in FIG. 2, the touch panel electrode 1 includes a plurality of first translucent electrodes 3 intermittently arranged in the same layer in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal thereto, and the X-axis. And a plurality of second translucent electrodes 4 arranged in the direction and the Y-axis direction, each disposed between the rows and columns of the first translucent electrodes 3. First, using a transparent conductive material of composite oxide of metal oxides such as indium, tin, gallium, and zinc such as ITO, insulation is performed in the same process using vacuum film formation techniques such as vapor deposition, ion plating, and sputtering. A transparent conductive film is formed on the entire surface of the film 6. Thereafter, this transparent conductive film is patterned by a known method to form a first translucent electrode and a second translucent electrode having a predetermined shape.

図3は、本発明のカラーフィルタ基板の、表面のタッチパネル電極1の概略構成を示す断面図である。X軸方向に整列する第1の透光性電極3の各々は、絶縁膜6上においてはX軸方向及びY軸方向のいずれにも相互に接続されていないが、スルーホール7を介して透明基板上のジャンパー8に電気的に接続された状態となる。一方、第2の透光性電極4の各々は、X軸方向及びY軸方向に配列されると共に各々が第1の透光性電極の行間及び列間に配置され、絶縁膜6上において、第2の透光性電極4と同時にパターニングされる接続部5を介してY軸方向に相互に連結されている。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the touch panel electrode 1 on the surface of the color filter substrate of the present invention. The first translucent electrodes 3 aligned in the X-axis direction are not connected to each other in the X-axis direction and the Y-axis direction on the insulating film 6, but are transparent through the through holes 7. It will be in the state electrically connected to the jumper 8 on a board | substrate. On the other hand, each of the second translucent electrodes 4 is arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction, and each is disposed between the rows and the columns of the first translucent electrodes. The second translucent electrode 4 and the second translucent electrode 4 are connected to each other in the Y-axis direction via a connection portion 5 that is patterned.

図1の断面模式図に示すように、裏面のカラーフィルタ10は、透明基板2上に画素部に対応する開口領域を画定するブラックマトリックス(BM)11が形成され、前記開口部に複数色の着色画素12が形成されている。さらにこの上全面に共通電極層としての透明導電膜13が形成されている。更に、必要に応じて、図示しないフォトスペーサーがブラックマトリックス11の上に、透明導電膜13を介して更に形成される。   As shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 1, the color filter 10 on the back surface has a black matrix (BM) 11 that defines an opening region corresponding to a pixel portion formed on a transparent substrate 2, and a plurality of colors are formed in the opening portion. Colored pixels 12 are formed. Further, a transparent conductive film 13 as a common electrode layer is formed on the entire surface. Further, if necessary, a photo spacer (not shown) is further formed on the black matrix 11 via the transparent conductive film 13.

まず、予めその表面にタッチパネル電極1が形成された透明基板2の裏面に、画素部に対応する開口領域を画定するブラックマトリックス11を形成する。この場合、前記したタッチパネル電極1のジャンパー8が、基板表示面を垂直方向から見たときに、このブラックマトリックス11と重なる所定の位置となるようにブラックマトリックスのピッチ及び形状を設計する。本発明においては、このジャンパー8とブラックマトリックス11の位置の条件を満たす範囲であれば、第1の透光性電極3と第2の透光性電極4のそれぞれのピッチは、例えば、赤色画素(R)、緑色画素(G)、青色画素(B)で構成される単位画素毎にも、あるいは、所定個数の単位画素毎にも形成することができ、その形状も矩形以外の各種形状を選択することが可能である。なお、本実施形態では、ブラックマトリックスの幅は3〜30μmの範囲が好ましい。   First, a black matrix 11 that defines an opening region corresponding to the pixel portion is formed on the back surface of the transparent substrate 2 on which the touch panel electrode 1 is previously formed. In this case, the pitch and shape of the black matrix are designed so that the jumper 8 of the touch panel electrode 1 is located at a predetermined position overlapping the black matrix 11 when the substrate display surface is viewed from the vertical direction. In the present invention, each pitch of the first translucent electrode 3 and the second translucent electrode 4 is, for example, a red pixel as long as the position of the jumper 8 and the black matrix 11 is satisfied. (R), a green pixel (G), a blue pixel (B) can be formed for each unit pixel, or for a predetermined number of unit pixels, and the shape can be various shapes other than a rectangle. It is possible to select. In the present embodiment, the width of the black matrix is preferably in the range of 3 to 30 μm.

ブラックマトリックスは、黒色樹脂を用いて形成された、液晶表示装置のコントラストアップのために各画素間に形成する細い遮光パターンである。ブラックマトリックスを形成する方法としては、黒色感光性樹脂を用いフォトリソグラフィー法によってマトリックス状に形成する方法がある。黒色の色材としては、カーボンブラックや複数の有機顔料を用いることができる。   The black matrix is a thin light-shielding pattern that is formed between pixels in order to increase the contrast of the liquid crystal display device, which is formed using a black resin. As a method of forming the black matrix, there is a method of forming a black matrix using a black photosensitive resin by a photolithography method. Carbon black and a plurality of organic pigments can be used as the black color material.

次に、開口領域に赤色(R)、緑色(G)、青色(B)等複数色の着色画素12を形成する。そしてさらに、この上全面に共通電極層としての透明導電膜13を形成する。なお、本実施形態では、透明基板の表面に予めタッチパネル電極1を形成した後、その透明基板の裏面にカラーフィルタ10を作成するが、この加工工程を逆に実施することも可能である。   Next, a plurality of colored pixels 12 such as red (R), green (G), and blue (B) are formed in the opening region. Further, a transparent conductive film 13 as a common electrode layer is formed on the entire upper surface. In the present embodiment, the touch panel electrode 1 is formed in advance on the surface of the transparent substrate, and then the color filter 10 is formed on the back surface of the transparent substrate. However, this processing step can be performed in reverse.

着色画素を形成する方法としては顔料分散法が主流となっている。顔料分散法は、有機顔料などの色材を分散した着色感光性樹脂の塗布層を公知のフォトリソグラフィー法によってパターニングすることにより、カラーフィルタを複数の着色層(赤色、緑色、青色など)の画素に形成する方法である。複数の着色層の入色順を限定するものでないが、アライメントの都合からブラックマトリクスのパターン形成後に着色層の塗布、露光、現像等により着色画素(赤色画素、緑色画素、青色画素など)を順次形成することが望ましい。ブラックマトリックス及び着色画素の形成に用いる黒色感光性樹脂及び着色感光性樹脂は、例えば、樹脂バインダに顔料を、分散剤を用いて分散させ、この分散液にモノマー、開始剤、増感剤、溶剤などを添加して調製される。   As a method for forming colored pixels, a pigment dispersion method has become the mainstream. In the pigment dispersion method, a colored photosensitive resin coating layer in which a color material such as an organic pigment is dispersed is patterned by a known photolithography method, whereby a color filter is formed into pixels of a plurality of colored layers (red, green, blue, etc.). It is the method of forming. The color order of multiple colored layers is not limited, but for the convenience of alignment, colored pixels (red pixels, green pixels, blue pixels, etc.) are sequentially formed by applying the colored layer, exposing, developing, etc. after forming the black matrix pattern. It is desirable to form. The black photosensitive resin and the colored photosensitive resin used for forming the black matrix and the colored pixel are, for example, a pigment dispersed in a resin binder using a dispersant, and a monomer, an initiator, a sensitizer, a solvent in the dispersion. Etc. are added.

以上説明したように、同一の透明基板に、表面加工工程でタッチパネル電極を形成し、続いて裏面加工工程でカラ−フィルタを形成することで本発明のTP−CF一体型基板が得られた。なお、比較評価のために同時に、ジャンパーの位置をずらした基板も作製した。   As described above, the TP-CF integrated substrate of the present invention was obtained by forming a touch panel electrode on the same transparent substrate in the surface processing step and subsequently forming a color filter in the back surface processing step. For comparison evaluation, a substrate with the jumper position shifted was also produced.

次に、このTP−CF一体型基板を用いて、通常のカラーフィルタで行われている画像検査を実施し、表面に形成されたタッチパネル電極が、カラーフィルタの画像検査(透過・反射)をする際に取り込み画像に映りこみ、カラーフィルタ検査の比較処理を行った場合に擬似欠陥を発生させる可能性を検証した。図6の説明図に、TP−CF一体型基板の画像検査イメージを模式的に示す。(a)は反射モード、(b)は透過モードである。   Next, using this TP-CF integrated substrate, an image inspection performed with a normal color filter is performed, and the touch panel electrode formed on the surface performs image inspection (transmission / reflection) of the color filter. In this case, it was reflected in the captured image, and the possibility of generating a pseudo defect when the comparison process of the color filter inspection was performed was verified. The explanatory view of FIG. 6 schematically shows an image inspection image of the TP-CF integrated substrate. (A) is a reflection mode, (b) is a transmission mode.

<評価内容>
[透光性電極部の擬似欠陥発生確認]
カラーフィルタ用画像検査機を用いて、表面にITOパターニングからなるタッチパネル電極が形成されたカラーフィルタの画像を取り込み、表面にITOパターニングがある箇所とない箇所の輝度値(0〜255)を比較して、コントラスト差が生じているかを確認した。なお、コントラスト差が25以上ある場合は、擬似欠陥が発生すると判定する。評価結果を表1に示す。
<Evaluation details>
[Verification of occurrence of pseudo defects in translucent electrode]
Using a color filter image inspection machine, capture the image of the color filter with the touch panel electrode made of ITO pattern formed on the surface, and compare the brightness value (0-255) at the place with and without the ITO pattern on the surface. Thus, it was confirmed whether a contrast difference occurred. When the contrast difference is 25 or more, it is determined that a pseudo defect occurs. The evaluation results are shown in Table 1.

[金属ジャンパー部の擬似欠陥発生確認]
カラーフィルタ用画像検査機を用いて、表面にITOからなるタッチパネル電極が形成されたカラーフィルタの、RGB後の画像を取り込み、表面に金属ジャンパーがある箇所とない箇所の輝度値(0〜255)を比較して、コントラスト差が生じているかを確認した。この場合、金属ジャンパーとBMとの重ね合わせ位置を、図7の説明図に示すように、以下の3パターンとして、ジャンパー方向がカラーフィルタパターンに対して縦、横それぞれについて評価を行った。なお、コントラスト差が25以上ある場合は、擬似欠陥が発生すると判断される。評価結果を表1に示す。
・重ね合わせ位置パターン1:ジャンパーがBM上で半分隠されている。
・重ね合わせ位置パターン2:ジャンパーが完全に開口部(画素部)上にある。
・重ね合わせ位置パターン3:ジャンパーが完全にBM上にある。
[Verification of occurrence of pseudo defects in metal jumper]
Using a color filter image inspection machine, capture the RGB image of the color filter with the touch panel electrode made of ITO on the surface, and the brightness value of the part with and without the metal jumper on the surface (0 to 255) Were compared to confirm whether a contrast difference had occurred. In this case, as shown in the explanatory diagram of FIG. 7, the overlapping position of the metal jumper and BM was evaluated as the following three patterns in which the jumper direction was vertical and horizontal with respect to the color filter pattern. When the contrast difference is 25 or more, it is determined that a pseudo defect occurs. The evaluation results are shown in Table 1.
Superposition position pattern 1: The jumper is half-hidden on the BM.
Superposition position pattern 2: The jumper is completely on the opening (pixel portion).
Superposition position pattern 3: The jumper is completely on the BM.

<評価結果>
表1に示すように、ITOパターニング部(透光性電極部)については、コントラスト差は25未満であり、擬似欠陥は発生しないと判断された。金属ジャンパー部については、重ね合わせ位置パターン3のRGB後基板のみが、反射モード、透過モードのいずれでもコントラスト差は25未満であり、擬似欠陥は発生しないと判断された。それに対して、従来のジャンパーが部分的にしか隠されていないものやジャンパーが画素部にあるものは、ジャンパーを小さくすることで反射では見えにくくなるが透過すなわち、実用的にはジャンパーが見えてしまうことになり、画像品質が低下する。即ち、本発明のカラーフィルタ基板(ジャンパー部がBM部に全て隠れる)のみが、反射・透過の双方でコントラスト差が小さく、画像品質に影響が少なく、且つ、品質保証のための画像検査が可能であることがわかった。
<Evaluation results>
As shown in Table 1, regarding the ITO patterning portion (translucent electrode portion), the contrast difference was less than 25, and it was determined that no pseudo defect occurred. With regard to the metal jumper portion, only the post-RGB substrate after the superimposed position pattern 3 had a contrast difference of less than 25 in both the reflection mode and the transmission mode, and it was determined that no pseudo defect occurred. On the other hand, if the conventional jumper is only partially hidden or has a jumper in the pixel area, it becomes difficult to see by reflection by reducing the jumper, but it is transparent, that is, the jumper can be seen practically As a result, the image quality deteriorates. That is, only the color filter substrate of the present invention (the jumper part is completely hidden by the BM part) has a small contrast difference in both reflection and transmission, has little influence on image quality, and enables image inspection for quality assurance. I found out that

1・・・タッチパネル電極 2・・・透明基板 3・・・第1の透光性電極
4・・・第2の透光性電極 5・・・(第2の透光性電極の)接続部 6・・・絶縁膜
7・・・スルーホール 8・・・ジャンパー 9・・・保護膜
10・・・カラーフィルタ 11・・・ブラックマトリックス 12・・・着色画素
13・・・透明導電膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Touch-panel electrode 2 ... Transparent substrate 3 ... 1st translucent electrode
4 ... 2nd translucent electrode 5 ... Connection part (2nd translucent electrode) 6 ... Insulating film
7 ... Through hole 8 ... Jumper 9 ... Protective film
10 ... Color filter 11 ... Black matrix 12 ... Colored pixels
13 ... Transparent conductive film

Claims (3)

透明基板の表面に静電容量型のタッチパネル電極が形成され、且つ、前記透明基板の裏面にブラックマトリックスで画定された複数色の着色画素を含むカラーフィルタが形成されているタッチパネル機能を有するカラーフィルタ基板において、
前記タッチパネル電極は、同一レイヤーに、X軸方向及びこれと直交するY軸方向に間欠的に配列される複数の第1の透光性電極と、前記X軸方向及び前記Y軸方向に配列されると共に各々が前記第1の透光性電極の行間及び列間に配置される複数の第2の透光性電極とを備え、X軸方向に整列する前記第1の透光性電極の各々は、前記X軸方向及び前記Y軸方向に配列される導電性材料からなる複数のジャンパーによって相互に電気的に接続され、前記ジャンパーは、基板表示面を垂直方向から見たときに前記透明基板裏面の前記ブラックマトリックスと重なる所定の位置に形成されていることを特徴とするカラーフィルタ基板。
A color filter having a touch panel function in which a capacitive touch panel electrode is formed on a surface of a transparent substrate, and a color filter including a plurality of colored pixels defined by a black matrix is formed on the back surface of the transparent substrate. In the substrate,
The touch panel electrode is arranged on the same layer in the X-axis direction and the Y-axis direction, and a plurality of first translucent electrodes arranged intermittently in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal thereto. And each of the first translucent electrodes arranged in rows and columns of the first translucent electrodes and aligned in the X-axis direction. Are electrically connected to each other by a plurality of jumpers made of a conductive material arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the jumper is the transparent substrate when the substrate display surface is viewed from the vertical direction. A color filter substrate, which is formed at a predetermined position overlapping the black matrix on the back surface.
前記ジャンパーの導電性材料が金属であることを特徴とする請求項1に記載するカラーフィルタ基板。   The color filter substrate according to claim 1, wherein the conductive material of the jumper is a metal. 請求項1に記載するカラーフィルタ基板の製造方法であって、
少なくとも、
(1)透明基板裏面に、画素部に対応する開口領域を画定するブラックマトリックスを形成する工程と、
(2)前記開口領域に複数色の着色画素を形成する工程と、
をこの順に含む裏面加工工程と
少なくとも、
(イ)透明基板表面に、導電性材料よりなるジャンパーを、基板表示面を垂直方向から見たときに透明基板裏面のブラックマトリックスと重なる所定の位置に形成する工程と、
(ロ)前記ジャンパーと前記透明基板表面を覆うように絶縁膜を形成し、かつ、第1の透光性電極とジャンパーとが重なり合う部分の前記絶縁膜にスルーホールを設ける工程と、(ハ)透明導電性材料を用いて、第1及び第2の透光性電極となる透明導電膜を絶縁膜の上全面に形成する工程と
(ニ)前記透明導電膜をパターニングして、所定形状の第1の透光性電極と第2の透光性電極を形成する工程と、
をこの順に含む表面加工工程と、
の表裏両面の加工工程を具備することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
A method for manufacturing a color filter substrate according to claim 1,
at least,
(1) forming a black matrix that defines an opening region corresponding to the pixel portion on the back surface of the transparent substrate;
(2) forming a plurality of colored pixels in the opening region;
A back surface processing step including at least
(A) forming a jumper made of a conductive material on the transparent substrate surface at a predetermined position overlapping the black matrix on the back surface of the transparent substrate when the substrate display surface is viewed from the vertical direction;
(B) forming an insulating film so as to cover the jumper and the surface of the transparent substrate, and providing a through hole in the insulating film at a portion where the first light-transmissive electrode and the jumper overlap; Forming a transparent conductive film to be the first and second translucent electrodes on the entire surface of the insulating film using a transparent conductive material; and (d) patterning the transparent conductive film, Forming a first translucent electrode and a second translucent electrode;
Surface processing steps including in this order,
The manufacturing method of the color filter board | substrate characterized by comprising the process process of both front and back.
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