JP2012063229A - Surface property measuring apparatus and computer program for surface property measurement - Google Patents

Surface property measuring apparatus and computer program for surface property measurement Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface property measuring apparatus capable of simply, quickly and accurately measuring surface roughness or waviness of a curved surface in an article having the curved surface, and to provide a computer program for surface property measurement which is applied to the surface property measuring apparatus.SOLUTION: A surface property measuring apparatus 100 includes a work support 101, an imaging apparatus 102, a backlight illumination device 103, and a computer apparatus 110. The work support 101 supports a ball stud 90 to be an object to be measured. The imaging apparatus 102 images a contour of a ball part 92 in the ball stud 90. The backlight illumination device 103 applies light to the imaging apparatus 102 through the contour of the ball part 92 in the ball stud 90 set on the work support 101. The computer apparatus 110 controls the operation of the imaging apparatus 102 and the backlight illumination device 103 by executing the surface property measuring program to measure the surface roughness of the ball part 92.

Description

本発明は、曲面を有する被測定物の表面の粗さまたはうねりを測定する表面性状測定装置および同表面性状測定装置に適用される表面性状測定用コンピュータプログラムに関する。   The present invention relates to a surface texture measuring device for measuring the roughness or waviness of a surface to be measured having a curved surface, and a computer program for measuring the surface texture applied to the surface texture measuring device.

従来から、滑らかな回転や摺動が求められる曲面を有した物品、例えば、ベアリングの鋼球やボースタッドにおけるボール部などにおいては、物品の製造過程において曲面の表面粗さの測定が行なわれている。一般に、表面粗さの測定は、被測定物における被測定曲面との関係で接触式または非接触式の表面粗さ測定機を用いて行なわれている。   Conventionally, in an article having a curved surface that requires smooth rotation and sliding, such as a ball of a steel ball of a bearing or a ball stud, the surface roughness of the curved surface is measured during the manufacturing process of the article. Yes. In general, the surface roughness is measured using a contact-type or non-contact-type surface roughness measuring device in relation to the measured curved surface of the object to be measured.

例えば、下記特許文献1には、被測定物における被測定曲面に触針を接触させて変位させることにより被測定曲面の凹凸を検出する所謂接触式の表面粗さ測定機が開示されている。また、下記特許文献2には、被測定物における被測定曲面に照射したレーザ光の反射光の強度変化を利用して被測定曲面の凹凸を検出する所謂非接触式の表面粗さ測定機が開示されている。また、下記特許文献3には、被測定物における被測定曲面に円環状に光を照射した状態で同測定面を撮像した撮像画像を基準画像情報(判定データファイル)と比較することにより被測定曲面の凹凸を検出する非接触式の表面粗さ測定機が開示されている。   For example, Patent Document 1 below discloses a so-called contact-type surface roughness measuring machine that detects irregularities of a measured curved surface by bringing a stylus into contact with the measured curved surface of the measured object and displacing it. Patent Document 2 below discloses a so-called non-contact type surface roughness measuring device that detects unevenness of a measured curved surface using a change in intensity of reflected light of a laser beam irradiated on the measured curved surface of a measured object. It is disclosed. Further, in Patent Document 3 below, a measured image is obtained by comparing a captured image obtained by capturing the measurement surface in a state where light is irradiated in a ring shape on the measured curved surface of the measured object with reference image information (determination data file). A non-contact type surface roughness measuring machine that detects unevenness of a curved surface is disclosed.

特開平05−164506号公報JP 05-164506 A 特開平10−170247号公報JP-A-10-170247 特開平02−208504号公報JP 02-208504 A

しかしながら、上記特許文献1に記載された接触式の表面粗さ測定装置においては、表面粗さ測定装置に伝わる外部からの振動によって表面粗さの測定精度が低下し易いという問題がある。特に、被測定物を製造する製造現場においては各種機械装置などから生じる振動によって被測定曲面に接触する触針が振動して表面粗さの測定精度が低下し易い。また、上記特許文献2に記載されたレーザ光を用いた非接触式の表面粗さ測定装置においては、被測定物の材質、曲率およびCADデータなどの被測定物に関する各種情報が必要であるとともに、照射するレーザ光の照射角度および反射光を受光する受光素子の位置をそれぞれ厳密に調整する必要がある。すなわち、上記特許文献2に記載された非接触式の表面粗さ測定装置においては、表面粗さの測定の測定作業が極めて煩雑で時間が掛かるという問題がある。また、上記特許文献3に記載された非接触式の表面粗さ測定装置においては、被測定物に対する光の照射位置および撮像位置を厳密に位置決めしなければならないとともに、比較対象となる基準画像情報(判定データファイル)を予め準備しなければならず、表面粗さの測定の測定作業が極めて煩雑であるという問題がある。   However, the contact-type surface roughness measuring device described in Patent Document 1 has a problem that the measurement accuracy of the surface roughness tends to be lowered by external vibration transmitted to the surface roughness measuring device. In particular, at the manufacturing site where the object to be measured is manufactured, the stylus that comes into contact with the surface to be measured is vibrated by vibrations generated from various mechanical devices and the like, and the measurement accuracy of the surface roughness is likely to decrease. In addition, in the non-contact type surface roughness measuring apparatus using the laser beam described in Patent Document 2, various information about the object to be measured such as the material, curvature, and CAD data of the object to be measured is necessary. It is necessary to strictly adjust the irradiation angle of the laser beam to be irradiated and the position of the light receiving element that receives the reflected light. That is, the non-contact type surface roughness measuring apparatus described in Patent Document 2 has a problem that the measurement work for measuring the surface roughness is extremely complicated and takes time. Further, in the non-contact type surface roughness measuring apparatus described in Patent Document 3, the light irradiation position and the imaging position for the object to be measured must be strictly positioned and reference image information to be compared The (determination data file) must be prepared in advance, and there is a problem that the measurement work for measuring the surface roughness is extremely complicated.

本発明は上記問題に対処するためなされたもので、その目的は、曲面を有した物品における曲面の表面の粗さまたはうねりを簡単かつ短時間に精度良く測定することができる表面性状測定装置および同表面性状測定装置に適用される表面性状測定用コンピュータプログラムを提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to address the above problems, and its purpose is to provide a surface texture measuring device that can easily and accurately measure the roughness or undulation of a curved surface of an article having a curved surface in a short time. An object of the present invention is to provide a computer program for measuring surface properties applied to the surface texture measuring device.

上記目的を達成するため、請求項1に係る本発明の特徴は、曲面を有する被測定物の表面の粗さまたはうねりを測定する表面性状測定装置において、被測定物を支持するワーク支持手段と、ワーク支持手段に支持された被測定物における曲面の輪郭を撮像した輪郭撮像画像情報を出力するワーク撮像手段と、輪郭撮像画像情報に含まれる曲面の輪郭部分を表わす画像情報を用いて同輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算する画像処理手段とを備えたことにある。   In order to achieve the above object, a feature of the present invention according to claim 1 is that, in a surface texture measuring device for measuring the roughness or undulation of the surface of the measurement object having a curved surface, a workpiece support means for supporting the measurement object , Using the workpiece imaging means for outputting contour captured image information obtained by imaging the contour of the curved surface of the measurement object supported by the workpiece supporting means, and the same contour using image information representing the contour portion of the curved surface included in the contour captured image information And an image processing means for calculating the surface roughness or undulation.

この場合、例えば、請求項2に示すように、画像処理手段は、輪郭撮像画像情報から被測定物のエッジを検出して測定表面曲線を得るエッジ検出手段と、測定表面曲線を用いて被測定物における輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算する表面性状計算手段とを備えるとよい。   In this case, for example, as shown in claim 2, the image processing means detects the edge of the object to be measured from the contour image information and obtains the measurement surface curve, and the measurement object using the measurement surface curve. It is good to provide the surface property calculation means which calculates the roughness or waviness of the surface of the outline in a thing.

このように構成した請求項1に係る本発明の特徴によれば、表面性状測定装置は、被測定物における曲面の輪郭を撮像して輪郭撮像画像情報を取得するとともに、同取得した輪郭撮像画像情報に含まれる前記曲面の輪郭部分を表わす情報を用いて同輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算している。これにより、表面性状測定装置に伝達される外部からの振動の影響を抑えつつ簡単かつ短時間に精度良く被測定物における曲面の表面の粗さまたはうねりを測定することができる。   According to the characteristic of the present invention according to claim 1 configured as described above, the surface texture measuring device captures the contour of the curved surface of the object to be measured and acquires the contour captured image information, and the acquired contour captured image. Using the information representing the contour portion of the curved surface included in the information, the roughness or waviness of the surface of the contour is calculated. Thereby, the roughness or undulation of the curved surface of the object to be measured can be measured easily and accurately in a short time while suppressing the influence of external vibration transmitted to the surface texture measuring device.

また、請求項3に係る本発明の他の特徴は、前記表面性状測定装置において、画像処理手段は、さらに、測定表面曲線を用いて被測定物における輪郭を特定する輪郭形状特定手段と、測定表面曲線から前記特定した輪郭の成分を除去することにより測定表面曲線を補正する測定表面曲線補正手段とを備え、表面性状計算手段は、測定表面曲線補正手段によって補正された測定表面曲線を用いて被測定物における輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算することにある。   In another aspect of the present invention according to claim 3, in the surface texture measuring device, the image processing means further includes contour shape specifying means for specifying the contour of the object to be measured using the measurement surface curve, and measurement. Measurement surface curve correction means for correcting the measurement surface curve by removing the specified contour component from the surface curve, and the surface property calculation means uses the measurement surface curve corrected by the measurement surface curve correction means. The object is to calculate the roughness or waviness of the contour surface of the object to be measured.

このように構成した請求項3に係る本発明の他の特徴によれば、表面性状測定装置は、被測定物のエッジを検出して得た測定表面曲線を用いて被測定物の輪郭を特定するとともに、測定表面曲線から前記特定した輪郭の形状成分を除去することにより測定表面曲線を補正している。これにより、表面性状測定装置は、測定表面曲線の変化に含まれる被測定物の表面形状成分の影響を除外して表面の粗さまたはうねり表面性状を測定することができる。例えば、被測定物における曲面の輪郭形状が円弧状である場合には、測定表面曲線の変化から円弧状の輪郭形状成分の影響を除外することにより粗さ成分またはうねり成分の占有率が向上した測定表面曲線により被測定物の曲面の表面の粗さあらさまたはうねりを測定することができる。これにより、表面性状の測定精度を向上させることができる。   According to another aspect of the present invention according to claim 3 configured as described above, the surface texture measuring device specifies the contour of the object to be measured using the measurement surface curve obtained by detecting the edge of the object to be measured. In addition, the measurement surface curve is corrected by removing the shape component of the specified contour from the measurement surface curve. Thereby, the surface texture measuring apparatus can measure the surface roughness or the waviness surface texture by excluding the influence of the surface shape component of the object to be measured included in the change of the measurement surface curve. For example, when the contour shape of the curved surface of the object to be measured is an arc shape, the occupancy ratio of the roughness component or the swell component is improved by excluding the influence of the arc shape component from the measurement surface curve change. The roughness or undulation of the curved surface of the object to be measured can be measured by the measurement surface curve. Thereby, the measurement precision of surface property can be improved.

また、請求項4に係る本発明の他の特徴は、前記表面性状測定装置において、画像処理手段は、さらに、測定表面曲線補正手段によって補正された測定表面曲線から粗さ曲線を抽出する粗さ曲線抽出手段を備え、表面性状計算手段は、前記粗さ曲線を用いて被測定物における輪郭の表面の粗さを計算することにある。   According to another aspect of the present invention according to claim 4, in the surface texture measuring apparatus, the image processing means further extracts a roughness curve from the measurement surface curve corrected by the measurement surface curve correction means. A curve extracting means is provided, and the surface property calculating means is to calculate the roughness of the surface of the contour of the object to be measured using the roughness curve.

このように構成した請求項4に係る本発明の他の特徴によれば、表面性状測定装置は、前記補正された測定表面曲線から粗さ曲線を抽出して被測定物における輪郭の表面粗さを計算している。すなわち、被測定物における輪郭の表面粗さを表す測定表面曲線に粗さ成分に加えて輪郭撮像時のノイズや輪郭のうねりの各成分が含まれている場合、これらが含まれた測定表面曲線から被測定物における輪郭の表面粗さを表す粗さ成分だけを抽出して表面粗さを計算する。この場合、例えば、輪郭撮像時のノイズ成分を除去する低域通過フィルタ(LPF)や輪郭のうねり成分を除去する高域通過フィルタ(HPF)を用いることにより測定表面曲線から輪郭の表面粗さを表す粗さ成分を抽出することができる。これにより、表面粗さの測定精度を向上させることができる。   According to another aspect of the present invention according to claim 4 configured as described above, the surface texture measuring device extracts a roughness curve from the corrected measurement surface curve to obtain the surface roughness of the contour of the object to be measured. Is calculated. That is, if the measurement surface curve that represents the surface roughness of the contour of the object to be measured includes noise and contour swell components during contour imaging in addition to the roughness component, the measurement surface curve that includes these components From this, only the roughness component representing the surface roughness of the contour of the object to be measured is extracted to calculate the surface roughness. In this case, for example, by using a low-pass filter (LPF) that removes noise components during contour imaging or a high-pass filter (HPF) that removes waviness components of the contour, the surface roughness of the contour is determined from the measured surface curve. The representing roughness component can be extracted. Thereby, the measurement precision of surface roughness can be improved.

また、請求項5に係る本発明の他の特徴は、前記表面性状測定装置において、さらに、被測定物における輪郭を介して撮像手段に向けて光を照射する照明手段を備えることにある。   Another feature of the present invention according to claim 5 resides in that the surface texture measuring device further includes illumination means for irradiating light toward the imaging means via the contour of the object to be measured.

このように構成した請求項5に係る本発明の他の特徴によれば、表面性状測定装置は、被測定物における輪郭を介して撮像手段に向けて光を照射する照明手段を備えている。これにより、被測定物の輪郭を撮像した輪郭撮像画像情報における輪郭部分を表わす情報と他の部分を表わす情報との輝度の差が明確になるため、輪郭撮像画像情報に含まれる輪郭部分を表わす情報を精度良く抽出して被測定物における輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算することができる。これにより、表面性状の測定精度を向上させることができる。   According to another aspect of the present invention according to claim 5 configured as described above, the surface texture measuring apparatus includes an illuminating unit that irradiates light toward the imaging unit via the contour of the object to be measured. As a result, the brightness difference between the information representing the contour portion in the contour captured image information obtained by capturing the contour of the object to be measured and the information representing the other portion is clarified, so that the contour portion included in the contour captured image information is represented. Information can be extracted with high accuracy, and the roughness or undulation of the contour surface of the object to be measured can be calculated. Thereby, the measurement precision of surface property can be improved.

また、請求項6に係る本発明の他の特徴は、前記表面性状測定装置において、さらに、画像処理手段により計算された被測定物における輪郭の表面の粗さまたはうねりの結果を表示する表示手段を備えることにある。   According to another aspect of the present invention according to claim 6, in the surface texture measuring device, the display means for displaying the result of the roughness or swell of the contour surface of the measured object calculated by the image processing means. It is in having.

このように構成した請求項6に係る本発明の他の特徴によれば、表面性状測定装置は、画像処理手段により計算された被測定物における輪郭の表面の粗さの結果を表示する表示手段を備えている。これにより、被測定物の曲面の表面性状を測定する作業者は、表面性状の測定結果を視覚的に早期に認識することができる。   According to another feature of the present invention according to claim 6 configured as described above, the surface texture measuring apparatus displays the result of the roughness of the contour surface of the measured object calculated by the image processing means. It has. Thereby, the operator who measures the surface texture of the curved surface of the object to be measured can visually recognize the measurement result of the surface texture early.

また、本発明は、表面性状測定装置の発明として実施できるだけでなく、同表面粗さ測定装置に適用される表面粗さ測定用コンピュータプログラムの発明としても実施できるものである。   In addition, the present invention can be implemented not only as an invention of a surface texture measuring device but also as an invention of a computer program for measuring surface roughness applied to the surface roughness measuring device.

具体的には、例えば、請求項7に示すように、曲面を有する被測定物における前記曲面の輪郭を撮像して得た輪郭撮像画像情報を用いて前記曲面の表面の粗さまたはうねりを計算するコンピュータ装置に実行させる表面性状測定用コンピュータプログラムであって、コンピュータ装置に、輪郭撮像画像情報から被測定物のエッジを検出して測定表面曲線を得るエッジ検出ステップと、測定表面曲線を用いて被測定物における輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算する表面性状計算ステップとを実行させるとよい。   Specifically, for example, as shown in claim 7, the surface roughness or waviness of the curved surface is calculated using contour captured image information obtained by imaging the contour of the curved surface of a measurement object having a curved surface. A computer program for surface property measurement to be executed by a computer device, wherein the computer device uses an edge detection step for obtaining a measurement surface curve by detecting an edge of the object to be measured from contour image information, and using the measurement surface curve It is preferable to execute a surface property calculation step for calculating the roughness or waviness of the contour surface of the object to be measured.

この場合、請求項8に示すように、前記表面性状測定用コンピュータプログラムにおいて、さらに、測定表面曲線を用いて被測定物における輪郭を特定する輪郭形状特定ステップと、測定表面曲線から前記特定した輪郭の成分を除去することにより測定表面曲線を補正する測定表面曲線補正ステップとを有し、表面性状計算ステップは、測定表面曲線補正ステップによって補正された測定表面曲線を用いて被測定物における輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算させるものであるとよい。   In this case, as shown in claim 8, in the computer program for surface property measurement, a contour shape specifying step for specifying a contour in the measurement object using the measurement surface curve, and the contour specified from the measurement surface curve A measurement surface curve correction step for correcting the measurement surface curve by removing the components of the measurement surface, and the surface property calculation step uses the measurement surface curve corrected by the measurement surface curve correction step. It is preferable to calculate the roughness or undulation of the surface.

この場合、請求項9に示すように、前記表面性状測定用コンピュータプログラムにおいて、さらに、測定表面曲線補正ステップによって補正された測定表面曲線から粗さ曲線を抽出する粗さ曲線抽出ステップを有し、表面性状計算ステップは、前記粗さ曲線を用いて被測定物における輪郭の表面の粗さを計算させるものであるとよい。これらによっても、上記表面性状測定装置と同様の作用効果が期待できる。   In this case, as shown in claim 9, the computer program for measuring surface properties further includes a roughness curve extraction step for extracting a roughness curve from the measurement surface curve corrected by the measurement surface curve correction step, In the surface property calculation step, the roughness of the surface of the contour of the object to be measured may be calculated using the roughness curve. Also by these, the same effect as the surface texture measuring device can be expected.

本発明の一実施形態に係る表面性状測定装置の全体構成を模式的に示したブロック図である。It is the block diagram which showed typically the whole structure of the surface texture measuring apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図1に示すワーク支持台の全体構成を概略的に示した上面図である。It is the top view which showed roughly the whole structure of the workpiece support stand shown in FIG. 図1に示すコンピュータ装置が実行する表面性状測定プログラムのフローチャートである。It is a flowchart of the surface property measurement program which the computer apparatus shown in FIG. 1 performs. 図1に示す撮像装置が撮像したボール部の輪郭の撮像画像の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the captured image of the outline of the ball | bowl part which the imaging device shown in FIG. 1 imaged. (A),(B)は撮像装置が出力する輪郭撮像画像情報から測定表面曲線を得る過程を説明するための図であり、(A)はボール部の輪郭の撮像画像からエッジの検出過程を模式的に示す説明図であり、(B)は測定表面曲線に対してボール部の輪郭形状に関する成分を除去して補正する過程を模式的に示す説明図である。(A), (B) is a figure for demonstrating the process of obtaining a measurement surface curve from the contour picked-up image information which an imaging device outputs, (A) is the process of detecting an edge from the picked-up image of the outline of a ball | bowl part. It is explanatory drawing shown typically, (B) is explanatory drawing which shows typically the process which removes and correct | amends the component regarding the contour shape of a ball | bowl part with respect to a measurement surface curve. 測定表面曲線に対してボール部の輪郭形状に関する成分を除去して補正する過程を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the process in which the component regarding the outline shape of a ball | bowl part is removed and correct | amended with respect to a measurement surface curve. (A)は断面曲線Pの例を模式的に示す説明図であり、(B)は粗さ曲線Rの例を模式的に示す説明図であり、(C)ろ波うねり曲線Wの例を模式的に示す説明図である。(A) is explanatory drawing which shows typically the example of the cross-sectional curve P, (B) is explanatory drawing which shows the example of the roughness curve R typically, (C) The example of the waviness curve W is shown. It is explanatory drawing shown typically.

以下、本発明に係る表面性状測定装置の一実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係る表面性状測定装置100の全体構成を模式的に示すブロック図である。なお、本明細書において参照する各図は、本発明の理解を容易にするために一部の構成要素を誇張して表わすなど模式的に表している。このため、各構成要素間の寸法や比率などは異なっていることがある。この表面性状測定装置100は、曲面を有した物品、具体的には、図示しないボールジョイントを構成するボールスタッド90のボール部92の表面の粗さを測定するための測定装置である。   Hereinafter, an embodiment of a surface texture measuring device according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram schematically showing the overall configuration of a surface texture measuring apparatus 100 according to the present invention. Note that each drawing referred to in the present specification is schematically represented by exaggerating some of the components in order to facilitate understanding of the present invention. For this reason, the dimension, ratio, etc. between each component may differ. The surface texture measuring device 100 is a measuring device for measuring the roughness of the surface of an article having a curved surface, specifically, a ball portion 92 of a ball stud 90 constituting a ball joint (not shown).

ここで、本発明に係る表面性状測定装置100における表面粗さの測定対象であるボールスタッド90について簡単に説明しておく。ボールスタッド90は、自動車などの車両におけるサスペンション機構(懸架装置)やステアリング機構(操舵装置)において軸状の各構成要素を互いに可動的に連結するためのボールジョイント(図示せず)を構成する機械部品である。このボールジョイント90は、主として、軸状のボールスタッド91の先端部に形成された略球状のボール部92が、有底円筒状のハウジング(図示せず)内に保持された筒状のベアリングシート(図示せず)内に摺動可能な状態で収容されて構成されている。   Here, the ball stud 90 which is a measurement target of the surface roughness in the surface texture measuring device 100 according to the present invention will be briefly described. The ball stud 90 is a machine that forms a ball joint (not shown) for movably connecting shaft-shaped components to each other in a suspension mechanism (suspension device) or a steering mechanism (steering device) in a vehicle such as an automobile. It is a part. The ball joint 90 mainly includes a cylindrical bearing seat in which a substantially spherical ball portion 92 formed at the tip of a shaft-shaped ball stud 91 is held in a bottomed cylindrical housing (not shown). (Not shown) is accommodated in a slidable state.

(表面性状測定装置100の構成)
表面性状測定装置100は、ワーク支持台101を備えている。ワーク支持台101は、ボールスタッド90における表面粗さの測定対象となる球面部分の接線方向に後述する撮像装置102が位置するように支持するための治具である。本実施形態においては、ワーク支持台101は、ボールスタッド90を略水平な状態で支持する。このワーク支持台101は、鋼材を直方体状に形成した台部101aの上面にボールスタッド90の軸線方向に沿った片側半分の形状に対応した形状の凹部101bおよび同凹部101b内にボールスタッド90を嵌め込む際に作業者の手を挿し入れるための逃げ部101cがそれぞれ形成されて構成されている。すなわち、このワーク支持台101が、本発明に係るワーク支持手段に相当する。
(Configuration of surface texture measuring apparatus 100)
The surface texture measuring apparatus 100 includes a workpiece support base 101. The work support base 101 is a jig for supporting the imaging device 102 (described later) in the tangential direction of the spherical surface of the ball stud 90 that is the target of surface roughness measurement. In the present embodiment, the workpiece support base 101 supports the ball stud 90 in a substantially horizontal state. The workpiece support base 101 has a concave portion 101b having a shape corresponding to the shape of one half along the axial direction of the ball stud 90 on the upper surface of the base portion 101a formed of a steel material in a rectangular parallelepiped shape, and the ball stud 90 in the concave portion 101b. Relief portions 101c for inserting the operator's hand when fitted are formed and configured. That is, the work support base 101 corresponds to the work support means according to the present invention.

このワーク支持台101にセットされるボールスタッド90のボール部92の上方には、撮像装置102が設けられている。撮像装置102は、ワーク支持台101にセットされたボールスタッド90におけるボール部92の輪郭の一部を撮像するための光学機械装置である。この撮像装置102は、後述するコンピュータ装置110に制御されてボールスタッド90におけるボール部92の輪郭を同輪郭の接線方向から撮像するとともに、撮像したボール部92の輪郭の撮像画像を表す輪郭撮像画像情報をコンピュータ装置110に出力する。本実施形態においては、撮像装置102は、受光素子として画素数が1280×1024画素、視野3.2mm(2倍レンズ使用時)のCCD(Charge Coupled Device)イメージセンサを用いて構成されている。すなわち、この撮像装置102が、本発明に係るワーク撮像手段に相当する。   An imaging device 102 is provided above the ball portion 92 of the ball stud 90 set on the work support base 101. The imaging device 102 is an optical mechanical device for imaging a part of the contour of the ball portion 92 in the ball stud 90 set on the workpiece support base 101. The imaging device 102 is controlled by a computer device 110 to be described later, and images the contour of the ball portion 92 in the ball stud 90 from the tangential direction of the same contour, and the contour captured image representing the captured image of the captured contour of the ball portion 92. Information is output to the computer device 110. In the present embodiment, the imaging apparatus 102 is configured using a CCD (Charge Coupled Device) image sensor having a number of pixels of 1280 × 1024 pixels and a visual field of 3.2 mm (when using a double lens) as a light receiving element. That is, the imaging device 102 corresponds to a workpiece imaging unit according to the present invention.

撮像装置102の下方には、バックライト照明装置103が設けられている。バックライト照明装置103は、ワーク支持台101にセットされるボールスタッド90におけるボール部92の輪郭を介して撮像装置102に向けて光を照射する照明器具である。このバックライト照明装置103は、コンピュータ装置110によって点灯・消灯の作動が制御される。本実施形態においては、バックライト照明装置103は、赤色の可視光を発するLEDを光源として構成されている。すなわち、このバックライト照明装置103が、本発明に係る照明手段に相当する。なお、バックライト照明装置103は、撮像装置102によるボール部92の輪郭の撮像を精度良く行なうことができる光源であれば、発光させる色や光源そのものの種類は限定されるものではない。   A backlight illumination device 103 is provided below the imaging device 102. The backlight illuminating device 103 is an illuminating device that irradiates light toward the imaging device 102 through the outline of the ball portion 92 of the ball stud 90 set on the work support base 101. The backlight illumination device 103 is controlled to be turned on / off by the computer device 110. In the present embodiment, the backlight illumination device 103 is configured with an LED that emits red visible light as a light source. That is, the backlight illumination device 103 corresponds to the illumination unit according to the present invention. As long as the backlight illumination device 103 is a light source that can accurately capture the contour of the ball portion 92 by the imaging device 102, the color to be emitted and the type of the light source itself are not limited.

コンピュータ装置110は、CPU、ROM、RAM、ハードディスクなどからなるマイクロコンピュータによって構成されており、キーボードおよびマウスからなる入力装置111からの指示に従って、図3に示す表面性状測定プログラムを実行することにより撮像装置102およびバックライト照明装置103の作動をそれぞれ制御する。また、コンピュータ装置110は、液晶ディスプレイからなる表示装置112を備えており、コンピュータ装置110の作動状態、前記表面性状測定プログラムの実行状態、実行結果および撮像装置102による撮像画像などを適宜表示させる。すなわち、本実施形態においてコンピュータ装置110は、個人向けパーソナルコンピュータ(所謂パソコン)を想定している。   The computer device 110 is configured by a microcomputer including a CPU, ROM, RAM, hard disk, and the like, and performs imaging by executing the surface property measurement program shown in FIG. 3 in accordance with instructions from the input device 111 including a keyboard and a mouse. The operations of the device 102 and the backlight illumination device 103 are controlled. In addition, the computer device 110 includes a display device 112 formed of a liquid crystal display, and appropriately displays an operating state of the computer device 110, an execution state of the surface texture measurement program, an execution result, a captured image by the imaging device 102, and the like. That is, in the present embodiment, the computer apparatus 110 is assumed to be a personal computer for personal use (so-called personal computer).

(表面性状測定装置100の作動)
上記のように構成した表面性状測定装置100の作動について説明する。まず、ボールスタッド90におけるボール部92の表面粗さを測定する作業者は、コンピュータ装置110の入力装置111を操作することにより、コンピュータ装置110にボールスタッド90のボール部92に対する表面粗さ測定処理を実行させる。この指示に応答して、コンピュータ装置110は、図3に示す表面性状測定プログラムの実行をステップS100にて開始して、ステップS102に測定準備処理を実行する。具体的には、コンピュータ装置110は、撮像装置102およびバックライト照明装置103の作動をそれぞれ開始させて撮像および照明の点灯を直ちに行なえる待機状態に制御する。
(Operation of the surface texture measuring device 100)
The operation of the surface texture measuring apparatus 100 configured as described above will be described. First, an operator who measures the surface roughness of the ball portion 92 in the ball stud 90 operates the input device 111 of the computer device 110 to cause the computer device 110 to perform the surface roughness measurement process for the ball portion 92 of the ball stud 90. Is executed. In response to this instruction, the computer apparatus 110 starts execution of the surface property measurement program shown in FIG. 3 in step S100, and executes measurement preparation processing in step S102. Specifically, the computer device 110 controls the standby state in which the imaging device 102 and the backlight illumination device 103 are started to start imaging and lighting immediately.

次に、コンピュータ装置110は、ステップS104にて、作業者から入力装置101を介して表面粗さ測定処理の終了の指示が入力されたか否かを判定する。この場合、コンピュータ装置110は、作業者から表面粗さ測定処理の終了の指示がなされるまでの間、この判定処理にて「No」と判定し続けてステップS106に進む。一方、コンピュータ装置110は、作業者から表面粗さ測定処理の終了の指示がなされた場合には、この判定処理にて「Yes」と判定してステップS122に進む。   Next, in step S <b> 104, the computer apparatus 110 determines whether an instruction to end the surface roughness measurement process is input from the operator via the input apparatus 101. In this case, the computer apparatus 110 continues to determine “No” in this determination process until the operator gives an instruction to end the surface roughness measurement process, and proceeds to step S106. On the other hand, when the operator gives an instruction to end the surface roughness measurement process, the computer apparatus 110 determines “Yes” in this determination process and proceeds to step S122.

次に、コンピュータ装置110は、ステップS106にて、作業者から入力装置101を介して表面粗さ測定処理の開始の指示が入力されたか否かを判定する。この場合、コンピュータ装置110は、作業者から表面粗さ測定処理の開始の指示がなされるまでの間、この判定処理にて「No」と判定し続けてステップS104に戻る。一方、コンピュータ装置110は、作業者から表面粗さ測定処理の開始の指示が入力された場合には、この判定処理にて「Yes」と判定してステップS108に進む。   Next, in step S <b> 106, the computer apparatus 110 determines whether or not an instruction to start the surface roughness measurement process is input from the operator via the input apparatus 101. In this case, the computer apparatus 110 continues to determine “No” in this determination process until the operator gives an instruction to start the surface roughness measurement process, and returns to step S104. On the other hand, when an instruction to start the surface roughness measurement process is input from the operator, the computer apparatus 110 determines “Yes” in this determination process and proceeds to step S108.

すなわち、作業者は、機械加工されて表面粗さの測定が必要なボールスタッド90が存在する場合には、このボールスタッド90をワーク支持台101にセットした後、入力装置111を操作してコンピュータ装置110に対して表面粗さ測定処理の開始を指示する。この場合、作業者は、ボールスタッド90におけるスタッド部91をワーク支持台101の凹部101a内に嵌め込む。これにより、ワーク支持台101の長手方向図示左側側面部からボール部92が突出して撮像装置102の視野内にボール部92の端部が位置した状態でボールスタッド90がワーク支持台101に支持される。   That is, when there is a ball stud 90 that is machined and needs to be measured for surface roughness, the operator sets the ball stud 90 on the work support base 101 and then operates the input device 111 to operate the computer. The apparatus 110 is instructed to start the surface roughness measurement process. In this case, the operator fits the stud portion 91 of the ball stud 90 into the recess 101 a of the work support base 101. Accordingly, the ball stud 90 is supported by the work support base 101 in a state where the ball part 92 protrudes from the left side surface portion of the work support base 101 in the longitudinal direction and the end of the ball part 92 is positioned within the field of view of the imaging device 102. The

次に、コンピュータ装置110は、ステップS108にて、撮像処理を実行する。具体的には、コンピュータ装置110は、撮像装置102およびバックライト照明装置103の作動をそれぞれ制御することにより、バックライト照明装置103の発光に同期させて撮像装置102にボール部92の輪郭部分の画像の撮像を実行させる。これにより、図4に示すように、ボールスタッド90におけるボール部92の輪郭が撮像されて、同撮像画像を表す輪郭撮像画像情報がコンピュータ装置110に出力される。なお、図4および図5においては、ボール部92の撮像画像にボール部92と同一の符号を付すとともに、ボール部92の輪郭の撮像画像に「OL」を付している。   Next, the computer apparatus 110 performs an imaging process in step S108. Specifically, the computer device 110 controls the operations of the imaging device 102 and the backlight illumination device 103, respectively, so that the contour of the ball portion 92 of the ball unit 92 is synchronized with the light emission of the backlight illumination device 103. Image capture is executed. As a result, as shown in FIG. 4, the contour of the ball portion 92 in the ball stud 90 is imaged, and contour captured image information representing the captured image is output to the computer device 110. 4 and 5, the captured image of the ball portion 92 is denoted by the same reference numeral as that of the ball portion 92, and “OL” is appended to the captured image of the contour of the ball portion 92.

この場合、輪郭撮像画像情報によって表されるボール部92の撮像画像は、グレー処理によって表されている。すなわち、輪郭撮像画像情報によって表されるボール部92の撮像画像は、0(白色)〜255(黒色)のグレースケールにおけるグレー値で表わされており、具体的には、ボール部92の撮像時のバックライト照明装置103による照明により、ボール部92の外側の部分が白色に近い薄いグレー値で表わされているとともに、ボール部92が黒色に近い濃いグレー値で表わされる。   In this case, the captured image of the ball portion 92 represented by the contour captured image information is represented by gray processing. That is, the captured image of the ball part 92 represented by the contour captured image information is represented by a gray value in a gray scale of 0 (white) to 255 (black). Specifically, the captured image of the ball part 92 is captured. Due to the illumination by the backlight illumination device 103 at the time, the outer portion of the ball portion 92 is represented by a light gray value close to white, and the ball portion 92 is represented by a dark gray value close to black.

次に、コンピュータ装置110は、ステップS110にて、エッジ検出処理を実行する。このステップS110におけるエッジ検出処理は、輪郭撮像画像情報によって表わされるボール部92の輪郭を表す部分を検出して特定する処理である。このエッジ検出処理は、従来技術におけるエッジ検出処理、すなわち、輪郭撮像画像情報における輝度(画像の明るさ)が鋭敏に変化する画素(「ピクセル」ともいう)を特定するものである。より具体的には、コンピュータ装置110は、図5(A)の破線矢印で示すように、輪郭撮像画像情報における図示横方向の1280画素ごとにグレー値が高いボール部92を表わす輪郭撮像画像情報の最端の画素からグレー値が低いボール部92の外側を表わす輪郭撮像画像情報の最端の画素に向って輝度が不連続に変化する画素を検出して特定する。これにより、図5(B)に示すように、ボール部92の輪郭を表す1280個の画素群からなる測定表面曲線SLが得られる。すなわち、このステップS110におけるエッジ検出処理が、本発明に係るエッジ検出手段に相当する。なお、図5(B)においては、測定表面曲線SLを構成する画素群を粗く(少なく)示している。   Next, the computer apparatus 110 performs an edge detection process in step S110. The edge detection process in step S110 is a process for detecting and specifying a portion representing the contour of the ball portion 92 represented by the contour captured image information. This edge detection process is an edge detection process in the prior art, that is, specifies a pixel (also referred to as “pixel”) in which the luminance (brightness of the image) in the contour captured image information changes sharply. More specifically, as shown by a broken line arrow in FIG. 5A, the computer apparatus 110 shows contour captured image information representing a ball portion 92 having a high gray value for each 1280 pixels in the illustrated horizontal direction in the contour captured image information. A pixel whose luminance changes discontinuously toward the outermost pixel of the contour captured image information representing the outside of the ball portion 92 having a low gray value from the outermost pixel is detected and specified. As a result, as shown in FIG. 5B, a measurement surface curve SL composed of 1280 pixel groups representing the contour of the ball portion 92 is obtained. That is, the edge detection process in step S110 corresponds to the edge detection means according to the present invention. In FIG. 5B, the pixel group constituting the measurement surface curve SL is shown roughly (less).

次に、コンピュータ装置110は、ステップS112にて、輪郭形状特定処理を実行する。このステップS112における輪郭形状特定処理は、測定表面曲線SLからボール部92の輪郭形状に関する成分を除去するためにボール部92の輪郭形状を特定する処理である。具体的には、コンピュータ装置110は、測定表面曲線SLを用いて最小二乗法によりボール部92の輪郭を構成する円弧を算出して同円弧の中心位置CPを算出する。すなわち、このステップS112における輪郭形状特定処理が、本発明に係る輪郭形状特定手段に相当する。   Next, the computer apparatus 110 performs a contour shape specifying process in step S112. The contour shape specifying process in step S112 is a process for specifying the contour shape of the ball portion 92 in order to remove the component related to the contour shape of the ball portion 92 from the measurement surface curve SL. Specifically, the computer apparatus 110 calculates an arc constituting the contour of the ball portion 92 by the least square method using the measurement surface curve SL, and calculates the center position CP of the arc. That is, the contour shape specifying process in step S112 corresponds to the contour shape specifying means according to the present invention.

次に、コンピュータ装置110は、ステップS114にて、測定表面曲線SLの補正処理を実行する。このステップS114における輪郭形状特定処理は、測定表面曲線SLからボール部92の輪郭形状に関する成分を除去する処理である。具体的には、コンピュータ装置110は、前記ステップS112にて算出したボール部92の輪郭を構成する円弧の中心位置CPに対する測定表面曲線SLを構成する各画素の距離を計算する。そして、コンピュータ装置110は、測定表面曲線SLを構成する各画素を共通の基線BL上から前記計算した中心位置CPからの距離だけ離れた位置に基準BL線に沿ってそれぞれ配列する。これにより、図6に示すように、測定表面曲線SLからボール部92の輪郭形状に関する成分が除去される。すなわち、このステップS114における測定表面曲線SLの補正処理が、本発明に係る測定表面曲線補正手段に相当する。   Next, the computer apparatus 110 performs the correction process of the measurement surface curve SL in step S114. The contour shape specifying process in step S114 is a process for removing components related to the contour shape of the ball portion 92 from the measurement surface curve SL. Specifically, the computer device 110 calculates the distance of each pixel constituting the measurement surface curve SL with respect to the center position CP of the arc constituting the contour of the ball portion 92 calculated in step S112. Then, the computer apparatus 110 arranges the pixels constituting the measurement surface curve SL along the reference BL line at positions separated from the calculated center position CP from the common base line BL. Thereby, as shown in FIG. 6, the component regarding the outline shape of the ball | bowl part 92 is removed from measurement surface curve SL. That is, the correction process of the measurement surface curve SL in step S114 corresponds to the measurement surface curve correction unit according to the present invention.

次に、コンピュータ装置110は、ステップS116にて、粗さ曲線抽出処理を実行する。このステップS116における粗さ曲線抽出処理は、測定表面曲線SLからボール部92の輪郭表面の粗さに関する成分を抽出する処理である。すなわち、ボール部92の輪郭部分を表わす測定表面曲線SLには、ボール部92の円弧状の輪郭を表す成分の他に、ボール部92の輪郭の表面粗さに関する成分およびボール部92の輪郭表面のうねりに関する成分がそれぞれ含まれている。また、ボール部92の輪郭部分を表わす測定表面曲線SLには、これらのボール部92の輪郭形状に関する成分の他に、撮像装置102による撮像処理に起因する成分、具体的には、各種ノイズ成分が含まれている。したがって、このステップS116における粗さ曲線抽出処理においては、表面粗さに関する成分、うねりに関する成分およびノイズに関する成分が含まれた測定表面曲線SLからボール部92の輪郭の表面粗さに関する成分のみを抽出するものである。   Next, the computer apparatus 110 performs a roughness curve extraction process in step S116. The roughness curve extraction process in step S116 is a process for extracting a component relating to the roughness of the contour surface of the ball portion 92 from the measurement surface curve SL. That is, in the measurement surface curve SL representing the contour portion of the ball portion 92, in addition to the component representing the arc-shaped contour of the ball portion 92, the component relating to the surface roughness of the contour of the ball portion 92 and the contour surface of the ball portion 92 Ingredients related to swell are included. In addition to the components related to the contour shape of the ball portion 92, the measurement surface curve SL representing the contour portion of the ball portion 92 includes components caused by the imaging processing by the imaging device 102, specifically various noise components. It is included. Therefore, in the roughness curve extraction process in step S116, only the component related to the surface roughness of the contour of the ball portion 92 is extracted from the measured surface curve SL including the component related to the surface roughness, the component related to the waviness, and the component related to the noise. To do.

具体的には、コンピュータ装置110は、測定表面曲線SLに対して特定の周波数成分のみを通過させるフィルタ処理を実行する。より具体的には、コンピュータ装置110は、カットオフ値λs(2.5〜25μm)より短い短波長成分をカット(遮断)する低域通過フィルタ(ローパスフィルタ)であるλs輪郭曲線フィルタを用いて測定表面曲線SLからノイズ成分を除去するとともに、カットオフ値λc(0.08〜8mm)より長い長波長成分をカット(遮断)する高域通過フィルタ(ハイパスフィルタ)であるλc輪郭曲線フィルタを用いて測定表面曲線SLからうねり成分を除去する。   Specifically, the computer apparatus 110 performs a filtering process that allows only a specific frequency component to pass through the measurement surface curve SL. More specifically, the computer apparatus 110 uses a λs contour curve filter that is a low-pass filter (low-pass filter) that cuts (cuts off) a short wavelength component shorter than the cutoff value λs (2.5 to 25 μm). A λc contour curve filter that is a high-pass filter (high-pass filter) that removes a noise component from the measurement surface curve SL and cuts (blocks) a long wavelength component longer than the cutoff value λc (0.08 to 8 mm) is used. To remove the waviness component from the measured surface curve SL.

すなわち、コンピュータ装置110は、カットオフ値λs〜λcを通過域とする帯域通過フィルタによって測定表面曲線SLからボール部92の輪郭の表面粗さに関する成分のみを抽出する。この測定表面曲線SLからノイズ成分を除去する処理によって、図7(A)に示すように、断面曲線Pが得られ、この断面曲線Pからうねり成分を除去する処理によって、図7(B)に示すように、粗さ曲線Rが得られる。すなわち、このステップS116における粗さ曲線抽出処理が、本発明に係る粗さ曲線抽出手段に相当する。   That is, the computer apparatus 110 extracts only the component related to the surface roughness of the contour of the ball portion 92 from the measurement surface curve SL by the band pass filter having the cutoff values λs to λc as the pass band. By removing the noise component from the measurement surface curve SL, a cross-sectional curve P is obtained as shown in FIG. 7A. By removing the waviness component from the cross-sectional curve P, the process shown in FIG. As shown, a roughness curve R is obtained. That is, the roughness curve extraction process in step S116 corresponds to the roughness curve extraction means according to the present invention.

次に、コンピュータ装置110は、ステップS118にて、ボール部92の輪郭表面の粗さを計算する。具体的には、コンピュータ装置110は、前記ステップS116にて算出した粗さ曲線Rにおいて、粗さ曲線Rの評価長さ内において基準長さごとの山高さと谷深さとの和の平均をボール部92の輪郭表面の粗さとして算出する。すなわち、本実施形態においては、撮像装置102によって撮像される粗さ曲線Rの長さ(つまり撮像装置102の視野)が3.2mmであるため、同粗さ曲線Rの評価長さを3.2mmとする。一方、基準長さは、ボール部92を切削加工により削り出す際の刃物の送り量(切削ピッチ)が0.8mm/revであるため、基準長さを0.8mmとする。すなわち、この基準長さの0.8mmの範囲内に山と谷とが一つずつ存在することになる。   Next, the computer apparatus 110 calculates the roughness of the contour surface of the ball portion 92 in step S118. Specifically, the computer device 110 calculates the average of the sum of the peak height and the valley depth for each reference length within the evaluation length of the roughness curve R in the roughness curve R calculated in step S116. It is calculated as the roughness of 92 contour surfaces. That is, in the present embodiment, the length of the roughness curve R imaged by the imaging device 102 (that is, the field of view of the imaging device 102) is 3.2 mm, so the evaluation length of the roughness curve R is 3. 2 mm. On the other hand, the reference length is set to 0.8 mm because the feed amount (cutting pitch) of the cutter when the ball portion 92 is cut by cutting is 0.8 mm / rev. In other words, one peak and one valley exist within the standard length of 0.8 mm.

したがって、コントローラ装置110は、3.2mmの評価長さの粗さ曲線Rに対して0.8mmの基準長さごとに山高さと谷深さとの和を算出して、この和の平均値を算出(本実施形態においては、和の合計値を4で除す)する。すなわち、このステップS118における輪郭表面の粗さを計算処理が、本発明に係る表面粗さ計算手段に相当する。なお、このような、表面粗さの計算方法は、現状のJIS規格(日本工業規格)における表面粗さの算出方法とは異なるものである。しかし、本発明者らによる実験によれば、本実施形態における前記表面粗さの計算方法により算出された表面粗さの値と、JIS規格に従った接触式の表面粗さ測定機(図示せず)によるボールスタッド90におけるボール部92の表面粗さ測定結果との相関係数は約0.96である。   Therefore, the controller apparatus 110 calculates the sum of the peak height and the valley depth for each reference length of 0.8 mm with respect to the roughness curve R of the evaluation length of 3.2 mm, and calculates the average value of this sum. (In this embodiment, the total sum is divided by 4). That is, the contour surface roughness calculation process in step S118 corresponds to the surface roughness calculation means according to the present invention. Note that such a method for calculating the surface roughness is different from the method for calculating the surface roughness in the current JIS standard (Japanese Industrial Standard). However, according to experiments by the present inventors, the surface roughness value calculated by the surface roughness calculation method in this embodiment and a contact-type surface roughness measuring machine (not shown) according to JIS standards. The correlation coefficient with the surface roughness measurement result of the ball part 92 in the ball stud 90 is about 0.96.

なお、このステップS118における輪郭表面の粗さを計算処理においては、前記したように、現状のJIS規格(日本工業規格)における表面粗さの計算方法とは異なるものである。しかし、このステップS118における輪郭表面の粗さを計算処理においては、JIS規格(日本工業規格)における表面粗さの計算方法を排除するものではない。すなわち、このステップS118における輪郭表面の粗さを計算処理は、ボール部92の輪郭の表面粗さを評価可能なパラメータを計算すれば良く、例えば、十点平均粗さRzjis、算術平均粗さRa、二乗平方根粗さRq、中心線平均粗さRa75および最大高さ粗さRzなどであってもよいことは当然である。 The contour surface roughness calculation process in step S118 is different from the surface roughness calculation method in the current JIS standard (Japanese Industrial Standard) as described above. However, in the calculation processing of the roughness of the contour surface in step S118, the calculation method of the surface roughness in JIS standard (Japanese Industrial Standard) is not excluded. That is, the contour surface roughness calculation process in step S118 may be performed by calculating parameters that can evaluate the contour surface roughness of the ball portion 92. For example, the ten-point average roughness Rz jis , the arithmetic average roughness Of course, it may be Ra, square root roughness Rq, centerline average roughness Ra75, maximum height roughness Rz, and the like.

次に、コンピュータ装置110は、ステップS120にて、ボール部92の輪郭表面の粗さの合否判定結果を表示する。具体的には、コンピュータ装置110は、前記ステップS118にて計算した十点平均粗さRzjisを表面粗さ測定プログラムに予め設定されている評価十点平均粗さRzjisと比較して、算出した十点平均粗さRzjisが評価十点平均粗さRzjis未満である場合には、表示装置112にボール部92の表面粗さが基準値以内であるとして「合格」の文字を表示させる。一方、コンピュータ装置110は、算出した十点平均粗さRzjisが評価十点平均粗さRzjis以上である場合には、表示装置112にボール部92の表面粗さが基準値外であるとして「不合格」の文字を表示させる。 Next, the computer apparatus 110 displays the pass / fail judgment result of the roughness of the contour surface of the ball portion 92 in step S120. Specifically, the computer apparatus 110 calculates the 10-point average roughness Rz jis calculated in step S118 by comparing with the evaluation 10-point average roughness Rz jis preset in the surface roughness measurement program. If the ten-point average roughness Rz jis is less than the evaluation ten-point average roughness Rz jis , the display device 112 displays the word “pass” on the assumption that the surface roughness of the ball portion 92 is within the reference value. . On the other hand, when the calculated ten-point average roughness Rz jis is equal to or greater than the evaluation ten-point average roughness Rz jis , the computer device 110 determines that the surface roughness of the ball portion 92 is outside the reference value on the display device 112 Display the word “Fail”.

したがって、作業者は、表示装置112の表示画面に表示される表示内容に従って測定対象であるボールスタッド90の「良」または「不良」を判定する。なお、本発明者らによる実験によれば、前記ステップS106における作業者による表面粗さ測定処理の開始の指示から本ステップS120における合否判定表示までの時間は約1秒である。これは、従来技術に係る接触式の表面粗さ測定機による応答時間である約55秒に比べて格段に速いものである。また、現状のJIS規格(日本工業規格)においては、表面粗さ測定機は接触式であることが定められている。しかし、本発明に係る表面性状測定装置100によるボールスタッド90におけるボール部92の表面粗さ測定結果と、JIS規格に従った接触式の表面粗さ測定機(図示せず)によるボールスタッド90におけるボール部92の表面粗さ測定結果との相関係数は前記したように約0.96である。すなわち、本発明に係る表面性状測定装置100は、JIS規格に従った接触式の表面粗さ測定機と略同程度の測定精度を有するものである。   Therefore, the operator determines “good” or “bad” of the ball stud 90 as the measurement target according to the display content displayed on the display screen of the display device 112. According to the experiments by the present inventors, the time from the instruction to start the surface roughness measurement process by the operator in step S106 to the pass / fail determination display in step S120 is about 1 second. This is much faster than the response time of about 55 seconds by the contact-type surface roughness measuring device according to the prior art. Further, the current JIS standard (Japanese Industrial Standard) stipulates that the surface roughness measuring machine is a contact type. However, the surface roughness measurement result of the ball portion 92 in the ball stud 90 by the surface texture measuring device 100 according to the present invention and the ball stud 90 by a contact type surface roughness measuring machine (not shown) according to JIS standard. The correlation coefficient with the measurement result of the surface roughness of the ball portion 92 is about 0.96 as described above. That is, the surface texture measuring apparatus 100 according to the present invention has a measurement accuracy substantially the same as that of a contact-type surface roughness measuring machine according to JIS standards.

このステップS120によるボール部92の輪郭表面の粗さの合否判定結果の表示処理を実行した後、コンピュータ装置110は、ステップS104に戻る。これにより、コンピュータ装置110は、再度、表面粗さの測定作業の終了の指示、および表面粗さ測定処理の開始の指示を待つ。そして、作業者は、ボールスタッド90の表面粗さの測定作業を終了する場合には、入力装置111を操作することにより、コンピュータ装置110に対して表面粗さ測定処理の終了の指示を行なう。この指示に応答して、コンピュータ装置110は、前記ステップS104の判定処理にて「Yes」と判定してステップS122に進む。次いで、コンピュータ装置110は、ステップS122にて、測定終了処理、具体的には、撮像装置102およびバックライト照明装置103の作動をそれぞれ停止させる。そして、コンピュータ装置110は、ステップS124にて、この表面性状測定プログラムの実行を終了する。   After executing the display processing of the pass / fail determination result of the contour surface roughness of the ball portion 92 in step S120, the computer apparatus 110 returns to step S104. Thereby, the computer apparatus 110 again waits for an instruction to end the surface roughness measurement work and an instruction to start the surface roughness measurement process. When the operator finishes the surface roughness measurement work of the ball stud 90, the operator operates the input device 111 to instruct the computer device 110 to end the surface roughness measurement process. In response to this instruction, the computer apparatus 110 determines “Yes” in the determination process of step S104 and proceeds to step S122. Next, in step S122, the computer apparatus 110 stops the measurement end processing, specifically, the operations of the imaging apparatus 102 and the backlight illumination apparatus 103, respectively. In step S124, the computer apparatus 110 ends the execution of the surface texture measurement program.

上記作動からも理解できるように、上記実施形態によれば、表面性状測定装置100は、被測定物であるボールスタッド90におけるボール部92の輪郭を撮像して輪郭撮像画像情報を取得するとともに、同取得した輪郭撮像画像情報に含まれる前記ボール部92の輪郭部分を表わす情報を用いて同輪郭の表面粗さを計算している。これにより、表面性状測定装置100に伝達される外部からの振動の影響を抑えつつ簡単かつ短時間に精度良くボールスタッド90におけるボール部92の表面粗さを測定することができる。   As can be understood from the above operation, according to the above embodiment, the surface texture measuring device 100 captures the contour of the ball portion 92 in the ball stud 90 that is the object to be measured and acquires contour captured image information, The surface roughness of the contour is calculated using information representing the contour portion of the ball portion 92 included in the acquired contour captured image information. Thereby, the surface roughness of the ball portion 92 in the ball stud 90 can be measured easily and accurately in a short time while suppressing the influence of external vibration transmitted to the surface texture measuring device 100.

さらに、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。なお、下記に示す各変形例においては、上記各実施形態と同様の構成部分には対応する符号を付して、その説明は省略する。   Furthermore, in carrying out the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the object of the present invention. In addition, in each modification shown below, the code | symbol corresponding to the same component as said each embodiment is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.

例えば、上記実施形態においては、表面性状測定装置100は、ボールスタッド90におけるボール部92の輪郭を撮像した輪郭撮像画像情報をグレー処理することにより256階調のグレー値で表した。しかし、輪郭撮像画像情報は、ボール部92の輪郭を撮像した画像データであってエッジ処理において同輪郭を特定できる形式のデータであれば、必ずしも上記実施形態に限定されるものではない。例えば、輪郭撮像画像情報を白色および黒色の2値情報からなるモノクロ画像情報で構成してもよいし、RGBからなるカラー画像情報で構成してもよい。   For example, in the above-described embodiment, the surface texture measuring device 100 represents the contour captured image information obtained by capturing the contour of the ball portion 92 in the ball stud 90 by gray processing, and represents the gray value of 256 gradations. However, the contour captured image information is not necessarily limited to the above-described embodiment as long as it is image data obtained by capturing the contour of the ball portion 92 and data in a format that can identify the contour in the edge processing. For example, the contour captured image information may be constituted by monochrome image information composed of binary information of white and black, or may be composed of color image information composed of RGB.

また、上記実施形態においては、表面性状測定装置100は、撮像装置102をCCDイメージセンサで構成した。しかし、撮像装置102は、受光面に結像した像に応じた電気信号をコンピュータ装置140に出力する光学素子であれば広く採用することができる。例えば、撮像装置102は、CCDイメージセンサの他に、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサなどの各種撮像素子を用いて構成することもできる。   Moreover, in the said embodiment, the surface texture measuring apparatus 100 comprised the imaging device 102 with the CCD image sensor. However, the imaging device 102 can be widely used as long as it is an optical element that outputs an electrical signal corresponding to the image formed on the light receiving surface to the computer device 140. For example, the imaging device 102 can be configured using various imaging elements such as a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor in addition to the CCD image sensor.

また、上記実施形態においては、表面性状測定装置100は、撮像装置102に向けて光を照射するバックライト照明装置103を備えて構成した。しかし、バックライト照明装置103は、表面性状測定プログラムにおけるステップS110によるエッジ検出処理において輝度の差を大きくすることによりエッジを検出し易くして測定表面曲線SLを精度良く得るためである。すなわち、バックライト照明装置103(照明手段)は、精度良く測定表面曲線SLが得られれば、必ずしも必要ではない。例えば、バックライト照明装置103に変えて、ボールスタッド90の金属色との間で明暗の差が明確となる色(例えば、黒色)で構成されたプレート体を配置するようにしてもよいし、撮像装置102にフラッシュなどの閃光装置を設けるようにしてもよい。また、バックライト照明装置103を設ける場合、赤外線以外の光を発光する光源、例えば、蛍光灯、白熱電球、LED照明、ハロゲンランプなどであってもよい。   In the above embodiment, the surface texture measuring device 100 includes the backlight illumination device 103 that emits light toward the imaging device 102. However, the backlight illuminating device 103 makes it easy to detect the edge by increasing the difference in brightness in the edge detection processing in step S110 in the surface property measurement program, and obtains the measurement surface curve SL with high accuracy. That is, the backlight illumination device 103 (illuminating means) is not necessarily required as long as the measurement surface curve SL can be obtained with high accuracy. For example, instead of the backlight illuminating device 103, a plate body configured with a color (for example, black) in which a difference in brightness with the metal color of the ball stud 90 is clear may be arranged. The imaging device 102 may be provided with a flash device such as a flash. When the backlight illumination device 103 is provided, it may be a light source that emits light other than infrared light, such as a fluorescent lamp, an incandescent lamp, an LED illumination, or a halogen lamp.

また、上記実施形態においては、ボールスタッド90の表面粗さ測定結果を表示させるために表示装置112を液晶ディスプレイで構成した。しかし、表示装置112は、ボールスタッド90の表面粗さ測定結果を作業者が認識できるものであれば、必ずしも上記実施形態に限定されるものではない。例えば、表示装置112は、液晶ディスプレイに変えてまたは加えて、回転灯や測定結果情報を印刷する印刷装置などで構成することもできる。また、表示装置112などの視覚による表示手段以外に、ブザーなどの音で測定結果を表示させるようにしてもよい。   Moreover, in the said embodiment, in order to display the surface roughness measurement result of the ball stud 90, the display apparatus 112 was comprised with the liquid crystal display. However, the display device 112 is not necessarily limited to the above embodiment as long as the operator can recognize the surface roughness measurement result of the ball stud 90. For example, the display device 112 can be configured by a rotating device or a printing device that prints measurement result information instead of or in addition to a liquid crystal display. In addition to visual display means such as the display device 112, the measurement result may be displayed with a sound such as a buzzer.

また、上記実施形態においては、表面性状測定プログラムにおいては、ステップS112およびステップS114の各処理を実行することにより、測定表面曲線SLからボール部92の輪郭形状に関する成分を除去した。しかし、測定表面曲線SLからボール部92の輪郭形状に関する成分を除去する処理は、被測定物における表面粗さの測定方向に沿った形状が直線形状である場合、例えば、円筒や円柱形状の外周面の表面粗さを軸線方向に沿って測定する場合には省略することもできる。   In the above-described embodiment, in the surface property measurement program, components related to the contour shape of the ball portion 92 are removed from the measurement surface curve SL by executing the processes of step S112 and step S114. However, the processing for removing the component related to the contour shape of the ball portion 92 from the measurement surface curve SL is performed when the shape along the measurement direction of the surface roughness of the object to be measured is a linear shape, for example, an outer periphery of a cylinder or a cylindrical shape. When the surface roughness of the surface is measured along the axial direction, it can be omitted.

また、上記実施形態においては、表面性状測定プログラムにおいては、ステップS118にて粗さ曲線Rの抽出処理を実行した。しかし、粗さ曲線Rの抽出処理は、測定表面曲線SLおよび断面曲線Pから、ノイズに関する成分およびうねりに関する成分が無視できる場合には、必ずしも必要ではない。すなわち、測定表面曲線SLおよび断面曲線Pを粗さ曲線Rとしてボール部92の輪郭の表面粗さを計算するようにしてもよい。   In the above embodiment, in the surface texture measurement program, the roughness curve R extraction process is executed in step S118. However, the process of extracting the roughness curve R is not always necessary when the noise component and the undulation component can be ignored from the measurement surface curve SL and the cross-sectional curve P. That is, the surface roughness of the contour of the ball portion 92 may be calculated using the measurement surface curve SL and the cross-sectional curve P as the roughness curve R.

また、上記実施形態においては、表面性状測定プログラムにおいては、ステップS118にて粗さ曲線Rの抽出処理を実行した。しかし、表面性状測定プログラムは、ステップS118における粗さ曲線Rの抽出処理に代えてまたは加えて、ボール部92の輪郭形状のうねりの状態を測定するようにしてもよい。具体的には、コンピュータ装置110は、カットオフ値λc(0.08〜8μm)より短い短波長成分をカット(遮断)する低域通過フィルタ(ローパスフィルタ)であるλs輪郭曲線フィルタを用いて測定表面曲線SLからノイズ成分および粗さ成分をそれぞれ除去するとともに、カットオフ値λf(n×λf(n=基準長さの数))より長い長波長成分をカット(遮断)する高域通過フィルタ(ハイパスフィルタ)であるλf輪郭曲線フィルタを用いて測定表面曲線SLからうねり成分より長い周波数成分を除去する。   In the above embodiment, in the surface texture measurement program, the roughness curve R extraction process is executed in step S118. However, the surface texture measurement program may measure the waviness state of the contour shape of the ball portion 92 instead of or in addition to the process of extracting the roughness curve R in step S118. Specifically, the computer apparatus 110 uses a λs contour curve filter that is a low-pass filter (low-pass filter) that cuts (cuts off) a short wavelength component shorter than the cutoff value λc (0.08 to 8 μm). A high-pass filter that removes noise components and roughness components from the surface curve SL and cuts (cuts off) long wavelength components longer than the cutoff value λf (n × λf (n = number of reference lengths)) ( A frequency component longer than the waviness component is removed from the measurement surface curve SL using a λf contour curve filter which is a high-pass filter.

すなわち、コンピュータ装置110は、カットオフ値λc〜λfを通過域とする帯域通過フィルタによって測定表面曲線SLからボール部92の輪郭のうねりに関する成分のみを抽出する。この測定表面曲線SLからうねり成分を抽出する処理によって、コンピュータ装置110は、図7(C)に示すように、ろ波うねり曲線Wが得られる。これにより、作業者、ボール部92の輪郭形状のうねりの状態を計測することができる。   That is, the computer apparatus 110 extracts only the component related to the undulation of the contour of the ball portion 92 from the measurement surface curve SL by the band pass filter having the cutoff values λc to λf as the pass band. By the process of extracting the undulation component from the measurement surface curve SL, the computer apparatus 110 obtains the filtered undulation curve W as shown in FIG. Thereby, the state of the waviness of the contour shape of the worker and the ball portion 92 can be measured.

また、上記実施形態においては、表面性状測定装置100は、ボールスタッド90を被測定物とした。しかし、本発明に係る表面性状測定装置100は、曲面を有する被測定物であれば広く測定することができる。例えば、曲面を有する円筒体や円柱体、および球面を有する球体などの表面の粗さやうねりを測定することができる。   In the above embodiment, the surface texture measuring apparatus 100 uses the ball stud 90 as the object to be measured. However, the surface texture measuring apparatus 100 according to the present invention can widely measure any object to be measured having a curved surface. For example, it is possible to measure the roughness and undulation of the surface of a cylindrical body or columnar body having a curved surface, and a spherical body having a spherical surface.

SL…測定表面曲線、P…断面曲線、R…粗さ曲線、W…ろ波うねり曲線、
90…ボールスタッド、91…スタッド部、92…ボール部、
100…表面性状測定装置、101…ワーク支持台、102…撮像装置、103…バックライト照明装置、110…コンピュータ装置、111…入力装置、112…表示装置。
SL: measurement surface curve, P: cross section curve, R: roughness curve, W: filtered wave curve,
90 ... ball stud, 91 ... stud part, 92 ... ball part,
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Surface texture measuring device 101 ... Work support stand 102 ... Imaging device 103 ... Backlight illumination device 110 ... Computer device 111 ... Input device 112 ... Display device

Claims (9)

曲面を有する被測定物の表面の粗さまたはうねりを測定する表面性状測定装置において、
前記被測定物を支持するワーク支持手段と、
前記ワーク支持手段に支持された前記被測定物における前記曲面の輪郭を撮像した輪郭撮像画像情報を出力するワーク撮像手段と、
前記輪郭撮像画像情報に含まれる前記曲面の輪郭部分を表わす画像情報を用いて同輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算する画像処理手段とを備えることを特徴とする表面性状測定装置。
In the surface texture measuring device for measuring the roughness or undulation of the surface of the object having a curved surface,
Workpiece support means for supporting the object to be measured;
Workpiece imaging means for outputting contour captured image information obtained by imaging the contour of the curved surface of the object to be measured supported by the workpiece support means;
An image processing means for calculating roughness or undulation of the surface of the contour using image information representing the contour portion of the curved surface included in the contour captured image information.
請求項1に記載した表面性状測定装置において、
前記画像処理手段は、
前記輪郭撮像画像情報から前記被測定物のエッジを検出して測定表面曲線を得るエッジ検出手段と、
前記測定表面曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算する表面性状計算手段とを備えることを特徴とする表面性状測定装置。
In the surface texture measuring apparatus according to claim 1,
The image processing means includes
Edge detection means for detecting the edge of the object to be measured from the contour image information and obtaining a measurement surface curve;
A surface texture measuring device comprising: a surface texture calculating means for calculating roughness or waviness of the surface of the contour of the object to be measured using the measurement surface curve.
請求項2に記載した表面性状測定装置において、
前記画像処理手段は、さらに、
前記測定表面曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭を特定する輪郭形状特定手段と、
前記測定表面曲線から前記特定した前記輪郭の成分を除去することにより前記測定表面曲線を補正する測定表面曲線補正手段とを備え、
前記表面性状計算手段は、前記測定表面曲線補正手段によって補正された前記測定表面曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算することを特徴とする表面性状測定装置。
In the surface texture measuring apparatus according to claim 2,
The image processing means further includes
Contour shape specifying means for specifying the contour of the object to be measured using the measurement surface curve;
Measurement surface curve correction means for correcting the measurement surface curve by removing the identified contour component from the measurement surface curve,
The surface texture calculation unit calculates the roughness or waviness of the surface of the contour of the object to be measured using the measurement surface curve corrected by the measurement surface curve correction unit. .
請求項3に記載した表面性状測定装置において、
前記画像処理手段は、さらに、
前記測定表面曲線補正手段によって補正された前記測定表面曲線から粗さ曲線を抽出する粗さ曲線抽出手段を備え、
前記表面性状計算手段は、前記粗さ曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭の表面の粗さを計算することを特徴とする表面性状測定装置。
In the surface texture measuring apparatus according to claim 3,
The image processing means further includes
A roughness curve extracting means for extracting a roughness curve from the measured surface curve corrected by the measured surface curve correcting means,
The surface texture calculating device calculates the roughness of the contour surface of the object to be measured using the roughness curve.
請求項1ないし請求項4のうちのいずれか1つに記載した表面性状測定装置において、さらに、
前記被測定物における前記輪郭を介して前記撮像手段に向けて光を照射する照明手段を備えることを特徴とする表面性状測定装置。
The surface texture measuring device according to any one of claims 1 to 4, further comprising:
An apparatus for measuring surface texture, comprising: illumination means for irradiating light toward the imaging means through the contour of the object to be measured.
請求項1ないし請求項5のうちのいずれか1つに記載した表面性状測定装置において、さらに、
前記画像処理手段により計算された前記被測定物における前記輪郭の表面の粗さまたはうねりの結果を表示する表示手段を備えることを特徴とする表面性状測定装置。
In the surface texture measuring device according to any one of claims 1 to 5, further,
A surface texture measuring apparatus comprising: display means for displaying a result of surface roughness or undulation of the contour of the object to be measured, calculated by the image processing means.
曲面を有する被測定物における前記曲面の輪郭を撮像して得た輪郭撮像画像情報を用いて前記曲面の表面の粗さまたはうねりを計算するコンピュータ装置に実行させる表面性状測定用コンピュータプログラムであって、
前記コンピュータ装置に、
前記輪郭撮像画像情報から前記被測定物のエッジを検出して測定表面曲線を得るエッジ検出ステップと、
前記測定表面曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算する表面性状計算ステップとを実行させることを特徴とする表面性状測定用コンピュータプログラム。
A computer program for measuring surface properties that is executed by a computer device that calculates the roughness or undulation of the surface of the curved surface using contour captured image information obtained by imaging the contour of the curved surface of a measurement object having a curved surface. ,
In the computer device,
An edge detection step of obtaining a measurement surface curve by detecting an edge of the object to be measured from the contour captured image information;
A computer program for measuring a surface property, comprising: executing a surface property calculating step of calculating a surface roughness or undulation of the contour of the object to be measured using the measurement surface curve.
請求項7に記載した表面性状測定用コンピュータプログラムにおいて、さらに、
前記測定表面曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭を特定する輪郭形状特定ステップと、
前記測定表面曲線から前記特定した前記輪郭の成分を除去することにより前記測定表面曲線を補正する測定表面曲線補正ステップとを有し、
前記表面性状計算ステップは、前記測定表面曲線補正ステップによって補正された前記測定表面曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭の表面の粗さまたはうねりを計算させるものであることを特徴とする表面性状測定用コンピュータプログラム。
The computer program for measuring surface properties according to claim 7, further comprising:
A contour shape identifying step for identifying the contour of the object to be measured using the measurement surface curve;
A measurement surface curve correction step for correcting the measurement surface curve by removing the identified contour component from the measurement surface curve,
In the surface property calculation step, the surface roughness or waviness of the contour of the object to be measured is calculated using the measurement surface curve corrected by the measurement surface curve correction step. Computer program for property measurement.
請求項8に記載した表面性状測定用コンピュータプログラムにおいて、さらに、
前記測定表面曲線補正ステップによって補正された前記測定表面曲線から粗さ曲線を抽出する粗さ曲線抽出ステップを有し、
前記表面性状計算ステップは、前記粗さ曲線を用いて前記被測定物における前記輪郭の表面の粗さを計算させるものであることを特徴とする表面性状測定用コンピュータプログラム。
The computer program for measuring surface properties according to claim 8, further comprising:
A roughness curve extraction step for extracting a roughness curve from the measurement surface curve corrected by the measurement surface curve correction step;
The computer program for measuring surface properties, wherein the surface property calculating step calculates the surface roughness of the contour of the object to be measured using the roughness curve.
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